KR20170053160A - Temperature sensor using surface acoustic wave - Google Patents

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KR20170053160A
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Abstract

The present invention relates to a curve-fastened SAW temperature sensor capable of wirelessly measuring a temperature using a surface acoustic wave. The curve-fastened SAW temperature sensor is able to easily be installed and attached to a temperature measurement sensor using a surface acoustic wave, and is able to have improved sensitivity and accuracy of temperature measurement. The temperature measurement system using the surface acoustic wave is able to easily be installed and attached to an equipment to be measured; is able to have improved accuracy and real-time properties of temperature measurement by directly connecting the surface acoustic wave sensor to the equipment to be measured, which is a temperature measurement target; is able to have less volume and weight using a flat antenna in the surface acoustic temperature sensor; and is able to reduce manufacturing costs using a reader which easily measures a temperature due to high sensitivity and having a simple configuration.

Description

곡면 체결형 SAW 온도센서 {Temperature sensor using surface acoustic wave}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a surface-

본 발명은 표면탄성파를 이용하여 무선으로 온도를 측정하여 전송하는 패시브 온도측정 시스템에 관한 것에 관한 것으로, 구체적으로는 패시브 온도측정 시스템에 구비되는 SAW 온도센서에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a passive temperature measuring system for measuring and transmitting a temperature wirelessly using a surface acoustic wave, and more particularly, to a SAW temperature sensor provided in a passive temperature measuring system.

전력 스위치 보드와 같은 전자 소자는 열에 의해 손상될 우려가 있으므로 온도를 측정하고 모니터링하는 수단으로 다양한 방식의 온도 센서가 이용되고 있다. 압전기판의 온도특성과 표면탄성파를 이용하는 표면탄성파(Surface Acoustic Wave, SAW) 온도센서는 별도의 전원을 필요로 하지 않고 무선으로 온도를 측정할 수 있어서 소형화를 위한 전자 소자에 사용되고 있다. Electronic devices such as power switch boards are susceptible to damage by heat, and various types of temperature sensors are being used as means for measuring and monitoring temperature. The surface acoustic wave (SAW) temperature sensor using the surface acoustic wave and the temperature characteristic of the piezoelectric substrate can be used for electronic devices for miniaturization because the temperature can be measured wirelessly without requiring a separate power source.

종래기술에 따른 SAW 온도센서를 이용한 시스템을 도 1에 기초하여 살펴본다. SAW 온도센서(100)는 센서부(110)와 리더부(120)를 포함하여 구성된다. 센서부(110)는 압전기판(111), 트랜스듀서(112), 반사판(113) 및 안테나(114)를 포함한다. 압전기판(111)은 주위의 온도에 따라 지연선(delay line, 115)이 팽창하거나 수축할 뿐만 아니라 압전기판의 물성에도 영향을 주어 표면 탄성파의 전파시간이 변하거나 공진 주파수가 변하게 되는데 이러한 특성들의 변화를 검출함으로써 온도를 측정할 수 있게 된다. 트랜스듀서(112)는 빗살전극으로 형성될 수 있고, 안테나에서 수신된 신호에 의해 표면탄성파를 발생하게 한다. 반사판(113)은 트랜스듀서(112)에서 생성된 표면탄성파가 지연선을 통과하여 지연선의 끝 부분에서 표면탄성파를 반사시켜 트랜스듀서(112)로 다시 전파시키는 역할을 한다. 리더부(120)에서 센서 구동신호가 안테나를 통하여 송신되면, 센서 구동신호가 센서부(110)의 트랜스듀서(112)에 입력된다. 트랜스듀서(112)에 입력된 고주파 신호에 의해 압전기판(111)이 진동하게 되고 이에 따라 압전기판(111)의 표면을 따라 전파하는 표면탄성파가 발생되어 지연선(115)을 전파하여 반사판(113)으로 전파된다. 이렇게 전파된 표면탄성파는 반사판(113)에서 반사되어 지연선(115)과 트랜스듀서(112)를 거쳐 센서부(110)의 안테나에 의해 다시 송신되며, 이 신호를 리더기(120)에서 수신한다. 리더기(120)를 통하여 수신된 신호는 주파수의 진폭이나 진동수와 같은 주파수 특성을 분석함으로써 피측정 설비의 온도를 계산할 수 있다. A system using a conventional SAW temperature sensor will be described with reference to FIG. The SAW temperature sensor 100 includes a sensor unit 110 and a reader unit 120. The sensor unit 110 includes a piezoelectric substrate 111, a transducer 112, a reflection plate 113, and an antenna 114. The piezoelectric substrate 111 not only expands or shrinks the delay line 115 according to the ambient temperature but also affects the physical properties of the piezoelectric substrate so that the propagation time of the surface acoustic wave changes or the resonant frequency changes. The temperature can be measured by detecting the change. The transducer 112 may be formed of a comb electrode, and generates a surface acoustic wave by a signal received from the antenna. The reflection plate 113 serves to propagate the surface acoustic wave generated by the transducer 112 through the delay line, reflect the surface acoustic wave at the end of the delay line, and propagate it to the transducer 112 again. When the sensor driving signal is transmitted through the antenna in the reader unit 120, the sensor driving signal is input to the transducer 112 of the sensor unit 110. The piezoelectric substrate 111 vibrates due to the high frequency signal inputted to the transducer 112 and thus a surface acoustic wave propagating along the surface of the piezoelectric substrate 111 is generated and propagates through the delay line 115, ). The propagated surface acoustic wave is reflected by the reflection plate 113 and transmitted again by the antenna of the sensor unit 110 through the delay line 115 and the transducer 112 and is received by the reader 120. The signal received through the reader 120 can calculate the temperature of the device under test by analyzing frequency characteristics such as the amplitude or frequency of the frequency.

그러나 상기한 바와 같은 선행 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the above-described prior art has the following problems.

즉, 표면탄성파 온도 센서를 띠나 스프링 부착 등의 방식으로 설치하여 이용하게 되므로 장기간에 걸쳐 고온 환경에 노출되는 띠나 스프링이 노화되어 부서지기 쉽고 탄성이 약해지는 문제점이 있다. That is, since the surface acoustic wave temperature sensor is installed and used in a manner such as a band or a spring attachment, there is a problem that the band or spring exposed to a high temperature environment over a long period of time ages and is fragile and elastic.

또한, 종래 선행기술은 표면탄성파 온도 센서가 온도 측정의 대상이 되는 피측정 설비에 밀접하게 연결되지 못하고 피측정 설비의 온도가 공기나 금속 등의 연전달 구조를 통해 간접적으로 전달되므로 온도 측정의 실시간성과 정확성이 떨어지는 문제점이 있다. In the prior art, the surface acoustic wave temperature sensor is not closely connected to the object to be measured, and the temperature of the object to be measured is indirectly transmitted through the air or metal conduction structure. Therefore, There is a problem that accuracy and accuracy are poor.

또한, 종래 기술은 표면탄성파 온도센서에 1단 안테나(휩 안테나)나 나선형 안테나를 사용하여 온도센서 소자의 높이가 높고 부피가 큰 문제점이 있다. In addition, in the prior art, a single-stage antenna (whip antenna) or a helical antenna is used for the surface acoustic wave temperature sensor, so that the height of the temperature sensor element is high and bulky.

또한, 종래 기술은 센서부와 리더기의 거리가 3미터 이내로 가깝게 위치하는 경우에만 측정이 가능하여 측정거리가 낮으므로 피측정 설비의 온도측정시 사용이 불편하고, 리더기의 구성이 복잡한 문제점이 있다.In addition, since the conventional technique can measure only when the distance between the sensor unit and the reader is located within 3 meters, the measurement distance is low. Therefore, it is inconvenient to use the temperature measuring equipment and the reader is complicated in configuration.

대한민국 공개특허 제2004-57477호Korea Patent Publication No. 2004-57477

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 피측정 설비에 설치나 부착이 용이한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 것이다. The present invention provides a real-time passive temperature measurement system using a surface acoustic wave that is easy to install and attach to a device under test.

또한, 본 발명은 온도 측정의 대상이 되는 피측정 설비에 표면 탄성파 온도 센서가 직접 연결되어 온도 측정의 실시간성과 정확성이 개선된 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide a real-time passive temperature measurement system using a surface acoustic wave in which the surface acoustic wave temperature sensor is directly connected to the object to be measured and the real time and accuracy of the temperature measurement is improved.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 기판수용홈이 하부에 구비된 절연 지지부; 상기 절연 지지부 하부의 기판수용홈에 결합되는 압전기판; 절연 지지부에서 돌출되도록 압전기판의 하부에 결합되는 표면탄성파 발생부; 상기 절연 지지부의 상부에 구비되는 평면 안테나부; 및 상기 평면 안테나부의 상부에 구비되는 덮개부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면탄성파를 이용하는 SAW 온도센서로 구성될 수 있다. 상기 압전기판과 상기 평면 안테나부는 금속암으로 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 압전기판의 신호 인터페이스 및 접지 인터페이스와 대응되는 위치에 형성된 상기 평면 안테나부의 피드점 및 접지점과 각각 금속암으로 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 평면 안테나부는 부착편의 형태로 구비되어 상기 절연 지지부에 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 평면 안테나부는 평면 상에서 회절되는 형태로 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 절연 지지부와 상기 덮개부는 고정을 위한 나사가 관통하는 고정홀을 더 포함함을 특징으로 할 수 있다. 여기서 상기 절연 지지부의 두께는 12mm 내지 40mm인 것으로 구성할 수 있다. 표면탄성파 발생부는 압전기판, 트랜스듀서 및 반사부를 포함하여 피측정 장치의 온도에 따라 서로 다른 표면탄성파를 생성하는 것으로 구성할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma display panel comprising: an insulating support having a substrate receiving groove formed at a lower portion thereof; A piezoelectric substrate coupled to a substrate receiving groove under the insulating support portion; A surface acoustic wave generating unit coupled to a lower portion of the piezoelectric substrate so as to protrude from the insulating support; A planar antenna unit provided on the insulating support unit; And a lid provided at an upper portion of the planar antenna unit. The SAW temperature sensor may include a surface acoustic wave. And the piezoelectric substrate and the planar antenna unit are connected by a metal arm. The antenna may be connected to the feed point and the ground point of the planar antenna unit, which are formed at positions corresponding to the signal interface and the ground interface of the piezoelectric substrate, respectively. The planar antenna unit may be provided in the form of an attachment piece and may be coupled to the insulation support. In addition, the planar antenna unit may be configured to be diffracted on a plane. The insulating support portion and the lid portion may further include fixing holes through which screws for fixing are passed. Here, the thickness of the insulating support portion may be 12 mm to 40 mm. The surface acoustic wave generating unit may include a piezoelectric substrate, a transducer, and a reflection unit, and may generate surface acoustic waves having different surface acoustic waves according to the temperature of the device under measurement.

또는 본 발명은 리더기로부터 수신되는 구동신호를 축전하고 축전된 부하로 전력이 증가된 구동 신호를 SAW 온도센서부로 출력하는 에너지 축전부; 및 상기 에너지 축전부의 구동 신호에 따라 표면탄성파를 발생시키는 SAW 온도 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 측정기로 구성할 수 있다. 상기 에너지 축전부는, 수신된 RF 신호를 DC 신호로 변환하는 충전 펌프; 상기 변환된 DC 신호의 전압을 높여주는 DC-DC 부스터; 및 상기 높아진 전압의 에너지를 축전하는 캐패시터를 포함하여 구성됨을 특징으로 할 수 있다. 상기 SAW 온도센서부는 압전기판, 트랜스듀서 및 반사부를 포함하여 피측정 장치의 온도에 따라 서로 다른 표면탄성파를 생성하는 것을 특징으로 할 수 있다. Alternatively, the present invention may include an energy storage unit for storing a drive signal received from a reader and outputting a drive signal whose power is increased to a stored load to a SAW temperature sensor unit; And a SAW temperature sensor for generating a surface acoustic wave according to a driving signal of the energy storage unit. The energy storage unit includes a charge pump for converting a received RF signal into a DC signal; A DC-DC booster for increasing the voltage of the converted DC signal; And a capacitor for storing the energy of the increased voltage. The SAW temperature sensor unit may include a piezoelectric substrate, a transducer, and a reflector to generate different surface acoustic waves according to the temperature of the device under test.

또는 본 발명은 피측정 장치의 온도에 따라 서로 다른 표면탄성파를 발생시켜 온도값을 검출 가능하도록 구성된 온도측정기;와 상기 온도측정기에서 표면탄성파를 발생시키는 구동신호를 발신하는 발신채널 및 발생된 표면탄성파의 신호를 수신하는 수신채널을 포함하여 구성된 리더기;를 포함하는 SAW 온도측정 시스템에 관한 것으로, 상기 온도측정기는, 상기 리더기로부터 수신되는 구동신호를 축전하고 축전된 부하로 전력이 증가된 구동 신호를 SAW 온도센서부로 출력하는 에너지 축전부; 및 상기 에너지 축전부의 구동 신호에 따라 표면탄성파를 발생시키는 SAW 온도 센서부를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 에너지 축전부는, 수신된 RF 신호를 DC 신호로 변환하는 충전 펌프; 상기 변환된 DC 신호의 전압을 높여주는 DC-DC 부스터; 및 상기 높아진 전압의 에너지를 축전하는 캐패시터를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 SAW 온도센서부는 압전기판, 트랜스듀서 및 반사부를 포함하여 피측정 장치의 온도에 따라 서로 다른 표면탄성파를 생성하는 것을 특징으로 할 수 있다.The present invention relates to a temperature measuring device, a temperature measuring device, and a temperature measuring device, which are capable of detecting temperature values by generating different surface acoustic waves according to the temperature of a device to be measured, a source channel for generating a driving signal for generating surface acoustic waves in the temperature measuring device, The present invention relates to a SAW temperature measuring system including a reader for receiving a signal from a reader and a receiver for receiving a signal from the reader, An energy storage unit for outputting to the SAW temperature sensor unit; And a SAW temperature sensor unit for generating surface acoustic waves according to a driving signal of the energy storage unit. The energy storage unit includes a charge pump for converting a received RF signal into a DC signal; A DC-DC booster for increasing the voltage of the converted DC signal; And a capacitor for storing the energy of the increased voltage. The SAW temperature sensor unit may include a piezoelectric substrate, a transducer, and a reflector to generate different surface acoustic waves according to the temperature of the device under test.

위에서 살핀 바와 같은 본 발명에 의한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템에서는 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다. In the real-time passive temperature measurement system using the surface acoustic wave according to the present invention as described above, the following effects can be expected.

즉, 본 발명에서는 피측정 설비에 설치나 부착이 용이한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 효과가 있다. That is, according to the present invention, there is an effect of providing a real-time passive temperature measurement system using a surface acoustic wave which is easy to install and attach to a measurement equipment.

또한, 본 발명에서는 온도 측정의 대상이 되는 피측정 설비에 표면 탄성파 온도 센서가 직접 연결되어 온도 측정의 실시간성과 정확성이 개선된 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 효과가 있다. The present invention also provides a real-time passive temperature measurement system using a surface acoustic wave, in which the surface acoustic wave temperature sensor is directly connected to the measured equipment to be subjected to temperature measurement to improve the real time and accuracy of temperature measurement.

또한, 본 발명에서는 표면탄성파 온도센서에 납작한 평면 안테나를 사용하여 부피가 작고 무게가 줄어든 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 효과가 있다.The present invention also provides a real-time passive temperature measurement system using a surface acoustic wave having a small volume and a reduced weight by using a flat antenna as a surface acoustic wave temperature sensor.

또한, 본 발명에서는 센서부와 리더기의 거리가 3미터 이상에서도 온도 측정이 가능하여 피측정 설비의 온도측정이 용이하고 단순한 구성의 리더기를 사용하여 제조 단가를 절감할 수 있는 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 제공하는 효과가 있다.In the present invention, since the temperature can be measured even when the distance between the sensor unit and the reader is more than 3 meters, it is possible to measure the temperature of the measuring equipment easily, and real time passive There is an effect of providing a temperature measurement system.

도 1은 종래기술에 따른 SAW 온도센서를 이용한 시스템을 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템의 구성을 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 SAW 온도센서부의 구성을 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 표면탄성파 발생부의 구성을 도시한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 안테나부의 형태를 도시한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 SAW 온도센서가 측정 대상체에 고정되는 형태를 도시한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 SAW 온도센서가 다른 측정 대상체에 고정되는 형태를 도시한다.1 shows a system using a SAW temperature sensor according to the prior art.
2 is a block diagram showing the configuration of a real-time passive temperature measurement system using surface acoustic waves according to an embodiment of the present invention.
3 is a side cross-sectional view showing a configuration of a SAW temperature sensor unit according to an embodiment of the present invention.
4 shows a configuration of a surface acoustic wave generator according to an embodiment of the present invention.
5 shows a form of an antenna unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 shows a state in which the SAW temperature sensor according to the embodiment of the present invention is fixed to a measurement object.
FIG. 7 shows a state in which the SAW temperature sensor according to the embodiment of the present invention is fixed to another measurement object.

이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템을 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the real-time passive temperature measurement system using surface acoustic waves according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템(1, 이하 'SAW 온도 측정 시스템'이라 한다)을 도시하고 있다. FIG. 2 shows a real-time passive temperature measuring system 1 (hereinafter, referred to as SAW temperature measuring system) using surface acoustic waves according to an embodiment of the present invention.

SAW 온도측정 시스템(1)은 온도측정기(10)와 리더기(20)를 포함하며, 도면에 도시되지는 않았으나 신호처리부 디스플레이부 등의 구성을 더 포함할 있다. 이하에서는 본 발명의 특징인 온도측정기(10)와 리더기(20)의 구성을 중심으로 구체적으로 설명하고자 한다.The SAW temperature measuring system 1 includes a temperature measuring device 10 and a reader 20, and further includes a configuration of a signal processing unit display unit and the like although not shown in the figure. Hereinafter, the configuration of the temperature measuring device 10 and the reader 20, which are features of the present invention, will be described in detail.

온도측정기(10)는 에너지 축전부(11)와 SAW 온도센서부(12)를 포함하여 구성될 수 있고, 리더기(20)는 발신채널(21)과 수신채널(22)를 포함한다. The temperature measuring device 10 may include an energy storage unit 11 and a SAW temperature sensor unit 12. The reader 20 includes an originating channel 21 and a receiving channel 22.

에너지 축전부(11)는 리더기의 발신채널(21)로부터 수신된 신호의 전력을 증가시켜 온도측정기(10)와 리더기(20)의 거리가 3미터 이상 떨어진 경우에도 구동신호를 감지할 수 있도록 하는 구성이다. 이를 위하여 에너지 축전부(11)는 충전 펌브(11a), DC-DC 부스터(11b) 및 캐패시터(11c)를 포함하여 구성될 수 있다. 충전 펌프(11a)는 딕슨 전하 펌프(Dickson charge pump)를 이용할 수 있고 이를 이용하여 수신된 RF 신호를 DC 전환으로 변환한다. 예를 들어 리더기(20)의 발신채널(21)에서 20dBm의 915MHz 신호를 발신한 경우 충전 펌프(11a)에서 DC로 변환된 전원은 0.5V 내지 1.0V로 온도측정기(10)의 트랜스듀서에서 표면탄성파를 발생시키기에는 낮은 전력에 해당한다. DC-DC 부스터(11b)는 낮은 전력에 해당하는 0.5V 내지 1.0V의 전압을 1.8V까지 높여준다. 캐패시터(11c)는 높아진 전압의 에너지를 축전하고 전기 에너지가 축전된 부하로 SAW 온도센서부(12)에 구동신호를 전달한다. 에너지 축전부(11)의 감도는 -10dBm 이하이며 발신 신호 강도(ERIP)가 20dBm(915MHz)일 때 에너지 축전부(11)와 SAW 온도센서부(12)의 신호 감지 가능한 거리가 10미터 이상이 된다. 발신 신호 전력이 증가할 경우 상기 에너지 축전부(11)와 SAW 온도센서부(12)의 신호 감지 가능한 거리가 증가하게 되므로 종래의 표면탄성파를 이용하는 온도센서보다 감도가 상승하는 효과가 있다. 상기 실시예에서는 3.3uF의 캐패시터를 사용하였으나 캐패시터의 용량을 증가시켜 작업 시간을 길게하면 온도측정기(10)에서 발생되는 표면탄성파의 신호 반송 시간이 500us 이상으로 길어져 신호 수신 방식이 간단해지고 FFT 변환이 필요하지 않게 된다. 따라서 간단한 구성의 제어기(MCU)를 이용하여 수신 신호를 카운팅하면서 수신 신호에 대한 정확한 판독이 가능하므로 리더기(20)의 복잡성과 원가를 대폭 낮출 수 있다. The energy storage unit 11 increases the power of the signal received from the reader's originating channel 21 so that the driving signal can be detected even when the distance between the temperature measuring instrument 10 and the reader 20 is more than 3 meters . To this end, the energy storage unit 11 may include a charging pump 11a, a DC-DC booster 11b, and a capacitor 11c. The charge pump 11a may use a Dickson charge pump to convert the received RF signal into a DC conversion. For example, in the case where a 915 MHz signal of 20 dBm is transmitted from the transmission channel 21 of the reader 20, the power source converted from the charge pump 11a to DC is changed from 0.5 V to 1.0 V in the transducer of the temperature meter 10 It corresponds to a low power to generate an elastic wave. The DC-DC booster 11b raises the voltage of 0.5V to 1.0V corresponding to the low power to 1.8V. The capacitor 11c stores the energy of the increased voltage and transmits the driving signal to the SAW temperature sensor unit 12 as a load charged with electric energy. The signal sensing distance between the energy storage unit 11 and the SAW temperature sensor unit 12 is 10 meters or more when the sensitivity of the energy storage unit 11 is -10 dBm or less and the transmission signal strength (ERIP) is 20 dBm (915 MHz) do. When the power of the outgoing signal is increased, the distance between the energy storage unit 11 and the SAW temperature sensor unit 12 is increased, so that the sensitivity is higher than that of the conventional temperature sensor using the surface acoustic wave. In the above embodiment, a capacitor of 3.3 uF is used. However, when the capacity of the capacitor is increased to increase the operation time, the signal transmission time of the surface acoustic wave generated by the temperature measuring device 10 becomes longer than 500 us, It becomes unnecessary. Therefore, it is possible to accurately read the received signal while counting the received signal by using a controller (MCU) of simple configuration, so that the complexity and cost of the reader 20 can be greatly reduced.

상기와 같은 에너지 축전부(11)는 온도측정기(10)와 리더기(20)의 거리가 3미터 이상으로 먼 경우에도 피측정 설비의 온도 측정이 가능하도록 하기 위한 것으로, 3미터 이상의 거리가 요구되는 않는 경우 에너지 축전부(11)가 작동하기 않도록 구성하거나 에너지 축전부(11)를 제외하고 SAW 온도센서부(12)를 이용하여 온도측정기를 구성할 수도 있다.The energy storage unit 11 is provided to allow the temperature measurement of the measuring equipment even when the distance between the temperature measuring unit 10 and the reader 20 is 3 meters or more and requires a distance of 3 meters or more The energy storage unit 11 may not be operated or the temperature measuring unit may be configured using the SAW temperature sensor unit 12 except for the energy storage unit 11. [

다음으로 도 3은 SAW 온도센서부(12)의 구체적인 실시예를 도시하고 있다. 실시예에 따르면 본 발명의 SAW 온도센서부(12)는 표면탄성파 발생부(31), IC 기판(32), 절연 지지부(33), 안테나부(34) 및 덮개부(36)을 포함하여 구성된다. Next, Fig. 3 shows a specific embodiment of the SAW temperature sensor unit 12. Fig. The SAW temperature sensor unit 12 of the present invention includes the surface acoustic wave generating unit 31, the IC substrate 32, the insulating support unit 33, the antenna unit 34 and the cover unit 36 do.

표면탄성파 발생부(31)는 구동신호에 따라 표면탄성파를 생성하는 구성으로, 도 4에 도시된 바와 같이 압전기판(311), 트랜스듀서(312) 및 반사부(313)를 포함할 수 있다.The surface acoustic wave generating unit 31 may include a piezoelectric substrate 311, a transducer 312, and a reflecting unit 313 as shown in FIG. 4, which is configured to generate surface acoustic waves according to a driving signal.

압전기판(311)은 주위의 온도에 따라 지연선(delay line, 115)이 팽창하거나 수축할 뿐만 아니라 압전기판의 물성에도 영향을 주어 표면 탄성파의 전파시간이 변하거나 공진 주파수가 변하게 된다. The piezoelectric substrate 311 not only expands or shrinks the delay line 115 according to the ambient temperature, but also affects the physical properties of the piezoelectric substrate, so that the propagation time of the surface acoustic wave changes or the resonant frequency changes.

트랜스듀서(312)는 빗살전극으로 인터디지털 트랜스듀서(Inter-digital Transducer, IDT)가 이용될 수 있고, 수신된 구동신호에 의해 표면탄성파를 발생하게 한다. The transducer 312 may use an interdigital transducer (IDT) as a comb electrode, and generate a surface acoustic wave by the received driving signal.

반사부(313)는 IDT(312)에서 생성된 표면탄성파가 지연선을 통과하여 지연선의 끝 부분에서 표면탄성파를 반사시켜 IDT(312)로 다시 전파시키는 역할을 한다. The reflection part 313 has a function of propagating the surface acoustic wave generated by the IDT 312 through the delay line, reflecting the surface acoustic wave at the end of the delay line, and propagating it back to the IDT 312.

다시 도 3으로 돌아와서, 도 3의 IC 기판(32)은 표면탄성파 발생부(31)가 하부에 돌출되는 형태로 결합되는 구성으로 신호 인터페이스와 접지 인터페이스를 포함한다. Referring back to FIG. 3, the IC substrate 32 of FIG. 3 includes a signal interface and a ground interface in a configuration in which the surface acoustic wave generating portion 31 is coupled to the lower portion.

절연 지지부(33)는 IC 기판(32)을 고정하는 구성으로 절연물질로 형성되며 IC 기판이 외부로 노출되지 않도록 IC 기판을 수용하는 기판수용홈(33a)을 구비하고 있다. 이와 같은 구성은 IC 기판(32)의 접점이나 본딩 패드의 노출을 방지하고자 하는 것이다. 절연 지지부(33)의 두께는 안테나의 성능에 따라 선택되며 두께가 안테나의 복사 필드에 영향이 있기 때문에 두꺼운 것이 바람직하다. 특히 안테나가 요구되는 주파수 대역 범위에서 안정적으로 작동하도록 하기 위해서 절연 지지부(33)의 두께는 12mm 내지 40mm로 구성함이 바람직하다. The insulating support 33 has a substrate receiving groove 33a formed of an insulating material for fixing the IC substrate 32 and accommodating the IC substrate so that the IC substrate is not exposed to the outside. Such a structure is intended to prevent the contact of the IC substrate 32 and the exposure of the bonding pads. The thickness of the insulating support portion 33 is selected according to the performance of the antenna and is preferably thick because the thickness affects the radiation field of the antenna. In particular, in order to stably operate the antenna in a required frequency band range, it is preferable that the thickness of the insulator support portion 33 is 12 mm to 40 mm.

또한, 절연지지부(33)에는 고정홀(33b)을 더 포함할 수 있다. 고정홀(33b)은 통공의 형태로, 고정홀(33b)을 통해 나사 등이 절연지지부(33)를 관통하도록 구성함으로써 용이하게 온도를 측정하고자 하는 피측정 설비에 고정할 수 있도록 구성한다. 이와 같은 고정 방식은 기존의 띠나 스프링 부착 방식에 비하여 장기간 고온에 노출되어도 부서지거나 탄성이 약화되는 문제점이 없고 안정적으로 장착할 수 있는 효과가 있다. Further, the insulating support portion 33 may further include a fixing hole 33b. The fixing hole 33b is formed in the form of a through hole so that a screw or the like penetrates through the insulating support portion 33 through the fixing hole 33b so that the fixing hole 33b can be easily fixed to the measured equipment to be measured. Such a fixing method has an effect that it can be stably mounted without any problem that it is broken or the elasticity is weakened even when it is exposed to a high temperature for a long period of time compared to a conventional band or spring attachment method.

안테나부(34)는 절연 지지부(33) 상에 부착편 형태의 납작한 평면 안테나로 구성된다. 안테나를 납작한 평면 형태로 구성함으로써 1단 안테나(휩 안테나)나 나선형 안테나를 사용하는 구성에 비하여 높이가 낮고 부피가 작은 소자를 구성할 수 있다. 또한 납작한 평면 안테나부는 접지선과 피드선 자체가 연통되어 있어 높은 전압과 강한 전장 환경에서 동전위를 가지므로 파괴되지 않고 정전 저항 능력이 강해 신뢰도가 높고 내구성이 좋은 장점이 있다.The antenna portion 34 is constituted by a flat flat antenna in the form of an attachment piece on the insulating support portion 33. By configuring the antenna in a flat plane configuration, it is possible to construct a device with a low height and a small volume as compared to a configuration using a single-stage antenna (whip antenna) or a helical antenna. In addition, since the ground plane and the feed line are in communication with each other, the flat flat antenna has advantages of high reliability and durability because it has high electric voltage and strong electric field and is not destroyed.

안테나부(34)의 구체적인 형태는 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 도 3의 절연 지지부(33) 상에 부착편으로 형성된 안테나부(34)를 상부에서 내려다 본 형태를 도시한다. 안테나부(33)의 형태를 회절식으로 구성함으로써 수신 감도를 높이도록 구성되어 있다. 도시된 실시예는 거꾸로된 영문 대문자 'G'의 형태로 구성되어 있으나 영문 대문자 'S'의 형태로 구성할 수도 있으며, 회절식으로 구성하는 범위에서는 다양한 형태의 변형이 가능하다.The specific form of the antenna unit 34 will be described with reference to Fig. Fig. 5 shows a top down view of the antenna portion 34 formed as an attachment piece on the insulator support portion 33 of Fig. The configuration of the antenna section 33 is constituted by a bending type so as to increase the reception sensitivity. The illustrated embodiment is configured in the form of an inverted capital letter 'G', but may be configured in the form of an uppercase letter 'S'.

안테나부(34)는 피드점 및 접지점을 포함하고 있고, 피드점 및 접지점은 각각 IC기판(32)의 신호 인터페이스 및 접지 인터페이스와 금속암(35)으로 연결되어 있다. 즉, 안테나부(34)의 피드점 및 접지점은 IC 기판(32)의 신호 인터페이스 및 접지 인터페이스와 일치하는 위치에 형성된다. 금속암(35)은 양은이나 베릴륨 청동, 스테인레스 스틸, FPC 등의 재료를 이용하여 구성할 수 있다. 안테나부(34)와 IC 기판(32)이 금속암(34)을 통해 도통 연결되도록 구성하여 안테나의 성능을 강화할 수 있다.The antenna portion 34 includes a feed point and a ground point, and the feed point and the ground point are respectively connected to the signal interface and the ground interface of the IC substrate 32 by a metal arm 35. That is, the feed point and the ground point of the antenna section 34 are formed at positions corresponding to the signal interface and the ground interface of the IC substrate 32. The metal arm 35 can be made of a material such as silver or beryllium bronze, stainless steel, FPC or the like. The antenna unit 34 and the IC substrate 32 are connected to each other through the metal arm 34 so that the performance of the antenna can be enhanced.

다시 도 3으로 돌아와서, 도 3의 덮개부(36)는 안테나부(34)의 상부에 마련되어 안테나부(34)를 보호하는 작용을 하는 것으로 절연 물질로 구성된다. 덮개부(36)에도 절연지지부(33)의 고정홀(33b)에 대응되는 통공형태의 고정홀(36b)이 형성될 수 있다. 덮개부(36)의 고정홀(36b)도 나사 등이 관통하여 피측정 설비에 용이하게 고정할 수 있도록 하는 구성에 해당한다.Referring back to FIG. 3, the lid part 36 of FIG. 3 is provided on the upper part of the antenna part 34 to protect the antenna part 34 and is made of an insulating material. The lid portion 36 may be formed with a fixing hole 36b in the form of a through hole corresponding to the fixing hole 33b of the insulating support portion 33. [ The fixing hole 36b of the lid portion 36 also passes through a screw or the like so that it can be easily fixed to the measuring equipment.

특히, 표면탄성파 발생부(31)는 IC 기판(32)이 수용된 절연지지부(33)의 하면에 돌출된 형태로 장착되어 온도를 측정하고자 하는 피측정 설비에 직접적으로 접촉할 수 있도록 구성된다. 따라서 피측정 설비의 온도가 열전달 구조를 통해 간접적으로 전달되는 것이 아니고, 표면탄성파 발생부(31)가 직접적으로 피측정 설비의 온도를 감지할 수 있어서 온도 측정의 실시간성과 정확성이 향상되는 효과가 있다.Particularly, the surface acoustic wave generating part 31 is mounted on the lower surface of the insulating support part 33, in which the IC substrate 32 is housed, so as to be directly contacted with the measured equipment to measure the temperature. Therefore, the temperature of the measured equipment is indirectly transmitted through the heat transfer structure, and the surface acoustic wave generating unit 31 can directly detect the temperature of the measured equipment, thereby improving the real time and accuracy of the temperature measurement .

이하에서는 상기한 바와 같은 표면탄성파를 이용한 실시간 패시브 온도측정 시스템의 작동 기전을 설명한다. Hereinafter, the operation mechanism of the real-time passive temperature measurement system using the surface acoustic wave as described above will be described.

온도측정기(10)의 SAW 온도센서부(12)를 온도를 측정하고자 하는 피측정 설비에 부착하여 설치한다. 이때, SAW 온도센서부(12)의 하부에 돌출된 표면탄성파 발생부(31)가 피측정 설비에 직접 접촉 가능하도록 부착하고, 고정홀(33b, 36b)에 나사를 관통시켜 나사결합 방식으로 피측정 설비에 고정시킨다. The SAW temperature sensor unit 12 of the temperature measuring instrument 10 is attached to the measuring equipment to be measured. At this time, the surface acoustic wave generating part 31 protruding from the lower part of the SAW temperature sensor part 12 is attached so as to be in direct contact with the measured equipment, and the screw is passed through the fixing holes 33b and 36b, Fix to measurement equipment.

리더기(20)에서 온도 측정을 위한 구동신호가 안테나를 통하여 송신되면, 온도측정기(11)가 구동신호를 수신한다. 이때, 온도측정기(10)와 리더기(20)의 거리가 3미터 이상으로 떨어진 경우에도 구동신호를 감지할 수 있도록 에너지 축전부(11)가 동작한다. 에너지 축전부(11)는 충전 펌프(11a)를 통해 수신된 신호를 DC로 변환하고 DC-DC 부스터(11b)를 통해 전압을 높여준다. 또한 에너지 축전부(11)는 캐패시터(11c)에 높아진 전압의 에너지를 축전하고 전기 에너지가 축전된 부하로 SAW 온도센서부(12)에 구동신호를 전달한다. When a drive signal for temperature measurement is transmitted through the antenna in the reader 20, the temperature measuring device 11 receives the drive signal. At this time, the energy storage unit 11 operates so that the driving signal can be detected even when the distance between the temperature measuring instrument 10 and the reader 20 is more than 3 meters. The energy storage unit 11 converts the signal received through the charge pump 11a to DC and raises the voltage through the DC-DC booster 11b. The energy storage unit 11 stores the energy of the increased voltage in the capacitor 11c and transmits the driving signal to the SAW temperature sensor unit 12 as a load in which electric energy is stored.

구동신호는 SAW 온도센서부(12)의 트랜스듀서(312)에 입력되고 압전기판(311)의 표면을 따라 전파하는 표면탄성파가 발생되어 지연선을 따라 전파하여 반사부(313)로 전파된다. 전파된 표면탄성파는 반사부(313)에서 반사되어 지연선과 트랜스듀서를 거쳐 안테나의 의해 다시 송신된다. The drive signal is input to the transducer 312 of the SAW temperature sensor unit 12 and surface acoustic waves propagating along the surface of the piezoelectric substrate 311 are generated and propagated along the delay line and propagated to the reflection unit 313. The propagated surface acoustic waves are reflected by the reflecting portion 313 and transmitted again by the antenna via the delay line and the transducer.

리더기(20)는 신호를 수신하여 주파수의 진폭이나 진동수와 같은 주파수 특성을 분석함으로써 피측정 설비의 온도를 계산할 수 있다. 이때, 복수 개의 SAW 온도센서부(12)를 이용하여 복수 개의 지점들에서 온도를 감지하고자 하는 경우, 각 온도센서부(12)에서 형성하는 표면탄성파가 서로 다른 중심 주파수를 이용하도록 구성하여 서로 다른 지점의 온도를 모니터링하도록 구성할 수도 있다. The reader 20 can receive the signal and calculate the temperature of the device under test by analyzing the frequency characteristics such as the amplitude or the frequency of the frequency. In this case, when the temperature is sensed at a plurality of points by using a plurality of SAW temperature sensor units 12, the surface acoustic waves formed by the temperature sensor units 12 may be configured to use different center frequencies, It may also be configured to monitor the temperature of the point.

한편, 본 발명에 의한 SAW 온도센서는 케이스를 구비하여 측정 대상체에 안정적으로 고정될 수 있다.Meanwhile, the SAW temperature sensor according to the present invention can be stably fixed to a measurement object with a case.

이때, 상기 케이스는 측정대상체의 형태에 따라 다양한 실시예가 가능하고, 이하에서 대표적인 예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.At this time, the case can be variously modified according to the shape of the measurement object, and a representative example will be described below with reference to the drawings.

도 6에는 본 발명의 실시예에 의한 SAW 온도센서가 측정 대상체에 고정되는 형태가 도시되어 있다.FIG. 6 shows a state in which the SAW temperature sensor according to the embodiment of the present invention is fixed to a measurement object.

이에 도시된 바와 같이, 상기 측정대상체(P1)가 원통형인 경우, 상기 케이스(40)는 외부케이싱(42) 및 곡면바닥부(44)를 포함하여 구성된다.As shown in the figure, when the measurement object P1 is cylindrical, the case 40 includes an outer casing 42 and a curved bottom portion 44. [

상기 외부케이싱(42)은 하방이 개구된 박스형태로 내부에는 전술한 바와 같은 절연 지지부, 압전기판, 표면탄성파 발생부, 평면 안테나부 및 덮개부 등의 SAW 온도센서 구성품이 실장된다.The outer casing 42 is box-shaped and opens downward, and the components of the SAW temperature sensor such as the above-described insulation support, piezoelectric substrate, surface acoustic wave generator, planar antenna, and lid are mounted inside.

그리고 상기 외부케이싱(42)하단에는 하면이 곡면으로 형성되는 곡면바닥부(44)가 결합되어 상부는 외부케이싱(42) 하부를 차폐하고 하면은 상기 원통형 측정대상체(P1)에 밀착된다.A curved bottom portion 44 having a curved lower surface is coupled to the lower end of the outer casing 42 so that the upper portion shields the lower portion of the outer casing 42 and the lower surface thereof is in close contact with the cylindrical measurement object P1.

이때, 상기 케이스(40)와 측정대상체(P1)는 나사고정에 의해 결합될 수도 있고, 접착물질 등에 의해 부착될 수도 있다.At this time, the case 40 and the measurement object P1 may be combined by screwing, or may be attached by an adhesive material or the like.

도 7에는 본 발명의 실시예에 의한 SAW 온도센서가 다른 측정 대상체에 고정되는 형태를 도시되어 있다.FIG. 7 shows a SAW temperature sensor according to an embodiment of the present invention being fixed to another measurement object.

이에 도시된 바와 같이, 상기 측정대상체(P2)에 고정돌기(P22)가 형성되어, 상기 고정돌기(P22) 상에 케이스(40)가 고정되는 경우, 상기 케이스(40)는 외부케이싱(42) 및 돌기바닥부(46)를 포함하여 구성된다.As shown in the figure, when the fixing protrusion P22 is formed on the measurement object P2 and the case 40 is fixed on the fixing protrusion P22, the case 40 is fixed to the outer casing 42, And a projection bottom part 46. [0035]

상기 외부케이싱(42)은 하방이 개구된 박스형태로 내부에는 전술한 바와 같은 SAW 온도센서 구성품이 실장된다.The outer casing (42) is box-shaped opening downward, and the SAW temperature sensor component as described above is mounted therein.

그리고 상기 외부케이싱(42) 하단에는 일 측으로 연장되어 상기 고정돌기(P22)에 체결가능한 돌기바닥부(46)가 결합된다.A protrusion bottom portion 46 is coupled to the lower end of the outer casing 42 so as to be coupled to the fixing protrusion P22.

또한, 상기 돌기바닥부(46)의 돌출부는 상기 고정돌기(P22)에 결합 고정된다.The projecting portion of the projection bottom 46 is fixedly coupled to the fixing projection P22.

이때, 상기 케이스(40)와 측정대상체(P2)는 상기 돌기바닥부(46) 돌출부가 상기 고정돌기(P22)에 압입되어 고정될 수도 있고, 안정적인 고정을 위하여 추가적인 나사고정이 포함될 수 있다.At this time, the protrusion of the protrusion bottom 46 may be press-fitted into the fixing protrusion P22 to fix the case 40 and the measurement object P2, and further screw fixing may be included for stable fixing.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiment, but is capable of many modifications and variations within the scope of the appended claims. It is self-evident.

본 발명은 표면탄성파를 이용하여 무선으로 온도를 측정하는 온도측정 시스템에 관한 것에 관한 것으로, 본 발명에 의하여 설치가 용이하고 온도측정의 정확성과 감도가 개선된 온도측정 시스템을 제공하는 장점이 있다.The present invention relates to a temperature measurement system for wirelessly measuring temperature using a surface acoustic wave, and has an advantage of providing a temperature measurement system which is easy to install and has improved accuracy and sensitivity of temperature measurement.

10 : 온도측정기 11: 에너지 축전부
12 : SAW 온도 센서부 20 : 리더기
21 : 발신채널 22 : 수신채널
31: 표면탄성파 발생부 32 : IC 기판
33 : 절연 지지부 34 : 안테나부
35 : 금속암 36 : 덮개부
110 : 센서부 111, 311 : 압전기판
112, 312 : 트랜스듀서 113 : 반사판
114 : 안테나 120 : 리더부
313 : 반사부10: Temperature measuring instrument 11: Energy storage unit
12: SAW temperature sensor unit 20: reader
21: Originating channel 22: Receiving channel
31: surface acoustic wave generating part 32: IC substrate
33: insulator supporting portion 34: antenna portion
35: metal arm 36: lid
110: sensor unit 111, 311: piezoelectric substrate
112, 312: Transducer 113: Reflector
114: antenna 120:
313:

Claims (8)

리더기로부터 수신되는 구동신호를 축전하고 축전된 부하로 전력이 증가된 구동 신호를 SAW 온도센서부로 출력하는 에너지 축전부와;
상기 에너지 축전부의 구동 신호에 따라 표면탄성파를 발생시키는 SAW 온도 센서부와;
상기 에너지 축전부 및 SAW 온도 센서부를 수용하는 외부케이싱; 그리고
상기 외부케이싱의 개방부를 차폐하는 바닥부를 포함하여 구성되고:
상기 바닥부 외측면은 곡면으로 형성됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
An energy storage unit for storing a drive signal received from the reader and outputting a drive signal whose power is increased to the stored load to the SAW temperature sensor unit;
A SAW temperature sensor unit for generating surface acoustic waves according to a driving signal of the energy storage unit;
An outer casing for accommodating the energy storage unit and the SAW temperature sensor unit; And
And a bottom portion for shielding an opening portion of the outer casing,
And the outer surface of the bottom portion is formed as a curved surface.
제 1 항에 있어서,
상기 외부케이싱은,
상기 외부케이싱과 상기 바닥부를 관통하여 측정대상체에 고정되는 나사체결에 의해 상기 측정대상체에 고정됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
The method according to claim 1,
Wherein the outer casing comprises:
Wherein the SAW temperature sensor is fixed to the measurement object by screwing through the outer casing and the bottom portion and fixed to the measurement object.
제 2 항에 있어서,
상기 바닥부는,
측정대상체에 접착물질에 의해 부착됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
3. The method of claim 2,
The bottom portion
Wherein the SAW temperature sensor is attached to the measurement object by an adhesive material.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 SAW 온도 센서부는,
기판수용홈이 하부에 구비된 절연 지지부;
상기 절연 지지부 하부의 기판수용홈에 결합되는 압전기판;
절연 지지부에서 돌출되도록 압전기판의 하부에 결합되는 표면탄성파 발생부;
상기 절연 지지부의 상부에 구비되는 평면 안테나부; 및
상기 평면 안테나의 상부에 구비되는 덮개부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The SAW temperature sensor unit includes:
An insulating support having a substrate receiving groove provided at a lower portion thereof;
A piezoelectric substrate coupled to a substrate receiving groove under the insulating support portion;
A surface acoustic wave generating unit coupled to a lower portion of the piezoelectric substrate so as to protrude from the insulating support;
A planar antenna unit provided on the insulating support unit; And
And a lid part provided on an upper portion of the planar antenna.
제 4 항에 있어서,
상기 압전기판과 상기 평면 안테나부는 금속암으로 연결되는 것을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
5. The method of claim 4,
Wherein the piezoelectric substrate and the planar antenna unit are connected by a metal arm.
제 4 항에 있어서,
상기 압전기판의 신호 인터페이스 및 접지 인터페이스는,
상기 평면 안테나부의 피드점 및 접지점과 대응되는 위치에 형성되어, 상기 평면 안테나부의 피드점 및 접지점과 각각 금속암으로 연결됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
5. The method of claim 4,
Wherein the signal interface and the ground interface of the piezoelectric substrate comprise:
Wherein the SAW temperature sensor is formed at a position corresponding to a feed point and a ground point of the planar antenna unit, and is connected to the feed point and the ground point of the planar antenna unit by metal arms, respectively.
제 4 항에 있어서,
표면탄성파 발생부는 압전기판, 트랜스듀서 및 반사부를 포함하여 피측정 장치의 온도에 따라 서로 다른 표면탄성파를 생성하는 것을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
5. The method of claim 4,
Wherein the surface acoustic wave generating unit includes a piezoelectric substrate, a transducer, and a reflector, and generates different surface acoustic waves according to a temperature of the device under test.
제 4 항에 있어서,
상기 에너지 축전부는,
수신된 RF 신호를 DC 신호로 변환하는 충전 펌프;
상기 변환된 DC 신호의 전압을 높여주는 DC-DC 부스터; 및
상기 높아진 전압의 에너지를 축전하는 캐패시터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 곡면 체결형 SAW 온도센서.
5. The method of claim 4,
The energy storage unit includes:
A charge pump for converting the received RF signal into a DC signal;
A DC-DC booster for increasing the voltage of the converted DC signal; And
And a capacitor for storing the energy of the increased voltage.
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