KR20180069655A - Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품 - Google Patents

Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품 Download PDF

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KR20180069655A
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Abstract

본 발명은 일 실시 형태는 FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태인 Fe계 나노결정립 합금을 제공한다.

Description

Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품 {FE-BASED NONOCRYSTALLINE ALLOY AND ELECTRONIC COMPONENT USING THE SMAE}
본 발명은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품에 관한 것이다.
인덕터, 트랜스, 모터 자심, 무선전력전송장치 등의 기술 분야의 경우, 소형화 및 고주파수 특성이 향상된 연자성 재료를 개발하고자 하고 있으며 최근 Fe계 나노결정립 합금이 주목 받고 있다.
Fe계 나노결정립 합금은 투자율이 높고 기존 페라이트 대비 2배 이상의 포화자속밀도를 가지며, 기존 금속에 비해 고주파수에서 작동이 된다는 장점이 있다.
그러나, 최근 그 성능의 한계가 나타나 포화자속밀도 향상을 위한 새로운 나노결정립 합급 조성의 개발이 진행되고 있다. 특히 자기유도방식의 무선전력송신장비는 주변 금속물에 의해 받은 EMI/EMC 영향 및 무선전력송신효율향상을 위해 자성체를 사용하고 있다.
이러한 자성체는 효율향상 및 장치의 경박단소화 특히, 고속충전을 위해 높은 포화자속밀도를 가지는 자성체를 적용하고자 한다. 그러나, 높은 포화자속밀도를 가지는 자성체는 손실이 높아 발열이 발생하여 적용에 한계가 있다.
본 발명의 일 목적은 높은 포화자속밀도를 가지면서도 손실이 낮은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위한 방법으로, 본 발명은 일 실시 형태를 통하여 신규한 Fe계 나노결정립 합금을 제안하고자 하며, 구체적으로, FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태이다.
일 실시 예에서, 상기 조성식에서 16≤y+z≤22%일 수 있다.
일 실시 예에서, 상기 조성식에서 1.5≤α≤3%일 수 있다.
일 실시 예에서, 상기 조성식에서 0.1≤β≤1.5%일 수 있다.
일 실시 예에서, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 1.4T 이상의 포화자속밀도를 가질 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면은,
코일부 및 상기 코일부에 인접하여 배치된 자성체 시트를 포함하며, 상기 자성체 시트는, FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태인 Fe계 나노결정립 합금을 포함하는 전자부품을 제공한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 의 경우, 높은 포화자속밀도를 가지면서도 손실이 낮은 Fe계 나노결정립 합금 및 이를 이용한 전자부품을 구현할 수 있다.
도 1은 일반적인 무선충전 시스템의 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 주요 내부 구성을 분해하여 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시 예와 비교 예에 따른 조성물의 열분석 결과를 나타낸 그래프이다.
도 5 및 도 6은 실시 예와 비교 예에 따른 Fe계 나노결정립 합금을 자성체 시트로 이용하여 무선충전 효율을 비교한 것이며, 도 5는 PMA (Power Matters Alliance) 방식, 도 6은 A4WP (Alliance for Wireless Power) 방식으로 측정한 결과이다.
이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 통상의 기술자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. 나아가, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 Fe계 나노결정립 합금이 사용될 수 있는 예로서 무선충전 시스템을 설명한다. 도 1은 일반적인 무선충전 시스템을 개략적으로 나타낸 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 주요 내부 구성을 분해하여 도시한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 무선충전 시스템은 무선전력 전송장치(10)와 무선전력 수신장치(20)로 구성될 수 있으며, 무선전력 수신장치(20)는 휴대폰, 노트북, 태블릿 PC 등과 같은 전자기기(30)에 포함될 수 있다.
무선전력 전송장치(10)의 내부를 보면, 기판(12) 상에 송신부 코일(11)이 형성되어 있어 무선전력 전송장치(10)로 교류전압이 인가되면 주위에 자기장이 형성된다. 이에 따라, 무선전력 수신장치(20)에 내장된 수신부 코일(21)에는 송신부 코일(11)로부터 기전력이 유도되며 이에 의하여 배터리(22)가 충전될 수 있다.
배터리(22)는 충전과 방전이 가능한 니켈수소 전지 또는 리튬이온 전지가 될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 배터리(22)는 무선전력 수신장치(20)와는 별도로 구성되어 무선전력 수신장치(20)에 착탈이 가능한 형태로 구현될 수 있고, 또는 배터리(22)와 무선전력 수신장치(20)가 일체로 구성되는 일체형으로 구현될 수도 있다.
송신부 코일(11)과 수신부 코일(21)은 전자기적으로 결합되어 있으며, 구리 등의 금속 와이어를 권회하여 형성될 수 있다. 이 경우, 권회 형상은 원형, 타원형, 사각형, 마름모형 등이 될 수 있으며, 전체적인 크기나 권회 횟수 등은 요구되는 특성에 따라 적절하게 제어하여 설정할 수 있다.
수신부 코일(21)과 배터리(22) 사이, 그리고 송신부 코일(11)과 기판(12) 사이에는 자성체 시트(100)가 배치될 수 있다. 자성체 시트(100)는 송신부 코일(11)의 중심부에 형성되는 마그네틱 플럭스를 차폐할 수 있으며, 또한, 수신부 측에 배치되는 경우, 수신부 코일(21)과 배터리(22) 사이에 위치하여 자속을 집속함으로써 효율적으로 수신부 코일(21) 측에 수신될 수 있도록 한다. 이와 함께, 자성체 시트(100)는 자속 중 적어도 일부가 배터리(22)에 도달하는 것을 차단하는 기능을 한다.
이러한 자성체 시트(100)는 코일부와 결합되어 상술한 무선충전 장치의 수신부 등에 적용될 수 있다. 또한, 무선 충전 장치 외에도 상기 코일부는 마그네틱 보안 전송(MST), 근거리 무선 통신(NFC) 등에 이용될 수도 있다. 이하, 자성체 시트(100)를 이루는 Fe계 나노결정립 합금에 대하여 더욱 상세히 설명한다.
본 발명의 발명자들의 연구에 의하면, 특정 조성의 Fe계 나노결정립 합금을 적절히 열처리 하는 경우 2종의 결정성이 나타나는 것을 발견하였으며, 이러한 조성물은 포화자속밀도가 높고 연자성 특성이 우수하였다. 구체적으로, 본 발명에서 제안하는 Fe계 나노결정립 합금은 FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태이다. 즉, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 1차 결정화 온도 구간에서 2개의 피크를 갖는 바이모달 형태의 결정화 에너지 경향을 나타낸다.
또한, 상기 Fe계 나노결정립 합금은 다음의 함량 조건 중 적어도 하나를 충족할 수 있으며, 이 경우, 바이모달 결정화 에너지 경향과 투자율 특성 등이 더욱 향상될 수 있다.
(1) 16≤y+z≤22%
(2) 1.5≤α≤3%
(3) 0.1≤β≤1.5%
다음은 Fe계 나노결정립 합금의 조성을 달리하여 1차 피크의 형태와 결정화 개시 온도(onset temperature)를 나타낸 표 1이다.
[표 1]
Figure pat00001

상기 실험에서 얻어진 조성물들을 열분석하여 특성을 알아보았으며, 구체적으로, 상온부터 약 1300℃ 사이 온도에서 발열과 흡열을 평가하여 금속의 결정화 및 녹는점을 관찰하는 DTA (differential thermal analysis) 분석기기를 이용하였다. 이 경우, 열분석은 분당 약 40k의 승온 속도로 각 조성 별로 제작한 샘플에 대해 진행하였으며, 도 3 및 도 4의 시차주시열량(DTA) 그래프에 그 결과를 나타내었다. 도 3의 그래프는 실시 예 2의 조성에 해당하며, 도 4의 그래프는 비교 예 1의 조성에 해당한다. 표 1, 표 2와 도 3, 도 4의 그래프들을 참조하여 실시 예와 비교 예를 비교하여보면, 본 실시 형태에서 제안된 조성의 Fe 나노결정립 합금은 1차 결정화 에너지 구간에서 바이모달(bimodal) 형태의 결정화 에너지 경향을 나타내었다.
나아가, 본 발명의 발명자들의 연구에 따르면, 이러한 결정화 에너지 경향이 승온 속도에 영향을 받으며, 바이모달(bimoda) 형태의 발열 피크가 나타나는 조성에서는 승온 속도가 상대적으로 높을 경우 투자율이 높아지고 코어 손실도 감소하였다. 일반적으로 Fe계 나노결정립 합금은 비정질상으로 제작이 되며 열처리를 통하여 Fe 결정립을 약 10~20nm 크기로 형성시킬 경우 우수한 자기적 특성을 갖게 된다. 이 경우, 일반적으로는 열처리 온도와 열처리 시간이 나노결정립 생성에 중요한 변수로 알려져 있으나, 본 발명자들은 상술한 조성범위의 Fe계 나노결정립 합금에서는 나노결정립 생성이 열처리를 위한 승온 속도에 영향을 받는 것을 확인하였다.
표 2는 Fe계 나노결정립의 조성과 승온 속도에 따른 투자율과 코어 손실을 나타낸 실험 결과이다. 구체적인 열처리 방법은 산화를 억제하기 위하여 불활성 분위기에서 진행하며 표 2에서 나타난 바와 같이 10k/min과 50k/min 두 가지 승온 속도로 상온에서부터 온도를 상승시키며 최대 온도는 일반적으로 약 500 ~ 600℃의 특정 온도 범위에서 약 0.5 ~ 1.5시간 정도 열처리를 진행한다. 다만 조성물의 세부적인 조성에 따라 최적의 열처리 온도는 바뀔 수 있으며 그 온도는 결정화 시작온도에 영향을 받는다. 본 발명자들은 열처리 온도를 각 조성 별로 약 500 ~ 600℃의 범위 중 최대의 투자율이 나타나는 온도에서 열처리를 진행하였고 유지 시간은 0.5시간으로 통일하였다. 이 때, 표 2의 결과에서 볼 수 있듯이 열분석 결과 결정화 발열 피크가 모노모달(monomodal) 형태로 나타난 조성은 승온 속도에 상관없이 투자율 및 손실에 차이가 크지 않았지만, 바이모달(bimodal) 형태로 2개 이상의 피크가 발생된 조성에서는 승온 속도가 빠른 경우에 투자율이 증가하고 손실이 낮아지는 경향이 있다.
[표 2]
Figure pat00002

도 5 및 도 6은 실시 예와 비교 예에 따른 Fe계 나노결정립 합금을 자성체 시트로 이용하여 무선충전 효율을 비교한 것이며, 도 5는 PMA (Power Matters Alliance) 방식, 도 6은 A4WP (Alliance for Wireless Power) 방식으로 측정한 결과이다. 도 5 및 도 6을 참조하면 본 발명의 실시 예에 따른 조성 범위의 Fe계 나노결정립 합금을 사용하여 얻어진 자성체 시트에서 비교 예 1의 경우보다 충전 효율이 현저히 높아짐을 확인할 수 있었다. 비교 예 1은 일반적인 나노결정립 합금으로 기존 연자성 재료에 비해 투자유리 높고 손실이 낮은 장점이 있다. 그러나 본 발명자들이 개발한 조성범위 중 하나인 실시 예 1에 해당하는 조성은 실제 투자율 및 손실은 비교 예 1에 비해서는 특성이 떨어지지만, Fe 함량이 높아 포화자속밀도가 1.4T 수준으로서 비교 예 1(1.2 ~ 1.25T)에 비해 높다. 그리고 본 발명자들은 이러한 Fe 함량 증가가 실제 무선충전 효율에 영향을 준다는 점을 확인하였다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 Fe계 나노결정립 합금은 기존의 합금 조성물보다 빠른 승온 속도의 열처리 공정에서 제작할 경우 무선전력전달효율이 더 높은 것을 확인하였다.
이와 같이, 표 1 및 표 2, 그리고 도 5 및 도 6에 나타난 결과는 상술한 조성 범위, 즉, FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%, 16≤y+z≤22%, 1.5≤α≤3%, 0.1≤β≤1.5%를 만족하는 Fe계 나노결정립 합금에서 투자율 및 코어 손실 특성이 우수하며, 무선충전 시스템에 적용 시 충전 효율이 우수하다는 것을 뒷받침한다. 이하, Fe계 나노결정립 합금을 이루는 원소 중 Fe 외의 주요 원소들에 대하여 설명한다.
붕소(Boron, B)는 비정질을 형성하기 위한 주요 원소이며, 비정질상을 형성을 안정화하기 위한 원소이다. B는 Fe 등이 나노 결정으로 결정화되는 온도를 증가시키며, 자기적 특성을 결정하는 Fe 등과 합금화되는 에너지가 높기 때문에 나노 결정이 형성되는 과정에서 합금화되지 않는 특징이 있다. 따라서, Fe계 나노결정립 합금에는 B의 첨가가 필요하다. 그러나, B 함량이 20% 이상으로 증가할 경우, 나노결정화가 힘들며 Bs(flux density)가 낮아지는 문제점이 있다.
실리콘(Silicon, Si)은 B와 유사한 기능을 하며, 비정질을 형성하기 위한 주요 원소로서 비정질상을 형성을 안정화하기 위한 원소이다. 다만, Si은 B와는 다르게 나노결정이 형성되는 온도에서도 Fe와 같은 강자성체와 합금화되어 자기적 손실을 감소시키기도 하지만, 나노결정화 시에 발생되는 열이 많아진다. 특히 Fe 함량이 높은 조성에서는 나노결정의 크기를 제어하기가 어려운 것을 본 발명자들의 연구 결과에서 확인되었다. 상기 표 1에 나타난 비교 예 4의 결과에서 볼 수 있듯이, Fe 함량이 75at%보다 높고 Si함량이 13%인 경우에는 결정화 에너지가 급격히 증가하며 결정화 피크가 모노(mono) 형태로 결정화 급격히 발생하여 나노결정립의 크기를 제어가 힘들다. 이로 인하여 나노결정립 크기가 커져서 투자율이 낮아지는 결과를 확인할 수 있었다.
한편, 상술한 Si과 B은 모두 비정질 형성을 위한 원소로서 준금속(metalloid)으로 알려져 있다. 일반적으로 상기 두 원소의 합이 20at% 이상일 경우 비정질상을 형성하기 용이한 것으로 알려져 있지만, 본 발명의 발명자들이 연구한 바에 따르면, 높은 포화자속밀도의 연자성체 개발을 위해서는 Fe가 75at% 이상으로 함유될 필요가 있었다. 이 경우에는 준금속 원소의 총 함량(Si+B)이 20at%보다 낮은 경우에도 비정질 형성이 가능하였고 16at% 이상에서는 비정질 형성이 가능하였다. 특히, 열분석으로 나타나는 나노결정립의 결정화에 따른 발열반응이 바이모달(bimodal) 형태로 형성되는 것은 본 실시 형태에서 제안된 한정적인 조성범위에서만 나타나는 것을 표 1, 2의 결과에서 확인 가능하였다.
니오븀(Niobium, Nb)은 나노결정립의 크기를 제어하는 원소로 Fe 등과 같은 나노 크기로 형성된 결정립이 확산에 의해 성장하지 않도록 제한하는 역할을 한다. 일반적으로 Nb 함량은 3at%로 최적화되었으나, 본 발명자들이 행한 실험에서는 Fe 함량 증가로 인하여 기존 Nb 함량보다는 낮은 상태에서 나노결정립 합금 형성을 시도하였고 그 결과 3at%보다 낮은 상태에서도 나노결정립이 형성되고 특히 Fe 함량이 증가 함에 의해 Nb 함량 또한 증가된 양이 필요하다는 일반적인 기술과는 다르게 오히려 Fe 함량이 높고 나노결정립의 결정화 에너지가 바이모달(bimodal) 형상으로 형성되는 조성 범위에서는 기존 Nb 함량보다는 낮은 경우에서 자기적 특성이 향상됨을 확인하였다. 오히려 Nb 함량이 높은 비교 예 5의 경우는 자기적 특성인 투자율이 감소하고 손실이 증가하는 것을 확인하였다.
한편, 구리(Copper, Cu)는 나노결정립이 형성되기 위한 핵 생성 형성에너지를 낮추어주는 시드의 역할을 하는 것으로 기존 나노결정립 형성과 크게 차이 나지 않았다.
본 실시 형태에서 제안된 조성의 Fe계 나노결정립 합금의 경우, 연자성 부품이 응용되는 분야는 어디는 사용이 가능하다. 연자성 부품이 사용되는 것은 대표적으로 인덕터와 리액터와 같은 수동소자가 있고 최근에는 무선전력전달장치와 같은 곳에도 사용이 된다. 무선 전력전달장치는 두 개의 코일이 일정간격으로 떨어져 있어도 유도에 의해 전기가 전달되는 것으로 주변 금속물질에 의한 파형왜곡 등에 의해 전달효율 감소를 막기 위하여 투자율이 높고 손실이 낮은 연자성 시트가 사용된다. 특히 본 발명에서 개발한 조성의 시트는 아래 그림에서와 같이 기존 자성체인 비교 예들에 비해 충전효율이 높아짐을 확인하였다. 특히, 승온 속도가 높은 열처리 공정조건에서 제작한 자성체가 무선전력전달효율이 더 높은 것을 확인하였다.
나아가, 상술한 조성의 자성체의 경우, 약 1.4T 이상의 높은 포화자속밀도를 가지며, 이에 따라 자성체 시트 두께가 저감되어 이를 이용한 전자 부품의 소형화에 유리하다.
본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
10: 무선전력 전송장치
11: 송신부 코일
20: 무선전력 수신장치
21: 수신부 코일
22: 배터리
100: 자성체 시트

Claims (10)

  1. FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태인 Fe계 나노결정립 합금.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 조성식에서 16≤y+z≤22%인 Fe계 나노결정립 합금.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 조성식에서 1.5≤α≤3%인 Fe계 나노결정립 합금.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 조성식에서 0.1≤β≤1.5%인 Fe계 나노결정립 합금.
  5. 제1항에 있어서,
    1.4T 이상의 포화자속밀도를 갖는 Fe계 나노결정립 합금.
  6. 코일부; 및
    상기 코일부에 인접하여 배치된 자성체 시트;를 포함하며,
    상기 자성체 시트는, FexBySizMαAβ의 조성식으로 표현되되, 여기서, M은 Nb, V, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 구성되는 군에서 선택된 적어도 1종의 원소, A는 Cu, Au로 구성되는 군에서 선택된 적어도 일종의 원소이며, x, y, z, α, β는 원자%를 기준으로 각각 75≤x≤81%, 7≤y≤13%, 4≤z≤12%인 함량 조건을 가지며, 시차주시열량(DSC) 그래프에서 1차 피크는 바이모달(bimodal) 형태인 Fe계 나노결정립 합금을 포함하는 전자부품.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 조성식에서 16≤y+z≤22%인 전자부품.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 조성식에서 1.5≤α≤3%인 전자부품.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 조성식에서 0.1≤β≤1.5%인 전자부품.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 Fe계 나노결정립 합금은 1.4T 이상의 포화자속밀도를 갖는 전자부품.
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