KR20180110503A - Memory device having voltage generating circuit - Google Patents

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KR20180110503A
KR20180110503A KR1020170040150A KR20170040150A KR20180110503A KR 20180110503 A KR20180110503 A KR 20180110503A KR 1020170040150 A KR1020170040150 A KR 1020170040150A KR 20170040150 A KR20170040150 A KR 20170040150A KR 20180110503 A KR20180110503 A KR 20180110503A
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Abstract

The present technique relates to a memory device. The memory device includes a memory block which includes a channel film formed in a vertical direction between junction regions included in a well, a source select line, word lines, and drain select lines surrounding the channel film, separated from each other and sequentially stacked; a first voltage source for generating voltages applied to source lines connected to the junction regions; and a second voltage source for generating voltages applied to the well. In the erase operation of the memory block, a first erase voltage generated in the first voltage source is applied to the source line. A second erase voltage generated in the second voltage source is applied to the well. The reliability of the memory device can be improved.

Description

전압 생성 회로를 포함하는 메모리 장치{Memory device having voltage generating circuit}[0001] The present invention relates to a memory device having a voltage generating circuit,

본 발명은 전압 생성 회로를 포함하는 메모리 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 다수의 전압원들(voltage sources)을 포함하는 전압 생성 회로 및 이를 포함하는 메모리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a memory device including a voltage generating circuit, and more particularly to a voltage generating circuit including a plurality of voltage sources and a memory device including the same.

메모리 장치는 스트링이 반도체 기판에 수평하게 배열된 2차원 구조로 형성되거나, 스트링이 반도체 기판에 수직으로 적층된 3차원 구조로 형성될 수 있다. 3차원 구조를 갖는 메모리 장치는 2차원 구조를 갖는 메모리 장치의 집적도 한계를 해소하기 위하여 고안된 메모리 장치로써, 반도체 기판 상에 수직방향으로 적층된 다수의 메모리 셀들을 포함할 수 있다. The memory device may be formed in a two-dimensional structure in which the strings are arranged horizontally on the semiconductor substrate, or a three-dimensional structure in which the strings are stacked on the semiconductor substrate in a vertical direction. A memory device having a three-dimensional structure may include a plurality of memory cells stacked vertically on a semiconductor substrate as a memory device designed to overcome the limitations of integration of a memory device having a two-dimensional structure.

본 발명의 실시예는 메모리 장치의 신뢰도를 개선할 수 있는 전압 생성 회로를 포함하는 메모리 장치를 제공한다. Embodiments of the present invention provide a memory device comprising a voltage generation circuit capable of improving reliability of a memory device.

본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는, 웰(well)에 포함된 접합 영역들 사이에서 수직 방향으로 형성된 채널막과, 상기 채널막을 감싸며 서로 이격되어 순차적으로 적층된 소스 셀렉트 라인, 워드 라인들 및 드레인 셀렉트 라인들이 포함된 메모리 블록; 상기 접합 영역들에 연결된 소스 라인들에 인가되는 전압들을 생성하는 제1 전압원; 및 상기 웰에 인가되는 전압들을 생성하는 제2 전압원을 포함하며, 상기 메모리 블록의 소거 동작 시, 상기 제1 전압원에서 생성된 제1 소거 전압은 상기 소스 라인에 인가되고, 상기 제2 전압원에서 생성된 제2 소거 전압은 상기 웰에 인가되는 메모리 장치를 포함한다. A memory device according to an embodiment of the present invention includes a channel film formed in a vertical direction between junction regions included in a well and source select lines, word lines, and source lines surrounding the channel film and sequentially stacked, A memory block including drain select lines; A first voltage source for generating voltages applied to source lines connected to the junction regions; And a second voltage source for generating voltages applied to the well, wherein during a erase operation of the memory block, a first erase voltage generated at the first voltage source is applied to the source line, and a second erase voltage generated at the second voltage source And a second erase voltage applied to the well is applied to the well.

본 발명의 실시예에 따른 메모리 장치는, 웰(well) 상에 형성되고, 소스 라인과 비트 라인들 사이에 연결된 스트링들을 포함하는 메모리 블록; 및 상기 스트링들에 포함된 메모리 셀들의 소거 동작 시, 상기 소스 라인에 제1 소거 전압을 인가하고 상기 웰에 제2 소거 전압을 각각 인가하도록 구성된 주변 회로들을 포함하는 메모리 장치를 포함한다. A memory device according to an embodiment of the present invention includes: a memory block formed on a well and including strings connected between a source line and bit lines; And peripheral circuits configured to apply a first erase voltage to the source line and a second erase voltage to the well, respectively, in an erase operation of memory cells included in the strings.

본 기술은 메모리 장치의 소거 동작의 신뢰도를 개선할 수 있다. This technique can improve the reliability of the erase operation of the memory device.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 메모리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2의 메모리 블록을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 3의 스트링의 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전압원들을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 내지 도 8은 웰(well)과 메모리 블록의 구성에 따른 소거 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 소거 동작의 실시예들을 설명하기 위한 도면들이다.
도 12는 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설기 위한 도면이다.
1 is a diagram for explaining a memory system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram for explaining the memory device of FIG.
FIG. 3 is a diagram for explaining the memory block of FIG. 2. FIG.
4 is a cross-sectional view for explaining the structure of the string of FIG.
5 is a view for explaining voltage sources according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 6 to 8 are views for explaining an erase operation according to the configuration of a well and a memory block.
9 to 11 are diagrams for explaining embodiments of the erase operation of the present invention.
12 is a diagram for explaining another embodiment of the memory system including the memory device shown in Fig.
FIG. 13 is a diagram for explaining another embodiment of the memory system including the memory device shown in FIG. 2. FIG.
14 is a diagram for explaining another embodiment of a memory system including the memory device shown in Fig.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시 예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish it, will be described with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. The embodiments are provided so that those skilled in the art can easily carry out the technical idea of the present invention to those skilled in the art.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" . Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 시스템을 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for explaining a memory system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 1000)은 데이터가 저장되는 메모리 장치(Memory Device; 1100)와, 호스트(Host; 2000)의 제어에 따라 메모리 장치(1100)를 제어하는 메모리 컨트롤러(Memory Controller; 1200)를 포함할 수 있다. 1, a memory system 1000 includes a memory device 1100 for storing data, a memory controller 1100 for controlling the memory device 1100 under the control of a host 2000, A memory controller 1200, and the like.

호스트(2000)는 PCI-E(Peripheral Component Interconnect - Express), ATA(Advanced Technology Attachment), SATA(Serial ATA), PATA(Parallel ATA), 또는 SAS(serial attached SCSI)와 같은 인터페이스 프로토콜을 사용하여 메모리 시스템(1000)과 통신할 수 있다. 또한 호스트(2000)와 메모리 시스템(1000) 간의 인터페이스 프로토콜들은 상술한 예에 한정되지 않으며, USB(Universal Serial Bus), MMC(Multi-Media Card), ESDI(Enhanced Small Disk Interface), 또는 IDE(Integrated Drive Electronics) 등과 같은 다른 인터페이스 프로토콜들 중 하나일 수 있다.The host 2000 may be connected to the memory 2000 using an interface protocol such as Peripheral Component Interconnect-Express (PCI-E), Advanced Technology Attachment (ATA), Serial ATA (SATA), Parallel ATA (PATA) And can communicate with the system 1000. In addition, the interface protocols between the host 2000 and the memory system 1000 are not limited to the above-described examples. For example, USB (Universal Serial Bus), Multi-Media Card (MMC), Enhanced Small Disk Interface (ESDI) Drive Electronics) and the like.

메모리 컨트롤러(1200)는 메모리 시스템(1000)의 동작을 전반적으로 제어하며, 호스트(2000)와 메모리 장치(1100) 사이의 데이터 교환을 제어할 수 있다. 예를 들면, 메모리 컨트롤러(1200)는 호스트(2000)의 요청에 따라 메모리 장치(1100)를 제어하여 데이터를 프로그램(program)하거나 리드(read)할 수 있다. 또한, 메모리 컨트롤러(1200)는 메모리 장치(1100)에 포함된 메인 메모리 블록들 및 서브 메모리 블록들의 정보를 저장하고, 프로그램 동작을 위해 로딩된 데이터 량에 따라 메인 메모리 블록 또는 서브 메모리 블록에 프로그램 동작이 수행되도록 메모리 장치(1100)를 선택할 수 있다. The memory controller 1200 controls the overall operation of the memory system 1000 and can control the exchange of data between the host 2000 and the memory device 1100. For example, the memory controller 1200 may control the memory device 1100 in response to a request from the host 2000 to program or read data. In addition, the memory controller 1200 stores information on main memory blocks and sub memory blocks included in the memory device 1100, and performs program operation on a main memory block or a sub memory block according to the amount of data loaded for the program operation The memory device 1100 may be selected to perform.

메모리 장치(1100)는 메모리 컨트롤러(1200)의 제어에 따라 프로그램(program), 리드(read) 또는 소거(erase) 동작을 수행할 수 있다. The memory device 1100 may perform a program, read, or erase operation under the control of the memory controller 1200. [

도 2는 도 1의 메모리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 2 is a diagram for explaining the memory device of FIG.

도 2를 참조하면, 메모리 장치(1100)는 데이터가 저장되는 메모리 셀 어레이(100)를 포함할 수 있다. 메모리 장치(1100)는 메모리 셀 어레이(100)에 데이터를 저장하기 위한 프로그램 동작(program operation), 저장된 데이터를 출력하기 위한 리드 동작(read operation) 및 저장된 데이터를 소거하기 위한 소거 동작(erase operation)을 수행하도록 구성된 주변 회로들(200)을 포함할 수 있다. 메모리 장치(1100)는 메모리 컨트롤러(도 1의 1200)의 제어에 따라 주변 회로들(200)을 제어하는 제어 로직(300)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2, the memory device 1100 may include a memory cell array 100 in which data is stored. The memory device 1100 includes a program operation for storing data in the memory cell array 100, a read operation for outputting the stored data, and an erase operation for erasing the stored data, (Not shown). Memory device 1100 may include control logic 300 that controls peripheral circuits 200 under the control of a memory controller (1200 of FIG. 1).

메모리 셀 어레이(100)는 다수의 메모리 블록들(MB1~MBk; k는 양의 정수)을 포함할 수 있다. 각각의 메모리 블록들(MB1~MBk)에는 로컬 라인들(local lines; LL)과 비트 라인들(BL1~BLm; m은 양의 정수)이 연결될 수 있다. 예를 들면, 로컬 라인들(LL)은 제1 셀렉트 라인(first select line), 제2 셀렉트 라인(second select line), 제1 및 제2 셀렉트 라인들 사이에 배열된 다수의 워드 라인들(word lines)을 포함할 수 있다. 여기서, 제1 셀렉트 라인은 소스 셀렉트 라인(source select line)일 수 있고, 제2 셀렉트 라인은 드레인 셀렉트 라인(drain select line)일 수 있다. 또한, 로컬 라인들(LL)은 제1 셀렉트 라인과 워드 라인들 사이, 제2 셀렉트 라인과 워드 라인들 사이에 배열된 더미 라인들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 로컬 라인들(LL)은 워드 라인들, 드레인 및 소스 셀렉트 라인들 및 소스 라인들(source lines)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 로컬 라인들(LL)은 더미 라인들(dummy lines)을 더 포함할 수 있다. 또한, 로컬 라인들(LL)은 적어도 하나 이상의 소스 라인(source line)을 포함할 수 있다. The memory cell array 100 may include a plurality of memory blocks MB1 to MBk (k is a positive integer). Local lines LL and bit lines BL1 to BLm (where m is a positive integer) may be connected to each of the memory blocks MB1 to MBk. For example, the local lines LL may include a first select line, a second select line, a plurality of word lines arranged between the first and second select lines lines. Here, the first select line may be a source select line and the second select line may be a drain select line. In addition, the local lines LL may include dummy lines arranged between the first select line and the word lines, and between the second select line and the word lines. For example, local lines LL may include word lines, drain and source select lines, and source lines. For example, the local lines LL may further include dummy lines. In addition, the local lines LL may include at least one or more source lines.

로컬 라인들(LL)의 일부는 메모리 블록들(MB1~MBk)에 각각 연결되거나 다수의 메모리 블록들(MB1~MBk)에 공통으로 연결될 수 있다. 비트 라인들(BL1~BLm)은 메모리 블록들(MB1~MBk)에 공통으로 연결될 수 있다. 메모리 블록들(MB1~MBk)은 3차원 구조로 구현될 수 있다. 예를 들면, 3차원 구조의 메모리 블록들에서 페이지들은 기판으로부터 수직 방향으로 배열될 수 있다. 여기서 페이지는 동일한 워드 라인에 연결된 메모리 셀들의 그룹을 의미한다. A part of the local lines LL may be connected to the memory blocks MB1 to MBk respectively or may be connected in common to the plurality of memory blocks MB1 to MBk. The bit lines BL1 to BLm may be commonly connected to the memory blocks MB1 to MBk. The memory blocks MB1 to MBk may be implemented in a three-dimensional structure. For example, in memory blocks of a three-dimensional structure, pages may be arranged vertically from the substrate. Here, a page refers to a group of memory cells connected to the same word line.

주변 회로들(200)은 제어 로직(300)의 제어에 따라 선택된 메모리 블록의 프로그램, 리드 및 소거 동작을 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 주변 회로들(200)은 제어 로직(300)의 제어에 따라 제1 셀렉트 라인, 제2 셀렉트 라인 및 워드 라인들에 검증 전압 및 패스 전압들을 공급하고, 제1 셀렉트 라인, 제2 셀렉트 라인 및 워드 라인들을 선택적으로 디스차지할 수 있고, 워드 라인들 중 선택된 워드 라인에 연결된 메모리 셀들을 검증할 수 있다. 예를 들면, 주변 회로들(200)은 전압 생성 회로(voltage generating circuit; 210), 로우 디코더(row decoder; 220), 페이지 버퍼 그룹(page buffer group; 230), 컬럼 디코더(column decoder; 240), 입출력 회로(input/output circuit; 250) 및 센싱 회로(sensing circuit; 260)를 포함할 수 있다. Peripheral circuits 200 may be configured to perform program, read, and erase operations of the selected memory block under the control of control logic 300. [ For example, the peripheral circuits 200 supply the verify voltage and the pass voltages to the first select line, the second select line and the word lines under the control of the control logic 300, Select lines and word lines, and verify memory cells connected to a selected one of the word lines. For example, the peripheral circuits 200 may include a voltage generating circuit 210, a row decoder 220, a page buffer group 230, a column decoder 240, An input / output circuit 250, and a sensing circuit 260. The input /

전압 생성 회로(210)는 동작 코드(OP_CD)에 응답하여 프로그램, 리드 및 소거 동작들에 사용되는 다양한 동작 전압들(Vop)을 각각 생성하기 위한 다수의 전압원들(voltage sources)을 포함할 수 있다. 전압원들은 각각 독립적으로 전압들을 생성할 수 있다. 또한, 전압 생성 회로(210)는 동작 코드(OP_CD)에 응답하여 로컬 라인들(LL)을 선택적으로 플로팅(floating)시키거나 다양한 레벨의 전압들을 로컬 라인들(LL)에 선택적으로 인가할 수 있다. 예를 들면, 전압 생성 회로(210)는 제어 로직(300)의 제어에 따라 프로그램 전압들, 검증 전압들, 패스 전압들, 셀렉트 라인 전압들, 리드 전압들, 소거 전압들, 소스 라인 전압들, 접지 전압 및 다양한 레벨의 전압들을 생성할 수 있다. The voltage generation circuit 210 may include a plurality of voltage sources for generating various operating voltages Vop each used for program, read and erase operations in response to an operation code OP_CD . The voltage sources can generate voltages independently of each other. In addition, the voltage generation circuit 210 may selectively float the local lines LL or selectively apply various levels of voltages to the local lines LL in response to the opcode OP_CD . For example, the voltage generating circuit 210 may control the program voltages, verify voltages, pass voltages, select line voltages, read voltages, erase voltages, source line voltages, Ground voltage and various levels of voltages.

소거 동작을 예로 들면, 전압 생성 회로(210)는 워드 라인들에 접지 전압을 인가하거나 양전압(positive voltage)을 인가할 수 있다. 전압 생성 회로(210)는 제1 및 제2 셀렉트 라인들에 선택적으로 셀렉트 라인 전압들 또는 접지 전압을 인가하거나, 제1 및 제2 셀렉트 라인들을 플로킹 시킬 수 있다. 전압 생성 회로(210)는 소스 라인에 제1 소거 전압을 인가할 수 있고, 웰(well)에 제2 소거 전압을 인가할 수 있다. 여기서, 제1 및 제2 소거 전압들은 접지 전압(예컨대, 0V)보다 높으며, 서로 동일한 레벨로 설정되거나 서로 다른 레벨로 설정될 수 있다. For example, in the erase operation, the voltage generating circuit 210 may apply a ground voltage or a positive voltage to the word lines. The voltage generating circuit 210 may selectively apply select line voltages or a ground voltage to the first and second select lines, or may flock the first and second select lines. The voltage generating circuit 210 can apply the first erase voltage to the source line and apply the second erase voltage to the well. Here, the first and second erase voltages are higher than the ground voltage (e.g., 0V) and may be set to the same level or set to different levels.

로우 디코더(row decoder; 220)는 로우 어드레스(RADD)에 응답하여 동작 전압들(Vop)을 선택된 메모리 블록에 연결된 로컬 라인들(LL)에 전달할 수 있다. The row decoder 220 may transmit the operating voltages Vop to the local lines LL connected to the selected memory block in response to the row address RADD.

페이지 버퍼 그룹(230)은 비트 라인들(BL1~BLm)에 연결된 다수의 페이지 버퍼들(PB1~PBm)을 포함할 수 있다. 페이지 버퍼들(PB1~PBm)은 페이지 버퍼 제어 신호들(PBSIGNALS)에 응답하여 동작할 수 있다. 예를 들면, 페이지 버퍼들(PB1~PBm)은 비트 라인들(BL1~BLm)을 통해 수신된 데이터를 임시로 저장하거나, 리드 또는 검증 동작 시, 비트 라인들(BL1~BLm)의 전압 또는 전류를 센싱(sensing)할 수 있다. The page buffer group 230 may include a plurality of page buffers PB1 to PBm connected to the bit lines BL1 to BLm. The page buffers PB1 to PBm may operate in response to the page buffer control signals PBSIGNALS. For example, the page buffers PB1 to PBm temporarily store the data received via the bit lines BL1 to BLm, or the voltage or current of the bit lines BL1 to BLm during the read or verify operation Can be sensed.

컬럼 디코더(240)는 컬럼 어드레스(CADD)에 응답하여 입출력 회로(250)와 페이지 버퍼 그룹(230) 사이에서 데이터를 전달할 수 있다. 예를 들면, 컬럼 디코더(240)는 데이터 라인들(DL)을 통해 페이지 버퍼들(PB)과 데이터를 주고받거나, 컬럼 라인들(CL)을 통해 입출력 회로(250)와 데이터를 주고받을 수 있다. The column decoder 240 may transfer data between the input / output circuit 250 and the page buffer group 230 in response to the column address CADD. For example, the column decoder 240 may exchange data with the page buffers PB via the data lines DL, or may exchange data with the input / output circuit 250 through the column lines CL .

입출력 회로(250)는 메모리 컨트롤러(도 1의 1200)로부터 전달받은 커맨드(CMD) 및 어드레스(ADD)를 제어 로직(300)에 전달하거나, 데이터(DATA)를 컬럼 디코더(240)와 주고받을 수 있다. The input / output circuit 250 transfers the command CMD and the address ADD received from the memory controller 1200 (FIG. 1) to the control logic 300 or the data DATA to / from the column decoder 240 have.

센싱 회로(260)는 리드 동작(read operation) 또는 검증 동작(verify operation)시, 허용 비트(VRY_BIT<#>)에 응답하여 기준 전류를 생성하고, 페이지 버퍼 그룹(230)으로부터 수신된 센싱 전압(VPB)과 기준 전류에 의해 생성된 기준 전압을 비교하여 패스 신호(PASS) 또는 페일 신호(FAIL)를 출력할 수 있다. The sensing circuit 260 generates a reference current in response to a permission bit VRY_BIT <#> at the time of a read operation or a verify operation and outputs a sensing voltage VPB) and the reference voltage generated by the reference current to output the pass signal PASS or the fail signal FAIL.

제어 로직(300)은 커맨드(CMD) 및 어드레스(ADD)에 응답하여 동작 코드(OP_CD), 로우 어드레스(RADD), 페이지 버퍼 제어 신호들(PBSIGNALS) 및 허용 비트(VRY_BIT<#>)를 출력하여 주변 회로들(200)을 제어할 수 있다. 또한, 제어 로직(300)은 패스 또는 페일 신호(PASS 또는 FAIL)에 응답하여 검증 동작이 패스 또는 페일 되었는지를 판단할 수 있다. The control logic 300 outputs an operation code OP_CD, a row address RADD, page buffer control signals PBSIGNALS and a permission bit VRY_BIT <# > in response to the command CMD and the address ADD The peripheral circuits 200 can be controlled. In addition, the control logic 300 may determine whether the verify operation has passed or failed in response to the pass or fail signal (PASS or FAIL).

도 3은 도 2의 메모리 블록을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 3 is a diagram for explaining the memory block of FIG. 2. FIG.

도 3을 참조하면, 메모리 셀 어레이(100)는 다수의 메모리 블록들(MB1~MBk)을 포함할 수 있다. 도 3에서는 이해를 돕기 위해 제1 메모리 블록(MB1)의 내부 구성이 도시되고, 나머지 메모리 블록들(MB2~MBk)의 내부 구성은 생략되어 있다. 제2 내지 제k 메모리 블록들(MB1~MBk)도 제1 메모리 블록(MB1)과 동일하게 구성될 수 있다. Referring to FIG. 3, the memory cell array 100 may include a plurality of memory blocks MB1 to MBk. 3, the internal structure of the first memory block MB1 is shown and the internal structure of the remaining memory blocks MB2 to MBk is omitted for the sake of understanding. The second to k-th memory blocks MB1 to MBk may be configured similarly to the first memory block MB1.

제1 메모리 블록(MB1)은 다수의 스트링들(ST11'~ST1m', ST21'~ST2m')을 포함할 수 있다. 다수의 스트링들(ST11'~ST1m', ST21'~ST2m') 각각은 수직 방향(Z 방향)을 따라 연장될 수 있다. 제1 메모리 블록(MB1) 내에서, 행 방향(X 방향)으로 m개의 스트링들이 배열될 수 있다. 도 3에서는 열 방향(Y 방향)으로 2개의 스트링들이 배열되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의를 위한 것으로서 열 방향(Y 방향)으로 3개 이상의 스트링들이 배열될 수 있다.The first memory block MB1 may include a plurality of strings ST11 'to ST1m', ST21 'to ST2m'. Each of the plurality of strings ST11 'to ST1m', ST21 'to ST2m' may extend along the vertical direction (Z direction). Within the first memory block MB1, m strings in the row direction (X direction) may be arranged. In FIG. 3, two strings are shown to be arranged in the column direction (Y direction), but this is for convenience of description, and three or more strings may be arranged in the column direction (Y direction).

다수의 스트링들(ST11'~ST1m', ST21'~ST2m') 각각은, 적어도 하나의 소스 셀렉트 트랜지스터(SST), 제 1 내지 제 n 메모리 셀들(MC1~MCn), 그리고 적어도 하나의 드레인 셀렉트 트랜지스터(DST)를 포함할 수 있다. Each of the plurality of strings ST11 'to ST1m' and ST21 'to ST2m' includes at least one source select transistor (SST), first to nth memory cells MC1 to MCn, and at least one drain select transistor (DST).

각 스트링의 소스 셀렉트 트랜지스터(SST)는 소스 라인(SL)과 메모리 셀들(MC1~MCn) 사이에 연결될 수 있다. 동일한 행에 배열된 스트링들의 소스 셀렉트 트랜지스터들은 동일한 소스 셀렉트 라인에 연결될 수 있다. 제1 행에 배열된 스트링들(ST11'~ST1m')의 소스 셀렉트 트랜지스터들은 제1 소스 셀렉트 라인(SSL1)에 연결될 수 있다. 제2 행에 배열된 스트링들(ST21'~ST2m')의 소스 셀렉트 트랜지스터들은 제2 소스 셀렉트 라인(SSL2)에 연결될 수 있다. 다른 실시 예로서, 스트링들(ST11'~ST1m', ST21'~ST2m')의 소스 셀렉트 트랜지스터들은 하나의 소스 셀렉트 라인에 공통으로 연결될 수 있다.The source select transistor SST of each string may be connected between the source line SL and the memory cells MC1 to MCn. Source select transistors of strings arranged in the same row may be connected to the same source select line. The source select transistors of the strings ST11 'to ST1m' arranged in the first row may be connected to the first source select line SSL1. The source select transistors of the strings ST21 'to ST2m' arranged in the second row may be connected to the second source select line SSL2. As another embodiment, the source select transistors of the strings ST11 'to ST1m', ST21 'to ST2m' may be connected in common to one source select line.

각 스트링의 제1 내지 제n 메모리 셀들(MC1~MCn)은 소스 셀렉트 트랜지스터(SST)와 드레인 셀렉트 트랜지스터(DST) 사이에서 서로 직렬로 연결될 수 있다. 제1 내지 제n 메모리 셀들(MC1~MCn)의 게이트들은 각각 제1 내지 제n 워드 라인들(WL1~WLn)에 연결될 수 있다.The first to nth memory cells MC1 to MCn of each string may be connected in series between the source select transistor SST and the drain select transistor DST. The gates of the first to n-th memory cells MC1 to MCn may be connected to the first to the n-th word lines WL1 to WLn, respectively.

실시 예로서, 제1 내지 제n 메모리 셀들(MC1~MCn) 중 적어도 하나는 더미 메모리 셀로서 이용될 수 있다. 더미 메모리 셀이 제공되는 경우, 해당 스트링의 전압 또는 전류는 안정적으로 제어될 수 있다. 이에 따라 메모리 블록(MB1)에 저장된 데이터의 신뢰성이 향상될 수 있다.As an embodiment, at least one of the first to n &lt; th &gt; memory cells MC1 to MCn may be used as a dummy memory cell. When a dummy memory cell is provided, the voltage or current of the string can be stably controlled. Accordingly, reliability of data stored in the memory block MB1 can be improved.

각 스트링의 드레인 셀렉트 트랜지스터(DST)는 비트 라인과 메모리 셀들(MC1~MCn) 사이에 연결될 수 있다. 행 방향으로 배열되는 스트링들의 드레인 셀렉트 트랜지스터들(DST)은 행 방향으로 연장되는 드레인 셀렉트 라인에 연결될 수 있다. 제1 행의 스트링들(CS11'~CS1m')의 드레인 셀렉트 트랜지스터들(DST)은 제1 드레인 셀렉트 라인(DSL1)에 연결될 수 있다. 제2 행의 스트링들(CS21'~CS2m')의 드레인 셀렉트 트랜지스터들(DST)은 제2 드레인 셀렉트 라인(DSL2)에 연결될 수 있다.The drain select transistor DST of each string can be connected between the bit line and the memory cells MC1 to MCn. The drain select transistors DST of the strings arranged in the row direction may be connected to a drain select line extending in the row direction. The drain select transistors DST of the strings CS11 'to CS1m' of the first row may be connected to the first drain select line DSL1. The drain select transistors DST of the strings CS21 'to CS2m' of the second row may be connected to the second drain select line DSL2.

도 4는 도 3의 스트링의 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view for explaining the structure of the string of FIG.

도 4를 참조하면, 웰(well; WE)이 형성된 기판 상에 필라(pillar; 44, 46)가 형성될 수 있다. 웰(WE)은 기판에 불순물을 도핑하여 형성할 수 있다. 웰(WE) 내에는 접합 영역들(junctions; 42)이 형성될 수 있다. 접합 영역들(42)은 웰(WE)과 서로 다른 타입(type)의 불순물을 도핑하여 형성할 수 있다. 필라(44, 46)는 접합 영역들(42) 사이의 웰(WE) 상부에 형성될 수 있다. 필라(44, 46)는 내부 절연막(44) 및 채널막(46)을 포함할 수 있다. 내부 절연막(44)은 원기둥 형태의 절연물질로 형성될 수 있다. 채널막(46)은 내부 절연막(44)을 감싸는 원통 형태의 폴리실리콘막으로 형성될 수 있다. 소스 셀렉트 라인들(SSL1), 워드 라인들(WL1~WLn) 및 드레인 셀렉트 라인들(DSL1)은 필라(44, 46)의 주변을 감싸면서 서로 이격되어 형성될 수 있다. 소스 셀렉트 트랜지스터들은 소스 셀렉트 라인들(SSL1)과 채널막(46) 사이에 형성될 수 있다. 메모리 셀들은 워드 라인들(WL1~WLn)과 채널막(46) 사이에 형성될 수 있다. 드레인 셀렉트 트랜지스터들은 드레인 셀렉트 라인들(DSL1)과 채널막(46) 사이에 형성될 수 있다. 필라(44, 46)의 상부에는 캡핑막(48)이 형성될 수 있다. 캡핑막(48)은 원기둥 형태의 폴리실리콘막으로 형성될 수 있다. 캡핑막(48)은 비트 라인(BL)에 연결될 수 있다. Referring to FIG. 4, pillars 44 and 46 may be formed on a substrate on which a well (WE) is formed. The well WE can be formed by doping an impurity into a substrate. Junctions 42 may be formed in the well WE. The junction regions 42 may be formed by doping impurities of different types from the well WE. The pillars 44 and 46 may be formed on the well WE between the junction regions 42. [ The pillars 44 and 46 may include an inner insulating film 44 and a channel film 46. The inner insulating film 44 may be formed of a cylindrical insulating material. The channel film 46 may be formed of a cylindrical polysilicon film surrounding the inner insulating film 44. The source select lines SSL1, the word lines WL1 to WLn and the drain select lines DSL1 may be formed around the pillars 44 and 46 while being spaced apart from each other. Source select transistors may be formed between the source select lines SSL1 and the channel film 46. [ The memory cells may be formed between the word lines (WL1 to WLn) and the channel film (46). Drain select transistors may be formed between the drain select lines DSL1 and the channel film 46. [ A capping layer 48 may be formed on the upper portions of the pillars 44 and 46. The capping film 48 may be formed of a polysilicon film in a cylindrical shape. The capping film 48 may be connected to the bit line BL.

접합 영역들(42)에는 소스 라인(SL)이 연결될 수 있으며, 소거 동작 시 제1 소거 전압(Vera1)이 인가될 수 있다. 소거 동작 시, 웰(WE)에는 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 소거 전압(Vera1)과 제2 소거 전압(Vera2)은 서로 다른 전압원들로부터 생성될 수 있다. 제1 소거 전압(Vera1)과 제2 소거 전압(Vera2)은 서로 동일한 레벨로 생성되거나 서로 다른 레벨로 생성될 수 있다. The source lines SL may be connected to the junction regions 42, and the first erase voltage Vera1 may be applied during the erase operation. In the erase operation, the second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE. For example, the first erase voltage Vera1 and the second erase voltage Vera2 may be generated from different voltage sources. The first erase voltage Vera1 and the second erase voltage Vera2 may be generated at the same level or may be generated at different levels.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전압원들을 설명하기 위한 도면이다. 5 is a view for explaining voltage sources according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 전압 생성 회로(210)는 다양한 레벨을 갖는 전압들을 선택적으로 생성하기 위한 다수의 전압원들을 포함할 수 있다. 전압원들은 서로 독립적으로 동작할 수 있다. 예를 들면, 전압 생성 회로(210)는 드레인 셀렉트 라인 전압원(DSL_VG), 워드 라인 전압원(WL_VG), 소스 셀렉트 라인 전압원(SSL_VG), 소스 라인 전압원(SL_VG) 및 웰 전압원(WE_VG)을 포함할 수 있다. 소거 동작 시 전압 생성 회로(210)가 생성하는 전압들을 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 5, the voltage generation circuit 210 may include a plurality of voltage sources for selectively generating voltages having various levels. The voltage sources can operate independently of each other. For example, the voltage generation circuit 210 may include a drain select line voltage source DSL_VG, a word line voltage source WL_VG, a source select line voltage source SSL_VG, a source line voltage source SL_VG, and a well voltage source WE_VG. have. The voltages generated by the voltage generation circuit 210 during the erase operation will be described in detail as follows.

드레인 셀렉트 라인 전압원(DSL_VG)은 드레인 셀렉트 라인들(도 4의 DSL1)에 인가될 드레인 셀렉트 라인 전압들(Vdsl)을 생성하거나, 드레인 셀렉트 라인들(DSL1)에 접지 전압(0V)을 인가하거나, 드레인 셀렉트 라인들(DSL1)을 플로팅시킬 수 있다. The drain select line voltage source DSL_VG generates drain select line voltages Vdsl to be applied to the drain select lines DSL1 of FIG. 4, applies a ground voltage (0V) to the drain select lines DSL1, The drain select lines DSL1 can be floated.

워드 라인 전압원(WL_VG)은 워드 라인들(도 4의 WL1~WLn)에 인가될 워드 라인 전압들(Vwl)을 생성하거나, 워드 라인들(WL1~WLn)에 접지 전압(0V)을 인가할 수 있다. The word line voltage source WL_VG can generate the word line voltages Vwl to be applied to the word lines WL1 to WLn in FIG. 4 or the ground voltage 0V to the word lines WL1 to WLn have.

소스 셀렉트 라인 전압원(SSL_VG)은 소스 셀렉트 라인들(도 4의 SSL1)에 인가될 소스 셀렉트 라인 전압들(Vssl)을 생성하거나, 소스 셀렉트 라인들(SSL1)에 접지 전압(0V)을 인가하거나, 소스 셀렉트 라인들(SSL1)을 플로팅시킬 수 있다. The source select line voltage source SSL_VG generates source select line voltages Vssl to be applied to the source select lines (SSL1 in FIG. 4), applies a ground voltage (0 V) to the source select lines SSL1, The source select lines SSL1 can be floated.

소스 라인 전압원(SL_VG)은 소스 라인(도 4의 SL)에 인가될 제1 소거 전압(Vera1)을 생성할 수 있다. The source line voltage source SL_VG may generate the first erase voltage Vera1 to be applied to the source line (SL in Fig. 4).

웰 전압원(WE_VG)은 웰(도 4의 WE)에 인가될 제2 소거 전압(Vera2)을 생성할 수 있다. The well voltage source WE_VG may generate the second erase voltage Vera2 to be applied to the well (WE in Fig. 4).

도 6 내지 도 8은 웰(well)과 메모리 블록의 구성에 따른 소거 동작을 설명하기 위한 도면들이다. FIGS. 6 to 8 are views for explaining an erase operation according to the configuration of a well and a memory block.

도 6은 하나의 웰(well)에 하나의 메모리 블록이 형성된 메모리 장치의 실시예를 나타낸다. 6 shows an embodiment of a memory device in which one memory block is formed in one well.

도 6을 참조하면, 제1 메모리 블록(MB1)은 제1 웰(WE1) 내에 형성될 수 있고, 제2 메모리 블록(MB2)은 제2 웰(WE2) 내에 형성될 수 있다. 이러한 방식으로 제k 메모리 블록(MBk)은 제k 웰(WEk) 내에 형성될 수 있다. 제1 내지 제k 웰들(WE1~WEk)은 전기적으로 서로 격리되도록 형성된다. Referring to FIG. 6, the first memory block MB1 may be formed in the first well WE1, and the second memory block MB2 may be formed in the second well WE2. In this manner, the kth memory block MBk may be formed in the kth well WEk. The first to k-th wells WE1 to WEk are electrically isolated from each other.

메모리 장치의 소거 동작 시, 소거 전압(erase voltage)은 소스 라인(source line)과 웰(well)에 각각 인가될 수 있다. 제2 메모리 블록(MB2)이 소거 대상 블록인 경우, 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 메모리 블록(MB2)의 소스 라인에 인가되고, 제2 소거 전압(Vera2)은 제2 웰(WE2)에 각각 인가될 수 있다. 여기서 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 소거 전압(Vera2)과 같은 레벨로 설정되거나 다른 레벨로 설정될 수 있다. In the erase operation of the memory device, an erase voltage may be applied to the source line and the well, respectively. The first erase voltage Vera1 is applied to the source line of the second memory block MB2 and the second erase voltage Vera2 is applied to the second well WE2 when the second memory block MB2 is a block to be erased, Respectively. Here, the first erase voltage Vera1 may be set to the same level as the second erase voltage Vera2 or may be set to another level.

도 4 및 도 6을 참조하여 구체적으로 설명하면, 소거 동작 시 소스 라인(SL)에는 제1 소거 전압(Vera1)이 인가되고, 웰(WE)에는 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 소거 전압(Vera1)과 제2 소거 전압(Vera2)은 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 동시에 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 소거 전압(Vera1)이 소스 라인(SL)에 인가된 이후에 제2 소거 전압(Vera2)이 웰(WE)에 인가될 수도 있다. 다만, 소스 라인(SL)에 접지 전압이 인가된 상태에서 제2 소거 전압(Vera2)이 웰(WE)에 인가되지 않도록 한다. 상술한 바와 같이, 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 소거 전압이 인가되면 소거 전압 채널에 빠르게 포싱(forcing)되므로, 소거 동작 시간이 단축될 수 있다. 또한, 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 인가되는 소거 전압들이 서로 다른 전압원들(도 5의 SL_VG 및 WE_VG)로부터 생성되므로, 메모리 장치에 따라 소거 전압을 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 소거 전압들이 인가되는 시간을 각각 조절할 수 있으므로, 소거 동작을 용이하게 조절할 수 있다. 4 and 6, the first erase voltage Vera1 is applied to the source line SL and the second erase voltage Vera2 is applied to the well WE during the erase operation . For example, the first erase voltage Vera1 and the second erase voltage Vera2 can be simultaneously applied to the source line SL and the well WE. For example, after the first erase voltage Vera1 is applied to the source line SL, the second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE. However, the second erase voltage Vera2 is not applied to the well WE in a state where the ground voltage is applied to the source line SL. As described above, when the erase voltage is applied to the source line SL and the well WE, the erase operation time can be shortened because the erase voltage is quickly forcibly injected into the erase voltage channel. In addition, since the erase voltages applied to the source line SL and the well WE are generated from different voltage sources (SL_VG and WE_VG in Fig. 5), the erase voltage can be easily adjusted depending on the memory device. Further, since the time for which the erase voltages are applied can be individually adjusted, the erase operation can be easily controlled.

도 7은 메모리 장치에 다수의 웰들(WE1~WEa; a는 양의 정수)이 포함되고, 각각의 웰에 다수의 메모리 블록들이 형성된 메모리 장치의 실시예를 나타낸다. 7 shows an embodiment of a memory device in which a plurality of wells (WE1 to WEa; a is a positive integer) are included in a memory device, and a plurality of memory blocks are formed in each well.

도 7을 참조하면, 다른 실시예로써, 하나의 웰에 두 개의 메모리 블록들이 포함될 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 메모리 블록들(MB1 및 MB2)은 제1 웰(WE1) 내에 형성될 수 있다. 이러한 방식으로 제k-1 및 제k 메모리 블록들(MBk-1 및 MBk)은 제a 웰(WEa)에 형성될 수 있다. 제1 내지 제a 웰들(WE1~WEa)은 전기적으로 서로 격리되도록 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7, as another embodiment, two memory blocks may be included in one well. For example, the first and second memory blocks MB1 and MB2 may be formed in the first well WE1. In this manner, the k-th and k-th memory blocks MBk-1 and MBk may be formed in the a-th well WEa. The first to the a-th wells WE1 to WEa may be formed to be electrically isolated from each other.

메모리 장치의 소거 동작 시, 소거 전압(erase voltage)은 소스 라인(source line)과 웰(well)에 각각 인가될 수 있다. 제2 메모리 블록(MB2)이 소거 대상 블록인 경우, 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 메모리 블록(MB2)의 소스 라인에 인가되고, 제2 소거 전압(Vera2)은 제1 웰(WE2)에 각각 인가될 수 있다. 여기서 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 소거 전압(Vera2)과 같은 레벨로 설정되거나 다른 레벨로 설정될 수 있다. 제2 메모리 블록(MB2)과 제1 웰(WE1)을 공유하는 제1 메모리 블록(MB1)의 메모리 셀들이 소거되지 않도록, 제1 메모리 블록(MB1)에 연결된 소스 라인에는 소거 방지 전압이 인가될 수 있다. 예를 들면, 비선택된 제1 메모리 블록(MB1)에 연결된 소스 라인에는 접지 전압이 소거 방지 전압으로써 인가될 수 있다. 또한, 비선택된 메모리 블록들만 포함된 비선택된 웰들에도 소거 방지 전압이 인가되거나, 비선택된 웰들에 연결된 배선들이 플로팅(floating)될 수 있다. In the erase operation of the memory device, an erase voltage may be applied to the source line and the well, respectively. The first erase voltage Vera1 is applied to the source line of the second memory block MB2 and the second erase voltage Vera2 is applied to the first well WE2 when the second memory block MB2 is the erase target block, Respectively. Here, the first erase voltage Vera1 may be set to the same level as the second erase voltage Vera2 or may be set to another level. An erase prevention voltage is applied to the source line connected to the first memory block MB1 so that the memory cells of the first memory block MB1 sharing the first well WE1 with the second memory block MB2 are not erased . For example, a ground voltage may be applied to the source line connected to the non-selected first memory block MB1 as an erase prevention voltage. In addition, erase prevention voltages may be applied to non-selected wells including only unselected memory blocks, or wirings connected to non-selected wells may be floating.

도 7은 본 기술의 일 실시예를 설명하기 위한 도면이므로, 하나의 웰에 포함되는 메모리 블록의 개수는 메모리 장치에 따라 다를 수 있다. 7 is a view for explaining an embodiment of the present invention, the number of memory blocks included in one well may be different depending on the memory device.

도 8은 메모리 장치에 하나의 웰(WE)이 포함되고, 웰(WE)에 모든 메모리 블록들이 형성된 메모리 장치의 실시예를 나타낸다. 8 shows an embodiment of a memory device in which one well WE is included in the memory device and all the memory blocks are formed in the well WE.

도 8을 참조하면, 모든 메모리 블록들(MB1~MBk)이 하나의 웰(WE)을 공유하기 때문에, 선택된 메모리 블록에 연결된 소스 라인에 제1 소거 전압이 인가되고 나머지 비선택된 메모리 블록들에 연결된 소스 라인들에는 소거 방지 전압이 인가될 수 있다. 제2 메모리 블록(MB2)이 소거 대상 블록인 경우, 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 메모리 블록(MB2)의 소스 라인에만 인가되고, 제2 소거 전압(Vera2)은 웰(WE)에 인가될 수 있다. 이때, 나머지 비선택된 메모리 블록들(MB1, MB3~MBk)에 연결된 소스 라인들에는 소거 방지 전압이 인가되거나, 플로팅(floating)될 수 있다. 8, since all the memory blocks MB1 to MBk share one well WE, a first erase voltage is applied to the source line connected to the selected memory block, and the first erase voltage is connected to the remaining unselected memory blocks An erase preventing voltage may be applied to the source lines. The first erase voltage Vera1 is applied only to the source line of the second memory block MB2 and the second erase voltage Vera2 is applied to the well WE when the second memory block MB2 is a block to be erased. . At this time, the erase-preventing voltage may be applied to the source lines connected to the remaining non-selected memory blocks MB1, MB3 to MBk, or may be floating.

도 9 내지 도 11은 본 발명의 소거 동작의 실시예들을 설명하기 위한 도면들이다. 9 to 11 are diagrams for explaining embodiments of the erase operation of the present invention.

도 9는 메모리 장치의 소거 동작 시 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 인가되는 소거 전압들의 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 9 is a view for explaining an embodiment of erase voltages applied to the source line SL and the well WE in the erase operation of the memory device.

도 9를 참조하면, 소스 라인(SL)에는 제1 소거 전압(Vera1)이 인가될 수 있고, 웰(WE)에는 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 제11 시점(T11)에 동시에 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 각각 인가될 수 있다. 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 제12 시점(T12)에서 목표 레벨에 도달할 수 있다. 제12 시점(T12) 내지 제13 시점(T13) 동안 메모리 셀들의 소거 동작이 수행될 수 있다. 제13 시점(T13)이 되면 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 연결된 배선들은 디스차지될 수 있다. 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 서로 다른 전압원들(도 5의 SL_VG 및 WE_VG)로부터 생성될 수 있으므로, 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 소거 전압(Vera2)과 동일한 레벨로 설정되거나, 높거나 낮은 레벨로 설정될 수 있다. Referring to FIG. 9, a first erase voltage Vera1 may be applied to the source line SL, and a second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE. For example, the first and second erasing voltages Vera1 and Vera2 may be applied to the source line SL and the well WE at the eleventh time point T11, respectively. The first and second erasing voltages Vera1 and Vera2 can reach the target level at the twelfth time point T12. An erase operation of the memory cells may be performed during the 12th time point T12 to the 13th time point T13. At the thirteenth time point T13, the wirings connected to the source line SL and the well WE can be discharged. Since the first and second erase voltages Vera1 and Vera2 can be generated from different voltage sources (SL_VG and WE_VG in Fig. 5), the first erase voltage Vera1 is equal to the second erase voltage Vera2 Or may be set to a high or low level.

도 10은 메모리 장치의 소거 동작 시 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 인가되는 소거 전압들의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for explaining another embodiment of erase voltages applied to the source line SL and the well WE in the erase operation of the memory device.

도 10을 참조하면, 소스 라인(SL)에는 제1 소거 전압(Vera1)이 인가될 수 있고, 웰(WE)에는 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제21 시점(T21)이 되면, 제1 소거 전압(Vera1)이 소스 라인(SL)에 인가될 수 있다. 이때, 웰(WE)은 플로팅 상태일 수 있으며, 소스 라인(SL)에 인가된 제1 소스 전압(Vera1)에 의해 웰(WE)의 전위가 높아질 수 있다(10a). 이어서, 제22 시점(T22)이 되면, 웰(WE)에 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다(10b). 제23 시점(T23)이 되면 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 모두 목표 레벨까지 높아질 수 있다. 소거 동작은 제22 내지 제24 시점(T22~T24) 동안 수행될 수 있다. 제24 시점(T24)이 되면 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 연결된 배선들은 디스차지될 수 있다. 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 서로 다른 전압원들(도 5의 SL_VG 및 WE_VG)로부터 생성될 수 있으므로, 제1 소거 전압(Vera1)은 제2 소거 전압(Vera2)과 동일한 레벨로 설정되거나, 높거나 낮은 레벨로 설정될 수 있다.Referring to FIG. 10, the first erase voltage Vera1 may be applied to the source line SL and the second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE. For example, at the twenty-first time point T21, the first erasing voltage Vera1 may be applied to the source line SL. At this time, the well WE may be in a floating state, and the potential of the well WE may be increased 10a by the first source voltage Vera1 applied to the source line SL. Subsequently, at the 22nd time point T22, the second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE (10b). At the 23rd time point T23, the first and second erasing voltages Vera1 and Vera2 can both be raised to the target level. The erase operation may be performed during the 22nd to 24th time points (T22 to T24). At the 24th time point T24, the wirings connected to the source line SL and the well WE can be discharged. Since the first and second erase voltages Vera1 and Vera2 can be generated from different voltage sources (SL_VG and WE_VG in Fig. 5), the first erase voltage Vera1 is equal to the second erase voltage Vera2 Or may be set to a high or low level.

도 11은 메모리 장치의 소거 동작 시 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 인가되는 소거 전압들의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 11 is a view for explaining another embodiment of erase voltages applied to the source line SL and the well WE in the erase operation of the memory device.

도 11을 참조하면, 소스 라인(SL)에는 제1 소거 전압(Vera1)이 인가될 수 있고, 웰(WE)에는 제2 소거 전압(Vera2)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)은 제31 시점(T31)에 동시에 소스 라인(SL)과 웰(WE)에 각각 인가될 수 있다. 또는 도 10에서 설명한 바와 같이, 제2 소거 전압(Vera2)이 웰(WE)에 인가되기 이전에 소스 라인(SL)에 제1 소거 전압(Vera1)이 먼저 인가될 수도 있다. Referring to FIG. 11, the first erase voltage Vera1 may be applied to the source line SL and the second erase voltage Vera2 may be applied to the well WE. For example, the first and second erasing voltages Vera1 and Vera2 may be applied to the source line SL and the well WE at the 31st time point T31, respectively. Or the first erase voltage Vera1 may be applied to the source line SL before the second erase voltage Vera2 is applied to the well WE, as described in Fig.

제31 시점(T31)부터, 워드 라인들(WL)에는 메모리 셀들에 트랩(trap)된 전자들이 디트랩(de-trap)될 수 있도록 접지 전압(예컨대, 0V) 또는 워드 라인 전압(Vwl)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 워드 라인 전압(Vwl)은 접지 전압(0V)보다 높고 제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2) 보다 낮은 레벨로 설정될 수 있다. 제31 시점(T31) 이전까지 소스 셀렉트 라인(SSL)에는 접지 전압(0V)이 인가될 수 있다. A ground voltage (for example, 0 V) or a word line voltage Vwl is applied to the word lines WL from the 31st time point T31 so that electrons trapped in the memory cells can be de-trapped . For example, the word line voltage Vwl may be set to a level higher than the ground voltage (0V) and lower than the first and second erase voltages Vera1 and Vera2. A ground voltage (0 V) may be applied to the source select line (SSL) until the 31st time point (T31).

제1 또는 제2 소거 전압(Vera1 또는 Vera2)의 레벨이 높아지면, 소스 셀렉트 라인(SSL)에 소스 셀렉트 라인 전압(Vssl)이 인가될 수 있다. 예를 들면, 소스 셀렉트 라인 전압(Vssl)은 제31 내지 제32 시점(T31~T32) 사이에서 소스 셀렉트 라인(SSL)에 인가될 수 있다. 소스 셀렉트 라인 전압(Vssl)은 접지 전압(0V)과 제1 또는 제2 소거 전압(Vera1 또는 Vera2) 사이에서 설정되거나, 제1 또는 제2 소거 전압(Vera1 또는 Vera2)과 동일하게 설정될 수 있다. When the level of the first or second erase voltage Vera1 or Vera2 becomes high, the source select line voltage Vssl may be applied to the source select line SSL. For example, the source select line voltage Vssl may be applied to the source select line SSL between the 31st to 32nd time points T31 to T32. The source select line voltage Vssl may be set between the ground voltage 0V and the first or second erase voltage Vera1 or Vera2 or may be set equal to the first or second erase voltage Vera1 or Vera2 .

제1 및 제2 소거 전압들(Vera1 및 Vera2)과 소스 셀렉트 라인 전압(Vssl)이 모두 목표 레벨에 도달하면(T32), 소스 셀렉트 라인(SSL)은 플로팅(floating)될 수 있다. The source select line SSL can be floating when both the first and second erase voltages Vera1 and Vera2 and the source select line voltage Vss1 reach the target level (T32).

제33 시점(T33)이 되면, 소스 셀렉트 라인(SSL), 소스 라인(SL) 및 웰(WE)은 디스차지될 수 있다. 워드 라인들(WL)에 워드 라인 전압(Vwl)이 인가된 경우, 워드 라인들(WL)도 제33 시점(T33)이 되면 디스차지될 수 있다. At the 33rd time point T33, the source select line SSL, the source line SL and the well WE can be discharged. When the word line voltage Vw1 is applied to the word lines WL, the word lines WL can also be discharged at the 33rd time point T33.

도 12는 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. 12 is a diagram for explaining another embodiment of the memory system including the memory device shown in Fig.

도 12를 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 30000)은 이동 전화기(cellular phone), 스마트폰(smart phone), 태블릿(tablet) PC, PDA(personal digital assistant) 또는 무선 통신 장치로 구현될 수 있다. 메모리 시스템(30000)은 메모리 장치(1100)와 상기 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)를 포함할 수 있다. 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(Processor; 3100)의 제어에 따라 메모리 장치(1100)의 데이터 액세스 동작, 예컨대 프로그램(program) 동작, 소거(erase) 동작 또는 리드(read) 동작을 제어할 수 있다. 12, the memory system 30000 may be implemented as a cellular phone, a smart phone, a tablet PC, a personal digital assistant (PDA), or a wireless communication device . The memory system 30000 can include a memory device 1100 and a memory controller 1200 that can control the operation of the memory device 1100. The memory controller 1200 may control the data access operation of the memory device 1100 such as a program operation, an erase operation or a read operation under the control of the processor 3100. [

메모리 장치(1100)에 프로그램된 데이터는 메모리 컨트롤러(1200)의 제어에 따라 디스플레이(Display; 3200)를 통하여 출력될 수 있다.The data programmed into the memory device 1100 may be output through a display (Display) 3200 under the control of the memory controller 1200.

무선 송수신기(RADIO TRANSCEIVER; 3300)는 안테나(ANT)를 통하여 무선 신호를 주고받을 수 있다. 예컨대, 무선 송수신기(3300)는 안테나(ANT)를 통하여 수신된 무선 신호를 프로세서(3100)에서 처리(process)될 수 있는 신호로 변경할 수 있다. 따라서, 프로세서(3100)는 무선 송수신기(3300)로부터 출력된 신호를 처리(process)하고 처리(process)된 신호를 메모리 컨트롤러(1200) 또는 디스플레이(3200)로 전송할 수 있다. 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(3100)에 의하여 처리(process)된 신호를 반도체 메모리 장치(1100)에 프로그램할 수 있다. 또한, 무선 송수신기(3300)는 프로세서(3100)로부터 출력된 신호를 무선 신호로 변경하고 변경된 무선 신호를 안테나(ANT)를 통하여 외부 장치로 출력할 수 있다. 입력 장치(Input Device; 3400)는 프로세서(3100)의 동작을 제어하기 위한 제어 신호 또는 프로세서(3100)에 의하여 처리(process)될 데이터를 입력할 수 있는 장치로서, 터치 패드(touch pad)와 컴퓨터 마우스(computer mouse)와 같은 포인팅 장치(pointing device), 키패드(keypad) 또는 키보드로 구현될 수 있다. 프로세서(3100)는 메모리 컨트롤러(1200)로부터 출력된 데이터, 무선 송수신기(3300)로부터 출력된 데이터, 또는 입력 장치(3400)로부터 출력된 데이터가 디스플레이(3200)를 통하여 출력될 수 있도록 디스플레이(3200)의 동작을 제어할 수 있다.The radio transceiver 3300 can transmit and receive radio signals through the antenna ANT. For example, the wireless transceiver 3300 may change the wireless signal received via the antenna ANT to a signal that can be processed by the processor 3100. Thus, the processor 3100 can process the signal output from the wireless transceiver 3300 and transmit the processed signal to the memory controller 1200 or display 3200. The memory controller 1200 may program the signal processed by the processor 3100 to the semiconductor memory device 1100. [ In addition, the wireless transceiver 3300 may convert the signal output from the processor 3100 into a wireless signal, and output the modified wireless signal to an external device through the antenna ANT. An input device 3400 is a device capable of inputting a control signal for controlling the operation of the processor 3100 or data to be processed by the processor 3100 and includes a touch pad, A pointing device such as a computer mouse, a keypad, or a keyboard. The processor 3100 is connected to the display 3200 so that data output from the memory controller 1200, data output from the wireless transceiver 3300, or data output from the input device 3400 can be output via the display 3200. [ Can be controlled.

실시 예에 따라, 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(3100)의 일부로서 구현될 수 있고 또한 프로세서(3100)와 별도의 칩으로 구현될 수 있다. According to an embodiment, a memory controller 1200 capable of controlling the operation of the memory device 1100 may be implemented as part of the processor 3100 and may also be implemented as a separate chip from the processor 3100.

도 13은 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. FIG. 13 is a diagram for explaining another embodiment of the memory system including the memory device shown in FIG. 2. FIG.

도 13을 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 40000)은 PC(personal computer), 태블릿(tablet) PC, 넷-북(net-book), e-리더(e-reader), PDA(personal digital assistant), PMP(portable multimedia player), MP3 플레이어, 또는 MP4 플레이어로 구현될 수 있다.13, the memory system 40000 includes a personal computer (PC), a tablet PC, a net-book, an e-reader, a personal digital assistant ), A portable multimedia player (PMP), an MP3 player, or an MP4 player.

메모리 시스템(40000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100)와 상기 메모리 장치(1100)의 데이터 처리 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(memory Controller; 1200)를 포함할 수 있다. The memory system 40000 may include a memory device 1100 and a memory controller 1200 capable of controlling data processing operations of the memory device 1100.

프로세서(Processor; 4100)는 입력 장치(Input Device; 4200)를 통하여 입력된 데이터에 따라 메모리 장치(1100)에 저장된 데이터를 디스플레이(Display; 4300)를 통하여 출력할 수 있다. 예컨대, 입력 장치(4200)는 터치 패드 또는 컴퓨터 마우스와 같은 포인팅 장치, 키패드, 또는 키보드로 구현될 수 있다.A processor 4100 may output data stored in the memory device 1100 through a display 4300 according to data input through an input device 4200. For example, the input device 4200 may be implemented as a pointing device such as a touch pad or a computer mouse, a keypad, or a keyboard.

프로세서(4100)는 메모리 시스템(40000)의 전반적인 동작을 제어할 수 있고 메모리 컨트롤러(1200)의 동작을 제어할 수 있다. 실시 예에 따라 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(4100)의 일부로서 구현되거나, 프로세서(4100)와 별도의 칩으로 구현될 수 있다.The processor 4100 may control the overall operation of the memory system 40000 and may control the operation of the memory controller 1200. [ The memory controller 1200 capable of controlling the operation of the memory device 1100 according to an embodiment may be implemented as part of the processor 4100 or in a separate chip from the processor 4100. [

도 14는 도 2에 도시된 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설기 위한 도면이다. 14 is a diagram for explaining another embodiment of a memory system including the memory device shown in Fig.

도 14를 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 70000)은 메모리 카드(memory card) 또는 스마트 카드(smart card)로 구현될 수 있다. 메모리 시스템(70000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100), 메모리 컨트롤러(Memory Controller; 1200) 및 카드 인터페이스(Card Interface; 7100)를 포함할 수 있다. 14, the memory system 70000 may be implemented as a memory card or a smart card. The memory system 70000 may include a memory device 1100, a memory controller 1200, and a card interface 7100.

메모리 컨트롤러(1200)는 반도체 메모리 장치(1100)와 카드 인터페이스(7100) 사이에서 데이터의 교환을 제어할 수 있다. 실시 예에 따라, 카드 인터페이스(7100)는 SD(secure digital) 카드 인터페이스 또는 MMC(multi-media card) 인터페이스일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. The memory controller 1200 can control the exchange of data between the semiconductor memory device 1100 and the card interface 7100. [ According to an embodiment, the card interface 7100 may be an SD (secure digital) card interface or a multi-media card (MMC) interface, but is not limited thereto.

카드 인터페이스(7100)는 호스트(HOST; 60000)의 프로토콜에 따라 호스트(60000)와 메모리 컨트롤러(1200) 사이에서 데이터 교환을 인터페이스할 수 있다. 실시 예에 따라 카드 인터페이스(7100)는 USB(Universal Serial Bus) 프로토콜, IC(InterChip)-USB 프로토콜을 지원할 수 있다. 여기서, 카드 인터페이스는 호스트(60000)가 사용하는 프로토콜을 지원할 수 있는 하드웨어, 상기 하드웨어에 탑재된 소프트웨어 또는 신호 전송 방식을 의미할 수 있다. The card interface 7100 can interface data exchange between the host 60000 and the memory controller 1200 according to the protocol of the host (HOST) 60000. According to the embodiment, the card interface 7100 can support USB (Universal Serial Bus) protocol and IC (InterChip) -USB protocol. Here, the card interface may mean hardware that can support the protocol used by the host 60000, software installed on the hardware, or a signal transmission method.

메모리 시스템(70000)이 PC, 태블릿 PC, 디지털 카메라, 디지털 오디오 플레이어, 이동 전화기, 콘솔 비디오 게임 하드웨어, 또는 디지털 셋-탑 박스와 같은 호스트(60000)의 호스트 인터페이스(6200)와 접속될 때, 호스트 인터페이스(6200)는 마이크로프로세서(Microprocessor; 6100)의 제어에 따라 카드 인터페이스(7100)와 메모리 컨트롤러(1200)를 통하여 메모리 장치(1100)와 데이터 통신을 수행할 수 있다.When the memory system 70000 is connected to the host interface 6200 of the host 60000 such as a PC, tablet PC, digital camera, digital audio player, mobile phone, console video game hardware, or digital set- The interface 6200 may perform data communication with the memory device 1100 through the card interface 7100 and the memory controller 1200 under the control of a microprocessor 6100.

본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위와 기술적 사상에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변경이 가능하다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims of the present invention as well as the claims of the following.

1000: 메모리 시스템 1100: 메모리 장치
1200: 메모리 컨트롤러 100: 메모리 셀 어레이
200: 주변 회로들 300: 제어 로직
1000: memory system 1100: memory device
1200: memory controller 100: memory cell array
200: peripheral circuits 300: control logic

Claims (18)

웰(well)에 포함된 접합 영역들 사이에서 수직 방향으로 형성된 채널막과, 상기 채널막을 감싸며 서로 이격되어 순차적으로 적층된 소스 셀렉트 라인, 워드 라인들 및 드레인 셀렉트 라인들이 포함된 메모리 블록;
상기 접합 영역들에 연결된 소스 라인들에 인가되는 전압들을 생성하는 제1 전압원; 및
상기 웰에 인가되는 전압들을 생성하는 제2 전압원을 포함하며,
상기 메모리 블록의 소거 동작 시, 상기 제1 전압원에서 생성된 제1 소거 전압은 상기 소스 라인에 인가되고, 상기 제2 전압원에서 생성된 제2 소거 전압은 상기 웰에 인가되는 메모리 장치.
A memory block including a channel film formed in a vertical direction between junction regions included in a well, a source select line surrounding the channel film and sequentially stacked, word lines, and drain select lines;
A first voltage source for generating voltages applied to source lines connected to the junction regions; And
And a second voltage source for generating voltages applied to the well,
Wherein a first erase voltage generated in the first voltage source is applied to the source line and a second erase voltage generated in the second voltage source is applied to the well in the erase operation of the memory block.
제1항에 있어서,
상기 제1 전압원과 상기 제2 전압원은 서로 독립적으로 동작하는 메모리 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first voltage source and the second voltage source operate independently of each other.
제1항에 있어서, 상기 제1 전압원은,
상기 제2 전압원에서 상기 제2 소거 전압이 출력될 때 상기 제1 소거 전압을 동시에 출력하거나,
상기 제2 전압원에서 상기 제2 소거 전압이 출력되기 이전에 상기 제1 소거 전압을 출력하는 메모리 장치.
The power supply according to claim 1,
The first erase voltage is simultaneously output when the second erase voltage is output from the second voltage source,
And outputs the first erase voltage before the second erase voltage is output from the second voltage source.
제1항에 있어서,
상기 소스 셀렉트 라인, 상기 워드 라인들 및 상기 드레인 셀렉트 라인들 각각에 인가되는 전압들을 생성하는 전압원들을 더 포함하는 메모리 장치.
The method according to claim 1,
And voltage sources for generating voltages applied to the source select line, the word lines, and the drain select lines, respectively.
제4항에 있어서,
상기 전압원들은 서로 독립적으로 동작하는 메모리 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the voltage sources operate independently of each other.
제4항에 있어서,
상기 제1 및 제2 소거 전압들이 상기 소스 라인 및 상기 웰에 각각 인가될 때,
상기 전압원들 중 상기 소스 셀렉트 라인에 연결된 전압원은 소스 셀렉트 라인 전압을 생성하여 상기 소스 셀렉트 라인에 인가하는 메모리 장치.
5. The method of claim 4,
When the first and second erase voltages are applied to the source line and the well, respectively,
And a voltage source connected to the source select line among the voltage sources generates a source select line voltage and applies the source select line voltage to the source select line.
제6항에 있어서,
상기 소스 셀렉트 라인에 연결된 전압원은,
상기 제1 또는 제2 소거 전압이 인가된 후에 상기 소스 셀렉트 라인에 상기 소스 셀렉트 라인 전압을 인가하는 메모리 장치.
The method according to claim 6,
The voltage source connected to the source select line,
And applies the source select line voltage to the source select line after the first or second erase voltage is applied.
제7항에 있어서,
상기 소스 셀렉트 라인에 연결된 전압원은,
상기 소스 셀렉트 라인에 상기 소스 셀렉트 라인 전압이 인가된 후, 상기 소스 셀렉트 라인을 플로팅(floating)시키는 메모리 장치.
8. The method of claim 7,
The voltage source connected to the source select line,
And after the source select line voltage is applied to the source select line, floating the source select line.
제4항에 있어서,
상기 제1 및 제2 소거 전압들이 상기 소스 라인 및 상기 웰에 각각 인가될 때,
상기 전압원들 중 상기 워드 라인들에 연결된 전압원들은 워드 라인 전압 또는 접지 전압을 상기 워드 라인들에 인가하는 메모리 장치.
5. The method of claim 4,
When the first and second erase voltages are applied to the source line and the well, respectively,
Wherein voltage sources coupled to the word lines of the voltage sources apply a word line voltage or a ground voltage to the word lines.
웰(well) 상에 형성되고, 소스 라인과 비트 라인들 사이에 연결된 스트링들을 포함하는 메모리 블록; 및
상기 스트링들에 포함된 메모리 셀들의 소거 동작 시, 상기 소스 라인에 제1 소거 전압을 인가하고 상기 웰에 제2 소거 전압을 각각 인가하도록 구성된 주변 회로들을 포함하는 메모리 장치.
A memory block formed on the well and including strings connected between the source line and the bit lines; And
And peripheral circuits configured to apply a first erase voltage to the source line and a second erase voltage to the well, respectively, in an erase operation of memory cells included in the strings.
제10항에 있어서,
상기 소스 라인은 상기 웰 내에서 상기 웰과 서로 다른 타입(type)의 불순물들이 도핑되어 형성된 접합 영역들에 연결된 메모리 장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the source line is connected to junction regions formed by doping different types of impurities with the well in the well.
제10항에 있어서, 상기 전압 생성 회로는,
상기 제1 소거 전압을 생성하는 소스 라인 전압원; 및
상기 제2 소거 전압을 생성하는 웰 전압원을 포함하는 메모리 장치.
The voltage generation circuit according to claim 10,
A source line voltage source for generating the first erase voltage; And
And a well voltage source for generating the second erase voltage.
제12항에 있어서,
상기 소스 라인 전압원과 상기 웰 전압원은 서로 독립적으로 동작하도록 구성된 메모리 장치.
13. The method of claim 12,
Wherein the source line voltage source and the well voltage source are configured to operate independently of each other.
제12항에 있어서, 상기 소스 라인 전압원은,
상기 웰 전압원에서 상기 제2 소거 전압이 출력될 때 상기 제1 소거 전압을 동시에 출력하거나,
상기 웰 전압원에서 상기 제2 소거 전압이 출력되기 이전에 상기 제1 소거 전압을 출력하는 메모리 장치.
13. The method of claim 12, wherein the source line voltage source comprises:
The first erase voltage is simultaneously output when the second erase voltage is output from the well voltage source,
And outputs the first erase voltage before the second erase voltage is output from the well voltage source.
제10항에 있어서, 상기 전압 생성 회로는,
상기 스트링들에 연결된 워드 라인들에 전압을 공급하기 위한 워드 라인 전압원;
상기 스트링들에 연결된 소스 셀렉트 라인에 전압을 공급하기 위한 소스 셀렉트 라인 전압원; 및
상기 스트링들에 연결된 드레인 셀렉트 라인에 전압을 공급하기 위한 드레인 셀렉트 라인 전압원을 포함하는 메모리 장치.
The voltage generation circuit according to claim 10,
A word line voltage source for supplying a voltage to the word lines connected to the strings;
A source select line voltage source for supplying a voltage to a source select line connected to the strings; And
And a drain select line voltage source for supplying a voltage to a drain select line coupled to the strings.
제15항에 있어서, 상기 소스 셀렉트 라인 전압원은,
상기 제1 및 제2 소거 전압들이 상기 소스 라인 및 상기 웰에 인가될 때,
상기 소스 셀렉트 라인에 소스 셀렉트 라인 전압을 인가하는 메모리 장치.
16. The method of claim 15, wherein the source select line voltage source comprises:
When the first and second erase voltages are applied to the source line and the well,
And applies a source select line voltage to the source select line.
제16항에 있어서, 상기 소스 셀렉트 라인 전압원은,
상기 소스 셀렉트 라인 전압이 목표 레벨까지 높아지면 상기 소스 셀렉트 라인을 플로팅(floating)시키는 메모리 장치.
17. The method of claim 16, wherein the source select line voltage source comprises:
And wherein the source select line is floating when the source select line voltage rises to a target level.
제15항에 있어서, 상기 워드 라인 전압원은,
상기 제1 및 제2 소거 전압들이 상기 소스 라인 및 상기 웰에 인가될 때,
상기 워드 라인들에 워드 라인 전압 또는 접지 전압을 인가하는 메모리 장치.
16. The method of claim 15, wherein the word line voltage source comprises:
When the first and second erase voltages are applied to the source line and the well,
And applies a word line voltage or a ground voltage to the word lines.
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