KR20170103057A - Slit coater - Google Patents

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KR20170103057A
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Abstract

A slit coater according to an embodiment of the present invention comprises: a nozzle which supplies coating liquid by proceeding in one direction; and a negative pressure module which is included to be in contact with the lateral part of the front end of the nozzle and forms a negative pressure in the front end of the proceeding direction of the nozzle. The nozzle includes: a nozzle hole in which the coating liquid is filled and passes through; and a first nozzle lip and a second nozzle lip which face each other across the nozzle hole. The negative pressure module is installed to be in contact with the second nozzle lip and includes a negative pressure area which is a space where a negative pressure is formed. A vacuum hole is included in the lateral part of the negative pressure module, a lip guard is included to guide the movement of the nozzle in the lower end part of the negative pressure module, and a pressure measuring duct is included to penetrate to measure a negative pressure formed in the negative pressure area in the central part of the negative pressure module. A negative pressure is formed to be not less than 3kPa and not more than 10kPa in the negative pressure area, a cut groove is formed in the first nozzle lip corresponding to the lateral part of the negative pressure area, and a shielding film is more included to prevent a negative pressure loss by shielding the cut groove. To solve the above problems, the slit coater provided by an embodiment of the present invention: increases a process margin by installing a negative pressure (suction) module at the front end of the nozzle of a coating proceeding direction; and forms a coating layer having a stable state.

Description

슬릿 코터{SLIT COATER}Slit coater {SLIT COATER}

본 기재는 박막 코팅층 형성에 사용되는 슬릿 코터에 관한 것이다.The present invention relates to a slit coater used for forming a thin film coating layer.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 들어 있는 액정층으로 이루어지며, 전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고 이를 통하여 액정층의 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시한다.2. Description of the Related Art A liquid crystal display device is one of the most widely used flat panel display devices and is composed of two display panels having an electric field generating electrode such as a pixel electrode and a common electrode and a liquid crystal layer interposed therebetween. Thereby generating an electric field in the liquid crystal layer, thereby determining the orientation of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer and controlling the polarization of the incident light to display an image.

액정 표시 장치를 구성하는 두 장의 표시판은 박막 트랜지스터 표시판과 대향 표시판으로 이루어질 수 있다. 박막 트랜지스터 표시판에는 게이트 신호를 전송하는 게이트선과 데이터 신호를 전송하는 데이터선이 서로 교차하여 형성되고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등이 형성될 수 있다. 대향 표시판에는 차광부재, 색 필터, 공통 전극 등이 형성될 수 있다. 경우에 따라 차광 부재, 색 필터, 공통 전극이 박막 트랜지스터 표시판에 형성될 수도 있다.The two display panels constituting the liquid crystal display device may be composed of a thin film transistor display panel and an opposite display panel. A thin film transistor connected to the gate line and the data line, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and the like may be formed on the thin film transistor display panel, the gate line transmitting the gate signal and the data line transmitting the data signal, . A light shielding member, a color filter, a common electrode, and the like may be formed on the opposite display panel. In some cases, a light shielding member, a color filter, and a common electrode may be formed on the thin film transistor display panel.

최근에는 한 장의 기판에 각 구성 요소들을 형성하여 비용을 절감하고자 하는 시도가 있다. 이 경우, 액정층을 형성한 후 액정층을 밀봉하기 위해 덮개막을 형성한다. 덮개막을 형성하기 위해 필름 부착법, 경화액 코팅법, 진공 증착법 등이 사용되는데, 특히 경화액 코팅법을 사용하는 경우, 일반적으로 슬릿 코터를 사용한다. 덮개막의 재료는 점도가 높아 공정 마진이 부족하여 낮은 두께로 형성하기 어렵고, 코팅층에 불안정 상태의 비드(bead)가 발생되는 문제점이 있다.In recent years, attempts have been made to reduce costs by forming respective components on a single substrate. In this case, after forming the liquid crystal layer, a cover film is formed to seal the liquid crystal layer. In order to form a cover film, a film adhering method, a hardening solution coating method, a vacuum evaporation method, or the like is used. In the case of using a hardening solution coating method, a slit coater is generally used. There is a problem in that an unstable bead is generated in the coating layer because the material of the cover film is difficult to be formed with a low thickness due to a high viscosity and a shortage of process margin.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예에서는 코팅 진행방향의 노즐 선단에 부압(suction) 모듈을 장착하여 공정 마진을 증가시키고, 안정 상태의 코팅층이 형성되는 슬릿 코터를 제공하고자 한다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a slit coater in which a suction module is mounted at the tip of a nozzle in the direction of coating progress to increase the process margin and form a stable coating layer .

본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터는, 일 방향으로 진행하며 코팅액을 공급하는 노즐, 및 상기 노즐의 선단 측부에 접촉되어 구비되며, 상기 노즐의 진행방향의 전단에 부압을 형성하는 부압 모듈을 포함한다.A slit coater according to an embodiment of the present invention includes a nozzle for supplying a coating liquid in one direction and a negative pressure module provided in contact with a tip end side of the nozzle and forming a negative pressure in a front end of the nozzle in a moving direction, .

상기 노즐은, 상기 코팅액이 채워지고 통과하는 노즐 홀, 및 상기 노즐 홀을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 노즐 립과 제2 노즐 립을 포함할 수 있다. The nozzle may include a nozzle hole through which the coating liquid is filled and passed, and a first nozzle lip and a second nozzle lip facing each other with the nozzle hole interposed therebetween.

상기 부압 모듈은 상기 제2 노즐 립에 접촉되어 구비되며 부압이 형성되는 공간인 부압 영역을 포함할 수 있다. The negative pressure module may include a negative pressure region which is provided in contact with the second nozzle lip and is a space in which a negative pressure is formed.

상기 부압 모듈의 측부에는 진공 홀이 구비될 수 있다. A vacuum hole may be provided on the side of the negative pressure module.

상기 부압 모듈의 하단부에는 상기 노즐의 이동을 가이드하는 립 가드가 구비될 수 있다. And a lip guard for guiding the movement of the nozzle may be provided at a lower end of the negative pressure module.

상기 부압 모듈의 중앙부에는 상기 부압 영역에 형성되는 부압을 측정할 수 있도록 관통 형성된 압력 측정 관로가 구비될 수 있다. And a pressure measuring pipe formed at the center of the negative pressure module so as to measure a negative pressure formed in the negative pressure region.

상기 부압 영역에는 3kPa 이상 10kPa 이하의 부압이 형성될 수 있다. A negative pressure of 3 kPa or more and 10 kPa or less may be formed in the negative pressure region.

상기 부압 영역의 측부에 대응되는 상기 제1 노즐 립에는 절개 홈이 형성될 수 있다. And a cutout groove may be formed in the first nozzle lip corresponding to a side portion of the negative pressure region.

본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 코터는 상기 절개 홈을 차폐하여 부압 손실을 방지하는 차폐막을 더 포함할 수 있다.The slit coater according to another embodiment of the present invention may further include a shielding film for shielding the cutout groove to prevent negative pressure loss.

상기 차폐막은 수평 이동하여 상기 절개 홈을 개폐할 수 있다.The shielding film may horizontally move to open and close the incision groove.

상기 차폐막은 축을 중심으로 회전하여 상기 절개 홈을 개폐할 수 있다.The shielding film may be rotated about an axis to open and close the incision groove.

상기 제1 노즐 립과 제2 노즐 립의 바닥면은 서로 높이가 다를 수 있다. The first nozzle lip and the bottom surface of the second nozzle lip may have different heights from each other.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터는 상기 제1 노즐 립과 제2 노즐 립에 부착되는 딥 부재를 더 포함할 수 있다.The slit coater according to another embodiment of the present invention may further include a dipping member attached to the first nozzle lip and the second nozzle lip.

상기 코팅액은 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix), 또는 평탄화 유기막(over coat layer)의 형성에 사용되는 저점도 재료일 수 있다. The coating liquid may be a low-viscosity material used in the formation of a color filter, a black matrix, or a planarizing organic overcoat layer.

상기 코팅액은, 액정표시장치 밀봉층, 가요성 기판 코팅, 터치 스크린 패널(TSP), 광접착레진(OCR), 광접착필름(OCA), 또는 유기 발광 소자 밀봉층(OLED encap)의 형성에 사용되는 고점도 재료일 수 있다.The coating solution is used for forming a liquid crystal display device sealing layer, a flexible substrate coating, a touch screen panel (TSP), an optical adhesive resin (OCR), a photo adhesive film (OCA), or an OLED encapsulating layer / RTI >

본 발명의 실시예들에 따르면, 코팅 진행방향의 노즐 선단에 부압(suction) 모듈을 장착하여 공정 마진을 증가시킬 수 있고, 코팅 불량을 감소시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention, a suction module can be mounted at the tip of the nozzle in the coating direction to increase the process margin and reduce the coating failure.

또한, 코팅층에 불안정 상태의 비드가 발생되는 것을 방지하여, 안정적인 최소 두께의 코팅층을 형성할 수 있다.In addition, it is possible to prevent an unstable bead from being generated in the coating layer, and to form a stable minimum thickness coating layer.

또한, 노즐 립을 커팅 구조로 형성함으로써, 립 세정이 용이하며, 차폐막 설치로 인해 부압 손실을 방지할 수 있다.Further, by forming the nozzle lip with the cutting structure, the lip cleaning is easy, and the negative pressure loss can be prevented by installing the shielding film.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터의 일부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 'B' 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 부압 모듈을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 'C' 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 6은 도 1의 'D' 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 코터의 노즐 립에 딥 부재가 구비된 모습을 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 코터의 노즐 립에 딥 부재가 구비된 모습을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 미진행시 수평 이동식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 진행시 수평 이동식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 미진행시 회전식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 진행시 회전식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.1 is a schematic view showing a part of a slit coater according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view of the portion 'A' of FIG.
3 is an enlarged cross-sectional view taken along line 'B' in FIG.
4 is a schematic diagram of a negative pressure module according to an embodiment of the present invention.
5 is an enlarged cross-sectional view taken along line 'C' in FIG.
6 is an enlarged view of the portion 'D' in FIG.
7 is a cross-sectional view illustrating a nozzle member of a slit coater according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing a state in which a dipping member is provided on a nozzle lip of a slit coater according to another embodiment of the present invention.
9 is a view showing a state in which a shielding film is provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state in which a horizontally movable shielding film is provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention when the coating is not carried out.
11 is a view showing a horizontally movable type shielding film provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention.
12 is a view showing a state in which a rotary shielding film is provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention when the coating is not carried out.
13 is a view showing a rotary shielding film provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 일 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예들에서는 일 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in the various embodiments, elements having the same configuration are denoted by the same reference numerals, and only other configurations will be described in the other embodiments.

도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며, 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고, 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다. 어느 부분이 다른 부분의 "위에" 또는 "상에" 있다고 언급하는 경우, 이는 바로 다른 부분의 위에 있을 수 있거나 그 사이에 다른 부분이 수반될 수도 있다.The drawings are schematic and illustrate that they are not drawn to scale. The relative dimensions and ratios of the parts in the figures are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the figures, and any dimensions are merely illustrative and not restrictive. Also, to the same structure, element, or component appearing in more than one of the figures, the same reference numerals are used to denote similar features. When referring to a portion as being "on" or "on" another portion, it may be directly on the other portion or may be accompanied by another portion therebetween.

본 발명의 실시예는 본 발명의 한 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.The embodiments of the present invention specifically illustrate one embodiment of the present invention. As a result, various variations of the illustration are expected. Thus, the embodiment is not limited to any particular form of the depicted area, but includes modifications of the form, for example, by manufacture.

이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터를 설명한다. Hereinafter, a slit coater according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터의 일부를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 'A' 부분을 확대하여 도시한 단면도이며, 도 3은 도 2의 'B' 부분을 확대하여 도시한 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 부압 모듈을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4의 'C' 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.FIG. 1 is a schematic view of a part of a slit coater according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of part A of FIG. 1, FIG. 4 is a schematic view of a negative pressure module according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of portion 'C' of FIG.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터(100)는 노즐(10)과, 부압 모듈(20)을 포함한다. Referring to FIG. 1, a slit coater 100 according to an embodiment of the present invention includes a nozzle 10 and a negative pressure module 20.

노즐(10)은 코팅액을 공급하여 기판과 같은 코팅 대상체 위에 코팅층을 형성한다. 코팅액은 액상으로 이루어져 있고, 노즐(10)이 일정한 속도로 코팅 대상체 위를 이동하면서 일정량의 코팅액을 공급하여 코팅 대상체 위에 균일하게 도포할 수 있다. 이 때, 코팅액은 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix), 또는 평탄화 유기막(over coat layer)의 형성에 사용되는 저점도 재료일 수 있고, 액정표시장치 밀봉층, 가요성 기판 코팅, 터치 스크린 패널(TSP), 광접착레진(OCR), 광접착필름(OCA), 또는 유기 발광 소자 밀봉층(OLED encap)의 형성에 사용되는 고점도 재료일 수 있다.The nozzle 10 supplies a coating liquid to form a coating layer on a coating object such as a substrate. The coating liquid is in the form of a liquid, and a predetermined amount of the coating liquid can be supplied while the nozzle 10 is moving on the coating target object at a constant speed to uniformly coat the coating liquid on the coating target object. At this time, the coating liquid may be a low viscosity material used for forming a color filter, a black matrix, or a planarizing organic film, and may be a liquid crystal display sealing layer, a flexible substrate coating , A touch screen panel (TSP), an optical adhesive resin (OCR), a light adhesive film (OCA), or an organic light emitting device sealing layer (OLED encap).

부압 모듈(20)은 노즐(10)의 선단 측부에 접촉하여 구비되며, 노즐(10)이 진행하는 방향의 전단에 부압을 형성하도록 구비된다. The negative pressure module 20 is provided in contact with the tip end side of the nozzle 10 and is provided to form a negative pressure at the front end in the direction in which the nozzle 10 advances.

도 2를 참조하면, 노즐(10)은 중심부를 상하로 관통하는 노즐 홀(19)을 포함한다. 노즐 홀(19)에는 코팅액이 채워지고 통과하여 코팅 대상체로 공급된다. 노즐(10)은 노즐 홀(19)을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 노즐 립(12)과 제2 노즐 립(14)을 포함한다. 제1 노즐 립(12)은 노즐 홀(19)을 기준으로 노즐(10)의 이동 방향의 반대 방향 측에 위치하며, 제2 노즐 립(14)은 노즐(10)의 이동 방향 측에 위치한다. Referring to FIG. 2, the nozzle 10 includes a nozzle hole 19 penetrating the center portion vertically. The nozzle holes 19 are filled with a coating liquid, passed through the nozzle holes 19, and supplied to the coating object. The nozzle 10 includes a first nozzle lip 12 and a second nozzle lip 14 facing each other with a nozzle hole 19 therebetween. The first nozzle lip 12 is located on the side opposite to the moving direction of the nozzle 10 with respect to the nozzle hole 19 and the second nozzle lip 14 is located on the moving direction side of the nozzle 10 .

도 3에 도시된 바와 같이, 제1 노즐 립(12)과 제2 노즐 립(14)의 바닥면은 서로 높이가 다르도록 구비될 수 있다. 제2 노즐 립(14)의 바닥면이 제1 노즐 립(12)의 바닥면 보다 더 큰 높이로 형성될 수 있다. 이로써, 제2 노즐 립(14)에 접촉되어 구비되는 부압 모듈(20)의 부압 영역(M)에 형성되는 부압이 제2 노즐 립(14)에 의해 압력이 차단되는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 제2 노즐 립(14) 측에 형성되는 매니스쿠스(meniscus) 영역을 넓혀서 코팅 마진을 확장할 수 있다.As shown in FIG. 3, the first nozzle lip 12 and the bottom surface of the second nozzle lip 14 may have different heights from each other. The bottom surface of the second nozzle lip 14 may be formed at a height larger than the bottom surface of the first nozzle lip 12. [ This prevents the negative pressure formed in the negative pressure area M of the negative pressure module 20 provided in contact with the second nozzle lip 14 from being blocked by the second nozzle lip 14. [ In addition, the meniscus area formed on the side of the second nozzle lip 14 can be widened to enlarge the coating margin.

한편, 부압 모듈(20)은 제2 노즐 립(14)에 접촉되어 구비되며, 부압이 형성되는 공간인 부압 영역(M)을 포함한다. 또한, 부압 모듈(20)의 측부에는 진공 홀(26)이 구비되어 진공 홀(26)을 통하여 공기가 흡입되어 부압 영역(M)에 부압이 형성된다. On the other hand, the negative pressure module 20 is provided in contact with the second nozzle lip 14 and includes a negative pressure area M which is a space in which a negative pressure is formed. A vacuum hole 26 is provided on the side of the negative pressure module 20 so that air is sucked through the vacuum hole 26 to form a negative pressure in the negative pressure region M.

도 4에 도시된 바와 같이, 부압 영역(M)은 노즐(10)의 가로 길이 방향을 따라 연장되며, 노즐(10)의 상측으로 함입된 형태로 구성된다. 부압 영역(M)의 내측 중앙부에는 부압 영역(M)에 형성되는 부압을 측정할 수 있도록 관통 형성된 압력 측정 관로(24)가 구비된다. 압력 측정 관로(24)에는 압력 게이지가 연결되어 부압 영역(M)의 부압을 측정할 수 있다. 4, the negative pressure region M extends along the transverse direction of the nozzle 10, and is configured to be embedded in the upper side of the nozzle 10. As shown in FIG. A pressure measuring pipe (24) is formed at an inner center portion of the negative pressure region (M) so as to measure a negative pressure formed in the negative pressure region (M). A pressure gauge is connected to the pressure measurement pipe (24) to measure a negative pressure in the negative pressure area (M).

부압 영역(M)에는 약 3kPa 이상 약 10kPa 이하의 부압이 형성될 수 있고, 부압 영역(M)의 연장 길이는 약 275mm 이상 약 285mm 이하로 구성될 수 있다. A negative pressure of about 3 kPa or more and about 10 kPa or less may be formed in the negative pressure region M and an extension length of the negative pressure region M may be about 275 mm or more and about 285 mm or less.

도 5에 도시된 바와 같이, 부압 모듈(20)의 하단부에는 노즐(10)이 이동하는 방향 측에, 노즐(10)의 이동을 가이드하는 립 가드(28)가 구비될 수 있다. 립 가드(28)를 구비함으로써, 노즐(10)이 이동하며 코팅액을 코팅 대상체에 공급하기 전에 코팅 대상체에 잔류하는 이물질 등을 미리 제거할 수 있다. 립 가드(28)의 일 측은 모따기(chamfering) 형태로 형성될 수 있다. 부압 영역(M)의 폭과 립 가드(28)의 폭은 일례로, 약 8mm로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 5, a lip guard 28 for guiding the movement of the nozzle 10 may be provided at a lower end of the negative pressure module 20 in a direction in which the nozzle 10 moves. By providing the lip guard 28, the nozzle 10 can move and remove foreign matter or the like remaining on the coating target object before the coating liquid is supplied to the coating target object. One side of the lip guard 28 may be formed in the form of a chamfering. The width of the negative pressure region M and the width of the lip guard 28 may be, for example, about 8 mm.

도 6은 도 1의 'D' 부분을 확대하여 도시한 도면이다. 도 6을 참조하면, 부압 영역(M)의 측부에 대응되는 제1 노즐 립(12)에는 절개 홈(17)이 형성된다. 제1 노즐 립(12)에 절개 홈(17)을 형성함으로써, 노즐 립(12, 14)의 세정시 코팅액을 원활하게 제거할 수 있고, 코팅 대상체의 가장자리에 코팅 불량 없이 코팅액이 골고루 공급될 수 있다. 6 is an enlarged view of the portion 'D' in FIG. Referring to FIG. 6, a cutout groove 17 is formed in the first nozzle lip 12 corresponding to the side portion of the negative pressure region M. By forming the cutting grooves 17 in the first nozzle lip 12, the coating liquid can be smoothly removed at the time of cleaning the nozzle lips 12 and 14, and the coating liquid can be uniformly supplied to the edge of the coating target object have.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 코터의 노즐 립에 딥 부재가 구비된 모습을 도시한 단면도이고, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 코터의 노즐 립에 딥 부재가 구비된 모습을 도시한 도면이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a nozzle member of a slit coater according to another embodiment of the present invention. FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a nozzle member of a slit coater according to another embodiment of the present invention. FIG.

도 7 및 도 8을 참조하면, 슬릿 코터(100)는 제1 노즐 립(12)과 제2 노즐 립(14)의 단부에 부착되는 딥 부재(30)를 더 포함할 수 있다. 딥 부재(30)는 부압 모듈(20)의 부압 영역(M)과 간섭되지 않도록 제1 노즐 립(12)과 제2 노즐 립(14)에 부착되는 딥 부재(30) 부분은 좁은 폭으로 구비되며, 코팅 대상체를 향한 딥 부재(30) 부분은 넓은 폭으로 구비될 수 있다. 딥 부재(30)는 코팅 공정이 이루어지지 않는 장기 대기시 노즐 립(12, 14)을 커버하여 노즐 립(12, 14)을 보호하고, 코팅 공정이 진행되는 경우 딥 부재(30)는 노즐 립(12, 14)을 노출한다. 7 and 8, the slit coater 100 may further include a first nozzle lip 12 and a dipping member 30 attached to an end of the second nozzle lip 14. The dipping member 30 is provided with a narrow width so that the first nozzle lip 12 and the portion of the dipping member 30 attached to the second nozzle lip 14 do not interfere with the negative pressure region M of the negative pressure module 20. [ And the portion of the dipping member 30 facing the coating target body may be provided with a wide width. The dipping member 30 protects the nozzle lips 12 and 14 by covering the nozzle lips 12 and 14 in the long-term standby state in which the coating process is not performed, and when the coating process proceeds, (12, 14).

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이고, 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 미진행시 수평 이동식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이며, 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 진행시 수평 이동식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이며, 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 미진행시 회전식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이며, 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 슬릿 코터에 코팅 진행시 회전식 차폐막이 구비된 모습을 도시한 도면이다.FIG. 9 is a view showing a shielding film provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention. FIG. 10 is a cross-sectional view of a slit coater according to another embodiment of the present invention. FIG. 11 is a view showing a horizontal movable type shielding film when the slit coater according to another embodiment of the present invention is coated, FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating another embodiment of the present invention FIG. 13 is a view showing a rotary shielding film provided on a slit coater according to another embodiment of the present invention. FIG. 13 is a view showing a state where a slit coater according to another embodiment of the present invention is provided with a rotary shielding film.

노즐 립(12, 14)에 절개 홈(17)을 형성함으로써, 절개 홈(17)을 통하여 부압 영역(M)에 부압 손실이 발생할 우려가 있는 바, 절개 홈(17)을 덮도록 차폐막(40)을 설치하여, 부압 손실을 방지할 수 있다. The formation of the incision grooves 17 in the nozzle lips 12 and 14 may cause a negative pressure loss in the negative pressure region M through the incision grooves 17 so that the shielding film 40 ) To prevent negative pressure loss.

이를 위해서, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 차폐막(40)이 제1 노즐 립(12) 하부에서 수평 방향을 따라 이동하여 절개 홈(17)을 덮도록 구성할 수 있다. 제1 노즐 립(12)과 제2 노즐 립(14)의 측부에는 수평 실린더(42)를 설치하고, 차폐막(40)은 수평 실린더(42)에 연결되어 제1 노즐 립(12)의 하부에 위치한다(도 10). 코팅액 분사시에는 수평 실린더(42)가 작동하여 차폐막(40)이 절개 홈(17) 하부로 이동하여 절개 홈(17)을 덮게 된다(도 11). For this purpose, as shown in FIGS. 10 and 11, the shielding film 40 may be configured to move along the horizontal direction under the first nozzle lip 12 to cover the incision groove 17. A horizontal cylinder 42 is provided on the side of the first nozzle lip 12 and the second nozzle lip 14 and the shielding film 40 is connected to the horizontal cylinder 42 to be disposed on the lower portion of the first nozzle lip 12 (Fig. 10). During spraying of the coating liquid, the horizontal cylinder 42 operates to move the shielding film 40 below the incision groove 17 to cover the incision groove 17 (FIG. 11).

한편, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 차폐막(40)이 제1 노즐 립(12) 하부에서 축을 중심으로 회전하여 절개 홈(17)을 덮도록 구성할 수 있다. 차폐막(40)은 제1 노즐 립(12)의 측부에 구비된 로터리 부재(44)에 회전 가능하게 연결되어 위치하며(도 12), 코팅액 분사시 로터리 부재(44)가 회전하여 차폐막(40)이 절개 홈(17) 하부로 이동하여 절개 홈(17)을 덮게 된다(도 13). 12 and 13, the shielding film 40 may be configured to cover the incision groove 17 by rotating about the axis at the lower portion of the first nozzle lip 12. As shown in FIG. The shielding film 40 is rotatably connected to the rotary member 44 provided on the side of the first nozzle lip 12 (FIG. 12). When the coating liquid is sprayed, the rotary member 44 rotates, And moves to the lower portion of the incision groove 17 to cover the incision groove 17 (Fig. 13).

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터에 의해서, 코팅 진행방향의 노즐 선단에 부압(suction) 모듈을 장착하여 공정 마진을 증가시킬 수 있고, 코팅 불량을 감소시킬 수 있다.As described above, by the slit coater according to the embodiment of the present invention, a suction module can be mounted at the tip of the nozzle in the coating direction, thereby increasing the process margin and reducing the coating defects.

또한, 코팅층에 불안정 상태의 비드가 발생되는 것을 방지하여, 안정적인 최소 두께의 코팅층을 형성할 수 있다.In addition, it is possible to prevent an unstable bead from being generated in the coating layer, and to form a stable minimum thickness coating layer.

또한, 노즐 립을 커팅 구조로 형성함으로써, 립 세정이 용이하며, 차폐막 설치로 인해 부압 손실을 방지할 수 있다.Further, by forming the nozzle lip with the cutting structure, the lip cleaning is easy, and the negative pressure loss can be prevented by installing the shielding film.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the following claims. Those who are engaged in the technology field will understand easily.

10: 노즐 12: 제1 노즐 립
14: 제2 노즐 립 17: 절개 홈
19: 노즐 홀 20: 부압 모듈
24: 압력 측정 관로 26: 진공 홀
28: 립 가드 30: 딥 부재
40: 차폐막 42: 수평 실린더
44: 로터리 부재 M: 부압 영역10: nozzle 12: first nozzle lip
14: second nozzle lip 17: incision groove
19: nozzle hole 20: negative pressure module
24: Pressure measuring duct 26: Vacuum hole
28: Lip guard 30: Dip member
40: Shielding film 42: Horizontal cylinder
44: Rotary member M: Negative pressure area

Claims (15)

일 방향으로 진행하며 코팅액을 공급하는 노즐; 및
상기 노즐의 선단 측부에 접촉되어 구비되며, 상기 노즐의 진행방향의 전단에 부압을 형성하는 부압 모듈을 포함하는 슬릿 코터.A nozzle for supplying the coating liquid in one direction; And
And a negative pressure module which is provided in contact with the tip side of the nozzle and forms a negative pressure in the front end of the nozzle in the advancing direction. 제 1 항에서,
상기 노즐은,
상기 코팅액이 채워지고 통과하는 노즐 홀; 및
상기 노즐 홀을 사이에 두고 서로 마주하는 제1 노즐 립과 제2 노즐 립을 포함하는 슬릿 코터.The method of claim 1,
The nozzle
A nozzle hole through which the coating liquid is filled and passed; And
And a first nozzle lip and a second nozzle lip facing each other with the nozzle hole interposed therebetween. 제 2 항에서,
상기 부압 모듈은 상기 제2 노즐 립에 접촉되어 구비되며 부압이 형성되는 공간인 부압 영역을 포함하는 슬릿 코터.3. The method of claim 2,
Wherein the negative pressure module includes a negative pressure region which is provided in contact with the second nozzle lip and in which a negative pressure is formed. 제 3 항에서,
상기 부압 모듈의 측부에는 진공 홀이 구비된 슬릿 코터.4. The method of claim 3,
And a vacuum hole is provided on a side of the negative pressure module. 제 3 항에서,
상기 부압 모듈의 하단부에는 상기 노즐의 이동을 가이드하는 립 가드가 구비된 슬릿 코터.4. The method of claim 3,
And a lip guard for guiding the movement of the nozzle is provided at a lower end of the negative pressure module. 제 3 항에서,
상기 부압 모듈의 중앙부에는 상기 부압 영역에 형성되는 부압을 측정할 수 있도록 관통 형성된 압력 측정 관로가 구비된 슬릿 코터.4. The method of claim 3,
And a pressure measuring channel formed through the center of the negative pressure module so as to measure a negative pressure formed in the negative pressure region. 제 3 항에서,
상기 부압 영역에는 3kPa 이상 10kPa 이하의 부압이 형성되는 슬릿 코터.4. The method of claim 3,
And a negative pressure of 3 kPa or more and 10 kPa or less is formed in the negative pressure region. 제 3 항에서,
상기 부압 영역의 측부에 대응되는 상기 제1 노즐 립에는 절개 홈이 형성된 슬릿 코터.4. The method of claim 3,
And a cutout groove is formed in the first nozzle lip corresponding to a side portion of the negative pressure region. 제 8 항에서,
상기 절개 홈을 차폐하여 부압 손실을 방지하는 차폐막을 더 포함하는 슬릿 코터.9. The method of claim 8,
And a shielding film for shielding the cutoff groove to prevent negative pressure loss. 제 9 항에서,
상기 차폐막은 수평 이동하여 상기 절개 홈을 개폐하는 슬릿 코터.The method of claim 9,
And the shielding film horizontally moves to open and close the incision groove. 제 9 항에서,
상기 차폐막은 축을 중심으로 회전하여 상기 절개 홈을 개폐하는 슬릿 코터.The method of claim 9,
Wherein the shielding film rotates around an axis to open and close the incision groove. 제 2 항에서,
상기 제1 노즐 립과 제2 노즐 립의 바닥면은 서로 높이가 다른 슬릿 코터.3. The method of claim 2,
Wherein the first nozzle lip and the bottom surface of the second nozzle lip have different heights from each other. 제 2 항에서,
상기 제1 노즐 립과 제2 노즐 립에 부착되는 딥 부재를 더 포함하는 슬릿 코터.3. The method of claim 2,
And a dipping member attached to the first nozzle lip and the second nozzle lip. 제 1 항에서,
상기 코팅액은 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix), 또는 평탄화 유기막(over coat layer)의 형성에 사용되는 저점도 재료인 슬릿 코터.The method of claim 1,
The coating liquid is a low viscosity material used for forming a color filter, a black matrix, or a planarizing organic overcoat layer. 제 1 항에서,
상기 코팅액은,
액정표시장치 밀봉층, 가요성 기판 코팅, 터치 스크린 패널(TSP), 광접착레진(OCR), 광접착필름(OCA), 또는 유기 발광 소자 밀봉층(OLED encap)의 형성에 사용되는 고점도 재료인 슬릿 코터.The method of claim 1,
The above-
Viscosity material used for forming liquid crystal display sealing layers, flexible substrate coating, touch screen panel (TSP), optical adhesive resin (OCR), optical adhesive film (OCA), or organic light emitting device sealing layer (OLED encap) Slit coater.
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