KR20170113726A

KR20170113726A - 점성 용액 스프레이 도포 장치

Info

Publication number: KR20170113726A
Application number: KR1020160035127A
Authority: KR
Inventors: 홍승민; 김건희
Original assignee: 주식회사 프로텍
Priority date: 2016-03-24
Filing date: 2016-03-24
Publication date: 2017-10-13

Abstract

본 발명은 점성 용액 스프레이 도포 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점성 용액을 반도체 부품과 같은 자재에 스프레이 도포하는 점성 용액 스프레이 도포 장치에 관한 것이다.
본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치는, 점성 용액의 도포량을 정확하게 조절하는 것이 가능하고 점성 용액의 도포 영역을 미세하게 조절하는 것이 가능하며 특히 자재의 측면에 점성 용액을 효과적으로 도포할 수 있는 장점이 있다.

Description

점성 용액 스프레이 도포 장치{Spray Dispensing Apparatus for Viscos Liquid}

본 발명은 점성 용액 스프레이 도포 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점성 용액을 반도체 부품과 같은 자재에 스프레이 도포하는 점성 용액 스프레이 도포 장치에 관한 것이다.

실리콘, 에폭시와 같은 점성 용액을 도포하는 장치는 여러 산업 분야에 널리 사용된다. 특히 반도체 분야에서는 합성 수지 용액뿐만 아니라 은 페이스트(silver paste)나 솔더 페이스트(solder paste)를 기판이나 반도체 칩에 도포하는 여러 가지 공정이 있다.

종래에 반도체 공정에는 스크류 펌프, 리니어 펌프, 압전 펌프 등의 펌프를 사용하여 용액을 도포하는 디스펜서가 널리 사용되었다. 이와 같은 종래의 디스펜서는 용액을 스트림(stream) 형태로 토출시키거나 작은 크기의 액적(droplet) 형태로 용액을 연속적으로 토출시켜 도포하는 방법을 사용하였다.

이와 같은 종래의 도포 방법 또는 도포 장치는 도포하는 용액의 양을 미세하게 조절하는데 한계가 있다. 일반적으로 널리 사용되는 압전 펌프의 최소 액적의 크기는 통상 수백 ㎛ 이상이다. 따라서 수㎛ 내지 수십 ㎛ 의 선폭으로 용액을 도포하는 공정이나 점성 용액의 도포 용량을 매우 정교하게 조절하여 도포하여야 하는 공정에는 종래의 도포 장치를 사용하기 어려운 문제점이 있다.

점성 용액의 도포 용량을 미세하기 조절하기 위해서 스프레이 분사 방법을 사용하는 경우도 있다. 이와 같은 스프레이 분사 방법은 사각 상자 형상으로 형성된 반도체 패키지와 같은 자재에 점성 용액을 도포하는 경우 자재의 측면에는 균일한 두께도 점성 용액을 도포하기 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 자재의 측면에 균일한 두께로 점성 용액을 도포할 수 있고 점성 용액의 도포량을 미세하고 정확하게 조절할 수 있는 구조를 가진 점성 용액 스프레이 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치는, 점성 용액을 스프레이 형태로 다재에 대해 분사하여 도포하는 점성 용액 스프레이 도포 장치에 있어서, 측방향으로 점성 용액을 분사할 수 있도록 수직 방향에 대해 경사진 방향으로 형성된 틸트 노즐과, 상기 틸트 노즐에 상기 점성 용액을 스프레이 형태로 공급하는 스프레이 공급 유닛을 구비하는 스프레이 모듈; 및 상기 스프레이 모듈의 상기 틸트 노즐을 상기 자재에 대해 이송하는 스프레이 이송 유닛;을 포함하는 점에 특징이 있다.

본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치는, 점성 용액의 도포량을 정확하게 조절하는 것이 가능하고 점성 용액의 도포 영역을 미세하게 조절하는 것이 가능하며 특히 자재의 측면에 점성 용액을 효과적으로 도포할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 점성 용액 스프레이 도포 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 점성 용액 스프레이 도포 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 점성 용액 스프레이 도포 장치의 스프레이 공급 유닛을 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 도 1에 도시된 점성 용액 스프레이 도포 장치의 스프레이 공급 유닛의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략도이다.

이하, 본 발명에 따른 점성 용액 스프레이 도포 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 점성 용액 스프레이 도포 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 점성 용액 스프레이 도포 장치의 정면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면 본 실시예의 점성 용액 스프레이 도포 장치는 스프레이 모듈(1000)과 스프레이 이송 유닛(200)과 제어부(700)를 포함하여 이루어진다.

스프레이 모듈(1000)은 반도체 패키지와 같은 자재(C)의 측면에 점성 용액을 도포하기 위한 구성이다. 스프레이 모듈(1000)은 스프레이 이송 유닛(200)에 의해 전후좌우로 이송되고 상하로 승강된다.

스프레이 이송 유닛(200)의 하측에는 자재 이송 유닛(500)이 설치되어 트레이(T)에 거치된 복수의 자재(C)를 스프레이 모듈(1000)의 하측으로 이송한다.

스프레이 모듈(1000)은 틸트 노즐(101)과 스프레이 공급 유닛(100)를 구비한다. 틸트 노즐(101)은 자재(C)의 측면에 점성 용액을 분사할 수 있도록 수직 방향에 대해 경사진 방향으로 형성된다. 본 실시예의 스프레이 모듈(1000)은 1개의 틸트 노즐(101)을 구비하는 경우를 예로 들어 설명하고 도시하였으나, 경우에 따라서 복수의 틸트 노즐을 구비하는 스프레이 모듈을 구성하는 것도 가능하다.

틸트 노즐(101)은 상하 방향 중심축(즉, 수직 방향 중심축)을 중심으로 회전 가능하도록 스프레이 이송 유닛(200)에 설치된다. 본 실시예의 경우 틸트 노즐(101)은 스프레이 공급 유닛(100)에 회전 가능하게 설치되고, 그 스프레이 공급 유닛(100)을 통해 스프레이 이송 유닛(200)에 설치된다.

회전 유닛(300)은 틸트 노즐(101)을 상하 방향 중심축에 대해 회전시킨다. 본 실시예의 경우 회전 유닛(300)은 서보 모터로 구성되고 스프레이 공급 유닛(100)에 설치되어 스프레이 이송 유닛(200)에 의해 틸트 노즐(101)과 함께 이송된다. 틸트 노즐(101)과 회전 유닛(300)은 벨트-풀리 구조에 의해 서로 연결됨으로써, 회전 유닛(300)의 작동에 의해 틸트 노즐(101)이 회전하도록 구성된다. 이와 같은 회전 유닛(300)과 틸트 노즐(101)의 구성에 의해 틸트 노즐(101)은 360도 회전하면서 전후좌우 방향을 포함하여 모든 측"?향?? 향할 수 있도록 구성된다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 스프레이 이송 유닛(200)은 수평 이송부와 수직 이송부(230)를 구비한다. 수평 이송부는 제1이송부(210)와 제2이송부(220)를 구비한다. 제1이송부(210)는 틸트 노즐(101)과 스프레이 공급 유닛(100)을 X방향으로 이송하고, 제2이송부(220)는 틸트 노즐(101)과 스프레이 공급 유닛(100)을 Y방향으로 이송한다. 스프레이 이송 유닛(200)의 수직 이송부(230)는 틸트 노즐(101)과 스프레이 공급 유닛(100)을 상하 방향으로 이송한다.

스프레이 공급 유닛(100)는 틸트 노즐(101)에 점성 용액을 스프레이 형태로 공급할 수 있도록 구성된다. 스프레이 공급 유닛(100)는 점성 용액을 스프레이 형태로 공급할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성이든지 사용이 가능하다.

본 실시예에서는 도 3에 도시한 것과 같은 구조의 스프레이 공급 유닛(100)를 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 3을 참조하면, 스프레이 공급 유닛(100)는 저장부(110)와 에어로졸 발생 유닛(121)과 챔버(130)와 공급관(133)과 공급 펌프(131)를 포함하여 이루어진다.

저장부(110)에는 자재(C)에 도포하고자 하는 점성 용액이 저장된다. 본 실시예에서는 은 페이스트(Silver Paste)를 점성 용액으로 사용하여 반도체 패키지에 전차파 차폐를 위한 EMI 쉴드를 형성하는 경우를 예로 들어 설명한다.

에어로졸 발생 유닛(121)은 저장부(110)에서 전달 받은 점성 용액을 미세 입자 상태의 에어로졸로 변환한다. 본 실시예의 경우 도 3에 도시한 것과 같이 에어로졸 발생 유닛(121)이 저장부(110) 내부에 설치된다. 본 실시예는 초음파 진동판을 구비하는 에어로졸 발생 유닛(121)을 사용한다. 초음파 진동판이 저장부(110) 내부의 점성 용액에 진동을 가하여 점성 용액을 무화(霧化)시킴으로써 수㎛ 내외 또는 그보다 작은 크기의 입자 상태로 에어로졸을 발생시킨다.

에어로졸 발생 유닛(121)에 의해 생성된 에어로졸은 저장부(110)에 연결된 챔버(130)로 전달된다. 저장부(110)에서 챔버(130)로 전달된 에어로졸은 챔버(130)에 저장된다. 저장부(110)와 챔버(130)는 전달관(113)으로 연결된다. 전달관(113)에는 전달 밸브(112)가 설치되어 전달관(113)을 개폐하거나 유량을 조절한다. 저장부(110)에는 전달 펌프(111)가 설치되어 저장부(110)의 압력을 조절함으로써 에어로졸이 챔버(130)로 전달되도록 한다.

에어로졸 발생 유닛(121)과 전달 펌프(111)와 전달 밸브(112)의 작동은 각각 제어부(700)에 의해 조절된다.

챔버(130)에는 공급관(133)이 연결되고, 공급관(133)에는 틸트 노즐(101)이 연결된다. 즉, 공급관(133)이 챔버(130)와 틸트 노즐(101)을 연결한다. 챔버(130)에 저장된 에어로졸은 공급관(133)을 통해 틸트 노즐(101)로 전달되어 분사된다. 틸트 노즐(101)이 자재(C)의 측면에 마주하도록 배치되면, 점성 용액이 자재(C)의 측면에 도포될 수 있다.

챔버(130)에는 공급 펌프(131)가 설치되어 챔버(130)의 압력을 조절한다. 공급관(133)에는 공급 밸브(132)가 설치되어 공급관(133)을 개폐한다. 공급관(133)은 공급 펌프(131)와 공급 밸브(132)를 작동시킨다. 제어부(700)는 공급 펌프(131)에 의해 챔버(130)에 압력을 가하고 공급 밸브(132)의 작동을 조절함으로써 틸트 노즐(101)을 통해 분사되는 에어로졸의 양을 조절할 수 있다.

챔버(130)와 저장부(110) 사이에는 순환관(140)이 설치된다. 챔버(130)에 저장된 에어로졸은 순환관(140)을 통해 에어로졸 발생 유닛(121)으로 전달될 수 있다. 순환관(140)에는 순환 밸브(141)가 설치된다. 순환 밸브(141)의 작동은 제어부(700)에 의해 조절된다. 공급 펌프(131)에 의해 증가된 챔버(130)의 압력과 순환 밸브(141) 및 공급 밸브(132)의 개폐 조작에 따라 챔버(130)에 저장된 에어로졸이 순환관(140)을 통해 저장부(110)로 전달되어 순환할 수 있다. 에어로졸 발생 유닛(121)에 의해 생성되어 챔버(130)로 전달된 에어로졸 중에 틸트 노즐(101)로 분사되지 않은 에어로졸은 순환관(140)을 통해 저장부(110)로 전달되어 재사용된다.

상술한 바와 같은 구조를 가진 스프레이 모듈(1000)의 틸트 노즐(101)은 스프레이 이송 유닛(200)에 의해 이송된다. 스프레이 이송 유닛(200)은 틸트 노즐(101)을 전후좌우로 움직이고, 수직 이송부(230)는 틸트 노즐(101)을 승강시킨다. 회전 유닛(300)은 틸트 노즐(101)을 수직 방향 중심축을 중심으로 회전시켜 틸트 노즐(101)의 방향을 조절한다.

자재 이송 유닛(500)은 도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이 트레이(T)에 일정 간격으로 배열된 자재들(C)을 스프레이 모듈(1000)에 대해 이송한다.

스프레이 모듈, 스프레이 이송 유닛(200) 및 회전 유닛(300)의 작동은 각각 제어부(700)에 의해 제어된다.

이하 상술한 바와 같이 구성된 점성 용액 스프레이 도포 장치의 작동에 대해 설명한다.

자재 이송 유닛이 트레이(T)에 배열된 자재들(C)을 스프레이 이송 유닛(200)의 하측으로 이송하면, 스프레이 이송 유닛(200)은 제1이송부(210)와 제2이송부(220)를 작동시켜 틸트 노즐(101)이 자재들(C) 중 어느 하나의 측면에 근접하는 위치로 스프레이 모듈(1000)을 이송한다.

다음으로 스프레이 이송 유닛(200)의 수직 이송부(230)를 작동시켜 틸트 노즐(101)을 하강시키면 틸트 노즐(101)이 자재(C)의 측면과 마주하는 상태가 된다.

이와 같은 상태에서 스프레이 모듈(1000)을 이용하여 자재(C)의 측면에 점성 용액을 분사한다. 본 실시예의 경우 도 2에 도시한 것과 같이 도 2를 기준으로 우측 방향(X방향)을 향하도록 배치된 틸트 노즐(101)을 하강시켜 자재(C)의 좌측면과 마주하도록 한다.

이와 같은 상태에서 스프레이 공급 유닛(100)를 작동시켜 틸트 노즐(101)을 통해 점성 용액을 스프레이 분사한다. 틸트 노즐(101)을 통해 점성 용액이 스프레이 분사되는 동안, 스프레이 이송 유닛(200)은 자재(C)의 측면을 따라 틸트 노즐(101)을 이송한다. 도 1 및 도 3을 참조하면 스프레이 이송 유닛(200)이 틸트 노즐(101)을 Y방향을 따라 이송하면서 같은 열에 배치된 자재들(C)의 좌측면이 모두 점성 용액에 의해 도포되도록 한다. 한 열의 자재들(C)에 대한 좌측면 도포가 모두 완료되면 틸트 노즐(101)을 X방향으로 한칸 피치 이송하여 다음 열의 자재들(C)의 좌측면에 점성 용액을 스프레이 분사한다.

트레이(T)에 배치된 모든 자재들(C)의 좌측면에 점성 용액이 도포되면, 제어부(700)는 회전 유닛(300)을 작동시켜 틸트 노즐(101)이 Y방향을 향하도록 틸트 노즐(101)을 회전시킨다. 이와 같은 상태에서 앞서 설명한 것과 같은 순서로 트레이(T)에 배치된 자재들(C)의 전면에 대한 점성 용액 도포 작업을 완료할 수 있다.

같은 방법으로 회전 유닛(300)은 틸트 노즐(101)을 회전시켜서 자재들(C)의 우측면과 후면에 대해서도 점성 용액을 도포할 수 있도록 한다.

이와 같이 자재들(C)의 측면에 점성 용액을 도포하는 작업이 모두 완료되면, 자재 이송 유닛(500)은 트레이(T)를 이송하여 자재들(C)이 배출되도록 할 수 있다. 트레이(T)에 거치된 자재들(C)은 배출되어 다음 작업으로 전달되거나, 후방에 배치된 다른 스프레이 장치 또는 디스펜서에 의해 상면에도 점성 용액의 도포 작업이 수행된다.

상술한 바와 같이 측방향으로 경사지도록 형성된 틸트 노즐(101)을 이용하여 자재의 측면에 대해서도 효과적으로 점성 용액 도포 작업을 수행할 수 있다. 또한, 회전 유닛(300)에 의해 틸트 노즐(101)을 회전시켜서 틸트 노즐(101)의 방향을 조절하면서 점성 용액을 도포할 수 있으므로, 전후좌우 다양한 방향으로 배치된 자재들(C)의 측면에 대해서도 효과적으로 점성 용액 도포 작업을 수행할 수 있다. 특히, 자재의 측면에 곡면으로 형성되어 있는 경우에는 제어부(700)가 회전 유닛(300)과 스프레이 이송 유닛(200)을 제어하여 틸트 노즐(101)이 항상 자재의 측면과 일정한 거리를 유지하면서 그 자재의 측면과 정면으로 마주한 상태를 유지하면서 자재의 측면을 따라 점성 용액 도포 작업을 수행할 수 있는 장점이 있다.

자재(C)의 측면의 높이가 비교적 높은 경우에는 그 높이에 맞는 크기의 틸트 노즐(101)을 사용하여 측면 도포 작업을 수행할 수도 있고, 스프레이 이송 유닛(200)의 수직 이송부(230)를 작동시켜 틸트 노즐(101)의 높이를 순차적으로 높이거나 낮춰가면서 반복적으로 측면 도포 작업을 수행하는 방법으로 자재(C)의 측면에 대한 점성 용액 도포 작업을 수행할 수 있다.

상술한 바와 같이 측방향으로 경사지도록 형성된 틸트 노즐(101)을 사용하여 자재(C)의 "측면"에 대한 점성 용액의 도포 작업을 수행함으로써 자재(C)의 측면에 도포되는 점성 용액의 두께를 균일하게 할 수 있는 장점이 있다. 특히, 자재(C)의 측면을 향해 경사지도록 형성된 틸트 노즐(101)을 사용하면, 스프레이 공급 유닛(100)을 포함한 여러 구성을 회전시키거나 기울이지 않고도 자재의 측면에 대한 점성 용액 도포작업을 수행할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치는 전체 장비의 구성을 비교적 간단하게 구성하여 낮은 원가로 제작할 수 있는 장점이 있다.

본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치는 스프레이 분사되는 다수의 점성 용액 미세 입자를 이용하므로 점성 용액의 도포량을 매우 정밀하게 조절하는 것이 가능하고 용액의 표면 장력에 의해 도포된 점성 용액의 두께가 불균일하게 되는 문제점의 발생을 최소화하는 것이 가능하다.

이하에서는 앞에서 도 3을 참조하여 설명한 것과 같은 구조를 가지는 스프레이 모듈(1000)을 이용하여 반도체 칩의 측면에 점성 용액을 분사하는 과정을 더욱 구체적으로 설명한다.

먼저, 에어로졸 발생 유닛(121)을 이용하여 저장부(110)에 저장된 점성 용액을 미세 입자 상태의 에어로졸로 변환한다. 본 실시예에서는 상술한 바와 같이 저장부(110)에 설치된 초음파 진동판을 이용하여 점성 용액에 진동을 가하는 방법으로 에어로졸을 발생시킨다. 점성 용액의 종류에 따라 진동판의 진동수를 조절하는 방법으로 다양하게 에어로졸을 생성하는 것이 가능하다. 에어로졸을 생성하는 방법에 따라 에어로졸의 입자의 크기를 수㎛ 보다 작게 가능하기 때문에 점성 용액의 도포 용량을 미세하게 조절하는 것이 가능하고 극히 가느다란 선의 형태로 점성 용액을 도포하는 것도 가능하다.

에어로졸 발생 유닛(121)에 의해 생성된 에어로졸은 전달 펌프(111)의 압력에 의해 챔버(130)로 전달된다. 제어부(700)에 의해 전달 밸브(112)는 개방된 상태이고 전달 펌프(111)의 압력에 의해 저장부(110)에서 에어로졸 발생 유닛(121)에 의해 생성된 에어로졸은 전달관(113)을 통해 챔버(130)로 전달된다.

챔버(130)에 저장된 에어로졸은 공급 펌프(131)의 압력에 의해 공급관(133)을 통해 틸트 노즐(101)로 전달되어 분사된다. 제어부(700)는 공급 펌프(131)의 압력과 공급 밸브(132)의 개폐 정도를 이용하여 틸트 노즐(101)로 분사되는 에어로졸의 양을 조절한다.

챔버(130)에 저장된 에어로졸 중 일부는 순환관(140)을 통해 저장부(110)의 에어로졸 발생 유닛(121)으로 전달되어 순환하게 된다. 제어부(700)가 순환 밸브(141)의 개폐 정도를 조절하여 순환관(140)을 통해 저장부(110)로 복귀하는 에어로졸의 양을 조절한다.

상술한 바와 같이 제어부(700)는 에어로졸 발생 유닛(121), 공급 펌프(131), 공급 밸브(132), 순환 밸브(141)를 조작하여 틸트 노즐(101)을 통해 분사되는 에어로졸의 양과 순환관(140)을 통해 저장부(110)로 전달되는 에어로졸의 양을 조절하게 된다. 또한, 제어부(700)는 공급 펌프(131)를 통해 외부 공기가 챔버(130)에 유입되도록 함으로써 틸트 노즐(101)을 통해서 분사될 에어로졸의 농도를 조절하는 것도 가능하다.

이상 본 발명의 점성 용액 스프레이 도포 장치에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 앞에서 순환관(140)을 구비하는 구조의 점성 용액 스프레이 도포 장치를 예로 들어 설명하였으나 경우에 따라서는 순환관(140)을 구비하지 않는 실시예를 구성하는 것도 가능하다. 순환관(140)이 없는 경우에는 챔버 내부의 에어로졸을 순환시키지 않고 전부 사용하거나 외부로 배출하게 된다.

또한, 앞에서 스프레이 공급 유닛(100)는 전달 펌프(111), 공급 펌프(131), 전달 밸브(112), 공급 밸브(132) 및 순환 밸브(141)를 구비하는 경우를 예로 들어 설명하였으나 경우에 따라서는 이들 중 일부만을 구비하는 구성도 가능하고 추가로 별도의 밸브와 펌프를 구비하는 구성도 가능하다. 예를 들어 전달 펌프(111)가 없는 경우에도 저장부에서 에어로졸이 발생하는 압력에 의해 자연적으로 에어로졸이 챔버로 전달될 수 있다.

또한, 도 3을 참조하여 설명한 점성 용액 스프레이 도포 장치의 스프레이 공급 유닛(100)에서 에어로졸 발생 유닛(121)은 저장부(110)에 설치되는 것으로 설명하였으나 경우에 따라서는 저장부와 챔버의 사이에 에어로졸 발생 유닛을 설치하는 것도 가능하다. 즉, 저장부에 저장된 용액을 에어로졸 발생 유닛이 전달 받아 에어로졸을 발생시키고 그 에어로졸이 챔버로 전달되도록 구성하는 것도 가능하다. 스프레이 공급 유닛(100)의 구성은 꼭 에어로졸의 형태가 아니라도 점성 용액을 스프레이 상태로 발생시킬 수 있는 구성이라면 다른 다양한 구성의 사용이 가능하다.

예를 들어, 도 4에 도시한 것과 같은 구조의 스프레이 공급 유닛(2100)을 구비하는 스프레이 모듈(2000)을 구성하는 것도 가능하다. 도 4에 도시된 실시예의 스프레이 공급 유닛(2100)는 도 3을 참조하여 설명한 실시예와 에어로졸 발생 유닛(160)의 구성을 제외한 나머지 구성이 모두 동일하다. 편의상 에어로졸 발생 유닛(160)을 제외한 나머지 구성에 대해서는 도 3과 동일한 부재번호를 부여하여 도시하여 설명하기로 한다.

도 4에 도시한 스프레이 공급 유닛(2100)는 일반적인 스프레이 형태의 에어로졸 발생 유닛(160)을 구비한다. 에어로졸 발생 유닛(160)은 스프레이 관(163)과 스프레이 노즐(162)을 구비한다. 스프레이 관(163)은 저장부(110)에 설치되어 저장부(110)에 저장된 용액을 공급한다. 스프레이 노즐(162)은 스프레이 관(163)에 연결된다. 스프레이 노즐(162)은 스프레이 펌프(161)에 연결되어 공압이 공급된다. 스프레이 펌프(161)에 의해 고압의 공기가 공급되면 스프레이 관(163)을 통해 공급된 용액과 공기가 섞이면서 용액이 에어로졸 형태로 스프레이 분사된다. 스프레이 펌프(161)의 작동은 제어부(700)에 의해 조절된다.

한편, 앞에서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 점성 용액 스프레이 도포 장치의 경우 하나의 틸트 노즐(101)을 구비하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 2개 이상의 틸트 노즐을 구비하는 점성 용액 스프레이 도포 장치를 구성하는 것도 가능하다. 예를 들어 서로 마주하거나 서로 반대 방향을 향하도록 배치된 2개의 틸트 노즐을 사용하여 점성 용액 도포 작업을 수행하는 것도 가능하다. 이경우에도 회전 유닛을 이용하여 틸트 노즐의 방향을 조절하면서 점성 용액 도포 작업을 수행할 수 있다. 경우에 따라서는 같은 방향을 향하도록 배치된 2개 이상의 틸트 노즐을 구비하는 점성 용액 스프레이 도포 장치를 구성하는 것도 가능하다.

또한, 틸트 노즐(101)을 회전시키는 회전 유닛(300)을 구비하지 않는 구성도 가능하다.

또한, 앞에서 스프레이 이송 유닛(200)은 수평 이송부와 수직 이송부(230)를 구비하는 것으로 설명하였으나, 스프레이 이송 유닛의 구성은 틸트 노즐(101)을 이송할 수 있는 구성이라면 필요에 따라 다양하게 변형하는 것이 가능하다. 예를 들어, 수직 이송부(230)를 구비하지 않는 스프레이 이송 유닛을 구성하는 것도 가능하다.

1000, 2000: 스프레이 모듈 101: 틸트 노즐
100, 2100: 스프레이 공급 유닛 200: 스프레이 이송 유닛
210: 제1이송부 220: 제2이송부
230: 수직 이송부 300: 회전 유닛
500: 자재 이송 유닛
C: 자재 T: 트레이
110: 저장부 111: 전달 펌프
112: 전달 밸브 121, 160: 에어로졸 발생 유닛
161: 스프레이 펌프 162: 스프레이 노즐
163: 스프레이 관 130: 챔버
131: 공급 펌프 132: 공급 밸브
113: 전달관 133: 공급관
140: 순환관 141: 순환 밸브
700: 제어부

Claims

점성 용액을 스프레이 형태로 자재에 대해 분사하여 도포하는 점성 용액 스프레이 도포 장치에 있어서,
측방향으로 점성 용액을 분사할 수 있도록 수직 방향에 대해 경사진 방향으로 형성된 틸트 노즐과, 상기 틸트 노즐에 상기 점성 용액을 스프레이 형태로 공급하는 스프레이 공급 유닛을 구비하는 스프레이 모듈; 및
상기 스프레이 모듈의 상기 틸트 노즐을 상기 자재에 대해 이송하는 스프레이 이송 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제1항에 있어서,
상기 스프레이 모듈의 틸트 노즐은, 상하 방향 중심축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 스프레이 이송 유닛에 설치되고,
상기 틸트 노즐을 회전시키는 회전 유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제2항에 있어서,
상기 스프레이 이송 유닛과 회전 유닛의 작동을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제3항에 있어서,
상기 스프레이 이송 유닛은, 상기 틸트 노즐을 수평 방향으로 이송하는 수평 이송부와 상기 틸트 노즐을 승강시키는 수직 이송부를 구비하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스프레이 모듈의 스프레이 공급 유닛은,
상기 점성 용액이 저장되는 저장부와
상기 저장부에서 전달 받은 상기 점성 용액을 미세 입자 상태의 에어로졸로 변환하는 에어로졸 발생 유닛과,
상기 에어로졸 발생 유닛에서 생성된 상기 에어로졸을 전달 받아 저장하는 챔버와,
상기 챔버와 틸트 노즐을 연결하는 공급관, 및
상기 공급관을 통해 상기 챔버에서 상기 틸트 노즐로 전달되는 상기 에어로졸에 압력을 가하는 공급 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제5항에 있어서,
상기 스프레이 공급 유닛의 에어로졸 발생 유닛은, 상기 저장부에 저장된 점성 용액에 진동을 가하여 에어로졸을 발생시키는 초음파 진동판을 구비하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제5항에 있어서,
상기 에어로졸 발생 유닛은, 상기 저장부의 점성 용액을 공급하는 스프레이 관과 상기 스프레이 관에 공압을 분사하는 스프레이 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.
제5항에 있어서,
상기 스프레이 공급 유닛은,
상기 챔버에 저장된 상기 에어로졸을 상기 에어로졸 발생 유닛으로 전달하는 순환관 및
상기 순환관의 유량을 조절하는 순환 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 용액 스프레이 도포 장치.