KR20170123546A - 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치 - Google Patents

복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20170123546A
KR20170123546A KR1020160053550A KR20160053550A KR20170123546A KR 20170123546 A KR20170123546 A KR 20170123546A KR 1020160053550 A KR1020160053550 A KR 1020160053550A KR 20160053550 A KR20160053550 A KR 20160053550A KR 20170123546 A KR20170123546 A KR 20170123546A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
waste gas
disposed
hybrid filter
injection nozzle
cleaning
Prior art date
Application number
KR1020160053550A
Other languages
English (en)
Inventor
전영신
신상무
이조영
이현호
이득용
최호영
박영태
이광신
배성제
윤성희
구준모
Original Assignee
삼성엔지니어링 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성엔지니어링 주식회사 filed Critical 삼성엔지니어링 주식회사
Priority to KR1020160053550A priority Critical patent/KR20170123546A/ko
Publication of KR20170123546A publication Critical patent/KR20170123546A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0035—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by wetting, e.g. using surfaces covered with oil
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0036—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by adsorption or absorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B01D46/12—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces in multiple arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/12—Washers with plural different washing sections
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/10—Mixing by creating a vortex flow, e.g. by tangential introduction of flow components
    • B01F5/0057—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2221/00—Applications of separation devices
    • B01D2221/14—Separation devices for workshops, car or semiconductor industry, e.g. for separating chips and other machining residues
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Abstract

복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치가 개시된다. 개시된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치는 서로 연통된 폐가스 유입 통로, 세정실 및 폐가스 유출 통로를 차례로 포함하는 본체, 상기 폐가스 유입 통로 내에 배치된 와류 형성기, 상기 세정실 내에 배치되어 상기 세정실의 내부 공간을 적어도 부분적으로 차폐하는 하이브리드 필터, 상기 세정실 내에 배치되어 세정액을 분사하는 분사노즐 및 상기 세정실 내의 상기 세정액 분사노즐의 후단에 배치된 미로형 집진기를 구비한다.

Description

복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치{Wet scrubber for treating composite waste gas}
복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치가 개시된다. 보다 상세하게는, 부피기준으로 1ppm 미만의 저농도의 오염물질을 함유하는 폐가스를 고효율로 처리할 수 있는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치가 개시된다.
반도체 공정 등에서 배출되는 배기가스는 일반적으로 폐가스(waste gas)로 지칭된다. 이러한 폐가스는 인체에 유해한 오염물질을 함유하기 때문에 대기로 방출되기 전에 처리되어야 한다.
종래의 폐가스 처리장치는 폐가스에 포함된 고농도(부피기준으로 1ppm 이상)의 산성 및 염기성 오염물질을 고효율로 제거할 수 있으나, 저농도(부피기준으로 1ppm 미만)의 오염물질을 함유하는 폐가스를 처리하는데는 어려움이 있었다.
따라서, 저농도의 오염물질을 함유하는 폐가스를 처리하기 위해서는 다단처리를 하거나 세정기 내부에 다량의 충진물을 사용하여야 하는데, 이는 설비의 대형화를 초래하며, 유지보수를 위해 인적 및 물적자원의 과다한 투입을 요구할 뿐만 아니라 많은 위험요소를 야기하게 된다.
본 발명의 일 구현예는 부피기준으로 1ppm 미만의 저농도의 오염물질을 함유하는 폐가스를 제거하는 세정집진장치의 제공을 목적으로 하며, 보다 구체적으로는 기액접촉을 효율적으로 유도하는 복수 기능의 기액접촉 수단을 추가함으로써 폐가스를 고효율로 처리할 수 있는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면은,
서로 연통된 폐가스 유입 통로, 세정실 및 폐가스 유출 통로를 차례로 포함하는 본체;
상기 폐가스 유입 통로 내에 배치된 와류 형성기;
상기 세정실 내에 배치되어 상기 세정실의 내부 공간을 적어도 부분적으로 차폐하는 하이브리드 필터;
상기 세정실 내에 배치되어 세정액을 분사하는 분사노즐; 및
상기 세정실 내의 상기 세정액 분사노즐의 후단에 배치된 미로형 집진기를 구비하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 제공한다.
상기 폐가스 유입 통로 및 폐가스 유출 통로는 상기 세정실의 내경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
상기 하이브리드 필터는 상기 세정실의 내경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
상기 하이브리드 필터의 직경은 상기 세정실의 내경의 1/4~1/5일 수 있다.
상기 하이브리드 필터는 일단부는 상기 세정실의 바닥에 결합되어 있고, 타단부는 상기 세정실의 천장에 결합되어 있을 수 있다.
상기 하이브리드 필터는 상기 폐가스 유입 통로쪽에서 상기 폐가스 유출 통로쪽을 향하는 방향으로 서로 나란히 배치된 제1 하이브리드 필터 및 제2 하이브리드 필터를 포함할 수 있다.
상기 분사 노즐은 상기 세정실의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐 및 상기 폐가스 유입 통로 내의 상기 와류 형성기의 후단에 배치된 제2 분사 노즐을 포함할 수 있다.
상기 하이브리드 필터는 상기 제1 하이브리드 필터 및 상기 제2 하이브리드 필터 사이에 배치된 제3 하이브리드 필터를 더 포함할 수 있다.
상기 분사 노즐은 상기 세정실의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐만을 포함하거나, 또는 상기 제1 분사 노즐 외에 상기 폐가스 유입 통로 내의 상기 와류 형성기의 후단에 배치된 제2 분사 노즐을 더 포함할 수 있다.
상기 분사 노즐은 상기 세정실 내부의 상기 하이브리드 필터의 전단에는 배치되어 있지 않을 수 있다.
상기 세정액은 물을 포함할 수 있다.
상기 세정액은 세정약품을 더 포함할 수 있다.
상기 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치는 상기 미로형 집진기의 후단에 배치된 데미스터를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 일 구현예에 따른 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치는 종래의 세정 집진 장치에 비해 폐가스에 함유된 오염물질의 제거효율을 향상시킬 수 있고, 기액 접촉 반응부의 부피를 대폭 줄이고 세정수의 직접 분사를 유도하여 폐가스에 함유된 오염물질 및 정화 과정에서 발생하는 오염입자물질 혹은 미스트(mist) 등이 장치 내부에 적층되는 일이 발생하지 않으므로 유지보수에 소요되는 비용을 대폭 절감할 수 있으며, 장치의 크기를 대폭 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 개략적으로 기재된 도면이다.
도 2는 도 1의 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 구비된 와류 형성기의 일 구현예를 기재된 사시도이다.
도 3은 도 1의 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 구비된 하이브리드 필터의 일 구현예를 기재된 도면이다.
도 4는 도 1의 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 구비된 미로형 집진기의 일 구현예를 기재된 투과 사시도이다.
도 5는 도 4의 A 부분의 정면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 구현예에 따른 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 상세히 설명한다.
본 명세서에서, 「전단 또는 전단부」는 상대적으로 복합 폐가스의 흐름방향의 역방향에 위치한 부분 또는 단부를 의미하고, 「후단 또는 후단부」는 상대적으로 복합 폐가스의 흐름방향의 순방향에 위치한 부분 또는 단부를 의미한다.
또한 본 명세서에서, 「상부」는 상대적으로 중력의 역방향에 위치한 부분 또는 단부를 의미하고, 「하부」는 상대적으로 중력방향의 순방향에 위치한 부분 또는 단부를 의미한다.
또한 본 명세서에서, 「내경」이란 임의의 구성요소의 내부 공간의 평균 폭경(average width)을 의미한다.
또한 본 명세서에서, 「세정」이란 복합 폐가스를 세정액과 접촉시켜 상기 복합 폐가스로부터 오염물질(미립자 포함)을 제거하는 것을 의미한다.
또한 본 명세서에서, 「복합 폐가스」란 반도체 제조공정, 화학공정, 전자제품 제조공정, 전자부품 제조공정, 정밀기계 제조공정 및 이차전지 제조공정과 같은 각종 산업공정에서 배출되는 가스로서 산성 및 염기성 오염물질(미립자, BCl3, Cl2, HCl, HF, F2, HBr, SiCl4, TiCl4, SiF4, ClF3 등)을 함유하는 가스를 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치(10)를 개략적으로 기재된 도면이다.
도 1을 참조하면, 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치(10)는 본체(11), 와류 형성기(12), 세정액 저장조(13), 세정액 분배관(14), 펌프(15), 하이브리드 필터(hybrid filter)(16), 분사 노즐(17), 미로형 집진기(18) 및 데미스터(19)를 포함한다.
본체(11)는 서로 연통된 폐가스 유입 통로(11a), 세정실(11b) 및 폐가스 유출 통로(11c)를 차례로 포함할 수 있다.
폐가스 유입 통로(11a), 세정실(11b) 및 폐가스 유출 통로(11c)는 각각 원통형일 수 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
폐가스 유입 통로(11a) 및 폐가스 유출 통로(11c)는 세정실(11b)의 내경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
폐가스 유입 통로(11a) 및 폐가스 유출 통로(11c)는 서로 동일하거나 상이한 내경을 가질 수 있다.
세정실(11b)은 복합 폐가스와 세정액이 접촉하여 상기 복합 폐가스의 세정이 이루어지는 장소이다.
와류 형성기(12)는 복합 폐가스의 와류를 생성하여 분사 노즐(17)로부터 분사된 미세 액적 형태의 세정액과 상기 복합 폐가스의 혼합 효과를 상승시켜 가스상 물질 및 입자상 물질의 처리효율을 높이는 역할을 수행한다.
와류 형성기(12)는 폐가스 유입 통로(11a) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 와류 형성기(12)는 폐가스 유입 통로(11a)의 전단부 내에 폐가스 유입 통로(11a)의 폭경 전체를 차폐하도록 배치될 수 있다. 와류 형성기(12)의 일 구현예가 도 2에 도시되어 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 다양한 구조를 갖는 와류 형성기가 사용될 수 있다.
세정액 저장조(13)에 저장된 세정액은 펌프(15)의 작용에 의해 세정액 분배관(14)을 통해 분사 노즐(17)로 공급된다.
상기 세정액은 산성 수용액 또는 염기성 수용액을 포함할 수 있다.
상기 산성 수용액은 pH가 3~6일 수 있다. 상기 산성 수용액은 황산 수용액, 질산 수용액, 염산 수용액 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.
상기 염기성 수용액은 pH가 8~10일 수 있다. 상기 염기성 수용액은 수산화나트륨 수용액, 수산화칼슘 수용액, 수산화칼륨 수용액, 암모니아수, 수산화마그네슘 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.
하이브리드 필터(16)는 복합 폐가스와 세정액 간의 충돌을 유도하여 상기 복합 폐가스 중의 가스상 및 입자상 물질의 세정을 돕는 역할을 수행한다. 구체적으로, 하이브리드 필터(16)는 시브(sieve) 형태의 필터와 상기 필터를 지탱해주는 구조물을 포함하고, 복합 폐가스 및 세정액을 충돌시키거나, 및/또는 통과시켜 미세 액적을 생성하는 역할을 수행한다. 또한, 하이브리드 필터(16)는 세정 작용 동안에 이의 내부에 거품이 발생하여 가스상이 액상에 잘 흡수되게 함으로써 폐가스의 중화작용 및 폐가스에 함유된 오염물질의 제거(즉, 흡수)를 효과적으로 수행할 수 있다.
하이브리드 필터(16)는 세정실(11b) 내에 배치되어 세정실(11b)의 내부 공간을 적어도 부분적으로 차폐한다. 이러한 하이브리드 필터(16)는 종래의 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 구비된 충전물에 비해 부피가 작아서 복합 폐가스 세정 집진 장치(10)의 유지보수시 장치로부터 용이하게 분리될 수 있을 뿐만 아니라, 분리되지 않은 상태에서도 세척(즉, 오염물질 제거)될 수 있다. 하이브리드 필터(16)의 일 구현예가 도 3에 도시되어 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 다양한 구조를 갖는 하이브리드 필터가 사용될 수 있다.
하이브리드 필터(16)는 세정실(11b)의 내경보다 작은 직경을 가질 수 있다. 이와 같이 하이브리드 필터(16)가 세정실(11b)의 내경보다 작은 직경을 가짐으로써, 분사노즐(17a, 17b, 17c)의 설치 공간 및 세정액의 분사 공간을 충분히 확보할 수 있으며, 하이브리드 필터(16)의 부피를 줄일 수 있고, 하이브리드 필터(16)의 설치 및 분리가 용이해질 수 있다. 예를 들어, 하이브리드 필터(16)의 직경은 세정실(11b)의 내경의 1/4~1/5일 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 하이브리드 필터(16)는 일단부는 세정실(11b)의 바닥에 결합되어 있고, 타단부는 세정실(11b)의 천장에 결합되어 있을 수 있다.
하이브리드 필터(16)는 폐가스 유입 통로(11a)쪽에서 폐가스 유출 통로(11c)쪽을 향하는 방향으로 서로 나란히 배치된 제1 하이브리드 필터(16a) 및 제2 하이브리드 필터(16c)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 하이브리드 필터(16b)는 생략될 수 있다. 이 경우, 분사 노즐(17)은 세정실(11b)의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐(17a) 및 폐가스 유입 통로(11a) 내의 와류 형성기(12)의 후단에 배치된 제2 분사 노즐(17b)을 포함할 수 있다.
하이브리드 필터(16)는 제1 하이브리드 필터(16a), 제2 하이브리드 필터(16c) 및 이들 사이에 배치된 제3 하이브리드 필터(16b)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 분사 노즐(17)은 세정실(11b)의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐(17a)만을 포함하거나, 또는 제1 분사 노즐(17a) 외에 폐가스 유입 통로(11a) 내의 와류 형성기(12)의 후단에 배치된 제2 분사 노즐(17b)을 더 포함할 수 있다. 즉 이 경우, 도 1에 도시된 제2 분사 노즐(17b)은 생략될 수도 있고, 유지될 수도 있다.
분사노즐(17)은 미세 액적을 분무할 수 있도록 구성될 수 있다. 이러한 분사노즐(17)은 고압 펌프(미도시)를 이용하거나 압축 공기를 사용하는 방식일 수 있다. 상기 고압 펌프는 외기가 유입되지 않아 외기 희석이 일어나지 않는 방식으로 작동될 수 있다.
분사 노즐(17)은 세정실(11b) 내부의 하이브리드 필터(16)의 전단에는 배치되어 있지 않을 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 분사 노즐(17c, 17d, 17e)은 생략될 수 있다. 분사 노즐(17c, 17d, 17e)이 설치되지 않은 경우에는, 이들이 설치된 경우에 비해 복합 폐가스 중의 오염물질(미립자 포함)의 제거효율이 향상될 수 있다.
분사 노즐(17)은 종래의 세정 집진 장치의 세정액 분사 압력(1~2bar)에 비해 상대적으로 높은 압력(7bar)으로 상기 세정액을 분사하여 미세 액적(200~500㎛의 액적)을 생성한다. 상기 미세하게 분사된 세정액은 세정실(11b) 내에서 빠르게 확산된다. 따라서, 상기 미세하게 분사된 세정액과 폐가스의 접촉 면적이 증가하여 상기 폐가스의 처리 효율이 향상될 수 있다.
미로형 집진기(18)는 복합 폐가스 및 세정액의 혼합물에 포함된 액적(즉, 액체 성분 및 입자상 물질)을 제거하는 역할을 수행한다. 미로형 집진기(18)는 미세 액적(예를 들어, 50~100㎛의 액적)의 대부분을 제거할 수 있다. 미로형 집진기(18)의 일 구현예가 도 4에 도시되어 있다. 도 4에 도시된 미로형 집진기(18)는 1행 4열형인데, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 다양한 구조를 갖는 미로형 집진기가 사용될 수 있다.
미로형 집진기(18)가 1행 4열형인 경우 액적의 제거효율이 우수하고 미로형 집진기(18)로 인한 압력 강하가 낮을 수 있다.
도 5는 도 4의 A 부분의 정면도이다.
도 5를 참조하면, 미로형 집진기(18)의 각 부분의 길이(L1, L2, L3, L4)는 서로 동일하거나 상이할 수 있다. 예를 들어, 길이(L1, L2, L3)는 각각 50~100mm(예를 들어, 75mm)일 수 있다. 또한, 길이(L4)는 100~200mm(예를 들어, 150mm)일 수 있다.
또한, 미로형 집진기(18)의 각 부분의 각도(θ)는 30~60°(예를 들어, 45°)일 수 있다.
데미스터(19)는 미로형 집진기(18)에서 제거되지 않은 초미세 액적(예를 들어, 10~50㎛의 액적)을 제거하는 역할을 수행한다. 이러한 데미스터(19)는 생략될 수 있다.
데미스터(19)는, 예를 들어, 집진 패드 또는 전기 집진기일 수 있다. 상기 전기 집진기는 아크 방전 또는 코로나 방전 등에 의해 미세 액적을 전하로 대전시키고, 상기 대전된 미세 액적을 이와 반대 극성을 갖는 전극판(미도시)에 흡착시켜 포집한다.
이하, 실시예들을 들어 본 발명에 관하여 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 이러한 실시예들에 한정되는 것은 아니다.
실시예
실시예 1~3 및 비교예 1~6: 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치의 제조
도 1에 도시된 것과 동일하거나 유사한 구성을 갖는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 제조하였다. 와류 형성기(12)로는 자체 제작한 베인(vaine)을 사용하였다. 미로형 집진기(18)로는 도 4 및 도 5의 구성을 갖는 미로형 집진기를 사용하였다. 도 5에서, L1, L2 및 L3는 각각 75mm이었고, L4는 150mm이었다. 또한, 데미스터(19)로는 3차원 구조의 집진패드(KIMRE INC., TI-45)를 사용하였다. 각 실시예 및 비교예에서 제조된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치의 구성상의 차이점을 하기 표 1에 나타내었다. 하기 표 1에서 "○"는 존재함을 의미하고, "×"는 부존재함을 의미한다. 도 1에 도시된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치의 구성요소들 중 하기 표 1에 기재되지 않은 구성요소들은 각 실시예 및 비교예에서 제조된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 모두 구비되었다.
분사 노즐 하이브리드 필터
17b 17c 17d 17e 16a 16b 16c
실시예 1 ○ × × × ○ × ○
실시예 2 × × × × ○ ○ ○
실시예 3 ○ × × × ○ ○ ○
비교예 1 × × × × × × ○
비교예 2 ○ × × × × × ○
비교예 3 × × × × ○ × ○
비교예 4 ○ ○ ○ ○ ○ × ○
비교예 5 × ○ ○ ○ ○ ○ ○
비교예 6 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
평가예 1: 성능 평가
실시예 1~3 및 비교예 1~6에서 제조된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치를 하기 표 2에 기재된 운전조건으로 운전하였다. 각 실시예 및 비교예에서 제조된 장치를 동일한 운전조건으로 3회씩 운전하였다.
복합 폐가스 액기비*(L/m3) 세정액 분사 노즐의
분사 압력
부피 기준으로 1ppm의 불화수소를 함유하는 공기 2.0 수산화나트륨 수용액(pH 8~9) 7 bar
* Liquid to gas ratio(리터/m3)
각각의 운전에 대하여 하기 수학식 1에 따라 불화수소 제거효율을 계산한 후, 그 결과의 평균치를 하기 표 3에 불화수소 제거효율로서 나타내었다. 또한, 폐가스 유입 통로(11a) 및 폐가스 유출 통로(11c) 간의 압력 차이를 측정하여, 그 결과를 하기 표 3에 압력 강하로서 나타내었다.
[수학식 1]
불화수소 제거효율(%) = (폐가스 유입 통로(11a)에서의 불화수소 농도 - 폐가스 유출 통로(11c)에서의 불화수소 농도)/폐가스 유입 통로(11c)에서의 불화수소 농도 ×100
실시예 비교예
1 2 3 1 2 3 4 5 6
불화수소
제거효율(%)		 98.86 98.55 100 94.96 95.40 96.65 95.88 95.21 97.30
압력 강하
(mmAq)		 167 209 208 142 141 164 168 210 209
상기 표 3을 참조하면, 실시예 1~3에서 제조된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치는 비교예 1~6에서 제조된 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에 비해 압력 강하는 크지만 불화수소 제거효율이 높은 것으로 나타났다. 다만, 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치에서 300mmAq(milli metre Aqua) 이하의 압력 강하는 허용가능한 수준인 것으로 알려져 있다.
이상에서 도면 및 실시예를 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 구현예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 구현예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
10: 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치 11: 본체
12: 와류 형성기 13: 세정액 저장조
14: 세정액 분배관 15: 펌프
16: 하이브리드 필터 17: 분사 노즐
18: 미로형 집진기 19: 데미스터

Claims (12)

  1. 서로 연통된 폐가스 유입 통로, 세정실 및 폐가스 유출 통로를 차례로 포함하는 본체;
    상기 폐가스 유입 통로 내에 배치된 와류 형성기;
    상기 세정실 내에 배치되어 상기 세정실의 내부 공간을 적어도 부분적으로 차폐하는 하이브리드 필터;
    상기 세정실 내에 배치되어 세정액을 분사하는 분사노즐; 및
    상기 세정실 내의 상기 세정액 분사노즐의 후단에 배치된 미로형 집진기를 구비하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폐가스 유입 통로 및 폐가스 유출 통로는 상기 세정실의 내경보다 작은 직경을 갖는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하이브리드 필터는 상기 세정실의 내경보다 작은 직경을 갖는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하이브리드 필터의 직경은 상기 세정실의 내경의 1/4~1/5인 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하이브리드 필터는 일단부는 상기 세정실의 바닥에 결합되어 있고, 타단부는 상기 세정실의 천장에 결합되어 있으며, 상기 폐가스 유입 통로쪽에서 상기 폐가스 유출 통로쪽을 향하는 방향으로 서로 나란히 배치된 제1 하이브리드 필터 및 제2 하이브리드 필터를 포함하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 상기 세정실의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐 및 상기 폐가스 유입 통로 내의 상기 와류 형성기의 후단에 배치된 제2 분사 노즐을 포함하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 분사노즐은 미세 액적을 분무할 수 있도록 구성된 복합 폐가스 처리용 세정집진 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 분사노즐은 고압 펌프를 이용하거나 압축 공기를 사용하는 방식인 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 하이브리드 필터는 상기 제1 하이브리드 필터 및 상기 제2 하이브리드 필터 사이에 배치된 제3 하이브리드 필터를 더 포함하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 상기 세정실의 상부에 배치된 적어도 하나의 제1 분사 노즐만을 포함하거나, 또는 상기 제1 분사 노즐 외에 상기 폐가스 유입 통로 내의 상기 와류 형성기의 후단에 배치된 제2 분사 노즐을 더 포함하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 상기 세정실 내부의 상기 하이브리드 필터의 전단에는 배치되어 있지 않은 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 미로형 집진기의 후단에 배치된 데미스터를 더 구비하는 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치.
KR1020160053550A 2016-04-29 2016-04-29 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치 KR20170123546A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160053550A KR20170123546A (ko) 2016-04-29 2016-04-29 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160053550A KR20170123546A (ko) 2016-04-29 2016-04-29 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20170123546A true KR20170123546A (ko) 2017-11-08

Family

ID=60385273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160053550A KR20170123546A (ko) 2016-04-29 2016-04-29 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20170123546A (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109865408A (zh) * 2017-12-04 2019-06-11 孙兵 一种次氯酸钙生产中氯气的全自动处理装置
KR20200061066A (ko) * 2018-11-23 2020-06-02 주식회사 애니텍 세정액의 배출을 방지하기 위한 데미스터를 구비하는 스크러버
CN111550877A (zh) * 2020-05-11 2020-08-18 庄伙金 一种家用空气净化设备
EP3897924A4 (en) * 2018-12-20 2023-01-04 Entegris, Inc. ACTIVE WET WASH FILTRATION SYSTEM
KR102562451B1 (ko) * 2022-12-21 2023-08-03 주식회사 현진기업 이산화탄소 악취 저감제 및 필터 그리고 이를 이용한 스마트 이산화탄소 악취 저감 시스템

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109865408A (zh) * 2017-12-04 2019-06-11 孙兵 一种次氯酸钙生产中氯气的全自动处理装置
CN109865408B (zh) * 2017-12-04 2021-12-07 苏州许本科技有限公司 一种次氯酸钙生产中氯气的全自动处理装置
KR20200061066A (ko) * 2018-11-23 2020-06-02 주식회사 애니텍 세정액의 배출을 방지하기 위한 데미스터를 구비하는 스크러버
EP3897924A4 (en) * 2018-12-20 2023-01-04 Entegris, Inc. ACTIVE WET WASH FILTRATION SYSTEM
CN111550877A (zh) * 2020-05-11 2020-08-18 庄伙金 一种家用空气净化设备
KR102562451B1 (ko) * 2022-12-21 2023-08-03 주식회사 현진기업 이산화탄소 악취 저감제 및 필터 그리고 이를 이용한 스마트 이산화탄소 악취 저감 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20170123546A (ko) 복합 폐가스 처리용 세정 집진 장치
KR101527175B1 (ko) 미세 액적 분사장치를 이용한 폐가스 처리 장치
KR101564580B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR101478973B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 산성 폐가스 처리 스크러버
US7297182B2 (en) Wet electrostatic precipitator for treating oxidized biomass effluent
KR101420508B1 (ko) 이온화 습식 전기집진장치
KR101571093B1 (ko) 폐가스 처리 장치
KR101722232B1 (ko) 선박 엔진의 배기가스 정화장치
KR101864480B1 (ko) 폭발성 배기가스 입자의 정전 제거 장치
KR101210931B1 (ko) 폐가스 처리 장치
KR100818639B1 (ko) 습식전기이오나이져
KR101564581B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR102260160B1 (ko) 수평형 스크러버 장치
KR101809626B1 (ko) 복합오염물질 처리 시스템
JP2008006371A (ja) 集塵装置
CN104353335B (zh) 一种等离子体脱硫脱硝及除尘装置
KR101927590B1 (ko) 직물시트를 이용한 스크러버
KR101564579B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR101431076B1 (ko) 폐가스 처리 장치
KR100818638B1 (ko) 습식전기이오나이져
KR101334937B1 (ko) 탄소와이어 집진시스템을 이용하는 배기가스 처리장치
KR101652312B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 수평식 폐가스 처리 스크러버
KR102025976B1 (ko) 수막형 스크러버 및 이를 이용한 집진 방법
KR101896171B1 (ko) 직물시트를 이용한 스크러버
CN204337993U (zh) 一种等离子体脱硫脱硝及除尘装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application