KR20170063573A

KR20170063573A - Container accommodation device

Info

Publication number: KR20170063573A
Application number: KR1020177007021A
Authority: KR
Inventors: 치카라 소노다; 츠요시 미야하라; 가츠히로 오오카와; 요시노리 우츠노미야; 히카루 아카다; 가즈히사 하세베
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2014-09-24
Filing date: 2015-09-17
Publication date: 2017-06-08
Also published as: KR102380665B1; WO2016047542A1

Abstract

반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치는, 용기가 배치되는 배치대와, 배치대에 배치되는 용기 내의 처리액의 액량에 따라서 승강하는 지지판과, 지지판의 승강에 따라서 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하는 셔터를 갖는다. 셔터는, 용기 내의 액량이 소정의 값을 하회하는 경우에, 용기의 배치대로부터의 이동을 저해하는 위치까지 상승한다. A container accommodating device for accommodating a plurality of containers for storing a process liquid for semiconductor manufacturing includes a container having a container placed thereon, a support plate configured to move up and down according to a liquid amount of the process liquid in the container disposed in the container, As shown in FIG. When the amount of liquid in the container falls below a predetermined value, the shutter rises to a position where it inhibits movement of the container from its position.

Description

CONTAINER ACCOMMODATION DEVICE

(관련 출원의 상호 참조)(Cross reference of related application)

본원은, 2014년 9월 24일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 2014-193581호 및 2015년 8월 10일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 2015-158322호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다. The present application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2014-193581, filed on September 24, 2014, and Japanese Patent Application No. 2015-158322, filed on August 10, 2015, Here.

본 발명은, 예컨대 레지스트액이나 현상액 등, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 수용하는 용기 수용 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a container accommodating apparatus for accommodating a container for storing a processing solution for semiconductor manufacturing, such as a resist solution or a developer.

예컨대 반도체 디바이스의 제조 공정에서의 포토리소그래피 공정에서는, 웨이퍼 상에 레지스트액을 도포하여 레지스트막을 형성하거나, 현상액을 공급하여 레지스트막을 현상 처리하거나 하기 위해, 여러가지 액처리가 행해진다. 이들 일련의 액처리는, 각종 액처리 장치나 장치 사이에서 웨이퍼를 반송하는 반송 기구 등을 탑재한 기판 처리 시스템에 의해 행해진다. For example, in a photolithography process in a manufacturing process of a semiconductor device, various liquid treatments are performed in order to form a resist film by applying a resist solution on a wafer or to develop the resist film by supplying a developing solution. These series of liquid processes are performed by a substrate processing system having a transport mechanism or the like for transporting wafers between various liquid processing devices and devices.

이러한 기판 처리 시스템에 있어서, 각종 처리액은, 그 처리액을 저류하는 용기로부터 각종 액처리 장치에 공급되지만, 처리액에는 예컨대 레지스트액이나 현상액과 같이 복수의 것이 이용되고, 또한, 레지스트액이나 현상액 그 자체도 여러가지 종류의 것이 이용되기 때문에, 그 기판 처리 시스템에는 처리액의 용기가 여러 종류에 걸쳐 배치된다. In such a substrate processing system, various kinds of processing liquids are supplied to various liquid processing apparatuses from a container for storing the processing liquids. However, a plurality of processing liquids such as a resist liquid or a developing liquid are used, Since various types of substrates are used, the substrate processing system includes a plurality of types of processing liquid containers.

그 때문에, 예컨대 특허문헌 1에는, 예컨대 다 사용하여 빈 용기를 교환할 때 다른 종류의 용기와 잘못 교환해 버리는 것을 방지하기 위해, 각 용기를 관리하는 방법이 제안되어 있다. For this reason, for example, Patent Document 1 proposes a method of managing individual containers in order to prevent accidental exchange with other kinds of containers when the empty containers are exchanged, for example.

특허문헌 1의 방법에서는, 예컨대 처리액의 용기 표면에 식별용 바코드를 부착해 두고, 용기 교환시에 그 바코드를 판독하여 미리 등록해 놓은 데이터와 비교함으로써, 교환하는 용기의 적합 여부를 판정한다. In the method of Patent Document 1, for example, a barcode for identification is attached to the surface of a container of a treatment liquid, and the barcode is read at the time of container exchange, and the data is compared with data registered in advance.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2001-217217호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-217217

그런데, 상기한 바와 같은 기판 처리 시스템에서는, 다수의 용기를 효율적으로 수용하기 위해, 예컨대 도 29에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로 다단으로 설치되는 선반(200)을 갖춘 수용 랙(201)이 이용된다. 그리고, 각 단의 선반(200)에는 용기(210)가 다수 배치된다. However, in the above-described substrate processing system, in order to efficiently accommodate a plurality of containers, for example, as shown in Fig. 29, a receiving rack 201 equipped with a shelf 200 installed vertically in multiple stages is used do. A plurality of vessels 210 are arranged in the shelves 200 at each stage.

그 때문에, 용기(210)가 비었을 때, 다수의 용기(210) 중에서 교환이 필요한 용기(210)를 특정하기 위해 시간을 요하게 된다. 특히, 통상은 용기(210)에 색깔이 있어 외부에서 처리액의 잔량을 확인할 수 없고, 또한, 용기(210)의 크기나 형상은 처리액의 종류에 상관없이 대략 동일하므로, 외부로부터의 시인에 의해 빈 용기(210)를 특정하는 것이 어렵다.Therefore, when the container 210 is empty, it takes time to specify the container 210 that needs to be exchanged among the plurality of containers 210. Particularly, usually, the container 210 has a color, so that the remaining amount of the processing solution can not be confirmed from the outside, and the size and shape of the container 210 are substantially the same regardless of the kind of the processing solution. It is difficult to specify the empty container 210.

따라서, 용기(210)의 교환 작업시에, 대상과는 다른 용기(210)를 잘못 교환해 버릴 우려가 있다. 그리고, 용기(210)를 잘못 교환하여 처리액이 혼합 접촉해 버리면, 처리액 계통의 세정 등을 행할 필요가 있기 때문에, 기판 처리 시스템의 복구에 많은 시간과 비용이 걸리게 된다.Therefore, at the time of exchanging the container 210, there is a possibility that the container 210 different from the target is erroneously exchanged. If the vessel 210 is mistakenly exchanged and mixed with the processing liquid, it is necessary to perform cleaning of the processing liquid system, so that it takes much time and cost to recover the substrate processing system.

본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 교환 대상이 되는 처리액의 용기를 단시간에 특정함과 함께, 용기를 잘못 교환하는 것을 방지하는 것을 목적으로 하고 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to specify a container of a treatment liquid to be exchanged in a short period of time and to prevent a container from being changed accidentally.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서, 상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와, 상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되고, 또한 소정의 조건이 성립했을 때 상기 배치대 상의 용기에 대한 상대적인 위치가 변화하여, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하는 이동 부재를 갖는다. In order to achieve the above object, the present invention provides a container accommodating device for accommodating a plurality of containers for storing a processing solution for semiconductor manufacturing, the container accommodating device comprising: a plurality of placement tables on which the containers are placed; The position of the container relative to the container on the placement table changes when a predetermined condition is satisfied, and the position of the container from the position inhibiting the movement for replacement of the container And has a retracting moving member.

본 발명에 의하면, 용기를 교환하기 위해 그 용기를 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 이동 부재가 배치되고, 이 이동 부재가 소정의 조건이 성립했을 때 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴한다. 또, 소정의 조건이란, 예컨대 용기 내의 처리액의 액량이 소정의 값을 하회하여, 그 용기의 교환이 필요해진 경우 등이다. 따라서, 예컨대 처리액의 액량이 소정의 값을 하회하는 용기를 교환할 때, 교환 대상과는 다른 용기, 즉 이동 부재가 용기의 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하지 않은 배치대에 대응하는 용기를, 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이동 기구가 이동하기 때문에, 그 이동 기구의 위치를 시인함으로써, 교환 대상이 되는 용기를 용이하게 특정할 수 있다. According to the present invention, a moving member is disposed at a position for inhibiting movement of the container from the arrangement for exchanging the container, and the moving member is positioned at a position inhibiting movement for exchanging the container when a predetermined condition is satisfied . The predetermined condition is, for example, a case where the liquid amount of the treatment liquid in the container is lower than a predetermined value and the container needs to be replaced. Therefore, for example, when replacing a container in which the liquid amount of the processing liquid is less than a predetermined value, a container different from the replacement object, that is, the container corresponding to the placement table in which the moving member does not retract from the position inhibiting the movement of the container, It is possible to prevent a wrong exchange. Further, since the moving mechanism is moved, the position of the moving mechanism can be visually recognized to easily specify the container to be replaced.

다른 관점에 의한 본 발명은, 반도체 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 복수 수용하는 용기 수용 장치로서, 상기 용기가 배치되는 복수의 배치대와, 상기 배치대 상의 상기 용기의 교환을 위해 그 용기를 상기 배치대로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치되는 이동 부재와, 상기 이동 부재를 이동시키는 구동 기구와, 상기 용기로부터 외부에 공급되는 처리액의 유량을 검출하는 유량 검출 기구와, 상기 유량 검출 기구에서의 검출 유량이 소정의 값을 하회하는 경우에, 상기 이동 부재를, 상기 용기의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴시키도록, 상기 구동 기구를 제어하는 제어부를 갖는다. Another aspect of the present invention is a container accommodating apparatus for accommodating a plurality of containers for storing a process liquid for semiconductor manufacturing, the container accommodating apparatus comprising: a plurality of placement bases in which the containers are placed; A flow rate detecting mechanism for detecting a flow rate of the processing liquid supplied from the vessel to the outside, and a flow rate detecting mechanism for detecting a flow rate of the processing liquid supplied to the outside from the vessel, And a control unit for controlling the driving mechanism so as to move the moving member back from a position inhibiting movement for exchanging the container when the detected flow rate in the container is lower than a predetermined value.

본 발명에 의하면, 교환 대상이 되는 처리액의 용기를 단시간에 특정함과 함께, 잘못된 용기를 교환하는 것을 방지할 수 있다. According to the present invention, it is possible to specify the container of the treatment liquid to be exchanged in a short period of time and prevent the erroneous container from being replaced.

도 1은 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 2는 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 3은 셔터의 형상을 나타내는 횡단면도이다.
도 4는 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 5는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 6은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 7은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 8은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 9는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 10은 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 11은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 12는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 13은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 14는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 15는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 16은 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 17은 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 18은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 19는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 20은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 21은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 22는 다른 실시형태에 관한 유지 부재의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 23은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 24는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 우측도이다.
도 25는 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 26은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 27은 다른 실시형태에 관한 배치대 근방의 구성의 개략을 나타내는 측면의 설명도이다.
도 28은 다른 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치의 구성의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 29는 종래의 수용 랙의 구성의 개략을 나타내는 사시도이다. 1 is a front view schematically showing a configuration of a container receiving apparatus according to the present embodiment.
Fig. 2 is an explanatory view of a side showing an outline of the configuration of the vicinity of the arrangement.
3 is a cross-sectional view showing the shape of the shutter.
Fig. 4 is an explanatory view of a side showing an outline of the configuration in the vicinity of the arrangement.
Fig. 5 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 6 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 7 is an explanatory diagram showing the outline of the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 8 is an explanatory diagram of a side view showing an outline of a configuration in the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 9 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
10 is a plan view showing the shape of the holding member.
Fig. 11 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 12 is an explanatory diagram of a side view schematically showing a configuration of a placement portion in the vicinity of another embodiment. Fig.
Fig. 13 is an explanatory diagram showing the outline of the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 14 is an explanatory view of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 15 is an explanatory view of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
16 is a plan view showing the shape of a holding member according to another embodiment.
17 is a plan view showing the shape of a holding member according to another embodiment.
Fig. 18 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 19 is an explanatory diagram showing the outline of the configuration of the vicinity of the arrangement according to the other embodiment; Fig.
FIG. 20 is an explanatory diagram showing a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; FIG.
Fig. 21 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the arrangement to the vicinity of another embodiment. Fig.
22 is a plan view showing the shape of a holding member according to another embodiment;
Fig. 23 is a front view schematically showing the configuration of the arrangement in the vicinity of another embodiment; Fig.
Fig. 24 is a right side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
Fig. 25 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the arrangement portion in the vicinity of another embodiment. Fig.
Fig. 26 is an explanatory diagram of a side view schematically showing the configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; Fig.
FIG. 27 is an explanatory diagram of a side view schematically showing a configuration of the vicinity of the arrangement according to another embodiment; FIG.
28 is a front view schematically showing the configuration of a container receiving apparatus according to another embodiment of the present invention.
29 is a perspective view schematically showing a configuration of a conventional receiving rack;

이하, 본 발명의 실시형태에 관해 설명한다. 도 1은, 본 실시형태에 관한 용기 수용 장치(1)의 정면도이다. 용기 수용 장치(1)에 수용되는 용기(10)는, 예컨대 반도체 제조용의 처리액을 저류한다. 또, 처리액으로는, 예컨대 레지스트액이나 현상액, 반사 방지막을 형성하기 위한 약액 등이다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. 1 is a front view of a container receiving apparatus 1 according to the present embodiment. The container 10 accommodated in the container accommodating apparatus 1 holds, for example, a process liquid for semiconductor manufacturing. The treatment liquid is, for example, a chemical liquid for forming a resist solution, a developer solution, or an antireflection film.

용기 수용 장치(1)는, 수용 랙(11)과, 수용 랙(11) 내에 다단으로 설치되는 선반(12)과, 선반(12)의 상면에 배치되는 복수의 배치대(13)를 갖는다. 또, 도 1에서는, 상하 방향으로 선반(12)이 2단 설치되고, 각 선반(12)의 상면에는, 수평 방향을 따라서 각각 4개의 배치대(13)가 설치되어 있는 상태를 도시하고 있지만, 수용 랙(11)의 형상이나 선반(12), 배치대(13)의 수나 배치에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되는 것이 아니며, 임의로 설정할 수 있다. 또한, 상단측의 선반(12)의 상방에는 상부판(14)이 설치된다. The container receiving apparatus 1 has a receiving rack 11, a shelf 12 provided in multiple stages in the receiving rack 11 and a plurality of placing tables 13 arranged on the upper surface of the shelf 12. 1 shows a state in which two shelves 12 are provided in the vertical direction and four placement tables 13 are provided on the upper surface of each shelf 12 along the horizontal direction, The shape of the receiving rack 11 and the number and arrangement of the shelf 12 and the placement table 13 are not limited to the contents of the present embodiment and can be arbitrarily set. An upper plate 14 is provided above the upper shelf 12.

각 배치대(13)에는, 처리액을 저류하는 용기(10)가 각각 배치된다. 용기(10)의 상방의 개구부에는, 용기(10)의 내부에 삽입되는 공급관(20)과 일체로 접속되는 캡(21)이 부착된다. 용기(10) 내의 처리액은, 공급관(20) 및 캡(21)을 통해 용기(10)의 외부로 공급된다. On each of the placement bases 13, a container 10 for storing the treatment liquid is disposed. A cap 21, which is integrally connected to a supply pipe 20 inserted into the container 10, is attached to the upper opening of the container 10. The processing liquid in the vessel 10 is supplied to the outside of the vessel 10 through the supply pipe 20 and the cap 21.

배치대(13)는, 예컨대 도 2에 도시한 바와 같이, 선반(12)의 상면에 설치되는 예컨대 상면이 개구된 대략 원통 형상의 배치판(30)과, 배치판(30) 상면에 상하 방향으로 연신하여 설치되는 스프링(31)과, 스프링(31)의 배치판(30)과 반대측의 단부에 설치되는, 용기(10)의 하면을 지지하는 지지판(32)과, 지지판(32)의 하면에 접속되는 변위 전달 부재로서의 캠기구(33)와, 캠기구(33)에 의해 승강 이동하는 이동 부재로서의 셔터(34)를 갖는다. 지지판(32)의 측면은, 예컨대 원통 형상의 가이드(35)에 의해 슬라이딩 가능하게 지지된다. 따라서, 지지판(32)에 용기(10)를 배치하면, 그 용기(10) 내의 처리액의 액량에 따라서 스프링(31)이 신축하여 지지판(32)이 상하 방향으로 이동하고, 이 상하 이동이 캠기구(33)에 전달된다. As shown in Fig. 2, for example, the placement table 13 includes a substantially cylindrical arrangement plate 30 provided on the upper surface of the shelf 12, for example, A supporting plate 32 for supporting the lower surface of the container 10 and provided at an end opposite to the arrangement plate 30 of the spring 31; A cam mechanism 33 as a displacement transmitting member connected to the cam mechanism 33, and a shutter 34 as a moving member that is moved up and down by the cam mechanism 33. The side surface of the support plate 32 is slidably supported by, for example, a cylindrical guide 35. Therefore, when the container 10 is placed on the support plate 32, the spring 31 is expanded and contracted in accordance with the liquid amount of the treatment liquid in the container 10, and the support plate 32 is moved in the vertical direction, Is transmitted to the mechanism (33).

캠기구(33)는, 예컨대 지지판(32)의 하면에 접속되는 연결봉(40)과, 그 연결봉(40)을 슬라이딩 가능하게 지지하는 베어링(41)을 갖는다. 연결봉(40)은 회동 가능한 관절을 복수 가지며, 베어링(41)을 시점으로 해서 회전할 수 있도록 구성된다. 연결봉(40)의 지지판(32)과 반대측의 단부는, 예컨대 타원형의 캠부재(42)와 슬라이딩 가능하게 접속된다. 따라서, 지지판(32)의 상하 이동에 따라 연결봉(40)을 통해 캠부재(42)가 이동한다. The cam mechanism 33 has, for example, a connecting rod 40 connected to the lower surface of the support plate 32 and a bearing 41 for slidably supporting the connecting rod 40. The connecting rod (40) has a plurality of rotatable joints, and is configured to be rotatable with the bearing (41) as a starting point. The end of the connecting rod 40 on the side opposite to the supporting plate 32 is slidably connected to, for example, an elliptical cam member 42. Therefore, the cam member 42 moves through the connecting rod 40 as the support plate 32 moves up and down.

캠부재(42)의 상면에서는, 예컨대 셔터(34)의 하방에 접속되는 지지봉(43)을 통해 셔터(34)가 지지된다. 따라서, 캠기구(33)를 동작시킴으로써 셔터(34)를 이동시킬 수 있다. 또, 도 2에서는, 예컨대 용기(10) 내의 처리액이 가득 차있고, 셔터(34)가 대략 상한 위치까지 이동한 상태를 도시하고 있다. 또한, 셔터(34)는, 예컨대 도 3에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 교환시에 작업원이 액세스하는 면(도 3의 좌측 방향)을 덮는 것 같은 반원통 형상을 갖는다. 또, 셔터(34)의 형상으로는 본 실시형태의 것에 한정되지 않고, 예컨대 용기(10)의 외주를 덮는 것 같은 원통 형상이어도 좋고, 평판형의 부재이어도 좋다. On the upper surface of the cam member 42, the shutter 34 is supported via a support rod 43 connected to the lower side of the shutter 34, for example. Therefore, by operating the cam mechanism 33, the shutter 34 can be moved. 2 shows a state in which the processing liquid in the vessel 10 is full and the shutter 34 has moved to an approximately upper limit position. 3, the shutter 34 has a semi-cylindrical shape such as to cover the surface (left direction in Fig. 3) accessed by the worker when the container 10 is replaced. The shape of the shutter 34 is not limited to that of the present embodiment, and may be, for example, a cylindrical shape covering the outer periphery of the container 10, or a plate-shaped member.

본 실시형태에 관한 용기 수용 장치(1)는 이상과 같이 구성되고, 다음으로 용기 수용 장치(1)에서의 용기(10)의 교환 작업에 관해 설명한다. The container receiving apparatus 1 according to the present embodiment is configured as described above. Next, the operation of exchanging the container 10 in the container receiving apparatus 1 will be described.

도 2에 도시한 바와 같이, 용기(10) 내에 처리액이 가득 찬 상태에서는, 그 용기(10)의 중량에 따라서 지지판(32)을 통해 스프링(31)이 밀려 내려간다. 이 때, 변위 기구로서의 스프링(31)과 지지판(32)은, 용기 내의 처리액의 잔량을 검출하는 액량 검출 기구로서 기능한다. 그리고, 스프링(31) 및 지지판(32)이 밀려 내려간 상태에서는, 캠부재(42)에 의해 셔터(34)가 상방으로 밀려 올라간 상태가 된다. 이와 같이, 셔터(34)가 상방으로 밀려 올라가면, 그 셔터(34)가 장애물이 됨으로써 예컨대 상방의 선반(12) 혹은 상부판(14)과, 그 셔터(34)의 상단과의 사이의 클리어런스가 작아져, 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시킬 수 없게 된다. 바꾸어 말하면, 셔터(34)는, 배치대(13) 상의 용기(10)를 교환하기 위해 그 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시키는 것을 저해하는 위치에 배치된 상태가 된다. 2, the spring 31 is pushed down through the support plate 32 in accordance with the weight of the container 10 when the container 10 is filled with the process liquid. At this time, the spring 31 as a displacement mechanism and the support plate 32 function as a liquid amount detection mechanism for detecting the remaining amount of the processing liquid in the vessel. In a state in which the spring 31 and the support plate 32 are pushed down, the shutter 34 is pushed up by the cam member 42. When the shutter 34 is pushed upward, the shutter 34 becomes an obstacle, so that the clearance between the upper shelf 12 or the upper plate 14 and the upper end of the shutter 34 So that the container 10 can not be moved from the placement table 13. In other words, the shutter 34 is placed in a position where it inhibits the container 10 from moving from the placement table 13 in order to replace the container 10 on the placement table 13.

그리고, 용기(10) 내의 약액이 감소하면, 용기(10)의 중량의 감소와 함께, 스프링(31)에 의해 지지판(32)이 서서히 밀려 올라간다. 이것에 의해, 예컨대 도 4에 도시한 바와 같이, 연결봉(40)을 통해 캠부재(42)가 이동하고, 셔터(34)가 하강한다. 그리고, 소정의 조건이 성립하면, 구체적으로는 용기(10) 내의 처리액이 거의 비면, 장애물로서의 셔터(34)는 하한 위치까지 하강한다. 바꾸어 말하면 셔터(34)는, 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴한다. 그 결과, 셔터(34)의 상단과 선반(12) 혹은 상부판(14)과의 사이의 클리어런스가, 용기(10)를 배치대(13)로부터 이동시킬 수 있을 정도로 확보된 상태가 되어, 그 용기(10)를 교환하는 것이 가능해진다. 또한, 셔터(34)가 하강함으로써, 그 셔터(34)의 상하 방향의 위치가, 비어 있지 않은 다른 용기(10)와는 상이한 상태가 되기 때문에, 그 셔터(34)의 위치를 확인함으로써, 작업원이 육안으로 용이하게 빈 용기(10)를 특정할 수 있는 상태가 된다. Then, when the amount of the chemical solution in the container 10 is reduced, the support plate 32 is slowly pushed up by the spring 31, together with the weight of the container 10 being reduced. As a result, as shown in Fig. 4, for example, the cam member 42 moves through the connecting rod 40, and the shutter 34 descends. When the predetermined condition is satisfied, specifically, when the processing liquid in the vessel 10 is almost empty, the shutter 34 as the obstacle falls to the lower limit position. In other words, the shutter 34 is retracted from the position inhibiting the movement for exchanging the container 10. As a result, the clearance between the upper end of the shutter 34 and the shelf 12 or the upper plate 14 is secured to such an extent that the container 10 can be moved away from the placement table 13, The container 10 can be exchanged. Since the position of the shutter 34 in the up and down direction becomes different from that of the other container 10 which is not empty when the shutter 34 is lowered, by checking the position of the shutter 34, The empty container 10 can be easily identified with the naked eye.

그리고, 작업원이 셔터(34)의 위치를 확인하여 빈 용기(10)를 특정하면, 그 용기(10)의 교환이 행해진다. 용기(10) 교환 후에는, 새로운 용기(10)의 자체 중량에 의해, 스프링(31) 및 지지판(32)이 하강하고, 그에 따라 캠기구(33)에 의해 다시 셔터(34)가 상한의 위치까지 밀려 올라간다. 이것에 의해, 배치대(13)의 용기(10)는, 다시 셔터(34)에 의해 제거를 할 수 없는 상태가 된다. When the worker confirms the position of the shutter 34 and identifies the empty container 10, the container 10 is exchanged. After the vessel 10 is exchanged, the spring 31 and the support plate 32 are lowered by the own weight of the new vessel 10, and the shutter 34 is again moved to the upper limit position by the cam mechanism 33 . As a result, the container 10 of the placement table 13 can not be removed by the shutter 34 again.

이상의 실시형태에 의하면, 셔터(34)가 용기(10) 내의 액량에 따라서 용기에 대하여 상대적으로 상하 이동하고, 액량이 소정의 값을 하회하는 경우, 예컨대 빈 경우에, 배치대(13) 상의 용기(10)를 교환을 위해 이동시키는 것을 저해하는 위치로부터 후퇴하기 때문에, 용기(10)의 교환 작업시에 교환 대상과는 다른 용기(10), 즉 셔터(34)가 용기(10)의 이동을 저해하는 위치로부터 후퇴하지 않은 배치대(13)에 대응하는 용기(10)를, 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다. According to the above-described embodiment, when the shutter 34 moves up and down relative to the container in accordance with the amount of liquid in the container 10 and the amount of liquid drops below a predetermined value, The shutter 10 is moved backward from the position where the container 10 is prevented from being moved for exchange so that the container 10 different from the object to be replaced, that is, the shutter 34, It is possible to prevent the container 10 corresponding to the placement table 13 from being erroneously exchanged from the position where it inhibits.

또한, 통상의 용기(10)의 교환 작업에 있어서는, 예컨대 용기(10)에 첨부된 라벨 등을 확인하여 빈 용기(10)를 특정하지만, 라벨과 같은 식별물이 항상 작업자측을 향해 있는 것은 아니다. 그 때문에, 빈 용기(10)를 특정하는 데 시간을 요하는 경우가 있다. 이것에 대하여 본 발명에서는, 셔터(34)의 위치를 육안으로 확인함으로써, 교환 대상이 되는 용기(10)를 용이하게 특정할 수 있다. 나아가, 셔터(34)가 용기(10) 내의 액량에 따라서 동작하기 때문에, 예컨대 작업원이 현장에서 셔터의 높이 방향의 위치를 확인함으로써, 용기(10) 내의 대강의 액량을 알 수 있다. 그 때문에, 용기(10)의 대강의 교환 시기의 파악에도 도움이 된다. 따라서 본 발명에 의하면, 교환 미스를 방지하고, 또한 효율적으로 용기(10)의 교환 작업을 행할 수 있다. Further, in the ordinary operation of exchanging the container 10, for example, the label attached to the container 10 is checked to identify the empty container 10, but the identification such as the label is not always directed toward the operator . Therefore, it may take time to specify the empty container 10. On the other hand, in the present invention, the position of the shutter 34 is visually confirmed, so that the container 10 to be replaced can be easily specified. Further, since the shutter 34 operates in accordance with the liquid amount in the container 10, for example, the worker can ascertain the approximate liquid amount in the container 10 by confirming the position of the shutter in the height direction in the field. Therefore, it is also helpful to grasp the time of the replacement of the container 10 in the general direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the exchange error and to perform the exchange operation of the container 10 efficiently.

게다가, 캠기구(33)나 스프링(31)과 같은, 전기적인 구동 장치를 필요로 하지 않는 기구에 의해 셔터를 상하 이동시킬 수 있기 때문에, 예컨대 용기 수용 장치(1)가 이용되는 기판 처리 시스템(도시하지 않음)의 제어 장치 등에 있어서 특별한 제어를 필요로 하지 않는다. 그 때문에, 제어 장치의 부하가 증가하거나, 배선 작업이 발생하거나 하지 않고, 저비용으로 용기 수용 장치(1)를 실현할 수 있다. In addition, since the shutter can be moved up and down by a mechanism such as the cam mechanism 33 and the spring 31 which does not require an electric driving device, the substrate processing system (for example, A special control is not required in a control device or the like of the vehicle. Therefore, the container accommodating apparatus 1 can be realized at a low cost without increasing the load on the control apparatus or causing wiring work.

단, 용기 수용 장치(1)에 예컨대 전동 액츄에이터와 같은 전동의 구동 기기를 이용하는 것을 부정하는 것은 아니며, 예컨대 스프링(31)의 변위량을 전기적으로 측정하는 측정 기구나 용기(10)의 중량을 측정하는 압전 소자에 의해 용기(10) 내의 액량을 검출하고, 그 검출 신호에 기초하여, 셔터(34)를 이동시키는 전기식 또는 공기 작동식의 구동 기구 등을 이용해도 좋다. However, the present invention is not limited to the use of a motorized driving device such as an electric actuator, for example, in the container accommodating device 1. For example, the weight of the measuring device or the container 10 for electrically measuring the amount of displacement of the spring 31 An electric or pneumatic driving mechanism for detecting the amount of liquid in the container 10 by the piezoelectric element and moving the shutter 34 based on the detection signal may be used.

또한, 전기적으로 용기(10) 내의 액량을 측정하는 경우에는, 예컨대 용기(10) 내의 공급관(20)에 유량계나 액면계를 설치하여, 예컨대 유량계의 검출치가 제로가 되거나 액면계의 검출치가 제로 레벨이 되면, 용기(10)의 교환 시기라고 판단하여 셔터(34)를 이동시키도록 해도 좋다. When measuring the amount of liquid in the container 10 electrically, for example, a flow meter or a liquid level meter is provided in the supply pipe 20 in the container 10, for example, when the detected value of the flow meter becomes zero or the detected value of the liquid level meter becomes zero , It may be determined that the container 10 is to be replaced and the shutter 34 may be moved.

이상의 실시형태에서는, 셔터(34)를 상하로 이동시켰지만, 셔터(34)의 이동 방향에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니며, 용기(10)의 교환이 불필요한 상태에 있어서, 그 용기(10)의 배치대(13)로부터의 이동을 저해하도록 이동하는 것이라면, 그 이동의 방향에 관해서는 임의로 설정할 수 있다. 나아가, 셔터(34) 등의 이동 부재를 이동시키는 기구에 관해서도, 캠기구(33)에 한정되는 것은 아니며, 공지의 여러 기구를 이용할 수 있다. In the above embodiment, the shutter 34 is moved up and down. However, the moving direction of the shutter 34 is not limited to that of the present embodiment. In a state in which the replacement of the container 10 is not necessary, The direction of movement of the movable member 10 can be arbitrarily set as long as it moves to inhibit the movable member 10 from moving from the placement table 13. Furthermore, the mechanism for moving the moving member such as the shutter 34 is not limited to the cam mechanism 33, and various known mechanisms can be used.

다른 실시형태로서, 예컨대 도 5에 도시한 바와 같이, 셔터(34)를 이동시키는 기구로서, 캠기구(33) 대신에 공압 실린더(50) 등을 이용해도 좋다. 공압 실린더(50)를 이용하는 경우, 예컨대 지지판(32)의 하방에, 내부에 기체가 충전되고 상하 방향으로 신축 가능한 에어백(51)을 설치하고, 그 에어백(51)과 공압 실린더(50)가 급기관(52)에 의해 접속된다. 그리고, 지지판(32)의 상하 이동에 따라 에어백(51) 내의 기체의 체적이 변화하고, 그 체적 변화가 급기관(52)을 통해 공압 실린더에 전달됨으로써, 공압 실린더(50)에 의해 지지봉(43)을 통해 셔터(34)의 상하 이동이 행해진다. As another embodiment, a pneumatic cylinder 50 or the like may be used instead of the cam mechanism 33 as a mechanism for moving the shutter 34, for example, as shown in Fig. When the pneumatic cylinder 50 is used, for example, an airbag 51 is provided below the support plate 32, the airbag 51 being filled with gas and stretchable in the vertical direction, Is connected by an engine (52). The volume of the gas in the airbag 51 is changed in accordance with the upward and downward movement of the support plate 32 and the volume change is transmitted to the pneumatic cylinder through the air intake tube 52, The shutter 34 is moved up and down.

또, 공압 실린더(50)를 이용하는 경우, 에어백(51)은 반드시 설치할 필요는 없다. 예컨대 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)을 기밀하게 유지할 수 있도록 지지판(32)과 가이드(35)를 구성하고, 그 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)에 급기관(52)을 연통하도록 설치해도 좋다. 이러한 경우도 공간(A)이 에어백으로서 기능하고, 또한 급기관(52)으로부터 공압 실린더(50)에 공간(A)의 체적 변화가 전달되기 때문에, 공압 실린더에 의해 셔터(34)를 상하 이동시킬 수 있다. 또, 다른 구성에 관해서는, 도 2의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다. When the pneumatic cylinder 50 is used, the airbag 51 is not necessarily installed. A support plate 32 and a guide 35 are formed so as to airtightly hold the space A surrounded by the support plate 32 and the guide 35. A space surrounded by the support plate 32 and the guide 35 (52) may be provided so as to communicate with the main body (A). In this case as well, since the space A functions as an air bag and the volume change of the space A is transmitted from the air supply cylinder 52 to the pneumatic cylinder 50, the shutter 34 is moved up and down by the pneumatic cylinder . Other configurations are the same as those in Fig. 2, and therefore, description thereof is omitted.

또한, 다른 실시형태로서, 예컨대 도 6에 도시한 바와 같이, 지지판(32)의 동작을 셔터(34)에 전달하는 변위 전달 부재로서, 랙ㆍ앤드ㆍ피니언(60)을 이용해도 좋다. 이러한 경우, 예컨대 하나의 랙(61)을 지지판(32)에 접속하고, 예컨대 가이드(35)의 외방에 설치되는 피니언(62)을 사이에 두고 또 다른 랙(63)을 설치한다. 또, 피니언(62)은 높이 방향의 위치가 고정되도록 설치된다. 또한, 도 6에서는, 예컨대 다른 랙(63)이 셔터(34)에 직접 고정된다. As another embodiment, a rack-and-pinion 60 may be used as a displacement transmitting member for transmitting the operation of the support plate 32 to the shutter 34, for example, as shown in Fig. In this case, for example, one rack 61 is connected to the support plate 32 and another rack 63 is provided with a pinion 62 provided on the outside of the guide 35 therebetween. Further, the pinion 62 is installed so that its position in the height direction is fixed. 6, another rack 63 is fixed directly to the shutter 34, for example.

그리고, 예컨대 도 7에 도시한 바와 같이, 용기(10)를 교환한 후에는, 지지판(32)과 함께 랙(61)이 하방으로 이동하고, 이것에 의해, 피니언(62)을 사이에 두고 설치되는 다른 랙(63)이 상승하여, 셔터(34)가 용기(10)의 교환을 저해하는 위치까지 상승한다. 또, 다른 구성에 관해서는 도 2의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다. 7, after the container 10 is exchanged, the rack 61 moves downward together with the support plate 32, whereby the pinion 62 is installed The other rack 63 is elevated to the position where the shutter 34 interferes with the exchange of the container 10. Other configurations are the same as those in Fig. 2, and therefore the description thereof is omitted.

또, 용기(10)의 이동을 저해하기 위한 부재로는 셔터(34)에 한정되지 않고 여러가지 부재를 이용할 수 있다. 예컨대 도 8에 도시한 바와 같이, 가이드(35)와 배치판(30) 사이의 공간에 셔터(34)를 대신하는 이동 부재로서 에어백(70)을 설치해도 좋다. 이러한 경우, 지지판(32)과 가이드(35)에 의해 둘러싸인 공간(A)을 기밀하게 구성하고, 공간(A)과 에어백(70)에 연통하도록 급기관(52)이 설치된다. 또, 다른 구성에 관해서는 도 2의 경우와 동일하다. The member for inhibiting the movement of the container 10 is not limited to the shutter 34, but various members can be used. The airbag 70 may be provided as a moving member in place of the shutter 34 in the space between the guide 35 and the placement plate 30 as shown in Fig. In this case, the space A surrounded by the support plate 32 and the guide 35 is airtightly provided, and the air supply tube 52 is provided so as to communicate with the space A and the airbag 70. Other configurations are the same as those in Fig.

그리고, 도 8에 도시한 바와 같이, 용기(10) 내에 처리액이 채워져 있는 상태에서는, 공간(A)이 압축되는 것에 의해 에어백(70)으로 공간(A) 내의 기체가 이동하고, 에어백(70)이 상방으로 신장된다. 이에 따라, 에어백(70)은 교환을 위한 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능한다. 또한, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면, 스프링(31)에 의해 지지판(32)이 상방으로 밀려 올라가고, 공간(A)의 용적이 증가한다. 그렇게 되면, 급기관(52)을 통해 에어백(70)으로부터 공간(A)측으로 기체가 유입되고, 도 9에 도시한 바와 같이, 에어백(70)이 수축하여 용기(10)의 교환이 가능한 상태가 된다. 또, 셔터(34) 대신에 에어백을 이용하는 경우도, 반드시 전동의 구동 기기나 전기적인 계측 기기의 사용을 부정하는 것은 아니다. 예컨대 셔터(34)를 전기적으로 이동시키는 경우와 마찬가지로, 예컨대 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 측정하고, 그 잔량에 따라서 에어백(70) 내에 예컨대 공기 압축기 등에 의해 기체를 공급하여 에어백(70)을 신장시키고, 전자 밸브 등을 이용하여 기체를 배기시켜 에어백(70)을 수축시키도록 해도 좋다. 8, the gas in the space A is moved to the airbag 70 by the compression of the space A in the state in which the processing liquid is filled in the vessel 10, and the airbag 70 ) Is extended upward. Accordingly, the airbag 70 functions to inhibit the movement of the container 10 for exchange. Further, when the treatment liquid in the vessel 10 is reduced, the support plate 32 is pushed upward by the spring 31, and the volume of the space A is increased. Then, as shown in Fig. 9, the airbag 70 is contracted and the container 10 can be exchanged with the airbag 70 do. The use of airbags instead of the shutter 34 does not necessarily deny the use of electrically driven driving devices or electrical measuring devices. The remaining amount of the processing solution in the vessel 10 is electrically measured and the gas is supplied to the airbag 70 by an air compressor or the like in accordance with the remaining amount to thereby remove the airbag 70 may be extended, and the air bag 70 may be contracted by evacuating the gas using a solenoid valve or the like.

이상의 실시형태에서는, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 이동 부재로서 셔터(34)를 이용했지만, 이동 부재로서 이용하는 것은 셔터에 한정되지 않는다. 예컨대 도 10, 도 11에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 캡(21)보다 낮은 위치에서 그 캡(21)을 사이에 끼우도록 용기(10)를 유지하는, 대략 U자형으로 형성되는 유지 부재(80)를 설치하고, 이 유지 부재(80)를 지지판(32)의 상하 이동에 연동하여 동작하도록 해도 좋다. In the above embodiment, the shutter 34 is used as the moving member that moves to hinder the exchange of the container 10. However, the shutter 34 is not limited to the shutter. 10 and 11, the container 10 is held at a position lower than the cap 21 of the container 10 so as to sandwich the cap 21 therebetween, And the holding member 80 may be operated in conjunction with the up and down movement of the support plate 32. [

이러한 경우, 유지 부재(80)는, 배치대(13)에서의 용기(10)의 교환시에 작업원이 액세스하는 측(도 10, 도 11의 좌측 방향)과는 반대측에 설치된다. 그리고, 지지판(32)의 하면에 접속되는 연결봉(40)의 상하 이동에 따라 유지 부재(80)를 도 11의 θ 방향으로 가동시키는 가동 기구(81)가 설치되고, 유지 부재(80)의 용기(10)를 유지하는 측과 반대측의 단부는 가동 기구(81)에 의해 지지된다. 이에 따라, 예컨대 도 11에 도시한 바와 같이, 교환 직후의 용기(10)를 배치대(13)에 배치하면, 유지 부재(80)가 용기(10)를 상방으로부터 억제하도록 이동하여, 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능한다. In this case, the holding member 80 is provided on the side opposite to the side (the left side in Figs. 10 and 11) on which the worker accesses the container 10 when the container 10 is replaced. A movable mechanism 81 for moving the holding member 80 in the θ direction in FIG. 11 is provided in accordance with the upward and downward movement of the connecting rod 40 connected to the lower surface of the holding plate 32, The end portion on the side opposite to the side holding the movable member 10 is supported by the movable mechanism 81. 11, when the container 10 immediately after the replacement is placed on the placement table 13, the holding member 80 moves so as to suppress the container 10 from above, and the container 10 To prevent movement thereof.

그리고, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면, 유지 부재(80)는 가동 기구(81)를 지점으로 하여 수평 방향으로부터 서서히 수직 방향으로 기립하도록 동작하여, 용기(10)가 비면, 예컨대 도 12에 도시한 바와 같이, 용기(10)의 상방으로부터 후퇴한 위치까지 이동한다. 이에 따라, 용기(10)의 이동이 유지 부재(80)에 의해 저해되지 않게 되어, 용기(10)의 교환 작업을 실시할 수 있게 된다.When the amount of the processing liquid in the vessel 10 is reduced, the holding member 80 operates so as to gradually rise in the vertical direction from the horizontal direction with the movable mechanism 81 as a point, As shown in Fig. 3B, the container 10 is moved to a position retracted from above. As a result, the movement of the container 10 is not hindered by the holding member 80, and the container 10 can be replaced.

또, 이상의 실시형태에서는, 용기(10) 내의 처리액의 액량에 따라서 캠기구(33)나 가동 기구(81)를 통해 셔터(34)나 유지 부재(80)를 이동시켰지만, 예컨대 캠기구(33)나 가동 기구(81)와 같은 변위 전달 부재 등을 용이하게 제거할 수 있도록 구성해 두고, 비정상시에 제거를 행함으로써, 비어 있지 않은 용기(10)의 제거를 가능하게 하도록 해도 좋다. Although the shutter 34 and the holding member 80 are moved through the cam mechanism 33 and the movable mechanism 81 in accordance with the liquid amount of the processing liquid in the vessel 10 in the above embodiment, And the displacement transmitting member such as the movable mechanism 81 can be easily removed so that the container 10 which is not empty can be removed by performing the removal in the abnormal state.

또한, 셔터(34)를 전기적인 구동 장치에 의해 이동시키는 경우와 마찬가지로, 예컨대 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 측정하고, 그 잔량에 따라서 유지 부재(80)를 이동시킨다, 도 13에 나타내는 전기적인 구동 기구(90)를 가동 기구(81) 대신에 이용하도록 해도 좋다. 구동 기구(90)로는, 예컨대 전동 액츄에이터나 에어 실린더 등을 이용할 수 있다. 이러한 경우도, 용기(10)를 교환할 때에는 구동 기구(90)에 의해 유지 부재(80)를 수직 방향으로 기립하도록 회동시키고, 그 이외의 경우, 즉 용기(10)의 교환을 행하지 않는 경우에는, 유지 부재(80)가 수평 방향을 향하도록 회동시킴으로써, 용기(10)를 잘못 교환해 버리는 것을 방지할 수 있다. 또, 전기적으로 구동하는 구동 기구(90)를 이용하는 경우, 도 13에 도시한 바와 같이, 캠기구(33)나 스프링(31)과 같은 기구는 불필요해지고, 또한, 지지판(32)도 승강할 필요는 없다. 이러한 경우, 용기(10)를 배치판(30) 상에 직접 배치하도록 해도 좋다. As in the case where the shutter 34 is moved by the electric driving device, for example, the remaining amount of the processing solution in the vessel 10 is electrically measured, and the holding member 80 is moved in accordance with the remaining amount. The electric drive mechanism 90 shown in Fig. As the drive mechanism 90, for example, an electric actuator or an air cylinder may be used. In this case also, when replacing the container 10, the holding member 80 is pivoted so as to stand upright in the vertical direction by the drive mechanism 90. In other cases, that is, when the container 10 is not exchanged , It is possible to prevent the container 10 from being erroneously changed by rotating the holding member 80 in the horizontal direction. 13, the mechanism such as the cam mechanism 33 and the spring 31 becomes unnecessary, and the support plate 32 also needs to be raised and lowered There is no. In this case, the container 10 may be disposed directly on the arrangement plate 30. [

또, 전기적으로 용기(10) 내의 액량을 측정하는 경우에는, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 공급관(20)의 대략 선단의, 용기(10)의 저면에 가까운 위치에 액면계(91)를 설치하여, 용기(10) 저면 근방에서의 처리액의 유무를 검출하거나, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 용기(10)로부터 수요처에 대하여 처리액을 공급하는 외부 공급관(100)에 유량 검출 기구로서의 유량계(101)를 설치하여, 외부 공급관(100) 내를 흐르는 처리액의 유무를 검출하거나 함으로써, 용기(10) 내의 처리액의 유무를 검출하도록 해도 좋다. 액면계(91)를 이용하는 경우, 예컨대 액면계(91)의 검출치가 제로 레벨이 되면 용기(10)의 교환 시기라고 판단할 수 있다. 또한, 유량계(101)를 이용하는 경우에 있어서도, 그 유량계(101)의 검출치가 제로가 되면 용기(10)의 교환 시기라고 판단할 수 있다. 또, 액면계(91)의 검출치나 유량계(101)의 검출치는 제어 장치(102)에 입력되고, 제어 장치(102)에서는, 이들 검출치에 기초하여 구동 기구(90)의 동작을 제어한다. 13, a liquid level meter 91 is provided at a position near the bottom of the container 10 at the approximate end of the supply pipe 20, for example, when the liquid level in the container 10 is measured electrically The presence or absence of the treatment liquid in the vicinity of the bottom surface of the vessel 10 can be detected and an external supply pipe 100 for supplying the treatment liquid to the customer from the vessel 10 as shown in Fig. The presence or absence of the processing solution in the vessel 10 may be detected by providing the flow meter 101 and detecting the presence or absence of the processing solution flowing through the external supply pipe 100. In the case of using the level gauge 91, for example, if the detected value of the level gauge 91 becomes zero level, it can be judged that the vessel 10 is to be replaced. Even when the flow meter 101 is used, it can be judged that the container 10 is to be replaced when the flowmeter 101 detects a zero value. The detection value of the level gauge 91 and the detection value of the flow meter 101 are input to the control device 102. The control device 102 controls the operation of the drive mechanism 90 based on these detection values.

또, 도 13에서는, 구동 기구(90)에 의해 유지 부재(80)를 수직 방향과 수평 방향의 사이에서 회동시키는 경우를 도시하고 있지만, 유지 부재(80)를 어떻게 이동시킬지에 관해서는 본 실시형태의 내용에 한정되지 않고, 예컨대 도 14에 도시한 바와 같이, 수평으로 유지한 상태의 유지 부재(80)를 수평 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구(110)를 설치하여, 유지 부재(80)를 예컨대 도 14의 좌측 방향으로 이동시킴으로써 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하고, 도 14의 우측 방향으로 이동시킴으로써 용기(10)를 교환할 수 있는 상태로 할 수 있다. 또한, 예컨대 도 15에 도시한 바와 같이, 수평으로 유지한 상태의 유지 부재(80)를 수직 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구(120)를 설치하여, 유지 부재(80)를 예컨대 도 15의 하방향으로 이동시킴으로써 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하고, 도 15의 상방향으로 이동시킴으로써 용기(10)를 교환할 수 있는 상태로 하도록 해도 좋다. 또, 도 14나 도 15에서는, 제어 장치(102)나 액면계(91), 유량계(101)의 도시를 생략하고 있지만, 이들 기기에 관해서는 이후에 나타내는 다른 실시형태에 있어서도 필요에 따라서 적절하게 설치된다. 13 shows the case where the holding member 80 is rotated between the vertical direction and the horizontal direction by the drive mechanism 90. How the holding member 80 is moved is described in the present embodiment For example, as shown in Fig. 14, a driving mechanism 110 for horizontally reciprocating the holding member 80 held horizontally may be provided, and the holding member 80 may be provided with, for example, By moving in the left direction of Fig. 14, the movement for exchanging the container 10 is inhibited, and the container 10 can be exchanged by moving in the right direction of Fig. 15, a driving mechanism 120 for vertically reciprocating the holding member 80 held horizontally may be provided to hold the holding member 80 in the downward direction of Fig. 15, for example, The movement for exchanging the container 10 is inhibited and the container 10 can be exchanged by moving in the upward direction of Fig. 14 and 15 do not show the control device 102, the liquid level meter 91 and the flow meter 101, but these devices may be appropriately installed do.

또한, 유지 부재(80)의 형상은 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니며, 용기(10)의 교환시에 그 용기(10)의 이동을 저해하도록 기능하는 형상이라면 임의로 설정할 수 있다. 예컨대 도 16에 도시한 바와 같이, 평면에서 볼 때 반원형의 유지 부재(130a, 130b)를, 용기(10)의 캡(21)보다 낮은 위치에서 그 캡(21) 근방을 끼워 넣도록 배치하고, 각 유지 부재(130a, 130b)를 각각 구동 기구(131)에 의해 수평 방향(도 16의 상하 방향)으로 이동시키도록 해도 좋다. The shape of the holding member 80 is not limited to the contents of the present embodiment and can be arbitrarily set as long as it is a shape that functions to inhibit the movement of the container 10 when the container 10 is replaced. The semicircular holding members 130a and 130b are arranged so as to be fitted in the vicinity of the cap 21 at a position lower than the cap 21 of the container 10 as seen in plan view, The holding members 130a and 130b may be moved in the horizontal direction (up and down direction in Fig. 16) by the driving mechanism 131, respectively.

또한, 유지 부재(80)는 용기(10) 그 자체를 유지할 필요는 없고, 예컨대 도 17에 도시한 바와 같이, 대략 평판형의 유지 부재(140)를 평면에서 볼 때 용기(10)의 캡(21)을 덮는 위치이자 캡(21) 상방의 가장 가까운 위치에 배치함으로써, 용기(10)의 상하 방향의 이동을 제한하여, 용기(10)의 교환을 위한 이동을 저해하도록 해도 좋다. 이러한 경우, 유지 부재(140)의 동작으로는, 예컨대 도 14에 나타내는 구동 기구(110)를 이용하여 도 17의 좌우 방향으로 이동시켜도 좋고, 예컨대 도 15에 나타내는 구동 기구(120)를 이용하여 수직 방향으로 이동시켜도 좋고, 도 16에 나타내는 구동 기구(131)를 이용하여 도 17의 상하 방향으로 이동시켜도 좋다. 17, the holding member 80 does not need to hold the container 10 itself. For example, as shown in Fig. 17, when the substantially flat holding member 140 is viewed from the plane, 21 and the closest position above the cap 21, the movement of the container 10 in the vertical direction can be restricted to inhibit the movement for exchanging the container 10. In this case, the operation of the holding member 140 may be performed in the lateral direction of Fig. 17, for example, by using the driving mechanism 110 shown in Fig. 14, and the driving mechanism 120 shown in Fig. Or may be moved in the vertical direction of Fig. 17 using the drive mechanism 131 shown in Fig.

또, 도 17에서는 대략 평판형의 유지 부재(140)를 캡(21)의 상방 가장 가까이에 설치한 모습을 도시했지만, 유지 부재(140) 대신에, 예컨대 도 18에 도시한 바와 같은, 저면이 개구된 덮개(141)에 의해 캡(21)을 둘러쌈으로써 용기(10)의 상하 방향의 이동을 제한하고, 필요에 따라서 구동 기구(120)로 덮개(141)를 상방향으로 후퇴시키도록 해도 좋고, 유지 부재나 덮개의 형상은 본 실시의 내용에 한정되는 것이 아니라 임의로 설정할 수 있다. 또한, 용기(10)와 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)를 상대적으로 이동시킨다고 하는 관점에서는, 반드시 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)를 이동시킬 필요는 없고, 예컨대 도 15에 나타내는 구동 기구(120)를 지지판(32)에 접속하여, 유지 부재(80, 140)나 덮개(141)에 대하여 용기(10) 그 자체를 이동시키도록 해도 좋다. 17 shows a state in which the substantially plate-like holding member 140 is disposed nearest to the upper side of the cap 21. However, instead of the holding member 140, for example, as shown in Fig. 18, It is possible to limit the movement of the container 10 in the vertical direction by surrounding the cap 21 by the opened lid 141 and to move the lid 141 backward with the driving mechanism 120 The shape of the holding member or the cover is not limited to the present embodiment, but may be arbitrarily set. It is not always necessary to move the holding members 80 and 140 or the cover 141 from the viewpoint of relatively moving the container 10 and the holding members 80 and 140 or the cover 141, The drive mechanism 120 shown in Fig. 15 may be connected to the support plate 32 to move the container 10 itself to the holding members 80, 140 and the lid 141. [

용기(10) 그 자체를 이동시키는 경우, 예컨대 도 19에 도시한 바와 같이, 스프링(31)을 용기(10)의 중심으로부터 편심한 위치에 배치함과 함께, 지지판(32)에서의 스프링(31)에 지지된 측과 반대측의 단부를 예컨대 힌지(142)에 의해 가이드(35)에 회동 가능하게 고정하고, 용기(10)의 캡(21)의 상방에 유지 부재(140)를 설치하도록 해도 좋다. 또, 도 19의 힌지(142)측이 액세스면이다. 이러한 경우, 용기(10) 내의 처리액이 감소하면 스프링(31)에 의해 지지판(32)의 힌지(142)와 반대측의 단부가 서서히 밀려 올려가고, 예컨대 도 20에 도시한 바와 같이, 용기(10)가 액세스면의 방향을 향해 기울어진다. 그렇게 되면, 예컨대 캡(21)이 평면에서 볼 때 유지 부재(140)와는 간섭하지 않는 위치까지 이동하여, 배치대(13)로부터 용기(10)를 경사 방향으로 빼내는 것이 가능해진다. 이러한 경우, 스프링(31), 지지판(32), 힌지(142)와 같은, 용기(10)를 기울어지게 이동시키는 기구도, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 본 발명의 이동 부재의 범주 내인 것으로 이해된다. The spring 31 is arranged at an eccentric position from the center of the container 10 and the spring 31 The holding member 140 may be provided above the cap 21 of the container 10 by rotatably fixing an end portion of the container 10 opposite to the side on which the container 10 is supported by the guide 35 with a hinge 142 . The hinge 142 side of Fig. 19 is the access surface. In this case, when the amount of the processing liquid in the vessel 10 is reduced, the end of the support plate 32 opposite to the hinge 142 is gradually pushed up by the spring 31, and as shown in Fig. 20, Is inclined toward the direction of the access surface. The cap 21 can be moved to a position where it does not interfere with the holding member 140 when viewed from the plane and the container 10 can be pulled out of the placement table 13 in an oblique direction. In such a case, mechanisms for tilting the container 10, such as the spring 31, the support plate 32, and the hinge 142, may also be used as the category of the moving member of the present invention, It is understood to be mine.

또한, 셔터를 이용하는 경우의 다른 실시형태로서, 전술한 반원통 형상의 셔터(34) 대신에, 예컨대 도 21, 도 22에 도시한 바와 같은 소정의 높이를 갖는 평판형의 셔터(150a, 150b)를 작업원이 액세스하는 면(도 21의 좌측 방향, 도 22의 좌측 방향)에 설치함과 함께, 그 셔터(150a, 150b)의 단부에 힌지 등의 회전축(151)을 설치하여, 여닫이문처럼 개폐할 수 있도록 해도 좋다. 이러한 경우, 예컨대 용기(10)의 교환이 불필요한 경우는, 회전축(151)을 전자 브레이크(도시하지 않음) 등에 의해 고정하여 셔터(150a, 150b)를 개폐할 수 없도록 해 두고, 액면계(91)나 유량계(101)에 의해 교환이 필요하다는 것이 검출된 경우는, 전자 브레이크를 해제함으로써, 작업원이 셔터(150a, 150b)를 열어 용기(10)에 액세스할 수 있게 된다. As another embodiment in the case of using a shutter, instead of the semicylindrical shutter 34 described above, flat type shutters 150a and 150b having a predetermined height as shown in Figs. 21 and 22, for example, (The left direction in Fig. 21, the left direction in Fig. 22), and a rotary shaft 151 such as a hinge is provided at the end of the shutters 150a and 150b, It may be opened and closed. In this case, for example, when replacement of the container 10 is not necessary, the rotating shaft 151 is fixed by an electromagnetic brake (not shown) or the like so that the shutters 150a and 150b can not be opened and closed, When it is detected by the flow meter 101 that replacement is necessary, the operator can open the shutters 150a and 150b to access the container 10 by releasing the electromagnetic brake.

또한, 이상의 실시형태에서는, 셔터(34)나 셔터(150a, 150b)와 같은 용기(10)의 이동을 저해하는 부재를, 예컨대 배치판(30)의 내측에 배치했었지만, 이들의 배치에 관해서도 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 23에 도시한 바와 같이, 작업원이 액세스하는 측의 면에서 볼 때 용기(10)의 바로 앞에 그 용기(10)의 이동을 저해하는, 대략 U형상을 갖는 막대형의 막대형 부재(152)와, 그 막대형 부재(152)를 예컨대 도 24에 도시한 바와 같이 작업원이 액세스하는 측의 면을 향해 회동시키는 구동 기구(153)를 설치하도록 해도 좋다. 또, 도 24는 도 23의 우측면으로부터 용기(10)를 본 상태를 도시하고 있고, 도 24의 좌측 방향이 작업원의 액세스면이다. 또한, 막대형 부재(152)를 회동시키는 경우, 예컨대 도 25에 도시한 바와 같이, 도 6에 나타내는 배치대(13)로부터 다른 랙(63)과 셔터(34)를 제거하고, 높이 방향의 위치가 고정된 피니언(62)에 막대형 부재(152)를 접속하여, 피니언(62)의 회전에 의해 막대형 부재(152)를 회동시켜도 좋다. In the above embodiment, the members for inhibiting the movement of the container 10, such as the shutter 34 and the shutters 150a and 150b, are disposed, for example, inside the placement plate 30. However, The present invention is not limited to the contents of the embodiments. A rod-shaped rod-shaped member (rod-shaped rod-shaped rod-shaped rod-shaped rod-shaped rod-shaped rod- 152 and a drive mechanism 153 for rotating the rod-like member 152 toward the side of the worker to be accessed as shown in FIG. 24, for example. Fig. 24 shows the state in which the container 10 is viewed from the right side of Fig. 23, and the left side in Fig. 24 is the access surface of the worker. When the rod member 152 is rotated, the other rack 63 and the shutter 34 are removed from the placement table 13 shown in Fig. 6, for example, as shown in Fig. 25, The rod-like member 152 may be connected to the pinion 62 to which the pinion 62 is fixed, and the rod-like member 152 may be rotated by the rotation of the pinion 62. [

또한, 교환이 불필요한 용기(10)를 잘못 교환해 버리는 것을 방지한다고 하는 관점에서는, 반드시 용기(10) 그 자체의 이동을 저해할 필요는 없다. 일반적으로, 캡(21)에는, 예컨대 도 26에 도시한 바와 같이, 회전 방지용의 브래킷(160)이 설치된다. 따라서, 예컨대 도 26에 도시한 바와 같이, 브래킷(160)을 고정하기 위한 고정 부재(161)와, 고정 부재(161)를 이동시키는 구동 기구(162)를 설치하여, 용기(10)의 교환이 불필요한 경우는, 브래킷(160)을 고정하는 위치로 고정 부재(161)를 이동시키고, 교환이 필요한 경우는, 브래킷(160)의 고정을 해제하도록 고정 부재(161)를 이동시키도록 해도 좋다. 이와 같이, 캡(21)을 용기(10)로부터 제거하는 것을 저해하는 고정 부재(161)나 구동 기구(162)도, 용기(10)의 교환을 저해하도록 이동하는 본 발명의 이동 부재의 범주 내인 것으로 이해된다. In addition, from the viewpoint of preventing the container 10 from being erroneously exchanged, which is not necessary to be replaced, it is not always necessary to inhibit the movement of the container 10 itself. In general, the cap 21 is provided with a bracket 160 for preventing rotation, as shown in Fig. 26, a fixing member 161 for fixing the bracket 160 and a driving mechanism 162 for moving the fixing member 161 are provided so that the replacement of the container 10 The fixing member 161 may be moved to a position where the bracket 160 is fixed and the fixing member 161 may be moved so as to release the fixing of the bracket 160 when replacement is necessary. As described above, the fixing member 161 and the driving mechanism 162, which inhibit the removal of the cap 21 from the container 10, are also within the scope of the moving member of the present invention which moves to inhibit the exchange of the container 10 .

또, 이상의 실시형태에서는, 에어백(70)을 신축시킴으로써 셔터(34)를 대신하여 이용했지만, 예컨대 도 27에 도시한 바와 같이, 배치판(30)의 내주면을 따라서 예컨대 고리형의 에어백(170)을 배치하여, 액면계(91)나 유량계(101)에 의해 용기(10)의 교환이 필요하다는 것이 검출된 경우에, 급기관(52)을 통해 에어백(170)에 도시하지 않은 기체 공급원으로부터 기체를 공급하도록 해도 좋다. 기체를 공급함으로써, 에어백(170)에 의해 용기(10)가 사이에 끼어, 교환을 위한 용기(10)의 이동을 저해하는 것이 가능해진다. 27, an annular airbag 170, for example, is provided along the inner circumferential surface of the disposition plate 30, and the airbag 70 is used instead of the airbag 70 by extending and contracting the airbag 70. [ And when it is detected by the liquid level meter 91 or the flow meter 101 that the container 10 needs to be replaced, the gas is supplied from the gas supply source (not shown) to the airbag 170 via the air supply line 52 May be supplied. By supplying the gas, the container 10 is sandwiched by the airbag 170, thereby making it possible to inhibit the movement of the container 10 for exchange.

또한, 전기적인 기구를 이용하는 경우, 유지 부재(80)를 전기적으로 이동시키거나, 용기(10) 내의 처리액의 잔량을 전기적으로 검출하거나 하는 것 이외에, 예컨대 교환 대상이 되는 용기(10)를 식별하기 위한 표시등(180)을 설치하는 것도 생각된다. 이러한 경우, 예컨대 도 28에 도시한 바와 같이, 각 배치대(13)의 근방에 표시등(180)을 설치하여, 용기 교환 위치로 이동할 수 있는 용기(10)에 대응하는 표시등(180)을 점등시키도록 해도 좋다. 또한, 용기 수용 장치(1)가 이용되는 기판 처리 시스템(도시하지 않음)은, 통상, 클린룸 내에 복수 설치되기 때문에, 용기 수용 장치(1)도 복수 설치되게 된다. 그 때문에, 어느 용기 수용 장치(1)의 용기(10)가 교환 대상인지를 한번 보고 판단하는 것이 어려운 경우가 있다. 이러한 경우, 예컨대 도 28에 도시한 바와 같이, 용기 수용 장치(1)의 상부판(14) 등, 시인하기 쉬운 임의의 개소에 표시등(181)을 설치하여, 어느 용기 수용 장치(1)가 교환 대상이 되는 용기(10)를 갖고 있는지를 한번 보고 판단할 수 있도록 해도 좋다. 또, 표시등(180, 181)의 점등, 소등에 관해서는, 예컨대 제어 장치(102)에 의해 제어된다. In addition, in the case of using an electric mechanism, in addition to electrically moving the holding member 80 or electrically detecting the remaining amount of the processing solution in the vessel 10, for example, It is also conceivable to provide a display lamp 180 for displaying the image. 28, a display lamp 180 may be provided in the vicinity of each placing stand 13, and a display lamp 180 corresponding to the container 10 capable of moving to the container exchange position may be provided It may be turned on. In addition, since a plurality of substrate processing systems (not shown) in which the container accommodating apparatus 1 is used are usually provided in a clean room, a plurality of container accommodating apparatuses 1 are also installed. Therefore, it may be difficult to see and judge which container 10 of the container accommodating device 1 is to be exchanged. In this case, for example, as shown in Fig. 28, a display lamp 181 may be provided at an arbitrary point such as the top plate 14 of the container accommodating apparatus 1 that is easy to see, It may be determined whether or not the container 10 to be exchanged is present. The control device 102 controls the turning on / off of the display lamps 180 and 181, for example.

또, 이상의 실시형태에서는, 용기(10)를 교환 가능한 상태로 하는 소정의 조건으로서, 용기(10) 내의 처리액의 액량이 소정량을 하회하여 그 용기(10)의 교환이 필요해진 경우를 예를 들어 설명했지만, 용기(10)를 교환 가능한 상태로 하는 소정의 조건은 본 실시형태의 내용에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 기판 처리 시스템(도시하지 않음)에서 사용하는 처리액의 종류를 변경하는 경우와 같이, 용기(10) 내의 처리액의 잔량에 상관없이 용기(10)의 교환이 필요해질 때가 있다. 이러한 경우, 예컨대 도 13에 도시한 바와 같이, 제어 장치(102)에 스위치(102a)를 설치해 두고, 액면계(91)의 검출치나 유량계(101)의 검출치에 관계없이, 이 스위치(102a)로부터 구동 기구(90)를 직접 조작할 수 있도록 해도 좋다. 마찬가지로, 표시등(180, 181)의 점등, 소등에 관해서도, 스위치(102a)에 의해 제어할 수 있도록 해도 좋다. In the above embodiment, the case where the liquid amount of the processing liquid in the vessel 10 is lower than a predetermined amount and the vessel 10 needs to be replaced is required as a predetermined condition for bringing the vessel 10 into a replaceable state The predetermined condition for bringing the container 10 into a replaceable state is not limited to the contents of the present embodiment. There is a case where it is necessary to replace the vessel 10 irrespective of the remaining amount of the processing liquid in the vessel 10, for example, as in the case of changing the type of the processing liquid used in the substrate processing system (not shown). 13, the switch 102a may be provided in the control device 102 so that the switch 102a is connected to the switch 102a regardless of the detected value of the level gauge 91 and the detected value of the flow meter 101 The driving mechanism 90 may be directly operated. Likewise, it is also possible to control the on / off states of the display lights 180 and 181 by the switch 102a.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시형태에 관해 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 청구범위에 기재된 사상의 범주 내에 있어서, 각종 변경예 또는 수정예에 이를 수 있는 것은 분명하며, 이들에 관해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해된다. 본 발명은 이 예에 한정되지 않고 여러가지 양태를 채용할 수 있는 것이다. 이상의 실시형태에서는, 용기 수용 장치(1)가 반도체 웨이퍼 제조용의 처리액을 저류하는 용기를 수용하는 경우를 예를 들어 설명했지만, 처리액으로는, 반도체 웨이퍼 제조용의 처리액에 한정되지 않고, 예컨대 반도체 웨이퍼들을 서로 접착하는 접합 프로세스에 이용하는 접착제의 용기 등을 수용하는 경우에 있어서도 당연히 적용할 수 있다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to these examples. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims defined in the claims, and these are obviously also within the technical scope of the present invention. The present invention is not limited to this example and various aspects can be employed. In the above embodiment, the case where the container accommodating apparatus 1 accommodates the container for storing the processing liquid for semiconductor wafer production has been described as an example. However, the processing liquid is not limited to the processing liquid for producing semiconductor wafers, The present invention can also be applied to a case of housing a container of an adhesive used for a bonding process for bonding semiconductor wafers to each other.

본 발명은 처리액 저류용의 용기를 수용할 때에 유용하다. The present invention is useful for accommodating a container for reserving a treatment liquid.

1 : 용기 수용 장치 10 : 용기
11 : 수용 랙 12 : 선반
13 : 배치대 14 : 상부판
20 : 공급관 21 : 캡
30 : 배치판 31 : 스프링
32 : 지지판 33 : 캠기구
34 : 셔터 35 : 가이드
40 : 연결봉 41 : 베어링
42 : 캠부재 50 : 공압 실린더
60 : 랙ㆍ앤드ㆍ피니언 70 : 에어백
80 : 유지 부재1: container receiving device 10: container
11: receptacle rack 12: shelf
13: placement table 14: top plate
20: supply pipe 21: cap
30: arrangement plate 31: spring
32: support plate 33: cam mechanism
34: shutter 35: guide
40: connecting rod 41: bearing
42: cam member 50: pneumatic cylinder
60: rack and pinion 70: air bag
80: Retaining member

Claims

A container accommodating apparatus for accommodating a plurality of containers for storing a process liquid for semiconductor manufacturing,
A plurality of placement bases in which the containers are arranged,
Wherein the container is disposed at a position inhibiting movement of the container from the arrangement for replacement of the container on the placement table and when the predetermined condition is satisfied, the position of the container relative to the container changes, And a movable member retracting from a position inhibiting movement for exchange.

The method according to claim 1,
Wherein the predetermined condition is established when the liquid amount of the processing liquid in the vessel is lower than a predetermined value.

3. The method of claim 2,
And a liquid amount detecting mechanism for detecting the liquid amount of the processing liquid in the vessel,
Wherein the movable member changes its position relative to the container on the placement table in accordance with a liquid amount detected by the liquid amount detection mechanism.

The method of claim 3,
The liquid amount detecting mechanism is a displacement mechanism in which the position in the height direction is displaced in accordance with the weight of the container disposed in the placement stand,
Wherein the displacement mechanism is connected to a displacement transmitting member for transmitting a change in the position of the displacement mechanism to the moving member and moving the moving member.

The method of claim 3,
Wherein the liquid amount detecting mechanism includes an airbag in which the volume of the gas inside changes according to the weight of the container disposed in the placement stand,
Wherein a cylinder mechanism for moving said moving member is connected to said airbag in accordance with a volume of a gas inside said airbag.

The method according to claim 1,
Wherein the moving member is a shutter which moves in the vertical direction on the side of the container.

The method of claim 3,
The moving member is positioned above the container so as to inhibit the movement of the container in the vertical direction when the liquid amount of the process liquid in the container is equal to or greater than a predetermined value and when the liquid amount of the process liquid in the container is lower than a predetermined value And moves to a position retracted from above the container.

A container accommodating apparatus for accommodating a plurality of containers for storing a process liquid for semiconductor manufacturing,
A plurality of placement bases in which the containers are arranged,
A moving member disposed at a position to inhibit movement of the container from the arrangement for replacement of the container on the placement table;
A driving mechanism for moving the moving member,
A flow rate detecting mechanism for detecting a flow rate of the processing liquid supplied from the vessel to the outside,
And a control section for controlling the drive mechanism to move the moving member back from a position inhibiting movement for exchanging the container when the detected flow rate in the flow rate detecting mechanism is lower than a predetermined value Container receiving device.