KR101890478B1 - Apparatus for drying flexible film having air distribution function - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치는, 유기발광 다이오드(OLED) 또는 태양전지판(SOLAR CELL) 제작용 플렉시블 필름(flexible film)에 대한 건조 공정이 진행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 상부에 마련되어 상기 공정챔버에 대하여 회동가능하게 결합되며, 중적외선 램프와 송풍팬을 이용하여 상기 플렉시블 필름으로 열풍을 발생하는 열풍발생 유닛; 및 상기 열풍발생 유닛 내에서 상기 송풍팬과 상기 중적외선 램프 사이에 개재되어 상기 송풍팬에서 발생된 공기를 상기 중적외선 램프로 송풍되기 전에 균일하게 분배시키는 송풍분배판을 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치는, 중적외선 램프와 송풍팬 사이에 개재되는 송풍분배판을 통해 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍의 스트림라인이 공급될 수 있고 열풍 공급 이후 서서히 배기하는 자연배기 과정을 거침으로써 건조효율이 향상되고 건조수율이 증가될 수 있다.A film drying apparatus having an air blow distribution plate according to the present invention includes a process chamber in which a drying process for a flexible film for manufacturing an organic light emitting diode (OLED) or a solar cell (SOLAR CELL) is performed; A hot air generating unit provided above the process chamber and rotatably coupled to the process chamber, the hot air generating unit generating hot air by the flexible film using a middle infrared lamp and a blowing fan; And a blowing distribution plate interposed between the blowing fan and the middle infrared lamp in the hot air generating unit to uniformly distribute the air generated in the blowing fan before being blown into the middle infrared lamp.
The film drying apparatus having the blowing distribution plate according to the present invention can supply a stream line of uniform hot air over the entire plate area through the blowing distribution plate interposed between the middle infrared ray lamp and the blowing fan, By passing through a natural exhausting process to exhaust, the drying efficiency can be improved and the drying yield can be increased.

Description

송풍분배판을 구비한 필름 건조장치{APPARATUS FOR DRYING FLEXIBLE FILM HAVING AIR DISTRIBUTION FUNCTION}[0001] APPARATUS FOR DRYING FLEXIBLE FILM HAVING AIR DISTRIBUTION FUNCTION [0002]

본 발명은 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 중적외선 램프와 송풍팬 사이에 개재되는 송풍분배판을 통해 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍이 공급될 수 있는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a film drying apparatus having an air blow distribution plate, and more particularly, to a film drying apparatus having an air blow distribution plate capable of uniformly supplying hot air through an air blow distribution plate interposed between a mid- To a film drying apparatus having a plate.

일반적으로 디지털 정보기술의 중요한 카테고리의 하나로서, 디스플레이의 개발이 하루가 다르게 발전하고 있다. 종래 평판 형태의 액정패널이나 터치 스크린 등에서 사용되는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 기술에서 발전하여, 최근 들어서는 플렉시블 디스플레이 분야에 대한 연구가 활발한 추세이다. 또한, 친환경 분야에 대한 연구가 각광받고 있는 현 시점에서 플렉시블 기술은 태양전지(SOLAR CELL) 또는 태양전지 모듈의 핵심 기술로서 자리잡고 있다.As one of the important categories of digital information technology in general, the development of displays is evolving one day different. (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED), which are conventionally used in a flat plate type liquid crystal panel or a touch screen. Recently, researches on the field of flexible display Is an active trend. In addition, flexible technology is becoming a core technology of solar cell or solar cell module.

이와 같은 플렉시블(flexible) 디스플레이를 구현하기 위해서는 폴리이미드, 폴리에스테르 또는 폴리에틸렌 등의 플렉시블 필름 상에 스퍼터링 기법 등의 제작 공법을 이용하여 투명 전극, 인듐-주석 산화물(indum tin oxide, ITO)의 박막, 금속성 또는 유기성 물질을 적층 및 도포한 다음, 이를 효율적으로 건조하는 건조 공정이 필수적으로 요구된다. In order to realize such a flexible display, a transparent electrode, a thin film of indium tin oxide (ITO), a thin film of indium tin oxide (ITO), or the like is formed on a flexible film such as polyimide, polyester or polyethylene using a manufacturing method such as a sputtering technique. A drying process in which a metallic or organic material is laminated and applied and then dried efficiently is indispensably required.

종래 일반적인 산업용 건조장치가 개시된 바 있다. 이러한 산업용 건조장치는 사출물, 자동차 부품이나 유리 제품 등에 사용되는 산업용 범용 건조기가 대부분이며, 디스플레이 분야에 한정하더라도 평판 형태의 LCD, PDP 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등에 국한되게 개발된 바 있다.Conventional general industrial drying apparatuses have been disclosed. These industrial drying apparatuses are mostly used for industrial general purpose dryers used in injection molding, automobile parts, and glass products, and have been developed to be limited to flat panel type LCDs, PDPs, and OLEDs (organic light emitting diodes)

그러나, 종래의 범용 건조장치는 두께가 얇은 박막 타입의 플렉시블 필름을 건조 공정이 수행되기에는 열원이나 또는 열풍의 조합만으로는 건조 과정에서 크랙이나, 소손 현상의 발생 가능성이 높아서 건조 효율이 떨어지고 이들 열원의 배기 속도가 지나치게 높아 건조 공정 상에 불량품이 발생할 가능성이 높은 문제점이 있다.However, in the conventional general-purpose drying apparatus, the thin film-type flexible film is likely to be cracked or burned by a heat source or a combination of hot winds in order to perform a drying process, There is a high possibility that defective products are generated in the drying process because the exhaust speed is too high.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 중적외선 램프와 송풍팬 사이에 개재되는 송풍분배판을 통해 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍의 스트림라인이 공급될 수 있고 열풍 공급 이후 서서히 배기하는 자연배기 과정을 거침으로써 건조효율이 향상되고 건조수율이 증가될 수 있는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치를 제공한다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a hot air stream line uniformly distributed over a whole plate area through an air distributing plate interposed between a middle infrared ray lamp and a blowing fan, There is provided a film drying apparatus having a blowing distribution plate capable of improving drying efficiency and increasing a drying yield by passing through a natural exhausting process.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치는, 유기발광 다이오드(OLED) 또는 태양전지판(SOLAR CELL) 제작용 플렉시블 필름(flexible film)에 대한 건조 공정이 진행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 상부에 마련되어 상기 공정챔버에 대하여 회동가능하게 결합되며, 중적외선 램프와 송풍팬을 이용하여 상기 플렉시블 필름으로 열풍을 발생하는 열풍발생 유닛; 및 상기 열풍발생 유닛 내에서 상기 송풍팬과 상기 중적외선 램프 사이에 개재되어 상기 송풍팬에서 발생된 공기를 상기 중적외선 램프로 송풍되기 전에 균일하게 분배시키는 송풍분배판을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a film drying apparatus having an air blow distribution plate according to the present invention, wherein a drying process for a flexible film for manufacturing an organic light emitting diode (OLED) or a solar cell (SOLAR CELL) A process chamber; A hot air generating unit provided above the process chamber and rotatably coupled to the process chamber, the hot air generating unit generating hot air by the flexible film using a middle infrared lamp and a blowing fan; And a blowing distribution plate interposed between the blowing fan and the middle infrared lamp in the hot air generating unit to uniformly distribute the air generated in the blowing fan before being blown into the middle infrared lamp.

상기 공정챔버 내에서 이송되는 상기 플렉시블 필름의 하부 구역에 마련되어 상기 플렉시블 필름을 거친 상기 열풍의 배기를 보조하고 균일하게 배출되게 하는 히트싱크부를 더 포함할 수 있다.The heat sink unit may further include a heat sink unit provided in a lower region of the flexible film transferred in the process chamber to assist in exhausting the hot air through the flexible film and uniformly discharge the hot air.

상기 히트싱크부는, 상기 열풍을 균일하게 배기흐름이 형성되도록, 상기 플렉시블 필름의 하방에 인접 배치되어 1차적으로 하방으로 열풍을 배기하는 제1 배기판; 및 상기 제1 배기판의 하부에 인접되게 배치되어 상기 제1 배기판을 통과한 상기 열풍을 배기흐름을 증대시키는 제2 배기판을 포함할 수 있다.A first exhaust plate disposed adjacent to a lower portion of the flexible film to primarily exhaust hot air downward so that the hot air flows uniformly through the heat sink; And a second exhaust plate disposed adjacently to the lower portion of the first exhaust plate and increasing the exhaust flow of the hot air passed through the first exhaust plate.

상기 제1 및 제2 배기판은 미리 설정된 간격만큼 이격되어 상호 나란하게 배치될 수 있다.The first and second exhaust plates may be spaced apart from each other by a predetermined interval and disposed side by side.

상기 제1 및 제2 배기판의 판면에는 복수의 제1 및 제2 배기통과홀이 상호 동일하게 규칙적으로 배열될 수 있다.The plurality of first and second exhaust passages and the holes may be regularly arranged in the same plane on the surface of the first and second exhaust plates.

상기 제1 및 제2 배기판의 판면에는 복수의 제1 및 제2 배기통과홀이 규칙적으로 형성되되 수직방향에서 볼 때 상기 제1 및 제2 배기통과홀이 서로 어긋나게 배열될 수 있다.A plurality of first and second exhaust passages and holes are regularly formed on the surface of the first and second exhaust plates, and the first and second exhaust passages and the holes may be arranged to be shifted from each other when viewed from a vertical direction.

상기 송풍분배판에는, 판면에 원형 형상의 제1 송풍통과홀과, 상기 중적외선 램프와 나란하게 배치되며 상기 제1 송풍통과홀이 이루는 복수의 배열라인 사이에 교대로 형성되는 장공 형상의 제2 송풍통과홀이 형성될 수 있다.The air blow distribution plate includes a first air passage hole having a circular shape on the plate surface and a second air passage hole arranged in parallel with the middle infrared ray lamp and alternately formed between a plurality of arrangement lines formed by the first air passage hole, A ventilation hole may be formed.

상기 송풍분배판의 저면에 결합되며, 상기 공기의 분배흐름을 확산시키는 분배확산판을 더 포함하며, 상기 분배확산판에는, 상기 제1 및 제2 송풍통과홀에 대응되는 위치에서 하방으로 갈수록 내경이 증가되어 상기 열풍의 분배확산을 도모하는 제1 및 제2 분배확산배플이 형성될 수 있다.Further comprising a distribution diffuser coupled to a bottom surface of the air distributing plate and diffusing a distribution flow of the air, wherein the distribution diffuser has an inner diameter And the first and second distribution diffusion baffles can be formed to distribute and diffuse the hot air.

상기 공정챔버에는 상기 플렉시블 필름이 인입되고 인출되는 인입 및 인출게이트가 형성되며, 상기 열풍이 배기될 때 필요에 따라 상기 열풍의 배기흐름 균일도가 증대되도록, 상기 인입 및 인출게이트의 상부 구역에 각각 마련되는 복수의 배기덕트를 더 포함할 수 있다.The process chamber is provided with an inlet and outlet gate through which the flexible film is drawn and drawn out and is provided in an upper section of the inlet and outlet gate so that the exhaust flow uniformity of the hot air is increased as necessary when the hot air is discharged And a plurality of exhaust ducts connected to the exhaust duct.

상기 열풍발생 유닛은, 하부면이 개구된 하우징; 및 상기 하우징에 결합되어 상기 중적외선 램프를 상기 송풍분배판으로부터 소정 간격 이격배치시키는 이격배치부재를 포함할 수 있다.The hot air generating unit includes: a housing having a lower surface opened; And a spacing member coupled to the housing and spaced apart from the blowing distribution plate by a predetermined distance.

상기 플렉시블 필름은, ITO(indium tin oxide) 필름, 전도성(conductive) 필름 또는 유기성 필름 중 어느 하나일 수 있다.The flexible film may be one of an indium tin oxide (ITO) film, a conductive film, and an organic film.

본 발명에 의한 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치는, 중적외선 램프와 송풍팬 사이에 개재되는 송풍분배판을 통해 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍의 스트림라인이 공급될 수 있고 열풍 공급 이후 서서히 배기하는 자연배기 과정을 거침으로써 건조효율이 향상되고 건조수율이 증가될 수 있다.The film drying apparatus having the blowing distribution plate according to the present invention can supply a stream line of uniform hot air over the entire plate area through the blowing distribution plate interposed between the middle infrared ray lamp and the blowing fan, By passing through a natural exhausting process to exhaust, the drying efficiency can be improved and the drying yield can be increased.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 부분 구조도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치에서 공정챔버로부터 열풍발생 유닛을 젖힌 상태의 열풍발생 유닛의 저면도이다
도 4는 도 2에 도시된 구조도를 열풍발생 유닛과 공정챔버로 분해한 분해 구조도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 송풍분배판을 수직방향으로 단면한 사시도이다.
도 6은 도 5를 절개한 단면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 히트싱크부의 부분 단면도이다.1 is a structural view of a film dryer having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention.
2 is a partial structural view of a film drying apparatus having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention.
3 is a bottom view of a hot air generating unit in a state where a hot air generating unit is tilted from a process chamber in a film drying apparatus having an air distributing plate according to an embodiment of the present invention
Fig. 4 is an exploded view of the structure shown in Fig. 2, which is divided into a hot air generating unit and a process chamber.
5 is a perspective view of a blowing distribution plate of a film drying apparatus having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention in a vertical direction.
FIG. 6 is a cross-sectional view of FIG. 5; FIG.
7 and 8 are partial cross-sectional views of a heat sink portion of a film drying apparatus having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 일 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a film drying apparatus having an air distribution plate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

본 발명에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치는, OLED, SOLAR CELL 등의 프린팅 공정 후 필름 상의 코팅막(용액이나 유기물 등)을 건조하는 후공정 설비 중의 하나이며, 필름 건조장치의 건조 대상이 되는 상기 플렉시블 필름은, ITO(indium tin oxide) 필름, 전도성(conductive) 필름 또는 유기성 필름 중 어느 하나일 수 있다.The film drying apparatus having the blowing and distributing plate according to the present invention is one of post-processing facilities for drying a coating film (a solution or an organic matter, etc.) on a film after a printing process such as an OLED or a SOLAR CELL, The flexible film may be one of an indium tin oxide (ITO) film, a conductive film, and an organic film.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 구조도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 부분 구조도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치에서 공정챔버로부터 열풍발생 유닛을 젖힌 상태의 열풍발생 유닛의 저면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 구조도를 열풍발생 유닛과 공정챔버로 분해한 분해 구조도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 송풍분배판을 수직방향으로 단면한 사시도이고, 도 6은 도 5를 절개한 단면도이며, 도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치의 히트싱크부의 부분 단면도이다.FIG. 1 is a structural view of a film drying apparatus having an air distributing plate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial structural view of a film drying apparatus having an air distributing plate according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a bottom view of a hot air generating unit in a state where a hot air generating unit is tilted from a process chamber in a film drying apparatus having an air distributing plate according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of a blowing distribution plate of a film drying apparatus having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention in a vertical direction, and FIG. 6 is a cross- And FIGS. 7 and 8 are partial cross-sectional views of a heat sink portion of a film drying apparatus having an air distribution plate according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 의한 송풍분배판(300)을 구비한 필름 건조장치(10)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 유기발광 다이오드(OLED) 또는 태양전지판(SOLAR CELL) 제작용 플렉시블 필름(ff, flexible film)에 대한 건조 공정이 진행되는 공정챔버(100)와, 상기 공정챔버(100) 상부에 마련되어 상기 공정챔버(100)에 대하여 회동가능하게 결합되며, 중적외선 램프(230)와 송풍팬(220)을 이용하여 상기 플렉시블 필름(ff)으로 열풍을 발생하는 열풍발생 유닛(200)과, 상기 열풍발생 유닛(200) 내에서 상기 송풍팬(220)과 상기 중적외선 램프(230) 사이에 개재되어 상기 송풍팬(220)에서 발생된 공기를 상기 중적외선 램프(230)로 송풍되기 전에 균일하게 분배시키는 송풍분배판(300)과, 상기 공정챔버(100) 내에서 이송되는 상기 플렉시블 필름(ff)의 하부 구역에 마련되어 상기 플렉시블 필름(ff)을 거친 상기 열풍의 배기를 보조하고 균일하게 배출되게 하는 히트싱크부(400)를 더 포함할 수 있다.1 to 4, the film dryer 10 having the blowing and distributing plate 300 according to the present invention includes a flexible film ff for manufacturing an organic light emitting diode (OLED) or a solar cell (SOLAR CELL) and a flexible film disposed on the process chamber 100 and rotatably coupled to the process chamber 100. The intermediate infrared lamp 230 and the blowing fan A hot air generating unit 200 for generating hot air by the flexible film ff using the air blowing fan 220 and the blowing fan 220 and the middle infrared lamp 230 in the hot air generating unit 200, An air blow distribution plate 300 interposed between the blowing fan 220 and the intermediate infrared lamp 230 to uniformly distribute the air generated by the blowing fan 220 before blowing the air into the intermediate infrared lamp 230, (ff) is provided in a lower region of the flexible film The parent heat sink to an exhaust of the hot air to be uniformly discharged, and the auxiliary unit 400 may further include.

공정챔버(100)는 주로 도 1을 참조하면, 지지본체(50) 상에 지지되어 있다. 지지본체(50) 전면에는 각종 표시부(700)가 마련될 수 있으며, 표시부(700)는 외부창으로 마련될 수 있으며, 이들 표시부(700)는 온도 및 팬 컨트롤러와, 전력조정모듈 등과 연결되어 공정챔버(100) 내부의 온도, 송풍팬(220)의 회전수 또는 중적외선 램프(230)에 공급되는 전력의 공급량 등을 표시할 수 있다.Referring to Figure 1, the process chamber 100 is supported on a support body 50. Various display units 700 may be provided on the front surface of the support main body 50. The display unit 700 may be provided as an external window and the display unit 700 is connected to a temperature and fan controller, The number of rotations of the blowing fan 220, or the amount of power supplied to the intermediate infrared lamp 230, and the like.

또한, 지지본체(50) 내부에는 제어부(미도시)가 마련될 수 있다. 제어부는 온도감지센서(500) 및 송풍팬(220)과 연결되어 입력값을 받고, 표시부(700)에 송출하는 역할을 수행할 수 있다. 또한, 제어부는 송풍팬(220)을 인버터를 이용하여 송풍량 조절이 가능하며, 복수의 송풍팬(220)에 대해 부분적으로 제어 가능할 수 있다. 또한 제어부는 중적외선 램프(230)도 전력조절기(TPR)에 의해 병렬 또는 직렬 온도 제어도 가능할 수 있다. 또한, 도 1에 도시된 것처럼 공정챔버(100)내에서 중앙 구역에 배치된 복수의 온도감지센서(500)로부터 구역별로 입력받은 온도 정보를 이용하여 중적외선 램프(230)의 열원 제어도 가능할 수 있다.In addition, a control unit (not shown) may be provided inside the support main body 50. The control unit may be connected to the temperature sensor 500 and the blower fan 220 to receive the input value and send the input value to the display unit 700. In addition, the control unit can control the blowing amount of the blowing fan 220 using an inverter, and can be partially controllable with respect to the plurality of blowing fans 220. [ In addition, the control unit may also be capable of parallel or series temperature control of the medium-infrared lamp 230 by a power regulator (TPR). 1, it is also possible to control the heat source of the intermediate infrared lamp 230 by using the temperature information inputted for each zone from the plurality of temperature sensors 500 arranged in the central zone in the process chamber 100 have.

공정챔버(100)는 주로 도 4를 참조하면, 사각 형상으로 마련되며, 상부에 열풍발생 유닛(200)과 결합되는 부분에는 부분적으로 개방된 형태를 가진다. 공정챔버(100)의 좌측벽에는 플렉시블 필름(ff)이 공정챔버(100) 내부로 인입되게 하는 인입게이트(110)가 마련되며, 우측벽에는 플렉시블 필름(ff)이 인출되는 인출게이트(120)가 각각 마련될 수 있다. 그리고, 인입 및 인출게이트(110, 120)의 상부 구역에는 배기덕트(600)가 배치되어 공정챔버(100) 내부의 열풍이 자연 배기될 수 있게 한다. Referring to FIG. 4, the process chamber 100 is formed in a rectangular shape, and the upper portion of the process chamber 100 is partially opened to the hot air generating unit 200. The left side wall of the process chamber 100 is provided with an inlet gate 110 for allowing the flexible film ff to be drawn into the process chamber 100 and an outlet gate 120 for discharging the flexible film ff to the right side wall. Respectively. An exhaust duct 600 is disposed in an upper area of the inlet and outlet gates 110 and 120 so that hot air inside the process chamber 100 can be exhausted naturally.

한편, 플렉시블 필름은 적어도 한쌍의 좌우측 롤러(r)에 의해 탄성력이 가해지는 상태로 인입 및 인출게이트(110, 120)를 관통되게 배치될 수 있다.On the other hand, the flexible film can be disposed so as to penetrate the inlet and outlet gates 110 and 120 in a state in which the elastic force is applied by at least one pair of left and right rollers r.

공정챔버(100)의 중앙 구역에는 복수의 온도감지센서(610)가 마련되어 온도감지센서(610)로부터 감지된 정보가 표시부(700)로 전송될 수 있다.A plurality of temperature sensing sensors 610 are provided in a central area of the process chamber 100 so that information sensed by the temperature sensing sensor 610 can be transmitted to the display unit 700.

한편, 공정챔버(100) 내벽에는 둘레와 저벽을 따라 다수의 차폐벽(140)이 마련되어 있다. 중앙부 저벽 상에는 히트싱크부(400)가 차폐벽 위에 배치될 수 있으며, 이는 후술하기로 한다.On the inner wall of the process chamber 100, a plurality of shielding walls 140 are provided along the periphery and the bottom wall. A heat sink part 400 may be disposed on the shield wall on the central bottom wall, which will be described later.

공정챔버(100)의 상부에는 공정챔버(100)보다 상대적으로 판면적이 작게 형성되되 공정챔버(100)에 대하여 힌지부(130)를 통해 상대회동 가능하게 결합되는 열풍발생 유닛(200)이 마련될 수 있다.A hot air generating unit 200 is formed at an upper portion of the process chamber 100 so as to have a relatively smaller plate area than the process chamber 100 and is relatively rotatably coupled to the process chamber 100 through a hinge portion 130 .

열풍발생 유닛(200)은 건조 대상이 되는 플렉시블 필름(ff)에 실질적으로 열풍을 조사하는 부분이다. 이에 상기 열풍발생 유닛(200)은, 하부면이 개구된 하우징(210)과, 하우징(210) 내부에서 하방으로 열을 발생시키는 중적외선 램프(230)와, 하우징(210) 상부에 마련되는 송풍팬(220)과, 상기 하우징(210)에 결합되어 상기 중적외선 램프(230)를 상기 송풍분배판(300)으로부터 소정 간격 이격배치시키는 이격배치부재(240)를 포함할 수 있다.The hot air generating unit 200 is a part for irradiating substantially the hot air to the flexible film (ff) to be dried. The hot air generating unit 200 includes a housing 210 having a lower surface opened, a middle infrared lamp 230 generating heat downward from the inside of the housing 210, And a spacing member 240 coupled to the housing 210 for spacing the intermediate infrared lamp 230 from the air distribution plate 300 at a predetermined distance.

하우징(210)은 사각 형상으로 공정챔버(100)의 상부 개구면을 덮도록 마련될 수 있다. 하우징(210)은 내부의 열이 외부와 차폐되도록 이중 판면 구조를 가진다.The housing 210 may be provided to cover the upper opening surface of the process chamber 100 in a rectangular shape. The housing 210 has a double plate-like structure so that the internal heat is shielded from the outside.

하우징(210)의 내부에는 복수의 중적외선 램프(230)가 마련될 수 있다. 중적외선 램프(230)의 양단에는 이격배치부재(240)를 통해 하우징(210)에 결합될 수 있다. 중적외선 램프(230)가 발생하는 에너지는 코팅된 금속이나 비금속 계열의 제품 건조에 적합한 파장 대역을 가지고 있으며, 폴리이미드, 폴리에스테르 또는 폴리에틸렌 등에 대하여 에너지 흡수율이 적절하여 건조 효율이 우수한 장점이 있다.A plurality of intermediate infrared lamps 230 may be provided inside the housing 210. And the infrared lamp 230 may be coupled to the housing 210 through the spacing member 240 at both ends thereof. The energy generated by the intermediate infrared lamp 230 has a wavelength band suitable for drying a coated metal or a nonmetal based product, and is advantageous in that the energy absorption rate is appropriate for polyimide, polyester, polyethylene or the like, and thus drying efficiency is excellent.

본 발명에서 사용되는 중적외선 램프(230)는 파장이 2㎛ ~ 5㎛ 범위의 파장을 가지도록 마련되어, 플렉시블 필름(ff)을 손상시키거나 소손하지 않는 한도 내에서 건조 효율이 증대될 수 있다.The intermediate infrared lamp 230 used in the present invention is provided so as to have a wavelength in the range of 2 탆 to 5 탆 so that the drying efficiency can be increased to the extent that the flexible film ff is not damaged or burned.

하우징(210)의 상부에는 복수의 송풍팬(220)이 마련될 수 있다. 송풍팬(220)은 하우징(210) 상부면에 관통되게 배치되어 송풍팬(220)을 통한 외부 공기가 열풍발생 유닛(200)의 하방으로 인입될 수 있게 하며, 실질적으로 공정챔버(100)로 인입을 유도할 수 있다. 송풍팬(220)의 상부에는 팬케이싱(221)이 추가로 마련될 수 있다.A plurality of blowing fans 220 may be provided on the upper portion of the housing 210. The blowing fan 220 is disposed to penetrate the upper surface of the housing 210 so that external air through the blowing fan 220 can be drawn into the lower part of the hot air generating unit 200, It is possible to induce the pull-in. A fan casing 221 may be additionally provided on the upper portion of the ventilation fan 220.

한편, 송풍팬(220)을 통해 외부 공기가 공정챔버(100) 측으로 인입될 때 중적외선 램프(230)를 지나가면서 열풍이 생성되고 이 열풍이 공정챔버(100) 내부에서 이송되는 플렉시블 필름(ff)을 건조하게 되는데, 열풍의 균일성(uniformity)이 중요한 이슈가 된다.On the other hand, when external air is introduced into the process chamber 100 through the blowing fan 220, hot air is generated while passing through the intermediate infrared lamp 230 and the flexible film ff ), But the uniformity of the hot air becomes an important issue.

이러한 열풍의 균일성은 외부 공기가 송풍팬(220)을 통해 송풍되고 중적외선 램프(230)를 거쳐 가열되어 열풍이 생성된 이후 조정되는 것보다는, 열풍 생성 전에 미리 송풍된 공기의 흐름을 균일하게 조정하는 것이 균일성 확보 측면에서 더 유리하다.The uniformity of the hot air is not adjusted after the outside air is blown through the blowing fan 220 and heated through the intermediate infrared lamp 230 to generate hot air, and the flow of the blown air is uniformly adjusted Is more advantageous in terms of ensuring uniformity.

이를 보다 상세 설명하면, 송풍팬(220)을 통해 인입된 외부 공기가 가열되기 전에 일정 공기흐름(공기유선, air streamline)을 형성하도록 한다. 즉, 공기가 가열되면 미세한 온도 불균형 및 난류 형성으로 인해 공기흐름을 제어하기 힘들어진다. 따라서 중적외선 램프(230)를 통과하여 열풍이 발생되고 난후 이들 열풍을 균일하게 제어하기는 힘들다. 물론, 건조대상이 되는 플렉시블 필름(ff)을 사이에 두고, 송풍과 열풍의 발생원을 각각 상부와 하부에 둘 수도 있으나, 이럴 경우 건조 효율이 떨어짐이 확인되었다.More specifically, the outside air introduced through the blowing fan 220 is formed to form a constant air flow (air streamline) before being heated. That is, when the air is heated, it becomes difficult to control the airflow due to a slight temperature imbalance and turbulence formation. Therefore, it is difficult to uniformly control these hot winds after the hot wind passes through the middle infrared ray lamp 230. Of course, although the source of the blowing air and the hot air can be placed on the upper part and the lower part, respectively, with the flexible film (ff) to be dried therebetween, it has been confirmed that the drying efficiency is lowered.

따라서, 본 실시예에서의 송풍분배판(300)은 송풍팬(220)을 통해 송풍된 외부 공기가 바로 송풍분배판(300)을 통과하도록 하여, 온도가 낮은 상태의 외부 공기를 강제로 균일한 스트림라인을 형성하도록 한다. 동일한 스트림라인이 형성된 이후 중적외선 램프(230)를 이용하여 가열하는 방식을 취한다.Therefore, in the present embodiment, the air distributing plate 300 allows the outside air blown through the blowing fan 220 to pass directly through the blowing and distributing plate 300 so that the outside air in a low temperature state is forcefully uniform Thereby forming a stream line. And the infrared lamp 230 is used to heat the same after the same stream line is formed.

이에, 상기 송풍분배판(300)은 도 1 내지 도 6를 참조하면, 열풍발생 유닛(200)의 내부에 마련될 수 있으며, 송풍팬(220)과 중적외선 램프(230) 사이에 배치될 수 있다. 이러한 송풍분배판(300)은 판상의 플레이트 타입으로 마련될 수 있으며, 양단부에는 공정챔버(100)와 연결을 위한 지지부(321)가 마련될 수 있다.1 to 6, the air distribution plate 300 may be provided inside the hot air generating unit 200 and may be disposed between the air blowing fan 220 and the middle infrared lamp 230 have. The air distribution plate 300 may be a plate-like plate type, and support portions 321 may be provided at both ends for connection to the process chamber 100.

그리고, 송풍분배판(300)의 판면에는 주로 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 원형 형상의 제1 송풍통과홀(310)과, 상기 중적외선 램프(230)와 나란하게 배치되며 상기 제1 송풍통과홀(310)이 이루는 복수의 배열라인 사이에 교대로 형성되는 장공 형상의 제2 송풍통과홀(320)이 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 세로방향으로 각각 2개 라인의 제1 송풍통과홀(310)과, 인접하게 1개 라인의 제2 송풍통과홀(320)이 규칙적으로 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 5 and 6, the blowing and distributing plate 300 is provided with a first blowing hole 310 having a circular shape and a second blowing hole 310 arranged in parallel with the middle infrared ray lamp 230, A second ventilation hole 320 may be formed in a shape of an elongated hole alternately formed between a plurality of array lines formed by the ventilation holes 310. In the present embodiment, the first blowing passage holes 310 of two lines and the second blowing passage holes 320 of one line adjacent to each other in the longitudinal direction can be regularly formed.

추가적으로, 상기 송풍분배판(300)의 저면에는 분배확산판(330)이 결합될 수 있다. 분배확산판(330)은 상기 공기의 분배흐름을 확산시키는 역할을 수행할 수 있다. 이를 위해, 상기 분배확산판(330)에는, 상기 제1 및 제2 송풍통과홀(310, 320)에 대응되는 위치에서 하방으로 갈수록 내경이 증가되어 상기 열풍의 분배확산을 도모하는 제1 및 제2 분배확산배플(331, 332)이 형성될 수 있다.In addition, a distribution diffuser plate 330 may be coupled to the bottom of the blower distribution plate 300. The distribution diffuser plate 330 may serve to diffuse the distribution flow of the air. For this purpose, the inner diameter of the distribution diffuser plate 330 is increased from the position corresponding to the first and second ventilation holes 310 and 320 to the lower portion thereof, 2 distribution diffusion baffles 331 and 332 may be formed.

이러한 분배확산판(330) 즉, 제1 및 제2 분배확산배플(331, 332)은 하방으로 갈수록 내경이 증가되도록 마련되어 일정하게 분배된 공기흐름의 단위면적당 밀도를 저감하는 역할을 수행할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 분배확산배플(331, 332)의 내경 증가로 인해, 공기의 스트림라인의 상대 밀도가 낮아질 수 있으며, 이로 인해 플렉시블 필름(ff)에 도달하는 열풍의 균일도가 증대될 수 있다. 또한, 플렉시블 필름(ff)에 도달되는 열풍의 도달 속도도 저감시키는 효과가 있어 갑작스러운 온도 변화로 인한 플렉시블 필름(ff)에 발생되는 충격, 균열이나 소손 현상 등이 현저히 낮아질 수 있다.The first and second distribution diffusion baffles 331 and 332 are provided such that their inner diameters increase toward the downward direction, thereby reducing the density per unit area of the uniformly distributed air flow . That is, due to the increase in the inner diameters of the first and second distribution diffusion baffles 331 and 332, the relative density of the stream lines of the air can be lowered, and the uniformity of the hot air reaching the flexible film ff can be increased have. In addition, since the effect of reducing the arrival velocity of the hot air reaching the flexible film (ff) can be remarkably lowered, the impact, cracking or burning phenomenon occurring in the flexible film (ff) due to a sudden change in temperature.

전술한 송풍분배판(300)과 분배확산판(330)을 동시 적용하여, 플렉시블 필름(ff)의 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍이 공급될 수 있어 건조효율의 향상을 기대할 수 있다.It is possible to uniformly supply hot air over the entire plate area of the flexible film (ff) by simultaneously applying the above-described air distribution plate (300) and the distribution diffusion plate (330), thereby improving the drying efficiency.

한편, 공정챔버(100)의 저벽부에는 히트싱크부(400)가 마련될 수 있다. 상기 히트싱크부(400)는 주로 도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 열풍을 균일하게 배기흐름이 형성되도록, 상기 플렉시블 필름(ff)의 하방에 인접 배치되어 1차적으로 하방으로 열풍을 배기하는 제1 배기판(410); 및 상기 제1 배기판(410)의 하부에 인접되게 배치되어 상기 제1 배기판(410)을 통과한 상기 열풍을 배기흐름을 증대시키는 제2 배기판(420)과, 이격간격을 확보하는 싱크지지대(430)을 포함할 수 있다.Meanwhile, a heat sink unit 400 may be provided on the bottom wall of the process chamber 100. 7 and 8, the heat sink unit 400 is disposed adjacent to the lower portion of the flexible film ff to primarily discharge the hot air downward to form an exhaust flow uniformly A first exhaust plate 410; A second exhaust plate 420 disposed adjacently to the lower portion of the first exhaust plate 410 to increase the exhaust flow of the hot air having passed through the first exhaust plate 410 and a second exhaust plate 420 disposed adjacent to the lower portion of the first exhaust plate 410, ).

상기 제1 및 제2 배기판(410, 420)은 주로 도 7에 도시된 것처럼, 미리 설정된 간격만큼 이격되어 상호 나란하게 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 배기판(410, 420)의 판면에는 복수의 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421)이 상호 동일하게 규칙적으로 형성될 수 있다. 또는, 배기흐름 조절을 위해, 상기 제1 및 제2 배기판(410, 420)의 판면에는 주로 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421a)이 규칙적으로 형성되되 수직방향에서 볼 때 상기 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421a)이 서로 어긋나게 형성될 수도 있다.As shown in FIG. 7, the first and second exhaust plates 410 and 420 may be spaced apart from each other by a predetermined distance, and the first and second exhaust plates 410 and 420 may be arranged in parallel with each other. The plurality of first and second exhaust passages and the holes 411 and 421 may be regularly formed in the same manner. Alternatively, as shown in FIG. 8, a plurality of first and second exhaust passages and holes 411 and 421a are regularly arranged on the plate surfaces of the first and second exhaust plates 410 and 420 for exhaust flow control. And the first and second exhaust passages and the holes 411 and 421a may be formed to be shifted from each other when viewed from the vertical direction.

이와 같은 구성의 히트싱크부(400)를 통해, 자연 배기의 흐름을 확보할 수 있다. 즉, 대부분의 플렉시블 필름(ff)의 두께는 박막 타입으로 얇아서 급속한 온도 변화는 치명적이게 되며, 이를 위해 공정챔버(100) 내부의 열풍의 배기흐름은 자연스럽게 배기시키는 이른바, 자연배기를 하는 것이 바람직하다. Through the heat sink unit 400 having such a configuration, a flow of natural exhaust can be ensured. That is, the thickness of most flexible film (ff) is thin as a thin film type, so that rapid temperature change becomes fatal. For this purpose, it is preferable to perform so-called natural ventilation in which the exhaust stream of hot air inside the process chamber 100 is exhausted naturally .

히트싱크부(400)의 제1 및 제2 배기판(420)에 형성되는 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421)은 이러한 자연배기를 보조하는 역할을 수행할 수 있다. 자연스럽게 열풍은 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421)을 거친 다음 공정챔버(100)의 양단부의 상부 영역에 마련되는 배기덕트(600)를 통해 자연 배기될 수 있다. 배기덕트(600)의 입구 측에는 다수의 관통공이 형성된 배기플레이트(620)가 마련되어 있다.The first and second exhaust vents and holes 411 and 421 formed in the first and second exhaust plates 420 of the heat sink unit 400 may assist the natural exhaust. The hot air can naturally be exhausted through the exhaust duct 600 provided in the upper region of both ends of the process chamber 100 after passing through the first and second exhaust passages and the holes 411 and 421. At the inlet side of the exhaust duct 600, an exhaust plate 620 having a plurality of through holes is provided.

종래의 범용 건조장치 대비할 때, 이와 같은 자연 배기 구성의 히트싱크부(400)를 통해, 두께가 얇은 박막 타입의 플렉시블 필름(ff)을 건조 공정이 수행되기에는 열원이나 또는 열풍의 조합만으로는 건조 과정에서 크랙이나, 소손 현상의 발생 가능성을 현저히 낮출 수 있으며 배기 속도를 조절할 수 있어 건조 공정 상에 불량품이 발생할 가능성이 저감될 수 있다.In order to perform the drying process of the thin film type flexible film (ff) through the heat sink unit 400 having the natural exhaust structure in comparison with the conventional general-purpose drying apparatus, only the combination of the heat source or the hot air, The possibility of occurrence of a crack or a burning phenomenon can be remarkably lowered, and the exhaust speed can be controlled, thereby reducing the possibility of defective products in the drying process.

또는 필요에 따라 배기덕트(600)는 강제 배기가 수행될 수도 있다. 외부에 마련된 배기모터 등을 통해 공정챔버(100) 내부의 열풍을 외부로 강제 배기시킬 수도 있다. 예를 들면, 건조대상이 되는 플렉시블 필름(ff)의 종류에 따라 자연배기 또는 강제배기가 선정될 수 있을 것이며, 이때에는 필름의 종류 뿐만 아니라 건조 시간, 건조 속도 및 건조 효율 등이 감안될 수 있다.Or if necessary, the exhaust duct 600 may be subjected to forced exhaust. The hot air inside the process chamber 100 may be forcibly exhausted to the outside through an exhaust motor provided outside. For example, depending on the type of the flexible film (ff) to be dried, natural exhaust or forced exhaust may be selected. At this time, not only the type of the film but also drying time, drying speed and drying efficiency may be taken into consideration .

이하, 본 실시예에 따른 송풍분배판(300)을 구비한 필름 건조장치(10)를 통한 건조 공정을 도 1 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the drying process through the film drying apparatus 10 having the blowing and distributing plate 300 according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8. FIG.

먼저, 주로 도 1에 도시된 것처럼, 인쇄공정이나 증착공정을 마친 OLED, SOLAR CELL 등의 유기성 또는 전도성 필름이 인입게이트(110)를 거쳐 공정챔버(100) 내부로 인입된다.First, as shown in FIG. 1, an organic or conductive film such as an OLED or a SOLAR CELL that has been subjected to a printing process or a deposition process is introduced into the process chamber 100 through the inlet gate 110.

그러면, 송풍팬(220)의 적정 회전수를 거쳐 외부 공기가 인입되고, 외부 공기는 도 2 내지 도 4를 주로 참조하면, 송풍분배판(300)을 거치면서 일정한 스트림라인을 확보할 수 있다. 또한, 분배확산판(330)을 거치면서, 확보된 스트림라인의 상대 밀도가 저감될 수 있다.2 to 4, it is possible to secure a certain stream line while passing through the air blow distribution plate 300. In this case, Further, the relative density of the secured stream lines can be reduced while passing through the distribution diffuser plate 330. [

이후, 중적외선 램프(230)를 인접하게 흘러내려가면서 가열되어 열풍이 생성되고 플렉시블 필름(ff)을 건조하게 된다.Thereafter, the middle infrared ray lamp 230 is heated while flowing downward to generate hot air, and the flexible film ff is dried.

이후, 하방으로 내려간 열풍은 도 7 및 도 8을 참조하면, 제1 및 제2 배기통과홀(411, 421)을 거치면서 자연배기가 될 수 있다. 또는 필요에 따라, 외부의 석션 등을 가동하여 배기덕트(600)로 공정챔버(100) 내부의 열풍을 강제배기시킬 수도 있다.Referring to FIGS. 7 and 8, the hot air flowing downward can be natural exhausted through the first and second exhaust passages and the holes 411 and 421. If necessary, an external suction or the like may be operated to forcibly exhaust the hot air inside the process chamber 100 by the exhaust duct 600.

이러한 건조 공정을 통해, 중적외선 램프(230)와 송풍팬(220) 사이에 개재되는 송풍분배판(300)을 통해 판면적 전체에 걸쳐 균일한 열풍이 공급될 수 있어 다양한 종류의 플렉시블 필름(ff)에 대응되게 건조효율을 최적화할 수 있다.Through the drying process, uniform hot air can be supplied to the entire plate area through the blowing and distributing plate 300 interposed between the intermediate infrared lamp 230 and the blowing fan 220, so that various kinds of flexible films ff ), The drying efficiency can be optimized.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will also be appreciated that many modifications and variations will be apparent to those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

10 : 필름 건조장치
100 : 공정챔버 200 : 열풍발생 유닛
210 : 하우징 220 : 송풍팬
230 : 중적외선 램프 240 : 이격배치부재
300 : 송풍분배판 310 : 제1 송풍통과홀
320 : 제2 송풍통과홀 330 : 분배확산판
331 : 제1 분배확산배플 332 : 제2 분배확산배플
400 : 히트싱크부 410 : 제1 배기판
420 : 제2 배기판 500 : 센싱부
600 : 배기덕트10: Film dryer
100: Process chamber 200: Hot air generating unit
210: housing 220: blowing fan
230: Medium-infrared lamp 240:
300: air distribution plate 310: first air passage hole
320: second blowhole 330: distribution diffuser plate
331: first distribution diffusion baffle 332: second distribution diffusion baffle
400: heat sink unit 410: first exhaust plate
420: second exhaust plate 500: sensing unit
600: exhaust duct

Claims (11)

유기발광 다이오드(OLED) 또는 태양전지판(SOLAR CELL) 제작용 플렉시블 필름(flexible film)에 대한 건조 공정이 진행되는 공정챔버;
상기 공정챔버 상부에 마련되어 상기 공정챔버에 대하여 회동가능하게 결합되며, 중적외선 램프와 송풍팬을 이용하여 상기 플렉시블 필름으로 열풍을 발생하는 열풍발생 유닛;
상기 열풍발생 유닛 내에서 상기 송풍팬과 상기 중적외선 램프 사이에 개재되어 상기 송풍팬에서 발생된 공기를 상기 중적외선 램프로 송풍되기 전에 균일하게 분배시키는 송풍분배판을 포함하며,
상기 공정챔버 내에서 이송되는 상기 플렉시블 필름의 하부 구역에 마련되어 상기 플렉시블 필름을 거친 상기 열풍의 배기를 보조하고 균일하게 배출되게 하는 히트싱크부를 더 포함하며,
상기 히트싱크부는,
상기 열풍을 균일하게 배기흐름이 형성되도록, 상기 플렉시블 필름의 하방에 인접 배치되어 1차적으로 하방으로 열풍을 배기하는 제1 배기판; 및
상기 제1 배기판의 하부에 인접되게 배치되어 상기 제1 배기판을 통과한 상기 열풍을 배기흐름을 증대시키는 제2 배기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.A process chamber in which a drying process is performed on a flexible film for fabricating an organic light emitting diode (OLED) or a solar cell (SOLAR CELL);
A hot air generating unit provided above the process chamber and rotatably coupled to the process chamber, the hot air generating unit generating hot air by the flexible film using a middle infrared lamp and a blowing fan;
And a blowing distribution plate interposed between the blowing fan and the middle infrared lamp in the hot air generating unit to uniformly distribute the air generated in the blowing fan before being blown into the middle infrared lamp,
Further comprising a heat sink unit provided in a lower region of the flexible film transferred in the process chamber to assist in exhausting the hot air passed through the flexible film and uniformly discharge the hot air,
The heat sink unit includes:
A first exhaust plate disposed adjacent to a lower portion of the flexible film to primarily exhaust hot air downward to form an exhaust flow uniformly; And
And a second exhaust plate disposed adjacently to the lower portion of the first exhaust plate to increase the exhaust flow of the hot air passed through the first exhaust plate. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 배기판은 미리 설정된 간격만큼 이격되어 상호 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.The method according to claim 1,
Wherein the first and second exhaust plates are spaced apart from each other by a predetermined interval. 제4항에 있어서,
상기 제1 및 제2 배기판의 판면에는 복수의 제1 및 제2 배기통과홀이 상호 동일하게 규칙적으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.5. The method of claim 4,
Wherein a plurality of first and second exhaust vents and holes are regularly arranged in the same plane on the surface of the first and second exhaust plates. 제4항에 있어서,
상기 제1 및 제2 배기판의 판면에는 복수의 제1 및 제2 배기통과홀이 규칙적으로 형성되되 수직방향에서 볼 때 상기 제1 및 제2 배기통과홀이 서로 어긋나게 배열되는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.5. The method of claim 4,
Wherein a plurality of first and second exhaust passages and holes are regularly formed on the surface of the first and second exhaust plates and the first and second exhaust passages and the holes are arranged to be shifted from each other when viewed in a vertical direction. A film dryer having a plate. 제1항에 있어서,
상기 송풍분배판에는, 판면에 원형 형상의 제1 송풍통과홀과, 상기 중적외선 램프와 나란하게 배치되며 상기 제1 송풍통과홀이 이루는 복수의 배열라인 사이에 교대로 형성되는 장공 형상의 제2 송풍통과홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.The method according to claim 1,
The air blow distribution plate includes a first air passage hole having a circular shape on the plate surface and a second air passage hole arranged in parallel with the middle infrared ray lamp and alternately formed between a plurality of arrangement lines formed by the first air passage hole, And a blowing through hole is formed in the blowing and distributing plate. 제7항에 있어서,
상기 송풍분배판의 저면에 결합되며, 상기 공기의 분배흐름을 확산시키는 분배확산판을 더 포함하며,
상기 분배확산판에는, 상기 제1 및 제2 송풍통과홀에 대응되는 위치에서 하방으로 갈수록 내경이 증가되어 상기 열풍의 분배확산을 도모하는 제1 및 제2 분배확산배플이 형성되는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.8. The method of claim 7,
Further comprising a distribution diffuser coupled to a bottom surface of the blower distribution plate for diffusing a distribution flow of the air,
Wherein the first and second distribution diffusion baffles are formed in the distribution diffusion plate so as to increase the inner diameter from the position corresponding to the first and second airflow holes to distribute and diffuse the hot air. A film dryer having an air distribution plate. 제1항에 있어서,
상기 공정챔버에는 상기 플렉시블 필름이 인입되고 인출되는 인입 및 인출게이트가 형성되며,
상기 열풍이 배기될 때 필요에 따라 상기 열풍의 배기흐름 균일도가 증대되도록, 상기 인입 및 인출게이트의 상부 구역에 각각 마련되는 복수의 배기덕트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.The method according to claim 1,
Wherein the process chamber is formed with an inlet and outlet gate through which the flexible film is drawn and drawn,
Further comprising a plurality of exhaust ducts provided in an upper region of the inlet and outlet gates, respectively, so as to increase the uniformity of exhaust flow of the hot air as needed when the hot air is exhausted, Drying device. 제1항에 있어서,
상기 열풍발생 유닛은,
하부면이 개구된 하우징; 및
상기 하우징에 결합되어 상기 중적외선 램프를 상기 송풍분배판으로부터 소정 간격 이격배치시키는 이격배치부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.The method according to claim 1,
The hot air generating unit includes:
A housing having a lower surface opened; And
Further comprising a spacing member coupled to the housing and spaced apart from the blowing distribution plate by a predetermined distance. ≪ RTI ID = 0.0 > 8. < / RTI > 제1항에 있어서,
상기 플렉시블 필름은, ITO(indium tin oxide) 필름, 전도성(conductive) 필름 또는 유기성 필름 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 송풍분배판을 구비한 필름 건조장치.The method according to claim 1,
Wherein the flexible film is one of an indium tin oxide (ITO) film, a conductive film, and an organic film.
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