KR20170097864A - Coil component and manufacturing method for the same - Google Patents
Coil component and manufacturing method for the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170097864A KR20170097864A KR1020160019476A KR20160019476A KR20170097864A KR 20170097864 A KR20170097864 A KR 20170097864A KR 1020160019476 A KR1020160019476 A KR 1020160019476A KR 20160019476 A KR20160019476 A KR 20160019476A KR 20170097864 A KR20170097864 A KR 20170097864A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- coil
- layer
- coil layer
- insulating
- forming
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 11
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 15
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 148
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 11
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910018605 Ni—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007565 Zn—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/32—Insulating of coils, windings, or parts thereof
- H01F27/323—Insulation between winding turns, between winding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/115—Via connections; Lands around holes or via connections
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/165—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
- H05K3/429—Plated through-holes specially for multilayer circuits, e.g. having connections to inner circuit layers
Abstract
Description
본 개시는 코일 부품 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present disclosure relates to a coil component and a method of manufacturing the same.
디지털 TV, 모바일 폰, 노트북 등과 같은 전자 기기의 소형화 및 박형화에 수반하여 이러한 전자 기기에 적용되는 코일 부품에도 소형화 및 박형화가 요구되고 있으며, 이러한 요구에 부합하기 위하여 다양한 형태의 권선 타입 또는 박막 타입의 코일 부품의 연구 개발이 활발하게 진행되고 있다.
With the miniaturization and thinning of electronic devices such as digital TVs, mobile phones, laptops, etc., coil parts applied to such electronic devices are required to be downsized and thinned. In order to meet these demands, various types of winding type or thin film type Research and development of coil parts is actively proceeding.
코일 부품의 소형화 및 박형화에 따른 주요한 이슈는 이러한 소형화 및 박형화에도 불구하고 기존과 동등한 특성을 구현하는 것이다. 이러한 요구를 만족하기 위해서는 자성물질의 부피를 증가시키고 절연 물질의 부피를 최소화하여 낮은 직류저항(Rdc)을 확보하는 것이 필요하다.
The major issue of miniaturization and thinning of coil parts is to realize the same characteristics as the existing ones despite this miniaturization and thinning. In order to satisfy such a demand, it is necessary to increase the volume of the magnetic material and minimize the volume of the insulating material to secure a low DC resistance (Rdc).
본 개시의 여러 목적 중 하나는 바디 내의 절연 물질의 부피를 감소시켜 낮은 직류저항(Rdc)의 확보 및 원가 저감이 가능한 새로운 구조의 코일 부품 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.One of the objects of the present disclosure is to provide a coil component of a new structure capable of reducing the volume of an insulating material in a body, securing a low direct current resistance (Rdc) and reducing the cost, and a manufacturing method thereof.
본 개시를 통하여 제안하는 여러 해결 수단 중 하나는 자성물질을 포함하는 바디 및 바디 내에 배치된 코일부를 포함하며, 코일부는 절연층, 절연층의 내부에 배치되며 절연층의 일면에 노출되도록 형성된 제1 코일층, 절연층의 일면 상에 형성되며 제1 코일층과 접하도록 형성된 제2 코일층 및 상기 절연층의 타면 상에 형성된 제3 코일층을 포함함으로써, 제조공정 최소화 및 원가 절감과 함께 낮은 직류저항(Rdc)를 확보할 수 있도록 하는 것이다.
One of the solutions proposed through the present disclosure includes a body including a magnetic material and a coil portion disposed in the body, wherein the coil portion is disposed inside the insulating layer and the insulating layer, And a third coil layer formed on one surface of the insulating layer and formed in contact with the first coil layer and a third coil layer formed on the other surface of the insulating layer, So that the DC resistance Rdc can be ensured.
본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품은 바디 내의 절연 물질의 부피를 감소시켜 낮은 직류저항(Rdc)의 확보 및 원가 저감이 가능한 새로운 구조의 코일 부품 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
The coil component according to an embodiment of the present disclosure can provide a coil component having a novel structure capable of reducing the volume of the insulating material in the body and securing a low direct current resistance (Rdc) and reducing the cost, and a manufacturing method thereof.
도 1은 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품의 개략적인 사시도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일부품의 개략적인 단면도를 나타낸 것이다.
도 3은 본 개시의 다른 실시 예에 따른 코일부품의 개략적인 단면도를 나타낸 것이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품의 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도를 개략적으로 나타낸 것이다.1 shows a schematic perspective view of a coil component according to an embodiment of the present disclosure;
Figure 2 shows a schematic cross-sectional view of a coil component in accordance with an embodiment of the present disclosure.
Figure 3 shows a schematic cross-sectional view of a coil part according to another embodiment of the present disclosure.
4A to 4F schematically show a process sectional view for explaining a method of manufacturing a coil component according to an embodiment of the present disclosure.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시에 대하여 보다 상세히 설명한다. 도면에서 요소등의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
The present disclosure will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the shapes and sizes of elements and the like can be exaggerated for clarity.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시에 따른 코일 부품을 설명한다. 상기 코일 부품은 편의상 인덕터(inductor)의 구조를 예를 들어 설명하지만, 다른 다양한 용도의 코일 부품에도 본 개시의 코일 부품이 적용될 수 있음을 물론이다.
Hereinafter, a coil component according to the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. It should be understood that the coil component is exemplified by a structure of an inductor for convenience, but the coil component of the present disclosure can also be applied to other various coil components.
도 1은 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품의 개략적인 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일부품의 개략적인 단면도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 개시의 다른 실시 예에 따른 코일부품의 개략적인 단면도를 나타낸 것이다.Figure 1 shows a schematic perspective view of a coil component according to one embodiment of the present disclosure, Figure 2 shows a schematic cross-sectional view of a coil component according to one embodiment of the present disclosure, and Figure 3 shows another embodiment Sectional view of a coil component according to an example.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품(100, 200)은 자성물질을 포함하는 바디(50) 및 바디 내에 배치된 코일부를 포함하며, 코일부는 절연층(21, 121), 절연층의 내부에 배치되며 절연층의 일면에 노출되도록 형성된 제1 코일층(41, 141), 절연층의 일면 상에 형성되며 제1 코일층과 접하도록 형성된 제2 코일층(42, 142) 및 절연층의 타면 상에 형성된 제3 코일층(43, 143)을 포함한다.
Referring to Figures 1-3, a
상기 바디(50)는 코일 부품의 외관을 이룬다. 도 1에 표시된 L, W 및 T는 각각 길이방향, 폭 방향, 두께 방향을 나타낸다. 상기 바디는 코일층의 적층 방향(두께 방향)으로 마주보는 제1면 및 제2면과, 길이 방향으로 마주보는 제3면 및 제4면과 폭 방향으로 마주보는 제5면 및 제6면을 포함하는 육면체 형상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 내지 제6면이 만나는 모서리는 그라인딩(Grinding) 등에 의하여 둥글 수 있다.
The
상기 바디(50)는 자기 특성을 나타내는 자성 물질을 포함한다.The
상기 자성물질은 예를 들면 페라이트 또는 금속 자성 입자가 포함된 수지일 수 있다.The magnetic material may be, for example, a resin containing ferrite or metal magnetic particles.
상기 바디(50)는 페라이트나 금속 자성 입자가 수지에 분산된 형태일 수 있다.The
상기 페라이트는 Mn-Zn계 페라이트, Ni-Zn계 페라이트, Ni-Zn-Cu계 페라이트, Mn-Mg계 페라이트, Ba계 페라이트 또는 Li계 페라이트 등의 물질을 포함함할 수 있다.The ferrite may include a material such as Mn-Zn ferrite, Ni-Zn ferrite, Ni-Zn-Cu ferrite, Mn-Mg ferrite, Ba ferrite or Li ferrite.
상기 금속 자성 입자는 철(Fe), 실리콘(Si), 크롬(Cr), 알루미늄(Al) 및 니켈(Ni)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함할 수 있고 예를 들어, Fe-Si-B-Cr계 비정질 금속일 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 금속 자성 입자의 직경은 약 0.1㎛ 내지 30㎛일 수 있다. The metal magnetic particles may include at least one selected from the group consisting of iron (Fe), silicon (Si), chromium (Cr), aluminum (Al), and nickel (Ni) B-Cr amorphous metal, but the present invention is not limited thereto. The diameter of the metal magnetic particles may be about 0.1 占 퐉 to 30 占 퐉.
상기 수지는 에폭시(epoxy) 수지나 폴리이미드(polyimide) 수지 등의 열경화성 수지일 수 있다.
The resin may be a thermosetting resin such as an epoxy resin or a polyimide resin.
상기 코일부는 코일 부품(100)의 코일로부터 발현되는 특성을 통하여 전자 기기 내에서 다양한 기능을 수행하는 역할을 한다. 예를 들면, 코일 부품(100)은 파워 인덕터일 수 있으며, 이 경우 코일부는 전기를 자기장 형태로 저장하여 출력 전압을 유지하여 전원을 안정시키는 역할 등을 수행할 수 있다.
The coil part plays a role of performing various functions in the electronic device through the characteristics expressed from the coil of the
종래의 코일부의 경우 지지부재를 사이에 두고 양면에 코일층을 형성한 후, 지지부재에 레이저 가공을 통해 비아를 형성하여 양면의 코일층을 전기적으로 연결하는 방법을 적용하고 있다. 그러나, 상기 방법의 경우 비자성체인 지지부재의 두께로 인한 인덕턴스의 저하가 발생하며, 코일의 두께 또는 폭을 조절하여 양면 코일층의 구조를 구현하는데 한계가 있다. 따라서, 코일 부품의 소형화에 따른 인덕턴스 및 낮은 직류저항(Rdc)의 구현의 한계가 있다.
In the case of a conventional coil part, a method of forming a coil layer on both sides with a support member interposed therebetween, and then forming a via in the support member through laser processing to electrically connect the coil layers on both sides. However, in the above method, the inductance is lowered due to the thickness of the non-magnetic support member, and there is a limitation in implementing the structure of the double-sided coil layer by adjusting the thickness or width of the coil. Therefore, there are limitations in implementation of inductance and low direct current resistance (Rdc) due to miniaturization of coil parts.
본 개시에 따른 코일 부품은 상기 코일부가 절연 물질인 지지부재를 없이 복수의 코일층(41, 42, 43, 141, 142, 143)이 형성된 것으로, 종래 대비 상하부의 코일층 사이의 절연 물질의 두께가 감소되며, 이로 인해 코일 부품의 인덕턴스를 향상시킬 수 있다.
The coil component according to the present disclosure has a plurality of
상기 코일부는 절연층(21, 121), 절연층(21, 121)의 내부에 배치되며 절연층의 일면에 노출되도록 형성된 제1 코일층(41, 141), 절연층의 일면 상에 형성되며 제1 코일층(41, 141)과 접하도록 형성된 제2 코일층(42, 142) 및 절연층의 타면 상에 형성된 제3 코일층(43, 143)을 포함한다.The coil unit includes a
상기 절연층(21, 121)은 제1 코일층(41, 141)과 제3 코일층(43, 143)을 절연시키는 역할을 수행한다.The
상기 절연층(21, 121)은 절연 물질을 포함하는 전구체 필름을 상기 제1 코일층이 형성된 지지부재 상에 라미네이션 한 후 경화하여 형성될 수 있다. 이후, 상기 절연층 상에 제3 코일층을 형성할 수 있다.The
상기 절연층(21, 121)은 절연 물질을 포함하는 빌드업 필름일 수 있으며, 예를 들면, 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들면, ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다. 또는, 공지의 감광성 절연(Photo Imageble Dielectric: PID) 수지를 포함하는 절연 필름일 수도 있다. The
상기 절연층(21, 121)의 두께는 상기 제1 코일층(41, 141)의 두께보다 두껍게 형성되어 상기 제1 코일층을 덮으면서 이를 제3 코일층(43, 143)과 절연시킬 수 있을 정도면 충분하다.The thickness of the
상기 절연층(21, 121)을 관통하는 비아(47a, 47b, 147)는 제1 코일층(41, 141) 및 제3 코일층(43, 143)을 전기적으로 연결시킬 수만 있으면, 그 형상이나 재질은 특별히 한정되지 않는다.The
상기 비아(47a, 47b, 147)는 포토 리소그래피 공법, 기계적 드릴 및 레이저 드릴 중 적어도 하나를 이용하여 형성된 관통홀에 도전성 물질을 도금으로 채우는 방법으로 형성될 수 있다.The
상기 비아(47a, 47b, 147)는 상술한 바와 같은 테이퍼 형상, 원통 형상 등 당해 기술분야에 공지된 모든 형상을 가질 수 있다.The
상기 비아(47a, 47b, 147)의 재질로는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pd), 또는 이들의 합금 등의 도전성 물질을 사용할 수 있다. 상기 절연층(213, 223)의 두께는 통상 지지부재(230)의 두께보다 얇다.
As the material of the
상기 제1 코일층(41, 141)은 상기 절연층 내부에 형성된 것이며, 상기 제3 코일층(43, 143)과 접한다. 상기 제1 코일층과 상기 제3 코일층은 상기 제1 코일층과 상기 제3 코일층 간의 경계를 육안으로 확인할 수 없을 정도로 밀접하게 접할 수 있다.The
상기 제3 코일층(43, 143)의 경우, 상기 제1 코일층으로부터 연장되어 형성된 코일층일 수 있다. 따라서, 상기 제1 코일층 및 제3 코일층은 동일한 패턴 형상을 가질 수 있다.In the case of the
상기 제2 코일층(42, 142)은 상기 절연층의 타면에 형성된 것이다.The
상기 제2 코일층(42, 142)의 두께는 상기 제1 코일층과 상기 제3 코일층의 두께의 합과 동일할 수 있다.The thickness of the second coil layer (42, 142) may be equal to the sum of the thicknesses of the first coil layer and the third coil layer.
상기 제1 내지 제3 코일층(41, 42, 43, 141, 142, 143)은 포토 리소그래피 공법 및 도금 공법을 이용하여 형성될 수 있다.
The first to
도 2를 참조하면, 본 개시의 코일 부품은 상기 제1 및 제2 코일층(41, 42)과 상기 제3 코일층(43) 사이에 배치된 상기 절연층이 배치되며, 상기 절연층은 내부에 제4 코일층(44)을 포함할 수 있다.Referring to Figure 2, the coil component of the present disclosure includes an insulating layer disposed between the first and
상기 제4 코일층(44)은 상기 절연층(21)의 내부에 형성된 비아(47a, 47b)를 통하여 제1 코일층(41) 및 제3 코일층(43)과 각각 전기적으로 연결될 수 있다.The
상기 제4 코일층(44)의 코일 패턴은 단일의 턴 수를 가질 수 있으며, 상기 제1 내지 제3 코일층의 코일 패턴은 복수의 턴수를 가질 수 있다. 여기서 단일의 턴 수를 가진다는 의미는 1 이하의 턴 수를 가지는 것을 의미하며, 상기 복수의 턴 수를 가진다는 의미는 1 초과의 턴 수를 가지는 것을 의미한다. 상기 코일 패턴의 턴수는 상기 어스펙트 비에 따라 조절할 수 있으며, 코일부의 단면적이 감소하지만, 그 만큼 턴 수를 더 높여줄 수 있으므로 코일 부품의 높은 인덕턴스 구현에 유용할 수 있다.The coil pattern of the
상기 제4 코일층(44)의 코일 패턴의 어스펙트 비가 1 미만인 경우, 코일 패턴 형성 공정기술이 허용하는 산포 내에서 코일 패턴의 높이와 폭을 자유롭게 조절할 수 있으므로, 코일 패턴의 균일도가 우수하며, 폭 방향으로 넓으므로 단면적이 상승하여 낮은 직류 저항(Rdc) 특성을 구현할 수 있다.
When the aspect ratio of the coil pattern of the
상기 제2 및 제3 코일층(42, 43)의 최종 코일 패턴은 폭에 대한 두께의 비의 비인 어스펙트 비(Aspect Ratio: AR)가 1 초과일 수 있다.The aspect ratio (AR) of the final coil pattern of the second and
상기 제2 및 제3 코일층(42, 43)의 경우, 코일 패턴의 두께를 증가시키면서 코일 부품의 특성을 확보하기 위하여 코일 패턴 도금 이후 이방 도금을 진행하여 코일 두께 증가시킨다. 이로 인해, 상기 제2 및 제3 코일층은 최종 코일 패턴의 두께가 폭보다 크다.In the case of the second and third coil layers 42 and 43, anisotropic plating is performed after the coil pattern plating to increase the coil thickness in order to secure the characteristics of the coil part while increasing the thickness of the coil pattern. As a result, the thickness of the final coil pattern is larger than the width of the second and third coil layers.
따라서, 제2 및 제3 코일층(42, 43)의 코일 패턴의 어스펙트 비가 1 초과인 경우, 제2 및 제3 코일층(42, 43)의 코일 패턴은 제4 코일층(44)의 코일 패턴에 비하여 동일 평면에서 더 많은 턴 수를 가질 수 있다. 즉, 코일부의 단면적이 감소하지만, 그 만큼 턴 수를 더 높여줄 수 있기 때문에, 높은 인덕턴스의 구현에 특히 유용하다.Therefore, when the aspect ratio of the coil patterns of the second and third coil layers 42 and 43 is more than 1, the coil patterns of the second and third coil layers 42 and 43 are formed in the same direction as that of the
상기 제4 코일층(44)은 어스펙트 비가 1 미만이므로 두께가 얇게 형성될 수 있으며, 상기 제2 및 제3 코일층(42, 43)는 어스펙트 비가 1 초과이므로 코일 패턴의 선폭 자체를 얇게 구현할 수 있다.
Since the aspect ratio of the second and third coil layers 42 and 43 is greater than 1, the line width of the coil pattern may be thinned Can be implemented.
상기 복수의 코일층은 충분한 턴 수를 가지기 위하여 그 수평 방향, 즉 길이 방향 또는 폭 방향에서 그 공간을 최대한 활용하도록 형성될 수 있다.The plurality of coil layers may be formed to take maximum advantage of the space in the horizontal direction, that is, the longitudinal direction or the width direction, so as to have a sufficient number of turns.
상기 제1 및 제2 코일층과 상기 제3 코일층은 하부 및 상부로 각각 적층되며 중복되는 영역을 가질 수 있다. 이로 인해, 본 개시의 코일 부품은 박형이면서도 충분한 코일 특성을 구현할 수 있다.
The first and second coil layers and the third coil layer may be stacked on the lower and upper portions, respectively, and have overlapping regions. As a result, the coil component of the present disclosure can achieve sufficient coil characteristics while being thin.
상기 제2 및 제3 코일층(43, 143)은 절연막(30, 130)으로 피복될 수 있다. 의하여 커버된다.The second and third coil layers 43 and 143 may be covered with an insulating
상기 절연막(30, 130)은 제2 및 제3 코일층(42, 43, 142, 143)을 보호하는 역할을 수행한다.The insulating layers 30 and 130 serve to protect the second and third coil layers 42, 43, 142, and 143.
상기 절연막(30, 130)의 재질은 절연 물질을 포함하는 것이면 어느 것이든 적용될 수 있으며, 예를 들면, 통상의 절연 코팅에 사용되는 절연 물질, 예컨대 에폭시 수지, 폴리이미드 수지, 액정 결정성 폴리머 수지 등을 포함할 수 있으며, 공지의 감광성 절연(Photo Imageble Dielectric: PID) 수지 등이 사용될 수도 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The insulating
상기 절연막(30, 130)은 제조 방법에 따라서 절연층과 일체화될 수도 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
The insulating layers 30 and 130 may be integrated with the insulating layer according to a manufacturing method, but are not limited thereto.
상기 외부전극(81, 82)은 바디의 적어도 일단면에 노출되는 상기 제1 및 제2 코일층과 제3 코일층 각각의 인출 단자와 전기적으로 연결된다.The
상기 외부전극(81, 82)은 코일 부품(100)이 전자 기기에 실장 될 때, 코일 부품(10A) 내의 코일부를 전자 기기와 전기적으로 연결시키는 역할을 수행한다.The
상기 외부전극(81, 82)은 도전성 금속을 포함하는 도전성 페이스트를 사용하여 형성될 수 있으며, 상기 도전성 금속은 구리(Cu), 니켈(Ni), 주석(Sn) 및 은(Ag) 중 적어도 하나 또는 이들의 합금일 수 있다.The
상기 외부전극은 상기 페이스트 층 상에 형성된 도금층을 포함할 수 있다.The external electrode may include a plating layer formed on the paste layer.
상기 도금층은 니켈(Ni), 구리(Cu) 및 주석(Sn)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 니켈(Ni)층과 주석(Sn)층이 순차로 형성될 수 있다.
The plating layer may include at least one selected from the group consisting of nickel (Ni), copper (Cu), and tin (Sn). For example, a nickel (Ni) layer and a tin .
이하, 본 개시에 따른 코일 부품의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the coil component according to the present disclosure will be described.
도 4a 내지 도 4f는 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품의 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도를 개략적으로 나타낸 것이다.4A to 4F schematically show a process sectional view for explaining a method of manufacturing a coil component according to an embodiment of the present disclosure.
도 1 내지 3에 도시된 구성 요소와 동일한 구성요소에 대해서는 설명을 생략하도록 한다.The same components as those shown in Figs. 1 to 3 will not be described.
도 4a 내지 4f를 참조하면, 본 개시의 일 실시 예에 따른 코일 부품의 제조방법은 제1 내지 제3 코일층를 포함하는 코일부를 형성하는 단계 및 상기 코일부를 수용하는 바디를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 코일부를 형성하는 단계는 지지부재의 적어도 일면 상에 제1 코일층을 형성하는 단계, 상기 제1 코일층을 덮도록 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층 상에 제1 코일 패턴을 형성하는 단계; 상기 지지부재를 제거하는 단계, 상기 제1 코일층 및 상기 제1 코일 패턴에 각각 이방 도금을 진행하여 제2 코일층 및 제3 코일층을 얻는 단계를 포함한다.
4A through 4F, a method of manufacturing a coil component according to an embodiment of the present disclosure includes forming a coil portion including first to third coil layers, and forming a body accommodating the coil portion Wherein forming the coil portion includes forming a first coil layer on at least one side of the support member, forming an insulating layer to cover the first coil layer, Forming a pattern; Removing the supporting member, and performing anisotropy plating on the first coil layer and the first coil pattern to obtain a second coil layer and a third coil layer, respectively.
도 4a를 참조하면, 지지부재(70) 상에 제1 코일층(41)을 형성한다.Referring to FIG. 4A, a
상기 지지부재(70)는 동박적층판(CCL), 폴리프로필렌글리콜(PPG) 기판, 페라이트 기판 또는 금속계 연자성 기판 등일 수 있다. 또한, 절연 수지로 이루어진 절연 기판일 수도 있다. 절연 수지로는 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 유리 섬유 또는 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들면, 프리프레그(prepreg), ABF(Ajinomoto Build-up Film), FR-4, BT(Bismaleimide Triazine) 수지, PID(Photo Imagable Dielectric) 수지 등이 사용될 수 있다.The
상기 지지부재(70) 상에 상기 제1 코일층(41)을 형성함과 동시에, 이후에 복수의 코일부로 분리하기 형성하기 위하여, 캐비티(cavity) 패턴(60)을 함께 형성할 수 있다.A
상기 제1 코일층(41) 및 상기 캐비티 패턴(60)은 전기 전도성이 뛰어난 금속을 도금하여 형성될 수 있으며, 상기 금속은 예를 들어, 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 구리(Cu), 백금(Pt) 또는 이들의 합금일 수 있다.
The
다음으로, 도 4b를 참조하면, 상기 제1 코일층(41) 상에 비아(47b)을 형성한다.Next, referring to FIG. 4B, a via 47b is formed on the
상기 비아(47b)는 포토 리소그래피 공법 및 도금 방법으로 형성될 수 있다.The
상기 비아(47b)는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pd), 또는 이들의 합금 등의 도전성 물질로 이루어질 수 있다.
The via 47b may be formed of a conductive material such as copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), tin (Sn), gold (Au), nickel (Ni), lead (Pd) Lt; / RTI >
다음으로, 도 4c를 참조하면, 상기 제1 코일층(41)을 덮도록 절연층(21)을 형성한다.Next, referring to FIG. 4C, an insulating
상기 절연층(21)은 상기 비아(47a)의 일면이 노출되도록 상기 제1 코일층(41) 및 상기 비아(47a)를 덮을 수 있다.The insulating
상기 절연층(21)은 절연 물질을 포함하는 전구체 필름을 상기 제1 코일층이 형성된 상기 지지부재 상에 라미네이션 한 후 경화하여 형성될 수 있다.The insulating
상기 절연층(21)은 절연 물질을 포함하는 빌드업 필름일 수 있으며, 예를 들면, 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들면, ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다. 또는, 공지의 감광성 절연(Photo Imageble Dielectric: PID) 수지를 포함하는 절연 필름일 수도 있다.
The insulating
다음으로, 도 4d 내지 4f를 참조하면, 상기 절연층(21) 상에 제1 코일 패턴(43')을 형성한 후, 상기 지지부재(70)를 제거하고 이방 도금을 수행한다.4D to 4F, after the first coil pattern 43 'is formed on the insulating
상기 지지부재를 제거하면, 상기 제1 코일층(41)의 일면과 제1 코일 패턴(43')이 노출된 복수 개의 코일 적층체를 얻을 수 있다.When the support member is removed, a plurality of coil stacks in which one side of the
상기 노출된 제1 코일층(41)의 일면과 상기 제1 코일 패턴(43') 상에 이방 도금을 수행하여 코일층의 두께를 확보할 수 있다.The thickness of the coil layer can be secured by performing anisotropic plating on one side of the exposed
상기 코일층의 형성과정을 1회 이상 반복하여 다층 구조의 코일을 형성할 수 있으며, 필요에 따라 층 수는 증가 또는 감소할 수 있다.The process of forming the coil layer may be repeated one or more times to form a multilayer coil, and the number of layers may be increased or decreased as needed.
상기 제2 코일층(42)은 상기 제1 코일층(41)의 일면 상에 이방 도금으로 형성된 코일층이며, 상기 제3 코일층(43)은 상기 제1 코일 패턴(43') 및 상기 제1 코일 패턴 상에 이방 도금으로 형성된 코일층이다.The
이때, 상기 제3 코일층(43)은 상기 제1 코일층(41)과 상기 비아(47a, 47b)를 통하여 전기적으로 연결된다.
At this time, the
본 개시에 따른 코일 부품의 제조 방법은 포토 리소그래피 방법 및 도금 방법을 이용하여 코일층 상에 비아을 형성하여 진행하는 것으로, 지지부재 내에 관통홀을 형성하기 위한 가공 공정을 생략할 수 있어 제조 원가 절감 효과를 가질 수 있다. The manufacturing method of a coil part according to the present disclosure is a method of forming a via on a coil layer by using a photolithography method and a plating method so that a machining step for forming a through hole in a support member can be omitted, Lt; / RTI >
또한, 지지부재를 제거하므로, 기판의 휨 불량 감소 및 코일층 사이의 두께 감소 효과를 가질 수 있으며, 코일층 간 두께 감소로 인하여 층간 연결을 위한 비아의 크기가 감소될 수 있다. 나아가, 필요에 따라 절연층 및 비아의 크기 조절이 용이할 수 있다.In addition, since the support member is removed, it is possible to reduce the deflection of the substrate and reduce the thickness of the coil layers, and the size of the vias for interlayer connection can be reduced due to the reduction in thickness between the coil layers. Furthermore, the size of the insulating layer and the via can be easily adjusted as needed.
상기 제1 코일 패턴을 형성하는 단계 이전에, 제4 코일층(44)을 형성하는 단계 및 상기 제4 코일층(44)을 덮도록 절연층(21)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Forming a
상기 제4 코일층(44)은 상기 절연층(21) 내부에 배치되도록 형성될 수 있다.The
상기 제4 코일층(44)은 상기 제1 코일층(41) 및 상기 제3 코일층(43)과 각각 비아(47a, 47b)로 연결될 수 있다.The
상기 제4 코일층을 형성하는 경우, 코일층이 3층 구조로 구현될 수 있으며, 이로 인하여 코일의 턴 수 증가로 인하여 인덕턴스를 향상시킬 수 있다.
When the fourth coil layer is formed, the coil layer may have a three-layer structure, thereby increasing the number of turns of the coil, thereby improving the inductance.
이후, 상기 캐비티 패턴(60)을 식각하여 제거한다.Then, the
상기 캐비티 패턴(60)의 제거와 지지부재(70)의 제거로 인하여 지지부재의 돌출부 길이 편차를 감소시킬 수 있다.
The removal of the
본 개시는 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다.The present disclosure is not limited by the above-described embodiment and the accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims.
따라서, 청구범위에 기재된 본 개시의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 개시의 범위에 속한다고 할 것이다.
Accordingly, various modifications, substitutions, and alterations can be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present disclosure, which is also within the scope of the present disclosure something to do.
50: 바디
41: 제1 코일층
42: 제2 코일층
43: 제3 코일층
44: 제4 코일층
21: 절연층
30: 절연막
47a, 47b, 147: 비아
81, 82: 외부전극
60: 캐비티 패턴
70: 지지부재50: Body
41: first coil layer
42: second coil layer
43: third coil layer
44: fourth coil layer
21: Insulating layer
30: Insulating film
47a, 47b, 147: Via
81, 82: external electrode
60: Cavity pattern
70: Support member
Claims (10)
상기 바디 내에 배치된 코일부;를 포함하며,
상기 코일부는 절연층, 상기 절연층의 내부에 배치되며 상기 절연층의 일면에 노출되도록 형성된 제1 코일층, 상기 절연층의 일면 상에 형성되며 상기 제1 코일층과 접하도록 형성된 제2 코일층 및 상기 절연층의 타면 상에 형성된 제3 코일층을 포함하는 코일 부품.
A body comprising a magnetic material; And
And a coil portion disposed within the body,
The coil portion may include an insulating layer, a first coil layer disposed inside the insulating layer and exposed to one surface of the insulating layer, a second coil layer formed on one surface of the insulating layer and contacting the first coil layer, And a third coil layer formed on the other side of the insulating layer.
상기 절연층은 내부에 제4 코일층을 포함하는 코일 부품.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer includes a fourth coil layer therein.
상기 제4 코일층의 코일 패턴은 단일의 턴 수를 갖는 코일 부품.
3. The method of claim 2,
And the coil pattern of the fourth coil layer has a single turn number.
상기 제4 코일층은 상기 제1 코일층 및 상기 제3 코일층과 각각 비아로 연결되는 코일 부품.
3. The method of claim 2,
And the fourth coil layer is vias connected to the first coil layer and the third coil layer, respectively.
상기 제1 코일층은 상기 제3 코일층과 비아를 통하여 전기적으로 연결되는 코일 부품.
The method according to claim 1,
Wherein the first coil layer is electrically connected to the third coil layer via a via.
상기 코일부를 수용하는 바디를 형성하는 단계;를 포함하며,
상기 코일부를 형성하는 단계는, 지지부재의 적어도 일면 상에 제1 코일층을 형성하는 단계, 상기 제1 코일층을 덮도록 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층 상에 제1 코일 패턴을 형성하는 단계; 상기 지지부재를 제거하는 단계, 상기 제1 코일층 및 상기 제1 코일 패턴에 각각 이방 도금을 진행하여 제2 코일층 및 제3 코일층을 얻는 단계를 포함하는 코일 부품의 제조방법.
Forming a coil portion including the first to third coil layers; And
Forming a body to receive the coiled portion,
The step of forming the coil portion may include the steps of forming a first coil layer on at least one surface of the support member, forming an insulating layer to cover the first coil layer, ; Removing the support member, and anisotropically plating the first coil layer and the first coil pattern, respectively, to obtain a second coil layer and a third coil layer.
상기 제1 코일 패턴을 형성하는 단계 이전에,
제4 코일층을 형성하는 단계 및 상기 제4 코일층을 덮도록 절연층을 형성하는 단계를 포함하는 코일 부품의 제조방법.
외층 코일의 코일 패턴은 복수의 턴 수를 갖는 코일 부품의 제조방법.
The method according to claim 6,
Before the step of forming the first coil pattern,
Forming a fourth coil layer, and forming an insulating layer to cover the fourth coil layer.
Wherein the coil pattern of the outer layer coil has a plurality of turns.
상기 제4 코일층을 형성하는 단계 이전에,
상기 절연층에 상기 제1 코일층과 연결되는 비아를 형성하는 단계를 포함하는 코일 부품의 제조방법.
8. The method of claim 7,
Before the step of forming the fourth coil layer,
And forming a via in the insulating layer to be connected to the first coil layer.
상기 제4 코일층은 상기 제1 코일층 및 상기 제3 코일층과 각각 비아로 연결되는 코일 부품의 제조방법.
8. The method of claim 7,
And the fourth coil layer is connected to the first coil layer and the third coil layer in vias, respectively.
상기 제1 코일층은 상기 제3 코일층과 비아를 통하여 전기적으로 연결되는 코일 부품.The method according to claim 1,
Wherein the first coil layer is electrically connected to the third coil layer via a via.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160019476A KR102609135B1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Coil component and manufacturing method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160019476A KR102609135B1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Coil component and manufacturing method for the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170097864A true KR20170097864A (en) | 2017-08-29 |
KR102609135B1 KR102609135B1 (en) | 2023-12-05 |
Family
ID=59760322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160019476A KR102609135B1 (en) | 2016-02-19 | 2016-02-19 | Coil component and manufacturing method for the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102609135B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110349737A (en) * | 2018-04-02 | 2019-10-18 | 三星电机株式会社 | The method of coil block and manufacture coil block |
CN110400672A (en) * | 2018-04-25 | 2019-11-01 | 三星电机株式会社 | Coil block |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004111597A (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Canon Inc | Micro-structure body and method of fabricating the same |
JP2007067214A (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Taiyo Yuden Co Ltd | Power inductor |
KR20150134857A (en) * | 2014-05-23 | 2015-12-02 | 삼성전기주식회사 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
KR20160004090A (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-12 | 삼성전기주식회사 | Coil unit for thin film inductor, manufacturing method of coil unit for thin film inductor, thin film inductor and manufacturing method of thin film inductor |
-
2016
- 2016-02-19 KR KR1020160019476A patent/KR102609135B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004111597A (en) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Canon Inc | Micro-structure body and method of fabricating the same |
JP2007067214A (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Taiyo Yuden Co Ltd | Power inductor |
KR20150134857A (en) * | 2014-05-23 | 2015-12-02 | 삼성전기주식회사 | Chip electronic component and manufacturing method thereof |
KR20160004090A (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-12 | 삼성전기주식회사 | Coil unit for thin film inductor, manufacturing method of coil unit for thin film inductor, thin film inductor and manufacturing method of thin film inductor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110349737A (en) * | 2018-04-02 | 2019-10-18 | 三星电机株式会社 | The method of coil block and manufacture coil block |
CN110349737B (en) * | 2018-04-02 | 2021-10-08 | 三星电机株式会社 | Coil assembly and method of manufacturing coil assembly |
US11145457B2 (en) | 2018-04-02 | 2021-10-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil component and method for manufacturing the same |
CN110400672A (en) * | 2018-04-25 | 2019-11-01 | 三星电机株式会社 | Coil block |
US11217381B2 (en) | 2018-04-25 | 2022-01-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102609135B1 (en) | 2023-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6470252B2 (en) | Coil component and manufacturing method thereof | |
JP6639626B2 (en) | Coil component and method of manufacturing the same | |
JP6828948B2 (en) | Coil parts and their manufacturing methods | |
JP6825189B2 (en) | Coil parts and their manufacturing methods | |
KR101792364B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR101762027B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
US10529476B2 (en) | Coil component and method for manufacturing the same | |
JP2015088753A (en) | Coil component and manufacturing method of the same, coil component built-in substrate, and voltage adjustment module including the substrate | |
KR102105388B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR20170123300A (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR102404312B1 (en) | Coil component | |
KR102281448B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR102609135B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR102538912B1 (en) | Coil component | |
KR20170097862A (en) | Coil component | |
KR102559973B1 (en) | Inductor | |
KR102404313B1 (en) | Coil component | |
CN112447359B (en) | Electronic component and method for manufacturing the same | |
WO2023149350A1 (en) | Inductor component and inductor array | |
KR102185058B1 (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR20170097441A (en) | Coil component and manufacturing method for the same | |
KR20200048213A (en) | Inductor | |
JP2005129550A (en) | Composite lc component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |