KR20170106621A - Display apparatus and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 디스플레이 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a display device and a method of manufacturing the same.
디스플레이 장치는 데이터를 시각적으로 표시하는 장치이다. 이러한 디스플레이 장치는 표시 영역과 비표시 영역으로 구획된 기판을 포함한다. 상기 표시 영역에는 게이트 라인과 데이터 라인이 상호 절연되어 형성되고, 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인이 교차하여 상기 표시 영역에 다수의 화소 영역이 정의된다. 또한, 상기 표시 영역에는 상기 화소 영역들 각각에 대응하여 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소전극이 구비된다. 비표시 영역에는 패드(pad)부 및 팬아웃(fan-out)부가 배치된다. 여기서 팬아웃부는 패드부와 표시 영역을 연결하여 패드부에 장착된 드라이버 IC로부터 신호를 전달하는 배선들이 구비되는 부분이다.The display device is a device for visually displaying data. Such a display device includes a substrate partitioned into a display area and a non-display area. In the display region, a gate line and a data line are mutually insulated, and the gate line and the data line intersect to define a plurality of pixel regions in the display region. The display region is provided with a thin film transistor corresponding to each of the pixel regions and a pixel electrode electrically connected to the thin film transistor. In the non-display area, a pad portion and a fan-out portion are disposed. Here, the fan-out portion is a portion provided with wirings for transmitting a signal from the driver IC mounted on the pad portion by connecting the pad portion and the display region.
이러한 디스플레이 장치에 있어서 적어도 일부를 벤딩시킴으로써, 다양한 각도에서의 시인성을 향상시키거나 비표시 영역의 면적을 줄일 수 있다. 이와 같이 벤딩된 디스플레이 장치를 제조하는 과정에서 불량을 최소화하고 공정 비용을 절감하는 방안이 모색되고 있다.By bending at least a part of such a display device, visibility at various angles can be improved or the area of the non-display area can be reduced. A method of minimizing defects and reducing the process cost in the process of manufacturing the bending display device is being sought.
본 발명의 실시예들은 디스플레이 장치의 장수명을 담보할 수 있으면서도 제조과정에서의 단선 등의 불량 발생을 최소화하며, 공정 비용을 절감할 수 있는 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention are intended to provide a display device capable of ensuring a long life of a display device, minimizing the occurrence of defects such as disconnection during a manufacturing process, and reducing a process cost, and a manufacturing method thereof.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며,언급되지 않은 또 다른 과제들은 본 발명의 기재로부터 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the present invention.
본 발명의 일 실시예는,In one embodiment of the present invention,
디스플레이소자가 마련되어 화상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구획되며, 상기 비표시 영역은 벤딩(bending)축을 중심으로 벤딩된 벤딩영역을 포함하는 기판;A substrate provided with a display element and partitioned into a display area where an image is displayed and a non-display area around the display area, the non-display area including a bending area bent around a bending axis;
상기 표시 영역 상에 배치된 봉지층;An encapsulation layer disposed on the display area;
상기 봉지층 상에 배치된 터치전극;A touch electrode disposed on the sealing layer;
상기 터치전극과 연결되며 상기 비표시 영역으로 연장된 터치 배선; 및A touch wiring connected to the touch electrode and extending to the non-display area; And
상기 표시 영역에 전기적 신호를 인가하는 신호 배선과 연결되며, 상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치된 팬아웃 배선; A fan-out wiring connected to a signal wiring for applying an electrical signal to the display area, the fan-out wiring being disposed at least partially in the bending area;
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치를 개시한다.And the fan-out wiring is made of the same material as the touch wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 신호 배선은 상기 팬아웃 배선과 비아홀을 통해서 연결되며, 상기 비아홀은 벤딩영역의 외측에 배치될 수 있다.In one embodiment, the signal wiring is connected to the fan-out wiring through a via hole, and the via hole may be disposed outside the bending area.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 비저항은 상기 신호 배선의 비저항과 다른 값을 가질 수 있다.In one embodiment, the fan-out wiring may be formed of the same material as the signal wiring, and the specific resistance of the fan-out wiring may be different from the specific resistance of the signal wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 두께는 상기 신호 배선의 두께와 다른 값을 가질 수 있다.In one embodiment, the fan-out wiring may be formed of the same material as the signal wiring, and the thickness of the fan-out wiring may be different from the thickness of the signal wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 그레인(grain) 사이즈는 상기 신호 배선의 그레인(grain) 사이즈와 다른 값을 가질 수 있다.In one embodiment, the fanout wiring may be formed of the same material as the signal wiring, and the grain size of the fanout wiring may be different from the grain size of the signal wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 다른 물질로 구비될 수 있다.In one embodiment, the fan-out wiring may be formed of a material different from the signal wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩영역에서 상기 팬아웃 배선과 상기 기판 사이의 적어도 일부에 배치된 유기물층;을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, an organic layer disposed in at least a portion between the fan-out wiring and the substrate in the bending region may be further included.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 영역에 배치되는 박막트랜지스터; 및 상기 박막트랜지스터를 덮으며 유기물을 포함하는 평탄화층;을 더 구비하며, 상기 유기물층은 상기 평탄화층과 동일 물질을 포함할 수 있다.In one embodiment, the thin film transistor is disposed in the display region; And a planarization layer covering the thin film transistor and containing an organic material, wherein the organic material layer may include the same material as the planarization layer.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이소자는 화소전극, 상기 화소전극과 대향하는 대향전극, 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 중간층을 포함하며,In one embodiment, the display element includes a pixel electrode, a counter electrode facing the pixel electrode, and an intermediate layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode,
상기 표시 영역에는 상기 화소전극의 중앙부를 노출하는 개구부를 가지며, 화소 영역을 정의하는 화소정의막;을 더 포함하고, 상기 유기물층은 상기 화소정의막과 동일 물질을 포함할 수 있다.The display region may further include a pixel defining layer having an opening exposing a center portion of the pixel electrode and defining a pixel region, and the organic layer may include the same material as the pixel defining layer.
일 실시예에 있어서, 상기 봉지층은 유기봉지층을 포함하며, 상기 유기물층은 상기 유기봉지층과 동일 물질을 포함할 수 있다.In one embodiment, the sealing layer includes an organic sealing layer, and the organic layer may include the same material as the organic sealing layer.
일 실시예에 있어서, 상기 봉지층과 상기 터치전극 사이에 배치되며 유기물을 포함하는 터치 버퍼층;을 더 포함하며, 상기 유기물층은 상기 터치 버퍼층과 동일 물질을 포함할 수 있다.In one embodiment, the organic light emitting display further includes a touch buffer layer disposed between the sealing layer and the touch electrode and including an organic material, and the organic material layer may include the same material as the touch buffer layer.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며, 상기 터치 배선은 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비되며, 상기 유기물층은 상기 제1 절연층과 동일 물질을 포함할 수 있다.In one embodiment, the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, and the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically The touch wiring may be formed of the same material as the second touch conductive layer, and the organic material layer may include the same material as the first insulating layer.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조를 가질 수 있다. In one embodiment, the fan-out wiring may have a structure in which a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer are stacked .
일 실시예에 있어서, 상기 유기물층은 상면의 적어도 일부에 요철면을 가질 수 있다. In one embodiment, the organic layer may have an uneven surface on at least a part of the upper surface.
일 실시예에 있어서, 상기 요철면의 돌출면은 상기 벤딩축 방향으로 연장되며, 상기 팬아웃 배선은 상기 돌출면과 교차하면서 연장될 수 있다.In one embodiment, the protruding surface of the uneven surface extends in the bending axis direction, and the fan-out wiring may extend while intersecting the protruding surface.
일 실시예에 있어서, 상기 기판과 상기 팬아웃 배선 사이에 배치되는 무기절연층;을 더 포함하며, 상기 무기절연층은 상기 벤딩영역에 대응하는 개구 또는 그루브를 가질 수 있다.In one embodiment, an inorganic insulating layer is disposed between the substrate and the fan-out wiring, and the inorganic insulating layer may have an opening or a groove corresponding to the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 개구 또는 그루부의 적어도 일부에 배치되는 유기물층;을 더 포함할 수 있다. In one embodiment, it may further comprise an organic layer disposed on at least a part of the opening or the groove.
일 실시예에 있어서, 상기 유기물층은 상기 개구의 내측면을 덮으며 상기 무기절연층의 상면의 일부까지 연장될 수 있다.In one embodiment, the organic layer covers the inner surface of the opening and may extend to a portion of the upper surface of the inorganic insulating layer.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비될 수 있다. In one embodiment, the touch electrode may be formed of the same material as the touch wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며, 상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층 또는 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비될 수 있다.In one embodiment, the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, and the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically And the touch wiring may be formed of the same material as the first touch conductive layer or the second touch conductive layer.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며, 상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층으로 적층될 수 있다. In one embodiment, the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, and the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically The touch wiring may be formed of a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조를 가질 수 있다.In one embodiment, the fan-out wiring may have a structure in which a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer are stacked .
일 실시예에 있어서, 상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 소스전극, 드레인전극 및 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터; 및 상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치된 추가도전층;을 더 구비하며, 상기 추가도전층은 상기 소스전극, 드레인전극 또는 게이트전극과 동일 물질로 동일층에 구비될 수 있다.In one embodiment, the thin film transistor includes a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode, the thin film transistor being disposed in the display region or the non-display region. And an additional conductive layer disposed at least partially in the bending region, wherein the additional conductive layer may be provided in the same layer as the source electrode, the drain electrode, or the gate electrode.
일 실시예에 있어서, 상기 추가도전층은 상기 팬아웃 배선과 이격되어 배치될 수 있다.In one embodiment, the additional conductive layer may be spaced apart from the fanout wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 추가도전층은 상기 팬아웃 배선의 하부에 적어도 일부 중첩 배치되어, 상기 추가도전층과 전기적으로 연결될 수 있다.In one embodiment, the additional conductive layer may be at least partially overlapped with the lower portion of the fan-out wiring to be electrically connected to the additional conductive layer.
일 실시예에 있어서, 상기 추가도전층과 상기 팬아웃 배선의 사이에는 절연층이 개재될 수 있다.In one embodiment, an insulating layer may be interposed between the additional conductive layer and the fan-out wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 절연층 상에 마련된 비아홀을 통해서 상기 추가도전층과 상기 팬아웃 배선이 전기적으로 연결될 수 있다.In one embodiment, the additional conductive layer and the fan-out wiring may be electrically connected through a via hole provided on the insulating layer.
일 실시예에 있어서, 상기 비아홀은 벤딩영역에 배치되지 않을 수 있다.In one embodiment, the via hole may not be disposed in the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 제1반도체층, 제1소스전극, 제1드레인전극 및 제1게이트전극을 포함하는 제1박막트랜지스터와, 제2반도체층, 제2소스전극, 제2드레인전극 및 제2게이트전극을 포함하는 제2박막트랜지스터; 및 상기 제1게이트전극과 동일 물질로 구비된 제1추가도전층과, 상기 제2게이트전극과 동일 물질로 구비된 제2추가도전층;을 더 구비하고, 상기 제1게이트전극과 상기 제2게이트전극은 상이한 층에 배치되며, 상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 중 적어도 하나는 상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치될 수 있다.In one embodiment, the first thin film transistor includes a first semiconductor layer, a first source electrode, a first drain electrode, and a first gate electrode, the first thin film transistor being disposed in the display region or the non-display region, A second thin film transistor including a second source electrode, a second drain electrode, and a second gate electrode; And a second additional conductive layer formed of the same material as the second gate electrode, the first additional conductive layer being formed of the same material as the first gate electrode, The gate electrode is disposed in a different layer, and at least one of the first additional conductive layer and the second additional conductive layer may be disposed at least partially in the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩영역에서 상기 제1추가도전층은 상기 제2추가도전층과 적어도 일부 중첩되어 배치될 수 있다.In one embodiment, the first additional conductive layer in the bending region may be disposed at least partially overlapping the second additional conductive layer.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩영역에서 상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 사이에는 절연층이 개재될 수 있다.In one embodiment, an insulating layer may be interposed between the first additional conductive layer and the second additional conductive layer in the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 중 적어도 하나는 상기 팬아웃 배선의 하부에 배치되어 전기적으로 연결될 수 있다.In one embodiment, at least one of the first additional conductive layer and the second additional conductive layer may be disposed under the fan-out wiring and electrically connected thereto.
일 실시예에 있어서, 상기 팬아웃 배선과 상기 제1추가도전층 사이 및 상기 팬아웃 배선과 상기 제2추가도전층 사이 중 적어도 하나에는 절연층이 배치될 수 있다.In one embodiment, the insulating layer may be disposed on at least one of the fan-out wiring and the first additional conductive layer, and between the fan-out wiring and the second additional conductive layer.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩영역에서 상기 팬아웃 배선의 상부에 배치된 밴딩보호층;을 더 구비할 수 있다.In one embodiment, the device may further include a banding protection layer disposed on the fanout wiring in the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 벤딩보호층은 상기 표시 영역의 적어도 일부를 덮을 수 있다. In one embodiment, the bending protection layer may cover at least a portion of the display area.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극을 덮어 상기 터치전극을 보호하는 커버층;을 더 구비할 수 있다.In an exemplary embodiment, a cover layer covering the touch electrode and protecting the touch electrode may be further included.
일 실시예에 있어서, 상기 커버층은 상기 터치전극 상부에서부터 상기 벤딩영역으로 연장되어 상기 팬아웃 배선을 적어도 일부를 덮을 수 있다.In one embodiment, the cover layer may extend from the top of the touch electrode to the bending region to cover at least a portion of the fanout wire.
일 실시예에 있어서, 상기 기판의 하면에 배치되는 보호필름;을 더 구비하며, 상기 보호필름은 상기 벤딩영역과 적어도 일부 중첩하는 개구 또는 그루브를 구비할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is further provided a protective film disposed on a lower surface of the substrate, and the protective film may include an opening or a groove overlapping at least a part of the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 터치 배선은 상기 봉지층의 일측면을 따라 상기 벤딩영역 방향으로 연장되며, 상기 봉지층의 일측면은 단차(step) 형상이 구비될 수 있다.In one embodiment, the touch wiring extends along one side of the sealing layer in the direction of the bending region, and one side of the sealing layer may have a step shape.
본 발명의 다른 실시예는,In another embodiment of the present invention,
디스플레이소자가 마련되어 화상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구획되며, 상기 비표시 영역은 벤딩(bending)축을 중심으로 벤딩된 벤딩영역을 포함하는 기판;A substrate provided with a display element and partitioned into a display area where an image is displayed and a non-display area around the display area, the non-display area including a bending area bent around a bending axis;
상기 표시 영역 상에 배치된 봉지층;An encapsulation layer disposed on the display area;
상기 봉지층 상에 배치된 터치전극;A touch electrode disposed on the sealing layer;
상기 터치전극과 연결되며 상기 비표시 영역으로 연장된 터치 배선;A touch wiring connected to the touch electrode and extending to the non-display area;
상기 벤딩영역과 상기 표시 영역 사이에 배치되어 전기적 신호를 인가하는 신호 배선;A signal wiring disposed between the bending region and the display region for applying an electrical signal;
상기 비표시 영역의 일측에 배치된 단자; 및A terminal disposed on one side of the non-display area; And
상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치되고, 일측은 상기 신호 배선과 비아홀을 통해서연결되고 타측은상기 단자에 연결된 팬아웃 배선;을 포함하며, And a fan-out wiring disposed at least partially in the bending region, one side of which is connected to the signal wiring via a via-hole and the other side of which is connected to the terminal,
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치를 개시한다.And the fan-out wiring is made of the same material as the touch wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 소스전극, 드레인전극 및 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터;를 더 구비하며, 상기 단자는 상기 소스전극, 드레인전극, 또는 게이트전극과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선과 비아홀을 통해서 연결될 수 있다.The display device may further include a thin film transistor disposed in the display region or the non-display region, the thin film transistor including a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode. The thin film transistor includes a source electrode, a drain electrode, And may be connected to the fan-out wiring via a via-hole.
본 발명의 다른 실시예는, 상기 디스플레이 장치의 제조방법에 있어서, According to another embodiment of the present invention, in the method of manufacturing the display device,
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동시에 형성되는 디스플레이 장치의 제조 방법을 개시한다.And the fan-out wiring is formed simultaneously with the touch wiring.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 장치는, 상기 벤딩 영역에서 상기 기판과 상기 팬아웃 배선 사이에 배치되는 유기물층;을 더 구비할 수 있다.In one embodiment, the display device may further include an organic layer disposed between the substrate and the fan-out wiring in the bending region.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 장치는, 상기 표시 영역에 배치되는 박막트랜지스터, 및 상기 박막트랜지스터를 덮으며 유기물을 포함하는 평탄화층을 더 구비하며, 상기 유기물층은 상기 평탄화층과 동일 물질로 동시에 형성할 수 있다.In one embodiment, the display device may further include a thin film transistor disposed in the display region, and a planarization layer covering the thin film transistor and including an organic material, wherein the organic material layer is formed simultaneously with the same material as the planarization layer can do.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이소자는 화소전극, 상기 화소전극과 대향하는 대향전극, 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 유기발광층을 포함하는 중간층을 포함하는 유기발광소자이며, 상기 표시 영역에는 상기 화소전극의 중앙부를 노출하는 개구부를 가지며, 화소 영역을 정의하는 화소정의막을 더 포함하며, 상기 유기물층은 상기 화소정의막과 동일 물질로 동시에 형성할 수 있다.In one embodiment, the display device is an organic light emitting device including a pixel electrode, an opposite electrode facing the pixel electrode, and an intermediate layer including an organic light emitting layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode, And a pixel defining layer having an opening exposing a center portion of the pixel electrode. The organic layer may be formed of the same material as the pixel defining layer.
일 실시예에 있어서, 상기 터치 배선은 상기 터치전극과 동일 물질로 동시에 형성할 수 있다.In one embodiment, the touch wiring may be formed of the same material as the touch electrode at the same time.
일 실시예에 있어서, 상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 및 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며, 상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 동시에 형성할 수 있다.In one embodiment, the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, and the first touch conductive layer and the second touch conductive layer And the touch wiring may be formed of the same material as the first touch conductive layer at the same time.
일 실시예에 있어서,상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 및 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며, 상기 터치 배선은 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 동시에 형성할 수 있다. In one embodiment, the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, and the first touch conductive layer and the second touch conductive layer And the touch wiring can be formed simultaneously with the same material as the second touch conductive layer.
전술한 것 외의 다른 측면,특징,및 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 특허청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of the invention, claims and drawings.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 실시예들에 따르면, 디스플레이 장치의 장수명을 담보할 수 있으면서도 제조과정에서의 단선 등의 불량 발생을 최소화하며 공정단계를 줄여 공정 비용을 절감할 수 있는 디스플레이 장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to the embodiments of the present invention as described above, it is possible to realize a display device capable of ensuring a long life of a display device, minimizing the occurrence of defects such as disconnection during a manufacturing process, . Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2c은 도 2a의 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4g는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4h는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4i는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5e는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5f는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5g는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5h는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5i는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 5j는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 5k는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 6a는 본 발명의 실시예들에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 6b는 본 발명의 실시예들에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 7a 내지 도 7i는 본 발명의 실시예들에 따라 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.1 is a perspective view schematically showing a part of a display device according to an embodiment of the present invention.
2A is a perspective view schematically showing a part of a display device according to an embodiment of the present invention.
2B is a plan view schematically showing a part of a display device according to an embodiment of the present invention.
2C is a cross-sectional view schematically showing a part of the display device of FIG. 2A.
3A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
3B is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4B is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4C is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4D is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4E is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4F is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4G is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4H is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
4I is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5B is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5C is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5D is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5E is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5F is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5G is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5H is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5I is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5J is a plan view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
5K is a plan view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
6A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to embodiments of the present invention.
6B is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to the embodiments of the present invention.
7A to 7I are sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a display device according to embodiments of the present invention.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바,특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to be illustrative, Can be implemented.
이하,첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding components throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted .
이하의 실시예에서 층,막,영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다.예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the following embodiments, when various components such as layers, films, regions, plates, and the like are referred to as being " on " other components, . For example, the size and thickness of each component shown in the figures are arbitrarily shown for convenience of description, and therefore, the present invention is not limited thereto. It is not limited.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어,x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, the y-axis, and the z-axis are not limited to three axes on the orthogonal coordinate system, and can be interpreted in a broad sense including the three axes. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다. If certain embodiments are otherwise feasible, the particular process sequence may be performed differently from the sequence described. For example, two processes that are described in succession may be performed substantially concurrently, and may be performed in the reverse order of the order described.
디스플레이 장치는 화상을 표시하는 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전기영동 표시 장치(Electrophoretic Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display), 무기 EL 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 표면 전도 전자 방출 표시 장치(Surface-conduction Electron-emitter Display), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display), 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Display) 등 일 수 있다.The display device is an apparatus for displaying an image, and includes a liquid crystal display, an electrophoretic display, an organic light emitting display, an inorganic light emitting display, A field emission display, a surface-conduction electron-emitter display, a plasma display, a cathode ray tube (Cathode Ray) display, or the like.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않으며, 다양한 방식의 표시 장치가 사용될 수 있다.Hereinafter, a display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to an organic light emitting display device, but the display device of the present invention is not limited thereto, and various types of display devices can be used.
도 1 및 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도, 도 2c은 도 2a의 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 도 1에 도시된 것과 같이 디스플레이 장치의 일부인 기판(100)의 일부가 벤딩(bending)되어, 디스플레이 장치의 일부분이 기판(100)과 마찬가지로 벤딩된 형상을 갖는다. 다만 도시의 편의상 도 2c에서는 디스플레이 장치가 벤딩되지 않은 상태로 도시하고 있다. 참고로 후술하는 실시예들에 관한 단면도들이나 평면도들 등에서도 도시의 편의상 디스플레이 장치가 벤딩되지 않은 상태로 도시한다.FIG. 2B is a plan view schematically showing the display device of FIG. 2A, FIG. 2C is a plan view of the display device of FIG. 2A, FIG. 2C is a plan view of the display device of FIG. Sectional view schematically showing a part thereof. 1, a part of the
도 1 내지 도 2c에서 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 디스플레이 장치가 구비하는 기판(100)은 디스플레이소자가 마련되어 화상이 표시되는 표시 영역(DA)과 상기 표시 영역(DA) 주변의 비표시 영역으로 구획되며, 상기 비표시 영역은 밴딩축(BAX)을 중심으로 벤딩된 벤딩영역(BA)를 포함한다. 벤딩영역(BA)는 벤딩 후에 곡률 반경을 가지고 있는 영역을 의미할 수 있다.As shown in FIGS. 1 to 2C, the
벤딩영역(BA)은 제1방향(+y 방향)으로 연장되며, 벤딩영역(BA)은 제1방향과 교차하는 제2방향(+x 방향)에 있어서, 제1영역(1A)과 제2영역(2A) 사이에 위치한다. 그리고 기판(100)은 도 1에 도시된 것과 같이 제1방향(+y 방향)으로 연장된 벤딩축(BAX)을 중심으로 벤딩되어 있다. 이러한 기판(100)은 플렉서블 또는 벤더블 특성을 갖는 다양한 물질을 포함할 수 있는데, 예컨대 폴리에테르술폰(polyethersulphone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAR), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyeleneterepthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.The bending region BA extends in the first direction (+ y direction) and the bending region BA extends in the second direction (+ x direction) intersecting the first direction with the
제1영역(1A)은 표시 영역(DA)을 포함한다.물론 제1영역(1A)은 도 2에 도시된 것과 같이 표시 영역(DA) 외에도 표시 영역(DA) 주변 또는 외측의 비표시 영역의 일부를 포함한다. 제2영역(2A) 역시 비표시 영역을 포함한다.2, the
기판(100)의 표시 영역(DA)에는 복수의 화소가 배치되어 화상을 표시할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 디스플레이소자(300), 박막트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT), 축전 소자(Capacitor: Cst) 등의 소자가 구비되어 있을 수 있다. A plurality of pixels are arranged in the display area DA of the
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 표시 영역(DA)에는 게이트 신호를 전달하는 게이트선과 데이터 신호를 전달하는 데이터선 등의 펄스 신호 및, 구동 전원선, 공통 전원선 등의 직류 신호를 전달하는 신호 배선이 더 포함될 수 있으며, 상기 게이트선과 데이터선, 구동 전원선에 연결된 박막트랜지스터, 커패시터, 디스플레이소자 등의 전기적 결합에 의해서 화소가 형성되어 화상을 표시할 수 있다. 화소는 화소로 공급된 구동 전원 및 공통 전원에 따라 데이터 신호에 대응하여 디스플레이소자를 통하는 구동 전류에 대응하는 휘도로 발광할 수 있다. 상기 신호 배선들은 팬아웃 배선(720a)들을 통해 단자부(20)에 연결되는 구동회로부(미도시)와 연결될 수 있다. 즉, 팬아웃 배선(720a)는 게이트 신호 및 데이터 신호 등의 펄스 신호 및 전원 등의 직류(Direct current)를 전달할 수 있다. 화소는 복소로 구성될 수 있으며, 복수의 화소는 스트라이프 배열, 펜타일 배열 등 다양한 형태로 배치될 수 있다. 2A to 2C, a pulse signal such as a gate line for transferring a gate signal, a data line for transferring a data signal, and the like, a signal for transferring a direct current signal such as a driving power source line and a common power source line, And a pixel is formed by electrical coupling of the gate line, the data line, the thin film transistor connected to the driving power line, the capacitor, the display element, etc., and an image can be displayed. The pixel can emit light at a luminance corresponding to the driving current through the display element corresponding to the data signal according to the driving power and the common power supplied to the pixel. The signal wirings may be connected to a driving circuit unit (not shown) connected to the
비표시 영역에는 단자부(20), 팬아웃 배선(720a), 추가도전층(215d) 및 터치 배선(720)이 배치될 수 있다. 또한, 도시는 되지 않았지만, 비표시 영역에는 공통전원라인, 구동전원라인, 게이트 구동부, 데이터 구동부 등이 더 배치될 수도 있다.The
단자부(20)는 비표시 영역의 일 단부에 배치되며, 신호 단자(21) 및 터치 단자 (22)를 포함할 수 있다. 단자부(20)는 절연층에 의해 덮이지 않고 노출되어, 플렉서블 인쇄회로기판 또는 드라이버 IC 등과 같은 구동회로부(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제어부는 데이터 신호, 게이트 신호, 구동전압(ELVDD), 공통전압(ELVSS) 등을 제공할 수 있다. 또한, 제어부는 터치 배선(720)을 통해 터치스크린층(700)에 신호를 제공하거나, 터치스크린층(700)에서 감지되는 신호를 받을 수 있다.The
팬아웃 배선(720a)은 비표시 영역에 배치되며, 상기 표시 영역(DA)에 배치된 박막트랜지스터(210) 또는 디스플레이소자(300)에 전기적 신호를 인가하는 신호 배선과 연결된다. 신호 배선은 전술한 바와 같이, 게이트선, 데이터선, 구동 전원선, 공통 전원선 등 표시 영역(DA) 내부에 배치되는 다양한 배선에 해당될 수 있다. 팬아웃 배선(720a)은 상기 벤딩영역(BA)에 적어도 일부 배치될 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)는 제1영역(1A)으로부터 연장되어 벤딩영역(BA)의 일부까지 배치되거나, 벤딩영역(BA)을 가로질러 제2영역(2A)까지 배치될 수 있다. 즉, 팬아웃 배선(720a)은 벤딩축(BAX)과 교차하여 연장될 수 있다. 예컨대, 팬아웃 배선(720a)은 벤딩축(BAX)과 소정의 각도를 가지고 비스듬히 연장될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 또한, 팬아웃 배선(720a)은 직선 형상이 아닌 곡선 형상, 지그재그 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 팬아웃 배선(720a)은 단자부(20)의 신호 단자(21)와 연결되어 표시 영역(DA)에 전기적 신호를 전달할 수 있다.The fan-out
한편, 비표시 영역에는 추가도전층(215d)이 더 구비될 수 있다. 추가도전층(215d)은 상기 팬아웃 배선(720a)와 같이 표시 영역(DA)에 배치된 박막트랜지스터(210) 또는 디스플레이소자(300)에 전기적 신호를 인가하는 신호선과 연결될 수 있다. 추가도전층(215d)은 상기 팬아웃 배선(720a)과는 다른 물질로 구비될 수 있다. 예컨대, 추가도전층(215d)는 표시 영역(DA) 내부의 신호선인 게이트선 또는 데이터등과 동일 물질로 구비될 수 있다. 추가도전층(215d)은 상기 팬아웃배선(720a)와 다른 층에 배치될 수 있으며, 도 2b에서 도시된 바와 같이 수평적으로 이격되어 배치될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 추가도전층(215d)은 상기 팬아웃 배선(720a)과 적어도 일부 중첩되어 배치될 수 있다. 예컨대, 추가도전층(215d)은 상기 팬아웃 배선(720a)의 하부에서 상기 팬아웃 배선(720a)과 전기적으로 연결되어 표시 영역(DA)에 전기적 신호를 인가하는 역할을 할 수 있다. 그 밖의 추가도전층(215d)과 팬아웃 배선(720a)과의 배치에 관한 실시예에 대해서는 후술하기로 한다.The non-display region may further include an additional
본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 팬아웃 배선(720a)외에 팬아웃 배선(720a)과 연결되는 신호 배선(213b)을 구비할 수 있다. 이러한 신호 배선(213b)은 팬아웃 배선(720a)이 위치한 층과 상이한 층에 위치하도록 제1영역(1A) 또는 제2영역(2A)에 배치되며, 팬아웃 배선(720a)에 전기적으로 연결될 수 있다.The display device according to the present embodiment may have a
신호 배선(213b)은 표시 영역(DA) 내의 박막트랜지스터 등에 전기적으로 연결된 것일 수 있으며, 이에 따라 팬아웃 배선(720a)이 신호 배선(213b)을 통해 표시 영역(DA) 내의 박막트랜지스터 등에 전기적으로 연결되도록 할 수 있다. 이처럼 신호 배선(213b)은 표시 영역(DA) 외측에 위치하면서 표시 영역(DA) 내에 위치하는 구성요소들에 전기적으로 연결될 수도 있고, 표시 영역(DA) 외측에 위치하면서 표시 영역(DA) 방향으로 연장되어 적어도 일부가 표시 영역(DA) 내에 위치할 수도 있다. The
표시 영역(DA)은 봉지층(400)에 의해 밀봉될 수 있다. 봉지층(400)은 표시 영역(DA)에 배치되는 디스플레이소자(300) 등을 덮어 외부의 수분이나 산소들로 부터 디스플레이소자(300) 등을 보호하는 역할을 할 수 있다. 봉지층(400)은 표시 영역(DA)를 덮으며 표시 영역(DA) 외측까지 일부 연장될 수 있다.The display area DA can be sealed by the
봉지층(400) 상에는 터치스크린 기능을 위한 다양한 패턴의 터치전극(710)을 포함하는 터치스크린층(700)이 구비된다. 터치전극(710)은 상기 터치전극(710)에 감지되는 신호를 전달하기 위한 터치 배선(720)과 연결되며, 상기 터치 배선(720)은 상기 봉지층(400) 상부에서부터 상기 봉지층(400)의 일측면을 따라 상기 비표시 영역으로 연장될 수 있다. 터치 배선(720)은 상기 터치스크린층(700)과 연결되며, 상기 봉지층(400)의 상부에서부터 연장되어 벤딩영역(BA)에 적어도 일부 배치될 수 있다. 터치 배선(720)은 터치 단자(22)와 연결될 수 있다.On the
도 2c에서는 디스플레이소자(300)로서 유기발광소자가 표시 영역(DA)에 위치하는 것을 도시하고 있다.이러한 유기발광소자가 박막트랜지스터(210)에 전기적으로 연결된다는 것은, 화소전극(310)이 박막트랜지스터(210)에 전기적으로 연결되는 것으로 이해될 수 있다. 물론 필요에 따라 기판(100)의 표시 영역(DA) 외측의 주변영역에도 박막트랜지스터(미도시)가 배치될 수 있다. 이러한 주변영역에 위치하는 박막트랜지스터는 예컨대 표시 영역(DA) 내에 인가되는 전기적 신호를 제어하기 위한 회로부의 일부일 수 있다. 2C illustrates that the organic light emitting device is located in the display area DA as the
박막트랜지스터(210)는 비정질실리콘, 다결정실리콘, 산화물 반도체 또는 유기반도체물질을 포함하는 반도체층(211), 게이트전극(213), 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)을 포함할 수 있다. The
상기 게이트전극(231)은 박막트랜지스터(210)에 온/오프 신호를 인가하는 게이트 배선(미도시)과 연결될 수 있으며, 저저항 금속 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 게이트전극(231)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다.The gate electrode 231 may be connected to a gate wiring (not shown) for applying an on / off signal to the
상기 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)은 전도성이 좋은 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있으며, 반도체층(211)의 소스 영역 및 드레인 영역과 각각 연결될 수 있다. 예를 들면, 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다.The
일 실시예에 따른 박막트랜지스터(210)는 게이트전극(231)이 반도체층(211)의 상부에 배치된 탑 게이트 타입(top gate type)이지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 다른 실시예에 따른 박막트랜지스터(210)는 게이트전극(231)이 반도체층(211)의 하부에 배치된 바텀 게이트 타입(bottom gate type)일 수 있다.Although the
반도체층(211)과 게이트전극(213)과의 절연성을 확보하기 위해, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 게이트절연막(120)이 반도체층(211)과 게이트전극(213) 사이에 개재될 수 있다. 아울러 게이트전극(213)의 상부에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 층간절연막(130)이 배치될 수 있으며, 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)은 그러한 층간절연막(130) 상에 배치될 수 있다. 이와 같이 무기물을 포함하는 절연막은 CVD 또는 ALD(atomic layer deposition)를 통해 형성될 수 있다. 이는 후술하는 실시예들 및 그 변형예들에 있어서도 마찬가지이다.A
이러한 구조의 박막트랜지스터(210)와 기판(100) 사이에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함하는 버퍼층(110)이 개재될 수 있다. 이러한 버퍼층(110)은 기판(100)의 상면의 평활성을 높이거나 기판(100) 등으로부터의 불순물이 박막트랜지스터(210)의 반도체층(211)으로 침투하는 것을 방지하거나 최소화하는 역할을 할 수 있다. 버퍼층(110)은 단층 또는 다층구조로 이루어질 수 있다.A
그리고 박막트랜지스터(210) 상에는 평탄화층(140)이 배치될 수 있다. 예컨대 도 2c에 도시된 것과 같이 박막트랜지스터(210) 상부에 유기발광소자가 배치될 경우, 평탄화층(140)은 박막트랜지스터(210)를 덮는 보호막 상부를 대체로 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 이러한 평탄화층(140)은 예컨대 폴리이미드, 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다. 도 2c에서는 평탄화층(140)이 단층으로 도시되어 있으나, 다층일 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. A
기판(100)의 표시 영역(DA) 내에 있어서, 평탄화층(140) 상에는, 화소전극(310), 대향전극(330) 및 그 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 중간층(320)을 갖는 유기발광소자가 위치할 수 있다. 화소전극(310)은 도 2c에 도시된 것과 같이 평탄화층(140) 등에 형성된 개구부를 통해 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b) 중 어느 하나와 컨택하여 박막트랜지스터(210)와 전기적으로 연결된다.An organic light emitting device having a
평탄화층(140) 상부에는 화소정의막(150)이 배치될 수 있다. 이 화소정의막(150)은 각 부화소들에 대응하는 개구, 즉 적어도 화소전극(310)의 중앙부가 노출되도록 하는 개구를 가짐으로써 화소를 정의하는 역할을 한다. 또한, 도 2c에 도시된 바와 같은 경우, 화소정의막(150)은 화소전극(310)의 가장자리와 화소전극(310) 상부의 대향전극(330)과의 사이의 거리를 증가시킴으로써 화소전극(310)의 가장자리에서 아크 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 이와 같은 화소정의막(150)은 예컨대 폴리이미드, 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다.The
유기발광소자의 중간층(320)은 저분자 또는 고분자 물질을 포함할 수 있다. 저분자 물질을 포함할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층된 구조를 가질 수 있으며, 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양한 유기물질을 포함할 수 있다. 이러한 층들은 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다.The
중간층(320)이 고분자 물질을 포함할 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이 때, 홀 수송층은 PEDOT을 포함하고, 발광층은 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 물질을 포함할 수 있다. 이러한 중간층(320)은 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법, 레이저열전사방법(LITI; Laser induced thermal imaging) 등으로 형성할 수 있다.When the
물론 중간층(320)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조를 가질 수도 있음은 물론이다. 그리고 중간층(320)은 복수개의 화소전극(310)들에 걸쳐서 일체인 층을 포함할 수도 있고, 복수개의 화소전극(310)들 각각에 대응하도록 패터닝된 층을 포함할 수도 있다.Of course, the
대향전극(330)은 표시 영역(DA) 상부에 배치되는데, 도 2에 도시된 것과 같이 표시 영역(DA)을 덮도록 배치될 수 있다. 즉, 대향전극(330)은 복수개의 유기발광소자들에 있어서 일체(一體)로 형성되어 복수개의 화소전극(310)들에 대응할 수 있다.The
이러한 유기발광소자는 외부로부터의 수분이나 산소 등에 의해 쉽게 손상될 수 있기에, 봉지층(400)이 이러한 유기발광소자를 덮어 이들을 보호하도록 할 수 있다. 봉지층(400)은 화소 영역(DA)을 덮으며 화소 영역(DA) 외측까지 연장될 수 있다. 이러한 봉지층(400)은 도 2c에 도시된 것과 같이 제1무기봉지층(410), 유기봉지층(420) 및 제2무기봉지층(430)을 포함할 수 있다.Since the organic light emitting device can be easily damaged by moisture or oxygen from the outside, the
제1무기봉지층(410)은 대향전극(330)을 덮으며, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 물론 필요에 따라 제1무기봉지층(410)과 대향전극(330) 사이에 캐핑층 등의 다른 층들이 개재될 수도 있다. 이러한 제1무기봉지층(410)은 그 하부의 구조물을 따라 형성되기에, 도 2c에 도시된 것과 같이 그 상면이 평탄하지 않게 된다. 유기봉지층(420)은 이러한 제1무기봉지층(410)을 덮는데, 제1무기봉지층(410)과 달리 그 상면이 대략 평탄하도록 할 수 있다. 구체적으로, 유기봉지층(420)은 표시 영역(DA)에 대응하는 부분에서는 상면이 대략 평탄하도록 할 수 있다. 이러한 유기봉지층(420)은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나 이상의 재료를 포함할 수 있다. 제2무기봉지층(430)은 유기봉지층(420)을 덮으며, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 이러한 제2무기봉지층(430)은 표시 영역(DA) 외측에 위치한 그 자장자리에서 제1무기봉지층(410)과 컨택함으로써, 유기봉지층(420)이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.The first
이와 같이 봉지층(400)은 제1무기봉지층(410), 유기봉지층(420) 및 제2무기봉지층(430)을 포함하는바, 이와 같은 다층 구조를 통해 봉지층(400) 내에 크랙이 발생한다고 하더라도, 제1무기봉지층(410)과 유기봉지층(420) 사이에서 또는 유기봉지층(420)과 제2무기봉지층(430) 사이에서 그러한 크랙이 연결되지 않도록 할 수 있다. 이를 통해 외부로부터의 수분이나 산소 등이 표시 영역(DA)으로 침투하게 되는 경로가 형성되는 것을 방지하거나 최소화할 수 있다.The
봉지층(400) 상에는 터치전극(710)을 포함하는 터치스크린층(700)이 배치되며, 상기 터치스크린층(700) 상에는 터치스크린층(700)을 보호하는 커버층(730)이 배치될 수 있다. A
터치스크린층(700)은 일 예로 정전 용량 방식으로, 커버층(730)의 터치시 터치스크린층(700)의 터치전극(710)들 사이에 형성되는 상호 정전 용량 (mutual capacitance)의 변화가 발생하고, 이를 감지함으로써 해당 부분의 접촉 여부를 판단할 수 있다. 또는, 터치스크린층(700)은 터치전극(710)과 대향전극(330) 사이에 정전 용량의 변화가 발생하고, 이를 감지함으로써 해당 부분의 접촉 여부를 판단하는 등 다양한 방식으로 접촉 여부를 판단할 수 있다.The
터치전극(710)은 상기 터치전극(710)에 감지되는 신호를 전달하기 위한 터치 배선(720)과 연결되며, 상기 터치 배선(720)은 상기 봉지층(400) 상부에서부터 상기 봉지층(400)의 일측면을 따라 상기 비표시 영역으로 연장될 수 있다. 터치 배선(720)은 상기 터치스크린층(700)과 연결되며, 상기 봉지층(400)의 상부에서부터 연장되어 벤딩영역(BA)에 적어도 일부 배치될 수 있다. 일부 실시예에서, 터치 배선(720)은 벤딩영역(BA)을 가로질러 배치될 수 있다. 터치 배선(720)은 봉지층(400)의 상부에서부터 봉지층(400)의 일측면을 따라 연장되며, 이 때, 봉지층(400)의 일측면은 굴곡이 구비될 수 있다. 상기 굴곡은 도 2c에서와 같이 평탄화층(140)과 화소정의막(150)이 서로 단차를 형성함으로써 형성될 수 있다. 상기 굴곡에 의해서 터치 배선(720)은 봉지층(400)의 상부로부터 완만한 경사를 가지고 비밀봉 영역까지 연장될 수 있다. The
터치전극(710) 및 터치 배선(720)은 전도성이 좋은 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다. 예를 들면, 터치전극(710) 및 터치 배선(720)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다. 터치전극(710)은 터치 배선(720)과 동일 물질을 포함할 수 있다. The
커버층(730)은 플렉서블한 특성을 갖는 것으로서, 폴리메틸메타아크릴레이트(polymethyl methacrylate), 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane), 폴리이미드(Polyimide), 아크릴레이트(Acrylate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylen terephthalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylen naphthalate) 등으로 형성될 수 있다. 상기 커버층(730)은 터치스크린층(700) 상에 배치되어, 상기 터치스크린층(700)을 보호하는 역할을 할 수 있다. The
봉지층(400)과 터치스크린층(700) 사이에는 터치 버퍼층(610)이 구비될 수 있다. 터치 버퍼층(610)은 봉지층(400)의 손상을 방지하며, 터치스크린층(700)의 구동시 발생할 수 있는 간섭 신호를 차단하기 위한 역할을 할 수 있다. 터치 버퍼층(610)은 실리콘 옥사이드, 실리콘 나이트라이드, 실리콘 옥시나이트라이드, 알루미늄옥사이드, 알루미늄나이트라이드, 티타늄옥사이드 또는 티타늄나이트라이드 등의 무기물이나, 폴리이미드, 폴리에스테르, 아크릴 등의 유기물을 함유할 수 있고, 예시한 재료들 중 복수의 적층체로 형성될 수 있다.A
터치 버퍼층(610)은 봉지층(400) 상에 증착 등에 의해 직접 형성되고, 상기 터치스크린층(700)도 상기 터치 버퍼층(610) 상에 직접 형성되므로, 봉지층(400) 상에 별도의 접착층을 필요로 하지 않는다. 따라서, 디스플레이 장치의 두께가 감소할 수 있다. Since the
비표시 영역은 벤딩영역(BA)을 포함하며, 비표시 영역에는 벤딩영역(BA)를 가로지르는 팬아웃 배선(720a)이 배치된다. 팬아웃 배선(720a)은 표시 영역(DA)에 배치된 박막트랜지스터(210) 또는 디스플레이소자(300)에 전기적 신호를 인가하는 신호 배선(213b, 213c, 215c)과 전기적으로 연결된다. 본 명세서에서 팬아웃 배선(720a)과 신호 배선(213b, 213c, 215c)이 전기적으로 연결된다는 것은 팬아웃 배선(720a)이 도 2c과 같이 컨택홀을 통해 제1 신호 배선(213b)와 직접적으로 연결되는 것 뿐만아니라, 제1 신호 배선(213b)를 통해서 제2 신호 배선(213c) 또는 제3 신호 배선(215c)과 간접적으로 연결되는 것까지 포함한다. The non-display area includes the bending area BA, and the non-display area is provided with the fan-out
제1 신호 배선(213b)은 표시 영역(DA) 내부의 제2 신호 배선(213c) 또는 제3 신호 배선(215c)과 전기적으로 연결될 수 있다. 일부 실시예에서, 제2 신호 배선(213c) 또는 제3 신호 배선(215c) 은 게이트전극(213)에 신호를 인가하는 게이트선일 수 있다. 일부 실시예에서, 제2 신호 배선(213c) 또는 제3 신호 배선(215c)은 소스전극(215a) 또는 드레인전극(215b)에 신호를 인가하는 데이터선일 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 신호 배선(213b)은 비아홀을 통해 제2 신호 배선(213c)과 연결될 수 있다. The
일부 실시예에서, 제1 신호 배선(213b) 및 제2 신호 배선(213c)은 게이트전극(213)과 동일 물질로 구비될 수 있다. 제3 신호 배선(215c)은 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)과 동일 물질로 구비될 수 있다. In some embodiments, the
팬아웃 배선(720a)은 터치 배선(720)과 동일 물질로 구비된다. 팬아웃 배선(720a)은 터치 배선(720)과 동일한 공정 조건에서 동시에 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 Ti/Al/Ti로 구비될 수 있다. The fan-out
일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)은 터치 배선(720)과 동일 물질로 구비되는 반면, 팬아웃 배선(720a)은 신호 배선(213b, 213c, 215c), 소스 전극(215a), 또는 드레인 전극(215b)과 서로 다른 물질로 구비될 수 있다. In some embodiments, the fan-out
일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)은 신호 배선(213b, 213c, 215c), 소스 전극(215a), 또는 드레인 전극(215b)에 포함된 물질과 동일 물질을 포함할 수 있다. In some embodiments, the
팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 약 90도 이하의 저온 성막 공정을 통해서 형성될 수 있다. 이는 이미 형성된 디스플레이소자(300) 등을 보호하기 위한 것일 수 있다. 반면에, 신호 배선(213b, 213c, 215c), 소스 전극(215a), 및 드레인 전극(215b)은 디스플레이소자(300) 또는 봉지층(400) 등이 형성되기 전에 성막하는 것으로 90도 이상, 예를 들어 150도 정도의 고온 성막 공정을 통해서 형성될 수 있다. The fan-out
이에 따라, 팬아웃 배선(720a)이 신호 배선(213b, 213c, 215c), 소스 전극(215a), 또는 드레인 전극(215b)과 동일 물질을 포함하여 형성되는 경우라도, 비저항 값이나 그레인 사이즈가 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 동일 물질로 형성하는 경우, 팬아웃 배선(720a)의 비저항 값은 신호 배선(213b, 213c, 215c)의 비저항 값보다 약 25% 상승한 값을 가질 수 있다. 이 경우, 팬아웃 배선(720a)의 그레인 사이즈는 신호 배선(213b, 213c, 215c)의 그레인 사이즈 보다 작게 형성될 수 있다. Accordingly, even when the fan-out
일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)과 신호 배선(213b, 213c, 215c)의 두께는 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 팬아웃 배선(720a)의 두께는 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)과 동일 물질로 형성되는 제3 신호 배선(215c)의 두께에 비해 작을 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)의 두께는 제3 신호 배선(215c)의 두께의 약 50%일 수 있다.In some embodiments, the thickness of the fan-out
벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)과 기판(100) 사이의 적어도 일부에는 유기물층(160)이 구비된다. 상기 유기물층(160)은 디스플레이 장치를 벤딩할 때, 벤딩영역(BA) 상에 배치된 팬아웃 배선(720a)에 크랙(crack)이 발생하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 유기물층(160)은 기판(100) 등이 벤딩에 의해 발생하는 인장 스크레스를 흡수하여 팬아웃 배선(720a)에 인장 스트레스가 집중되는 것을 효과적으로 최소화할 수 있다.An
유기물층(160)은 평탄화층(140), 화소정의막(150), 봉지층(400)의 유기봉지층(420), 또는 터치 버퍼층(610)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. 즉, 유기물층(160)은 평탄화층(140), 화소정의막(150), 봉지층(400)의 유기봉지층(420), 또는 터치 버퍼층(610)을 형성하는 마스크 공정에서 동시에 형성될 수 있으며, 유기물층(160)을 형성하기 위한 별도의 마스크 공정을 줄일 수 있다. 한편, 버퍼층(110), 게이트절연막(120), 또는 층간절연막(130)도 유기물을 포함할 수 있으며, 이 경우, 유기물층(160)은 상기 버퍼층(110), 게이트절연막(120), 또는 층간절연막(130)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있음은 물론이다.The
만일, 팬아웃 배선(720a)을 신호 배선(213b, 213c, 215c), 소스전극(215a) 또는 드레인전극(215b)과 동시에 형성하는 경우에는 유기물층(160)을 형성하기 위해서 별도의 마스크를 사용하여야 한다. 본 발명의 실시예들에 있어서는 팬아웃 배선(720a)를 터치 배선(720)과 동시에 형성함으로써, 유기물층(160)을 표시 영역(DA)에 배치되는 유기물을 포함하는 층과 동시에 형성하여 마스크 공정을 줄이는 효과가 있다.If the fan-out
한편, 무기물을 포함하는 버퍼층(110), 게이트절연막(120) 및 층간절연막(130)을 통칭하여 무기절연층이라 할 수 있다. 이러한 무기절연층은 도 2c에 도시된 것과 같이 벤딩영역(BA)에 대응하는 개구를 가질 수 있다. 즉, 버퍼층(110), 게이트절연막(120) 및 층간절연막(130) 각각이 벤딩영역(BA)에 대응하는 개구들(110a, 120a, 130a)을 가질 수 있다. 이러한 개구가 벤딩영역(BA)에 대응한다는 것은, 상기 개구가 벤딩영역(BA)과 중첩하는 것으로 이해될 수 있다. 이때 개구의 면적은 벤딩영역(BA)의 면적보다 넓을 수 있다. 이를 위해 도 2c에서는 개구의 폭(OW)이 벤딩영역(BA)의 폭보다 넓은 것으로 도시하고 있다. 여기서 개구의 면적은 버퍼층(110), 게이트절연막(120) 및 층간절연막(130)의 개구들(110a, 120a, 130a) 중 가장 좁은 면적의 개구의 면적으로 정의될 수 있으며, 도 2c에서는 버퍼층(110)의 개구(110a)의 면적에 의해 개구의 면적이 정의되는 것으로 도시하고 있다.On the other hand, the
본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 이러한 무기절연층의 개구의 적어도 일부를 채우는 유기물층(160)을 구비한다. 도 2c에서는 유기물층(160)이 개구를 모두 채우는 것으로 도시하고 있다. 팬아웃 배선(720a)은 제1영역(1A)에서 벤딩영역(BA)을 거쳐 제2영역(2A)으로 연장되며, 유기물층(160) 상에 위치한다. 물론 유기물층(160)이 존재하지 않는 곳에서는 팬아웃 배선(720a)은 층간절연막(130) 등의 무기절연층 상에 위치할 수 있다. The display device according to the present embodiment includes an
무기절연층은 경도가 유기물층(160)보다 높기 때문에 벤딩영역(BA)에서 무기절연층의 크랙이 발생할 확률이 매우 높으며, 무기절연층에 크랙이 발생할 경우, 팬아웃 배선(720a)까지 크랙이 전파될 확률이 높아지게 된다. 물론, 유기물층(160)에 의해서 크랙의 전파를 차단할 수 있으나, 무기 절연층에 개구를 형성함에 따라서 무기절연층에 크랙이 발생하는 확률을 더 낮출 수 있게 된다. 따라서, 팬아웃 배선(720a)에 인장 스트레스가 집중되는 것을 최소화할 수 있다.Since the hardness of the inorganic insulating layer is higher than that of the
한편, 도 2c에 도시된 것과 같이 유기물층(160)이 무기절연층의 개구의 내측면을 덮도록 하는 것을 고려할 수 있다. 디스플레이 장치의 다양한 배선들을 형성하기 위해서는 기판(100)의 전면(全面)에 도전 물질층을 형성한 후 이를 패터닝하여 다양한 배선들을 형성할 수 있다. 만일 유기물층(160)이 버퍼층(110)의 개구(110a)의 내측면이나, 게이트절연막(120)의 개구(120a)의 내측면이나, 층간절연막(130)의 개구(130a)의 내측면을 덮지 않는다면, 도전 물질층을 패터닝하는 과정에서 그 도전성 물질이 버퍼층(110)의 개구(110a)의 내측면이나, 게이트절연막(120)의 개구(120a)의 내측면이나, 층간절연막(130)의 개구(130a)의 내측면에서 제거되지 않고 해당 부분에 잔존할 수 있다. 그러할 경우 잔존하는 도전성 물질은 다른 도전층들 사이의 쇼트를 야기할 수 있다. 따라서 유기물층(160)을 형성할 시 유기물층(160)이 무기절연층의 개구의 내측면을 덮도록 하는 것이 바람직하다. 참고로 도 2c에서는 유기물층(160)이 균일한 두께를 갖는 것으로 도시하였으나 이와 달리 위치에 따라 상이한 두께를 가져, 버퍼층(110)의 개구(110a)의 내측면이나, 게이트절연막(120)의 개구(120a)의 내측면이나, 층간절연막(130)의 개구(130a)의 내측면 근방에서 유기물층(160)의 상면의 굴곡의 경사가 완만해지도록 할 수 있다. On the other hand, it can be considered that the
본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 기판(100)을 보호하는 보호필름(170)을 더 구비할 수 있다. 이 보호필름(170)은 기판(100)의 하면을 보호하는 하부보호필름으로서, 도 2c에 도시된 것과 같이 개구부(170OP)를 가질 수 있다. 이 개구부(170OP)는 벤딩영역(BA)에 대응하는 것으로서, 개구부(170OP)의 면적이 벤딩영역(BA)의 면적보다 더 넓도록 할 수 있다. 도 2c에서는 개구부(170OP)의 폭이 벤딩영역(BA)의 폭보다 더 넓은 것으로 도시하고 있다.The display device according to the present embodiment may further include a protective film 170 for protecting the
보호필름(170)은 기판(100)의 하면을 보호하는 역할을 하기에, 자체적인 강성을 가질 수 있다. 이에 따라 보호필름(170)의 가요성이 낮을 경우, 기판(100)이 벤딩됨에 따라 보호필름(170)과 기판(100) 사이에서 박리가 발생할 수도 있다. 따라서 도 2c에 도시된 것과 같이 보호필름(170)이 벤딩영역(BA)에 대응하는 개구부(170OP)를 갖도록 함으로써, 그러한 박리가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 이를 위해, 전술한 것과 같이 보호필름(170)의 개구부(170OP)의 면적이 벤딩영역(BA)의 면적보다 더 넓도록 하는 것이 바람직하다. 도 2c에 있어서는 벤딩영역(BA)에서 보호필름(170)이 제거된 것으로 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않는다. 보호필름(170)은 벤딩영역(BA)에서 모두 제거되지 않고, 제1영역(1A) 또는 제2영역(2A)에 비해서 얇게 형성되는 등 다양한 변형이 가능하다.The protective film 170 serves to protect the lower surface of the
한편, 표시 영역(DA)의 외측에는 벤딩보호층(600, BPL; bending protection layer)이 위치할 수 있다. 즉, 벤딩보호층(600)이 적어도 벤딩영역(BA)에 대응하여 팬아웃 배선(720a) 상에 위치하도록 할 수 있다.Meanwhile, a bending protection layer (BPL) 600 may be positioned outside the display area DA. That is, the
어떤 적층체를 벤딩할 시 그 적층체 내에는 스트레스 중성 평면(stress neutral plane)이 존재하게 된다. 만일 이 벤딩보호층(600)이 존재하지 않는다면, 기판(100) 등의 벤딩에 따라 벤딩영역(BA) 내에서 팬아웃 배선(720a)에 과도한 인장 스트레스 등이 인가될 수 있다. 이는 팬아웃 배선(720a)의 위치가 스트레스 중성 평면에 대응하지 않을 수 있기 때문이다. 하지만 벤딩보호층(600)이 존재하도록 하고 그 두께 및 모듈러스 등을 조절함으로써, 기판(100), 팬아웃 배선(720a) 및 벤딩보호층(600) 등을 모두 포함하는 적층체에 있어서 스트레스 중성 평면의 위치를 조정할 수 있다. 따라서 벤딩보호층(600)을 통해 스트레스 중성 평면이 팬아웃 배선(720a) 근방에 위치하도록 함으로써, 팬아웃 배선(720a)에 인가되는 인장 스트레스를 최소화할 수 있다.When a laminate is bent, a stress neutral plane exists in the laminate. If the
한편, 도 2c에서는 벤딩보호층(600)의 표시 영역(DA) 방향(-x 방향) 상면이 커버층(730)의 (+z 방향) 상면과 일치하는 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 벤딩보호층(600)의 표시 영역(DA) 방향(-x 방향) 끝단이 커버층(730)의 가장자리 상면의 일부를 덮을 수도 있다. 또는 벤딩보호층(600)의 표시 영역(DA) 방향(-x 방향) 끝단이 커버층(730)과 컨택하지 않을 수도 있으며, 벤딩보호층(600)은 표시 영역(DA)의 상부까지 연장되어 터치 전극(710)을 덮을 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 2C, the upper surface of the
벤딩보호층(600)은 액상 또는 페이스트 형태의 물질을 도포하고 이를 경화시킴으로써 형성될 수 있다. 이 경우, 경화 과정에서 벤딩보호층(600)의 부피가 줄어들 수 있다. 이때 벤딩보호층(600)의 표시 영역(DA) 방향(-x 방향)의 부분이 커버층(730)과 컨택하고 있을 경우 벤딩보호층(600)의 해당 부분의 위치가 고정되기에, 벤딩보호층(600)의 잔여 부분에서 부피 감소가 발생하게 된다. 그 결과, 벤딩보호층(600)의 표시 영역(DA) 방향(-x 방향)의 부분의 두께가 벤딩보호층(600)의 다른 부분의 두께보다 두껍게 될 수 있다.The
벤딩보호층(600)은 제2영역(2A)의 단자(21, 도 2b 참조)를 노출시킬 수 있다. 이는 제2영역(2A)에 있어서, 단자(21)는 각종 전자소자나 인쇄회로기판 등의 제어부와의 연결을 위한 것일 수 있다. The
도 3a는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 3a를 참조하면, 커버층(730)은 터치스크린층(700)의 상부에서부터 비표시 영역으로 연장되어 팬아웃 배선(720a)을 덮을 수 있다. 이에 따라, 커버층(730)은 상기 터치스크린층(700)과 동시에 팬아웃 배선(720a)을 보호하는 역할을 할 수 있다. 도 3a에 도시 된 것과 같이 커버층(730)은 표시 영역(DA)에서 적어도 벤딩영역(BA)까지 일체(一體)로 연장되어 구비될 수 있다. 이 경우, 커버층(730)은 벤딩보호층(600, 도 2c 참조)으로 기능할 수 있다. 즉, 커버층(730)은 벤딩영역(BA)에서 스트레스 중성 평면의 위치를 조정할 수 있다. 커버층(730)을 통해 스트레스 중성 평면이 팬아웃 배선(720a) 근방에 위치하도록 함으로써, 팬아웃 배선(720a)에 인가되는 인장 스트레스를 최소화할 수 있다.3A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3A, the
도 3b는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 3b를 참조하면, 커버층(730)은 터치스크린층(700)의 상부에서부터 비표시 영역으로 연장되어 팬아웃 배선(720a)을 덮을 수 있다. 즉, 커버층(730)은 표시 영역(DA)에서 적어도 벤딩영역(BA)까지 일체(一體)로 연장되어 구비될 수 있다. 또한, 비표시 영역에서 커버층(730) 상부에는 벤딩보호층(600)이 더 구비될 수 있다. 벤딩보호층(600)은 전술한 바와 같이, 스트레스 중성 평면을 팬아웃 배선(720a) 근방에 위치하도록 함으로써, 팬아웃 배선(720a)에 인가되는 인장 스트레스를 최소화하기 위해 도입된 것일 수 있다.3B is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3B, the
후술할 실시예들의 도면에 있어서, 커버층(730)이 벤딩영역(BA)까지 연장된 경우에 대해서 도시하고 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않는다. 전술한 바와 같이, 벤딩영역(BA)에는 커버층(730) 대신 벤딩보호층(600)이 배치될 수 있으며, 커버층(730) 및 벤딩보호층(600)이 동시에 배치되거나, 모두 배치되지 않을 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.In the drawings of the embodiments to be described later, the
도 4a는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 4a를 참조하면, 터치전극(710)은 제1 터치 도전층(711), 제1 절연층(712), 제2 터치 도전층(713), 제2 절연층(714)이 순차 적층되고, 상기 제1 터치 도전층(711)과 제2 터치 도전층(713)은 전기적으로 연결된 구조를 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 절연층(712)은 상기 제1 터치 도전층(711)의 상면을 노출 시키는 비아홀을 포함하고, 상기 비아홀을 통해서 제1 터치 도전층(711)과 상기 제2 터치 도전층(713)이 연결될 수 있다. 4A is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. 4A, the
이와 같이 제1 터치 도전층(711)과 제2 터치 도전층(713)을 사용함에 따라서, 터치전극(710)의 저항이 감소하여, 터치스크린층(700)의 응답 속도가 향상될 수 있다. The use of the first touch
일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 제1 터치 도전층(711) 또는 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비될 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 제1 터치 도전층(711)과 동일 물질로 구비된 제1층 및 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조로 구비될 수 있다. In some embodiments, the fan-out
제1 터치 도전층(711) 및 제2 터치 도전층(713)은 각각 전도성이 좋은 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다. 예를들어, 제1 터치 도전층(711) 및 제2 터치 도전층(713)은 각각 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질로 이루어진 단일막 또는 다층막일 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 터치 도전층(711) 및 제2 터치 도전층(713)은 각각 Ti/Al/Ti의 적층 구조를 가질 수 있다. The first touch
제1 절연층(712)은 무기물 또는 유기물로 구비될 수 있다.상기 무기물은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 또는 실리콘 산화질화물 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 상기 유기물은 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지,폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지 및 페릴렌계 수지 중 적어도 어느 하나일 수 있다. The first insulating
제2 절연층(714)은 유기물로 형성될 수 있다. 제2 절연층(714)는 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지 및 페릴렌계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The second
이 경우, 유기물층(160)은 유기물층(160)은 제1 절연층(712) 또는 제2 절연층(714)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. In this case, the
지금까지 유기물층(160)이 평탄화층(140), 화소정의막(150), 봉지층(400)의 유기봉지층(420), 터치 버퍼층(610), 제1 절연층(712), 또는 제2 절연층(714)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있음을 설명하였다. 하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 유기물층(160)은 평탄화층(140), 화소정의막(150), 봉지층(400)의 유기봉지층(420), 터치 버퍼층(610), 제1 절연층(712), 또는 제2 절연층(714)을 형성하는 공정과 별도의 공정으로 형성될 수 있다.The
또한, 버퍼막(110), 게이트절연막(120), 및/또는 층간절연막(130)은 유기물로 구비될 수 있으며, 이 경우, 유기물층(160)은 버퍼막(110), 게이트절연막(120) 또는 층간절연막(130)과 동일 물질로 형성될 수 있다.The
도 4b 및 도 4c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치가 전술한 실시예에 따른 디스플레이 장치와 상이한 점은, 팬아웃 배선(720a) 하부에 추가도전층(215d)를 더 구비한다는 점이다. 전술한 것과 같이, 팬아웃 배선(720a)이 터치 배선(720)과 동일 물질로 동시에 형성된다면, 추가도전층(215d)은 소스전극(215a)이나 드레인전극(215b)와 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. 이러한 추가도전층(215d)은 팬아웃 배선(720a)에 전기적으로 연결되도록, 적어도 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a) 하부에 위치할 수 있다.4B and 4C are cross-sectional views schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. The display device according to the present embodiment is different from the display device according to the above-described embodiment in that it further includes an additional
이와 같은 본 실시예에 따른 디스플레이 장치의 경우 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)과 추가도전층(215d)이 존재하기에, 벤딩영역(BA)에서의 도전층은 다층구조를 갖게 된다. 따라서, 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)에 크랙 등에 의한 불량이 발생한다 하더라도, 추가도전층(215d)에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달되도록 할 수 있다. 또는, 추가도전층(215d)에 크랙 등에 의한 불량이 발생하더라도, 팬아웃 배선(720a)에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달될 수 있음은 물론이다.In the display device according to this embodiment, since the fan-out
본 실시예에 있어서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 도 4b와 같이 제1 터치 도전층(711)과 동일 물질로 구비되거나 도 4c와 같이 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비될 수 있다. 4B, the fan-out
도 4d는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치가 도 4b를 참조하여 전술한 실시예에 따른 디스플레이 장치와 상이한 점은, 팬아웃 배선(720a)이 제1 터치 도전층(711)과 동일 물질로 구비된 제1층(721a) 및 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비된 제2층(723a)이 적층된 구조로 구비된다는 점이다. 4D is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. The display device according to this embodiment is different from the display device according to the above-described embodiment with reference to FIG. 4B in that the fan-out
본 실시예에 있어서, 터치 배선(720)도 제1 터치 도전층(711)과 동일 물질로 구비된 제1배선층(721) 및 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비된 제2배선층(723)이 적층된 구조로 구비될 수 있다.In this embodiment, the
이와 같은 본 실시예에 따른 디스플레이 장치의 경우 벤딩영역(BA)에서 도전층이 다층구조를 갖는 바, 한 층의 도전층에 크랙이 발생한다고 하더라도 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달될 수 있다.In the display device according to this embodiment, since the conductive layer has a multilayer structure in the bending area BA, even if a crack occurs in one conductive layer, the electric signal is transmitted to the display area DA without any problem .
도 4e는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 4e를 참조하면, 팬아웃 배선(720a)의 하부에 추가도전층(215d)이 배치하고 있다. 추가도전층(215d)은 신호배선(213b)가 벤딩영역(BA)을 거쳐 연장된 것일 수 있다. 즉, 추가도전층(215d)은 게이트전극(213)과 동일한 물질로 구비될 수 있다. 본 실시예에 있어서, 추가도전층(215d)은 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)와 직접적으로 컨택하여 다층구조를 이루고 있다. 4E is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4E, an additional
이와 같은 본 실시예에 따른 디스플레이 장치의 경우 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)과 추가도전층(215d)이 존재하기에, 벤딩영역(BA)에서의 도전층은 다층구조를 갖게 된다. 따라서, 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)에 크랙 등에 의한 불량이 발생한다 하더라도, 추가도전층(215d)에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달되도록 할 수 있다. 또는, 추가도전층(215d)에 크랙 등에 의한 불량이 발생하더라도, 팬아웃 배선(720a)에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달될 수 있음은 물론이다.In the display device according to this embodiment, since the fan-out
전술한 바와 같이, 팬아웃 배선(720a)은 제1 터치 도전층(711) 또는 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비될 수 있다. 또한, 팬아웃 배선(720a)은 제1 터치 도전층(711)과 동일 물질로 구비된 제1층 및 제2 터치 도전층(713)과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조로 구비될 수 있다. As described above, the fan-out
도 4f 및 도 4g는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 4F and 4G are cross-sectional views schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention.
도 4f를 참조하면, 본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a) 하부에 추가도전층(215d)을 구비하며, 팬아웃 배선(720a)과 추가도전층(215d) 사이에 절연층(180)을 구비한다. Referring to FIG. 4F, the display device according to the present embodiment includes an additional
전술한 것과 같이, 팬아웃 배선(720a)이 터치 배선(720)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있으며, 추가도전층(215d)은 소스전극(215a), 드레인전극(215b), 또는 게이트전극(213)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. 이러한 추가도전층(215d)은 팬아웃 배선(720a)에 전기적으로 연결되도록 절연층(180)에 구비된 비아홀을 통해서 연결될 수 있다, 상기 비아홀은 제1영역(1A) 및/또는 제2영역(2A)에 배치될 수 있다. The
추가도전층(215d) 및 팬아웃 배선(720a)는 전술한 실시예들과 같이, 벤딩영역(BA)에 걸쳐 모두 배치되거나, 일부 영역에서만 중첩되어 배치될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.The additional
절연층(180)은 유기물 또는 무기물로 구비될 수 있다. 절연층(180)은 평탄화막(140), 화소정의막(150), 봉지층(400)의 무기봉지층(410, 430), 유기봉지층(420), 터치버퍼층(610) 등과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. The insulating
도 4g를 참조하면, 벤딩영역(BA)에서 추가도전층(215d)은 벤딩영역(BA)의 일부에만 존재할 수 있다. 예컨대, 추가도전층(215d)은 벤딩영역(BA)의 양끝단에 존재하여 팬아웃 배선(720a)과 접촉될 수 있다. 또는, 추가도전층(215d)은 벤딩영역(BA)의 한 끝단에만 존재할 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.Referring to FIG. 4G, the additional
도 4h를 참조하면, 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)은 벤딩영역(BA)의 일부에만 존재할 수 있다. 예컨대, 팬아웃 배선(720a)은 벤딩영역(BA)의 양끝단에 존재하여 추가도전층(215d)과 접촉될 수 있다. 또는, 팬아웃 배선(720a)는 벤딩영역(BA)의 한 끝단에만 존재할 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.Referring to FIG. 4H, the fan-out
도 4i는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시예에 따른 디스플레이 장치는 표시영역(DA)에 박막트랜지스터(210) 외에 박막트랜지스터(210')도 구비한다. 박막트랜지스터(210')는 반도체층(211'), 소스전극(215a'), 드레인전극(215b') 및 게이트전극(213')을 구비한다. 이때 반도체층(211')은 반도체층(211)과 동일 물질을 포함하며 동일층에 위치할 수 있고, 소스전극(215a')과 드레인전극(215b') 역시 소스전극(215a)과 드레인전극(215b)과 동일 물질을 포함하며 동일층에 위치할 수 있다. 그러나 게이트전극(213')은 게이트전극(213)과 상이한 층에 위치할 수 있다. 게이트전극(213')과 게이트전극(213)이 상이한 층에 위치한다는 것은 게이트전극(213')과 게이트전극(213)은 동시에 형성되지 않고, 서로 다른 공정 단계에 의해서 형성되는 것을 의미할 수 있다. 4I is a cross-sectional view schematically showing a part of a display device according to another embodiment of the present invention. The display device according to the present embodiment includes a thin film transistor 210 'in addition to the
구체적으로, 게이트절연막(120) 상에는 게이트절연막(120')이 위치하며, 소스전극(215a), 드레인전극(215b), 소스전극(215a') 및 드레인전극(215b')은 게이트절연막(120')을 덮는 층간절연막(130) 상에 위치할 수 있다. 그리고 게이트전극(213)은 게이트절연막(120) 상에 위치하고, 게이트절연막(120')은 게이트전극(213)을 덮으며, 게이트전극(213')은 게이트절연막(120') 상에 위치할 수 있다. The
한편, 일부 실시예에 있어서, 게이트전극(213')과 동일층에 배치되는 배선 및/또는 게이트전극(213')과 동일층에 배치되는 커패시터(미도시)의 전극이 추가로 배치될 수 있다. 또한, 이 경우 박막트랜지스터(210')는 생략될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.In some embodiments, an electrode of a capacitor (not shown) disposed on the same layer as the wiring and / or the gate electrode 213 'disposed on the same layer as the gate electrode 213' may be further disposed . In this case, the thin film transistor 210 'may be omitted, and various modifications are possible.
본 실시예에 있어서, 디스플레이 장치는 벤딩영역(BA)에 제1추가도전층(215d') 및/또는 제2추가도전층(215d'')을 더 구비할 수 있다. 제1추가도전층(215d')은 게이트전극(213)과 동일 물질로 동일한 층에 배치될 수 있으며, 제2추가도전층(215d'')은 게이트전극(213')과 동일 물질로 동일한 층에 배치될 수 있다. In this embodiment, the display device may further include a first additional
제1추가도전층(215d') 및/또는 제2추가도전층(215d'')은 벤딩영역(BA)을 거쳐 연장되면서 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)의 하부에 배치될 수 있다. 도 4i에 있어서, 벤딩영역(BA)에서 제1추가도전층(215d'), 제2추가도전층(215d''), 및 팬아웃 배선(720a)가 순차적으로 적층되어 다층구조를 이루고 있다. 이에 따라, 따라서, 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)에 크랙 등에 의한 불량이 발생한다 하더라도, 제1추가도전층(215d') 및/또는 제2추가도전층(215d'')에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달되도록 할 수 있다. 또는, 제1추가도전층(215d') 및/또는 제2추가도전층(215d'')에 크랙 등에 의한 불량이 발생하더라도, 팬아웃 배선(720a)에 의해 전기적 신호가 문제없이 표시 영역(DA)으로 전달될 수 있음은 물론이다.The first additional
그러나, 본 발명의 실시예는 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 제1추가도전층(215d'), 제2추가도전층(215d'') 및/또는 팬아웃 배선(720a)은 전술한 실시예들과 같이, 벤딩영역(BA)에 걸쳐 모두 배치되거나, 일부 영역에서만 중첩되어 배치될 수 있다.However, the embodiment of the present invention is not limited to this. For example, the first additional
일부 실시예에서, 벤딩영역(BA)에서 일부영역은 제1추가도전층(215d')과 팬아웃 배선(720a)이 중첩되어 형성되고, 일부 영역은 제2추가도전층(215d'')과 팬아웃 배선(720a)이 중첩되어 배치될 수 있다. 또는, 일부 벤딩영역(BA)에서는 팬아웃 배선(720a)와 중첩되지 않고 제1추가도전층(215d') 및/또는 제2추가도전층(215d'')만 배치될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다. In some embodiments, some regions of the bending region BA are formed by overlapping the first additional
한편, 제1추가도전층(215d'), 제2추가도전층(215d'') 및 팬아웃 배선(720a)의 각 층 사이에는 절연층(180, 도 4h 참조)이 배치될 수도 있다.도 5a 내지 도 5i는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 디스플레이 장치의 일부분을 도시하는 단면도이다. 구체적으로 벤딩영역(BA) 근방을 개략적으로 도시하는 단면도이다. An insulating layer 180 (see FIG. 4H) may be disposed between the respective layers of the first additional
도 5a를 참조하면, 무기절연층의 개구에 배치된 유기물층(160)의 적어도 일부의 높이(h1)은 상기 무기절연층의 높이(h2) 보다 높게 형성될 수 있다. 도 5a에 도시된 것과 같이, 유기물층(160)은 개구의 중앙부분의 높이가 개구의 양끝보다 더 높게 형성될 수 있다. 상기 유기물층(160)은 상기 개구의 내측면을 덮어, 개구의 내측면에 잔존할 수 있는 도전성 물질과 팬아웃 배선(720a)과의 쇼트를 방지할 수 있다. Referring to FIG. 5A, the height h1 of at least a part of the
도 5b를 참조하면, 무기절연층의 개구에 배치된 유기물층(160)의 높이 (h1)은 상기 무기절연층의 높이(h2)와 실질적으로 동일한 레벨을 가질 수 있다. 이 경우에도, 유기물층(160)은 상기 개구의 내측면을 덮어, 개구의 내측면에 잔존할 수 있는 도전성 물질과 팬아웃 배선(720a)과의 쇼트를 방지할 수 있다. 유기물층(160)의 높이(h1)는 벤딩에 따른 인장 스트레스를 고려하여 다양한 변형이 가능할 수 있다. Referring to FIG. 5B, the height h1 of the
도 5c를 참조하면, 무기절연층의 개구에 배치된 유기물층(160)의 (+z 방향의) 상면의 적어도 일부는 요철면을 가질 수 있다. 이에 따라, 유기물층(160)의 상면의 표면적과 개구 내에서의 팬아웃 배선(720a)의 상하면의 표면적이 넓어지게 된다. 유기물층(160)의 상면에 있어서 그리고 팬아웃 배선(720a)의 상하면에 있어서 표면적이 넓다는 것은, 기판(100) 등의 벤딩에 의한 인장 스트레스를 줄이기 위해 그 형상이 변형될 수 있는 여유가 많아진다는 것을 의미한다.Referring to FIG. 5C, at least a part of the upper surface (in the + z direction) of the
참고로 팬아웃 배선(720a)이 유기물층(160) 상에 위치하기에, 팬아웃 배선(720a)의 하면은 유기물층(160)의 요철면(160a)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. The bottom surface of the fan-out
유기물층(160)의 (+z 방향의) 상면의 요철면(160a)은 다양한 방법을 통해 형성할 수 있다. 예컨대 유기물층(160)을 형성할 시 감광성 물질을 이용하고, 제조 과정에서 아직 상면이 대략 평탄한 상태의 유기물층(160)의 여러 부분들에 있어서 슬릿마스크나 하프톤마스크 등을 이용해 노광량을 달리함으로써, 특정 부분이 다른 부분보다 상대적으로 더 많이 식각되도록(제거되도록) 할 수 있다. 여기서 더 많이 식각되는 부분이 유기물층(160)의 상면에 있어서 오목하게 들어간 부분으로 이해될 수 있다. 물론 본 실시예에 따른 디스플레이 장치를 제조할 시 사용되는 방법이 이와 같은 방법에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 상면이 대략 평탄한 상태의 유기물층(160)을 형성한 후 특정 부분만 건식식각 등의 방법으로 제거할 수도 있는 등, 다양한 방법을 이용할 수 있다. The
도 5d를 참조하면, 유기물층(160)은 상기 개구의 내측면을 덮으며, 상기 무기절연층의 상면의 일부까지 연장될 수 있다. 일부 실시예에서, 유기물층(160)은 상기 개구의 중앙부분의 적어도 일부에는 배치되지 않을 수 있다. 유기물층(160)이 상기 개구의 내측면을 덮어, 개구의 내측면에 잔존할 수 있는 도전성 물질과 팬아웃 배선(720a)과의 쇼트를 방지할 수 있다. 본 실시예에 있어서는, 밴딩영역(BA)에 무기절연층이 존재하고 있지 않은 바, 팬아웃 배선(720a)에 크랙이 전달될 확률이 적어질 수 있다.Referring to FIG. 5D, the
도 5e를 참조하면, 무기절연층은 벤딩영역(BA)에서 기판(100)을 노출하는 개구를 형성하지 않고, 그루브(groove)를 형성할 수 있다. 다시 말하면, 무기절연층은 벤딩영역(BA)에서 버퍼층(110), 게이트절연막(120), 및 층간절연막(130) 중 일부만 제거된 구조를 가질 수 있다. 예컨대 버퍼층(110)은 제1영역(1A), 벤딩영역(BA) 및 제2영역(2A)에 걸쳐서 연속적일 수 있다. 그리고 게이트절연막(120)은 벤딩영역(BA)에 대응하는 개구(120a)를 갖고, 층간절연막(130) 역시 벤딩영역(BA)에 대응하는 개구(130a)를 가질 수 있다. 이에 따라 버퍼층(110), 게이트절연막(120) 및 층간절연막(130)을 포함하는 무기절연층은 벤딩영역(BA)에 대응하는 그루브를 갖는 것으로 이해될 수 있다. 물론 무기절연층은 이와 상이한 다양한 형태의 그루브를 포함할 수도 있다. 예컨대 버퍼층(110)의 (+z 방향) 상면의 일부도 제거될 수도 있으며, 이와 달리 게이트절연막(120)의 (-z 방향) 하면은 제거되지 않고 잔존할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.Referring to FIG. 5E, the inorganic insulating layer may form a groove without forming an opening exposing the
이와 같은 본 실시예에 따른 디스플레이 장치에 있어서, 유기물층(160)은 상기 그루브의 적어도 일부를 채울 수 있다. 무기절연층에 그루브를 형성한다는 것은 무기절연층의 크랙 발생확률을 낮추는 것을 의미할 수 있으며, 이에 따라 팬아웃 배선(720a)까지 크랙이 전파될 확률을 낮출 수 있는 것을 의미한다. 물론, 유기물층(160)에 의해서 크랙의 전파를 차단할 수 있으나, 무기 절연층에 그루브를 형성함에 따라서 무기절연층에 크랙이 발생하는 확률을 더 낮출 수 있게 된다. 따라서, 팬아웃 배선(720a)에 인장 스트레스가 집중되는 것을 최소화할 수 있다.In the display device according to this embodiment, the
도 5f를 참조하면, 무기절연층은 벤딩영역(BA)에서 개구 또는 그루브를 형성하지 않고,유기물층(160)은 무기절연층 상에 배치될 수 있다. 즉, 무기절연층은 벤딩영역에서 개구를 형성하지 않을 수 있다. 유기물층(160)은 무기절연층이 받는 인장 스트레스를 흡수하여 팬아웃 배선(720a)에 전달되는 인장 스트레스를 최소화할 수 있다. 유기물층(160)의 높이는 다양한 변형이 가능하다.Referring to FIG. 5F, the inorganic insulating layer does not form an opening or a groove in the bending area BA, and the
도 5g를 참조하면, 무기절연층은 벤딩영역에서 개구 또는 그루브를 형성하지 않고, 유기물층(160)은 무기절연층 상에 배치될 수 있다. 또한, 유기물층(160)의 (+z 방향의) 상면의 적어도 일부는 요철면을 가질 수 있다. 이에 따라, 유기물층(160)의 상면의 표면적과 개구 내에서의 팬아웃 배선(720a)의 상하면의 표면적이 넓어지게 된다. 유기물층(160)의 상면에 있어서 그리고 제1도전층(215c)의 상하면에 있어서 표면적이 넓다는 것은, 기판(100) 등의 벤딩에 의한 인장 스트레스를 줄이기 위해 그 형상이 변형될 수 있는 여유가 많아진다는 것을 의미한다.Referring to FIG. 5G, the inorganic insulating layer does not form an opening or a groove in the bending region, and the
도 5h를 참조하면, 벤딩영역(BA)에서 버퍼막(110), 게이트절연막(120), 또는 층간절연막(130)이 요철면를 가질 수 있다. 도 5h에 있어서는 층간절연막(130)이 요철면(130a)를 갖는 것을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 벤딩영역(BA)에서 존재하는 버퍼막(110), 게이트절연막(120), 층간절연막(130), 또는 그 외에 존재하는 절연막 중 적어도 하나가 요철면을 가질 수 있다.Referring to FIG. 5H, the
한편, 도 5h에 도시된 것과 같이 층간절연막(130)이 요철면(130a)을 가짐에 따라, 층간절연막(130) 상에 위치하는 유기물층(160) 및 팬아웃 배선(720a)는 그 상면 및/또는 하면이 층간절연막(130)의 요철면(130a)에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 일부 실시예에 있어서, 유기물층(160)은 생략될 수 있다. 유기물층(160)이 생략되더라도, 팬아웃 배선(720a)이 요철 형상을 가짐에 따라, 인장 스트레스의 양을 최소화할 수 있다.전술한 것과 같이 제조 과정에서 기판(100) 등을 벤딩영역(BA)에서 벤딩함에 따라 팬아웃 배선(720a)에 인장 스트레스가 인가될 수 있는 바, 팬아웃 배선(720a)의 상면 및/또는 하면이 요철면(130a)에 대응하는 형상을 갖도록 함으로써, 팬아웃 배선(720a)에 인가되는 인장 스트레스의 양을 최소화할 수 있다. 5H, the
도 5i를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치는 유기물층(160) 대신 무기물층(160')이 벤딩영역(BA)에서 팬아웃 배선(720a)과 기판(100) 사이에 배치될 수 있다. 무기물층(160')이 적용된 경우, 무기물층(160')은 제1무기봉지층(410), 제2무기봉지층(430), 터치 버퍼막(610), 제1 절연층(712), 또는 제2 절연층(714)과 동일한 물질로 구비될 수 있다. 물론, 평탄화막(140) 또는 화소정의막(150)이 무기물로 형성된 경우라면, 무기물층(160')은 평탄화막(140) 또는 화소정의막(150)과 동일한 물질로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 5I, a display device according to an embodiment of the present invention includes an inorganic layer 160 'instead of the
무기물층(160')의 (+z 방향의) 상면의 적어도 일부는 요철면(160'a)을 가질 수 있다. 이에 따라, 무기물층(160')의 상면의 표면적과 개구 내에서의 팬아웃 배선(720a)의 상하면의 표면적이 넓어지게 된다. 무기물층(160')의 상면에 있어서 그리고 팬아웃 배선(720a)의 상하면에 있어서 표면적이 넓다는 것은, 기판(100) 등의 벤딩에 의한 인장 스트레스를 줄이기 위해 그 형상이 변형될 수 있는 여유가 많아진다는 것을 의미한다.At least a portion of the upper surface (in the + z direction) of the inorganic layer 160 'may have an uneven surface 160'a. Accordingly, the surface area of the upper surface of the inorganic layer 160 'and the surface area of the upper and lower surfaces of the fan-out
지금까지 설명한 실시예들에 있어서, 요철면(160a)은 돌출면이 일정한 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a)은 제2방향(+x 방향)으로 연장되고, 요철면(160a)의 돌출면은 제1방향(+y 방향)으로 연장되어, 팬아웃 배선(720a)와 요철면(160a)의 돌출면은 서로 교차할 수 있다. 그 교차각은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부분을 개념적으로 도시하는 평면도인 도 5j에 도시된 것과 같이 90도일 수도 있고, 도 5k에 도시된 것과 같이 90도가 아닌 각도일 수도 있다. 참고로 도 5j와 도 5k에서 참조번호 GD는 유기물층(160)의 상면의 요철면(160a)의 돌출면이 연장된 방향을 의미한다. 도 5j에서는 도 5k와 비교할 시 유기물층(160)의 상면의 요철면(160a)의 돌출면이 연장된 방향이 제2방향(+x 방향)에 대해 기울어진 것으로 도시하고 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 5k에 도시된 것과 같이 유기물층(160)의 상면의 요철면(160a)이 연장된 방향은 제1방향(+y 방향)이고, 팬아웃 배선(720a)의 연장 방향이 제2방향(+x 방향)이 아닌 제2방향(+x 방향)에 대해 기울어진 방향(예컨대 제2방향(+x 방향)에 대해 45도의 각도를 이루는 방향)일 수도 있다. 물론 복수개의 팬아웃 배선(720a)들이 존재할 경우, 복수개의 팬아웃 배선(720a)들 중 일부가 제2방향(+x 방향)에 대해 이루는 각도가 다른 일부가 제2방향(+x 방향)에 대해 이루는 각도와 상이할 수도 있다.In the embodiments described so far, the
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예들에 따른 디스플레이 장치의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 구체적으로 팬아웃 배선(720a)의 끝단 근방을 개략적으로 도시하는 단면도이다.6A and 6B are cross-sectional views schematically showing a part of a display device according to embodiments of the present invention. Specifically, a cross-sectional view schematically showing the vicinity of the end of the fan-out
도 6a를 참조하면, 팬아웃 배선(720a)의 끝단에는 구동회로부(800)가 장착될 수 있다. 구동회로부(800)는 팬아웃 배선(720a)를 통해 신호 배선(213b, 213c, 215c)과 전기적으로 연결되어 표시 영역(DA)에 구동 신호를 제공한다. 상기 구동 신호는 구동 전압, 게이트 신호, 데이터 신호 등 디스플레이 장치를 구동하는 다양한 신호를 의미한다.Referring to FIG. 6A, a driving
도 6b를 참조하면, 팬아웃 배선(720a)은 제2영역(2A)에서 하부 팬아웃 배선(213d)과 연결될 수 있다. 하부 팬아웃 배선(213d)는 게이트절연막(120) 상에 배치될 수 있으며, 게이트전극(213)과 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다. 팬아웃 배선(720a)는 하부 팬아웃 배선(213d)와 컨택홀을 통해서 연결될 수 있다. 하부 팬아웃 배선(213d)의 끝단에는 상부 팬아웃 배선(215d)이 추가도 배치될 수 있다. 상부 팬아웃 배선(215d)은 소스전극(215a) 또는 드레인전그(215b)와 동일 물질로 동시에 형성될 수 있으며, 또는 팬아웃 배선(720a)와 동일 물질로 동시에 형성될 수 있다.Referring to FIG. 6B, the fan-out
여기서, 하부 팬아웃 배선(213d) 또는 상부 팬아웃 배선(215e)은 생략될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다. Here, the lower fan-out wiring 213d or the upper fan-out wiring 215e can be omitted, and various modifications are possible.
상부 팬아웃 배선(215e) 또는 하부 팬아웃 배선(213d)의 끝단에는 구동회로부(800)가 장착될 수 있다. 구동회로부(800)는 상부 팬아웃 배선(215e) 또는 하부 팬아웃 배선(213d) 및 팬아웃 배선(720a)를 통해 신호 배선(213b, 213c, 215c)과 전기적으로 연결되어 표시 영역(DA)에 구동 신호를 제공한다. 상기 구동 신호는 구동 전압, 게이트 신호, 데이터 신호 등 디스플레이 장치를 구동하는 다양한 신호를 의미한다.
The driving
도 7a 내지 도 7i는 본 발명의 실시예들에 따라 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다. 본 예에서는 도 2c에서 개시한 디스플레이 장치의 제조 공정을 예시한다.7A to 7I are sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a display device according to embodiments of the present invention. In this example, the manufacturing process of the display device disclosed in Fig. 2C is illustrated.
도 7a를 참조하면, 기판(100) 상에 버퍼층(111) 및 반도체 물질층을 순차 적층한 후, 반도체 물질층을 패터닝하여 반도체층(211)을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 7A, a buffer layer 111 and a semiconductor material layer may be sequentially formed on a
기판(100)은 플렉서블 또는 벤더블 특성을 갖는 다양한 물질을 포함할 수 있는데, 예컨대 폴리에테르술폰(polyethersulphone, PES), 폴리아크릴레이트(polyacrylate, PAR), 폴리에테르 이미드(polyetherimide, PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyeleneterepthalate, PET), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide, PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate, CAP)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.The
먼저, 기판(100) 상에 전면(全面)적으로 버퍼층(111) 및 반도체 물질을 증착한다. 버퍼층(111)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 반도체 물질층은 비정질 실리콘, 결정질 실리콘, 또는 유기반도체물질 등을 포함하는 반도체로 형성될 수 있다. 버퍼층(111) 및 반도체 물질층은 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있다.First, a buffer layer 111 and a semiconductor material are deposited on the entire surface of the
그 후, 반도체 물질층 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 반도체 물질층을 패터닝함으로써 반도체층(211)을 형성할 수 있다. Thereafter, a photoresist pattern is formed on the semiconductor material layer using a mask, and then the
도 7b를 참조하면, 기판(100) 전면(全面)에 반도체층(211)을 덮는 게이트절연막(120)을 형성한 후, 게이트절연막(120) 상에 제1 도전 물질층을 증착한다. 상기 제1 도전 물질층 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 제1 도전 물질층을 패터닝함으로써 게이트전극(213), 제1 신호배선(213b) 및 제2 신호배선(213c)를 형성할 수 있다. 게이트전극(213)은 상기 반도체층(211)과 중첩되어 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7B, a
게이트절연막(120)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함할 수 있으며, 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있다.The
상기 제1 도전 물질층은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 도전 물질층은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함할 수 있다. 제1 도전 물질층은 단일막 또는 다층막일 수 있다.The first conductive material layer may be formed of a low resistance metal material. For example, the first conductive material layer may include molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu), and / or titanium (Ti) The first conductive material layer may be a single film or a multilayer film.
상기 제1 도전 물질층은 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있으며, 상기 제1 도전 물질층은 90도 이상, 예를 들면, 150도 정도의 고온에서 증착하여 도전성을 향상시키고 비저항 값을 낮출 수 있다.The first conductive material layer may be deposited by various deposition methods, and the first conductive material layer may be deposited at a high temperature of about 90 degrees or more, for example, about 150 degrees to improve conductivity and lower the resistivity value .
게이트전극(213), 제1 신호배선(213b) 및 제2 신호배선(213c)를 형성한 후에, 상기 게이트전극(213), 제1 신호배선(213b) 및 제2 신호배선(213c)을 덮는 층간절연막(130)을 형성한다. 층간절연막(130)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함할 수 있으며, 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있다.After forming the
그 후, 층간절연막(130) 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 층간절연막(130) 및 게이트절연막(120)을 동시에 식각하여, 반도체층(211)을 노출하는 컨택홀(C1, C2), 제1 신호배선(213b)를 노출하는 컨택홀(C3), 비표시 영역의 층간절연막(130)의 개구(130a),및 게이트절연막(120)의 개구(120a)를 형성할 수 있다. 상기 층간절연막(130)의 개구(130a),및 게이트절연막(120)의 개구(120a)는 경우에 따라서 형성하지 않을 수 있다. Thereafter, a photoresist pattern is formed on the
그 다음, 도 7c와 같이 층간절연막(130)의 개구(130a),및 게이트절연막(120)의 개구(120a) 내부에 버퍼층(110)의 개구(110a)를 형성한다. 버퍼층(110)의 개구(110a)는 상기 층간절연막(130)의 개구(130a),및 게이트절연막(120)의 개구(120a)와는 별도의 마스크에 의해서 수행될 수 있다. 버퍼층(110)의 개구(110a)를 상기 층간절연막(130)의 개구(130a),및 게이트절연막(120)의 개구(120a)와 동시에 형성하는 경우, 상기 반도체층(211) 등에 데미지를 입힐 수 있기 때문이다.7C, an
도 7d를 참고하면, 층간절연막(130) 상에 제2 도전 물질층을 증착하고, 상기 제2 도전 물질층 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 제2 도전 물질을 패터닝함으로써 소스전극(215a), 드레인전극(215b), 및 제3 신호 배선(215c)을 형성할 수 있다. 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)은 각각 반도체층(211)을 노출하는 컨택홀(C1, C2)을 통해 반도체층(211)의 소스영역과 드레인영역과 연결될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 소스영역 및 드레인영역은 도핑에 의해서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7D, a second conductive material layer is deposited on the
상기 제2 도전 물질층은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 도전 물질층은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함할 수 있다. 제2 도전 물질층은 단일막 또는 다층막일 수 있다.The second conductive material layer may be formed of a low resistance metal material. For example, the second layer of conductive material may comprise aluminum (Al), copper (Cu), and / or titanium (Ti). The second conductive material layer may be a single film or a multilayer film.
상기 제2 도전 물질층은 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있으며, 상기 제2 도전 물질층은 90도 이상, 예를 들어, 150도 정도의 고온에서 증착하여 도전성을 향상시키고 비저항 값을 낮출 수 있다.The second conductive material layer may be deposited by various deposition methods and the second conductive material layer may be deposited at a high temperature of about 90 degrees or more, for example, about 150 degrees, to improve conductivity and lower the resistivity value .
그 후, 기판(100) 전면(全面)에 제1 유기물을 도포 또는 증착 등을 통해서 형성한 후, 마스크 공정을 통해서 평탄화층(140) 및 유기물층(160)을 동시에 형성한다. 평탄화층(140)과 유기물층(160)을 동시에 형성함에 따라, 유기물층(160)을 형성하기 위한 별도의 마스크 공정을 줄일 수 있다. Thereafter, the first organic material is formed on the entire surface of the
제1 유기물은 폴리이미드, 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물일 수 있다. 상기 제1 유기물은 감광성 유기물일 수 있다. 이에 따라, 마스크를 이용하여 부분적으로 노광하고, 현상하고 경화시키는 과정으로 상기 평탄화층(140) 및 유기물층(160)이 형성될 수 있다. 평탄화층(140) 및 유기물층(160)의 높이는 서로 상이할 수 있다. 이는 슬릿마스크나 하프톤마스크를 이용해 노광량을 달리함으로써, 특정부분이 다른부분보다 상대적으로 많이 제거 되도록할 수 있기 때문이다. 평탄화층(140)은 소스전극(215a) 또는 드레인전극(215b)를 노출하는 개구부(OP1)을 포함할 수 있다.The first organic material may be an organic material such as polyimide, acryl, BCB (benzocyclobutene), or HMDSO (hexamethyldisiloxane). The first organic material may be a photosensitive organic material. Accordingly, the
상기 유기물층(160)은 평탄화층(140)과 동시에 형성되지 않고, 화소정의막(150) 또는 봉지층(400)의 유기봉지층(420)과 동시에 형성될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.The
도 7e를 참조하면, 평탄화층(140) 상에 제3 도전 물질을 증착하고, 상기 제3 도전 물질층 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 제3 도전 물질을 식각함으로써 화소전극(310)을 형성한다. 화소전극(310)은 평탄화층(140)의 개구부(OP1)를 채우며, 소스전극(215a) 또는 드레인전극(215b)과 연결된다. Referring to FIG. 7E, a third conductive material is deposited on the
상기 제3 도전 물질은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide), 및 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminium zinc oxide)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나 이상의 투명 도전성 산화물일 수 있으며, 투명 도전성 산화물 이외에 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 납(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 니오브(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 등의 금속 반사막을 더 포함할 수 있다. The third conductive material may be at least one selected from the group consisting of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In 2 O 3 ) And may be at least one or more transparent conductive oxides selected from the group consisting of indium gallium oxide (IGO) and aluminum zinc oxide (AZO). In addition to the transparent conductive oxide, silver (Ag), magnesium ), A metal reflective film such as aluminum (Al), platinum (Pt), lead (Pd), gold (Au), nickel (Ni), niobium (Nd), iridium (Ir) have.
그 다음, 기판(100) 전면(全面)에 화소전극(310)을 덮는 제2 유기물을 형성한다. 제2 유기물은 폴리이미드, 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물일 수 있다. 상기 제2 유기물은 감광성 유기물일 수 있다. 이에 따라, 마스크를 이용하여 부분적으로 노광하고, 현상하고 경화시키는 과정으로 화소전극(310)의 중앙부를 노출시키는 화소정의막(150)을 형성할 수 있다. Next, a second organic material covering the
표시 영역(DA) 외측에 위치한 가장자리에서, 화소정의막(150)은 평탄화층(140)과 단차를 형성할 수 있다. 이에 따라서, 표시 영역(DA) 외측의 가장자리 영역이 유기물들에 의해서 계단형상으로 굴곡지며 완만하게 형성될 수 있다.At the edge located outside the display area DA, the
전술한 바와 같이, 유기물층(160)은 상기 화소정의막(150)을 형성하는 공정에서 동시에 형성될 수 있다.As described above, the
도 7f를 참조하면, 상기 화소전극(310)이 화소정의막(150)에 의해 덮여있지 않은 영역 상에 유기발광소자의 중간층(320)을 형성한 후, 중간층(320) 상에 대향전극(330)을 형성함으로써 디스플레이소자(300)를 형성할 수 있다. 상기 대향전극(330)은 화소정의막(150) 상부까지 연장되어 형성될 수 있다.7F, an
중간층(320)은 저분자 또는 고분자 물질을 포함할 수 있다. 저분자 물질을 포함할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층된 구조를 가질 수 있으며, 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양한 유기물질을 포함할 수 있다. 이러한 층들은 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다.The
중간층(320)이 고분자 물질을 포함할 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이 때, 홀 수송층은 PEDOT을 포함하고, 발광층은 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 물질을 포함할 수 있다. 이러한 중간층(320)은 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법, 레이저열전사방법(LITI; Laser induced thermal imaging) 등으로 형성할 수 있다.When the
상기 대향전극(330)은 다양한 도전성 재료로 구성될 수 있다. 예를 들면, 대향전극(330) 투명 전도성 금속산화물인 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide), 및 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminium zinc oxide) 등을 포함하여 구비될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 대향전극(330)은 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 또는 Yb 에서 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함하는 박막으로 형성할 수 있다. 대향전극(330)은 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다. 배면 발광형의 경우 상기 대향전극(330)은 반사 전극일 수 있으며, 전면 발광형의 경우 상기 대향전극(330)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있다. The
대향전극(330)은 스퍼터링 공정, 진공 증착 공정, 화학 기상 증착 공정, 펄스 레이저 증착 공정, 프린팅 공정, 원자층 적층 공정 등 다양한 증착방법을 이용하여 형성될 수 있다.The
그 다음, 표시 영역을 밀봉하는 봉지층(400)을 형성한다. 봉지층(400)은 적어도 하나의 유기봉지층(420)과 적어도 하나의 무기봉지층(410, 420)을 포함할 수 있다. 봉지층(400)은 표시 영역을 커버할 수 있도록 형성하며, 제1무기봉지층(410), 유기봉지층(420), 제2무기봉지층(420)을 순차로 형성한다. 제2무기봉지층(430)은 표시 영역(DA) 외측에 위치한 그 자장자리에서 제1무기봉지층(410)과 컨택함으로써, 유기봉지층(420)이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.Then, a
제1무기봉지층(410) 및 제2무기봉지층(420)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 제1무기봉지층(410) 및 제2무기봉지층(420)은 CVD(chemical vapor deposition), ALD(atomic layer deposition), 스퍼터법 등 다양한 증착 방법에 의해 증착될 수 있다. The first
유기봉지층(420)은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산으로 이루어지는 군으로부터 선택된 하나 이상의 재료를 포함할 수 있다. 제2무기봉지층(430)은 유기봉지층(420)을 덮으며, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 유기봉지층(420)은 flash evaportaion, 잉크젯 프린팅, 슬롯 다이 코팅 (slot die coating)법 등에 의해서 도포 또는 증착될 수 있다.The
도 7g를 참조하면, 봉지층(400) 상에 터치 버퍼층(610)을 형성하고, 그 다음 터치전극(710), 터치 배선(720), 및 팬아웃 배선(720a)을 동시에 형성한다.Referring to FIG. 7G, a
터치 버퍼층(610)은 봉지층(400) 상에 형성하며, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등을 포함할 수 있다. 터치 버퍼층(610)은 CVD(chemical vapor deposition), ALD(atomic layer deposition), 스퍼터법 등 다양한 증착 방법에 의해 증착될 수 있다. The
그 다음, 기판(100) 전면(全面)에 제4 도전 물질층을 형성한다. 제4 도전 물질층은 저저항 금속 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제4 도전 물질층은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 등을 포함할 수 있다. 제4 도전 물질층은 단일막 또는 다층막일 수 있다.Next, a fourth conductive material layer is formed on the entire surface of the
상기 제4 도전 물질층은 다양한 증착 방법에 의해서 증착될 수 있으며, 상기 제4 도전 물질층은 디스플레이소자(300)가 손상 받지 않는 정도의 저온에서 증착하여 이미 형성된 디스플레이소자(300)등의 손상을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 제4 도전 물질층은 약 90도 이하의 온도에서 thermal evaportion deposition 방식으로 증착될 수 있다. The fourth conductive material layer may be deposited by various deposition methods, and the fourth conductive material layer may be deposited at a low temperature at which the
상기 제4 도전 물질층은 상기 제1 도전 물질층 또는 상기 제2 도전 물질층과 다른 물질 또는 다른 두께로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제4 도전 물질층의 두께는 상기 제2 도전 물질층의 두께 보다 작을 수 있으며, 제2 도전 물질층의 두께의 약 50% 일 수 있다. The fourth conductive material layer may be formed of a different material or a different thickness from the first conductive material layer or the second conductive material layer. For example, the thickness of the fourth conductive material layer may be less than the thickness of the second conductive material layer, and may be about 50% of the thickness of the second conductive material layer.
또는, 상기 제4 도전 물질층은 상기 제2 도전 물질층과 동일 물질 및 구조로 증착될 수 있으나, 성막 조건이 서도 달라 최종적으로 증착된 물질은 서로 다른 특성을 보일 수 있다. Alternatively, the fourth conductive material layer may be deposited with the same material and structure as the second conductive material layer, but the deposition conditions are different, and finally the deposited material may exhibit different characteristics.
상기 제2 도전 물질층은 90도 이상의 고온, 예를 들어, 150도 정도에서 증착하여 큰 그레인 사이즈를 가질 수 있고, 낮은 비저항 값을 가질 수 있다.The second conductive material layer may have a large grain size by depositing at a high temperature of about 90 degrees or more, for example, about 150 degrees, and may have a low specific resistance value.
반면, 제4 도전 물질층은 90도 이하의 저온에서 증착하여, 제4 도전 물질층의 그레인 사이즈는 제2 도전 물질층의 그레인 사이즈에 비해서 작을 수 있고, 높은 비저항 값을 가질 수 있다. 예를 들어, 제4 도전 물질층의 비저항 값은 제2 도전 물질층의 비저항 값보다 약 25% 상승한 값을 가질 수 있다.On the other hand, the fourth conductive material layer is deposited at a low temperature of 90 degrees or less such that the grain size of the fourth conductive material layer can be small compared to the grain size of the second conductive material layer, and can have a high specific resistance value. For example, the resistivity value of the fourth conductive material layer may have a value which is about 25% higher than the resistivity value of the second conductive material layer.
상기 제4 도전 물질층 상에 마스크를 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 제4 도전 물질을 패터닝함으로써, 팬아웃 배선(720a), 터치 배선(720), 및 터치전극(710)이 동시에 형성될 수 있다. The
전술한 바와 같이, 터치전극(710)은 제1 터치 도전층(711), 제1 절연층(712), 제2 터치 도전층(713), 제2 절연층(714)의 구조를 가질 수 있다. 이 경우, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 제1 터치 도전층(711) 또는 제2 터치 도전층(713)과 동시에 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 팬아웃 배선(720a) 및 터치 배선(720)은 제1 터치 도전층(711)과 제2 터치 도전층(713)이 적층된 구조와 동일한 구조를 가져, 제1층은 제1 터치 도전층(711)과 동시에 형성되며, 제2층은 제2 터치 도전층(713)과 동시에 형성될 수 있다. The
팬아웃 배선(720a)를 터치 배선(720)과 동시에 형성함으로써, 유기물층(160)을 표시 영역(DA)에 배치되는 유기물을 포함하는 층과 동시에 형성하여 마스크 공정을 줄이는 효과가 있다.By forming the fan-out
도 7h를 참조하면, 기판(100) 전면(全面)에 커버층(730)을 형성한다. 커버층(730)은 플렉서블한 특성을 갖는 것으로서, 폴리메틸메타아크릴레이트(polymethyl methacrylate), 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane), 폴리이미드(Polyimide), 아크릴레이트(Acrylate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylen terephthalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylen naphthalate) 등으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7H, a
도 7i를 참조하면, 벤딩영역(BA)에 벤딩보호층(600)을 형성한다. 벤딩보호층(600)은 액상 또는 페이스트 형태의 물질을 도포하고 이를 경화시킴으로써 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7I, a
그 다음, 벤딩영역(BA)의 벤딩축(BAX)를 기준으로 벤딩하여, 디스플레이 장치가 대략 도2에 도시된 것과 같은 형상을 갖도록 한다. Then, it is bent with respect to the bending axis BAX of the bending area BA so that the display device has a shape substantially as shown in Fig.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 있어서, 팬아웃 배선(720a)와 기판(100) 사이에 배치되는 유기물층(160)에 의해서 디스플레이 장치를 벤딩할 때, 팬아웃 배선(720a)에 단선이 발생될 수 있는 확률을 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들은 유기물층(160)을 표시 영역(DA)에 배치되는 유기물을 포함하는 층과 동시에 형성하여 마스크 공정 단계를 줄일 수 있다. As described above, in the embodiments of the present invention, when bending the display device by the
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art . Therefore, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
1A: 제1영역
2A: 제2영역
BA: 벤딩영역
BAX: 벤딩축
100: 기판
110: 버퍼층
120: 게이트절연막
130: 층간절연막
110a, 120a, 130a: 개구
140: 평탄화층
150: 화소정의막
160: 유기물층
160a: 요철면
210: 박막트랜지스터
211: 반도체층
213: 게이트전극
213b, 213c, 215c: 신호 배선
215a: 소스전극
215b: 드레인전극
300: 디스플레이 소자
310: 화소전극
320: 중간층
330: 대향전극
400: 봉지층
700: 터치 스크린층
710: 터치전극
720: 터치 배선
720a: 팬아웃 배선1A:
BA: Bending area BAX: Bending axis
100: substrate 110: buffer layer
120: Gate insulating film 130: Interlayer insulating film
110a, 120a, 130a: opening 140: planarization layer
150: pixel defining layer 160: organic layer
160a: uneven surface
210: thin film transistor 211: semiconductor layer
213:
215a:
300: display element
310: pixel electrode 320: middle layer
330: opposing electrode
400: sealing layer
700: touch screen layer
710: touch electrode
720: Touch wiring
720a: Fan-out wiring
Claims (48)
상기 표시 영역 상에 배치된 봉지층;
상기 봉지층 상에 배치된 터치전극;
상기 터치전극과 연결되며 상기 비표시 영역으로 연장된 터치 배선; 및
상기 표시 영역에 전기적 신호를 인가하는 신호 배선과 연결되며, 상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치된 팬아웃 배선; 을 포함하며,
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치.A substrate provided with a display element and partitioned into a display area where an image is displayed and a non-display area around the display area, the non-display area including a bending area bent around a bending axis;
An encapsulation layer disposed on the display area;
A touch electrode disposed on the sealing layer;
A touch wiring connected to the touch electrode and extending to the non-display area; And
A fan-out wiring connected to a signal wiring for applying an electrical signal to the display area, the fan-out wiring being disposed at least partially in the bending area; / RTI >
Wherein the fan-out wiring is formed of the same material as the touch wiring.
상기 신호 배선은 상기 팬아웃 배선과 비아홀을 통해서 연결되며, 상기 비아홀은 벤딩영역의 외측에 배치된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the signal wiring is connected to the fan-out wiring via a via hole, and the via hole is disposed outside the bending area.
상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 비저항은 상기 신호 배선의 비저항과 다른 값을 갖는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the fan-out wiring is formed of the same material as the signal wiring, and the specific resistance of the fan-out wiring has a different value from the specific resistance of the signal wiring.
상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 두께는 상기 신호 배선의 두께와 다른 값을 갖는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the fan-out wiring is formed of the same material as the signal wiring, and the thickness of the fan-out wiring has a different value from the thickness of the signal wiring.
상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 동일 물질로 구비되며, 상기 팬아웃 배선의 그레인(grain) 사이즈는 상기 신호 배선의 그레인(grain) 사이즈와 다른 값을 갖는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the fan-out wiring is formed of the same material as the signal wiring, and the grain size of the fan-out wiring has a different value from the grain size of the signal wiring.
상기 팬아웃 배선은 상기 신호 배선과 다른 물질로 구비된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And the fan-out wiring is formed of a material different from the signal wiring.
상기 벤딩영역에서 상기 팬아웃 배선과 상기 기판 사이의 적어도 일부에 배치된 유기물층;을 더 포함하는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And an organic layer disposed on at least a part between the fan-out wiring and the substrate in the bending area.
상기 표시 영역에 배치되는 박막트랜지스터; 및
상기 박막트랜지스터를 덮으며 유기물을 포함하는 평탄화층;을 더 구비하며,
상기 유기물층은 상기 평탄화층과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
A thin film transistor disposed in the display region; And
And a planarization layer covering the thin film transistor and containing an organic material,
Wherein the organic material layer comprises the same material as the planarization layer.
상기 디스플레이소자는 화소전극, 상기 화소전극과 대향하는 대향전극, 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 중간층을 포함하며,
상기 표시 영역에는 상기 화소전극의 중앙부를 노출하는 개구부를 가지며, 화소 영역을 정의하는 화소정의막;을 더 포함하고,
상기 유기물층은 상기 화소정의막과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the display element includes a pixel electrode, a counter electrode facing the pixel electrode, and an intermediate layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode,
And a pixel defining layer having an opening exposing a center portion of the pixel electrode and defining a pixel region,
Wherein the organic layer comprises the same material as the pixel defining layer.
상기 봉지층은 유기봉지층을 포함하며,
상기 유기물층은 상기 유기봉지층과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
The encapsulation layer comprises an organic encapsulation layer,
Wherein the organic material layer comprises the same material as the organic sealing layer.
상기 봉지층과 상기 터치전극 사이에 배치되며 유기물을 포함하는 터치 버퍼층;을 더 포함하며,
상기 유기물층은 상기 터치 버퍼층과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
And a touch buffer layer disposed between the sealing layer and the touch electrode and containing an organic material,
Wherein the organic material layer comprises the same material as the touch buffer layer.
상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며,
상기 터치 배선은 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비되며,
상기 유기물층은 상기 제1 절연층과 동일 물질을 포함하는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically connected,
Wherein the touch wiring is formed of the same material as the second touch conductive layer,
Wherein the organic layer includes the same material as the first insulating layer.
상기 팬아웃 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조를 갖는, 디스플레이 장치.13. The method of claim 12,
Wherein the fan-out wiring has a structure in which a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer are stacked.
상기 유기물층은 상면의 적어도 일부에 요철면을 갖는, 디스플레이 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the organic material layer has an uneven surface on at least a part of the upper surface.
상기 요철면의 돌출면은 상기 벤딩축 방향으로 연장되며,
상기 팬아웃 배선은 상기 돌출면과 교차하면서 연장된, 디스플레이 장치.15. The method of claim 14,
The projecting surface of the uneven surface extends in the bending axis direction,
And the fan-out wiring extends while intersecting the projecting surface.
상기 기판과 상기 팬아웃 배선 사이에 배치되는 무기절연층;을 더 포함하며,
상기 무기절연층은 상기 벤딩영역에 대응하는 개구 또는 그루브를 갖는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And an inorganic insulating layer disposed between the substrate and the fan-out wiring,
Wherein the inorganic insulating layer has an opening or a groove corresponding to the bending region.
상기 개구 또는 그루브의 적어도 일부에 배치되는 유기물층;을 더 포함하는, 디스플레이 장치.17. The method of claim 16,
And an organic layer disposed on at least a part of the opening or the groove.
상기 유기물층은 상기 개구의 내측면을 덮으며 상기 무기절연층의 상면의 일부까지 연장된, 디스플레이 장치.18. The method of claim 17,
Wherein the organic material layer covers the inner surface of the opening and extends to a part of the upper surface of the inorganic insulating layer.
상기 터치전극은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the touch electrode is formed of the same material as the touch wiring.
상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며,
상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층 또는 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically connected,
Wherein the touch wiring is formed of the same material as the first touch conductive layer or the second touch conductive layer.
상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며,
상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층으로 적층된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically connected,
Wherein the touch wiring is stacked as a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer.
상기 팬아웃 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제1층 및 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 구비된 제2층이 적층된 구조를 갖는, 디스플레이 장치.22. The method of claim 21,
Wherein the fan-out wiring has a structure in which a first layer including the same material as the first touch conductive layer and a second layer including the same material as the second touch conductive layer are stacked.
상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 소스전극, 드레인전극 및 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터; 및
상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치된 추가도전층;을 더 구비하며,
상기 추가도전층은 상기 소스전극, 드레인전극 또는 게이트전극과 동일 물질로 동일층에 구비된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
A thin film transistor arranged in the display region or the non-display region and including a source electrode, a drain electrode and a gate electrode; And
And an additional conductive layer disposed at least partially in the bending region,
Wherein the additional conductive layer is provided on the same layer with the same material as the source electrode, the drain electrode or the gate electrode.
상기 추가도전층은 상기 팬아웃 배선과 이격되어 배치된, 디스플레이 장치.24. The method of claim 23,
And the additional conductive layer is disposed apart from the fan-out wiring.
상기 추가도전층은 상기 팬아웃 배선의 하부에 적어도 일부 중첩 배치되어, 상기 추가도전층과 전기적으로 연결된, 디스플레이 장치.24. The method of claim 23,
Wherein the additional conductive layer is at least partially overlapped with the lower portion of the fan-out wiring, and is electrically connected to the additional conductive layer.
상기 추가도전층과 상기 팬아웃 배선의 사이에는 절연층이 개재된, 디스플레이 장치.25. The method of claim 24 or 25,
And an insulating layer is interposed between the additional conductive layer and the fan-out wiring.
상기 절연층 상에 마련된 비아홀을 통해서 상기 추가도전층과 상기 팬아웃 배선이 전기적으로 연결된, 디스플레이 장치.27. The method of claim 26,
And the additional conductive layer and the fan-out wiring are electrically connected through a via hole provided on the insulating layer.
상기 비아홀은 벤딩영역에 배치되지 않는, 디스플레이 장치.28. The method of claim 27,
Wherein the via hole is not disposed in the bending region.
상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 제1반도체층, 제1소스전극, 제1드레인전극 및 제1게이트전극을 포함하는 제1박막트랜지스터와, 제2반도체층, 제2소스전극, 제2드레인전극 및 제2게이트전극을 포함하는 제2박막트랜지스터; 및
상기 제1게이트전극과 동일 물질로 구비된 제1추가도전층과, 상기 제2게이트전극과 동일 물질로 구비된 제2추가도전층;을 더 구비하고,
상기 제1게이트전극과 상기 제2게이트전극은 상이한 층에 배치되며,
상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 중 적어도 하나는 상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
A first thin film transistor arranged in the display region or the non-display region and including a first semiconductor layer, a first source electrode, a first drain electrode, and a first gate electrode; A second thin film transistor including a second drain electrode and a second gate electrode; And
A first additional conductive layer formed of the same material as the first gate electrode and a second additional conductive layer formed of the same material as the second gate electrode,
Wherein the first gate electrode and the second gate electrode are disposed in different layers,
Wherein at least one of the first additional conductive layer and the second additional conductive layer is disposed at least partially in the bending region.
상기 벤딩영역에서 상기 제1추가도전층은 상기 제2추가도전층과 적어도 일부 중첩되어 배치된, 디스플레이 장치.30. The method of claim 29,
Wherein the first additional conductive layer in the bending region is disposed at least partially overlapping the second additional conductive layer.
상기 벤딩영역에서 상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 사이에는 절연층이 개재된, 디스플레이 장치.31. The method of claim 30,
And an insulating layer is interposed between the first additional conductive layer and the second additional conductive layer in the bending region.
상기 제1추가도전층 및 상기 제2추가도전층 중 적어도 하나는 상기 팬아웃 배선의 하부에 배치되어 전기적으로 연결된, 디스플레이 장치.30. The method of claim 29,
And at least one of the first additional conductive layer and the second additional conductive layer is disposed under the fan-out wiring and electrically connected thereto.
상기 팬아웃 배선과 상기 제1추가도전층 사이 및 상기 팬아웃 배선과 상기 제2추가도전층 사이 중 적어도 하나에는 절연층이 배치된, 디스플레이 장치.33. The method of claim 32,
Wherein at least one of the fan-out wiring and the first additional conductive layer and between the fan-out wiring and the second additional conductive layer is provided with an insulating layer.
상기 벤딩영역에서 상기 팬아웃 배선의 상부에 배치된 밴딩보호층;을 더 구비하는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And a banding protection layer disposed on the fan-out wiring in the bending region.
상기 벤딩보호층은 상기 표시 영역의 적어도 일부를 덮는, 디스플레이 장치.35. The method of claim 34,
Wherein the bending protection layer covers at least a part of the display area.
상기 터치전극을 덮어 상기 터치전극을 보호하는 커버층;을 더 구비하는, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And a cover layer covering the touch electrode to protect the touch electrode.
상기 커버층은 상기 터치전극 상부에서부터 상기 벤딩영역으로 연장되어 상기 팬아웃 배선을 적어도 일부를 덮는, 디스플레이 장치.35. The method of claim 34,
And the cover layer extends from the upper portion of the touch electrode to the bending region to cover at least a portion of the fan-out wiring.
상기 기판의 하면에 배치되는 보호필름;을 더 구비하며,
상기 보호필름은 상기 벤딩영역과 적어도 일부 중첩하는 개구 또는 그루브를 구비하는,, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
And a protective film disposed on a lower surface of the substrate,
Wherein the protective film comprises an opening or a groove that at least partially overlaps the bending region.
상기 터치 배선은 상기 봉지층의 일측면을 따라 상기 벤딩영역 방향으로 연장되며,
상기 봉지층의 일측면은 단차(step) 형상이 구비된, 디스플레이 장치.The method according to claim 1,
Wherein the touch wiring extends along one side of the sealing layer in the direction of the bending area,
Wherein one side of the sealing layer is provided with a step shape.
상기 표시 영역 상에 배치된 봉지층;
상기 봉지층 상에 배치된 터치전극;
상기 터치전극과 연결되며 상기 비표시 영역으로 연장된 터치 배선;
상기 벤딩영역과 상기 표시 영역 사이에 배치되어 전기적 신호를 인가하는 신호 배선;
상기 비표시 영역의 일측에 배치된 단자; 및
상기 벤딩영역에 적어도 일부 배치되고, 일측은 상기 신호 배선과 비아홀을 통해서연결되고 타측은상기 단자에 연결된 팬아웃 배선;을 포함하며,
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동일 물질로 구비된, 디스플레이 장치.A substrate provided with a display element and partitioned into a display area where an image is displayed and a non-display area around the display area, the non-display area including a bending area bent around a bending axis;
An encapsulation layer disposed on the display area;
A touch electrode disposed on the sealing layer;
A touch wiring connected to the touch electrode and extending to the non-display area;
A signal wiring disposed between the bending region and the display region for applying an electrical signal;
A terminal disposed on one side of the non-display area; And
And a fan-out wiring disposed at least partially in the bending region, one side of which is connected to the signal wiring via a via-hole and the other side of which is connected to the terminal,
Wherein the fan-out wiring is formed of the same material as the touch wiring.
상기 표시 영역 또는 상기 비표시 영역에 배치되며 소스전극, 드레인전극 및 게이트전극을 포함하는 박막트랜지스터;를 더 구비하며,
상기 단자는 상기 소스전극, 드레인전극, 또는 게이트전극과 동일 물질로 구비되며,
상기 팬아웃 배선과 비아홀을 통해서 연결된, 디스플레이 장치.41. The method of claim 40,
And a thin film transistor disposed in the display region or the non-display region and including a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode,
The terminal may be formed of the same material as the source electrode, the drain electrode, or the gate electrode,
And the fan-out wiring is connected through the via hole.
상기 팬아웃 배선은 상기 터치 배선과 동시에 형성되는 디스플레이 장치의 제조 방법.A manufacturing method of a display device according to claim 1,
Wherein the fan-out wiring is formed simultaneously with the touch wiring.
상기 디스플레이 장치는, 상기 벤딩 영역에서 상기 기판과 상기 팬아웃 배선 사이에 배치되는 유기물층;을 더 구비하는, 디스플레이 장치의 제조 방법.43. The method of claim 42,
Wherein the display device further comprises an organic layer disposed between the substrate and the fan-out wiring in the bending area.
상기 디스플레이 장치는, 상기 표시 영역에 배치되는 박막트랜지스터, 및 상기 박막트랜지스터를 덮으며 유기물을 포함하는 평탄화층을 더 구비하며,
상기 유기물층은 상기 평탄화층과 동일 물질로 동시에 형성하는 디스플레이 장치의 제조 방법.44. The method of claim 43,
The display device may further include a thin film transistor disposed in the display region and a planarization layer covering the thin film transistor and including an organic material,
Wherein the organic material layer is simultaneously formed of the same material as the planarizing layer.
상기 디스플레이소자는 화소전극, 상기 화소전극과 대향하는 대향전극, 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 유기발광층을 포함하는 중간층을 포함하는 유기발광소자이며,
상기 표시 영역에는 상기 화소전극의 중앙부를 노출하는 개구부를 가지며, 화소 영역을 정의하는 화소정의막을 더 포함하며,
상기 유기물층은 상기 화소정의막과 동일 물질로 동시에 형성하는 디스플레이 장치의 제조 방법.44. The method of claim 43,
Wherein the display element includes an intermediate layer including a pixel electrode, an opposite electrode facing the pixel electrode, and an organic light emitting layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode,
Wherein the display region further includes a pixel defining layer having an opening exposing a center portion of the pixel electrode and defining a pixel region,
Wherein the organic compound layer is formed of the same material as the pixel defining layer.
상기 터치 배선은 상기 터치전극과 동일 물질로 동시에 형성하는 디스플레이 장치의 제조방법.43. The method of claim 42,
Wherein the touch wiring is simultaneously formed of the same material as the touch electrode.
상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 및 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며,
상기 터치 배선은 상기 제1 터치 도전층과 동일 물질로 동시에 형성하는 디스플레이 장치의 제조 방법.43. The method of claim 42,
Wherein the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically connected,
Wherein the touch wiring is simultaneously formed of the same material as the first touch conductive layer.
상기 터치전극은 제1 터치 도전층, 제1 절연층, 제2 터치 도전층, 및 제2 절연층이 순차 적층되고 상기 제1 터치 도전층과 상기 제2 터치 도전층은 전기적으로 연결되며,
상기 터치 배선은 상기 제2 터치 도전층과 동일 물질로 동시에 형성하는 디스플레이 장치의 제조 방법.
43. The method of claim 42,
Wherein the touch electrode includes a first touch conductive layer, a first insulating layer, a second touch conductive layer, and a second insulating layer sequentially stacked, the first touch conductive layer and the second touch conductive layer are electrically connected,
And the touch wiring is simultaneously formed of the same material as the second touch conductive layer.
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