KR20170139300A - Intraocular pressure sensor using capacitance change in intraocular pressure, contact lens including the same and manufacturing method of the same - Google Patents

Intraocular pressure sensor using capacitance change in intraocular pressure, contact lens including the same and manufacturing method of the same Download PDF

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KR20170139300A
KR20170139300A KR1020160071633A KR20160071633A KR20170139300A KR 20170139300 A KR20170139300 A KR 20170139300A KR 1020160071633 A KR1020160071633 A KR 1020160071633A KR 20160071633 A KR20160071633 A KR 20160071633A KR 20170139300 A KR20170139300 A KR 20170139300A
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Abstract

The present invention provides a transparent intraocular pressure sensor to a contact lens, so that intraocular pressure can be measured in real time without blocking view. Also, upper and lower electrodes which are composed of graphene and silver nanowire and a dielectric layer which is laminated between the upper electrode and the lower electrode are provided. Therefore, a foreign body sensation is less when being worn on the eyes since the thickness is thin. Also, elastic is high, and a wireless communication is possible with the outside.

Description

안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법{Intraocular pressure sensor using capacitance change in intraocular pressure, contact lens including the same and manufacturing method of the same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an intraocular pressure sensor, a contact lens including the intraocular pressure sensor, a contact lens including the same, and a manufacturing method thereof,

본 발명은 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 투명 전극 소재와 투명한 유전체 소재를 이용하여 콘택트렌즈에 안압 센서를 구현함으로써, 실시간으로 안압 측정이 가능한 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure, a contact lens including the same, and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention realizes an intraocular pressure sensor using a transparent electrode material and a transparent dielectric material, The present invention relates to an intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure capable of measuring intraocular pressure in real time, a contact lens including the same, and a method of manufacturing the same.

일반적으로 안압은 안구 내부의 압력을 의미한다. 안압은 녹내장의 진단과 치료에 중요한 지표가 된다. In general, intraocular pressure refers to intraocular pressure. IOP is an important index for the diagnosis and treatment of glaucoma.

종래에는 안압을 측정하기 위해서는 안과 병원에 방문하고, 병원에 있는 안압계 등의 안압 측정용 장비를 통해서 측정하였다. 그러나, 안압은 실시간으로 계속 변하며, 특히 밤에 혈압이 떨어지는 반작용으로 안압이 높아진다. Conventionally, in order to measure the intraocular pressure, a visit was made to an ophthalmologic hospital, and an intraocular pressure measurement device such as an intraocular pressure gauge at the hospital was used to measure the intraocular pressure. However, the intraocular pressure constantly changes in real time, and the intraocular pressure increases as a result of the blood pressure dropping, especially at night.

따라서 녹내방을 예방하거나 정확한 안압을 측정하기 위해서는 실시간으로 안압을 측정하는 것이 필요하다. Therefore, it is necessary to measure the intraocular pressure in real time in order to prevent rust or to measure accurate intraocular pressure.

한국등록특허 10-1601638호Korean Patent No. 10-1601638

본 발명의 목적은, 사용자의 눈에 착용가능하여 항상 안압을 측정할 수 있는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서, 그를 포함하는 콘택트 렌즈 및 그의 제조방법을 제공하는 데 있다. An object of the present invention is to provide an intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure which can be worn on the user's eyes and can constantly measure the intraocular pressure, a contact lens including the same, and a method of manufacturing the same.

본 발명에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서는,광투광성 기판과; 상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과; 상기 하부 전극 위에 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과; 상기 유전층 위에 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과; 상기 상부 전극 위에 형성된 패시배이션층을 포함한다.An intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure according to the present invention includes: a light-transmitting substrate; A lower electrode including a spiral antenna pattern formed on the light-transmitting substrate and including at least one of a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial and performing electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal; ; A dielectric layer formed on the lower electrode, the dielectric layer changing the thickness according to the intraocular pressure to sense the intraocular pressure; And an antenna pattern formed on the dielectric layer and including at least one of a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial and performing electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside, An upper electrode having a capacitance varying with the lower electrode; And a passivation layer formed on the upper electrode.

본 발명의 다른 측면에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서는, 콘택트렌즈에 구비되고, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 광투광성 기판과; 상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과; 상기 하부 전극 위에 에코플랙스와 PDMS 중 적어도 하나를 코팅하여 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과; 상기 유전층 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과; 상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 패시배이션층을 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure, the intraocular pressure sensor comprising: a photo-transparent substrate provided on a contact lens and coated with parylene; Wherein the substrate is coated on the light-transmitting substrate and includes at least one of a metal nanowire, a metal nanofiber, a carbon nanotube, a graphene, a metal grid, and a metal nanotrol, A lower electrode including an antenna pattern of a shape; A dielectric layer formed on the lower electrode by coating at least one of echocardi and PDMS, and having a thickness varying according to an intraocular pressure to sense an intraocular pressure; And at least one of a metal nanowire, a metal nanofiber, a carbon nanotube, a graphene, a metal grid, and a metal nanotorp formed on the dielectric layer and formed of a spiral shape An upper electrode including an antenna pattern and having a capacitance varying with the lower electrode according to a change in thickness of the dielectric layer; And a passivation layer formed by coating parylene on the upper electrode.

본 발명의 다른 측면에 따른 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법은, 희생기판위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 광투광성 기판을 형성하는 단계와; 상기 광투광성 기판 위에 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 2차원 금속나노물질을 전사하여, 하부 금속나노물질층을 형성하는 단계와; 상기 하부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 하부 전극위에 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하도록 유전체를 코팅하여 유전층을 형성하는 단계와; 상기 유전층 위에 상기 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 상기 2차원 금속나노물질을 전사하여, 상부 금속나노물질층을 형성하는 단계와; 상기 상부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 상부 전극을 형성하는 단계와; 상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 패시배이션층을 형성하는 단계와; 상기 희생기판을 제거하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an intraocular pressure sensor using a change in capacitance according to an intraocular pressure (IOP), the method comprising: forming a light transmitting substrate by coating parylene on a sacrificial substrate; Forming a lower metal nanomaterial layer by coating a one-dimensional metal nanomaterial on the light-transmitting substrate, and then transferring the two-dimensional metal nanomaterial; Forming a lower electrode including an antenna for patterning the lower metal nanomaterial layer with a spiral antenna pattern and performing an electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside; Forming a dielectric layer on the lower electrode by coating a dielectric to change the thickness of the lower electrode according to an intraocular pressure to sense an intraocular pressure; Depositing the one-dimensional metal nanomaterial on the dielectric layer, and then transferring the two-dimensional metal nanomaterial to form an upper metal nanomaterial layer; Forming an upper electrode including an antenna for patterning the upper metal nanomaterial layer into a helical antenna pattern and performing an electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside; Forming a passivation layer by coating parylene on the upper electrode; And removing the sacrificial substrate.

본 발명은, 콘택트렌즈에 투명한 안압 센서를 구비함으로써, 시야를 가리지 않고 실시간으로 안압 측정이 가능한 이점이 있다.The present invention has an advantage that an intraocular pressure can be measured in real time regardless of the visual field by providing an intraocular pressure sensor transparent to a contact lens.

또한, 그래핀과 은나노 와이어로 구성된 상,하부 전극과, 상기 상,하부 전극 사이에 적층된 유전층을 포함함으로써, 두께가 얇아서 눈에 착용시 이물감이 적고, 신축성이 높으며, 외부와 무선 통신이 가능한 이점이 있다. Further, since the upper and lower electrodes composed of graphene and silver nano wires and the dielectric layer laminated between the upper and lower electrodes are included, the thickness is small, so that there is little foreign body feeling when worn on the eye, and the elasticity is high. There is an advantage.

또한, 나선 형상의 안테나 패턴으로 전극을 형성함으로써, 제조가 매우 간편한 이점이 있다. In addition, an electrode is formed by a helical antenna pattern, which is advantageous in that it is very easy to manufacture.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서가 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 작동 원리를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 주파수와 반사계수의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서에서 공진 주파수와 안압의 관계를 나타낸 그래프이다. 1 is a view showing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic view illustrating a method of manufacturing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing the principle of operation of the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.
5 is a graph showing the relationship between the frequency and the reflection coefficient of the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.
6 is a graph showing the relationship between the resonance frequency and the intraocular pressure in the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서가 도시된 도면이다. 1 is a view showing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서(1)는, 광투광성 기판(12), 하부 전극(14), 유전층(16), 상부 전극(18), 패시배이션층(20) 및 콘택트렌즈(30)를 포함한다.1, an intraocular pressure sensor 1 according to an embodiment of the present invention includes a translucent substrate 12, a lower electrode 14, a dielectric layer 16, an upper electrode 18, a passivation layer 20 And a contact lens 30.

상기 광투광성 기판(12)은, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 기판이며, 투명하고 신축성을 갖는다. 상기 광투광성 기판(12)은 파릴렌 이외에도 생체적합하고 투명하며 신축성을 갖는 물질이면 어느 것이나 사용가능하다. 상기 광투광성 기판(12)은 투명 기판과 반투명 기판이 있으며, 본 실시예에서는 투명 기판을 사용한다.The translucent substrate 12 is a substrate formed by coating parylene, and is transparent and stretchable. The light-transmitting substrate 12 may be any material that is biocompatible, transparent, and stretchable in addition to parylene. The translucent substrate 12 includes a transparent substrate and a translucent substrate. In this embodiment, a transparent substrate is used.

본 실시예에서는, 상기 광투광성 기판(12)이 상기 콘택트렌즈(30)에 전사된 것으로 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 상기 광투광성 기판(12)이 상기 콘택트렌즈인 것도 물론 가능하다. In this embodiment, the light-transmitting substrate 12 is transferred to the contact lens 30, but the present invention is not limited thereto. It is also possible that the light-transmitting substrate 12 is the contact lens.

상기 하부 전극(14)은, 나노 복합체 기반의 투명 전극이다. 상기 하부 전극(14)은, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질을 포함한다. 상기 1차원 금속나노물질은, 은 나노와이어인 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 1차원 금속나노물질으로 나노 와이어, 나노튜브, 나노입자, 금속 그리드 및 금속 나노트로프(nanotrough) 등도 사용될 수 있다. 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀을 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀 등도 사용될 수 있다. The lower electrode 14 is a nanocomposite-based transparent electrode. The lower electrode 14 includes a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial. The one-dimensional metal nanomaterial is exemplified by silver nanowires. However, the present invention is not limited to this, and nanowires, nanotubes, nanoparticles, metal grids, and metal nanotubes may be used as the one-dimensional metal nanomaterials. The two-dimensional metal nanomaterial is exemplified by using graphene. However, the present invention is not limited to this, and graphene may be used as the two-dimensional metal nanomaterial.

상기 하부 전극(14)은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝된다. 따라서 상기 하부 전극(14)은, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할도 수행한다. 즉, 상기 나선 형상의 하부 전극(14)은 전극과 안테나 역할을 모두 수행한다. The lower electrode 14 is patterned into a helical antenna pattern. Accordingly, the lower electrode 14 also performs an electromagnetic resonance to serve as an antenna for wirelessly transmitting a signal to the outside. That is, the spiral lower electrode 14 serves both as an electrode and as an antenna.

상기 유전체층(16)은, 상기 하부 전극(14)위에 코팅 형성된 층이다. 상기 유전체층(16)은 투명한 유전체 물질로 이루어진 층이다. 상기 유전체 물질은 에코플렉스(ecoflex), PDMS 등 투명한 탄성중합체(Elastomer)가 사용될 수 있다. 본 실시예에서는, 상기 유전체 물질은 에코플렉스를 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다.The dielectric layer 16 is a layer formed on the lower electrode 14 by coating. The dielectric layer 16 is a layer made of a transparent dielectric material. As the dielectric material, a transparent elastomer such as ecoflex, PDMS or the like may be used. In this embodiment, the dielectric material is exemplified by using an echo flex.

상기 유전체층(16)은, 안압의 변화에 따라 두께가 변화하여 안압을 센싱하는 안압센싱층이다. 즉, 상기 유전체층(16)은 안압이 증가하게 되면 두께가 얇아지게 되어, 상기 상부 전극(18)과 상기 하부 전극(14)사이의 정전 용량을 변화시키며, 정전 용량의 변화에 따른 공진 주파수의 변화에 따라 안압을 측정할 수 있다.The dielectric layer 16 is an intraocular pressure sensing layer that changes its thickness in accordance with a change in intraocular pressure and senses the intraocular pressure. That is, when the intraocular pressure is increased, the thickness of the dielectric layer 16 becomes thinner, thereby changing the capacitance between the upper electrode 18 and the lower electrode 14, and the change in the resonance frequency IOP can be measured according to.

상기 상부 전극(18)은, 나노 복합체 기반의 투명 전극이다. 상기 상부 전극(18)은, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질을 포함한다. 상기 상부 전극(18)은 상기 하부 전극(14)과 동일한 물질로 형성된다. The upper electrode 18 is a nanocomposite-based transparent electrode. The upper electrode 18 includes a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial. The upper electrode 18 is formed of the same material as the lower electrode 14.

상기 상부 전극(18)은, 상기 하부 전극(14)과 동일한 패턴으로 형성된다. 즉, 상기 상부 전극(18)은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 형성된다. 따라서 상기 상부 전극(18)은, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할도 수행한다. 즉, 상기 나선 형상의 상부 전극(18)은 전극과 안테나 역할을 모두 수행한다. 상기 상부 전극(18)은 상기 하부 전극(14)과의 상호 작용을 통해 신호를 외부에 무선 송신한다. The upper electrode 18 is formed in the same pattern as the lower electrode 14. That is, the upper electrode 18 is formed of a helical antenna pattern. Accordingly, the upper electrode 18 also performs an electromagnetic resonance to serve as an antenna for wirelessly transmitting a signal to the outside. That is, the spiral upper electrode 18 serves both as an electrode and as an antenna. The upper electrode 18 wirelessly transmits a signal to the outside through interaction with the lower electrode 14.

상기 패시배이션층(20)은, 상기 상부 전극(18)위에 파릴렌을 코팅하여 형성된 층이다. 상기 패시배이션층(20)은, 파릴렌을 사용하는 것으로 예를 들어 설명하나, 생체적합하고 투명하며 신축성을 갖는 물질로 이루어지면 어느 것이나 사용가능하다.
The passivation layer 20 is a layer formed by coating the upper electrode 18 with parylene. The passivation layer 20 is exemplified by parylene, but any material may be used as long as it is made of a material that is biocompatible, transparent, and stretchable.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 제조방법을 나타낸 순서도이다.2 is a schematic view illustrating a method of manufacturing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention. 3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an intraocular pressure sensor according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 안압 센서(1)의 제조방법은 다음과 같다. 2 and 3, a method of manufacturing the intraocular pressure sensor 1 is as follows.

먼저, 도 2a를 참조하면, 희생 기판(10)위에 파릴렌을 코팅하여, 상기 광투광성 기판(12)을 형성한다.(S1) 상기 희생 기판(10)은 구리 호일을 사용할 수 있으며, 추후 제거된다. 상기 광투광성 기판(12)은 생체적합성 광투광성 기판이며, 추후 상기 콘택트렌즈(30)에 전사된다.2A, parylene is coated on the sacrificial substrate 10 to form the photoconductive substrate 12. (S1) The sacrificial substrate 10 may be a copper foil, do. The light-transmitting substrate 12 is a biocompatible light-transmitting substrate and is later transferred to the contact lens 30.

도 2b를 참조하면, 상기 광투광성 기판(12)위에 은 나노 와이어를 스핀 코팅한다.(S2) 2B, silver nanowires are spin-coated on the light-transmitting substrate 12 (S2)

상기 은 나노 와이어를 스핀 코팅하여 은 나노 와이어 필름이 형성되면, 그 위에 그래핀을 전사한다.(S3)When the silver nanowire film is formed by spin coating the silver nanowire, graphene is transferred thereon. (S3)

상기 은 나노 와이어 위에 그래핀을 전사하면, 상부 금속나노물질층이 형성된다. 상기 은 나노 와이어들이 서로 겹쳐져 네트워크를 이루게 되며, 전류가 상기 은 나노 와이어들을 통해 흐를 수 있다. 상기 은 나노 와이어와 상기 그래핀으로 이루어진 하부 금속나노물질층은, 그래핀으로만 이루어진 경우보다 전기 전도도가 높고 면저항이 낮다.When graphene is transferred onto the silver nanowire, a layer of the upper metal nanomaterial is formed. The silver nanowires overlap each other to form a network, and a current can flow through the silver nanowires. The lower metallic nanomaterial layer composed of the silver nanowire and the graphene has higher electric conductivity and lower sheet resistance than when formed of only graphene.

상기 하부 금속나노물질층이 형성이 되면, 상기 하부 금속나노물질층에 안테나와 하부 전극을 패터닝한다.(S4)When the lower metal nanomaterial layer is formed, the antenna and the lower electrode are patterned on the lower metal nanomaterial layer. (S4)

포토레지스트액(Positive Photo-resist)을 스핀 코팅하고, 마스크 얼라이너(Mask aligner)를 이용하여 패터닝한 후, 현상액(developer)을 이용해 현상한다. 그리고, RIE(Reactive ion etching)장치를 이용하여, 상기 전극 패턴과 상기 안테나 패턴을 제외한 나머지 부분을 건식 식각(dry etching)한다. 이후, 남은 포지티브 포토레지스트액을 제거하면, 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 하부 전극(14)이 형성된다. 이 때, 상기 하부 전극(14)의 패턴은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝된다. 상기 하부 전극(14)의 패턴이 나선 형상으로 복수 회 감긴 형상으로 형성됨으로써, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할을 할 수 있다.A positive photoresist is spin-coated, patterned using a mask aligner, and developed using a developer. Then, using the RIE (Reactive Ion Etching) apparatus, the electrode pattern and the remaining portions except for the antenna pattern are dry-etched. Thereafter, when the remaining positive photoresist liquid is removed, the lower electrode 14 is formed as shown in FIG. 2B. At this time, the pattern of the lower electrode 14 is patterned into a helical antenna pattern. The pattern of the lower electrode 14 is formed in a spiral shape so as to be wound several times, thereby performing an electromagnetic resonance and serving as an antenna for wirelessly transmitting a signal to the outside.

이후, 도 2c를 참조하면, 상기 하부 전극(14) 위에 에코플랙스(ecoflex)를 스핀 코팅하여, 상기 유전층(16)을 형성한다.(S5)Referring to FIG. 2C, an ecoflex is spin-coated on the lower electrode 14 to form the dielectric layer 16. (S5)

상기 에코플랙스 외에 PDMS 등 투명한 탄성중합체(Elastomer)가 사용될 수 있다. 상기 유전층(16)은 안압이 증가하게 되면 두께가 얇아지면서, 상기 상부 전극(18)과 상기 하부 전극(14)사이의 정전 용량(Capacitance)을 증가시킨다. 상기 유전층(16)은, 미리 설정된 두께를 갖도록 형성되며, 상기 두께는 안압에 따라 변화하여 정전 용량의 변화가 측정될 수 있을 정도의 두께이며, 실험 등에 의해 미리 설정된다. In addition to the ecoflex, a transparent elastomer such as PDMS may be used. The thickness of the dielectric layer 16 decreases as the intraocular pressure increases, thereby increasing the capacitance between the upper electrode 18 and the lower electrode 14. The dielectric layer 16 is formed to have a predetermined thickness, and the thickness of the dielectric layer 16 is such that the capacitance can be measured by changing the capacitance according to the intraocular pressure.

이후, 도 2d를 참조하면, 상기 유전층(16)위에 은 나노 와이어를 스핀 코팅한다.(S6) 2D, silver nanowires are spin-coated on the dielectric layer 16. (S6)

상기 은 나노 와이어를 스핀 코팅하여 은 나노 와이어 필름이 형성되면, 그 위에 그래핀을 전사한다.(S7) When the silver nanowire film is formed by spin coating the silver nanowire, graphene is transferred thereon. (S7)

상기 은 나노 와이어 위에 그래핀을 전사하면, 상부 금속나노물질층이 형성된다. 상기 은 나노 와이어들이 서로 겹쳐져 네트워크를 이루게 되며, 전류가 상기 은 나노 와이어들을 통해 흐를 수 있다. 상기 은 나노 와이어와 상기 그래핀으로 이루어진 상부 금속나노물질층은, 그래핀으로만 이루어진 경우보다 전기 전도도가 높고 면저항이 낮다.When graphene is transferred onto the silver nanowire, a layer of the upper metal nanomaterial is formed. The silver nanowires overlap each other to form a network, and a current can flow through the silver nanowires. The upper metal nanomaterial layer composed of the silver nanowire and the graphene has higher electric conductivity and lower sheet resistance than when formed of only graphene.

상기 상부 금속나노물질층이 형성이 되면, 상기 상부 금속나노물질층에 안테나와 상부 전극(18)을 패터닝한다.(S8)When the upper metal nanomaterial layer is formed, the antenna and the upper electrode 18 are patterned in the upper metal nanomaterial layer. (S8)

상기 상부 전극(18)과 안테나를 패터닝하는 방법은, 상기 하부 전극(14)을 패터닝하는 방법과 동일하다. 포토레지스트액(Positive Photo-resist)을 스핀 코팅하고, 마스크 얼라이너(Mask aligner)를 이용하여 패터닝한 후, 현상액(developer)을 이용해 현상한다. 그리고, RIE(Reactive ion etching)장치를 이용하여, 상기 전극 패턴과 상기 안테나 패턴을 제외한 나머지 부분을 건식 식각(dry etching)한다. 이후, 남은 포지티브 포토레지스트액을 제거하면, 도 2d에 도시된 바와 같이 상기 상부 전극(18)이 형성된다. 이 때, 상기 상부 전극(18)의 패턴은, 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝한다. 상기 상부 전극(18)의 패턴이 나선 형상으로 복수 회 감긴 형상으로 형성됨으로써, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나 역할을 할 수 있다.The method of patterning the upper electrode 18 and the antenna is the same as the method of patterning the lower electrode 14. A positive photoresist is spin-coated, patterned using a mask aligner, and developed using a developer. Then, using the RIE (Reactive Ion Etching) apparatus, the electrode pattern and the remaining portions except for the antenna pattern are dry-etched. Thereafter, when the remaining positive photoresist liquid is removed, the upper electrode 18 is formed as shown in FIG. 2D. At this time, the pattern of the upper electrode 18 is patterned into a helical antenna pattern. The pattern of the upper electrode 18 is formed in a spiral shape so as to be wound several times, thereby performing an electromagnetic resonance and serving as an antenna for wirelessly transmitting a signal to the outside.

이 때, 산소 투과도를 위하여 상기 안테나의 중간에 위치한 상기 유전층(16)만을 제거할 수 있다. 상기 유전층(16) 중에서 제거되는 부분에는 전극이나 안테나가 배치되지 않는 부분이다. At this time, only the dielectric layer 16 located in the middle of the antenna can be removed for oxygen permeability. The portion removed from the dielectric layer 16 is a portion where no electrode or antenna is disposed.

이후, 도 2e를 참조하면, 상기 상부 전극(18)위에 파릴렌을 코팅하여 패시배이션층을 형성한다.(S9)2E, parylene is coated on the upper electrode 18 to form a passivation layer. (S9)

이후, 상기 희생 기판(10)을 제거한다.(S10) 상기 희생 기판(10)을 제거하면, 투명한 안압 센서가 완성이 된다.Thereafter, the sacrificial substrate 10 is removed. (S10) When the sacrificial substrate 10 is removed, a transparent intraocular pressure sensor is completed.

상기 투명한 안압 센서는 상기 콘택트 렌즈(30)에 전사하여 사용할 수 있다.(S11) 투명하여 시야를 가리지 않으면서도, 실시간으로 눈에 착용이 가능하여 항상 안압을 측정할 수 있다.
The transparent intraocular pressure sensor can be used by being transferred to the contact lens 30. (S11) Transparent, it is possible to wear the eye in real time without obscuring the visual field, so that the intraocular pressure can always be measured.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 작동 원리를 나타낸 도면이다.4 is a view showing the principle of operation of the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, 안압이 정상인 경우, 상기 유전층(16)은 초기 두께(d0)를 유지한다. Referring to FIG. 4A, when the intraocular pressure is normal, the dielectric layer 16 maintains the initial thickness d0.

도 4b를 참조하면, 안압이 높아지면, 안압에 의해 상기 유전층(16)의 두께(d1)가 초기 두께(d0)보다 얇아지게 된다. Referring to FIG. 4B, when the intraocular pressure is increased, the thickness d1 of the dielectric layer 16 becomes smaller than the initial thickness d0 by the intraocular pressure.

수학식 1을 참조하면, 상기 유전층(16)의 두께가 얇아지면, 정전 용량(C)이 증가하게 된다. 상기 정전 용량(C)이 변화하면, 상기 안압 센서의 공진 주파수가 변화하게 된다.Referring to Equation (1), if the thickness of the dielectric layer 16 is reduced, the electrostatic capacitance C increases. When the electrostatic capacitance C changes, the resonance frequency of the intraocular pressure sensor changes.

Figure pat00001
Figure pat00001

여기서, L은 인덕턴스이고, C는 정전용량(Capacitance)이다.Here, L is the inductance and C is the capacitance.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서의 주파수와 반사계수의 관계를 나타낸 그래프이다.5 is a graph showing the relationship between the frequency and the reflection coefficient of the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 상기 안압에 따라 변화하는 상기 안압 센서의 공진 주파수의 변화를 확인할 수 있다. 즉, 상기 안압의 변화에 따라 반사계수의 최소값이 나타나는 공진 주파수가 변화하는 것을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 5, the change in the resonance frequency of the intraocular pressure sensor, which changes according to the intraocular pressure, can be confirmed. That is, it can be seen that the resonance frequency at which the minimum value of the reflection coefficient appears varies with the change in the intraocular pressure.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안압 센서에서 공진 주파수와 안압의 관계를 나타낸 그래프이다. 6 is a graph showing the relationship between the resonance frequency and the intraocular pressure in the intraocular pressure sensor according to the embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 상기 콘택트 렌즈(30)에 구비된 안압 센서를 이용해 안압 범위 0 내지 50mmHG에서 안압을 측정한 결과를 나타낸 그래프이다.6 is a graph showing the results of measuring intraocular pressure in an intraocular pressure range of 0 to 50 mmHg using an intraocular pressure sensor provided in the contact lens 30.

상기 안압 센서로부터 정전용량의 변화를 측정하고, 무선 신호를 통해 반사계수의 최소값을 가지는 공진 주파수를 측정할 수 있다. 상기 반사계수의 최소값을 갖는 공진 주파수를 통해 안압을 추정할 수 있다. The change in capacitance can be measured from the intraocular pressure sensor and the resonance frequency having the minimum reflection coefficient can be measured through the wireless signal. The intraocular pressure can be estimated through the resonance frequency having the minimum value of the reflection coefficient.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1: 안압 센서 12: 광투광성 기판
14: 하부 전극 16: 유전체
18: 상부 전극 20: 패시배이션 층
30: 콘택트 렌즈1: IOP sensor 12: Photocurable substrate
14: lower electrode 16: dielectric
18: upper electrode 20: passivation layer
30: Contact lenses

Claims (13)

광투광성 기판과;
상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과;
상기 하부 전극 위에 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과;
상기 유전층 위에 형성되고, 1차원 금속나노물질과 2차원 금속나노물질 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과;
상기 상부 전극 위에 형성된 패시배이션층을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.A light-transmitting substrate;
A lower electrode including a spiral antenna pattern formed on the light-transmitting substrate and including at least one of a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial and performing electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal; ;
A dielectric layer formed on the lower electrode, the dielectric layer changing the thickness according to the intraocular pressure to sense the intraocular pressure;
And an antenna pattern formed on the dielectric layer and including at least one of a one-dimensional metal nanomaterial and a two-dimensional metal nanomaterial and performing electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside, An upper electrode having a capacitance varying with the lower electrode;
And a capacitance variation layer formed on the upper electrode. 청구항 1에 있어서,
상기 광투광성 기판과 상기 패시배이션층은, 파릴렌(Parylene)으로 형성된 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
Wherein the optically transparent substrate and the passivation layer are made of parylene, and the electrostatic capacitance changes according to the intraocular pressure. 청구항 1에 있어서,
상기 유전층은, 광투광성 소재로 형성된 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
Wherein the dielectric layer is made of a translucent material and changes in electrostatic capacitance according to an intraocular pressure. 청구항 3에 있어서,
상기 유전층은, 에코플랙스(ecoflex)와 PDMS 중 적어도 하나로 형성된 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method of claim 3,
Wherein the dielectric layer is formed by at least one of ecoflex and PDMS. 청구항 1에 있어서,
상기 광투광성 기판이 전사되는 콘택트렌즈를 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
And a contact lens to which the light transmitting substrate is transferred. 청구항 1에 있어서,
상기 하부전극에 사용되는 1차원 금속나노물질과 상기 상부전극에 사용되는 1차원 금속나노물질은 서로 동일하고,
상기 1차원 금속나노물질은, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 금속 그리드, 금속 나노트로프(nanotrough) 중 적어도 하나를 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
The one-dimensional metal nanomaterial used for the lower electrode and the one-dimensional metal nanomaterial used for the upper electrode are the same,
Wherein the one-dimensional metal nanomaterial comprises at least one of a metal nanowire, a metal nanofiber, a carbon nanotube, a metal grid, and a metal nanotrough. 청구항 1에 있어서,
상기 하부전극에 사용되는 2차원 금속나노물질과 상기 상부전극에 사용되는 2차원 금속나노물질은 서로 동일하고,
상기 2차원 금속나노물질은, 그래핀을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
The two-dimensional metal nanomaterial used for the lower electrode and the two-dimensional metal nanomaterial used for the upper electrode are the same,
Wherein the two-dimensional metal nanomaterial is an intraocular pressure sensor using electrostatic capacitance variation according to an intraocular pressure including graphene. 청구항 1에 있어서,
상기 안테나 패턴은, 나선 형상으로 감긴 형상인 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.The method according to claim 1,
Wherein the antenna pattern uses a change in capacitance according to an intraocular pressure, which is a spiral wound shape. 청구항 1의 안압 센서가 표면에 적층되어 있는 콘택트 렌즈.A contact lens in which the eye pressure sensor of claim 1 is laminated on a surface. 콘택트렌즈에 구비되고, 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 광투광성 기판과;
상기 광투광성 기판 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하는 하부 전극과;
상기 하부 전극 위에 에코플랙스와 PDMS 중 적어도 하나를 코팅하여 형성되고, 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하는 유전층과;
상기 유전층 위에 코팅 형성되고, 금속 나노와이어, 금속 나노화이버, 카본 나노튜브, 그래핀, 금속 그리드, 금속 나노트로프 중 적어도 하나를 포함하고, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하도록 나선 형상의 안테나 패턴을 포함하고, 상기 유전층의 두께 변화에 따라 상기 하부 전극과의 사이에 정전 용량이 변화하는 상부 전극과;
상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 형성된 패시배이션층을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서.A translucent substrate provided on the contact lens and formed by coating parylene;
Wherein the substrate is coated on the light-transmitting substrate and includes at least one of a metal nanowire, a metal nanofiber, a carbon nanotube, a graphene, a metal grid, and a metal nanotrol, A lower electrode including an antenna pattern of a shape;
A dielectric layer formed on the lower electrode by coating at least one of echocardi and PDMS, and having a thickness varying according to an intraocular pressure to sense an intraocular pressure;
And at least one of a metal nanowire, a metal nanofiber, a carbon nanotube, a graphene, a metal grid, and a metal nanotorp formed on the dielectric layer and formed of a spiral shape An upper electrode including an antenna pattern and having a capacitance varying with the lower electrode according to a change in thickness of the dielectric layer;
And a passivation layer formed by coating parylene on the upper electrode. 희생기판위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 광투광성 기판을 형성하는 단계와;
상기 광투광성 기판 위에 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 2차원 금속나노물질을 전사하여, 하부 금속나노물질층을 형성하는 단계와;
상기 하부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 하부 전극을 형성하는 단계와;
상기 하부 전극위에 안압에 따라 두께가 변하여 안압을 센싱하도록 유전체를 코팅하여 유전층을 형성하는 단계와;
상기 유전층 위에 상기 1차원 금속나노물질을 코팅한 후, 상기 2차원 금속나노물질을 전사하여, 상부 금속나노물질층을 형성하는 단계와;
상기 상부 금속나노물질층을 나선 형상의 안테나 패턴으로 패터닝하여, 전자기 공명을 수행하여 신호를 외부로 무선 송신하는 안테나를 포함하는 상부 전극을 형성하는 단계와;
상기 상부 전극 위에 파릴렌(Parylene)을 코팅하여 패시배이션층을 형성하는 단계와;
상기 희생기판을 제거하는 단계를 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법.Coating a sacrificial substrate with parylene to form a light-transmitting substrate;
Forming a lower metal nanomaterial layer by coating a one-dimensional metal nanomaterial on the light-transmitting substrate, and then transferring the two-dimensional metal nanomaterial;
Forming a lower electrode including an antenna for patterning the lower metal nanomaterial layer with a spiral antenna pattern and performing an electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside;
Forming a dielectric layer on the lower electrode by coating a dielectric to change the thickness of the lower electrode according to an intraocular pressure to sense an intraocular pressure;
Depositing the one-dimensional metal nanomaterial on the dielectric layer, and then transferring the two-dimensional metal nanomaterial to form an upper metal nanomaterial layer;
Forming an upper electrode including an antenna for patterning the upper metal nanomaterial layer into a helical antenna pattern and performing an electromagnetic resonance to wirelessly transmit a signal to the outside;
Forming a passivation layer by coating parylene on the upper electrode;
And removing the sacrificial substrate, wherein the electrostatic capacitance changes according to the intraocular pressure. 청구항 11에 있어서,
상기 희생기판을 제거한 이후에 상기 광투광성 기판을 콘택트렌즈에 전사하는 단계를 더 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법.The method of claim 11,
And transferring the phototransmissive substrate to the contact lens after removing the sacrificial substrate. The method of manufacturing an intraocular pressure sensor according to claim 1, further comprising the step of transferring the photocatalyst substrate to a contact lens. 청구항 11에 있어서,
상기 1차원 금속나노물질은 은 나노와이어를 포함하고, 상기 2차원 금속나노물질은 그래핀을 포함하는 안압에 따른 정전 용량 변화를 이용한 안압 센서의 제조방법.The method of claim 11,
Wherein the one-dimensional metal nanomaterial comprises silver nanowires and the two-dimensional metal nanomaterial comprises graphene.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109700428A (en) * 2019-02-28 2019-05-03 中国人民解放军第306医院 A kind of cornea contact electrode and working method of built-in eye gaze tracking system
KR20200106582A (en) * 2019-03-04 2020-09-15 포항공과대학교 산학협력단 Smart Contact Lens for Intraocular Pressure Monitoring and Therapy
EP3861924A1 (en) * 2020-02-07 2021-08-11 Alfa Intes Industria Terapeutica Splendore S.r.l. Contact lens device and related pressure monitoring kit and system comprising the same
WO2022050451A1 (en) * 2020-09-04 2022-03-10 주식회사 화이바이오메드 Wirelessly-powered smart contact lens for intraocular pressure measurement and treatment of glaucoma patient

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019002665A1 (en) * 2019-04-11 2020-10-15 Diehl Defence Gmbh & Co. Kg Radar antenna
WO2023076563A1 (en) * 2021-10-29 2023-05-04 Purdue Research Foundation Intraocular pressure tonometers, methods of fabrication, and systems and methods for monitoring intraocular pressure

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI523637B (en) * 2013-09-26 2016-03-01 國立交通大學 Non-invasive intraocular pressure sensor
US20180160976A1 (en) * 2014-11-10 2018-06-14 Unist (Ulsan National Institute Of Science And Technology) Biosensor, transparent circuitry and contact lens including same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109700428A (en) * 2019-02-28 2019-05-03 中国人民解放军第306医院 A kind of cornea contact electrode and working method of built-in eye gaze tracking system
KR20200106582A (en) * 2019-03-04 2020-09-15 포항공과대학교 산학협력단 Smart Contact Lens for Intraocular Pressure Monitoring and Therapy
EP3861924A1 (en) * 2020-02-07 2021-08-11 Alfa Intes Industria Terapeutica Splendore S.r.l. Contact lens device and related pressure monitoring kit and system comprising the same
WO2022050451A1 (en) * 2020-09-04 2022-03-10 주식회사 화이바이오메드 Wirelessly-powered smart contact lens for intraocular pressure measurement and treatment of glaucoma patient

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