KR20170049904A - Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector - Google Patents

Module for detecting electromagnetic wave and, apparatus for detecting transmission of electromagnetic wave including adjacent detector Download PDF

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KR20170049904A
KR20170049904A KR1020150150807A KR20150150807A KR20170049904A KR 20170049904 A KR20170049904 A KR 20170049904A KR 1020150150807 A KR1020150150807 A KR 1020150150807A KR 20150150807 A KR20150150807 A KR 20150150807A KR 20170049904 A KR20170049904 A KR 20170049904A
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장현주
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a module for detecting an electromagnetic wave comprises: a detection unit directly detecting an electromagnetic wave penetrating through an object to be inspected; and a housing unit having the detection unit provided to be adjacent to a lower end of the object to be inspected. According to the present invention, a transmission image can be obtained through a detection technique.

Description

전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치{MODULE FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC WAVE AND, APPARATUS FOR DETECTING TRANSMISSION OF ELECTROMAGNETIC WAVE INCLUDING ADJACENT DETECTOR}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an electromagnetic wave detecting module and a transmission detecting device using the electromagnetic wave. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an electromagnetic wave detecting module,

본 발명은 전자기파를 이용한 비파괴적인 방법으로, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus capable of obtaining a high-speed transmission image with a high detection ratio and a high signal-to-noise ratio (SNR) by a non-destructive method using electromagnetic waves.

본 발명은 비파괴적인 방법으로, 전자기파를 물체의 내부에 투과시켜, 투과 영상을 획득하는 기술에 관한 것이다. 본 발명과 관련된 종래의 방법으로는 조명없이 단일한 픽셀 카메라로 압축센싱하여, 영상을 얻거나 회전거울이나 진동거울을 이용하여 영상을 얻는 방법(수동형 영상법) 또는, 조명없이 카메라, 혹은 1-d line 검출기로 직접 영상을 얻는 방법 또는, 출력이 강한 자이로트론이나 레이저로 조명하고 카메라로 영상(능동형 영상법)을 얻는 방법이 있다.TECHNICAL FIELD [0002] The present invention relates to a technique of transmitting an electromagnetic wave to an inside of an object in a non-destructive manner to obtain a transmission image. In a conventional method related to the present invention, a method of obtaining an image by performing compression sensing with a single pixel camera without illumination, or obtaining an image using a rotating mirror or a vibration mirror (passive imaging method) There is a method of obtaining a direct image with a d line detector, or a method of obtaining an image (active imaging method) by illuminating with a gyrotron or laser having a strong output and using a camera.

전자기파는 물체를 통과할 때 흡수되거나 산란되기 때문에, 물체를 투과하면서 전자기파의 세기가 감소하는 성질을 가진다. 따라서, 전자기파를 잘 흡수하는 매질을 통과한 경우의 투과영상은 신호 대 잡음비(SNR)이 낮아지는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 고출력광원을 사용하는 것보다 저출력이라도 포인트 빔으로 전자기파를 초점 위치에 집속시켜 레스터 스캐닝(raster scanning)하면, 효율적으로 선명한 투과영상을 얻을 수 있다. 이를 통해, 신호 대 잡읍비(SNR)를 높일 수 있다.Since electromagnetic waves are absorbed or scattered when they pass through an object, they have the property that the intensity of the electromagnetic waves decreases while passing through an object. Therefore, there is a problem that the SNR of the transmitted image when passing through a medium that absorbs electromagnetic waves is low. In order to solve such a problem, it is possible to efficiently obtain a clear transmitted image by focusing the electromagnetic wave at the focal point with the point beam even if the output power is lower than that using the high output light source and raster scanning. This can increase the signal to noise ratio (SNR).

그런데, 전자기파를 초점위치에 집속하여 투과영상을 얻으려면, 전자파 빔을 고속으로 움직이는 도구가 필요하다. 또한, 전자기파 빔을 움직이며 영상을 얻는 경우, 영상의 분해능은 카메라의 화소 크기보다는 전자파 빔을 얼마나 최대로 작은 점으로 집속하느냐에 크게 영향을 받게 된다.However, in order to obtain the transmission image by focusing the electromagnetic wave at the focus position, a tool for moving the electromagnetic wave beam at high speed is required. Also, when an image is obtained by moving an electromagnetic wave beam, the resolution of the image is greatly affected by how much the electron beam is converged to the smallest point than the pixel size of the camera.

이에, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 기술에 대한 개발이 필요하다.Therefore, it is necessary to develop a technique capable of obtaining a high-speed transmission image with high signal-to-noise ratio (SNR) and high detection resolution.

본 기술과 관련된 내용을 포함하는 특허로는 한국등록특허 10-1365261가 있다.Korean Patent No. 10-1365261 discloses a patent including contents relating to the present technology.

높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있는 검출 기술을 제공하고자 한다.And to provide a detection technique capable of obtaining a transmission image having a high detection resolution with a high signal-to-noise ratio (SNR).

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention is not limited thereto. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the invention may be realized and attained by means of the instrumentalities and combinations particularly pointed out in the appended claims.

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 포함한다.An electromagnetic wave detecting module according to an embodiment of the present invention includes a housing portion including a detecting portion that directly detects an electromagnetic wave transmitted through an object to be inspected and the detecting portion that is provided adjacent to a lower end of the object to be inspected.

하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.The housing part further includes a fixing part capable of fixing the object to be inspected.

고정부는 상기 검출부의 상단에 상기 검사 대상 물체가 배치되도록, 상기 하우징부에 형성된다.The fixing part is formed in the housing part such that the inspection object is disposed on the upper end of the detection part.

검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.The detection unit is embedded in the lower end of the position where the object to be inspected is raised.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함된다.The detection unit is a single detection unit and further includes a drive unit for the detection unit which is coupled to the detection unit and moves the detection unit such that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.

검출부용 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킨다.The driving unit for the detection unit moves the detection unit in two dimensions in synchronization with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected to obtain the two-dimensional image.

본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 대상 물체를 이송하는 이송부 및 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.The electromagnetic wave detecting module according to another embodiment of the present invention includes a transfer unit for transferring an object to be inspected and a detector provided adjacent to a lower end of the transfer unit for directly detecting an electromagnetic wave transmitted through the object.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함한다.The detection unit is a single detection unit and further includes a driving unit for the detection unit which is coupled to the detection unit and moves the detection unit so that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.

검출부의 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.The driving unit of the detection unit can move the detection unit in two dimensions in synchronization with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected in order to acquire the two-dimensional image.

검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.The detecting unit may be a two-dimensional array type detecting unit for obtaining a two-dimensional image.

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부와, 상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.A transmission detecting apparatus using an electromagnetic wave according to an embodiment of the present invention includes a path changing unit that changes a path of an electromagnetic wave to be incident, a focusing lens that focuses electromagnetic waves incident from the path changing unit onto an object to be inspected, And a detection unit provided adjacent to a lower end of the inspection object and directly detecting an electromagnetic wave transmitted through the inspection object.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 더 포함한다.The transmission detecting apparatus using electromagnetic waves further includes a housing part including the detecting part provided adjacent to a lower end of the object to be inspected.

하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.The housing part further includes a fixing part capable of fixing the object to be inspected.

검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.The detection unit is embedded in the lower end of the position where the object to be inspected is raised.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 집속 렌즈 및 상기 검출부 사이에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 이송하는 이송부를 더 포함하고, 검출부는 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비된다.The transmission detection device using electromagnetic waves may further include a transfer unit provided between the focusing lens and the detection unit for transferring the object to be inspected, and the detection unit is provided adjacent to the lower end of the transfer unit.

검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부의 구동부를 더 포함한다.The detection unit is a single detection unit and further includes a driving unit of the detection unit coupled to the detection unit and configured to move the detection unit such that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.

경로 변경부는 원 형태로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 이동시킬 수 있다.The path changing unit changes the path of the electromagnetic wave in a circular shape and the driving unit of the detecting unit synchronizes the electromagnetic wave that has been changed by the path changing unit so that the electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is focused on the detecting unit, .

경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.The path changing unit changes the path of the electromagnetic wave in two dimensions, and the driving unit of the detecting unit synchronizes the electromagnetic wave that has passed through the object to be examined with the two-dimensional moving path of the electromagnetic wave changed by the path changing unit The detection unit can be moved in two dimensions.

경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 검출부는 2차원 배열형 검출부일 수 있다.The path changing unit changes the path of the electromagnetic wave in two dimensions, and the detecting unit may be a two-dimensional array type detecting unit.

경로 변경부는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다.The path changing portion may be any one of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism, or may be a diffraction grating, a hologram, A combination of a mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism.

전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함할 수 있다.The permeation detecting apparatus using electromagnetic waves may further include a collimating unit that forms incident electromagnetic waves in parallel and makes the path changing unit enter the path changing unit.

개시된 발명에 따르면, 높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있다.According to the disclosed invention, it is possible to obtain a transmission image having a high signal-to-noise ratio (SNR) and a high detection resolution.

또한, 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.Further, since the detection unit is provided adjacent to the lower end of the object to be inspected, a separate optical device is not required between the object to be inspected and the detection unit, and a signal-to-noise ratio (SNR) Can be prevented.

또한, 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.Further, by moving the detection unit in synchronism with the movement path of the electromagnetic wave by using the driving unit, it is possible not only to inspect a large-sized inspection object at a high speed, but also to realize a low cost detection unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.1 is a block diagram of a permeation detecting apparatus using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of an electromagnetic wave detecting module and an electromagnetic wave-based transmission detecting device according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram of an electromagnetic wave detecting module according to another embodiment of the present invention and a transmission detecting device using electromagnetic waves.
FIG. 4 is a block diagram of an electromagnetic wave detecting module and a transmission detecting device using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.1 is a block diagram of a permeation detecting apparatus using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(100)는 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130), 집속 렌즈(140) 및, 검출부(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a permeation detecting apparatus 100 using electromagnetic waves includes an electromagnetic wave generating unit 110, a collimating unit 120, a path changing unit 130, a focusing lens 140, and a detecting unit 150 do.

전자기파 생성부(110)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(110)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.The electromagnetic wave generating unit 110 may be various types of devices capable of generating electromagnetic waves. For example, the electromagnetic wave generating section 110 can generate millimeter waves or terah waves. The electromagnetic wave in the region of an extremely high frequency of millimeter and preferably has a frequency of 30 GHz to 300 GHz. Means an electromagnetic wave in the terahertz region, and preferably has a frequency of 0.1 THz to 10 THz. However, even if the range is somewhat deviated from the above range, it is needless to say that the present invention can be regarded as a terafar insofar as those skilled in the art can easily think of it.

콜리메이팅부(120)는 전자기파 생성부(110)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(130)로 입사된다. The collimating unit 120 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 110 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident on the path changing unit 130.

경로변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(130)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(140)로 입사된다. The path changing unit 130 can change the path of the electromagnetic wave to be incident. The electromagnetic wave whose path is changed by the path changing unit 130 is incident on the focusing lens 140.

예를 들면, 경로 변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 집속 렌즈(140)로 입사시킬 수 있다.For example, the path changing unit 130 may include a reflecting surface for changing the path of an electromagnetic wave to be incident. The reflecting surface can reflect the incident electromagnetic wave and enter the focusing lens 140. [

예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나로 구성 될 수 있다. For example, the path changing unit 130 may be formed of any one of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism.

예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다. 예를 들면, 경로 변경부(130)는 2개의 경로 변경부가 구비되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다.For example, the path changing unit 130 may be a combination of a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism. For example, the path changing unit 130 may be provided with two path changing units so that electromagnetic waves are focused on the object to be inspected in two dimensions.

경로변경부(130)는 위치를 변경시킬 수 있는 경로변경부용 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 경로변경부용 구동부(미도시)는 경로 변경부(130)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(130)가 회전될 수 있다. The path changing unit 130 may be mechanically coupled to a driving unit (not shown) for changing the position of the path changing unit. The driving unit for the path changing unit (not shown) can adjust the path of the electromagnetic wave by moving the path changing unit 130. For example, when the driving unit for the path changing unit (not shown) rotates, the path changing unit 130 can be rotated as the driving unit for the path changing unit (not shown) rotates.

또 다른 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다.As another example, the driving unit (not shown) for the path changing unit may be implemented by two actuators driven in different axes or by a single two-axis actuator so that electromagnetic waves can be focused on the object in two dimensions have. In addition, the driving unit for the path changing unit and the path changing unit can be implemented in various ways such that the electromagnetic wave is focused two-dimensionally or three-dimensionally on the object to be inspected.

집속 렌즈(140)는 경로 변경부(130)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시킬 수 있다. The focusing lens 140 can focus the electromagnetic wave incident from the path changing unit 130 onto the object to be inspected.

검출부(150)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(180)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 이와 같이, 검출부(180)를 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 배치하여 직접 전자기파를 검출함으로써, 검사 대상 물체와 검출부(180) 사이에 별도의 장치(예를 들면, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 반사시키는 반사판 등)가 필요 없다. 이와 같이, 별도의 장치가 필요 없으므로, 투과된 전자기파가 검출기로 입사되는 과정에서 발생하는 왜곡을 현저히 줄일 수 있다. 이에, 최종적으로 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖을 수 있다. The detection unit 150 can directly detect the electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected. The detection unit 180 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected. In this manner, by directly detecting the electromagnetic wave by disposing the detection unit 180 adjacent to the lower end of the object to be inspected, a separate device (for example, an electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected) Reflective reflector, etc.). Thus, since no separate apparatus is required, the distortion occurring in the process of the transmitted electromagnetic wave entering the detector can be remarkably reduced. Thus, ultimately, a transmission detection apparatus using electromagnetic waves can have a high detection resolution with a high signal-to-noise ratio (SNR).

예를 들면, 검출부(180)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.For example, the detection unit 180 can detect the intensity of the electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속의 투과 영상을 얻을 수 있다.The transmission detecting apparatus using an electromagnetic wave according to the present invention can obtain a high-speed transmission image having a high signal-to-noise ratio (SNR) and a high detection resolution.

도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.2 is a block diagram of a permeation detecting device using electromagnetic waves according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(200)는 전자기파 생성부(210), 콜리메이팅부(220), 경로변경부(230), 집속 렌즈(240), 검출부(260) 및, 하우징부(270)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(260) 및 하우징부(270)를 구비한 모듈을 의미한다.Referring to FIG. 2, an electromagnetic wave transmission detection apparatus 200 includes an electromagnetic wave generating unit 210, a collimating unit 220, a path changing unit 230, a focusing lens 240, a detecting unit 260, (270). Here, the electromagnetic wave detection module refers to a module including the detection unit 260 and the housing unit 270.

전자기파 생성부(210)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generating unit 210 may be various types of devices capable of generating electromagnetic waves.

콜리메이팅부(220)는 전자기파 생성부(210)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(230)로 입사된다. The collimating unit 220 can form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 210 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident on the path changing unit 230.

경로변경부(230)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(230)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(240)로 입사된다. The path changing unit 230 can change the path of the electromagnetic wave to be incident. The electromagnetic wave whose path is changed by the path changing unit 230 is incident on the focusing lens 240.

집속 렌즈(240)는 경로 변경부(230)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(250)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 240 can focus the electromagnetic wave incident from the path changing unit 230 onto the object to be inspected 250.

검출부(260)는 검사 대상 물체(250)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(250)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 검출부(260)는 하우징부(270)의 상단에 형성될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부(260)는 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 하우징부(270) 내에 매립되어 구비될 수 있다.The detection unit 260 can directly detect the electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected 250. [ The detection unit 250 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected. For example, the detection unit 260 may be formed at the upper end of the housing unit 270. As another example, the detection unit 260 may be embedded in the housing unit 270 at the lower end of the position where the object to be inspected is raised.

하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)의 하단에 인접하게 구비된 검출부(260)를 포함할 수 있다.The housing part 270 may include a detection part 260 provided adjacent to the lower end of the object to be inspected 250.

하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)를 고정시킬 수 있는 고정부(271)를 포함할 수 있다. 고정부(271)는 검출부(260)의 상단에 검사 대상 물체(250)가 고정배치되도록, 가이드 해주는 장치이다.The housing part 270 may include a fixing part 271 for fixing the object to be inspected 250. The fixing portion 271 is a device for guiding the inspection object 250 so that the inspection object 250 is fixedly disposed on the upper end of the detection portion 260.

예를 들면, 검출부(260)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(260)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(250)를 통과한 전자기파가 검출부(260)에 집속되도록, 검출부(260)를 이동시킬 수 있다.For example, the detection unit 260 may be a single detection unit, and a driving unit (not shown) for the detection unit may be combined with the detection unit 260. The driving unit for the detection unit (not shown) can move the detection unit 260 so that the electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected 250 is focused on the detection unit 260.

또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(260)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(230)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(240)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(260)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다. As another example, in order to obtain a two-dimensional image, a driving unit (not shown) for the detection unit can move the detection unit 260 in two dimensions in synchronization with a two-dimensional movement path of an electromagnetic wave transmitted through the object. Specifically, for example, the path changing unit 230 generates a two-dimensional electromagnetic wave movement path, and the focusing lens 240 focuses the electromagnetic wave on the object to be inspected in accordance with the movement path of the generated two-dimensional electromagnetic wave . The electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is generated along the movement path of the electromagnetic wave of the dimension. Thus, the driving unit for the detection unit can obtain the two-dimensional image by moving the detection unit 260 in synchronization with the movement path of the two-dimensional electromagnetic wave.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.Since the detection unit is provided adjacent to the lower end of the object to be inspected according to the present invention, there is no need for a separate optical device between the object to be inspected and the detection unit, and an electromagnetic wave passes through a separate optical device It is possible to prevent a reduction in the signal-to-noise ratio (SNR) that occurs.

도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.3 is a block diagram of an electromagnetic wave detecting module according to another embodiment of the present invention and a transmission detecting device using electromagnetic waves.

도 3을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(300)는 전자기파 생성부(310), 콜리메이팅부(320), 경로변경부(330), 집속 렌즈(340), 검출부(360) 및, 이송부(370)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(360) 및 이송부(370)를 구비한 모듈을 의미한다.3, a transmission detecting apparatus 300 using an electromagnetic wave includes an electromagnetic wave generating unit 310, a collimating unit 320, a path changing unit 330, a focusing lens 340, a detecting unit 360, (370). Here, the electromagnetic wave detection module refers to a module including the detection unit 360 and the transfer unit 370.

전자기파 생성부(310)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generating unit 310 may be various types of devices capable of generating electromagnetic waves.

콜리메이팅부(320)는 전자기파 생성부(310)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(330)로 입사된다. The collimating unit 320 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 310 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident on the path changing unit 330.

경로변경부(330)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(330)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(340)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(330)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.The path changing unit 330 can change the path of the electromagnetic wave to be incident. The electromagnetic wave whose path is changed by the path changing unit 330 is incident on the focusing lens 340. In the present embodiment, the case where the path changing unit 330 is implemented as a polygon mirror will be described.

집속 렌즈(340)는 경로 변경부(330)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(350)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 340 can focus the electromagnetic wave incident from the path changing unit 330 onto the object 350 to be inspected.

검출부(360)는 검사 대상 물체(350)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(360)는 이송부(370)의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 즉, 검출부(360)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다.The detection unit 360 can directly detect the electromagnetic wave that has passed through the object 350 to be inspected. The detection unit 360 may be provided adjacent to the lower end of the transfer unit 370. That is, the detection unit 360 may be provided adjacent to the lower end of the object to be inspected.

이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 특정 방향으로 이송할 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 집속 렌즈(340) 및 검출부(360) 사이에 구비될 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 컨베이어 벨트일 수 있으나, 이외에도 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The transfer unit 370 can transfer the inspection object 350 in a specific direction. For example, the transfer unit 370 may be provided between the focusing lens 340 and the detection unit 360. For example, the conveying unit 370 may be a conveyor belt capable of conveying the inspection object 350, but may also be various types of apparatuses capable of conveying the inspection object 350.

예를 들면, 검출부(360)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(360)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(350)를 통과한 전자기파가 검출부(360)에 집속되도록, 검출부(360)를 이동시킬 수 있다.For example, the detecting unit 360 may be a single detecting unit, and the driving unit (not shown) for the detecting unit may be combined with the detecting unit 360. [ The driving unit for the detection unit (not shown) can move the detection unit 360 so that the electromagnetic wave that has passed through the inspection object object 350 is focused on the detection unit 360.

또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(360)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(330)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(340)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(360)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다. As another example, in order to obtain a two-dimensional image, a driving unit (not shown) for the detecting unit can move the detecting unit 360 two-dimensionally in synchronism with the two-dimensional movement path of the electromagnetic wave transmitted through the object. Specifically, for example, the path changing unit 330 generates a two-dimensional electromagnetic wave traveling path, and the focusing lens 340 focuses the electromagnetic wave on the object to be inspected according to the generated two-dimensional electromagnetic wave traveling path . The electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is generated along the movement path of the electromagnetic wave of the dimension. Accordingly, the driving unit for the detection unit can obtain the two-dimensional image by moving the detection unit 360 in synchronization with the movement path of the two-dimensional electromagnetic wave.

또 다른 예를 들면, 검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.As another example, the detection unit may be a two-dimensional array type detection unit for obtaining a two-dimensional image.

본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.The permeation detecting apparatus using an electromagnetic wave according to the present invention can inspect a large-sized inspection target object at a high speed and can realize a low-cost detection unit by moving the detection unit in synchronism with the moving path of the electromagnetic wave using the driving unit. The cost can be reduced.

도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.FIG. 4 is a block diagram of an electromagnetic wave detecting module and a transmission detecting device using electromagnetic waves according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(400)는 전자기파 생성부(410), 콜리메이팅부(420), 경로변경부(430), 집속 렌즈(440), 검출부(460) 및, 검출부용 구동부(470)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(460) 및 검출부용 구동부(470)를 구비한 모듈을 의미한다.Referring to FIG. 4, a transmission detecting apparatus 400 using an electromagnetic wave includes an electromagnetic wave generating unit 410, a collimating unit 420, a path changing unit 430, a focusing lens 440, a detecting unit 460, And a bump driver 470. Here, the electromagnetic wave detection module means a module including a detection unit 460 and a drive unit 470 for the detection unit.

전자기파 생성부(410)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.The electromagnetic wave generating unit 410 may be various types of devices capable of generating electromagnetic waves.

콜리메이팅부(420)는 전자기파 생성부(410)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(430)로 입사된다. The collimating unit 420 may form electromagnetic waves incident from the electromagnetic wave generating unit 410 in parallel. The electromagnetic waves formed in parallel are incident on the path changing unit 430.

경로변경부(430)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(430)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(440)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(430)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.The path changing unit 430 can change the path of the electromagnetic wave to be incident. The electromagnetic wave whose path is changed by the path changing unit 430 is incident on the focusing lens 440. [ In the present embodiment, the case where the path changing unit 430 is implemented as a polygon mirror will be described.

경로변경부(430)는 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)을 이용하여, 2차원 스캐닝을 수행할 수 있다.The path changing unit 430 may include a reflection mirror 431 and a wedge prism 432. [ As described above, the two-dimensional scanning can be performed using the reflection mirror 431 and the wedge prism 432.

집속 렌즈(440)는 경로 변경부(430)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(450)로 집속시킬 수 있다.The focusing lens 440 can focus the electromagnetic wave incident from the path changing unit 430 onto the object 450 to be inspected.

검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)의 하단에 인접하게 배치될 수 있다. 본 실시예에서는, 검출부(260)가 단일 검출부인 경우를 기준으로 설명하겠습니다.The detection unit 460 can directly detect electromagnetic waves transmitted through the object 450 to be inspected. The detection unit 460 may be disposed adjacent to the lower end of the object 450 to be inspected. In the present embodiment, the description will be based on the case where the detection section 260 is a single detection section.

검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)의 상부에는 검사 대상 물체(450)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 검출부의 구동부(470)는 검출부(460)를 지름 방향(471)으로 이동시키거나, 검출부(460)를 회전 방향(472)으로 이동시킬 수 있다. 즉, 검출부의 구동부(470)는 회전 운동과 직선 운동을 모두 수행할 수 있는 장치이거나, 회전 운동을 하는 장치 및 직선 운동을 장치의 조합일 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(470)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다. The driving unit 470 for the detection unit can be combined with the detection unit 460. [ The object to be inspected 450 may be disposed on the upper portion of the driving unit 470 for the detection unit. For example, the driving unit 470 of the detecting unit can move the detecting unit 460 in the radial direction 471 or move the detecting unit 460 in the rotating direction 472. [ That is, the driving unit 470 of the detection unit may be a device that can perform both rotational motion and linear motion, a device that performs rotational motion, and a device that linear motion. As another example, the driving unit 470 for the detection unit may be implemented by two actuators driven in different axes or by a single two-axis actuator so that the electromagnetic waves are focused on the object in two dimensions. In addition, the driving unit for the path changing unit and the path changing unit can be implemented in various ways such that the electromagnetic wave is focused two-dimensionally or three-dimensionally on the object to be inspected.

예를 들면, 검출부(460)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)는 검사 대상 물체(450)를 통과한 전자기파가 검출부(460)에 집속되도록, 검출부(460)를 이동시킬 수 있다.For example, the detection unit 460 may be a single detection unit, and the driving unit 470 for the detection unit may be combined with the detection unit 460. [ The drive unit 470 for the detection unit can move the detection unit 460 so that the electromagnetic wave that has passed through the inspection object object 450 is focused on the detection unit 460. [

또 다른 예를 들면, 경로 변경부(430)는 원 형태로 전자기파의 경로를 변경할 수 있다. 이 경우, 검출부용 구동부(470)는 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파가 상기 검사 대상 물체로 집속되도록, 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 검출부(460)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 원 형태로 투과한 2차원의 전자기파를 검출할 수 있다.As another example, the path changing unit 430 may change the path of the electromagnetic wave in a circular form. In this case, the driving part for the detecting part 470 drives the detecting part 460 in synchronization with the rotation path of the electromagnetic wave changed by the path changing part 430 so that the electromagnetic wave changed by the path changing part 430 is focused on the object to be inspected Can be moved. Accordingly, the detection unit 460 can detect two-dimensional electromagnetic waves that have passed through the object 450 in a circular form.

설명된 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The embodiments described may be constructed by selectively combining all or a part of each embodiment so that various modifications can be made.

또한, 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.It should also be noted that the embodiments are for explanation purposes only, and not for the purpose of limitation. In addition, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

100 : 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 집속 렌즈
150 : 검출부100: Transmission detection device using electromagnetic wave
110: Electromagnetic wave generating unit
120: Collimating unit
130: Path changing section
140: focusing lens
150:

Claims (21)

검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부; 및
상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 포함하는, 전자기파 검출 모듈.
A detector for directly detecting an electromagnetic wave transmitted through an object to be inspected; And
And a housing portion including the detecting portion provided adjacent to a lower end of the object to be inspected.
제 1 항에 있어서,
상기 하우징부는,
상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈.
The method according to claim 1,
The housing part,
Further comprising: a fixing portion capable of fixing the object to be inspected.
제 2 항에 있어서,
상기 고정부는,
상기 검출부의 상단에 상기 검사 대상 물체가 배치되도록, 상기 하우징부에 형성된, 전자기파 검출 모듈.
3. The method of claim 2,
The fixing unit includes:
And the inspection object is disposed on an upper end of the detection unit.
제 1 항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비되는, 전자기파 검출 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein:
Wherein the object to be inspected is embedded at a lower end of a position where the object to be inspected is raised.
제 1 항에 있어서,
상기 검출부는,
단일 검출부이고,
상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein:
A single detector,
Further comprising a drive unit for the detection unit, coupled to the detection unit, for moving the detection unit such that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.
제 5 항에 있어서,
상기 검출부용 구동부는,
2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파 검출 모듈.
6. The method of claim 5,
Wherein the driving unit for the detection unit comprises:
An electromagnetic wave detection module for moving a detection part in two dimensions in synchronism with a two-dimensional movement path of an electromagnetic wave transmitted through the object to obtain a two-dimensional image.
검사 대상 물체를 이송하는 이송부; 및
상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함하는, 전자기파 검출 모듈.
A transfer unit for transferring the object to be inspected; And
And a detection unit provided adjacent to a lower end of the conveyance unit for directly detecting an electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected.
제 7 항에 있어서,
상기 검출부는,
단일 검출부이고,
상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈.
8. The method of claim 7,
Wherein:
A single detector,
Further comprising a drive unit for the detection unit, coupled to the detection unit, for moving the detection unit such that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.
제 8 항에 있어서,
상기 검출부용 구동부는,
2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the driving unit for the detection unit comprises:
Wherein the detection unit is moved two-dimensionally in synchronism with a two-dimensional movement path of an electromagnetic wave transmitted through the object to obtain a two-dimensional image.
제 7 항에 있어서,
상기 검출부는,
2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein:
A two - dimensional array type detection unit for acquiring a two - dimensional image.
입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부;
상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈; 및
상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
A path changing unit changing a path of an electromagnetic wave to be incident;
A focusing lens that focuses electromagnetic waves incident from the path changing unit onto an object to be inspected; And
And a detection unit provided adjacent to a lower end of the object to be inspected to directly detect an electromagnetic wave transmitted through the object to be inspected.
제 11 항에 있어서,
상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
12. The method of claim 11,
And a housing portion including the detecting portion provided adjacent to a lower end of the object to be inspected.
제 12 항에 있어서,
상기 하우징부는,
상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
13. The method of claim 12,
The housing part,
Further comprising: a fixing unit capable of fixing the object to be inspected.
제 13 항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
14. The method of claim 13,
Wherein:
Wherein the object to be inspected is embedded at a lower end of a position where the object to be inspected is raised.
제 11 항에 있어서,
상기 집속 렌즈 및 상기 검출부 사이에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 이송하는 이송부;를 더 포함하는,
상기 검출부는,
상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.12. The method of claim 11,
And a transferring unit provided between the focusing lens and the detecting unit for transferring the object to be inspected.
Wherein:
And is provided adjacent to the lower end of the conveyance unit. 제 11 항 또는 제 15 항에 있어서,
상기 검출부는,
단일 검출부이고,
상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
16. The method according to claim 11 or 15,
Wherein:
A single detector,
Further comprising a drive unit for the detection unit coupled to the detection unit and configured to move the detection unit so that electromagnetic waves passing through the object are focused on the detection unit.
제 16 항에 있어서,
상기 경로 변경부는,
원 형태로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,
상기 검출부용 구동부는,
상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
17. The method of claim 16,
Wherein the path-
Changing the path of the electromagnetic wave in a circular form,
Wherein the driving unit for the detection unit comprises:
Wherein the detection unit is moved in synchronization with the rotation path of the electromagnetic wave changed by the path changing unit so that electromagnetic waves passing through the object to be inspected are focused on the detection unit.
제 16 항에 있어서,
상기 경로 변경부는,
2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,
상기 검출부용 구동부는,
상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
17. The method of claim 16,
Wherein the path-
The path of the electromagnetic wave is changed in two dimensions,
Wherein the driving unit for the detection unit comprises:
Dimensional movement path of the electromagnetic wave changed by the path changing unit so that the electromagnetic wave that has passed through the object to be inspected is focused on the detection unit.
제 11 항에 있어서,
상기 경로 변경부는,
2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,
상기 검출부는,
2차원 배열형 검출부인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the path-
The path of the electromagnetic wave is changed in two dimensions,
Wherein:
A two-dimensional array type detection unit, a transmission detection device using electromagnetic waves.
제 11 항에 있어서,
상기 경로 변경부는,
회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the path-
A diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monogon mirror, a polygon mirror and a wedge prism, a diffraction grating, a hologram, a galvanometer mirror, a monochromatic mirror, A combination of a monogon mirror, a polygon mirror, and a wedge prism.
제 11 항에 있어서,
입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.12. The method of claim 11,
Further comprising: a collimating unit configured to form an incident electromagnetic wave in parallel and enter the path changing unit.
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