KR20180029532A - Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a lifting device for a substrate transfer device capable of reducing maintenance and replacement times of a ball screw or a nut. The lifting device for a substrate transfer device comprises: an arm base to which an arm for supporting a substrate is coupled; a supporting part coupled to the arm base; a driving part coupled to one side of the supporting part, and generating a driving force for lifting the arm base; a driving transmission part connected to the driving part, and transmitting the driving force; the nut coupled to the other side of the supporting part, and receiving the driving force from the driving transmission part; and the ball screw to which the nut is movably coupled. The supporting part, the driving part, the driving transmission part and the nut are formed as an integrated type module by being integrally coupled to each other.

Description

기판이송장치용 승강장치{Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lifting apparatus for a substrate transfer apparatus,

본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 승강시키기 위한 기판이송장치용 승강장치에 관한 것이다.The present invention relates to an elevating apparatus for a substrate transfer apparatus for elevating and lowering a substrate in the course of manufacturing an electronic part.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다. 이러한 기판이송장치는 기판을 승강시키기 위한 승강장치를 포함한다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as "electronic components") are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric material or the like on a substrate, an etching process for forming a deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. The substrate transfer apparatus is for transferring the substrate between the process chambers. Such a substrate transfer apparatus includes a lift device for moving the substrate up and down.

종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 너트(Nut) 회전방식의 볼스크류(Ball Screw) 타입으로 구현되어, 기판을 승강시킨다. 이러한 너트회전 방식의 볼스크류 타입은 암베이스, 모터, 벨트, 너트 및 승강축에 결합되는 볼스크류로 구성된다.The lift device for the substrate transfer device according to the related art is implemented as a ball screw type of a nut rotation type to lift and lower the substrate. The ball screw type of the nut rotation type is composed of the arm base, the motor, the belt, the nut, and the ball screw which is coupled to the lift shaft.

상기 암베이스에는 기판을 지지하는 암이 결합된다. 상기 모터는 상기 암베이스의 내부에 설치되고 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 벨트는 일측이 상기 모터에 연결되고 타측이 상기 너트에 연결되며, 상기 모터가 발생시키는 구동력을 상기 너트에 전달한다. 상기 너트는 상기 벨트가 전달하는 구동력을 전달받아 회전한다. 상기 볼스크류에는 상기 너트가 상하 이동 가능하게 결합된다. 따라서, 상기 너트는 회전하여 상기 볼스크류 상에서 상하 이동한다. 상기 승강축은 상기 볼스크류의 상단과 하단을 지지한다.The arm supporting the substrate is coupled to the arm base. The motor is installed inside the arm base and generates driving force for moving the arm base up and down. One end of the belt is connected to the motor, the other end is connected to the nut, and the driving force generated by the motor is transmitted to the nut. The nut rotates by receiving a driving force transmitted from the belt. The nut is vertically movably coupled to the ball screw. Accordingly, the nut rotates and moves up and down on the ball screw. The lifting shaft supports the upper and lower ends of the ball screw.

여기서, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시 다음과 같은 문제가 있다.Here, the lift device for the substrate transfer device according to the related art has the following problems when performing maintenance work or replacement work on the ball screw or the nut.

첫째, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류와 너트가 암베이스의 내부에 설치된 모터 등 여러 부품에 체결되어 있기 때문에 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시, 암베이스에 부착된 모든 부품들을 함께 분리 및 결합하여야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 상기 부품들을 분리 및 결합시키는 공수가 많으므로, 유지보수작업 및 교체작업 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.First, since the lift device for the substrate transfer device according to the related art is fastened to various parts such as the motor provided in the inside of the arm base, the ball screw and the nut are connected to the arm base All attached parts shall be separated and joined together. Accordingly, the lift apparatus for the substrate transfer apparatus according to the related art has a problem in that it takes a long time for the maintenance work and the replacement work because the work for separating and connecting the parts is many.

둘째, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시, 암베이스의 내부에 정렬(Align)이 완료된 부품들을 분리하고 부품에 대한 유지보수 및 교체 후 결합시 다시 정렬(Align)을 해야 하므로, 유지보수작업 및 교체작업 시간이 더 오래 걸리는 문제가 있다.Secondly, the lift device for the substrate transfer device according to the related art has a problem that when the maintenance work or the replacement operation for the ball screw or the nut is performed, the parts that have been aligned are removed from the inside of the arm base, There is a problem that maintenance and replacement work takes longer time because of the necessity of alignment when combining.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 볼스크류나 너트에 대한 유지보수작업 및 교체작업 시간을 줄일 수 있는 기판이송장치용 승강장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a lift device for a substrate transfer device capable of reducing maintenance work and replacement work time for a ball screw or a nut.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 암이 결합되는 암베이스; 상기 암베이스에 결합되는 지지부; 상기 지지부의 일측에 결합되고, 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부; 상기 구동부에 연결되고 구동력을 전달하기 위한 구동전달부; 상기 지지부의 타측에 결합되고, 상기 구동전달부로부터 구동력을 전달받는 너트; 및 상기 너트가 이동 가능하게 결합되는 볼스크류를 포함할 수 있다. 상기 지지부, 상기 구동부, 상기 구동전달부 및 상기 너트는 일체로 결합되는 일체형모듈로 형성될 수 있다.The lift apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention comprises: an arm base to which an arm for supporting a substrate is coupled; A support coupled to the arm base; A driving unit coupled to one side of the support unit and generating a driving force for moving the arm base up and down; A driving unit connected to the driving unit and transmitting a driving force; A nut coupled to the other side of the support and receiving a drive force from the drive transmission unit; And a ball screw to which the nut is movably coupled. The support portion, the driving portion, the drive transmission portion, and the nut may be integrally coupled to each other.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 일체형모듈은 상기 암베이스에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the integral module may be detachably coupled to the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 암베이스는 상기 일체형모듈의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 수용공을 포함할 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the arm base may include a receiving hole for inserting a part or the whole of the integrated module.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 암베이스는 상기 수용공과 연통되게 형성되고, 상기 지지부가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함할 수 있다. 상기 삽입홈은 상기 암베이스의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 형성될 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the arm base may be formed to communicate with the receiving hole, and may include an insertion groove into which the supporting section is inserted. The insertion groove may be recessed in a direction toward the inside of the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치는 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키기 위한 결합부를 포함할 수 있다. 상기 결합부는 상기 지지부가 상기 암베이스에 삽입된 상태에서 상기 암베이스의 외측에서 상기 지지부를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시킬 수 있다.The lift device for the substrate transfer device according to the present invention may include a coupling portion for coupling the support portion to the arm base. The coupling portion may be inserted in a direction from the outside of the arm base toward the support portion in a state where the support portion is inserted into the arm base, so that the support portion can be coupled to the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 지지부는 상기 수용공에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 커버기구를 포함할 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the supporting portion may include a cover mechanism for preventing foreign substances such as dust from penetrating into the receiving hole.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 볼스크류, 너트, 모터, 벨트를 일체형으로 모듈화시킴으로써, 볼스크류나 너트에 대한 유지보수작업 및 교체작업 시간을 줄일 수 있으므로 기판 이송에 걸리는 시간이 지연되는 것을 방지할 수 있다.The present invention modularizes a ball screw, a nut, a motor, and a belt integrally so as to reduce maintenance work and replacement work time for a ball screw or a nut, thereby preventing a delay in the transfer of the substrate.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치가 기판이송장치에 설치된 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 지지부 및 구동부를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 너트 및 볼스크류를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 수용공 및 삽입홈을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 결합부를 설명하기 위한 개략적인 평면도1 is a schematic perspective view of a substrate lift device for a substrate transfer apparatus according to the present invention,
2 is a schematic perspective view for explaining a supporting portion and a driving portion in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention;
3 is a schematic perspective view for explaining a nut and a ball screw in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention;
4 is a schematic plan view for explaining a receiving hole and an insertion groove in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention;
5 is a schematic plan view for explaining a coupling portion in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치가 기판이송장치에 설치된 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 지지부 및 구동부를 설명하기 위한 개략적인 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 너트 및 볼스크류를 설명하기 위한 개략적인 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 수용공 및 삽입홈을 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 결합부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.2 is a schematic perspective view for explaining a supporting portion and a driving portion in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a cross- FIG. 4 is a schematic plan view for explaining a receiving hole and an insertion groove in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention; FIG. 4 is a schematic plan view for explaining a receiving hole and an insertion groove in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention; 5 is a schematic plan view for explaining a coupling part in the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 기판을 승강시키기 위한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 기판을 지지하기 위한 암(10)이 결합되는 암베이스와 일체형모듈이 탈착 가능하게 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 일체형모듈에 속하는 부품 및 볼스크류에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 작업 시간을 단축시킬 수 있다.1 to 5, an elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention is for elevating and lowering a substrate. In particular, the elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention is detachably coupled to an integrated module with an arm base to which an arm 10 for supporting a substrate is coupled. Accordingly, the elevating apparatus 1 for a substrate transferring apparatus according to the present invention can easily perform maintenance work and replacement work for parts and ball screws belonging to the integrated module, and shorten the working time .

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 암베이스(2), 지지부(3), 구동부(4), 구동전달부(5), 너트(6) 및 볼스크류(7)를 포함한다.The elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention includes an arm base 2, a supporting portion 3, a driving portion 4, a drive transmitting portion 5, a nut 6 and a ball screw 7 .

여기서, 일체형모듈(AM)은 상기 지지부(3), 상기 구동부(4), 상기 구동전달부(5) 및 너트(6)를 포함한다. 상기 볼스크류(7)는 바닥에 대해 수직으로 배치되는 승강축(20)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 볼스크류(7)에는 너트(6)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 너트(6)가 회전함으로써, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 볼스크류(7)를 따라 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합되어 상기 암베이스(2)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(2)에 결합된 암(10)을 승강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 일체형모듈(AM)에 결합된 암베이스(2)는 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD, 도 1에 도시됨) 또는 하측방향(DD, 도 1에 도시됨)으로 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업이 필요할 경우, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)와 결합이 해제된 상태에서 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동함으로써, 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다.Here, the integrated module AM includes the support portion 3, the driving portion 4, the drive transmission portion 5, and the nut 6. The ball screw 7 is rotatably coupled to an elevation shaft 20 disposed perpendicularly to the floor. A nut (6) is rotatably coupled to the ball screw (7). As the nut 6 rotates, the integrated module AM can move up and down along the ball screw 7. The integrated module AM is coupled to the arm base 2 so that the arm 10 coupled to the arm base 2 can be raised and lowered by moving the arm base 2 up and down. In this case, the arm base 2 coupled to the integral module AM is moved upwardly (UD, shown in FIG. 1) or downward (DD, shown in FIG. 1) along the ball screw 7 It can ascend and descend. The integral module (AM) can be detached from the arm base (2) when maintenance work and replacement work for the integrated module (AM) is required. In this case, the integrated module AM moves in the upward direction UD or the downward direction DD along the ball screw 7 in a state in which the integrated module AM is disengaged from the arm base 2, 2). ≪ / RTI >

이하에서는, 상기 암베이스(2), 상기 지지부(3), 상기 구동부(4), 상기 구동전달부(5), 상기 너트(6) 및 상기 볼스크류(7)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the arm base 2, the supporting portion 3, the driving portion 4, the driving transmission portion 5, the nut 6 and the ball screw 7 will be described with reference to the accompanying drawings. This will be described in detail.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 암베이스(2)에는 기판을 지지하기 위한 암(Arm)(10)이 결합된다. 상기 암베이스(2)가 승강함에 따라 상기 암(10) 및 기판(미도시)은 함께 승강할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 암베이스(2)가 엘엠블록을 포함하고 상기 엘엠블록이 상기 승강축(20)에 형성된 엘엠가이드레일을 따라 이동함으로써, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20) 상에서 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)이 이동함에 따라 상기 승강축(20) 상에서 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 후술할 결합부(8)를 통해 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)에 결합될 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)이 상기 볼스크류(7)를 따라 승강함으로써, 상기 암베이스(2)는 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)에 지지된 기판은 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 직방체형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 암(10) 및 상기 승강축(20)에 결합되고 상기 일체형모듈(AM)이 결합될 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 암베이스(2)는 수용공(21) 및 삽입홈(22)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 5, an arm 10 for supporting a substrate is coupled to the arm base 2. As the arm base 2 moves up and down, the arm 10 and the substrate (not shown) can move up and down together. The arm base 2 can be movably coupled to the lifting shaft 20. For example, when the arm base 2 includes an LMB block and the LMB block moves along the LMB guide rail formed on the lifting shaft 20, the arm base 2 can move on the lifting shaft 20 have. The arm base (2) can move on the lifting shaft (20) as the integrated module (AM) moves. The arm base 2 may be coupled to the support portion 3 via a coupling portion 8 to be described later. Accordingly, the arm base 2 can be coupled to the integrated module AM. As the integrated module AM moves up and down along the ball screw 7, the arm base 2 can move in the upward direction UD or the downward direction DD. Therefore, the substrate supported by the arm 10 coupled to the arm base 2 can move in the upward direction UD or the downward direction DD. The arm base 2 may be formed in a rectangular parallelepiped shape but is not limited thereto and may be formed in a different shape if it is coupled to the arm 10 and the lifting shaft 20 and the integrated module AM can be coupled thereto. It is possible. The arm base 2 may further include a receiving hole 21 and an insertion groove 22.

상기 수용공(21)은 상기 일체형모듈(AM)의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 것이다. 상기 수용공(21)은 상기 암베이스(2)의 내측에 형성될 수 있다. 상기 수용공(21)은 상기 암베이스(2)가 상기 승강축(20)에 결합될 경우 상기 승강축(20)을 향하는 방향에 위치되도록 상기 암베이스(2)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)을 향하는 방향으로 개방된 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 수용공(21)에 삽입되어도 상기 승강축(20)에 설치된 상기 볼스크류(7)에 용이하게 결합될 수 있다. 상기 수용공(21)에는 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)의 일부가 삽입될 수 있다. 상기 수용공(21)에는 상기 일체형모듈(AM)의 구조 또는 상기 승강축(20)의 배치에 따라 상기 일체형모듈(AM)의 전부가 삽입될 수도 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 상기 수용공(21)에 삽입된 상태에서 후술할 결합부(8)에 의해 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 유지보수 작업 및 교체 작업 시 상기 암베이스(2)로부터 결합이 해제된 후에 상기 볼스크류(7)를 따라 승강함으로써, 상기 수용공(21)으로부터 이격되어 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 수용공(21)은 상기 일체형모듈(AM)이 결합되면, 상기 지지부(3)에 의해 밀폐될 수 있다.The receiving hole 21 is for inserting a part or the whole of the integrated module AM. The receiving hole 21 may be formed on the inner side of the arm base 2. The receiving hole 21 may be formed in the arm base 2 so as to be positioned in a direction toward the elevation shaft 20 when the arm base 2 is coupled to the elevation shaft 20. Accordingly, the arm base 2 may be formed to be opened in a direction toward the lifting shaft 20. Accordingly, the integrated module (AM) can be easily coupled to the ball screw (7) installed on the lifting shaft (20) even when inserted into the receiving hole (21). A portion of the driving unit 4 and the driving transmission unit 5 may be inserted into the receiving hole 21. The entirety of the integrated module (AM) may be inserted into the receiving hole (21) according to the structure of the integrated module (AM) or the arrangement of the elevation shaft (20). The integrated module (AM) can be coupled to the arm base (2) by a coupling part (8) which will be described later in a state of being inserted into the receiving hole (21). The integral module AM is moved up and down along the ball screw 7 after the engagement of the integrated module AM is released from the arm base 2 during maintenance and replacement operations, 2). ≪ / RTI > The receiving hole 21 may be sealed by the supporting part 3 when the integral module AM is coupled.

상기 삽입홈(22)은 상기 지지부(3)가 삽입되기 위한 것이다. 상기 삽입홈(22)은 상기 수용공(21)과 연통되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입될 경우, 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)는 상기 암베이스(2)에 간섭되지 않으면서 상기 수용공(21)에 삽입될 수 있다. 상기 삽입홈(22)은 상기 암베이스(2)에 서로 마주보게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)는 일측과 타측이 마주보게 형성되는 삽입홈(22)에 각각 삽입될 수 있다. 상기 삽입홈(22)은 상기 암베이스(2)의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 상기 암베이스(2)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)에 용이하게 삽입될 수 있을 뿐만 아니라, 상기 삽입홈(22)에 삽입된 상태에서 상기 암베이스(2)에 일부가 지지되어 상기 암베이스(2)로부터 쉽게 이탈되지 않을 수 있다.The insertion groove 22 is for the support portion 3 to be inserted. The insertion groove 22 may be formed to communicate with the receiving hole 21. Accordingly, when the support portion 3 is inserted into the insertion groove 22, the drive portion 4 and the drive transmission portion 5 are moved to the receiving hole 21 ). The insertion grooves 22 may be formed on the arm base 2 so as to face each other. Accordingly, the support portion 3 can be inserted into the insertion groove 22 formed so as to face one side and the other side, respectively. The insertion groove 22 may be formed in the arm base 2 so as to be recessed in a direction toward the inside of the arm base 2. The support portion 3 is not only easily inserted into the insertion groove 22 but also partially supported by the arm base 2 in a state of being inserted into the insertion groove 22, (2).

상기 지지부(3)는 상기 암베이스(2)에 결합된다. 상기 지지부(3)는 전체적인 형태가 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)에 삽입됨으로써, 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)으로부터 이격됨으로써, 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 지지부(3)의 일측에는 상기 구동부(4)가 결합될 수 있다. 상기 구동부(4)에는 상기 구동전달부(5)의 일부가 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)의 일측에는 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)의 일측이 위치될 수 있다. 상기 지지부(3)의 타측에는 상기 너트(6)가 결합될 수 있다. 상기 너트(6)에는 상기 구동전달부(5)의 타측이 결합될 수 있다. 또한, 상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 위치하는 볼스크류(7)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)의 타측에는 상기 너트(6), 상기 구동전달부(5)의 타측 및 상기 볼스크류(7)가 위치될 수 있다. 상기 구동부(4) 및 상기 너트(6)는 볼트 결합, 접착 결합, 억지끼워맞춤 결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 지지부(3)를 기준으로 일측에 상기 구동부(4)가 결합되고, 타측에 상기 볼스크류(7)에 결합된 너트(6)가 결합되며, 상기 구동부(4)와 상기 너트(6)를 구동전달부(5)가 연결함으로써 일체로 형성될 수 있다. 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되어 상기 결합부(8)에 의해 상기 암베이스(2)에 결합되면, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)에 의해 상기 볼스크류(7)를 따라 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM) 및 상기 볼스크류(7)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업이 수행되어야 할 경우, 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)으로부터 이격됨으로써, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)에 결합되어 있고, 상기 일체형모듈(AM)만 상기 수용공(21) 및 상기 삽입홈(22)으로부터 이격될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 구동부(4)가 발생시키는 구동력으로 상기 너트(6)가 회전하여 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동됨으로써, 상기 암베이스(2)에 결합되거나 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 지지부(3)는 커버기구(31)를 더 포함할 수 있다.The support portion (3) is coupled to the arm base (2). The support portion 3 may be formed in a rectangular shape as a whole. The support portion 3 can be coupled to the arm base 2 by being inserted into the insertion groove 22. The support portion 3 can be separated from the arm base 2 by being spaced from the insertion groove 22. [ The driving unit 4 may be coupled to one side of the support unit 3. A portion of the drive transmission unit 5 may be coupled to the drive unit 4. Accordingly, one side of the driving unit 4 and the driving transmission unit 5 may be positioned on one side of the supporting unit 3. The nut (6) may be coupled to the other side of the support part (3). The other side of the drive transmission unit 5 may be coupled to the nut 6. The nut 6 may be movably coupled to the ball screw 7 located on the other side of the supporting part 3. [ Accordingly, the nut 6, the other side of the drive transmission unit 5, and the ball screw 7 may be positioned on the other side of the support unit 3. The driving part 4 and the nut 6 may be coupled to the support part 3 by at least one of bolt connection, adhesive bonding, and interference fitting. Accordingly, the integrated module (AM) has the driving part (4) coupled to one side of the support part (3) and the nut (6) coupled to the ball screw (7) (4) and the nut (6) are connected to each other by a drive transmission unit (5). When the support portion 3 is inserted into the insertion groove 22 and is coupled to the arm base 2 by the coupling portion 8, the integrated module AM can be coupled to the arm base 2 have. Accordingly, the arm base (2) can be moved up and down along the ball screw (7) by the integrated module (AM). The support module 3 is separated from the insertion groove 22 so that the integrated module AM can be easily assembled with the integrated module AM and the ball screw 7. [ Can be separated from the arm base (2). In this case, the arm base 2 is coupled to the lifting shaft 20, and only the integrated module AM can be spaced apart from the receiving hole 21 and the insertion groove 22. The support portion 3 is connected to the arm base 2 or the arm portion 4 by the nut 6 being rotated by the driving force generated by the driving portion 4 to move in the upward direction UD or the downward direction DD, And can be separated from the base 2. The support portion 3 may further include a cover mechanism 31.

상기 커버기구(31)는 상기 수용공(21)에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)에 대해 수직한 수직방향으로 상기 지지부(3)의 상측 끝단에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 커버기구(31)와 상기 지지부(3)가 결합된 전체적인 측면 형태는 '┑'일 수 있다. 상기 커버기구(31)는 볼트결합, 접착결합, 용접결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)와 일체로 사출성형되어 벤딩(Bending)되거나 일체로 금형 제작되어 형성될 수도 있다. 상기 커버기구(31)는 상기 수용공(21)의 크기와 같거나 더 크게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되면, 상기 수용공(21)의 상측을 밀폐시킬 수 있다. 상기 커버기구(31)가 상기 수용공(21)의 크기보다 더 클 경우, 상기 커버기구(31)는 상기 암베이스(2)의 상면에 결합됨으로써 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 커버기구(31)가 상기 수용공(21)의 상측을 밀폐시키고 상기 지지부(3) 및 상기 암베이스(2)가 상기 수용공(21)의 측면을 밀폐시킴으로써, 상기 수용공(21)에 이물질이 쉽게 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 이물질로 인해 상기 일체형모듈(AM)이 손상 내지 파손되는 것을 방지함으로써, 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 비용 및 교체 비용을 절감할 수 있다.The cover mechanism (31) is for preventing foreign substances such as dust from penetrating into the receiving hole (21). The cover mechanism 31 may be coupled to the upper end of the support portion 3 in a direction perpendicular to the support portion 3. Accordingly, the entire side surface shape in which the cover mechanism 31 and the support portion 3 are combined may be '┑'. The cover mechanism 31 may be coupled to the support 3 in at least one of the following ways: bolting, adhesive bonding, or welding. The cover mechanism 31 may be injection-molded integrally with the support portion 3 and bent or integrally formed with a mold. The cover mechanism 31 may be formed to be equal to or larger than the size of the receiving hole 21. Accordingly, when the support portion 3 is inserted into the insertion groove 22, the cover mechanism 31 can seal the upper side of the receiving hole 21. When the cover mechanism 31 is larger than the size of the receiving hole 21, the cover mechanism 31 is engaged with the upper surface of the arm base 2, . Accordingly, the elevating device 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention is configured such that the cover mechanism 31 closes the upper side of the receiving hole 21 and the supporting portion 3 and the arm base 2 are closed By sealing the side surface of the hole (21), it is possible to prevent foreign matter from easily penetrating into the receiving hole (21). Therefore, the elevating apparatus 1 for a substrate transferring apparatus according to the present invention can reduce maintenance and replacement costs for the integrated module (AM) by preventing damage or breakage of the integrated module (AM) can do.

상기 구동부(4)는 상기 지지부(3)의 일측에 결합된다. 상기 구동부(4)는 상기 암베이스(2)를 승강시키기 위한 구동력을 발생시킬 수 있다. 예컨대, 상기 구동부(4)는 모터(Motor)일 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 너트(6)를 회전시켜 상기 지지부(3)가 상기 볼스크류(7)를 따라 승강하도록 할 수 있다. 상기 지지부(3)에 상기 암베이스(2)가 결합되면, 상기 구동부(4)는 상기 암베이스(2)를 승강시킬 수 있다. 상기 구동부(4)에서 발생시킨 구동력은 상기 구동전달부(5)를 통해 상기 너트(6)에 전달될 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 너트(6)가 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하도록 구동력을 발생시킬 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되면, 상기 수용공(21)에 삽입될 수 있다.The driving unit 4 is coupled to one side of the supporting unit 3. The driving unit 4 may generate driving force for moving the arm base 2 up and down. For example, the driving unit 4 may be a motor. The driving unit 4 may rotate the nut 6 so that the support unit 3 can move up and down along the ball screw 7. [ When the arm base 2 is coupled to the support portion 3, the driving portion 4 can move the arm base 2 up and down. The driving force generated by the driving unit 4 may be transmitted to the nut 6 through the driving transmission unit 5. The driving unit 4 may generate a driving force such that the nut 6 rotates clockwise or counterclockwise. The driving part 4 can be inserted into the receiving hole 21 when the supporting part 3 is inserted into the insertion groove 22.

상기 구동전달부(5)는 일측이 상기 구동부(4)에 연결될 수 있다. 상기 구동전달부(5)는 타측이 상기 너트(6)에 연결될 수 있다. 상기 구동전달부(5)는 상기 지지부(3)를 관통하여 상기 지지부(3)의 일측에 위치된 구동부(4)와 타측에 위치된 너트(6)를 연결할 수 있다. 이에 따라, 상기 구동전달부(5)는 상기 구동부(4)가 발생시키는 구동력을 상기 너트(6)에 전달할 수 있다. 예컨대, 상기 구동전달부(5)는 풀리(Pully)와 벨트(Belt)일 수 있다. 상기 구동전달부(5)가 구동력을 상기 너트(6)에 전달함에 따라 상기 너트(6)는 회전할 수 있다.One side of the drive transmission unit 5 may be connected to the driving unit 4. The other side of the drive transmission unit 5 may be connected to the nut 6. The drive transmission unit 5 may connect the driving unit 4 positioned at one side of the support unit 3 with the nut 6 positioned at the other side through the support unit 3. Accordingly, the drive transmission unit 5 can transmit the driving force generated by the driving unit 4 to the nut 6. For example, the drive transmission portion 5 may be a pulley and a belt. The nut 6 can be rotated as the drive transmitting portion 5 transmits driving force to the nut 6.

상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 결합된다. 상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 형성된 너트브라켓(Nut Bracket)에 결합됨으로써, 상기 지지부(3)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 너트(6)는 상기 구동전달부(5)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 너트(6)는 상기 구동전달부(5)로부터 구동력을 전달받아 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 너트(6)는 상기 볼스크류(7)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 너트(6)의 내면과 상기 볼스크류(7)의 외면에는 각각 나사산이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 너트(6)는 회전함으로써, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 너트(6)는 시계방향으로 회전하면, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동할 수 있다. 상기 너트(6)는 반시계방향으로 회전하면, 상기 볼스크류(7)를 따라 하측방향(UD)으로 이동할 수 있다. 상기 너트(6)는 시계방향으로 회전하여 상기 볼스크류(7)를 따라 하측방향(DD)으로 이동하고, 반시계방향으로 회전하여 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동할 수도 있다. 상기 너트(6)가 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동함에 따라 상기 지지부(3)도 함께 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 여기서, 상기 지지부(3)에 상기 암베이스(2)가 결합되면, 상기 암베이스(2), 상기 암(10) 및 기판도 함께 이동할 수 있다. 상기 지지부(3)가 상기 암베이스(2)로부터 결합이 해제되면, 상기 일체형모듈(AM)만 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동되어 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)과 같은 부품들을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키지 않고 상기 일체형모듈(AM)만 상기 암베이스(2)로부터 용이하게 분리시킬 수 있으므로, 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)과 같은 부품들을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키지 않아도 되므로, 상기 부품들에 대한 정렬작업을 다시 수행할 필요가 없어 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.The nut (6) is coupled to the other side of the support part (3). The nut 6 may be coupled to the other side of the support 3 by being coupled to a nut bracket formed on the other side of the support 3. The nut (6) may be connected to the drive transmission part (5). Accordingly, the nut 6 can receive the driving force from the driving transmission portion 5 and rotate clockwise or counterclockwise. The nut (6) may be rotatably coupled to the ball screw (7). In this case, threads may be formed on the inner surface of the nut 6 and the outer surface of the ball screw 7, respectively. Therefore, the nut 6 can be moved in the upward direction UD or the downward direction DD along the ball screw 7 by rotating. For example, when the nut 6 rotates in the clockwise direction, it can move along the ball screw 7 in the upward direction UD. When the nut 6 rotates in the counterclockwise direction, the nut 6 can move in the downward direction UD along the ball screw 7. The nut 6 rotates in a clockwise direction and moves in a downward direction DD along the ball screw 7 and in a counterclockwise direction and moves in an upward direction UD along the ball screw 7 have. As the nut 6 moves in the upward direction UD or the downward direction DD along the ball screw 7, the support 3 can also move in the upward direction UD or the downward direction DD have. Here, when the arm base 2 is coupled to the support portion 3, the arm base 2, the arm 10, and the substrate can be moved together. When the support part 3 is disengaged from the arm base 2, only the integrated module AM can be moved in the upward direction UD or the downward direction DD and separated from the arm base 2 . Accordingly, the elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention is capable of moving the integrated module AM without separating parts such as the arm 10 coupled to the arm base 2 from the arm base 2, Can be easily separated from the arm base (2), it is possible to shorten maintenance and replacement work time for the integrated module (AM). The elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention does not have to separate components such as the arm 10 coupled to the arm base 2 from the arm base 2, This eliminates the need to perform the sorting task again, which can further shorten maintenance and replacement work.

상기 볼스크류(7)에는 상기 너트(6)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 볼스크류(7)는 바닥에 대해 수직한 수직방향으로 위치되도록 상기 승강축(20)에 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 일측과 타측이 상기 승강축(20)의 상면과 하면에 각각 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 일측이 상기 승강축(20)의 상면에 결합되고, 타측이 상기 승강축(20)이 결합되는 선회부에 결합될 수도 있다. 상기 너트(6)는 상기 볼스크류(7)에 결합된 상태에서 상기 구동부(4)에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 볼스크류(7)는 회전하지 않도록 상기 승강축(20) 또는 상기 선회부에 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손되었을 경우, 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키기 위해 타측이 상기 승강축(20)의 하면 또는 상기 선회부로부터 결합 해제될 수 있다. 이 경우, 상기 볼스크류(7)는 일측이 크레인과 같은 권상장치에 의해 상측방향(UD)으로 권상되어 상기 일체형모듈(AM)과 함께 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 유지보수 작업 및 교체 작업이 필요할 경우에 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손되더라도 상기 암베이스(2)로부터 상기 일체형모듈(AM)을 분리시킬 수 있으므로, 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행하도록 할 수 있다.The nut (6) is movably coupled to the ball screw (7). The ball screw 7 may be coupled to the lifting shaft 20 so as to be positioned in a vertical direction perpendicular to the floor. One side and the other side of the ball screw 7 can be coupled to the upper surface and the lower surface of the lifting shaft 20, respectively. The ball screw 7 may be coupled to an upper surface of the lifting shaft 20 at one side and coupled to a swivel portion to which the lifting shaft 20 is coupled at the other side. The nut 6 is rotated clockwise or counterclockwise by the driving unit 4 in a state of being coupled to the ball screw 7 so that the nut 6 is moved along the ball screw 7 in the upward direction UD or the downward direction (DD). In this case, the ball screw 7 may be coupled to the lifting shaft 20 or the swivel portion so as not to rotate. When the driving unit 4 is damaged or broken, the ball screw 7 is provided on the lower surface of the lifting shaft 20 or on the upper surface of the swinging part 20 in order to separate the integrated module AM from the arm base 2. [ Lt; / RTI > In this case, the ball screw 7 can be lifted up in the upward direction UD by a hoisting device such as a crane, and can be separated from the arm base 2 together with the integrated module AM. Therefore, the elevating apparatus 1 for the substrate transfer apparatus according to the present invention can be easily installed in the elevator unit 1 from the arm base 2 even if the driving unit 4 is damaged or broken, The maintenance work and the replacement work can be easily performed.

상기 결합부(8)는 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시키기 위한 것이다. 상기 결합부(8)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입된 상태에서 상기 암베이스(2)의 외측에서 상기 지지부(3)를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부(3)에 결합됨으로써, 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수 있다. 이 경우, 상기 결합부(8)는 일부가 상기 암베이스(2)를 관통하여 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)에는 상기 결합부(8)가 결합되기 위한 결합홈이 형성될 수 있다. 상기 암베이스(2)에는 상기 결합부(8)의 일부가 관통하기 위한 관통공이 형성될 수 있다. 상기 결합부(8)가 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킴에 따라 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 결합부(8)가 상기 지지부(3)로부터 이격되면 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리 가능한 상태가 될 수 있다. 예컨대, 상기 결합부(8)는 볼트(Bolt)일 수 있다. 상기 결합부(8)는 상기 암베이스(2)의 외측에 일부가 노출된다. 예컨대, 상기 노출부분은 볼트머리일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)의 외측에서 상기 결합부(8)를 이용하여 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 용이하게 결합시키거나 분리시킬 수 있다. 상기 결합부(8)는 상기 커버기구(31)를 상기 암베이스(2)에 결합시킴으로써, 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수도 있다.The coupling portion 8 is for coupling the support portion 3 to the arm base 2. The engaging portion 8 is inserted into the supporting portion 3 from the outside of the arm base 2 in a direction toward the supporting portion 3 while the supporting portion 3 is inserted into the insertion groove 22, So that the support portion 3 can be coupled to the arm base 2. In this case, a part of the engaging portion 8 may be coupled to the support portion 3 through the arm base 2. [ The supporting portion 3 may be formed with an engaging groove for engaging with the engaging portion 8. A through hole may be formed in the arm base 2 so that a part of the engaging part 8 penetrates the arm base 2. The integrated module AM can be coupled to the arm base 2 by engaging the support portion 3 with the arm base 2. When the engaging portion 8 is separated from the supporting portion 3, the integrated module AM can be detached from the arm base 2. For example, the coupling portion 8 may be a bolt. The engaging portion 8 is partially exposed to the outside of the arm base 2. For example, the exposed portion may be a bolt head. Accordingly, the elevating device 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention can easily lift the support portion 3 to the arm base 2 by using the engaging portion 8 on the outside of the arm base 2 Bonded or separated. The engaging portion 8 may engage the support portion 3 with the arm base 2 by engaging the cover mechanism 31 with the arm base 2. [

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 다음과 같은 과정으로 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시킬 수 있다.The elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention can separate the integrated module AM from the arm base 2 by the following procedure.

먼저, 상기 결합부(8)를 회전시켜 상기 지지부(3)가 상기 암베이스(2)로부터 분리 가능한 상태가 되도록 한다.First, the engaging portion 8 is rotated so that the support portion 3 can be separated from the arm base 2.

다음, 상기 구동부(4)를 작동시켜 상기 너트(6)가 시계방향으로 회전하도록 하여 상기 너트(6)를 상측방향(UD)으로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동하여 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다.Next, the driving unit 4 is operated to rotate the nut 6 in the clockwise direction to move the nut 6 in the upward direction UD. Accordingly, the integrated module (AM) can move in the upward direction UD along the ball screw (7) and be separated from the arm base (2).

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손된 경우 상기 볼스크류(7)의 하단을 상기 승강축(20) 또는 선회부로부터 결합 해제시킨 다음 권상장치를 이용하여 상기 볼스크류(7)의 상단을 권상함으로써, 상기 볼스크류(7) 및 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시킬 수 있다.The elevating device 1 for a substrate transfer device according to the present invention is characterized in that when the driving part 4 is damaged or broken, the lower end of the ball screw 7 is disengaged from the elevating shaft 20 or the turning part, The ball screw 7 and the integral module AM can be separated from the arm base 2 by hoisting the upper end of the ball screw 7 by using a screw.

따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기와 같은 과정을 통해 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 용이하게 분리시킬 수 있으므로, 상기 일체형모듈(AM) 및 상기 볼스크류(7)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행하도록 할 수 있을 뿐만 아니라 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, the elevating device 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention can easily separate the integrated module (AM) from the arm base 2 through the above-described process, The maintenance work and the replacement work for the ball screw 7 can be easily performed, and the maintenance work and replacement work time can be shortened.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

1 : 기판이송장치용 승강장치
2 : 암베이스 21 : 수용공
22 : 삽입홈 3 : 지지부
31 : 커버기구 4 : 구동부
5 : 구동전달부 6 : 너트
7 : 볼스크류 8 : 결합부1: Lift device for substrate transfer device
2: arm base 21: receiving hole
22: insertion groove 3: support
31: cover mechanism 4:
5: drive transmission part 6: nut
7: ball screw 8:

Claims (6)

기판을 지지하기 위한 암이 결합되는 암베이스;
상기 암베이스에 결합되는 지지부;
상기 지지부의 일측에 결합되고, 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부;
상기 구동부에 연결되고 구동력을 전달하기 위한 구동전달부;
상기 지지부의 타측에 결합되고, 상기 구동전달부로부터 구동력을 전달받는 너트; 및
상기 너트가 이동 가능하게 결합되는 볼스크류를 포함하고,
상기 지지부, 상기 구동부, 상기 구동전달부 및 상기 너트는 일체로 결합되는 일체형모듈로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.An arm base to which an arm for supporting the substrate is coupled;
A support coupled to the arm base;
A driving unit coupled to one side of the support unit and generating a driving force for moving the arm base up and down;
A driving unit connected to the driving unit and transmitting a driving force;
A nut coupled to the other side of the support and receiving a drive force from the drive transmission unit; And
And a ball screw to which the nut is movably engaged,
Wherein the supporting portion, the driving portion, the driving transmission portion, and the nut are integrally coupled to each other. 제1항에 있어서,
상기 일체형모듈은 상기 암베이스에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
Wherein the integrated module is detachably coupled to the arm base. 제1항에 있어서,
상기 암베이스는 상기 일체형모듈의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 수용공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
Wherein the arm base includes a receiving hole into which a part or all of the integrated module is inserted. 제3항에 있어서,
상기 암베이스는 상기 수용공과 연통되게 형성되고, 상기 지지부가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함하고,
상기 삽입홈은 상기 암베이스의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.The method of claim 3,
Wherein the arm base is formed so as to communicate with the receiving hole and includes an insertion groove into which the support portion is inserted,
Wherein the insertion groove is recessed in a direction toward the inside of the arm base. 제1항에 있어서,
상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키기 위한 결합부를 포함하고,
상기 결합부는 상기 지지부가 상기 암베이스에 삽입된 상태에서 상기 암베이스의 외측에서 상기 지지부를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.The method according to claim 1,
And a coupling portion for coupling the support portion to the arm base,
Wherein the engaging portion is inserted in a direction from the outside of the arm base toward the support portion in a state where the support portion is inserted into the arm base, thereby coupling the support portion to the arm base. 제3항에 있어서,
상기 지지부는 상기 수용공에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 커버기구를 포함하는 기판이송장치용 승강장치.The method of claim 3,
Wherein the support portion includes a cover mechanism for preventing foreign substances such as dust from penetrating into the receiving hole.
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JPH07276269A (en) * 1994-04-07 1995-10-24 Yamaha Motor Co Ltd Single axis robot and orthogonal type robot using the same
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