KR20180002302A - 압력 감지 센서 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서가 개시된다. 상기 압력 감지 센서는 제1 전극층, 상기 제1 전극층 상에 배치되는 탄성 유전층 및 상기 탄성 유전층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하고, 상기 제1 전극층은, 복수의 제1 관통홀을 포함한다.

Description

압력 감지 센서{SENSOR FOR DETECTING PRESSURE}

본 발명은 압력 감지 센서에 관한 것이다.

최근, 전자 기술과 정보 통신 기술의 발전으로 헬스 케어(Health Care) 분야가 급속하게 발전하고 있다. 즉, 생체 정보를 이용하여 사람의 몸 상태를 측정할 수 있는 건강 관리 시스템이 요구되고 있으며, 특히 일상 생활에서 주로 사용하는 의자를 이용하여 생체 정보를 획득하는 기술이 개발되고 있다. 예를 들어, 의자 내에 압력을 감지하는 센서를 장착하여 착석자의 무게, 연령대, 자세 등을 파악하고자 하는 기술이 개발되고 있다.

일반적인 압력 감지 센서는 하부 전극, 탄성 유전층 및 상부 전극이 순차적으로 적층되는 구조를 가질 수 있다. 이러한 압력 감지 센서는 상부 전극 상에 가해지는 압력의 변화에 따라 탄성 유전층의 두께가 변화하게 되며, 탄성 유전층의 두께 변화에 따라 커패시턴스가 변화하게 되고, 커패시턴스의 변화량에 따라 상부전극 상에 가해지는 압력을 산출하게 된다.

그런데, 압력 감지 센서에 가해지는 압력에 의해 압력 감지 센서의 형상이 찌그러지는 문제점이 발생한다. 또한, 주변 전극으로 압력이 전달되어 압력 감지 센서의 압력에 대한 민감도가 떨어지는 한계가 존재한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 가해진 압력을 감지하는 압력 감지 센서를 제공하는 데 있다.

본 발명의 일실시예에 다른 압력 감지 센서는 제1 전극층; 상기 제1 전극층 상에 배치되는 탄성 유전층; 및 상기 탄성 유전층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하고, 상기 제2 전극층은, 복수의 제1 관통홀을 포함한다.

상기 복수의 제1 관통홀은 소정 간격으로 이격 배치될 수 있다.

상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 중 어느 하나는 전도성 섬유를 포함할 수 있다.

상기 탄성 유전층은 복수의 제2 관통홀을 포함할 수 있다.

상기 복수의 제2 관통홀은 상기 복수의 제1 관통홀에 대응되도록 배치될 수 있다.

상기 탄성 유전층은 소정 간격으로 배치되는 격벽을 포함할 수 있다.

상기 격벽은 벌집 모양일 수 있다.

상기 탄성 유전층은 소정 간격으로 배치되는 지지부재를 포함할 수 있다.

상기 제1 전극층은 소정 간격으로 이격 배치되는 복수의 채널부와 상기 복수의 채널부에 연결된 배선부를 포함하고, 상기 제2 전극층은 그라운드(Ground)와 연결될 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 장치는 압력 감지 센서; 상기 압력 감지 센서와 연결되며, 상기 압력 감지 센서에서 발생한 전기 신호를 처리하는 신호 처리부; 및 상기 신호 처리부와 연결되며, 상기 신호 처리부에 의하여 처리된 신호에 기초하여 제어 신호를 생성하는 제어부를 포함하며, 상기 압력 감지 센서는, 제1 전극층; 상기 제1 전극층 상에 배치되는 탄성 유전층; 및 상기 탄성 유전층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하고, 상기 제2 전극층은 복수의 제1 관통홀을 포함한다.

본 발명의 실시예에 따른 압력 감지 센서는 가해진 무게에 따른 압력을 정밀하게 감지할 수 있으며, 압력 분포를 정확하게 감지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서는 가해지는 압력으로부터 센서의 손상을 방지하여 내구성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서는 가해지는 압력에 대해 빠른 복원력을 가지며, 가해진 압력에 대한 손실을 최소화하여 압력 감지에 있어서 민감도가 향상될 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 특정 포인트를 감지하는 것이 아니고, 면 단위로 감지하므로, 자세 판단에 유리하다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 압력 감지 센서는 대면적화가 가능하며, 사용자에게 이물감이 느껴지지 않는다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 압력 감지 센서는 고해상도를 가지면서도 모듈화가 간단하게 이루어질 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 상면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 하면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도 및 탄성 유전층을 확대한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시한 탄성유전층의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도 및 탄성 유전층을 확대한 도면이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 압력 감지 장치의 블록도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 상면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 하면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 압력 감지 센서(100)는 제1 전극층(110), 제1 전극층(110) 상에 배치되는 탄성 유전층(120), 탄성 유전층(120) 상에 배치되는 제2 전극층(130)을 포함한다.

제1 전극층(110)은 채널부(111)와 채널부(111)에 연결된 배선부(112)를 포함한다. 채널부(111)는 제1 전극층(110)과 제2 전극층(130) 사이에서 측정된 전압, 전하량의 변화를 통해 제2 전극층(130) 상에 가해진 압력(T)에 의해 변화한 탄성 유전층(120)의 커패시턴스 변화값을 감지할 수 있다.

그리고 감지된 커패시턴스의 변화값으로부터 제2 전극층(130)에 가해진 압력을 감지할 수 있다. 커패시턴스 변화값을 통한 압력 감지에 대해서는 아래에서 자세히 설명하겠다.

그리고 채널부(111)는 예를 들어, 전압 변화값인 센싱한 신호를 출력하고, 출력된 센싱 신호는 채널부(111)에 전기적으로 연결된 배선부(112)를 통해 외부 또는 신호 전달부(140)로 송신될 수 있다. 또한, 채널부(111)는 이격 배치되어 압력 감지 센서(100)의 각 위치에 따라 가해진 압력에 대한 신호를 구분하여 센싱할 수 있다.

또한, 제1 전극층(110)은 전도성 직물을 포함할 수 있다. 전도성 직물은 전도성 섬유로 구성된 직물이며, 전도성 섬유는 금속와이어 또는 표면 상에 금속 막이 피복된 일반 섬유일 수 있다. 전도성 섬유는 금속 입자가 분산된 일반 섬유일 수도 있다. 전도성 섬유가 금속 와이어인 경우, 금속 와이어의 직경은 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다. 금속 와이어의 직경이 10㎛ 미만이면 금속 와이어의 강도가 약하여 직물 가공이 어려울 수 있으며, 금속 와이어의 직경이 100㎛를 초과하면 금속 와이어의 강성이 높아 직물의 유연성이 떨어질 수 있으므로, 직물의 가공 시 설비에 데미지를 줄 수 있고, 사용자가 이질감을 느끼기 쉽다.

이때, 금속 와이어는 Cu, Ni, 또는 스테인레스 합금일 수 있다. 스테인레스 합금은, 예를 들면 마르텐사이트계 스테인레스 합금, 페라이트계 스테인레스 합금, 오스테나이트계 스테인레스 합금, 2상계 스테인레스 합금, 석출경화계 스테인레스 합금 등일 수 있다. 금속 와이어가 스테인레스 합금인 경우, 압력 감지 센서(100)의 내부식성을 높일 수 있다.

전도성 섬유가 표면 상에 금속 막이 피복된 일반 섬유인 경우, 금속 막은 금속 입자가 도금 방식 또는 증착 방식으로 일반 섬유의 표면 상에 피복되는 방법에 의하여 형성될 수 있다. 이때, 금속 입자는 Cu, Ni, 또는 스테인레스 합금일 수 있으며, 금속 막의 두께는 1㎛ 내지 50㎛일 수 있다. 금속 막의 두께가 1㎛ 미만이면 전도율이 낮으므로 신호 전송 시에 손실을 유발할 수 있으며, 금속 막의 두께가 50㎛ 를 초과하면 섬유의 표면에서 금속 막이 쉽게 이탈될 수 있다.

그리고 제1 전극층(110)은 두께(W1)는 50㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다.

다음으로, 탄성 유전층(120)은 제1 전극층(110) 상에 배치되며, 제2 전극층(130)에 가해진 압력으로부터 두께(d)가 변화된다. 외부로부터 압력이 가해지는 경우 탄성 변형이 되며, 압력이 해제되는 경우 원래의 형상으로 돌아가는 복원력을 가지는 재질의 유전체이다.

탄성 유전층(120)은, 예를 들어, 발포폼, 부직포, 나노웹 등의 랜덤한 섬유 배열을 가지는 섬유 기재, 폴리우레탄, 나일론, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 및 폴리에스터로 이루어진 그룹에서 선택된 하나를 포함하는 합성섬유 또는 천연 섬유, 엘라스토머, 고무, 우레탄 등을 포함할 수 있다. 이때, 탄성 유전층(120)의 두께(d)는 50㎛ 내지 300㎛일 수 있다.

이와 같이, 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130) 사이에 탄성 유전층(120)이 배치되는 경우, 제2 전극층(130) 상에 압력(T)이 가해지면 탄성 유전층(120)의 두께(d)가 감소하며, 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130) 간의 캐패시턴스가 변화하게 된다. 이러한 현상은 아래 수학식에 의하여 설명될 수 있다.

여기서, C는 캐패시턴스이고, A는 제1 전극층(110)과 제2 전극층(130)이 겹쳐지는 면적이며, d는 제1 전극층(110)과 제2 전극층(130)(=탄성 유전층(120)의 두께) 간의 거리이고, εr은 탄성 유전층(120)의 유전상수이고, ε0은 전기 상수이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 압력 감지 센서(100) 및 이를 이용하는 압력 감지 장치는 커패시턴스의 변화량에 기초하여 압력 감지 센서(100) 상에 가해진 압력을 감지할 수 있다. 즉, 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130) 사이에 일정한 전압차가 유지되는 경우, 커패시턴스가 변화하면, 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130) 사이의 전하량이 변하게 된다. 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130) 사이의 전하량이 변하면, 제1 전극층(110)의 채널부(111) 및 배선부(112)에서 흐르는 전기 신호가 변화하게 되고, 압력 감지 센서(100)로부터 상기 전기 신호를 송신 받은 압력 감지 장치는 압력 감지 센서(100) 상에 가해진 압력을 감지할 수 있다.

제2 전극층(130)은 탄성 유전층(120) 상에 배치되고, 그라운드(Ground) 전극과 연결될 수 있다. 이와 달리, 제1 전극층(110)은 압력 감지를 위한 전압, 전하를 제공받을 수 있다. 그리고 제2 전극층(130) 상에 인체의 손 등으로 인한 압력이 가해진다.

또한, 제2 전극층(130)도 제1 전극층(110)과 마찬가지로 전도성 섬유를 포함하며, 이는 상기 기재와 동일하다. 또한, 제1 전극층(110)과 같이 제2 전극층(130)의 두께는 50㎛ 내지 100㎛일 수 있다.

그리고 제2 전극층(130)은 복수의 제1 관통홀(131)이 형성될 수 있다. 또한, 다양한 크기로, 다양한 간격으로 제2 전극층(130)에 형성될 수 있다.

제2 전극층(130)은 제1 관통홀(131)을 포함함으로써, 제2 전극층(130) 상에 압력이 가해지지 않는 부분으로 압력이 전달되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 복수의 제1 관통홀(131)을 이격 배치하여 제2 전극층(130)을 구획화할 수 있다. 그리고 이를 통해 압력이 가해지는 부분 이외 영역으로 압력이 손실되는 것을 차단할 수 있다. 압력 손실이 줄어들면, 제1 전극층(110)과 제2 전극층(130) 간의 거리(d) (=탄성 유전층(120)의 두께)가 더욱 감소하고, 상기 수학식 1과 같이 반비례 관계에 있는 탄성 유전층(120)의 커패시턴스 값은 더욱 크게 변화할 수 있다. 이로써, 압력에 대해 측정되는 신호 값인, 예를 들어 전압은 커지고 압력 감지 센서(100)는 압력을 민감하게 감지할 수 있다.

즉, 압력이 가해지는 영역 하부에 배치된 탄성 유전층(120)에 온전한 압력이 전달될 수 있어, 압력 감지 센서(100)의 민감도가 향상될 수 있다.

또한, 제1 관통홀(131)을 일정 간격으로 배치함으로써, 제2 전극층(130)의 구획화된 영역을 통해 전달된 압력으로부터 제1 전극층(110)의 채널부(111)가 센싱 신호를 민감하게 감지할 수 있다.

또한, 제2 전극층(130)에는 제1 전극층(110)의 채널부(111) 배치와 매칭되는 패턴(132)이 형성될 수 있다. 이때, 패턴(132)에 의하여 제2 전극층(130)이 복수 개로 서로 분리되는 것은 아니다. 제2 전극층(130)에 형성된 패턴(132)으로 인하여 제 2전극층(130)의 일부에 빈 공간이 형성되거나, 빈 공간이 절연 물질로 채워질 수 있다. 이와 같이, 제2 전극층(130)의 패턴(132)이 제1 전극층(110)의 복수개의 채널부(111)의 배치와 매칭되는 경우, 채널부(111) 별로 압력 감지의 민감도가 향상될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도인 도 4와, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도인 도 5를 참조하면, 탄성 유전층(120)에 제2 관통홀(121)이 형성될 수 있다.

제2 관통홀(121)은 제1 관통홀(131)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 또한, 제1 관통홀(131)과 마찬가지로 소정의 간격으로 이격 배치될 수 있다. 이로써, 탄성 유전층(120)의 탄성변화가 일어나는 부분도 압력이 가해진 부분으로 한정된다. 이로써, 압력 감지 센서(100)는 압력이 가해진 부분에 대해서 더욱 민감하게 압력을 감지할 수 있다.

뿐만 아니라, 도 5를 참조하면, 압력 감지 센서(100)의 용도 및 설치 위치에 따라 소정의 제1 관통홀(131)에 대응되도록 제2 관통홀(121)을 배치할 수 있다. 이로써, 압력 감지를 원하는 영역에 대해서만 민감도를 개선하여 집중도를 향상할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도 및 탄성 유전층을 확대한 도면이고, 도 7은 도 6에 도시한 탄성 유전층의 사시도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 탄성 유전층(120)은 격벽(122)를 포함할 수 있다. 격벽(122)은 소정의 간격으로 이격 배치될 수 있다. 격벽(122)을 통해, 제2 전극층(130)은 제2 전극층(130) 상에 가해지는 압력에 대해 지지력이 향상될 수 있다. 또한, 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(130)이 찌그러지는 현상을 방지할 수 있다. 이로써, 압력 감지 센서(100)의 내구성을 향상시킬 수 있다.

그리고 격벽(122)은 인접한 격벽(122) 사이에 배치된 유전체와 상이한 경도, 밀도를 가져 압력 분산을 차단할 수 있다. 이로써, 압력 감지 센서(100)의 민감도를 향상 시킬 수 있다. 또한, 격벽(122)의 두께(S1)는 10㎛ 내지 100㎛ 일 수 있다.

또한, 도 7을 참조하면, 탄성 유전층(120)의 면적 당 최적화된 재료가 소모되도록, 격벽(122)은 복수의 육각형으로 이루어진 벌집 모양일 수 있다. 이로써, 외부 압력에 의해 내구성이 증가하고 압력 감지 센서(100)의 안정도도 향상되며, 면적 당 제조비용이 감소할 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압력 감지 센서의 단면도 및 탄성 유전층(120)을 확대한 도면이다. 도 8을 참조하면, 탄성 유전층(120)은 소정 간격으로 이격 배치되는 지지부재를 포함할 수 있다. 일예로, 지지부재는 마이크로 스프링(123)일 수 있다.

마이크로 스프링(123)은 탄성 유전층(120)에 배치되어, 압력 감지 센서의 중심을 잡아줄 뿐만 아니라 고정력 또한 증대할 수 있다. 또한, 제2 전극층(130)에 가해진 압력에 대해 빠른 복원력을 가져 압력 감지 센서(100)의 내구성을 향성 시킨다. 뿐만 아니라, 도 7 의 격벽과 같이 압력 감지 센서의 민감도를 향상시킬 수 있다. 또한, 마이크로 스프링(123)은 두께가 10㎛ 내지 100㎛일 수 있다.

도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 압력 감지 장치의 블록도이다. 압력 감지 장치(300)는 압력 감지 센서(100), 신호 처리부(200), 제어부(310) 및 통신부(320)를 포함할 수 있다.

먼저, 압력 감지 센서(100)는 상기의 기재와 동일하다.

그리고 신호 처리부(200)는 압력 감지 센서(100)와 연결되며, 압력 감지 센서(100)에서 발생한 전기 신호를 처리할 수 있다.

그리고, 제어부(310)는 신호 처리부(200)와 연결되며, 신호 처리부(200)에 의하여 처리된 신호에 기초하여 제어 신호를 생성할 수 있다. 한 예로, 제어부(310)는 압력 감지 센서(100)에 의하여 감지된 신호를 처리한 결과를 이용하여 압력 감지 장치(300)의 온오프를 제어할 수 있다. 다른 예로, 제어부(310)는 압력 감지 센서(100)에 의하여 감지된 신호를 처리한 결과를 이용하여 착석자의 자세에 관한 진단 정보를 생성할 수 있다. 또 다른 예로, 제어부(310)는 압력 감지 센서(100)에 의하여 감지된 신호를 처리한 결과를 이용하여 착석자의 자세 교정을 위한 알람 신호 등을 생성할 수도 있다.

그리고, 통신부(320)는 제어부(310)에 의하여 생성된 제어 신호를 외부 장치로 송신한다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100: 압력 감지 센서
110: 제1 전극층
120: 탄성 유전층
130: 제2 전극층
131: 제1 관통홀
121: 제2 관통홀
200: 신호 처리부
300: 압력 감지 장치
310: 제어부
320: 통신부

Claims (10)

1. 제1 전극층;
   상기 제1 전극층 상에 배치되는 탄성 유전층; 및
   상기 탄성 유전층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하고,
   상기 제2 전극층은,
   복수의 제1 관통홀을 포함하는 압력 감지 센서.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 복수의 제1 관통홀은 소정 간격으로 이격 배치되는 압력 감지 센서.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 중 어느 하나는 전도성 섬유를 포함하는 압력 감지 센서.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 탄성 유전층은 복수의 제2 관통홀을 포함하는 압력 감지 센서.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 복수의 제2 관통홀은 상기 복수의 제1 관통홀에 대응되도록 배치되는 압력 감지 센서.
6. 제 1항에 있어서,
   상기 탄성 유전층은 소정 간격으로 배치되는 격벽을 포함하는 압력 감지 센서.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 격벽은 벌집 모양인 압력 감지 센서.
8. 제 1항에 있어서,
   상기 탄성 유전층은 소정 간격으로 배치되는 지지부재를 포함하는 압력 감지 센서.
9. 제 1항에 있어서,
   상기 제1 전극층은 소정 간격으로 이격 배치되는 복수의 채널부와 상기 복수의 채널부에 연결된 배선부를 포함하고,
   상기 제2 전극층은 그라운드(Ground)와 연결되는 압력 감지 센서.
10. 압력 감지 센서;
    상기 압력 감지 센서와 연결되며, 상기 압력 감지 센서에서 발생한 전기 신
    호를 처리하는 신호 처리부; 및
    상기 신호 처리부와 연결되며, 상기 신호 처리부에 의하여 처리된 신호에 기
    초하여 제어 신호를 생성하는 제어부를 포함하며,
    상기 압력 감지 센서는,
    제1 전극층;
    상기 제1 전극층 상에 배치되는 탄성 유전층; 및
    상기 탄성 유전층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하고,
    상기 제2 전극층은 복수의 제1 관통홀을 포함하는 압력 감지 장치.

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