KR20180011564A - 배출가스용 에어 블로워 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배출가스용 에어 블로워 유닛을 개시한다.
본 발명은, 배출관측 내측에는 순환기체에 의해 회전하면서 송풍량을 증가시키는 풍량 증가수단이 마련되고, 배출관측 외주면에는 블로워 유닛의 표면온도를 상승시키기 위한 코일형 히터가 마련되며, 유입관과 인접된 배출관의 외주면상에는 90도 등간격으로 질소와 이산화탄소가 각각 유입되는 기체 유입부가 마련되는 것을 특징으로 하는 것으로서, 풍량 증가수단을 통해 순환기체를 좀 더 빠르게 그리고 많은량의 순환기체를 순환 또는 배출시킬 수 있게 되며, 특히 무동력으로 풍량을 증가시킬 수 있는 효과가 있다. 또한 코일형 히터를 통해 블로워 유닛을 전체적으로 히팅 가능하게 됨으로써 내부에 잔류할 수 있는 오염된 물질을 녹여 제거할 수 있는 효과를 얻게 되고, 기체 유입부를 통해 질소 또는 이산화탄소를 각각 주입 가능하게 됨으로써 내부의 오염된 기체를 정화시키거나 정전기 방지 등의 효과를 얻게 된다.

Description

배출가스용 에어 블로워 유닛{Air blower unit for exhaust gas}

본 발명은 에어 블로워 유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 순환기체를 과급하여 기체를 송풍시키되, 순환기체의 과급량을 조절하여 기체를 신속히 송풍시키고 필요로 하는 송풍량 및 속도를 조절할 수 있어 호환성은 물론, 작업효율을 향상시킬 수 있으며, 특히 반도체 장비 생산이나 기타 오염된 배출가스 내 오염물질에 의한 유닛 내부의 오염을 차단할 수 있는 배출가스용 에어 블로워 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 에어 블로워는 외부 기체를 내부로 유입시키도록 송풍되거나 내부 기체를 외부로 배출시키도록 송풍시키는 것이다.

이러한 에어 블로워는 팬을 회전시켜 송풍시키는 것으로 장기사용 시, 모터에 고열이 발생되고, 스파크 등이 발생되는 안전에 문제점이 있었다.

이에, 등록실용신안 제 20-0172668호에 개진된 바와 같이 흡, 배기장치는 좌단 곡면으로부터 나팔형 배출공이 형성되고, 중간 외주연에 나사부를 가진 원통형체와 좌단 곡면을 가진 원통형 외체를 결합하여 공압실과 화살표 방향으로 압축공기가 분출되어 이젝팅 현상으로 흡, 배기시키게 된다.

그러나 이 흡, 배기장치는 공압실의 분출구가 압축공기가 공압실로 공급되는 부분보다 흡기관 방향에 위치되어 압축공기 분출방향이 원통형체의 배출공보다 흡기관으로 분출되어 흡기관으로 흡입되는 공기를 오히려 방해하여 배압이 발생되는 문제점이 있다.

특히, 흡기관을 고정너트를 이용하여 원형통체에 고정시키는데, 압축공기에 의한 압력이나 외부로부터 전달되는 충격에 의해 고정이 해제되어 발생되는 공압이 불안정하여 순환량이 불규칙한 문제점이 있다.

이를 해소하기 위해 흡기관과 고정너트, 원통형체를 용접 등으로 밀폐 및 고정시키고 있으나 운행 중, 조건에 따라 압력을 조절하지 못해 손실이 발생될 수 있으며, 해당 조건에 맞는 압력을 발생시키는 다른 흡, 배기장치로 교체하여야 하는 문제점이 야기되었다.

이에 본 출원인은 특허출원10-2014-0130639호를 통해 개선된 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛을 제안한 바 있다.

즉, 본 출원인이 선출원한 에어 블로워 유닛은, 내부에 유입공간부를 갖고, 기체가 유입되기 위한 유입관; 상기 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 상기 유입관으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관; 상기 유입관과 배출관을 연결시키되, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형성시키고, 상기 과급공간부를 상기 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 상기 유입관의 타단이 상기 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단; 및 상기 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 상기 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단;을 포함하고, 상기 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 상기 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 상기 유입관의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고, 상기 조절수단에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 상기 유입관으로 유입되어 배출관으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이 본 출원인이 선 출원한 에어 블로워 유닛의 경우에는 과급되는 순환기체에 의해 압력차가 발생되어 유입관을 통해 기체가 유입되어 배출관으로 신속하게 배출되고, 순환기체의 과급량을 조절하여 유입관과 배출관을 통해 송풍량을 조절할 수 있어 호환성은 물론, 작업효율을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과가 있다.

그러나 이러한 본 출원인이 선출원한 에어 블로워 유닛의 경우에는 상술한 효과를 발휘하는 반면에 순환기체가 반도체 생산 장비 등에서 발생되는 오염된 기체일 경우에는 장시간 사용 시 유입관 및 배출관등의 내부에 오염물질이 증착될 우려가 야기되며, 특히 강한 송풍량을 요구할 때 이에 적절하게 대처할 수 없는 문제점이 내재되어 있다.

상술한 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은 순환기체의 송풍량을 별도의 모터없이 증대시킬 수 있으며, 오염기체가 블로워 유닛 내부에 증착되어 내부가 오염되는 것을 미연에 방지할 수 있고, 특히 내부로 질소가스나 이산화탄소가스를 선택적으로 주입될 수 있도록 함으로써 정전기 발생이나 오염기체의 정화를 도모할 수 있는 배출가스용 에어 블로워 유닛을 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 배출가스용 에어 블로워 유닛은, 내부에 유입공간부를 갖고, 기체가 유입되기 위한 유입관; 상기 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 상기 유입관으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관; 상기 유입관과 배출관을 연결시키되, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형 성시키고, 상기 과급공간부를 상기 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 상기 유입관의 타단이 상기 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단; 및 상기 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 상기 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단;을 포함하고, 상기 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 상기 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 상기 유입관의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고, 상기 조절수단에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 상기 유입관으로 유입되어 배출관으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절하도록 된 배출가스용 에어 블로워 유닛에 있어서, 상기 배출관의 외측단에 위치되며, 중심부에 지지축이 연장 형성된 서포터 플레이트와; 상기 배출관의 내측에 위치되며 서포터 플레이트의 지지축 상에 회전 가능하게 베어링을 통해 축 지지되고, 외측면에는 길이 방향을 따라 소정의 경사각도와 경사면을 갖는 블레이드가 적어도 3-5개 등각도 형성된 블로워와; 상기 배출관측 외주면에는 블로워 유닛의 표면온도를 상승시키기 위한 코일형 히터와; 상기 유입관과 인접된 배출관의 외주면상에는 90도 등간격으로 질소와 이산화탄소가 각각 유입되는 기체 유입부를 구비하며, 상기 배출관에는 풍량 증가수단의 블로워의 회전속도를 감지하는 센서와 코일형 히터의 온도를 감지하는 센서가 각각 마련되며, 상기 블로워 유닛의 외측은 케이스에 의해 감싸여져 하나의 모듈로 이루어지고, 상기 케이스 상에는 각 센서를 제어하기 위한 제어장치가 마련되는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 제안되는 본 발명에 따른 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 풍량 증가수단을 통해 순환기체를 좀 더 빠르게 그리고 많은 량의 순환기체를 순환 또는 배출시킬 수 있게 되며, 특히 무동력으로 풍량을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

둘째, 코일형 히터를 통해 블로워 유닛을 전체적으로 히팅 가능하게 됨으로써 내부에 잔류할 수 있는 오염된 물질을 녹여 제거할 수 있는 효과를 얻게 된다.

셋째, 기체 유입부를 통해 질소 또는 이산화탄소를 각각 주입 가능하게 됨으로써 내부의 오염된 기체를 정화시키거나 정전기 방지 등의 효과를 얻게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 배출가스용 에어 블로워 유닛의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 배출가스용 에어 블로워 유닛의 분리 사시도.
도 3은 본 발명에 다른 배출가스용 에어 블로워 유닛의 요부 절제 사시도이다.
도 4는 풍량 조절수단 중 블로워를 발췌하여 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명 다른 실시예의 블로워가 결합된 배출가스용 에어 블로워 유닛의 사시도.
도 6은 본 발명 다른 실시예의 블로워를 발췌한 사시도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 풍량 조절이 가능한 에어 블로워 유닛의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

먼저 도 1은 본 발명에 따른 배출량 조절이 가능한 에어 블로워 유닛의 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 배출가스용 에어 블로워 유닛의 분리 사시도이며, 도 3은 본 발명에 다른 배출량 조절이 가능한 에어 블로워 유닛의 요부 절제 사시도이고, 도 4는 풍량 조절수단 중 블로워를 발췌하여 나타낸 사시도이고 도 5는 본 발명 다른 실시예의 블로워가 결합된 배출가스용 에어 블로워 유닛의 사시도이며, 도 6은 본 발명 다른 실시예의 블로워를 발췌한 사시도이다.

그리고 이하에서는 본 출원인이 선출원한 에어 블로워 유닛과 동일구조에는 동일한 명칭을 부여하였으며, 특히 중복되는 공간부등에는 별도의 부호를 부여하지 않는다.

이에 나타내 보인 바와 같이 본 발명에 따른 풍량 조절이 가능한 에어 블로워 유닛(air blower unit;10)은, 내부에 유입공간부를 갖고, 기체가 유입되기 위한 유입관(100), 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 유입관(100)으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관(200), 유입관(100)과 배출관(200)을 연결시키되, 유입관(100)과 배출관(200) 사이에 과급공간부를 형성시키고, 과급공간부를 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 유입관(100)의 타단이 배출관(200)의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단(300) 및 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단(400)을 포함하고, 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 유입관(100)의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고, 조절수단(400)에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 유입관(100)으로 유입되어 배출관(200)으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절하도록 구성된다.

이때 배출관(200)측 내측에는 본 발명의 특징에 따라 순환기체에 의해 회전하면서 송풍량을 증가시키는 풍량 증가수단(500)이 마련된다.

이러한 풍량 증가수단(500)의 구성을 보면, 배출관(200)의 외측단에는 중심부에 지지축이 연장 형성된 서포터 플레이트(support plate;510)가 위치된다.

그리고 배출관(200)의 내측에는 서포터 플레이트(510)의 지지축 상에 회전 가능하게 블로워(blower;520)가 베어링(B)을 통해 회전 가능하게 축 지지되는 바, 이 블로워(520)의 외측면에는 길이 방향을 따라 소정의 경사각도로 경사면을 갖는 블레이드(blade;521)가 적어도 3-5개 등각도 형성된다.

상기 언급한 블로워 유닛(10)의 다른 실시예는 도 5에서 도시한 바와 같이, 배출관(200)의 내측에 위치한 서포터 플레이트(510)의 지지축 상에 회전 가능하게 블로워(blower;520)가 형성되어 있는데 이는, 특정 형상의 블로워(520)만 사용하는 것이 아닌 풍속의 속도를 빠르게 하기 위해서는 선택적으로 다른 형상의 블로워(520) 또한 사용하는 것이 바람직함을 나타낸 것이다.

따라서, 이에 따른 효과로는 스페이서가 와류 발생역할을 하여 각도 및 피팅 투입의 각도에 따라 압력이 낮아지고 속도가 빠른 현상을 조절할 수 있을 뿐 아니라, 소정의 경사각도로 형성되어 있기 때문에 각각의 기체유입부(600)에서 공기를 주입 시 동일하게 공기압력을 분배 또는 와류를 발생할 수 있는 것이다.

도 6에 도시한 블로워(520)는 도 5에서 나타낸 블로워 유닛(10)에 삽입된 것을 발취한 것으로써, 상기에서 언급한 것과 동일하게 블로워(520)의 외측면에는 길이 방향을 따라 소정의 경사각도로 경사면을 갖는 블레이드(blade;521)가 적어도 3-5개 등각도 형성됨이 바람직하다.

결과적으로 서포터 플레이트(510)에 축 지지된 블로워(520)가 블레이드(521)에 날개각도와 경사면을 통해 무동력으로 회전하면서 풍량을 증대시킬 수 있게 되는 것이다.

더욱이 이를 통해서는 좀 더 많은 량의 순환기체 또는 오염기체를 배출시킬 수 있게 된다.

한편, 상술한 배출관(200)측 외주면에는 블로워 유닛(10)의 표면온도를 상승시키기 위한 코일형 히터(H)가 마련되는 바, 이 코일형 히터(H)의 동작에 의해 블로워 유닛(10)의 표면온도를 상승시킬 수 있게 되고 이를 통해 내부 표면에 달라붙은 오염물질을 녹일 수 있게 되고 이를 강한 풍량으로 배출시킬 수 있는 효과를 얻게 된다.

다음으로 유입관(100)과 인접된 배출관(200)의 외주면상에는 90도 등간격으로 질소와 이산화탄소가 각각 유입되는 기체 유입부(600)가 마련되는 바, 이를 통해서는 즉, 질소의 투입에 의해서는 내부 오염된 순환기체를 정화할 수 있는 효과를 얻게 되고, 이산화탄소의 주입에 의해서는 금속체의 기체에 의한 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있는 효과를 얻게 된다.

즉, 반도체 생산 장비나 기타 오염된 배출가스를 배출하는 장비 등에 설치됨으로써 배출가스의 정화 및 배출가스 상에 내재된 금속류에 의한 정전기 발생 등을 미연에 방지할 수 있게 되는 것이다.

한편, 상술한 블로워 유닛(10) 전체는 케이스(case;1)의해 감싸여져 하나의 모듈화를 이루게 된 채 설치될 수 있다.

또한 배출관(200)측에 풍량 증가수단의 블로워의 회전속도를 감지하는 센서와 코일형 히터의 온도를 감지하는 센서가 각각 마련하고, 상술한 케이스(1)상에는 각 센서들을 제어할 수 있는 전자 제어장치(700)를 마련하게 되면 작업자가 상태에 따라 적정량의 온도 제어와 풍량 제어를 도모할 수 있게 되며, 이러한 전자 제어장치(700)를 유무선상으로 중앙 컴퓨터 등에 전달할 수 있도록 하게 되면 원거리에서도 이러한 제어가 가능하여 사용상의 편의를 도모할 수 있을 것이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형 실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.

Claims (1)

1. 내부에 유입공간부를 갖고, 기체가 유입되기 위한 유입관; 상기 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 상기 유입관으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관; 상기 유입관과 배출관을 연결시키되, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형 성시키고, 상기 과급공간부를 상기 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 상기 유입관의 타단이 상기 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단; 및 상기 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 상기 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단;을 포함하고, 상기 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 상기 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 상기 유입관의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고, 상기 조절수단에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 상기 유입관으로 유입되어 배출관으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절하도록 된 배출가스용 에어 블로워 유닛에 있어서,
   상기 배출관의 외측단에 위치되며, 중심부에 지지축이 연장 형성된 서포터 플레이트와;
   상기 배출관의 내측에 위치되며 서포터 플레이트의 지지축 상에 회전 가능하게 베어링을 통해 축 지지되고, 외측면에는 길이 방향을 따라 소정의 경사각도와 경사면을 갖는 블레이드가 적어도 3-5개 등각도 형성된 블로워와;
   상기 배출관측 외주면에는 블로워 유닛의 표면온도를 상승시키기 위한 코일형 히터와;
   상기 유입관과 인접된 배출관의 외주면상에는 90도 등간격으로 질소와 이산화탄소가 각각 유입되는 기체 유입부를 구비하며,
   상기 배출관에는 풍량 증가수단의 블로워의 회전속도를 감지하는 센서와 코일형 히터의 온도를 감지하는 센서가 각각 마련되며,
   상기 블로워 유닛의 외측은 케이스에 의해 감싸여져 하나의 모듈로 이루어지고,
   상기 케이스 상에는 각 센서를 제어하기 위한 제어장치가 마련되는 것을 특징으로 하는 배출가스용 에어 블로워 유닛.

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