KR20180086128A - Photosensitive composition, cured film and method for producing same, display device, light emitting element, and light receiving element - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 감광성 조성물, 경화막 및 그의 제조 방법, 그리고 표시 소자, 발광 소자 및 수광 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 투과형 혹은 반사형의 컬러 액정 표시 소자, 고체 촬상 소자, 유기 EL 표시 소자, 전자 페이퍼 등에 이용되는 경화막의 형성에 이용되는 감광성 조성물, 당해 감광성 조성물을 이용하여 형성된 경화막 및 그의 제조 방법, 그리고 당해 경화막을 구비하는 표시 소자, 발광 소자 및 수광 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive composition, a cured film and a manufacturing method thereof, and a display device, a light emitting device and a light receiving device, and more particularly to a transmissive or reflective color liquid crystal display device, A light-emitting element, and a light-receiving element having the cured film, a cured film formed using the photosensitive composition, a method of producing the same, and a display device, a light-emitting element, and a light-
컬러 필터의 제조 방법으로서는, 예를 들면, 잉크젯 방식, 전착법(電着法), 인쇄법, 포토리소그래피법 등이 알려져 있지만, 최근에는 포토리소그래피법이 주류가 되고 있다. 포토리소그래피법에 의해 컬러 필터를 제조하는 경우, 예를 들면, 기판 상에 착색 감광성 조성물을 도포하여 도막을 형성한 후, 소정의 개구 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 방사선을 노광하고, 이어서 현상하여 미노광 부분을 용해 제거함으로써, 패턴을 형성하는 방법이 채용되고 있다(특허문헌 1). 그리고, 패턴 형성 후는, 내열성이나 내용제성, 기판으로의 밀착성, 전기 특성 등의 신뢰성을 확보하기 위해, 200∼250℃의 온도에서 30∼60분 정도 포스트베이킹함으로써, 도막의 경화를 촉진시키는 것이 통상이다.As a manufacturing method of a color filter, for example, an inkjet method, an electrodeposition method, a printing method, a photolithography method and the like are known, but in recent years, a photolithography method has become mainstream. In the case of manufacturing a color filter by photolithography, for example, a colored photosensitive composition is coated on a substrate to form a coated film, and then the radiation is exposed through a photomask having a predetermined opening pattern, followed by development A method of dissolving and removing unexposed portions to form a pattern has been employed (Patent Document 1). After the pattern formation, post-baking is carried out at a temperature of 200 to 250 캜 for 30 to 60 minutes in order to ensure reliability such as heat resistance, solvent resistance, adhesion to the substrate, electric characteristics, It is normal.
최근, 컬러 필터는, 액정 표시 소자(LCD) 용도에 있어서 모니터뿐만 아니라 텔레비전으로 용도가 확대되는 경향에 있다. 이 용도 확대의 경향에 수반하여, 컬러 필터에는, 색도, 콘트라스트 등에 있어서 고도의 색 특성이 요구되고 있다. 또한, 이미지 센서(고체 촬상 소자) 용도의 컬러 필터에 있어서도, 색 불균일의 저감, 색 분해능의 향상 등 색 특성의 더 한층의 향상이 요구되고 있다. 그러나, 착색제로서 안료를 사용하면, 안료의 조대(粗大) 입자에 의한 산란의 발생, 저온 보존 안정성 불량에 의한 점도 상승 등의 문제가 일어나기 쉬워, 콘트라스트 및 휘도를 더욱 향상시키는 것에 한계가 있었다. 그래서, 착색제로서 염료를 사용하면, 염료 자체의 색 순도나 그 색상의 선명함에 의해, 화상 표시시켰을 때의 색상이나 휘도가 높아지고, 또한 조대 입자가 없어지기 때문에, 콘트라스트의 향상에 유효하다고 생각된다. 그러나, 염료는 일반적으로 내열성 등이 뒤떨어지기 때문에, 염료를 함유 하는 감광성 조성물을 이용하여 형성된 도막을 200∼250℃의 포스트베이킹 온도로 가열하는 것이 곤란하다.In recent years, the color filter tends to be used not only as a monitor in a liquid crystal display (LCD) application but also as a television. [0003] Along with the tendency of this application to be widened, color filters are required to have high color characteristics in chromaticity, contrast, and the like. In addition, color filters for use in image sensors (solid-state image pickup devices) are required to further improve color characteristics, such as reduction in color unevenness and improvement in color resolution. However, when a pigment is used as a coloring agent, problems such as occurrence of scattering due to coarse particles of the pigment and viscosity increase due to poor stability at low temperature storage tends to occur, and there is a limit to further improve the contrast and luminance. Therefore, when a dye is used as the colorant, it is considered that the color and brightness when the image is displayed due to the color purity of the dye itself and the sharpness of the color thereof are increased, and coarse particles are eliminated. However, since dyes generally have poor heat resistance, it is difficult to heat a coating film formed using a photosensitive composition containing a dye to a post-baking temperature of 200 to 250 캜.
또한, 컬러 필터의 기술 분야에 있어서는, 표시 소자의 고(高)색 순도화나 수광 소자의 고(高)색 분해능을 위해 착색제 농도가 높아지는 경향에 있지만, 현상시에 미노광부의 기판 상 혹은 패턴 상에 잔사나 스컴(scum)이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다. 이러한 잔사나 스컴의 발생을 회피하기 위해서는, 현상 시간을 길게 하는 것이 효과적이지만, 현상 시간을 길게 하면 택트 타임이 길어진다는 폐해가 있다.In the technical field of color filters, the colorant concentration tends to increase for high color purity of the display element and for high color resolution of the light receiving element. However, in the development, There is a tendency that a residue or scum is likely to be generated. In order to avoid the generation of scum and scum, it is effective to lengthen the development time. However, if the development time is long, the tact time is long.
그런데, 표시 소자 중에서도 플렉시블 표시 장치가 주목받고 있고, 종래의 유리 기판으로부터 플랙시블한 플라스틱 기판으로의 대체가 검토되고 있다. 그러나, 플라스틱 기판은 일반적으로 내열성이 낮기 때문에, 200∼250℃의 포스트베이킹 온도에서는 플라스틱 기판의 신장이나 수축이 일어나기 쉽다.[0003] Among display devices, flexible display devices have attracted attention, and substitution from a conventional glass substrate to a flexible plastic substrate has been studied. However, since the plastic substrate generally has low heat resistance, the plastic substrate tends to elongate or shrink at post baking temperatures of 200 to 250 캜.
이러한 문제에 대하여, 포스트베이킹을 보다 낮은 온도에서 행하는 것을 생각할 수 있지만, 경화막의 내구성이나 강도가 불충분해지기 때문에, 플라스틱 기판의 휨이나, 경화막의 균열, 내용제성의 저하와 같은 문제가 발생한다. 그 때문에, 보존 안정성이나 현상성이 양호하고, 저온에서 포스트베이킹하더라도 내용제성이 우수한 경화막을 형성 가능한 감광성 조성물이 요구되고 있다.With respect to such a problem, it is conceivable to perform the post-baking at a lower temperature. However, since the durability and strength of the cured film become insufficient, problems such as warping of the plastic substrate, cracking of the cured film and deterioration of the solvent resistance occur. For this reason, there is a demand for a photosensitive composition capable of forming a cured film excellent in storage stability and developability and excellent in solvent resistance even at post-baking at a low temperature.
본 발명의 과제는, 보존 안정성이나 현상성이 양호하고, 저온에서 포스트베이킹하더라도 내용제성이 우수한 경화막을 형성 가능한 감광성 조성물을 제공하는 것에 있다. 추가로, 본 발명의 과제는, 당해 감광성 조성물을 이용하여 형성된 경화막 및 그의 제조 방법, 그리고 당해 경화막을 구비하는, 표시 소자, 발광 소자 및 수광 소자를 제공하는 것에 있다.Disclosure of the Invention An object of the present invention is to provide a photosensitive composition capable of forming a cured film excellent in storage stability and developability and excellent in solvent resistance even at post-baking at a low temperature. In addition, an object of the present invention is to provide a cured film formed using the photosensitive composition, a method for producing the same, and a display element, a light emitting element, and a light receiving element including the cured film.
이러한 실정을 감안하여, 본 발명자들은 예의 연구를 행한 결과, 특정의 관능기를 갖는 중합체를 감광성 조성물에 함유시킴으로써, 보존 안정성이나 현상성이 양호하고, 저온에서 포스트베이킹하더라도 내용제성이 우수한 경화막을 형성할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.In view of the above circumstances, the present inventors have conducted intensive studies and found that a cured film having excellent storage stability and developability and excellent solvent resistance even after post-baking at a low temperature is formed by incorporating a polymer having a specific functional group into the photosensitive composition The present invention has been completed.
즉, 본 발명은, 다음의 성분;That is, the present invention relates to a composition comprising:
[A] 동일 분자 내 또는 상이한 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 화합물, 그리고[A] a compound having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule or different molecules, and
[B] 감광제[B] Photosensitizer
를 함유하는 감광성 조성물로서,As a photosensitive composition,
[A] 성분이 하기의 (a1) 중합체를 포함하거나, 또는 하기의 (a2) 중합체 및 하기의 (a3) 중합체의 조합을 포함하는, 감광성 조성물을 제공하는 것이다.The present invention provides a photosensitive composition comprising [A] a component comprising the following (a1) polymer, or a combination of the following (a2) polymer and the following (a3) polymer.
(a1) 중합체: 동일 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 중합체(a1) Polymer: A polymer having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule
(a2) 중합체: 산성 관능기를 갖고, 지환식 에폭시기를 갖지 않는 중합체(a2) Polymer: A polymer having an acidic functional group and no alicyclic epoxy group
(a3) 중합체: 지환식 에폭시기를 갖고, 산성 관능기를 갖지 않는 중합체(a3) Polymer: A polymer having an alicyclic epoxy group and no acidic functional group
본 발명은 또한, 상기 감광성 조성물의 경화물인 경화막, 그리고 당해 경화막을 구비하는, 표시 소자, 발광 소자 및 수광 소자를 제공하는 것이다. 여기에서, 「경화막」이란, 표시 소자나 고체 촬상 소자에 이용되는 각 색 화소, 보호막, 블랙 매트릭스, 스페이서, 절연막 등을 의미한다.The present invention also provides a display element, a light emitting element and a light receiving element comprising a cured film as a cured product of the photosensitive composition and the cured film. Here, the "cured film" means each color pixel, a protective film, a black matrix, a spacer, an insulating film, and the like used in a display element or a solid-state image pickup element.
본 발명은 추가로, 하기의 공정 (1)∼(4)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 경화막의 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention further provides a process for producing a cured film, which comprises the following steps (1) to (4).
공정 (1): 기판 상에, 상기 감광성 조성물을 도포하여 도막을 형성하는 공정Step (1): a step of forming a coating film on the substrate by applying the photosensitive composition
공정 (2): 상기 공정 (1)에서 얻어진 도막에, 방사선을 조사하는 공정Step (2): A step of irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation
공정 (3): 상기 공정 (2)에서 얻어진 도막을 현상하는 공정Step (3): a step of developing the coating film obtained in the step (2)
공정 (4): 상기 공정 (3)에서 얻어진 도막을 70∼180℃에서 가열하는 공정Step (4): Step of heating the coating film obtained in the step (3) at 70 to 180 캜
본 발명의 감광성 조성물을 이용하면, 저온에서 포스트베이킹하더라도 내용제성이 우수한 경화막을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 감광성 조성물은, 보존 안정성이나 현상성이 양호하고, 점도 상승 등의 문제가 발생하기 어렵기 때문에, 콘트라스트 및 휘도를 더 한층 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 감광성 조성물은, 컬러 액정 표시 소자용 컬러 필터, 고체 촬상 소자의 색 분해용 컬러 필터, 유기 EL 표시 소자용 컬러 필터, 전자 페이퍼용 컬러 필터를 비롯한 각종 컬러 필터의 제작에 매우 적합하게 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 보호막 재료나 스페이서 재료, 절연막 재료로서도 매우 유용하다.By using the photosensitive composition of the present invention, it is possible to form a cured film excellent in solvent resistance even at post-baking at a low temperature. Further, since the photosensitive composition of the present invention is excellent in storage stability and developability and hardly causes problems such as viscosity increase, the contrast and brightness can be further improved. Therefore, the photosensitive composition of the present invention is well suited for the production of various color filters including color filters for color liquid crystal display devices, color filters for color separation of solid-state image pickup devices, color filters for organic EL display devices, and color filters for electronic papers It is very useful as a protective film material, a spacer material, and an insulating film material.
(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)
이하, 본 발명에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.
〔감광성 조성물〕[Photosensitive composition]
이하, 본 발명의 감광성 조성물의 구성 성분에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, the constituent components of the photosensitive composition of the present invention will be described in detail.
-[A] 성분-- [A] component -
[A] 성분은, 동일 분자 내 또는 상이한 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 화합물로서, 하기의 (a1) 중합체, (a2) 중합체 및 (a3) 중합체 중, (a1) 중합체, 혹은 (a2) 중합체 및 (a3) 중합체의 조합을 필수 성분으로서 함유하는 것이다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「산성 관능기」란, 유기산이 구조 중에 갖는 산성을 나타내기 위해서 기능하는 관능기를 말하고, 또한 「지환식 에폭시기」란, 지환식 구조를 구성하는 탄소 원자 중 2개의 탄소 원자와, 1개의 산소 원자로 형성되는 에폭시기를 말한다.The component [A] is a compound having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule or different molecules, and is preferably a polymer (a1), a polymer (a2) ) Polymer and (a3) polymer as an essential component. Herein, in the present specification, the "acidic functional group" refers to a functional group that functions to exhibit the acidity of the organic acid in the structure, and the "alicyclic epoxy group" refers to a functional group having two carbon atoms And an epoxy group formed by one oxygen atom.
(a1) 중합체: 동일 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 중합체(a1) Polymer: A polymer having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule
(a2) 중합체: 산성 관능기를 갖고, 지환식 에폭시기를 갖지 않는 중합체(a2) Polymer: A polymer having an acidic functional group and no alicyclic epoxy group
(a3) 중합체: 지환식 에폭시기를 갖고, 산성 관능기를 갖지 않는 중합체(a3) Polymer: A polymer having an alicyclic epoxy group and no acidic functional group
[A] 성분은, 감광성 조성물을 이용하여 경화막을 형성할 때의 노광, 포스트베이킹 공정에 있어서, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조를 형성하여, 도막의 경화성을 높이는 성분이다. [A] 성분으로서는, (a1) 중합체, 혹은 (a2) 중합체 및 (a3) 중합체의 조합 이외의 중합체를 함유해도 좋고, 또한 (a1) 중합체와 함께, (a2) 중합체 또는 (a3) 중합체를 함유해도 좋고, (a2) 중합체 및 (a3) 중합체의 조합과 함께, (a1) 중합체를 함유해도 좋다. 또한, (a1) 중합체, (a2) 중합체 및 (a3) 중합체는, 각각 1종 또는 2종 이상 함유할 수 있다.The component [A] is a component which forms a cross-linking structure in the molecule or in the molecule in the exposure and post-baking process when the cured film is formed using the photosensitive composition, thereby enhancing the curability of the coating film. The component [A] may contain a polymer other than the polymer (a1), or a combination of the polymer (a2) and the polymer (a3), and may contain (a1) (A1) may be contained together with the combination of the (a2) polymer and the (a3) polymer. Further, the (a1) polymer, (a2) polymer and (a3) polymer may each contain one kind or two or more kinds.
<(a2) 중합체><(a2) Polymer>
우선, (a2) 중합체에 대해서 설명한다. (a2) 중합체는, 산성 관능기를 갖고, 지환식 에폭시기를 갖지 않는 중합체이다. 산성 관능기로서는, 산성을 나타내는 관능기이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 카복실기, 티오카복실기, 디티오카복실기, 메르캅토카보닐기, 하이드로퍼옥시기, 페놀성 수산기, 술포기, 술피노기, 술페노산기, 알코올성 수산기, 티올기, 포스피니코기, 포스포노기, 셀레노노기, 셀레니노기, 셀레네노기, 아르시니코기, 아르소노기, 보론산기, 보란산기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 카복실기가 바람직하다.First, the (a2) polymer will be explained. (a2) The polymer is a polymer having an acidic functional group and no alicyclic epoxy group. The acidic functional group is not particularly limited as long as it is a functional group exhibiting acidity, and examples thereof include a carboxyl group, a thiocarboxyl group, a dithiocarbocyl group, a mercapto carbonyl group, a hydroperoxy group, a phenolic hydroxyl group, , A sulfonic acid group, an alcoholic hydroxyl group, a thiol group, a phosphino group, a phosphono group, a selenono group, a selenino group, a seleneno group, an arsino group, an arsono group, a boronic acid group and a boronic acid group . Among them, a carboxyl group is preferable.
(a2) 중합체로서는, 산성 관능기를 갖고, 지환식 에폭시기를 갖지 않는 중합체이면 특별히 한정되지 않지만, 1개 이상의 카복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체(이하, 「불포화 단량체 (α1)」이라고도 칭함)를 구조 단위로서 갖는 중합체(단, (a1) 중합체를 제외함. 이하, 「카복실기 함유 중합체」라고도 칭함)이거나, 혹은 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위를 갖는 폴리실록산(단, (a1) 중합체를 제외함. 이하, 「카복실기 함유 폴리실록산」이라고도 칭함)이 바람직하다.The polymer (a2) is not particularly limited as long as it is a polymer having an acidic functional group and not having an alicyclic epoxy group, but an ethylenically unsaturated monomer having at least one carboxyl group (hereinafter also referred to as "unsaturated monomer (α1) (Excluding the polymer (a1), hereinafter also referred to as a "carboxyl group-containing polymer"), or a polysiloxane having a structural unit having at least one carboxyl group, provided that the polymer (a1) is excluded. Hereinafter also referred to as " carboxyl group-containing polysiloxane ").
카복실기 함유 중합체에 있어서, 불포화 단량체 (α1)로서는, As the unsaturated monomer (? 1) in the carboxyl group-containing polymer,
(메타)아크릴산, 크로톤산, α-크롤아크릴산, 신남산 등의 불포화 모노카본산;Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid,? -Crotonic acid and cinnamic acid;
말레인산, 무수 말레인산, 푸마르산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 메사콘산 등의 불포화 디카본산 또는 그의 무수물;Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride and mesaconic acid, or anhydrides thereof;
숙신산 모노〔2-(메타)아크릴로일옥시에틸〕, 프탈산 모노〔2-(메타)아크릴로일옥시에틸〕 등의 2가 이상의 다가 카본산의 모노〔(메타)아크릴로일옥시알킬〕에스테르;Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] ester of a divalent or higher polyvalent carboxylic acid such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ;
ω-카복시폴리카프로락톤모노(메타)아크릴레이트 등의 폴리카프로락톤올리고머에 (메타)아크릴로일옥시기와 수산기를 도입한 매크로모노머 등을 들 수 있다.and macromonomers obtained by introducing (meth) acryloyloxy groups and hydroxyl groups into polycaprolactone oligomers such as? -carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
불포화 단량체 (α1)은, 1종 또는 2종 이상을 사용하는 것이 가능하다.The unsaturated monomer (? 1) may be used alone or in combination of two or more.
카복실기 함유 중합체로서는, 불포화 단량체 (α1)로서 (메타)아크릴산을 함유하는 (메타)아크릴계 중합체인 것이 바람직하다. 또한, 카복실기 함유 중합체는, 불포화 단량체 (α1)과 공중합 가능한 다른 에틸렌성 불포화 단량체(이하, 「불포화 단량체 (α2)」라고도 칭함)를 구조 단위로서 갖고 있어도 상관없다. 불포화 단량체 (α2)는, 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있다.The carboxyl group-containing polymer is preferably a (meth) acrylic polymer containing (meth) acrylic acid as the unsaturated monomer (? 1). The carboxyl group-containing polymer may have another ethylenic unsaturated monomer copolymerizable with the unsaturated monomer (? 1) (hereinafter also referred to as "unsaturated monomer (? 2)") as a structural unit. The unsaturated monomer (? 2) may be used alone or in combination of two or more.
불포화 단량체 (α2)로서는, 예를 들면,As the unsaturated monomer (? 2), for example,
N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드, N-사이클로헥실말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부티레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(아크리디닐)말레이미드와 같은 N-치환 말레이미드;N-phenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimide benzoate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N- N-substituted maleimides such as 6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (acridinyl) maleimide;
스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-크롤스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르와 같은 방향족 비닐 화합물;Styrene,? -Methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p- Aromatic vinyl compounds such as ether, m-vinylbenzyl methyl ether, p-vinylbenzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether and p-vinyl benzyl glycidyl ether;
인덴, 1-메틸인덴과 같은 인덴 화합물;Indene compounds such as indene and 1-methylindene;
메틸(메타)아크릴레이트, n-부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 알릴(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜(중합도 2∼10)메틸에테르(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜(중합도 2∼10)메틸에테르(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜(중합도 2∼10)모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜(중합도 2∼10)모노(메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트, 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메타)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀의 에틸렌옥사이드 변성 (메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 3-〔(메타)아크릴로일옥시메틸〕옥세탄, 3-〔(메타)아크릴로일옥시메틸〕-3-에틸옥세탄과 같은 (메타)아크릴산 에스테르;Acrylates such as methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, benzyl (Polymerization degree: 2 to 10) Methyl ether (meth) acrylate, polypropylene glycol (polymerization degree 2 to 10) Methyl ether (meth) acrylate, polyethylene glycol (Meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan- (Meth) acrylate, 3 - [(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, 3 - [(meth) acrylate, ) Acryloyloxymethyl] -3-ethyloxetane as well as ( L) acrylic acid ester;
사이클로헥실비닐에테르, 이소보닐비닐에테르, 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일비닐에테르, 펜타사이클로펜타데카닐비닐에테르, 3-(비닐옥시메틸)-3-에틸옥세탄과 같은 비닐에테르;Cyclohexyl vinyl ether, isobornyl vinyl ether, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl vinyl ether, pentacyclopentadecanyl vinyl ether, 3- (vinyloxymethyl) The same vinyl ether;
폴리스티렌, 폴리메틸(메타)아크릴레이트, 폴리-n-부틸(메타)아크릴레이트, 폴리실록산과 같은 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메타)아크릴로일기를 갖는 매크로모노머 등을 들 수 있다.And macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate and polysiloxane.
불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α2)의 공중합체는, 예를 들면, 불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α2)를 공지의 중합 반응에 제공함으로써 제조하는 것이 가능하다. 당해 공중합체 중의 불포화 단량체 (α1)의 공중합 비율은, 바람직하게는 5∼40질량%, 더욱 바람직하게는 10∼30질량%이다. 이러한 태양으로 함으로써, 노광, 포스트베이킹 공정에 있어서, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다. The copolymer of the unsaturated monomer (α1) and the unsaturated monomer (α2) can be produced by, for example, providing an unsaturated monomer (α1) and an unsaturated monomer (α2) to a known polymerization reaction. The copolymerization ratio of the unsaturated monomer (? 1) in the copolymer is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 10 to 30% by mass. With such an embodiment, since the crosslinking structure is easily formed in the intermolecular or molecular way in the exposure and post-baking steps, the curability of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature.
불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α2)의 공중합체의 구체예로서는, 예를 들면, 일본공개특허공보 평7-140654호, 일본공개특허공보 평8-259876호, 일본공개특허공보 평10-31308호, 일본공개특허공보 평10-300922호, 일본공개특허공보 평11-174224호, 일본공개특허공보 평11-258415호, 일본공개특허공보 2000-56118호, 일본공개특허공보 2004-101728호 등에 개시되어 있는 공중합체를 들 수 있다.As specific examples of the copolymer of the unsaturated monomer (? 1) and the unsaturated monomer (? 2), for example, JP-A 7-140654, JP 8-259876, JP 10-31308 Japanese Unexamined Patent Application Publication Nos. 10-300922, 11-174224, 11-258415, 2000-56118, 2004-101728, etc. Include the disclosed copolymers.
또한, 본 발명에 있어서는, 예를 들면, 일본공개특허공보 평5-19467호, 일본공개특허공보 평6-230212호, 일본공개특허공보 평7-207211호, 일본공개특허공보 평09-325494호, 일본공개특허공보 평11-140144호, 일본공개특허공보 2008-181095호 등에 개시되어 있는 바와 같이, 측쇄에 (메타)아크릴로일기 등의 중합성 불포화 결합을 갖는 카복실기 함유 중합체를, (a2) 중합체로서 사용할 수도 있다.Further, in the present invention, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 5-19467, Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-230212, Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-207211, Japanese Unexamined Patent Publication No. 09-325494 , Japanese Unexamined Patent Application Publication Nos. 11-140144 and 2008-181095 disclose a method in which a carboxyl group-containing polymer having a polymerizable unsaturated bond, such as a (meth) acryloyl group, ) Polymer.
카복실기 함유 폴리실록산에 있어서, 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위로서는, 하기 일반식 (1-1)∼(1-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있다. 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위는, 1종 또는 2종 이상 갖는 것이 가능하지만, 그 중에서도, 보존 안정성의 향상, 저온 포스트베이킹에서의 경화성 향상의 관점에서, 적어도 하기 일반식 (1-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 것이 바람직하다.Examples of the structural unit having at least one carboxyl group in the carboxyl group-containing polysiloxane include structural units represented by the following general formulas (1-1) to (1-4). From the viewpoints of improvement of storage stability and improvement of curability in low-temperature post-baking, at least one of the structural units having at least one carboxyl group may be contained, It is preferable to have the structural unit appearing.
〔식 (1-1)∼(1-4)에 있어서,[In the formulas (1-1) to (1-4)
Z1은, 카복실기를 갖는 기를 나타내고,Z 1 represents a group having a carboxyl group,
Y는, 1가의 탄화수소기를 나타낸다.〕And Y represents a monovalent hydrocarbon group.
Z1에 따른 카복실기를 갖는 기로서는, 예를 들면, 하기의 (a) 또는 (b)로 나타나는 기를 들 수 있다.Examples of the group having a carboxyl group according to Z 1 include groups represented by the following (a) or (b).
〔식 (a) 및 (b)에 있어서,[In the formulas (a) and (b)
X1은, 단결합 또는 2가의 탄화수소기를 나타내고,X 1 represents a single bond or a divalent hydrocarbon group,
*는, 결합손을 나타낸다.〕* Indicates a combined hand.]
X1에 따른 2가의 탄화수소기로서는, 2가의 지방족 탄화수소기, 2가의 지환식 탄화수소기, 2가의 방향족 탄화수소기 등을 들 수 있다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「지환식 탄화수소기」란, 환상 구조를 갖지 않는 지방족 탄화수소기를 제외하는 개념이다. 또한, 본 명세서에 있어서 「지환식 탄화수소기」, 「방향족 탄화수소기」란, 환 구조만으로 이루어지는 기뿐만 아니라, 당해 환 구조에 추가로 2가의 지방족 탄화수소기가 치환된 기도 포함하는 개념이고, 그의 구조 중에 적어도 지환식 탄화수소 또는 방향족 탄화수소를 포함하고 있으면 좋다. 2가의 지방족 탄화수소기는 직쇄 및 분기쇄의 어떠한 형태라도 좋고, 또한 2가의 지방족 탄화수소기 및 2가의 지환식 탄화수소기는 포화 탄화수소기라도 불포화 탄화수소기라도 좋다.Examples of the divalent hydrocarbon group according to X 1 include a divalent aliphatic hydrocarbon group, a divalent alicyclic hydrocarbon group, and a divalent aromatic hydrocarbon group. Herein, in the present specification, the "alicyclic hydrocarbon group" is a concept excluding an aliphatic hydrocarbon group having no cyclic structure. In the present specification, the terms " alicyclic hydrocarbon group " and " aromatic hydrocarbon group " include not only a group consisting of a ring structure but also a structure in which a bivalent aliphatic hydrocarbon group is substituted for the ring structure. It may contain at least an alicyclic hydrocarbon or an aromatic hydrocarbon. The divalent aliphatic hydrocarbon group may be any of a straight chain and a branched chain, and the divalent aliphatic hydrocarbon group and the divalent alicyclic hydrocarbon group may be an unsaturated hydrocarbon group or a saturated hydrocarbon group.
2가의 지방족 탄화수소기로서는, 예를 들면, 알칸디일기, 알켄디일기를 들 수 있고, 그의 탄소수는, 바람직하게는 1∼20, 보다 바람직하게는 1∼12, 더욱 바람직하게는 1∼6이다. 구체예로서는, 예를 들면, 메틸렌기, 에탄-1,1-디일기, 에탄-1,2-디일기, 프로판-1,1-디일기, 프로판-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 프로판-2,2-디일기, 부탄-1,2-디일기, 부탄-1,3-디일기, 부탄-1,4-디일기, 펜탄-1,4-디일기, 펜탄-1,5-디일기, 헥산-1,5-디일기, 헥산-1,6-디일기, 2-메틸프로판-1,2-디일기, 2,2-디메틸프로판-1,3-디일기, 에텐-1,1-디일기, 에텐-1,2-디일기, 프로펜-1,2-디일기, 프로펜-1,3-디일기, 프로펜-2,3-디일기, 1-부텐-1,2-디일기, 1-부텐-1,3-디일기, 1-부텐-1,4-디일기, 2-펜텐-1,5-디일기, 3-헥센-1,6-디일기 등을 들 수 있다.The divalent aliphatic hydrocarbon group includes, for example, an alkanediyl group and an alkenediyl group, and the number of carbon atoms thereof is preferably from 1 to 20, more preferably from 1 to 12, still more preferably from 1 to 6 . Specific examples include methylene, ethane-1,1-diyl, ethane-1,2-diyl, propane-1,1-diyl, propane- A butane-1,3-diyl group, a butane-1, 4-diyl group, a pentane-1, 4-diyl group, A pentane-1,5-diyl group, a hexane-1,5-diyl group, a hexane-1,6-diyl group, a 2-methylpropane- Diyl group, an ethene-1,1-diyl group, an ethene-1,2-diyl group, a propene-1,2-diyl group, a propene- Butene-1, 3-diyl group, 1-butene-1, 4-diyl group, 2-pentene-1,5-diyl group, 3-hexene- , 6-diyl group, and the like.
2가의 지환식 탄화수소기로서는, 예를 들면, 사이클로알킬렌기, 사이클로알케닐렌기를 들 수 있고, 그의 탄소수는, 바람직하게는 3∼20, 더욱 바람직하게는 3∼12이다. 구체예로서는, 예를 들면, 사이클로프로필렌기, 사이클로부틸렌기, 사이클로펜틸렌기, 사이클로헥실렌기, 사이클로부테닐렌기, 사이클로펜테닐렌기, 사이클로헥세닐렌기 등의 단환식 탄화수소환기, 1,4-노르보르닐렌기, 2,5-노르보르닐렌기 등의 노르보르닐렌기, 1,5-아다만틸렌기, 2,6-아다만틸렌기 등의 가교환 탄화수소기 등을 들 수 있다.The bivalent alicyclic hydrocarbon group includes, for example, a cycloalkylene group and a cycloalkenylene group, and the number of carbon atoms thereof is preferably 3 to 20, and more preferably 3 to 12. Specific examples thereof include monocyclic hydrocarbon ring groups such as cyclopropylene group, cyclobutylene group, cyclopentylene group, cyclohexylene group, cyclobutenylene group, cyclopentenylene group and cyclohexenylene group, 1,4-nor A norbornylene group such as a norbornylene group and a 2,5-norbornylene group, a crosslinked ring hydrocarbon group such as a 1,5-adamantylene group and a 2,6-adamantylene group, and the like.
2가의 방향족 탄화수소기로서는, 예를 들면, 아릴렌기를 들 수 있고, 탄소수 6∼14의 단환 내지 3환의 아릴렌기가 바람직하다. 구체예로서는, 예를 들면, 페닐렌기, 비페닐렌기, 나프틸렌기, 페난트렌기, 안트릴렌기 등을 들 수 있다.The bivalent aromatic hydrocarbon group includes, for example, an arylene group, and a monocyclic to tricyclic arylene group having 6 to 14 carbon atoms is preferable. Specific examples thereof include a phenylene group, a biphenylene group, a naphthylene group, a phenanthrene group, and an anthrylene group.
Y에 따른 1가의 탄화수소기로서는, 지방족 탄화수소기, 지환식 탄화수소기, 방향족 탄화수소기 등을 들 수 있다.Examples of the monovalent hydrocarbon group according to Y include an aliphatic hydrocarbon group, an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group.
지방족 탄화수소기로서는, 직쇄 및 분기쇄의 어떠한 형태라도 좋고, 또한 포화 탄화수소기라도 불포화 탄화수소기라도 좋다. 지방족 탄화수소기로서는, 예를 들면, 알킬기, 알케닐기, 알키닐기를 들 수 있다. 알킬기로서는, 탄소수 1∼20의 알킬기가 바람직하고, 탄소수 1∼15의 알킬기가 보다 바람직하고, 탄소수 1∼10의 알킬기가 더욱 바람직하다. 구체예로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, 펜틸기, 이소펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 2-에틸헥실기, 데실기, 도데실기 등을 들 수 있다. 또한, 알케닐기로서는, 탄소수 2∼20의 알케닐기가 바람직하고, 탄소수 2∼15의 알케닐기가 보다 바람직하고, 탄소수 2∼10의 알케닐기가 더욱 바람직하다. 또한, 알키닐기로서는, 탄소수 2∼20의 알키닐기가 바람직하고, 탄소수 2∼15의 알키닐기가 보다 바람직하고, 탄소수 2∼10의 알키닐기가 더욱 바람직하다. 구체예로서는, 예를 들면, 에티닐기, 1-프로피닐기, 1-부티닐기, 1-펜티닐기, 3-펜티닐기, 1-헥시닐기, 2-에틸-2-부티닐기, 2-옥티닐기, (4-에티닐)-5-헥시닐기, 2-데시닐기 등을 들 수 있다.The aliphatic hydrocarbon group may be any of a straight chain and a branched chain, and may be a saturated hydrocarbon group or an unsaturated hydrocarbon group. Examples of the aliphatic hydrocarbon group include an alkyl group, an alkenyl group and an alkynyl group. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, and still more preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. Specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, an isopentyl group, a hexyl group, , A 2-ethylhexyl group, a decyl group, and a dodecyl group. The alkenyl group is preferably an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms, and still more preferably an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms. The alkynyl group is preferably an alkynyl group having 2 to 20 carbon atoms, more preferably an alkynyl group having 2 to 15 carbon atoms, and still more preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms. Specific examples include ethynyl, 1-propynyl, 1-butynyl, 1-pentynyl, 3-pentynyl, 4-ethynyl) -5-hexynyl, 2-decynyl and the like.
지환식 탄화수소기에는, 사이클로알킬기, 사이클로알케닐기, 축합 다환 탄화수소기, 가교환 탄화수소기, 스피로 탄화수소기, 환상 테르펜 탄화수소기 등이 포함된다. 지환식 탄화수소기로서는, 탄소수 3∼30의 지환식 탄화수소기가 바람직하고, 탄소수 3∼18의 지환식 탄화수소기가 보다 바람직하고, 탄소수 3∼12의 지환식 탄화수소기가 더욱 바람직하다. 구체예로서는, 예를 들면, 사이클로프로필기, 사이클로부틸기, 사이클로펜틸기, 사이클로헥실기, t-부틸사이클로헥실기, 사이클로헵틸기, 사이클로옥틸기, 트리사이클로데카닐기, 데카하이드로-2-나프틸기, 트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일기, 펜타사이클로펜타데카닐기, 이소보닐기, 아다만틸기, 디사이클로펜타닐기, 디사이클로펜테닐기, 트리사이클로펜타닐기, 트리사이클로펜테닐기 등을 들 수 있다.Examples of the alicyclic hydrocarbon group include a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, a condensed polycyclic hydrocarbon group, a crosslinked ring hydrocarbon group, a spiro hydrocarbon group, and a cyclic terpene hydrocarbon group. The alicyclic hydrocarbon group is preferably an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 30 carbon atoms, more preferably an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and more preferably an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms. Specific examples include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, t-butylcyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, tricyclodecanyl, decahydro-2-naphthyl , Tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl group, pentacyclopentadecanyl group, isobonyl group, adamantyl group, dicyclopentanyl group, dicyclopentenyl group, tricyclopentanyl group, tricyclopentenyl group And the like.
방향족 탄화수소기로서는, 탄소수 6∼20의 아릴기가 바람직하고, 탄소수 6∼10의 아릴기가 더욱 바람직하다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「아릴기」란, 단환∼3환식 방향족 탄화수소기를 말하고, 예를 들면, 페닐기, o-톨릴기, m-톨릴기, p-톨릴기, 자일릴기, 나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기, 아즈레닐기, 9-플루오레닐기, 벤질기, 1-페닐에틸기, 비페닐기 등을 들 수 있다.The aromatic hydrocarbon group is preferably an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, more preferably an aryl group having 6 to 10 carbon atoms. Herein, in the present specification, the "aryl group" refers to a monocyclic to tricyclic aromatic hydrocarbon group, and examples thereof include a phenyl group, o-tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group, xylyl group, A thienyl group, a thienyl group, a thienyl group, a thienyl group, a thienyl group, a thienyl group, a thienyl group, a thienyl group,
2가의 탄화수소기 및 1가의 탄화수소기는, 치환기를 갖고 있어도 좋고, 치환기로서는, 예를 들면, 할로겐 원자, 수산기, 알콕시기 등을 들 수 있다. 할로겐 원자로서는, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자를 들 수 있고, 그 중에서도, 불소 원자가 바람직하다. 알콕시기는, 직쇄상이라도 분기쇄상이라도 상관없지만, 탄소수는 1∼6이 바람직하다. 구체예로서는, 예를 들면, 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 이소프로폭시기, 부톡시기 등을 들 수 있다. 또한, 치환기의 위치 및 수는 임의이고, 예를 들면, 치환기로서 불소 원자를 갖는 경우, 퍼플루오로알킬기로 할 수도 있다. 또한, 치환기를 2 이상 갖는 경우, 당해 치환기는 동일해도 상이해도 좋다.The divalent hydrocarbon group and the monovalent hydrocarbon group may have a substituent, and examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxyl group, and an alkoxy group. Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom, and among them, a fluorine atom is preferable. The alkoxy group may be straight-chain or branched, but preferably has 1 to 6 carbon atoms. Specific examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, and a butoxy group. The position and the number of the substituent are arbitrary. For example, when the substituent has a fluorine atom as the substituent, it may be a perfluoroalkyl group. When two or more substituents are present, the substituents may be the same or different.
또한, 2가의 탄화수소기 및 1가의 탄화수소기는, 탄소-탄소 결합 간 또는 그의 말단에, 탄소 원자 및 수소 원자 이외의 원자를 포함하는 1 이상의 연결기를 갖고 있어도 좋다. 이러한 연결기로서는, 예를 들면, -O-, -S-, -SO2-, -CO-, -COO-, -OCO-, -CONRa-(Ra는, 수소 원자 또는 탄소수 1∼6의 알킬기를 나타냄), -NRa-(Ra는, 상기와 동일한 의미임)를 들 수 있다. 연결기는, 1종 또는 2종 이상 가질 수 있다. 또한, 탄화수소기와 연결기가 결합하여 환 구조를 형성해도 좋다. 또한, 전술의 탄화수소기의 탄소수는, 연결기를 구성하는 탄소 원자를 제외한 부분의 총 탄소수를 의미한다.The divalent hydrocarbon group and the monovalent hydrocarbon group may have at least one linking group containing an atom other than a carbon atom and a hydrogen atom at the carbon-carbon bond or at the terminal thereof. Examples of such linking groups include -O-, -S-, -SO 2 -, -CO-, -COO-, -OCO-, -CONR a - (wherein R a represents a hydrogen atom or a C 1-6 An alkyl group), and -NR a - (wherein R a has the same meaning as described above). The linking groups may be one or more. The hydrocarbon group and the linking group may combine to form a ring structure. The carbon number of the above-mentioned hydrocarbon group means the total carbon number of the part excluding the carbon atoms constituting the linking group.
상기 일반식 (1-1)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 카복시 치환 알킬트리알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 카복시메틸트리메톡시실란, 카복시에틸트리메톡시실란, 2-카복시에틸트리메톡시실란, 카복시프로필트리메톡시실란, 카복시메틸트리에톡시실란, 카복시메틸트리-n-프로필옥시실란, 카복시메틸트리-i-프로필옥시실란, 카복시메틸트리아세톡시실란, 카복시메틸트리(메톡시에톡시)실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the above general formula (1-1) include carboxy-substituted alkyltrialkoxysilane and the like. Specific examples include, for example, carboxymethyltrimethoxysilane, carboxyethyltrimethoxysilane, 2-carboxyethyltrimethoxysilane, carboxypropyltrimethoxysilane, carboxymethyltriethoxysilane, carboxymethyltri- Carboxymethyltriacetoxysilane, carboxymethyltri (methoxyethoxy) silane, and the like can be given.
상기 일반식 (1-2)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 디(카복시 치환 알킬)디알콕시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (1-2) include di (carboxy-substituted alkyl) dialkoxysilane and the like.
상기 일반식 (1-3)으로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 카복시 치환 알킬알킬디알콕시실란, 카복시 치환 알킬아릴디알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 카복시메틸메틸디메톡시실란, 카복시메틸메틸디에톡시실란, 카복시메틸메틸디아세톡시실란, 카복시메틸에틸디메톡시실란, 2-카복시에틸메틸디메톡시실란, 카복시메틸페닐디메톡시실란, 카복시메틸페닐디에톡시실란, 2-카복시에틸페닐디메톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (1-3) include a carboxy-substituted alkylalkyl dialkoxy silane, a carboxy-substituted alkylaryl dialkoxy silane, and the like. Specific examples include, for example, carboxymethylmethyldimethoxysilane, carboxymethylmethyldiethoxysilane, carboxymethylmethyldiacetoxysilane, carboxymethylethyldimethoxysilane, 2-carboxyethylmethyldimethoxysilane, carboxymethylphenyldimethoxysilane, , Carboxymethylphenyldiethoxysilane, and 2-carboxyethylphenyldimethoxysilane.
상기 일반식 (1-4)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 카복시 치환 알킬디알킬알콕시실란, 카복시 치환 알킬알킬아릴알콕시실란, 카복시 치환 알킬디아릴알콕시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (1-4) include carboxy-substituted alkyldialkylalkoxysilane, carboxy-substituted alkylalkylarylalkoxysilane, and carboxy-substituted alkyldiarylalkoxysilane. have.
1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위는 1종 또는 2종 이상을 갖는 것이 가능하고, 또한 당해 구조 단위 이외의 다른 구조 단위를 갖고 있어도 상관없다. 다른 구조 단위로서는, 하기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있다. 또한, 상기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위는, 1종 또는 2종 이상을 가질 수 있다.The structural unit having at least one carboxyl group may have one or more kinds of structural units and may have structural units other than the structural units. Examples of other structural units include structural units represented by the following general formulas (2-1) to (2-4). The structural units represented by the general formulas (2-1) to (2-4) may have one or more kinds of structural units.
〔식 (2-1)∼(2-4)에 있어서, Y는 상기 (1-3) 및 (1-4)에 있어서의 Y와 동일한 의미이다.〕[In formulas (2-1) to (2-4), Y is the same as Y in (1-3) and (1-4) above.]
상기 일반식 (2-1)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 알킬트리알콕시실란, 알케닐트리알콕시실란, 알키닐트리알콕시실란, 사이클로알킬트리알콕시실란, 아릴트리알콕시실란, (메타)아크릴로일옥시 치환 알킬트리알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 에틸트리메톡시실란, 부틸트리메톡시실란, 데실트리메톡시실란, 트리플루오로프로필트리메톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-아크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 스티릴트리알콕시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound giving the structural unit represented by the general formula (2-1) include alkyltrialkoxysilane, alkenyltrialkoxysilane, alkynyltrialkoxysilane, cycloalkyltrialkoxysilane, aryltrialkoxysilane , (Meth) acryloyloxy-substituted alkyltrialkoxysilane, and the like. Specific examples include, for example, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, butyltrimethoxysilane, decyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxy Silane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, styryltrialkoxysilane, and the like.
상기 일반식 (2-2)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 디알킬디알콕시실란, 알킬페닐디알콕시실란, 디페닐디알콕시실란, 디비닐디알콕시실란, 비닐알킬디알콕시실란, 알릴알킬디알콕시실란, 스티릴알킬디알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 디메틸디메톡시실란, 디부틸디메톡시실란, 페닐메틸디메톡시실란, 디페닐디메톡시실란, 3-(메타)아크릴로일옥시프로필메틸디메톡시실란, 3-(메타)아크릴로일옥시프로필페닐디메톡시실란, 3,3'-디(메타)아크릴로일옥시프로필디메톡시실란, 3,3'-디(메타)아크릴로일옥시프로필디에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound giving the structural unit represented by the general formula (2-2) include dialkyldialkoxysilane, alkylphenyldialkoxysilane, diphenyldialkoxysilane, divinyldialkoxysilane, vinylalkyldi Alkoxysilane, allylalkyldialkoxysilane, styrylalkyldialkoxysilane, and the like. Specific examples include dimethyldimethoxysilane, dibutyldimethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, 3- (meth) acryloylpropylmethyldimethoxysilane, 3- (meth) Acryloyloxypropyldimethoxysilane, 3,3'-di (meth) acryloyloxypropyldimethoxysilane, 3,3'-di (meth) acryloyloxypropyldiethoxysilane, etc. .
상기 일반식 (2-3)으로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 트리알킬알콕시실란, 디알킬아릴알콕시실란, 알킬디아릴알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 트리부틸메톡시실란, 트리부틸에톡시실란, 트리페닐메톡시실란, 3,3',3"-트리(메타)아크릴로일옥시프로필메톡시실란, 3,3',3"-트리(메타)아크릴로일옥시프로필에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (2-3) include trialkylalkoxysilane, dialkylarylalkoxysilane, alkyldiarylalkoxysilane, and the like. Specific examples thereof include, for example, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, tributylmethoxysilane, tributylethoxysilane, triphenylmethoxysilane, 3,3 ', 3 "-tri (meth) acryloyl 3,3 ', 3 "-tri (meth) acryloyloxypropylethoxysilane, and the like can be given.
상기 일반식 (2-4)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 테트라알콕시실란을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란, 테트라프로필옥시실란, 테트라이소프로필옥시실란, 테트라부톡시실란 등을 들 수 있다.As the silane compound giving the structural unit represented by the above general formula (2-4), tetraalkoxysilane can be mentioned, for example. Specific examples thereof include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropyloxysilane, tetraisopropyloxysilane, tetrabutoxysilane, and the like.
카복실기 함유 폴리실록산은, 예를 들면, 원료 실란 화합물을 가수 분해 축합함으로써 제조할 수 있다. 가수 분해 축합 반응은, 공지의 방법에 의해 행하는 것이 가능하지만, 예를 들면, 용제 중에서 원료 실란 화합물을 혼합하고, 혼합 용액에 물을 더하여, 가수 분해 축합하는 방법을 들 수 있다. 가수 분해 축합 반응은, 산 촉매를 첨가해도 좋고, 산 촉매로서는, 예를 들면, 염산, 황산, 질산, 인산, 폴리인산 등의 무기산, 포름산, 옥살산, 아세트산, 트리플루오로아세트산, 트리플루오로메탄술폰산 등의 유기산, 산성 이온 교환 수지 등을 들 수 있다. 용제로서는, 예를 들면, 탄화수소, 케톤, 에스테르, 에테르, 알코올 등을 들 수 있다. 물의 사용량은, 원료 실란 화합물의 가수 분해성기의 합계 1몰에 대하여, 바람직하게는 0.1∼3몰, 보다 바람직하게는 0.3∼2몰, 더욱 바람직하게는 0.5∼1.5몰이다.The carboxyl group-containing polysiloxane can be produced, for example, by hydrolysis and condensation of a raw material silane compound. The hydrolysis and condensation reaction can be carried out by a known method. For example, a method of mixing a raw silane compound in a solvent and adding water to the mixed solution to hydrolyze and condense can be mentioned. The hydrolysis and condensation reaction may be carried out by adding an acid catalyst. Examples of the acid catalyst include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid and polyphosphoric acid, formic acid, oxalic acid, acetic acid, trifluoroacetic acid, trifluoromethane An organic acid such as a sulfonic acid, and an acidic ion exchange resin. Examples of the solvent include hydrocarbons, ketones, esters, ethers, and alcohols. The amount of water to be used is preferably 0.1 to 3 moles, more preferably 0.3 to 2 moles, and still more preferably 0.5 to 1.5 moles, per 1 mole of the sum of the hydrolyzable groups of the raw material silane compound.
카복실기 함유 폴리실록산 중의 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위의 비율은 적절히 선택하는 것이 가능하지만, 전체 구조 단위 중에, 5∼40질량%가 바람직하고, 10∼30질량%가 더욱 바람직하다. 또한, 이러한 비율의 상한값은 특별히 한정되지 않고, 100질량%라도 상관없다.The proportion of the structural unit having at least one carboxyl group in the carboxyl group-containing polysiloxane can be appropriately selected, but is preferably 5 to 40 mass%, more preferably 10 to 30 mass%, in the total structural units. The upper limit of the ratio is not particularly limited, and may be 100% by mass.
그 중에서도, (a2) 중합체로서는, 1개 이상의 카복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체를 단량체 단위로서 포함하는 중합체가 바람직하고, 상기식 (a) 또는 (b)로 나타나는 카복실기를 갖는 (메타)아크릴 화합물을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 보다 바람직하고, (메타)아크릴산을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 더욱 바람직하다.Among them, as the polymer (a2), a polymer containing an ethylenically unsaturated monomer having at least one carboxyl group as a monomer unit is preferable, and a (meth) acrylic compound having a carboxyl group represented by the formula (a) or (b) (Meth) acrylic polymer as a monomer unit is more preferable, and a (meth) acrylic polymer containing (meth) acrylic acid as a monomer unit is more preferable.
(a2) 중합체의 산가는, 10∼200㎎KOH/g이 바람직하고, 50∼160㎎KOH/g이 보다 바람직하고, 70∼120㎎KOH/g이 더욱 바람직하다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「산가」란, 중합체 용액의 용매를 제외한 불휘발분 1g을 중화하는데 필요한 KOH의 ㎎수이다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「불휘발분」이란, 후술하는 용매 이외의 성분이다.The acid value of the (a2) polymer is preferably 10 to 200 mgKOH / g, more preferably 50 to 160 mgKOH / g, and even more preferably 70 to 120 mgKOH / g. Here, in the present specification, the "acid value" means the number of mg of KOH required to neutralize 1 g of non-volatile matter excluding the solvent of the polymer solution. In the present specification, the "nonvolatile matter" is a component other than the solvent described later.
(a2) 중합체는, 겔 투과 크로마토그래피(이하, GPC라고 생략함, 용출 용매: 테트라하이드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 (Mw)이, 통상 1,000∼50,000이고, 바람직하게는 3,000∼30,000이다.The polymer (a2) has a weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of usually 1,000 to 50,000, 30,000.
<(a3) 중합체><(a3) Polymer>
다음으로, (a3) 중합체에 대해서 설명한다.Next, the (a3) polymer will be described.
(a3) 중합체는, 지환식 에폭시기를 갖고, 산성 관능기를 갖지 않는 중합체이다. 지환식 에폭시기로서는, 지환식 구조 중의 인접하는 2개의 탄소 원자와, 1개의 산소 원자로 형성되는 에폭시기가 바람직하고, 예를 들면, 2,3-에폭시사이클로부틸기, 2,3-에폭시사이클로펜틸기, 3,4-에폭시사이클로헥실기, 5,6-에폭시-트리사이클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일기, 2,3-에폭시-트리사이클로[4.2.1.02,5]노난-7-일기, 3-(3,4-에폭시사이클로헥실)-9-하이드록시-1,5-디옥사스피로[5.5]운데칸-8-일기, 3-(3,4-에폭시사이클로헥실)-9-하이드록시-2,4-디옥사스피로[5.5]운데칸-8-일기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 3,4-에폭시사이클로헥실기가 바람직하다.(a3) The polymer is a polymer having an alicyclic epoxy group and no acidic functional group. The alicyclic epoxy group is preferably an epoxy group formed by two adjacent carbon atoms and one oxygen atom in the alicyclic structure, and examples thereof include a 2,3-epoxycyclobutyl group, a 2,3-epoxycyclopentyl group, Epoxycyclohexyl group, 5,6-epoxy-tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl group, 2,3-epoxy-tricyclo [4.2.1.0 2,5 ] -Yl group, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) -9-hydroxy-1,5-dioxaspiro [5.5] undecan- -Hydroxy-2,4-dioxaspiro [5.5] undecan-8-yl group and the like. Among them, a 3,4-epoxycyclohexyl group is preferable.
(a3) 중합체로서는, 지환식 에폭시기를 갖고, 산성 관능기를 갖지 않는 중합체라면 특별히 한정되지 않지만, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체(이하, 「불포화 단량체 (α3)」이라고도 칭함)를 구조 단위로서 갖는 중합체(단, (a1) 중합체를 제외함. 이하, 「지환식 에폭시기 함유 중합체」라고도 칭함)이거나, 혹은 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위를 갖는 폴리실록산(단, (a1) 중합체를 제외함. 이하, 「지환식 에폭시기 함유 폴리실록산」이라고도 칭함)이 바람직하다.The polymer (a3) is not particularly limited as long as it is a polymer having an alicyclic epoxy group and no acidic functional group, but an ethylenically unsaturated monomer having at least one alicyclic epoxy group (hereinafter also referred to as "unsaturated monomer (? 3)") (Excluding a polymer (a1), hereinafter also referred to as "an alicyclic epoxy group-containing polymer"), or a polysiloxane having a structural unit having at least one alicyclic epoxy group, provided that (a1) (Hereinafter also referred to as " alicyclic epoxy group-containing polysiloxane ") is preferred.
지환식 에폭시기 함유 중합체에 있어서, 불포화 단량체 (α3)으로서는, 예를 들면, 지환식 에폭시기를 갖는 비닐 화합물, 지환식 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴레이트를 들 수 있다. 또한, 지환식 에폭시기를 갖는 비닐 화합물로서는, 예를 들면, 1,2-에폭시-4-비닐사이클로헥산 등을 들 수 있다.Examples of the unsaturated monomer (? 3) in the alicyclic epoxy group-containing polymer include a vinyl compound having an alicyclic epoxy group and a (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group. Examples of the vinyl compound having an alicyclic epoxy group include 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane and the like.
지환식 에폭시기 함유 중합체로서는, 불포화 단량체 (α3)으로서 지환식 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴레이트를 함유하는 (메타)아크릴계 중합체인 것이 바람직하다.The alicyclic epoxy group-containing polymer is preferably a (meth) acrylic polymer containing (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group as the unsaturated monomer (? 3).
지환식 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴레이트로서는, 하기 일반식 (3)∼(5)로 나타나는 화합물이 바람직하다.As the (meth) acrylate having an alicyclic epoxy group, compounds represented by the following general formulas (3) to (5) are preferable.
〔식 (3)∼(5)에 있어서,[In formulas (3) to (5)
R1은, 서로 독립적으로, 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고,R 1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group,
X2는, 서로 독립적으로, 단결합 또는 2가의 탄화수소기를 나타낸다.〕X 2 represents, independently of each other, a single bond or a divalent hydrocarbon group.
X2에 따른 2가의 탄화수소기로서는, 상기식 (a) 및 (b)에 있어서의 X1과 동일한 의미이고, 그의 구체적 구성은, 상기식 (a) 및 (b)에 있어서 설명한 바와 같다.The divalent hydrocarbon group according to X 2 has the same meaning as X 1 in the above formulas (a) and (b), and its specific structure is as described in the above formulas (a) and (b).
X2로서는, 탄소수 1∼6의 알칸디일기가 바람직하고, 탄소수 1∼4의 알칸디일기가 보다 바람직하고, 메틸렌기, 에틸렌기, 에탄-1,1-디일기, 프로판-1,1-디일기, 프로판-1,2-디일기, 프로판-1,3-디일기, 프로판-2,2-디일기가 더욱 바람직하다.X 2 is preferably an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methylene group, an ethylene group, an ethane-1,1-diyl group, Propyl-1,2-diyl group, propane-1,3-diyl group and propane-2,2-diyl group are more preferable.
식 (3)으로 나타나는 화합물로서는, 3,4-에폭시사이클로헥실메틸메타크릴레이트(시판품으로서는 상품명 사이클로머 M100, 다이셀카가쿠고교(주) 제조; 식 (3)에 있어서 R1이 메틸기, X2가 메틸렌기인 화합물), 3,4-에폭시사이클로헥실메틸아크릴레이트(시판품으로서는 상품명 사이클로머 A400, 다이셀카가쿠고교(주) 제조; 식 (3)에 있어서 R1이 수소 원자, X2가 메틸렌기인 화합물)를 들 수 있다.Formula (3) include compounds represented by 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate (trade name as commercially available products production cycle macromer M100, die POV Chemical Industries Co., Ltd.; the R 1 group in the formula (3), X 2 (Commercially available from Cyclomer A400, manufactured by Dai-ichi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha; a compound in which R 1 is a hydrogen atom and X 2 is a methylene group in the formula (3)), and 3,4-epoxycyclohexylmethacrylate Compounds).
식 (4)로 나타나는 화합물로서는, 식 (4-1)∼(4-8)로 나타나는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (4) include compounds represented by the formulas (4-1) to (4-8).
식 (5)로 나타나는 화합물로서는, 식 (5-1)∼(5-8)로 나타나는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (5) include compounds represented by the formulas (5-1) to (5-8).
식 (4)로 나타나는 화합물 중에서는, 식 (4-1), (4-4), (4-5) 및 (4-8)로 나타나는 화합물이 바람직하고, 식 (5)로 나타나는 화합물 중에서는, 식 (5-1), (5-4), (5-5) 및 (5-8)로 나타나는 화합물이 바람직하다.Among the compounds represented by the formula (4), compounds represented by the formulas (4-1), (4-4), (4-5) and (4-8) are preferable, and among the compounds represented by the formula (5) , (5-1), (5-4), (5-5) and (5-8) are preferable.
불포화 단량체 (α3)은, 1종 또는 2종 이상을 사용하는 것이 가능하고, 또한 불포화 단량체 (α3)과 공중합 가능한 다른 에틸렌성 불포화 단량체를 구조 단위로서 갖고 있어도 상관없다. 다른 에틸렌성 불포화 단량체로서는, 예를 들면, 전술의 불포화 단량체 (α2)를 들 수 있다.The unsaturated monomer (? 3) may be used alone or in combination of two or more, and may contain another ethylenic unsaturated monomer capable of copolymerizing with the unsaturated monomer (? 3) as a structural unit. As the other ethylenic unsaturated monomer, for example, the above-mentioned unsaturated monomer (? 2) can be mentioned.
(a3) 중합체가 불포화 단량체 (α3)과 불포화 단량체 (α2)의 공중합체인 경우는, 예를 들면, 불포화 단량체 (α3)과 불포화 단량체 (α2)를 공지의 중합 반응에 제공함으로써 제조하는 것이 가능하다. 당해 공중합체 중의 불포화 단량체 (α3)의 공중합 비율은, 바람직하게는 20∼99질량%, 더욱 바람직하게는 50∼95질량%이다. 이러한 태양으로 함으로써, 노광, 포스트베이킹 공정에 있어서, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.(a3) In the case where the polymer is a copolymer of an unsaturated monomer (? 3) and an unsaturated monomer (? 2), for example, it can be produced by providing an unsaturated monomer (? 3) and an unsaturated monomer (? . The copolymerization ratio of the unsaturated monomer (? 3) in the copolymer is preferably from 20 to 99% by mass, more preferably from 50 to 95% by mass. With such an embodiment, since the crosslinking structure is easily formed in the intermolecular or molecular way in the exposure and post-baking steps, the curability of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature.
지환식 에폭시기 함유 폴리실록산에 있어서, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위로서는, 하기 일반식 (6-1)∼(6-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있다. 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위는 1종 또는 2종 이상 갖는 것이 가능하지만, 그 중에서도, 보존 안정성의 향상, 저온 포스트베이킹에서의 경화성 향상의 관점에서, 적어도 하기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 것이 바람직하다.Examples of the structural unit having at least one alicyclic epoxy group in the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane include structural units represented by the following general formulas (6-1) to (6-4). From the viewpoints of improvement of storage stability and improvement of curability in low-temperature post-baking, it is preferable that at least one of structural units having at least one alicyclic epoxy group is used, Is preferred.
〔식 (6-1)∼(6-4)에 있어서,[In formulas (6-1) to (6-4)
Z2는, 지환식 에폭시기를 갖는 기를 나타내고,Z 2 represents a group having an alicyclic epoxy group,
Y는, 1가의 탄화수소기를 나타낸다.〕And Y represents a monovalent hydrocarbon group.
Z2에 따른 지환식 에폭시기로서는, 예를 들면, 전술의 지환식 에폭시기를 들 수 있다. 그 중에서도, 지환식 에폭시기를 갖는 기로서는, 하기의 (c)∼(e)로 나타나는 기가 바람직하다.As the alicyclic epoxy group according to Z 2 , for example, the above-mentioned alicyclic epoxy group can be mentioned. Among them, as the group having an alicyclic epoxy group, groups represented by the following (c) to (e) are preferable.
〔식 (c)∼(e)에 있어서,[In the formulas (c) to (e)
X2는, 상기식 (3)∼(5)에 있어서의 X2와 동일한 의미이고,X 2 is as defined above formula (3) ~ X 2 in (5),
*는, 결합손을 나타낸다.〕* Indicates a combined hand.]
식 (c)∼(e)에 있어서의 X2의 구체적 구성은, 상기식 (a) 및 (b)에 있어서 설명한 바와 같다.The specific constitution of X 2 in the formulas (c) to (e) is as described in the above formulas (a) and (b).
상기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 지환식 에폭시 치환 알킬트리알콕시실란을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리에톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리n-프로폭시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리이소프로폭시실란 등을 들 수 있다.As the silane compound giving the structural unit represented by the general formula (6-1), for example, an alicyclic epoxy-substituted alkyltrialkoxysilane can be cited. Specific examples include, for example, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, β- (3,4- Hexyl) ethyltri n-propoxysilane, and? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriisopropoxysilane.
상기 일반식 (6-2)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 디(지환식 에폭시 치환 알킬)디알콕시실란을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 디(β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸)디메톡시실란, 디(β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸)디에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the above general formula (6-2) include di (alicyclic epoxy-substituted alkyl) dialkoxysilane. Specific examples thereof include di (? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl) dimethoxysilane and di (? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl) diethoxysilane.
상기 일반식 (6-3)으로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 지환식 에폭시 치환 알킬알킬디알콕시실란, 지환식 에폭시 치환 알킬아릴디알콕시실란을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸메틸디메톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸메틸디에톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸메틸디프로폭시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸메틸디이소프로폭시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸에틸디메톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸에틸디에톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (6-3) include an alicyclic epoxy-substituted alkyl-alkyl dialkoxy silane and an alicyclic epoxy-substituted alkyl aryl dialkoxy silane. Specific examples thereof include, for example, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethylmethyldimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethylmethyldiethoxysilane, β- (3,4- (3,4-epoxycyclohexyl) ethylmethyldiisopropoxysilane,? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethylethyldimethoxysilane,? - 4-epoxycyclohexyl) ethylethyldiethoxysilane, and the like.
상기 일반식 (6-4)로 나타나는 구조 단위를 부여하는 실란 화합물로서는, 예를 들면, 지환식 에폭시 치환 알킬디알킬알콕시실란, 지환식 에폭시 치환 알킬알킬아릴알콕시실란, 지환식 에폭시 치환 알킬디아릴알콕시실란 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸디메틸메톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸디메틸에톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸디메틸프로폭시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸디메틸이소프로폭시실란 등을 들 수 있다.Examples of the silane compound imparting the structural unit represented by the general formula (6-4) include alicyclic epoxy-substituted alkyldialkylalkoxysilanes, alicyclic epoxy-substituted alkylalkylarylalkoxysilanes, alicyclic epoxy-substituted alkyldiaryls And alkoxysilane. Specific examples include, for example, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyldimethylmethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyldimethylethoxysilane, β- (3,4- Hexyl) ethyldimethylpropoxysilane, and? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyldimethylisopropoxysilane.
1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위는 1종 또는 2종 이상을 갖는 것이 가능하고, 또한 당해 구조 단위 이외의 다른 구조 단위를 갖고 있어도 상관없다. 다른 구조 단위로서는, 상기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있다. 또한, 상기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위는, 1종 또는 2종 이상을 갖는 것이 가능하고, 그 구체적 구성은, 전술의 (a2) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The structural unit having at least one alicyclic epoxy group may have one or more structural units and may have structural units other than the structural units. Examples of other structural units include the structural units represented by the general formulas (2-1) to (2-4). The structural units represented by the general formulas (2-1) to (2-4) may have one or more structural units, and the specific structure thereof is the same as described for the polymer (a2) .
지환식 에폭시기 함유 폴리실록산은, 예를 들면, 원료 실란 화합물을 가수 분해 축합함으로써 제조하는 것이 가능하고, 가수 분해 축합 반응의 구체적 태양은, 전술의 (a2) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The alicyclic epoxy group-containing polysiloxane can be produced, for example, by hydrolysis and condensation of a raw material silane compound, and specific examples of the hydrolysis and condensation reaction are as described in the above-mentioned (a2) polymer.
지환식 에폭시기 함유 폴리실록산 중의 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위의 비율은 적절히 선택하는 것이 가능하지만, 전체 구조 단위 중에, 20질량% 이상이 바람직하고, 50질량% 이상이 보다 바람직하고, 70질량% 이상이 더욱 바람직하다. 또한, 이러한 비율의 상한값은 특별히 한정되지 않고, 100질량%라도 상관없지만, 더 한층의 내용제성 향상의 관점에서, 99질량% 이하가 바람직하고, 95질량% 이하가 더욱 바람직하다.The proportion of the structural unit having at least one alicyclic epoxy group in the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane can be appropriately selected, but is preferably 20% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and more preferably 70% % Or more. The upper limit of the ratio is not particularly limited and may be 100% by mass. From the viewpoint of further improving the solvent resistance, the upper limit is preferably 99% by mass or less, and more preferably 95% by mass or less.
그 중에서도, (a3) 중합체로서는, 상기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 폴리실록산, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체를 단량체 단위로서 포함하는 중합체가 바람직하고, 상기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 폴리실록산으로서, 지환식 에폭시기가 상기식 (c)∼(e)로 나타나는 기 중 적어도 1종인 폴리실록산, 상기식 (c)∼(e)로 나타나는 지환식 에폭시기 중 적어도 1종을 갖는 (메타)아크릴 화합물을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 보다 바람직하고, 상기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 폴리실록산으로서, 지환식 에폭시기가 상기식 (c)∼(e)로 나타나는 기 중 적어도 1종인 폴리실록산, 상기 일반식 (3)∼(5)로 나타나는 화합물 중 적어도 1종을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 더욱 바람직하다.Among them, as the polymer (a3), a polymer containing a polysiloxane having a structural unit represented by the general formula (6-1) and an ethylenically unsaturated monomer having at least one alicyclic epoxy group as a monomer unit is preferable, A polysiloxane having a structural unit represented by the formula (6-1), wherein the polysiloxane in which the alicyclic epoxy group is at least one of the groups represented by the above formulas (c) to (e), the alicyclic (Meth) acrylic polymer having a (meth) acrylic compound having at least one of a hydroxyl group and an epoxy group as a monomer unit is more preferable, and a polysiloxane having a structural unit represented by the general formula (6-1) A polysiloxane which is at least one of the groups represented by the formulas (c) to (e), a (meth) acrylic acid containing at least one of the compounds represented by the above general formulas (3) to (5) Based polymer is more preferred.
(a3) 중합체의 에폭시 당량은, 100∼10,000g/몰이 바람직하고, 150∼1,000g/몰이 더욱 바람직하다. 또한, 에폭시 당량은, JIS K 7236에 준거하여 측정할 수 있다.The epoxy equivalent of the (a3) polymer is preferably 100 to 10,000 g / mol, more preferably 150 to 1,000 g / mol. The epoxy equivalent can be measured in accordance with JIS K 7236.
(a3) 중합체는, GPC(용출 용매: 테트라하이드로푸란)에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 (Mw)이, 500∼100,000인 것이 바람직하고, 1,000∼50,000인 것이 보다 바람직하고, 1,500∼30,000인 것이 더욱 바람직하다.The polymer (a3) preferably has a weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC (dissolution solvent: tetrahydrofuran) of 500 to 100,000, more preferably 1,000 to 50,000, and 1,500 to 30,000 Is more preferable.
<(a1) 중합체><(a1) Polymer>
다음으로, (a1) 중합체에 대해서 설명한다. (a1) 중합체는, 동일 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 중합체이다.Next, the (a1) polymer will be described. (a1) The polymer is a polymer having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule.
(a1) 중합체로서는, 전술의 불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α3)을 구조 단위로서 갖는 공중합체(이하, 「산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 공중합체」라고도 칭함)이거나, 혹은 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위와, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위를 갖는 폴리실록산(이하, 「산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산」이라고도 칭함)이 바람직하다.The polymer (a1) is preferably a copolymer having the above-mentioned unsaturated monomer (? 1) and an unsaturated monomer (? 3) as a structural unit (hereinafter also referred to as an "acidic functional group and an alicyclic epoxy group-containing copolymer"), (Hereinafter also referred to as " acid functional group and alicyclic epoxy group-containing polysiloxane ") having a structural unit having one or more alicyclic epoxy groups and a structural unit having at least one alicyclic epoxy group are preferable.
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 공중합체는, 불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α3)을 공지의 중합 반응에 제공함으로써 제조하는 것이 가능하고, 블록 공중합체라도, 랜덤 공중합체라도 좋다. 또한, (a3) 중합체에 있어서 설명한 지환식 에폭시기 함유 중합체의 지환식 에폭시기의 일부를, 다가 카본산 또는 그의 산 무수물과 반응시켜 카복실기를 도입해도 좋다. 다가 카본산으로서는, 예를 들면, 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 숙신산, 아디프산, 부탄테트라카본산, 사이클로헥산테트라카본산 등을 들 수 있다. 또한, 불포화 단량체 (α1) 및 불포화 단량체 (α3)의 구체적 구성은, (a2) 중합체 및 (a3) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The acidic functional group and alicyclic epoxy group-containing copolymer can be produced by providing an unsaturated monomer (? 1) and an unsaturated monomer (? 3) to a known polymerization reaction, and may be a block copolymer or a random copolymer. Further, a carboxyl group may be introduced by reacting a part of the alicyclic epoxy group of the alicyclic epoxy group-containing polymer (a3) described above with a polyvalent carboxylic acid or an acid anhydride thereof. Examples of the polyvalent carboxylic acid include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, succinic acid, adipic acid, butane tetracarboxylic acid, and cyclohexanetetracarboxylic acid. The specific constitution of the unsaturated monomer (? 1) and the unsaturated monomer (? 3) is the same as described for the (a2) polymer and the (a3) polymer.
불포화 단량체 (α1) 및 불포화 단량체 (α3)은, 각각 1종 또는 2종 이상을 갖는 것이 가능하고, 또한 불포화 단량체 (α1) 및 불포화 단량체 (α3)과 공중합 가능한 다른 에틸렌성 불포화 단량체를 구조 단위로서 갖고 있어도 상관없다. 다른 에틸렌성 불포화 단량체로서는, 예를 들면, 전술의 불포화 단량체 (α2)를 들 수 있다. 불포화 단량체 (α2)의 구체적 구성은, (a2) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The unsaturated monomer (? 1) and the unsaturated monomer (? 3) can each have one or more kinds of unsaturated monomers (? 1) and? 3 and other ethylenically unsaturated monomers copolymerizable with the unsaturated monomers You do not mind. As the other ethylenic unsaturated monomer, for example, the above-mentioned unsaturated monomer (? 2) can be mentioned. The specific constitution of the unsaturated monomer (? 2) is as described for the (a2) polymer.
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 공중합체 중의 불포화 단량체 (α1)과 불포화 단량체 (α3)의 공중합 비율은, 불포화 단량체 (α1)/(불포화 단량체 (α1)+불포화 단량체 (α3))의 질량비로서, 바람직하게는 0.02∼0.9, 더욱 바람직하게는 0.05∼0.5이다. 이러한 태양으로 함으로써, 노광, 포스트베이킹 공정에 있어서, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.The copolymerization ratio of the unsaturated monomer (α1) to the unsaturated monomer (α3) in the acidic functional group and the alicyclic epoxy group-containing copolymer is preferably in the range of from 1 to 10 0.02 to 0.9, more preferably 0.05 to 0.5. With such an embodiment, since the crosslinking structure is easily formed in the intermolecular or molecular way in the exposure and post-baking steps, the curability of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature.
또한, 산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 공중합체가 불포화 단량체 (α2)를 갖는 경우, 당해 공중합체 중의 불포화 단량체 (α2)의 공중합 비율은, 바람직하게는 10∼90질량%, 더욱 바람직하게는 15∼70질량%이다.When the acidic functional group and alicyclic epoxy group-containing copolymer have an unsaturated monomer (? 2), the copolymerization ratio of the unsaturated monomer (? 2) in the copolymer is preferably 10 to 90% by mass, 70% by mass.
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산에 있어서, 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위로서는, 상기 일반식 (1-1)∼(1-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있고, 1종 또는 2종 이상 가질 수 있다. 그 중에서도, 보존 안정성의 향상, 저온 포스트베이킹에서의 경화성 향상의 관점에서, 적어도 상기 일반식 (1-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위로서는, 상기 일반식 (6-1)∼(6-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있고, 1종 또는 2종 이상 가질 수 있다. 그 중에서도, 보존 안정성의 향상, 저온 포스트베이킹에서의 경화성 향상의 관점에서, 적어도 상기 일반식 (6-1)로 나타나는 구조 단위를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 상기 일반식 (1-1)∼(1-4)로 나타나는 구조 단위 및, 상기 일반식 (6-1)∼(6-4)로 나타나는 구조 단위의 구체적 구성은, (a2) 중합체 및 (a3) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.Examples of the structural unit having at least one carboxyl group in the acidic functional group and the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane include structural units represented by the general formulas (1-1) to (1-4) Lt; / RTI > Among them, those having at least a structural unit represented by the above general formula (1-1) are preferable from the viewpoints of improvement of storage stability and improvement of curability in low-temperature post-baking. Examples of the structural unit having at least one alicyclic epoxy group include structural units represented by the above general formulas (6-1) to (6-4), and they may have one kind or two or more kinds. Among them, it is preferable to have at least a structural unit represented by the above general formula (6-1) from the viewpoints of improvement of storage stability and improvement of curability in low-temperature post-baking. Specific examples of the structural units represented by the general formulas (1-1) to (1-4) and the structural units represented by the general formulas (6-1) to (6-4) (a3) polymer.
또한, 카복실기 및 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위로서, 하기 일반식 (7-1) 또는 일반식 (7-2)로 나타나는 구조 단위를 갖고 있어도 상관없다.The structural unit having a carboxyl group and an alicyclic epoxy group may have a structural unit represented by the following general formula (7-1) or general formula (7-2).
〔식 (7-1), (7-2)에 있어서, Z1, Z2 및 Y는, 각각 상기식 (1-1)∼(1-4)에 있어서의 Z1, (1-3) 및 (1-4)에 있어서의 Y, 상기식 (6-1)∼(6-4)에 있어서의 Z2와 동일한 의미이다.〕[Formula (7-1), according to (7-2), Z 1, (1-3) in the Z 1, Z 2 and Y are, respectively, the formula (1-1) to (1-4) And Y in (1-4), and Z 2 in the formulas (6-1) to (6-4)).
식 (7-1), (7-2)에 따른 Z1, Z2 및 Y의 구체적 구성은, 전술의 (a2) 중합체 및 (a3) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.Specific structures of Z 1 , Z 2 and Y according to formulas (7-1) and (7-2) are the same as described for the above-mentioned (a2) polymer and (a3) polymer.
또한, 산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산은, 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위, 그리고 카복실기 및 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위 이외의 다른 구조 단위를 갖고 있어도 상관없다. 다른 구조 단위로서는, 상기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위를 들 수 있다. 또한, 상기 일반식 (2-1)∼(2-4)로 나타나는 구조 단위는, 1종 또는 2종 이상을 갖는 것이 가능하고, 그의 구체적 구성은, 전술의 (a2) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The acidic functional group and alicyclic epoxy group-containing polysiloxane may have a structural unit having at least one carboxyl group, a structural unit having at least one alicyclic epoxy group, and a structural unit other than a structural unit having a carboxyl group and alicyclic epoxy group It does not matter. Examples of other structural units include the structural units represented by the general formulas (2-1) to (2-4). The structural units represented by the general formulas (2-1) to (2-4) can have one or more kinds of structural units, and its specific structure is as described in the above-mentioned (a2) polymer .
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산은, 예를 들면, 원료 실란 화합물을 가수 분해 축합함으로써 제조하는 것이 가능하고, 가수 분해 축합 반응의 구체적 태양은, 전술의 (a2) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.The acidic functional group and the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane can be produced, for example, by hydrolysis and condensation of a raw material silane compound, and specific examples of the hydrolysis and condensation reaction are as described in the above-mentioned (a2) polymer.
또한, (a3) 중합체에 있어서 설명한 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산의 지환식 에폭시기의 일부를, 다가 카본산 또는 그의 산 무수물과 반응시켜 카복실기를 도입해도 좋다. 또한, 1개 이상의 카복실기를 갖는 구조 단위 및, 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위의 구체적 구성은, 전술의 (a2) 중합체 및 (a3) 중합체에 있어서 설명한 바와 같다.Further, a carboxyl group may be introduced by reacting a part of the alicyclic epoxy group of the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane described in the above (a3) polymer with a polyvalent carboxylic acid or an acid anhydride thereof. The specific constitution of the structural unit having at least one carboxyl group and the structural unit having at least one alicyclic epoxy group is the same as described for the polymer (a2) and the polymer (a3).
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산 중의 1개 이상의 카복시기를 갖는 구조 단위와 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 구조 단위의 비율은 적합하게 선택하는 것이 가능하지만, 카복시기 함유 구조 단위/지환식 에폭시기 함유 구조 단위의 질량비로서, 바람직하게는 0.02∼1.0, 더욱 바람직하게는 0.05∼1.0이다. 이러한 태양으로 함으로써, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.The ratio of the structural unit having at least one carboxyl group and the structural unit having at least one alicyclic epoxy group in the acidic functional group and the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane can be suitably selected, but the ratio of the carboxyl group-containing structural unit / alicyclic epoxy group- Unit is preferably 0.02 to 1.0, more preferably 0.05 to 1.0. With such an embodiment, since the cross-linking structure is easily formed in the molecule or in the molecule, the curing property of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature.
산성 관능기 및 지환식 에폭시기 함유 폴리실록산 중의 다른 구조 단위의 비율은, 전체 구조 단위에 대한 질량비로서, 5∼90질량%가 바람직하고, 5∼80질량%가 더욱 바람직하다. 이러한 질량비의 하한값은 특별히 한정되지 않고, 0질량%라도 상관없다.The proportion of the other structural units in the acidic functional group and the alicyclic epoxy group-containing polysiloxane is preferably 5 to 90 mass%, more preferably 5 to 80 mass%, with respect to the total structural units. The lower limit of the mass ratio is not particularly limited and may be 0 mass%.
그 중에서도, (a1) 중합체로서는, 1개 이상의 카복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체와 1개 이상의 지환식 에폭시기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체를 단량체 단위로서 포함하는 중합체가 바람직하고, 상기식 (a) 또는 (b)로 나타나는 카복실기를 갖는 (메타)아크릴 화합물과, 상기식 (c)∼(e)로 나타나는 지환식 에폭시기 중 적어도 1종을 갖는 (메타)아크릴 화합물을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 보다 바람직하고, (메타)아크릴산과, 상기 일반식 (3)∼(5)로 나타나는 화합물 중 적어도 1종을 단량체 단위로서 포함하는 (메타)아크릴계 중합체가 더욱 바람직하다.Among them, the polymer (a1) is preferably a polymer comprising an ethylenic unsaturated monomer having at least one carboxyl group and at least one ethylenic unsaturated monomer having at least one alicyclic epoxy group as a monomer unit, (meth) acrylic polymer containing a (meth) acrylic compound having a carboxyl group represented by the formula (b) and a (meth) acrylic compound having at least one alicyclic epoxy group represented by the above formulas (Meth) acrylic polymer containing at least one of (meth) acrylic acid and the compound represented by any one of the formulas (3) to (5) as a monomer unit is more preferable.
(a1) 중합체의 산가는, 10∼200㎎KOH/g이 바람직하고, 50∼160㎎KOH/g이 보다 바람직하고, 70∼120㎎KOH/g이 더욱 바람직하다.The acid value of the (a1) polymer is preferably 10 to 200 mgKOH / g, more preferably 50 to 160 mgKOH / g, and even more preferably 70 to 120 mgKOH / g.
(a1) 중합체의 에폭시 당량은, 100∼10,000g/몰이 바람직하고, 150∼1,000g/몰이 더욱 바람직하다.The epoxy equivalent of the (a1) polymer is preferably 100 to 10,000 g / mol, more preferably 150 to 1,000 g / mol.
(a1) 중합체는, GPC(용출 용매: 테트라하이드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 (Mw)이, 통상 1,000∼100,000, 바람직하게는 3,000∼50,000이다.The polymer (a1) has a weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC (elution solvent: tetrahydrofuran), usually 1,000 to 100,000, preferably 3,000 to 50,000.
그 중에서도, [A] 성분으로서는, 보존 안정성, 현상성 및 내용제성의 모두를 균형좋게 고(高)수준으로 달성하는 관점에서, (a1) 중합체를 함유하는 것이 바람직하다. (a1) 중합체를 함유하는 경우, 현상성의 관점에서, 추가로 (a2) 중합체 또는 (a3) 중합체를 함유하는 것이 바람직하고, 추가로 (a2) 중합체를 함유하는 것이 보다 바람직하다. (a1) 중합체와 (a2) 중합체를 병용하는 경우, (a1) 중합체와 (a2) 중합체의 합계 함유 비율은, [A] 성분 중에 75질량% 이상인 것이 바람직하다.Among them, the component (A) preferably contains a polymer (a1) from the viewpoint of achieving balanced storage stability, developability and solvent resistance at a high level. In the case of containing a polymer (a1), from the viewpoint of developability, it is more preferable to further contain a polymer (a2) or a polymer (a3), and furthermore preferably a polymer (a2). When the polymer (a1) and the polymer (a2) are used in combination, the total content of the polymer (a1) and the polymer (a2) is preferably 75 mass% or more in the component [A].
또한, [A] 성분으로서, (a2) 중합체와 (a3) 중합체의 조합을 함유하는 경우, (a2) 중합체와 (a3) 중합체의 함유 질량비는, 보존 안정성의 향상, 저온 포스트베이킹에서의 경화성 향상의 관점에서, (a2) 중합체:(a3) 중합체=20:80∼80:20이 바람직하고, 25:75∼75:25가 보다 바람직하고, 30:70∼70:30이 보다 더욱 바람직하다.When the combination of the polymer (a2) and the polymer (a3) is contained as the component [A], the mass ratio of the polymer (a2) and the polymer (a3) is improved by improving the storage stability and improving the curability during low temperature postbaking (A3) polymer is preferably from 20:80 to 80:20, more preferably from 25:75 to 75:25, and even more preferably from 30:70 to 70:30.
감광성 조성물 중의 [A] 성분의 함유량은, 감광성 조성물의 고형분 중에, 바람직하게는 5∼90질량%, 보다 바람직하게는 10∼85질량%, 더욱 바람직하게는 15∼80질량%이다. 이러한 태양으로 함으로써, 보존 안정성이 양호하고, 또한 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「고형분」이란, 후술하는 용매 이외의 성분을 의미한다.The content of the component [A] in the photosensitive composition is preferably 5 to 90 mass%, more preferably 10 to 85 mass%, and still more preferably 15 to 80 mass%, based on the solid content of the photosensitive composition. By virtue of this structure, the storage stability is good, and the crosslinking structure is easily formed in the molecule or in the molecule, so that the curing property of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature. Herein, in the present specification, the term " solid component " means a component other than the solvent described later.
-[B] 감광제-- [B] Photosensitizer -
[B] 감광제로서는, 방사선에 감응하여 라디칼을 발생하여 중합을 개시할 수 있는 화합물(즉, [B-1] 광 라디칼 발생제), 혹은 방사선에 감응하여 산을 발생하는 화합물(즉, [B-2] 광 산 발생제)을 들 수 있다. 본 발명의 감광성 조성물은, [B] 감광제를 함유함으로써, 감방사선성을 가질 수 있다. 예를 들면, [B-1] 광 라디칼 발생제를 함유함으로써 네거티브형의 감방사선성을, 또한 [B-2] 광 산 발생제를 함유함으로써 포지티브형의 감방사선성을, 각각 가질 수 있다.[B] As the photosensitizer, a compound capable of generating radicals in response to radiation to initiate polymerization (that is, a [B-1] photo radical generator) or a compound capable of generating an acid in response to radiation -2] photo acid generator). The photosensitive composition of the present invention can have a radiation-sensitive property by containing a [B] photosensitive agent. For example, it may have a negative radiation-sensitive property by containing a [B-1] photo-radical generator and a positive radiation-sensitive property by containing a [B-2] photo acid generator.
[B-1] 광 라디칼 발생제로서는, 예를 들면, 티옥산톤계 화합물, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, O-아실옥심계 화합물, 오늄염계 화합물, 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, α-디케톤계 화합물, 다핵 퀴논계 화합물, 디아조계 화합물, 이미드술포네이트계 화합물 등을 들 수 있다. 광 라디칼 발생제는, 1종 또는 2종 이상을 함유할 수 있다. 그 중에서도, 광 라디칼 발생제로서는, 티옥산톤계 화합물, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, O-아실옥심계 화합물의 군으로부터 선택되는 적어도 1종이 바람직하다.Examples of the photo radical generator [B-1] include a thioxanthone compound, an acetophenone compound, a nonimidazole compound, a triazine compound, an O-acyloxime compound, an onium salt compound, Benzophenone compounds,? -Diketone compounds, polynuclear quinone compounds, diazo compounds, imidosulfonate compounds, and the like. The photo-radical generator may contain one or more species. Among them, at least one kind selected from the group of a thioxanthone compound, an acetophenone compound, a nonimidazole compound, a triazine compound, and an O-acyloxime compound is preferable as the photo radical generator.
티옥산톤계 화합물로서는, 예를 들면, 티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 4-이소프로필티옥산톤, 2,4-디클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디이소프로필티옥산톤 등을 들 수 있다.Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4- Oxalone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone.
아세토페논계 화합물로서는, 예를 들면, 2-메틸-1-〔4-(메틸티오)페닐〕-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 등을 들 수 있다.Examples of the acetophenone-based compound include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane- -Morpholinophenyl) butan-1-one and 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one.
비이미다졸계 화합물로서는, 예를 들면, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.Examples of the imidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2' Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.
또한, [B-1] 광 라디칼 발생제로서 비이미다졸계 화합물을 이용하는 경우, 수소 공여체를 병용하는 것이, 감도를 개량할 수 있는 점에서 바람직하다. 여기에서 말하는 「수소 공여체」란, 노광에 의해 비이미다졸계 화합물로부터 발생한 라디칼에 대하여, 수소 원자를 공여할 수 있는 화합물을 의미한다. 수소 공여체로서는, 예를 들면, 2-메르캅토벤조티아졸, 2-메르캅토벤조옥사졸 등의 메르캅탄계 수소 공여체, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 아민계 수소 공여체를 들 수 있다. 수소 공여체는, 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있지만, 1종 이상의 메르캅탄계 수소 공여체와 1종 이상의 아민계 수소 공여체를 조합하여 사용하는 것이, 더욱 감도를 개량할 수 있는 점에서 바람직하다.When a non-imidazole-based compound is used as the [B-1] photo-radical generator, it is preferable to use a hydrogen donor in combination because it can improve the sensitivity. The term "hydrogen donor" as used herein means a compound capable of donating a hydrogen atom to a radical generated from a nonimidazole compound by exposure. Examples of the hydrogen donor include mercaptan-based hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (Diethylamino) benzophenone, and the like. The hydrogen donor may be used alone or in combination of two or more, but it is preferable to use one or more kinds of mercaptan-based hydrogen donors and one or more amine-based hydrogen donors in combination in order to further improve the sensitivity.
트리아진계 화합물의 구체예로서는, 예를 들면, 일본특허공고 소57-6096호, 일본공개특허공보 2003-238898호의 단락 〔0063〕∼〔0065〕에 기재된 화합물을 들 수 있다.Specific examples of the triazine compound include the compounds described in paragraphs [0063] to [0065] of Japanese Patent Publication Nos. 57-6096 and 2003-238898.
O-아실옥심계 화합물로서는, 예를 들면, 1,2-옥탄디온,1-〔4-(페닐티오)페닐〕-,2-(O-벤조일옥심), 에탄온,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심), 에탄온,1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라하이드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일〕-,1-(O-아세틸옥심), 에탄온,1-〔9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥소라닐)메톡시벤조일}-9H-카르바졸-3-일〕-,1-(O-아세틸옥심)이나, WO2014/187170호 팜플렛에 기재되어 있는 화합물 No.1∼No.52의 화합물 등을 들 수 있다. O-아실옥심계 화합물의 시판품으로서는, NCI-831, NCI-930(이상, 가부시키가이샤 ADEKA사 제조), DFI-020, DFI-091(이상, 다이토케믹스 가부시키가이샤 제조) 등을 사용할 수도 있다.Examples of the O-acyloxime compound include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [ (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O- -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [ -Dimethyl-1,3-dioxoranyl) methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime) or Compound No. 1 described in WO2014 / 187170 pamphlet And compounds of No.52. As commercially available products of O-acyloxime compounds, NCI-831, NCI-930 (manufactured by ADEKA Corporation), DFI-020, DFI-091 (manufactured by Daito Kikusui Co., Ltd.) have.
또한, 아세토페논계 화합물 등의 비이미다졸계 화합물 이외의 광 라디칼 발생제를 이용하는 경우에는, 증감제를 병용할 수도 있다. 증감제로서는, 예를 들면, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4-디에틸아미노아세토페논, 4-디메틸아미노프로피오페논, 4-디메틸아미노벤조산 에틸, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 2,5-비스(4-디에틸아미노벤잘)사이클로헥산온, 7-디에틸아미노-3-(4-디에틸아미노벤조일)쿠마린, 4-(디에틸아미노)칼콘 등을 들 수 있다.Further, when a photo-radical generator other than a non-imidazole-based compound such as an acetophenone-based compound is used, a sensitizer may be used in combination. Examples of the sensitizer include 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone , Ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino- ) Coumarin, and 4- (diethylamino) chalcone.
감광성 조성물 중의 [B-1] 광 라디칼 발생제의 함유량은, 후술의 [E] 중합성 화합물 100질량부에 대하여, 0.01∼30질량부가 바람직하고, 1∼15질량부가 더욱 바람직하다. 이러한 태양으로 함으로써, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.The content of the [B-1] photo-radical generator in the photosensitive composition is preferably 0.01 to 30 parts by mass, more preferably 1 to 15 parts by mass, per 100 parts by mass of the polymerizable compound [E] described later. With such an embodiment, since the cross-linking structure is easily formed in the molecule or in the molecule, the curing property of the coating film can be further enhanced even at post-baking at a low temperature.
[B-2] 광 산 발생제로서는, 예를 들면, 옥심술포네이트 화합물, 오늄염, 술폰이미드 화합물, 할로겐 함유 화합물, 디아조메탄 화합물, 술폰 화합물, 술폰산 에스테르 화합물, 카본산 에스테르 화합물, 퀴논디아지드 화합물 등을 들 수 있다. 또한, [B-2] 광 산 발생제는, 1종 또는 2종 이상을 함유할 수 있다.Examples of the photoacid generator include [B-2] oxime sulfonate compounds, onium salts, sulfonimide compounds, halogen-containing compounds, diazomethane compounds, sulfone compounds, sulfonic acid ester compounds, Quinone diazide compounds and the like. Further, the [B-2] photoacid generator may contain one kind or two or more kinds thereof.
옥심술포네이트 화합물로서는, 하기식 (8)로 나타나는 옥심술포네이트기를 포함하는 화합물이 바람직하다.As the oxime sulfonate compound, a compound containing an oxime sulfonate group represented by the following formula (8) is preferable.
〔식 (8) 중, Ra는, 탄소수 1∼12의 알킬기, 탄소수 1∼12의 플루오로알킬기, 탄소수 4∼12의 지환식 탄화수소기, 탄소수 6∼20의 아릴기, 혹은 이들 알킬기, 지환식 탄화수소기 및 아릴기가 갖는 수소 원자의 일부 또는 전부가 치환기로 치환된 기이다.〕[In the formula (8), R a represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 12 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, A group wherein some or all of the hydrogen atoms contained in the formula hydrocarbon group and the aryl group are substituted with substituents]
Ra에 따른 알킬기로서는, 탄소수 1∼12의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기가 바람직하다. 이 탄소수 1∼12의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기는 치환기에 의해 치환되어 있어도 좋고, 치환기로서는, 예를 들면, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 7,7-디메틸-2-옥소노르보르닐기 등의 유교(有橋)식 지환기를 포함하는 지환식기 등을 들 수 있다. 탄소수 1∼12의 플루오로알킬기로서는, 트리플루오로메틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵틸플루오로프로필기 등을 들 수 있다.As the alkyl group according to R a , a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms is preferable. The straight or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms may be substituted by a substituent. Examples of the substituent include an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms and a 7,7-dimethyl-2-oxononorbornyl group And alicyclic groups including bridged alicyclic groups. Examples of the fluoroalkyl group having 1 to 12 carbon atoms include a trifluoromethyl group, a pentafluoroethyl group, and a heptylfluoropropyl group.
Ra에 따른 지환식 탄화수소기로서는, 탄소수 4∼12의 지환식 탄화수소기가 바람직하다. 이 탄소수 4∼12의 지환식 탄화수소기는 치환기에 의해 치환되어 있어도 좋고, 치환기로서는, 예를 들면, 탄소수 1∼5의 알킬기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 할로겐 원자 등을 들 수 있다.As the alicyclic hydrocarbon group according to R a , an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 12 carbon atoms is preferable. The alicyclic hydrocarbon group having 4 to 12 carbon atoms may be substituted with a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, and a halogen atom.
Ra에 따른 아릴기로서는, 탄소수 6∼20의 아릴기가 바람직하고, 페닐기, 나프틸기가 보다 바람직하다. 아릴기는 치환기에 의해 치환되어 있어도 좋고, 치환기로서는, 예를 들면, 탄소수 1∼5의 알킬기, 알콕시기, 할로겐 원자 등을 들 수 있다. 예를 들면, 치환 아릴기의 구체예로서는, 톨릴기, 자일릴기 등을 들 수 있다.The aryl group according to R a is preferably an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, more preferably a phenyl group or a naphthyl group. The aryl group may be substituted by a substituent, and examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group, and a halogen atom. For example, specific examples of the substituted aryl group include a tolyl group and a xylyl group.
옥심술포네이트 화합물로서는, 예를 들면, (5-프로필술포닐옥시이미노-5H-티오펜-2-일리덴)-(2-메틸페닐)아세토니트릴, (5-옥틸술포닐옥시이미노-5H-티오펜-2-일리덴)-(2-메틸페닐)아세토니트릴, (캠퍼술포닐옥시이미노-5H-티오펜-2-일리덴)-(2-메틸페닐)아세토니트릴, (5-p-톨루엔술포닐옥시이미노-5H-티오펜-2-일리덴)-(2-메틸페닐)아세토니트릴, 2-(옥틸술포닐옥시이미노)-2-(4-메톡시페닐)아세토니트릴 등을 들 수 있고, 이들은 시판품으로서 입수할 수 있다.Examples of the oxime sulfonate compound include (5-propylsulfonyloxyimino-5H-thiophen-2-ylidene) - (2-methylphenyl) acetonitrile, (5-octylsulfonyloxyimino- Thiophen-2-ylidene) - (2-methylphenyl) acetonitrile, (5-p-toluenesulphonyl) 2- (octylsulfonyloxyimino) -2- (4-methoxyphenyl) acetonitrile, and the like can be given. These are available as commercial products.
오늄염으로서는, 예를 들면, 디페닐요오도늄염, 트리페닐술포늄염, 술포늄염, 벤조티아조늄염, 테트라하이드로티오페늄염, 벤질술포늄염 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 오늄염으로서는, 테트라하이드로티오페늄염, 벤질술포늄염이 바람직하고, 4,7-디-n-부톡시-1-나프틸테트라하이드로티오페늄트리플루오로메탄술포네이트, 벤질-4-하이드록시페닐메틸술포늄헥사플루오로포스페이트가 보다 바람직하고, 4,7-디-n-부톡시-1-나프틸테트라하이드로티오페늄트리플루오로메탄술포네이트가 더욱 바람직하다.Examples of the onium salts include diphenyl iodonium salts, triphenylsulfonium salts, sulfonium salts, benzothiazonium salts, tetrahydrothiophenium salts and benzylsulfonium salts. Among them, as the onium salt, a tetrahydrothiophenium salt or a benzylsulfonium salt is preferable, and 4,7-di-n-butoxy-1-naphthyltetrahydrothiophenium trifluoromethanesulfonate, benzyl- -Hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate is more preferable, and 4,7-di-n-butoxy-1-naphthyltetrahydrothiophenium trifluoromethanesulfonate is more preferable.
술폰이미드 화합물로서는, 예를 들면, N-(트리플루오로메틸술포닐옥시)숙신이미드, N-(캠퍼술포닐옥시)숙신이미드, N-(4-메틸페닐술포닐옥시)숙신이미드, N-(2-트리플루오로메틸페닐술포닐옥시)숙신이미드, N-(4-플루오로페닐술포닐옥시)숙신이미드, N-(트리플루오로메틸술포닐옥시)프탈이미드, N-(캠퍼술포닐옥시)프탈이미드, N-(2-트리플루오로메틸페닐술포닐옥시)프탈이미드, N-(2-플루오로페닐술포닐옥시)프탈이미드, N-(트리플루오로메틸술포닐옥시)디페닐말레이미드, N-(캠퍼술포닐옥시)디페닐말레이미드, N-(4-메틸페닐술포닐옥시)디페닐말레이미드 등을 들 수 있다.Examples of the sulfonimide compound include N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (camphorsulfonyloxy) succinimide, N- (4-methylphenylsulfonyloxy) succinimide , N- (2-trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (4-fluorophenylsulfonyloxy) succinimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) phthalimide, N- - (camphorsulfonyloxy) phthalimide, N- (2-trifluoromethylphenylsulfonyloxy) phthalimide, N- (2-fluorophenylsulfonyloxy) phthalimide, N- Methylsulfonyloxy) diphenylmaleimide, N- (camphorsulfonyloxy) diphenylmaleimide, and N- (4-methylphenylsulfonyloxy) diphenylmaleimide.
술폰산 에스테르 화합물의 적합한 예로서는, 할로알킬술폰산 에스테르를 들 수 있고, 보다 바람직한 예로서, N-하이드록시나프탈이미드-트리플루오로메탄술폰산 에스테르를 들 수 있다.Suitable examples of the sulfonic acid ester compound include haloalkylsulfonic acid esters, and more preferred examples thereof include N-hydroxynaphthalimide-trifluoromethanesulfonic acid ester.
퀴논디아지드 화합물로서는, 예를 들면, 페놀성 화합물 또는 알코올성 화합물(이하, 「모핵」이라고도 함)과, 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 할라이드 또는 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 아미드의 축합물을 이용할 수 있다.As the quinone diazide compound, for example, a phenolic compound or an alcoholic compound (hereinafter also referred to as " mother nucleus "), a 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid halide or a 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid amide Can be used.
모핵으로서는, 예를 들면, 트리하이드록시벤조페논, 테트라하이드록시벤조페논, 펜타하이드록시벤조페논, 헥사하이드록시벤조페논, (폴리하이드록시페닐)알칸의 외, 상기 모핵 이외의 그 외의 모핵 등을 들 수 있다.Examples of the mother nucleus include, but are not limited to, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, pentahydroxybenzophenone, hexahydroxybenzophenone, (polyhydroxyphenyl) alkane, .
모핵의 구체예로서는, 예를 들면,As specific examples of the nuclei, for example,
트리하이드록시벤조페논으로서, 2,3,4-트리하이드록시벤조페논, 2,4,6-트리하이드록시벤조페논 등;As the trihydroxybenzophenone, 2,3,4-trihydroxybenzophenone, 2,4,6-trihydroxybenzophenone and the like;
테트라하이드록시벤조페논으로서, 2,2',4,4'-테트라하이드록시벤조페논, 2,3,4,3'-테트라하이드록시벤조페논, 2,3,4,4'-테트라하이드록시벤조페논, 2,3,4,2'-테트라하이드록시-4'-메틸벤조페논, 2,3,4,4'-테트라하이드록시-3'-메톡시벤조페논 등;As the tetrahydroxybenzophenone, 2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 2,3,4,3'-tetrahydroxybenzophenone, 2,3,4,4'-tetrahydroxy Benzophenone, 2,3,4,2'-tetrahydroxy-4'-methylbenzophenone, 2,3,4,4'-tetrahydroxy-3'-methoxybenzophenone and the like;
펜타하이드록시벤조페논으로서, 2,3,4,2',6'-펜타하이드록시벤조페논 등;As the pentahydroxybenzophenone, 2,3,4,2 ', 6'-pentahydroxybenzophenone and the like;
헥사하이드록시벤조페논으로서, 2,4,6,3',4',5'-헥사하이드록시벤조페논, 3,4,5,3',4',5'-헥사하이드록시벤조페논 등;As the hexahydroxybenzophenone, 2,4,6,3 ', 4', 5'-hexahydroxybenzophenone, 3,4,5,3 ', 4', 5'-hexahydroxybenzophenone and the like;
(폴리하이드록시페닐)알칸으로서, 비스(2,4-디하이드록시페닐)메탄, 비스(p-하이드록시페닐)메탄, 트리스(p-하이드록시페닐)메탄, 1,1,1-트리스(p-하이드록시페닐)에탄, 비스(2,3,4-트리하이드록시페닐)메탄, 2,2-비스(2,3,4-트리하이드록시페닐)프로판, 1,1,3-트리스(2,5-디메틸-4-하이드록시페닐)-3-페닐프로판, 4,4'-〔1-〔4-〔1-〔4-하이드록시페닐〕-1-메틸에틸〕페닐〕에틸리덴]비스페놀, 비스(2,5-디메틸-4-하이드록시페닐)-2-하이드록시페닐메탄, 3,3,3',3'-테트라메틸-1,1'-스피로비인덴-5,6,7,5',6',7'-헥산올, 2,2,4-트리메틸-7,2',4'-트리하이드록시플라반 등;(P-hydroxyphenyl) methane, tris (p-hydroxyphenyl) methane, 1,1,1-tris (dihydroxyphenyl) methane, (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane, 1,1,3-tris 4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethyl] (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl-1,1'-spirobindene- 7,5 ', 6', 7'-hexanol, 2,2,4-trimethyl-7,2 ', 4'-trihydroxyflavan and the like;
을 들 수 있다..
상기 모핵 이외의 그 외의 모핵으로서는, 예를 들면, 2-메틸-2-(2,4-디하이드록시페닐)-4-(4-하이드록시페닐)-7-하이드록시크로만, 1-[1-(3-{1-(4-하이드록시페닐)-1-메틸에틸}-4,6-디하이드록시페닐)-1-메틸에틸]-3-(1-(3-{1-(4-하이드록시페닐)-1-메틸에틸}-4,6-디하이드록시페닐)-1-메틸에틸)벤젠, 4,6-비스{1-(4-하이드록시페닐)-1-메틸에틸}-1,3-디하이드록시벤젠 등을 들 수 있다.Examples of the other parent nuclei other than the above-mentioned parental bone include 2-methyl-2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4- (4-hydroxyphenyl) Methylethyl] -3- (1- (3- {1- (2-methylphenyl) -1,3-dihydroxyphenyl) (4-hydroxyphenyl) -1-methylethyl} -4,6-dihydroxyphenyl) -1-methylethyl) benzene, } -1,3-dihydroxybenzene, and the like.
그 중에서도, 모핵으로서는, 2,3,4,4'-테트라하이드록시벤조페논, 1,1,1-트리스(p-하이드록시페닐)에탄, 4,4'-〔1-〔4-〔1-〔4-하이드록시페닐〕-1-메틸에틸〕페닐〕에틸리덴〕비스페놀이 바람직하다.Among them, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 1,1,1-tris (p-hydroxyphenyl) ethane, 4,4 '- [1- [4- [ - [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol is preferable.
또한, 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 할라이드로서는, 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 클로라이드가 바람직하고, 1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산 클로라이드, 1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산 클로라이드가 보다 바람직하고, 1,2-나프토퀴논디아지드-5-술폰산 클로라이드가 더욱 바람직하다.As the 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid halide, 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid chloride is preferable, and 1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid chloride, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid chloride, Quinonediazide-5-sulfonic acid chloride is more preferable, and 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride is more preferable.
1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 아미드로서는, 2,3,4-트리아미노벤조페논-1,2-나프토퀴논디아지드-4-술폰산 아미드가 바람직하다.As the 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid amide, 2,3,4-triaminobenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid amide is preferable.
페놀성 화합물 또는 알코올성 화합물(모핵)과, 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 할라이드의 축합 반응에 있어서는, 페놀성 화합물 또는 알코올성 화합물 중의 OH기 수에 대하여, 바람직하게는 30몰% 이상 85몰% 이하, 보다 바람직하게는 50몰% 이상 70몰% 이하에 상당하는 1,2-나프토퀴논디아지드술폰산 할라이드를 이용할 수 있다. 또한, 축합 반응은, 공지의 방법에 의해 실시할 수 있다.In the condensation reaction of the phenolic compound or the alcoholic compound (mother cell) with 1,2-naphthoquinonediazidesulfonic acid halide, the condensation reaction is preferably carried out in an amount of 30 mol% or more and 85 mol or more per mol of the OH group in the phenolic compound or the alcoholic compound Or less, more preferably 50 mol% or more and 70 mol% or less, based on the total amount of the 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid halide. The condensation reaction can be carried out by a known method.
그 중에서도, [B-2] 광 산 발생제로서는, 옥심술포네이트 화합물, 오늄염, 술폰이미드 화합물, 퀴논디아지드 화합물이 바람직하고, 옥심술포네이트 화합물, 퀴논디아지드 화합물이 보다 바람직하다. [B-2] 광 산 발생제로서, 이러한 화합물을 함유함으로써, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.Among them, oxime sulfonate compounds, onium salts, sulfonimide compounds and quinone diazide compounds are preferable as the [B-2] photoacid generator, and oxime sulfonate compounds and quinone diazide compounds are more preferable . [B-2] By containing such a compound as the photo acid generator, the crosslinking structure is easily formed in the molecule or in the molecule, so that the curing property of the coating film can be further enhanced even at post-baking at low temperature.
감광성 조성물 중의 [B-2] 광 산 발생제의 함유량은, [A] 성분 100질량부에 대하여, 0.1∼30질량부가 바람직하고, 1∼20질량부가 보다 바람직하다. [B-2] 광 산 발생제의 함유량을 상기 범위로 함으로써, 분자 간 또는 분자 내에 있어서 가교 구조가 형성되기 쉽기 때문에, 저온에서 포스트베이킹하더라도 도막의 경화성을 더 한층 높일 수 있다.The content of [B-2] photo acid generator in the photosensitive composition is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 1 to 20 parts by mass, per 100 parts by mass of the component [A]. [B-2] By setting the content of the photoacid generator within the above range, the cross-linking structure is easily formed in the molecule or in the molecule, so that the curing property of the coating film can be further enhanced even at post-baking at low temperature.
-[C] 착색제-- [C] Colorant -
본 발명의 감광성 조성물은, 추가로 [C] 착색제를 함유할 수 있다. 이에 따라, 예를 들면, 컬러 필터의 착색층을 형성하기 위한 착색 감광성 조성물로 할 수 있다. 여기에서, 「착색층」이란, 컬러 필터에 이용되는 각 색 화소, 블랙 매트릭스, 블랙 스페이서 등을 의미한다. [C] 착색제로서는, 착색성을 갖는 한 특별히 한정되는 것 없이 사용하는 것이 가능하고, 감광성 조성물의 용도에 따라서 색채나 재질을 적절히 선택할 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may further contain a [C] colorant. Thus, for example, a colored photosensitive composition for forming a coloring layer of a color filter can be used. Here, the " colored layer " means each color pixel, a black matrix, a black spacer, etc. used in the color filter. [C] The colorant can be used without particular limitation as far as it has colorability, and the color and the material can be appropriately selected depending on the use of the photosensitive composition.
본 발명의 감광성 조성물을, 컬러 필터를 구성하는 각 색 화소의 형성에 이용하는 경우, 컬러 필터에는 높은 색 순도, 휘도, 콘트라스트 등이 요구되는 점에서, 착색제로서 안료 및 염료로부터 선택되는 적어도 1종이 바람직하고, 유기 안료 및 유기 염료로부터 선택되는 적어도 1종이 보다 바람직하다. 그 중에서도, 본 발명의 효과를 향수하기 쉬운 점에서, 적어도 염료를 함유하는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 안료 및 염료는, 각각 1종 또는 2종 이상을 함유할 수 있다.When the photosensitive composition of the present invention is used for forming each color pixel constituting a color filter, at least one kind selected from pigments and dyes is preferably used as a coloring agent in view of high color purity, brightness, contrast, And more preferably at least one kind selected from organic pigments and organic dyes. Among them, it is more preferable to contain at least a dye in order to enjoy the effect of the present invention. The pigments and dyes may each contain one or more species.
유기 안료로서는, 예를 들면, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서 피그먼트로 분류되어 있는 화합물을 들 수 있고, 그 중에서도, 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 붙여져 있는 것을 바람직하게 이용할 수 있다.Examples of the organic pigment include a compound classified as a pigment in a color index (CI, published by The Society of Dyers and Colourists), and among them, a color index (CI) number Can be preferably used.
C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 279 등의 적색 안료;C.I. Pigment Red 166, C.I. Pigment Red 177, C.I. Pigment Red 224, C.I. Pigment Red 242, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Red 264, C.I. Red pigments such as Pigment Red 279;
C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58, C.I. 피그먼트 그린 59 등의 녹색 안료;C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Pigment Green 58, C.I. Green pigments such as Pigment Green 59;
C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 16, C.I. 피그먼트 블루 79, C.I. 피그먼트 블루 80 등의 청색 안료;C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I. Pigment Blue 16, C.I. Pigment Blue 79, C.I. Blue pigments such as Pigment Blue 80;
C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 179, C.I. 피그먼트 옐로우 180, C.I. 피그먼트 옐로우 185, C.I. 피그먼트 옐로우 211, C.I. 피그먼트 옐로우 215, C.I. 피그먼트 옐로우 231 등의 황색 안료;C.I. Pigment Yellow 83, C.I. Pigment Yellow 129, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 139, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 179, C.I. Pigment Yellow 180, C.I. Pigment Yellow 185, C.I. Pigment Yellow 211, C.I. Pigment Yellow 215, C.I. Yellow pigments such as Pigment Yellow 231;
C.I. 피그먼트 오렌지 38 등의 등(橙)색 안료;C.I. Orange pigments such as Pigment Orange 38;
C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23 등의 자색 안료C.I. Pigment Violet 19, C.I. Violet pigment such as Pigment Violet 23
이 외, 일본공표특허공보 2011-523433호의 식 (Ic)로 나타나는 브롬화 디케토피롤로피롤 안료도 바람직하게 이용할 수 있다.In addition, a diketopyrrolopyrrole bromide pigment represented by the formula (Ic) of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-523433 is also preferably used.
또한, 무기 안료로서는, 카본 블랙, 티탄 블랙 등을 들 수 있다. 그 외, 일본공개특허공보 2001-081348호, 일본공개특허공보 2010-026334호, 일본공개특허공보 2010-237384호, 일본공개특허공보 2010-237569호, 일본공개특허공보 2011-006602호, 일본공개특허공보 2011-145346호 등에 기재된 레이크 안료를 들 수 있다.Examples of the inorganic pigments include carbon black and titanium black. In addition, JP-A-2001-081348, JP-A-2010-026334, JP-A-2010-237384, JP-A-2010-237569, JP-A-2011-006602, And a rake pigment described in Patent Publication No. 2011-145346.
본 발명에 있어서는, 안료를, 재결정법, 재침전법, 용제 세정법, 승화법, 진공 가열법 또는 이들의 조합에 의해 정제하여 사용할 수도 있다. 또한, 안료는, 소망에 의해, 그의 입자 표면을 수지로 개질하여 사용해도 좋다. 또한, 유기 안료는, 소위 솔트 밀링에 의해, 1차 입자를 미세화하여 사용할 수 있다. 솔트 밀링의 방법으로서는, 예를 들면, 일본공개특허공보 평08-179111호에 개시되어 있는 방법을 채용할 수 있다.In the present invention, the pigment may be purified and used by a recrystallization method, a reprecipitation method, a solvent washing method, a sublimation method, a vacuum heating method, or a combination thereof. The pigment may be used by modifying its particle surface with a resin, if desired. Further, the organic pigment can be used by finely grinding primary particles by so-called salt milling. As a method of the salt milling, for example, a method disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 08-179111 can be adopted.
염료로서는 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서 다이(Dye)로 분류되어 있는 화합물의 외, 공지의 염료를 이용할 수 있다. 이러한 염료로서는, 발색단(發色團)의 구조면에서는, 예를 들면, 트리아릴메탄 염료, 시아닌 염료, 잔텐 염료, 안트라퀴논 염료, 아조 염료, 디피로메텐 염료, 퀴노프탈론 염료, 쿠마린 염료, 피라졸론 염료, 퀴놀린 염료, 니트로 염료, 퀴논이민 염료, 프탈로시아닌 염료, 스쿠아릴리움 염료 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 내열성의 관점에서, 트리아릴메탄 염료, 시아닌 염료, 잔텐 염료, 안트라퀴논 염료, 디피로메텐 염료, 프탈로시아닌 염료가 바람직하다.The dyes are not particularly limited, and for example, known dyes other than the compounds classified by the color index (CI., Published by The Society of Dyers and Colourists) can be used. Examples of such dyes include triarylmethane dyes, cyanine dyes, xanthene dyes, anthraquinone dyes, azo dyes, dipyrromethene dyes, quinophthalone dyes, coumarin dyes, Pyrazolone dyes, quinoline dyes, nitro dyes, quinone imine dyes, phthalocyanine dyes, and squarylium dyes. Among them, triarylmethane dyes, cyanine dyes, xanthene dyes, anthraquinone dyes, dipyrromethene dyes and phthalocyanine dyes are preferable from the viewpoint of heat resistance.
또한, 염료는 양이온 부분과 음이온 부분으로 구성되어 있어도 좋고, 예를 들면, 양이온성 발색단과 쌍 음이온의 염, 또는 음이온성 발색단과 쌍 양이온의 염이라도 좋다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「음이온성 염료」란, 발색단이 산성기를 갖는 이온성 염료를 의미하고, 당해 산성기와 염을 형성하고 있는 이온성 염료도 음이온성 염료로 한다. 또한, 본 명세서에 있어서 「양이온성 염료」란, 이온성 염료 중 산성기를 갖지 않는 이온성 염료를 의미하고, 통상은 염기성기를 갖는 염료이다. 또한, 「비이온성 염료」란, 양이온성 염료 및 음이온성 염료 이외의 염료를 의미한다.The dye may be composed of a cation portion and an anion portion, for example, a salt of a cationic chromophore and a counter anion, or an anionic chromophore and a salt of a counter cation. In the present specification, the term " anionic dye " means an ionic dye having a chromophore having an acidic group, and an ionic dye forming a salt with the acidic group is also an anionic dye. In the present specification, the term " cationic dye " means an ionic dye having no acidic group in the ionic dye, and usually a dye having a basic group. In addition, "nonionic dye" means a dye other than a cationic dye and an anionic dye.
양이온성 발색단으로서는, 예를 들면, 트리아릴메탄 발색단, 시아닌 발색단, 잔텐 발색단, 폴리메틴 발색단, 아조 발색단, 디아릴메탄 발색단, 퀴논이민 발색단, 안트라퀴논 발색단, 프탈로시아닌 발색단, 스쿠아릴리움 발색단, 퀴노프탈론 발색단 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 트리아릴메탄 발색단, 시아닌 발색단, 잔텐 발색단, 폴리메틴 발색단, 아조 발색단이 바람직하고, 트리아릴메탄 발색단, 시아닌 발색단이 더욱 바람직하다. 양이온성 발색단으로서는, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서, C.I.베이식으로 분류되는 염료의 양이온부를 이용할 수도 있다.Examples of cationic chromophores include triarylmethane chromophore, cyanine chromophore, xanthophore, polymethine chromophore, azo chromophore, diarylmethane chromophore, quinone imine chromophore, anthraquinone chromophore, phthalocyanine chromophore, squarylium chromophore, Talon chromophore, and the like. Among them, a triarylmethane chromophore, a cyanine chromophore, a xanthophore, a polymethine chromophore, and an azo chromophore are preferable, and a triaryl methane chromophore and a cyanine chromophore are more preferable. As the cationic chromophore, in the color index (CI .; published by The Society of Dyers and Colourists), the cation portion of the dye classified as C. I. Basic may be used.
또한, 쌍 음이온으로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 일본공개특허공보 2015-129263호의 단락 〔0034〕에 기재된 음이온을 들 수 있고, 그 중에서도 술포네이트 음이온, 이미드 음이온, 카복실레이트 음이온이 바람직하고, 이미드 음이온이 보다 바람직하고, 술포닐이미드 음이온이 더욱 바람직하다.The counter anion is not particularly limited, and examples thereof include the anions described in paragraph [0034] of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2015-129263, among which sulfonate anion, imide anion and carboxylate anion are preferable, An imide anion is more preferable, and a sulfonyl imide anion is more preferable.
음이온성 발색단으로서는, 예를 들면, 트리아릴메탄 발색단, 폴리메틴 발색단, 아조 발색단, 디아릴메탄 발색단, 퀴논이민 발색단, 안트라퀴논 발색단, 프탈로시아닌 발색단, 잔텐 발색단, 스쿠아릴리움 발색단, 퀴노프탈론 발색단 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 트리아릴메탄 발색단, 아조 발색단, 프탈로시아닌 발색단, 잔텐 발색단이 바람직하고, -SO3 - 및 -CO2 -로부터 선택되는 1 이상의 치환기를 갖는, 트리아릴메탄 발색단, 아조 발색단, 프탈로시아닌 발색단, 또는 잔텐 발색단이 보다 바람직하다. 음이온성 발색단으로서는, 컬러 인덱스에 있어서 C.I.애시드로 분류되는 염료의 음이온부를 이용할 수도 있다.Examples of the anionic chromophore include triarylmethane chromophore, polymethine chromophore, azo chromophore, diarylmethane chromophore, quinoneimine chromophore, anthraquinone chromophore, phthalocyanine chromophore, xanthone chromophore, squarylium chromophore, quinophthalone chromophore, etc. . Among them, a triarylmethane chromophore, an azo chromophore, a phthalocyanine chromophore, or a triarylmethane chromophore having at least one substituent selected from -SO 3 - and -CO 2 - are preferable, and triarylmethane chromophore, azo chromophore, phthalocyanine chromophore, Xanthate chromophore is more preferable. As the anionic chromophore, an anion portion of the dye classified as CI acid in the color index may be used.
쌍 양이온으로서는, 암모늄 양이온, 포스포늄 양이온, 술포늄 양이온, 요오도늄 양이온, 디아조늄 양이온을 들 수 있고, 그 중에서도, 암모늄 양이온, 포스포늄 양이온이 바람직하고, 암모늄 양이온이 보다 바람직하다.Examples of the counter cation include an ammonium cation, a phosphonium cation, a sulfonium cation, an iodonium cation, and a diazonium cation. Among these, an ammonium cation and a phosphonium cation are preferable, and an ammonium cation is more preferable.
착색제로서 안료를 사용하는 경우, 소망에 의해, 분산제, 분산 조제와 함께 사용할 수 있다. 분산제로서는, 예를 들면, 염기성 분산제, 산성 분산제를 적절히 선택할 수 있다. 여기에서, 본 명세서에 있어서 「염기성 분산제」란, 안료 흡착 사이트로서 염기성기를 갖는 것을 말한다. 또한, 「산성 분산제」란, 안료 흡착 사이트로서 산성기를 갖는 것을 말하고, 단, [A] 성분을 제외한다. 그 중에서도, 보존 안정성의 향상의 관점에서, 산성 분산제가 바람직하다. 또한, 염기성 분산제를 사용하는 경우, 염기성 분산제의 함유 비율은, 보존 안정성의 관점에서, 분산제의 총량에 대하여 20질량% 이하가 바람직하고, 5질량% 이하가 보다 바람직하고, 1질량% 이하가 더욱 바람직하다.When a pigment is used as a colorant, it can be used together with a dispersant and a dispersion aid if desired. As the dispersing agent, for example, a basic dispersing agent and an acidic dispersing agent can be appropriately selected. Here, in the present specification, the term "basic dispersant" refers to a pigment having a basic group as a adsorption site. The "acidic dispersant" refers to a pigment adsorbing site having an acidic group, with the proviso that component (A) is excluded. Among them, an acidic dispersant is preferable from the viewpoint of improvement of storage stability. When a basic dispersing agent is used, the content of the basic dispersing agent is preferably 20% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and more preferably 1% by mass or less based on the total amount of the dispersing agent from the viewpoint of storage stability desirable.
분산제는 공지의 재료로부터 선택하는 것이 가능하고, 염기성 분산제로서는, 예를 들면, 솔스퍼스 11200, 솔스퍼스 13240, 솔스퍼스 13650, 솔스퍼스 13940, 솔스퍼스 16000, 솔스퍼스 17000, 솔스퍼스 18000, 솔스퍼스 20000, 솔스퍼스 24000SG, 솔스퍼스 24000GR, 솔스퍼스 28000, 솔스퍼스 31845, 솔스퍼스 32000, 솔스퍼스 32500, 솔스퍼스 32550, 솔스퍼스 32600, 솔스퍼스 33000, 솔스퍼스 34750, 솔스퍼스 35100, 솔스퍼스 35200, 솔스퍼스 37500, 솔스퍼스 38500, 솔스퍼스 39000, 솔스퍼스 56000, 솔스퍼스 71000, 솔스퍼스 76400, 솔스퍼스 76500, 솔스퍼스 X300, 솔스퍼스 9000, 솔스퍼스 J200(이상, 루블리졸사 제조), DISPERBYK-108, DISPERBYK-109, DISPERBYK-112, DISPERBYK-116, DISPERBYK-130, DISPERBYK-161, DISPERBYK-162, DISPERBYK-163, DISPERBYK-164, DISPERBYK-166, DISPERBYK-167, DISPERBYK-168, DISPERBYK-182, DISPERBYK-183, DISPERBYK-184, DISPERBYK-185, DISPERBYK-2000, DISPERBYK-2008, DISPERBYK-2009, DISPERBYK-2022, DISPERBYK-2050, DISPERBYK-2150, DISPERBYK-2155, DISPERBYK-2163, DISPERBYK-2164, BYK-9077(이상, 빅케미사 제조), 아지스퍼 PB821, PB822, PB823, PB824, PB827(이상, 아지노모토파인테크노사 제조) 등을 들 수 있다.The dispersant may be selected from known materials. Examples of the basic dispersant include Solsperse 11200, Solsperse 13240, Solsperse 13650, Solsperse 13940, Solsperse 16000, Solsperse 17000, Solsperse 18000, Sol Sprass 32000, Sol Sprass 32000, Sol Sprass 33000, Sol Sprass 34000, Sol Sprass 35000, Sol Sprass 35000, Sol Sprass 32000, Sol Sprass 32000, (Manufactured by RUBY RESIN CO., LTD.), DISPERBYK-3 (manufactured by RUBYRESOL CO., LTD.), And SUN SPRUS 37500, SOR SPARSE 38500, SOR SPARSE 39000, SOR SPARSE 56000, SOR SPARSE 71000, SOR SPARS 76400, SOR SPARS 76500, SOR SPARSE X300, DISPERBYK-168, DISPERBYK-167, DISPERBYK-168, DISPERBYK-163, DISPERBYK-163, DISPERBYK-166, DISPERBYK- DISPERBYK-183, DISPERBYK-184, DISPERBYK-185, DISPERBYK DISPERBYK-2064, DISPERBYK-2050, DISPERBYK-2150, DISPERBYK-2155, DISPERBYK-2163, DISPERBYK-2164, and BYK-9077 (manufactured by BICKEMISA), azisper PB821, PB822, PB823, PB824, and PB827 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.).
또한, 산성 분산제로서, 솔스퍼스 3000, 솔스퍼스 21000, 솔스퍼스 26000, 솔스퍼스 36600, 솔스퍼스 41000, 솔스퍼스 41090, 솔스퍼스 43000, 솔스퍼스 44000, 솔스퍼스 46000, 솔스퍼스 47000, 솔스퍼스 55000(이상, 루블리졸사 제조), DISPERBYK-102, DISPERBYK-111, DISPERBYK-170, DISPERBYK-171, DISPERBYK-174, DISPERBYK-2096, BYK-P104, BYK-P104S, BYK-P105, BYK-220S(이상, 빅케미사 제조)를 들 수 있다.Further, as the acidic dispersing agent, there were used Sol Sparse 3000, Sol Spurs 21000, Sol Spurs 26000, Sol Spurs 36600, Sol Spurs 41000, Sol Spurs 41090, Sol Spurs 43000, Sol Spurs 44000, Sol Spurs 46000, Sol Spurs 47000, DISPERBYK-170, DISPERBYK-171, DISPERBYK-174, DISPERBYK-2096, BYK-P104, BYK-P104S, BYK-P105, BYK- Manufactured by BICKEMIS Co., Ltd.).
감광성 조성물 중의 [C] 착색제의 함유량은 용도 등에 따라서 적절히 선택 가능하지만, 휘도, 내열성 및 내용제성이 우수한 화소, 혹은 차광성이 우수한 블랙 매트릭스 및 블랙 스페이서를 형성하는 점에서, 감광성 조성물의 고형분 중에, 바람직하게는 5∼70질량%, 더욱 바람직하게는 10∼60질량%이다.The content of the [C] coloring agent in the photosensitive composition can be appropriately selected according to the application or the like. However, from the viewpoint of forming a pixel excellent in luminance, heat resistance and solvent resistance, or a black matrix and black spacer excellent in light- Preferably 5 to 70 mass%, and more preferably 10 to 60 mass%.
또한, [C] 착색제로서 염료를 함유하는 경우, 염료의 함유 비율은 [C] 착색제의 합계에 대하여 5질량% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 20질량% 이상으로 하는 것이 보다 바람직하고, 50질량% 이상으로 하는 것이 더욱 바람직하고, 90질량% 이상으로 하는 것이 특히 바람직하다. 전술한 바와 같이, 염료는 일반적으로 내열성 등이 뒤떨어지기 때문에, 염료를 함유하는 감광성 조성물을 이용하여 형성된 도막을 200∼250℃의 포스트베이킹 온도로 가열하는 것이 곤란한 것이 통상적이었던 것에 대하여, 본 발명의 감광성 조성물은 저온에서 포스트베이킹하더라도 내용제성이 우수한 경화막을 형성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 감광성 조성물은, 염료의 함유 비율이 커도, 각종 컬러 필터의 제작에 매우 적합하게 사용할 수 있다.When the dye as the [C] colorant is contained, the content of the dye is preferably 5% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, By mass or more, and particularly preferably 90% by mass or more. As described above, since dyes generally have inferior heat resistance and the like, it has been common that it is difficult to heat a coating film formed using a photosensitive composition containing a dye to a post-baking temperature of 200 to 250 캜, The photosensitive composition can form a cured film having excellent solvent resistance even after post-baking at a low temperature. Therefore, the photosensitive composition of the present invention can be suitably used for producing various color filters even if the content of the dye is large.
-[D] 경화 촉진제- [D] Curing accelerator
[D] 경화 촉진제는, 수소 공여체를 갖는 경화 촉진제로서, [A] 성분 중의 지환식 에폭시기에 대하여 촉매 활성을 발현시키는 것이면 특별히 한정되지 않는다. [D] 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 페놀기, 실라놀기, 티올기, 인산기, 술폰산기, 카복실기 등을 갖는 화합물이나, 카본산 무수물 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 페놀기를 갖는 화합물, 실라놀기를 갖는 화합물, 카복실기를 갖는 화합물, 카본산 무수물이 바람직하고, 카복실기를 갖는 화합물, 실라놀기를 갖는 화합물, 카본산 무수물이 보다 바람직하다.The [D] curing accelerator is not particularly limited as long as it is a curing accelerator having a hydrogen donor and is capable of exhibiting catalytic activity with respect to the alicyclic epoxy group in the component [A]. Examples of the [D] curing accelerator include a compound having a phenol group, a silanol group, a thiol group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, a carboxyl group or the like, or a carbonic acid anhydride. Among them, a compound having a phenol group, a compound having a silanol group, a compound having a carboxyl group, and a carbonic acid anhydride are preferable, and a compound having a carboxyl group, a compound having a silanol group, and a carbonic acid anhydride are more preferable.
카복실기를 갖는 화합물로서는, 2개 이상의 카복실기를 갖는 화합물이 바람직하다. 이러한 화합물로서는, 불포화 디카본산의 무수물, 3가 이상의 다가 카본산의 무수물을 들 수 있다. 불포화 디카본산, 3가 이상의 다가 카본산으로서는, 전술의 (a2) 중합체 및 (a1) 중합체에 있어서 설명한 것과 동일한 것을 들 수 있다. 그 중에서도, 3가 이상의 다가 카본산의 무수물이 바람직하다.As the compound having a carboxyl group, a compound having two or more carboxyl groups is preferable. Examples of such compounds include anhydrides of unsaturated dicarboxylic acids and anhydrides of polyvalent carboxylic acids having three or more valences. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid and trivalent or more polyvalent carboxylic acid include the same ones described in the above-mentioned (a2) polymer and (a1) polymer. Of these, anhydrides of polyvalent carboxylic acids having three or more hydroxyl groups are preferable.
페놀기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면, 하기식으로 나타나는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the compound having a phenol group include compounds represented by the following formulas.
실라놀기 함유 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 트리메틸실라놀, 트리에틸실라놀, 1,1,3,3-테트라페닐-1,3-디실록산디올, 1,4-비스(하이드록시디메틸실릴)벤젠, 하기식 (9)로 나타나는 화합물 등의 실라놀 화합물을 들 수 있다.
Examples of the silanol group-containing curing accelerator include trimethylsilanol, triethylsilanol, 1,1,3,3-tetraphenyl-1,3-disiloxanediol, 1,4-bis (hydroxydimethylsilyl) Benzene, and a silanol compound such as a compound represented by the following formula (9).
〔식 (9) 중,(In the formula (9)
R22는, 수소 원자, 불소 원자로 치환되어 있어도 좋은 탄소수 1∼4의 알킬기, 할로겐 원자, NO2 또는 CN을 나타내고, R22는, -COOR24, SO2OR24로서 페닐기와 결합하고 있어도 좋다. 단, R24는, 탄소수 1∼4의 알킬기이다.R 22 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a fluorine atom, a halogen atom, NO 2 or CN, and R 22 may be bonded to a phenyl group as -COOR 24 or SO 2 OR 24 . Provided that R 24 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R23은, 탄소수 1∼4의 알킬기, 또는 지환식 탄화수소기를 나타낸다.R 23 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group.
l 및 n은, 서로 독립적으로, 1∼3의 정수이다.l and n are independently an integer of 1 to 3;
m은, 0∼2의 정수이다. 단, l+n+m은 4의 조건을 충족한다.m is an integer of 0 to 2; However, l + n + m satisfies the condition of 4.
v는, 0∼5의 정수이다. 단, R22가 복수인 경우, 복수의 R22는 동일해도 상이해도 좋다.〕v is an integer of 0 to 5; Provided that when plural R < 22 > s are present, plural R < 22 > s may be the same or different.
R22∼R24에 따른 탄소수 1∼4의 알킬기로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기 등을 들 수 있다. 또한, R23에 따른 지환식 탄화수소기로서는, 탄소수 4∼12의 지환식 탄화수소기가 바람직하다.Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms according to R 22 to R 24 include a methyl group, an ethyl group and a propyl group. The alicyclic hydrocarbon group according to R 23 is preferably an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 12 carbon atoms.
실라놀기 함유 경화 촉진제로서는, 상기식 (9)로 나타나는 화합물이 바람직하고, n이 2 또는 3이고, R22가 수소 원자, 불소 원자로 치환되어 있어도 좋은 탄소수 1∼4의 알킬기, 불소 원자 또는 CN인 화합물(예를 들면 하기식 (9-1)∼(9-8)로 나타나는 화합물)이 보다 바람직하고, n이 3이고, R22가 수소 원자 또는 불소 원자로 치환되어 있어도 좋은 탄소수 1∼4의 알킬기인 화합물(예를 들면 하기식 (9-1)∼(9-4)로 나타나는 화합물)이 더욱 바람직하고, 하기식 (9-1) 및 (9-2)로 나타나는 화합물이 보다 더욱 바람직하다.The silanol group-containing curing accelerator is preferably a compound represented by the formula (9), n is 2 or 3, R 22 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a fluorine atom, (Compounds represented by the following formulas (9-1) to (9-8)), more preferably n is 3, and R 22 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a hydrogen atom or a fluorine atom (9-1) to (9-4) are more preferable, and compounds represented by the following formulas (9-1) and (9-2) are even more preferable.
또한, 실라놀기 함유 경화 촉진제로서는, 예를 들면, 메틸트리메톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 트리메틸이소프로폭시실란, 트리메틸이소부톡시실란, 트리메틸-1-메틸프로폭시실란, 트리메틸부톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 디에틸디에톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 에틸트리에톡시실란, 테트라에톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 페닐트리에톡시실란, 디페닐디메톡시실란, 디페닐메틸에톡시실란, 메틸페닐디에톡시실란, 메틸디메톡시실란, 트리메톡시실란, 트리에톡시실란, 디메틸에톡시실란, 디에톡시실란, 테트라메톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 디메틸비닐메톡시실란, 디메틸비닐에톡시실란, 에틸트리메톡시실란, 메틸디에톡시실란, 부틸트리메톡시실란, 트리메틸페녹시실란, 트리메틸-3-하이드록시페녹시실란, 메틸-2-하이드록시페녹시트리실란, 페닐트리메톡시실란, 페닐메틸디메톡시실란, 트리메틸사이클로헥실옥시실란, 알릴트리에톡시실란, 3-글리시딜옥시프로필트리메톡시실란, 헥실옥시트리메틸실란, 프로필트리에톡시실란, 헥실트리메톡시실란, 디메틸페닐에톡시실란, 트리프로필메톡시실란, 메틸트리프로폭시실란, 옥틸옥시트리메톡시실란, 벤질트리에톡시실란, 디페닐비닐에톡시실란, 디페닐디에톡시실란, 트리페닐에톡시실란, 테트라페녹시실란, 1,2-비스(트리메틸실록시)벤젠, 1,3-비스(트리메틸실록시)벤젠, 1,4-비스(트리메틸실록시)벤젠, 1,3-디메톡시테트라메틸디실록산, 1,3-디에톡시테트라메틸디실록산 등의 가수 분해 축합물 등을 들 수 있다.Examples of the silanol group-containing curing accelerator include methyltrimethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, trimethylisopropoxysilane, trimethylisobutoxysilane, trimethyl-1-methyl But are not limited to, propoxysilane, trimethylbutoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diethyldiethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltriethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, di But are not limited to, phenyldimethoxysilane, diphenylmethylethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, methyldimethoxysilane, trimethoxysilane, triethoxysilane, dimethylethoxysilane, diethoxysilane, tetramethoxysilane, vinyltrimethoxy Silane, dimethylvinylmethoxysilane, dimethylvinylethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, methyldiethoxysilane, butyltrimethoxysilane, trimethylphenoxysilane, trimethyl-3-hydroxy But are not limited to, phenoxysilane, methyl-2-hydroxyphenoxytrisilane, phenyltrimethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, trimethylcyclohexyloxysilane, allyltriethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane , Hexyloxytrimethylsilane, propyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, dimethylphenylethoxysilane, tripropylmethoxysilane, methyltripropoxysilane, octyloxytrimethoxysilane, benzyltriethoxysilane, di (Trimethylsiloxy) benzene, 1,3-bis (trimethylsiloxy) benzene, 1,4-bis (trimethylsiloxy) benzene, 1,4-butanedimethoxy silane, triphenylmethoxy silane, And hydrolytic condensation products such as bis (trimethylsiloxy) benzene, 1,3-dimethoxytetramethyldisiloxane, and 1,3-diethoxytetramethyldisiloxane.
또한, 페놀기를 갖는 화합물 및 실라놀기 함유 경화 촉진제에 대해서, 페놀기 또는 실라놀기를, 예를 들면 하기식으로 나타나는 보호기로 보호할 수도 있다. 보호기를 도입함으로써 촉매 활성을 유지한 채로, 실온에서의 보존 안정성을 향상시킬 수 있다.Further, with respect to the compound having a phenol group and the curing accelerator containing a silanol group, the phenol group or the silanol group may be protected with, for example, a protecting group represented by the following formula. By introducing a protecting group, the storage stability at room temperature can be improved while maintaining the catalytic activity.
감광성 조성물 중의 [D] 경화 촉진제의 함유량은, [A] 성분 100질량부에 대하여, 0.5∼70질량부가 바람직하고, 0.5∼50질량부가 보다 바람직하고, 1∼20질량부가 더욱 바람직하다.The content of the [D] curing accelerator in the photosensitive composition is preferably 0.5 to 70 parts by mass, more preferably 0.5 to 50 parts by mass, further preferably 1 to 20 parts by mass, per 100 parts by mass of the component [A].
-[E] 중합성 화합물-- [E] polymerizable compound -
본 명세서에 있어서 [E] 중합성 화합물이란, 2개 이상의 중합 가능한 기를 갖는 화합물을 말한다. 중합 가능한 기로서는, 예를 들면, 에틸렌성 불포화기, N-알콕시메틸아미노기 등을 들 수 있다. [E] 중합성 화합물로서는, 2개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물, 또는 2개 이상의 N-알콕시메틸아미노기를 갖는 화합물이 바람직하다.In the present specification, the [E] polymerizable compound means a compound having two or more polymerizable groups. Examples of the polymerizable group include an ethylenic unsaturated group and an N-alkoxymethylamino group. As the [E] polymerizable compound, a compound having two or more (meth) acryloyl groups or a compound having two or more N-alkoxymethylamino groups is preferable.
2개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물의 구체예로서는, 지방족 폴리하이드록시 화합물과 (메타)아크릴산의 반응물〔다관능 (메타)아크릴레이트〕, 카프로락톤 변성된 다관능 (메타)아크릴레이트, 알킬렌옥사이드 변성된 다관능 (메타)아크릴레이트, 수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트와 다관능 이소시아네이트의 반응물〔다관능 우레탄(메타)아크릴레이트〕, 수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트와 산 무수물의 반응물〔카복실기를 갖는 다관능 (메타)아크릴레이트〕 등을 들 수 있다.Specific examples of the compound having two or more (meth) acryloyl groups include a reaction product (multifunctional (meth) acrylate) of aliphatic polyhydroxy compound and (meth) acrylic acid, a polyfunctional (meth) acrylate modified with caprolactone, (Meth) acrylate having a hydroxyl group and a reaction product of a (meth) acrylate having a hydroxyl group and a polyfunctional isocyanate [a polyfunctional urethane (meth) acrylate] (A multifunctional (meth) acrylate having a carboxyl group).
지방족 폴리하이드록시 화합물로서는, 예를 들면, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜과 같은 2가의 지방족 폴리하이드록시 화합물; 글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨과 같은 3가 이상의 지방족 폴리하이드록시 화합물을 들 수 있다. 상기 수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면, 2-하이드록시에틸(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 글리세롤디메타크릴레이트 등을 들 수 있다. 상기 다관능 이소시아네이트로서는, 예를 들면, 톨릴렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 디페닐메틸렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트 등을 들 수 있다. 산 무수물로서는, 예를 들면, 무수 숙신산, 무수 말레인산, 무수 글루타르산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 헥사하이드로 무수 프탈산과 같은 2염기산의 무수물, 무수 피로멜리트산, 비페닐테트라카본산 2무수물, 벤조페논테트라카본산 2무수물과 같은 4염기산 2무수물을 들 수 있다.Examples of the aliphatic polyhydroxy compound include divalent aliphatic polyhydroxy compounds such as ethylene glycol, propylene glycol, polyethylene glycol and polypropylene glycol; And tri- or higher-valent aliphatic polyhydroxy compounds such as glycerin, trimethylol propane, pentaerythritol, and dipentaerythritol. Examples of the (meth) acrylate having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol Penta (meth) acrylate, and glycerol dimethacrylate. Examples of the polyfunctional isocyanate include tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate. Examples of the acid anhydride include anhydrides of dibasic acids such as succinic anhydride, maleic anhydride, anhydrous glutaric acid, itaconic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, anhydride pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid dianhydride , Tetrabasic acid dianhydride such as benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride.
또한, 카프로락톤 변성된 다관능 (메타)아크릴레이트로서는, 예를 들면, 일본공개특허공보 평11-44955호의 단락〔0015〕∼〔0018〕에 기재되어 있는 화합물을 들 수 있다. 상기 알킬렌옥사이드 변성된 다관능 (메타)아크릴레이트로서는, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 이소시아눌산 트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 및 프로필렌옥사이드로부터 선택되는 적어도 1종에 의해 변성된 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the caprolactone-modified polyfunctional (meth) acrylate include the compounds described in paragraphs [0015] to [0018] of Japanese Laid-Open Patent Publication No. 11-44955. Examples of the alkylene oxide-modified polyfunctional (meth) acrylate include bisphenol A di (meth) acrylate modified with at least one member selected from ethylene oxide and propylene oxide, at least one member selected from ethylene oxide and propylene oxide Trimethylolpropane tri (meth) acrylate modified with at least one member selected from isocyanuric acid tri (meth) acrylate, ethylene oxide and propylene oxide modified with at least one member selected from the group consisting of ethylene oxide and propylene oxide At least one member selected from pentaerythritol tetra (meth) acrylate modified with at least one member selected from the group consisting of pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethylene oxide and propylene oxide, modified with at least one member selected from ethylene oxide and propylene oxide Denatured by And dipentaerythritol hexa (meth) acrylate modified with at least one member selected from dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethylene oxide and propylene oxide.
또한, 2개 이상의 N-알콕시메틸아미노기를 갖는 화합물로서는, 예를 들면, 멜라민 구조, 벤조구아나민 구조, 우레아 구조를 갖는 화합물 등을 들 수 있다. 또한, 멜라민 구조, 벤조구아나민 구조란, 1 이상의 트리아진환 또는 페닐 치환 트리아진환을 기본 골격으로서 갖는 화학 구조를 말하고, 멜라민, 벤조구아나민 또는 그들의 축합물도 포함하는 개념이다. 2개 이상의 N-알콕시메틸아미노기를 갖는 화합물의 구체예로서는, N,N,N',N',N",N"-헥사(알콕시메틸)멜라민, N,N,N',N'-테트라(알콕시메틸)벤조구아나민, N,N,N',N'-테트라(알콕시메틸)글리콜우릴 등을 들 수 있다.Examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include compounds having a melamine structure, a benzoguanamine structure, and a urea structure. The melamine structure and the benzoguanamine structure refer to a chemical structure having one or more triazine rings or phenyl-substituted triazine rings as basic skeletons, and also include melamine, benzoguanamine, or condensates thereof. Specific examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include N, N, N ', N', N '', N '' - hexa (alkoxymethyl) N, N ', N'-tetra (alkoxymethyl) glycoluril, and the like.
그 중에서도, [E] 중합성 화합물로서는, 3가 이상의 지방족 폴리하이드록시 화합물과 (메타)아크릴산의 반응물〔다관능 (메타)아크릴레이트〕, 카프로락톤 변성된 다관능 (메타)아크릴레이트, 다관능 우레탄(메타)아크릴레이트, 카복실기를 갖는 다관능 (메타)아크릴레이트, N,N,N',N',N",N"-헥사(알콕시메틸)멜라민, N,N,N',N'-테트라(알콕시메틸)벤조구아나민이 바람직하다. 3가 이상의 지방족 폴리하이드록시 화합물과 (메타)아크릴산의 반응물 중에서는, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트가, 카복실기를 갖는 다관능 (메타)아크릴레이트 중에서는, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 무수 숙신산의 반응물, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 무수 숙신산의 반응물이, 분자 간 또는 분자 내에 있어서의 가교 밀도가 높아지기 때문에, 저온 포스트베이킹에서도 도막의 경화성을 더 한층 향상시킬 수 있는 점에서 더욱 바람직하다.Among them, the [E] polymerizable compound is preferably a reaction product of a trifunctional or higher aliphatic polyhydroxy compound with (meth) acrylic acid [multifunctional (meth) acrylate], caprolactone modified multifunctional (meth) N, N ', N', N ', N' '- hexa (alkoxymethyl) melamine, N, N', N ' -Tetra (alkoxymethyl) benzoguanamine is preferred. Among the reactants of the tri- or higher aliphatic polyhydroxy compound and the (meth) acrylic acid, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, Among the polyfunctional (meth) acrylates having a group, a reaction product of pentaerythritol triacrylate and succinic anhydride, a reaction product of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic anhydride has a high cross-linking density in the molecule or in the molecule , And furthermore, the curability of the coating film can be further improved even at low temperature post-baking.
감광성 조성물 중의 [E] 중합성 화합물의 함유량은, [C] 착색제를 포함하는 착색 감광성 조성물을 구성하는 경우에 있어서는, [A] 성분 100질량부에 대하여, 통상 5∼600질량부, 바람직하게는 20∼400질량부이다. 또한, [C] 착색제를 포함하지 않는 감광성 조성물을 구성하는 경우의 [E] 중합성 화합물의 함유량은, [A] 중합체 100질량부에 대하여, 통상 10∼500질량부, 바람직하게는 50∼300질량부이다. 이러한 태양으로 함으로써, 분자 간 또는 분자 내에 있어서의 가교 밀도가 더 한층 높아지기 때문에, 저온 포스트베이킹에서도 도막의 경화성을 더 한층 향상시킬 수 있다.The content of the [E] polymerizable compound in the photosensitive composition is preferably 5 to 600 parts by mass, more preferably 5 to 60 parts by mass, per 100 parts by mass of the component [A], in the case of constituting the colored photosensitive composition comprising the [C] 20 to 400 parts by mass. The content of the [E] polymerizable compound in the case of constituting the photosensitive composition containing no [C] colorant is usually from 10 to 500 parts by mass, preferably from 50 to 300 parts by mass, per 100 parts by mass of the polymer [A] Mass part. With this structure, the cross-linking density in the intermolecular or molecular interior is further increased, so that the curing property of the coating film can be further improved even at low temperature post-baking.
-[F] 금속 킬레이트 화합물-- [F] metal chelate compound -
[F] 금속 킬레이트 화합물은 촉매로서 작용하여, 가교 반응을 촉진하고, 저온, 단시간의 열처리에서도 기재 필름과의 밀착성, 막 경도가 우수한 경화막을 형성할 수 있다.The [F] metal chelate compound acts as a catalyst to accelerate the crosslinking reaction, and can form a cured film having excellent adhesion to the base film and film hardness even at a low temperature and a short time of heat treatment.
[F] 금속 킬레이트 화합물로서는, 예를 들면, 지르코늄 화합물, 티타늄 화합물, 알루미늄 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the [F] metal chelate compound include a zirconium compound, a titanium compound, and an aluminum compound.
지르코늄 화합물, 티타늄 화합물 및 알루미늄 화합물의 구조는, 예를 들면, 각각 하기식 (10-1)∼(10-4) 등으로 나타낼 수 있다.The structures of the zirconium compound, the titanium compound and the aluminum compound can be represented by, for example, the following formulas (10-1) to (10-4), respectively.
〔식 (10-1)∼(10-3) 중,(Of the formulas (10-1) to (10-3)
R13, R14, R16, R17, R19 및 R20은, 서로 독립적으로, 탄소수 1∼6의 알킬기, 아릴기, 사이클로알킬기 또는 알콕시기를 나타내고,R 13 , R 14 , R 16 , R 17 , R 19 and R 20 independently represent an alkyl group, an aryl group, a cycloalkyl group or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms,
R15, R18 및 R21은, 서로 독립적으로, 탄소수 1∼6의 알킬기, 탄소수 1∼16의 알콕시기, 아릴기, 사이클로알킬기 또는 알콕시기를 나타내고,R 15 , R 18 and R 21 independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 16 carbon atoms, an aryl group, a cycloalkyl group or an alkoxy group,
RA는, 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고,R A represents a hydrogen atom or a methyl group,
p 및 p'는, 서로 독립적으로, 0∼3의 정수를 나타내고,p and p 'independently represent an integer of 0 to 3,
p"는, 0∼2의 정수를 나타낸다. 단, R13∼R21이, 각각 복수 있는 경우, 복수의 R13∼R21은 각각 동일하거나 상이해도 좋다.p "represents an integer of 0 to 2. However, R 13 ~R 21 is, in the case where plural, respectively, a plurality of R 13 ~R 21 is may be each the same or different.
식 (10-4) 중,In Equation (10-4)
RB는, 수소 원자, 탄소수 1∼6의 알킬기, 아릴기, 사이클로알킬기 또는 알콕시기를 나타내고,R B represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group, a cycloalkyl group or an alkoxy group,
Ar은, 아릴기를 나타낸다. 단, RB 및 Ar이, 각각 복수 있는 경우, 복수의 RB 및 Ar은 각각 동일해도 상이해도 좋다.Ar represents an aryl group. However, R B, and Ar is, in the case where plural, respectively, a plurality of R B and Ar may be the same or different, respectively.
Re는, 탄소수 1∼6의 알킬기, 아릴기, 사이클로알킬기 또는 알콕시기를 나타내고,R e represents an alkyl group, an aryl group, a cycloalkyl group or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms,
p'''는, 0∼2의 정수를 나타낸다. 단, Re가 복수 있는 경우, 복수의 Re는 동일해도 상이해도 좋다.p '''represents an integer of 0 to 2; However, if a plurality of R e, a plurality of R e may be the same or different.
탄소수 1∼6의 알킬기로서는, 예를 들면, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기, n-펜틸기 등을 들 수 있다. 탄소수 1∼16의 알콕시기로서는, 예를 들면, 메톡시기, 에톡시기, n-프로폭시기, i-프로폭시기, n-부톡시기, sec-부톡시기, t-부톡시기, 라우릴옥시기, 스테아릴옥시기 등을 들 수 있다. 아릴기로서는, 예를 들면, 페닐기 등을 들 수 있다. 사이클로알킬기로서는, 사이클로헥실기 등을 들 수 있다. 아릴기로서는, 벤질기 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a t-butyl group and an n-pentyl group. Examples of the alkoxy group having 1 to 16 carbon atoms include methoxy, ethoxy, n-propoxy, i-propoxy, n-butoxy, sec- , Stearyloxy group, and the like. As the aryl group, for example, a phenyl group and the like can be mentioned. Examples of the cycloalkyl group include a cyclohexyl group and the like. Examples of the aryl group include a benzyl group and the like.
알루미늄 화합물로서는, 예를 들면, 디이소프로폭시에틸아세토아세테이트알루미늄, 디이소프로폭시아세틸아세토네이트알루미늄, 이소프로폭시비스(에틸아세토아세테이트)알루미늄, 이소프로폭시비스(아세틸아세토네이트)알루미늄, 트리스(에틸아세토아세테이트)알루미늄, 트리스(아세틸아세토네이트)알루미늄, 모노아세틸아세토네이트-비스(에틸아세토아세테이트)알루미늄, 하기식으로 나타나는 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the aluminum compound include diisopropoxyethyl acetoacetate aluminum, diisopropoxyacetyl acetonate aluminum, isopropoxybis (ethylacetoacetate) aluminum, isopropoxybis (acetylacetonate) aluminum, tris Ethyl acetoacetate) aluminum, tris (acetylacetonate) aluminum, monoacetylacetonate-bis (ethyl acetoacetate) aluminum, and compounds represented by the following formulas.
지르코늄 화합물로서는, 예를 들면, 트리-n-부톡시에틸아세토아세테이트지르코늄, 디-n-부톡시비스(에틸아세토아세테이트)지르코늄, n-부톡시트리스(에틸아세토아세테이트)지르코늄, 테트라키스(n-프로필아세토아세테이트)지르코늄, 테트라키스(아세틸아세토아세테이트)지르코늄, 테트라키스(에틸아세토아세테이트)지르코늄 등을 들 수 있다.Examples of the zirconium compound include tri-n-butoxyethylacetoacetate zirconium, di-n-butoxybis (ethylacetoacetate) zirconium, n-butoxytris (ethylacetoacetate) zirconium, Propyl acetoacetate) zirconium, tetrakis (acetylacetoacetate) zirconium, tetrakis (ethylacetoacetate) zirconium, and the like.
티타늄 화합물로서는, 예를 들면, 디이소프로폭시비스(에틸아세토아세테이트)티타늄, 디이소프로폭시비스(아세틸아세테이트)티타늄, 디이소프로폭시비스(아세틸아세톤)티타늄 등의 티타늄 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the titanium compound include titanium compounds such as diisopropoxybis (ethylacetoacetate) titanium, diisopropoxybis (acetylacetate) titanium, diisopropoxybis (acetylacetone) titanium and the like .
그 중에서도, [F] 금속 킬레이트 화합물로서는, 알루미늄 화합물이 바람직하고, 디이소프로폭시에틸아세토아세테이트알루미늄, 트리스(아세틸아세토네이트)알루미늄, 트리스(에틸아세토아세테이트)알루미늄이 보다 바람직하다.Among them, an aluminum compound is preferable as the [F] metal chelate compound, and diisopropoxyethylacetoacetate aluminum, tris (acetylacetonate) aluminum and tris (ethyl acetoacetate) aluminum are more preferable.
[F] 금속 킬레이트 화합물은, 1종 또는 2종 이상을 함유할 수 있다. 또한, [F] 금속 킬레이트 화합물로서, 이들 금속 킬레이트 화합물의 부분 가수 분해물을 사용할 수도 있다.The [F] metal chelate compound may contain one kind or two or more kinds. As the [F] metal chelate compounds, partial hydrolyzates of these metal chelate compounds may also be used.
감광성 조성물 중의 [F] 금속 킬레이트 화합물의 함유량은, [A] 성분 100질량부에 대하여, 0.1∼30질량부가 바람직하고, 0.5∼15질량부가 보다 바람직하다. [F] 금속 킬레이트 화합물의 함유량을 상기 특정 범위로 함으로써, 가교 반응을 촉진하여, 저온, 단시간의 열처리라도 경화막의 형성이 가능해지고, 또한 보존 안정성을 양호하게 보존유지할 수 있다.The content of the [F] metal chelate compound in the photosensitive composition is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 0.5 to 15 parts by mass, per 100 parts by mass of the [A] component. By setting the content of the [F] metal chelate compound to the above-specified range, the crosslinking reaction is promoted, so that a cured film can be formed even at a low temperature and a short time of heat treatment, and storage stability can be well maintained.
-[G] 용매-- [G] Solvent -
본 발명의 감광성 조성물은, [A] 및 [B] 성분 및, 임의적으로 더해지는 다른 성분을 함유하는 것이지만, 통상, 유기 용매를 배합하여 액상 조성물로서 조제된다.The photosensitive composition of the present invention contains [A] and [B] components and optionally other components, but is generally formulated as a liquid composition by blending an organic solvent.
유기 용매로서는, 감광성 조성물을 구성하는 [A] 및 [B] 성분이나 다른 성분을 분산 또는 용해하고, 또한 이들 성분과 반응하지 않고, 적당한 휘발성을 갖는 것인 한, 적절하게 선택하여 사용할 수 있다. [G] 용매는, 1종 또는 2종 이상을 함유할 수 있다.The organic solvent can be appropriately selected and used as long as it is dispersible or dissolves the [A] and [B] components constituting the photosensitive composition or other components, does not react with these components, and has appropriate volatility. [G] The solvent may contain one kind or two or more kinds.
이러한 유기 용매로서는, 예를 들면,As such an organic solvent, for example,
에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르;Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono- -Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono- Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tri (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monoethyl ether;
락트산 메틸, 락트산 에틸 등의 락트산 알킬에스테르;Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 이소프로판올, 이소부탄올, t-부탄올, 옥탄올, 2-에틸헥산올, 사이클로헥산올 등의 (사이클로)알킬알코올;(Cyclo) alkyl alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, isopropanol, isobutanol, t-butanol, octanol, 2-ethylhexanol and cyclohexanol;
디아세톤알코올 등의 케토알코올;Ketoalcohols such as diacetone alcohol;
에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트;Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as acetate, 3-methoxybutyl acetate and 3-methyl-3-methoxybutyl acetate;
디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라하이드로푸란 등의 글리콜에테르;Glycol ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran;
메틸에틸케톤, 사이클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등의 케톤;Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone;
프로필렌글리콜디아세테이트, 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트, 1,6-헥산디올디아세테이트 등의 디아세테이트;Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate and 1,6-hexanediol diacetate;
3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에톡시아세트산 에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트 등의 알콕시카본산 에스테르;Alkoxycarbonic acids such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate and 3-methyl- ester;
아세트산 에틸, 아세트산 n-프로필, 아세트산 i-프로필, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-아밀, 아세트산 i-아밀, 프로피온산 n-부틸, 부티르산 에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-옥소부탄산 에틸 등의 지방산 알킬에스테르;Amyl acetate, n-butyl acetate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, propyl acetate, isopropyl acetate, n- , Fatty acid alkyl esters such as n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, and ethyl 2-oxobutanoate;
톨루엔, 자일렌 등의 방향족 탄화수소;Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등의 아미드, 또는 락탐 Amides such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone,
등을 들 수 있다.And the like.
그 중에서도, [G] 용매로서는, 용해성, 안료 분산성, 도포성 등의 관점에서, (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르, (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트가 바람직하다. 또한, [G] 용매를 혼합하여 사용하는 경우는, 적어도 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르와 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트를 혼합하여 사용하는 것이 바람직하다.Among them, as the [G] solvent, (poly) alkylene glycol monoalkyl ether and (poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetate are preferable from the viewpoint of solubility, pigment dispersibility, coating property and the like. When the [G] solvent is used in combination, it is preferable to use at least a mixture of (poly) alkylene glycol monoalkyl ether and (poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetate.
감광성 조성물 중의 [G] 용매의 함유량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, [C] 착색제를 포함하는 착색 감광성 조성물의 경우에는, 감광성 조성물의 [G] 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가, 5∼50질량%가 되는 양이 바람직하고, 10∼40질량%가 되는 양이 보다 바람직하다. 또한, [C] 착색제를 포함하지 않는 감광성 조성물의 경우에는, 감광성 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가, 10∼75질량%가 되는 양이 바람직하고, 15∼70질량%가 되는 양이 보다 바람직하다. 이러한 태양으로 함으로써, 도포성, 보존 안정성이 양호한 감광성 조성물로 할 수 있다.The content of the [G] solvent in the photosensitive composition is not particularly limited, but in the case of the colored photosensitive composition comprising the [C] colorant, the total concentration of each component except for the [G] solvent of the photosensitive composition is preferably 5 to 50 mass %, More preferably 10 to 40% by mass. In the case of a photosensitive composition containing no [C] coloring agent, the total amount of each component excluding the solvent of the photosensitive composition is preferably from 10 to 75 mass%, more preferably from 15 to 70 mass% More preferable. By such an embodiment, a photosensitive composition having good coating properties and storage stability can be obtained.
-첨가제--additive-
본 발명의 감광성 조성물은, 필요에 따라서, 여러 가지의 첨가제를 함유할 수도 있다.The photosensitive composition of the present invention may contain various additives, if necessary.
첨가제로서는, 예를 들면, 유리, 알루미나 등의 충전제; 폴리비닐알코올, 폴리(플루오로알킬아크릴레이트)류 등의 고분자 화합물; 불소계 계면 활성제, 실리콘계 계면 활성제 등의 계면 활성제; 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제; 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 등의 열 라디칼 개시제; 하기식 (11)로 나타나는 구조를 갖는 열 산 발생제; 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀, 펜타에리트리톨테트라키스[3-(3,5-디-t-부틸-4-하이드록시페닐)프로피오네이트], 3,9-비스[2-[3-(3-t-부틸-4-하이드록시-5-메틸페닐)-프로피오닐옥시]-1,1-디메틸에틸]-2,4,8,10-테트라옥사스피로[5.5]운데칸, 티오디에틸렌비스[3-(3,5-디-t-부틸-4-하이드록시페닐)프로피오네이트] 등의 산화 방지제; 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-하이드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논류 등의 자외선 흡수제; 폴리아크릴산 나트륨 등의 응집 방지제; 말론산, 아디프산, 이타콘산, 시트라콘산, 푸마르산, 메사콘산, 2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 5-아미노-1-펜탄올, 3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올 등의 잔사 개선제; 숙신산 모노〔2-(메타)아크릴로일옥시에틸〕, 프탈산 모노〔2-(메타)아크릴로일옥시에틸〕, ω-카복시폴리카프로락톤모노(메타)아크릴레이트 등의 현상성 개선제 등을 들 수 있다.Examples of the additive include fillers such as glass and alumina; High molecular compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylate); Surfactants such as fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants; Vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclo Hexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like Adhesion promoters; Thermal radical initiators such as 2,2'-azobisisobutyronitrile and 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile); A thermal acid generator having a structure represented by the following formula (11); Di-t-butylphenol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4 -Hydroxyphenyl) propionate], 3,9-bis [2- [3- (3-t-butyl- -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane and thiodiethylene bis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] ; Ultraviolet absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; An anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate; Amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propane, 3-amino-1-pentanol, Diol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like; A developing agent such as mono [2- (meth) acryloyloxyethyl succinate], mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] phthalate, and ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) .
〔식 (11) 중,[In the formula (11)
Rb 및 Rc는, 서로 독립적으로, 1가의 탄화수소기를 나타내고,R b and R c independently represent a monovalent hydrocarbon group,
Rd는, 탄소수 1∼12의 알킬기, 알콕시카보닐기 또는 알콕시카보닐알킬기를 나타낸다.〕R d represents an alkyl group, an alkoxycarbonyl group or an alkoxycarbonylalkyl group having 1 to 12 carbon atoms.
Rb 및 Rc에 따른 1가의 탄화수소기는, 상기식 (1-3) 및 (1-4)에 있어서의 Y와 동일한 의미이고, 그의 구체적 태양은 전술한 바와 같다. 그 중에서도, Rb 및 Rc에 따른 1가의 탄화수소기로서는, 탄소수 1∼12의 알킬기, 탄소수 4∼12의 지환식 탄화수소기, 탄소수 6∼20의 아릴기가 바람직하고, 이들 알킬기, 지환식 탄화수소기 및 아릴기가 갖는 수소 원자의 일부 또는 전부는, 치환기로 치환되어 있어도 좋다. 치환기로서는, 할로겐 원자, 탄소수 1∼5의 알킬기, 탄소수 1∼10의 알콕시기, 7, 7-디메틸-2-옥소노르보르닐기 등을 들 수 있다. 그의 구체적 태양은, 상기식 (8)에 있어서의 Ra와 동일한 것을 들 수 있다.The monovalent hydrocarbon groups according to R b and R c have the same meanings as Y in the formulas (1-3) and (1-4), and specific examples thereof are as described above. Among them, the monovalent hydrocarbon group according to R b and R c is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, and the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group And a part or all of hydrogen atoms contained in the aryl group may be substituted with a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, and a 7,7-dimethyl-2-oxononorbornyl group. Specific examples thereof include the same ones as R a in the formula (8).
Rd에 따른 알콕시카보닐기로서는, C1-4 알콕시카보닐기가 바람직하고, 구체예로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐기, 에톡시카보닐기, 프로폭시카보닐기, 부톡시카보닐기 등을 들 수 있다. 또한, 알콕시카보닐알킬기로서는, 총 탄소수가 3∼9의 알콕시카보닐알킬기가 바람직하고, 그의 구체예로서는, 예를 들면, 메톡시카보닐메틸기, 에톡시카보닐메틸기, n-프로폭시카보닐메틸기, 이소프로폭시카보닐에틸기, 페녹시카보닐메틸기, 페녹시카보닐에틸기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, Rd로서는, 탄소수 1∼12의 알킬기가 바람직하고, 탄소수 1∼6의 알킬기가 보다 바람직하다.As the alkoxycarbonyl group according to R d , a C 1-4 alkoxycarbonyl group is preferable, and specific examples include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, propoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group and the like. have. As the alkoxycarbonylalkyl group, an alkoxycarbonylalkyl group having a total carbon number of 3 to 9 is preferable, and specific examples thereof include methoxycarbonylmethyl group, ethoxycarbonylmethyl group, n-propoxycarbonylmethyl group , An isopropoxycarbonylethyl group, a phenoxycarbonylmethyl group, and a phenoxycarbonylethyl group. Among them, R d is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
본 발명의 감광성 조성물은, 적절한 방법에 의해 조제할 수 있다. 예를 들면, [A] 및 [B] 성분을, 용매나 임의적으로 더해지는 다른 성분과 함께, 비즈 밀, 롤 밀 등을 이용하여 혼합·분산함으로써 조제할 수 있다.The photosensitive composition of the present invention can be prepared by an appropriate method. For example, the components [A] and [B] can be prepared by mixing and dispersing the components together with a solvent or other components to be optionally added, using a bead mill, roll mill or the like.
〔경화막 및 그의 제조 방법〕[Cured film and manufacturing method thereof]
본 발명의 경화막은, 본 발명의 감광성 조성물을 이용하여 형성된 것이고, 공정 (1)∼(4)를 포함하는 것이다. 경화막으로서는, 표시 소자나 수광 소자에 이용되는 각 색 화소, 층간 절연막, 평탄화막, 발광층을 형성하기 위한 영역을 규정하는 뱅크(격벽), 블랙 매트릭스, 스페이서, 보호막 등을 들 수 있다. 또한, 표시 소자로서는, 예를 들면, 컬러 액정 표시 소자, 유기 EL 소자, 전자 페이퍼 등을 들 수 있고, 수광 소자로서는, 예를 들면, CCD 이미지 센서, CMOS 이미지 센서 등을 들 수 있다.The cured film of the present invention is formed using the photosensitive composition of the present invention and includes the steps (1) to (4). Examples of the cured film include a bank (partition wall) defining a region for forming each color pixel, an interlayer insulating film, a planarizing film, and a light emitting layer used in a display element and a light receiving element, a black matrix, a spacer and a protective film. Examples of the display element include a color liquid crystal display element, an organic EL element, and an electronic paper. Examples of the light receiving element include a CCD image sensor and a CMOS image sensor.
-공정 (1)-- Process (1) -
공정 (1)은, 기판 상에, 본 발명의 감광성 조성물을 도포하여 도막을 형성하는 공정이다.Step (1) is a step of forming a coating film on the substrate by applying the photosensitive composition of the present invention.
<기판><Substrate>
기판으로서는, 가시광에 대하여 투과율이 높은 투명 기판을 들 수 있다. 구체예로서는, 예를 들면, 붕규산 유리, 알루미노 붕규산 유리, 무알칼리 유리, 석영 유리, 합성 석영 유리, 소다 라임 유리, 화이트 사파이어 등의 유리 기판; 폴리카보네이트, 폴리메타크릴산 메틸, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르술폰, 폴리이미드 등의 수지제 기판을 들 수 있다.As the substrate, there can be mentioned a transparent substrate having a high transmittance with respect to visible light. Specific examples thereof include glass substrates such as borosilicate glass, aluminoborosilicate glass, alkali-free glass, quartz glass, synthetic quartz glass, soda lime glass and white sapphire; Examples of the substrate include resin substrates such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, polyether sulfone, and polyimide.
또한, 기판으로서, 발광 소자가 탑재된 기판을 이용해도 좋다. 발광 소자로서는, 예를 들면, 발광 다이오드, 반도체 레이저, 유기 EL 발광 소자 등의 고체 발광 소자를 들 수 있고, 고체 발광 소자의 표면은 투명 수지나 시트 등으로 피복되어 있어도 좋다. 기판으로서는, 통상 전술의 투명 기판이 이용되고, 유리 기판이라도, 수지제 기판이라도 좋다. 발광 소자와 기판의 본딩 형식은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 도전성 페이스트, 열 전도성 시트, 열 전도성 접착제, 양면 테이프, 땜납 등을 적절히 선택할 수 있다.Further, as the substrate, a substrate on which the light emitting element is mounted may be used. Examples of the light-emitting element include a solid light-emitting element such as a light-emitting diode, a semiconductor laser, and an organic EL light-emitting element, and the surface of the solid light-emitting element may be covered with a transparent resin or a sheet. As the substrate, the aforementioned transparent substrate is usually used, and it may be a glass substrate or a resin substrate. The bonding form of the light emitting element and the substrate is not particularly limited, and for example, a conductive paste, a thermally conductive sheet, a thermally conductive adhesive, a double-sided tape, solder, or the like can be appropriately selected.
그 중에서도, 기판으로서는, 본 발명의 효과를 향수하기 쉬운 점에서, 수지제 기판, 발광 소자 탑재 기판이 바람직하다.Among them, a resin substrate and a substrate on which a light emitting element is mounted are preferable as the substrate because it is easy to enjoy the effect of the present invention.
또한, 기판에는, 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 적절한 전(前)처리가 실시되어 있어도 좋고, 또한 패널화 후의 액정 구동이나 유기 EL 발광을 위해, 산화 인듐, 산화 주석 등으로 이루어지는 투명 전극이 형성되어 있어도 좋다. 추가로, 기판에는, 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 차광층(블랙 매트릭스)이 형성되어도 좋다. 차광층으로서는, 예를 들면, 크롬, 질화 티타늄 등의 무기막, 크롬/산화 크롬의 다층막, 차광제를 분산한 수지막을 들 수 있다. 또한, 흑색의 감방사선성 조성물을 기판 상에 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 소망하는 패턴을 형성해도 좋다. 차광층의 막두께는, 통상 0.1∼0.2㎛이다.The substrate may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction, vacuum deposition or the like, For light emission, a transparent electrode made of indium oxide, tin oxide, or the like may be formed. Further, a light-shielding layer (black matrix) may be formed on the substrate so as to partition a portion forming the pixel. Examples of the light-shielding layer include inorganic films such as chromium and titanium nitride, multilayer films of chromium / chromium oxide, and resin films in which a light shielding agent is dispersed. Further, a black radiation sensitive composition may be coated on a substrate, and a desired pattern may be formed by photolithography. The thickness of the light-shielding layer is usually 0.1 to 0.2 mu m.
<도포><Application>
감광성 조성물의 도포 방법으로서는 공지의 방법을 채용할 수 있다. 예를 들면, 스프레이법, 롤 코팅법, 회전 도포법(스핀 코팅법), 슬릿다이 도포법, 바 코팅법 등을 들 수 있고, 그 중에서도, 균일한 막두께의 도막이 얻어지는 점에서, 스핀 코팅법, 슬릿다이 도포법이 바람직하다.As a method of applying the photosensitive composition, a known method can be employed. For example, a spray coating method, a roll coating method, a rotation coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method and the like can be given. From the viewpoint of obtaining a coating film having a uniform film thickness, , Slit die coating method is preferable.
도포 후, 감압 건조를 행할 수 있다. 감압 건조는, 통상 실온에서 1∼15분간 정도, 바람직하게는 1∼10분간이고, 통상 50∼200㎩에 도달할 때까지 행한다. 또한, 도막의 두께는, 건조 후의 막두께로서, 통상 0.6∼8㎛, 바람직하게는 1.2∼5㎛이다.After application, drying under reduced pressure can be carried out. The reduced-pressure drying is usually carried out at room temperature for about 1 to 15 minutes, preferably for 1 to 10 minutes, usually until 50 to 200 Pa is reached. The thickness of the coated film is usually 0.6 to 8 占 퐉, preferably 1.2 to 5 占 퐉, after the drying.
또한, 기판 상에 감광성 조성물의 도막을 형성하는 다른 예로서, 잉크젯 방식을 채용해도 좋고, 예를 들면, 일본공개특허공보 평7-318723호, 일본공개특허공보 2000-310706호 등에 기재된 방법을 들 수 있다. 이 방법에 있어서는, 우선 기판 상에, 차광 기능도 겸한 격벽을 형성하고, 다음으로 이 격벽 내에 감방사선성 조성물을 잉크젯 장치에 의해 토출한다. 그 후, 감압 건조를 행하여 용매를 증발시켜 제막한다.As another example of forming a coating film of a photosensitive composition on a substrate, an inkjet method may be employed. For example, the methods described in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 7-318723, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-310706, . In this method, a partition wall serving also as a shielding function is first formed on a substrate, and then the radiation sensitive composition is ejected by the ink jet apparatus in this partition wall. Thereafter, drying is performed under reduced pressure to evaporate the solvent to form a film.
또한, 기판 상에 감광성 조성물의 도막을 형성하는 또 다른 예로서, 드라이 필름법을 채용하는 것이 가능하고, 예를 들면, 일본공개특허공보 평9-5991호 등에 기재된 방법을 들 수 있다. 이 방법에 있어서는, 필름 형상의 지지체 상에, 감광성 조성물을 도포하고, 프리베이킹을 행하여 용매를 증발시킴으로써, 지지체 상에 감광성 조성물층이 형성된 드라이 필름을 제조한다. 그리고, 이 감광성 조성물층이 형성된 지지체를, 래미네이터를 이용하여 기판에 래미네이트한다. 그 후, 감광성 조성물층을 지지체로부터 박리하여, 감광성 조성물층을 기판에 전사한다. 지지체 상에 감광성 조성물을 도포하는 방법이나, 프리베이킹의 방법 및 조건은 전술과 동일하다.As another example of forming a coating film of a photosensitive composition on a substrate, a dry film method can be employed. For example, a method described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 9-5991 can be used. In this method, a photosensitive composition is coated on a film-shaped support, and the film is prebaked to evaporate the solvent, thereby producing a dry film on which a photosensitive composition layer is formed on the support. Then, the support on which this photosensitive composition layer is formed is laminated to the substrate using a laminator. Thereafter, the photosensitive composition layer is peeled from the support, and the photosensitive composition layer is transferred onto the substrate. The method of applying the photosensitive composition on the support, and the method and conditions of prebaking are the same as described above.
-공정 (2)-- Process (2) -
공정 (2)는, 공정 (1)에서 얻어진 도막에 방사선을 조사하는 공정이다.Step (2) is a step of irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation.
공정 (2)는, 통상, 공정 (1)에서 얻어진 도막의 적어도 일부에, 소정의 패턴을 갖는 포토마스크를 개재하여 노광하면 좋고, 또한 주사(走査) 노광을 행해도 좋다. 또한, 포토마스크 상의 패턴 형상은 특별히 한정되지 않고, 목적으로 하는 용도에 따른 패턴 형상이 이용된다.In step (2), usually, at least a part of the coating film obtained in step (1) may be exposed through a photomask having a predetermined pattern, or may be subjected to scanning exposure. The pattern shape on the photomask is not particularly limited, and a pattern shape according to the intended use is used.
방사선으로서는, g선, h선, i선, j선의 자외선을 들 수 있고, g선, h선, i선 및 j선을 포함하는 자외선이 바람직하다. 또한, 분광 분포에 있어서, 436㎚의 피크가 g선이고, 405㎚의 피크가 h선이고, 365㎚의 피크가 i선이고, 313㎚의 피크가 j선이다.Examples of radiation include ultraviolet rays of g line, h line, i line and j line, and ultraviolet rays of g line, h line, i line and j line are preferable. In the spectral distribution, the peak at 436 nm is g-line, the peak at 405 nm is h-line, the peak at 365 nm is i-line, and the peak at 313 nm is j-line.
광원으로서는, 초고압, 고압, 중압, 저압의 각 수은등, 케미컬 램프, 카본 아크등, 제논등, 메탈할라이드등, 가시 및 자외의 각종 레이저 등을 사용할 수 있다.As the light source, various visible and non-visible lasers such as ultrahigh pressure, high pressure, medium pressure and low pressure mercury lamps, chemical lamps, carbon arc lamps, xenon lamps, metal halides and the like can be used.
노광량은, 통상 1∼1,000mJ/㎠이지만, 소망하는 효과를 높이기 위해서는, 바람직하게는 5∼500mJ/㎠, 보다 바람직하게는 10∼200mJ/㎠, 더욱 바람직하게는 30∼100mJ/㎠이다.The exposure dose is usually 1 to 1,000 mJ / cm 2, but is preferably 5 to 500 mJ / cm 2, more preferably 10 to 200 mJ / cm 2, and still more preferably 30 to 100 mJ / cm 2 in order to enhance the desired effect.
-공정 (3)-- Process (3) -
공정 (3)은, 공정 (2)에서 얻어진 도막을 현상하는 공정이다.Step (3) is a step of developing the coating film obtained in the step (2).
현상은, 현상액을 이용하여, 포지티브형의 경우에는 노광부를, 네거티브형의 경우에는 비노광부를, 각각 용해 제거한다.The development is carried out by dissolving and removing the exposed portion in the case of the positive type and the non-visible portion in the case of the negative type, using the developer.
현상액으로서는, 포지티브형의 경우에는 노광부를 용해하고 비노광부를 용해하지 않는 것, 또한 네거티브형의 경우에는 비노광부를 용해하고 노광부를 용해하지 않는 것이면, 어떠한 것도 사용할 수 있다. 예를 들면, 여러 가지의 유기 용매의 조합, 알칼리 수용액을 이용할 수 있다. 그 중에서도, 알칼리 수용액이 바람직하다. 알칼리 수용액으로서는, 예를 들면, 탄산 나트륨, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드, 콜린, 1,8-디아자바이사이클로-[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자바이사이클로-[4.3.0]-5-노넨 등의 수용액을 들 수 있다. 현상액에는, 예를 들면, 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용제, 소포제, 계면 활성제 등을 적당량 첨가할 수도 있다.As the developing solution, any of those which dissolve the exposed portion in the case of the positive type and do not dissolve the non-visible portion, and those which dissolve the non-visible portion and not the exposed portion in the case of the negative type, can be used. For example, a combination of various organic solvents and an aqueous alkali solution may be used. Among them, an aqueous alkali solution is preferable. Examples of the alkali aqueous solution include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7- undecene, Cyclo [4.3.0] -5-nonene and the like. A water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a defoaming agent, or a surfactant may be added to the developer in an appropriate amount.
현상 방법으로서는, 예를 들면, 샤워 현상법, 스프레이 현상법, 딥(침지) 현상법, 퍼들(교련) 현상법 등을 적용할 수 있다. 현상 조건은, 예를 들면, 상온에서 5∼300초간으로 할 수 있다.As the developing method, for example, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a puddle (drilling) developing method and the like can be applied. The development conditions can be, for example, 5 to 300 seconds at room temperature.
또한, 현상액으로서 알칼리 수용액을 사용한 경우에는, 현상 후, 통상수로 세정한다. 또한, 세정 후, 예를 들면, 압축 공기나 압축 질소 등으로 도막을 풍건(風乾)시킬 수도 있다.When an alkaline aqueous solution is used as the developing solution, it is usually rinsed with water after development. After the cleaning, for example, the coated film may be air-dried with compressed air or compressed nitrogen.
-공정 (4)-- Process (4) -
공정 (4)는, 공정 (3)에서 얻어진 도막을 70∼180℃에서 가열하는 공정이다. Step (4) is a step of heating the coating film obtained in step (3) at 70 to 180 캜.
공정 (4)는, 포스트베이킹하는 공정이고, 포스트베이킹은, 패터닝된 도막을 70∼180℃에서 가열하지만, 경화성, 내용제성 및 기판과의 밀착성의 향상, 색 변환 억제, 그리고 기판 보호의 관점을 고려하여, 80∼120℃, 120∼180℃ 등, 용도에 따라서 가열 온도를 설정할 수 있다. 가열 시간은 가열 온도에 따라 적절히 설정 가능하지만, 예를 들면 80∼120℃의 저온에 있어서는, 통상 5∼120분, 바람직하게는 30∼100분이다.The step (4) is a step of post-baking, and the post-baking is carried out by heating the patterned coated film at 70 to 180 캜, but from the standpoint of curability, solvent resistance and adhesion to the substrate, The heating temperature can be set in accordance with the application such as 80 to 120 ° C and 120 to 180 ° C. The heating time can be appropriately set according to the heating temperature, but is usually 5 to 120 minutes, preferably 30 to 100 minutes at a low temperature of 80 to 120 占 폚.
이와 같이 하여, 본 발명의 경화막을 제조할 수 있다.Thus, the cured film of the present invention can be produced.
경화막의 막두께는, 통상 0.5∼5㎛, 바람직하게는 1∼4㎛이다. 얻어진 경화막은, 내용제성, 기판과의 밀착성이 양호하여, 벗겨짐을 효과적으로 억제할 수 있다.The film thickness of the cured film is usually 0.5 to 5 占 퐉, preferably 1 to 4 占 퐉. The obtained cured film is excellent in solvent resistance and adhesion to the substrate, and can effectively suppress peeling.
컬러 필터를 구성하는 각 색 화소를 형성하는 경우에는, 청색, 녹색 또는 적색의 착색제를 함유하는 본 발명의 감광성 조성물을 이용하여, 전술한 본 발명의 경화막의 형성 방법에 제공하고, 청색의 화소 패턴, 녹색의 화소 패턴 및 적색의 화소 패턴을 동일 기판 상에 순차적으로 형성한다. 이에 따라, 청색, 녹색 및 적색의 3원색의 화소 패턴이 기판 상에 배치된 컬러 필터가 얻어진다. 단, 본 발명에 있어서는, 각 색의 화소를 형성하는 순서는, 상기의 것에 한정되지 않는다.In the case of forming each color pixel constituting the color filter, the photosensitive composition of the present invention containing a blue, green or red coloring agent is used for the above-mentioned method of forming a cured film of the present invention, , A green pixel pattern and a red pixel pattern are sequentially formed on the same substrate. Thereby, a color filter in which pixel patterns of three primary colors of blue, green, and red are arranged on a substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.
또한, 표시 소자용의 경화막, 특히 PSA 기술에 의해 제조되는 액정 표시 소자의 층간 절연막은, 예를 들면, 액정 표시 소자가, 통상 (a) 제1 기판의 한쪽의 면측에 층간 절연막을 형성하는 공정, (b) 층간 절연막의 외면측 및 제2 기판의 한쪽의 면측에 액정 배향막을 형성하는 공정, (c) 액정 배향막이 형성된 면끼리를 대향 배치한 상태에서, 제1 기판과 제2 기판의 사이에 중합성 액정 조성물을 충전하는 공정 및, (d) 중합성 액정 조성물에 대한 광 조사에 의해 액정층을 형성하는 공정에 의해 제조되는 결과, 층간 절연막의 형성에 본 발명의 감광성 조성물을 이용하여, 전술한 본 발명의 경화막의 형성 방법에 따라서 형성할 수 있다. 또한, 한쪽의 면측 또는 외면측에 형성한다는 것은, 그 면에 직접 접한 상태로 형성하는 것뿐만 아니라, 다른 층을 개재하여 형성하는 경우도 포함하는 의미이다.Further, in the case of a liquid crystal display element, for example, (a) an interlayer insulating film is formed on one surface side of a first substrate, (B) a step of forming a liquid crystal alignment film on the outer surface side of the interlayer insulating film and one surface side of the second substrate, (c) a step of forming a liquid crystal alignment film on the first substrate and the second substrate And (d) a step of forming a liquid crystal layer by light irradiation on the polymerizable liquid crystal composition. As a result, the photosensitive composition of the present invention is used for forming an interlayer insulating film , And can be formed according to the above-described method of forming a cured film of the present invention. The formation on one surface side or the outer surface side means not only the formation in direct contact with the surface but also the formation in the other surface through another layer.
〔표시 소자〕[Display device]
본 발명의 표시 소자는, 본 발명의 경화막을 구비하는 것이다.The display element of the present invention comprises the cured film of the present invention.
표시 소자로서는, 컬러 액정 표시 소자, 유기 EL 표시 소자, 전자 페이퍼 등을 들 수 있다. 본 발명의 경화막을 구비하는 컬러 액정 표시 소자는, 투과형이라도 반사형이라도 좋고, 적절한 구조를 채용할 수 있다. 예를 들면, 컬러 필터를, 박막 트랜지스터(TFT)가 배치된 구동용 기판과는 다른 기판 상에 형성하여, 구동용 기판과 컬러 필터를 형성한 기판이, 액정층을 개재하여 대향한 구조를 채용할 수 있고, 추가로 박막 트랜지스터(TFT)가 배치된 구동용 기판의 표면 상에 컬러 필터를 형성한 기판과, ITO(주석을 도프한 산화 인듐) 전극을 형성한 기판이, 액정층을 개재하여 대향한 구조를 채용할 수도 있다. 후자의 구조는, 개구율을 현격히 향상시킬 수 있어, 밝고 고(高)정세한 액정 표시 소자가 얻어진다는 이점을 갖는다. 또한, 후자의 구조를 채용하는 경우, 블랙 매트릭스나 스페이서는, 컬러 필터를 형성한 기판측, ITO 전극을 형성한 기판측의 어느 쪽에 형성되어 있어도 좋다. 또한, 박막 트랜지스터(TFT)가 배치된 구동용 기판을 구성하는 층간 절연막으로서, 본 발명의 경화막을 적용할 수도 있다.Examples of the display element include a color liquid crystal display element, an organic EL display element, and an electronic paper. The color liquid crystal display element having the cured film of the present invention may be of a transmissive type or of a reflective type and may adopt a suitable structure. For example, a color filter is formed on a substrate different from a substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed, and a substrate on which a driving substrate and a color filter are formed faces the liquid crystal layer A substrate on which a color filter is formed on the surface of a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed, and a substrate on which an ITO (indium oxide doped with indium) electrode is formed, But it is also possible to adopt a structure in which opposing faces are used. The latter structure has the advantage that the aperture ratio can be remarkably improved, and a liquid crystal display element which is bright and has high precision can be obtained. When adopting the latter structure, the black matrix or the spacer may be formed on either the substrate on which the color filter is formed or the substrate on which the ITO electrode is formed. The cured film of the present invention can also be applied as an interlayer insulating film constituting a driving substrate on which thin film transistors (TFTs) are arranged.
〔발광 소자〕[Light Emitting Element]
본 발명의 발광 소자는, 본 발명의 경화막을 구비하는 것이다.The light emitting element of the present invention comprises the cured film of the present invention.
본 발명의 발광 소자는 적절한 구조를 채용할 수 있지만, 예를 들면, 투명 전극으로 이루어지는 양극의 투명 도전층과, 발광층과, 금속 전극으로 이루어지는 음극층을 적층한 구조를 갖는 유기 EL 발광 소자에 있어서, 보호막, 절연막, 또한 발광 파장 선택 부재로서 본 발명의 경화막을 이용하는 것이다. 발광층은, 본 발명의 감광성 조성물을 이용하여, 전술한 본 발명의 경화막의 형성 방법에 따라서 형성할 수 있다.The light emitting device of the present invention can adopt a suitable structure. For example, in an organic EL light emitting device having a structure in which a transparent conductive layer made of a transparent electrode, a light emitting layer, and a cathode layer made of a metal electrode are stacked , A protective film, an insulating film, and a light-emitting wavelength selecting member. The light emitting layer can be formed using the photosensitive composition of the present invention in accordance with the above-described method for forming a cured film of the present invention.
〔수광 소자〕[Light receiving element]
본 발명의 수광 소자는, 본 발명의 경화막을 구비하는 것이다.The light receiving element of the present invention comprises the cured film of the present invention.
본 발명의 수광 소자는 적절한 구조를 채용할 수 있지만, 예를 들면, 본 발명의 착색 경화막을 고체 촬상 소자를 구성하는 컬러 필터로 하고, 그것을 포토다이오드와 조합함으로써, 고체 촬상 소자 등의 촬상 소자를 구성할 수 있다. 또한, 본 발명의 경화막을 적외광 투과 필터로서 사용하고, 그것을 포토다이오드와 조합함으로써, 적외광 검출용 화소를 구성할 수 있다.The light receiving element of the present invention can employ a suitable structure. For example, the color cured film of the present invention may be a color filter constituting a solid-state image pickup element and combined with a photodiode to form an image pickup element such as a solid- Can be configured. Further, by using the cured film of the present invention as an infrared light transmission filter and combining it with a photodiode, it is possible to constitute a pixel for infrared light detection.
[실시예][Example]
이하, 실시예를 들어, 본 발명의 실시의 형태를 더욱 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은, 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
중합체의 합성Synthesis of polymer
중합체 합성예 1Polymer Synthesis Example 1
냉각관과 교반기를 구비한 플라스크에, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 80질량부를 투입하여 질소 치환했다. 80℃로 가열하여, 동 온도에서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 50질량부, 메타크릴산 12질량부, 3,4-에폭시사이클로헥실메틸메타크릴레이트 88질량부 및 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 6질량부의 혼합 용액을 2시간에 걸쳐 적하하고, 이 온도를 보존유지하여 1시간 중합했다. 그 후, 반응 용액의 온도를 90℃로 승온시키고, 추가로 1시간 중합함으로써, 중합체 (a1-1)을 포함하는 용액을 얻었다. 이것을 디이소아밀에테르를 이용하여 재침전을 행하고, 침전물을 n-헥산으로 세정을 행한 후 건조시켜, 중합체 (a1-1)의 고체(분체)를 얻었다. 중합체 (a1-1)은 (a1) 중합체에 해당한다.To a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 80 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged and replaced with nitrogen. The mixture was heated to 80 DEG C, and 50 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, 12 parts by mass of methacrylic acid, 88 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, and 2,2'-azobis And 6 parts by mass of 2,4-dimethylvaleronitrile) was added dropwise over 2 hours, and the temperature was maintained and maintained for 1 hour. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 90 占 폚 and further polymerized for 1 hour to obtain a solution containing the polymer (a1-1). This was subjected to reprecipitation using diisoamyl ether, and the precipitate was washed with n-hexane and then dried to obtain a solid (powder) of the polymer (a1-1). The polymer (a1-1) corresponds to the (a1) polymer.
중합체 합성예 2∼5, 8Polymer Synthesis Examples 2 to 5 and 8
중합체 합성예 1에 있어서, 이용하는 단량체의 종류 및 양을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는 중합체 합성예 1과 동일하게 하여, 중합체 (a1-2), 중합체 (β1), 중합체 (a2-1), 중합체 (a2-2) 및 중합체 (β2)를 포함하는 고체(분체) 얻었다. 또한, 중합체 (a1-2)는 (a1) 중합체에 해당하고, 또한 중합체 (a2-1) 및 중합체 (a2-2)는 (a2) 중합체에 해당한다. 한편, 중합체 (β1) 및 중합체 (β2)는 (a1) 중합체, (a2) 중합체, (a3) 중합체 중 어느 것에도 해당하지 않는다.Polymer (a1-2), polymer (? 1) and polymer (a2-1) were obtained in the same manner as in Polymer Synthesis Example 1, except that the kinds and amounts of the monomers used were changed as shown in Table 1, ), A polymer (a2-2) and a polymer (? 2). The polymer (a1-2) corresponds to the polymer (a1), and the polymer (a2-1) and the polymer (a2-2) correspond to the polymer (a2). On the other hand, the polymer (? 1) and the polymer (? 2) do not correspond to any of the polymer (a1), the polymer (a2) and the polymer (a3).
중합체 합성예 6Polymer Synthesis Example 6
질소 분위기하, 3구 플라스크에 β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란 121질량부를 투입하고, 에톡시프로판올 100질량부를 더하여 용해시켜, 얻어진 혼합 용액을 마그네틱 스터러에 의해 교반하면서 70℃로 가온했다. 이 용액에, 1질량%의 옥살산을 포함한 옥살산 수용액 40.4질량부를 첨가하여, 70℃에서 3시간 반응을 행했다. 그 후, 감압하에서 물, 메탄올, 에톡시프로판올을 증류 제거함으로써, 중합체 (a3-1)의 고체를 얻었다. 중합체 (a3-1)은 (a3) 중합체에 해당한다.In a nitrogen atmosphere, 121 parts by mass of? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane was added to a three-necked flask, and 100 parts by mass of ethoxypropanol was added to dissolve the mixture. The resulting mixed solution was stirred by a magnetic stirrer While it was heated to 70 ° C. To this solution was added 40.4 parts by mass of an oxalic acid aqueous solution containing 1% by mass of oxalic acid, and the reaction was carried out at 70 占 폚 for 3 hours. Thereafter, water, methanol and ethoxypropanol were distilled off under reduced pressure to obtain a solid of the polymer (a3-1). The polymer (a3-1) corresponds to the (a3) polymer.
중합체 합성예 7, 9Polymer Synthesis Examples 7 and 9
중합체 합성예 6에 있어서, 이용하는 단량체의 종류 및 양을 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는 중합체 합성예 6과 동일하게 하여, 중합체 (a3-2) 및 중합체 (β3)을 얻었다. 또한, 중합체 (a3-2)는 (a3) 중합체에 해당한다. 한편, 중합체 (β3)은 (a1) 중합체, (a2) 중합체, (a3) 중합체 중 어느 것에도 해당하지 않는다.Polymer (a3-2) and polymer (3) were obtained in the same manner as in Polymer Synthesis Example 6, except that the kinds and amounts of the monomers used were changed as shown in Table 1. The polymer (a3-2) corresponds to the (a3) polymer. On the other hand, the polymer (? 3) does not correspond to any of the (a1) polymer, (a2) polymer and (a3) polymer.
표 1에 있어서, 「단량체 A」는 3,4-에폭시트리사이클로[5.2.1.02,6]데실아크릴레이트이고, 하기식 (4-1)로 나타나는 화합물과 하기식 (5-1)로 나타나는 화합물의 50:50(몰비) 혼합물이다.In Table 1, " monomer A " is 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decyl acrylate, and the compound represented by the following formula (4-1) and the compound represented by the following formula (Molar ratio) mixture of compounds.
분산제의 합성Synthesis of dispersant
분산제 합성예 1Dispersant Synthesis Example 1
가스 도입관, 온도계, 콘덴서, 교반기를 구비한 반응 용기에, n-부틸아크릴레이트 80질량부, 메틸메타크릴레이트 60질량부, 메타크릴산 20질량부, 카렌즈 MOI-BM(쇼와덴코가부시키가이샤 제조) 20질량부, ETERNACOLL OXMA(우베코산가부시키가이샤 제조) 20질량부를 투입하고, 질소 가스로 치환했다. 반응 용기 내를 80℃로 가열한 후, 2-메르캅토-2-메틸-1,3-프로판디올 14질량부와 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 0.1질량부를 혼합한 용액을 반응 용기에 첨가하여, 10시간 반응했다. 고형분 측정에 의해 95%가 반응한 것을 확인했다. 다음으로, 9,9-비스(3,4-디카복시페닐)플루오렌 2산 무수물(상품명 BPAF(JFE 케미컬가부시키가이샤 제조)) 39질량부, C-1015N(2관능 폴리카보네이트폴리올, 상품명 쿠라레폴리올 C-1015N(수산기가 112㎎KOH/g, 쿠라레가부시키가이샤 제조)) 106질량부, 트리멜리트산 무수물 33질량부, 사이클로헥산온 392질량부 및 촉매로서 1,8-디아자바이사이클로-[5.4.0]-7-운데센 0.40질량부를 추가하여, 100℃에서 7시간 반응시켰다. 산가 측정에 의해 98% 이상의 산 무수물이 하프에스테르화하고 있는 것을 확인하고, 반응을 종료했다. 이와 같이 하여, 아민가 0㎎KOH/g, 산가 73㎎KOH/g, 중량 평균 분자량 25,000의 분산제 A를 얻었다.80 parts by mass of n-butyl acrylate, 60 parts by mass of methyl methacrylate, 20 parts by mass of methacrylic acid, and 20 parts by mass of car lens MOI-BM (manufactured by Showa Denko Kogyo Co., Ltd.) were added to a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, 20 parts by mass) and 20 parts by mass of ETERNACOLL OXMA (manufactured by Ube Chemical Industries, Ltd.) were charged and substituted with nitrogen gas. After heating the reaction vessel to 80 캜, a solution obtained by mixing 14 parts by mass of 2-mercapto-2-methyl-1,3-propanediol with 0.1 part by mass of 2,2'-azobisisobutyronitrile was placed in a reaction vessel And reacted for 10 hours. It was confirmed that 95% was reacted by the measurement of the solid content. Next, 39 parts by weight of 9,9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride (trade name BPAF (manufactured by JFE Chemical Co., Ltd.)), 40 parts by weight of C-1015N (bifunctional polycarbonate polyol, 106 parts by mass of L-polyol C-1015N (having a hydroxyl value of 112 mg KOH / g, manufactured by Kuraray Co., Ltd.), 33 parts by mass of trimellitic anhydride, 392 parts by mass of cyclohexanone and 1,8-diazabicyclo - [5.4.0] -7-undecene was added, and the reaction was carried out at 100 ° C for 7 hours. The acid value measurement confirmed that at least 98% of the acid anhydride was half-esterified, and the reaction was terminated. Thus, a dispersant A having an amine value of 0 mg KOH / g, an acid value of 73 mg KOH / g and a weight average molecular weight of 25,000 was obtained.
분산제 합성예 2Dispersant Synthesis Example 2
가스 도입관, 온도계, 콘덴서, 교반기를 구비한 반응 용기에, 1-도데칸올 62.6질량부, ε-카프로락톤 287.4질량부 및 촉매로서 모노부틸주석(Ⅳ)옥사이드 0.1질량부를 투입하고, 질소 가스로 치환한 후, 120℃에서 4시간 가열, 교반했다. 고형분 측정에 의해 98%가 반응한 것을 확인한 후, 무수 피로멜리트산 73.3질량부를 더하여, 120℃에서 2시간 반응시켰다. 산가 측정에 의해 98% 이상의 산 무수물이 하프에스테르화하고 있는 것을 확인하고, 반응을 종료했다. 이와 같이 하여, 아민가 0㎎KOH/g, 산가 49㎎KOH/g의 분산제 B를 얻었다.62.6 parts by mass of 1-dodecanol, 287.4 parts by mass of? -Caprolactone and 0.1 part by mass of monobutyltin (IV) oxide as a catalyst were fed into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser and a stirrer, After substitution, the mixture was heated and stirred at 120 DEG C for 4 hours. After confirming that 98% of the reaction was carried out by measuring the solid content, 73.3 parts by mass of pyromellitic anhydride was added and the reaction was carried out at 120 ° C for 2 hours. The acid value measurement confirmed that at least 98% of the acid anhydride was half-esterified, and the reaction was terminated. Thus, a dispersant B having an amine value of 0 mg KOH / g and an acid value of 49 mg KOH / g was obtained.
안료 분산액의 조제Preparation of pigment dispersion
안료 분산액 조제예 1Pigment dispersion Preparation Example 1
착색제로서 C.I. 피그먼트 바이올렛 23을 12질량부, 분산제로서 BYK-LPN21116(고형분 농도 40질량%, 아민가 29㎎KOH/g, 산가 0㎎KOH/g, 빅케미(BYK)사 제조) 12질량부, 중합체 (a2-1) 용액(고형분 농도 40질량%)을 12.5질량부 및, 용매로서 메톡시프로판올 12질량부, 그리고 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 51.5질량부를 이용하여, 비즈 밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (p-1)을 조제했다.As a colorant, C.I. 12 mass parts of Pigment Violet 23 as a dispersant, 12 mass parts of BYK-LPN21116 (solid content concentration of 40 mass%, amine value 29 mgKOH / g, acid value 0 mgKOH / g, manufactured by BYK) 12.5 parts by mass of a solution (solid content concentration: 40% by mass) as a solvent, 12 parts by mass of methoxypropanol as a solvent, and 51.5 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, -1) was prepared.
안료 분산액 조제예 2Pigment dispersion Preparation Example 2
안료 분산액 조제예 1에 있어서, BYK-LPN21116 12질량부를 대신하여, 분산제 A 3.36질량부 및 분산제 B 1.44질량부의 혼합물을 이용한 이외는 안료 분산액 조제예 1과 동일하게 하여, 안료 분산액 (p-2)를 조제했다.Pigment Dispersion A pigment dispersion (p-2) was prepared in the same manner as in Preparation Example 1 except that a mixture of 3.36 parts by mass of Dispersant A and 1.44 parts by mass of Dispersant B was used in place of 12 parts by mass of BYK-LPN21116. .
염료 용액의 조제Preparation of dye solution
염료 용액 조제예 1Preparation of dye solution Example 1
염료 (1) 10질량부와 프로필렌글리콜모노메틸에테르 90질량부를 혼합하여, 염료 용액 (C1)을 조제했다. 염료 (1)은 후술한 바와 같다.10 parts by mass of the dye (1) and 90 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether were mixed to prepare a dye solution (C1). The dye (1) is as described below.
염료 용액 조제예 2∼5Preparation of dye solution Examples 2 to 5
염료 (1)을 대신하여, 염료 (2)∼(5)를 이용한 이외는 염료 용액 조제예 1과 동일하게 하여, 염료 용액 (C2)∼(C5)를 조제했다. 염료 (2)∼(5)는 후술한 바와 같다.The dye solutions (C2) to (C5) were prepared in the same manner as in Preparation Example 1 of the dye solution except that the dyes (2) to (5) were used in place of the dye (1). The dyes (2) to (5) are as described below.
·염료 (1) : 일본공표특허공보 2016-505655호의 합성예 6에 따라서 얻어지는, 트리아릴메탄 골격을 갖는 반복 단위를 갖는 아크릴계 중합체인, 트리아릴메탄 염료.Dye (1): A triarylmethane dye, which is an acrylic polymer having a repeating unit having a triarylmethane skeleton, obtained according to Synthesis Example 6 of JP-A No. 2016-505655.
·염료 (2) : 일본공개특허공보 2013-050693호의 합성예 3에 따라서 얻어지는 「식 (1-8)로 나타나는 화합물」.(잔텐 염료)Dye (2): Compound represented by the formula (1-8) obtained according to Synthesis Example 3 of JP-A-2013-050693. (Xanthine dye)
·염료 (3) : 일본공개특허공보 2014-194007호의 표 1에 기재되어 있는 「중합체 F」.(이미드 음이온을 갖는 반복 단위를 갖는 아크릴계 중합체와 C.I.베이식 레드 12의 조염 화합물인, 시아닌 염료)Dye (3): " Polymer F " described in Table 1 of JP-A No. 2014-194007 (an acrylic polymer having a repeating unit having an imide anion and a cyanine dye as a conditioning compound of CI Basic Red 12)
·염료 (4) : 일본공개특허공보 2015-118268호의 표 2에 기재되어 있는 「조염 화합물 ZC-38」.(이미드 음이온을 갖는 시아닌 염료)Dye (4): "Prepared compound ZC-38" described in Table 2 of JP-A No. 2015-118268. (Cyanine dye having imide anion)
·염료 (5) : 하기식 (12)로 나타나는 잔텐 염료Dye (5): The dyestuff dye represented by the following formula (12)
감광성 조성물의 조제 및 평가Preparation and evaluation of photosensitive composition
실시예 1Example 1
[A] 성분으로서, (a1) 중합체인 중합체 (a1-1) W질량부, 그리고 (a2) 중합체인 중합체 (a2-1) X질량부, [B] 감광제로서 국제공개 제2014/187170호 팜플렛에 기재되어 있는 「화합물 No.42」 5질량부, [C] 착색제로서 염료 (1) Y질량부, [E] 중합성 화합물로서 KAYARAD DPHA(닛뽄카야쿠가부시키가이샤 제조, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트와 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물) 25질량부, 그리고 아로닉스 M-510(토아고세이가부시키가이샤 제조) 25질량부, [H] 첨가제로서 메가팩 F-554(DIC 가부시키가이샤 제조) 0.5질량부 및, [G] 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트/프로필렌글리콜모노메틸에테르=80/20(체적비) 혼합 용매 Z질량부를 혼합하고, 고형분 농도 16질량%의 감광성 조성물 (S-1)을 조제했다. 이 때, W, X, Y 및 Z의 값은, 이하의 조건 A1∼A4를 충족하도록 정했다. 또한, 본 실시예에 있어서는, X=W=25질량부이고, Y=21.1질량부이고, Z=717질량부이다.As the component [A], a polymer (a1-1), a polymer (a2), a polymer (a2-1), and a polymer (B) , 5 parts by mass of " Compound No. 42 " described in " Compound No. 42 " , 25 parts by mass of a mixture of hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate), 25 parts by mass of Aronix M-510 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and 200 parts by mass of Megapac F-554 , And 0.5 parts by mass of a photopolymerization initiator (trade name, manufactured by Shimadzu Seisakusho Co., Ltd.) and Z mass parts of a mixed solvent of propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether = 80/20 (volume ratio) S-1) was prepared. At this time, the values of W, X, Y, and Z were set so as to satisfy the following conditions A1 to A4. In the present embodiment, X = W = 25 parts by mass, Y = 21.1 parts by mass, and Z = 717 parts by mass.
·조건 A1: 감광성 조성물 (S-1)에 있어서, (a1) 중합체인 중합체 (a1-1):(a2) 중합체인 중합체 (a2-1)=50:50(질량비)이다.Condition (A1): The polymer (a1-1) as the polymer (a1): the polymer (a2-1) as the polymer (a2) in the photosensitive composition (S-1) was 50:50 (by mass ratio).
·조건 A2: 감광성 조성물 (S-1)에 있어서, 폴리머와 [E] 중합성 화합물의 합계 함유량이 100질량부이다. 또한 「폴리머」란, [A] 성분 및 그 외의 중합체([A] 성분 및 분산제를 제외함)를 가리키는 것으로 한다.Condition A2: The total content of the polymer and the [E] polymerizable compound in the photosensitive composition (S-1) is 100 parts by mass. The term " polymer " refers to the component [A] and other polymers (excluding the [A] component and the dispersant).
·조건 A3: 감광성 조성물 (S-1)에 있어서의 고형분 농도가 16질량%이다.Condition A3: The solid content concentration in the photosensitive composition (S-1) is 16 mass%.
·조건 A4: 감광성 조성물 (S-1)에 있어서의 [C] 착색제의 함유 비율이 20질량%이다.Condition A4: The content ratio of the [C] coloring agent in the photosensitive composition (S-1) is 20% by mass.
보존 안정성의 평가Evaluation of storage stability
감광성 조성물 (S-1)의 조제 직후의 점도를, E형 점도계(도쿄케이키 제조)를 이용하여 측정했다. 다음으로 감광성 조성물 (S-1)을 차광 유리 용기에 충전하고, 밀봉 상태에서 5℃로 14일간 정치한 후, E형 점도계(도쿄케이키 제조)를 이용하여 재차 점도를 측정했다. 그리고 조제 직후의 점도에 대한 14일간 보존 후의 점도의 증가율을 산출했다. 평가 기준은 이하와 같고, 결과를 표 2에 나타낸다.The viscosity immediately after the preparation of the photosensitive composition (S-1) was measured using an E-type viscometer (manufactured by Tokyo Keiki Co., Ltd.). Next, the photosensitive composition (S-1) was filled in a light-shielding glass container and allowed to stand at 5 캜 for 14 days in a sealed state, and then the viscosity was measured again using an E-type viscometer (manufactured by Tokyo Keiki). The rate of increase in viscosity after storage for 14 days against viscosity immediately after preparation was calculated. The evaluation criteria are as follows, and the results are shown in Table 2.
(평가 기준)(Evaluation standard)
○: 증가율이 5% 미만○: Growth rate less than 5%
△: 증가율이 5% 이상 10% 미만Δ: Increase rate from 5% to less than 10%
×: 증가율이 10% 이상X: Increase rate of 10% or more
현상성의 평가Evaluation of Developability
얻어진 감광성 조성물 (S-1)을, 유리 기판의 표면 상에, 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 실온에서 감압 건조를 행하여, 막두께 2.5㎛의 도막을 형성했다. 이어서, 기판 상의 도막에, 고압 수은 램프를 이용하여, 90㎛ 라인 앤드 스페이스의 포토마스크를 개재하여, 600J/㎡의 노광량으로 노광했다. 그 후, 기판 상의 도막에, 23℃의 0.04질량% 수산화 칼륨 수용액을 1.5kgf/㎠의 현상압(노즐 지름 1mm) 토출함으로써, 샤워 현상을 행했다. 그 후, 초순수로 세정하여 풍건했다. 또한, 100℃에서 30분간 포스트베이킹을 행하여, 기판 상에 90㎛의 스트라이프 형상 경화막 패턴을 형성했다.The resulting photosensitive composition (S-1) was coated on the surface of a glass substrate using a spin coater, and then dried under reduced pressure at room temperature to form a coating film having a thickness of 2.5 탆. Subsequently, the coating film on the substrate was exposed to light at an exposure dose of 600 J / m < 2 > through a 90 mu m line-and-space photomask using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, a shower phenomenon was carried out by discharging a 0.04 mass% aqueous potassium hydroxide solution at 23 占 폚 to a coating film on the substrate at a developing pressure of 1.5 kgf / cm2 (nozzle diameter of 1 mm). Thereafter, it was washed with ultra pure water and air dried. Post baking was performed at 100 占 폚 for 30 minutes to form a 90 占 퐉 stripe-shaped cured film pattern on the substrate.
여기에서, 상기 샤워 현상에 있어서, 미노광부의 현상에 필요로 하는 시간을 계측하여, 하기의 평가 기준으로 평가를 행했다.Here, in the shower phenomenon, the time required for the development of the unexposed portion was measured, and the evaluation was made based on the following evaluation criteria.
(평가 기준)(Evaluation standard)
◎: 현상에 필요로 하는 시간이 45초 미만이다◎: The time required for development is less than 45 seconds
○: 현상에 필요로 하는 시간이 45초 이상 60초 미만이다○: The time required for development is 45 seconds or more but less than 60 seconds
△: 현상에 필요로 하는 시간이 60초 이상 120초 미만이다B: Time required for development is 60 seconds or more and less than 120 seconds
×: 120초의 현상을 행한 후에도, 미노광부에 잔막을 확인할 수 있다X: Even after developing for 120 seconds, a residual film can be confirmed on the unexposed portion
내용제성의 평가Evaluation of solvent resistance
감광성 조성물 (S-1)을, 나트륨 이온의 용출을 방지하는 SiO2막이 표면에 형성된 소다 유리 기판 상에, 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 실온에서 감압 건조를 행하여, 막두께 2.5㎛의 도막을 형성했다.The photosensitive composition (S-1) was applied on a soda glass substrate having a SiO 2 film formed on its surface to prevent elution of sodium ions using a spin coater, and then dried under reduced pressure at room temperature to obtain a coating film .
이어서, 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크를 개재하여, 도막에 365㎚, 405㎚ 및 436㎚의 각 파장을 포함하는 방사선을 600J/㎡의 노광량으로 노광했다. 그 후, 이 기판에 대하여, 23℃의 0.04질량% 수산화 칼륨 수용액으로 이루어지는 현상액을 현상압 1.5kgf/㎠(노즐 지름 1㎜)으로 토출함으로써, 120초간 샤워 현상을 행했다. 그 후, 이 기판을 초순수로 세정하고, 풍건한 후, 추가로 100℃의 클린 오븐 내에서 30분간 포스트베이킹을 행함으로써, 기판 상에 직사각형 형상 패턴을 형성했다. 이 직사각형 형상 패턴에 대해서, 컬러 애널라이저(오오츠카덴시(주) 제조 MCPD2000)를 이용하여, C 광원, 2도 시야에서, CIE 표색계에 있어서의 색도 좌표값 (x, y) 및 자극값 (Y)를 측정했다.Subsequently, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation including wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure dose of 600 J / m 2 through a photomask. Subsequently, a developer comprising 0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 캜 was ejected onto the substrate at a developing pressure of 1.5 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) for 120 seconds. Thereafter, this substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and further baked in a 100 ° C clean oven for 30 minutes to form a rectangular pattern on the substrate. The chromaticity coordinate value (x, y) and the magnetic pole value (Y) in the CIE colorimetric system in the C light source and in the 2-degree field of view were measured for this rectangular pattern using a color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Denshi Co., .
다음으로, 상기 기판을, 80℃의 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트에 3분 침지했다. 침지 후의 직사각형 형상 패턴에 대해서, 컬러 애널라이저(오오츠카덴시(주) 제조 MCPD2000)를 이용하여, C 광원, 2도 시야에서, CIE 표색계에 있어서의 색도 좌표값 (x, y) 및 자극값 (Y)를 측정했다. 침지 전후에서의 색 변화, 즉 ΔE*ab를 산출하여, 하기의 기준으로 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다. ΔE*ab값이 작을수록, 내용제성이 양호하다고 할 수 있다.Next, the substrate was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate at 80 캜 for 3 minutes. The chromaticity coordinate value (x, y) and the magnetic pole value (Y) in the CIE colorimetric system in the C light source and in the 2-degree field of view were measured using a color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Denshi Co., Ltd.) ) Were measured. The color change before and after the immersion, that is,? E * ab was calculated and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 2. The smaller the value of? E * ab, the better the solvent resistance.
(평가 기준)(Evaluation standard)
◎: ΔE*ab의 값이 1.0 이하?: The value of? E * ab is 1.0 or less
○: ΔE*ab의 값이 1.0보다 크고 2.0 이하?: The value of? E * ab is greater than 1.0 and not more than 2.0
△: ΔE*ab의 값이 2.0보다 크고 3.0 이하DELTA: value of DELTA E * ab is greater than 2.0 and not more than 3.0
×: ΔE*ab의 값이 3.0보다 큼×: value of ΔE * ab is greater than 3.0
실시예 2∼19, 23∼24 및 비교예 1∼6Examples 2 to 19, 23 to 24 and Comparative Examples 1 to 6
실시예 1에 있어서, 각 성분의 종류 및 양을 표 2에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 조성물을 조제하여, 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행했다. 평가 결과를 표 2에 나타낸다.A photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the kind and amount of each component in Example 1 were changed as shown in Table 2, and evaluation was carried out in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.
또한 표 2에 있어서, 「중합체(중합체의 함유비)」란(欄) 및 「[C] 착색제(착색제의 함유비)」란 중의 괄호 내의 수치는, 각각 중합체 중의 함유 비율, 착색제 중의 함유 비율을 질량비로 나타낸 값이다. 또한 「[B] 감광제」란, 「[D] 경화 촉진제」란, 「[E] 중합성 화합물」란, 「[F] 금속 킬레이트 화합물」란 및 「[H] 첨가제」란 중의 괄호 내의 수치는 함유량(질량부)을 나타낸다. 「[G] 용매」란의 수치는 혼합 용매의 체적비를 나타낸다. 그리고 이들 감광성 조성물에 있어서도, 실시예 1의 감광성 조성물 (S-1)과 동일하게 조건 A2∼A4를 충족하도록 [A] 성분, [C] 착색제 및 [G] 용매의 양을 정했다. 조건 A1은 감광성 조성물마다 상이하다.In Table 2, the numerical values in parentheses in the column of "Polymer (content of polymer)" (column) and "[C] colorant (content of colorant)" indicate the content ratio in the polymer and the content ratio in the colorant Mass ratio. The numerical values in parentheses in the "[F] metal chelate compound" column and the "[H] additive" column refer to the "[D] curing accelerator" (Parts by mass). The numerical value in the column "[G] solvent" represents the volume ratio of the mixed solvent. The amounts of the [A] component, the [C] colorant and the [G] solvent were determined so as to satisfy the conditions A2 to A4 similarly to the photosensitive composition (S-1) of Example 1 in these photosensitive compositions. Condition A1 differs for each photosensitive composition.
실시예 20Example 20
[A] 성분으로서, (a2) 중합체인 중합체 (a2-2) W질량부, 그리고 (a3) 중합체인 중합체 (a3-1) X질량부, [B] 감광제로서 국제공개 제2014/187170호 팜플렛에 기재되어 있는 「화합물 No.42」5질량부, [D] 경화 촉진제로서 무수 트리멜리트산 5질량부, [E] 중합성 화합물로서 KAYARAD DPHA(닛뽄카야쿠가부시키가이샤 제조, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트와 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물) 25질량부, 그리고 아로닉스 M-510(토아고세이가부시키가이샤 제조) 25질량부, [H] 첨가제로서 메가팩 F-554(DIC 가부시키가이샤 제조) 0.5질량부 및, [G] 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트/프로필렌글리콜모노메틸에테르=80/20(체적비) 혼합 용매 Z질량부를 혼합하여, 고형분 농도 16질량%의 감광성 조성물 (S-20)을 조제했다. 이 때, W, X 및 Z의 값은, 이하의 조건 B1∼B3을 충족하도록 정했다. 또한, 본 실시예에 있어서는, X=35질량부이고, W=15질량부이고, Z=554질량부이다.(A3) as a polymer (A3-1), (B) a polymeric material (a2-2) as a component (A2) , 5 parts by mass of " Compound No. 42 ", [D] 5 parts by mass of trimellitic anhydride as a curing accelerator, and [E] 5 parts by mass of KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., dipentaerythritol 25 parts by mass of Aronix M-510 (a mixture of lithol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate), 25 parts by mass of Aronix M-510 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and 200 parts by mass of Megafac F-554 , And 0.5 parts by mass of a photopolymerization initiator (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) and Z mass parts of a mixed solvent of propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether = 80/20 (volume ratio) (S-20) was prepared. At this time, the values of W, X, and Z were set so as to satisfy the following conditions B1 to B3. In the present embodiment, X = 35 parts by mass, W = 15 parts by mass, and Z = 554 parts by mass.
·조건 B1: 감광성 조성물 (S-20)에 있어서, (a2) 중합체인 중합체 (a2-2):(a3) 중합체인 중합체 (a3-1)=30:70(질량비)이다.Condition (B1): The polymer (a2-2) as the polymer (a2): the polymer (a3-1) as the polymer (a3-1) in the photosensitive composition (S-20) is 30:70 (by mass ratio).
·조건 B2: 감광성 조성물 (S-20)에 있어서, 폴리머와 [E] 중합성 화합물의 합계 함유량이 100질량부이다. 또한 「폴리머」란, [A] 성분 및 그 외의 중합체([A] 성분 및 분산제를 제외함)를 가리키는 것으로 한다.Condition B2: The total content of the polymer and the [E] polymerizable compound in the photosensitive composition (S-20) is 100 parts by mass. The term " polymer " refers to the component [A] and other polymers (excluding the [A] component and the dispersant).
·조건 B3: 감광성 조성물 (S-20)에 있어서의 고형분 농도가 16질량%이다.Condition B3: The solid content concentration in the photosensitive composition (S-20) is 16 mass%.
감광성 조성물 (S-20)에 대해서, 실시예 1과 동일하게 하여 보존 안정성의 평가 및 현상성의 평가를 행했다. 평가 결과를 표 2에 나타낸다. 또한, 실시예 1에 있어서의 내용제성의 평가를 대신하여, 이하의 강체 진자 시험을 행했다.The storage stability and the developability of the photosensitive composition (S-20) were evaluated in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 2. Further, instead of evaluating the solvent resistance in Example 1, the following rigid pendulum test was carried out.
강체 진자 시험Rigid pendulum test
감광성 조성물 (S-20)을, 도포량이 70㎎/d㎡가 되도록 알루미늄판 상에 바 코터를 이용하여 도포하여, 액막을 작성했다. 이 액막 상에 FRE-160타입의 진자를 얹어, 강체 진자 점탄성 측정기(RPT-3000 W형: A&D사)를 이용하여, 경화 온도를 측정했다. 구체적으로는, 승온 온도 5℃/분의 조건하, 진자의 흔들림의 대수 감쇠율이 0.1이 된 시점을 액막의 경화 온도로 했다. 평가 기준은 이하와 같고, 결과를 표 2에 나타낸다. 이 온도가 낮을수록, 보다 저온의 포스트베이킹에서 충분한 경화성을 나타내는 감광성 조성물이라고 할 수 있다.The photosensitive composition (S-20) was coated on an aluminum plate with a bar coater so that the application amount was 70 mg / dm 2, thereby forming a liquid film. A pendulum of FRE-160 type was placed on the liquid film, and the curing temperature was measured using a rigid pendulum viscoelasticity measuring device (RPT-3000 W type: A & D company). More specifically, the curing temperature of the liquid film was set at the time when the logarithmic decrement of the shaking motion of the pendulum became 0.1 under the condition of a temperature rise temperature of 5 ° C / min. The evaluation criteria are as follows, and the results are shown in Table 2. The lower the temperature is, the more the photosensitive composition exhibits sufficient curability at post-baking at a lower temperature.
(평가 기준)(Evaluation standard)
○: 경화 온도가 100℃ 이하임○: Curing temperature is below 100 ° C
△: 경화 온도가 101∼150℃ 이하임?: Curing temperature is 101 to 150 占 폚 or less
×: 경화 온도가 151℃ 이상임X: Curing temperature was 151 DEG C or higher
실시예 21∼22 및 비교예 7Examples 21 to 22 and Comparative Example 7
실시예 20에 있어서, 각 성분의 종류 및 양을 표 2에 나타내는 바와 같이 변경한 이외는 실시예 20과 동일하게 하여 감광성 조성물을 조제하여, 실시예 20과 동일하게 하여 평가를 행했다. 평가 결과를 표 2에 나타낸다.A photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 20 except that the kind and the amount of each component in Example 20 were changed as shown in Table 2, and evaluation was carried out in the same manner as in Example 20. The evaluation results are shown in Table 2.
또한 표 2에 있어서, 「중합체(함유비)」란 중의 괄호 내는, 중합체 중의 함유 비율을 질량비로 나타낸 값이다. 또한 「[B] 감광제」란, 「[D] 경화 촉진제」란, 「[E] 중합성 화합물」란 및 「[H] 첨가제」란 중의 괄호 내는 함유량(질량부)을 나타낸다. 「[G] 용매」란은 혼합 용매의 체적비를 나타낸다. 그리고 이들 감광성 조성물에 있어서도, 실시예 20의 감광성 조성물 (S-20)과 동일하게 조건 B2∼B3을 충족하도록 [A] 성분 및 [G] 용매의 양을 정했다. 조건 B1은 감광성 조성물마다 상이하다.In Table 2, the parentheses in the "polymer (content ratio)" column are values indicating the content ratio in the polymer by mass ratio. The "[B] photosensitizer" refers to the content (parts by mass) in parentheses in the "[E] polymerizable compound" column and the "[H] additive" column. The term "[G] solvent" refers to the volume ratio of the mixed solvent. Also in these photosensitive compositions, the amounts of the [A] component and the [G] solvent were determined so as to satisfy the conditions B2 to B3 in the same manner as in the photosensitive composition (S-20) The condition B1 is different for each photosensitive composition.
표 2에 있어서, 약호는 이하와 같다.In Table 2, the abbreviations are as follows.
·b-1: 국제공개 제2014/187170호 팜플렛에 기재되어 있는 「화합물 No.42」B-1: "Compound No. 42" described in International Publication No. 2014/187170 pamphlet
·d-1: 무수 트리멜리트산· D-1: Anhydrous trimellitic acid
·d-2: 트리스(4-메틸페닐)실라놀· D-2: tris (4-methylphenyl) silanol
·e-1: KAYARAD DPHA(닛뽄카야쿠가부시키가이샤 제조, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트와 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트의 혼합물)E-1: KAYARAD DPHA (a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
·e-2: 아로닉스 M-510(토아고세이가부시키가이샤 제조)E-2: ARONIX M-510 (Toagosei Co., Ltd.)
·f-1: 트리스(아세틸아세토네이트)알루미늄· F-1: Tris (acetylacetonate) aluminum
·g-1: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트G-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate
·g-2: 프로필렌글리콜모노메틸에테르G-2: Propylene glycol monomethyl ether
·h-1: 메가팩 F-554(DIC 가부시키가이샤 제조)H-1: Megapack F-554 (manufactured by DIC Corporation)
·h-2: 국제공개 제2012/101245호의 Example 1에서 얻어지는, 하기식 (13)으로 나타나는 화합물H-2: Compound obtained in Example 1 of International Publication No. 2012/101245, represented by the following formula (13)
Claims (12)
[A] 동일 분자 내 또는 상이한 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 화합물, 그리고
[B] 감광제
를 함유하는 감광성 조성물로서,
[A] 성분이 하기의 (a1) 중합체를 포함하거나, 또는 하기의 (a2) 중합체 및 하기의 (a3) 중합체의 조합을 포함하는, 감광성 조성물.
(a1) 중합체: 동일 분자 내에 산성 관능기 및 지환식 에폭시기를 갖는 중합체
(a2) 중합체: 산성 관능기를 갖고, 지환식 에폭시기를 갖지 않는 중합체
(a3) 중합체: 지환식 에폭시기를 갖고, 산성 관능기를 갖지 않는 중합체The following components;
[A] a compound having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule or different molecules, and
[B] Photosensitizer
As a photosensitive composition,
Wherein the component [A] comprises the following (a1) polymer, or the combination of the following (a2) polymer and the following (a3) polymer.
(a1) Polymer: A polymer having an acidic functional group and an alicyclic epoxy group in the same molecule
(a2) Polymer: A polymer having an acidic functional group and no alicyclic epoxy group
(a3) Polymer: A polymer having an alicyclic epoxy group and no acidic functional group
추가로 [C] 착색제로서 적어도 염료를 함유하고, 당해 염료의 함유 비율이 [C] 착색제의 합계에 대하여 5질량% 이상인, 감광성 조성물.The method according to claim 1,
Further comprising at least a dye as a [C] coloring agent, wherein the content of the dye is at least 5% by mass based on the total amount of the [C] coloring agent.
추가로 [C] 착색제로서 적어도 염료를 함유하고, 당해 염료의 함유 비율이 [C] 착색제의 합계에 대하여 90질량% 이상인, 감광성 조성물.The method according to claim 1,
Further comprising at least a dye as a [C] coloring agent, wherein the content of the dye is at least 90% by mass based on the total amount of the [C] coloring agent.
상기 (a1) 중합체∼(a3) 중합체가 폴리실록산 및 (메타)아크릴계 중합체로부터 선택되는 중합체인, 감광성 조성물.The method according to claim 1,
Wherein the polymer (a1) to (a3) is a polymer selected from a polysiloxane and a (meth) acrylic polymer.
[A] 성분이 상기 (a2) 중합체와 상기 (a3) 중합체의 조합을 포함하고, 그의 함유 질량비가 (a2) 중합체:(a3) 중합체=20:80∼80:20인, 감광성 조성물.The method according to claim 1,
Wherein the component [A] comprises a combination of the polymer (a2) and the polymer (a3), and the content ratio thereof is (a2) polymer: (a3) polymer = 20:80 to 80:20.
추가로, [D] 수소 공여체를 갖는 경화 촉진제, [E] 중합성 화합물 및 [F] 금속 킬레이트 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는, 감광성 조성물.The method according to claim 1,
Further, a photosensitive composition comprising at least one member selected from the group consisting of a curing accelerator having a [D] hydrogen donor, a [E] polymerizable compound and a [F] metal chelate compound.
적어도 상기 [D] 성분을 포함하고,
[D] 성분이 실라놀기를 갖는 화합물 및 카복실기를 갖는 산 무수물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물을 포함하는, 감광성 조성물.The method according to claim 6,
At least the [D] component,
Wherein the component [D] comprises at least one compound selected from the group consisting of a compound having a silanol group and an acid anhydride having a carboxyl group.
공정 (1): 기판 상에, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 조성물을 도포하여 도막을 형성하는 공정
공정 (2): 상기 공정 (1)에서 얻어진 도막에, 방사선을 조사하는 공정
공정 (3): 상기 공정 (2)에서 얻어진 도막을 현상하는 공정
공정 (4): 상기 공정 (3)에서 얻어진 도막을 70∼180℃에서 가열하는 공정A process for producing a cured film, which comprises the following steps (1) to (4).
Process (1): A process for forming a coating film by applying the photosensitive composition described in any one of claims 1 to 7 on a substrate
Step (2): A step of irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation
Step (3): a step of developing the coating film obtained in the step (2)
Step (4): Step of heating the coating film obtained in the step (3) at 70 to 180 캜
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