KR20170120182A - 적응형 뉴슨스 필터 - Google Patents
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Abstract
Description
도 1 및 도 2는 본 명세서에서 설명된 바와 같이 구성된 시스템의 실시예들의 측면도들을 도시하는 개략도들이다.
도 3은 본 명세서에서 설명된 하나 이상의 컴퓨터 구현 방법들을 수행하도록 컴퓨터 시스템 상에서 실행되는 프로그램 명령어들이 저장되어 있는 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체의 하나의 실시예를 나타내는 블록도이다.
Claims (27)
- 적응형 뉴슨스 필터(adaptive nuisance filter)를 사용하여 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템에 있어서,
적어도 에너지원 및 검출기를 포함하는 출력 획득 서브시스템 - 상기 에너지원은 표본에 지향되는 에너지를 생성하도록 구성되고, 상기 검출기는 상기 표본으로부터의 에너지를 검출하고 상기 검출된 에너지에 응답하여 출력을 생성하도록 구성됨 -; 및
하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들
을 포함하고, 상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은,
상기 표본의 검사의 결과들 및 상기 검사를 위한 뉴슨스 필터의 파라미터들을 획득하고 - 상기 결과들은 상기 검사 중에 검출된 이벤트들에 대한 하나 이상의 특징들에 대한 값들을 포함하고, 상기 값들은 상기 검사 중에 결정됨 -;
상기 이벤트들의 다른 부분의 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들보다 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 적어도 하나의 파라미터의 적어도 하나의 값에 더 가까운, 상기 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들을 갖는 상기 이벤트들의 부분을 선택함으로써 상기 이벤트들의 샘플을 생성하고;
상기 이벤트들의 샘플에 대한 상기 출력 획득 서브시스템의 출력을 획득하고;
상기 획득된 출력에 기초하여 상기 샘플 내의 이벤트들을 분류하고;
상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 하는지를 결정하고;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어서는 안된다고 결정되면, 상기 표본에 대한 검사의 결과들에 상기 뉴슨스 필터를 적용하여 상기 표본에 대한 최종적인 검사 결과들을 생성하고;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정되면, 상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들을 수정함으로써 상기 뉴슨스 필터를 수정하며;
상기 표본에 대한 최종적인 검사 결과들을 생성하기 위해 상기 표본에 대한 검사의 결과들에 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 부분 내의 이벤트들은 관심대상의 결함들 및 뉴슨스 이벤트들을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 표본의 검사는 광학 검사 시스템에 의해 수행되는 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 표본의 검사는 상기 출력 획득 서브시스템과는 상이한 구성을 갖는 다른 출력 획득 서브시스템을 사용하여 수행되는 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 검사에 의해 검출된 이벤트들이 상당한 양의 뉴슨스 이벤트들을 포함하도록 선택되는 결함 검출 파라미터들을 사용하여 상기 표본의 검사가 수행되는 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 적어도 하나의 파라미터는 다른 유형의 이벤트들로부터 하나의 유형의 이벤트들을 분리하는 경계(boundary)를 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 검사는 상기 검사의 결과들 중 임의의 결과에 상기 뉴슨스 필터를 적용하는 것을 포함하지 않는 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정될 때, 상기 레시피 내의 상기 뉴슨스 필터를 상기 수정된 뉴슨스 필터로 대체하기 위해 상기 검사에서 사용되는 레시피를 수정하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정될 때, 상기 생성하는 것, 상기 출력을 획득하는 것, 상기 분류하는 것, 및 상기 결정하는 것이, 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 얼마나 많이 수정되는지에 기초하여, 상기 이벤트들의 다른 샘플에 대해 수행되어야 하는지를 결정하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정될 때, 상기 생성하는 것, 상기 출력을 획득하는 것, 상기 분류하는 것, 및 상기 결정하는 것이, 상기 분류의 결과들에 기초하여, 상기 이벤트들의 다른 샘플에 대해 수행되어야 하는지를 결정하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정될 때, 상기 생성하는 것, 상기 출력을 획득하는 것, 상기 분류하는 것, 및 상기 결정하는 것이 상기 이벤트들의 다른 샘플에 대해 수행되어야 하는지를 결정하며, 상기 생성하는 것, 상기 출력을 획득하는 것, 상기 분류하는 것, 및 상기 결정하는 것이 상기 다른 샘플에 대해 수행되어야 한다고 결정될 때, 상기 선택을 위해 이용되는 하나 이상의 파라미터들을 변경하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 분류하는 것은 상기 이벤트들이 관심대상의 결함들 또는 뉴슨스 이벤트들인지를 결정하는 것을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 분류하는 것은, 상기 이벤트들이 관심대상의 결함들 또는 뉴슨스 이벤트들인지를 결정하는 것과, 상기 이벤트들 각각이 관심대상의 결함들 또는 뉴슨스 이벤트들인 것으로 결정되는 신뢰도를 결정하는 것을 포함하며, 상기 결정을 위해 이용되는 상기 분류의 결과들은 상기 이벤트들 중 하나 이상의 이벤트들에 대해 결정된 신뢰도를 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 분류하는 것은, 상기 이벤트들이 관심대상의 결함들 또는 뉴슨스 이벤트들인지를 결정하는 것과, 상기 이벤트들 각각이 관심대상의 결함들 또는 뉴슨스 이벤트들인 것으로 결정되는 신뢰도를 결정하는 것을 포함하며, 상기 수정을 위해 이용되는 상기 분류의 결과들은 상기 이벤트들 중 하나 이상의 이벤트들에 대해 결정된 신뢰도를 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 결정을 위해 이용되는 상기 분류의 결과들은 상기 이벤트들 중 어느 이벤트가 관심대상의 결함들로서 분류되고 상기 이벤트들 중 어느 이벤트가 뉴슨스 이벤트들로서 분류되는지에 대한 정보를 포함하고, 상기 결정은, 상기 정보에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 관심대상 결함 캡처 레이트를 결정하고, 상기 관심대상 결함 캡처 레이트를 원하는 관심대상 결함 캡처 레이트와 비교하고, 상기 관심대상 결함 캡처 레이트가 상기 원하는 관심대상 결함 캡처 레이트보다 아래이면 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정하는 것을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 결정을 위해 이용되는 상기 분류의 결과들은 상기 이벤트들 중 어느 이벤트가 관심대상의 결함들로서 분류되고 상기 이벤트들 중 어느 이벤트가 뉴슨스 이벤트들로서 분류되는지에 대한 정보를 포함하고, 상기 결정은, 상기 정보에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 뉴슨스 이벤트 캡처 레이트를 결정하고, 상기 뉴슨스 이벤트 캡처 레이트를 원하는 뉴슨스 이벤트 캡처 레이트와 비교하고, 상기 뉴슨스 이벤트 캡처 레이트가 상기 원하는 뉴슨스 이벤트 캡처 레이트보다 높으면 상기 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정하는 것을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 뉴슨스 필터는 트레이닝 표본으로 생성된 결과들에 기초하여 상기 표본의 검사 전에 튜닝(tune)되는 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 뉴슨스 필터는 결함들의 트레이닝 세트로 생성된 결과들에 기초하여 상기 표본의 검사 전에 튜닝되며, 상기 뉴슨스 필터를 수정하는 것은, 상기 샘플 내의 이벤트들에 대한 정보 및 상기 분류의 결과들을 상기 결함들의 트레이닝 세트에 추가하여 수정된 트레이닝 세트를 생성하는 것과, 상기 수정된 트레이닝 세트에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들을 수정하는 것을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 표본에 대한 검사의 결과들에 상기 뉴슨스 필터 또는 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용한 결과들에 관계없이 상기 최종적인 검사 결과들에 상기 분류의 결과들을 포함시킴으로써 상기 최종적인 검사 결과를 생성하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 수정된 뉴슨스 필터와 상기 뉴슨스 필터 사이의 차이를 결정하고, 상기 차이가 상기 차이에 대한 값들의 미리 결정된 범위의 밖에 있을 때 사용자에게 경고를 전송하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 표본의 검사에서 수행된 결함 검출을 위한 파라미터들을 획득하고, 상기 결함 검출을 위한 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 상기 분류의 결과들에 기초하여 수정되어야 하는지를 결정하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들은 또한, 상기 표본의 검사에서 수행된 결함 분류를 위한 파라미터들을 획득하고, 상기 표본의 검사에서 수행된 결함 분류를 위한 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 상기 분류의 결과들에 기초하여 수정되어야 하는지를 결정하도록 구성된 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 표본은 웨이퍼를 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 표본에 지향된 에너지는 광을 포함하고, 상기 표본으로부터 검출된 에너지는 광을 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 제1항에 있어서,
상기 표본에 지향된 에너지는 전자를 포함하고, 상기 표본으로부터 검출된 에너지는 전자를 포함한 것인 표본에 대한 검사 결과들을 생성하도록 구성된 시스템. - 적응형 뉴슨스 필터를 사용하여 표본에 대한 검사 결과들을 생성하기 위한 컴퓨터 구현 방법을 수행하기 위해 컴퓨터 시스템 상에서 실행되는 프로그램 명령어들이 저장되어 있는 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체에 있어서, 상기 컴퓨터 구현 방법은,
상기 검사를 위한 뉴슨스 필터의 파라미터들 및 상기 표본의 검사의 결과들을 획득하는 단계 - 상기 결과들에는 상기 검사 중에 검출된 이벤트들에 대한 하나 이상의 특징들에 대한 값들이 포함되며, 상기 값들은 상기 검사 중에 결정됨 -;
상기 이벤트들의 다른 부분의 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들보다 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 적어도 하나의 파라미터의 적어도 하나의 값에 더 가까운, 상기 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들을 갖는 상기 이벤트들의 부분을 선택함으로써 상기 이벤트들의 샘플을 생성하는 단계;
상기 이벤트들의 샘플에 대한 출력 획득 서브시스템의 출력을 획득하는 단계 - 상기 출력 획득 서브시스템은 적어도 에너지원 및 검출기를 포함하고, 상기 에너지원은 상기 표본에 지향되는 에너지를 생성하도록 구성되며, 상기 검출기는 상기 표본으로부터의 에너지를 검출하고 상기 검출된 에너지에 응답하여 상기 출력을 생성하도록 구성됨 -;
상기 획득된 출력에 기초하여 상기 샘플 내의 이벤트들을 분류하는 단계;
상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 하는지를 결정하는 단계;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어서는 안된다고 결정되면, 상기 표본에 대한 최종적인 검사 결과들을 생성하기 위해 상기 표본에 대한 상기 검사의 결과들에 상기 뉴슨스 필터를 적용하는 단계;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정되면, 상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들을 수정함으로써 상기 뉴슨스 필터를 수정하는 단계;
상기 표본에 대한 상기 최종적인 검사 결과들을 생성하기 위해 상기 표본에 대한 상기 검사의 결과들에 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용하는 단계
를 포함하며,
상기 결과들을 획득하는 단계, 상기 샘플을 생성하는 단계, 상기 출력을 획득하는 단계, 상기 이벤트들을 분류하는 단계, 상기 결정하는 단계, 상기 뉴슨스 필터를 적용하는 단계, 상기 뉴슨스 필터를 수정하는 단계, 및 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용하는 단계는 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들에 의해 수행되는 것인 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체. - 적응형 뉴슨스 필터를 사용하여 표본에 대한 검사 결과들을 생성하기 위한 컴퓨터 구현 방법에 있어서,
상기 검사를 위한 뉴슨스 필터의 파라미터들 및 상기 표본의 검사의 결과들을 획득하는 단계 - 상기 결과들에는 상기 검사 중에 검출된 이벤트들에 대한 하나 이상의 특징들에 대한 값들이 포함되며, 상기 값들은 상기 검사 중에 결정됨 -;
상기 이벤트들의 다른 부분의 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들보다 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 적어도 하나의 파라미터의 적어도 하나의 값에 더 가까운, 상기 하나 이상의 특징들 중 적어도 하나의 특징에 대한 값들을 갖는 상기 이벤트들의 부분을 선택함으로써 상기 이벤트들의 샘플을 생성하는 단계;
상기 이벤트들의 샘플에 대한 출력 획득 서브시스템의 출력을 획득하는 단계 - 상기 출력 획득 서브시스템은 적어도 에너지원 및 검출기를 포함하고, 상기 에너지원은 상기 표본에 지향되는 에너지를 생성하도록 구성되며, 상기 검출기는 상기 표본으로부터의 에너지를 검출하고 상기 검출된 에너지에 응답하여 상기 출력을 생성하도록 구성됨 -;
상기 획득된 출력에 기초하여 상기 샘플 내의 이벤트들을 분류하는 단계;
상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 하는지를 결정하는 단계;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어서는 안된다고 결정되면, 상기 표본에 대한 최종적인 검사 결과들을 생성하기 위해 상기 표본에 대한 상기 검사의 결과들에 상기 뉴슨스 필터를 적용하는 단계;
상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들이 수정되어야 한다고 결정되면, 상기 분류의 결과들에 기초하여 상기 뉴슨스 필터의 파라미터들 중 하나 이상의 파라미터들을 수정함으로써 상기 뉴슨스 필터를 수정하는 단계;
상기 표본에 대한 상기 최종적인 검사 결과들을 생성하기 위해 상기 표본에 대한 상기 검사의 결과들에 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용하는 단계
를 포함하며,
상기 결과들을 획득하는 단계, 상기 샘플을 생성하는 단계, 상기 출력을 획득하는 단계, 상기 이벤트들을 분류하는 단계, 상기 결정하는 단계, 상기 뉴슨스 필터를 적용하는 단계, 상기 뉴슨스 필터를 수정하는 단계, 및 상기 수정된 뉴슨스 필터를 적용하는 단계는 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템들에 의해 수행되는 것인 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체.
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