KR20180030485A - Light orientation illuminating apparatus - Google Patents

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KR20180030485A KR1020180025904A KR20180025904A KR20180030485A KR 20180030485 A KR20180030485 A KR 20180030485A KR 1020180025904 A KR1020180025904 A KR 1020180025904A KR 20180025904 A KR20180025904 A KR 20180025904A KR 20180030485 A KR20180030485 A KR 20180030485A
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Abstract

The present invention can include a light orientation illuminating apparatus which includes a light emitting lamp which emits light; a condensing mirror positioned at one side of the light emitting lamp and condensing light emitted from the light emitting lamp; a collimation part disposed on the other side of the light emitting lamp for correcting condensed light in parallel; and a polarization part for polarizing the light corrected by the collimation part. The light polarized through the polarization part is irradiated to an object. The light irradiated to the collimation part is irradiated in a condensed state. It is possible to minimize interference and diffraction.

Description

광배향 조사장치{Light orientation illuminating apparatus}[0001] The present invention relates to a light orientation illuminating apparatus,

본 발명의 실시예들은 광배향 조사장치에 관한 것으로, 특히, 발광 램프로부터 발산된 광이 대상물에 평행하게 조사될 수 있도록 설치되는 콜리메이션부 도달 시, 집광된 상태로 조사될 수 있는 광배향 조사장치에 관한 것이다.In particular, embodiments of the present invention relate to a photo-alignment illumination apparatus, and more particularly, to a photo-alignment illumination apparatus capable of irradiating light in a condensed state when reaching a collimation unit provided so that light emitted from a light- ≪ / RTI >

최근 대량의 정보를 처리하고 이를 표시하는 디스플레이 분야의 액정 패널 제조 기술이 발전함에 따라, 액정소자에 대한 연구 역시 날로 증대되고 있다.Background Art [0002] Recent developments in liquid crystal panel manufacturing technology for processing and displaying a large amount of information in a display field have led to an increase in research on liquid crystal devices.

한편, 액정소자의 상하판에는 액정을 특정 방향으로 배향시키기 위한 배향막이 구성되는데, 종래에는 러빙(rubbing)배향 방법을 이용하여 배향막에 방향성(이방성)을 부여하였으나, 이러한 러빙배향 방법은 러빙포를 이용하여 기판 상부의 배향막에 물리적인 힘을 가하는 접촉식이므로, 배향막에 스크래치(scratch) 등의 불량이 발생할 수 있으며, 러빙포 관리 등의 생산관리가 복잡해지는 단점이 존재하였다.On the other hand, in the upper and lower plates of the liquid crystal device, an orientation film for orienting the liquid crystal in a specific direction is formed. In the past, orientation (anisotropy) was given to the orientation film by using a rubbing orientation method. However, There is a disadvantage in that defects such as scratches may occur in the alignment film, and production control such as rubbing treatment is complicated, because there is a contact type in which a physical force is applied to the alignment film on the substrate.

상술한 단점을 해소하기 위하여, 최근에는 배향막에 편광된 빛을 조사하여 폴리이미드 등의 박막중의 특정 방향만의 폴리머만 광화학반응에 의해 분극이나 구조변화시키는 방법이 사용된다. 이를 위해서는 광 조사 시 광반응성 물질이 편광방향에 따라 일정한 방향과 각도로 배열되어야 하며, 대상물 전반적으로 균일하게 광이 조사되어야 하는 바, 볼록 랜즈 등을 통한 확산광이 주로 이용되었다.In order to overcome the disadvantages described above, recently, a method of irradiating polarized light to the alignment film to change the polarization or structure of the polymer only in a specific direction in a thin film such as polyimide by photochemical reaction is used. For this purpose, the photoreactive material must be arranged at a certain angle and angle in accordance with the polarization direction during light irradiation, and diffused light through a convex lens or the like is mainly used because light must be uniformly irradiated over the entire object.

하지만, 이 경우, 조사 대상물의 광 균일성 측면에서는 개선되었으나, 조사 과정에서 광의 반사, 간섭 및 회절 등의 크게 발생하였고, 광배향에 따른 배향 정렬도가 높지 못하다는 단점이 존재하였다.However, in this case, although the light uniformity of the object to be investigated is improved, there is a disadvantage that light reflection, interference and diffraction are largely occurred in the irradiation process, and alignment alignment by the light alignment is not high.

또한, 본원 도 1에 도시된 바와 같이, 대상물의 특정 영역에 노광하기 위해 개구(1')가 형성된 마스크(1) 등이 이용되는 경우, 광이 대상물(2)에 조사되는 과정에서 마스크의 개구 가장자리(edge) 부분에서 반사, 간섭 및 회절 등이 크게 발생하였고, 광배향 성능이 저하되는 문제가 존재하였다.1, when a mask 1 or the like having an opening 1 'formed therein for exposing a specific region of an object is used, it is preferable that the opening of the mask 1 during the irradiation of light to the object 2, Reflection, interference and diffraction occurred at the edge portion, and there was a problem that the photo-alignment performance deteriorates.

한국등록특허공보 제10-1392219호(2014.05.08)Korean Patent Registration No. 10-1392219 (Apr. 2014, 2014)

본 발명의 실시예들은, 발산된 광의 반사, 간섭 및 회절을 최소화 할 수 있는 광배향 조사장치를 제공하기 위한 것이다.Embodiments of the present invention are intended to provide an optical alignment illuminating device capable of minimizing reflection, interference, and diffraction of diverged light.

또한, 본 발명의 실시예들은, 발산광이 아닌 집광 상태에서 콜리메이션부로 조사될 수 있는 광배향 조사장치를 제공하기 위한 것이다.Embodiments of the present invention are also intended to provide an optical alignment illuminating device which can be irradiated with a collimation portion in a condensed state instead of diverging light.

또한, 본 발명의 실시예들은, 광배향에 따른 배향 정렬도를 향상시킬 수 있는 광배향 조사장치를 제공하기 위한 것이다.Embodiments of the present invention are also intended to provide a photo-alignment illumination apparatus capable of improving the alignment degree of alignment according to light orientation.

또한, 본 발명의 실시예들은, 구 형상의 발광램프를 사용하는 바, 발산된 광의 회절 가능성을 최소화 할 수 있는 광배향 조사장치를 제공하기 위한 것이다.Embodiments of the present invention also provide an optical alignment illumination apparatus that uses a spherical emission lamp and can minimize the possibility of diffraction of diverged light.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 발산하는 발광램프; 상기 발광램프의 일측에 위치되어 상기 발광램프로부터 발산된 광을 집광하는 집광미러; 상기 발광램프의 타측에 위치되어 집광된 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션부(collimation); 및 상기 콜리메이션부에 의해 보정된 광을 편광시키는 편광부;를 포함하고, 상기 편광부를 통해 편광된 광은 대상물에 조사되며, 상기 콜리메이션부에 조사되는 광은 집광된 상태로 조사되는, 광배향 조사장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a light emitting device comprising: a light emitting lamp that emits light; A condensing mirror positioned at one side of the luminescent lamp and condensing light emitted from the luminescent lamp; A collimation unit disposed on the other side of the luminescent lamp for correcting condensed light in parallel; And a polarization unit for polarizing the light corrected by the collimation unit, wherein the light polarized through the polarization unit is irradiated to an object, and the light irradiated to the collimation unit is irradiated in a condensed state, An orientation irradiating device can be provided.

상기 콜리메이션부에 조사되는 광은 상기 대상물에 배향 깨짐 현상이 10EA/cm^2 이내로 형성되도록 집광된 상태일 수 있다.The light emitted to the collimation unit may be condensed to form an alignment cracking phenomenon within 10 A / cm < 2 >

적어도 하나의 개구가 형성된 필름 마스크(film mask)를 더 포함하고, 상기 필름 마스크는 상기 편광부의 광이 조사되는 측부에 배치될 수 있다.The film mask may further include a film mask having at least one opening formed therein, and the film mask may be disposed on a side to which the light of the polarizing section is irradiated.

상기 발광램프는 기 결정된 직경의 구 형상일 수 있다.The luminescent lamp may have a spherical shape having a predetermined diameter.

상기 콜리메이션부는 광이 반사되는 일면이 오목하게 형성될 수 있다.The collimation unit may have a concave surface on which light is reflected.

상기 발광램프의 타측부에 위치되어 상기 집광부로부터 반사된 광의 일부를 차단하는 차광부;를 더 포함할 수 있다.And a light shielding part located on the other side of the light emitting lamp and blocking a part of the light reflected from the light collecting part.

상기 발광램프는 자외선 램프일 수 있다.The luminescent lamp may be an ultraviolet lamp.

상기 발광램프는 300nm 내지 450nm 파장의 광을 발산할 수 있다.The luminescent lamp may emit light having a wavelength of 300 to 450 nm.

본 발명의 실시예들에 의하면, 발산된 광의 반사, 간섭 및 회절을 최소화 할 수 있다.Embodiments of the present invention can minimize reflection, interference, and diffraction of diverged light.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 발산광이 아닌 집광 상태에서 콜리메이션부로 조사될 수 있다.Further, according to the embodiments of the present invention, the collimation portion can be irradiated in the condensed state instead of the divergent light.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 광배향에 따른 배향 정렬도를 향상시킬 수 있다.Further, according to the embodiments of the present invention, it is possible to improve the alignment degree of alignment according to the light alignment.

또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 구 형상의 발광램프를 사용하는 바, 발산된 광의 회절 가능성을 최소화 할 수 있다.Further, according to the embodiments of the present invention, when using a spherical luminescent lamp, the possibility of diffracted light can be minimized.

도 1은 개구가 형성된 마스크에 광이 조사되는 모습을 나타낸 도면
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치를 나타낸 도면
도 3은 개구가 형성된 마스크 통과 시, 확산광 또는 집광에 따른 광의 세기 분포를 나타낸 도면
도 4는 대상물에 광이 조사된 경우, 집광 상태일 경우와 확산광 상태일 경우의 빛샘(하얀 점 부분)이 일어나는 정도를 나타낸 도면1 is a view showing a state in which light is irradiated onto a mask having an opening formed therein;
2 is a view showing an optical alignment illumination apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing intensity distribution of light due to diffused light or condensed light when passing through a mask having an opening formed therein;
4 is a diagram showing the degree of light leakage (white dot portion) when a light is irradiated to an object and when the light is in a condensed state and a diffused light state

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, this is merely an example and the present invention is not limited thereto.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intention or custom of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.The technical idea of the present invention is determined by the claims, and the following embodiments are merely a means for effectively explaining the technical idea of the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)를 나타낸 도면이고, 도 3은 개구가 형성된 마스크(500) 통과 시, 확산광 또는 집광에 따른 광의 세기 분포를 나타낸 도면이며, 도 4는 대상물에 광이 조사된 경우, 집광 상태일 경우와 확산광 상태일 경우의 빛샘(하얀 점 부분)이 일어나는 정도를 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a view showing an optical alignment illumination apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing intensity distribution of light due to diffusion light or condensation when passing through a mask 500 having an opening formed therein, FIG. 4 is a graph showing the degree of light leakage (white point portion) when light is irradiated to an object and when the object is in a condensed state and a diffused light state.

도 2 내지 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 광을 발광하는 발광램프(100), 광을 집광하는 집광미러(200), 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션부(collimation)(300) 및 편광부(400)를 포함할 수 있다.2 to 4, an optical alignment illumination apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a light emitting lamp 100 that emits light, a condensing mirror 200 that condenses light, A collimation unit 300 and a polarization unit 400. The collimation unit 300 may include a collimation unit 300,

구체적으로, 집광미러(200)는 발광램프(100)의 일측에 위치되어 발광램프(100)로부터 발산된 광을 발광램프(100)의 타측으로 반사시킬 수 있고, 발광램프(100)에서 발산된 광을 콜리메이션부(300) 측으로 포커싱(focusing)하여 이동시킬 수 있다. 한편, 상술한 콜리메이션부(300)는 발광램프(100)의 타측에 위치되어 집광미러(200)로부터 집광된 광을 평행하게 보정할 수 있다. 위와 같이, 평행하게 보정된 광은 편광부(400)를 통해 편광되어 대상물(20)에 조사될 수 있다.Specifically, the condensing mirror 200 is disposed at one side of the light emitting lamp 100 to reflect the light emitted from the light emitting lamp 100 to the other side of the light emitting lamp 100, and the light emitted from the light emitting lamp 100 The light can be focused and moved to the collimation unit 300 side. The collimation unit 300 may be disposed on the other side of the emission lamp 100 to correct the condensed light from the condensing mirror 200 in parallel. As described above, the parallel-corrected light can be polarized through the polarization unit 400 and irradiated onto the object 20. [

위와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 발산된 광의 편광부(400) 통과 전 콜리메이션부(300)에 의해 반사되어 보정되는 바, 광이 평행하게 조사될 수 있다. As described above, the optical alignment illuminator 10 according to an embodiment of the present invention is reflected and corrected by the collimation unit 300 before passing the polarized light 400 of the diverged light, have.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 적어도 하나의 개구(미도시 됨)가 형성된 필름 마스크(film mask)(500)를 더 포함할 수 있고, 필름 마스크(500)는 상술한 편광부(400)의 광이 조사되는 측부에 배치될 수 있다.The photo-alignment irradiating apparatus 10 may further include a film mask 500 having at least one opening (not shown) formed therein. The film mask 500 may include a light- May be disposed on the side to which the light of the polarization unit 400 described above is irradiated.

구체적으로, 상술한 필름 마스크(500)는 적어도 하나의 개구를 포함하는 바, 상술한 필름 마스크(500)가 편광부(400)의 광이 조사되는 측부 전면에 배치되는 경우, 노광 과정에서 광이 조사되는 대상물(20)의 특정 영역에만 광을 조사시킬 수 있다.Specifically, the above-described film mask 500 includes at least one opening. When the above-described film mask 500 is disposed on the front side of the side of the polarizer 400 on which light is irradiated, The light can be irradiated only to a specific region of the object 20 to be irradiated.

한편, 필름 마스크(500)는 적어도 하나의 개구를 포함하는 바, 개구의 가장자리(edge) 부분에서 광의 반사, 간섭 및 회절 등이 발생할 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)의 경우, 집광된 상태로 조사되어 반사, 간섭 및 회절 등을 최소화 할 수 있고, 나아가, 콜리메이션부(300)를 통해 평행하게 보정된 상태로 조사되는 바, 균일하게 조사될 수 있다.Meanwhile, the film mask 500 includes at least one opening, and reflection, interference, and diffraction of light may occur at an edge portion of the opening. However, in the optical alignment illuminating apparatus 10), it can be irradiated in a condensed state to minimize reflection, interference, and diffraction, and further, it is irradiated in a state of being corrected in parallel through the collimation unit 300, so that it can be uniformly irradiated.

한편, 콜리메이션부(300)에 조사되는 광은 집광된 상태로 조사될 수 있다.On the other hand, the light irradiated to the collimation unit 300 can be irradiated in a condensed state.

즉, 종래와 같이 확산광 상태로 조사되는 것이 아닌 집광된 상태에서 조사될 수 있고, 대상물(20)에 조사되는 광이 집광된 상태로 조사됨에 따라 반사, 간섭 및 회절 등이 최소화 될 수 있으며, 광배향에 따른 배향 정렬도가 향상될 수 있다.That is, the light can be irradiated in a condensed state instead of being irradiated in a diffused light state as in the prior art, and reflection, interference and diffraction can be minimized as the light irradiated to the object 20 is irradiated in a condensed state, Alignment alignment according to the light alignment can be improved.

구체적으로, 콜리메이션부(300)에 조사되는 광은 집광된 광이 콜리메이션부(300) 및 편광부(400)를 통과하여 대상물(20)에 조사되었을 때, 대상물(20) 관찰 시 배향 깨짐(본원 도 4의 하얀 점) 현상이 10 EA/cm^2 이내로 형성되도록 집광된 상태일 수 있고, 콜리메이션부(300)로 조사되는 광이 확산광 상태로 조사되었을 경우와 집광 상태로 조사되었을 경우의 대상물(20) 배향 정도를 관찰한 결과는 아래 표 1과 같이 나타날 수 있다.Specifically, when the condensed light is irradiated to the object 20 through the collimation unit 300 and the polarization unit 400, the light irradiated to the collimation unit 300 is distorted when the object 20 is observed. (The white point in FIG. 4) may be condensed so as to be formed within 10 EA / cm < 2 >. When the light to be irradiated to the collimation unit 300 is irradiated in the diffused light state, The result of observing the degree of orientation of the object (20) in the case of FIG.

구분division 배향 깨짐(EA/cm^2)Orientation cracking (EA / cm ^ 2) 집광 상태Condensing state 10 미만Less than 10 확산광 상태Diffused light state 10 초과Greater than 10

즉, 대상물(20)의 배향 정도를 관찰하였을 때, 집광된 상태로 콜리메이션부(300)에 조사된 경우, 배향 깨짐(하얀 점)이 10 EA/cm^2 이내로 형성되었으나, 확산광 상태에서 조사된 경우에는 배향 깨짐(하얀 점)이 10 EA/cm^2 를 초과하여 형성될 수 있다. 이 때, 상술한 배향 ?팁?(하얀 점)은 0.5 ㎛ 이상의 크기로 형성되어 시인성이 발생된 경우일 수 있다.That is, when the degree of orientation of the object 20 was observed, when the collimation unit 300 was irradiated with the condensed state, the orientation cracking (white spot) was formed within 10 EA / cm 2, When irradiated, orientation cracking (white dots) may be formed in excess of 10 EA / cm < 2 >. At this time, the above orientation, tip? (White dot) may be formed with a size of 0.5 占 퐉 or more and visibility may be generated.

이는, 본원 도 3에 도시된 바와 같이, 단일 슬릿(3)을 통과한 광이 확산광일 ??에 비해 집광일 때 회절이 덜 일어나는 결과를 통해 확인할 수 있고, 도 4를 참조하면, 조사된 광이 집광 상태일 때에 비해 확산광 상태에서 조사된 경우, 배향 깨짐(하얀 점 부분) 현상이 더 많이 일어남을 알 수 있다. 즉, 확산광의 경우 배향 정렬도가 더 떨어짐을 알 수 있다. This can be confirmed by the fact that as shown in FIG. 3, the light passing through the single slit 3 is less diffracted when it is condensed than the diffused light, and referring to FIG. 4, (White dot portion) phenomenon is more likely to occur when the light is irradiated in the diffused light state than when it is in the condensed state. That is, it can be seen that the degree of alignment alignment is lower in the case of diffused light.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 발광램프(100) 및 콜리메이션부(300) 사이에 확산렌즈와 같은 확산부재를 구비하지 않는 바, 발광램프(100)로부터 발산된 광은 집광된 상태로 콜리메이션부(300)에 조사될 수 있고, 그 결과, 편광된 광이 조사되는 대상물(20)의 배향 정렬도가 증가하여 광배향에 따른 배향 정렬도를 나타내는 오더 파라미터(order parameter)값이 0.9 이상으로 형성될 수 있다. 반면, 종래 확산광이 조사되는 경우 상술한 오더 파라미터(order parameter) 값은 0.8 내지 0.9로 형성될 수 있다. 즉, 광배향의 배향 정렬도가 향상될 수 있다.The optical alignment illuminator 10 according to an embodiment of the present invention does not include a diffusion member such as a diffusion lens between the emission lamp 100 and the collimation unit 300, The divergent light can be irradiated to the collimation unit 300 in a condensed state, and as a result, the degree of alignment of the object 20 to which the polarized light is irradiated is increased, An order parameter value of 0.9 or more may be formed. On the other hand, when the conventional diffused light is irradiated, the aforementioned order parameter value may be formed to be 0.8 to 0.9. That is, alignment alignment of the light alignment can be improved.

한편, 상술한 편광부(400)는 와이어 그리드(Wire Grid)로 형성될 수 있고, 특정 파장의 광은 차단하여 광학 필터 역할을 할 수 있다. 이 때, 편광부(400)가 와이어 그리드로 형성됨에 따라 광의 편광부(400) 통과 과정에서 반사, 간섭 및 회절 등이 발생할 수 있으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)의 경우, 집광된 상태로 조사되는 바, 반사, 간섭 및 회절 등을 최소화 할 수 있다.Meanwhile, the polarization unit 400 described above can be formed of a wire grid, and blocks light of a specific wavelength to serve as an optical filter. In this case, since the polarization unit 400 is formed of a wire grid, reflection, interference, and diffraction may occur during the passage of the light through the polarization unit 400. However, in the optical alignment irradiation apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, It is possible to minimize reflection, interference, and diffraction, as it is irradiated in a condensed state.

또한, 상술한 편광부(400)의 차단 파장의 범위는 편광된 광이 조사되는 대상물(20)의 종류에 따라 변경될 수 있다. 구체적으로, 광이 조사되는 대상물(20)의 종류 또는 대상물(20)의 배향 방향에 따라 조사되는 광의 파장 범위가 달라질 수 있고, 편광부(400)가 변경되어 차단되는 파장의 범위가 달라짐으로써 대상물(20)의 배향 방향 등이 달라질 수 있다.The range of the cut-off wavelength of the polarization unit 400 described above can be changed depending on the type of the object 20 to which the polarized light is irradiated. Specifically, the wavelength range of the light irradiated according to the kind of the object 20 to be irradiated with light or the orientation direction of the object 20 can be changed, and the range of the wavelength to be blocked by changing the polarization unit 400 is changed, The orientation direction of the substrate 20, and the like.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 구 형상의 발광램프(100)로 형성될 수 있고, 이 때, 상술한 발광램프(100)는 자외선 램프(UV lamp)일 수 있다.In the meantime, the optical alignment illuminator 10 according to an embodiment of the present invention may be formed of a spherical luminescent lamp 100, wherein the luminescent lamp 100 described above is a UV lamp .

구체적으로, 일반적인 형광등과 같은 막대 형상의 발광램프(100)의 경우, 발산되는 광의 회절도가 높아지게 되는 반면, 상술한 발광램프(100)는 구 형상의 점광원 형태로 광을 발산할 수 있고, 발광램프(100)의 일측에 위치된 집광미러(200)에 의해 발산된 광이 집광되는 바, 방출되는 광의 회절을 최소화 할 수 있어 광배향에 따른 대상물(20)의 배향 정렬도를 향상시킬 수 있다. Specifically, in the case of the rod-shaped luminescent lamp 100 such as a general fluorescent lamp, the degree of diffraction of the divergent light becomes high. On the other hand, the above-described luminescent lamp 100 can emit light in the form of a spherical point light source, The light emitted by the condensing mirror 200 located at one side of the light emitting lamp 100 is condensed so that the diffraction of the emitted light can be minimized and the degree of alignment of the object 20 due to the light alignment can be improved have.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 발광램프(100)는 광의 반사, 간섭 및 회절 등을 최소화 하기 위하여, 300nm 내지 450nm 파장으로 방출될 수 있고, 바람직하게는 320nm 내지 430nm의 파장으로 방출될 수 있다.Meanwhile, in order to minimize reflection, interference and diffraction of light, the luminescent lamp 100 according to an embodiment of the present invention may be emitted with a wavelength of 300 to 450 nm, preferably with a wavelength of 320 to 430 nm have.

한편, 상술한 콜리메이션부(300)는 광이 반사되는 일면이 오목하게 형성될 수 있다. 즉, 콜리메이션부(300)는 오목미러 형태로 형성될 수 있다.Meanwhile, the collimation unit 300 may have a concave surface on which light is reflected. That is, the collimation unit 300 may be formed in a concave mirror shape.

구체적으로, 종래에 광이 조사되고 반사되는 일면이 평면으로 형성되는 것과 달리, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)의 콜리메이션부(300)는 광이 반사되는 일면이 오목하게 형성될 수 있고, 그에 따라, 콜리메이션부(300)에 조사되는 광이 평행하게 보정되어 대상물(20)에 조사되는 광의 균일도를 향상시킬 수 있다.The collimation unit 300 of the optical alignment illumination apparatus 10 according to an embodiment of the present invention differs from the conventional collimation unit 300 in that light is reflected and reflected in one plane, The collimation unit 300 is corrected in parallel so that the uniformity of the light irradiated to the object 20 can be improved.

나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 발광램프(100)의 타측부에 위치되어 집광부로부터 반사된 광의 일부를 차단하는 차광부(600)를 더 포함할 수 있다.The optical alignment illuminator 10 according to an embodiment of the present invention may further include a light shielding part 600 disposed on the other side of the light emitting lamp 100 to shield a part of the light reflected from the light focusing part 100 .

구체적으로, 상술한 차광부(600)는 발광램프(100)를 기준으로 집광미러(200)의 반대측에 위치될 수 있고, 발광램프(100)에 인접하게 위치되어 집광램프로부터 반사되어 콜리메이션부(300) 측으로 조사되는 광을 제외한 그 외의 방향으로 조사되는 광을 차단할 수 있다.Specifically, the light-shielding portion 600 may be positioned on the opposite side of the light-collecting mirror 200 with respect to the light-emitting lamp 100, may be positioned adjacent to the light-emitting lamp 100, It is possible to block the light emitted in the other direction except for the light to be irradiated to the light source 300 side.

이를 통해, 상술한 집광미러(200)에 따른 광의 포커싱이 향상될 수 있고, 대상물(20)에 조사하기 위한 광을 제외한 불필요한 광의 반사를 최소화 하는 바, 집광 효율이 증대될 수 있다.Accordingly, focusing of light according to the condensing mirror 200 described above can be improved and reflection of unnecessary light other than light for irradiating the object 20 can be minimized, so that the light condensing efficiency can be increased.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 광배향 조사장치(10)는 상술한 구성에 한정되는 것은 아니고, 콜리메이션부(300)를 통해 평행하게 보정된 상태로 반사된 광이 다양한 미러 또는 렌즈 등을 통하여 편광부(400)로 이동되는 등, 필요에 따라 부가적인 광학 설계가 추가될 수 있음은 통상의 기술자에게 있어 자명하다.The optical alignment irradiating apparatus 10 according to the embodiment of the present invention is not limited to the above-described configuration, and may be configured such that light reflected in a state of being corrected in parallel through the collimation unit 300 is reflected by various mirrors, It is apparent to those skilled in the art that an additional optical design can be added as needed, such as moving to the polarizing portion 400 through the optical element.

이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention. I will understand. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by equivalents to the appended claims, as well as the appended claims.

1 : 종래 마스크
1' : 개구
2 : 종래 대상물
3 : 단일 슬릿
10 : 광배향 조사장치
20 : 대상물
100 : 발광램프
200 : 집광미러
300 : 콜리메이션부
400 : 편광부
500 : 필름 마스크
600 : 차광부1: conventional mask
1 ': opening
2: Conventional object
3: Single slit
10: Optical alignment irradiation apparatus
20: object
100: Luminescent lamp
200: condensing mirror
300: collimation unit
400: Polarizing unit
500: Film mask
600: light shield

Claims (8)

광을 발산하는 발광램프;
상기 발광램프의 일측에 위치되어 상기 발광램프로부터 발산된 광을 집광하는 집광미러;
상기 발광램프의 타측에 위치되어 집광된 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션부(collimation); 및
상기 콜리메이션부에 의해 보정된 광을 편광시키는 편광부;를 포함하고,
상기 편광부를 통해 편광된 광은 대상물에 조사되며,
상기 콜리메이션부에 조사되는 광은 집광된 상태로 조사되는, 광배향 조사장치.
A luminescent lamp that emits light;
A condensing mirror positioned at one side of the luminescent lamp and condensing light emitted from the luminescent lamp;
A collimation unit disposed on the other side of the luminescent lamp for correcting condensed light in parallel; And
And a polarization unit for polarizing the light corrected by the collimation unit,
The light polarized through the polarizer is irradiated onto the object,
And the light irradiated to the collimation unit is irradiated in a condensed state.
청구항 1에 있어서,
상기 콜리메이션부에 조사되는 광은 상기 대상물에 배향 깨짐 현상이 10 EA/cm^2 미만으로 형성되도록 집광된 상태인, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the light irradiated to the collimation unit is in a condensed state such that an alignment cracking phenomenon in the object is formed to be less than 10 EA / cm < 2 >.
청구항 1에 있어서,
적어도 하나의 개구가 형성된 필름 마스크(film mask)를 더 포함하고,
상기 필름 마스크는 상기 편광부의 광이 조사되는 측부에 배치되는, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a film mask having at least one opening formed therein,
Wherein the film mask is disposed on a side of the polarizing portion where the light is irradiated.
청구항 1에 있어서,
상기 발광램프는 기 결정된 직경의 구 형상인, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the luminescent lamp is a spherical shape having a predetermined diameter.
청구항 1에 있어서,
상기 콜리메이션부는 광이 반사되는 일면이 오목하게 형성된, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the collimation portion is formed with one surface of the concave portion where light is reflected.
청구항 1에 있어서,
상기 발광램프의 타측부에 위치되어 상기 집광부로부터 반사된 광의 일부를 차단하는 차광부;를 더 포함하는, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
And a light shielding part located on the other side of the light emission lamp and blocking a part of the light reflected from the light collecting part.
청구항 1에 있어서,
상기 발광램프는 자외선 램프인, 광배향 조사장치.
The method according to claim 1,
Wherein the light emitting lamp is an ultraviolet lamp.
청구항 1에 있어서,
상기 발광램프는 300nm 내지 450nm 파장의 광을 발산하는, 광배향 조사장치.The method according to claim 1,
Wherein the luminescent lamp emits light having a wavelength of 300 to 450 nm.
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100323731B1 (en) * 1998-11-06 2002-05-09 구본준, 론 위라하디락사 Light irradiating device
KR20070020090A (en) * 2004-06-02 2007-02-16 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 Polarized uv exposure system
JP2011247999A (en) * 2010-05-25 2011-12-08 Mitsubishi Rayon Co Ltd Method for manufacturing molded product
KR20120012188A (en) * 2010-07-30 2012-02-09 신한진 a supporter
KR20120032426A (en) * 2010-09-28 2012-04-05 우시오덴키 가부시키가이샤 Light irradiation apparatus and light irradiation method
JP2012088425A (en) * 2010-10-18 2012-05-10 Ushio Inc Light emitting device
KR20130062896A (en) * 2011-12-05 2013-06-13 주식회사 엘지화학 Polarized light splitting element
KR101392219B1 (en) 2013-07-02 2014-05-08 한국생산기술연구원 Method of photo alignment using polarized pulse uv
JP2014086372A (en) * 2012-10-26 2014-05-12 Ushio Inc Light irradiation device
KR20150129429A (en) * 2014-05-12 2015-11-20 동우 화인켐 주식회사 Face to face Proximity exposure system

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100323731B1 (en) * 1998-11-06 2002-05-09 구본준, 론 위라하디락사 Light irradiating device
KR20070020090A (en) * 2004-06-02 2007-02-16 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 Polarized uv exposure system
JP2011247999A (en) * 2010-05-25 2011-12-08 Mitsubishi Rayon Co Ltd Method for manufacturing molded product
KR20120012188A (en) * 2010-07-30 2012-02-09 신한진 a supporter
KR20120032426A (en) * 2010-09-28 2012-04-05 우시오덴키 가부시키가이샤 Light irradiation apparatus and light irradiation method
JP2012088425A (en) * 2010-10-18 2012-05-10 Ushio Inc Light emitting device
KR20130062896A (en) * 2011-12-05 2013-06-13 주식회사 엘지화학 Polarized light splitting element
JP2014086372A (en) * 2012-10-26 2014-05-12 Ushio Inc Light irradiation device
KR101392219B1 (en) 2013-07-02 2014-05-08 한국생산기술연구원 Method of photo alignment using polarized pulse uv
KR20150129429A (en) * 2014-05-12 2015-11-20 동우 화인켐 주식회사 Face to face Proximity exposure system

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