KR20170000653A

KR20170000653A - Lifter

Info

Publication number: KR20170000653A
Application number: KR1020150089851A
Authority: KR
Inventors: 정태원; 이상문; 박민호
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2015-06-24
Filing date: 2015-06-24
Publication date: 2017-01-03
Also published as: KR101701327B1

Abstract

The present invention relates to a lifter, and more specifically, to a lifter having a weight balance applied thereto. According to an embodiment of the present invention, the lifter comprises a supporter, a plurality of first ball screws, a power providing part, a plurality of second ball screws, a weight balance and a driving force transfer part. The supporter supports a weight provided to the interior of a structure surrounding an interior space where an atmosphere is controlled. The plurality of ball screws include a first screw shaft and a first ball nut and are connected to the supporter to move up and down the supporter. The power providing part is connected to an upper end of the first screw shaft to rotate the first screw shaft. The plurality of second ball screws include a second screw shaft and a second ball nut and are arranged to correspond to the plurality of first ball screws. The weight balance is connected to the second ball nut to provide rotational force to the second screw shaft. The driving force transfer part connects the first screw shaft and the second screw shaft to transfer the driving force to each other.

Description

Lifting device {Lifter}

본 발명은 승강장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이트 밸런스(Weight Balance)를 적용한 승강장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lifting device, and more particularly, to a lifting device to which a weight balance is applied.

일반적으로 중량이 큰 중량물의 승강시 모터의 용량 및 크기의 제약으로 인해 웨이트 밸런스(Weight Balance)를 이용하여 중량물의 무게를 일부 경감시켜 승강하게 된다. 웨이트 밸런스를 이용시, 웨이트 밸런스를 지탱하는 주요 지지물은 로프(Rope)나 체인(Chain)을 사용한다.Generally, when a heavy heavy object is lifted or lowered, the weight of the heavy object is partially reduced due to the restriction of the capacity and size of the motor. When using the weight balance, the main support for supporting the weight balance is a rope or a chain.

로프나 체인은 움직이는 도르래 또는 휠(Wheel)과의 마찰로 인하여 많은 파티클(particle)이 발생하게 되어 청정(Clean) 환경에서는 사용에 제약이 따르고, 특히, 진공 챔버 내부에서는 탈기체(Out Gassing) 및 파티클의 영향으로 인하여 기판에 악영향을 미치게 되므로 로프나 체인 형태의 웨이트 밸런스를 적용하기가 더욱 어려운 실정이다.The rope and the chain generate many particles due to the friction with the moving pulley or the wheel. Therefore, the use of the rope or the chain is restricted in a clean environment. In particular, in the vacuum chamber, outgassing It is more difficult to apply the weight balance of the rope or chain type because the influence of the particle adversely affects the substrate.

종래에 챔버 내부에서 승강장치를 사용하는 경우에는 한국등록특허 제10-0303155호(2001.07.09) 등과 같이 하나 또는 복수의 모터로 기판을 승강시켜 왔는데, 최근 들어 대면적 디스플레이 등이 요구되면서 기판이 대형화되고 중량이 늘어남에 따라 모터의 용량 및 크기가 커지거나 모터의 개수가 많아져 챔버 설비의 규모가 커지게 되고 설비 비용이 상승하는 문제점이 발생되었으며, 이에 따라 진공 챔버 내부에서도 웨이트 밸런스를 적용할 수 있는 기술이 요구되고 있다. 한편, 대면적 디스플레이 등의 승강이 요구되는 크린룸(Clean Room) 및 크린 부스(Clean Booth) 등의 청정 환경에서도 파티클을 줄일 수 있는 웨이트 밸런스의 적용이 요구되고 있다.Conventionally, when a lift device is used in a chamber, the substrate is moved up and down by one or a plurality of motors such as Korean Registered Patent No. 10-0303155 (2001.07.09). In recent years, however, As the weight increases, the capacity and size of the motor increases, the number of motors increases, the size of the chamber equipment increases, and the facility cost increases. As a result, the weight balance can be applied even in the vacuum chamber Is required. On the other hand, it is required to apply a weight balance capable of reducing particles even in a clean environment such as a clean room and a clean booth in which a large area display or the like is required to be lifted or lowered.

한국등록특허공보 제10-0303155호Korean Patent Registration No. 10-0303155

본 발명은 청정(Clean) 환경에서도 웨이트 밸런스(Weight Balance)를 적용할 수 있는 승강장치를 제공한다.The present invention provides a lifting device capable of applying a weight balance even in a clean environment.

본 발명의 실시예에 따른 승강장치는 분위기가 제어되는 내부 공간을 둘러싸는 구조물 내부에 제공되는 중량물을 지지하는 지지대; 제1 스크류 샤프트와 제1 볼 너트를 포함하며, 상기 지지대에 연결되어 상기 지지대를 상승 및 하강시키는 복수의 제1 볼 스크류; 상기 제1 스크류 샤프트의 상단에 연결되어 상기 제1 스크류 샤프트를 회전시키는 동력제공부; 제2 스크류 샤프트와 제2 볼 너트를 포함하며, 상기 복수의 제1 볼 스크류에 대응되어 배치되는 복수의 제2 볼 스크류; 상기 제2 볼 너트에 연결되어 상기 제2 스크류 샤프트에 회전력을 제공하는 웨이트 밸런스; 및 상기 제1 스크류 샤프트와 상기 제2 스크류 샤프트를 연결하여 구동력이 서로 전달되게 하는 구동력전달부를 포함할 수 있다.A lift device according to an embodiment of the present invention includes: a support for supporting a weight provided inside a structure surrounding an inner space in which an atmosphere is controlled; A plurality of first ball screws including a first screw shaft and a first ball nut and connected to the support to raise and lower the support; A power distributor connected to an upper end of the first screw shaft to rotate the first screw shaft; A plurality of second ball screws including a second screw shaft and a second ball nut, and disposed corresponding to the plurality of first ball screws; A weight balance connected to the second ball nut to provide rotational force to the second screw shaft; And a driving force transmitting unit connecting the first screw shaft and the second screw shaft to transmit the driving force to each other.

상기 동력제공부와 상기 구동력전달부는 상기 구조물의 외부에 위치할 수 있다.The power providing portion and the driving force transmitting portion may be located outside the structure.

상기 구동력전달부는 상기 제1 스크류 샤프트와 상기 제2 스크류 샤프트의 상단에 각각 결합되며, 서로 맞물리는 한 쌍의 회전운동체를 포함하고, 상기 제1 스크류 샤프트는 상기 지지대 또는 상기 중량물의 하중에 의해 회전하며, 상기 제2 스크류 샤프트는 상기 웨이트 밸런스의 하중에 의해 상기 제1 스크류 샤프트의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전할 수 있다.Wherein the driving force transmitting portion includes a pair of rotating bodies which are respectively engaged with the upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft and are engaged with each other, and the first screw shaft is rotated And the second screw shaft can rotate in the same direction as the rotation direction of the first screw shaft due to the load of the weight balance.

상기 구동력전달부는 상기 제1 스크류 샤프트와 상기 제2 스크류 샤프트의 상단에 각각 결합되는 한 쌍의 회전운동체; 및 상기 한 쌍의 회전운동체를 연결시켜 상기 한 쌍의 회전운동체의 구동력이 서로 전달되게 하는 연결부재를 포함하고, 상기 제1 스크류 샤프트는 상기 지지대 또는 상기 중량물의 하중에 의해 회전하며, 상기 제2 스크류 샤프트는 상기 웨이트 밸런스의 하중에 의해 상기 제1 스크류 샤프트의 회전 방향과 반대 방향으로 회전할 수 있다.The driving force transmitting portion includes a pair of rotating bodies respectively coupled to upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft; And a connecting member for connecting the pair of rotating bodies to transmit the driving force of the pair of rotating bodies to each other, wherein the first screw shaft rotates by the load of the supporting member or the heavy object, The screw shaft can rotate in a direction opposite to the rotating direction of the first screw shaft due to the load of the weight balance.

상기 구조물은 진공 챔버이고, 상기 진공 챔버의 내부에서 복수의 상기 제1 스크류 샤프트와 복수의 상기 제2 스크류 샤프트의 하단이 지지되고, 상기 진공 챔버의 내벽 및 바닥에서 이격되는 지지 프레임; 및 상기 지지 프레임의 하부에 연결되어 상기 지지 프레임을 받쳐주는 프레임 받침대를 더 포함할 수 있다.Wherein the structure is a vacuum chamber, a support frame supporting a plurality of the first screw shafts and a plurality of second screw shafts in the vacuum chamber, the support frame spaced apart from the inner wall and the bottom of the vacuum chamber; And a frame support connected to a lower portion of the support frame to support the support frame.

상기 프레임 받침대의 하단부는 상기 진공 챔버의 외부 바닥에 지지될 수 있다.The lower end of the frame pedestal may be supported on the outer bottom of the vacuum chamber.

상기 제1 스크류 샤프트와 상기 제2 스크류 샤프트의 상단은 상기 진공 챔버의 외부로 돌출되어 상기 구동력전달부에 의해 연결될 수 있다.The upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft may protrude to the outside of the vacuum chamber and may be connected by the driving force transmitting portion.

상기 진공 챔버의 외부에 제공되고, 상기 구동력전달부를 수용하는 차폐부를 더 포함하고, 상기 차폐부는 배기 덕트와 연결될 수 있다.And a shielding portion provided outside the vacuum chamber, the shielding portion receiving the driving force transmitting portion, and the shielding portion can be connected to the exhaust duct.

상기 동력제공부는 하나의 동력원을 사용하고, 상기 동력원에서 제공되는 동력을 분기하여 복수의 상기 제1 스크류 샤프트의 회전을 동기화시킬 수 있다.The power providing unit may use one power source and may divide the power provided by the power source to synchronize the rotation of the plurality of first screw shafts.

상기 동력원은 상기 구조물의 상단 중앙부에 위치할 수 있다.The power source may be located at the top center of the structure.

상기 웨이트 밸런스는 상기 지지대와 상반되는 방향으로 이동할 수 있다.The weight balance can move in a direction opposite to the support base.

상기 복수의 제1 볼 스크류 또는 상기 복수의 제2 볼 스크류는 하드 코팅될 수 있다.The plurality of first ball screws or the plurality of second ball screws may be hard coated.

상기 복수의 제2 볼 스크류 및 상기 웨이트 밸런스는 상기 구조물의 외부에 위치하고, 상기 복수의 제2 볼 스크류는 상기 구동력전달부에 의해 상기 복수의 제1 볼 스크류와 연결될 수 있다.The plurality of second ball screws and the weight balance may be located outside the structure, and the plurality of second ball screws may be connected to the plurality of first ball screws by the driving force transmitting portion.

본 발명의 실시예에 따른 승강장치는 승강수단으로 볼 스크류(Ball Screw)를 사용하여 웨이트 밸런스(Weight Balance)를 적용함으로써, 마찰 부분이 점 접촉하는 볼 스크류로 인해 승강시 마찰로 발생되는 파티클(particle)을 줄일 수 있다. 이에 청정(Clean) 환경뿐만 아니라 진공 챔버 내부에서도 웨이트 밸런스를 적용할 수 있다. 그리고 볼 스크류에서 마찰이 일어나는 부분을 하드 코팅하여 마찰로 인한 탈기체(Out Gassing)를 방지할 수도 있다.The lift device according to the embodiment of the present invention uses a ball screw as a lifting means to apply a weight balance so that particles due to friction generated during lifting due to ball- ) Can be reduced. Therefore, the weight balance can be applied not only in a clean environment but also in a vacuum chamber. Also, it is possible to prevent outgassing due to friction by hard coating a portion where friction occurs in the ball screw.

또한, 진공 챔버와는 독립적으로 형성된 지지 프레임에 복수의 제1 볼 스크류 및 복수의 제2 볼 스크류를 지지하여 진공 챔버의 변형을 방지할 수 있고, 복수의 제1 볼 스크류 및 복수의 제2 볼 스크류의 상단이 진공 챔버의 외부로 돌출되는 부분을 외부 챔버로 감싸 진공 챔버 내부의 진공도를 유지할 수 있다. 그리고 하나의 동력원을 분기하여 복수의 제1 볼 스크류를 회전시킴으로 복수의 제1 볼 스크류를 간단하게 동기화시킬 수도 있다.Further, it is possible to prevent deformation of the vacuum chamber by supporting the plurality of first ball screws and the plurality of second ball screws in the support frame formed independently of the vacuum chamber, and the plurality of first ball screws and the plurality of second balls A portion of the upper end of the screw projecting to the outside of the vacuum chamber can be surrounded by the outer chamber to maintain the degree of vacuum inside the vacuum chamber. The plurality of first ball screws can be simply synchronized by branching one power source to rotate the plurality of first ball screws.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 승강장치를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 승강장치의 연결부재를 포함하는 구동력전달부를 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 챔버에 설치된 승강장치를 나타낸 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view showing a landing gear according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a cross-sectional view illustrating a driving force transmitting portion including a connecting member of a lifting device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating a lift device installed in a vacuum chamber according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. In the description, the same components are denoted by the same reference numerals, and the drawings are partially exaggerated in size to accurately describe the embodiments of the present invention, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 승강장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a landing gear according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 승강장치는 분위기가 제어되는 내부 공간을 둘러싸는 구조물(10) 내부에 제공되는 중량물(20)을 지지하는 지지대(110); 제1 스크류 샤프트(121)와 제1 볼 너트(122)를 포함하며, 상기 지지대(110)에 연결되어 상기 지지대(110)를 상승 및 하강시키는 복수의 제1 볼 스크류(120); 상기 제1 스크류 샤프트(121)의 상단에 연결되어 상기 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시키는 동력제공부(130); 제2 스크류 샤프트(141)와 제2 볼 너트(142)를 포함하며, 상기 복수의 제1 볼 스크류(120)에 대응되어 배치되는 복수의 제2 볼 스크류(140); 상기 제2 볼 너트(142)에 연결되어 상기 제2 스크류 샤프트(141)에 회전력을 제공하는 웨이트 밸런스(150); 및 상기 제1 스크류 샤프트(121)와 상기 제2 스크류 샤프트(141)를 연결하여 구동력이 서로 전달되게 하는 구동력전달부(160)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a lift apparatus according to an embodiment of the present invention includes a support 110 supporting a weight 20 provided inside a structure 10 surrounding an inner space where an atmosphere is controlled; A plurality of first ball screws (120) including a first screw shaft (121) and a first ball nut (122) and connected to the support base (110) to raise and lower the support base (110); A power supply 130 connected to an upper end of the first screw shaft 121 to rotate the first screw shaft 121; A plurality of second ball screws (140) including a second screw shaft (141) and a second ball nut (142) and disposed corresponding to the plurality of first ball screws (120); A weight balance 150 connected to the second ball nut 142 to provide rotational force to the second screw shaft 141; And a driving force transmitting portion 160 connecting the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 to transmit driving force to each other.

분위기가 제어되는 내부 공간을 둘러싸는 구조물(10)은 차폐하여 내부 공간의 청정도를 유지할 수 있으며, 크린룸(Clean Room), 크린 부스(Clean Booth) 및 진공 챔버(Vacuum Chamber) 등일 수 있다. 최근 들어, 대면적 디스플레이가 요구되면서 진공 챔버 내에서 대면적 기판을 승강시키거나 크린 부스 또는 크린룸에서 대면적 디스플레이 모듈 또는 장치를 승강시키는 것이 이를 제작하는데 있어서 필수적이다. 이에 따라 크린룸, 크린 부스 및 진공 챔버 등의 청정(Clean) 환경에 웨이트 밸런스(Weight Balance)의 적용이 요구되는데, 상기와 같은 청정 환경에서는 웨이트 밸런스의 적용을 위해 종래에 사용되던 로프(Rope)나 체인(Chain)은 선 접촉으로 많은 파티클(Particle)이 발생하여 사용할 수 없다. 하지만, 본 발명의 승강장치는 볼 스크류를 이용해 웨이트 밸런스를 적용함으로써 대면적 기판, 대면적 디스플레이 모듈 및 장치 등의 중량이 큰 중량물을 작은 힘으로도 쉽게 승강시킬 수 있으면서도 파티클의 발생을 효과적으로 줄일 수 있다.The structure 10 surrounding the inner space where the atmosphere is controlled can be shielded to maintain the cleanliness of the inner space and can be a clean room, a clean booth, a vacuum chamber, or the like. In recent years, it is necessary to raise a large-area substrate in a vacuum chamber or lift a large-area display module or a device in a clean booth or a clean room while a large-area display is required. Accordingly, it is required to apply a weight balance to a clean environment such as a clean room, a clean booth, and a vacuum chamber. In the clean environment described above, Chain is line contact and many particles can not be used. However, the weight lifting device of the present invention can easily lift a heavy object such as a large-area substrate, a large-area display module and an apparatus with a small force by using a weight balance by using a ball screw, .

지지대(110)는 중량물(20)을 지지하는 역할을 하며, 그 재료와 형상에 특별히 한정되지 않지만, 중량물을 지지할 수 있도록 강도가 높고 승강장치가 승강시켜야 하는 중량을 줄일 수 있도록 가벼운 재료를 사용하는 것이 좋으며, 무게 중심을 유지하기 쉬운 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.The support base 110 serves to support the heavy object 20 and is not particularly limited to the material and the shape thereof. However, the support base 110 uses a light material so as to reduce the weight required to support the heavy object, And it is preferable to form it in such a shape that the center of gravity can be easily maintained.

제1 볼 스크류(120)는 복수로 구성되며, 지지대(110)의 수평이 유지되도록 지지대(110)에 각각 연결될 수 있는데, 지지대(110)가 사각의 판상으로 형상될 경우 지지대(110)의 양측에 하나씩 두 개가 연결될 수도 있고, 수직한 모서리에 각각 하나씩 네 개가 연결될 수도 있으며, 지지대(110)의 형상 또는 중량물(20)의 무게에 따라 그 수가 달라질 수 있다. 제1 볼 스크류(120)는 제1 스크류 샤프트(121)와 제1 볼 너트(122)를 포함할 수 있는데, 제1 스크류 샤프트(121)는 수직으로 세워질 수 있고, 제1 볼 너트(122)는 제1 스크류 샤프트(121)에 구속되어 제1 스크류 샤프트(121)의 회전에 따라 상승 또는 하강할 수 있다. 볼 스크류(Ball Screw)는 회전운동을 직선운동으로 바꾸거나 그 반대로 직선운동을 회전운동으로 바꿀 때 사용하는 기계부품으로, 나사와 너트 사이에 강구(Ball)를 넣어 순환시킴으로 동력을 전달하며, 나사 역할을 하는 스크류 샤프트(Screw Shaft)와 너트에 볼을 넣은 볼 너트(Ball Nut)로 구성될 수 있다. 그리고 볼 스크류는 볼 너트의 이동시 강구에 의해 점 접촉이 일어나고, 이로 인해 선 접촉을 하는 로프나 체인보다 파티클을 매우 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 면 접촉을 하는 랙 앤 피니언(Rack & Pinion) 기어보다도 파티클을 효과적으로 줄일 수 있다. 제1 볼 스크류(120)에서는 제1 스크류 샤프트(121)를 수직으로 세워 제1 볼 너트(122)가 중력에 의해 하강함으로써 제1 스크류 샤프트(121)를 회전(직선운동->회전운동)시키거나 제1 스크류 샤프트(121)의 회전에 따라 제1 볼 너트(122)가 상승 또는 하강(회전운동->직선운동)하도록 할 수 있다. 그리고 제1 볼 스크류(120)에서 제1 볼 너트(122)가 지지대(110)에 연결되고, 제1 볼 스크류(120)는 제1 스크류 샤프트(121)의 회전에 의한 제1 볼 너트(122)의 상승 또는 하강에 따라 지지대(110) 및 지지대(110)에 지지된 중량물(20)을 상승 또는 하강시킬 수 있다.The first ball screw 120 may include a plurality of ball screws 120. The first ball screws 120 may be connected to the support member 110 such that the support member 110 is horizontally supported. When the support member 110 is formed into a square plate, Four corners may be connected to each of the vertical corners, and the number may be varied depending on the shape of the support member 110 or the weight of the heavy object 20. The first ball screw 120 may include a first screw shaft 121 and a first ball nut 122. The first screw shaft 121 may be vertically erected and may include a first ball nut 122, The first screw shaft 121 and the second screw shaft 121 can be moved up or down according to the rotation of the first screw shaft 121. [ Ball Screw is a mechanical part that is used to change the rotational motion into linear motion or vice versa and to convert the linear motion into rotational motion. The ball screw is circulated between the screw and nut to transmit the power. It can be composed of a screw shaft (Screw Shaft) and a ball nut (Ball Nut) with a ball in the nut. In addition, the ballscrew is point contacted by the steel ball when the ball nut is moved. This makes it possible to greatly reduce the particles more than the rope or the chain that make line contact, Can be effectively reduced. In the first ball screw 120, the first screw shaft 121 is vertically raised, and the first ball nut 122 is lowered by the gravity so that the first screw shaft 121 is rotated (linear motion) Or the first ball nut 122 can be raised or lowered (rotated -> linear motion) in accordance with the rotation of the first screw shaft 121. The first ball screw 120 is connected to the support base 110 and the first ball screw 120 is connected to the first ball nut 122 by the rotation of the first screw shaft 121, The support member 110 and the weight member 20 supported by the support member 110 can be raised or lowered.

동력제공부(130)는 복수의 제1 스크류 샤프트(121)의 상단에 연결되어 복수의 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시킬 수 있다. 동력제공부(130)는 동력원(131)을 포함하며, 복수의 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시킬 수 있으면 족하고, 그 구조와 동력원(131)의 개수에는 특별히 한정되지 않는다. 그리고 동력원(131)으로는 서보모터(Servo-Motor)를 사용할 수 있다.The power supplier 130 is connected to the upper ends of the plurality of first screw shafts 121 to rotate the plurality of first screw shafts 121. The power providing unit 130 includes a power source 131 and may rotate the plurality of first screw shafts 121. The structure and the number of the power sources 131 are not particularly limited. As the power source 131, a servo motor may be used.

한편, 동력제공부(130)는 하나의 동력원(131)을 사용하고, 동력원(131)에서 제공되는 동력을 분기하여 복수의 제1 스크류 샤프트(121)의 회전을 동기화시킬 수 있다. 복수의 제1 볼 스크류(120)를 이용해 중량이 큰 중량물을 안정적으로 승강시키기 위해서는 복수의 제1 볼 너트(122)가 동시에 동일한 속도로 승강하여야 한다. 이를 위해서는 복수의 제1 스크류 샤프트(121)의 회전이 시작되는 시각이 동일하고, 회전 속도가 동일하여야 하는데, 복수의 동력원을 사용하면 회전 시작 시각과 회전 속도를 동일하게 맞추기가 어렵지만, 하나의 동력원(131)으로 제공되는 동력을 분기하여 사용하면 회전 시작 시각과 회전 속도가 동일하도록 복수의 제1 스크류 샤프트(121)의 회전을 동기화시킬 수 있다.The power providing unit 130 may use one power source 131 and may divide the power provided by the power source 131 to synchronize the rotation of the plurality of first screw shafts 121. The plurality of first ball nuts 122 must be moved up and down at the same speed at the same time in order to stably move up and down a heavy object using the plurality of first ball screws 120. For this purpose, the plurality of first screw shafts 121 must start rotating at the same time and have the same rotational speed. If a plurality of power sources are used, it is difficult to match the rotation start time and the rotational speed at the same time. The rotation of the plurality of first screw shafts 121 can be synchronized so that the rotation start time and the rotation speed are the same.

동력원(131)은 구조물(10)의 상단 중앙부에 위치할 수 있다. 이러한 경우 동력원(131)이 복수의 제1 스크류 샤프트(121)의 중앙에 위치하게 되는데, 동력원(131)이 중앙에서 복수의 제1 스크류 샤프트(121)에 동력을 제공하게 되면 각 제1 스크류 샤프트(121)에 동일한 힘을 제공하여 동일한 속도로 각 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시킬 수 있다. 그리고 동력원(131)에서 제공되는 동력을 분기하는 구조의 구성이 용이하다. 동력의 분기시에는 축(Shaft)과 기어(Gear)를 이용하여 서로 연결함으로써 동력을 분기시킬 수 있다.The power source 131 may be located at the upper center of the structure 10. In this case, the power source 131 is located at the center of the plurality of first screw shafts 121. When the power source 131 provides power to the plurality of first screw shafts 121 at the center, It is possible to rotate each first screw shaft 121 at the same speed by providing the same force to the first screw shaft 121. And the configuration of the structure for branching the power provided by the power source 131 is easy. When the power is branched, the power can be branched by connecting them using a shaft and a gear.

제2 볼 스크류(140)는 제1 볼 스크류(120)에 대응되어 배치될 수 있고, 복수의 제1 볼 스크류(120)에 각각 대응되어 복수로 구성될 수 있으며, 제1 볼 스크류(120)의 수와 동일할 수 있다. 제2 볼 스크류(140)는 제2 스크류 샤프트(141)와 제2 볼 너트(142)를 포함할 수 있는데, 제2 스크류 샤프트(141)는 제1 스크류 샤프트(121)에 대응되도록 배치되어 수직으로 세워질 수 있고, 제2 볼 너트(142)는 제2 스크류 샤프트(141)에 구속되어 제2 스크류 샤프트(141)의 회전에 따라 상승 또는 하강할 수 있다. 제2 볼 스크류(140)에서는 제1 볼 스크류(120)와 마찬가지로 제2 스크류 샤프트(141)를 수직으로 세워 제2 볼 너트(142)가 중력에 의해 하강함으로써 제2 스크류 샤프트(141)를 회전시키거나 제2 스크류 샤프트(141)의 회전에 따라 제2 볼 너트(142)가 상승 또는 하강하도록 할 수 있다.The second ball screw 140 may correspond to the first ball screw 120 and may correspond to the plurality of first ball screws 120, May be the same. The second ball screw 140 may include a second screw shaft 141 and a second ball nut 142. The second screw shaft 141 may be disposed to correspond to the first screw shaft 121, And the second ball nut 142 may be restrained by the second screw shaft 141 and may be raised or lowered according to the rotation of the second screw shaft 141. [ In the second ball screw 140, the second screw shaft 141 is vertically elevated in the same manner as the first ball screw 120, and the second ball nut 142 is lowered by gravity to rotate the second screw shaft 141 Or the second ball nut 142 can be moved up or down according to the rotation of the second screw shaft 141. [

웨이트 밸런스(150)는 그 중력에 의해 중량물(20)을 상승시키는 힘이 중량물(20)에 작용하도록 중량물(20)과 연결됨으로써 중량물(20)과 무게의 평형을 유지할 수 있고, 이에 따라 웨이트 밸런스(150)가 없이 중량물(20)을 상승시킬 때보다 작은 힘으로 중량물(20)을 상승시킬 수 있도록 할 수 있다. 웨이트 밸런스(150)는 복수의 제2 볼 너트(142)에 각각 연결될 수 있으며, 웨이트 밸런스(150)의 중량으로 인해 제2 볼 너트(142)에 중력이 작용하면 상기 중력에 의해 제2 볼 너트(142)가 하강할 수 있게 되고, 제2 볼 너트(142)의 하강에 의해 제2 스크류 샤프트(141)가 회전할 수 있게 된다. 이처럼, 복수의 웨이트 밸런스(150)는 복수의 제2 볼 너트(142)에 각각 연결되어 복수의 제2 스크류 샤프트(141)에 각각 회전력을 제공할 수 있는데, 복수의 제2 볼 너트(142)에 각각 중력을 제공함으로써 중력에 의해 복수의 제2 볼 너트(142)를 하강시킬 수 있고, 복수의 제2 볼 너트(142)를 하강시키는 중력이 제2 볼 너트(142)에 의해 변환된 회전력을 복수의 제2 스크류 샤프트(141)에 각각 제공할 수 있다.The weight balance 150 can maintain the weight balance with the weight 20 by connecting the weight 20 to the weight 20 so that a force for raising the weight 20 by the gravity acts on the weight 20. Thus, It is possible to raise the heavy object 20 with a smaller force than when the heavy object 20 is lifted without the use of the lifter 150. The weight balance 150 may be connected to each of the plurality of second ball nuts 142. If the weight of the weight balance 150 causes gravity to act on the second ball nut 142, The second screw nut 142 can be lowered and the second screw nut 141 can be rotated by the lowering of the second ball nut 142. The plurality of weight balances 150 may be connected to the plurality of second ball nuts 142 to provide rotational force to the plurality of second screw shafts 141, The plurality of second ball nuts 142 can be lowered by gravity and the gravity for lowering the plurality of second ball nuts 142 can be lowered by the rotational force converted by the second ball nuts 142, To the plurality of second screw shafts 141, respectively.

구동력전달부(160)는 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)를 연결하여 구동력이 서로 전달되게 할 수 있는데, 복수의 구동력전달부(160)가 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)를 서로 인접한 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)끼리 연결하여 구동력이 서로 전달되게 할 수 있다. 이를 이용하여 지지대(110) 및 중량물(20)의 하중에 의한 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력과 웨이트 밸런스(150)의 하중에 의한 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력을 상쇄시킴으로써, 작은 힘으로도 중량이 큰 중량물(20)을 상승시킬 수 있다.The driving force transmitting portion 160 may connect the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 to transmit the driving force to each other. The plurality of driving force transmitting portions 160 may be connected to the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 can be connected to each other so that the driving force can be transmitted to each other by connecting the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 which are adjacent to each other. The torque of the second screw shaft 141 is canceled by the torque of the first screw shaft 121 and the load of the weight balance 150 due to the loads of the support table 110 and the heavy object 20, The heavy object 20 having a large weight can be raised.

웨이트 밸런스(150)는 지지대(110)와 상반되는 방향으로 이동할 수 있는데, 복수의 웨이트 밸런스(150)가 모두 지지대(110)와 상반되는 방향으로 이동할 수 있다. 상기와 같이 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력과 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력을 상쇄시키기 위해서는 지지대(110) 및 중량물(20)의 하강에 의해 회전하는 제1 스크류 샤프트(121)가 웨이트 밸런스(150)의 하강에 의한 제2 스크류 샤프트(141)의 회전 방향의 반대 방향으로 제2 스크류 샤프트(141)를 회전시키려고 하고, 웨이트 밸런스(150)의 하강에 의해 회전하는 제2 스크류 샤프트(141)가 지지대(110) 및 중량물(20)의 하강에 의한 제1 스크류 샤프트(121)의 회전 방향의 반대 방향으로 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시키려고 하여야 한다. 이때, 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력과 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력 중 더 큰 회전력을 가진 스크류 샤프트가 다른 스크류 샤프트를 볼 너트의 하강에 의한 회전 방향의 반대 방향으로 회전시킴으로써 상기 반대 방향으로 회전하는 스크류 샤프트에 구속된 볼 너트가 상승하게 되고, 여기에 연결된 물체도 상승하게 된다. 예를 들어, 동력제공부(130)를 통해 제1 스크류 샤프트(121)에 제1 볼 너트(122)가 하강하는 방향으로 회전력을 제공하여 제1 볼 너트(122)의 하강에 의한 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력이 제2 볼 너트(142)의 하강에 의한 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력보다 커지게 되면, 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력이 제2 스크류 샤프트(141)를 제2 볼 너트(142)가 상승하는 방향으로 회전시키게 되고, 제2 볼 너트(142)와 이에 연결된 웨이트 밸런스(150)가 상승하게 된다. 반대로, 동력제공부(130)를 통해 제1 스크류 샤프트(121)에 제1 볼 너트(122)가 상승하는 방향으로 회전력을 제공하여 제1 볼 너트(122)의 하강에 의한 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력이 제2 볼 너트(142)의 하강에 의한 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력보다 작아지게 되면, 제1 볼 너트(122)와 이에 연결된 지지대(110) 및 중량물(20)이 상승하게 되고, 제2 볼 너트(142)와 이에 연결된 웨이트 밸런스(150)는 하강하게 된다. 이와 같이, 복수의 웨이트 밸런스(150)는 지지대(110)와 상반되는 방향으로 이동할 수 있다.The weight balance 150 can move in a direction opposite to the support base 110. The plurality of weight balances 150 can move in a direction opposite to the support base 110. [ In order to offset the rotational force of the first screw shaft 121 and the rotational force of the second screw shaft 141 as described above, the supporting screw 110 and the first screw shaft 121, which rotates by the fall of the weight 20, The second screw shaft 141 is rotated in the direction opposite to the rotating direction of the second screw shaft 141 due to the fall of the balance 150 and the second screw shaft 141 rotated by the fall of the weight balance 150 141 should attempt to rotate the first screw shaft 121 in the direction opposite to the rotation direction of the first screw shaft 121 due to the lowering of the support table 110 and the weight 20. [ At this time, the screw shaft having a greater rotational force, among the rotational force of the first screw shaft 121 and the rotational force of the second screw shaft 141, rotates the other screw shaft in the direction opposite to the rotational direction by the falling of the ball nut, The ball nut restrained by the screw shaft rotating in the direction of the arrow is raised, and the object connected thereto is also raised. For example, the first ball screw 122 is rotated by the first screw nut 121 by providing a rotational force in a direction in which the first ball nut 122 descends through the power providing part 130, When the rotational force of the shaft 121 is greater than the rotational force of the second screw shaft 141 due to the fall of the second ball nut 142, the rotational force of the first screw shaft 121 is transmitted to the second screw shaft 141 The second ball nut 142 is rotated in the upward direction and the second ball nut 142 and the weight balance 150 connected thereto are raised. The first ball screw 122 is rotated by the first screw shaft 121 by the rotation of the first ball nut 122 by providing the rotational force in the direction of the first ball nut 122 to the first screw shaft 121 through the power providing part 130, The first ball nut 122 and the supporting member 110 and the weight member 20 connected to the first ball nut 122 are connected to each other by the first ball nut 122 and the second ball nut 122, And the second ball nut 142 and the weight balance 150 connected thereto are lowered. As described above, the plurality of weight balances 150 can move in a direction opposite to the support base 110.

한편, 복수의 웨이트 밸런스(150)의 중량의 합은 지지대(110) 및 중량물(20)의 총중량과 동일할 수 있다. 이렇게 되면, 제1 스크류 샤프트(121)의 회전력과 제2 스크류 샤프트(141)의 회전력이 평형을 유지하여 동력제공부(130)를 통해 제1 스크류 샤프트(121)에 회전력을 제공하지 않을 경우 중량물(20)을 그 자리에 정지시킬 수 있고, 중량물(20)의 상승시에도 제1 볼 너트(122)만 상승시키는 회전력으로도 중량물(20)을 상승시킬 수 있다. 그리고 제1 볼 너트(122)의 하단이 최하단에 위치할 때 복수의 웨이트 밸런스(150)와 제2 볼 너트(142)의 결합체의 상단이 최상단에 위치하도록 할 수 있고, 구조물(10)의 바닥 또는 천장에 충격이 가지않도록 제1 스크류 샤프트(121) 또는 제2 스크류 샤프트(141) 중간에 스토퍼(Stopper)를 형성할 수도 있다. 또한, 복수의 웨이트 밸런스(150)의 중량의 합은 지지대(110) 및 중량물(20)의 총중량과 다를 수도 있는데, 이러한 경우 중량물(20)의 정지시 중량물(20)이 정지할 수 있도록 동력제공부(130)에서 제1 스크류 샤프트(121)에 회전력을 제공하여야 한다.On the other hand, the sum of the weights of the plurality of weight balances 150 may be equal to the total weight of the supports 110 and the weight 20. [ In this case, when the rotational force of the first screw shaft 121 and the rotational force of the second screw shaft 141 are maintained in equilibrium and the rotational force is not provided to the first screw shaft 121 through the power supply 130, The weight 20 can be stopped by the rotation of the first ball nut 122 only when the weight 20 is lifted. When the lower end of the first ball nut 122 is positioned at the lowermost end, the upper ends of the assemblies of the plurality of weight balances 150 and the second ball nuts 142 can be positioned at the uppermost position, Alternatively, a stopper may be formed in the middle of the first screw shaft 121 or the second screw shaft 141 so as to prevent a shock to the ceiling. The sum of the weights of the plurality of weight balances 150 may be different from the total weight of the supports 110 and the weight 20. In this case, The rotational force of the first screw shaft 121 must be supplied to the first shaft 130.

동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 구조물(10)의 외부에 위치할 수 있다. 구동력전달부(160)는 연결된 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141) 간에 서로의 구동력을 효과적으로 전달하기 위해 면 접촉을 하여야 하고, 동력제공부(130)도 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시키기 위해 면 접촉이 일어나게 된다. 이에 따라 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)에서 면 접촉에 의한 파티클이 비교적 많이 발생하게 되므로 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 청정을 유지하여야 하는 구조물(10)의 내부가 아닌 구조물(10)의 외부에 위치할 수 있다. 이때, 복수의 구동력전달부(160)는 모두 구조물(10)의 외부에 위치할 수 있다.The power providing part 130 and the driving force transmitting part 160 may be located outside the structure 10. The driving force transmission unit 160 must be in surface contact with the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 to effectively transmit driving force between the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141, 121 to rotate. Accordingly, since the particles generated by the surface contact between the power supplier 130 and the driving force transmitting unit 160 are relatively large, the power supplier 130 and the driving force transmitting unit 160 are required to maintain the cleanliness of the structure 10, And may be located outside the structure 10, not inside the structure 10. At this time, all of the plurality of driving force transmitting portions 160 may be located outside the structure 10.

구동력전달부(160)는 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)의 상단에 각각 결합되며, 서로 맞물리는 한 쌍의 회전운동체(161)를 포함할 수 있고, 제1 스크류 샤프트(121)는 지지대(110) 또는 중량물(20)의 하중에 의해 회전하며, 제2 스크류 샤프트(141)는 웨이트 밸런스(150)의 하중에 의해 제1 스크류 샤프트(121)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전할 수 있다. 제1 스크류 샤프트(121)는 지지대(110) 또는 중량물(20)의 하중에 의한 제1 볼 너트(122)의 하강에 의하여 오른쪽 및 왼쪽 중 어느 한 방향으로 회전할 수 있으며, 제2 스크류 샤프트(141)는 웨이트 밸런스(150)의 하중에 의한 제2 볼 너트(142)의 하강에 의하여 제1 스크류 샤프트(121)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전할 수 있다. 회전운동체(161)는 기어(Gear)일 수 있고, 기어가 서로 맞물려 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141) 간의 회전력이 서로 전달될 수 있다. 그리고 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)가 동일한 방향으로 회전하면 두 회전운동체(161)의 접촉면에서 서로 반대되는 힘이 작용하게 되고, 서로의 회전력이 상쇄될 수 있으며, 중력에 의해서 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)가 동일한 방향으로 회전하였다면 지지대(110) 또는 중량물(20)의 중량과 웨이트 밸런스(150)의 중량이 평형을 유지할 수 있게 된다.The driving force transmitting portion 160 may include a pair of rotating bodies 161 that are coupled to the upper ends of the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 and are engaged with each other, The second screw shaft 141 is rotated in the same direction as the rotation direction of the first screw shaft 121 by the load of the weight balance 150. The second screw shaft 141 is rotated by the load of the support base 110 or the heavy object 20, . The first screw shaft 121 can rotate in either the right or left direction due to the lowering of the first ball nut 122 due to the load of the support member 110 or the heavy object 20, 141 can rotate in the same direction as the rotation direction of the first screw shaft 121 due to the lowering of the second ball nut 142 due to the load of the weight balance 150. The rotary movement body 161 may be a gear and the gears may be meshed with each other so that rotational forces between the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 may be transmitted to each other. When the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 rotate in the same direction, opposing forces act on the contact surfaces of the two rotary motors 161, so that the rotational forces of the first and second screw shafts 121, When the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 are rotated in the same direction by the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141, the weight of the support member 110 or the weight member 20 and the weight balance 150 can be maintained in equilibrium.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 승강장치의 연결부재를 포함하는 구동력전달부를 나타낸 단면도로, 도 2(a)는 연결부재로 연결기어를 사용한 그림이고, 도 2(b)는 연결부재로 연결벨트를 사용한 그림이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a driving force transmitting portion including a connecting member of a landing gear according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 (a) It is a picture using a belt.

도 2를 참조하면, 구동력전달부(160)는 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)의 상단에 각각 결합되는 한 쌍의 회전운동체(161); 및 한 쌍의 회전운동체(161)를 연결시켜 한 쌍의 회전운동체(161)의 구동력이 서로 전달되게 하는 연결부재(162)를 포함할 수 있고, 제1 스크류 샤프트(121)는 지지대(110) 또는 중량물(20)의 하중에 의해 회전하며, 제2 스크류 샤프트(141)는 웨이트 밸런스(150)의 하중에 의해 제1 스크류 샤프트(121)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전할 수 있다. 제1 스크류 샤프트(121)는 지지대(110) 또는 중량물(20)의 하중에 의한 제1 볼 너트(122)의 하강에 의하여 오른쪽 및 왼쪽 중 어느 한 방향으로 회전할 수 있으며, 제2 스크류 샤프트(141)는 웨이트 밸런스(150)의 하중에 의한 제2 볼 너트(142)의 하강에 의하여 제1 스크류 샤프트(121)의 회전 방향과 반대 방향으로 회전할 수 있다. 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)가 다른 방향으로 회전하면 두 회전운동체(161)를 연결하는 연결부재(162)에 서로 반대 방향의 회전력이 제공됨으로써 연결부재(162)에서 서로의 회전력이 상쇄되게 되고, 중력에 의해서 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)가 다른 방향으로 회전하였다면 지지대(110) 또는 중량물(20)의 중량과 웨이트 밸런스(150)의 중량이 평형을 유지할 수 있게 된다. 회전운동체(161)는 기어 또는 풀리(Pulley)일 수 있으며, 회전운동체(161)가 기어일 경우에 도 2(a)와 같이 연결부재(162)로 서로 맞물려 구동력을 전달할 수 있는 연결기어(162a)를 사용할 수 있고, 회전운동체(161)가 풀리일 경우에 연결부재(162)는 도 2(b)와 같이 한 쌍의 풀리에 의해 순환하는 연결벨트(162b)일 수 있는데, 이에 특별히 한정되지 않는다. 한편, 연결부재(162)로 복수의 연결기어(162a)를 사용할 수도 있는데, 연결기어(162a)의 수가 짝수이면 중력에 의한 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)의 회전 방향이 같아야 하고, 연결기어(162a)의 수가 홀수이면 중력에 의한 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)의 회전 방향이 달라야 한다. 그리고 연결벨트(162b)를‘8’자로 교차시켜 두 회전운동체(161)를 연결할 수도 있는데, 이 경우 중력에 의한 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141)의 회전 방향이 같아야 한다.2, the driving force transmitting portion 160 includes a pair of rotary bodies 161 coupled to the upper ends of the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141, respectively; And a connecting member 162 connecting the pair of rotary motors 161 to each other to allow the driving force of the pair of rotary motors 161 to be transmitted to each other. The first screw shaft 121 includes a support base 110, The second screw shaft 141 rotates in a direction opposite to the rotation direction of the first screw shaft 121 due to the load of the weight balance 150. [ The first screw shaft 121 can rotate in either the right or left direction due to the lowering of the first ball nut 122 due to the load of the support member 110 or the heavy object 20, 141 can rotate in a direction opposite to the rotating direction of the first screw shaft 121 by the fall of the second ball nut 142 due to the load of the weight balance 150. [ When the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 are rotated in different directions, a rotational force in the opposite direction is provided to the connecting member 162 connecting the two rotary motors 161, If the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 rotate in different directions due to the gravity force, the weight of the support member 110 or the weight member 20 and the weight balance 150 The weight can be maintained in equilibrium. The rotating body 161 may be a gear or a pulley. When the rotating body 161 is a gear, the rotating body 161 may be connected to the connecting gear 162a And the connecting member 162 may be a connecting belt 162b circulated by a pair of pulleys as shown in FIG. 2 (b) when the rotating body 161 is a pulley. Do not. If the number of the connecting gears 162a is an even number, the rotation direction of the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 due to gravity And if the number of the connecting gears 162a is an odd number, the direction of rotation of the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 due to gravity must be different. In this case, the direction of rotation of the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 due to gravity must be the same as each other. .

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 챔버에 설치된 승강장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a lift device installed in a vacuum chamber according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 상기 구조물은 진공 챔버(10)일 수 있고, 진공 챔버(10)의 내부에서 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 하단이 지지되고, 진공 챔버(10)의 내벽 및 바닥에서 이격되는 지지 프레임(171); 및 지지 프레임(171)의 하부에 연결되어 지지 프레임(171)을 받쳐주는 프레임 받침대(172)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the structure may be a vacuum chamber 10, and a plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 141 are supported in the vacuum chamber 10 A support frame 171 spaced from the inner wall and bottom of the vacuum chamber 10; And a frame support 172 connected to a lower portion of the support frame 171 to support the support frame 171.

지지 프레임(171)은 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)가 안정적이게 수직으로 세워질 수 있도록 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 하단이 지지될 수 있다. 지지 프레임(171)은 진공 챔버(10)의 내부에 제공될 수 있고, 진공 챔버(10)의 내벽 및 바닥에서 이격될 수 있다. 진공 챔버(10)는 가공이 용이하도록 알루미늄 합금 등으로 제작되는 얄루미늄 합금은 강도가 약하여 작은 압력으로도 쉽게 변형될 수 있기 때문에 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)를 바로 진공 챔버(10)의 내벽 또는 바닥에 지지되도록 할 수 없고, 지지 프레임(171)도 진공 챔버(10)에 압력을 가하지 않도록 진공 챔버(10)의 내벽 및 바닥에서 이격되어야 한다. 이에 본 발명에서는 지지 프레임(171)을 사용하여 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)를 안정적으로 지지할 수 있고, 진공 챔버(10)에 압력을 가하지 않으면서 진공 챔버(10)의 내벽 및 바닥에서 이격시킬 수 있다. 그리고 지지 프레임(171)은 중심부에 기판의 가공을 위한 관통홀이 형성될 수도 있고, 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)를 안정적으로 지지할 수 있도록 강도가 높은 재료로 형성될 수도 있다.The support frame 171 includes a plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 121 so that the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 can stably stand vertically, 141 can be supported. The support frame 171 may be provided inside the vacuum chamber 10 and may be spaced from the inner wall and the bottom of the vacuum chamber 10. Since the yalluminous alloy, which is made of an aluminum alloy or the like, is easily deformed even with a small pressure due to its weak strength so that the vacuum chamber 10 can be easily machined, a plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 141 can not be directly supported on the inner wall or bottom of the vacuum chamber 10 and the support frame 171 must be spaced from the inner wall and the bottom of the vacuum chamber 10 so as not to apply pressure to the vacuum chamber 10. Therefore, in the present invention, the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 can be stably supported by using the support frame 171, and without applying pressure to the vacuum chamber 10 Can be separated from the inner wall and the bottom of the vacuum chamber 10. The supporting frame 171 may have a through hole for machining the substrate at its center and may have a strength enough to stably support the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 Or may be formed of a high material.

프레임 받침대(172)는 지지 프레임(171)의 하부에 연결되어 지지 프레임(171)을 받쳐주는 역할을 하며, 지지 프레임(171)의 각 모서리에 막대 모양의 다리가 복수개 형성될 수도 있고, 지지 프레임(171)의 형상이 높이 방향으로 연장될 수도 있다.The frame support 172 is connected to a lower portion of the support frame 171 to support the support frame 171. A plurality of bar-like legs may be formed at each corner of the support frame 171, (171) may extend in the height direction.

그리고 프레임 받침대(172)의 하단부는 진공 챔버(10)의 외부 바닥에 지지될 수 있고, 이에 따라 프레임 받침대(172)는 지지 프레임(171)으로부터 받는 압력을 진공 챔버(10)와 독립적으로 지탱할 수 있다. 프레임 받침대(172)도 진공 챔버(10)에 압력을 가하지 않도록 진공 챔버(10)에 지지될 수 없고, 진공 챔버(10)와 독립적으로 지지 프레임(171)으로부터 받는 압력을 지탱하여야 한다. 이로 인해 프레임 받침대(172)의 하단은 진공 챔버(10)의 외부로 돌출되어 외부 바닥에 지지될 수 있고, 지지 프레임(171)으로부터 받는 압력을 모두 지탱할 수 있도록 강도가 높은 재료로 형성될 수 있다. 여기서, 외부 바닥은 지면일 수도 있고, 지면에 형성된 구조물일 수도 있는데, 프레임 받침대(172)의 하단부가 안정적으로 지지될 수 있는 바닥면이면 족하다. 한편, 진공 챔버(10)의 바닥면이 프레임 받침대(172)에 결속되어 진공 챔버(10)가 프레임 받침대(172)에 지지되도록 할 수도 있다. 이와 같이 지지 프레임(171)과 프레임 받침대(172)를 이용하여 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)가 진공 챔버(10)와는 독립적으로 지지되면 진공 챔버(10)에 압력을 가하지 않아 진공 챔버(10)의 변형을 방지할 수 있다.The lower end of the frame support 172 can be supported on the outer bottom of the vacuum chamber 10 so that the frame support 172 can support the pressure received from the support frame 171 independently of the vacuum chamber 10. [ have. The frame support 172 can not be supported in the vacuum chamber 10 so as not to apply pressure to the vacuum chamber 10 and should bear the pressure received from the support frame 171 independently of the vacuum chamber 10. The lower end of the frame pedestal 172 may protrude out of the vacuum chamber 10 and be supported on the outer floor and may be formed of a material having a high strength so as to sustain the pressure received from the support frame 171 . Here, the outer bottom may be a ground surface, or may be a structure formed on the ground surface. If the bottom end of the frame pedestal 172 can be stably supported, it is sufficient. On the other hand, the bottom surface of the vacuum chamber 10 may be bound to the frame pedestal 172 so that the vacuum chamber 10 is supported by the frame pedestal 172. When the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 are independently supported by the vacuum chamber 10 by using the support frame 171 and the frame pedestal 172, So that deformation of the vacuum chamber 10 can be prevented.

동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 진공 챔버(10)의 외부에 위치할 수 있다. 구동력전달부(160)는 연결된 제1 스크류 샤프트(121)와 제2 스크류 샤프트(141) 간에 서로의 구동력을 효과적으로 전달하기 위해 면 접촉을 하여야 하고, 동력제공부(130)도 제1 스크류 샤프트(121)를 회전시키기 위해 면 접촉이 일어나게 된다. 이에 따라 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)에서 면 접촉에 의한 파티클이 비교적 많이 발생하게 되므로 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 청정을 유지하여야 하는 진공 챔버(10)의 내부가 아닌 진공 챔버(10)의 외부에 위치할 수 있다.The power providing portion 130 and the driving force transmitting portion 160 may be located outside the vacuum chamber 10. The driving force transmission unit 160 must be in surface contact with the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141 to effectively transmit driving force between the first screw shaft 121 and the second screw shaft 141, 121 to rotate. Since the particles generated by the surface contact between the power providing part 130 and the driving force transmitting part 160 are relatively increased, the power providing part 130 and the driving force transmitting part 160 are provided in the vacuum chamber 10 (Not shown) of the vacuum chamber 10.

복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 상단은 진공 챔버(10)의 외부로 돌출되어 복수의 구동력전달부(160)에 의해 연결될 수 있는데, 복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140)는 진공 챔버(10)의 내부에서 지지 프레임(171)에 지지되고, 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 상단이 진공 챔버(10)의 외부로 돌출되어 복수의 구동력전달부(160)에 의해 연결될 수 있다. 복수의 구동력전달부(160)가 진공 챔버(10)의 외부에 위치하기 위해서는 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)가 노출되어야 하는데, 진공 챔버(10)의 내부에서 중량물(20, 예를 들어 기판)을 승강시키기 위해서는 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)가 전부 노출되어서는 안 되고 일부만 노출되어야 하기 때문에 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 상단만을 진공 챔버(10)의 외부로 돌출시킨다. 이렇게 진공 챔버(10)의 외부로 돌출된 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 상단은 복수의 구동력전달부(160)에 의해 연결될 수 있다.The upper ends of the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 may be protruded to the outside of the vacuum chamber 10 and connected by a plurality of driving force transmitting portions 160, The ball screw 120 and the plurality of second ball screws 140 are supported by the support frame 171 inside the vacuum chamber 10 and are supported by a plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 141 may protrude to the outside of the vacuum chamber 10 and may be connected by a plurality of driving force transmitting portions 160. A plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 141 must be exposed in order for the plurality of driving force transmitting portions 160 to be located outside the vacuum chamber 10. In order to position the plurality of driving force transmitting portions 160 outside the vacuum chamber 10, Since a plurality of first screw shafts 121 and a plurality of second screw shafts 141 should not be entirely exposed but only a part of them must be exposed in order to raise and lower the heavy objects 20 Only the upper ends of the screw shaft 121 and the plurality of second screw shafts 141 are protruded to the outside of the vacuum chamber 10. The plurality of first screw shafts 121 protruded to the outside of the vacuum chamber 10 and the upper ends of the plurality of second screw shafts 141 may be connected by a plurality of driving force transmitting portions 160.

한편, 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 상단을 외부로 돌출시키기 위해서는 진공 챔버(10)의 상부면에 관통구멍을 형성하여야 하고, 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)로 상기 관통구멍을 어느 정도 가린다하여도 복수의 제1 스크류 샤프트(121)와 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 회전을 위한 틈이 발생하게 되므로 진공 챔버(10)의 진공이 파괴된다. 이에 따라 진공 챔버(10)의 진공을 유지할 수 있는 수단이 필요한데, 피드 스루(Feed-Through)를 상기 관통구멍에 설치하여 상기 틈이 생기지 않도록 할 수도 있다. 상기 피드 스루는 진공 챔버(10) 또는 고압 챔버 내부의 압력을 유지하면서 챔버(10) 내부에 설치된 기기에 외부에서 동력 또는 전력을 공급하는 역할을 하도록 챔버(10)의 벽에 형성된 관통구멍에 설치되는 장치인데, 상기 피드 스루를 통해 진공 챔버(10)의 진공이 파괴되지 않고 진공을 유지할 수 있다.In order to project the upper ends of the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 to the outside, a through hole should be formed in the upper surface of the vacuum chamber 10, Even if the through holes are shielded to some extent by the shaft 121 and the plurality of second screw shafts 141, gaps for rotation of the plurality of first screw shafts 121 and the plurality of second screw shafts 141 are generated The vacuum of the vacuum chamber 10 is destroyed. Accordingly, a means for maintaining the vacuum of the vacuum chamber 10 is required. A feed-through may be provided in the through-hole to prevent the gap from being generated. The feedthrough is installed in a through hole formed in a wall of the chamber 10 to externally supply power or electric power to the vacuum chamber 10 or an apparatus installed inside the chamber 10 while maintaining a pressure inside the high pressure chamber Through which the vacuum of the vacuum chamber 10 can be maintained without breaking the vacuum.

상기 승강장치는 진공 챔버(10)의 외부에 제공되고, 구동력전달부(160)를 수용하는 차폐부(180)를 더 포함할 수 있다. 차폐부(180)는 진공 챔버(10)의 외부에서 구동력전달부(160)를 수용하여 구동력전달부(160)로부터 발생되는 파티클이 외부로 비산하지 않도록 차폐 공간을 제공하는데, 구동력전달부(160)의 수에 따라 복수로 구성될 수 있으며, 차폐부(180)가 진공 챔버(10)의 외부에 설치되어 구동력전달부(160)를 수용해 상기 승강장치의 구동에 의해 구동력전달부(160)에서 발생되는 파티클을 차폐부(180)의 내부 공간에 차폐할 수 있다.The lift device may further include a shielding portion 180 provided outside the vacuum chamber 10 and receiving the driving force transmitting portion 160. The shielding portion 180 receives the driving force transmitting portion 160 from the outside of the vacuum chamber 10 and provides a shielding space so that the particles generated from the driving force transmitting portion 160 do not scatter to the outside. And the shielding portion 180 is installed outside the vacuum chamber 10 to receive the driving force transmitting portion 160 and to drive the driving force transmitting portion 160 by driving the lifting device The generated particles can be shielded in the inner space of the shielding portion 180. [

그리고 차폐부(180)는 배기 덕트와 연결될 수 있다. 이러한 경우 차폐부(180)에 연결된 상기 배기 덕트를 통해 차폐부(180)의 내부 공간에 모여진 파티클을 배출시킬 수도 있다. 이에 진공 챔버(10)가 위치하는 크린 부스 또는 크린룸에 파티클이 비산되는 것을 방지하여 크린 부스 또는 크린룸의 청정도도 유지할 수 있다. 상기 배기 덕트는 별도의 배기 덕트를 사용할 수도 있고, 진공 챔버(10)의 배기 덕트를 사용할 수도 있으며, 진공 챔버(10)가 위치하는 크린 부스 또는 크린룸의 배기 덕트를 사용할 수도 있다. 한편, 차폐부(180)는 구동력전달부(160)가 위치하는 진공 챔버(10)의 상부에 진공 챔버(10)의 상부면과 밀착되도록 설치될 수 있다. 그리고 차폐부(180)에는 구동력전달부(160)만 수용될 수도 있고, 구동력전달부(160) 및 동력제공부(130)의 일부만 수용될 수도 있으며, 구동력전달부(160)와 동력제공부(130)가 모두 수용될 수도 있다. 또한, 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 상기 승강장치의 구동시 면 접촉으로 인해 모두 파티클이 발생되기 때문에 동력제공부(130)와 구동력전달부(160)는 모두 차폐부(180)에 위치할 수 있다.And the shield 180 may be connected to the exhaust duct. In this case, particles collected in the inner space of the shielding part 180 may be discharged through the exhaust duct connected to the shielding part 180. Accordingly, particles can be prevented from scattering in the clean booth or the clean room where the vacuum chamber 10 is located, and cleanliness of the clean booth or the clean room can be maintained. The exhaust duct may be a separate exhaust duct, an exhaust duct of the vacuum chamber 10, or an exhaust duct of a clean booth or a clean room where the vacuum chamber 10 is located. The shielding portion 180 may be installed on the upper surface of the vacuum chamber 10 in which the driving force transmitting portion 160 is located so as to be in close contact with the upper surface of the vacuum chamber 10. Only the driving force transmitting portion 160 may be accommodated in the shielding portion 180 and only a portion of the driving force transmitting portion 160 and the power providing portion 130 may be accommodated. The driving force transmitting portion 160 and the power providing portion 130 may be all accommodated. Particles are generated due to surface contact of the power supplier 130 and the driving force transmitting unit 160 when the lifting device is driven so that both the power supplier 130 and the driving force transmitting unit 160 are shielded by the shield 180 ). &Lt; / RTI >

복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140)는 적어도 승강시 마찰이 일어나는 부분이 스테인레스 스틸 및 알루미늄 중에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 복합 재료로 형성될 수 있다. 강철, 구리, 합성수지 등으로 볼 스크류를 포함하는 승강수단을 형성하면 마찰로 인해 파티클이 발생할 뿐만 아니라 탈기체(Out Gassing)가 발생하여 진공을 어렵게 하기 때문에 진공 챔버(10)와 같이 진공을 유지하여야 하는 곳에서는 사용할 수 없게 된다. 종래에 웨이트 밸런스의 적용을 위해 사용되던 로프나 체인은 장력을 유지하여야 하기 때문에 강도가 다소 약한 스테인레스 스틸 및 알루미늄으로는 형성할 수 없었지만, 본 발명에서는 볼 스크류를 사용하기 때문에 스테인레스 스틸 및 알루미늄으로 승강수단인 복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140)를 형성할 수 있고, 이에 진공 챔버(10) 내에서 탈기체를 방지할 수 있다. 한편, 복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140)는 전체가 스테인레스 스틸 및 알루미늄 중에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 복합 재료로 형성될 수도 있고, 일부만 스테인레스 스틸 및 알루미늄 중에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 복합 재료로 형성될 수도 있는데, 마찰로 인해 파티클과 탈기체가 발생할 수 있는 승강시 마찰이 일어나는 부분은 적어도 스테인레스 스틸 및 알루미늄 중에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 복합 재료로 형성될 수 있다.The plurality of first ball screws 120 and the plurality of second ball screws 140 may be formed of at least one selected from stainless steel and aluminum, or a composite material thereof, at which friction occurs at the time of ascending and descending. When the elevating means including a ball screw is formed of steel, copper, synthetic resin or the like, particles are generated due to friction and outgassing is generated to make the vacuum difficult. Therefore, it is necessary to maintain a vacuum like the vacuum chamber 10 You can not use it. Conventionally, the rope or chain used for applying the weight balance can not be formed of stainless steel or aluminum having a somewhat weak strength because the tension must be maintained. However, since the ball screw is used in the present invention, A plurality of first ball screws 120 and a plurality of second ball screws 140 may be formed in the vacuum chamber 10 to prevent degassing in the vacuum chamber 10. On the other hand, the plurality of first ball screws 120 and the plurality of second ball screws 140 may be formed entirely of stainless steel or aluminum, or a composite material thereof, and some of them may be selected from stainless steel and aluminum The portion where the friction occurs at the time of lifting where particles and degassing may occur due to friction may be formed of at least one selected from stainless steel and aluminum or a composite material thereof .

그리고 복수의 제1 볼 스크류(120) 또는 복수의 제2 볼 스크류(140)는 하드 코팅될 수 있는데, 적어도 승강시 마찰이 일어나는 부분이 하드 코팅될 수 있다. 복수의 제1 볼 스크류(120) 또는 복수의 제2 볼 스크류(140)에 크롬(Cr) 등으로 하드 코팅하게 되면 파티클과 탈기체를 방지할 수 있고, 강철, 구리 등의 금속물질 및 합성수지를 포함하여 여러 종류의 형성 재료를 사용할 수 있다. 그리고 강철로 형성된 복수의 제1 볼 스크류(120) 또는 복수의 제2 볼 스크류(140)에 하드 코팅하게 되면, 스테인레스 스틸 및 알루미늄이 강도가 다소 약하여 오래 사용할 수 없었던 문제를 해결할 수 있다. 이러한 경우, 파티클과 탈기체를 방지할 수 있으면서도 복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140)를 장시간 사용할 수 있다. 한편, 종래에 웨이트 밸런스의 적용을 위해 사용되던 로프나 체인은 여러 가닥을 서로 엮거나 여러 부품을 서로 연결하여야 하기 때문에 크롬 등으로 하드 코팅하기가 쉽지 않았지만, 본 발명에서는 볼 스크류를 사용하기 때문에 쉽게 하드 코팅할 수 있다. 그리고 복수의 제1 볼 스크류(120) 또는 복수의 제2 볼 스크류(140)는 전체가 하드 코팅될 수도 있고, 일부만 하드 코팅될 수도 있는데, 마찰로 인해 파티클과 탈기체가 발생할 수 있는 승강시 마찰이 일어나는 부분은 적어도 하드 코팅될 수 있다.The plurality of first ball screws 120 or the plurality of second ball screws 140 may be hard coated, and at least portions where friction occurs during the elevation may be hard coated. When the plurality of first ball screws 120 or the plurality of second ball screws 140 are hard coated with chromium or the like, particles and degassing bodies can be prevented, and metal materials such as steel and copper and synthetic resin Various types of forming materials can be used, including. When the plurality of first ball screws 120 or the plurality of second ball screws 140 formed of steel are hard coated, the problem that stainless steel and aluminum can not be used for a long time due to weak strength is solved. In this case, the plurality of first ball screws 120 and the plurality of second ball screws 140 can be used for a long time while preventing particles and degassing bodies. On the other hand, in the conventional rope or chain used for applying the weight balance, it is not easy to hard coat the rope or the chain with chrome or the like because several strands are woven together or a plurality of parts are connected to each other. However, It can be hard coated. The plurality of first ball screws 120 or the plurality of second ball screws 140 may be entirely hard coated or only a part of the first and second ball screws 120 may be hard coated. The area where this occurs can at least be hard coated.

한편, 중량물(20)은 대면적 기판일 수 있다. 최근 들어, 대면적 디스플레이가 요구됨에 따라 진공 챔버(10) 내에서 대면적 기판을 승강시키거나 크린 부스 또는 크린룸에서 대면적 디스플레이 모듈 또는 장치를 승강시키는 것이 이를 제작하는데 있어서 필수적이며, 이에 크린룸, 크린 부스 및 진공 챔버 등의 청정 환경에서 웨이트 밸런스를 적용할 수 있는 기술이 요구되고 있다. 종래에 웨이트 밸런스의 적용을 위해 사용되던 로프나 체인은 선 접촉으로 많은 파티클이 발생하여 상기와 같은 청정 환경에서는 사용할 수 없는데, 이에 반하여 본 발명에 따른 승강장치는 볼 스크류를 이용해 웨이트 밸런스를 적용함으로써 대면적 기판, 대면적 디스플레이 모듈 및 장치 등의 중량이 큰 중량물을 작은 힘으로도 쉽게 승강시킬 수 있으면서도 파티클의 발생을 효과적으로 줄일 수 있다. 이에 본 발명에 따른 승강장치를 사용하면, 크린룸, 크린 부스 및 진공 챔버 등의 청정 환경에서도 웨이트 밸런스를 적용할 수 있다.On the other hand, the heavy object 20 may be a large area substrate. In recent years, as a large-area display is required, it is indispensable to elevate a large-area substrate in the vacuum chamber 10 or to raise and lower a large-area display module or a device in a clean booth or a clean room. There is a demand for a technique capable of applying a weight balance in a clean environment such as a booth and a vacuum chamber. Conventionally, ropes and chains used for applying a weight balance have a lot of particles due to line contact and can not be used in the clean environment. On the other hand, according to the present invention, the weight balance is applied by using a ball screw, It is possible to easily lift a heavy heavy object such as an area substrate, a large-area display module and an apparatus with a small force, and to effectively reduce the generation of particles. By using the lift device according to the present invention, the weight balance can be applied even in a clean environment such as a clean room, a clean booth, and a vacuum chamber.

그리고 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)는 구조물(10)의 외부에 위치할 수 있다. 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)가 구조물(10)의 외부(예를 들어, 상부)에 위치할 경우에 구조물(10) 또는 챔버(10)의 크기를 축소시킬 수 있고, 이에 따라 진공 구조물(10) 또는 진공 챔버(10)의 제작 단가를 절감할 수 있다. 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)는 구조물(10)의 측부에 위치할 수도 있고, 구조물(10)의 상부에 위치할 수도 있는데, 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)가 구조물(10)의 상부에 위치하면, 구조물(10)의 접근성이 용이하도록 할 수 있고, 공간 활용도를 향상시킬 수 있다. 여기서, 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)를 구조물(10) 특히 진공 챔버(10)의 상부에 위치시키기 위해서는 진공 챔버(10)에 압력을 가하지 않고 진공 챔버(10)의 변형을 방지할 수 있도록 별도의 제2 지지 프레임을 사용할 수 있는데, 복수의 제2 스크류 샤프트(141)가 안정적이게 수직으로 세워질 수 있도록 복수의 제2 스크류 샤프트(141)의 하단을 상기 제2 지지 프레임에 지지시킬 수 있다. 반면에, 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)가 구조물(10)의 측부에 위치하면, 구조물(10)의 접근성과 공간 활용도가 저하되지만, 복수의 제2 스크류 샤프트(141)를 간단하게 외부 바닥에 지지되도록 할 수 있다.The plurality of second ball screws 140 and the weight balance 150 may be located outside the structure 10. The size of the structure 10 or the chamber 10 can be reduced when a plurality of the second ball screws 140 and the weight balance 150 are located outside (for example, at the top) of the structure 10 The cost of fabricating the vacuum structure 10 or the vacuum chamber 10 can be reduced. The plurality of second ball screws 140 and the weight balance 150 may be located on the side of the structure 10 or on the top of the structure 10, When the weight balance 150 is positioned on the upper side of the structure 10, the structure 10 can be easily accessed and space utilization can be improved. Here, in order to position the plurality of second ball screws 140 and the weight balance 150 on the upper portion of the structure 10, particularly the vacuum chamber 10, the pressure of the vacuum chamber 10 A second support frame may be used to prevent deformation of the second screw shaft 141. The lower end of the plurality of second screw shafts 141 may be fixed to the second support shaft 142 so that the plurality of second screw shafts 141 can be stably and vertically erected. And can be supported on the frame. On the other hand, if the plurality of second ball screws 140 and the weight balance 150 are located on the side of the structure 10, the accessibility and the space utilization of the structure 10 are reduced, but the plurality of second screw shafts 141 Can be simply supported on the outer floor.

복수의 제2 볼 스크류(140)는 구동력전달부(160)에 의해 복수의 제1 볼 스크류(120)와 연결될 수 있다. 이때, 구동력전달부(160)도 구조물(10)의 외부에 위치할 수 있다. 이러한 경우에도 복수의 제1 볼 스크류(120)와 복수의 제2 볼 스크류(140) 모두가 구조물(10)의 내부에 있을 때와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 한편, 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)가 구조물(10)의 측부에 위치하는 경우에는 제1 스크류 샤프트(121) 또는 제2 스크류 샤프트(141)과 구조물(10)의 측벽 간의 거리에 따라 구동력전달부(160)의 폭이 늘어날 수도 있다.The plurality of second ball screws 140 may be connected to the plurality of first ball screws 120 by the driving force transmitting portion 160. At this time, the driving force transmitting portion 160 may also be located outside the structure 10. Even in this case, the same effect as when both the plurality of first ball screws 120 and the plurality of second ball screws 140 are inside the structure 10 can be obtained. When the plurality of second ball screws 140 and weight balance 150 are positioned on the side of the structure 10, the first screw shaft 121 or the second screw shaft 141 and the structure 10 The width of the driving force transmitting portion 160 may be increased according to the distance between the side walls.

이와 같이, 복수의 제2 볼 스크류(140) 및 웨이트 밸런스(150)가 구조물(10)의 외부에 위치하고, 복수의 제2 볼 스크류(140)가 구동력전달부(160)에 의해 복수의 제1 볼 스크류(120)와 연결되면, 중량이 큰 중량물을 작은 힘으로도 쉽게 승강시킬 수 있을 뿐만 아니라 파티클의 발생을 효과적으로 줄일 수 있으면서 구조물(10) 또는 챔버(10)의 크기를 축소시킴으로써 진공 구조물(10) 또는 진공 챔버(10)의 제작 단가를 절감할 수도 있다.As described above, the plurality of second ball screws 140 and the weight balance 150 are located outside the structure 10, and the plurality of second ball screws 140 are supported by the driving force transmitting portion 160, When the ball screw 120 is connected to the ball screw 120, the heavy weight can be easily lifted and lowered with a small force as well as the generation of particles can be effectively reduced and the size of the structure 10 or the chamber 10 can be reduced, 10 or the production cost of the vacuum chamber 10 can be reduced.

따라서, 웨이트 밸런스(150)는 적용 환경에 따라 구조물(10) 또는 챔버(10)의 내·외부에 설치가 가능하며, 볼 스크류(Ball Screw)를 이용한 웨이트 밸런스(Weight Balance) 적용으로 기구 구성의 단순화를 가져올 수 있다. 이에 대형 진공 챔버 내부 구동부의 용량을 감소시킬 수 있고, 진공 챔버의 공간적 확보와 진공도의 유지 및 확보를 할 수 있으며, 진공 챔버의 내부 청정도 유지를 통한 제품 신뢰성을 확보할 수 있다.Therefore, the weight balance 150 can be installed on the inside or outside of the structure 10 or the chamber 10 depending on the application environment, and the weight balance can be applied using a ball screw, Simplification can be achieved. Accordingly, the capacity of the driving unit in the large vacuum chamber can be reduced, the space of the vacuum chamber can be ensured, the degree of vacuum can be maintained and secured, and the reliability of the product can be ensured through maintenance of the internal cleanliness of the vacuum chamber.

이처럼, 본 발명에 따른 승강장치는 선 접촉으로 많은 파티클이 발생하는 로프나 체인 대신에 점 접촉으로 파티클 발생이 거의 없는 볼 스크류를 승강수단으로 사용하여 웨이트 밸런스를 적용함으로써, 마찰 부분이 점 접촉하는 볼 스크류로 인해 승강시 마찰로 발생되는 파티클을 효과적으로 줄일 수 있다. 이에 청정 환경뿐만 아니라 진공 챔버 내부에서도 웨이트 밸런스를 적용할 수 있다. 그리고 볼 스크류에서 마찰이 일어나는 부분을 알루미늄 또는 스테인레스 스틸로 형성하거나 크롬 등으로 하드 코팅하여 마찰로 인한 탈기체를 방지할 수도 있다. 또한, 진공 챔버와는 독립적으로 형성된 지지 프레임에 복수의 제1 볼 스크류 및 복수의 제2 볼 스크류를 지지하여 진공 챔버의 변형을 방지할 수 있고, 복수의 제1 볼 스크류 및 복수의 제2 볼 스크류의 상단이 진공 챔버의 외부로 돌출되는 부분을 외부 챔버로 감싸 진공 챔버 내부의 진공도를 유지할 수 있다. 그리고 하나의 동력원을 분기하여 복수의 제1 볼 스크류를 회전시킴으로 복수의 제1 볼 스크류를 간단하게 동기화시킬 수도 있다. 한편, 복수의 제2 볼 스크류 및 웨이트 밸런스를 구조물의 외부에 위치시키고 구동력전달부로 복수의 제2 볼 스크류를 복수의 제1 볼 스크류와 연결시킴으로써, 구조물 또는 챔버의 크기를 축소시킬 수 있고, 이에 따라 진공 구조물 또는 진공 챔버의 제작 단가를 절감할 수도 있다.As described above, the lift device according to the present invention uses a ball screw, which has little particle generation due to point contact, as a lifting means instead of a rope or a chain in which many particles are generated by line contact, Due to the screw, it is possible to effectively reduce the particles generated by the friction when lifting and descending. Therefore, the weight balance can be applied not only in a clean environment but also in a vacuum chamber. In addition, the portion where the friction occurs in the ball screw may be formed of aluminum or stainless steel or may be hard coated with chrome or the like to prevent degassing due to friction. Further, it is possible to prevent deformation of the vacuum chamber by supporting the plurality of first ball screws and the plurality of second ball screws in the support frame formed independently of the vacuum chamber, and the plurality of first ball screws and the plurality of second balls A portion of the upper end of the screw projecting to the outside of the vacuum chamber can be surrounded by the outer chamber to maintain the degree of vacuum inside the vacuum chamber. The plurality of first ball screws can be simply synchronized by branching one power source to rotate the plurality of first ball screws. Meanwhile, by arranging the plurality of second ball screws and weight balance on the outside of the structure and connecting the plurality of second ball screws to the plurality of first ball screws by the driving force transmitting portion, the size of the structure or chamber can be reduced, The manufacturing cost of the vacuum structure or the vacuum chamber can be reduced.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limited to the embodiments set forth herein. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments may be possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be defined by the following claims.

10 : 구조물 또는 진공 챔버 20 : 중량물
110 : 지지대 120 : 제1 볼 스크류
121 : 제1 스크류 샤프트 122 : 제1 볼 너트
130 : 동력제공부 131 : 동력원
140 : 제2 볼 스크류 141 : 제2 스크류 샤프트
142 : 제2 볼 너트 150 : 웨이트 밸런스
160 : 구동력전달부 161 : 회전운동체
162 : 연결부재 162a : 연결기어
162b : 연결벨트 171 : 지지 프레임
172 : 프레임 받침대 180 : 차폐부10: structure or vacuum chamber 20: weight
110: support 120: first ball screw
121: first screw shaft 122: first ball nut
130: Power supplier 131: Power source
140: second ball screw 141: second screw shaft
142: second ball nut 150: weight balance
160: driving force transmitting portion 161:
162: connecting member 162a: connecting gear
162b: connection belt 171: support frame
172: frame support 180: shielding part

Claims

A support for supporting a weight provided inside the structure surrounding the inner space in which the atmosphere is controlled;
A plurality of first ball screws including a first screw shaft and a first ball nut and connected to the support to raise and lower the support;
A power distributor connected to an upper end of the first screw shaft to rotate the first screw shaft;
A plurality of second ball screws including a second screw shaft and a second ball nut, and disposed corresponding to the plurality of first ball screws;
A weight balance connected to the second ball nut to provide rotational force to the second screw shaft; And
And a driving force transmitting portion connecting the first screw shaft and the second screw shaft to transmit driving force to each other.

The method according to claim 1,
Wherein the power supply and the driving force transmitting portion are located outside the structure.

The method according to claim 1,
Wherein the driving force transmitting portion includes a pair of rotating bodies coupled to upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft,
The first screw shaft is rotated by the load of the support member or the heavy object,
And the second screw shaft rotates in the same direction as the rotating direction of the first screw shaft due to the load of the weight balance.

The method according to claim 1,
The driving force transmitting portion includes a pair of rotating bodies respectively coupled to upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft; And
And a connecting member connecting the pair of rotating bodies to transmit the driving forces of the pair of rotating bodies to each other,
The first screw shaft is rotated by the load of the support member or the heavy object,
And the second screw shaft rotates in a direction opposite to a rotating direction of the first screw shaft by a load of the weight balance.

The method according to claim 1,
The structure is a vacuum chamber,
A support frame supported within the vacuum chamber with a plurality of first screw shafts and a plurality of second screw shafts, the support frame being spaced apart from an inner wall and a bottom of the vacuum chamber; And
And a frame pedestal connected to a lower portion of the support frame to support the support frame.

The method of claim 5,
And a lower end of the frame pedestal is supported on an outer bottom of the vacuum chamber.

The method of claim 5,
And the upper ends of the first screw shaft and the second screw shaft are protruded to the outside of the vacuum chamber and connected by the driving force transmitting portion.

The method of claim 7,
And a shielding portion provided outside the vacuum chamber, the shielding portion receiving the driving force transmitting portion,
And the shield is connected to the exhaust duct.

The method according to claim 1,
Wherein the power providing unit uses one power source and branches the power provided by the power source to synchronize the rotation of the plurality of first screw shafts.

The method of claim 9,
And the power source is located at the top center of the structure.

The method according to claim 1,
And the weight balance moves in a direction opposite to the support base.

The method according to claim 1,
Wherein the plurality of first ball screws or the plurality of second ball screws are hard coated.

The method according to claim 1,
Wherein the plurality of second ball screws and the weight balance are located outside the structure,
Wherein the plurality of second ball screws are connected to the plurality of first ball screws by the driving force transmitting portion.