KR20180111569A - Deterioration diagnostic apparatus and method - Google Patents

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히로후미 히라야마
하야토 모토하시
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아즈빌주식회사
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Abstract

The present invention can more simply and quickly determine the abnormality of a hater. A control value determining unit (103) determines whether a control value is an off control value for turning off the heater (111) or an on control value for turning on the heater (111). A delay acquiring unit (105) acquires a measurement value which a current measuring unit (104) measures at a time point at which a delay time elapses from an on execution time point at which the control value determining unit (103) executes from an off control value determination state to an on control value determination state. A deterioration determining unit (106) determines that the heater (111) of an operating unit (112) is deteriorated if the measurement value acquired at the elapsed time point in the delay acquiring unit (105) exceeds an allowable range.

Description

열화 진단 장치 및 방법{DETERIORATION DIAGNOSTIC APPARATUS AND METHOD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a deterioration diagnostic apparatus,

본 발명은 히터를 구비하는 가열 장치의 열화를 진단하는 열화 진단 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a deterioration diagnosis apparatus and method for diagnosing degradation of a heating apparatus having a heater.

공업 프로세스에서는, 재료를 가열하는 프로세스가 다수 존재한다. 이러한 가열의 프로세스에서는, 일반적으로, 전열기(히터)가 이용되고 있다. 또한, 전열기의 동작 제어에서는, 온도 조절계가 이용되고 있다. 온도 조절계는, 열전대나 측온 저항체 등의 온도 센서를 이용하여, 히터가 가열하고 있는 처리 대상(감시 대상)의 온도를 계측하고 있다. 계측한 온도는, 온도 조절계에서 수치 표시된다.In the industrial process, there are many processes for heating the material. In such a heating process, an electric heater (heater) is generally used. Further, in the operation control of the electric heater, a temperature controller is used. The temperature controller uses a temperature sensor such as a thermocouple or a temperature-measuring resistor to measure the temperature of the object to be treated (object to be monitored) heated by the heater. The measured temperature is displayed numerically on the temperature controller.

또한, 온도 조절계에서는, 검출한 온도(PV값)와 설정 온도(SP값)에 따라, 제어 출력(MV값)을 구한다. 구한 제어 출력은, 전력 조정기 등에 의한 히터 조작기에 출력된다. 히터 조작기에서는, 상용 전원으로부터의 100 V의 구동 전류를 상기 제어 출력에 따라 제어하여 히터에 출력한다. 이와 같이 하여 제어되는 히터의 가열에 의해, 처리 대상의 온도를 제어한다. 또한, 온도 조절계는, 이상(異常) 검출 기능을 구비하여, 감시 대상이 되는 처리 대상의 이상 온도, 온도 센서의 이상 등을 검출하고, 검출한 이상 사상을 이벤트 정보로서 외부 출력하여, 경보(알람) 표시한다. 예컨대, 온도를 수치 표시하는 표시기로, 경보 표시를 행한다.Further, in the temperature controller, the control output (MV value) is obtained according to the detected temperature (PV value) and the set temperature (SP value). The obtained control output is outputted to a heater operation device by a power regulator or the like. In the heater controller, the driving current of 100 V from the commercial power source is controlled in accordance with the control output to be output to the heater. The temperature of the object to be treated is controlled by heating the heater thus controlled. The temperature controller includes an abnormality detecting function to detect abnormality of the object to be monitored and abnormality of the temperature sensor and to output the detected abnormality as event information to generate an alarm ). For example, an alarm is displayed with an indicator for numerically displaying the temperature.

또한, 온도 조절계에서는, 히터의 단선 등의 히터 자체의 이상을 검출하고 있다(특허문헌 1, 2 참조). 예컨대, 히터에 인가하고 있는 전류·전압을 측정하여 실효값 전력을 구하고, 전류와 전압의 관계로부터 또한 저항값을 구하고, 구한 저항값의 변화, 변화의 정도의 차이로부터 히터의 열화를 판단한다(특허문헌 1 참조). 또한, 제어 출력과 전류값의 실측 측정점을 테이블화한 데이터를 이용하여, 히터 열화를 판단한다(특허문헌 2 참조).Further, in the temperature controller, an abnormality of the heater itself such as breakage of the heater is detected (see Patent Documents 1 and 2). For example, the current / voltage applied to the heater is measured to obtain the effective value power, the resistance value is obtained from the relationship between the current and the voltage, and the deterioration of the heater is determined from the difference between the obtained resistance value and the variation degree Patent Document 1). Further, heater deterioration is judged by using data obtained by tabulating actual measurement points of the control output and the current value (see Patent Document 2).

특허문헌 1: 일본 특허 제2683851호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 2683851 특허문헌 2: 일본 특허 제3988942호 공보Patent Document 2: Japanese Patent No. 3988942

그러나, 전술한 기술에서는, 먼저, 히터에 흐르는 전류와 히터에 인가되는 전압의 측정이 필요로 된다. 또한, 전술한 기술에서는, 저항값 등 이상 진단을 위한 파라미터의 산출이 번잡하다. 또한, 전술한 기술에서는, 저항값의 시간 변화를 조사하기 위해, 경과 시간 등의 측정에 시간을 요한다고 하는 문제가 있었다. 이와 같이, 전술한 기술에서는, 이상의 판단에 이를 때까지 번잡한 계산과 측정이 필요하였다.However, in the above-described technique, it is first necessary to measure the current flowing through the heater and the voltage applied to the heater. Further, in the above-described technique, calculation of a parameter for abnormality diagnosis such as resistance value is complicated. Further, in the above-described technique, there is a problem that it takes time to measure the elapsed time or the like in order to investigate the time change of the resistance value. Thus, in the above-described technique, complicated calculation and measurement were required until the above-mentioned judgment was made.

본 발명은 이상과 같은 문제점을 해소하기 위해 이루어진 것으로, 보다 간편하게 보다 신속하게 히터의 이상을 판단할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to make it easier to more quickly determine the abnormality of a heater.

본 발명에 따른 열화 진단 방법은, 열화 진단 대상의 가열 장치를 구성하는 히터의 정상 시에 가열 장치에 부여되는 제어값에 따라 히터에 공급되는 전류값에 대하여 상측 허용값 및 하측 허용값을 정하여 가열 장치의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 설정하는 제1 공정과, 정상 시의 히터를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 히터에 공급되는 전류값이 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여, 지연 시간으로서 설정하는 제2 공정과, 제어값이 히터를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 히터를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정하는 제3 공정과, 제3 공정에서, 제어값이 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태로부터 온 제어값이라고 판정되는 상태로 이행한 온 이행 시점으로부터 지연 시간이 경과한 경과 시점에서, 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 제4 공정과, 제4 공정에서, 경과 시점에서 취득된 측정값이 허용 범위를 넘은 경우는, 가열 장치가 열화한 것으로 판정하는 제5 공정을 포함한다.The deterioration diagnosis method according to the present invention determines the upper permissible value and the lower permissible value with respect to the current value supplied to the heater in accordance with the control value given to the heating apparatus at the normal time of the heater constituting the heating apparatus to be subjected to deterioration diagnosis, A first step of setting a permissible range for judging a deterioration of the apparatus; a second step of measuring the time from when the heater is changed from the off state to the on state at the normal time until the current value supplied to the heater reaches the permissible range, A third step of determining whether the control value is an off control value for turning off the heater or an on control value for turning on the heater in the third step; At the time point when the delay time has elapsed from the transition point from the state of being judged as the OFF control value to the state of being judged as the ON control value, A fourth step of obtaining a measured value by measuring a supplied current and a fifth step of determining that the heating device has deteriorated if the measured value obtained at the elapsed time point exceeds the permissible range in the fourth step .

상기 열화 진단 방법에서, 제4 공정에서는, 온 이행 시점으로부터 경과 시점까지 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하고, 제5 공정에서는, 측정값이 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우는, 가열 장치가 열화한 것으로 판정하도록 하여도 좋다.In the deterioration diagnosis method, in the fourth step, the current supplied to the heater from the on-transition point to the elapsed time point is measured to acquire the measured value. In the fifth step, the time when the measured value exceeds the allowable range is set When the determination time is exceeded, it may be determined that the heating device has deteriorated.

상기 열화 진단 방법에서, 제3 공정에서, 제어값이 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태에서 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 제6 공정과, 제6 공정에서 취득되는 측정값이 0 부근 이외인 상태가, 설정되어 있는 이상 판정 시간 계속된 경우는, 히터에 이상이 발생하고 있다고 판정하는 제7 공정을 포함하도록 하여도 좋다.A sixth step of measuring a current supplied to the heater in a state where the control value is determined to be an OFF control value in the third step and obtaining a measured value; And a seventh step of judging that an abnormality has occurred in the heater when the abnormality determination time other than the vicinity of 0 is continued.

또한, 본 발명에 따른 열화 진단 장치는, 열화 진단 대상의 가열 장치를 구성하는 히터의 정상 시에 가열 장치에 부여되는 제어값에 따라 히터에 공급되는 전류값에 대하여 정해진 상측 허용값 및 하측 허용값으로부터 설정된 가열 장치의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 기억하는 제1 기억부와, 정상 시의 히터를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 히터에 공급되는 전류값이, 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여 얻어진 지연 시간을 기억하는 제2 기억부와, 제어값이 히터를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 히터를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정하도록 구성된 제어값 판정부와, 히터에 공급되는 전류를 측정하도록 구성된 전류 측정부와, 제어값 판정부에서 제어값이 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태로부터 온 제어값이라고 판정되는 상태로 이행한 온 이행 시점으로부터 지연 시간이 경과한 경과 시점에서, 전류 측정부가 측정하고 있는 측정값을 취득하는 지연 취득부와, 지연 취득부가 경과 시점에서 취득한 측정값이 허용 범위를 넘은 경우는, 가열 장치가 열화한 것으로 판정하도록 구성된 열화 판정부를 구비한다.The deterioration diagnosis apparatus according to the present invention is characterized in that the deterioration diagnosis apparatus further comprises an upper limit permissible value and a lower permissible limit value set with respect to a current value supplied to the heater in accordance with a control value given to the heating apparatus when the heater constituting the heating apparatus, And a control unit for controlling the heater unit so that the current value supplied to the heater after changing the heater from the off state to the on state at the normal time becomes the allowable range A control value judging unit configured to judge whether the control value is an off control value for turning the heater off or an on control value for turning on the heater, A current measuring unit configured to measure a current supplied to the heater; and a current measuring unit configured to measure a current supplied to the heater, A delay acquisition section for acquiring a measured value measured by the current measuring section at a time point at which a delay time elapses from a transition point from the on transition time determined to be the ON control value; And if it exceeds the range, it is determined that the heating apparatus has deteriorated.

상기 열화 진단 장치에서, 지연 취득부는, 온 이행 시점으로부터 경과 시점까지 전류 측정부가 측정하고 있는 측정값을 취득하도록 구성되고, 열화 판정부는, 지연 취득부가 취득하고 있는 측정값이 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우는, 가열 장치가 열화한 것으로 판정하도록 구성되어 있도록 하여도 좋다.In the deterioration diagnosis apparatus, the delay acquisition section is configured to acquire a measurement value measured by the current measurement section from the on transition point to the elapsed time point, and the deterioration determination section determines that the measured value acquired by the delay acquisition section exceeds the allowable range , And when it is determined that the set time has passed, it is determined that the heating apparatus has deteriorated.

상기 열화 진단 장치에서, 제어값 판정부에서 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태에서 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 정지 시 취득부와, 정지 시 취득부가 취득한 측정값이 0 부근 이외인 상태가 설정되어 있는 이상 판정 시간 계속된 경우는, 히터에 이상이 발생한 것으로 판정하는 이상 판정부를 구비하도록 하여도 좋다.A stop-state acquisition unit that measures a current supplied to the heater in a state where the control value is determined to be an off-control value by the control value determination unit and acquires a measured value; The abnormality determination section may determine that an abnormality has occurred in the heater when the abnormality determining section determines that the abnormality determining section determines that the abnormality has occurred.

이상 설명한 바에 의해, 본 발명에 따르면, 보다 간편하게 보다 신속하게 히터의 이상이 판단할 수 있다고 하는 우수한 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to obtain an excellent effect that the abnormality of the heater can be judged more easily and more quickly.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에서의 열화 진단 장치(100)의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에서의 열화 진단 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태 2에서의 열화 진단 장치(100)의 구성을 나타내는 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태 2에서의 열화 진단 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
1 is a configuration diagram showing the configuration of a degradation diagnosis apparatus 100 according to Embodiment 1 of the present invention.
2 is a flowchart for explaining a deterioration diagnosis method in Embodiment 1 of the present invention.
3 is a configuration diagram showing the configuration of the degradation diagnosis apparatus 100 according to the second embodiment of the present invention.
4 is a flowchart for explaining the degradation diagnostic method in the second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[실시형태 1][Embodiment 1]

처음에, 본 발명의 실시형태 1에 대해서 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태 1에서의 열화 진단 장치(100)의 구성을 나타내는 구성도이다. 이 열화 진단 장치(100)는, 기준 기억부(제1 기억부)(101), 지연 시간 기억부(제2 기억부)(102), 제어값 판정부(103), 전류 측정부(104), 지연 취득부(105), 열화 판정부(106), 표시부(107)를 구비한다. 열화 진단 장치(100)는, 히터(111) 및 조작부(112)로 이루어지는 가열 장치의 열화를 진단한다.First, Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to Fig. 1 is a configuration diagram showing the configuration of a degradation diagnosis apparatus 100 according to Embodiment 1 of the present invention. The deterioration diagnosis apparatus 100 includes a reference storage unit (first storage unit) 101, a delay time storage unit (second storage unit) 102, a control value determination unit 103, a current measurement unit 104, A delay acquisition section 105, a deterioration judgment section 106, and a display section 107. [ The deterioration diagnosis apparatus 100 diagnoses the deterioration of the heating apparatus including the heater 111 and the operating section 112. [

기준 기억부(101)는, 히터(111) 및 조작부(112)의 열화 진단을 위한 허용 범위(정상 범위)를 기억한다. 허용 범위는, 정상 시에서의 조작부(112)(가열 장치)에 부여되는 제어값에 따라 히터(111)에 공급되는 전류값의 상측 허용값 및 하측 허용값으로부터 설정된다. 허용 범위는, 히터(111) 및 조작부(112)(가열 장치)의 열화 판정을 하기 위해 이용된다.The reference storage unit 101 stores an allowable range (normal range) for the deterioration diagnosis of the heater 111 and the operation unit 112. [ The permissible range is set from the upper permissible value and the lower permissible value of the current value supplied to the heater 111 in accordance with the control value given to the operating section 112 (heating device) at the normal time. The permissible range is used for determining the deterioration of the heater 111 and the operating portion 112 (heating device).

예컨대, 히터(111)에 대하여 부여된 연속적으로 변화하는 제어값과, 이 제어값에 대응하는 정상 시의 히터(111)에서의 전류의 변화의 관계를 나타내는 히터 특성을 이용하여 기준선을 작성한다. 히터 특성 그 자체를 기준선으로 하여도 좋다. 또한, 히터 특성을 절선 근사하여 기준선으로 하여도 좋다. 또한, 이산적으로 변화하는 제어값과, 이 제어값에 대응하는 정상 시의 히터(111)에서의 이산적으로 변화하는 전류값에 따른 절선 근사에 의해, 기준선을 작성하여도 좋다.For example, a reference line is created by using heater characteristics showing the relationship between the continuously changing control value given to the heater 111 and the change of the current in the heater 111 at the normal time corresponding to the control value. The heater characteristic itself may be used as a reference line. The heater characteristic may be approximated to the line and used as the reference line. The reference line may also be created by discretionally varying the control value and the discrete approximate current value corresponding to the discrete changing current value in the heater 111 at the normal time corresponding to the control value.

이 기준선에서의 제어값에 대한 전류값의 상측 허용값 및 하측 허용값으로부터 허용 범위를 설정하면 좋다. 기준선에서의 제어값에 대한 전류값의 상측 허용값에 따른 상측 허용값선과, 기준선에서의 제어값에 대한 전류값의 하측 허용값에 따른 하측 허용값선 사이의 범위를, 히터(111) 또는 조작부(112)를 정상이라고 간주할 수 있는 허용 범위로 한다.The permissible range may be set from the upper permissible value and the lower permissible value of the current value for the control value at this reference line. A range between the upper permissible value line corresponding to the upper permissible value of the current value with respect to the control value at the reference line and the lower permissible value line corresponding to the lower permissible value of the current value with respect to the control value at the reference line, 112) is regarded as normal.

지연 시간 기억부(102)는, 정상 시의 히터(111)를 오프 상태로부터 온 상태로 제어를 변경하고 나서 히터(111)에 공급되는 전류값이, 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여 얻어진 지연 시간을 기억한다. 상기 시간은, 미리 계측해 두면 좋다.The delay time storage unit 102 measures the time until the current value supplied to the heater 111 after changing the control from the OFF state to the ON state of the heater 111 at the normal time is within the allowable range Remember the delay time. The above time may be measured in advance.

제어값 판정부(103)는, 제어값이, 히터(111)를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 히터(111)를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정한다. 각 제어값은, 제어부(113)로부터 출력된다. 각 제어값은, 온도 측정부(114)에서 측정된 측정값과 설정되어 있는 설정값으로부터, 제어부(113)에 의해 산출되어, 조작부(112)에 출력된다.The control value determining section 103 determines whether the control value is an off control value for turning the heater 111 off or an on control value for turning the heater 111 on. Each control value is output from the control unit 113. [ Each control value is calculated by the control unit 113 from the measurement value measured by the temperature measurement unit 114 and the set value that has been set, and is output to the operation unit 112.

제어부(113)는, 예컨대 온도 조절계이다. 조작부(112)는, 예컨대 잘 알려진 전력 조정기로 구성되어 있다. 제어부(113)는, 잘 알려진 온/오프 제어에 의해, 오프 제어값 또는 온 제어값을 출력한다. 또한, 제어부(113)는, 일정 사이클이 아니라, 온 제어값의 출력 시간 및 오프 제어값의 출력 시간의 각각을, 온도 측정값과 온도 설정값의 편차에 대응시켜 변화시켜 출력한다. 이와 같이 제어함으로써, 보다 안정된 온도 제어를 행할 수 있다.The controller 113 is, for example, a temperature controller. The operation unit 112 is constituted by, for example, a well-known power regulator. The control unit 113 outputs an OFF control value or an ON control value by well-known ON / OFF control. Also, the control unit 113 changes not the fixed cycle but the output time of the ON control value and the output time of the OFF control value in accordance with the deviation between the temperature measurement value and the temperature setting value, and outputs the output. By performing such control, more stable temperature control can be performed.

조작부(112)는, 온 제어값을 받으면, 상용의 전원으로부터 얻어지는 100 V의 구동 전류를 히터(111)에 공급하여 히터(111)를 온 상태로 한다. 한편, 조작부(112)는, 오프 제어값을 받으면, 히터(111)에 대한 구동 전류의 공급을 정지하여, 히터(111)를 오프 상태로 한다. 제어값 취득부(103)는, 제어부(113)로부터 출력하는 오프 제어값 또는 온 제어값을 취득하는 기능부이다(특허문헌 1 참조).Upon receiving the ON control value, the operating section 112 supplies a driving current of 100 V obtained from a commercial power source to the heater 111 to turn the heater 111 ON. On the other hand, when receiving the OFF control value, the operating section 112 stops supplying the driving current to the heater 111 and turns the heater 111 off. The control value acquisition unit 103 is a functional unit for acquiring an off control value or an on control value output from the control unit 113 (see Patent Document 1).

전류 측정부(104)는, 히터(111)에 공급되는 전류를 측정한다. 예컨대, 전류 측정부(104)는, 측정값으로서 실효 전류값을 취득한다. 전류 측정부(104)는, 예컨대, 잘 알려진 커런트 트랜스로 구성되어 있다. 실시형태 1에서, 전류 측정부(104)는, 온도 조절계인 제어부(113)에서의 경보 출력에 이용된다. 이 경우, 전류 측정부(104)는, 히터(111)에의 구동 전류값을 검출하여 제어부(113)에 출력하고, 제어부(113)는 미리 설정된 경보 레벨과 그 검출값을 비교하여, 검출값이 경보 레벨을 넘었을 때, 가열 온도의 이상을 나타내는 경보 신호를 출력하도록 되어 있다. 또한, 측정값은, 평균 전류값이어도 좋다.The current measuring unit 104 measures a current supplied to the heater 111. [ For example, the current measuring unit 104 acquires an effective current value as a measured value. The current measuring unit 104 is constituted by, for example, a well-known current transformer. In Embodiment 1, the current measuring unit 104 is used for alarm output in the control unit 113 which is a temperature control system. In this case, the current measuring unit 104 detects the driving current value to the heater 111 and outputs it to the control unit 113. The control unit 113 compares the detected alarm level with the preset alarm level, When the alarm level is exceeded, an alarm signal indicating abnormality of the heating temperature is outputted. The measured value may be an average current value.

지연 취득부(105)는, 제어값 판정부(103)가, 제어값을 오프 제어값이라고 판정하고 있는 상태로부터 온 제어값이라고 판정하는 상태로 이행한 온 이행 시점으로부터 지연 시간이 경과한 경과 시점에서, 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값을 취득한다.The delay acquiring section 105 acquires the delay value from the time point when the control value determining section 103 has transitioned from the state in which the control value is determined to be the OFF control value to the state in which it is determined that the control value is in the ON control value, The measurement value measured by the current measuring unit 104 is acquired.

열화 판정부(106)는, 지연 취득부(105)에서 경과 시점에서 취득된 측정값이 허용 범위를 넘은 경우는, 히터(111) 또는 조작부(112)(가열 장치)가 열화한 것으로 판정한다. 예컨대, 열화 판정부(106)는, 지연 취득부(105)가 취득한 측정값이, 허용 범위를 구성하고 있는 하측 허용값보다 작은, 또는 상측 허용값보다 큰 경우, 히터(111) 또는 조작부(112)의 열화를 판단한다.The deterioration determining section 106 determines that the heater 111 or the operating section 112 (heating device) has deteriorated when the measured value acquired at the elapsed time point in the delay acquiring section 105 exceeds the permissible range. For example, when the measured value acquired by the delay acquisition section 105 is smaller than the lower permissible value constituting the permissible range or higher than the upper permissible value, the deterioration judging section 106 judges that the heater 111 or the operation section 112 ).

또한, 지연 취득부(105)는, 온 이행 시점으로부터 경과 시점까지, 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값을 연속하여 취득하도록 구성하여도 좋다. 덧붙여, 열화 판정부(106)는, 지연 취득부(105)가 취득하고 있는 측정값이 허용 범위를 넘은 이상값으로 되어 있는 시간의 합계가, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우는, 히터(111) 또는 조작부(112)가 열화한 것으로 판정한다.The delay acquisition unit 105 may be configured to continuously acquire the measured values measured by the current measurement unit 104 from the on transition time point to the elapsed time point. In addition, when the sum of the times at which the measured value acquired by the delay acquisition section 105 exceeds the allowable range exceeds the set determination time, the deterioration determining section 106 determines that the heater 111 ) Or the operating section 112 has deteriorated.

예컨대, 짧은 간격으로 온 제어와 오프 제어가 전환되는 경우, 측정값이 허용 범위를 넘어도 측정할 수 없는 경우가 있다. 또한, 측정되었다고 해도, 지연 시간 사이의 측정값은 판정에 이용하지 않는 경우, 지연 시간이 경과하기 전에 온/오프가 전환되면, 판정을 할 수 없다. 이 경우, 전술한 바와 같이 연속하여 측정값을 취득하여, 이상값으로 되어 있는 시간의 합계가 판정 시간을 넘으면 열화라고 판단하면 좋다.For example, when the on-control and the off-control are switched at short intervals, measurement may not be possible even if the measured value exceeds the allowable range. Also, even if the measurement is made, determination can not be made if the measured value between the delay times is not used for determination, and the ON / OFF is switched before the delay time elapses. In this case, as described above, the measurement values are successively acquired, and when the sum of the time that has become the abnormal value exceeds the determination time, the deterioration may be determined.

전술한 열화의 판단에 따르면, 히터(111)의 열화에 한하지 않고, 조작부(112)에서의 열화나 고장도 판정할 수 있다. 히터(111)에 이상이 없는 경우라도 조작부(112)의 부조(不調)에 의해서도, 히터(111)에 공급되는 전류가 이상해지는 경우도 있다.According to the determination of the deterioration described above, it is possible not only to deteriorate the heater 111, but also to determine deterioration or failure in the operating section 112. [ The current supplied to the heater 111 may become abnormal even by the unstable operation of the operating unit 112 even when the heater 111 is not abnormal.

또한, 허용 범위 및 제어값 취득부(103)에서 취득된 제어값과 전류 측정부(104)에서 취득된 측정값에 따른 측정점이, 제어값 및 측정값을 축으로 하는 2차원 평면의 좌표상에 배치된 그래프가, 표시부(107)에 표시된다. 허용 범위와 함께, 전술한 기준선을 표시부(107)에 표시하도록 하여도 좋다.It should be noted that the tolerance range and the control point obtained by the control value acquisition section 103 and the measurement point in accordance with the measurement value acquired by the current measurement section 104 are set on the coordinates of the two- The arranged graph is displayed on the display unit 107. The above-described reference line may be displayed on the display unit 107 together with the allowable range.

또한, 열화 진단 장치(100)는, CPU(Central Processing Unit; 중앙 연산 처리 장치)와 주기억 장치와 외부 기억 장치와 네트워크 접속 장치 등을 구비한 컴퓨터 기기이다. 컴퓨터 기기인 열화 진단 장치(100)는, 주기억 장치에 전개된 프로그램에 의해 CPU가 동작함으로써, 전술한 각 기능이 실현된다. 또한, 각 기능은, 복수의 컴퓨터 기기에 분산시키도록 하여도 좋다.The degradation diagnosis apparatus 100 is a computer apparatus having a CPU (Central Processing Unit), a main storage unit, an external storage unit, and a network connection unit. In the deterioration diagnosis apparatus 100 as a computer device, the above-described functions are realized by the CPU being operated by a program developed in the main memory device. In addition, each function may be distributed to a plurality of computer devices.

다음에, 본 발명의 실시형태 1에서의 열화 진단 장치(100)의 동작예(열화 진단 방법)에 대해서, 도 2의 흐름도를 이용하여 설명한다.Next, an operation example (deterioration diagnosis method) of the deterioration diagnosis apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG.

먼저, 단계 S201에서, 열화 진단 대상의 히터(111)의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 설정하여 기준 기억부(101)에 기억한다[제1 공정]. 허용 범위는, 정상 시의 조작부(112)에 대한 제어값에 따라 히터(111)에 공급되는 전류값에 대하여 상측 허용값 및 하측 허용값을 정함으로써 설정한다.First, in step S201, an allowable range for determining the deterioration of the heater 111 to be subjected to deterioration diagnosis is set and stored in the reference storage unit 101 (first step). The permissible range is set by setting the upper permissible value and the lower permissible value with respect to the current value supplied to the heater 111 according to the control value for the operating portion 112 at the normal time.

다음에, 단계 S202에서, 지연 시간을 설정하여 지연 시간 기억부(102)에 기억한다[제2 공정]. 정상 시의 히터(111)를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 히터(111)에 공급되는 전류값이, 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여 지연 시간으로 한다.Next, in step S202, a delay time is set and stored in the delay time storage unit 102 (second step). The time from when the heater 111 is changed from the OFF state to the ON state and when the current value supplied to the heater 111 falls within the allowable range is measured to be the delay time.

다음에, 단계 S203에서, 열화 판정부(106)가, 판정의 개시를 판단한다. 예컨대, 판정을 실시하는 지시의 입력을 접수함으로써 판단한다. 또한, 예컨대, 판정 주기 시간이 설정되고, 판정 주기 시간의 경과에 의해, 판정의 개시로 하여도 좋다.Next, in step S203, the deterioration determining section 106 determines the start of the determination. For example, determination is made by accepting input of an instruction to make a determination. Further, for example, the determination cycle time may be set, and the determination may be started upon the passage of the determination cycle time.

판정의 개시를 판단하면(단계 S203의 yes), 단계 S204에서, 제어값 판정부(103)가, 제어부(113)로부터의 제어값을 판정한다[제3 공정]. 제어값 판정부(103)는, 제어값이 히터(111)를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 히터(111)를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정한다.(Step S203: yes), the control value judging section 103 judges the control value from the control section 113 in step S204 (third step). The control value determining section 103 determines whether the control value is an off control value for turning the heater 111 off or an on control value for turning the heater 111 on.

다음에, 단계 S205에서, 지연 취득부(105)가, 오프 제어값을 취득하고 있는 상태로부터 온 제어값을 취득하는 상태로 이행하였는지의 여부를 판단한다. 오프 제어값을 취득하고 있는 상태로부터 온 제어값을 취득하는 상태로 이행한 것이 판단되면(단계 S205의 yes), 단계 S206에서, 지연 취득부(105)가, 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값의 취득을 개시한다. 다음에, 단계 S207에서, 지연 취득부(105)가, 지연 시간 기억부(102)에 기억되어 있는 지연 시간의 경과를 판단한다. 지연 시간이 경과한 것이 판단되면(단계 S207의 yes), 지연 취득부(105)는, 측정값의 취득을 종료하고, 단계 S208로 이행한다[제4 공정].Next, in step S205, it is determined whether or not the delay acquiring section 105 transitions from a state in which the off control value is acquired to a state in which the on control value is acquired. (Step S205: yes), in step S206, the delay acquiring section 105 acquires the control value from the state in which the current control section 104 acquires the control value And starts acquiring the measured value. Next, in step S207, the delay acquisition section 105 determines the elapse of the delay time stored in the delay time storage section 102. [ If it is determined that the delay time has elapsed (yes in step S207), the delay acquisition unit 105 ends the acquisition of the measured value and proceeds to step S208 (fourth step).

다음에, 단계 S208에서, 열화 판정부(106)가, 지연 시간이 경과한 것이 판단된 시점에서 지연 취득부(105)에 의해 취득된 측정값이, 허용 범위를 넘었는지의 여부를 판단한다. 측정값이 허용 범위를 넘은 경우, 열화 판정부(106)는, 히터(111)가 열화한 것으로 판정한다[제5 공정]. 또한, 열화 판정부(106)는, 온 이행 시점으로부터 경과 시점까지의 사이에 지연 취득부(105)에서 취득되고 있던 측정값이 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우, 히터(111)가 열화한 것으로 판정하여도 좋다.Next, in step S208, the deterioration judging unit 106 judges whether or not the measured value acquired by the delay acquiring unit 105 exceeds the allowable range at the time when it is judged that the delay time has elapsed. When the measured value exceeds the permissible range, the deterioration judging unit 106 judges that the heater 111 has deteriorated (fifth step). The deterioration determining section 106 determines whether or not the time when the measured value acquired by the delay acquiring section 105 from the on transition point to the elapsed time exceeds the allowable range exceeds the set determination time, It may be determined that the substrate 111 has deteriorated.

다음에, 열화 판정부(106)는, 히터(111)가 열화한 것으로 판정하면(단계 S208의 yes), 단계 S209에서, 이 상태를 통지한다. 예컨대, 표시부(107)에, 경보를 표시함으로써, 사용자에 대하여 히터(111)의 열화 판정을 통지한다.Next, when it is judged that the heater 111 has deteriorated (YES in step S208), the deterioration judging unit 106 notifies this state in step S209. For example, by displaying an alarm on the display unit 107, the user is notified of the deterioration judgment of the heater 111.

이상에 설명한 바와 같이, 실시형태 1에서는, 실사용 상태에서 측정되는 전류값(측정값)이 허용 범위를 넘음으로써 열화를 판정한다. 이 때문에, 실시형태 1에 따르면, 판정을 위한 파라미터 산출 등이 필요 없고, 또한, 전류값의 시간 변화 등을 측정할 필요가 없다. 이 결과, 실시형태 1에 따르면, 보다 간편하게 보다 신속하게 히터의 이상을 판단할 수 있다.As described above, in Embodiment 1, deterioration is judged by exceeding the permissible range of the current value (measured value) measured in the actual use state. Therefore, according to the first embodiment, it is not necessary to calculate the parameters for determination, and it is not necessary to measure the time variation of the current value or the like. As a result, according to the first embodiment, it is possible to more easily determine the abnormality of the heater more quickly.

[실시형태 2][Embodiment 2]

다음에, 본 발명의 실시형태 2에 대해서, 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3은 본 발명의 실시형태 2에서의 열화 진단 장치(100a)의 구성을 나타내는 구성도이다. 이 열화 진단 장치(100a)는, 기준 기억부(제1 기억부)(101), 지연 시간 기억부(제2 기억부)(102), 제어값 판정부(103), 전류 측정부(104), 지연 취득부(105), 열화 판정부(106), 표시부(107)를 구비한다. 이들의 구성은, 전술한 실시형태 1과 동일하다. 실시형태 2에서의 열화 진단 장치(100a)는, 정지 시 취득부(108) 및 이상 판정부(109)를 구비한다. 또한, 실시형태 2에서의 열화 진단 장치(100a)는, 히터(111) 및 조작부(112)에서 이루어지는 가열 장치의 열화 진단에 더하여, 이상의 판정도 행한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. 3 is a block diagram showing the configuration of the degradation diagnosis apparatus 100a according to the second embodiment of the present invention. The deterioration diagnosis apparatus 100a includes a reference storage unit (first storage unit) 101, a delay time storage unit (second storage unit) 102, a control value determination unit 103, a current measurement unit 104, A delay acquisition section 105, a deterioration judgment section 106, and a display section 107. [ These configurations are the same as those of the first embodiment described above. The deterioration diagnosis apparatus 100a according to the second embodiment includes a stopping acquisition unit 108 and an abnormality determination unit 109. [ The deterioration diagnosis apparatus 100a according to the second embodiment also makes the above determination in addition to the deterioration diagnosis of the heating apparatus including the heater 111 and the operation unit 112. [

정지 시 취득부(108)는, 제어값 판정부(103)가, 제어값을 오프 제어값이라고 판정하고 있는 상태에서 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값을 취득한다. 이상 판정부(109)는, 정지 시 취득부(108)가 취득한 측정값이 0 부근 이외인 상태가, 설정되어 있는 이상 판정 시간 계속된 경우는, 히터(111)에 이상이 발생한 것으로 판정한다.The stop-state acquisition unit 108 acquires the measurement value measured by the current measurement unit 104 while the control value determination unit 103 determines that the control value is an OFF control value. The abnormality judging section 109 judges that an abnormality has occurred in the heater 111 when the state in which the measured value acquired by the acquisition section 108 at the time of stopping is other than 0 is continued for the set abnormality determination time.

또한, 열화 진단 장치(100a)는, CPU(Central Processing Unit; 중앙 연산 처리 장치)와 주기억 장치와 외부 기억 장치와 네트워크 접속 장치 등을 구비한 컴퓨터 기기이다. 컴퓨터 기기인 열화 진단 장치(100a)는, 주기억 장치에 전개된 프로그램에 의해 CPU가 동작함으로써, 전술한 각 기능이 실현된다. 또한, 각 기능은, 복수의 컴퓨터 기기에 분산시키도록 하여도 좋다.The degradation diagnosis apparatus 100a is a computer apparatus having a CPU (Central Processing Unit), a main storage device, an external storage device, and a network connection device. In the deterioration diagnosis apparatus 100a as a computer device, the above-described functions are realized by the CPU being operated by a program developed in the main memory device. In addition, each function may be distributed to a plurality of computer devices.

다음에, 본 발명의 실시형태 2에서의 열화 진단 장치(100a)의 동작예(열화 진단 방법)에 대해서, 도 4의 흐름도를 이용하여 설명한다.Next, an operation example (deterioration diagnosis method) of the deterioration diagnosis apparatus 100a according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG.

먼저, 단계 S401에서, 열화 진단 대상의 히터(111)의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 설정하여 기준 기억부(101)에 기억한다[제1 공정]. 허용 범위는, 정상 시에서의 조작부(112)에 대한 제어값에 따라 히터(111)에 공급되는 전류값의 상측 허용값 및 하측 허용값으로부터 설정한다.First, in step S401, an allowable range for determining the deterioration of the heater 111 to be subjected to deterioration diagnosis is set and stored in the reference storage unit 101 (first step). The permissible range is set from the upper permissible value and the lower permissible value of the current value supplied to the heater 111 in accordance with the control value for the operating section 112 at the normal time.

다음에, 단계 S402에서, 지연 시간을 설정하여 지연 시간 기억부(102)에 기억한다[제2 공정]. 정상 시의 히터(111)를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 히터(111)에 공급되는 전류값이, 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여 지연 시간으로 한다.Next, in step S402, the delay time is set and stored in the delay time storage unit 102 (second step). The time from when the heater 111 is changed from the OFF state to the ON state and when the current value supplied to the heater 111 falls within the allowable range is measured to be the delay time.

다음에, 단계 S403에서, 열화 판정부(106)가, 판정의 개시를 판단한다. 예컨대, 판정을 실시하는 지시의 입력을 접수함으로써 판단한다. 또한, 예컨대, 판정 주기 시간이 설정되고, 판정 주기 시간의 경과에 의해, 판정의 개시로 하여도 좋다.Next, in step S403, the deterioration determining section 106 determines the start of the determination. For example, determination is made by accepting input of an instruction to make a determination. Further, for example, the determination cycle time may be set, and the determination may be started upon the passage of the determination cycle time.

판정의 개시를 판단하면(단계 S403의 yes), 단계 S404에서, 제어값 판정부(103)가, 제어부(113)로부터의 제어값을 판정한다[제3 공정]. 제어값 판정부(103)는, 제어값이 히터(111)를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 히터(111)를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정한다.(Step S403: yes), in step S404, the control value determining section 103 determines the control value from the control section 113 (the third step). The control value determining section 103 determines whether the control value is an off control value for turning the heater 111 off or an on control value for turning the heater 111 on.

다음에, 단계 S405에서, 지연 취득부(105)가, 오프 제어값을 취득하고 있는 상태로부터 온 제어값을 취득하는 상태로 이행하였는지의 여부를 판단한다. 오프 제어값을 취득하고 있는 상태로부터 온 제어값을 취득하는 상태로 이행한 것이 판단되면(단계 S405의 yes), 단계 S406에서, 지연 취득부(105)가, 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값의 취득을 개시한다. 다음에, 단계 S407에서, 지연 취득부(105)가, 지연 시간 기억부(102)에 기억되어 있는 지연 시간의 경과를 판단한다. 지연 시간이 경과한 것이 판단되면(단계 S407의 yes), 지연 취득부(105)는, 측정값의 취득을 종료하고, 단계 S408로 이행한다[제4 공정].Next, in step S405, it is determined whether or not the delay acquiring section 105 transitions from a state in which the off control value is acquired to a state in which the on control value is acquired. (Step S405: yes), in step S406, the delay acquisition unit 105 determines whether the current measurement unit 104 has measured the current value And starts acquiring the measured value. Next, in step S407, the delay acquisition section 105 determines the elapse of the delay time stored in the delay time storage section 102. [ If it is determined that the delay time has elapsed (yes in step S407), the delay acquisition unit 105 ends the acquisition of the measured value and proceeds to step S408 (fourth step).

다음에, 단계 S408에서, 열화 판정부(106)가, 지연 시간이 경과한 것이 판단된 시점에서 지연 취득부(105)에 의해 취득된 측정값이, 허용 범위를 넘었는지의 여부를 판단한다. 측정값이 허용 범위를 넘은 경우, 열화 판정부(106)는, 히터(111)가 열화한 것으로 판정한다[제5 공정]. 또한, 열화 판정부(106)는, 온 이행 시점으로부터 경과 시점까지의 사이에 지연 취득부(105)에서 취득되고 있던 측정값이 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우, 히터(111)가 열화한 것으로 판정하여도 좋다.Next, in step S408, the deterioration judging unit 106 judges whether or not the measured value acquired by the delay acquiring unit 105 exceeds the allowable range when it is determined that the delay time has elapsed. When the measured value exceeds the permissible range, the deterioration judging unit 106 judges that the heater 111 has deteriorated (fifth step). The deterioration determining section 106 determines whether or not the time when the measured value acquired by the delay acquiring section 105 from the on transition point to the elapsed time exceeds the allowable range exceeds the set determination time, It may be determined that the substrate 111 has deteriorated.

다음에, 열화 판정부(106)는, 히터(111)가 열화한 것으로 판정하면(단계 S408의 yes), 단계 S409에서, 이 상태를 통지한다. 예컨대, 표시부(107)에, 경보를 표시함으로써, 사용자에 대하여 히터(111)의 열화 판정을 통지한다.Next, when it is judged that the heater 111 has deteriorated (yes in step S408), the deterioration judging unit 106 notifies this state in step S409. For example, by displaying an alarm on the display unit 107, the user is notified of the deterioration judgment of the heater 111.

한편, 단계 S405에서, 지연 취득부(105)가, 오프 제어값을 취득하고 있는 상태가 계속되어, 온 제어값을 취득하지 않은 경우(단계 S405의 no), 단계 S410에서, 정지 시 취득부(108)가, 전류 측정부(104)가 측정하고 있는 측정값을 취득한다. 다음에, 단계 S411에서, 이상 판정부(109)가, 정지 시 취득부(108)가 취득한 측정값이 0 부근 이외인지의 여부를 판정한다. 측정값이 0인 경우(단계 S411의 no), 단계 S404로 되돌아가서, 제어값 판정부(103)가, 제어부(113)로부터의 제어값의 판정을 계속한다.On the other hand, if the delay acquiring unit 105 continues to acquire the OFF control value in step S405 and does not acquire the ON control value (NO in step S405), then in step S410, 108 acquires the measurement value measured by the current measuring unit 104. [ Next, in step S411, the abnormality judging section 109 judges whether or not the measured value acquired by the stopping-time obtaining section 108 is other than around zero. If the measured value is 0 (NO in step S411), the process returns to step S404, and the control value determining section 103 continues to determine the control value from the control section 113. [

한편, 정지 시 취득부(108)가 취득한 측정값이 0 부근 이외인 경우(단계 S411의 yes), 단계 S412에서, 이상 판정부(109)가, 0 부근 이외인 측정값이 취득된 시간을 가산해 간다. 다음에, 단계 S403에서, 이상 판정부(109)가, 가산하고 있는 시간이, 설정되어 있는 이상 판정 시간을 넘었는지의 여부를 판단한다. 가산하고 있는 시간이 이상 판정 시간을 넘지 않은 경우(단계 S413의 no), 단계 S404로 되돌아가서, 제어값 판정부(103)가, 제어부(113)로부터의 제어값의 판정을 계속한다.On the other hand, when the measured value acquired by the acquisition unit 108 at the time of stopping is other than 0 (yes in step S411), in step S412, the abnormality determination unit 109 determines the time at which the measurement value other than around 0 is acquired I'll go. Next, in step S403, the abnormality determination section 109 determines whether or not the added time exceeds the set abnormality determination time. If the added time does not exceed the abnormality determination time (NO in step S413), the process returns to step S404, and the control value determining section 103 continues the determination of the control value from the control section 113. [

한편, 열화 판정부(106)가, 가산하고 있는 시간이 이상 판정 시간을 넘은 것으로 판단한 경우(단계 S413의 yes), 단계 S411에서, 이 상태(이상)를 통지한다. 예컨대, 표시부(107)에, 경보를 표시함으로써, 사용자에 대하여 히터(111)의 이상 판정을 통지한다.On the other hand, when the deterioration judging unit 106 judges that the addition time has exceeded the abnormality judging time (yes in step S413), this state (abnormality) is notified in step S411. For example, by displaying an alarm on the display unit 107, the user is notified of the abnormality of the heater 111. [

이상에 설명한 바와 같이, 실시형태 2에 따르면, 전술한 실시형태 1과 마찬가지로, 보다 간편하게 보다 신속하게 히터의 이상을 판단할 수 있다. 또한, 실시형태 2에 따르면, 오프 상태에서의 전류값을 측정하기 때문에, 히터의 단선 등의 이상을 판정할 수 있게 된다.As described above, according to the second embodiment, it is possible to more easily determine the abnormality of the heater more quickly, similarly to the first embodiment. According to the second embodiment, since the current value is measured in the OFF state, it is possible to determine an abnormality such as disconnection of the heater.

이상에 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 보다 간편하게 보다 신속하게 히터의 이상을 판단할 수 있게 된다. 본 발명에 따르면, 이상의 판정은, 주기적으로 취득하는 히터 전류값의 순시값을 이용하면 좋고, 판정을 위해, 시간적인 변화의 경향을 구할 필요가 없어, 판정을 신속하게 실시할 수 있다.As described above, according to the present invention, the abnormality of the heater can be judged more easily and more quickly. According to the present invention, the above-described determination may use an instantaneous value of the heater current value to be obtained periodically, and it is not necessary to determine the tendency of temporal change for determination, and the determination can be performed quickly.

또한, 기준선을 바탕으로 한 허용 범위를 이용하기 때문에, 허용 범위는 제어값이 취할 수 있는 범위에서 연속한 판정 기준이 된다. 이 때문에, 테이블 참조 등의 경우와 다르게, 판정 시에 보간 등을 할 필요가 없다. 또한, 히터에 흐르는 전류값을 측정하면 되기 때문에, 전압을 측정할 필요가 없고, 또한 저항값을 일부러 구할 필요가 없다.In addition, since the allowable range based on the baseline is used, the allowable range is a continuous determination criterion within a range that the control value can take. Therefore, unlike the case of table reference or the like, it is not necessary to perform interpolation at the time of judgment. Further, since the value of the current flowing through the heater can be measured, it is not necessary to measure the voltage, and the resistance value does not need to be calculated.

그런데, 다음에 나타내는 바와 같이 판정을 하여도 좋다. 예컨대, 허용 범위의 설정을 넓힘으로써, 큰 이상이 되었을 때만 이상이라고 판정하도록 하여도 좋다. 또한, 허용 범위의 설정(기준선으로부터의 차)을 복수 단계로 나누어 판단하여도 좋다. 예컨대, 1단계째는 열화의 가능성이 있다고 판단한다. 2단계째는, 열화가 진행되었을 가능성이 있다고 판단한다. 3단계째는, 열화가 확실하다고 판단한다. 이 이상은, 고장이나 단선이라고 판단한다.However, the determination may be made as follows. For example, it may be determined that an abnormality is detected only when a large abnormality occurs by widening the allowable range setting. Further, the setting of the allowable range (difference from the reference line) may be determined by dividing into a plurality of steps. For example, it is determined that there is a possibility of deterioration in the first stage. In the second step, it is judged that there is a possibility that deterioration has progressed. In the third stage, it is judged that deterioration is certain. This abnormality is judged to be a failure or disconnection.

또한, 어떠한 제어값에 대하여도 히터 전류 측정값이 항상 0 부근이었던 경우, 히터의 단선(혹은 전력 조정기의 고장, 그 외 가열에 관련된 장치의 완전한 고장)으로서 판정하여도 좋다.In the case where the heater current measurement value is always around 0 for any control value, it may be determined that the heater is disconnected (or a failure of the power regulator or a complete failure of the apparatus related to other heating).

또한, 판정에 지연 시간을 설정하는 경우, 순시값의 이상이 일정한 횟수 이상 연속하여 발생하였다면, 처음으로 열화가 확실하다고 판정하여도 좋다. 또는, 측정값이 0에 가까우면 단선이라고 판정하여도 좋다. 이에 의해, 허용 범위를 좁게 하여도 정확한 판단이 가능해진다. 또한, 정상 범위로부터 벗어나는 폭에 의해, 이상의 진행도를 판단할 수 있다.When the delay time is set in the determination, if the abnormality of the instantaneous value occurs continuously for a predetermined number of times or more, it may be determined that the deterioration is the first time to be sure. Or, if the measured value is close to 0, it may be determined that the wire is broken. Thus, accurate determination can be made even if the allowable range is narrowed. Further, it is possible to judge the progress of the above by the width deviating from the normal range.

또한, 히터 전류값을 측정하여 판정하지만, 계장(計裝)상은 공급 전력의 저하나, 전력 조정기(조작부)의 부조에 의해, 측정값이 허용 범위를 넘는 경우도 있다. 따라서, 이상이라고 판단되고 나서 히터를 정상품으로 교환하여도, 이상의 판정이 해소되지 않는 경우, 히터 이외의 부위에 문제가 있는 것을 알 수 있다. 이와 같이, 본 발명은, 소위 루프 진단으로서 이용하는 것이 가능하다.In addition, the heater current value is measured and determined. However, the measured value may exceed the allowable range due to a decrease in the power supplied to the instrument or a coincidence of the power regulator (operation unit). Therefore, even if the heater is replaced with a regular product after it is determined that there is an abnormality, if the above determination is not resolved, it can be known that there is a problem in a region other than the heater. As described above, the present invention can be used as a so-called loop diagnosis.

여기서, 기준선에 대해서 보다 상세하게 설명한다. 기준선으로서, 히터 특성을 절선 근사한 것을 이용하여도 좋다. 절선 근사한 기준선은, 제어값 및 측정값을 축으로 하는 2차원 평면의 좌표상에서, 1개 이상의 선분(1차식)으로 구성되는 것이다. 이와 같이 절선 근사한 기준선을 이용하여 허용 범위를 설정함으로써, 허용 범위로서 유지하는 데이터량을 매우 적게 할 수 있다. 기준선은, 직선(1차식)의 조합으로 구성되기 때문에, 허용 범위도 직선(1차식)의 조합으로 구성되게 되어, 데이터량이 매우 적다.Here, the reference line will be described in more detail. As the reference line, the heater characteristic may be approximated to the line. The baseline approximated to the line is composed of one or more line segments (linear expressions) on the coordinates of the two-dimensional plane having the control value and the measured value as axes. By setting the allowable range using the reference line approximating the line, it is possible to reduce the amount of data to be maintained as the allowable range. Since the reference line is composed of a combination of straight lines (linear equation), the permissible range is composed of a combination of straight lines (linear equation), and the data amount is very small.

예컨대, 정상 시의 히터의 히터 특성을 측정하고, 측정한 히터 특성으로부터 절선 근사에 의해 기준선을 구하면 좋다. 얻어진 히터 특성의 곡선 상에 미리 정해진 조건으로 미리 정해진 수의 설정점(브레이크 포인트)을 마련하고, 마련한 설정점을 직선(선분)으로 접속함으로써 기준선으로 하면 좋다. 또한, 미리 정해진 수의 측정점에서, 정상 시의 히터(가열 장치)에서의 제어값에 대한 전류를 측정하여 전류값을 취득하여, 미리 정해진 수의 제어값과 전류값에 따른 설정점을 설정하고, 인접하는 설정점을 직선으로 접속함으로써 기준선으로 하면 좋다.For example, the heater characteristics of the heater at the normal time may be measured, and the reference line may be obtained by approximating the line from the measured heater characteristics. A predetermined number of set points (break points) may be provided on the curve of the obtained heater characteristics under predetermined conditions, and the set points may be connected by a straight line (line segment) to be a reference line. Further, at a predetermined number of measuring points, a current to a control value at a normal heater (heating apparatus) is measured to obtain a current value, a set point corresponding to a predetermined number of control values and a current value is set, The reference line may be set by connecting adjacent set points in a straight line.

제어값 및 측정값을 축으로 하는 2차원 평면의 좌표에서의 곡선 위에, 9개의 설정점을 설정한다. 또한, 적어도, 제어값의 최소값과, 제어값의 최대값에는, 각각 설정점을 설정한다. 다음에, 인접하는 2개의 설정점을 직선으로 서로 접속함으로써, 기준선을 작성한다. 예컨대, 9개의 설정점을 순서대로 접속하여 기준선을 작성한다. 기준선은, 8개의 선분으로 구성된 것이 된다.Nine set points are set on the curve in the coordinates of the two-dimensional plane about the control value and the measured value. In addition, a set point is set at least for the minimum value of the control value and the maximum value of the control value, respectively. Then, two adjacent set points are connected to each other by a straight line to create a reference line. For example, nine reference points are connected in order to create a reference line. The reference line is composed of eight line segments.

또한, 기준선을 작성하기 위한 설정점은, 다음에 나타내는 바와 같이 설정하여도 좋다. 먼저, 제어값 및 측정값을 축으로 하는 2차원 평면의 좌표에서, 히터 특성을 나타내는 곡선에서의 제어값의 최소값 및 최대값에 대응하여 설정점을 배치하고, 이들을 접속하는 제1 근사선을 설정한다. 또한, 제1 근사선에 대하여, 미리 정해진 상측 허용값선 및 하측 허용값선을 설정한다. 상측 허용값선과 하측 허용값선에 끼인 영역이, 허용 범위의 후보가 된다.The set point for creating the reference line may be set as follows. First, the set points are arranged corresponding to the minimum value and the maximum value of the control value in the curve representing the heater characteristic in the coordinates of the two-dimensional plane having the control value and the measured value as axes, and a first approximation line do. In addition, predetermined upper permissible value lines and lower permissible value lines are set for the first approximation line. The area sandwiched between the upper permissible value line and the lower permissible value line becomes the candidate of the permissible range.

전술한 바와 같이 2개의 설정점에 의해 제1 근사선을 결정하여, 허용 범위의 후보를 설정한 상태에서, 곡선이 허용 범위의 후보 내에 들어가고, 제1 근사선과 곡선의 최대 편차가, 미리 설정되어 있는 허용 편차보다 작은 것을 판단한다. 곡선이 허용 범위 내에 들어가고, 최대 편차가 허용 편차보다 작은 경우, 제1 근사선을 기준선으로 한다.The first approximation line is determined by the two set points as described above and the curve is set in the candidate of the allowable range while the candidate of the allowable range is set and the maximum deviation of the first approximate line and the curve is set in advance Which is smaller than the allowable deviation. If the curve falls within the allowable range and the maximum deviation is less than the allowable deviation, the first approximation line is taken as the reference line.

한편, 곡선이 허용 범위를 넘는 영역이 발생하고 있는 경우, 제1 근사선에 대하여, 측정값의 마이너스의 방향으로 곡선과 편차가 최대값이 되는 부분 및 측정값의 플러스의 방향으로 곡선과 편차가 최대값이 되는 부분을 구한다.On the other hand, when an area in which the curve exceeds the allowable range occurs, the curve and the deviation become the maximum value in the negative direction of the measured value with respect to the first approximation line, and the curve and the deviation in the positive direction of the measured value Find the part that gives the maximum value.

다음에, 구한 2개의 부분에서의 곡선 상에 새로운 설정점을 추가한다. 다음에, 추가함으로써 4개가 된 제어점을 접속하는 새로운 제2 근사선을 설정한다. 또한, 새로운 제2 근사선에 대하여, 미리 정해진 상측 허용값선 및 하측 허용값선을 설정한다.Next, a new set point is added on the curve in the two obtained portions. Next, a new second approximation line connecting the four control points is set by adding. Further, a predetermined upper permissible value line and a lower permissible value line are set for a new second approximation line.

이와 같이 하여 얻어진 상측 허용값선 및 하측 허용값선에 따른 허용 범위에 곡선이 들어가고, 제2 근사선과 곡선의 최대 편차가 허용 편차보다 작아져 있는 것을 확인한다. 예컨대 이 단계에서 곡선이 허용 범위에 들어가고, 제2 근사선과 곡선의 최대 편차가 허용 편차보다 작기 때문에, 제2 근사선을 기준선으로 한다.It is confirmed that a curve enters the allowable range according to the upper permissible value line and the lower permissible value line thus obtained and the maximum deviation of the second approximate line and the curve becomes smaller than the permissible deviation. For example, since the curve enters the allowable range at this stage and the maximum deviation of the second approximate line and the curve is smaller than the allowable deviation, the second approximate line is set as the reference line.

전술한 기준선의 작성 방법에 따르면, 최대 편차를 적절하게 설정함으로써, 실용적인 열화 판정이 가능한 허용 범위를, 설정점을 쓸데없이 늘리는 일없이 설정할 수 있다. 또한, 허용 편차의 설정 조건에 따라, 허용 범위와의 비교를 하는 일없이, 허용 편차와의 최대 편차와의 비교만으로 근사 곡선을 결정할 수 있다.According to the above-described method for creating the reference line, the allowable range in which practical deterioration determination can be performed can be set without unnecessarily increasing the set point by properly setting the maximum deviation. Further, the approximate curve can be determined only by comparing with the maximum deviation from the allowable deviation, without making a comparison with the permissible range, according to the setting condition of the allowable deviation.

또한, 다음에 나타내는 바와 같이 기준선을 작성하여도 좋다. 먼저, 정상 시의 히터(가열 장치)에서, 제어값의 최소·최대의 범위 내에서, 복수의 제어값을 설정하고, 설정한 각 제어값에서 히터 전류값을 측정한다. 예컨대, 제어값을 0∼100%의 범위에서 10% 폭으로 변화시켜, 각 제어값에서 히터 전류값을 측정한다. 이 측정의 결과 얻어진 각 제어값과 각 히터 전류값에 따른 복수의 설정점을 이용하여, 인접하는 설정점을 직선으로 접속한 절선을, 히터 특성을 절선 근사한 기준선으로 한다.In addition, the reference line may be created as follows. First, a plurality of control values are set within a range of the minimum and maximum control values in a normal heater (heating apparatus), and a heater current value is measured at each set control value. For example, the control value is varied in the range of 0 to 100% to 10% width, and the heater current value is measured at each control value. Using the plurality of set points corresponding to the respective control values and the heater current values obtained as a result of this measurement, the line connecting the adjacent set points by a straight line is defined as a reference line approximating the line heater characteristics.

또한, 본 발명은 이상에 설명한 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상 내에서, 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 많은 변형 및 조합이 실시 가능한 것은 명백하다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and it is obvious that many modifications and combinations can be made by a person having ordinary skill in the art within the technical scope of the present invention.

101: 기준 기억부(제1 기억부) 102: 지연 시간 기억부(제2 기억부)
103: 제어값 판정부 104: 전류 측정부
105: 지연 취득부 106: 열화 판정부
107: 표시부 111: 히터
112: 조작부 113: 제어부
114: 온도 측정부
101: reference storage unit (first storage unit) 102: delay time storage unit (second storage unit)
103: Control value judging unit 104: Current measuring unit
105: delay acquisition section 106: deterioration judgment section
107: Display portion 111: Heater
112: operating section 113:
114: Temperature measuring unit

Claims (6)

열화 진단 대상의 가열 장치를 구성하는 히터의 정상 시에 상기 가열 장치에 부여되는 제어값에 따라 상기 히터에 공급되는 전류값에 대하여 상측 허용값 및 하측 허용값을 정하여 상기 가열 장치의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 설정하는 제1 공정과,
정상 시의 상기 히터를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 상기 히터에 공급되는 전류값이 상기 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여, 지연 시간으로서 설정하는 제2 공정과,
상기 제어값이, 상기 히터를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 상기 히터를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정하는 제3 공정과,
상기 제3 공정에서, 상기 제어값이 상기 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태로부터 상기 온 제어값이라고 판정되는 상태로 이행한 온 이행 시점으로부터 상기 지연 시간이 경과한 경과 시점에서, 상기 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 제4 공정과,
상기 제4 공정에서, 상기 경과 시점에서 취득된 상기 측정값이 상기 허용 범위를 넘은 경우는, 상기 가열 장치가 열화한 것으로 판정하는 제5 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 열화 진단 방법.
The upper limit permissible value and the lower permissible limit value are set with respect to the current value supplied to the heater in accordance with the control value given to the heating device at the normal time of the heater constituting the heating apparatus to be subjected to the deterioration diagnosis, A first step of setting a permissible range for the light-
A second step of measuring the time from when the heater is changed from the OFF state to the ON state and then the current value supplied to the heater falls within the allowable range,
A third step of determining whether the control value is an off control value for turning off the heater or an on control value for turning on the heater,
In the third step, the heater is supplied to the heater at a time point at which the delay time elapses from a transition point from a transition from a state in which the control value is determined to be the OFF control value to a state in which the control value is determined to be the ON control value A fourth step of measuring a current to acquire a measured value,
And a fifth step of determining that the heating device is deteriorated if the measured value acquired at the elapsed time point exceeds the allowable range in the fourth step.
제1항에 있어서,
상기 제4 공정에서는, 상기 온 이행 시점으로부터 상기 경과 시점까지 상기 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하고,
상기 제5 공정에서는, 상기 측정값이 상기 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우는, 상기 가열 장치가 열화한 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 열화 진단 방법.
The method according to claim 1,
In the fourth step, the current supplied to the heater from the on-transition point to the elapsed time point is measured to obtain a measured value,
Wherein in the fifth step, when the time when the measured value exceeds the allowable range exceeds a set determination time, the deterioration diagnosis method determines that the heating apparatus has deteriorated.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제3 공정에서, 상기 제어값이 상기 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태에서 상기 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 제6 공정과,
상기 제6 공정에서 취득되는 측정값이 0 부근 이외인 상태가, 설정되어 있는 이상(異常) 판정 시간 계속된 경우는, 상기 히터에 이상이 발생하고 있다고 판정하는 제7 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 열화 진단 방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
A sixth step of measuring a current supplied to the heater in a state where the control value is determined to be the OFF control value in the third step and obtaining a measured value;
And a seventh step of determining that an abnormality has occurred in the heater when the abnormality determination time in which the measured value acquired in the sixth step is other than 0 is continued Lt; / RTI >
열화 진단 대상의 가열 장치를 구성하는 히터의 정상 시에 상기 가열 장치에 부여되는 제어값에 따라 상기 히터에 공급되는 전류값에 대하여 정해진 상측 허용값 및 하측 허용값으로부터 설정된 상기 가열 장치의 열화 판정을 하기 위한 허용 범위를 기억하는 제1 기억부와,
정상 시의 상기 히터를 오프 상태로부터 온 상태로 변경하고 나서 상기 히터에 공급되는 전류값이, 상기 허용 범위 내가 되기까지의 시간을 계측하여 얻어진 지연 시간을 기억하는 제2 기억부와,
상기 제어값이, 상기 히터를 오프 상태로 하는 오프 제어값 또는 상기 히터를 온 상태로 하는 온 제어값 중 어느 것인지를 판정하도록 구성된 제어값 판정부와,
상기 히터에 공급되는 전류를 측정하도록 구성된 전류 측정부와,
상기 제어값 판정부에서 상기 제어값이 상기 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태로부터 상기 온 제어값이라고 판정되는 상태로 이행한 온 이행 시점으로부터 상기 지연 시간이 경과한 경과 시점에서, 상기 전류 측정부가 측정하고 있는 측정값을 취득하는 지연 취득부와,
상기 지연 취득부가 상기 경과 시점에서 취득한 상기 측정값이 상기 허용 범위를 넘은 경우는, 상기 가열 장치가 열화한 것으로 판정하도록 구성된 열화 판정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열화 진단 장치.
The deterioration judgment of the heating device, which is set from the upper permissible value and the lower permissible value determined for the current value supplied to the heater in accordance with the control value given to the heating device at the normal time of the heater constituting the heating device to be subjected to deterioration diagnosis, A first storage unit for storing a permissible range for performing the above-
A second storage section for storing a delay time obtained by measuring a time until the current value supplied to the heater after changing the heater from the OFF state to the ON state at the normal time falls within the allowable range,
A control value determining unit configured to determine whether the control value is an off control value for turning the heater off or an on control value for turning the heater on;
A current measuring unit configured to measure a current supplied to the heater;
Control value judging section judges that the current value of the current control section has reached the predetermined value at the time point when the delay time elapses from the transition point from the transition point from the state in which the control value is determined as the OFF control value to the state in which it is judged as the ON control value, A delay acquiring unit for acquiring a measurement value that is being performed,
And a deterioration judging unit configured to judge that the heating device has deteriorated when the measured value acquired at the elapsed time exceeds the allowable range.
제4항에 있어서,
상기 지연 취득부는, 상기 온 이행 시점부터 상기 경과 시점까지 상기 전류 측정부가 측정하고 있는 측정값을 취득하도록 구성되고,
상기 열화 판정부는, 상기 지연 취득부가 취득하고 있는 측정값이 상기 허용 범위를 넘은 시간이, 설정되어 있는 판정 시간을 넘은 경우는, 상기 가열 장치가 열화한 것으로 판정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 열화 진단 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the delay acquiring unit is configured to acquire a measured value measured by the current measuring unit from the on transition point to the elapsed time point,
Wherein the deterioration judging section is configured to judge that the heating device has deteriorated when the time at which the measured value acquired by the delay acquiring section exceeds the allowable range exceeds a set judgment time Device.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제어값 판정부에서 상기 오프 제어값이라고 판정되어 있는 상태에서 상기 히터에 공급되는 전류를 측정하여 측정값을 취득하는 정지 시 취득부와,
상기 정지 시 취득부가 취득한 측정값이 0 부근 이외인 상태가 설정되어 있는 이상 판정 시간 계속된 경우는, 상기 히터에 이상이 발생한 것으로 판정하는 이상 판정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열화 진단 장치.
The method according to claim 4 or 5,
A stop-time acquisition unit that measures a current supplied to the heater in a state in which the control value determination unit determines that the control value is the OFF control value, and acquires a measured value;
And an abnormality judging section for judging that an abnormality has occurred in the heater when the abnormality determination time in which the measured value acquired by the stopping-time acquiring section is other than 0 is set is continued.
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