KR20170116538A - apparatus for curing substrate - Google Patents
apparatus for curing substrate Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170116538A KR20170116538A KR1020160044433A KR20160044433A KR20170116538A KR 20170116538 A KR20170116538 A KR 20170116538A KR 1020160044433 A KR1020160044433 A KR 1020160044433A KR 20160044433 A KR20160044433 A KR 20160044433A KR 20170116538 A KR20170116538 A KR 20170116538A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- hot air
- space
- curing
- substrate
- tray cassette
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04112—Electrode mesh in capacitive digitiser: electrode for touch sensing is formed of a mesh of very fine, normally metallic, interconnected lines that are almost invisible to see. This provides a quite large but transparent electrode surface, without need for ITO or similar transparent conductive material
Abstract
본 발명은 기판 경화 장치에 관한 것으로, 특히 열풍을 이용하여 기판 또는 기판 상의 코팅층을 건조하여 경화시키되, 다수의 경화 대상인 기판을 적재할 수 있는 셀 트레이를 챔버 내에 구비하고, 상기 챔버 내부 공간에서 열풍이 균일한 기류로 이동하도록 하며, 상기 챔버 내부에서 열풍이 지속적으로 순환될 수 있도록 구성함으로써, 기판 경화를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시킬 수 있고, 기판의 경화 효율을 증대시킬 수 있는 기판 경화 장치에 관한 것이다.
본 발명인 기판 경화 장치를 이루는 구성수단은 기판 경화 장치에 있어서, 내부 공간이 형성되는 챔버 및 상기 챔버 내에 배치되어 경화 대상의 기판을 장착할 수 있는 구조를 가지는 트레이 카세트를 포함하여 구성되되, 상기 트레이 카세트의 일측 공간에서 열풍이 발생되도록 하고, 상기 열풍이 상기 트레이 카세트를 가로질러 상기 트레이 카세트의 타측 공간으로 이동된 후, 다시 상기 트레이 카세트의 일측 공간으로 이동하여 순환되도록 함으로써, 상기 트레이 카세트에 장착되는 경화 대상의 기판에 대한 경화 공정을 수행하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a substrate curing apparatus, and more particularly, to a substrate curing apparatus that includes a cell tray in which a substrate or a coating layer on a substrate is cured by using hot air to load a plurality of substrates to be cured, And the hot air can be continuously circulated in the chamber, thereby reducing the time, effort, and cost for curing the substrate and improving the curing efficiency of the substrate. ≪ / RTI >
The constituent means constituting the substrate curing apparatus of the present invention is a substrate curing apparatus comprising a chamber in which an internal space is formed and a tray cassette disposed in the chamber and having a structure capable of mounting a substrate to be cured, The hot air is caused to flow in one side space of the cassette and the hot air is moved to the other side space of the tray cassette across the tray cassette and then moved to one side space of the tray cassette again to be circulated, And performing a curing process on the substrate to be cured.
Description
본 발명은 기판 경화 장치에 관한 것으로, 특히 열풍을 이용하여 기판 또는 기판 상의 코팅층을 건조하여 경화시키되, 다수의 경화 대상인 기판을 적재할 수 있는 셀 트레이를 챔버 내에 구비하고, 상기 챔버 내부 공간에서 열풍이 균일한 기류로 이동하도록 하며, 상기 챔버 내부에서 열풍이 지속적으로 순환될 수 있도록 구성함으로써, 기판 경화를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시킬 수 있고, 기판의 경화 효율을 증대시킬 수 있는 기판 경화 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate curing apparatus, and more particularly, to a substrate curing apparatus that includes a cell tray in which a substrate or a coating layer on a substrate is cured by using hot air to load a plurality of substrates to be cured, And the hot air can be continuously circulated in the chamber, thereby reducing the time, effort, and cost for curing the substrate and improving the curing efficiency of the substrate. ≪ / RTI >
최근 스마트폰과 함께 새로운 입력 장치로 사용되기 시작한 터치스크린패널은 그 용도가 태블릿 PC, 노트북, 모니터, TV 등으로 확대되고 있으며, 슬림화, 경량화, 고화질 구현, 생산성 향상 등의 요구에 부응하며 새로운 기술로 발전하고 있다.The touch screen panel, which has recently been used as a new input device with smart phones, is being expanded to include tablet PCs, notebooks, monitors, TVs, etc. In response to the demand for slimmer, lighter, higher quality, .
이러한 터치스크린패널은 디스플레이에 표시되어 있는 버튼을 손가락으로 접촉하는 것만으로 컴퓨터 등을 대화적, 직감적 조작으로 쉽게 사용할 수 있는 입력장치이다. 또한 이러한 터치스크린패널은 터치패널, 컨트롤러 IC, 드라이버 SW 등으로 구성된다.Such a touch screen panel is an input device that can easily use a computer or the like with interactive and intuitive operation by simply touching a button displayed on a display with a finger. The touch screen panel includes a touch panel, a controller IC, and a driver SW.
이러한 터치스크린패널은 동작 원리에 따라 저항막 방식, 정전용량 방식, 초음파 방식, 적외선 방식 등이 있다. 이중 높은 신뢰성, 우수한 성능, 빠른 응답속도 및 멀티 터치 구현 등의 많은 장점으로 인해 정전용량 방식이 많이 채택되어 사용되어 왔다. Such a touch screen panel may be a resistive type, a capacitive type, an ultrasonic type, or an infrared type depending on the operation principle. Due to many advantages such as high reliability, excellent performance, fast response speed, and multi-touch implementation, many capacitive methods have been adopted and used.
이러한 정전용량 방식은 ITO 필름 또는 ITO 글라스의 투명 전극을 이용한 방법이 주로 적용되고 있다. 하지만 상기 정전용량 방식은 ITO 투명전극의 낮은 도전성으로 중대형 터치스크린에 적용하기 어려우며, 희토류 금속인 인듐의 단가가 높아 제품의 가격을 상승시킨다는 문제점이 있다.As such a capacitance method, a method using a transparent electrode of ITO film or ITO glass is mainly applied. However, the electrostatic capacity method is difficult to apply to a middle- or large-sized touch screen due to the low conductivity of the ITO transparent electrode, and the price of indium as a rare earth metal is high, raising the price of the product.
이러한 단점을 극복하면서 중대형 터치스크린패널 및 Flexible 디스플레이 패널 구현이 가능하도록 메탈 메쉬(Metal mesh) 구조에 대한 수요가 높아지고 있는 추세이다. 메탈 메쉬 구조란 금속 소재를 사용한 정전 방식의 터치로, 투명한 기판(글라스 또는 필름) 위에 도전성이 높은 금속층, 즉 은(Ag) 또는 구리(Cu)를 직교형식으로 배열해 전극을 만든 것이다. In order to overcome these disadvantages, there is an increasing demand for a metal mesh structure in order to realize middle and large sized touch screen panels and flexible display panels. The metal mesh structure is an electrostatic touch using a metal material, and a highly conductive metal layer, that is, silver (Ag) or copper (Cu) is arranged in an orthogonal manner on a transparent substrate (glass or film) to form an electrode.
하지만 이러한 메탈 메쉬 구조에 있어서는 시인성 문제와 모아레 현상이 발생한다는 문제점이 있다. 시인성 문제란 완성된 제품 구현 시 반짝거리는 메탈 패턴이 눈에 보이는 현상이며, 모아레 현상은 반짝거리는 메탈 메쉬 패턴과 디스플레이의 격자무늬가 더해져서 물결처럼 보이는 현상이다. 또한 메탈 메쉬 패턴은 Haze 패턴 상에, 신호 전극은 베젤 인쇄 면 상에 형성된다. However, in such a metal mesh structure, there is a problem that a visibility problem and a moiré phenomenon occur. The visibility problem is a phenomenon in which the shiny metal pattern is visible when the finished product is realized, and the moiré phenomenon is a phenomenon in which the shiny metal mesh pattern and the grid pattern of the display are added together and appear like waves. The metal mesh pattern is formed on the haze pattern, and the signal electrode is formed on the bezel printing surface.
상기 메탈 메쉬 패턴 및 베젤 인쇄면 상에 형성되는 신호 전극은 모두 기판 상에 형성되는 금속층으로 구성되고, 상기 금속층 상에는 상기 금속층을 보호함과 동시에 시인성 향상을 위하여 오버코팅층(OC)이 형성될 수도 있다.The signal electrodes formed on the metal mesh pattern and the bezel printing surface are all formed of a metal layer formed on the substrate and an overcoat layer OC may be formed on the metal layer to protect the metal layer and to improve visibility .
상기 기판 상에 형성되는 금속층 및 오버코팅층은 모두 잉크젯 방식으로 도포될 수 있고, 이 경우 잉크에는 많은 솔벤트 성분이 포함될 수밖에 없다. 이에 관련한 선행기술로서, 대한민국 등록특허 10-1182514호는 "진공 건조용 열경화 장치 및 진공건조 열경화방법"에 대하여 개시하고 있다.The metal layer and the overcoat layer formed on the substrate may all be applied by an ink jet method, and in this case, the ink must contain a lot of solvent components. As a prior art related thereto, Korean Patent No. 10-1182514 discloses a " thermal curing apparatus for vacuum drying and a vacuum drying thermal curing method ".
그러나, 상기 선행기술은 단지 진공 상태에서 가열 플레이트에 의하여 열경화를 수행할 수 있는 하나의 장치의 구조에 대해서만 기재하고 있을 뿐, 열풍에 의하여 기판 또는 기판 상의 코팅층을 경화시킬 수 있는 공정 및 장치에 대해서는 전혀 시사하지 않고 있다.However, the prior art describes only the structure of one device capable of performing thermal curing by a heating plate only in a vacuum state, and only a process and apparatus capable of curing a substrate or a coating layer on the substrate by hot air There is no suggestion at all about this.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 열풍을 이용하여 기판 또는 기판 상의 코팅층을 건조하여 경화시키되, 다수의 경화 대상인 기판을 적재할 수 있는 셀 트레이를 챔버 내에 구비하고, 상기 챔버 내부 공간에서 열풍이 균일한 기류로 이동하도록 하며, 상기 챔버 내부에서 열풍이 지속적으로 순환될 수 있도록 구성함으로써, 기판 경화를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시킬 수 있고, 기판의 경화 효율을 증대시킬 수 있는 기판 경화 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a cell tray, , The hot air can be circulated in the chamber in a uniform air flow and the hot air can be continuously circulated in the chamber, thereby reducing the time, effort and cost for curing the substrate, And to provide a substrate curing apparatus capable of increasing the thickness of the substrate.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 경화 장치를 이루는 구성수단은 기판 경화 장치에 있어서, 내부 공간이 형성되는 챔버 및 상기 챔버 내에 배치되어 경화 대상의 기판을 장착할 수 있는 구조를 가지는 트레이 카세트를 포함하여 구성되되, 상기 트레이 카세트의 일측 공간에서 열풍이 발생되도록 하고, 상기 열풍이 상기 트레이 카세트를 가로질러 상기 트레이 카세트의 타측 공간으로 이동된 후, 다시 상기 트레이 카세트의 일측 공간으로 이동하여 순환되도록 함으로써, 상기 트레이 카세트에 장착되는 경화 대상의 기판에 대한 경화 공정을 수행하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate curing apparatus comprising: a chamber in which an inner space is formed; and a structure disposed in the chamber and capable of mounting a substrate to be cured Wherein the tray cassette includes a tray cassette and hot air is generated in one side space of the tray cassette and the hot air is moved to the other side space of the tray cassette across the tray cassette, So as to perform a curing process for the substrate to be cured to be mounted on the tray cassette.
여기서, 상기 챔버의 내부 공간은 상기 트레이 카세트가 배치되는 열풍 경화 공간부, 상기 열풍 경화 공간부의 일측 공간에 형성되어 외부로부터 흡입된 공기를 이용하여 열풍을 발생하는 열풍 발생 공간부, 상기 열풍 발생 공간부와 상기 열풍 경화 공간부 사이에 형성되어 상기 열풍 발생 공간부로부터 송풍되는 열풍을 상기 열풍 경화 공간부로 확산시켜 공급하는 열풍 주입 공간부, 상기 열풍 경화 공간부의 타측에 인접 형성되어 상기 열풍 경화 공간부로부터 이송되는 열풍을 회수하는 열풍 회수 공간부 및 상기 열풍 경화 공간부 후면측에 인접 형성되어 상기 열풍 회수 공간부로부터 이송되는 열풍을 상기 열풍 발생 공간부로 공급하여 순환시키는 열풍 순환 공간부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The inner space of the chamber includes a hot air curing space in which the tray cassette is disposed, a hot air generating space formed in one side space of the hot air curing space to generate hot air using air sucked from the outside, A hot air injection space portion formed between the hot air curing space portion and the hot air curing space portion to diffuse and supply hot air blown from the hot air generating space portion to the hot air curing space portion, And a hot air circulation space part provided adjacent to a rear surface side of the hot air curing space part for supplying hot air to the hot air generating space part and circulating the hot air conveyed from the hot air collecting space part, .
여기서, 상기 열풍 발생 공간부에는 외부로부터 흡입되는 공기를 가열하는 히터 모듈과 상기 가열된 공기를 흡입하여 상기 열풍 주입 공간부로 송풍시키는 팬 모듈이 구비되는 것을 특징으로 한다.The hot air generating space includes a heater module for heating air sucked from the outside, and a fan module for sucking the heated air to blow air to the hot air injecting space.
또한, 상기 열풍 주입 공간부와 상기 열풍 경화 공간부 사이에는 상기 열풍 주입 공간부에서 공급되는 열풍을 확산시켜 상기 열풍 경화 공간부로 이송시키는 디퓨저가 장착되는 것을 특징으로 한다.In addition, a diffuser is installed between the hot air injection space and the hot air curing space to diffuse the hot air supplied from the hot air injection space and transfer the hot air to the hot air curing space.
또한, 상기 열풍 경화 공간부에 배치되는 트레이 카세트는 하부 프레임, 상기 하부 프레임 상측에 대향 배치되는 상부 프레임, 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 측면을 수직 방향으로 서로 연결하는 측면 프레임, 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 후면을 수직 방향으로 서로 연결하는 후면 프레임, 상기 측면 프레임에 장착되되 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바, 상기 후면 프레임에 장착되되 상기 측부 지지바와 동일하게 수직 방향으로 연속해서 배치되는 센터 지지바를 포함하여 구성되되, 동일 높이에 배치되는 상기 측부 지지바와 상기 센터 지지바가 각각의 셀 트레이를 안착 지지할 수 있는 슬롯을 구성하는 것을 특징으로 한다.The tray cassette disposed in the hot air curing space includes a lower frame, an upper frame disposed opposite to the upper side of the lower frame, a side frame connecting the side surfaces of the upper frame and the lower frame in a vertical direction, A rear support frame connected to the rear frame in the vertical direction, a side support bar mounted on the side frame and continuously arranged in the vertical direction, a center support bar mounted on the rear frame, Wherein the side support bar and the center support bar, which are arranged at the same height, constitute a slot in which the cell trays can be seated and supported.
여기서, 상기 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바들 사이에 이격 공간이 있는 경우, 상기 이격 공간에는 통과홀이 연속해서 형성된 천공바가 배치되어 상기 측면 프레임에 결합되는 것을 특징으로 한다.Here, when there is a spacing space between the side support bars continuously arranged in the vertical direction, a perforation bar in which a through hole is formed continuously is disposed in the spacing space and is coupled to the side frame.
상기와 같은 기술적 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 기판 경화 장치에 의하면, 열풍을 이용하여 기판 또는 기판 상의 코팅층을 건조하여 경화시키되, 다수의 경화 대상인 기판을 적재할 수 있는 셀 트레이를 챔버 내에 구비하고, 상기 챔버 내부 공간에서 열풍이 균일한 기류로 이동하도록 하며, 상기 챔버 내부에서 열풍이 지속적으로 순환될 수 있도록 구성하기 때문에, 기판 경화를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시킬 수 있고, 기판의 경화 효율을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, there is provided a substrate curing apparatus for drying a substrate or a coating layer on a substrate using hot air to cure the substrate, wherein a cell tray capable of stacking a plurality of substrates to be cured is provided in the chamber The hot air can be circulated continuously in the chamber and the hot air can be continuously circulated in the chamber. Therefore, it is possible to reduce the time, effort and cost for hardening the substrate, There is an advantage that the efficiency can be increased.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 경화 장치의 사시도이고, 도 2는 정면도이고, 도 3은 배면도이고, 도 4는 좌측면도이며, 도 5는 우측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 경화 장치의 내부를 보여주는 사시도이고, 도 7은 투명 사시도이며, 도 8은 평면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 경화 장치를 구성하는 트레이 카세트에 셀 트레이가 장착된 상태의 사시도이고, 도 10은 셀 카세트가 장착되지 않는 상태의 사시도이며, 도 11은 트레이 카세트의 일부를 확대한 단면도이다.
도 12는 본 발명에 적용되는 트레이 카세트의 하측에 배치되는 히터판의 배치 구조를 보여주는 정면도이고, 도 13은 본 발명에 적용되는 천공 플레이트의 예시도이다.FIG. 2 is a front view, FIG. 3 is a rear view, FIG. 4 is a left side view, and FIG. 5 is a right side view of the substrate curing apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing the inside of the substrate curing apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 7 is a transparent perspective view, and FIG. 8 is a plan view.
FIG. 9 is a perspective view showing a state in which a cell tray is mounted on a tray cassette constituting a substrate curing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 10 is a perspective view in a state in which the cell cassette is not mounted, Fig.
FIG. 12 is a front view showing an arrangement structure of a heater plate disposed on the lower side of a tray cassette according to the present invention, and FIG. 13 is an exemplary view of a perforated plate according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 경화 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiments of a substrate curing apparatus of the present invention having the above-described problems, solutions and effects as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 경화 장치의 사시도이고, 도 2는 정면도, 도 3은 배면도, 도 4는 좌측면도, 도 5는 측면도, 도 6은 내부가 보이는 사시도, 도 7은 투명 사시도, 도 8은 투명 평면도에 해당된다.Fig. 1 is a perspective view of a substrate curing apparatus according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view, Fig. 3 is a rear view, Fig. 8 is a transparent plan view.
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 경화 장치(100)는 기본적으로 내부 공간이 형성되는 챔버(10) 및 상기 챔버(10) 내에 배치되어 경화 대상의 기판을 장착할 수 있는 구조를 가지는 트레이 카세트(30)을 포함하여 구성된다.1 to 8, a
상기 챔버(10)는 상기 트레이 카세트(30)를 수용 배치시키고, 열풍이 풍압에 의하여 이동되고 순환될 수 있는 공간을 제공한다. 그리고, 상기 트레이 카세트(30)는 상기 챔버(10)의 내부 공간에 배치되되, 그 내부에 복수개의 경화 대상인 기판을 장착할 수 있는 구조를 가진다. 구체적으로, 상기 트레이 카세트(30)는 복수개의 셀들이 규칙적으로 안착 배치된 셀 트레이(1)가 삽입 지지될 수 있는 구조를 가진다.The
한편, 상기 챔버(10)의 내부 공간에서 이동 및 순환하는 열풍은 상기 기판에 대한 경화 과정에서 외부로 유출되면 안된다. 따라서, 상기 트레이 카세트(30)의 전면에는 셔터(s)가 장착된다. 상기 셔터(s)는 상기 트레이 카세트(30) 내로 셀 트레이(1)가 인입되는 과정에서 개방되고, 상기 트레이 카세트(30) 내로 상기 셀 트레이(1)들이 모두 인입된 후 열풍을 통해 경화 과정을 수행할 때에는 폐쇄된다.On the other hand, the hot air circulating and circulating in the inner space of the
한편, 상기 트레이 카세트(30)는 그 내부가 수직 방향으로 복수개로 분할되어 구성될 수도 있다. 즉 상기 트레이 카세트(30)는 복수개의 분할 공간으로 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 셔터(s)는 상기 분할 공간에 대응하여 상기 트레이 카세트(30)의 전면에 배치되고, 상기 대응되는 분할 공간을 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 동작 제어된다.Meanwhile, the
상기와 같이 챔버(10) 및 트레이 카세트(30)를 포함하여 구성되는 본 발명에 따른 기판 경화 장치(100)는 상기 트레이 카세트(30)의 일측 공간에서 열풍이 발생되도록 하고, 상기 열풍이 상기 트레이 카세트(30)를 가로질러 상기 트레이 카세트(30)의 타측 공간으로 이동된 후, 다시 상기 트레이 카세트(30)의 일측 공간으로 이동하여 순환되도록 함으로써, 상기 트레이 카세트(30)에 장착되는 경화 대상의 기판에 대한 경화 공정을 수행한다.As described above, the
즉 도 7 및 도 8을 참조하면, 열풍은 트레이 카세트(30)의 일측에 형성되는 공간(열풍 발생 공간부(11))에서 발생하고, 이 열풍은 풍압에 의하여 상기 트레이 카세트(30)에 배치되는 공간(열풍 경화 공간부(15))을 가로질러서 상기 트레이 카세트(30)의 타측에 형성되는 공간으로 이동된 후 제2 격판(63)에 의하여 상기 열풍 경화 공간부(15)와 분리된 챔버(10)의 후측 내부 공간(열풍 순환 공간부(19))을 통해서 다시 상기 열풍 발생 공간부(11)로 이송되어 전체적으로 순환된다.7 and 8, hot air is generated in a space (hot air generating space portion 11) formed at one side of the
따라서, 상기 트레이 카세트(30)에 거치되는 셀 트레이(1)의 셀 안착부(2)에 안착되는 각각의 셀(기판)들은 상기 순환되는 열풍에 의하여 지속적으로 건조되어 경화될 수 있고, 이를 통하여 기판 경화를 위한 시간, 노력 및 비용을 감소시키고, 경화 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, each of the cells (substrates) that are seated in the
상기 챔버(10)는 상기 트레이 카세트(10)를 배치할 수 있는 공간을 구비해야 하고, 상기 열풍이 발생, 공급, 회수 및 순환될 수 있는 공간을 구비해야 한다. 이를 위하여 상기 챔버(10)는 그 내부가 도 7 및 도 8에 도시된 형태의 다양한 공간으로 분할 형성된다.The
구체적으로, 상기 챔버(10)의 내부 공간은 상기 트레이 카세트(30)가 배치되는 열풍 경화 공간부(15), 상기 열풍 경화 공간부(15)의 일측 공간에 형성되어 외부로부터 흡입된 공기를 이용하여 열풍을 발생하는 열풍 발생 공간부(11), 상기 열풍 발생 공간부(11)와 상기 열풍 경화 공간부(15) 사이에 형성되어 상기 열풍 발생 공간부(11)로부터 송풍되는 열풍을 상기 열풍 경화 공간부(15)로 확산시켜 공급하는 열풍 주입 공간부(13), 상기 열풍 경화 공간부(15)의 타측에 인접 형성되어 상기 열풍 경화 공간부(15)로부터 이송되는 열풍을 회수하는 열풍 회수 공간부(17) 및 상기 열풍 경화 공간부(15) 후면측에 인접 형성되어 상기 열풍 회수 공간부(17)로부터 이송되는 열풍을 상기 열풍 발생 공간부(11)로 공급하여 순환시키는 열풍 순환 공간부(19)를 포함하여 구성된다.Specifically, the inner space of the
상기 열풍 발생 공간부(11)는 상기 열풍 경화 공간부(15)의 일측에 이격되어 형성되어 외부로부터 인입되는 공기를 히팅하여 열풍을 발생하고, 이 발생된 열풍을 송풍하는 공간에 해당된다. 따라서, 상기 열풍 발생 공간부(11)에는 외부로부터 흡입되는 공기를 가열하는 히터 모듈(23)과 상기 가열된 공기를 흡입하여 상기 열풍 주입 공간부(13)로 송풍시키는 팬 모듈(25)이 구비된다.The hot air generating space part (11) is spaced apart from one side of the hot air curing space part (15) to generate hot air by heating the air introduced from the outside, and corresponds to a space for blowing the generated hot air. Accordingly, the hot
상기 열풍 발생 공간부(11)로 인입되는 공기는 상기 챔버(10)의 외측에 부착된 흡기구(21)를 통하여 흡기된다. 상기 흡기되는 외부 공기는 자연스럽게 흡기될 수도 있고, 상기 팬 모듈(25)의 동작에 따라 상기 열풍 발생 공간부(11) 내로 흡기될 수도 있다.The air drawn into the hot
상기 히터 모듈(23)은 상기 열풍 발생 공간부(11)로 인입되는 공기를 히팅할 수 있도록 상기 흡기구(31)에 인접하여 상기 열풍 발생 공간부(11)에 고정 부착된다. 상기 히터 모듈(23)에 의하여 발생된 열풍은 상기 팬 모듈(25)의 동작에 따라 흡입되어 상기 열풍 주입 공간부(13)로 송풍된다.The
상기 열풍 발생 공간부(11)와 상기 열풍 주입 공간부(13)는 제1 격판(61)에 의하여 분리된다. 이와 같이 상기 제1 격판(61)에 의하여 상기 열풍 발생 공간부(11)와 상기 열풍 주입 공간부(13)를 분할하고, 열풍의 이동 경로를 좁게하고 굴곡지게 형성하는 이유는 상기 팬 모듈(25)에서 송풍된 열풍에 대해 풍압을 발생시키기 위함이다.The hot air generating space part (11) and the hot air applying space part (13) are separated by a first diaphragm (61). The reason why the hot air generating
상기 열풍 주입 공간부(13)로 이송된 열풍은 풍압을 통해 상기 열풍 경화 공간부(15)로 자연스럽게 이송된다. 상기 열풍 경화 공간부(15)에는 상기 기판을 장착하고 있는 트레이 카세트(30)가 배치되기 때문에, 상기 열풍 경화 공간부(15)로 공급되는 열풍은 균일하게 확산되어 공급될 필요성이 있다. 따라서, 상기 열풍 주입 공간부(13)와 상기 열풍 경화 공간부(15) 사이에는 상기 열풍 주입 공간부(13)에서 공급되는 열풍을 확산시켜 상기 열풍 경화 공간부(15)로 이송시키는 디퓨저(50)가 장착되는 것이 바람직하다.The hot air conveyed to the hot
상기 디퓨저(50)는 상기 열풍을 확산시키기 위하여 메쉬망이 장착될 수 있다. 그런데, 상기 열풍은 확산된 상태로 바로 상기 열풍 경화 공간부(15)로 이송되는 것이 좋기 때문에, 상기 메쉬망은 상기 디퓨저(50)의 양측단 중, 상기 열풍 경화 공간부(15)에 인접하는 측단에 장착 배치되는 것이 바람직하다.The
상기 열풍 경화 공간부(15)로 확산되어 이동되는 열풍은 상기 열풍 경화 공간부(15)에 배치되는 상기 트레이 카세트(30)에 장착되는 기판(셀)들을 건조시켜 경화시킨다. 이 과정을 통하여 상기 기판 또는 기판 상의 코팅층은 상기 열풍에 노출되어 건조 과정을 통해 경화될 수 있다.The hot air diffused and moved to the hot air curing
상기 열풍 경화 공간부(15)를 가로질러 이동되는 열풍은 풍압에 의하여 상기 열풍 회수 공간부(17)로 이동된다. 상기 열풍 회수 공간부(17)는 상기 챔버(10)의 타측(도 8에서 좌측)과 상기 열풍 경화 공간부(15)에 배치되는 상기 트레이 카세트의 측면에 의하여 형성되는 공간이다. The hot air traveling across the hot
상기 열풍 회수 공간부(17)로 이동되는 열풍은 상기 열풍 경화 공간부(15)의 후면과 인접 배치되는 열풍 순환 공간부(19)로 이동하고, 이 열풍은 열풍 순환 공급 통로(19a)를 통해 상기 열풍 발생 공간부(11)로 이동된다.The hot air moving to the hot air collecting
상기 열풍 순환 공간부(19)는 제2 격판(63)에 의하여 상기 열풍 경화 공간부(15)와 분리된다. 따라서, 상기 열풍 경화 공간부(15)로 들어오는 열풍은 바로 상기 열풍 순환 공간부(19)로 이동하지 못하고, 상기 열풍 회수 공간부(17)를 거쳐 상기 열풍 순환 공간부(19)로 이동된다. 결과적으로, 상기 열풍 경화 공간부(15)로 들어오는 열풍은 상기 트레이 카세트(30)를 일측에서 타측으로 가로질러 이동하기 때문에, 모든 기판들은 균일하게 열풍에 노출될 수 있다.The hot air
한편, 상기 디퓨저(50)를 통해 확산된 상태로 상기 열풍 경화 공간부(15)로 이동되는 열풍은 모든 지점 및 방향으로 균일하게 이동되어 상기 열풍 경화 공간부(15)로 들어가는 것이 모든 기판에 대한 균일한 경화를 위하여 필요하다. 이를 위하여, 상기 디퓨저(50)와 상기 트레이 카세트의 일측면 사이에 천공 플레이트(70)가 개재되는 것이 바람직하다(도 13 참조).Meanwhile, the hot air, which is diffused through the
상기 천공 플레이트(70)는 도 13에 도시된 바와 같이 판 형상을 가지되, 균일하게 연속해서 이격된 상태로 복수개의 천공(71)이 형성되어 있다. 상기 천공(71)이 규칙적인 배열로 형성되기 때문에, 상기 천공 플레이트(70)를 통해 상기 열풍 경화 공간부(15)로 들어가는 열풍은 모든 지점 및 방향으로 균일하게 이동될 수 있다. 즉, 상기 천공 플레이트(70)는 상기 열풍의 기류 이동을 균일하게 할 수 있다.The
상기 천공 플레이트(70)는 상기 열풍 회수 공간부(17)와 상기 열풍 경화 공간부(15)에 배치되는 상기 트레이 카세트(30)의 타측면 사이에도 개재될 수 있다. 따라서, 상기 열풍 경화 공간부(15)에서 상기 열풍 회수 공간부(17)로 이동되는 열풍은 균일하고 안정된 기류를 유지할 수 있다.The
상술한 바와 같이, 상기 열풍은 상기 열풍 순환 공간부(19)에서 상기 열풍 순환 공급 통로(19a)를 통해 상기 열풍 발생 공간부(11)로 이동되고, 이 열풍은 다시 상술한 열풍 주입 공간부(13), 열풍 경화 공간부(15), 열풍 회수 공간부(17), 열풍 순환 공간부(19)및 열풍 발생 공간부(11)를 통해 지속적으로 순환된다. As described above, the hot air is moved from the hot
즉, 상기 열풍은 경화 공정 중에, 도 8에 도시된 바와 같이, ① → ② → ③ → ④ → ⑤ → ⑥ → ① 방향으로 순환된다. 이를 통해 상기 트레이 카세트(30)에 장착된 기판들에 대한 건조 과정을 통한 경화 공정을 효율적으로 진행할 수 있다.That is, during the curing process, the hot air is circulated in the direction of ① → ② → ③ → ④ → ⑤ → ⑥ → ① as shown in FIG. Accordingly, the curing process through the drying process for the substrates mounted on the
한편, 상기 열풍을 통한 경화 공정이 완료되거나 또는 다양한 이유로 상기 열풍을 배기할 필요가 있는 경우에는 상기 챔버(10)의 타측에 결합 배치되는 배기부(90)를 통해 배기시킬 수 있다. 즉, 상기 챔버(10) 내에 열풍은 상기 배기부(90)의 밸브 제어 등을 통해 상기 열풍 회수 공간부(17)에 연결된 배기 라인(71)을 통하여 외부로 배출될 수 있다.Meanwhile, when the curing process through the hot air is completed or the hot air needs to be exhausted for various reasons, the exhaust gas can be exhausted through the
이상에서 설명한 기판 경화 장치(100)에 의하면 챔버(10) 내부에서 열풍을 발생하고, 일측에서 타측 방향으로 가로질러 이동되도록 함으로써, 트레이 카세트(30)에 장착되는 복수의 기판에 대하여 효율적으로 경화 공정을 수행할 수 있다. According to the above-described
한편, 상기 기판들에 대한 경화 효율을 증대시키기 위하여, 상기 트레이 카세트(30)는 상기 열풍의 이동을 방해하지 않고, 열풍 기류의 흐름을 균일하게 할 수 있으며 가능한 많은 기판들을 안정적으로 장착할 수 있어야 한다.Meanwhile, in order to increase the curing efficiency with respect to the substrates, the
도 9는 본 발명에 적용되는 셀 트레이(1)가 적재된 트레이 카세트(30)의 사시도이고, 도 10은 셀 트레이(1)가 적재되지 않은 상태의 사시도이다.FIG. 9 is a perspective view of a
상기 트레이 카세트(30)는 도 9에 도시된 바와 같이, 셀 트레이(1)를 수직 방향으로 연속해서 적재할 수 있는 구조를 가진다. 그리고, 상기 셀 트레이(1)의 상부에는 상기 기판에 해당하는 셀이 안착될 수 있는 셀 안착부(2)가 규칙적으로 배열 형성되어 있다. As shown in FIG. 9, the
상기 복수개의 셀 트레이(1)를 수직 방향으로 연속해서 적재할 수 있는 상기 트레이 카세트(30)는 상술한 바와 같이 열풍 경화 공간부(15)에 배치된다. 따라서, 상기 트레이 카세트(30)는 상기 적재된 셀 트레이(1)들 사이로 열풍이 균일하게 이동될 수 있는 구조를 가져야 한다.The
상기 열풍 경화 공간부(15)에 배치되는 트레이 카세트(30)는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 하부 프레임(31), 상기 하부 프레임(31) 상측에 대향 배치되는 상부 프레임(32), 상기 상부 프레임(32)과 하부 프레임(31)의 측면을 수직 방향으로 서로 연결하는 측면 프레임(33), 상기 상부 프레임(32)과 하부 프레임(31)의 후면을 수직 방향으로 서로 연결하는 후면 프레임(34), 상기 측면 프레임(33)에 장착되되 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바(35), 상기 후면 프레임(34)에 장착되되 상기 측부 지지바(35)와 동일하게 수직 방향으로 연속해서 배치되는 센터 지지바(36)를 포함하여 구성된다. 9 and 10, the
여기서, 상기 복수개의 측부 지지바(35)와 센터 지지바(36)들 중, 동일 높이에 배치되는 상기 측부 지지바(35)와 상기 센터 지지바(36)가 각각의 셀 트레이(1)를 안착 지지할 수 있는 각각의 슬롯을 구성한다.The
상기 하부 프레임(31), 상부 프레임(32), 측면 프레임(33) 및 후면 프레임(34)들은 모두 판상 구조를 가지는 것이 아니라, 열풍의 흐름을 방해하지 않기 위하여 바(bar) 형태로 구성된다.The
상기 하부 프레임(31)과 상부 프레임(32)의 측면은 수직 방향으로 배치되는 측면 프레임(33)에 의해서 연결된다. 구체적으로, 상기 하부 프레임(31)의 일측부와 상기 상부 프레임(32)의 일측부는 제1 측면 프레임에 의해 연결되고, 상기 하부 프레임(31)의 타측부와 상기 상부 프레임(32)의 타측부는 제1 측면 프레임에 의해 연결된다. 상기 제1 측면 프레임과 상기 제2 측면 프레임은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 상기 상부 프레임과 하부 프레임을 안정적으로 결합하기 위하여 각각 두개로 구성되는 것이 바람직하다.The side frames of the
상기 상부 프레임(32)과 하부 프레임(31)을 더욱더 견고하게 결합하기 위하여 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 후단은 상기 후면 프레임(34)에 의하여 상호 연결된다. 상기 후면 프레임(34)의 개수는 가변될 수 있는데, 도 9 및 도 10에서는 3개의 후면 프레임으로 구성되는 것을 예시하고 있다. 한편, 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 전면은 상기 셀 트레이(1)의 인입 또는 인출을 방해하지 않도록 별도의 연결 프레임이 없다.The rear ends of the upper frame and the lower frame are connected to each other by the
이와 같은 프레임의 연결 구조에서 상기 셀 트레이(1)를 안착 지지할 수 있는 지지바가 상기 측면 프레임(33)과 후면 프레임(34)에 결합된다. 구체적으로, 상기 측면 프레임(33)에는 상기 셀 트레이(1)의 측부를 지지할 수 있는 측부 지지바(35)가 수직 방향으로 연속해서 결합되고, 상기 후면 프레임(34)에는 상기 셀 트레이(1)의 가운데 부분을 지지할 수 있는 센터 지지바(36)가 수직 방향으로 연속해서 결합된다.In such a connection structure of the frame, a support bar capable of supporting and supporting the
상기 측부 지지바(35)는 상기 제1 측면 프레임과 제2 측면 프레임에 각각 결합되어 상기 셀 트레이의 양측 단부 하단이 지지될 수 있도록 한다. 상기 측부 지지바(35)는 수직 방향으로 연속해서 배치되되, 몇개의 측부 지지바(35)가 하나의 군을 구성하고, 각 군들을 상호 소정 간격 이격 배치된다. 도 10에서는 3개의 측부 지지바(35)가 하나의 군을 구성한 것을 예시하고 있고, 각각의 군들 사이에 형성되는 이격 공간에는 천공바(37)가 결합된 것을 보여주고 있다.The side support bars 35 are coupled to the first side frame and the second side frame, respectively, so that the lower ends of both ends of the cell tray can be supported. The side support bars 35 are arranged continuously in the vertical direction, and the several side support bars 35 constitute one group, and the groups are spaced apart from each other by a predetermined distance. In FIG. 10, the three side support bars 35 are illustrated as one group, and the
상기 센터 지지바(36)는 상기 후면 프레임에 결합되되 상기 측부 지지바(35)에 대응되어 구성된다. 즉, 상기 센터 지지바(36)는 상기 측부 지지바(35)와 동일한 개수, 높이, 이격 공간을 가질 수 있도록 수직 방향으로 배치된다. 따라서, 동일 높이에 배치되는 상기 측부 지지바와 센터 지지바는 상기 셀 트레이를 안착 지지할 수 있는 하나의 슬롯을 구성할 수 있다.The
상술한 바와 같이 상기 트레이 카세트(30)의 내부는 복수개의 분할 공간으로 나뉘어질 수 있다. 상기 각각의 분할 공간에는 복수개의 측부 지지바(35)와 이에 대응되는 센터 지지바(36)들이 배치된다. 예를 들어, 상기 각 분할 공간에는 세개의 측부 지지바로 구성되는 군과 이에 대응되는 세개의 센터 지지바로 구성되는 군이 배치될 수 있다. 즉, 각각의 분할 공간에는 세개의 슬롯이 형성되도록 구성할 수 있다.As described above, the inside of the
상기와 같은 구조로 이루어진 트레이 카세트(30)를 가로질러 이동하는 열풍은 기류 이동이 균일할 필요가 있다. 따라서, 상기 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바(35)들 사이에 이격 공간이 있는 경우, 상기 이격 공간에는 통과홀이 연속해서 형성된 천공바(37)가 배치되어 상기 측면 프레임(33)에 결합되는 것이 바람직하다.The hot air moving across the
예를 들어, 도 10에 도시된 바와 같이, 세개의 측부 지지바로 구성되는 군들 사이에 이격 공간이 형성되는 경우, 이 이격 공간을 통해 열풍이 집중적으로 이동하는 것을 방지하기 위하여, 상기 이격 공간에 상기 규칙적으로 통과홀이 형성된 천공바(37)를 배치한다. 결과적으로, 상기 트레이 카세트(30)의 측면을 통해 이동하는 열풍은 전체적으로 기류 이동의 균일도가 향상된다.For example, as shown in FIG. 10, in order to prevent intensive movement of hot air through the spacing space when spacing spaces are formed between the groups constituting the three side support bars, The
한편, 상기 측부 지지바(35)는 상기 셀 트레이(1)와 접촉 면적을 최소화할 수 있도록 형성된다. 이를 위하여 상기 측부 지지바(35)는 상부면에 상기 셀 트레이(1)와 점 접촉할 수 있는 컨택핀(38)을 구비한다. 상기 측부 지지바와 상기 셀 트레이의 접촉 면적이 최소화되기 때문에, 상기 측부 지지바에서 상기 셀 트레이로 진행되는 열전달은 거의 없다. 따라서 상기 셀 트레이에 안착되는 복수개의 셀에 대한 균일한 경화 공정을 수행할 수 있다.The
한편, 상기 트레이 카세트(30) 내부의 열풍 온도는 상술한 열풍 발생 공간부(11)에서 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 히터 모듈(23)의 히팅 온도를 조절하거나 흡기 단속 또는 흡기량 조절에 의하여 상기 열풍의 온도를 조절할 수 있다. 그리고 경우에 따라, 상기 트레이 카세트(30)의 내부 온도를 상승시키거나 조정할 수 있는 부가적인 히팅 조절 수단이 더 구비될 수도 있다.On the other hand, the hot air temperature inside the
이를 위하여, 본 발명에서는 상기 트레이 카세트(30) 하측에 적어도 하나의 히터판(45)(도 9, 도 10 및 도 12 참조)을 배치할 수 있다. 구체적으로, 지지 프레임(43)에 의하여 지지되는 안착 프레임(41) 상에 상기 하부 프레임(31)이 안착된 상태의 구조에서, 상기 히터판(45)은 상기 안착 프레임(41) 하측에 배치되되, 수직 방향으로 위치 조정이 가능하게 장착된다.To this end, at least one heater plate 45 (see FIGS. 9, 10 and 12) may be disposed under the
상기 히터판(45)은 상기 안착 프레임(41)에서 이격되는 거리에 따라 상기 트레이 카세트(30)의 미치는 히팅력이 변화된다. 결국, 상기 히터판의 수직 위치를 조정하여 상기 트레이 카세트의 내부 온도를 조정할 수 있다.The
이를 위하여, 상기 히터판(45)과 상기 안착 프레임(41) 또는 하부 프레임(31) 사이에는 상기 히터판(45)의 수직 방향 위치를 조정할 수 있는 레벨 볼트(47)가 결합된다. 즉, 상기 레벨 볼트(47)의 일단은 상기 히터판(45)의 상부면에 결합되고, 타단은 상기 안착 프레임(41) 또는 하부 프레임(31)에 결합된다. 상기 레벨 볼트(47)가 일방향으로 회전되면, 상기 히터판은 상측 또는 하측으로 이동하고, 상기 레벨 볼트가 타방향으로 회전되면, 상기 히터판은 하측 또는 상측으로 이동한다. 이를 통해 상기 히터판의 수직 방향의 위치를 조정할 수 있고, 결과적으로 상기 트레이 카세트 내부 공간의 온도를 조정할 수 있다.A
본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although the embodiments according to the present invention have been described, it is to be understood that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.
S : 셔터
1 : 셀 트레이
2 : 셀 안착부
10 : 챔버
11 : 열풍 발생 공간부
13 : 열풍 주입 공간부
15 : 열풍 경화 공간부
17 : 열풍 회수 공간부
19 : 열풍 순환 공간부
19a : 열풍 순환 공급 통로
21 : 흡기구
23 : 히터 모듈
25 : 팬 모듈
30 : 트레이 카세트
31 : 하부 프레임
32 : 상부 프레임
33 : 측면 프레임
34 : 후면 프레임
35 : 측부 지지바
36 : 센터 지지바
37 : 천공 바
38 : 컨택핀
41 : 안착 프레임
43 : 지지 프레임
45 : 히터판
47 : 레벨 볼트
50 : 디퓨저
61 : 제1 격판
63 : 제2 격판
70 : 천공 플레이트
71 : 천공
90 : 배기부
91 : 배기 라인
100 : 기판 경화 장치S: Shutter 1: Cell tray
2: cell seating part 10: chamber
11: Hot air generating space part 13: Hot air inflow space part
15: hot air curing space part 17: hot air collecting space part
19: hot air
21: intake port 23: heater module
25: Fan module 30: Tray cassette
31: lower frame 32: upper frame
33: side frame 34: rear frame
35: side support bar 36: center support bar
37: perforation bar 38: contact pin
41: seat frame 43: support frame
45: Heater plate 47: Level bolt
50: diffuser 61: first diaphragm
63: second diaphragm 70: perforated plate
71: Perforation 90:
91: exhaust line 100: substrate hardening device
Claims (6)
내부 공간이 형성되는 챔버 및 상기 챔버 내에 배치되어 경화 대상의 기판을 장착할 수 있는 구조를 가지는 트레이 카세트를 포함하여 구성되되,
상기 트레이 카세트의 일측 공간에서 열풍이 발생되도록 하고, 상기 열풍이 상기 트레이 카세트를 가로질러 상기 트레이 카세트의 타측 공간으로 이동된 후, 다시 상기 트레이 카세트의 일측 공간으로 이동하여 순환되도록 함으로써, 상기 트레이 카세트에 장착되는 경화 대상의 기판에 대한 경화 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
In the substrate curing apparatus,
And a tray cassette disposed in the chamber and having a structure capable of mounting a substrate to be cured,
The hot air is generated in one side space of the tray cassette and the hot air is moved to the other side space of the tray cassette across the tray cassette and then moved to one side space of the tray cassette again to circulate the tray cassette, And a curing step for the substrate to be cured mounted on the substrate.
상기 챔버의 내부 공간은 상기 트레이 카세트가 배치되는 열풍 경화 공간부, 상기 열풍 경화 공간부의 일측 공간에 형성되어 외부로부터 흡입된 공기를 이용하여 열풍을 발생하는 열풍 발생 공간부, 상기 열풍 발생 공간부와 상기 열풍 경화 공간부 사이에 형성되어 상기 열풍 발생 공간부로부터 송풍되는 열풍을 상기 열풍 경화 공간부로 확산시켜 공급하는 열풍 주입 공간부, 상기 열풍 경화 공간부의 타측에 인접 형성되어 상기 열풍 경화 공간부로부터 이송되는 열풍을 회수하는 열풍 회수 공간부 및 상기 열풍 경화 공간부 후면측에 인접 형성되어 상기 열풍 회수 공간부로부터 이송되는 열풍을 상기 열풍 발생 공간부로 공급하여 순환시키는 열풍 순환 공간부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
The method according to claim 1,
The internal space of the chamber includes a hot air curing space in which the tray cassette is disposed, a hot air generating space formed in one side space of the hot air curing space to generate hot air using air sucked from the outside, A hot air injection space part formed between the hot air hardened space parts and diffusing and supplying hot air blown from the hot air generating space part to the hot air hardened space part; And a hot air circulation space part formed adjacent to a rear surface side of the hot air crying space part for collecting hot air and for supplying hot air conveyed from the hot air space part to the hot air generating space part and circulating the hot air. .
상기 열풍 발생 공간부에는 외부로부터 흡입되는 공기를 가열하는 히터 모듈과 상기 가열된 공기를 흡입하여 상기 열풍 주입 공간부로 송풍시키는 팬 모듈이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
The method of claim 2,
Wherein the hot air generating space portion is provided with a heater module for heating air sucked from the outside and a fan module for sucking the heated air to blow air to the hot air injection space portion.
상기 열풍 주입 공간부와 상기 열풍 경화 공간부 사이에는 상기 열풍 주입 공간부에서 공급되는 열풍을 확산시켜 상기 열풍 경화 공간부로 이송시키는 디퓨저가 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
The method of claim 2,
Wherein a diffuser is installed between the hot air injection space and the hot air curing space to diffuse hot air supplied from the hot air injection space and transfer the hot air to the hot air curing space.
상기 열풍 경화 공간부에 배치되는 트레이 카세트는 하부 프레임, 상기 하부 프레임 상측에 대향 배치되는 상부 프레임, 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 측면을 수직 방향으로 서로 연결하는 측면 프레임, 상기 상부 프레임과 하부 프레임의 후면을 수직 방향으로 서로 연결하는 후면 프레임, 상기 측면 프레임에 장착되되 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바, 상기 후면 프레임에 장착되되 상기 측부 지지바와 동일하게 수직 방향으로 연속해서 배치되는 센터 지지바를 포함하여 구성되되, 동일 높이에 배치되는 상기 측부 지지바와 상기 센터 지지바가 각각의 셀 트레이를 안착 지지할 수 있는 슬롯을 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
The method of claim 2,
The tray cassette disposed in the hot air curing space includes a lower frame, an upper frame disposed opposite to the upper side of the lower frame, a side frame connecting the side surfaces of the upper frame and the lower frame in a vertical direction, A side support bar mounted on the side frame and continuously arranged in a vertical direction, a center support bar mounted on the rear frame and continuously arranged in a vertical direction in the same manner as the side support bar, Wherein the side support bars and the center support bars disposed at the same height constitute slots in which the cell trays can be seated and supported.
상기 수직 방향으로 연속해서 배치되는 측부 지지바들 사이에 이격 공간이 있는 경우, 상기 이격 공간에는 통과홀이 연속해서 형성된 천공바가 배치되어 상기 측면 프레임에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 경화 장치.
The method of claim 5,
Wherein when the spacing space is provided between the side support bars continuously arranged in the vertical direction, a perforation bar in which a through hole is formed continuously is disposed in the spacing space and is coupled to the side frame.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160044433A KR101791572B1 (en) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | apparatus for curing substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160044433A KR101791572B1 (en) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | apparatus for curing substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170116538A true KR20170116538A (en) | 2017-10-19 |
KR101791572B1 KR101791572B1 (en) | 2017-11-03 |
Family
ID=60298283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160044433A KR101791572B1 (en) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | apparatus for curing substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101791572B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230024616A (en) | 2021-08-12 | 2023-02-21 | 주식회사 선익시스템 | Organic thin film curing apparatus |
KR20230057123A (en) | 2021-10-21 | 2023-04-28 | 주식회사 선익시스템 | Chamber module for curing organic thin film |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102596879B1 (en) * | 2023-05-30 | 2023-11-01 | 명화지리정보(주) | Image processing system that improves image precision of aerial security images |
-
2016
- 2016-04-11 KR KR1020160044433A patent/KR101791572B1/en active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230024616A (en) | 2021-08-12 | 2023-02-21 | 주식회사 선익시스템 | Organic thin film curing apparatus |
KR20230057123A (en) | 2021-10-21 | 2023-04-28 | 주식회사 선익시스템 | Chamber module for curing organic thin film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101791572B1 (en) | 2017-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101791572B1 (en) | apparatus for curing substrate | |
US10459521B2 (en) | Touch surface for simulating materials | |
JP3833439B2 (en) | Multistage heating furnace for large substrates, double-sided heating type far-infrared panel heater, and air supply / exhaust method in the heating furnace | |
EP2720524B1 (en) | Front-to-back cooling system for modular systems with orthogonal midplane configuration | |
US7885066B2 (en) | Airflow/cooling solution for chassis with orthogonal boards | |
CN101466249B (en) | Base device with medial plate design and method for cooling the device | |
US20120327597A1 (en) | Hybrid Cooling Design for Modular Systems | |
US7013886B2 (en) | Plastic shell heater | |
EP2993987B1 (en) | Compact oven | |
CN100501576C (en) | Apparatus and method for soft baking photoresist on substrate | |
CN101825808B (en) | Alignment film heating device | |
JP2007280623A (en) | Heat treatment device, thin-film forming device, and heat treatment method | |
EP2830423B1 (en) | Oven and method of heating an oven | |
KR101760706B1 (en) | apparatus for curing substrate | |
CN108321101B (en) | Electrode assembly and etching equipment | |
KR101890478B1 (en) | Apparatus for drying flexible film having air distribution function | |
CN204187951U (en) | The vertical drying unit of electroplating device | |
CN204347722U (en) | Multi-action computer cooling cabinet | |
CN108731396B (en) | Heated air circulation type drying device for glass substrate | |
JP4594400B2 (en) | Plate cooling device and heat treatment system | |
TW200419124A (en) | Multi stage type heating apparatus for large size substrates | |
JP2013217589A (en) | Parallel-flow dryer | |
CN220672021U (en) | Intelligent management terminal for digital bank | |
CN2921925Y (en) | Computer case improved structure | |
CN200947712Y (en) | Diversion net for communication equipment and ventilation case in communication equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right |