KR20180013000A - Horizontal Type Scrubber to remove waste gases by combination of gas-liquid contact device with multi function - Google Patents

Horizontal Type Scrubber to remove waste gases by combination of gas-liquid contact device with multi function Download PDF

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Abstract

The present invention relates to a scrubber for treating waste gas by a multi-layer gas-liquid contact means assembly in which a plurality of unit gas-liquid contact means with different gas-liquid contact functions are combined, to be suitable for treatment in accordance with the concentration of waste gas discharged in a semiconductor manufacturing process. In the present invention, a fluid concentration tube aggregate which induces the concentration and diffusion of a fluid in a gas-liquid contact combination assembly is used in combination to be suitable for treatment of waste gas (G) at a low concentration (less than 50 ppm), and thus an action effect of improving the gas treatment efficiency of the scrubber is exhibited. And since there is an advantage capable of easily mounting and replacing the gas-liquid contact means assembly, it is simple to regenerate and reuse the layer gas-liquid contact means, thereby reducing expenses required for maintenance of the scrubber.

Description

복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버 {Horizontal Type Scrubber to remove waste gases by combination of gas-liquid contact device with multi function}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a horizontal scrubber for treating waste gas using a gas-

본 발명은 폐가스를 처리하는 스크러버에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 반도체 제조공정에서 배출하는 유독성 배기가스의 농도에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단을 이용하여 폐가스를 처리하는 수평식 스크러버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scrubber for treating waste gas, and more particularly, to a horizontal scrubber for treating waste gas using a plurality of gas-liquid contact means so as to be suitable for treatment according to the concentration of toxic exhaust gas discharged from a semiconductor manufacturing process .

일반적으로, 반도체 제조공정의 웨이퍼 상에 박막을 형성 또는 식각 등의 공정으로부터 배출되는 배기가스(폐가스)에는 불화수소, 황산화물, 질소산화물, 황화수소, 아황산가스 등의 산성가스 및 암모니아 등의 알칼리성 가스들을 포함하고 있으므로 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경오염을 유발시키기 때문에 반도체 제조공정에서 배출되는 배기가스는 정화시킨 후에 대기 중에 배출하여야 한다.Generally, an exhaust gas (waste gas) discharged from a process of forming a thin film on a wafer in a semiconductor manufacturing process or etching or the like includes an acidic gas such as hydrogen fluoride, sulfur oxide, nitrogen oxide, hydrogen sulfide, The exhaust gas discharged from the semiconductor manufacturing process must be purified and then discharged to the atmosphere because it is harmful to the human body and causes environmental pollution.

상기 반도체 제조 공정에서 배출되는 불화수소, 황산화물, 질소산화물, 황화수소, 아황산가스 암모나아 등과 같은 유독성 가스성분을 제거하기 위한 방법으로 습식 방법인 배기가스(폐가스)에 세정용액을 분무하여 기액접촉을 이용하는 스크러버 방식이 널리 알려져 있으며, 이와 관련된 선행기술로 예를 들면, 국내 등록특허공보 제10-0816822호에 하우징에 가스유로장치와 기액반응장치 및 제습장치를 설치하여서 된 것에 있어서, 가스유로장치를 굴곡 유로판(21)과 사선 유로판(22)으로 구성시키고, 기액반응장치를 충전재층을 가진 반응기(31)와 분사장치로 형성시키되 분사장치를 기액반응장치의 상부와 입측에 설치하여 구성시켜서 된 것을 특징으로 하는 복합오염물질을 동시에 처리하는 멀티스크러버를 개시하고 있으며, 국내 등록특허공보 제10-1020000호에 일측으로 가스유입구(111)가 형성되고 타측으로 가스배출구(113)가 형성된 중공의 본체(110)와, 상기 본체(110)의 내측으로 가스유입구(111)와 가스배출구(113) 사이에 설치되어 오존공급부(173)에서 공급되는 오존과 가스유입구(111)를 통하여 유입되는 배출 가스가 혼합되는 혼합부(171)와, 본체(110)의 내측에 상기 혼합부(171)의 후방으로 설치되어 배출 가스 중에 포함된 질소 화합물이 제거되는 제거부(179)와, 상기 본체(110) 내로 오존을 공급하는 오존공급부(173)를 포함하며; 상기 혼합부(171)로 유입되는 유입부의 면적보다 혼합부(171)로부터 유출되는 유출부의 면적이 작게 형성되며, 상기 제거부(179)는 구리구조체로 이루어져 혼합부(171)에서 혼합된 질소 화합물이 구리구조체와 접촉하면서 제거되는 것을 특징으로 하는 질소 화합물 제거용 가스 스크러버(100)를 개시하고 있으며, 국내 등록실용신안공보 등록번호20-0440502호에 유해 가스를 습식 혹은 건식으로 처리할 수 있는 멀티 스크러버에 있어서, 유입되는 가스를 이온화시켜 집진하기 위한 이오나이저 시스템을 내부에 포함하고, 양단부가 분리가능한 구조로 된 에프알피 재질의 제1 구성부; 상기 제1 구성부의 후단에 위치하여 상기 제1 구성부와 분리가능하게 결합되고, 상기 이오나이저 시스템을 통과한 가스를 후처리하기 위한 후처리 필터를 내부에 포함하는 에프알피 재질의 제2 구성부; 및 상기 제1 구성부의 전단에 위치하여 상기 제1 구성부와 분리가능하게 결합되고, 상기 유입되는 가스를 전처리하기 위한 전처리 필터를 내부에 포함하는 에프알피 재질의 제3 구성부를 포함하는 멀티 스크러버을 개시하고 있다.In order to remove toxic gas components such as hydrogen fluoride, sulfur oxides, nitrogen oxides, hydrogen sulfide, and sulfurous acid gas ammonia discharged from the semiconductor manufacturing process, a cleaning solution is sprayed on the exhaust gas (waste gas) A gas flow path device, a gas-liquid reaction device, and a dehumidifying device are installed in a housing in a Korean Patent Registration No. 10-0816822, A gas-liquid reaction device is formed by a reactor 31 having a filler layer and an injector, and an injector is installed at an upper portion and an inlet of the gas-liquid reactor, And a multigruber that simultaneously treats a complex pollutant, which is characterized by the fact that the multigruber is treated in the same manner as disclosed in Korean Patent Publication No. 10-10200 00 and a gas outlet 113 is formed on the other side of the main body 110. The main body 110 has a hollow body 110 and a gas inlet 111 and a gas outlet 113 A mixer 171 for mixing the ozone supplied from the ozone supply unit 173 and the exhaust gas flowing through the gas inlet 111 into the mixing chamber 171, (179) for removing nitrogen compounds contained in the exhaust gas, and an ozone supply unit (173) for supplying ozone into the main body (110); An area of the outflow portion flowing out of the mixing portion 171 is formed smaller than an area of the inlet portion flowing into the mixing portion 171. The removal portion 179 is made of a copper structure, Is removed while being in contact with the copper structure, and a gas scrubber (100) for removing nitrogen compounds is disclosed, which is disclosed in Korean Registered Utility Model Registration No. 20-0440502, which is capable of wet or dry treatment of harmful gas A scrubber comprising: a first constituent part of an F-alpha material having an ionizer system for ionizing and collecting an incoming gas therein and having a structure in which both ends are detachable; And a second component of an F-alpha material, which is disposed at a rear end of the first component and detachably coupled to the first component and includes a post-treatment filter for post-treating the gas passing through the ionizer system, ; And a third constituent part of an EFL material, which is located at a front end of the first constituent part and is detachably coupled to the first constituent part and includes therein a pretreatment filter for pretreating the introduced gas, .

또 스크러버에 이용되는 기액접촉장치와 관련하여 국내 등록특허공보 등록번호 제10-1320638호에 소정의 형상으로 이루어진 판상체(10)와; 상기 판상체(10)의 가운데를 접어서 일정한 곡률을 갖는 절곡부(20)로 구성되고, 상기 판상체(10)는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀(polyolefin)이나, 염화비닐리덴, 폴리에스테르, 나일론, 아라미드, 탄소섬유 등의 유기섬유나, 무기섬유, 금속섬유로 구성되며, 상기 판상체(10)에는 내부에 소정의 형상으로 이루어진 격자망(12)이 형성되며, 상기 격자망(12)은 가로 2∼10㎜, 세로 2∼10㎜로 형성되며, 상기 절곡부(20)는 단면형상이 U형 또는 V형으로 형성됨을 특징으로 하는 다공성 필터 및 이를 이용한 기액접촉장치를 개시하고 있다.Also, in relation to the gas-liquid contact device used in the scrubber, a plate-shaped body 10 having a predetermined shape is disclosed in Korean Patent Registration No. 10-1320638; The plate member 10 is formed of a polyolefin such as polyethylene or polypropylene or a polyolefin such as vinylidene chloride, polyester, nylon, or the like. The plate member 10 is formed of a bent portion 20 having a predetermined curvature, A grid 12 made of a predetermined shape is formed in the plate 10, and the grid 12 is made of a metal such as aluminum, A width of 2 to 10 mm and a length of 2 to 10 mm, and the bent portion 20 has a U-shaped or V-shaped cross-sectional shape, and a gas-liquid contact device using the porous filter.

본 발명은 본 발명의 발명자(출원인)가 발명하여 출원 중에 있는 특허출원번호 제10-2015-0172161호(발명의 명칭; 복합기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버)에서 채용하고 있는 복합기능의 기액접촉수단을 보다 개량하여 폐가스의 집속 및 확산을 통하여 세적액의 흡수효율을 향상시킨 복합기능을 갖는 기액접촉수단의 효과를 확인하고 본 발명을 완성하였다.The present invention is employed in a patent application No. 10-2015-0172161 (entitled "Horizontal Waste Gas Treatment Scrubber Combined with Gas / Liquid Contact Means of Multiple Functions") invented by the inventor (applicant) of the present invention Liquid contacting means of the composite function is further improved to enhance the absorption efficiency of the waste liquid through the concentration and diffusion of waste gas, and the present invention has been accomplished.

본 발명은 유독성 폐가스를 제거하는 수평식 가스 스크러버의 제공을 목적으로 하며, 구체적으로는 기액접촉 기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 복수개 조합한 기액접촉수단 조합체에 의해 배기가스를 처리하는 수평식 가스 스크러버의 제공을 목적으로 하는 것이다.The present invention relates to a horizontal gas scrubber for removing toxic waste gas, and more particularly to a horizontal gas scrubber for treating an exhaust gas by a gas-liquid contact means combination comprising a plurality of unit gas-liquid contact means having different gas- And the like.

보다 구체적으로는 본 발명의 발명자(출원인)가 발명하여 출원 중에 있는 특허출원번호 제10-2015-0172161호(발명의 명칭; 복합기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버)에서 채용하고 있는 기액접촉수단 조합체에서 기액접촉 기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 개량하여 배기가스의 처리과정에 배기가스를 집속 및 확산시켜 세정액의 흡수효율을 향상시킨 수평식 가스 스크러버의 제공을 목적으로 하는 것이다.More specifically, the present invention is employed in a patent application No. 10-2015-0172161 (name of the invention: horizontal exhaust gas treatment scrubber combined with gas-liquid contact means with multiple functions) invented by the inventor (applicant) Liquid contact means having a gas-liquid contact function different from that of a gas-liquid contact means combination in which the gas-liquid contact means has a different gas-liquid contact function, thereby improving the absorption efficiency of the cleaning liquid.

일반적으로 반도체 제조공정에서는 NF3, CF4, C2F6, C3F8, F2, OF2, SiO2, SiF4, NH3, HF 등을 함유하는 과불화탄소(PFC: Per-Fluorocompounds) 배기가스, HF, HCl, Cl2 등을 함유하는 산성 배기가스, NH3 등을 함유하는 알칼리성 배기가스 및 SiF4, HF 등을 함유하는 가연 배기가스인 유독성 폐가스가 배출되고 있으며, 상기 과불화탄소(PFC) 배기가스, 산성 배기가스, 알칼리성 배기가스, 가연 배기가스 등의 폐가스는 반도체 제조공정의 조건, 가동시간, 생산제품에 따라 유형을 달리하여 배출되고 있을 뿐 아니라 고농도(50~500ppm) 내지 저농도(50ppm 미만)로 배출되고 있다.Generally, in the semiconductor manufacturing process, perfluorocompounds (PFC) containing NF 3 , CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , F 2 , OF 2 , SiO 2 , SiF 4 , NH 3 , ) Exhaust gas, acidic exhaust gas containing HF, HCl, Cl 2 and the like, alkaline exhaust gas containing NH 3 and the like, and poisonous waste gas which is a flammable exhaust gas containing SiF 4 , HF and the like are discharged, (PFC) exhaust gas, acidic exhaust gas, alkaline exhaust gas, flammable exhaust gas and the like are discharged in different types depending on conditions of semiconductor manufacturing process, operation time, and products to be produced, And is discharged at a low concentration (less than 50 ppm).

본 발명은 폐가스와 세정액의 접촉을 최적화하여 저농도(50ppm 미만)로 배출되는 상기 폐가스(G)의 처리에 특히 적합하도록 스크러버(S) 내부에 기액접촉의 기능이 상이한 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합된 기액접촉수단 중간 조합체(MU)를 사방 연속으로 다수개 집결한 하이브리드 필터체(HBF)와 유체집속관 단위체(CU)를 사방 연속으로 다수개 집결한 유체집속관 집합체(CUF)가 서로 일정간격을 두고 교대로 수직으로 설치된 폐가스 처리 스크러버(S)로 이루어진다.Liquid contacting means (U) having different gas-liquid contact functions inside the scrubber (S) so as to be particularly suitable for the treatment of the waste gas (G) discharged at a low concentration (less than 50 ppm) by optimizing the contact between the waste gas and the cleaning liquid (CUF) in which a plurality of gas-liquid contact means intermediate assemblies (MU) combined two or more are collectively arranged in a row and a plurality of the fluid concentration tube unit (CU) And a waste gas treatment scrubber S disposed vertically alternately at regular intervals.

구체적으로는 본 발명의 목적을 달성하기 위한 해결수단으로서, 복수기능의 기액접촉수단으로 조합한 수평식 폐가스 처리 스크러버(S)는 일측에 폐가스(G)의 유입구(IP)와 타측에 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H)과, 상기 하우징(H) 내측으로 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정 간격을 두고 수직으로 다수개가 장착되어 기액접촉을 유도하는 하이브리드 필터체(HBF)와, 하이브리드 필터체(HBF) 사이에 일정간격을 두고 나란히 설치되어 유체를 집속 및 확산시키는 유체집속관 집합체(CUF)와, 상기 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF) 각각의 전, 후면에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)과, 배출구(0P) 측으로 설치되어 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH) 및 상기 하우징(H) 외부 하측에 설치되어 세정액을 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)를 포함하며; 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 기하학적 구조의 상이성에 의해 기액접촉의 기능이 상이한 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합된 기액접촉수단 중간 조합체(MU)를 사방연속으로 다수개 집결되고, 상기 유체집속관 집합체(CUF)는 유체가 집속 및 확산되도록 테이퍼 형상으로 확장된 사각관(5)이 원형유로관(6)의 양단부에 형성되어 있는 유체집속관 단위체(CU)가 사방연속으로 다수개 집결되는 것으로 이루어진다.Specifically, as a solution for achieving the object of the present invention, a horizontal waste gas treatment scrubber S, which is combined with gas-liquid contact means of a plurality of functions, is provided with an inlet IP of waste gas G and a purge gas outlet A plurality of vertically arranged housings H having an inlet OP and an inlet OP and a plurality of vertically spaced openings between the inlet IP and the outlet OP inside the housing H, A fluid focusing tube bundle (CUF) provided side by side at a predetermined interval between the filter body (HBF) and the hybrid filter body (HBF) to condense and diffuse the fluid, A demister TH installed on the discharge port 0P side to remove fumes, and a cleaning liquid supply pipe T disposed on the front and rear surfaces of the housing CUF for discharging the cleaning liquid, H) Outside It is installed in the storage tank containing the cleaning liquid (L) for supplying and recovering the cleaning liquid, and; The hybrid filter body (HBF) has a plurality of gas-liquid contact means intermediate assemblies (MU) each having a gas-liquid contact unit (U) having two or more gas-liquid contact unit units (U) The fluid-concentration tube bundle (CUF) has a plurality of fluid-concentration tube unit units (CU) formed at both ends of the circular flow pipe (6), each of which has a tapered rectangular tube (5) .

본 발명에 따른 상기 다수개의 기액접촉수단 단위체(U)는 상호 기하학적 구조를 달리하고 있기 때문에 기액접촉의 기능이 상이하게 나타나며, 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U)의 종류로는 (a).프레임(F) 내부에 단면이 대략‘

Figure pat00001
’형상이고, 망상의 격벽(1)이 일정간격으로 다수개 평행하게 설치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U1), (b). 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U2) 및 (c). 프레임(F) 내부에 격벽(3)에 의해 4각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U3)으로 이루어진다.Since the plurality of gas-liquid contact unit units (U) according to the present invention have different geometrical structures, the function of gas-liquid contact is different. The types of the gas-liquid contact unit unit (U) . Inside the frame F,
Figure pat00001
(U1), (b) a gas-liquid contact means unit (U1) having a structure in which a plurality of net-like barrier ribs (1) are arranged at regular intervals in parallel. A plurality of rod-shaped circular rods 2 are arranged in parallel within the frame F so as to be spaced apart from each other with a space therebetween, and a gas-liquid contact Means unit (U2) and (c). Liquid contact means unit U3 having a structure in which a quadrangular hole 4 is formed continuously in the frame F by a partition wall 3 and four adjoining quadrangular hole 4 are communicated at the center .

그리고 상기 유체집속관 단위체(CU)는 ①측면이 대략 ‘

Figure pat00002
’형상으로 테이퍼 형상으로 확장된 사각관(5)이 원형유로관(6)의 양단부에 형성되어 있는 유체집속관 단위체(CU1), ② 상기 유체집속관 단위체(CU1)의 원형유로관(6)의 출구측 단부에서 중부부로 원추형의 망상시트(7)가 삽입된 유체집속관 단위체(CU2)가 선택된다.The fluid focusing unit unit (CU) 1 has a side surface of approximately '
Figure pat00002
(2) a fluid-collecting tube unit (CU1) in which a square pipe (5) extended in a tapered shape is formed at both ends of a circular flow pipe (6), (2) a circular flow pipe (6) The fluid-concentration tube unit CU2 into which the conical network sheet 7 is inserted from the outlet-side end to the center portion of the fluid-collecting tube unit CU2 is selected.

상기 기액접촉수단 단위체(U1)는 유입하는 폐가스를 미세하게 분산시키는 것에 의해 폐가스의 유속을 지체시켜 폐가스에 함유된 오염입자물질이 세정액에 흡수되는 효율을 향상시키는 기능을 가지며, 상기 기액접촉수단 단위체(U2)는 기체의 유속에 따라 재비산과 조대화가 반복되어 기체의 흡수를 촉진시키는 기능을 가지며, 기액접촉수단 단위체(U3)는 세정액의 균등한 분배기능을 지니고 있다.The gas-liquid contact unit unit (U1) has a function of delaying the flow rate of the waste gas by finely dispersing the incoming waste gas to improve the efficiency of the contaminated particulate matter contained in the waste gas absorbed in the cleaning liquid, (U2) has a function of repeating the re-scattering and coarsening according to the flow rate of the gas to promote the absorption of gas, and the gas-liquid contact unit (U3) has a function of distributing the cleaning liquid evenly.

또 상기 유체집속관 단위체(CU1)는 유입되는 폐가스를 집속시키면서 폐가스의 오염물질의 밀도를 증가시켜 세정액에 오염물질의 흡수효율을 향상시키는 기능을 가지며, 유체집속관 단위체(CU2)는 원형유로관(6) 내부에 삽입된 원추형의 망상시트(7)에 의해 집속된 폐가스 내의 오염물질을 여과하는 기능을 추가로 지니고 있다.In addition, the fluid concentration tube unit CU1 has a function of improving the absorption efficiency of contaminants in the cleaning liquid by increasing the density of contaminants in the waste gas while converging the waste gas to be introduced. The fluid focusing unit unit (CU2) Further has the function of filtering pollutants in the waste gas collected by the conical network sheet 7 inserted into the filter 6.

본 발명에 따른 상기 기액접촉수단 단위체(U)가 2이상 조합되는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 상기 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합되는 것으로 이루어진다. (U1) / gas-liquid contact means (U2) / gas-liquid contact means (U2) / gas-liquid contact means (U2) / Gas / liquid contact means unit U1 / gas / liquid contact means unit U3.

본 발명에 따른 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 사방 연속으로 다수개 집결되어 하나의의 하이브리드 필터체(HBF)를 구성하며, 유체집속관 집합체(CUF)는 상기 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)가 각각 단독 또는 서로 혼재하면서 사방 연속으로 다수개 집결되어 이루어진다.The hybrid filter body (HBF) according to the present invention has a structure in which a plurality of gas-liquid contact intermediate assemblies (MU) are gathered in a row in a row to constitute one hybrid filter body (HBF) The fluid focusing unit unit (CU1) and the fluid focusing unit unit (CU2) are separately or collectively arranged in a four-way continuous manner.

그리고 하이브리드 필터체(HBF)와 유체집속관 집합체(CUF)는 스크러버 내부에 서로 순차적으로 교대로 나란히 설치되며, 하이브리드 필터체(HBF)와 유체집속관 집합체(CF)는 스크러버 내부에 수직으로 장착되며, 본 발명에 따른 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF)는 폐가스(G)의 처리를 위한 설계용량 내지 스크러브(S)의 크기에 따라 다수개가 장착되며, 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 각각 1 ~ 3개가 일정 간격을 두고 수직으로 나란히 장착될 수 있다.The hybrid filter body HBF and the fluid concentrating tube aggregate CUF are sequentially and alternately arranged in the inside of the scrubber and the hybrid filter body HBF and the fluid focusing tube aggregate CF are vertically mounted inside the scrubber A plurality of hybrid filter bodies HBF and a fluid focusing tube assembly CUF according to the present invention are installed in accordance with the design capacity for the treatment of waste gas G or the size of scrub S, And the outlet OP may be vertically arranged side by side at regular intervals.

또 상기 하이브리드 필터체(HBF)를 구성하는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 사방연속으로 집결되는 갯수는 본 발명에 따른 스크러브(S)의 폐가스(G)의 처리를 위한 설계용량 내지 스크러버(S)의 크기에 따라 다를 수 있으며, 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 하이브리드 필터체(HBF)의 가로x세로를 기준으로 12x12 ~ 24x25개로 집결되며, 유체집속관 집합체(CUF) 역시 하이브리드 필터체(HBF)와 동일한 규격이 되게 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)를 집결하는 것이 바람직하다.The number of the gas-liquid contact means intermediate assemblies MU constituting the hybrid filter body HBF is continuously collected in all four directions in accordance with the design capacity for the treatment of the waste gas G of the scrub S according to the present invention, S), and the gas-liquid interface intermediate assembly (MU) is collected in the range of 12 x 12 to 24 x 25 relative to the width x length of the hybrid filter body (HBF), and the fluid focusing tube assembly (CUF) It is preferable that the fluid concentration tube unit CU1 and the fluid focusing tube unit CU2 are collected so as to have the same size as the HBF.

상기한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단으로 조합한 폐가스 처리 스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 저농도(50ppm 미만)의 폐가스(G)의 처리효율을 향상시키기 위하여 폐가스의 집속 및 확산 기능을 갖는 유체집속관 집합체와 기액접촉수단 조합체를 병용함으로써 스크러버의 가스처리 효율을 향상시키는 작용효과를 나타낸다.The waste gas treatment scrubber combined with the gas-liquid contact means of a plurality of functions according to the present invention has a function of collecting and dispersing waste gas having a function of concentration and spreading of waste gas in order to improve the treatment efficiency of the waste gas G having a low concentration (less than 50 ppm) The combination of the fluid concentration tube aggregate and the gas-liquid contact means combination exhibits an effect of improving the gas treatment efficiency of the scrubber.

또한 본 발명은 기액접촉수단 조합체 및 유체집속관 집합체를 간편하게 장착 및 교체할 수 있는 장점이 있을 뿐 아니라 기액접촉수단 조합체 및 유체집속관 집합체를 세척 등으로 재생하여 재사용할 때 장착 및 교체가 간단하여 스크러버의 유지 및 관리에 따른 소요경비도 감소되는 장점이 있다.In addition, the present invention is advantageous in that it can easily mount and replace the gas-liquid contact member assembly and the fluid-focusing tube assembly, and is easy to mount and replace when the gas-liquid contact member assembly and the fluid- The cost required for maintenance and management of the scrubber is also reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 스크러버를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF)를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 (U3)를 대략적으로 나타낸 사시도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 유체집속관 단위체(CU1) 및 (CU2)를 대략적으로 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 기액접촉수단 중간 조합체(MU)의 조합상태를 개략적으로 나타낸 전개도.1 schematically shows a scrubber of an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view schematically showing a hybrid filter body (HBF) and a fluid focusing tube assembly (CUF) according to the present invention.
Fig. 3 and Fig. 4 are perspective views schematically showing the gas-liquid contact unit units (U1) to (U3) of the present invention.
Figs. 5 and 6 are perspective views schematically showing the fluid focusing unit units CU1 and CU2 of the present invention. Fig.
7 is an exploded view schematically showing a combination state of the gas-liquid contact means intermediate assemblies (MU) of the present invention.

이하에서는 본 발명을 첨부한 도면에 의해 구체적으로 설명하기로 하겠으나, 본 발명은 하기의 설명에 의하여 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited by the following description.

도 1 은 본 발명에 따른 일 실시예로 폐가스(G)를 처리하기 위한 스크러버를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2 는 본 발명에 따른 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF)를 개략적으로 나타낸 사시도로써 도 1 내지 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 스크러버를 설명한다.FIG. 1 is a schematic view of a scrubber for treating waste gas G according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a hybrid filter body HBF and a fluid focusing tube assembly (CUF) The scrubber according to the present invention will be described with reference to Figs. 1 and 2. Fig.

본 발명의 스크러버(S)는 폐가스(G)의 유입구(IP)와 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H) 내측으로 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정 간격을 두고 기액접촉을 유도하는 하이브리드 필터체(HBF)가 수직으로 다수개가 장착되면서 하이브리드 필터체(HBF) 사이에 유체집속관 집합체(CUF)가 평행하게 장착되어 있고, 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF) 각각의 전, 후면에 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)이 설치되어 있으며, 유출구(0P) 측으로 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH)가 설치되고, 상기 하우징(H) 외부 하측으로 세정액를 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)가 설치되어 있으며, 세정액 저장조(L)에는 일측에 세정액 공급관(L1) 및 타측에 세정액 배출관(L2)이 설치되며, 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 기액접촉수단 중간 조합체(MU))가 사방 연속적으로 다수개 집결되어 있고, 유체집속관 집합체(CUF)는 유체집속관(CU)이 사방 연속적으로 다수개 집결되어 있다.The scrubber S of the present invention has a constant gap between the inlet port IP and the outlet port OP inside the horizontally arranged housing H having the inlet IP of the waste gas G and the purge gas outlet OP A plurality of hybrid filter bodies HBF for inducing gas-liquid contact are mounted vertically and a fluid focusing tube assembly CUF is mounted in parallel between the hybrid filter bodies HBF, and the hybrid filter body HBF and the fluid focusing body A demister (TH) is installed on the front and rear surfaces of the tubular aggregate (CUF) to remove fumes from the outlet port (0P) side, and a cleaning liquid supply pipe (T) and a cleaning liquid injection nozzle A cleaning liquid reservoir L for supplying and recovering the cleaning liquid to the outside lower side is provided in the cleaning liquid reservoir L. A cleaning liquid supply pipe L1 is provided on one side and a cleaning liquid discharge pipe L2 is provided on the other side of the cleaning liquid storage tank L, As described above, A plurality of fluid-collecting tube assemblies (CUF) are collectively arranged in a row and a plurality of fluid-collecting tubes (CU).

그리고 도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 기액접촉수단 단위체(U3)를 나타낸 도면이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)를 대략적으로 나타낸 사시도로써 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 기액접촉수단 단위체(U3)와 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)구체적으로 설명한다.3 and 4 are views showing the gas-liquid contact unit unit U1 to the gas-liquid contact unit unit U3 according to the present invention, and FIGS. 5 and 6 are views showing the fluid concentration unit unit CU1 and the fluid- Liquid contact member unit U3, the fluid-concentration contact unit unit CU1, and the fluid-concentration contact unit U3 according to the present invention are described with reference to Figs. 3 to 6 with the perspective view of the tube unit unit CU2, The unit body (CU2) will be described in detail.

도 3에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 단위체(U1)는 프레임(F) 내부에 단면이 대략‘

Figure pat00003
’형상인 망상의 격벽(1)이 일정간격으로 다수개 평행하게 배치된 구조로 이루어져 있으며, 망상의 격벽(1)은 가로지지대(a) 및 세로지지대(b)가 일정간격으로 배치되어 사각틀 형상으로 결합되고, 세로 지지대(b)에 돌출부(c) 및 돌출부(c) 길이보다 1/2 크기의 돌출부(d)가 일정간격으로 돌설된 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 마주보면서 결합되는 구조이고, 격벽부분품(2a, 2b)은 서로 분리 가능하게 결합되어 있다.As shown in Fig. 3, the gas-liquid contact unit unit U1 has a cross section of approximately '
Figure pat00003
Shaped barrier ribs 1 are arranged at a predetermined interval in parallel and a plurality of barrier ribs 1 are arranged at regular intervals such that the horizontal support members a and the vertical support members b are arranged at regular intervals, And the partition member parts 2a and 2b having the protrusions c and protrusions d protruding at 1/2 of the length of the protrusions c at regular intervals are coupled to the vertical support b while facing each other , And the partitions 2a, 2b are detachably coupled to each other.

상기 기액접촉수단 단위체(U1)는 유입하는 폐가스(G)를 미세하게 분산시키는 것에 의해 폐가스의 유속을 지체시켜 폐가스에 함유된 오염입자물질이 세정액에 흡수되는 효율을 향상시키는 기능을 나타낸다.The gas-liquid contact unit unit (U1) functions to delay the flow rate of the waste gas by finely dispersing the incoming waste gas (G), thereby improving the efficiency with which the contaminated particulate matter contained in the waste gas is absorbed into the cleaning liquid.

도 4에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 단위체(U2)는 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 일정간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층과 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조로 이루어져 있고, 기체의 유속에 따라 재비산과 조대화가 반박되어 기체의 흡수를 촉진시키는 기능을 가지고 있으며, 기액접촉수단 단위체(U3)는 프레임(F) 내에 격벽(3)으로 이루어진 사각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조이며, 세정액의 균등한 분배기능을 갖기 때문에 세정액과 폐가스가 균일하게 접촉하는 효과를 나타낸다.As shown in Fig. 4, the gas-liquid contact unit unit U2 is provided with a plurality of rod-shaped circular rods 2 arranged in parallel within the frame F at regular intervals, Liquid contact means unit U3 has a function of promoting the absorption of gas by repelling and refluxing according to the flow rate of the gas, Since the rectangular through holes 4 made of the partition walls 3 are formed continuously in four directions in the partition wall F and the adjacent four rectangular through holes 4 are distributed from the center and have an equal distribution function of the cleaning liquid, The effect of uniform contact of the waste gas is shown.

또 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 본 발명에 따른 유체집속관 단위체(CU1)은 측면이 대략 ‘

Figure pat00004
’형상으로 테이퍼 형상으로 확장된 사각관(5)이 원형유로관(6)의 양단에 형성된 구조로 이루어져 있으며, 유체집속관으로 유입된 기체(폐가스)를 집속시키면서 오염물질의 밀도를 증가시켜 세정액에 오염물질의 흡수를 촉진시키는 기능을 가지고 있으며, 유체집속관 단위체(CU2)은 상기 유체집속관 단위체(CU1)와 동일한 구조에서 원형유로관(6) 내부의 출구측에서 중심부를 향하여 원추형의 망상시트(7)가 삽입되어 있는 구조로써, 유체집속관에 의해 폐가스가 집속되는 과정에서 응집되는 오염물질을 여과하는 기능을 추가로 지니고 있다.As shown in Figs. 5 and 6, the fluid focusing unit unit CU1 according to the present invention has a side surface of approximately < RTI ID = 0.0 >
Figure pat00004
Shaped pipe 5 extending in a tapered shape is formed at both ends of the circular flow pipe 6 to increase the density of the pollutant while converging the gas (waste gas) And the fluid concentration tube unit CU2 has the same structure as that of the fluid focusing tube unit CU1 and has a function to accelerate the absorption of contaminants in the circular flow path tube 6, The sheet 7 has a structure in which it is additionally provided with a function of filtering contaminants which are agglomerated in the process of collecting the waste gas by the fluid concentration tube.

도 7은 본 발명의 기액접촉수단 중간 조합체(MU)의 조합상태를 개략적으로 나타낸 전개도로써 도면에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합된 구조로 이루어져 있다.7 is a developed view schematically showing a combined state of the gas-liquid contact means intermediate unit (MU) of the present invention. As shown in the figure, the gas-liquid contact means intermediate unit (MU) U1) / gas-liquid contact unit (U2) / gas-liquid contact unit (U1) / gas-liquid contact unit (U3).

그리고 상기한 바와 같이 본 발명에 따른하이브리드 필터체(HBF)와 유체집속관 집합체(CUF)는 스크러버브 내에 서로 교대로 나란히 수직으로 장착되며, 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 사방 연속으로 다수개 집결되어 하나의 하이브리드 필터체(HBF)를 구성한다As described above, the hybrid filter body (HBF) and the fluid concentration tube assembly (CUF) according to the present invention are vertically mounted alternately side by side in the scrubber, and the hybrid filter body (HBF) (MU) are gathered in a row in a row to constitute one hybrid filter body (HBF)

또, 유체집속관 집합체(CUF)은 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2) 각각이 사방 연속적으로 다수개 집결된 구조이거나 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)가 서로 혼재하면서 사방 연속적으로 다수개 집결된 구조로 이루어진다.The fluid focusing tube assembly (CUF) may have a structure in which a plurality of the fluid focusing unit (CU1) and the fluid focusing unit (CU2) are consecutively arranged in four consecutive rows or a structure in which the fluid focusing tube unit (CU1) ) Are gathered in a row and are gathered in a row.

<실시예><Examples>

상기 도면을 참조하여, 상기한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단으로 이루어진 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF)가 교대호 장착된 스크러버버에 의해 반도체 제조공정에서 배출되는 저농도(50ppm 미만)의 폐가스(G)를 처리하는 과정을 설명하면,With reference to the above drawings, the hybrid filter body (HBF) and the fluid focusing tube assembly (CUF) composed of the gas-liquid contact means of the plurality of functions according to the present invention described above, (Less than 50 ppm) of waste gas G,

폐가스(G)가 유입관(2)을 통하여 하우징(H) 내부로 유입되면, 폐가스(G)는 펌프(P)에 의해 세정액 저장조(L)로부터 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)을 통하여 공급 및 분사되는 세정액과 1차적으로 접촉하고, 이후 하이브리드 필터체(HBF)를 통과하는 과정에 기액접촉수단 단위체(U3)에 의해 세정액이 균등하게 분산되면서 폐가스와 접촉하고, 기액접촉수단 단위체(U1)에 의해 거품발생을 유도하여 거품에 의해 폐가스에 함유된 오염입자물질 및 기액 접촉시 발생하는 입자물질, 미스트 등을 여과 및 흡수되고, 기액접촉수단 단위체(U3)에 의해 세정액이 균등하게 분산되면서 폐가스와 기액접촉반응이 이루어지고, 이어서 오염물질이 일정하게 제거된 폐가스가 유체집속관 집합체(CUF)으로 유입되면서 폐가스가 집속되어 오염물질의 밀도가 높아지는 작용에 의해 미세한 입자의 응집 등이 발생하여 세정액과의 접촉을 유리하게 하면서 확산되고, 이후 상기한 바와 같은 하이브리드 필터체(HBF)에 의한 반복적인 기액접촉 작용에 의해 세정액에 폐가스 성분이 흡수 제거되어 정화된 가스는 더미스터(Demister; TH)에서 연무가 제거된 후 하우징(H) 외부로 유출되는 것으로 이루어진다.When the waste gas G flows into the housing H through the inflow pipe 2, the waste gas G is supplied from the cleaning liquid reservoir L to the cleaning liquid supply pipe T and the cleaning liquid injection nozzle N by the pump P, Liquid contact member unit U3 to uniformly disperse the cleaning liquid in the process of passing through the hybrid filter body HBF and contact the waste gas, (U1), the particulate matter contained in the waste gas and the particulate matter, mist, and the like generated during the gas-liquid contact are filtered and absorbed by the bubbles, and the cleaning liquid is uniformly The gas is contacted with the waste gas while being dispersed, and then the waste gas from which contaminants are uniformly removed is introduced into the fluid concentration tube aggregate (CUF), and the waste gas is concentrated to increase the density of contaminants And then the waste gas component is absorbed and removed from the cleaning liquid by the repetitive vapor-liquid contact action of the hybrid filter body (HBF) as described above to be purified The gas consists of a demister (TH) which removes the mist and then flows out of the housing (H).

그 외 폐가스 성분을 흡수한 세정액은 스크러버 하부에 설치된 세정액 저장조(L)로 유입되면서 순환하는 것으로 이루어지며, 세정액은 적절하게 공급되어진다.The cleaning liquid which absorbs other waste gas components is circulated while being introduced into the cleaning liquid reservoir (L) provided in the lower part of the scrubber, and the cleaning liquid is appropriately supplied.

상기한 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 (U3)는 일체로 조립되기 위하여 동일한 규격으로 제작되는 것이 바람직하고, 유체집속관 단위체(CU1) 및 (CU2) 역시 일체로 조립되기 위하여 동일한 규격으로 제작되는 것이 바람직하며, 기액접촉수단 단위체(U1) 내지 (U3), 유체집속관 단위체(CU1) 및 (CU2)의 재질은 합성수지 재질이 바람직하다.It is preferable that the gas-liquid contact unit units (U1) to (U3) are manufactured to have the same size so as to be integrally assembled, and the fluid focusing unit units (CU1) and (CU2) And the material of the gas-liquid contact unit units (U1) to (U3) and the fluid focusing unit units (CU1) and (CU2) is preferably a synthetic resin material.

또 상기 기액접촉수단 단위체 및 유체집속관 단위체 각각의 가로, 세로 높이에 따른 규격은 스크러버(S)에서 폐가스가 처리되는 용량에 따라 정하여지므로 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야의 숙련가이면 폐가스 처리용량에 따라 어려움 없이 제작할 수가 있다고 하겠다.In addition, the specifications of the gas-liquid contact unit unit and the fluid concentration tube unit in accordance with the horizontal and vertical heights are not limited as they are determined according to the capacity of the scrubber S to be treated with the waste gas, and if they are skilled in the art, It can be produced without difficulty depending on the processing capacity.

상기에서 설명한 본 발명에 따른 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리 스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 유독성 폐가스(G)의 농도에 따라 특히, 저농도(50ppm 미만)의 폐가스 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단 조합체에 폐가스의 집속과 확산 기능을 갖는 유체집속관 집합체를 병용함으로써 스크러버의 폐가스처리 효율을 향상시키는 작용효과를 나타내며, 본 발명의 스크러버는 기액접촉수단 단위체 및 유체집속관 단위체가 조합되는 구조에 의해 간편하게 장착 및 교체할 수 있는 장점이 있으므로 재생하여 재사용하는 것이 간편하여 스크러버의 유지 및 관리에 따른 소요경비도 감소되는 장점이 있다.The scrubber for waste gas treatment using the gas-liquid contact means of plural functions according to the present invention described above can be used for the treatment of waste gas of low concentration (less than 50ppm), especially in accordance with the concentration of toxic waste gas (G) Liquid contact member unit and a fluid focusing tube assembly having a function of collecting and dispersing waste gas are used in combination to improve the waste gas treatment efficiency of the scrubber. The scrubber of the present invention is a combination of the gas-liquid contact unit unit and the fluid concentration tube unit It is easy to recycle and reuse because of its merit that it can be easily mounted and replaced by the structure. Therefore, there is an advantage that cost required for maintenance and management of the scrubber is also reduced.

S : 스크러버 H : 하우징
IP : 폐가스유입구 OP : 정화가스 배출구
T : 세정액 공급관 N : 세정액 분사노즐
U1, U2, U3 : 기액접촉수단 단위체 MU : 기액접촉수단 중간 중간 조합체
CU1, CU2 : 유체집속관 단위체 HBF : 하이브리드 필터체
CUF : 유체집속관 집합체 TH : 더미스터
L : 세정액 저장조 L1,L2 : 세정액 공급관 및 배출관
P1 :세정액 유입펌프S: Scrubber H: Housing
IP: Waste gas inlet OP: Purge gas outlet
T: cleaning liquid supply pipe N: cleaning liquid spray nozzle
U1, U2, U3: gas-liquid contact unit MU: gas-liquid contact medium intermediate assembly
CU1, CU2: Fluid focusing tube unit HBF: Hybrid filter body
CUF: Fluid flux tube assembly TH:
L: cleaning liquid storage tank L1, L2: cleaning liquid supply pipe and discharge pipe
P1: rinse liquid inflow pump

Claims (6)

일측에 폐가스(G)의 유입구(IP)와 타측에 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징(H)과, 상기 하우징(H) 내측으로 상기 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정간격을 두고 수직으로 나란히 장착되어 기액접촉을 유도하는 다수개의 하이브리드 필터체(HBF)와, 하이브리드 필터체(HBF) 사이에 설치되어 유체의 집속 및 확산을 유도하는 유체집속관 집합체(CUF)와, 상기 하이브리드 필터체(HBF) 및 유체집속관 집합체(CUF) 각각의 전, 후면에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액 공급관(T) 및 세정액 분사노즐(N)과, 상기 하우징(H) 외부 하측에 설치되어 세정액을 공급 및 회수하는 세정액 저장조(L)를 포함하는 스크러버(S)에 있어서,
a)상기 하이브리드 필터체(HBF)는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 사방연속으로 다수개 집결되어 이루어지며,
b)유체집속관 집합체(CUF)는 유체집속관 단위체(CU)가 사방연속으로 다수개 집결되어 이루어지며,
c)상기 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 프레임(F) 내부에 단면이‘
Figure pat00005
’형상인 망상의 격벽(1)이 일정간격으로 다수개 평행하게 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U1)와, 프레임(F) 내부에 막대형상의 원형봉(2)이 간격을 두고 다수개 평행되게 배치되면서 다수의 층으로 설치되고, 층간에는 간격과 원형봉(2)이 교대로 배치된 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U2) 및 프레임(F) 내부에 격벽(3)에 의해 4각형 통공(4)이 사방연속으로 형성되고, 인접하는 4개의 사각형 통공(4)이 중앙에서 유통되는 구조를 갖는 기액접촉수단 단위체(U3)로부터 2이상의 기액접촉수단 단위체가 선택되어 조합되는 것으로 이루어지고,
d) 상기 유체집속관 단위체(CU)는 측면이 ‘
Figure pat00006
’형상으로 테이퍼 형상으로 확장된 사각관(5)이 원형유로관(6)의 양단부에 형성된 구조를 갖는 유체집속관 단위체(CU1) 및 상기 유체집속관 단위체(CU1)의 원형유로관(6) 내부의 출구측 단부에서 중심부를 향하여 원추형의 망상시트(7)가 삽입된 구조를 갖는 유체집속관 단위체(CU2)로부터 선택되는 유체집속관 단위체가 다수개 조합되는 것으로 이루어진 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.A horizontally disposed housing H having an inlet IP of the waste gas G and a purge gas outlet OP on the other side of the housing H and an inlet port OP between the inlet IP and the outlet OP, A plurality of hybrid filter elements (HBF) mounted in parallel to each other at a predetermined interval to induce gas-liquid contact, a fluid focusing tube assembly (CUF) provided between the hybrid filter body (HBF) A cleaning liquid supply pipe T and a cleaning liquid injection nozzle N provided on the front and rear surfaces of the hybrid filter body HBF and the fluid focusing tube assembly CUF respectively for spraying the cleaning liquid, And a cleaning liquid reservoir (L) for supplying and recovering the cleaning liquid,
a) The hybrid filter body (HBF) comprises a plurality of gas-liquid contact means intermediate assemblies (MU)
b) Fluid focusing tube assembly (CUF) consists of a plurality of fluid focusing tube unit (CU)
(c) The gas-liquid contact means intermediate assembly (MU) has a cross-
Figure pat00005
Liquid contact means unit U1 having a structure in which a plurality of net-like barrier ribs 1 are arranged at a predetermined interval in parallel and a rod-shaped bar 2 inside the frame F Liquid contacting means unit U2 having a structure in which a plurality of layers are arranged in parallel and a space and a circular rod 2 are alternately arranged between the layers and a partition wall 3 is provided in the frame F inside the frame F Two or more gas-liquid contact means unit bodies are selected and combined from the gas-liquid contact means unit U3 having a structure in which the rectangular through holes 4 are formed in four successive rows and adjacent four rectangular through holes 4 are distributed at the center under,
d) The fluid focusing unit unit (CU)
Figure pat00006
And the circular flow path tube 6 of the fluid concentration tube unit CU1 has a structure in which a rectangular tube 5 extending in a tapered shape is formed at both ends of the circular flow path tube 6, And a plurality of fluid-concentration-tube unit units selected from a fluid-collecting-tube unit (CU2) having a structure in which a conical network sheet (7) is inserted from an outlet end of the inside toward a center thereof. Horizontal scrubber for waste gas treatment using gas - liquid contact means. 청구항 1에 있어서, 유출구(0P) 측으로 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH)가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.The horizontal scrubber for waste gas treatment according to claim 1, further comprising a demister (TH) for removing fumes from the outlet (0P) side. 청구항 2에 있어서, 하이브리드 필터체(HBF)는 기액접촉수단 중간 조합체(MU)가 하이브리드 필터체(HBF)의 가로x세로 기준으로 12x12 ~ 24x25개로 집결되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.The hybrid filter body (HBF) according to claim 2, wherein the hybrid filter body (HBF) is configured such that the gas-liquid contact intermediate assembly (MU) is collected in a size of 12x12 to 24x25 on the transverse x vertical basis of the hybrid filter body Horizontal scrubber for waste gas treatment. 청구항 3에 있어서, 기액접촉수단 중간 조합체(MU)는 기액접촉수단 단위체(U3)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U2)/기액접촉수단 단위체(U1)/기액접촉수단 단위체(U3)가 순차 결합되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.Liquid contact means (U1) / gas-liquid contact means (U1) / gas-liquid contact means (U2) / gas-liquid contact means (U3) are successively joined to each other. The horizontal scrubber for waste gas treatment using the gas-liquid contact means of plural functions. 청구항 3 또는 청구항4에 있어서, 유체집속관 집합체(CUF)은 유체집속관 단위체(CU1) 및 유체집속관 단위체(CU2)가 각각 조합되거나 또는 서로 혼재하여 조합되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.The fluid-focusing tube assembly (CUF) according to claim 3 or 4, wherein the fluid focusing tube unit (CU1) and the fluid focusing unit (CU2) are combined or combined together. Horizontal Scrubber for Waste Gas Treatment by Means. 청구항 5에 있어서 단면이 ‘
Figure pat00007
’형상인 망상의 격벽(1)은 가로지지대(a) 및 세로지지대(b)가 일정간격으로 배치되어 사각틀 형상으로 결합되고, 세로 지지대(b)에 돌출부(c) 및 돌출부(c) 길이보다 1/2 크기의 돌출부(d)가 일정간격으로 돌설된 격벽부분품(2a, 2b)이 서로 마주보면서 결합되는 구조이고, 격벽부분품(2a, 2b)은 서로 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버.[5] The method of claim 5,
Figure pat00007
Shaped barrier ribs 1 are connected to each other in a rectangular frame shape by arranging the horizontal support members a and the vertical support members b at regular intervals and the vertical support members b are provided with protrusions c and protrusions c Characterized in that the partition part parts (2a, 2b) protruding at 1/2 of the size of the projections (d) are coupled while facing each other, and the partition part parts (2a, 2b) are detachably coupled to each other Horizontal scrubber for waste gas treatment using gas - liquid contact means.
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