KR20170130021A - 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 리니어 모션 시스템의 베이스부재에 리니어스케일을 고정시키는 구조에 있어서, 상기 리니어스케일과 상기 베이스부재 사이에 개재됨으로써 상기 리니어스케일을 상기 베이스부재에 고정시키되, 상기 리니어스케일의 고정면에서 일부 구간에 생략됨으로써 비접착영역이 형성되도록 하는 접착부재; 상기 베이스부재에 마련되고, 상기 비접착영역에 면접촉되도록 리니어스케일접촉면이 마련되는 고정블록; 및 상기 리니어스케일에서 상기 비접착영역의 반대측을 지지하도록 상기 고정블록 또는 상기 베이스부재에 마련되는 고정스프링;을 포함하도록 한 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 열용량을 크게 사용할 수 있어, 환경의 온도 변화에 따른 리니어스케일의 길이 변화를 최소화하여, 위치정확도를 높일 수 있고, 기준점의 위치를 사용자가 원하는 위치에 용이하게 적용할 수 있도록 하여, 높은 반복정밀도가 요구되는 공정 영역에서의 기준점 설정이 가능하도록 하며, 알루미늄 압출품이 없는 제품에도 열팽창 기준점을 적용할 수 있고, 리니어스케일의 폭이 변해도 설계 변경없이 용이하게 적용할 수 있다.

Description

리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템{Linear scale mounting apparatus and linear drive system with the same}

본 발명은 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 양면접착테이프 등의 접착부재를 적용하여 열용량을 유지하며, 일부 구간에 대해서 접착부재를 제거 후 고정스프링 등에 의해 고정함으로써 사용자가 원하는 위치에서의 스케일 열팽창 기준점을 설정할 수 있도록 하는 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 리니어 구동 시스템은 리니어모터 등을 이용하여 직선 왕복 운동을 제공하는 것으로서, 직선 이동체의 위치 및 속도를 감지하기 위하여, 리니어스케일 장치가 마련된다.

리니어스케일 장치는 리니어 엔코더(linear encoder)라고 하며, 리니어스케일 및 센싱헤드로 이루어져서, 센싱헤드를 통해서 리니어스케일의 패턴을 감지함으로써, 직선 이동체의 위치 및 속도를 감지하여 제어할 수 있도록 한다.

종래의 리니어스케일 장치로는 한국공개특허 제10-2010-0062304호의 "리니어스케일 장치"가 개시된 바 있는데, 이는 이동체가 전후로 이동하는 베이스 프레임 상에 상기 이동체의 동선을 따라 고정 설치되고, 길이방향을 따라 일렬로 관통 형성된 복수의 인덱스홀이 상하 다단으로 배치된 복수의 인덱스부가 구비된 리니어스케일과, 상기 이동체에 고정 설치되어 상기 리니어스케일에 다단으로 구비된 인덱스부를 각각 센싱하는 복수의 광센서가 구비된 센싱헤드와, 상기 광센서 각각으로부터 신호를 전송받아 상기 이동체의 위치 및 속도를 계산 및 처리하는 마이콤을 포함하여 이루어진다.

종래의 리니어스케일 장치에서 리니어스케일은 접착에 의해 고정하는 방식과, 알루미늄 압출품에 고정하는 방식이 사용되고 있다.

그러나, 리니어스케일의 고정 방식 중에서, 접착에 의한 고정방식은 특정 위치에 고정할 수 없는 특징으로 인하여 원점의 이동이 발생할 수 있으며, 이는 반복정밀도를 저하시킬 뿐만 아니라, 에러를 증가시키는 문제점을 가지고 있었다. 또한 리니어스케일의 고정 방식 중에서, 알루미늄 압출품에 고정하는 방식은 알루미늄 압출품의 측면에서 리니어스케일을 밀어 넣어야 하는 방식으로 인해 리니어스케일이 밀착되지 않는 특성으로 인하여 열용량이 적고, 이로 인해 대략 0.25mm 두께의 리니어스케일이 온도 변화에 노출됨으로써 외부 온도 변화에 빠르게 반응하는 단점을 가지고 있었다.

또한 리니어스케일 후면에 접착테이프를 사용하여 고정시킬 경우, 접착테이프는 리니어스케일의 폭보다 3~4mm 적으며, 일정한 위치에 도포되어 있지 않다. 따라서 접착테이프 전체 적용 조건의 경우, 들뜸 현상이 발생할 수 있으며, 리딩 헤드 신호의 왜곡을 발생시킬 수 있다. 또한 리니어엔코더와 리니어스케일 사이의 거리는 0.5~0.8 mm로 좁아서 일반 가공품으로 고정이 불가능하다.

이와 같은 문제점들로 인해 리니어 구동 시스템의 위치 정확도 및 반복 정확도 등의 오차를 크게 유발시키게 되었다. 또한 공간 오차를 최소화하기 위하여 장비를 낮게 설계하는데, 이때 스케일 고정부의 탭 가공이 어렵고, 기존의 방법으로는 리니어스케일의 고정판 설치가 불가능하며, 알루미늄 압출품 구조가 적용됨으로써 사용에 제약이 따르는 문제점들을 가지고 있었다.

상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 열용량을 크게 사용할 수 있어, 환경의 온도 변화에 따른 리니어스케일의 길이 변화를 최소화하여, 위치정확도를 높이는데 목적이 있다.

또한 본 발명은, 기준점의 위치를 사용자가 원하는 위치에 용이하게 적용할 수 있도록 하여, 높은 반복정밀도가 요구되는 공정 영역에서의 기준점 설정이 가능하도록 하는데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 알루미늄 압출품이 없는 제품에도 열팽창 기준점을 적용할 수 있고, 리니어스케일의 폭이 변해도 설계 변경없이 용이하게 적용하는데 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 리니어 모션 시스템의 베이스부재에 리니어스케일을 고정시키는 구조에 있어서, 상기 리니어스케일과 상기 베이스부재 사이에 개재됨으로써 상기 리니어스케일을 상기 베이스부재에 고정시키되, 상기 리니어스케일의 고정면에서 일부 구간에 생략됨으로써 비접착영역이 형성되도록 하는 접착부재; 상기 베이스부재에 마련되고, 상기 비접착영역에 면접촉되도록 리니어스케일접촉면이 마련되는 고정블록; 및 상기 리니어스케일에서 상기 비접착영역의 반대측을 지지하도록 상기 고정블록 또는 상기 베이스부재에 마련되는 고정스프링;을 포함하는, 리니어스케일 고정 장치가 제공된다.

상기 접착부재는, 상기 리니어스케일의 고정면에서 상기 비접착영역을 사이에 두고 그 양측으로 나뉘어져서 길이방향으로 부착되는 양면접착테이프로 이루어질 수 있다.

상기 고정블록은, 상기 베이스부재에서 상기 비접착영역과 대향되는 측에 마련되는 장착홈에 볼트로 고정되고, 상기 리니어스케일에 교차하는 방향으로 연장 형성되는 위치가변고정홀을 통해서 상기 볼트가 체결될 수 있다.

상기 고정스프링은, 상기 고정블록의 스프링고정면에 고정되고, 상기 고정블록으로부터 이격되도록 형성되는 스프링지지부가 상기 리니어스케일에서 고정면의 반대면 측부를 지지할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 베이스부재; 상기 베이스부재에 마련되는 LM가이드; 상기 LM가이드를 따라 직선 왕복 운동하도록 설치되는 슬라이드; 상기 슬라이드에 설치되는 리니어모터; 상기 리니어모터에 대향되도록 상기 베이스부재에 설치되는 리니어마그네트; 상기 슬라이드에 설치되는 리니어엔코더; 상기 리니어엔코더에 의해 감지되기 위한 패턴이 형성되는 리니어스케일; 및 상기 리니어스케일을 상기 리니어엔코더의 이동경로를 따라 상기 베이스부재에 고정되도록 하고, 본 발명의 일측면에 따른 리니어스케일 고정 장치;를 포함하는, 리니어 구동 시스템이 제공된다.

상기 리니어스케일은, 상기 고정면의 반대면 측부를 따라 상기 스프링지지부에 의해 지지되는 지지홈이 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템에 의하면, 열용량을 크게 사용할 수 있어, 환경의 온도 변화에 따른 리니어스케일의 길이 변화를 최소화하여, 위치정확도를 높일 수 있고, 기준점의 위치를 사용자가 원하는 위치에 용이하게 적용할 수 있도록 하여, 높은 반복정밀도가 요구되는 공정 영역에서의 기준점 설정이 가능하도록 하며, 알루미늄 압출품이 없는 제품에도 열팽창 기준점을 적용할 수 있고, 리니어스케일의 폭이 변해도 설계 변경없이 용이하게 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 다른 방향에서 분해하여 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 도시한 정단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어스케일 고정 장치를 분해하여 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어스케일 고정 장치의 고정블록을 도시한 사시도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 도시한 사시도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템을 분해하여 도시한 사시도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어 구동 시스템(200)은 베이스부재(210), LM가이드(220), 슬라이드(230), 리니어모터(240), 리니어마그네트(250), 리니어엔코더(260), 리니어스케일(270) 및 리니어스케일 고정 장치(100)를 포함한다.

베이스부재(210)는 원하는 장소에 설치되는 블록으로서, 리니어스케일(270)을 고정시키는 역할을 하게 된다.

LM가이드(220)는 베이스부재(210)에 마련되는데, 예컨대 다수, 일례로 한 쌍으로 이루어져서 베이스부재(210) 상에 나란하도록 고정된다.

슬라이드(230)는 이동대상물이 설치되고, LM가이드(220)를 따라 직선 왕복 운동하도록 설치되는데, 예컨대 리니어 베어링에 해당하는 LM블록(231)이 저면에 다수로 설치되고, LM블록(231)에 의해 LM가이드(220)에 설치됨으로써, LM가이드(220)를 따라 원활하게 왕복 운동할 수 있게 된다.

리니어모터(240)는 슬라이드(230)의 일측면, 예컨대 저면에 설치되고, 리니어마그네트(250)와의 전자기력에 의해 슬라이드(230)가 LM가이드(220)를 따라 직선 왕복 운동하기 위한 추력을 발생시키는 이동자에 해당한다.

리니어마그네트(250)는 리니어모터(240)에 대향되도록 베이스부재(210)에 설치되는 고정자로서, 베이스부재(210) 상에서 LM가이드(220)와 나란하도록 설치될 수 있다.

리니어엔코더(260)는 슬라이드(230)에 설치되는데, 일례로 슬라이더(230)에 설치된 리니어엔코더블록(261)에 의해 리니어스케일(270)의 패턴 형성면과 대향되도록 설치된다.

리니어스케일(270)은 리니어엔코더(260)에 의해 감지되기 위한 패턴이 형성된다. 리니어스케일(270)은 판상의 길이부재로 이루어져서 베이스부재(210)에 고정시, 노출되는 일면에 길이방향을 따라 인덱스에 해당하는 패턴이 일정한 간격을 가지도록 형성되며, 합성수지나 스틸 또는 유리 등의 다양한 재질로 제작될 수 있다.

도 4를 참조하면, 리니어스케일(270)은 베이스부재(210)에서 접착부재(111,112; 도 3에 도시)에 의해 고정되는 고정면의 반대면 측부를 따라 스프링지지부(132)에 의해 지지되는 지지홈(272)이 형성될 수 있다. 리니어스케일(270)은 지지홈(272)이 고정면의 반대면에서 양쪽 측부를 따라 각각 형성될 수 있으며, 이러한 지지홈(272)에 의해 스프링지지부(132)에 의해 안정적으로 지지되도록 함과 아울러, 스프링지지부(132)의 돌출 정도를 최소화하여 리니어엔코더(260)와의 간섭을 피할 수 있도록 한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 리니어스케일 고정 장치(100)는 본 발명의 일 실시례에 따른 리니어스케일 고정 장치로서, 리니어스케일(270)을 슬라이더(230)와 함께 이동하는 리니어엔코더(260)의 이동경로를 따라 베이스부재(210)에 고정되도록 하는데, 접착부재(111,112), 고정블록(120) 및 고정스프링(130)을 포함할 수 있다.

접착부재(111,112)는 리니어스케일(270)과 베이스부재(210) 사이에 개재됨으로써 리니어스케일(270)을 베이스부재(210)에 고정시키되, 리니어스케일(270)의 고정면에서 일부 구간에 생략됨으로써 비접착영역(271)이 형성되도록 한다. 접착부재(111,112)는 예컨대 리니어스케일(270)의 고정면에서 비접착영역(271)을 사이에 두고 그 양측으로 나뉘어져서 길이방향으로 부착되는 양면접착테이프로 이루어질 수 있으며, 이러한 양면접착테이프를 대신하여, 접착력을 가진 다양한 부재가 사용될 수 있다.

고정블록(120)은 베이스부재(210)에 마련되고, 비접착영역(271)에 면접촉되도록 리니어스케일접촉면(121)이 마련된다. 고정블록(120)은 일례로 베이스부재(210)와 일체를 이루도록 형성되거나, 본 실시례에서처럼 다른 예로서 베이스부재(210)와 별개로 이루어져서 볼트 등에 의해 고정되도록 형성될 수도 있다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 고정블록(120)은 본 실시례에서처럼 베이스부재(210)에서 비접착영역(271)과 대향되는 측에 마련되는 장착홈(140)에 볼트(125)로 고정될 수 있고, 리니어스케일(270)에 교차하는 방향(A), 예컨대 리니어스케일(270)에 수평방향으로 직교하는 방향으로 연장 형성되는 위치가변고정홀(123)을 통해서 볼트(125)가 체결될 수 있다. 장착홈(140)은 볼트(125) 각각의 체결을 위하여 나사홀이나 나사홈의 고정부(141)가 각각 마련될 수 있다. 이러한 고정블록(120)은 볼트(125)에 의해 고정되는 위치가 위치가변고정홀(123)에 의해 리니어스케일(270)에 교차하는 방향(A)으로 가변될 수 있도록 함으로써, 리니어스케일(270)에 부착되는 접착부재(111,112), 예컨대 양면테이프의 두께 변화에 대응할 수 있도록 한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 고정스프링(130)은 리니어스케일(270)에서 비접착영역(271)의 반대측을 지지하도록 본 실시례에서처럼 고정블록(120)에 마련될 수 있고, 이와 달리 다른 예로서 베이스부재(210)에 마련될 수도 있다. 고정스프링(130)은 고정블록(120)의 스프링고정면(122)에 고정될 수 있고, 고정블록(120)으로부터 이격되도록 형성되는 스프링지지부(132)가 리니어스케일(270)에서 고정면의 반대면 측부를 지지하도록 할 수 있다. 또한 고정스프링(130)은 예컨대 스프링지지부(132) 등이 비교적 텐션을 가지도록 하는 재질로 제작될 수 있고, 고정블록(120)에 나사홀이나 나사홈 등으로 이루어진 고정부(124)에 볼트(133)로 고정되기 위하여 고정홀(131)이 볼트(133)의 개수에 상응하도록 형성될 수 있다. 고정스프링(130)은 리니어스케일(270)에 변형이 없도록 눌림 두께가 1.0 mm 이하로 할 수 있다.

이와 같은 본 발명에 따른 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템은, LCD 제조를 위한 노광장비, 검사장비, 코팅장비, 리뷰리페어장비, 물류이송장비 등에 사용될 수 있고, OLED 제조를 위한 노광장비, 증착장비, 검사장비, 코팅장비, 리뷰리페어장비, 물류이송장비 등에 사용될 수 있으며, 반도체 소자 제조를 위한 노광장비, 검사장비, 물류이송장비 등에 사용될 수 있고, 이 밖에도 위치 제어를 통한 이송을 필요로 하는 다양한 장비에 사용될 수 있다.

이와 같은 본 발명에 따른 리니어스케일 고정 장치 및 이를 가지는 리니어 구동 시스템의 작용을 설명하기로 한다.

리니어모터(240)의 구동에 의해 슬라이드(230)가 LM가이드(220) 상을 따라 이동하면, 슬라이드(230)와 함께 이동하는 리니어엔코더(260)가 리니어스케일(270)을 따라 이동하면서, 리니어스케일(270)의 패턴을 센싱하여 시스템의 제어부에 신호로서 전달한다. 제어부는 이러한 신호를 통해 슬라이드(230)의 직선 거리를 환산하고, 그에 따라 슬라이더(230)의 이동 거리를 알려준다. 즉, 리니어엔코더(260)를 통한 리니어스케일(270)의 패턴 감지를 아날로그 신호인 위치감지신호로서 발생시키면, 이를 디지털신호로 변환하여 제어부에서 슬라이더(230) 상에 설치된 이동체의 위치 및 속도 등을 계산 및 처리하도록 한다.

리니어스케일(270)이 양면접착테이프인 접착부재(111,112)에 의해 부착됨과 아울러, 리니어스케일(270)의 비접착영역(271)이 고정블록(120)의 리니어스케일접촉면(121)에 면접촉되면서, 고정스프링(130)의 스프링지지부(132)에 의해 지지됨으로써, 열용량을 크게 사용할 수 있어, 환경의 온도 변화에 따른 리니어스케일(270)의 길이 변화를 최소화하여, 위치정확도를 높일 수 있다.

또한 리니어스케일(270)에 대한 기준점의 위치를 사용자가 원하는 위치에 용이하게 적용할 수 있도록 하여, 높은 반복정밀도가 요구되는 공정 영역에서의 기준점 설정이 가능하도록 하며, 알루미늄 압출품이 없는 제품에도 열팽창 기준점을 적용할 수 있고, 리니어스케일(270)의 폭이 변해도 설계 변경없이 용이하게 적용할 수 있다.

이와 같이, 리니어스케일(270)을 구비하는 리니어 구동 시스템에 있어서, 사용 온도가 변화되는 환경에서 리니어스케일(270)의 온도 변화를 최소화하며, 열팽창을 최소화하고, 공정의 중요 위치에서 열팽창의 기준점을 제공하여 공정 중 위치정확도 및 반복정밀도를 유지할 수 있도록 한다. 또한 기준위치를 제외한 일반구간은 양면테이프 등의 접착부재(111,112)를 이용한 고정방식을 적용하여, 리니어스케일(270)이 열용량이 큰 베이스(210)에 밀착 마운팅하여 열전도가 용이하게 하며, 기준으로 사용하는 구간은 양면테이프 등의 접착부재(111,112) 두께만큼 돌출되어있는 고정블록(120)에 리니어스케일(270)을 밀착시켜 고정스프링(130)으로 고정하여, 마운팅 부위의 신호왜곡을 방지하며, 사용자가 원하는 위치에 리니어스케일(270)의 열팽창 기준점을 설정할 수 있도록 한다.

이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

111,112 : 접착부재 120 : 고정블록
121 : 리니어스케일접촉면 122 : 스프링고정면
123 : 위치가변고정홀 124 : 고정부
125 : 볼트 130 : 고정스프링
131 : 고정홀 132 : 스프링지지부
133 : 볼트 140 : 장착홈
141 : 고정부 210 : 베이스부재
220 : LM가이드 230 : 슬라이드
231 : LM블록 240 : 리니어모터
250 : 리니어마그네트 260 : 리니어엔코더
261 : 리니어엔코더블록 270 : 리니어스케일
271 : 비접착영역 272 : 지지홈

Claims (6)

1. 리니어 모션 시스템의 베이스부재에 리니어스케일을 고정시키는 구조에 있어서,
   상기 리니어스케일과 상기 베이스부재 사이에 개재됨으로써 상기 리니어스케일을 상기 베이스부재에 고정시키되, 상기 리니어스케일의 고정면에서 일부 구간에 생략됨으로써 비접착영역이 형성되도록 하는 접착부재;
   상기 베이스부재에 마련되고, 상기 비접착영역에 면접촉되도록 리니어스케일접촉면이 마련되는 고정블록; 및
   상기 리니어스케일에서 상기 비접착영역의 반대측을 지지하도록 상기 고정블록 또는 상기 베이스부재에 마련되는 고정스프링;
   을 포함하는, 리니어스케일 고정 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 접착부재는,
   상기 리니어스케일의 고정면에서 상기 비접착영역을 사이에 두고 그 양측으로 나뉘어져서 길이방향으로 부착되는 양면접착테이프로 이루어지는, 리니어스케일 고정 장치.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 고정블록은,
   상기 베이스부재에서 상기 비접착영역과 대향되는 측에 마련되는 장착홈에 볼트로 고정되고, 상기 리니어스케일에 교차하는 방향으로 연장 형성되는 위치가변고정홀을 통해서 상기 볼트가 체결되는, 리니어스케일 고정 장치.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 고정스프링은,
   상기 고정블록의 스프링고정면에 고정되고, 상기 고정블록으로부터 이격되도록 형성되는 스프링지지부가 상기 리니어스케일에서 고정면의 반대면 측부를 지지하는, 리니어스케일 고정 장치.
5. 베이스부재;
   상기 베이스부재에 마련되는 LM가이드;
   상기 LM가이드를 따라 직선 왕복 운동하도록 설치되는 슬라이드;
   상기 슬라이드에 설치되는 리니어모터;
   상기 리니어모터에 대향되도록 상기 베이스부재에 설치되는 리니어마그네트;
   상기 슬라이드에 설치되는 리니어엔코더;
   상기 리니어엔코더에 의해 감지되기 위한 패턴이 형성되는 리니어스케일; 및
   상기 리니어스케일을 상기 리니어엔코더의 이동경로를 따라 상기 베이스부재에 고정되도록 하고, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항으로 이루어지는 리니어스케일 고정 장치;
   를 포함하는, 리니어 구동 시스템.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 리니어스케일은,
   상기 고정면의 반대면 측부를 따라 상기 스프링지지부에 의해 지지되는 지지홈이 형성되는, 리니어 구동 시스템.

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