KR20170003060A - Evaporatin source of the vapor deposition apparatus for metal - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an evaporation source of a deposition apparatus for metal, realizing a shape and a volume of a heating body using an object to be heated as a heater and using a principle of induction current enabling the object to be heated to surround a crucible to prevent metal from being leaked. The evaporation source of a deposition apparatus for metal comprises: the crucible storing a metal material; the metallic object to be heated formed outside the crucible to surround the crucible to heat the crucible; and an induction heating device formed to surround the object to be heated to heat the object to be heated using a high-frequency induction heating method.

Description

금속용 증착 장치의 증발원{Evaporatin source of the vapor deposition apparatus for metal}[0001] The present invention relates to an evaporation source of a vapor deposition apparatus for a metal,

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 특히 금속용 증착 장치의 증발원에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition apparatus, and more particularly to an evaporation source of a deposition apparatus for metal.

일반적으로, 유기 EL 표시 장치는 액정 표시장치나 플라즈마 표시장치 등을 대신하는 차세대 박막 표시장치이다. 이와 같은 유기 EL 표시 장치는, 휴대 전화 등의 휴대 기기나 카오디오 등에 사용되고 있다.Generally, an organic EL display device is a next-generation thin film display device that replaces a liquid crystal display device, a plasma display device, or the like. Such an organic EL display device is used in portable devices such as cellular phones, car audio systems, and the like.

유기 EL 표시 장치에 사용되는 유기 EL 소자는, 유기층을 음극과 양극 사이에 끼운 샌드위치 형상 구조가 유리판이나 플라스틱판 등의 기판 위에 형성된 것이다. 상기 음극과 양극에 전압을 인가함으로써 각각으로부터 전자와 정공이 유기층에 주입되고, 그것들이 재결합하여 발생하는 여기자(엑시톤)에 의해 발광한다.The organic EL device used in the organic EL display device is a sandwich type structure in which an organic layer is sandwiched between a cathode and an anode and is formed on a substrate such as a glass plate or a plastic plate. By applying a voltage to the cathode and the anode, electrons and holes are injected into the organic layer from each of them, and they emit light by excitons generated by recombination.

상기 유기층은, 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함하는 다층막 구조로 되어 있으며, 상기 유기층에 사용되는 유기 재료에는 고분자와 저분자가 있다. 이 중 저분자 재료는, 증착 장치를 사용하여 성막하게 된다.The organic layer has a multilayer structure including an electron injecting layer, an electron transporting layer, a light emitting layer, a hole transporting layer, and a hole injecting layer. The organic material used for the organic layer includes a polymer and a small molecule. Among them, the low-molecular material is deposited by using a vapor deposition apparatus.

상기 음극 전극 및 양극 전극 중 하나는 금속 재료가 사용되고, 나머지 하나는 투명 도전 재료가 사용된다. 음극은 전자를 유기층에 주입하기 때문에 일함수가 작은 것이 유리하고, 양극은 정공 주입층이나 정공 수송층 등의 유기층에 정공을 주입하기 때문에 일함수가 큰 것이 필요하다.One of the cathode electrode and the anode electrode is made of a metal material, and the other is a transparent conductive material. It is advantageous that the cathode has a small work function because electrons are injected into the organic layer, and the anode requires a large work function to inject holes into the organic layer such as the hole injection layer and the hole transport layer.

이와 같이, 금속을 기판상에 증착하기 위해서는 증발 증착 장치를 이용하게 된다. 이와 같은 증발 증착 장치는 도가니에 수납한 금속 재료를 가열하여 승화 또는 용융증발시켜 기판에 금속 재료를 증착하는 증발원을 갖는다.As described above, in order to deposit a metal on a substrate, an evaporation deposition apparatus is used. Such an evaporation deposition apparatus has an evaporation source for evaporating a metal material stored in a crucible by sublimation or melting and evaporating a metal material on a substrate.

종래의 증착 장치의 증발원을 설명하면 다음과 같다.The evaporation source of the conventional evaporation apparatus will be described as follows.

도 1은 종래의 증착 장치의 증발원의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of an evaporation source of a conventional evaporation apparatus.

종래의 증착 장치의 증발원은, 도 1에 도시한 바와 같이, 금속 재료가 수납되는 도가니(1)와, 상기 도가니(1)를 감싸도록 상기 도가니(1) 외부에 형성되어 상기 도가니(1)가 파손되어 상기 도가니 내부에 수납된 금속이 누출됨을 방지하기 위한 세라믹(2)과, 상기 도가니(1) 및 상기 세라믹(2)의 외부에 형성되어 상기 도가니(1)내에 수납된 금속을 가열하고 냉각시키는 냉각장치(water jacket)를 포함한 히팅장치(3)를 포함하여 구성된다.1, the evaporation source of a conventional evaporation apparatus includes a crucible 1 in which a metallic material is accommodated and a crucible 1 which is formed outside the crucible 1 so as to surround the crucible 1, (2) for preventing the metal contained in the crucible from being leaked to the outside of the crucible (1), and a metal (2) formed outside the crucible (1) and the ceramic (2) And a heating device (3) including a water jacket.

상기에서 금속을 증착하기 위해서는 도가니(1)를 가열하고 또한 냉각시켜야 한다. 이와 같이, 도가니(1)가 가열 및 냉각이 반복되다 보면, 상기 도가니(1)가 파괴될 수 있고, 상기 도가니(1)가 파괴되면 상기 도가니(1) 내에 수납된 금속이 누출될 수 있기 때문에 이를 방지하기 위하여 상기 세라믹(2)을 형성하게 된다.In order to deposit the metal, the crucible 1 must be heated and cooled. When the crucible 1 is repeatedly heated and cooled, the crucible 1 may be broken, and when the crucible 1 is broken, the metal contained in the crucible 1 may leak In order to prevent this, the ceramic (2) is formed.

상기 종래의 히팅장치(3)는 비교적 저항이 큰 가열원에 전류를 공급하여 열을 발생시키는 저항 가열 방식이 적용된다. In the conventional heating device 3, a resistance heating method of generating heat by supplying a current to a heating source having a relatively high resistance is applied.

그러나, 이와 같은 종래의 증발원에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, such a conventional evaporation source has the following problems.

첫째, 종래 증발원의 히팅 장치는 비교적 저항이 큰 가열원에 전류를 공급하여 열을 발생시키는 저항 가열 방식이므로, 저항을 크게 하기 위하여 가늘고 얇은 히터를 사용한다. 따라서, 고온으로 장 시간 사용하다보면 상기 히터가 단선되는 경우가 발생한다.First, since the heating apparatus of the conventional evaporation source is a resistance heating method of generating heat by supplying a current to a heating source having a relatively high resistance, a thin and thin heater is used to increase the resistance. Therefore, if the heater is used for a long time at a high temperature, the heater may be broken.

둘째, 상기 금속의 누출을 방지하기 위해, 도가니와 히팅 장치 사이에 세라믹을 형성하므로, 상기 세라믹이 상기 히팅 장치에서 발생된 열이 상기 도가니에 전달됨을 방해하게 되므로 열 효율이 저하된다.Secondly, in order to prevent leakage of the metal, since the ceramic is formed between the crucible and the heating device, the ceramic prevents the heat generated in the heating device from being transferred to the crucible, so that the heat efficiency is lowered.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유도 전류의 원리를 적용하여 피가열체를 히터로 활용하여 발열체의 형상 및 체적을 자유롭게 구현하고, 피가열체가 도가니를 감싸도록 형성하여 금속의 누출을 방지할 수 있는 금속용 증착 장치의 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a heating body, And to provide an evaporation source for a metal deposition apparatus capable of preventing leakage.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 금속용 증착 장치의 증발원은, 금속 재료가 수납되는 도가니; 상기 도가니를 감싸도록 상기 도가니 외부에 형성되어 상기 도가니를 가열하는 금속 재질의 피가열체; 그리고 상기 피가열체를 감싸도록 형성되어 고주파 유도 가열 방식으로 상기 피가열체를 가열하는 유도 가열 장치를 포함하여 구성됨에 그 특징이 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an evaporation source for a metal deposition apparatus, comprising: a crucible in which a metal material is accommodated; A heating target made of a metal material formed outside the crucible to surround the crucible and heating the crucible; And an induction heating device formed to surround the heating target and heating the heating target by a high frequency induction heating method.

여기서, 상기 피가열체는 상기 도가니를 감싸도록 형성되는 원통형 몸체와, 상기 원통형 몸체의 하부가 밀봉되도록 형성되는 바닥부를 구비하여 구성됨을 특징으로 한다.Here, the heating target includes a cylindrical body formed to surround the crucible, and a bottom formed to seal the lower portion of the cylindrical body.

상기 피가열체는 상기 원통형 몸체에 형성되는 복수개의 슬릿을 더 구비함을 특징으로 한다.The heating target further includes a plurality of slits formed in the cylindrical body.

상기 슬릿은 원통형 구조의 상부에서 일정 깊이 만큼 형성되거나 상기 원통형 구조의 중간 부분에 형성되거나, 상기 원통형 구조의 하부에 형성됨을 특징으로 한다.The slit may be formed at a predetermined depth in an upper portion of the cylindrical structure or may be formed at an intermediate portion of the cylindrical structure or may be formed at a lower portion of the cylindrical structure.

상기 피가열체는, 바닥부와, 상기 바닥부의 가장자리에서 수직방향 연장된 외측 원통부와, 상기 바닥부의 중앙 부분에서 상기 외측 원통부에 평행하게 수직방향으로 연장된 내측 원통부와, 상기 내측 원통부와 외측 원통부 사이의 바닥부에 일정 간격으로 형성되는 복수개의 제 1 개구부를 구비하여 구성됨을 특징으로 한다.The heating target includes a bottom portion, an outer cylindrical portion extending vertically from an edge of the bottom portion, an inner cylindrical portion extending in a vertical direction parallel to the outer cylindrical portion at a central portion of the bottom portion, And a plurality of first openings formed at regular intervals in a bottom portion between the first and second outer cylindrical portions.

상기 내측 원통부는 상기 외측 원통부의 높이보다 더 낮게 형성되고, 상기 내부 원통부의 내부에 상기 도가니가 수용되도록 구성됨을 특징으로 한다.The inner cylindrical portion is formed to be lower than the height of the outer cylindrical portion, and the crucible is accommodated in the inner cylindrical portion.

상기 피가열체는, 상기 외측 원통부에 일정한 간격을 갖고 형성되는 복수개의 제 2 개구부를 더 구비함을 특징으로 한다.The heating target further includes a plurality of second openings formed at a predetermined interval in the outer cylindrical portion.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 금속용 증착 장치의 증발원은 다음과 같은 효과를 갖는다.The evaporation source of the evaporation apparatus for metal according to the present invention having the above-described characteristics has the following effects.

첫째, 본 발명의 금속용 증착 장치의 증발원은, 도가니를 감싸고 하부가 밀봉되도록 금속 재질의 피가열체를 고주파 유도 가열 방식으로 상기 피가열체를 가열하므로 상기 피가열체를 히터로 활용한다. 따라서 발열체의 형상 및 체적을 자유롭게 구현할 수 있다.First, the evaporation source of the metal evaporation apparatus of the present invention uses the object to be heated as a heater because the object to be heated is heated by a high-frequency induction heating method using a metallic material to wrap the crucible and seal the bottom. Therefore, the shape and volume of the heating element can be freely implemented.

둘째, 종래와 같이 재료 누출 방지용 세라믹을 사용하지 않고, 피가열체로 재료의 누출를 방지할 수 있으므로, 상기 세라믹에 의한 가열 장애를 방지할 수 있다.Secondly, it is possible to prevent the material from leaking with the material to be heated without using the material leakage preventing ceramic as in the prior art, so that it is possible to prevent the heating trouble by the ceramic.

셋째, 다양한 형상으로 피가열체를 형성할 수 있으므로, 부분별 및 위치별로 가열량을 변경할 수 있다.Third, since the heating target can be formed in various shapes, the amount of heating can be changed for each part and position.

도 1은 종래의 증착 장치의 증발원의 분해도.
도 2는 본 발명에 따른 증착 장치의 증발원의 기본 구성도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도.
도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도.1 is an exploded view of an evaporation source of a conventional evaporation apparatus.
2 is a basic structural view of an evaporation source of a deposition apparatus according to the present invention.
3 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a first embodiment of the present invention;
4 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a second embodiment of the present invention;
5 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a third embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a fourth embodiment of the present invention;

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 금속용 증착 장치의 증발원을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the evaporation source of the evaporation apparatus for metal according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 증착 장치의 증발원의 기본 구성도이다.2 is a basic configuration diagram of an evaporation source of a deposition apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 금속용 증착 장치의 증발원은, 도 2에 도시한 바와 같이, 금속 재료가 수납되는 도가니(11)와, 상기 도가니(11)를 감싸도록 상기 도가니(11) 외부에 형성되어 상기 도가니(11)를 가열하는 피가열체(12)와, 상기 피가열체(12)를 감싸도록 형성되어 고주파 유도 가열 방식으로 상기 피가열체(12)를 가열하는 유도 가열 장치(13)를 포함하여 구성된다.2, the evaporation source of the evaporation apparatus for a metal according to the present invention comprises a crucible 11 in which a metallic material is accommodated, and an evaporation source 11 formed outside the crucible 11 to surround the crucible 11, A heating target 12 for heating the heating target 11 and an induction heating device 13 for heating the heating target 12 by a high frequency induction heating method so as to surround the heating target 12, .

여기서, 상기 피가열체(12)는 아웃개싱(outgassing)이 적은 금속 재질로 구성되고, 발열 효율 및 열구배를 고려하여 다양한 형상으로 형성된다. 또한, 상기 피가열체(12)는 상기 도가니(11)가 파손되어 상기 도가니(11) 내의 금속 재료가 외부로 누출되어 주변 부품이 손상되고 오염되는 것을 방지하기 위하여 도가니(11) 형상과 유사한 형상으로 형성된다. 즉, 상기 피가열체(12)는 하부가 막혀 있는 형상으로 형성된다. 상기 피가열체(12)의 다양한 형태에 대해서는 후술한다.Here, the heating target 12 is made of a metal material having little outgassing, and is formed in various shapes in consideration of heat generation efficiency and thermal gradient. The object to be heated 12 has a shape similar to the shape of the crucible 11 in order to prevent the crucible 11 from being broken and the metal material in the crucible 11 to leak to the outside, . That is, the heating target 12 is formed in a shape in which the lower part is clogged. Various forms of the heating target 12 will be described later.

상기 유도 가열 장치(13)는 상기 도가니(11)내에 수납된 금속을 가열하고 냉각시키기 위한 것으로 냉각장치(water jacket)를 포함한다. 즉, 상기 유도 가열 장치(13)는 상기 피가열체(12)을 고주파 유도 가열 방식으로 가열하여 상기 도가니(11)을 간접적으로 가열하기 위한 유도 코일(14)과, 상기 도가니(11) 및 피가열체를 냉각시키기 위한 냉각관(15)과, 상기 유도 코일(14)과 상기 냉각관(15)을 지지함과 동시에 외부로 열이 방출됨을 방지하기 위해 단열재로 형성된 지지부(16)를 구비하여 구성된다.The induction heating device 13 is for heating and cooling the metal contained in the crucible 11 and includes a water jacket. That is, the induction heating apparatus 13 includes an induction coil 14 for indirectly heating the crucible 11 by heating the heating target 12 by a high frequency induction heating method, A cooling pipe 15 for cooling the heating body and a supporting part 16 formed of a heat insulating material for supporting the induction coil 14 and the cooling pipe 15 and preventing heat from being discharged to the outside .

물론, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 유도 코일(14)에 고주파를 공급하기 위한 전원 장치와 상기 냉각관(15)에 냉각수를 공급하기 위한 냉각수 공급장치를 더 구비한다.Although not shown in the drawing, a power supply device for supplying a high frequency to the induction coil 14 and a cooling water supply device for supplying cooling water to the cooling pipe 15 are further provided.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 금속용 증착 장치의 증발원에서 상기 피가열체(12)의 다양한 형상에 대하여 설명하면 다음과 같다.Various shapes of the heating target 12 in the evaporation source of the deposition apparatus for a metal according to the present invention will be described as follows.

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도이다.3 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a first embodiment of the present invention.

발명의 제 1 실시예에 따른 증발원의 피가열체(13)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 내부에 상기 도가니(11)가 수용되도록 형성되는 원통형 몸체(13a)와, 상기 원통형 몸체(13a)의 하부가 막혀지도록 형성되는 바닥부(13b)를 구비하여 구성된다. 3, the heating target 13 of the evaporation source according to the first embodiment of the present invention includes a cylindrical body 13a formed to receive the crucible 11 therein and a cylindrical body 13a And a bottom portion 13b formed so as to close the lower portion.

따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증발원의 피가열체는 유도 전류의 원리를 적용하여 도가니를 가열할 수 있고, 도가니가 파손되더라도 도가니 내부의 재료(금속)의 누출을 방지할 수 있다. Therefore, the object to be heated of the evaporation source according to the first embodiment of the present invention can heat the crucible by applying the principle of the induced current, and the leakage of the material (metal) in the crucible can be prevented even if the crucible is broken.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도이다.4 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 증발원의 피가열체(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 내부에 상기 도가니(11)가 수용되도록 형성되는 원통형 몸체(13a)와, 한 바와 같이, 내부에 상기 도가니(11)가 수용되도록 형성되는 원통형 몸체(13a)와, 상기 원통형 몸체(13a)의 하부가 막혀지도록 형성되는 바닥부(13b)와, 상기 원통형 몸체(13a)에 일정 간격을 갖고 수직 방향으로 형성된 복수개의 슬릿(17)을 구비함에 특징이 있다. 즉, 도 4에서는 상기 슬릿(17)이 피가열체(13)의 원통형 몸체(13a) 상부에서 일정 깊이 만큼 형성됨을 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 상기 슬릿(17)이 상기 원통형 몸체(13a)의 중간 부분에 형성되거나, 상기 슬릿(17)이 상기 원통형 몸체(13a)의 하부에 형성되어도 무방하다.The object to be heated 13 of the evaporation source according to the second embodiment of the present invention includes a cylindrical body 13a formed so as to receive the crucible 11 therein as shown in Fig. 4, A cylindrical body 13a formed to receive the crucible 11 therein and a bottom 13b formed to block the lower portion of the cylindrical body 13a; And a plurality of slits 17 formed in the vertical direction. That is, although the slit 17 is formed at a predetermined depth above the cylindrical body 13a of the heating body 13, the slit 17 is not limited to the cylindrical body 13a, Or the slit 17 may be formed in the lower part of the cylindrical body 13a.

상기 도 4에서 설명한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증발원의 피가열체(13)는 상기 원통형 몸체(13a)에 형성되는 슬릿(17)의 위치에 따라 하부 영역, 중앙 영역 또는 상부 영역 등 위치별로 열용량을 강화하는데 효과가 있다. The heating target 13 of the evaporation source according to the second embodiment of the present invention described with reference to FIG. 4 is positioned at a position corresponding to the position of the slit 17 formed in the cylindrical body 13a, It is effective to strengthen the heat capacity.

도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도이다.5 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a third embodiment of the present invention.

본 발명의 제 3 실시예에 따른 증발원의 피가열체(13)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 바닥부(21)와, 상기 바닥부(21)의 가장자리에서 수직방향(상측방향)으로 연장된 외측 원통부(22)와, 상기 바닥부(21)의 중앙 부분에서 상기 외측 원통부(22)에 평행하게 수직방향(상측방향)으로 연장된 내측 원통부(23)와, 상기 내측 원통부(23)와 외측 원통부(22) 사이의 바닥부(21)에 일정 간격으로 형성되는 복수개의 제 1 개구부(24)를 구비하여 구성된다.As shown in Fig. 5, the heating target 13 of the evaporation source according to the third embodiment of the present invention has a bottom portion 21 and a vertical portion (upward direction) at the edge of the bottom portion 21 An inner cylindrical portion 23 extending in a vertical direction (upward direction) parallel to the outer cylindrical portion 22 at a central portion of the bottom portion 21; And a plurality of first openings 24 formed at a predetermined interval in a bottom portion 21 between the outer cylindrical portion 22 and the inner cylindrical portion 23.

상기 내측 원통부(23)는 상기 외측 원통부(22)의 높이보다 더 낮게 형성되고, 상기 내부 원통부(23)의 내부에 상기 도가니(11)가 수용되도록 구성된다.The inner cylindrical portion 23 is formed to be lower than the height of the outer cylindrical portion 22 so that the crucible 11 is accommodated in the inner cylindrical portion 23.

상기에서 설명한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 증발원의 피가열체는 유도 전류의 원리를 적용하여 도가니를 가열할 수 있고, 도가니가 파손되더라도 도가니 내부의 재료(금속)의 누출을 방지할 수 있음은 물론, 바닥부에 개구부가 형성되므로 하부의 열 교환이 용이해 진다.The object to be heated of the evaporation source according to the third embodiment of the present invention described above can heat the crucible by applying the principle of the induced current and can prevent the leakage of the material (metal) in the crucible even if the crucible is broken Since an opening is formed in the bottom portion, the heat exchange in the lower portion is facilitated.

도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 증발원의 피가열체의 사시도이다.6 is a perspective view of a heating target of an evaporation source according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명의 제 4 실시예에 따른 증발원의 피가열체(13)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 바닥부(21)와, 상기 바닥부(21)의 가장자리에서 수직방향(상측방향)으로 연장된 외측 원통부(22)와, 상기 바닥부(21)의 중앙 부분에서 상기 외측 원통부(22)에 평행하게 수직방향(상측방향)으로 연장된 내측 원통부(23)와, 상기 내측 원통부(23)와 외측 원통부(22) 사이의 바닥부(21)에 일정 간격으로 형성되는 복수개의 제 1 개구부(24)와, 상기 외측 원통부(22)에 일정한 간격을 갖고 형성되는 복수개의 제 2 개구부(25)를 구비하여 구성된다.As shown in Fig. 6, the heating target 13 of the evaporation source according to the fourth embodiment of the present invention has a bottom portion 21 and a bottom portion 21 extending vertically (upward) from the edge of the bottom portion 21 An inner cylindrical portion 23 extending in a vertical direction (upward direction) parallel to the outer cylindrical portion 22 at a central portion of the bottom portion 21; A plurality of first openings 24 formed at a predetermined interval in a bottom portion 21 between the outer cylindrical portion 22 and the outer cylindrical portion 22 and a plurality of first openings 24 formed at a predetermined interval in the outer cylindrical portion 22, And a second opening (25).

상기 내측 원통부(23)는 상기 외측 원통부(22)의 높이보다 더 낮게 형성되고, 상기 내부 원통부(23)의 내부에 상기 도가니(11)가 수용되도록 구성된다.The inner cylindrical portion 23 is formed to be lower than the height of the outer cylindrical portion 22 so that the crucible 11 is accommodated in the inner cylindrical portion 23.

상기에서 설명한 본 발명의 제 4 실시예에 따른 증발원의 피가열체는 유도 전류의 원리를 적용하여 도가니를 가열할 수 있고, 도가니가 파손되더라도 도가니 내부의 재료(금속)의 누출을 방지할 수 있음은 물론, 바닥부에 개구부가 형성되므로 하부의 열 교환이 용이해 질 뿐만 아니라, 상기 복수개의 제 2 개구부(25)의 크기 및 형성 위치를 가변하면 위치별로 가열량이 변경되도록 할 수 있다.The object to be heated of the evaporation source according to the fourth embodiment of the present invention described above can heat the crucible by applying the induction current principle and can prevent the leakage of the material (metal) in the crucible even if the crucible is broken. Since the openings are formed at the bottom of the first and second openings 25 and 25, the heat exchange of the lower part is facilitated.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of.

11: 도가니 12: 피가열체
13: 유도 가열 장치 14: 유도 코일
15: 냉각관 16: 지지부
17: 슬릿 21: 바닥부
22: 외측 원통부 23: 내측 원통부
24, 25: 개구부11: Crucible 12:
13: induction heating device 14: induction coil
15: cooling tube 16: support
17: slit 21: bottom part
22: outer cylinder part 23: inner cylinder part
24, 25: opening

Claims (7)

금속 재료가 수납되는 도가니;
상기 도가니를 감싸도록 상기 도가니 외부에 형성되어 상기 도가니를 가열하는 금속 재질의 피가열체;
상기 피가열체를 감싸도록 형성되어 고주파 유도 가열 방식으로 상기 피가열체를 가열하는 유도 가열 장치를 포함하여 구성되는 금속용 증착 장치의 증발원.A crucible in which a metallic material is housed;
A heating target made of a metal material formed outside the crucible to surround the crucible and heating the crucible;
And an induction heating device formed to surround the heating target and heating the heating target by a high frequency induction heating method. 제 1 항에 있어서,
상기 피가열체는,
내부에 상기 도가니가 수용되도록 형성된 원통형 몸체와,
상기 원통형 몸체의 하부가 밀봉되도록 형성되는 바닥부를 구비하여 구성되는 금속용 증착 장치의 증발원.The method according to claim 1,
The object to be heated,
A cylindrical body formed to receive the crucible therein,
And a bottom portion formed to seal the lower portion of the cylindrical body. 제 2 항에 있어서,
상기 피가열체는, 상기 원통형 몸체에 형성되는 복수개의 슬릿을 더 구비하는 금속용 증착 장치의 증발원.3. The method of claim 2,
Wherein the material to be heated further comprises a plurality of slits formed in the cylindrical body. 제 3 항에 있어서,
상기 슬릿은 원통형 구조의 상부에서 일정 깊이 만큼 형성되거나 상기 원통형 구조의 중간 부분에 형성되거나, 상기 원통형 구조의 하부에 형성되는 금속용 증착 장치의 증발원.The method of claim 3,
Wherein the slit is formed at an upper portion of the cylindrical structure at a predetermined depth or at an intermediate portion of the cylindrical structure or at a lower portion of the cylindrical structure. 제 1 항에 있어서,
상기 피가열체는,
바닥부와,
상기 바닥부의 가장자리에서 수직방향 연장된 외측 원통부와,
상기 바닥부의 중앙 부분에서 상기 외측 원통부에 평행하게 수직방향으로 연장된 내측 원통부와,
상기 내측 원통부와 외측 원통부 사이의 바닥부에 일정 간격으로 형성되는 복수개의 제 1 개구부를 구비하여 구성되는 금속용 증착 장치의 증발원.The method according to claim 1,
The object to be heated,
A bottom portion,
An outer cylindrical portion extending vertically from an edge of the bottom portion,
An inner cylindrical portion extending in a vertical direction parallel to the outer cylindrical portion at a central portion of the bottom portion,
And a plurality of first openings formed at a predetermined interval in a bottom portion between the inner cylindrical portion and the outer cylindrical portion. 제 5 항에 있어서,
상기 내측 원통부는 상기 외측 원통부의 높이보다 더 낮게 형성되고, 상기 내부 원통부의 내부에 상기 도가니가 수용되도록 구성되는 금속용 증착 장치의 증발원.6. The method of claim 5,
Wherein the inner cylindrical portion is formed to be lower than the height of the outer cylindrical portion, and the crucible is accommodated in the inner cylindrical portion. 제 5 항에 있어서,
상기 피가열체는, 상기 외측 원통부에 일정한 간격을 갖고 형성되는 복수개의 제 2 개구부를 더 구비하여 구성되는 금속용 증착 장치의 증발원.6. The method of claim 5,
The object to be heated further comprises a plurality of second openings formed at a predetermined interval in the outer cylindrical portion.
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