KR20170114365A - Heat jacket and the method for controlling temperature of the heat jacket - Google Patents

Heat jacket and the method for controlling temperature of the heat jacket Download PDF

Info

Publication number
KR20170114365A
KR20170114365A KR1020160041000A KR20160041000A KR20170114365A KR 20170114365 A KR20170114365 A KR 20170114365A KR 1020160041000 A KR1020160041000 A KR 1020160041000A KR 20160041000 A KR20160041000 A KR 20160041000A KR 20170114365 A KR20170114365 A KR 20170114365A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
temperature
heat jacket
sensor
unit
sensor input
Prior art date
Application number
KR1020160041000A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101870976B1 (en
Inventor
김영덕
Original Assignee
(주)화인
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)화인 filed Critical (주)화인
Priority to KR1020160041000A priority Critical patent/KR101870976B1/en
Publication of KR20170114365A publication Critical patent/KR20170114365A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101870976B1 publication Critical patent/KR101870976B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
    • F16L53/004—
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
    • F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
    • F16L53/34—Heating of pipes or pipe systems using electric, magnetic or electromagnetic fields, e.g. using induction, dielectric or microwave heating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)

Abstract

본 발명은 히트 재킷 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 가열 온도 제어 방법을 개시한다. 개시된 히트 재킷 온도 제어 모듈은, 히트 재킷의 온도를 측정하는 제1 센서와, 유동라인의 온도를 측정하는 제2 센서와, 제1 센서의 측정 온도 신호를 받는 제1 센서 입력부 및 제1 센서 입력부의 온도 신호를 받아서 제1 히트 재킷의 가열량을 제어하는 온도 승강 제어부를 포함하는 온도 컨트롤러와, 히트 재킷을 동작시키기 위한 입출력 장치와, 온도 컨트롤러와 통신하면서 제2 센서의 측정 온도 신호를 받는 제2 센서 입력부를 구비하는 인터페이서를 구비한다. 온도 승강 제어부는 제1 센서의 측정 온도와, 제2 센서의 측정 온도간의 편차를 기준으로, 제1 히트 재킷의 가열량을 제어한다.The present invention discloses a heat jacket temperature control module and a heating temperature control method of a heat jacket. The disclosed heat jacket temperature control module includes a first sensor for measuring the temperature of the heat jacket, a second sensor for measuring the temperature of the flow line, a first sensor input for receiving the measured temperature signal of the first sensor, An input / output device for operating the heat jacket, and a temperature sensor for receiving the measured temperature signal of the second sensor while communicating with the temperature controller. The temperature controller includes a temperature controller for controlling the temperature of the first heat jacket, And an interface having two sensor inputs. The temperature elevation control unit controls the heating amount of the first heat jacket based on the deviation between the measured temperature of the first sensor and the measured temperature of the second sensor.

Description

히트 재킷 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 온도 제어 방법{Heat jacket and the method for controlling temperature of the heat jacket}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heat jacket temperature control module and a temperature control method of a heat jacket,

본 발명은 히트 재킷에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정, 화학 공정, 플라스틱 생산 공정 등에서 액체 또는 가스가 특정 온도로 수송될 필요가 있는 경우 사용되는 히트 재킷의 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 가열 온도 조절 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat jacket, and more particularly, to a heat jacket used for a case where a liquid or gas needs to be transported to a specific temperature in a semiconductor manufacturing process, a chemical process, And a temperature control method.

반도체 장치 제조, 화학 공정, 플라스틱 생산, 상업적인 음식물 가공, 장비 제조, 및 다른 제조산업 등에서 특히 액체 또는 가스가 제한된 가열 또는 냉각으로 특정온도에서 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료의 고화를 막고 이러한 재료가 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 다른 콘딧(이하, 편의상 "유동 라인"이라 칭한다.)의 내부 표면상에 증발성 재료의 고화의 결과로서 침착되는 것을 방지할 필요가 있다. 이 경우, 상기 유동 라인을 가열하거나 단열시키기 위해서 히터가 종종 이용된다. There is a need to transport at a specific temperature, especially with limited liquid or gas heating or cooling, in semiconductor device manufacturing, chemical processing, plastic production, commercial food processing, equipment manufacturing and other manufacturing industries, Needs to be prevented from depositing as a result of solidification of the evaporable material on the inner surfaces of pipes, tubes, valve bodies, and other conduits (hereinafter referred to as "flow lines " for convenience). In this case, a heater is often used to heat or insulate the flow line.

대한민국 등록특허 제413699호에서는, 히트 재킷이 상기 유동 라인의 외측면을 감싸도록 하여서 온도를 유동 라인에 공급한다.In Korean Patent No. 413699, a heat jacket surrounds the outer surface of the flow line to supply temperature to the flow line.

이 경우, 상기 유동 라인을 통과하는 작동유체는 설정된 온도로 유지될 필요가 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공정 중 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 공정에서 배기 라인을 통하여 배출되는 가스들은 제한된 온도로 유지되어야 한다. In this case, the working fluid passing through the flow line needs to be maintained at a set temperature. For example, gases discharged through the exhaust line in a chemical vapor deposition (CVD) process during the semiconductor manufacturing process must be maintained at a limited temperature.

이를 위하여 종래에는 히트 재킷의 온도를 측정하여서, 상기 히트 재킷의 온도를 상기 제한된 온도로 유지되도록 한다. To this end, the temperature of the heat jacket is conventionally measured to maintain the temperature of the heat jacket at the limited temperature.

그런데, 히트 재킷과 유동 라인 사이에는 온도 편차가 발생한다. 이러한 현상은 히트 재킷에 설치된 온도 측정 센서의 위치에 따라서 온도 편차가 커지게 된다. 또한, 상기 히트 재킷이 놓여져 있는 환경에 따라서 온도 편차가 심하게 된다. 이는 각각의 히트 재킷의 유동라인과 접하는 정도나, 형상에 따라서 온도 편차는 달라진다. 이러한 문제점은 히트 재킷이 분리되어서 각각의 유동 라인을 감싸고 있는 경우 보다 심각해진다.However, a temperature deviation occurs between the heat jacket and the flow line. This phenomenon is accompanied by a large temperature variation depending on the position of the temperature measuring sensor provided on the heat jacket. Further, the temperature deviation becomes severe depending on the environment in which the heat jacket is placed. This is because the temperature deviation varies depending on the degree of contact with the flow line of each heat jacket and the shape. This problem becomes more serious when the heat jacket is separated and wraps each flow line.

대한민국 등록특허 제10-413699호Korean Patent No. 10-413699

본 발명은, 히트 재킷의 모양이나, 제작 정도나, 유동 라인과 접하는 정도에 관계없이 정확하게 유동 라인을 설정된 온도로 유지시킬 수 있는 히트 재킷 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 가열온도 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. It is an object of the present invention to provide a heat jacket temperature control module and a heat jacket heating temperature control method capable of accurately maintaining the flow line at a predetermined temperature irrespective of the shape of the heat jacket, the degree of fabrication, and the degree of contact with the flow line The purpose.

본 발명은 다른 목적은, 복수의 히트 재킷에서 최적의 온도 균일도를 조성할 수 있는 히트 재킷 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 가열온도 제어 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a heat jacket temperature control module and a method of controlling the heating temperature of a heat jacket capable of forming an optimum temperature uniformity in a plurality of heat jackets.

본 발명은, 작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷의 가열 온도를 조절하는 히트 재킷 온도 제어 모듈이다. 히트 재킷 온도 제어 모듈은, 상기 히트 재킷의 온도를 측정하는 제1 센서와, 상기 유동라인의 온도를 측정하는 제2 센서와, 상기 제1 센서의 측정 온도 신호를 받는 제1 센서 입력부 및 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 받아서 상기 제1 히트 재킷의 가열량을 제어하는 온도 승강 제어부를 포함하는 온도 컨트롤러와, 상기 히트 재킷을 동작시키기 위한 입출력 장치와, 상기 온도 컨트롤러와 통신하면서 상기 제2 센서의 측정 온도 신호를 받는 제2 센서 입력부를 구비하는 인터페이서를 구비한다. 이 경우, 상기 온도 승강 제어부는 상기 제1 센서의 측정 온도와, 제2 센서의 측정 온도간의 편차를 기준으로, 상기 제1 히트 재킷의 가열량을 제어한다.The present invention is a heat jacket temperature control module formed to surround an outside of a flow line through which a working fluid flows and adjusts a heating temperature of a heat jacket for supplying heat to the flow line. The heat jacket temperature control module includes a first sensor for measuring the temperature of the heat jacket, a second sensor for measuring the temperature of the flow line, a first sensor input for receiving the measured temperature signal of the first sensor, A temperature controller for receiving a temperature signal of a first sensor input unit and controlling a heating amount of the first heat jacket; an input / output device for operating the heat jacket; And a second sensor input unit receiving the measured temperature signal of the second sensor input unit. In this case, the temperature elevation control unit controls the heating amount of the first heat jacket based on a deviation between the measured temperature of the first sensor and the measured temperature of the second sensor.

상기 제1 센서 입력부에 입력된 히트 재킷의 온도와, 제2 센서 입력부에 입력된 온도의 온도차를 계산하는 온도차 계산부와; 상기 온도차 계산부의 신호를 받아서, 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 상기 온도 승강 제어부로 전달하는 센싱값 변경부;를 더 포함하고, 상기 센싱값 변경부는 상기 온도차 계산부에서 계산된 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 제1 센서 입력부가 측정한 히터의 온도를 상기 제2 센서가 측정한 유동라인의 온도로 변경시키고, 상기 온도 승강 제어부는 상기 센싱값 변경부에서 전달받은 제1 센서 입력부의 온도 신호를 바탕으로 상기 히트 재킷의 온도를 설정 온도가 되도록 제어할 수 있다. A temperature difference calculation unit for calculating a temperature difference between the temperature of the heat jacket input to the first sensor input unit and the temperature input to the second sensor input unit; And a sensing value changing unit for receiving a signal of the temperature difference calculating unit and transmitting a temperature signal of the first sensor input unit to the temperature elevation control unit, The first sensor input unit changes the temperature of the heater measured by the first sensor input unit to the temperature of the flow line measured by the second sensor, and the temperature elevation control unit changes the temperature of the first sensor input unit The temperature of the heat jacket can be controlled to be the set temperature based on the temperature signal.

또한, 상기 제1 센서 입력부와, 제2 센서 입력부 간의 온도차를 계산하는 온도차 계산부와; 상기 온도차 계산부 및 상기 제1 센서 입력부와 통신하는 센싱값 변경부를 더 포함하고, 상기 온도 승강 제어부는 상기 제1 센서 입력부로부터 온도 신호를 전달받으며, 상기 센싱값 변경부는 상기 온도차 계산부에서 계산된 온도차 신호를 받아서, 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어나면, 상기 제1 센서 입력부의 온도신호를 상기 제2 센서 입력부의 온도신호로 변환시키며, 상기 온도 승강 제어부는 전달받은 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 받아서 상기 히트 재킷의 온도를 설정 온도가 되도록 제어할 수 있다.A temperature difference calculation unit for calculating a temperature difference between the first sensor input unit and the second sensor input unit; And a sensing value changing unit for communicating with the temperature difference calculating unit and the first sensor input unit, wherein the temperature elevation control unit receives a temperature signal from the first sensor input unit, The temperature sensor of the first sensor input unit converts a temperature signal of the first sensor input unit into a temperature signal of the second sensor input unit when the temperature difference is out of the effective deviation range, And the temperature of the heat jacket can be controlled to be the set temperature.

상기 온도차 계산부는 인터페이서에 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 센싱값 변경부는 인터페이서 또는 온도 컨트롤러에 구비될 수 있다. The temperature difference calculator may be provided in the interface. In this case, the sensing value changing unit may be provided in an interface or a temperature controller.

상기 온도차 계산부는 온도 컨트롤러에 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 센싱값 변경부는 인터페이서 또는 온도 컨트롤러에 구비될 수 있다.The temperature difference calculator may be provided in the temperature controller. In this case, the sensing value changing unit may be provided in an interface or a temperature controller.

한편, 상기 온도 승강 제어부는 상기 센싱값 변경부에서 받은 히트 재킷의 온도가 설정 온도보다 허용치 이상으로 높은 경우에는 히트 재킷의 가열을 정지하도록 할 수 있다.The temperature elevation control unit may stop the heating of the heat jacket when the temperature of the heat jacket received by the sensing value changing unit is higher than the set temperature by a tolerance value.

상기 제1 센서 입력부가 전달받은 온도값이 설정 온도값과 동일 온도값인지를 판단하는 설정온도 판단부;를 더 포함하고, 상기 온도차 계산부는 상기 설정온도 판단부가 동일 온도라고 판단되면, 상기 제1 센서 입력부가 전달받은 온도값과, 제2 센서 입력부가 전달받은 온도값 간의 온도차를 계산할 수 있다.Further comprising a set temperature judging unit for judging whether the temperature value received by the first sensor input unit is equal to a set temperature value, and if the set temperature judging unit judges that the set temperature is the same temperature, The temperature difference between the temperature value received by the sensor input unit and the temperature value received by the second sensor input unit can be calculated.

상기 인터페이서는, 디스플레이가 설치된 화면제어부를 구비할 수 있다.The interface may include a screen control unit having a display.

한편, 본 발명의 다른 측면에서의 히트 재킷의 가열온도 제어 방법은, 작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷 내에 설치된 히트 재킷을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하는 단계를 거친다. 상기 히트 재킷의 온도를 측정하는 단계를 거친다. 상기 유동 라인의 온도를 측정하는 단계를 거친다. 상기 측정된 히트 재킷의 온도 및 상기 측정된 유동 라인 온도 사이의 온도편차를 계산하는 단계를 거친다. 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인 온도를 히트 재킷 온도로 인식하는 단계를 거친다. 상기 인식된 히트 재킷의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계를 거친다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method for controlling the heating temperature of a heat jacket, the method comprising: heating a heat jacket provided in a heat jacket for supplying heat to the flow line, To a set temperature. And measuring the temperature of the heat jacket. And measuring the temperature of the flow line. And calculating a temperature deviation between the measured temperature of the heat jacket and the measured flow line temperature. And when the temperature difference is out of the effective deviation range, recognizing the measured flow line temperature as a heat jacket temperature. And adjusting the temperature of the recognized heat jacket to a set temperature.

한편, 본 발명의 또 다른 측면에서의 히트 재킷의 가열온도 제어 방법은, 작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷 내에 설치된 히트 재킷을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하면서 히트 재킷의 온도를 측정하는 단계를 거친다. 상기 히트 재킷이 설정 온도로 가열된 상태에서 유동 라인의 온도를 측정하는 단계를 거친다. 상기 측정된 유동 라인 온도와 설정 온도간의 온도차가 유효편차 범위를 판단하는 단계를 거친다. 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인 온도를 히트 재킷 온도로 인식하는 단계를 거친다. 상기 인식된 히트 재킷의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계를 거친다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of controlling a heating temperature of a heat jacket, the method comprising: setting a heat jacket provided in a heat jacket for supplying heat to the flow line, And the temperature of the heat jacket is measured while heating to the preset set temperature. And the temperature of the flow line is measured while the heat jacket is heated to the set temperature. And determining a temperature difference between the measured flow line temperature and the set temperature as an effective deviation range. And when the temperature difference is out of the effective deviation range, recognizing the measured flow line temperature as a heat jacket temperature. And adjusting the temperature of the recognized heat jacket to a set temperature.

본 발명의 히트 재킷의 온도 제어 모듈 및 히트 재킷의 가열온도 제어 방법에 따르면, 유동 라인의 온도를 직접 반영하여서 히트 재킷의 온도를 제어함으로써, 신속하고 정확한 온도 제어가 가능하다.According to the temperature control module of the heat jacket of the present invention and the method of controlling the heating temperature of the heat jacket, the temperature of the heat jacket can be controlled by directly reflecting the temperature of the flow line, thereby enabling quick and accurate temperature control.

또한, 히트 재킷의 형상이나, 외부 환경에 관계없이 정확한 온도제어가 가능하며, 특히 복수의 히트 재킷의 편차를 보정할 수 있으며 균일한 온도 제어가 가능하다.In addition, it is possible to accurately control the temperature irrespective of the shape of the heat jacket and the external environment, in particular, the deviation of the plurality of heat jackets can be corrected and uniform temperature control is possible.

또한, 본 발명의 히트 재킷의 온도 제어 모듈은 불량 발생시 수리가 편리하며, 간단하다.In addition, the temperature control module of the heat jacket of the present invention is convenient and simple to repair in the event of a defect.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제4 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제5 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제6 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 7은 복수의 히트 재킷에 따른 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈의 구성도이다.
도 8은 본 발명의 다른 측면에서의 바람직한 실시예에 따른 히트 재킷의 온도 제어 방법의 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 다른 측면에서의 바람직한 다른 실시예에 따른 히트 재킷의 온도 제어 방법의 흐름도이다.1 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a first preferred embodiment of the present invention.
2 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a second preferred embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a third preferred embodiment of the present invention.
4 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a fourth preferred embodiment of the present invention.
5 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a fifth preferred embodiment of the present invention.
6 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a sixth preferred embodiment of the present invention.
7 is a configuration diagram of a heat jacket temperature control module according to a preferred embodiment of the present invention in accordance with a plurality of heat jackets.
8 is a flowchart of a method of controlling the temperature of a heat jacket according to a preferred embodiment of the present invention.
9 is a flowchart of a method of controlling a temperature of a heat jacket according to another preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 히트 재킷 온도 제어 모듈(100)을 도시한 개념도이다. FIG. 1 is a conceptual diagram showing a heat jacket temperature control module 100 according to a first preferred embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 히트 재킷 온도 제어 모듈(100)은 히트 재킷(10)의 가열 온도를 조절하는 모듈로서, 제1 센서(110)와, 제2 센서(120)와, 온도 컨트롤러(130)와, 인터페이서(140)를 구비한다. 1, the heat jacket temperature control module 100 is a module for regulating the heating temperature of the heat jacket 10 and includes a first sensor 110, a second sensor 120, a temperature controller (not shown) 130, and an interface 140.

이 경우, 히트 재킷(10)은 작동 유체가 유동하는 유동 라인(20) 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인(20)으로 열을 공급하는 장치이다. 도시되지는 않으나, 상기 히트 재킷(10)은 재킷 본체부와, 밀착부를 구비할 수 있다. 재킷 본체부는 열을 발생시키는 발열체(15)를 포함하고, 상기 유동 라인(20) 방향으로는 상기 발열체(15)로부터 전달되는 열의 양이 많고, 외측 방향으로는 상기 발열체(15)로부터 전달되는 열의 양이 적은 구조를 갖는다. 밀착부는 상기 재킷 본체부보다 우수한 열전달율을 가지는 것으로서, 상기 재킷 본체부와 상기 유동 라인(20) 사이에 밀착되도록 개재된다.In this case, the heat jacket 10 is formed to enclose the flow line 20 through which the working fluid flows, and is a device for supplying heat to the flow line 20. Although not shown, the heat jacket 10 may include a jacket body portion and a tight contact portion. The jacket body portion includes a heat generating element 15 for generating heat and a large amount of heat is transmitted from the heat emitting body 15 in the direction of the flow line 20 and a large amount of heat transmitted from the heat emitting body 15 And has a small amount of structure. The contact portion has a heat transfer rate that is higher than that of the jacket main body portion and is interposed so as to be in close contact with the jacket main body portion and the flow line (20).

제1 센서(110)는 상기 히트 재킷(10)의 온도를 측정한다. 이 경우, 제1 센서(110)는 히트 재킷(10)에 장착될 수 있다. The first sensor 110 measures the temperature of the heat jacket 10. In this case, the first sensor 110 can be mounted on the heat jacket 10.

제2 센서(120)는 유동 라인(20)의 온도를 측정한다. 이 경우, 상게 제2 센서(120)는 유동 라인(20)에 장착되거나 밀착되도록 구성될 수 있다. The second sensor 120 measures the temperature of the flow line 20. In this case, the upper second sensor 120 may be configured to be mounted on or close to the flow line 20.

온도 컨트롤러(130)는 제1 센서 입력부(131) 및 온도 승강 제어부(137)를 포함한다. 제1 센서 입력부(131)는 제1 센서(110)로부터 측정된 온도 신호를 전달 받는다. 온도 승강 제어부(137)는 상기 제1센서 입력부(131)의 온도 신호를 받아서, 제1 히트 재킷(10)의 가열량을 제어한다. 즉, 상기 제1 센서 입력부(131)가 받는 온도 값이 미리 셋팅된 설정 온도 값보다 작은 경우에는 온도 승강 제어부(137)가 제1 히트 재킷(10)의 발열체(15)가 열을 더 많이 발하도록 제어한다. The temperature controller 130 includes a first sensor input 131 and a temperature elevation controller 137. The first sensor input 131 receives the measured temperature signal from the first sensor 110. The temperature elevation control unit 137 receives the temperature signal of the first sensor input unit 131 and controls the heating amount of the first heat jacket 10. That is, when the temperature value received by the first sensor input unit 131 is smaller than the predetermined set temperature value, the temperature elevation control unit 137 controls the heating element 15 of the first heat jacket 10 to generate heat .

인터페이서(140)는 입출력 장치와, 제2 센서 입력부(141)를 포함한다. 입출력 장치를 통하여 상기 히트 재킷(10)의 상태를 파악할 수 있고, 상기 히트 재킷(10)을 동작시킬 수 있다. 이 경우, 상기 인터페이서(140)는, 상기 입출력 장치와 함께 화면 제어부(149)와, 외부 제어부(147)를 포함할 수 있다. 화면 제어부(149)는 디스플레이 패널을 포함할 수 있다. 디스플레이 패널을 통하여 사용자가 히트 재킷(10)의 상태를 파악할 수 있다. 이 경우, 디스플레이 패널이 터치 디스플레이 패널로서, 상기 입출력 장치는 터치 디스플레이 패널 일 수도 있다. The interface 140 includes an input / output device and a second sensor input 141. The state of the heat jacket 10 can be grasped through the input / output device, and the heat jacket 10 can be operated. In this case, the interface 140 may include a screen control unit 149 and an external control unit 147 together with the input / output device. The screen control unit 149 may include a display panel. The user can grasp the state of the heat jacket 10 through the display panel. In this case, the display panel may be a touch display panel, and the input / output device may be a touch display panel.

상기 인터페이서(140)는 외부 제어부(147)를 더 포함할 수 있다. 외부 제어부(147)에는 CPU와, LED 동작 출력부와, ID설정/통신지번설정, SPI 통신 포트 등이 설치될 수 있다.The interface 140 may further include an external control unit 147. The external control unit 147 may be provided with a CPU, an LED operation output unit, an ID setting / communication station number setting, and an SPI communication port.

제2 센서 입력부(141)는 제2 센서(120)의 측정 온도 신호를 받는다. The second sensor input 141 receives the measured temperature signal of the second sensor 120.

상기 온도 승강 제어부(137)는 상기 제1 센서(110)의 측정 온도와, 제2 센서(120)의 측정 온도간의 편차를 기준으로, 상기 제1 히트 재킷(10)의 가열량을 제어한다. The temperature elevation control unit 137 controls the heating amount of the first heat jacket 10 based on a deviation between the measured temperature of the first sensor 110 and the measured temperature of the second sensor 120.

이를 위하여, 인터페이서(140)는 온도차 계산부(143)를 구비하고, 온도 컨트롤러(130)는 센싱값 변경부(135)를 더 포함할 수 있다. 온도차 계산부(143)는 상기 제1 센서 입력부(131)에 입력된 히트 재킷(10)의 온도와, 제2 센서 입력부(141)에 입력된 온도의 온도차를 계산한다. 이 경우, 온도차 계산부(143)는 상기 제1 센서 입력부(131)의 온도 신호값과, 제2 센서 입력부(141)의 온도 신호값의 차이를 계산할 수 있다.To this end, the interface 140 may include a temperature difference calculator 143, and the temperature controller 130 may further include a sensing value change unit 135. The temperature difference calculation unit 143 calculates a temperature difference between the temperature of the heat jacket 10 input to the first sensor input unit 131 and the temperature input to the second sensor input unit 141. In this case, the temperature difference calculator 143 may calculate the difference between the temperature signal value of the first sensor input unit 131 and the temperature signal value of the second sensor input unit 141. [

센싱값 변경부(135)는, 상기 온도차 계산부(143)에서 계산된 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 제1 센서 입력부(131)가 측정한 히트 재킷(10)의 온도를 상기 제2 센서(120)가 측정한 유동 라인(20)의 온도로 변경시킨다. 한편, 상기 온도차 계산부(143)에서 계산된 온도차가 유효편차 범위 내인 경우에는, 센싱값 변경부(135)는 상기 제1 센서 입력부(131)의 신호를 그대로 온도 승강 제어부(137)로 보내거나, 제2 센서 입력부(141)의 신호로 변경하여서 제1 센서 입력부(131)의 신호로 온도 승강 제어부(137)로 보낼 수 있다. The sensing value changing unit 135 changes the temperature of the heat jacket 10 measured by the first sensor input unit 131 to the second temperature detected by the second sensor input unit 131 when the temperature difference calculated by the temperature difference calculation unit 143 is out of the effective deviation range. The temperature of the flow line 20 measured by the sensor 120 is changed. On the other hand, when the temperature difference calculated by the temperature difference calculation section 143 is within the effective deviation range, the sensing value changing section 135 sends the signal of the first sensor input section 131 directly to the temperature elevation control section 137 The signal from the first sensor input unit 131 may be sent to the temperature elevation control unit 137. In this case,

이에 따라서 온도 승강 제어부(137)가 받는 제1 센서 입력부(131)의 입력 신호는 실질적으로 제2 센서 입력부(141)의 입력 신호가 된다. 이에 따라서 온도 승강 제어부(137)가 히트 재킷(10)의 온도 제어를 제2 센서(120)를 통하여 행할 수 있게 된다. Accordingly, the input signal of the first sensor input unit 131 received by the temperature elevation control unit 137 substantially becomes the input signal of the second sensor input unit 141. Thus, the temperature elevation control unit 137 can control the temperature of the heat jacket 10 through the second sensor 120.

도 1에서는 센싱값 변경부(135)가 온도 컨트롤러(130)에 설치된 것을 개시한다. In FIG. 1, the sensing value changing section 135 starts to be provided in the temperature controller 130.

이에 따라서, 히트 재킷(10)의 형상이나, 외부 조건의 변경이나, 제작의 숙련도에 관계없이 실제 유동 라인(20)의 온도를 기준으로 히트 재킷(10)의 온도를 조절할 수 있음으로써, 보다 정확하고 신속한 온도 제어가 가능하다. Accordingly, the temperature of the heat jacket 10 can be adjusted on the basis of the temperature of the actual flow line 20 regardless of the shape of the heat jacket 10, the change of the external condition, and the proficiency of the manufacture, And rapid temperature control is possible.

이 경우, 온도 승강 제어부(137)는 제1 센서 입력부(131)로부터 입력 받는 온도가 설정 온도보다 허용치 이상으로 높은 경우에는, 폭발 방지 등의 안전을 담보하기 위하여 히트 재킷(10)의 가열을 정지하도록 할 수 있다. 이 경우, 만약 제1 센서 입력부(131)와 제2 센서 입력부(141) 사이의 온도 차이만큼, 온도 승강 제어부(137)가 히트 재킷(10)을 가열하도록 한다면, 상기 온도 승강 제어부(137)가 받는 제1 센서(110)의 온도값이 설정 온도의 허용치보다 높게 될 가능성이 있다. 이 경우, 히트 재킷(10)의 온도 제어 모듈 전체의 작동이 정지됨으로써, 전, 후 공정 전체가 정지될 수 있다.In this case, when the temperature input from the first sensor input unit 131 is higher than the set temperature, the temperature elevation control unit 137 stops the heating of the heat jacket 10 to secure safety such as explosion prevention . In this case, if the temperature elevation control unit 137 heats the heat jacket 10 by the temperature difference between the first sensor input unit 131 and the second sensor input unit 141, the temperature elevation control unit 137 There is a possibility that the temperature value of the receiving first sensor 110 becomes higher than the allowable value of the set temperature. In this case, since the operation of the entire temperature control module of the heat jacket 10 is stopped, the entire pre- and post-process can be stopped.

본 발명의 경우, 히터의 온도를 가열하여서 제1 센서(110)의 측정 온도 값을 높이더라도, 온도 승강 제어부(137)가 제1 센서(110)의 온도값을 제2 센서(120)가 측정한 온도값으로 인식하도록 함으로써, 상기 문제점을 해결할 수 있다.In the case of the present invention, even if the temperature of the heater is increased to raise the measured temperature value of the first sensor 110, the temperature elevation control unit 137 may measure the temperature value of the first sensor 110 by the second sensor 120 The above problem can be solved.

이 경우, 상기 제1 센서 입력부(131) 및 제2 센서 입력부(141)는 항상 제1 센서(110) 및 제2 센서(120)의 온도 값을 모니터링 할 수 있다. In this case, the first sensor input unit 131 and the second sensor input unit 141 can always monitor the temperature values of the first sensor 110 and the second sensor 120.

이와 달리, 상기 제1 센서 입력부(131)에서 입력받은 온도 값이 설정 온도값과 동일한 경우에만, 제2 센서 입력부(141)가 제2 센서(120)의 온도값을 받도록 할 수도 있다. 이 경우에는 설정온도 판단부(139)가 상기 제1 센서 입력부(131)가 전달받은 온도값이 설정 온도값과 동일 온도값인지를 판단할 수 있고, 그 후에, 상기 온도차 계산부(143)는 상기 설정온도 판단부(139)가 동일 온도라고 판단되면, 상기 제1 센서 입력부(131)가 전달받은 온도값과, 제2 센서 입력부(141)가 전달받은 온도값 간의 온도차를 계산할 수 있다. Alternatively, the second sensor input unit 141 may receive the temperature value of the second sensor 120 only when the temperature value input from the first sensor input unit 131 is equal to the preset temperature value. In this case, the set temperature determination unit 139 can determine whether the temperature value received by the first sensor input unit 131 is equal to the set temperature value, and thereafter, the temperature difference calculation unit 143 The temperature difference between the temperature value transmitted from the first sensor input unit 131 and the temperature value received from the second sensor input unit 141 can be calculated.

도 2는 도 1의 변형예이다. 도 2에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(200)은 온도차 계산부(233)가 인터페이서(240) 대신 온도 컨트롤러(230)에 배치된다는 점에서 도 1에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(100)과 차이가 있다. Fig. 2 is a modification of Fig. The heat jacket temperature control module 200 shown in FIG. 2 is different from the heat jacket temperature control module 100 shown in FIG. 1 in that the temperature difference calculation section 233 is disposed in the temperature controller 230 instead of the interface 240 There is a difference.

이 경우, 제1 센서(110), 제2 센서(120), 제1 센서 입력부(131), 센싱값 변경부(135), 온도 승강 제어부(137), 제2 센서 입력부(141), 외부 제어부(147), 화면 제어부(149)는 그 기능과 배치 위치가 도 1에 도시된 바와 동일하므로, 동일한 참조 번호를 사용한다. In this case, the first sensor 110, the second sensor 120, the first sensor input 131, the sensing value changing unit 135, the temperature elevation control unit 137, the second sensor input unit 141, The display control unit 147, and the screen control unit 149 are the same as those shown in Fig. 1, and therefore, the same reference numerals are used.

도 3은 도 1의 다른 변형예이다. 도 3에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(300)은 센싱값 변경부(345)가 온도 컨트롤러(330)가 아닌 인터페이서(340)에 배치된다는 점에서 도 1에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(100)과 차이가 있다. Fig. 3 is another modification of Fig. The heat jacket temperature control module 300 shown in FIG. 3 is similar to the heat jacket temperature control module 100 shown in FIG. 1 in that the sensing value changing portion 345 is disposed in the interface 340, ).

이 경우, 제1 센서(110), 제2 센서(120), 제1 센서 입력부(131), 센싱값 변경부(135), 온도 승강 제어부(137), 제2 센서 입력부(141), 온도차 계산부(143), 외부 제어부(147), 화면 제어부(149)는 그 기능과 배치 위치가 도 1에 도시된 바와 동일하므로, 동일한 참조 번호를 사용한다.In this case, the first sensor 110, the second sensor 120, the first sensor input unit 131, the sensing value changing unit 135, the temperature elevation control unit 137, the second sensor input unit 141, The external control unit 147, and the screen control unit 149 are the same as those shown in Fig. 1, and therefore, the same reference numerals are used.

한편, 도 1 내지 도 3에서 설정온도 판단부(139)가 온도 컨트롤러(130)(230)(330)에 배치된 것으로 개시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 설정온도 판단부(139)는 인터페이서(140)(240)(340)에 배치될 수도 있고, 별도의 보드에 설치될 수도 있다. 1 to 3, the set temperature determination unit 139 is described as being disposed in the temperature controllers 130, 230, and 330. However, the present invention is not limited thereto. That is, the set temperature determination unit 139 may be disposed in the interfaces 140, 240, and 340, or may be installed on a separate board.

도 4는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 히트 재킷 온도 제어 모듈(400)이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 인터페이서(440)는 제2 센서 입력부(141)와, 온도차 계산부(143)와, 외부 제어부(147)와, 화면 제어부(149)를 구비한다. 온도 컨트롤러(430)는 제1 센서 입력부(431)와, 센싱값 변경부(435)와, 온도 승강 제어부(437)를 포함한다. 이 경우, 본 발명은 설정온도 판단부(139)를 더 포함할 수 있다. 4 is a heat jacket temperature control module 400 illustrating another embodiment of the present invention. 4, the interface 440 includes a second sensor input unit 141, a temperature difference calculation unit 143, an external control unit 147, and a screen control unit 149. The temperature controller 430 includes a first sensor input unit 431, a sensing value changing unit 435, and a temperature elevation control unit 437. In this case, the present invention may further include a set temperature determination unit 139. [

이 경우, 인터페이서(440)를 이루는 구성요소들의 기능 및 구성은 도 1과 동일하므로, 도 1과 동일한 참조번호를 사용하였으며, 이에 대한 상세한 설명을 생략하며, 도 1과의 차이점을 중심으로 설명한다. In this case, the function and configuration of the components constituting the interface 440 are the same as those in FIG. 1, and therefore, the same reference numerals as those in FIG. 1 are used and a detailed description thereof will be omitted. .

온도 승강 제어부(437)는 제1 센서 입력부(431)로부터 온도 신호를 직접 받는다. 온도 승강 제어부(137)가 센싱값 변경부(135)로부터 온도 신호를 받는 도 1과 달리, 도 4에서는 제1 센서 입력부(431)로부터 센싱값 변경부(435)를 거치지 않고 바로 온도 승강 제어부(437)로 온도 신호를 전달한다. The temperature elevation control unit 437 directly receives the temperature signal from the first sensor input unit 431. Unlike FIG. 1 in which the temperature elevation control unit 137 receives a temperature signal from the sensing value changing unit 135, the temperature elevation control unit (not shown) directly passes through the sensing value changing unit 435 from the first sensor input unit 431 437 < / RTI >

이 경우, 상기 센싱값 변경부(435)는 온도차 계산부(443)로부터 제1 센서 입력부(431)가 받은 온도 값과 제2 센서 입력부(141)가 받은 온도 값 간의 온도차를 받아서, 온도차가 허용치 이상인 경우, 제1 센서 입력부(431)의 온도 신호를 제2 센서 입력부(141)의 온도 신호로 변경시킨다. In this case, the sensing value changing unit 435 receives the temperature difference between the temperature value received by the first sensor input unit 431 and the temperature value received by the second sensor input unit 141 from the temperature difference calculation unit 443, The temperature signal of the first sensor input unit 431 is changed to the temperature signal of the second sensor input unit 141. [

이에 따라서, 제1 센서 입력부(431)에서의 온도 신호는 실질적으로 제2 센서 입력부(141)의 온도 신호가 된다. 그 후에 제2 센서 입력부(141)의 온도신호로 변경된 제1 센서 입력부(431)의 온도 신호가 온도 승강 제어부(437)로 전달되게 된다. Accordingly, the temperature signal at the first sensor input unit 431 substantially becomes the temperature signal at the second sensor input unit 141. [ The temperature signal of the first sensor input part 431 changed to the temperature signal of the second sensor input part 141 is transmitted to the temperature rise control part 437. [

이 경우, 본 발명은 설정온도 판단부(139)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 평상시에는 제2 센서(120)로부터의 온도 측정값 신호를 제2 센서 입력부(141)가 받고 있지 않다가, 상기 설정온도 판단부(139)가 상기 제1 센서 입력부(431)가 전달받은 온도값이 설정 온도값과 동일 온도값인지를 판단할 수 있고, 그 후에, 상기 온도차 계산부(143)는 상기 설정온도 판단부(139)가 동일 온도라고 판단되면, 상기 제1 센서 입력부(431)가 전달받은 온도값과, 제2 센서 입력부(141)가 전달받은 온도값 간의 온도차를 계산할 수 있다.In this case, the present invention may further include a set temperature determination unit 139. [ In this case, normally, the second sensor input unit 141 does not receive the temperature measurement value signal from the second sensor 120, and the set temperature determination unit 139 determines that the first sensor input unit 431 The temperature difference calculation unit 143 can determine whether the temperature value received is the same temperature value as the set temperature value and if the temperature determination unit 139 determines that the temperature is equal to the set temperature value, The temperature difference between the temperature value received by the second sensor input unit 431 and the temperature value received by the second sensor input unit 141 can be calculated.

도 5는 도 4의 변형예이다. 도 5에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(500)은 온도차 계산부(533)가 온도 컨트롤러(530)에 배치된다는 점에서 도 4에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(400)과 차이가 있다. Fig. 5 is a modification of Fig. The heat jacket temperature control module 500 shown in Fig. 5 is different from the heat jacket temperature control module 400 shown in Fig. 4 in that the temperature difference calculation section 533 is disposed in the temperature controller 530. [

이 경우, 제1 센서(110), 제2 센서(120), 제1 센서 입력부(431), 센싱값 변경부(435), 온도 승강 제어부(437), 제2 센서 입력부(141), 외부 제어부(147), 화면 제어부(149)는 그 기능과 배치 위치가 도 4에 도시된 바와 동일하므로, 동일한 참조 번호를 사용한다. In this case, the first sensor 110, the second sensor 120, the first sensor input unit 431, the sensing value changing unit 435, the temperature elevation control unit 437, the second sensor input unit 141, The display control unit 147, and the screen control unit 149 have the same functions and arrangement positions as those shown in Fig. 4, and therefore, the same reference numerals are used.

도 6은 도 4의 다른 변형예이다. 도 6에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(600)은 센싱값 변경부(645)가 온도 컨트롤러(630)가 아닌 인터페이서(640)에 배치된다는 점에서 도 4에 도시된 히트 재킷 온도 제어 모듈(400)과 차이가 있다. Fig. 6 is another modification of Fig. The heat jacket temperature control module 600 shown in Fig. 6 differs from the heat jacket temperature control module 400 shown in Fig. 4 in that the sensing value changing portion 645 is disposed in the interface 640, ).

이 경우, 제1 센서(410), 제2 센서(420), 제1 센서 입력부(431), 온도차 계산부(143), 온도 승강 제어부(437), 제2 센서 입력부(141), 외부 제어부(147), 화면 제어부(149)는 그 기능과 배치 위치가 도 4에 도시된 바와 동일하므로, 동일한 참조 번호를 사용한다.In this case, the first sensor 410, the second sensor 420, the first sensor input unit 431, the temperature difference calculation unit 143, the temperature elevation control unit 437, the second sensor input unit 141, 147), the screen control unit 149 uses the same reference numeral because its function and arrangement position are the same as those shown in Fig.

한편, 도 4 내지 도 6에서 설정온도 판단부(139)가 온도 컨트롤러(430)(530)(630)에 배치된 것으로 개시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 설정 온도 판단부는 인터페이서(440)(540)(640)에 배치될 수도 있고, 별도의 보드에 설치될 수도 있다. 4 to 6, the set temperature determination unit 139 is described as being disposed in the temperature controllers 430, 530, and 630, but the present invention is not limited thereto. That is, the set temperature determination unit may be disposed in the interfaces 440, 540, and 640, or may be installed on a separate board.

도 7은 유동 라인(20)에 복수의 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)이 있는 경우의 히트 재킷 온도 제어 모듈(700)을 도시한 개락도이다. 이 경우, 온도 컨트롤러(130) 및 인터페이서(140)는 도 1의 경우를 설명한다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 도 2 내지 도 6에서 설명한 온도 컨트롤러(230)(330)(430)(530)(630) 및 인터페이서(240)(340)(440)(540)(640)가 모두 적용될 수 있다.7 is a schematic diagram showing the heat jacket temperature control module 700 when the flow line 20 has a plurality of heat jackets 10_1, 10_2, and 10_3. In this case, the temperature controller 130 and the interface 140 will be described with reference to FIG. However, the present invention is not limited thereto, and the temperature controllers 230, 330, 430, 530, 630 and the interfaces 240, 340, 440, 540 640) may all be applied.

도 7에 도시된 바와 같이, 유동 라인(20)을 감싼 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)마다 제1 센서(110_1)(110_2)(110_3) 및 제2 센서(120_1)(120_2)(120_3)가 설치된다. 또한, 하나의 히트 재킷(10)마다 각각의 온도 컨트롤러(130_1)(130_2)(130_3)가 배치된다. 7, the first sensors 110_1, 110_2, 110_3 and the second sensors 120_1, 120_2 (110_2, 110_3) are provided for each of the heat jackets 10_1, 10_2, 10_3 surrounding the flow line 20 Respectively. Each of the temperature controllers 130_1, 130_2, 130_3 is disposed for each heat jacket 10.

각각의 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)과 대응되는 유동 라인(20)의 온도를 측정하는 제2 센서(120_1)(120_2)(120_3)의 온도 값은 인터페이서(140)에 있는 제2 센서 입력부(141)로 전달된다. The temperature values of the second sensors 120_1, 120_2 and 120_3 measuring the temperature of the flow line 20 corresponding to each of the heat jackets 10_1, 10_2 and 10_3 are the temperature values of the second And transmitted to the sensor input unit 141.

또한, 각각의 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)의 온도를 측정하는 제1 센서(110_1)(110_2)(110_3)의 온도 측정값은 각각 대응되는 온도 컨트롤러(130_1)(130_2)(130_3)에 있는 제1 센서 입력부(141)로 전달된다. The temperature measurement values of the first sensors 110_1, 110_2 and 110_3 for measuring the temperatures of the respective heat jackets 10_1, 10_2 and 10_3 are the temperature values of the temperature controllers 130_1, 130_2 and 130_3 To the first sensor input unit 141 in the first sensor input unit 141.

상기 인터페이서(140)는 각각의 온도 컨트롤러(130_1)(130_2)(130_3) 모두와 통신 가능하도록 배치된다. 따라서, 상기 각각의 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)에서 독립적으로 온도 제어가 가능하다. The interface 140 is arranged to communicate with each of the temperature controllers 130_1, 130_2, 130_3. Therefore, temperature control can be independently performed in each of the heat jackets 10_1, 10_2, and 10_3.

이와 더불어, 각각의 온도 컨트롤러(130_1)(130_2)(130_3)는 서로 통신하도록 연결될 수 있다. 이에 따라서 각각의 온도 컨트롤러(130_1)(130_2)(130_3)가 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)들 사이의 온도 차이를 최소한으로 하면서 균일하게 온도를 가열할 수 있게 된다. In addition, each of the temperature controllers 130_1, 130_2, 130_3 can be connected to communicate with each other. Accordingly, each temperature controller 130_1, 130_2, 130_3 can uniformly heat the temperature while minimizing the temperature difference between the heat jackets 10_1, 10_2, 10_3.

본 발명에 따르면, 히트 재킷(10_1)(10_2)(10_3)의 형상이 서로 다르거나, 제작 정도가 서로 달라서 유동 라인(20)과의 밀착 정도가 서로 달라도, 유동 라인(20)의 온도를 균일하게 유지하면서 가열 시킬 수 있다. According to the present invention, even if the shapes of the heat jackets 10_1, 10_2, and 10_3 are different from each other or the degree of fabrication is different, the degree of close contact with the flow line 20 is different, So that it can be heated.

도 8은 본 발명의 다른 측면에서의 바람직한 실시예에 따른 히트 재킷의 가열온도 제어 방법(S100)을 도시한 흐름도이다. FIG. 8 is a flowchart illustrating a heating temperature control method (S100) of a heat jacket according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1 및 도 8에 도시된 바와 같이, 히트 재킷(10)의 가열온도 제어 방법은, 유동 라인을 설정온도로 셋팅 하는 단계(S110)를 포함한다. 작동 유체가 관 내로 유동하는 유동 라인(20) 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인(20)으로 열을 공급하는 히트 재킷(10)을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하는 단계(S120)를 포함한다. 상기 가열된 히트 재킷(10)의 온도를 측정하는 단계(S130)를 포함한다. 상기 가열된 유동 라인(20)의 온도를 측정하는 단계(S140)를 포함한다. 상기 측정된 히트 재킷(10)의 온도 및 상기 측정된 유동 라인(20) 온도 사이의 온도편차를 계산하는 단계(S160)를 포함한다. 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인(20) 온도를 히트 재킷(10) 온도로 인식하는 단계(S170)를 포함한다. 상기 인식된 히트 재킷(10)의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계(S120)를 포함한다. As shown in Figs. 1 and 8, the heating temperature control method of the heat jacket 10 includes setting the flow line to the set temperature (S110). (S120) of heating the heat jacket (10), which is formed to surround the flow line (20) flowing into the tube, through which the working fluid flows into the flow line (20), to a preset set temperature do. And measuring the temperature of the heated heat jacket 10 (S130). And measuring the temperature of the heated flow line 20 (S140). And calculating a temperature deviation between the measured temperature of the heat jacket 10 and the measured temperature of the flow line 20 (S160). And recognizing the measured temperature of the flow line 20 as the temperature of the heat jacket 10 (S170) when the temperature difference is out of the effective deviation range. And adjusting the temperature of the recognized heat jacket 10 to a set temperature (S120).

각 단계를 도 8과 함께, 도 1을 참조하여 각 단계를 상세히 설명한다.Each step will be described in detail with reference to FIG. 1 together with FIG.

먼저 작동 유체가 관 내로 유동하는 유동 라인(20) 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인(20)으로 열을 공급하는 히트 재킷(10)을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하는 단계(S120)를 가진다. 상기 단계에서 히트 재킷(10) 내에 발열체(15)를 구비하고, 상기 발열체(15)에 전기를 가해서 히트 재킷(10)을 가열시킨다. First, a step S120 of heating the heat jacket 10, which supplies heat to the flow line 20, to a preset set temperature is formed so as to surround the flow line 20 outside which the working fluid flows into the tube I have. In this step, the heating jacket 10 is provided with the heating body 15, and the heating jacket 10 is heated by applying electricity to the heating body 15.

상기 히트 재킷(10)을 가열함과 동시에, 히트 재킷(10)의 온도를 측정하는 단계(S130)를 가진다. 이 경우, 상기 히트 재킷(10)에 배치된 제1 센서(110)가 히트 재킷(10)의 온도를 측정한다. And heating the heat jacket 10 and measuring the temperature of the heat jacket 10 (S130). In this case, the first sensor 110 disposed in the heat jacket 10 measures the temperature of the heat jacket 10.

이와 더불어, 유동 라인(20)의 온도를 측정하는 단계(S140)를 거친다. 이 경우, 유동 라인(20)에는 온도를 측정하기 위한 제2 센서(120)가 설치되어 있고, 상기 제2 센서(120)를 통하여 유동 라인(20)의 온도가 측정된다. In addition, the temperature of the flow line 20 is measured (S140). In this case, the flow line 20 is provided with a second sensor 120 for measuring the temperature, and the temperature of the flow line 20 is measured through the second sensor 120.

그 후에, 상기 측정된 히트 재킷(10)의 온도 및 상기 측정된 유동 라인(20) 온도 사이의 온도편차를 계산하여, 상기 온도 편차가 유효범위 내인가를 판단하는 단계(S160)를 거친다. 상기 단계는 온도차 계산부(143)에서 행해진다. Thereafter, a temperature deviation between the measured temperature of the heat jacket 10 and the measured temperature of the flow line 20 is calculated to determine whether the temperature deviation is within the effective range (S160). The above step is performed in the temperature difference calculation section 143.

상기 온도편차를 계산하는 단계 이전에 히트 재킷의 온도가 설정온도에 도달했는지 여부를 판단하는 단계(S150)를 더 포함할 수 있다. 상기 히트 재킷의 온도, 즉 제1 센서가 측정한 온도가 설정온도에 도달하였다고 판단되면, 온도 편차를 계산하는 단계로 가고, 만약 제1 센서가 측정한 온도가 설정온도에 도달하지 않았다고 판단되면, 다시 히트재킷을 가열하는 단계(S120)로 돌아갈 수 있다.The method may further include determining whether the temperature of the heat jacket has reached the set temperature before the step of calculating the temperature deviation (S150). If it is determined that the temperature of the heat jacket, that is, the temperature measured by the first sensor has reached the set temperature, goes to calculating the temperature deviation. If it is determined that the temperature measured by the first sensor has not reached the set temperature, The process may return to the step S120 of heating the heat jacket again.

그 후에, 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인(20) 온도를 히트 재킷(10) 온도로 인식하는 단계(S170)를 거친다. 이는 센싱값 변경부(135)가 제1 센서 입력부(131)의 온도 값을 제2 센서 입력부(141)의 온도 값으로 변경하고, 이를 온도 승강 제어부(137)가 제1 센서 입력부(131)의 온도 값으로 인식하도록 함으로써 이루어진다. 그 후에, 다시 히트 재킷을 가열하는 단계(S120)로 되돌아간다. 이 경우, 온도 승강 제어부(137)가 발열체(15)가 설정 온도로 가열되도록 제어함으로써 이루어질 수 있다.Thereafter, when the temperature difference is out of the effective deviation range, the measured flow line 20 temperature is recognized as the heat jacket 10 temperature (S170). This is because the sensing value changing unit 135 changes the temperature value of the first sensor input unit 131 to the temperature value of the second sensor input unit 141 and controls the temperature elevation control unit 137 to change the temperature value of the first sensor input unit 131 Temperature value. Thereafter, the process returns to step S120 for heating the heat jacket again. In this case, the temperature elevation control unit 137 can be controlled by controlling the heating element 15 to be heated to the set temperature.

만약, 상기 온도차가 유효편차 범위 내인 경우에는, 상기 제1 센서 입력부(131)의 온도 값을 그대로 온도 승강 제어부(137)가 인식하도록 하거나, 제2 센서 입력부(141)의 온도 값을 제1 센서 입력부(131)의 온도 값으로 변경하여 인식하도록 할 수도 있다. If the temperature difference is within the effective deviation range, the temperature rise controller 137 may recognize the temperature value of the first sensor input unit 131 as it is, or may change the temperature value of the second sensor input unit 141 to the first sensor input unit 131. [ The temperature value of the input unit 131 may be changed and recognized.

도 9는 도 8의 변형예를 도시한 히트 재킷의 가열온도 제어방법(S200)의 흐름도이다. Fig. 9 is a flowchart of a heating temperature control method (S200) of the heat jacket showing a modification of Fig. 8;

도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 히트 재킷(10)의 가열온도 제어방법(S200)은, 작동 유체가 관 내로 유동하는 유동 라인(20) 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인(20)으로 열을 공급하는 히트 재킷(10) 내에 설치된 히트 재킷(10)을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하면서 히트 재킷(10)의 온도를 측정하는 단계(S230)와, 상기 히트 재킷(10)이 설정 온도로 가열된 상태에서 유동 라인(20)의 온도를 측정하는 단계(S250)와, 상기 측정된 유동 라인(20) 온도와 설정 온도간의 온도차가 유효편차 범위를 판단하는 단계(S260)와, 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인(20) 온도를 히트 재킷(10) 온도로 인식하는 단계(S270)와, 상기 인식된 히트 재킷(10)의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계(S220)를 거친다.As shown in Figures 1 and 9, a heating temperature control method S200 of the heat jacket 10 is formed to enclose the flow line 20, in which the working fluid flows into the tube, and the flow line 20 (S230) of measuring the temperature of the heat jacket 10 while heating the heat jacket 10 provided in the heat jacket 10 for supplying heat to the heat jacket 10 at a preset set temperature, (S250) of measuring the temperature of the flow line (20) in a state where the temperature of the flow line (20) is heated to a preset temperature; determining (S260) (S270) of recognizing the measured temperature of the flow line (20) as a temperature of the heat jacket (10) when the temperature difference is out of the effective deviation range; and controlling the temperature of the recognized heat jacket (S220).

이 경우, 히트 재킷을 설정온도로 조정하는 단계(S220) 이전에 유동라인의 설정온도를 미리 설정하는 단계(S210)를 가질 수 있다. In this case, it may have a step S210 of presetting the set temperature of the flow line before the step S220 of adjusting the heat jacket to the set temperature.

여기서, 도 8과 차이점에 대하여 상세히 설명하면, 히트 재킷(10)이 설정 온도가 될 때까지는 제1 센서(110)의 온도 신호를 제1 센서 입력부(131)가 받는 대신, 유동 라인(20)의 온도 신호는 제2 센서 입력부(141)가 받지 않는다. 따라서, 제2 센서가 유동 라인 온도를 측정 전에, 제1센서의 측정 온도 값이 설정온도에 도달했는지 여부를 판단하는 단계(S240)를 거치게 된다. 그 후에, 히트 재킷(10)이 설정 온도로 가열되면, 그 후로부터 유동 라인(20)의 온도 신호를 제2 센서 입력부(141)가 받는다. 8, the temperature signal of the first sensor 110 is not received by the first sensor input unit 131 until the heat jacket 10 reaches the set temperature, The second sensor input unit 141 does not receive the temperature signal. Therefore, before the second sensor measures the flow line temperature, it is determined whether the measured temperature value of the first sensor has reached the set temperature (S240). Thereafter, when the heat jacket 10 is heated to the set temperature, the second sensor input section 141 receives the temperature signal of the flow line 20 thereafter.

그 후의 단계는 도 8에 도시된 바와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. Since the subsequent steps are the same as those shown in Fig. 8, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 히트 재킷의 온도 제어 방법(S100)(S200)은 측정시에 에러 등이 발생한 경우에는, 히트 재킷(10)을 교체할 필요가 없이 제2 센서(120)만 교체하면 된다. 따라서, 교체 비용이 저감된다. In the method (S100) of controlling the temperature of the heat jacket of the present invention (S200), when an error occurs during measurement, it is not necessary to replace the heat jacket 10 and only the second sensor 120 needs to be replaced. Therefore, the replacement cost is reduced.

또한, 본 발명에 따르면, 실시간으로 히트 재킷(10)과 유동 라인(20)간의 온도차를 파악할 수 있고, 정확하면서 신속하게 설정온도로 히트 재킷(10)을 가열할 수 있다.Further, according to the present invention, the temperature difference between the heat jacket 10 and the flow line 20 can be grasped in real time, and the heat jacket 10 can be heated accurately and quickly.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

10: 히트 재킷 20: 유동 라인
110: 제1 센서 120: 제2 센서
130, 230, 330, 430, 530, 630: 온도 컨트롤러
131, 431: 제1 센서 입력부 135, 335, 435: 센싱값 변경부
137, 437: 온도 승강 제어부
140, 240, 340, 440, 540, 640: 인터페이서
141: 제2 센서 입력부 143, 233, 533: 온도차 계산부
147: 외부 제어부 149: 화면 제어부10: Heat jacket 20: Flow line
110: first sensor 120: second sensor
130, 230, 330, 430, 530, 630: Temperature controller
131, 431: first sensor input unit 135, 335, 435:
137, 437: Temperature elevation control unit
140, 240, 340, 440, 540, 640: Interfaces
141: second sensor input unit 143, 233, 533: temperature difference calculation unit
147: External control unit 149: Screen control unit

Claims (12)

작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷의 가열 온도를 조절하는 모듈로서,
상기 히트 재킷의 온도를 측정하는 제1 센서;
상기 유동라인의 온도를 측정하는 제2 센서와;
상기 제1 센서의 측정 온도 신호를 받는 제1 센서 입력부 및 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 받아서 상기 제1 히트 재킷의 가열량을 제어하는 온도 승강 제어부를 포함하는 온도 컨트롤러; 및
상기 히트 재킷을 동작시키기 위한 입출력 장치와, 상기 온도 컨트롤러와 통신하면서 상기 제2 센서의 측정 온도 신호를 받는 제2 센서 입력부를 구비하는 인터페이서를 구비하고,
상기 온도 승강 제어부는 상기 제1 센서의 측정 온도와, 제2 센서의 측정 온도간의 편차를 기준으로, 상기 제1 히트 재킷의 가열량을 제어하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.A module formed to surround an outside of the flow line through which the working fluid flows and to adjust a heating temperature of a heat jacket for supplying heat to the flow line,
A first sensor for measuring the temperature of the heat jacket;
A second sensor for measuring the temperature of the flow line;
A temperature sensor including a first sensor input for receiving a measured temperature signal of the first sensor and a temperature elevation controller for receiving a temperature signal of the first sensor input and controlling a heating amount of the first heat jacket; And
And an interface having an input / output device for operating the heat jacket and a second sensor input for receiving a measured temperature signal of the second sensor while communicating with the temperature controller,
Wherein the temperature elevation control unit controls a heating amount of the first heat jacket based on a deviation between a measured temperature of the first sensor and a measured temperature of the second sensor. 제1 항에 있어서,
상기 제1 센서 입력부에 입력된 히트 재킷의 온도와, 제2 센서 입력부에 입력된 온도의 온도차를 계산하는 온도차 계산부와;
상기 온도차 계산부의 신호를 받아서, 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 상기 온도 승강 제어부로 전달하는 센싱값 변경부;를 더 포함하고,
상기 센싱값 변경부는 상기 온도차 계산부에서 계산된 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 상기 제2 센서 입력부의 온도 신호로 변경시키고,
상기 온도 승강 제어부는 상기 센싱값 변경부에서 전달받은 제1 센서 입력부의 온도 신호를 바탕으로 상기 히트 재킷의 온도를 설정 온도가 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 1,
A temperature difference calculation unit for calculating a temperature difference between the temperature of the heat jacket input to the first sensor input unit and the temperature input to the second sensor input unit;
And a sensing value changing unit for receiving a signal of the temperature difference calculating unit and transmitting a temperature signal of the first sensor input unit to the temperature elevation control unit,
Wherein the sensing value changing unit changes a temperature signal of the first sensor input unit to a temperature signal of the second sensor input unit when the temperature difference calculated by the temperature difference calculation unit is out of the valid deviation range,
Wherein the temperature elevation control unit controls the temperature of the heat jacket to a predetermined temperature based on a temperature signal of the first sensor input unit received from the sensing value changing unit. 제1 항에 있어서,
상기 제1 센서 입력부와, 제2 센서 입력부 간의 온도차를 계산하는 온도차 계산부와;
상기 온도차 계산부 및 상기 제1 센서 입력부와 통신하는 센싱값 변경부를 더 포함하고,
상기 온도 승강 제어부는 상기 제1 센서 입력부로부터 온도 신호를 전달받으며,
상기 센싱값 변경부는 상기 온도차 계산부에서 계산된 온도차 신호를 받아서, 상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어나면, 상기 제1 센서 입력부의 온도신호를 상기 제2 센서 입력부의 온도신호로 변환시키며,
상기 온도 승강 제어부는 전달받은 상기 제1 센서 입력부의 온도 신호를 받아서 상기 히트 재킷의 온도를 설정 온도가 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 1,
A temperature difference calculation unit for calculating a temperature difference between the first sensor input unit and the second sensor input unit;
And a sensing value changing unit for communicating with the temperature difference calculating unit and the first sensor input unit,
The temperature elevation control unit receives a temperature signal from the first sensor input unit,
The sensing value changing unit receives the temperature difference signal calculated by the temperature difference calculating unit and converts the temperature signal of the first sensor input unit into the temperature signal of the second sensor input unit when the temperature difference is out of the effective deviation range,
Wherein the temperature elevation control unit receives the temperature signal of the first sensor input unit and controls the temperature of the heat jacket to be a predetermined temperature. 제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 온도차 계산부는 인터페이서에 구비되는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the temperature difference calculation unit is provided in the interface. 제4항에 있어서,
상기 센싱값 변경부는 인터페이서 또는 온도 컨트롤러에 구비되는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.5. The method of claim 4,
Wherein the sensing value changing unit is provided in an interface or a temperature controller. 제2항 또는 제3항이 있어서,
상기 온도차 계산부는 온도 컨트롤러에 구비되는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.4. The method according to claim 2 or 3,
Wherein the temperature difference calculation unit is provided in a temperature controller. 제6항에 있어서,
상기 센싱값 변경부는 인터페이서 또는 온도 컨트롤러에 구비되는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 6,
Wherein the sensing value changing unit is provided in an interface or a temperature controller. 제2 항 또는 제3항에 있어서,
상기 온도 승강 제어부는 상기 센싱값 변경부에서 받은 히트 재킷의 온도가 설정 온도보다 허용치 이상으로 높은 경우에는 히트 재킷의 가열을 정지하도록 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the temperature elevation control unit stops the heating of the heat jacket when the temperature of the heat jacket received by the sensing value changing unit is higher than the set temperature by a tolerance value. 제2 항 또는 제3항에 있어서,
상기 제1 센서 입력부가 전달받은 온도값이 설정 온도값과 동일 온도값인지를 판단하는 설정온도 판단부;를 더 포함하고,
상기 온도차 계산부는 상기 설정온도 판단부가 동일 온도라고 판단되면, 상기 제1 센서 입력부가 전달받은 온도 신호값과, 제2 센서 입력부가 전달받은 온도 신호값 간의 차를 계산하는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 2 or 3,
And a set temperature judging unit for judging whether the temperature value received by the first sensor input unit is equal to the set temperature value,
Wherein the temperature difference calculation unit calculates a difference between a temperature signal value received by the first sensor input unit and a temperature signal value received by the second sensor input unit when it is determined that the set temperature determination unit is at the same temperature, Control module. 제1 항에 있어서,
상기 인터페이서는, 디스플레이가 설치된 화면제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 히트 재킷 온도 제어 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the interface includes a screen control unit having a display. 작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷 내에 설치된 히트 재킷을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하는 단계;
상기 히트 재킷의 온도를 측정하는 단계;
상기 유동 라인의 온도를 측정하는 단계;
상기 측정된 히트 재킷의 온도 및 상기 측정된 유동 라인 온도 사이의 온도편차를 계산하는 단계;
상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인 온도를 히트 재킷 온도로 인식하는 단계; 및
상기 인식된 히트 재킷의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계;를 포함하는 히트 재킷의 가열온도 제어 방법.Heating a heat jacket formed in a heat jacket formed to surround an outside of a flow line through which a working fluid flows, the heat jacket supplying heat to the flow line to a preset set temperature;
Measuring a temperature of the heat jacket;
Measuring the temperature of the flow line;
Calculating a temperature deviation between the measured temperature of the heat jacket and the measured flow line temperature;
Recognizing the measured flow line temperature as a heat jacket temperature when the temperature difference is out of the effective deviation range; And
And adjusting the temperature of the recognized heat jacket to a set temperature. 작동 유체가 유동하는 유동 라인 외측을 감싸도록 형성되고, 상기 유동 라인으로 열을 공급하는 히트 재킷 내에 설치된 히트 재킷을 미리 셋팅된 설정 온도로 가열하면서 히트 재킷의 온도를 측정하는 단계;
상기 히트 재킷이 설정 온도로 가열된 상태에서 유동 라인의 온도를 측정하는 단계;
상기 측정된 유동 라인 온도와 설정 온도간의 온도차가 유효편차 범위를 판단하는 단계;
상기 온도차가 유효편차 범위를 벗어난 경우, 상기 측정된 유동 라인 온도를 히트 재킷 온도로 인식하는 단계; 및
상기 인식된 히트 재킷의 온도를 설정 온도로 조절하는 단계;를 포함하는 히트 재킷의 가열온도 제어 방법.Measuring a temperature of the heat jacket while heating a heat jacket formed in a heat jacket formed to surround an outside of the flow line through which the working fluid flows and supplying heat to the flow line to a predetermined set temperature;
Measuring the temperature of the flow line with the heat jacket heated to a set temperature;
Determining an effective deviation range of the temperature difference between the measured flow line temperature and the set temperature;
Recognizing the measured flow line temperature as a heat jacket temperature when the temperature difference is out of the effective deviation range; And
And adjusting the temperature of the recognized heat jacket to a set temperature.
KR1020160041000A 2016-04-04 2016-04-04 Temperature control module for heat jacket KR101870976B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160041000A KR101870976B1 (en) 2016-04-04 2016-04-04 Temperature control module for heat jacket

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160041000A KR101870976B1 (en) 2016-04-04 2016-04-04 Temperature control module for heat jacket

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170114365A true KR20170114365A (en) 2017-10-16
KR101870976B1 KR101870976B1 (en) 2018-07-23

Family

ID=60295762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160041000A KR101870976B1 (en) 2016-04-04 2016-04-04 Temperature control module for heat jacket

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101870976B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109338077A (en) * 2018-09-13 2019-02-15 茂名重力石化装备股份公司 A kind of concentrating type prestressing force elongation heating system for rapid-cooling heat exchanger

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09199491A (en) * 1996-01-23 1997-07-31 Tokyo Electron Ltd Method and device for adjusting temperature
KR100413699B1 (en) 1995-07-10 2004-03-19 에이치피에스 디비전, 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코퍼레이티드 Flexible insulated heater
KR101319530B1 (en) * 2013-05-16 2013-10-21 주식회사 브이씨알 Apparatus for controlling heating jacket
KR101364202B1 (en) * 2012-06-25 2014-02-20 서채영 Heating system using nano carbon fiber for preventing harmful gases with sticking on the inner surface of the pipe installed semi-conductor manufacturing equipment

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100413699B1 (en) 1995-07-10 2004-03-19 에이치피에스 디비전, 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코퍼레이티드 Flexible insulated heater
JPH09199491A (en) * 1996-01-23 1997-07-31 Tokyo Electron Ltd Method and device for adjusting temperature
KR101364202B1 (en) * 2012-06-25 2014-02-20 서채영 Heating system using nano carbon fiber for preventing harmful gases with sticking on the inner surface of the pipe installed semi-conductor manufacturing equipment
KR101319530B1 (en) * 2013-05-16 2013-10-21 주식회사 브이씨알 Apparatus for controlling heating jacket

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109338077A (en) * 2018-09-13 2019-02-15 茂名重力石化装备股份公司 A kind of concentrating type prestressing force elongation heating system for rapid-cooling heat exchanger

Also Published As

Publication number Publication date
KR101870976B1 (en) 2018-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI506256B (en) Smart temperature measuring device
US8205629B2 (en) Real time lead-line characterization for MFC flow verification
US20210223797A1 (en) Systems and Methods for Flow Sensor Back Pressure Adjustment for Mass Flow Controller
US11353352B2 (en) Apparatus and methods for self-correcting pressure based mass flow controller
US8910529B2 (en) Gas flow-rate verification system and gas flow-rate verification unit
JP6578125B2 (en) Vaporization supply device
KR101566072B1 (en) Heat treatment system, heat treatment method, and recording medium
US10585010B2 (en) Pressure sensor having a temperature control unit and a temperature difference calculation unit
US10612131B2 (en) Vaporization system and vaporization system program
CN112283954B (en) Water heater outlet water temperature compensation method and water heater
US10240233B2 (en) Heating vaporization system and heating vaporization method
KR101870976B1 (en) Temperature control module for heat jacket
KR101872355B1 (en) Heat jacket module for temperature control and the method for operation thereof
EP3105647B1 (en) System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller
CN111649794B (en) Thermal flowmeter and flow correction method
CN104460751B (en) Chemical liquid temperature control device applied to chemical liquid feeding system
CN101352814A (en) Temperature control system for machine tool
US10409295B2 (en) Methods and apparatus for enhanced flow detection repeatability of thermal-based mass flow controllers (MFCS)
KR102596165B1 (en) Mass flow rate control system, and semiconductor manufacturing device and vaporizer including said system
KR102101068B1 (en) Mass Flow Controller and A System for Controlling a Mass Flow Rate
JP2022526020A (en) Thermal system with temperature limiting device
WO2015125277A1 (en) Gas flow-rate measurement system, gas flow-rate measurement method, and gas flow-rate measurement program
US20240183702A1 (en) Mass flow control device and zero point calibration method for the same
US20220090951A1 (en) Devices for detecting material deposits in fluid flow conduits
KR102171750B1 (en) Flow control structure of Mass Flow mater Controller system with simultaneous temperature control and flow control

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant