KR20170036965A - 컴퓨팅 장치 및 그것에 의한 모니터링 방법 - Google Patents

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KR20170036965A
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유진효
김동현
박장선
이병무
조현호
최호준
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삼성전자주식회사
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Abstract

컴퓨팅 장치에 의한 클린룸의 모니터링 방법은 제1 클린룸의 공기의 질을 모니터링하기 위한 제1 센싱 장치들 중 적어도 하나로부터 오염 정보를 수신하는 단계, 상기 오염 정보를 기반으로 상기 제1 클린룸의 상부에 위치하는 제2 클린룸의 오염 예상 위치를 선택하는 단계 및 제2 클린룸의 공기의 질을 모니터링하는 제2 센싱 장치가 상기 오염 예상 위치를 모니터링 하기 위한 상기 제2 센싱 장치의 모니터링 위치를 제어하는 단계를 포함하되, 상기 컴퓨팅 장치는 상기 오염 정보에 기초하여 상기 제1 클린룸의 오염된 공기의 위치 및 오염 정도를 수집한다.

Description

컴퓨팅 장치 및 그것에 의한 모니터링 방법{COMPUTING DEVICE AND METHOD FOR MONITORING THEREWITH}
본 발명은 클린룸을 모니터링하기 위한 컴퓨팅 장치 및 그것의 모니터링 방법에 관한 것이다.
클린룸(clean room)은 고성능 필터를 이용한 공기의 순환을 통해 오염원의 수를 일정한 수준 이하로 억제하는 방이다. 반도체 제조 공정에 있어서 클린룸의 오염원 제어는 날로 초소형화되는 반도체 디바이스를 구현하는데 중요한 역할을 하고 있다. 이에 따라 마이크론(micron) 이하 수준의 반도체 디바이스 제조에 있어서 이전에 강조되던 파티클, 금속 오염원과 더불어 공기 중에 분포하는 분자성 오염물질(airborne molecular contamination)이 주요 오염 인자로 인식되고 있다. 웨이퍼 표면에 흡착된 분자성 오염물질은 거칠기(roughness) 증가, 헤이즈(haze) 형성 및 소수성(hydrophobicity) 증가에 따른 공정 진행 중에 이상을 발생시키는 원인이 된다.
이러한 이유로 반도체 제조 업체에서는 각 공정 라인 별로 클린룸 내부의 유기 오염원에 대해 실시간으로 모니터링하고 있으며, 이를 위한 모니터링 시스템은 다양한 방식들을 이용하여 공기 중에 분포하는 분자성 오염물질을 모니터링한다.
본 발명의 목적은 제1 클린룸의 오염 발생 위치와 제2 클린룸의 오염 발생 예상 위치를 매칭하는 컴퓨팅 장치 및 그것의 모니터링 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 컴퓨팅 장치에 의한 클린룸의 모니터링 방법은 제1 클린룸의 공기의 질을 모니터링하기 위한 제1 센싱 장치들 중 적어도 하나로부터 오염 정보를 수신하는 단계, 오염 정보를 기반으로 제1 클린룸의 상부에 위치하는 제2 클린룸의 오염 예상 위치를 선택하는 단계 및 제2 클린룸의 공기의 질을 모니터링하기 위한 제2 센싱 장치가 오염 예상 위치를 모니터링 하도록 제2 센싱 장치의 모니터링 위치를 제어하는 단계를 포함하되, 컴퓨팅 장치는 오염 정보에 기초하여 제1 클린룸의 오염된 공기의 위치 및 오염 정도를 수집한다.
실시 예로서, 모니터링 방법은 오염 예상 위치의 오염 정보를 제2 센싱 장치로부터 수신하는 단계, 오염 예상 위치의 오염 레벨과 기준 레벨을 비교하는 단계 및 오염 레벨이 기준 레벨을 초과하면, 경고 정보를 생성하는 단계를 더 포함한다.
실시 예로서, 모니터링 방법은 하나 이상의 로컬 컴퓨터들을 통해 제1 클린룸 및 제2 클린룸 중 적어도 하나의 모니터링 정보를 출력하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 컴퓨팅 장치는 제1 클린룸에 포함된 제1 센싱 장치들 중 적어도 하나로부터 오염 정보를 수신하고, 오염 정보를 기반으로 제1 클린룸의 상부에 위치하는 제2 클린룸의 오염 예상 위치를 선택하고, 제2 클린룸에 포함된 제2 센싱 장치가 오염 예상 위치를 모니터링 하도록 제2 센싱 장치의 모니터링 위치를 제어하기 위한 매칭부 및 제2 클린룸의 오염 예상 위치의 오염 레벨이 기준 레벨을 초과하면, 경고 정보를 생성하기 위한 알람부를 포함하되, 매칭부는 오염 정보에 기초하여 제1 클린룸의 오염된 공기의 위치 및 오염 정도를 수집한다.
본 발명의 실시 예들에 따르면, 컴퓨팅 장치는 제1 클린룸의 오염 발생 위치와 제2 클린룸의 오염 발생 예상 위치를 매칭하여, 제2 클린룸의 빠른 모니터링을 수행할 수 있는 컴퓨팅 장치 및 그것의 모니터링 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템을 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 제2 클린룸에서 내려다본 제1 클린룸의 단면도(A-A')를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 1의 제1 클린룸에서 올려다본 제2 클린룸의 단면도(B-B')를 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템의 모니터링 방법을 보여주는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 보여주는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 경고 정보 생성 방법을 보여주는 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 ‘포함한다(comprises) 및/또는 ‘포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템을 보여주는 개념도이다. 도 1을 참조하면, 클린룸 모니터링 시스템(100)은 제1 클린룸(110), 제2 클린룸(120), 풍도(130) 제1 모니터링 장치(140), 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n, n은 2 이상의 정수)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 제1 클린룸(110) 및 제2 클린룸(120)은 복층 구조를 갖는다. 제1 클린룸(110)은 낮은 층에 위치하고, 제2 클린룸(120)은 제1 클린룸(120)의 상부에 위치할 수 있다. 제1 클린룸(110)은 반도체 생산 설비들의 부대 설비들을 구비하는 공간이다. 그리고, 제2 클린룸(120)은 반도체를 공정 및 생산하기 위한 생산 설비들을 구비하는 공간이다.
제1 클린룸(110)에는 제1 클린룸(110)의 공기 오염을 모니터링하기 위한 제1 센싱 장치들(미 도시)이 구비된다. 제1 센싱 장치들(미 도시) 각각은 여러 위치에 구비되고, 여러 위치를 동시에 모니터링 할 수 있다. 제1 클린룸(110)의 내부 구조는 도 2의 제1 클린룸(110)의 단면도(A-A')를 통해 좀 더 자세히 설명된다. 제1 클린룸(110)의 공기는 풍도(130)를 통해 제2 클린룸(120)으로 순환된다.
그리고 제2 클린룸(120)에는 공기 오염을 모니터링하기 위한 제2 센싱 장치(미 도시)가 구비된다. 제2 센싱 장치(미 도시)는 제2 클린룸(120)의 여러 위치를 이동하면서 모니터링한다. 제2 클린룸(120)의 내부 구조는 도 3의 제2 클린룸(120)의 단면도(B-B')를 통해 좀 더 자세히 설명된다.
풍도(130)는 제1 클린룸(110) 및 제2 클린룸(120)의 공기를 순환시키기 위한 공간이다. 구체적으로, 공기는 풍도(130)에 구비된 필터에 의해 순환될 수 있다. 제2 클린룸(120)의 공기는 풍도(130)를 통해 제1 클린룸(110)으로 유입된다.
제1 모니터링 장치(140)는 제1 클린룸(110)에 설치된 제1 센싱 장치들(미 도시)의 모니터링 결과를 수신한다. 제1 클린룸(110)으로부터 공기 오염이 감지되면, 제1 모니터링 장치(140)는 오염 정보를 수신한다. 제1 모니터링 장치(140)는 오염 정보를 컴퓨팅 장치(150)로 전송한다. 제1 모니터링 장치(140)는 하드웨어로 구현될 수 있다. 이에 한정되지 않고, 제1 모니터링 장치(140)는 서버(server) 형태로 구현될 수 있다.
컴퓨팅 장치(150)는 매칭부(151) 및 알람부(152)를 포함한다. 컴퓨팅 장치(150)는 제1 모니터링 장치(140) 및 제2 모니터링 장치(160)와 통신할 수 있다. 구체적으로, 컴퓨팅 장치(150)는 제1 모니터링 장치(140)로부터 오염 정보를 수신한다. 오염 정보에 기초해서, 컴퓨팅 장치(145)는 제1 클린룸(110)의 오염된 공기의 발생 위치 및 오염 정도를 수집할 수 있다. 컴퓨팅 장치(150)는 오염 정보와 제2 클린룸(120)의 위치 정보를 매칭(matching)한다. 컴퓨팅 장치(150)는 매칭을 통해 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치 파악한다., 컴퓨팅 장치(150)는 오염 예상 위치 정보를 제2 모니터링 장치(160)로 전송한다.
제1 클린룸(110) 및 제2 클린룸(120) 중 적어도 하나에 정해진 기준 이상 공기 오염이 발생하면, 컴퓨팅 장치(150)의 알람부(152)는 경고 정보를 생성한다. 경고 정보는 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n)를 통해 사용자에게 전달될 수 있다. 이에 한정되지 않고, 알람부(152)는 무선 통신을 이용하여 사용자의 스마트폰(smart phone)으로 경고 정보를 전송할 수 있다. 그리고, 경고 정보는 복수의 로컬 컴퓨터(170-1~170_n) 중 적어도 하나에 저장될 수 있다.
매칭부(151) 및 알람부(152)는 컴퓨팅 장치(150)에 의해 구동되는 소프트웨어 또는 하드웨어로 구현될 수 있다. 그리고, 컴퓨팅 장치(150)는 서버(server) 형태로 제공될 수 있다.
제2 모니터링 장치(160)는 제2 클린룸(120)에 설치된 제2 센싱 장치(미 도시)의 모니터링 결과를 수신한다. 제2 클린룸(120)으로부터 오염이 감지되면, 제2 모니터링 장치(160)는 오염 정보를 수신한다. 그리고, 제2 모니터링 장치(160)는 오염 정보를 컴퓨팅 장치(150)로 전송한다. 그리고 제2 모니터링 장치(160)는 컴퓨팅 장치(150)로부터 오염 예상 위치 정보를 수신할 수 있다. 제 2 모니터링 장치(160)는 오염 예상 위치 정보를 수신하면, 제2 클린룸(120)의 특정 위치를 모니터링 하도록 제2 센싱 장치(미 도시)의 위치를 제어할 수 있다. 제1 모니터링 장치(140)는 오염 정보를 컴퓨팅 장치(150)로 전송한다. 제1 모니터링 장치(140)는 하드웨어로 구현될 수 있다. 이에 한정되지 않고, 제1 모니터링 장치(140)는 서버(server) 형태로 구현될 수 있다.
복수의 로컬 컴퓨터 (170_1~170_n)는 모니터링 정보를 생성한다. 모니터링 정보는 제1 클린룸(110)의 공기의 질에 대한 정보 및 제2 클린룸의 공기의 질에 대한 정보 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 구체적으로, 사용자는 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n) 중 적어도 하나에 접속하면, 제1 클린룸(110)의 모니터링 정보 및 제2 클린룸(120)의 모니터링 정보 중 적어도 하나를 확인할 수 있다.
클린룸 모니터링 시스템(100)은, 제1 클린룸(110)에 오염이 발생하면, 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치를 빠르게 예측될 수 있다. 따라서, 신속한 오염 감지 및 대응이 가능하다.
도 2는 도 1의 제2 클린룸에서 내려다본 제1 클린룸의 단면도(A-A')를 보여주는 사시도이다. 도 2를 참조하면, 제1 클린룸(110)의 좌측면에는 제1 센싱 장치들(111_1~111_p, p는 2 이상의 정수)이 구비될 수 있다. 제1 센싱 장치들(111_1~111_p)은 풍도(130)의 입구 쪽에 배치되다. 제1 센싱 장치들(111_1~111_p)은 제1 클린룸(110)의 여러 위치들을 동시에 모니터링할 수 있다. 따라서, 제1 센싱 장치들(111_1~111_p)은 오염된 공기를 빠르게 감지할 수 있다. 그리고, 제1 센싱 장치들(111_1~111_p)은 오염된 공기의 이동을 빠르게 감지할 수 있다. 제1 센싱 장치들(111_1~111_p) 중 적어도 하나에서 공기의 오염가 감지되면, 오염 정보가 생성될 수 있다. 생성된 오염 정보는 제1 모니터링 장치(140)로 출력된다. 제1 모니터링 장치(140)는 도 1을 통해 설명되었으므로, 자세한 설명은 생략한다.
도 3은 도 1의 제1 클린룸에서 올려다본 제2 클린룸의 단면도(B-B')를 보여주는 사시도이다. 도 3을 참조하면, 제2 클린룸(120)은 제2 센싱 장치(121)를 포함한다. 제2 센싱 장치(121)는 제2 클린룸(120) 상부에서 특정 조건에 의해 이동하면서 내부 공기를 모니터링 한다. 제2 센싱 장치(121)는 복수의 위치(P1~Pq, q는 2 이상의 정수)를 특정 조건에 의해 이동한다. 예를 들어, 제2 센싱 장치(121)는 특정 시간을 주기로 이동할 수 있다.
제2 센싱 장치(121)는 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n) 중 적어도 하나의 명령에 의해 이동할 수 있다. 복수의 위치(P1~Pq) 중 하나의 위치의 모니터링이 완료되면, 제2 센싱 장치(121)는 다음 위치로 이동할 수 있다. 제2 센싱 장치(121)는 제2 클린룸(120)의 생략된 부분까지 순차적으로 모니터링한 후, 모니터링 시작 위치(P1)로 되돌아온다. 제2 센싱 장치(121)는 모니터링 결과를 제2 모니터링 장치(160)로 출력한다. 제2 모니터링 장치(160)는 도 1을 통해 설명되었으므로, 자세한 설명은 생략한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템의 모니터링 방법을 보여주는 개념도이다. 도 4를 참조하면, 제1 센싱 장치들(111_1~111_p) 각각은 제1 클린룸(110)의 여러 위치에 구비된다. 제1 센싱 장치들(111_1~111_p) 각각은 여러 위치를 동시에 모니터링한다. 예를 들어, 제1 센싱 장치들(111_1~111_p) 중 적어도 하나로부터 오염된 공기가 감지되면, 오염 정보는 제1 모니터링 장치(140)로 전송된다(①). 제1 모니터링 장치(140)는 오염 정보를 컴퓨팅 장치(150)로 전송한다(②).
컴퓨팅 장치(140)는 오염 정보에 기초하여 오염된 공기의 발생 위치 및 오염 정도에 대한 정보를 수집할 수 있다. 컴퓨팅 장치(140)의 매칭부(151)는 오염 정보를 이용하여 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치를 선택한다. 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치는 제1 클린룸(110)의 오염된 공기의 발생 위치와 동일한 평면상의 좌표를 가질 수 있다. 그리고 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치는 제1 클린룸(110)의 오염된 공기의 발생 위치와 수직상 좌표의 차이를 가질 수 있다. 이에 한정되지 않고, 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치는 공기의 흐름에 따라 달라질 수 있다. 매칭부(151)는 선택 결과로 오염 예상 위치 정보를 생성한다. 컴퓨팅 장치(150)는 오염 예상 위치 정보를 제2 모니터링 장치(160)로 전송한다(③).
제2 모니터링 장치(160)는 컴퓨팅 장치(150)로부터 수신한 오염 예상 위치를 모니터링하도록 제2 센싱 장치(121)의 위치를 제어한다(④). 제2 센싱 장치(121)는 오염 예상 위치로 이동하여 공기의 오염 여부를 모니터링한다. 도 3을 참조하면, 평소에는 제2 센싱 장치(121)는 복수의 위치(P1~Pq)를 특정 조건에 의해 모니터링한다. 하지만, 제2 모니터링 장치(160)로부터 오염 예상 위치에 대한 정보가 수신되면, 제2 센싱 장치(121)는 오염 예상 위치로 이동하여 공기의 오염 여부를 모니터링 할 수 있다.
만약, 공기의 오염이 감지되면, 제2 센싱 장치(121)는 제2 모니터링 장치(160)로 제2 클린룸(120)의 오염 정보를 전송한다(⑤). 제2 모니터링 장치(160)는 오염 정보를 수신하여 컴퓨팅 장치(150)로 전송한다(⑥). 컴퓨팅 장치(150)는 제2 클린룸(120)의 오염 정보를 수신하여 오염 레벨을 분석한다. 제2 클린룸(120)의 오염 레벨이 기준 레벨을 초과하면, 컴퓨팅 장치(150)는 알람부(152)를 통해 경고 정보를 출력한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 클린룸 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 보여주는 순서도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 센싱 장치들(111_1~111_n) 중 적어도 하나로부터 제1 클린룸(110)의 오염된 공기가 감지된다(S110). 오염된 공기에 대한 오염 정보는 제1 모니터링 장치(140)로 전송된다. 컴퓨팅 장치(150)는 제1 모니터링 장치(140)로부터 제1 클린룸(110)의 오염 정보를 수신한다(S120). 컴퓨팅 장치(150)의 매칭부(151)는 제1 클린룸(110)의 오염 발생 위치와 제2 클린룸(120)의 오염 예상 위치를 매칭한다(S130). 컴퓨팅 장치(150)는 제2 모니터링 장치(160)로 오염 예상 위치 정보를 출력한다(S140).
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 경고 정보 생성 방법을 보여주는 순서도이다. 도 4 및 도 6을 참조하면, 제2 센싱 장치(121)는 오염 예상 위치를 모니터링 한다(S210). 제2 센싱 장치(121)가 오염 예상 위치에서 오염된 공기를 감지하면, 제2 모니터링 장치(160)는 제2 클린룸(120)의 오염 정보를 컴퓨팅 장치(140)로 전송한다. 컴퓨팅 장치(140)는 제2 클린룸(120)의 오염 레벨과 기준 오염 레벨을 비교한다(S220). 제2 클린룸(120)의 오염 레벨이 기준 오염 레벨보다 크면, 컴퓨팅 장치(140)의 알람부(152)는 경고 정보를 생성한다(S230).
제1 모니터링 장치(140), 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n)는 하나의 컴퓨팅 시스템에 포함될 수 있다. 제1 모니터링 장치(140), 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n) 중 일부분은 하나의 컴퓨팅 시스템에 포함될 수 있다. 제1 모니터링 장치(140), 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n)는 제1 클린룸(110) 및 제2 클린룸(120) 중 적어도 하나에 포함될 수 있다. 제1 모니터링 장치(140), 컴퓨팅 장치(150), 제2 모니터링 장치(160) 및 복수의 로컬 컴퓨터(170_1~170_n) 중 일부분은 제1 클린룸(110) 및 제2 클린룸(120) 중 적어도 하나에 포함될 수 있다. 각각의 개념도에 나타낸 구성은 단지 개념적인 관점에서 이해되어야 한다. 본 발명의 이해를 돕기 위해, 개념도에 나타낸 구성 요소 각각의 형태, 구조, 크기 등은 과장 또는 축소되어 표현되었다. 실제로 구현되는 구성은 각각의 개념도에 나타낸 것과 다른 물리적 형상을 가질 수 있다. 각각의 개념도는 구성 요소의 물리적 형상을 제한하기 위한 것이 아니다.
각각의 블록도에 나타낸 장치 구성은 발명의 이해를 돕기 위한 것이다. 각각의 블록은 기능에 따라 더 작은 단위의 블록들로 형성될 수 있다. 또는, 복수의 블록들은 기능에 따라 더 큰 단위의 블록을 형성할 수 있다. 즉, 본 발명의 기술 사상은 블록도에 도시된 구성에 의해 한정되지 않는다.
이상에서 본 발명에 대한 실시 예를 중심으로 본 발명이 설명되었다. 다만, 본 발명이 속하는 기술 분야의 특성상, 본 발명이 이루고자 하는 목적은 본 발명의 요지를 포함하면서도 위 실시 예들과 다른 형태로 달성될 수 있다. 따라서, 위 실시 예들은 한정적인 것이 아니라 설명적인 측면에서 이해되어야 한다. 즉, 본 발명의 요지를 포함하면서 본 발명과 같은 목적을 달성할 수 있는 기술 사상은 본 발명의 기술 사상에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 또는 변형된 기술 사상은 본 발명이 청구하는 보호 범위에 포함되는 것이다. 또한, 본 발명의 보호 범위는 위 실시 예들로 한정되는 것이 아니다.
100: 모니터링 시스템 160: 제2 모니터링 장치
110: 제1 클린룸 170_1~170_n: 로컬 컴퓨터들
120: 제2 클린룸 111_1~111_p: 제1 센싱 장치들
130: 풍도 121: 제2 센싱 장치
140: 제1 모니터링 장치
150: 컴퓨팅 장치

Claims (9)

  1. 컴퓨팅 장치에 의한 클린룸의 모니터링 방법에 있어서:
    제1 클린룸의 공기의 질을 모니터링하기 위한 제1 센싱 장치들 중 적어도 하나로부터 오염 정보를 수신하는 단계;
    상기 오염 정보를 기반으로 상기 제1 클린룸의 상부에 위치하는 제2 클린룸의 오염 예상 위치를 선택하는 단계; 및
    상기 제2 클린룸의 공기의 질을 모니터링하기 위한 제2 센싱 장치가 상기 오염 예상 위치를 모니터링 하도록 상기 제2 센싱 장치의 모니터링 위치를 제어하는 단계를 포함하되,
    상기 컴퓨팅 장치는 상기 오염 정보에 기초하여 상기 제1 클린룸의 오염된 공기의 위치 및 오염 정도를 수집하는 모니터링 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 오염 예상 위치의 오염 정보를 상기 제2 센싱 장치로부터 수신하는 단계;
    상기 오염 예상 위치의 오염 레벨과 기준 레벨을 비교하는 단계; 및
    상기 오염 레벨이 상기 기준 레벨을 초과하면, 경고 정보를 생성하는 단계를 더 포함하는 모니터링 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 클린룸의 상기 오염 예상 위치는 상기 제1 클린룸의 상기 오염된 공기의 위치의 수직 상방 영역인 모니터링 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    하나 이상의 로컬 컴퓨터들을 통해 상기 제1 클린룸 및 상기 제2 클린룸 중 적어도 하나의 모니터링 정보를 출력하는 단계를 더 포함하는 모니터링 방법.
  5. 제1 클린룸에 포함된 제1 센싱 장치들 중 적어도 하나로부터 오염 정보를 수신하고, 상기 오염 정보를 기반으로 상기 제1 클린룸의 상부에 위치하는 제2 클린룸의 오염 예상 위치를 선택하고, 상기 제2 클린룸에 포함된 제2 센싱 장치가 상기 오염 예상 위치를 모니터링 하도록 상기 제2 센싱 장치의 모니터링 위치를 제어하기 위한 매칭부; 및
    상기 제2 클린룸의 상기 오염 예상 위치의 오염 레벨이 기준 레벨을 초과하면, 경고 정보를 생성하기 위한 알람부를 포함하되,
    상기 매칭부는 상기 오염 정보에 기초하여 상기 제1 클린룸의 오염된 공기의 위치 및 오염 정도를 수집하는 컴퓨팅 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 클린룸은 반도체 공정 설비를 포함하는 컴퓨팅 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 클린룸은 반도체 공정 설비의 부대 시설들을 포함하는 컴퓨팅 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 센싱 장치들 각각은 여러 위치를 동시에 모니터링 하는 컴퓨팅 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2 센싱 장치는 복수의 위치를 포함하는 경로를 따라 이동하고, 상기 복수의 위치 각각에서 상기 제2 클린룸을 기준 시간 동안 모니터링하는 컴퓨팅 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102341715B1 (ko) * 2021-02-23 2021-12-21 주식회사 딥팜 가축 모니터링 장치 및 방법
KR20220164976A (ko) * 2021-06-07 2022-12-14 충북대학교 산학협력단 머신러닝 기반 클린룸 관리 시스템 및 방법

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