KR20170132657A - Photosensitive resin composition and photo-cured pattern prepared from the same - Google Patents

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Abstract

A photosensitive resin composition of the present invention comprises: an alkali soluble resin including a repeating unit containing an alicyclic epoxy group; a photopolymerization initiator including a compound represented by chemical formula 1; a photopolymerizable compound; and a solvent. A photo-cured pattern having an excellent elasticity recovery rate during curing and having hard properties with little deformation by external pressure can be formed from the photosensitive resin composition. The photo-cured pattern has high resolution, excellent substrate adhesion and excellent T/B ratios.

Description

감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조되는 광경화 패턴{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PHOTO-CURED PATTERN PREPARED FROM THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photocurable pattern produced therefrom. BACKGROUND ART < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 감광성 수지 조성물, 상기 조성물로 제조된 광경화 패턴 및 상기 광경화 패턴을 구비한 화상 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photo-curing pattern made of the composition, and an image display device having the photo-curing pattern.

일반적인 표시 장치는 상하 기판의 일정 간격을 유지하기 위하여 일정한 직경을 갖는 실리카 비드 또는 플라스틱 비드 등을 사용해 왔다. 그러나 그러한 비드들이 기판 상에 무작위적으로 분산되어 픽셀 내부에 위치하게 되는 경우, 개구율이 저하되고 빛샘 현상이 발생하는 문제가 있다. 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 표시 장치의 내부에 포토리소그래피에 의하여 형성된 스페이서를 사용하기 시작하였으며, 현재 대부분의 표시 장치에 사용되는 스페이서는 포토리소그래피에 의해 형성되고 있다.In general display devices, silica beads or plastic beads having a certain diameter have been used to maintain constant spacing of the upper and lower substrates. However, when such beads are randomly dispersed on the substrate and located inside the pixel, there is a problem that the aperture ratio is lowered and light leakage phenomenon occurs. In order to solve these problems, a spacer formed by photolithography has been used in a display device. Currently, a spacer used in most display devices is formed by photolithography.

포토리소그래피에 의한 스페이서의 형성 방법은 기판 위에 감광성 수지 조성물을 도포하고, 마스크를 통하여 자외선을 조사한 뒤, 현상 과정을 통하여 마스크에 형성된 패턴대로 기판상의 원하는 위치에 스페이서를 형성하는 것이다.A method of forming a spacer by photolithography is a method in which a photosensitive resin composition is coated on a substrate, ultraviolet rays are irradiated through the mask, and a spacer is formed at a desired position on the substrate in accordance with a pattern formed on the mask.

최근 들어, 스마트폰 및 태블릿 PC의 대중화로 터치 패널의 수요가 증가함에 따라, 표시 장치를 구성하는 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이의 간격을 유지하는 스페이서에는 기본적인 특성인 탄성 회복률이 요구될 뿐만 아니라 외부 압력에 의한 화소 변형이 없게 딱딱한(hard)특성 및 기재와의 밀착력 등이 요구되고 있다. 이에, 감광성 수지 조성물에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으나, 여전히 탄성 회복률, 기재와의 밀착력 등에서 요구를 충족시키지 못하고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, as a demand for a touch panel has increased due to popularization of smart phones and tablet PCs, a spacer, which maintains a gap between a color filter substrate and an array substrate constituting a display device, It is required to have a hard property and adhesion with a substrate so that there is no pixel deformation due to pressure. Thus, research on photosensitive resin compositions has been actively conducted, but still fails to satisfy demands for the elastic recovery rate, adhesiveness to a substrate, and the like.

일례로 한국공개특허 제2009-005686호에서는 불포화 카르본산 및/또는 불포화 카르본산 무수물과 지방족 다환식 에폭시 화합물의 공중합체인 바인더 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물을 기재하고 있으나, 기재와의 밀착력 및 탄성회복률에서 여전히 충족되지 못하고 있는 실정이다.For example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2009-005686 discloses a photosensitive resin composition comprising a binder resin that is a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and / or an unsaturated carboxylic anhydride and an aliphatic polycyclic epoxy compound. However, Is still not met.

한국공개특허 제2009-005686호Korea Patent Publication No. 2009-005686

본 발명은 경화 후 우수한 탄성 회복률을 가지면서도 외부 압력에 변형이 적은 딱딱한 특성을 갖는 광경화 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition capable of forming a photo-curable pattern having a hard elasticity recovery rate after hardening and a hard property with little external stress.

또한, 본 발명은 경화 시 고해상도의 패턴 구현이 가능한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of realizing a high resolution pattern upon curing.

또한 본 발명은 경화 시 형성된 패턴이 우수한 기판 밀착력을 가지는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having a substrate adhesion strength which is excellent in pattern formed during curing.

또한, 본 발명은 경화 시 우수한 T/B 비 값을 갖는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a photosensitive resin composition having an excellent T / B ratio value upon curing.

또한, 본 발명은 전술한 감광성 수지 조성물로 제조되는 광경화 패턴 및 상기 광경화 패턴을 구비한 화상 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide an image display device provided with the photo-curable pattern and the photo-curable pattern produced from the above-described photosensitive resin composition.

1. 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 알칼리 가용성 수지; 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하는 광중합 개시제; 광중합성 화합물; 및 용제를 포함하는, 감광성 수지 조성물:1. An alkali-soluble resin comprising a repeating unit containing an alicyclic epoxy group; A photopolymerization initiator comprising a compound represented by the following formula (1); Photopolymerizable compounds; And a solvent.

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

(화학식 1 중, R3은 C1-C20 알킬이고, R4 및 R5는 각각 독립적으로 C1-C20 알킬, C6-C20 아릴 또는 C3-C20 사이클로알킬이고, A는 니트로 또는 시아노임).(Wherein R 3 is C 1 -C 20 alkyl, R 4 and R 5 are each independently C 1 -C 20 alkyl, C 6 -C 20 aryl or C 3 -C 20 cycloalkyl, and A is nitro or cyano).

2. 위 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는,2. The resin composition according to 1 above, wherein the alkali-

하기 화학식 2 및 화학식 3으로 표시된 화합물들로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 화합물을 포함하여 중합된 제1 수지; 및A first resin polymerized with at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by the following formulas (2) and (3); And

상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 제2 수지를 포함하는, 감광성 수지 조성물:And a second resin comprising the repeating unit containing an alicyclic epoxy group.

[화학식 2](2)

Figure pat00002
Figure pat00002

(화학식 2 중, R1은 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시임)(Wherein R 1 is hydrogen, C 1 -C 12 alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C 1 -C 8 alkoxy)

[화학식 3](3)

Figure pat00003
Figure pat00003

(화학식 3 중, R-2는 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시이고, n은 1 내지 10의 정수임)(Wherein R < 2 > is hydrogen, C1-C12alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C1-C8alkoxy and n is an integer of 1 to 10)

3. 위 2에 있어서, 상기 제1 수지는 알킬 치환 말레이미드 또는 아릴 치환 말레이미드 함유 반복단위를 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.3. The photosensitive resin composition according to 2 above, wherein the first resin further comprises an alkyl-substituted maleimide or an aryl-substituted maleimide-containing repeating unit.

4. 위 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는,4. The positive resist composition according to item 1, wherein the alkali-

상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 제2 수지; 및A second resin comprising the alicyclic epoxy group-containing repeating unit; And

노르보넨(norbornene) 반복단위를 포함하는 제3 수지를 포함하는, 감광성 수지 조성물:A third resin comprising a norbornene repeating unit.

5. 위 4에 있어서, 상기 제3 수지는 벤젠 링 함유 반복단위, 카르복실산 함유 반복단위 및 아크릴레이트 반복단위로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 반복단위를 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.5. The photosensitive resin composition according to 4 above, wherein said third resin further comprises at least one repeating unit selected from the group consisting of a benzene ring-containing repeating unit, a carboxylic acid-containing repeating unit and an acrylate repeating unit.

6. 위 1에 있어서, 상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위는 하기 화학식 4 또는 화학식 5로 표시되는 화합물들로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나로부터 유래하는, 감광성 수지 조성물:6. The photosensitive resin composition according to item 1, wherein the alicyclic epoxy group-containing repeating unit is derived from at least one selected from the group consisting of compounds represented by the following formulas (4) and (5)

[화학식 4][Chemical Formula 4]

Figure pat00004
Figure pat00004

(화학식 4 중, R6는 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고;(Wherein R < 6 > is hydrogen or C1-C4 alkyl which is unsubstituted or substituted with a hydroxy group;

X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌임)X is a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a hetero atom)

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure pat00005
Figure pat00005

(화학식 5 중, R7는 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고;(Wherein R < 7 > is hydrogen or C1-C4 alkyl optionally substituted by hydroxy group;

X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌임).X is a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a heteroatom.

7. 위 1에 있어서, 화학식 1중 R3은 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, n-펜틸, i-펜틸, n-헥실 또는i-헥실이며,7. A compound according to item 1, wherein R < 3 > is selected from the group consisting of methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, - hexyl,

R4 내지 R5는 각각 독립적으로 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, n-펜틸,i-펜틸, n-헥실, i-헥실, 페닐, 나프틸, 바이페닐, 터페닐, 안트릴, 인데닐 또는 페난트릴인, 감광성 수지 조성물.R 4 to R 5 are each independently selected from the group consisting of methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t- butyl, n-pentyl, , Naphthyl, biphenyl, terphenyl, anthryl, indenyl or phenanthryl.

8. 위 1에 있어서, 상기 광중합 개시제는 아세토페논 유도체 화합물 또는 비이미다졸 유도체 화합물 중 적어도 1종을 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.8. The photosensitive resin composition according to 1 above, wherein the photopolymerization initiator further comprises at least one of an acetophenone derivative compound or a nonimidazole derivative compound.

9. 위 8에 있어서, 상기 광중합 개시제는 광중합 개시제의 총 중량에 대하여, 화학식 1의 화합물을 40 내지 90중량%로 포함하는, 감광성 수지 조성물.9. The photosensitive resin composition according to the above 8, wherein the photopolymerization initiator comprises 40 to 90% by weight of the compound of the general formula (1) based on the total weight of the photopolymerization initiator.

10. 위 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지 및 상기 광중합성 화합물의 고형분을 기준으로 합계 100중량부에 대하여, 상기 광중합 개시제의 함량은 0.1 내지 40중량부인, 감광성 수지 조성물.10. The photosensitive resin composition according to 1 above, wherein the content of the photopolymerization initiator is 0.1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight based on the solids of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound.

11. 위 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는 감광성 수지 조성물의 고형분을 기준으로 5 내지 90중량%로 포함되는, 감광성 수지 조성물.11. The photosensitive resin composition according to 1 above, wherein the alkali-soluble resin is contained in an amount of 5 to 90% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition.

12. 위 1 내지 11 중 어느 한 항의 감광성 수지 조성물로 제조된 광경화 패턴.12. A photocurable pattern produced from the photosensitive resin composition according to any one of the items 1 to 11 above.

13. 위 12에 있어서, 상기 광경화 패턴은 어레이 평탄화막 패턴, 보호막 패턴, 절연막 패턴, 포토레지스트 패턴, 블랙 매트릭스 패턴 및 스페이서 패턴으로 이루어진 군에서 선택되는 광경화 패턴.13. The photocurable pattern according to 12 above, wherein the photocurable pattern is selected from the group consisting of an array planarizing film pattern, a protective film pattern, an insulating film pattern, a photoresist pattern, a black matrix pattern and a spacer pattern.

14. 위 12의 광경화 패턴을 구비한 화상 표시 장치.14. An image display apparatus having the photocuring pattern of the twelfth aspect.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 경화 후 우수한 탄성 회복률을 가지면서도 외부 압력에 변형이 적은 딱딱한 특성을 갖는 광경화 패턴을 형성할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention can form a photo-curable pattern having a hardness characteristic with little deformation at external pressure while having excellent elastic recovery rate after curing.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 경화 시 고해상도의 패턴 구현이 가능하다Further, the photosensitive resin composition of the present invention can realize a high resolution pattern upon curing

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 경화 시 형성된 패턴이 우수한 기판 밀착력을 가진다.In addition, the photosensitive resin composition of the present invention has a good adhesion to the substrate when the pattern formed during curing is excellent.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 우수한 T/B 비 값을 나타낸다.Further, the photosensitive resin composition of the present invention shows an excellent T / B ratio.

따라서, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 광경화 패턴, 바람직하게는 스페이서 패턴 형성 및 화상 표시 장치의 제조에 유용하게 사용될 수 있다.Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention can be usefully used in the production of a photocurable pattern, preferably a spacer pattern and an image display device.

도 1은 T/B 비의 정의를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing the definition of a T / B ratio.

본 발명은 알칼리 가용성 수지, 광중합 개시제, 광중합성 화합물 및 용제를 포함하는 감광성 수지 조성물, 상기 조성물로 제조된 광경화 패턴 및 상기 광경화 패턴을 구비한 화상 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition comprising an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, a photopolymerizable compound and a solvent, a photocurable pattern produced from the composition, and an image display device having the photocured pattern.

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

<감광성 수지 조성물><Photosensitive resin composition>

광중합성 개시제Photopolymerization initiator

본 발명의 실시예들에 따른 감광성 수지 조성물은 광중합성 개시제를 포함하며, 상기 광중합성 개시제는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함한다. The photosensitive resin composition according to the embodiments of the present invention includes a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator includes a compound represented by the following general formula (1).

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure pat00006
Figure pat00006

화학식 3 중, R3은 C1-C20 알킬이고, R4 내지 R5은 각각 독립적으로 C1-C20 알킬, C6-C20 아릴 또는 C3-C20 사이클로알킬이고, A는 니트로 또는 시아노를 나타낸다.R 3 is C 1 -C 20 alkyl, R 4 to R 5 are each independently C 1 -C 20 alkyl, C 6 -C 20 aryl or C 3 -C 20 cycloalkyl, and A represents nitro or cyano.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 포함하는 광중합 개시제를 포함함으로써, 후술하는 알칼리 가용성 수지의 기대 효과를 극대화할 수 있으며, 감도가 우수하고, 또한 기판 밀착력이 우수한 패턴을 형성할 수 있으며, 형성된 패턴의 패턴안정성, 내열성 및 내화학성 등이 우수하다. The photosensitive resin composition of the present invention includes a photopolymerization initiator containing the compound represented by the above formula (3), thereby maximizing the expected effect of an alkali-soluble resin to be described later, forming a pattern having excellent sensitivity and excellent substrate adhesion And the pattern stability, heat resistance and chemical resistance of the formed pattern are excellent.

본 발명에 기재된 「알킬」, 「알콕시」 및 그 외 「알킬」부분을 포함하는 치환체는 직쇄 또는 분지 형태를 모두 포함하고, 「사이클로알킬」은 단일 고리계뿐만 아니라 복수의 고리계 탄화수소도 포함한다. 본 발명에 기재된 「아릴」은 하나의 수소 제거에 의해서 방향족 탄화수소로부터 유도된 유기 라디칼로, 각 고리에 적절하게는 4 내지 7개, 바람직하게는 5 또는 6개의 고리원자를 포함하는 단일 또는 융합고리계를 포함하며, 다수개의 아릴이 단일결합으로 연결되어 있는 형태까지 포함한다. 「히드록시알킬」은 상기에서 정의된 알킬기에 히드록시기가 결합된 OH-알킬을 의미하며, 「히드록시알콕시알킬」은 상기 히드록시알킬기에 알콕시기가 결합된 히드록시알킬-O-알킬을 의미한다.The substituents comprising the "alkyl", "alkoxy" and other "alkyl" moieties described in the present invention include both linear and branched forms, and "cycloalkyl" includes not only a single ring system but also a plurality of cyclic hydrocarbons . &Quot; Aryl &quot; in the present invention means an organic radical derived from an aromatic hydrocarbon by one hydrogen elimination and is a single or fused ring containing 4 to 7, preferably 5 or 6 ring atoms, And includes a form in which a plurality of aryls are connected by a single bond. &Quot; Hydroxyalkyl &quot; means OH-alkyl in which a hydroxy group is bonded to an alkyl group defined above, and &quot; hydroxyalkoxyalkyl &quot; means hydroxyalkyl-O-alkyl in which an alkoxy group is bonded to the hydroxyalkyl group.

또한, 본 발명에 기재되어 있는 'C1-C20 알킬'기는 바람직하게는 C1-C10 알킬이고, 보다 바람직하게는 C1-C6 알킬이다. 'C6-C20 아릴'기는 바람직하게는 C6-C18 아릴이다. 'C1-C20 알콕시'기는 바람직하게는 C1-C10 알콕시이고, 보다 바람직하게는 C1-C4 알콕시이다. 'C6-C2 아릴 C1-C20알킬'기는 바람직하게는 C6-C18 아릴 C1-C10 알킬이고, 보다 바람직하게는 C6-C18 아릴 C1-C6 알킬이다. '히드록시 C1-C20 알킬'기는 바람직하게는 히드록시 C1-C10 알킬이고, 보다 바람직하게는 히드록시 C1-C6 알킬이다. '히드록시 C1-C20 알콕시 C1-C20 알킬'기는 바람직하게는 히드록시 C1-C10 알콕시 C1-C10 알킬이고, 보다 바람직하게는 히드록시 C1-C4 알콕시 C1-C6 알킬이다. ' C3-C20 사이클로알킬'기는 바람직하게는 C3-C10 사이클로알킬이다.In addition, the 'C1-C20 alkyl' group described in the present invention is preferably C1-C10 alkyl, more preferably C1-C6 alkyl. The 'C6-C20 aryl' group is preferably C6-C18 aryl. The 'C1-C20 alkoxy' group is preferably C1-C10 alkoxy, more preferably C1-C4 alkoxy. The 'C6-C2 aryl C1-C20 alkyl' group is preferably C6-C18 aryl C1-C10 alkyl, more preferably C6-C18 aryl C1-C6 alkyl. The 'hydroxyC1-C20 alkyl' group is preferably hydroxyC1-C10 alkyl, more preferably hydroxyC1-C6 alkyl. The 'hydroxyC1-C20 alkoxyC1-C20 alkyl' group is preferably hydroxyC1-C10 alkoxyC1-C10 alkyl, more preferably hydroxyC1-C4 alkoxyC1-C6 alkyl. The 'C3-C20 cycloalkyl' group is preferably C3-C10 cycloalkyl.

구체적으로 상기 R3 내지 R5는 각각 독립적으로 수소, 브로모, 클로로, 아이오도, 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, n-펜틸, i-펜틸, n-헥실, i-헥실, 페닐, 나프틸, 바이페닐, 터페닐, 안트릴, 인데닐, 페난트릴, 메톡시, 에톡시, n-프로필옥시, i-프로필옥시, n-부톡시, i-부톡시, t-부톡시, 히드록시메틸, 히드록시에틸, 히드록시n-프로필, 히드록시n-부틸, 히드록시i-부틸, 히드록시n-펜틸, 히드록시i-펜틸, 히드록시n-헥실, 히드록시i-헥실, 히드록시메톡시메틸, 히드록시메톡시에틸, 히드록시메톡시프로필, 히드록시메톡시부틸, 히드록시에톡시메틸, 히드록시에톡시에틸, 히드록시에톡시프로필, 히드록시에톡시부틸, 히드록시에톡시펜틸 또는 히드록시에톡시헥실이고; Specifically, R 3 to R 5 are each independently selected from the group consisting of hydrogen, bromo, chloro, iodo, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n- propyloxy, i-propyloxy, n-pentyl, n-hexyl, i-hexyl, phenyl, naphthyl, biphenyl, terphenyl, anthryl, indenyl, phenanthryl, methoxy, ethoxy, Butoxy, i-butoxy, t-butoxy, hydroxymethyl, hydroxyethyl, hydroxy n-propyl, hydroxy n-butyl, hydroxy i-butyl, hydroxy n-pentyl, , Hydroxy n-hexyl, hydroxy i-hexyl, hydroxymethoxymethyl, hydroxymethoxyethyl, hydroxymethoxypropyl, hydroxymethoxybutyl, hydroxyethoxymethyl, hydroxyethoxyethyl, Hydroxyethoxybutyl, hydroxyethoxypentyl or hydroxyethoxyhexyl; &lt; RTI ID = 0.0 &gt; R &lt; / RTI &gt;

A는 수소, 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, 페닐, 나프틸, 바이페닐, 터페닐 안트릴, 인데닐, 페난트릴, 메톡시, 에톡시, 프로필옥시, 부톡시, 히드록시메틸, 히드록시에틸, 히드록시프로필, 히드록시부틸, 히드록시메톡시메틸, 히드록시메톡시에틸, 히드록시메톡시프로필, 히드록시메톡시부틸, 히드록시에톡시메틸, 히드록시에톡시에틸, 히드록시에톡시프로필, 히드록시에톡시부틸, 아미노, 니트로, 시아노 또는 히드록시일 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다.A is selected from the group consisting of hydrogen, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i- butyl, t- butyl, phenyl, naphthyl, biphenyl, terphenyl anthryl, indenyl, And examples thereof include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, isobutyl, sec-butyl, Hydroxyethoxyethyl, hydroxyethoxypropyl, hydroxyethoxybutyl, amino, nitro, cyano or hydroxy, but is not limited thereto.

보다 구체적으로는 상기 R3은 수소 또는 n-부틸이고; R4는 메틸이며; R5는 메틸, n-부틸 또는 페닐일 수 있다.More specifically, R &lt; 3 &gt; is hydrogen or n-butyl; R &lt; 4 &gt; is methyl; R &lt; 5 &gt; may be methyl, n-butyl or phenyl.

본 발명에 따른 광중합 개시제는 상기 화학식 1으로 표시되는 화합물에 부가하여 아세토페논 유도체 화합물 또는 비이미다졸 유도체 화합물 중 적어도 1종을 더 포함할 수 있다. 아세토페논 유도체 화합물 또는 비이미다졸 유도체 화합물을 추가적으로 병용할 때에 우수한 기판 밀착력과 함께 패턴의 T/B비 값을 더욱 향상시킬 수 있다.The photopolymerization initiator according to the present invention may further include at least one of an acetophenone derivative compound or a nonimidazole derivative compound in addition to the compound represented by the above formula (1). When the acetophenone derivative compound or the imidazole derivative compound is additionally used, the T / B ratio of the pattern can be further improved with excellent substrate adhesion.

T/B비란, 도 1에 도시된 바와 같이, 스페이서 패턴에 있어서 상부의 직경을 하부의 직경으로 나눈 값으로, T/B비 값이 클수록 바람직하다. 본 발명에 있어서, 패턴의 상부는 패턴의 전체 높이에 대해서 바닥면으로부터 전체 높이의 95%인 지점의 수평면으로 정의되고, 패턴의 하부는 패턴의 전체 높이에 대해서 바닥면으로부터 전체 높이의 5%인 지점의 수평면으로 정의된다.As shown in Fig. 1, the T / B ratio is a value obtained by dividing the diameter of the upper portion by the diameter of the lower portion in the spacer pattern, and the larger the T / B ratio is, the more preferable. In the present invention, the upper part of the pattern is defined as a horizontal plane at a point 95% of the total height from the bottom plane with respect to the total height of the pattern, and the lower part of the pattern is 5% It is defined as the horizontal plane of the point.

상기 아세토페논 유도체 화합물로서는, 예를 들면, 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머, 디페닐(2,4,6-트리메틸벤조일)-포스핀옥사이드등을 들 수 있다.Examples of the acetophenone derivative compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2- 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1- (2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propane -1-one oligomers, diphenyl (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phosphine oxide, and the like.

상기 비이미다졸 화합물로서는, 예를 들면 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸, 4,4',5,5' 위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서 2,2'비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라 페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'4-트리스(2-클로로페닐)-5-(3,4-디메톡시페닐)-4',5'-디페닐-1,1'-비이미다졸이 바람직하게 사용된다.Examples of the imidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'- Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl) (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole, the phenyl group at the 4,4', 5,5 ' An imidazole compound substituted by an alkoxy group, and the like. Of these, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3- Tetraphenylbiimidazole, 2,2'4-tris (2-chlorophenyl) -5- (3,4-dimethoxyphenyl) -4 ', 5'- -Imidazole is preferably used.

상기 광중합 개시제는 광중합 개시제의 총중량에 대하여, 상기 화학식 1로 표시되는 화합물을 40 내지 90중량%로 포함하는 것이 바람직하며, 40 내지 70중량%로 포함하는 것이 보다 바람직 하다. 상기 범위에 있을 때 더욱 향상된 패턴의 T/B비 값을 얻을 수 있다.The photopolymerization initiator preferably contains 40 to 90% by weight, more preferably 40 to 70% by weight, of the compound represented by Formula 1, based on the total weight of the photopolymerization initiator. The T / B ratio value of a further improved pattern can be obtained.

아세토페논 유도체 및 비이미다졸 유도체의 함량비는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면 1:9 내지 9:1일 수 있다.The content ratio of the acetophenone derivative and the nonimidazole derivative is not particularly limited, and can be, for example, from 1: 9 to 9: 1.

또한, 본 발명의 효과를 손상하지 않는 정도이면 이 분야에서 통상 사용되고 있는 그 밖의 광중합 개시제 등을 추가로 병용할 수도 있다. 예를 들면 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 안트라센계 화합물 등이 더 포함될 수 있다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.Further, as long as the effect of the present invention is not impaired, other photopolymerization initiators generally used in this field may be further used in combination. For example, benzoin-based compounds, benzophenone-based compounds, thioxanthone-based compounds, anthracene-based compounds, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 광중합 개시제에는 광중합 개시 보조제를 조합하여 사용할 수도 있다. 상기 광중합 개시제에 광중합 개시 보조제를 병용하면, 이들을 함유하는 감광성 수지 조성물은 더욱 고감도가 되어 스페이서 형성시 생산성의 향상을 도모할 수 있으므로 바람직하다. The photopolymerization initiator may be used in combination with a photopolymerization initiator. When the photopolymerization initiator is used in combination with the photopolymerization initiator, the photosensitive resin composition containing the photopolymerization initiator is more preferable because productivity can be improved when the spacer is formed.

상기 광중합 개시 보조제로서는 아민 화합물, 카르복실산 화합물이 바람직하게 사용된다. As the photopolymerization initiation auxiliary, an amine compound or a carboxylic acid compound is preferably used.

광중합 개시제의 사용량은 후술하는 알칼리 가용성 수지 및 광중합성 화합물의 합계 100중량부에 대하여, 0.1 내지 40중량부, 바람직하게는 1 내지 30중량부이다. 상기의 함량 범위에서 감광성 수지 조성물이 고감도화 되어 이 조성물을 사용하여 형성한 스페이서의 강도나 평활성이 양호하게 되기 때문에 바람직하다.The amount of the photopolymerization initiator to be used is 0.1 to 40 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound to be described later. It is preferable that the photosensitive resin composition is highly sensitized in the above content range so that the strength and smoothness of the spacer formed using the composition become good.

알칼리 가용성 수지Alkali-soluble resin

알칼리 가용성 수지는 기재에의 밀착력을 부여하여 도막 형성을 가능케 하는 바인더 수지로서 제공될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는 광이나 열에 반응성을 가지면서 현상 공정에서 사용되는 알칼리 현상액에 대해 용해성을 가질 수 있다.The alkali-soluble resin may be provided as a binder resin capable of forming a coating film by imparting adhesion to a substrate. According to exemplary embodiments, the alkali-soluble resin may have solubility in an alkali developing solution used in a developing process while being reactive to light or heat.

예시적인 실시예들에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는 본 발명에 따른 알칼리 가용성 수지는 하기 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 화합물로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11)을 포함하여 중합된 제1 수지를 포함할 수 있다.According to exemplary embodiments, the alkali-soluble resin is a resin in which the alkali-soluble resin according to the present invention comprises at least one compound (a11) selected from compounds represented by the following general formula (2) or (3) . &Lt; / RTI &gt;

[화학식 2](2)

Figure pat00007
Figure pat00007

화학식 2 중, R1은 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시를 나타낼 수 있다.In formula (2), R 1 may represent hydrogen, C 1 -C 12 alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C 1 -C 8 alkoxy.

[화학식 3](3)

Figure pat00008
Figure pat00008

화학식 3 중, R-2는 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시이고, n은 1 내지 10의 정수일 수 있다.In formula (3), R- 2 is hydrogen, C 1 -C 12 alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C 1 -C 8 alkoxy, and n may be an integer of 1 to 10.

본 발명에 따른 알칼리 가용성 수지는 벌키(bulky)한 상기 화학식 2 또는 화학식 3으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에서 유래되는 반복단위를 포함함에 따라, 경화 시에 필름밀도(film density)의 상승으로 우수한 탄성 회복률을 가지면서도 외부 압력에 변형이 적은 딱딱한 특성을 갖는 광경화 패턴을 형성할 수 있으며, 고해상도의 패턴을 형성할 수 있다.The alkali-soluble resin according to the present invention contains a repeating unit derived from at least one compound selected from the group consisting of the bulky compounds (2) and (3), and is excellent in the increase of the film density at the time of curing It is possible to form a photo-curable pattern having a rigid property with little elastic deformation at an external pressure while having an elastic recovery rate, and a high-resolution pattern can be formed.

본 발명에 따른 알칼리 가용성 수지의 상기 제1 수지는 화학식 2 또는 화학식 3으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11)외에도 알칼리 가용성을 나타내기 위해 당분야에 공지된 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12)을 더 포함하여 중합될 수 있다.The first resin of the alkali-soluble resin according to the present invention may contain, in addition to at least one compound (a11) selected from the general formulas (2) and (3), a compound having an unsaturated bond and a carboxyl group ). &Lt; / RTI &gt;

상기 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12)은 중합이 가능한 불포화 이중 결합을 갖는 카르복실산 화합물이라면 제한없이 사용할 수 있다. 상기 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12)은 예를 들어 불포화 모노카르복실산이나, 불포화 디카르복실산 또는 불포화 트리카르복실산과 같이 분자 중에 2개 이상의 카르복실기를 갖는 다카 카르복실산 등을 들 수 있다. 상기 불포화 모노카르복실산은 예를 들어 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산 등을 들 수 있다. 상기 불포화 다가 카르복실산은 예를 들어 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등을 들 수 있다. 상기 다가 카르복실산은 산 무수물일 수도 있으며, 상기 불포화 다가 카르복실산 무수물은 예를 들어 말레산 무수물, 이타콘산 무수물, 시트라콘산 무수물 등을 들 수 있다. 또한, 상기 불포화 다가 카르복실산은 그의 모노(2-메타크릴로일옥시알킬)에스테르일 수도 있으며, 예를 들면 숙신산모노(2-아크릴로일옥시에틸), 숙신산모노(2-메타크릴로일옥시에틸), 프탈산모노(2-아크릴로일옥시에틸), 프탈산모노(2-메타크릴로일옥시에틸) 등을 들 수 있다. 상기 불포화 다가 카르복실산은 그 양말단 디카르복시 중합체의 모노(메타)아크릴레이트일 수도 있으며, 예를 들면 ω-카르복시폴리카프로락톤모노아크릴레이트, ω-카르복시폴리카프로락톤모노메타크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한 상기 불포화 다가 카르복실산은 동일 분자 중에 히드록시기 및 카르복실기를 함유하는 불포화 아크릴레이트일 수도 있으며, 예를 들면, α-(히드록시메틸)아크릴산 등을 들 수 있다. 이들 중, 아크릴산, 메타크릴산, 무수 말레산 등이 공중합 반응성 높은 점에서 바람직하게 사용된다. The compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group can be used without limitation as long as it is a carboxylic acid compound having an unsaturated double bond capable of being polymerized. The compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group may include, for example, an unsaturated monocarboxylic acid, a dicarboxylic acid having two or more carboxyl groups in the molecule such as an unsaturated dicarboxylic acid or an unsaturated tricarboxylic acid, and the like have. Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Examples of the unsaturated polycarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, and the like. The polyvalent carboxylic acid may be an acid anhydride, and examples of the unsaturated polycarboxylic acid anhydride include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may also be a mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester thereof, for example, mono (2-acryloyloxyethyl) succinate, mono (2-methacryloyloxy Ethyl), phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl), phthalic acid mono (2-methacryloyloxyethyl), and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be mono (meth) acrylate of the dicarboxylic polymer of both ends thereof, and examples thereof include ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate, and the like. have. The unsaturated polycarboxylic acid may be an unsaturated acrylate containing a hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule, for example,? - (hydroxymethyl) acrylic acid. Of these, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferably used because of high copolymerization reactivity.

상기 예시한 (a12)은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The above exemplified (a12) may be used alone or in combination of two or more.

또한, 본 발명에 따른 제1 수지는 상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13)을 더 포함하여 중합될 수 있다. The first resin according to the present invention may further be polymerized by further including a compound (a13) copolymerized with (a11) and (a12) and having an unsaturated bond.

상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13)은 중합이 가능한 불포화 이중 결합을 갖는 화합물이라면 제한되지 않는다. 구체적으로 상기 (a13)은 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-o-페닐페놀프로필아크릴레이트, 아미노에틸(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복실산의 비치환 또는 치환 알킬에스테르 화합물, 시클로펜틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 메틸시클로헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헵틸(메타)아크릴레이트, 시클로옥틸(메타)아크릴레이트, 멘틸(메타)아크릴레이트, 시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥세닐(메타)아크릴레이트, 시클로헵테닐(메타)아크릴레이트, 시클로옥테닐(메타)아크릴레이트, 멘타디에닐(메타)아크릴레이트, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 피나닐(메타)아크릴레이트, 아다만틸(메타)아크릴레이트, 노르보르닐(메타)아크릴레이트, 피네닐(메타)아크릴레이트 등의 지환식 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물, 올리고에틸렌클리콜 모노알킬(메타)아크릴레이트 등의 글리콜류의 모노포화 카르복실산 에스테르 화합물, 벤질(메타)아크릴레이트, 페녹시(메타)아크릴레이트 등의 방향환을 갖는 치환기를 포함하는 불포화 카르복실산 에스테르 화합물, 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔 등의 방향족 비닐 화합물, 아세트산 비닐, 프로피온산 비닐 등의 카르복실산 비닐에스테르,(메타)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로 니트릴 등의 시안화 비닐 화합물, N-알킬 말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-페닐말레이미드, N-벤질말레이미드 등의 말레이미드 화합물 등을 들 수 있다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있으며, 본 명세서 기재된 (메타)아크릴레이트란 아크릴레이트 및(또는) 메타크릴레이트를 의미한다.The compound (a13) copolymerized with (a11) and (a12) and having an unsaturated bond is not limited as long as it is a compound having an unsaturated double bond capable of polymerization. Specifically, the above-mentioned (a13) is at least one monomer selected from the group consisting of methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxy- (Meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (Meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (Meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl Unsaturated carboxylic acid ester compounds containing an alicyclic substituent such as acrylate and acrylate (meth) acrylate, mono-saturated carboxylic acid ester compounds of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate and phenoxy (meth) acrylate, aromatic vinyl compounds such as styrene,? -Methylstyrene and vinyltoluene, vinyl acetate, vinyl propionate (Meth) acrylonitrile,? -Chloroacrylonitrile, and other cyanide vinyl compounds, N-alkylmaleimides, N-cyclohexylmaleimides, N-phenylmaleimides, N- And maleimide compounds such as maleimide. These may be used alone or in combination of two or more, and the (meth) acrylates described in this specification means acrylate and / or methacrylate.

예를 들면, 상기 제1 수지는 상기 말레이미드 화합물로부터 유래된 알킬 치환 말레이미드 또는 아릴 치환 말레이미드를 함유하는 반복단위를 포함할 수 있다. 상기 말레이미드 함유 반복단위에 의해 상기 제1 수지의 열경화성이 보다 향상될 수 있다.For example, the first resin may comprise repeating units containing an alkyl-substituted maleimide or an aryl-substituted maleimide derived from the maleimide compound. The thermosetting property of the first resin can be further improved by the maleimide-containing repeating unit.

상기 제1 수지는, 제1 수지를 구성하는 (a11), (a12) 및 (a13)의 총 몰수를 기준으로 하여, 화학식 1 및 화학식 2로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11) 2 내지 30몰%, 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12) 2 내지 70몰%, 및 상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13) 2 내지 95몰%을 공중합하여 얻어지는 것일 수 있으며, 바람직하게는 화학식 1 및 화학식 2로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11) 5 내지 30몰%, 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12) 5 내지 65몰%, 및 상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13) 5 내지 80몰%을 공중합하여 얻어지는 것일 수 있다. 상기 범위인 경우, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계강도가 양호한 감광성 수지 조성물의 제조가 가능하다.(A11), (a12), and (a13) constituting the first resin, at least one compound (a11) selected from the group consisting of Formulas (1) and (2) 2 to 30 mol% of a compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group, 2 to 70 mol% of a compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group, and 2 to 95 mol% , Preferably 5 to 30 mol% of at least one compound (a11) selected from the group consisting of the formulas (1) and (2), 5 to 65 mol% of the compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group, May be obtained by copolymerizing 5 to 80 mol% of a compound (a13) copolymerized with the above (a11) and (a12) and having an unsaturated bond. In the above range, it is possible to produce a photosensitive resin composition having good developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength.

또한, 상기 알칼리 가용성 수지(A) 중 제1 수지는 상기 (a11), (a12), 및 (a13)에 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(a14)을 더 공중합하여 얻어질 수 있으며, 이외의 단량체 화합물이 더 포함되어 공중합될 수도 있다.The first resin in the alkali-soluble resin (A) can be obtained by further copolymerizing the compound (a14) having an unsaturated bond and an epoxy group in the above (a11), (a12) and (a13) Compounds may be further included and copolymerized.

상기 (a14)는 알칼리 가용성 수지에 광/열경화성을 부여한다. 상기 (a14)는 구체적으로 글리시딜(메타) 아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메타)아크릴레이트, 2,3-에폭시시클로펜틸(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트, 메틸 글리시딜(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트), 메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3.4-에폭시트리시클로[5.2.1.0 2,6]데칸-9-일(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용될 수 있다.(A14) imparts light / heat curability to the alkali-soluble resin. Specifically, (a14) is preferably at least one member selected from the group consisting of glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclopentyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (Meth) acrylate, methylglycidyl (meth) acrylate, 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate), methylglycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2 6] decan-9-yl (meth) acrylate. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 제1 수지는, 제1 수지를 구성하는 (a11), (a12), (a13) 및 (a14)의 총 몰수를 기준으로 하여, 화학식 2 또는 화학식 3으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11) 2 내지 30몰%, 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12) 2 내지 70몰%, 및 상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13) 2 내지 95몰%와, 상기 (a12)의 몰수를 기준으로 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(a14) 5 내지 80몰%가 공중합하여 얻어지는 것일 수 있으며, 바람직하게는 화학식 2 또는 화학식 3으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물(a11) 5 내지 30몰%, 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12) 5 내지 65몰%, 및 상기 (a11) 및 (a12)와 공중합되며 불포화 결합을 갖는 화합물(a13) 5 내지 80몰%와, 상기 (a12)의 몰수를 기준으로 불포화 결합과 에폭시기를 갖는 화합물(a14) 10 내지 80몰%가 공중합하여 얻어지는 것일 수 있다. 상기 범위인 경우, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계강도가 양호한 감광성 수지 조성물의 제조가 가능하다.(A11), (a12), (a13) and (a14) constituting the first resin, at least one compound selected from the general formulas (2) and (3) And 2 to 70 mol% of a compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group, and 2 to 95 mol% of a compound (a13) copolymerized with the above (a11) and (a12) May be obtained by copolymerizing 5 to 80 mol% of a compound (a14) having an unsaturated bond and an epoxy group based on the number of moles of the compound (a12), preferably at least one compound (a11 ) And 5 to 65 mol% of a compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group, and 5 to 80 mol% of a compound (a13) copolymerized with the unsaturated bond (a11) (A14) having an unsaturated bond and an epoxy group based on the number of moles of (a12) It may be obtained by the copolymerization%. In the above range, it is possible to produce a photosensitive resin composition having good developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength.

본 발명에 따른 제1 수지는 그의 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량이 3,000 내지 100,000의 범위에 있는 것이 바람직하고, 5,000 내지 50,000의 범위에 있는 것이 보다 바람직하다. 상기 제1 수지의 중량평균 분자량이 3,000 내지 100,000의 범위에 있으면 화소 변형이 없는 딱딱한(hard) 특성을 나타내게 된다. The first resin according to the present invention preferably has a weight average molecular weight in terms of polystyrene of 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the first resin is in the range of 3,000 to 100,000, it exhibits hard properties without pixel deformation.

상기 제1 수지의 분자량 분포 [중량평균분자량(Mw)/수평균분자량(Mn)]는 1.5 내지 6.0 인 것이 바람직하고, 1.8 내지 4.0인 것이 보다 바람직하다. 분자량분포 [중량평균분자량(Mw)/수평균분자량(Mn)]가 1.5 내지 6.0 이면 현상성이 우수하기 때문에 바람직하다.The molecular weight distribution (weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)) of the first resin is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. When the molecular weight distribution (weight-average molecular weight (Mw) / number-average molecular weight (Mn)) is 1.5 to 6.0, development is preferable.

또한, 본 발명에 따른 알칼리 가용성 수지(A)는 지환식 에폭시기를 갖는 화합물(a21)을 포함하여 중합된 제2 수지를 포함한다. 이에 따라, 상기 제2 수지는 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함할 수 있다. 본 발명은 제2 수지를 포함함으로써, 우수한 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계적 강도를 나타낼 수 있다.Further, the alkali-soluble resin (A) according to the present invention comprises a second resin polymerized with a compound (a21) having an alicyclic epoxy group. Accordingly, the second resin may contain a repeating unit containing an alicyclic epoxy group. By including the second resin, the present invention can exhibit excellent developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength.

바람직하게는, 상기 지환식 에폭시기를 갖는 화합물(a21)은 하기 화학식 4 및 화학식 5 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. Preferably, the compound (a21) having an alicyclic epoxy group may include at least one of the following general formulas (4) and (5).

[화학식 4][Chemical Formula 4]

Figure pat00009
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화학식 4 중, R6는 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고; X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌을 나타낼 수 있다. 상기 단일 결합이란 산소와 고리가 바로 연결됨을 의미할 수 있다.In the general formula (4), R 6 is hydrogen or C 1 -C 4 alkyl which is unsubstituted or substituted with a hydroxy group; X may represent a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a heteroatom. The single bond may mean that oxygen and the ring are directly connected.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure pat00010
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화학식 5 중, R7은 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고; X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌을 나타낼 수 있다. 상기 단일 결합이란 산소와 고리가 바로 연결됨을 의미할 수 있다.In formula (5), R 7 is hydrogen or C 1 -C 4 alkyl optionally substituted by hydroxy group; X may represent a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a heteroatom. The single bond may mean that oxygen and the ring are directly connected.

본 발명에 따른 제2 수지는 알칼리 가용성을 나타내기 위해 상기 지환식 에폭시 화합물(a21)에 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a22)를 더 포함하여 중합된 것일 수 있다.The second resin according to the present invention may be polymerized by further containing a compound (a22) having an unsaturated bond and a carboxyl group in the alicyclic epoxy compound (a21) to exhibit alkali solubility.

상기 불포화결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a22)은 전술한 불포화기 함유 제1 수지의 (a12)에서 설명한 바와 같은 것을 선택하여 사용할 수 있으며, 따라서 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The compound (a22) having an unsaturated bond and a carboxyl group can be selected from those described in the above-mentioned unsaturated group-containing first resin (a12), and a detailed description thereof will be omitted.

상기 화학식 4의 R6 또는 화학식 5의 R7은 각각 독립적으로 수소; 메틸, 에틸, n-프로필, 이소프로필, n-부틸, sec-부틸, tert-부틸 등의 알킬; 히드록시메틸, 1-히드록시에틸, 2-히드록시에틸, 1-히드록시-n-프로필, 2-히드록시-n-프로필, 3-히드록시-n-프로필, 1-히드록시-이소프로필, 2-히드록시-이소프로필, 1-히드록시-n-부틸, 2-히드록시-n-부틸, 3-히드록시-n-부틸, 4-히드록시-n-부틸 등의 히드록시 함유 알킬기일 수 있다. 그 중에서도 상기 R6 또는 R7은 각각 독립적으로 수소, 메틸, 히드록시메틸, 1-히드록시에틸 또는 2-히드록시에틸인 것이 바람직하며, 특히 수소 또는 메틸인 것이 더욱 바람직하다.R 6 in Formula 4 or R 7 in Formula 5 are each independently hydrogen; Alkyl such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, sec-butyl, Hydroxy-n-propyl, 3-hydroxy-n-propyl, 1-hydroxy-isopropyl , A hydroxy-containing alkyl group such as 2-hydroxy-isopropyl, 1-hydroxy-n-butyl, 2-hydroxy-n-butyl, 3-hydroxy- Lt; / RTI &gt; Among them, R 6 or R 7 is preferably independently hydrogen, methyl, hydroxymethyl, 1-hydroxyethyl or 2-hydroxyethyl, more preferably hydrogen or methyl.

상기 화학식 4 및 5에서 X는 구체적으로는, 단일결합; 메틸렌, 에틸렌, 프로필렌 등의 알킬렌; 옥시메틸렌, 옥시에틸렌기, 옥시프로필렌, 티오메틸렌, 티오에틸렌, 티오프로필렌, 아미노메틸렌, 아미노에틸렌, 아미노프로필렌 등의 헤테로 원자 함유 알킬렌일 수 있다. 그 중에서도, X는 단일결합, 메틸렌, 에틸렌, 옥시메틸렌 또는 옥시에틸렌인 것이 바람직하고, 특히 단일결합 또는 옥시에틸렌인 것이 더욱 바람직하다.In the formulas 4 and 5, X is specifically a single bond; Alkylenes such as methylene, ethylene and propylene; Containing alkylene such as methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, heptylene, heptylene, heptylene, Among them, X is preferably a single bond, methylene, ethylene, oxymethylene or oxyethylene, more preferably a single bond or oxyethylene.

상기 화학식 4로 표시되는 화합물로는 구체적으로 하기 화학식 4-1 내지 4-14의 화합물을 예시할 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (4) include compounds represented by the following formulas (4-1) to (4-14).

[화학식 4-1] [화학식 4-2][Formula 4-1] [Formula 4-2]

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[화학식 4-3] [화학식 4-4][Formula 4-3] [Formula 4-4]

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[화학식 4-5] [화학식 4-6][Formula 4-5] [Formula 4-6]

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[화학식 4-7] [화학식 4-8][Chemical Formula 4-7] [Chemical Formula 4-8]

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[화학식 4-9] [화학식 4-10][Formula 4-9] [Formula 4-10]

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[화학식 4-11] [화학식 4-12][Chemical Formula 4-11] [Chemical Formula 4-12]

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[화학식 4-13] [화학식 4-14][Chemical Formula 4-13] [Chemical Formula 4-14]

Figure pat00023
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상기 화학식 5로 표시되는 화합물로는 구체적으로 하기 화학식 5-1 내지 5-14의 화합물을 예시할 수 있다.Examples of the compound represented by the formula (5) include compounds represented by the following formulas (5-1) to (5-14).

[화학식 5-1] [화학식 5-2][Formula 5-1] [Formula 5-2]

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[화학식 5-3] [화학식 5-4][Formula 5-3] [Formula 5-4]

Figure pat00027
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[화학식 5-5] [화학식 5-6][Formula 5-5] [Formula 5-6]

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[화학식 5-7] [화학식 5-8][Chemical Formula 5-7] [Chemical Formula 5-8]

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[화학식 5-9] [화학식 5-10][Formula 5-9] [Formula 5-10]

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[화학식 5-11] [화학식 5-12][Formula 5-11] [Formula 5-12]

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[화학식 5-13] [화학식 5-14][Chemical Formula 5-13] [Chemical Formula 5-14]

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상기 화학식 4로 표시되는 화합물 또는 화학식 5로 표시되는 화합물로 예시되는 화합물들은 각각 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다.The compound represented by the formula (4) or the compound represented by the formula (5) may be used alone or in combination of two or more.

또한, 상기 제2 수지는 상기 (a21) 및 (a22) 이외에 (a21) 및 (a22)와 중합 가능한 불포화 결합을 갖는 화합물로 공중합될 수 있으며, 예컨대, 제2 수지는 (a21) 및 (a22)와 함께, 2-아미노에틸아크릴레이트, 2-아미노에틸메타크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸메타크릴레이트, 2-아미노프로필아크릴레이트, 2-아미노프로필메타크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필메타크릴레이트, 3-아미노프로필아크릴레이트, 3-아미노프로필메타크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필메타크릴레이트 등의 불포화 카르복실산 아미노알킬에스테르류; 아세트산비닐, 프로피온산비닐, 부티르산비닐, 벤조산비닐 등의 카르복실산비닐에스테르류; 비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르 등의 불포화에테르류; 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, ?-클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴 등의 시안화 비닐 화합물; 아크릴아미드, 메타크릴아미드, ?-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸아크릴아미드, N-2-히드록시에틸메타크릴아미드 등의 불포화 아미드류; 말레이미드, 벤질말레이미드, N-페닐말레이미드. N-시클로헥실말레이미드 등의 불포화이미드류; 1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 지방족 공액 디엔류; 및 폴리스티렌, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리-n-부틸아크릴레이트, 폴리-n-부틸메타크릴레이트, 폴리실록산의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아크릴로일기 또는 모노메타크릴로일기를 갖는 거대 단량체류 등과도 공중합될 수 있다.The second resin may be copolymerized with a compound having an unsaturated bond polymerizable with (a21) and (a22) in addition to (a21) and (a22) Aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-aminopropyl methacrylate, Dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3- Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters; Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate; Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether; Vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile,? -Chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide; Unsaturated amides such as acrylamide, methacrylamide,? -Chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl acrylamide and N-2-hydroxyethyl methacrylamide; Maleimide, benzyl maleimide, N-phenyl maleimide. Unsaturated imides such as N-cyclohexylmaleimide; Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene; And a monoacryloyl group or monomethacryloyl group at the end of the polymer molecular chain of polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, Such as macromonomers and the like.

상기 제2 수지는, 제2 수지를 구성하는 (a21) 및 (a22)의 총 몰수를 기준으로 하여, 상기 지환식 에폭시기를 갖는 화합물(a21) 5 내지 95몰% 및 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a22) 5 내지 75몰%를 공중합하여 얻어지는 것일 수 있으며, 바람직하게는, 및 상기 지환식 에폭시기를 갖는 화합물(a21) 30 내지 90몰% 및 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a22) 10 내지 70몰%를 공중합하여 얻어지는 것일 수 있다. 상기 범위인 경우, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계강도가 양호한 감광성 수지 조성물의 제조가 가능하다.(A21) and (a22) constituting the second resin, the amount of the compound (a21) which contains the alicyclic epoxy group-containing compound (a21) in an amount of 5 to 95 mol% and the compound having an unsaturated bond and a carboxyl group (a22), preferably 30 to 90 mol% of the compound (a21) having an alicyclic epoxy group and 10 to 70 mol% of a compound (a22) having an unsaturated bond and a carboxyl group, Mol% of the copolymer. In the above range, it is possible to produce a photosensitive resin composition having good developability, solvent resistance, heat resistance and mechanical strength.

상기 제2 수지는 산가가 20 내지 200(KOH㎎/g)의 범위인 것이 바람직하다. 산가가 상기 범위에 있으면, 우수한 탄성 복원율을 갖는 스페이서의 제조가 가능하게 된다.The acid value of the second resin is preferably in the range of 20 to 200 (KOH mg / g). When the acid value is in the above range, it becomes possible to produce a spacer having excellent elastic recovery.

상기 제2 수지의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은 3,000∼100,000이고, 바람직하게는 5,000∼50,000이다. 상기 제2 수지의 중량 평균 분자량이 상기 범위에 있으면 현상시에 막 감소가 방지되어 패턴 부분의 누락성이 양호해지므로 바람직하다.The weight average molecular weight of the second resin in terms of polystyrene is 3,000 to 100,000, preferably 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the second resin is in the above range, it is preferable to prevent the decrease in film thickness during development and improve the missability of the pattern portion.

상기 제2 수지의 분자량 분포[중량평균분자량(Mw)/수평균분자량(Mn)]는 1.5 내지 6.0인 것이 바람직하고, 1.8 내지 4.0인 것이 보다 바람직하다. 상기 분자량 분포[중량평균분자량(Mw)/수평균분자량(Mn)]가 상기 범위내에 포함되어 있으면 현상성이 우수해지기 때문에 바람직하다. The molecular weight distribution (weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)) of the second resin is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. When the molecular weight distribution (weight-average molecular weight (Mw) / number-average molecular weight (Mn)) is within the above range, the developability is preferable.

예시적인 실시예들에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는 전술한 제1 수지 및 제2 수지를 함께 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 알칼리 가용성 수지는 알칼리 가용성 수지 고형분을 기준으로 중량 분율로 제1 수지 10 내지 95중량%, 및 제2 수지 5 내지 90중량%를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 함량비 범위에서 우수한 탄성 회복률을 가지면서도 외부 압력에 변형이 적은 딱딱한 특성을 갖는 광경화 패턴이 구현될 수 있다.According to exemplary embodiments, the alkali-soluble resin may include the first resin and the second resin described above together. In this case, the alkali-soluble resin preferably comprises 10 to 95% by weight of the first resin and 5 to 90% by weight of the second resin in a weight fraction based on the solid content of the alkali-soluble resin. It is possible to realize a photo-curable pattern having a good elastic recovery rate in the content ratio range and a hard property with little deformation at external pressure.

본 출원에서 사용된 용어 "고형분"은 용제를 제거한 성분의 합계를 의미한다.The term "solids" as used in this application means the sum of the components from which the solvent has been removed.

본 발명의 실시예들에 따른 알칼리 가용성 수지는 노르보넨(norbornene) 계열 화합물로부터 중합된 제3 수지를 포함할 수 있다.The alkali-soluble resin according to embodiments of the present invention may comprise a third resin polymerized from a norbornene-based compound.

예를 들면, 상기 제3 수지는 아래의 화학식 6으로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다.For example, the third resin may include a repeating unit represented by the following formula (6).

[화학식 6][Chemical Formula 6]

Figure pat00039
Figure pat00039

노르보넨과 같은 화학적으로 불안정한 고리형 탄화수소 단위가 포함됨에 따라, 알칼리 가용성 수지 또는 이를 포함하는 감광성 수지 조성물의 해상도가 보다 향상될 수 있다.As chemically unstable cyclic hydrocarbon units such as norbornene are contained, the resolution of the alkali-soluble resin or the photosensitive resin composition containing the alkali-soluble resin can be further improved.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제3 수지는 벤젠 링 함유 반복단위를 더 포함할 수 있으며, 상기 벤젠 링 함유 반복단위는 예를 들면, 하기 화학식 7로 표시되는 단량체로부터 유래할 수 있다.In some embodiments, the third resin may further comprise a benzene ring-containing repeating unit, and the benzene ring-containing repeating unit may be derived from, for example, a monomer represented by the following general formula (7).

[화학식 7](7)

Figure pat00040
Figure pat00040

화학식 7 중, R31은 수소 원자, 또는 C1-C6 알콕시기, C1-C6 알킬기, C4-C8 시클로알킬기, 테트라하이드로퓨라닐기, 테트라하이드로피라닐기, 옥시란기, 옥세탄기, C4-C12의 바이시클로알킬기 또는 C6-C18의 트리시클로알킬기로 치환 또는 비치환된 C1-C6 알콕시기, C1-C6 알킬기, C4-C8 시클로알킬기, 테트라하이드로퓨라닐기, 테트라하이드로피라닐기, 옥시란기, 옥세탄기, C4-C12 바이시클로알킬기 또는 C6-18 트리시클로알킬기이다.In formula (7), R 31 represents a hydrogen atom or a C1-C6 alkoxy group, a C1-C6 alkyl group, a C4-C8 cycloalkyl group, a tetrahydrofuranyl group, a tetrahydropyranyl group, A C 1 -C 6 alkyl group, a C 4 -C 8 cycloalkyl group, a tetrahydrofuranyl group, a tetrahydropyranyl group, an oxirane group, an oxirane group, a substituted or unsubstituted cycloalkyl group or a C 6 -C 18 tricycloalkyl group, Group, a C4-C12 bicycloalkyl group or a C6-18 tricycloalkyl group.

상기 벤젠 링 함유 반복단위에 의해 상기 제3 수지의 내열성, 기계적 강도가 향상될 수 있으며, 이러한 측면에서 바람직하게는 R31은 수소 또는 C1-C6 알킬기(예를 들면, 메틸기)일 수 있다.The heat resistance and mechanical strength of the third resin may be improved by the benzene ring-containing repeating unit. In this respect, R 31 preferably may be hydrogen or a C 1 -C 6 alkyl group (for example, a methyl group).

일부 실시예들에 있어서, 상기 제3 수지는 카르복실산 함유 반복단위를 더 포함할 수 있으며, 이 경우 수소 도너(donor) 단위의 추가로 인해 해상도가 보다 향상될 수 있다.In some embodiments, the third resin may further comprise a carboxylic acid containing repeating unit, in which case the resolution can be further improved by the addition of a hydrogen donor unit.

예를 들면, 상기 카르복실산 함유 반복단위는 상기 제1 수지에서 전술한 불포화 결합과 카르복실기를 갖는 화합물(a12)로부터 유래할 수 있다.For example, the carboxylic acid-containing repeating unit may be derived from the above-mentioned compound (a12) having an unsaturated bond and a carboxyl group in the first resin.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제3 수지는 광 또는 열경화성 부여 또는 향상을 위해 당해 기술 분야에서 공지되어 통상적으로 사용되는 아크릴레이트계 단량체가 더 포함되어 중합되어 형성된 아크릴레이트 반복단위를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the third resin may further comprise an acrylate repeat unit formed by polymerizing further comprising an acrylate monomer commonly used and commonly known in the art for imparting or enhancing optical or thermosetting properties have.

상기 아릴레이트계 단량체는 예를 들면, 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타) 아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, n-프로필(메타)아크릴레이트, 이소프로필(메타)아크릴레이트, n-부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, n-헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, t-부틸시클로헥실(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, t-옥틸(메타)아크릴레이트, 도데실(메타)아크릴레이트, 옥타데실(메타)아크릴레이트, 아세톡시에틸(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메타)아크릴레이트, 2-에톡시에틸(메타)아크릴레이트, 2-(2-메톡시에톡시)에틸(메타)아크릴레이트, 3-페녹시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 모노페닐에테르(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 모노메틸에테르(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 모노에틸에테르(메타)아크릴레이트, β-페녹시에톡시에틸아크릴레이트, 노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 트리플루오로에틸(메타)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메타)아크릴레이트, 퍼플루오로옥틸에틸(메타)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메타)아크릴레이트, 트리브로모페닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)크릴레이트 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독 또는 2종 이상이 조합되어 사용될 수 있다.The arylate monomer may be, for example, ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (Meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (metha) acrylate, (Meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t- Butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, t-butylcyclohexyl (Meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, octadecyl (meth) acrylate, acetoxyethyl (meth) acrylate, phenyl Methoxyethyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, diethylene glycol monomethyl ether (meth) acrylate, diethylene glycol monoethyl ether (meth) acrylate, diethylene glycol monophenyl ether (Meth) acrylates such as glycol monomethyl ether (meth) acrylate, triethylene glycol monoethyl ether (meth) acrylate,? -Phenoxyethoxyethyl acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol , Dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, octafluoropentyl (meth) acrylate, perfluorooctylethyl Acrylate, tribromophenyl (meth) acrylate, tribromophenyloxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

일 실시예에 있어서, 상기 제3 수지는 화학식 6의 반복단위, 벤젠 링 함유 반복단위, 카르복실산 함유 반복단위 및 아크릴레이트 반복단위를 각각 5 내지 70몰%, 5 내지 50몰%, 5 내지 65몰% 및 5 내지 70몰%의 몰비로 포함할 수 있다.In one embodiment, the third resin has the formula Containing group, a repeating unit, a benzene ring-containing repeating unit, a carboxylic acid-containing repeating unit and an acrylate repeating unit in a molar ratio of 5 to 70 mol%, 5 to 50 mol%, 5 to 65 mol% and 5 to 70 mol%, respectively .

상기 제3 수지는 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량이 3,000 내지 100,000의 범위에 있는 것이 바람직하고, 5,000 내지 50,000의 범위에 있는 것이 보다 바람직하다. The third resin preferably has a weight average molecular weight in terms of polystyrene of 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000.

상기 제3 수지의 분자량 분포 [중량평균분자량(Mw)/수평균분자량(Mn)]는 1.5 내지 6.0 인 것이 바람직하고, 1.8 내지 4.0인 것이 보다 바람직하다. 상기 분자량 분포 범위에서 우수한 현상성 및 해상도를 확보할 수 있다.The molecular weight distribution (weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)) of the third resin is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. Excellent developability and resolution in the molecular weight distribution range can be ensured.

예시적인 실시예들에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는 전술한 제2 수지 및 제3 수지를 함께 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 알칼리 가용성 수지는 알칼리 가용성 수지 고형분을 기준으로 중량 분율로 제2 수지 5 내지 90중량%, 및 제3 수지 10 내지 95중량%를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 함량비 범위에서 우수한 밀착성, 탄성으로 가지면서 고해상도의 광경화 패턴이 구현될 수 있다.According to exemplary embodiments, the alkali-soluble resin may include the second resin and the third resin described above together. In this case, it is preferable that the alkali-soluble resin contains 5 to 90% by weight of the second resin and 10 to 95% by weight of the third resin in a weight fraction based on the solid content of the alkali-soluble resin. A high-resolution photocuring pattern can be realized while having good adhesion and elasticity in the content ratio range.

상술한 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 알칼리 가용성 수지는 상기 제2 수지를 포함하며, 추가로 상기 제1 수지 또는 제3 수지 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이에 따라, 광경화성, 광반응성, 해상도, 현상성과 같은 화학적 특성과 경도, 탄성, 밀착력과 같은 기계적 특성이 함께 향상될 수 있다.According to the above-described embodiments of the present invention, the alkali-soluble resin includes the second resin, and may further include at least one of the first resin or the third resin. Accordingly, chemical properties such as photo-curability, photoreactivity, resolution and developability and mechanical properties such as hardness, elasticity and adhesion can be improved together.

예를 들면, 상기 알칼리 가용성 수지는 상기 제1 수지 및 제2 수지, 또는 상기 제2 수지 및 제3 수지의 조합을 포함할 수 있다. 또는, 상기 알칼리 가용성 수지는 상기 제1 수지, 제2 수지 및 제3 수지의 조합을 포함할 수 있다.For example, the alkali-soluble resin may include the first resin and the second resin, or a combination of the second resin and the third resin. Alternatively, the alkali-soluble resin may comprise a combination of the first resin, the second resin and the third resin.

상기 알칼리 가용성 수지의 함유량은 감광성 수지 조성물 중의 전체 고형분에 대하여, 통상 5 내지 90중량%, 바람직하게는 10 내지 70중량%의 범위이다. 알칼리 가용성 수지의 함유량이 상기의 기준으로 5 내지 90중량%이면 현상액에의 용해성이 충분하여 현상성이 우수해지며, 우수한 탄성회복률을 가지면서 외부 압력에 변형이 적은 딱딱한 특성을 갖는 스페이서의 제조가 가능하게 된다. The content of the alkali-soluble resin is usually in the range of 5 to 90% by weight, preferably 10 to 70% by weight, based on the total solid content in the photosensitive resin composition. When the content of the alkali-soluble resin is 5 to 90% by weight on the basis of the above-mentioned criteria, the preparation of a spacer having sufficient solubility in a developing solution and being excellent in developability and having a hardness with little change in external pressure, .

광중합성 화합물Photopolymerizable compound

본 발명의 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합성 화합물은 상기 광중합 개시제의 작용으로 중합할 수 있는 화합물로서, 단관능 단량체, 2관능 단량체, 그 밖의 다관능 단량체 등을 들 수 있다. The photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition of the present invention is a compound capable of polymerizing under the action of the photopolymerization initiator, and examples thereof include monofunctional monomers, bifunctional monomers, and other polyfunctional monomers.

본 발명에 사용되는 광중합성 화합물은 스페이서 형성용 수지 조성물의 현상성, 감도, 밀착성, 표면문제 등을 개량하기 위해 관능기의 구조나 관능기 수가 다른 2개 또는 그 이상의 광중합성 화합물을 혼합하여 사용할 수 있으며, 그 범위에 제한을 두지 않는다. The photopolymerizable compound used in the present invention may be prepared by mixing two or more photopolymerizable compounds having different functional groups or different functional groups in order to improve developability, sensitivity, adhesion, surface problems, etc. of the resin composition for forming a spacer , There is no restriction on the range.

단관능 단량체의 구체예로는 노닐페닐카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다. Specific examples of monofunctional monomers include nonylphenylcarbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexylcarbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N- Money and so on.

2관능 단량체의 구체예로는 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. Specific examples of the bifunctional monomer include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) Bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.

그 밖의 다관능 단량체의 구체예로서는 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 에톡실레이티드디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 프로폭실레이티드디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서 2관능 이상의 다관능 단량체가 바람직하게 사용된다. Specific examples of other polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, propoxylated dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, and the like. Of these, multifunctional monomers having two or more functional groups are preferably used.

상기 광중합성 화합물은 감광성 조성물의 고형분을 기준으로 상기 알칼리 가용성 수지 및 광중합성 화합물의 합계 100중량부에 대하여, 1 내지 90중량부, 바람직하게는 10 내지 80중량부의 범위에서 사용될 수 있다. 광중합성 화합물이 상기의 기준의 범위이면 형성되는 스페이서 패턴의 강도나 평활성이 양호하게 되기 때문에 바람직하다.The photopolymerizable compound may be used in an amount of 1 to 90 parts by weight, preferably 10 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound based on the solid content of the photosensitive composition. When the photopolymerizable compound is in the above range, it is preferable because the strength and smoothness of the formed spacer pattern can be improved.

용제solvent

용제는 당해 분야에서 통상적으로 사용하는 것이라면 어떠한 것이라도 제한 없이 사용할 수 있다.The solvent may be any solvent as long as it is commonly used in the art.

상기 용제의 구체적인 예로는 에틸렌글리콜모노알킬에테르류; 디에틸렌글리콜디알킬에테르류; 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류; 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류; 프로필렌글리콜모노알킬에테르류; 프로필렌글리콜디알킬에테르류; 프로필렌글리콜알킬에테르프로피오네이트류; 부틸디올모노알킬에테르류; 부탄디올모노알킬에테르아세테이트류; 부탄디올모노알킬에테르프로피오네이트류; 디프로필렌글리콜디알킬에테르류; 방향족 탄화수소류; 케톤류; 알코올류; 에스테르류; 고리형 에스테르류 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. Specific examples of the solvent include ethylene glycol monoalkyl ethers; Diethylene glycol dialkyl ethers; Ethylene glycol alkyl ether acetates; Alkylene glycol alkyl ether acetates; Propylene glycol monoalkyl ethers; Propylene glycol dialkyl ethers; Propylene glycol alkyl ether propionates; Butyldiol monoalkyl ethers; Butanediol monoalkyl ether acetates; Butanediol monoalkyl ether propionates; Dipropylene glycol dialkyl ethers; Aromatic hydrocarbons; Ketones; Alcohols; Esters; Cyclic esters and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 용제는 도포성 및 건조성을 고려하였을 때 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 케톤류, 부탄디올알킬에테르아세테이트류, 부탄디올모노알킬에테르류, 에스테르류가 바람직하게 사용될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 메톡시부틸아세테이트, 메톡시부탄올, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸 등이 사용될 수 있다. The solvent may be selected from alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, butanediol alkyl ether acetates, butanediol monoalkyl ethers and esters, and more preferably diethylene glycol ethyl Methyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, methoxybutyl acetate, methoxybutanol, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate and the like.

상기 용제의 함량은 감광성 수지 조성물에 전체 100중량부에 대하여, 40 내지 95중량부, 바람직하게는 45 내지 85 중량부로 포함될 수 있다. 상기 범위를 만족하는 경우, 스핀 코터, 슬릿 & 스핀 코터, 슬릿 코터(또는, 다이 코터, 커튼플로우 코터), 잉크젯 등의 도포 장치로 도포했을 때 도포성이 양호해지기 때문에 바람직하다.The content of the solvent may be in the range of 40 to 95 parts by weight, preferably 45 to 85 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the photosensitive resin composition. When the above-mentioned range is satisfied, it is preferable that the coating property is improved when applied with a coating apparatus such as a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (or a die coater, a curtain flow coater) or an ink jet.

첨가제additive

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 충진제, 다른 고분자 화합물, 경화제, 레벨링제, 밀착촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제, 연쇄 이동제 등의 첨가제를 더 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may further contain additives such as fillers, other polymer compounds, curing agents, leveling agents, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, antiflocculants and chain transfer agents.

<광경화 패턴 및 화상표시 장치><Photocuring pattern and image display device>

본 발명은 또한 상술한 감광성 수지 조성물로 제조되는 광경화 패턴과 상기 광경화 패턴을 포함하는 화상 표시 장치를 제공한다.The present invention also provides an image display device comprising the photo-curable pattern produced by the photosensitive resin composition described above and the photo-curable pattern.

상기 감광성 수지 조성물로 제조된 광경화 패턴은 탄성회복률, 밀착성 등이 우수하다. 이에 따라 화상 표시 장치에 있어서 각종 패턴, 예를 들면 접착제층, 어레이 평탄화막, 보호막, 절연막 패턴 등으로 이용될 수 있고, 포토레지스트, 블랙 매트릭스, 컬럼 스페이서 패턴, 블랙 컬럼 스페이서 패턴 등으로 이용될 수도 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 특히, 스페이서 패턴으로 매우 적합하다.The photocurable pattern prepared from the photosensitive resin composition is excellent in elastic recovery rate, adhesion, and the like. As a result, it can be used for various patterns such as an adhesive layer, an array flattening film, a protective film, an insulating film pattern, and the like in an image display apparatus, and can be used as a photoresist, a black matrix, a column spacer pattern, a black column spacer pattern, But is not limited thereto, and is particularly suitable as a spacer pattern.

이러한 광경화 패턴을 구비하거나 제조 과정 중에 상기 패턴을 사용하는 화상 표시 장치로는 액정 표시 장치, OLED, 플렉서블 디스플레이 등이 있을 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 적용이 가능한 당분야에 알려진 모든 화상 표시 장치를 예시할 수 있다.The image display device having the light curing pattern or using the pattern during the manufacturing process may include a liquid crystal display device, an OLED, a flexible display, and the like. However, the present invention is not limited thereto, Can be exemplified.

광경화 패턴은 전술한 본 발명의 감광성 수지 조성물을 기재 상에 도포하고, (필요에 따라 현상 공정 거친 후) 광경화 패턴을 형성함으로써 제조할 수 있다.The photo-curing pattern can be produced by applying the above-described photosensitive resin composition of the present invention onto a substrate and forming a photo-curable pattern (after the development step if necessary).

이하, 본 발명을 제조예, 실시예, 비교예 및 실험예를 이용하여 더욱 상세하게 설명한다. 그러나 하기 제조예, 실시예, 비교예 및 실험예는 본 발명을 예시하기 위한 것으로서, 본 발명은 하기 제조예, 실시예, 비교예 및 실험예에 의해 한정되지 않고 다양하게 수정 및 변경될 수 있다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Production Examples, Examples, Comparative Examples and Experimental Examples. However, the following Production Examples, Examples, Comparative Examples and Experimental Examples are for illustrating the present invention, and the present invention is not limited by the following Production Examples, Examples, Comparative Examples and Experimental Examples, .

[제조예][Manufacturing Example]

제조예 1 내지 3와 관련하여, 중량평균분자량(Mw) 및 수평균분자량(Mn)의 측정에 대해서는 GPC법을 이용하여 이하의 조건으로 수행하였으며, 중량평균분자량 및 수평균분자량의 비를 분자량 분포 (Mw/Mn)로 하였다:The measurement of the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) was carried out by the GPC method under the following conditions, and the ratio of the weight average molecular weight to the number average molecular weight was measured by a molecular weight distribution (Mw / Mn):

장치: HLC-8120GPC(도소㈜ 제조)Apparatus: HLC-8120GPC (manufactured by TOSOH CORPORATION)

칼럼: TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL(직렬 접속)Column: TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL (Serial connection)

칼럼 온도: 40℃Column temperature: 40 DEG C

이동상 용매: 테트라히드로퓨란Mobile phase solvent: tetrahydrofuran

유속: 1.0 ㎖/분Flow rate: 1.0 ml / min

주입량: 50 ㎕Injection amount: 50 μl

검출기: RIDetector: RI

측정 시료 농도: 0.6 중량%(용매 = 테트라히드로퓨란)Measurement sample concentration: 0.6 wt% (solvent = tetrahydrofuran)

교정용 표준 물질: TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500(도소㈜ 제조)Standard materials for calibration: TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by TOSOH CORPORATION)

[제조예 1] A-1(제1 수지)의 제조[Preparation Example 1] Preparation of A-1 (first resin)

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 182g을 도입하여, 플라스크내 분위기를 공기에서 질소로 한 후, 100℃로 승온 후 벤질말레이미드 35.4g(0.30몰), 아크릴산 36.0g(0.50몰), 2-히드록시-o-페닐페놀프로필아크릴레이트 59.6g(0.2몰) 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 136g을 포함하는 혼합물에 아조비스이소부티로니트릴 3.6g을 첨가한 용액을 적하 로트로부터 2시간에 걸쳐 플라스크에 적하하여 100℃에서 5시간 더 교반을 계속하였다. 이어서, 플라스크내 분위기를 질소에서 공기로 하고, 글리시딜메타크릴레이트 22.5g [0.15몰, (본 반응에 사용한 아크릴산에 대하여 50몰%)], 트리스디메틸아미노메틸페놀 0.9g 및 히드로퀴논 0.145g을 플라스크내에 투입하여 110℃에서 6시간 반응을 계속하고, 고형분 산가가 121.1㎎KOH/g인 불포화기 함유 제1 수지 A-1를 얻었다. GPC에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량은 31,000이고, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2.2이었다.A flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen inlet tube was charged with 182 g of propylene glycol monomethyl ether acetate, and the atmosphere in the flask was changed to nitrogen in air. After raising the temperature to 100 캜, 35.4 g (0.2 mol) of 2-hydroxy-o-phenylphenol propyl acrylate, and 136 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to a mixture of azobisisobutyronitrile (0.30 mol), acrylic acid (36.0 g, 0.50 mol) Was added dropwise to the flask over 2 hours from the dropping funnel, and stirring was further continued at 100 占 폚 for 5 hours. Subsequently, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 22.5 g [0.15 mol (50 mol% based on the acrylic acid used in the present reaction) of glycidyl methacrylate], 0.9 g of trisdimethylaminomethylphenol and 0.145 g of hydroquinone And the reaction was continued at 110 캜 for 6 hours to obtain an unsaturated group-containing first resin A-1 having a solid acid value of 121.1 mgKOH / g. The weight average molecular weight measured by GPC in terms of polystyrene was 31,000 and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.2.

[제조예 2] A-2(제2 수지)의 제조[Preparation Example 2] Preparation of A-2 (second resin)

환류 냉각기, 적하 깔대기 및 교반기를 구비한 1L의 플라스크 내에 질소를 0.02L/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 150g을 넣고 교반하면서 70℃까지 가열하였다. 이어서, 상기 화학식 4-1 및 화학식 5-1의 혼합물(몰비는 50:50) 198.2g(0.90mol) 및 메타크릴산 8.6g(0.10mol)을 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 150g에 용해하여 용액을 조제하였다.A 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer was charged with nitrogen at 0.02 L / min to make a nitrogen atmosphere, and 150 g of diethylene glycol ethyl methyl ether was added and heated to 70 캜 with stirring. Next, 198.2 g (0.90 mol) of a mixture of the above-mentioned formulas (4-1) and (5-1) (molar ratio 50:50) and 8.6 g (0.10 mol) of methacrylic acid were dissolved in 150 g of diethylene glycol ethyl methyl ether, Lt; / RTI &gt;

[화학식 4-1] [화학식 5-1][Formula 4-1] [Formula 5-1]

Figure pat00041
Figure pat00042
Figure pat00041
Figure pat00042

제조된 용해액을, 적하 깔대기를 사용하여 플라스크 내에 적하한 후, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 27.9g(0.11mol)을 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 200g에 용해한 용액을, 별도의 적하 깔대기를 사용하여 4시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4시간 동안 70℃로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시키고, 고형분 41.6 질량%, 산가 59㎎-KOH/g (고형분 환산)의 공중합체 (수지 A-2)의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 A-2의 중량 평균 분자량 Mw는 7,790, 분자량 분포는 1.9이었다. The resulting solution was dropped into a flask using a dropping funnel, 27.9 g (0.11 mol) of a polymerization initiator 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was dissolved in 200 g of diethylene glycol ethyl methyl ether Was added dropwise to the flask over 4 hours using a separate dropping funnel. After the dropwise addition of the polymerization initiator solution was completed, the solution was maintained at 70 DEG C for 4 hours, and then cooled to room temperature to obtain a copolymer (resin A-2) having a solids content of 41.6% by weight and an acid value of 59 mg-KOH / 2) was obtained. The resin A-2 thus obtained had a weight average molecular weight Mw of 7,790 and a molecular weight distribution of 1.9.

[제조예 3] A-3(제3 수지)의 제조[Preparation Example 3] Preparation of A-3 (third resin)

환류 냉각기, 적하 깔대기 및 교반기를 구비한 1L의 플라스크 내에 질소를 0.02L/분으로 흐르게 하여 질소 분위기로 하고, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 200g을 도입하여, 100℃로 승온 후 아크릴산 33.9g(0.47몰), 노르보넨 4.7g(0.05몰), 비닐톨루엔 56.7g(0.48몰) 및 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트 150g을 포함하는 혼합물에 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 3.6g을 첨가한 용액을 적하 로트로부터 2시간에 걸쳐 플라스크에 적하하여 100℃에서 5시간 더 교반을 계속하였다. In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was introduced at 0.02 L / min to make a nitrogen atmosphere, and 200 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced. After raising the temperature to 100 캜, 33.9 g Azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) 3.6 (5 g) was added to a mixture containing 4.7 g (0.05 mol) of norbornene, 56.7 g (0.48 mol) of vinyltoluene and 150 g of propylene glycol monomethyl ether acetate g was added dropwise to the flask over a period of 2 hours from the dropping funnel, and stirring was further continued at 100 ° C for 5 hours.

이어서, 플라스크내 분위기를 질소에서 공기로 하고, 글리시딜메타크릴레이트 42.6g [0.30몰(본 반응에 사용한 아크릴산에 대하여 64몰%)]을 플라스크내에 투입하여 110℃에서 6시간 반응을 계속하고, 고형분 산가가 79㎎KOH/g인 불포화기 함유 수지 A-1을 얻었다. GPC에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량은 6,600이고, 분자량 분포(Mw/Mn)는 1.9이었다.Subsequently, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 42.6 g of glycidyl methacrylate (0.30 mol (64 mol% based on the acrylic acid used in the present reaction)) was charged into the flask, and the reaction was continued at 110 DEG C for 6 hours To obtain an unsaturated group-containing resin A-1 having a solid acid value of 79 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 6,600 and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 1.9.

[제조예 4] 불포화기 함유 수지 A-4의 합성[Preparation Example 4] Synthesis of unsaturated group-containing resin A-4

교반기, 온도계 환류 냉각관, 적하 로트 및 질소 도입관을 구비한 플라스크에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 182g을 도입하여, 플라스크내 분위기를 공기에서 질소로 한 후, 100℃로 승온 후 벤질 메타크릴레이트 88.1g(0.50몰), 아크릴산 36.0g(0.50몰) 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 136g을 포함하는 혼합물에 아조비스이소부티로니트릴 3.6g을 첨가한 용액을 적하 로트로부터 2시간에 걸쳐 플라스크에 적하하여 100℃에서 5시간 더 교반을 계속하였다. 이어서, 플라스크내 분위기를 질소에서 공기로 하고, 글리시딜메타크릴레이트 22.5g [0.15몰, (본 반응에 사용한 아크릴산에 대하여 50몰%)], 트리스디메틸아미노메틸페놀 0.9g 및 히드로퀴논 0.145g을 플라스크내에 투입하여 110℃에서 6시간 반응을 계속하고, 고형분 산가가 94㎎KOH/g인 수지 A-3를 얻었다. GPC에 의해 측정한 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량은 30,000이고, 분자량 분포(Mw/Mn)는 2.1이었다.182 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced into a flask equipped with a stirrer, a thermometer reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen inlet tube, and the atmosphere in the flask was changed to nitrogen in air. After raising the temperature to 100 캜, benzyl methacrylate 88.1 A solution prepared by adding 3.6 g of azobisisobutyronitrile to a mixture containing 50 g (0.50 mol) of acrylic acid, 36.0 g (0.50 mol) of acrylic acid and 136 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added dropwise to the flask over 2 hours from the dropping funnel Stirring was continued at 100 &lt; 0 &gt; C for additional 5 hours. Subsequently, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 22.5 g [0.15 mol (50 mol% based on the acrylic acid used in the present reaction) of glycidyl methacrylate], 0.9 g of trisdimethylaminomethylphenol and 0.145 g of hydroquinone And the reaction was continued at 110 캜 for 6 hours to obtain a resin A-3 having a solid acid value of 94 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 30,000 and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.

[실시예 및 비교예][Examples and Comparative Examples]

하기 표 1 및 표 2의 조성 및 함량(단위: 중량부)으로 실시예 및 비교예의 감광성 수지 조성물을 제조하였다.The photosensitive resin compositions of the examples and comparative examples were prepared by the composition and the content (unit: parts by weight) of the following Tables 1 and 2.

구분division 실시예Example 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 1111 1212 알칼리 가용성 수지
(A)
Alkali-soluble resin
(A)
A-1A-1 30.0030.00 35.0035.00 40.0040.00 25.0025.00 20.0020.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 -- --
A-2A-2 30.0030.00 25.0025.00 20.0020.00 35.0035.00 40.0040.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 25.0025.00 A-3A-3 -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- 30.0030.00 35.0035.00 A-4A-4 -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- -- 광중합 개시제
(B)
Photopolymerization initiator
(B)
B-1B-1 3.003.00 3.003.00 3.003.00 3.003.00 3.003.00 3.503.50 4.004.00 4.504.50 5.005.00 3.003.00 3.003.00 3.003.00
B-2B-2 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 -- 1.001.00 1.001.00 B-3B-3 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 -- 2.002.00 2.002.00 광중합성 화합물(C)The photopolymerizable compound (C) 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 첨가제(D)Additive (D) 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 용제
(E)
solvent
(E)
E-1E-1 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00
E-2E-2 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00

구분division 실시예Example 비교예Comparative Example 1313 1414 1515 1616 1717 1818 1919 2020 1One 22 33 알칼리 가용성 수지
(A)
Alkali-soluble resin
(A)
A-1A-1 -- -- -- -- -- -- -- -- -- 30.0030.00 30.0030.00
A-2A-2 20.0020.00 35.0035.00 40.0040.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 -- -- 30.0030.00 A-3A-3 40.0040.00 25.0025.00 20.0020.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 -- -- A-4A-4 -- -- -- -- -- -- -- -- 30.0030.00 30.0030.00 -- 광중합 개시제
(B)
Photopolymerization initiator
(B)
B-1B-1 3.003.00 3.003.00 3.003.00 3.503.50 4.004.00 4.504.50 5.005.00 3.003.00 3.003.00 3.003.00 --
B-2B-2 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 -- 1.001.00 1.001.00 1.001.00 B-3B-3 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 2.002.00 -- 2.002.00 2.002.00 2.002.00 광중합성 화합물(C)The photopolymerizable compound (C) 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 40.0040.00 첨가제(D)Additive (D) 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 1.001.00 용제
(E)
solvent
(E)
E-1E-1 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00 30.0030.00
E-2E-2 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00 70.0070.00

각 조성물들의 구체적인 성분은 아래와 같다.The specific components of each composition are as follows.

A-1: 제조예 1에서 제조된 수지(제1 수지)A-1: Resin (first resin) prepared in Production Example 1

A-2: 제조예 2에서 제조된 수지(제2 수지)A-2: Resin (second resin) prepared in Preparation Example 2

A-3: 제조예 3에서 제조된 수지(제3 수지)A-3: Resin (third resin) prepared in Production Example 3

A-4: 제조예 3에서 제조된 수지A-4: The resin prepared in Preparation Example 3

B-1: 1-(9,9-H-7-니트로플로렌-2-일)-에탄온 옥심-O-아세테이트B-1: 1- (9,9-H-7-Nitroploren-2-yl) -ethanone oxime-O-acetate

B-2: 2,2'4-트리스(2-클로로페닐)-5-(3,4-디메톡시페닐)-4', 5'-디페닐-1,1'-비이미다졸(CHEMCURE-TCDM: CHEMBRIDGE INTERNATIONAL CORP.)B-2: 2,2'4-tris (2-chlorophenyl) -5- (3,4-dimethoxyphenyl) -4 ', 5'-diphenyl-1,1'-biimidazole (CHEMCURE- TCDM: CHEMBRIDGE INTERNATIONAL CORP.)

B-3: 디페닐(2,4,6-트리메틸벤조일)-포스핀옥사이드(IRGACURE-819: BASF)B-3: diphenyl (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phosphine oxide (IRGACURE-819: BASF)

C: 트리펜타에리스리톨 옥타아크릴레이트 (Viscoat#802: 오사카유기화학공업㈜)C: Tripapentaerythritol octaacrylate (Viscoat # 802: Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.)

D: 디펜타에리트리틸헥사키스(3-메르캅토프로미오네이트)(DPMP: SC ORGANIC CHEMICAL CO.,LTD.)D: dipentaerythrityl hexakis (3-mercaptopropionate) (DPMP: SC ORGANIC CHEMICAL CO., LTD.)

E-1: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트E-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate

E-2: 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르E-2: Diethylene glycol ethyl methyl ether

[실험예][Experimental Example]

가로 세로 2 인치의 유리 기판(이글 2000; 코닝사 제조)을 중성 세제, 물 및 알코올로 순차 세정한 후 건조하였다. 이 유리 기판 상에 상기 실시예 및 비교예에서 제조된 감광성 수지 조성물을 각각 스핀 코팅한 다음 클린오븐 중에서 90℃에서 3 분간 프리베이크하였다. 상기 프리베이크한 기판을 상온으로 냉각 후 석영 유리제 포토마스크와의 간격을 150㎛로 하여 노광기 (TME-150RSK; 톱콘 (주) 제조)를 사용하여 60mJ/㎠의 노광량(405㎚ 기준)으로 광을 조사하였다. 이 때의 중합성 수지 조성물에 대한 조사는, 초고압 수은등으로부터의 방사광을, 광학 필터 (LU0400; 아사히 분광 (주) 제조)를 통과시키고, 400㎚ 이하의 광을 커트하여 사용하였다. 이때 포토마스크는 다음 패턴이 동일 평면 상에 형성된 포토마스크가 사용되었다 (지름이 20㎛인 원형의 투광부(패턴)를 가지며, 당해 패턴의 간격이 100㎛). A glass substrate (Eagle 2000; Corning) having an aspect ratio of 2 inches was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol, and then dried. The photosensitive resin compositions prepared in the above Examples and Comparative Examples were each spin-coated on this glass substrate, and then prebaked in a clean oven at 90 캜 for 3 minutes. The prebaked substrate was cooled to room temperature and light was irradiated at an exposure dose of 60 mJ / cm 2 (based on 405 nm) using an exposure apparatus (TME-150RSK; Topcon Co., Ltd.) with an interval of 150 μm from the quartz glass photomask Respectively. The irradiation of the polymerizable resin composition at this time was carried out by passing the radiation from the ultra-high pressure mercury lamp through an optical filter (LU0400, manufactured by Asahi Spectroscopy) and cutting light having a wavelength of 400 nm or less. At this time, the photomask used was a photomask in which the following pattern was formed on the same plane (a circular light-transmitting portion (pattern) having a diameter of 20 mu m, the interval of the pattern being 100 mu m).

광조사 후 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 함유하는 수계 현상액에 상기 도막을 25℃ 에서 100초간 침지하여 현상하고, 수세 후 오븐 중에서, 220℃에서 20분간 포스트베이크를 실시하였다. 얻어진 막두께는 3㎛이었다. 막두께는 막두께 측정장치(DEKTAK 6M; Veeco사 제조)를 사용하여 측정하였다. 이렇게 얻어진 패턴을 아래와 같이 물성 평가를 실시하고, 그 결과를 하기 표 3 및 표 4에 나타내었다. After the light irradiation, the coating film was immersed in an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 25 캜 for 100 seconds and developed, and after post-baking at 220 캜 for 20 minutes in an oven. The obtained film thickness was 3 占 퐉. The film thickness was measured using a film thickness measuring apparatus (DEKTAK 6M; Veeco). The pattern thus obtained was evaluated for physical properties as described below, and the results are shown in Tables 3 and 4 below.

<시험 방법><Test Method>

(1) Bottom CD 측정(1) Bottom CD measurement

상기에서 경화막을 3차원 형상 측정 장치(SIS-2000 Systems; (주)에스엔유프리시젼 제조)을 사용하여, 패턴의 높이와 bottom CD 를 포토 마스크 size 및 이때의 도막 두께 기준이 각각 20㎛, 3.0㎛일 때 도막의 두께가 2.85㎛를 유지하는 가장 작은 size의 패턴을 측정한다.Using the three-dimensional shape measuring apparatus (SIS-2000 Systems, manufactured by SNU Precision Co., Ltd.), the height of the pattern and the bottom CD were set to 20 mu m and 3.0 mu m The pattern of the smallest size that keeps the thickness of the coating film at 2.85 mu m is measured.

도 1과 같이 높이에 대한 5% 지점의 선폭인 Bottom CD의 값으로 정의하였다. Bottom CD는 작을수록 감도가 좋으므로 우수하다.As shown in FIG. 1, the value was defined as the value of Bottom CD, which is a linewidth of 5% of the height. The smaller the Bottom CD, the better the sensitivity is.

(2) 패턴 상하 폭 비 측정(T/B 비)(2) Measurement of pattern width ratio (T / B ratio)

상기 (1)에서 Dot패턴을 3차원 형상 측정 장치(SIS-2000 Systems; (주)에스엔유프리시젼 제조)을 사용하여, 패턴의 바닥면으로부터 전체 높이의 5%인 지점을 Bottom CD(a), 바닥면으로부터 전체 높이의 95%인 지점을 Top CD(b)로 정의하고, (b)의 길이를 (a)의 길이로 나눈 후 100을 곱한 값(=b/a×100)을 T/B 비로 정의하였다.A point at 5% of the total height from the bottom surface of the pattern is referred to as a bottom CD (a), a bottom (bottom) at the bottom of the pattern is measured using a three-dimensional shape measuring apparatus (SIS-2000 Systems manufactured by SNU Precision) (= B / a x 100) obtained by dividing the length of (b) by the length of (a) and then multiplying by 100 is defined as a ratio T / B Respectively.

(3) 현상밀착력(3) Developing adhesion

현상 밀착성은 지름(size)이 5㎛부터 20㎛까지 1㎛ 간격의 원형 패턴이 각각 1000개가 있는 포토마스크에 의해 막두께가 3㎛로 형성된 패턴을 현미경으로 평가하여 결락된 패턴의 수를 세어 하기 수학식 1과 같이 현상밀착력(%)을 산출하였고, 그 결과를 하기 표 2에 기재하였다.The developed adhesion was evaluated by a microscope in which a pattern formed with a film thickness of 3 mu m by a photomask having 1000 circular patterns with a diameter of 5 mu m to 20 mu m at intervals of 1 mu m was counted by counting the number of missing patterns The developing adhesion (%) was calculated as shown in Equation 1, and the results are shown in Table 2 below.

[수학식 1][Equation 1]

현상밀착력(%) = [1000-(결락된 패턴의 수)]/1000 × 100Peel adhesion (%) = [1000- (number of missing patterns)] / 1000 x 100

(4) 기계 특성(회복률)(4) Mechanical characteristics (recovery rate)

상기에서 얻어진 경화막을 다이나믹 초미소 경도계 (DUH-W201; (주) 시마즈 제작소 제조)를 사용하여 그 총 변위량(㎛) 및 탄성 변위량(㎛)을 아래의 측정조건에 따라 측정하였으며, 측정된 수치들을 사용하여 아래 수학식 2와 같이 회복률(%)을 산출하였다. 총변위량이 적으면서 회복률이 크면 딱딱하다고 판단하였다.The total amount of displacement (占 퐉) and the amount of elastic displacement (占 퐉) were measured under the following measurement conditions using a dynamic ultra-microhardness tester (DUH-W201; manufactured by Shimadzu Corporation) The recovery rate (%) was calculated using the following equation (2). When the total displacement was small and the recovery rate was high, it was judged to be rigid.

[수학식 2]&Quot; (2) &quot;

회복률(%) = [탄성 변위량(㎛)]/[총 변위량(㎛)] × 100Recovery rate (%) = [elastic displacement amount (占 퐉)] / [total displacement amount (占 퐉)] 占 100

[측정 조건] [Measuring conditions]

시험 모드: 부하-제하 (除荷) 시험Test mode: Load - Unload test

시험력: 5gf [SI 단위 환산값 49.0mN]Test force: 5 gf [SI converted value 49.0 mN]

부하 속도: 0.45gf/sec [SI 단위 환산값 4.41mN/sec]Load speed: 0.45 gf / sec [SI converted value 4.41 mN / sec]

유지 시간: 5secHolding time: 5sec

압자: 원뿔대 압자 (직경 50㎛)Indenter: conical indenter (diameter 50 탆)

구분division 실시예Example 1One 22 33 44 55 66 77 88 99 1010 1111 1212 패턴정밀도평가Pattern precision evaluation Bottom CD(㎛)Bottom CD (탆) 11.011.0 10.610.6 10.310.3 11.111.1 11.311.3 11.211.2 11.311.3 11.611.6 11.711.7 10.810.8 10.510.5 10.310.3 T/B 비T / B ratio 82.082.0 80.180.1 78.978.9 82.882.8 84.084.0 82.182.1 82.282.2 82.182.1 82.182.1 75.175.1 83.083.0 82.182.1 현상 밀착력
(%)
Developing adhesion
(%)
100100 100100 100100 100100 100100 100100 100100 100100 100100 80.080.0 100100 100100
기계특성
평가
Mechanical properties
evaluation
탄성
회복률
(%)
Shout
Recovery rate
(%)
56.856.8 57.257.2 58.058.0 56.156.1 55.855.8 56.056.0 56.456.4 56.756.7 56.856.8 54.354.3 56.556.5 56.656.6

구분division 실시예Example 비교예Comparative Example 1313 1414 1515 1616 1717 1818 1919 2020 1One 22 33 패턴정밀도
평가
Pattern precision
evaluation
Bottom CD(㎛)Bottom CD (탆) 10.110.1 10.710.7 10.910.9 10.710.7 10.710.7 11.011.0 11.011.0 10.310.3 13.413.4 13.113.1 --
T/B 비T / B ratio 80.080.0 83.283.2 85.185.1 83.283.2 83.083.0 83.183.1 83.183.1 78.078.0 6868 6565 -- 현상 밀착력(%) Developing adhesion (%) 100100 100100 100100 100100 100100 100100 100100 80.
0
80.
0
88.088.0 100100 --
기계특성
평가
Mechanical properties
evaluation
탄성
회복률
(%)
Shout
Recovery rate
(%)
57.057.0 55.955.9 53.853.8 53.053.0 53.453.4 53.453.4 53.753.7 53.853.8 52.152.1 48.548.5 --

상기 표 3 및 표 4를 참조하면, 상술한 광중합 개시제(B-1), 및 알칼리 가용성 수지로서 제2 수지와 함께 제1 수지 또는 제3 수지가 선택적으로 포함된 실시예들의 경우 향상된 Bottom CD, T/B비, 탄성회복률 및 현상 밀착력 결과를 나타냈다. 또한, 제2 수지와 함께 제3 수지가 사용된 실시예 11 내지 20의 경우 상대적으로 향상된 해상도 결과가 획득되었다.Referring to the above Tables 3 and 4, in the embodiments in which the above-mentioned photopolymerization initiator (B-1) and the first resin or the third resin are optionally contained together with the second resin as the alkali-soluble resin, T / B ratio, elastic recovery rate, and development adhesion strength. Also, relatively improved resolution results were obtained for Examples 11 to 20 where a third resin was used with the second resin.

반면, 제2 수지가 생략된 비교예 1 및 2의 경우 실시예들에 비해 전체적으로 열화된 결과를 나타냈다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따른 광중합 개시제가 생략된 비교예 3의 경우에는 패턴이 형성되지 않아, Bottom CD, T/B 비, 현상밀착력 및 탄성회복률의 측정이 불가능하였다.On the other hand, in the case of Comparative Examples 1 and 2 in which the second resin was omitted, the results were overall deteriorated as compared with the Examples. Also, in the case of Comparative Example 3 in which the photopolymerization initiator according to the embodiments of the present invention was omitted, no pattern was formed and it was impossible to measure the bottom CD, the T / B ratio, the developing adhesion and the elastic recovery rate.

Claims (14)

지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 알칼리 가용성 수지;
하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하는 광중합 개시제;
광중합성 화합물; 및
용제를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식 1]
Figure pat00043

(화학식 1 중, R3은 C1-C20 알킬이고, R4 및 R5는 각각 독립적으로 C1-C20 알킬, C6-C20 아릴 또는 C3-C20 사이클로알킬이고, A는 니트로 또는 시아노임).
An alkali-soluble resin containing an alicyclic epoxy-containing repeating unit;
A photopolymerization initiator comprising a compound represented by the following formula (1);
Photopolymerizable compounds; And
A photosensitive resin composition comprising a solvent:
[Chemical Formula 1]
Figure pat00043

(Wherein R 3 is C 1 -C 20 alkyl, R 4 and R 5 are each independently C 1 -C 20 alkyl, C 6 -C 20 aryl or C 3 -C 20 cycloalkyl, and A is nitro or cyano).
청구항 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는,
하기 화학식 2 및 화학식 3으로 표시된 화합물들로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 1종의 화합물을 포함하여 중합된 제1 수지; 및
상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 제2 수지를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식 2]
Figure pat00044

(화학식 2 중, R1은 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시임)
[화학식 3]
Figure pat00045

(화학식 3 중, R-2는 수소, C1-C12 알킬, 알릴, 페닐, 벤질, 할로겐 또는 C1-C8 알콕시이고, n은 1 내지 10의 정수임)
[2] The method according to claim 1, wherein the alkali-
A first resin polymerized with at least one compound selected from the group consisting of compounds represented by the following formulas (2) and (3); And
And a second resin comprising the repeating unit containing an alicyclic epoxy group.
(2)
Figure pat00044

(Wherein R 1 is hydrogen, C 1 -C 12 alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C 1 -C 8 alkoxy)
(3)
Figure pat00045

(Wherein R &lt; 2 &gt; is hydrogen, C1-C12alkyl, allyl, phenyl, benzyl, halogen or C1-C8alkoxy and n is an integer of 1 to 10)
청구항 2에 있어서, 상기 제1 수지는 알킬 치환 말레이미드 또는 아릴 치환 말레이미드 함유 반복단위를 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein the first resin further comprises an alkyl-substituted maleimide or an aryl-substituted maleimide-containing repeating unit.
청구항 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는,
상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위를 포함하는 제2 수지; 및
노르보넨(norbornene) 반복단위를 포함하는 제3 수지를 포함하는, 감광성 수지 조성물:
[2] The method according to claim 1, wherein the alkali-
A second resin comprising the alicyclic epoxy group-containing repeating unit; And
A third resin comprising a norbornene repeating unit.
청구항 4에 있어서, 상기 제3 수지는 벤젠 링 함유 반복단위, 카르복실산 함유 반복단위 및 아크릴레이트 반복단위로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 반복단위를 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.
5. The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the third resin further comprises at least one repeating unit selected from the group consisting of a benzene ring-containing repeating unit, a carboxylic acid-containing repeating unit, and an acrylate repeating unit.
청구항 1에 있어서, 상기 지환식 에폭시기 함유 반복단위는 하기 화학식 4 또는 화학식 5로 표시되는 화합물들로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나로부터 유래하는, 감광성 수지 조성물:
[화학식 4]
Figure pat00046

(화학식 4 중, R6는 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고;
X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌임)
[화학식 5]
Figure pat00047

(화학식 5 중, R7는 수소 또는 히드록시기로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C4 알킬이고;
X는 단일결합 또는 헤테로 원자를 함유하거나 함유하지 않은 C1-C6 알킬렌임).
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the alicyclic epoxy group-containing repeating unit is derived from at least one selected from the group consisting of compounds represented by Chemical Formula 4 or Chemical Formula 5:
[Chemical Formula 4]
Figure pat00046

(Wherein R &lt; 6 &gt; is hydrogen or C1-C4 alkyl which is unsubstituted or substituted with a hydroxy group;
X is a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a hetero atom)
[Chemical Formula 5]
Figure pat00047

(Wherein R &lt; 7 &gt; is hydrogen or C1-C4 alkyl optionally substituted by hydroxy group;
X is a single bond or a C1-C6 alkylene containing or not containing a heteroatom.
청구항 1에 있어서, 화학식 1중 R3은 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, n-펜틸, i-펜틸, n-헥실 또는i-헥실이며,
R4 내지 R5는 각각 독립적으로 메틸, 에틸, n-프로필, i-프로필, n-부틸, i-부틸, t-부틸, n-펜틸,i-펜틸, n-헥실, i-헥실, 페닐, 나프틸, 바이페닐, 터페닐, 안트릴, 인데닐 또는 페난트릴인, 감광성 수지 조성물.
3. The compound of claim 1, wherein R &lt; 3 &gt; in the formula (1) is methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, Lt;
R 4 to R 5 are each independently selected from the group consisting of methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i-butyl, t- butyl, n-pentyl, , Naphthyl, biphenyl, terphenyl, anthryl, indenyl or phenanthryl.
청구항 1에 있어서, 상기 광중합 개시제는 아세토페논 유도체 화합물 또는 비이미다졸 유도체 화합물 중 적어도 1종을 더 포함하는, 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator further comprises at least one of an acetophenone derivative compound or a nonimidazole derivative compound.
청구항 8에 있어서, 상기 광중합 개시제는 광중합 개시제의 총 중량에 대하여, 화학식 1의 화합물을 40 내지 90중량%로 포함하는, 감광성 수지 조성물.
9. The photosensitive resin composition according to claim 8, wherein the photopolymerization initiator comprises 40 to 90% by weight of the compound of the general formula (1) based on the total weight of the photopolymerization initiator.
청구항 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지 및 상기 광중합성 화합물의 고형분을 기준으로 합계 100중량부에 대하여, 상기 광중합 개시제의 함량은 0.1 내지 40중량부인, 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the photopolymerization initiator is 0.1 to 40 parts by weight based on 100 parts by weight in total based on the solid content of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound.
청구항 1에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지는 감광성 수지 조성물의 고형분을 기준으로 5 내지 90중량%로 포함되는, 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin is contained in an amount of 5 to 90% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition.
청구항 1 내지 11 중 어느 한 항의 감광성 수지 조성물로 제조된 광경화 패턴.
A photocurable pattern produced from the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 11.
청구항 12에 있어서, 상기 광경화 패턴은 어레이 평탄화막 패턴, 보호막 패턴, 절연막 패턴, 포토레지스트 패턴, 블랙 매트릭스 패턴 및 스페이서 패턴으로 이루어진 군에서 선택되는 광경화 패턴.
13. The photocurable pattern according to claim 12, wherein the photocurable pattern is selected from the group consisting of an array planarizing film pattern, a protective film pattern, an insulating film pattern, a photoresist pattern, a black matrix pattern and a spacer pattern.
청구항 12의 광경화 패턴을 구비한 화상 표시 장치.An image display apparatus having the photocuring pattern of claim 12.
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