KR20170118282A - 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서 및 마이크로플루이딕스칩 조립체 - Google Patents

마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서 및 마이크로플루이딕스칩 조립체 Download PDF

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Abstract

멀티 플렉서는, 제1 공압채널이 형성되는 제1 적층 플레이트, 및 제2 공압채널이 형성되며, 제1 적층 플레이트와 포개지면서 제2 공압채널이 제1 공압채널과 교차하여 서로 연통되는 교차지점을 형성하는 제2 적층 플레이트를 포함하며, 마이크로플루이딕스칩이 제1 및 제2 적층 플레이트와 상하로 포개지면서 미세채널이 교차지점과 연통됨으로써, 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되는 경우에는 다른 한 쪽으로 공압의 손실이 발생하고, 제1 및 제2 공압채널로 동시에 공압이 제공되거나 상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되고, 다른 한 쪽이 폐쇄되는 경우에 한해서 미세채널로 공압이 제공될 수 있다.

Description

마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서 및 마이크로플루이딕스칩 조립체 {MULTIPLEXOR FOR CONTROL OF FLOW IN MICROFLUIDICS CHIP AND MICROFLUIDICS CHIP ASSEMBLY}
본 발명은 마이크로플루이딕스칩의 미세채널 내 유체를 제어할 수 있는 멀티 플렉서 및 이를 포함하는 마이크로플루이딕스칩 조립체에 관한 것이다.
마이크로플루이딕스칩은 Lab-on-a-chip(LOC)라 불리기도 하는데 미세채널로 미량의 분석 대상물질을 흘려 보내면서 칩에 결집되어 있는 각종 생물분자 혹은 센서와 반응하는 양상을 분석할 수 있다. 최근 마이크로플루이딕스칩은 주로 분석 물질의 분리, 합성, 정량 분석 등 그 분야를 넓혀가고 있다.
한편, 마이크로플루이딕스칩에서 미세채널 내의 유체 흐름을 제어하기 위한 방법으로, 변형 가능한 멤브레인을 사용한 공압밸브를 많이 사용하고 있으며, 구체적으로 멤브레인의 팽창을 통해서 그 하부에 위치하는 미세채널의 유체 흐름을 선택적으로 차단할 수 있다. 일 예로, 대한민국 공개특허 2012-0056055에는 얇은 고분자 막을 팽창시켜 샘플 채널의 양을 조절하는 마이크로 밸브가 개시된다.
다만, 공압밸브로서 얇은 고분자 막을 사용하는 경우, 공압밸브 자체의 수명이 제한적이며, 채널 내의 유체와 직접 접촉하는 등의 이유로 사용에 한계가 있다.
또한, 채널을 선택적으로 차단하는 공압밸브 즉, 멤브레인이 채널에 1:1로 대응해야 하며, 공압을 발생시키는 솔레노이드 밸브(solenoid valve) 역시 각각의 채널에 연결해야 하는 등, 마이크로 밸브의 제조방법이나 제조단가가 상당하며, 1:1로 채널을 조절해야 하는 이유로 유체 흐름 제어가 상당히 복잡하다.
본 발명은 마이크로플루이딕스칩의 미세채널을 선택적으로 차단하는 별도의 멤브레인을 배제하면서도 미세채널 내의 유체의 흐름을 제어할 수 있도록 함으로써, 사용 연한의 제한이나 멤브레인을 형성하는 과정 등의 사용 및 제조 상의 다양한 문제점을 극복할 수 있는 멀티 플렉서 및 이를 포함하는 마이크로플루이딕스칩 조립체를 제공한다.
본 발명은 공압만으로 마이크로플루이딕스칩의 유체의 흐름을 선택적으로 차단한다.
본 발명은 마이크로플루이딕스칩에 제공되는 미세채널을 제어하기 위한 공압밸브와 솔레노이드 밸브를 1:1로 배치하지 않고, 미세채널보다 적은 수의 솔레노이드 밸브만으로 각각의 미세채널을 제어할 수 있도록 함으로써, 제조 공정의 단순화 및 이를 통한 제조 단가의 절감을 구현할 수 있는 멀티 플렉서 및 이를 포함하는 마이크로플루이딕스칩 조립체를 제공한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 마이크로플루이딕스칩의 미세채널 내로 공압을 제공하여 미세채널 내의 유체제어를 위한 멀티 플렉서는, 제1 공압채널이 형성되는 제1 적층 플레이트; 및 제2 공압채널이 형성되며, 제1 적층 플레이트와 포개지면서 제2 공압채널이 제1 공압채널과 교차하여 서로 연통되는 교차지점을 형성하는 제2 적층 플레이트를 포함하며, 마이크로플루이딕스칩이 제1 및 제2 적층 플레이트와 상하로 포개지면서 미세채널이 교차지점과 연통됨으로써, 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되는 경우에는 다른 한 쪽으로 공압의 손실이 발생하고, 제1 및 제2 공압채널로 동시에 공압이 제공되거나 상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되고, 다른 한 쪽이 폐쇄되는 경우에 한해서 미세채널로 공압이 제공될 수 있다. 미세채널로 공압이 제공되면, 미세채널 내의 시약에 대한 농도구배를 구현하거나, 미세채널 상에서 시약의 종류나 농도에 따른 반응대상물의 반응을 확인할 수 있다.
미세채널의 선택적인 차단을 별도의 얇은 막을 사용하지 않고, 공압만으로 구현함으로써, 막 생성을 위한 복잡한 공정과정을 생략하여 생산원가를 절감할 수 있다.
또한, 제1 및 제2 공압채널 어느 한쪽으로 공기압을 제공할 경우에는 다른 한쪽으로 압력의 누수를 발생시키고, 제1 및 제2 공압채널 양쪽으로 공압을 제공하여 마이크로플루이딕스칩의 미세채널 내의 유체를 제어할 수 있도록 함으로써, 압력을 제공하기 위한 외부장치(예를 들어, 솔레노이드 밸브)를 1:1로 미세채널에 대응시켜 배치할 필요가 없고, 이에 생산원가의 절감은 물론 복잡한 외부장치 개수의 최소화가 가능하여 고밀도의 선별검사(screening test)가 가능하다.
구체적으로, 제1 공압채널 및 제2 공압채널이 각각 서로 분리된 2 이상의 M개 및 N개로 제공되며, 각각의 제2 공압채널이 제1 공압채널의 개수 M에 대응하여 분기되는 가지채널을 포함하되, 가지채널이 제1 공압채널과 교차지점을 형성하는 경우, M+N개의 제1 및 제2 공압채널을 이용하여 최소한 M*N개의 미세채널을 제어할 수 있는 멀티 플렉서를 제공할 수 있다. 예를 들어, 제2 공압채널 각각이 제1 공압채널의 개수와 동일한 개수의 가지채널을 포함하는 경우, M+N개의 제1 및 제2 공압채널을 이용하여 M*N개의 미세채널 각각에 독립적으로 공압을 제공할 수 있다.
상술한 멀티 플렉서는 기존의 미세채널을 갖는 마이크로플루이딕스칩의 상부에 순차로 제1 적층플레이트 및 제2 적층 플레이트를 적층시켜 간단하게 제조할 수 있다.
적층된 칩이나 플레이트에 형성된 미세채널과 공압채널들을 연결시키기 위한 구체적 예를 들면, 제1 공압채널, 제2 공압채널, 및 미세채널을 제1 및 제2 적층 플레이트에 홈 형태로 제공하되, 제2 공압채널은 교차지점에서 일부 홀 형태로 제공되어 제1 공압채널과 연통될 수 있고, 미세채널 역시 상기 교차지점에서 연통될 수 있다. 다르게는 제2 공압채널은 제2 적층 플레이트에 상하로 관통 형성되고, 제1 공압채널 및 미세채널은 제2 공압채널을 향하여 제1 적층 플레이트의 저면 및 마이크로플루이딕스칩의 상면에 각각 홈 형태로 제공될 수 있다.
또한, 제2 적층 플레이트와 마이크로플루이딕스칩 사이에 배치되는 제1 적층 플레이트의 제1 공압채널 및 제2 적층 플레이트의 제2 공압채널로 공기 압을 제공하기 위해서 제1 및 제2 적층플레이트에는 적절한 통공이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 적층 플레이트에는 제1 공압채널로 공압을 제공하기 위한 제1 관통 홀 및 제2 적층 플레이트의 제2 공압채널로 공압을 제공하기 위한 제2 관통 홀이 형성될 수 있다.
멀티 플렉서의 제1 및 제2 적층 플레이트는 실리콘 웨이퍼 위에 공압채널이나 관통 홀 형성을 위한 패턴을 새겨 놓고, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)와 같은 합성수지를 포토리소그래피 또는 스핀코팅 방법을 통해서 제공할 수 있다.
이상 설명한 멀티 플렉서는 마이크로플루이딕스칩 상에 얹어져 미세채널 내의 유체를 별도의 막 없이 공압만으로 제어할 수 있다.
종래의 마이크로플루이딕스칩에서는 미세채널의 선택적인 차단을 위해서 별도의 얇은 막을 사용하였으나, 이로 인해 복잡한 막 생성 과정이 추가되고, 상기 막은 얇은 합성수지 형태로 사용 연한의 제한이 있을 뿐만 아니라, 실제 사용시 미세채널 내 약물과 직접 접촉하는 경우도 발생한다. 그러나, 본 발명의 멀티 플렉서 및 이를 채택한 마이크로플루이딕스칩 조립체의 경우에는 상기 막을 이용하지 않고, 공압만으로 미세채널 내의 유체를 조절하는 밸브 역할을 할 수 있도록 함으로써, 막 생성을 위한 복잡한 공정과정을 생략하여 생산원가를 절감할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 멀티 플렉서 및 이를 채택한 마이크로플루이딕스칩 조립체는, 미세채널과 연결되는 제1 및 제2 공압채널 양쪽으로 공압이 가해지거나 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되고, 다른 한 쪽이 폐쇄되는 경우에만 개방된 밸브 역할을 하고, 제1 및 제2 공압채널 어느 한쪽으로 공기압을 제공할 경우에는 다른 한쪽으로 압력의 누수를 발생시키는 닫혀진 밸브 역할을 하도록 함으로써, 솔레노이드 밸브를 미세채널에 1:1로 배치할 필요가 없고, 이에 생산원가의 절감은 물론 복잡한 외부장치 개수의 최소화가 가능하여 고밀도의 선별검사가 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로플루이딕스칩 조립체의 사시도이다.
도 2는 마이크로플루이딕스칩 조립체의 분해 사시도이다.
도 3은 멀티 플렉서를 이용하여 마이크로플루이딕스칩의 미세채널에 공기를 선택적으로 주입하는 것을 설명하기 위한 공압채널 및 미세채널의 개략적인 구조도이다.
도 4는 (M+N)개의 공압채널로 (M*N)개의 미세채널을 제어할 수 있는 본 발명에 따른 마이크로플루이딕스칩 조립체가 도시된다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로플루이딕스칩 조립체의 사시도이다. 도 2는 마이크로플루이딕스칩 조립체의 분해 사시도이며, 도 3은 멀티 플렉서를 이용하여 마이크로플루이딕스칩의 미세채널에 공기를 선택적으로 주입하는 것을 설명하기 위한 공압채널 및 미세채널의 개략적인 구조도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 마이크로플루이딕스칩 조립체(100)는 멀티 플렉서(130) 및 마이크로플루이딕스칩(140)을 갖는다.
멀티 플렉서(130)는 2개의 적층 플레이트가 적층되어 형성되며, 적층 플레이트와 같이 플레이트 형태로 제공되는 마이크로플루이딕스칩(140)에는 미세채널(141)이 형성되어 있다.
상기 플레이트들은 유리나 실리콘과 혹은 산이나 염기 그 외의 생화학적 물질과 반응이 적은 합성수지 재질을 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 폴리디메틸실록산(PDMS)를 사용할 수 있고, 상기 재질은 상호 접착이 가능한 고분자 재질로서, 상기 플레이트 간의 안정된 밀착 상태를 구현할 수 있고, 추후 상세히 설명하겠지만 그루브(groove)와 같이 플레이트의 표면에서 일정한 깊이로 파인 홈이나 플레이트를 관통하는 홀 형상으로 제공되는 공압채널이나 미세채널을 갖는 플레이트들이 서로 온전히 밀착되어 상기 채널들의 밀폐 상태를 유지하는데도 효과적이다.
먼저, 멀티 플렉서(130)는 제1 적층 플레이트(110) 및 제2 적층 플레이트(120)를 가지며, 제1 적층 플레이트(110)에는 제1 공압채널(111)이 형성된다. 제1 공압채널(111)은 제1 적층 플레이트(110)의 표면에 형성되는 홈 형태로 제공된다. 그리고, 제2 적층 플레이트(120)에는 제2 공압채널(121)이 형성되며, 제2 공압채널(121)도 제2 적층 플레이트(120)의 표면에 형성되는 홈 형태로 제공될 수 있다. 다만, 제1 및 제2 공압채널(111, 121)은 교차지점(123)에서 연통되어야 하고, 이에 교차지점(123)에서 제2 공압채널(121) 일부는 제2 적층 플레이트(120)를 상하로 관통하는 홀 형태로 제공될 수 있다.
상기 멀티 플렉서(130)의 제1 및 제2 적층 플레이트(110, 120)는 마이크로플루이딕스칩(140) 상에 얹어지며, 이 과정에서 마이크로플루이딕스칩(140)에 형성된 미세채널(141)이 제1 및 제2 공압채널(110, 120)이 형성하는 교차지점(123)과 연통될 수 있다.
적층 순서는 도 1 내지 3에서 확인할 수 있듯이, 제1 적층 플레이트(110), 제2 적층 플레이트(120), 및 마이크로플루이딕스칩(140)이 상부에서 하부로 순차로 적층되며, 제1 적층 플레이트(110) 밑에 배치되는 제2 적층 플레이트(120)의 제2 공압채널(121)로 공압 제공을 위한 제2 관통 홀(114)이 제1 적층 플레이트(110)에 관통 형성되며, 마찬가지로, 제1 공압채널(111)로 공압을 제공하기 위한 제1 관통 홀(112)이 형성된다.
상술한 멀티 플렉서(130)를 통해서 그 하부에 밀착 배치되는 마이크로플루이딕스칩(140)의 미세채널(141)로 공압 제공이 가능하다. 마이크로플루이딕스칩(140)의 미세채널(141)로 공압을 제공하여, 이를 공압 밸브처럼 사용하는 것도 가능하고, 미세채널로 미량의 분석 대상물질을 흘려 보내면서 칩에 결집되어 있는 각종 생물분자 혹은 센서와 반응하는 양상을 분석하는 기본적인 기능도 수행할 수 있다.
특히, 본 발명의 멀티 플렉서(130)의 제1 공압채널(111) 및 제2 공압채널(121)은 서로 교차지점(123)에서 연통되는데, 이러한 이유로, 어느 한쪽으로 공압이 제공되는 경우에는 다른 한쪽으로 공압의 누수가 발생한다. 이는 도 3에 상세하게 도시되며, 구체적으로 상기 경우는 도 3(c)에 도시되어 있다. 물론, 어느 정도의 공압이 미세채널(141)로 유입될 수는 있겠지만 이는 미세채널(141)내의 시약이나 시료 혹은 공압밸브로의 기능을 할 수 없을 정도의 미소한 공압만이 전달되는 것으로 이해할 수 있다.
즉, 도 3(a)에 도시되는 것처럼 제1 및 제2 공압채널(111, 121) 양쪽으로 공압이 제공되어야만 미세채널(141)로 설계된 수준의 공압을 전달하는 것이 용이하다. 참고로, 도 3(b)에는 제1 공압채널(111) 및 제2 공압채널(121) 중 어느 한쪽으로만 공압이 제공되지만, 다른 한쪽이 폐쇄되어 있기 때문에 미세채널(141)로 공압이 제공되는 경우가 도시된다.
한편, 공압채널로 공급되는 공기는 솔레노이드 밸브를 통해서 제어되며, 솔레노이드 밸브의 온/오프 상태를 조작함으로써, 공압채널로 공기를 공급하거나 앞서 언급한 폐쇄상태를 구현한다. 참고로, 상기 공기는 불활성 기체인 질소가 바람직하나, 상기 공기의 종류는 시료나 시약에 의해서 적절히 선택되는 것이지 질소로 제한되지 않고, 밸브 역시 공압채널로 외부 가스를 선택적으로 공급/차단할 수 있는 다른 것으로 교체할 수 있으며, 앞서 언급한 솔레노이드 밸브만으로 국한되지 않는다.
한편, 종래에는 미세채널로 공압을 제공하기 위해서 모든 미세채널에 1:1로 솔레노이드 밸브를 배치하여야 했고, 이로 인해 설비의 소형화가 어려워 고밀도의 선별검사 자체가 어려웠다.
하지만, 본 발명에 따른 멀티 플렉서(130)를 이용하여 솔레노이드 밸브를 미세채널(141)에 1:1로 배치할 필요가 없어 졌으며, 생산단가의 절감과 함께 설비의 소형화를 구현할 수 있다.
도 1이나 2를 참고하면, 본 실시예에 따른 멀티 플렉서(130)는 3개의 제1 공압채널(111)을 갖는 제1 적층 플레이트(110)와 2개의 제2 공압채널(121)을 갖는 제2 적층 플레이트(120)를 갖는다.
또한, 제2 공압채널(121)은 복수의 가지채널(122)로 분기되는데, 그 개수는 제1 공압채널(111)의 개수에 대응하여 제공된다. 여기서, 상기 '대응'의 의미는 가지채널(122)이 제1 공압채널(111)의 개수보다 많이 질 경우, 제1 공압채널에 연결되지 않는 가지채널이 발생하기 때문에 하나의 제2 공압채널이 갖는 가지채널의 개수는 제1 공압채널의 총 개수 이하로 제공될 수 있음을 의미한다.
본 실시예에서 각각의 제2 공압채널(121)이 갖는 가지채널(122)의 개수는 제1 공압채널(111)의 개수와 동일하게 3개이다. 따라서, 제1 공압채널(111)의 개수 3, 제2 공압채널(121)의 개수 2의 합인 5개의 솔레노이드 밸브만을 제1 및 제2 관통 홀(112, 114)에 연결하여 공압을 선택적으로 공급하는 것으로, 제1 공압채널(111)의 개수와 제2 공압채널(121)의 개수의 곱인 6개의 가지채널(122)을 각각 제어할 수 있고, 가지채널(122)에 연결되는 미세채널(141)의 개별적 제어가 가능하다.
상기 실시 예를 일반화하면, 도 4에 도시되는 바와 같이, 제1 공압채널(111) 및 제2 공압채널(121)이 각각 서로 분리된 2 이상의 M개 및 N개로 제공되며, 각각의 제2 공압채널(121)이 제1 공압채널(111)의 개수 M에 대응하여 분기되는 가지채널(122)을 포함하되, 가지채널(122)이 제1 공압채널(111)과 교차지점을 형성한다. 이러한 경우, M+N개의 제1 및 제2 공압채널(111, 121)을 이용하여 최소한 M*N개의 미세채널(141)을 제어할 수 있는 멀티 플렉서(130)를 제공할 수 있다. 구체적으로, 제2 공압채널(121) 각각이 제1 공압채널(111)의 개수와 동일한 개수의 가지채널(122)을 포함하는 경우를 가정하면, M+N개의 제1 및 제2 공압채널(111, 121)을 이용하여 M*N개의 미세채널(141) 각각에 독립적으로 공압을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100：마이크로플루이딕스칩 조립체 110：제1 적층 플레이트
111：제1 공압채널 112：제1 관통 홀
114：제2 관통 홀 120：제2 적층 플레이트
121：제2 공압채널 122：가지채널
123：교차지점 140：마이크로플루이딕스칩
141：미세채널

Claims (8)

  1. 마이크로플루이딕스칩의 미세채널 내로 공압을 제공하여 상기 미세채널 내의 유체제어를 위한 멀티 플렉서에 있어서,
    제1 공압채널이 형성되는 제1 적층 플레이트; 및
    제2 공압채널이 형성되며, 상기 제1 적층 플레이트와 포개지면서 상기 제2 공압채널이 상기 제1 공압채널과 교차하여 서로 연통되는 교차지점을 형성하는 제2 적층 플레이트;
    를 포함하며, 상기 마이크로플루이딕스칩이 상기 제1 및 제2 적층 플레이트와 상하로 포개지면서 상기 미세채널이 상기 교차지점과 연통됨으로써,
    상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되는 경우에는 다른 한 쪽으로 공압의 손실이 발생하고, 상기 제1 및 제2 공압채널로 동시에 공압이 제공되거나 상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되고, 다른 한 쪽이 폐쇄되는 경우에 한해서 상기 미세채널로 공압이 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 공압채널은 서로 분리되는 2 이상의 M개로 제공되며,
    상기 제2 공압채널은 서로 분리되는 2 이상의 N개로 제공되되, 각각의 상기 제2 공압채널은 상기 제1 공압채널의 개수 M에 대응하여 분기되는 가지채널을 포함하며,
    상기 가지채널이 상기 제1 공압채널과 교차하여 상기 교차지점을 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 공압채널 각각이 상기 제1 공압채널의 개수와 동일한 개수의 상기 가지채널을 포함하는 경우,
    M+N개의 상기 제1 및 제2 공압채널을 이용하여 M*N개의 상기 미세채널 각각에 독립적으로 공압을 제공할 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 적층 플레이트, 상기 제2 적층 플레이트, 및 상기 마이크로플루이딕스칩이 상부에서 하부로 순차적으로 적층되며,
    상기 제1 공압채널, 상기 제2 공압채널, 및 상기 미세채널은 상기 제1 적층 플레이트, 상기 제2 적층 플레이트, 및 상기 마이크로플루이딕스칩에 각각 홈 형태로 제공되되, 상기 제2 공압채널은 상기 교차지점에서 일부 홀 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 적층 플레이트에는,
    상기 제1 공압채널로 공압을 제공하기 위한 제1 관통 홀 및 상기 제2 적층 플레이트의 제2 공압채널로 공압을 제공하기 위한 제2 관통 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩의 유체제어를 위한 멀티 플렉서.
  6. 공압으로 미세채널 내의 유체제어를 위한 마이크로플루이딕스칩 조립체에 있어서,
    제1 공압채널이 형성되는 제1 적층 플레이트; 및
    제2 공압채널이 형성되며, 상기 제1 적층 플레이트와 포개지면서 상기 제2 공압채널이 상기 제1 공압채널과 교차하여 서로 연통되는 교차지점을 형성하는 제2 적층 플레이트; 및
    상기 제1 및 제2 적층 플레이트와 상하로 포개지면서 상기 교차지점과 연통되는 미세채널을 포함하는 마이크로플루이딕스칩;
    을 포함하며, 상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되는 경우에는 다른 한 쪽으로 공압의 손실이 발생하고, 상기 제1 및 제2 공압채널로 동시에 공압이 제공되거나 상기 제1 및 제2 공압채널 중 어느 한 쪽으로 공압이 제공되고, 다른 한 쪽이 폐쇄되는 경우에 한해서 상기 미세채널로 공압이 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩 조립체.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 공압채널은 서로 분리되는 2 이상의 M개로 제공되며,
    상기 제2 공압채널은 서로 분리되는 2 이상의 N개로 제공되되, 각각의 상기 제2 공압채널은 상기 제1 공압채널의 개수 M에 대응하여 분기되는 가지채널을 포함하며,
    상기 가지채널이 상기 제1 공압채널과 교차하여 상기 교차지점을 형성하고, 상기 교차지점에 상기 미세채널이 연통되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩 조립체.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 적층 플레이트, 상기 제2 적층 플레이트, 및 상기 마이크로플루이딕스칩이 상부에서 하부로 순차적으로 적층되며,
    상기 제1 공압채널, 상기 제2 공압채널, 및 상기 미세채널은 상기 제1 적층 플레이트, 상기 제2 적층 플레이트, 및 상기 마이크로플루이딕스칩에 각각 홈 형태로 제공되되, 상기 제2 공압채널은 상기 교차지점에서 일부 홀 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕스칩 조립체.
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