KR20160123435A

KR20160123435A - Mask assembly and deposit apparatus having the same

Info

Publication number: KR20160123435A
Application number: KR1020150053137A
Authority: KR
Inventors: 한정원
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2015-04-15
Filing date: 2015-04-15
Publication date: 2016-10-26
Also published as: KR102354385B1

Abstract

The present invention discloses a mask assembly and a deposition apparatus. The mask assembly includes: a mask frame; a plurality of masks installed to be sealed in the mask frame in the longitudinal direction; a support unit disposed between the plurality of adjacent masks to be installed in the mask frame, and supporting each of the masks; a moving unit installed in the support unit to be linearly moved, and to which side surfaces of each of the adjacent masks are fixed; and a location adjusting unit installed in the support unit and connected to the moving unit to move the moving unit.

Description

[0001] MASK ASSEMBLY AND MOLDING APPARATUS HAVING THE SAME [0002]

본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to an apparatus, and more particularly to a mask assembly and a deposition apparatus including the same.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. In addition to small electronic devices such as mobile phones, tablet PCs are widely used as mobile electronic devices.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.The portable electronic device includes a display unit for providing the user with visual information such as an image or an image in order to support various functions. In recent years, as the size of other parts for driving the display unit has been reduced, the weight of the display unit in the electronic apparatus has been gradually increasing, and a structure capable of bending to have a predetermined angle in a flat state has been developed.

이러한 표시부를 제조하기 위하여는 다양한 장치들이 필요하다. 특히 표시부의 다양한 층을 형성하기 위하여 마스크를 사용할 수 있다. 이때, 이러한 마스크는 용도에 따라 다양한 방법으로 제작될 수 있다. 예를 들면, 마스크는 제1 기판의 크기와 거의 유사하게 제작될 수 있다. 또한, 마스크는 제1 기판의 크기보다 작게 제작되어 복수개 구비되어 서로 인접하도록 배열될 수 있다. Various devices are needed to manufacture such a display. In particular, a mask can be used to form the various layers of the display. At this time, such a mask can be manufactured by various methods depending on the use. For example, the mask may be fabricated to be substantially similar to the size of the first substrate. Further, the masks may be fabricated to be smaller than the size of the first substrate, and may be arranged so as to be adjacent to each other.

본 발명의 실시예들은 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착 장치를 제공한다. Embodiments of the present invention provide a mask assembly and a deposition apparatus including the same.

본 발명의 일 실시예는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크와, 서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부와, 상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a mask frame comprising a mask frame, a plurality of masks provided in a state of being stretched in the longitudinal direction of the mask frame, and a plurality of masks disposed between the plurality of masks adjacent to each other, A movable part provided on the supporting part to linearly move on the supporting part and fixed to the sides of the respective masks adjacent to each other, and a movable part provided on the supporting part and connected to the movable part to move the movable part A mask assembly is provided that includes an adjustable portion.

본 실시예에 있어서, 상기 위치조절부는 복수개 구비되며, 상기 복수개의 위치조절부는 상기 이동부의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. In the present embodiment, a plurality of the position adjusting portions may be provided, and the plurality of position adjusting portions may be disposed to be spaced apart from each other in the longitudinal direction of the moving portion.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 길이 방향으로 곡선을 형성할 수 있다. In the present embodiment, the moving unit may form a curve in the longitudinal direction.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 길이 방향으로 직선을 형성할 수 있다. In this embodiment, the moving unit may form a straight line in the longitudinal direction.

본 실시예에 있어서, 상기 이동부는 복수개를 구비하며, 상기 복수개의 이동부 및 상기 복수개의 위치조절부는 각각 서로 이격되도록 배치되어, 상기 각 이동부 및 상기 각 위치조절부는 서로 연결될 수 있다. In the present embodiment, the moving unit includes a plurality of moving units and the plurality of position adjusting units are spaced apart from each other, and the moving units and the respective position adjusting units can be connected to each other.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 이동부는 곡선을 형성하도록 배열될 수 있다. In the present embodiment, the plurality of moving parts may be arranged to form a curve.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 이동부는 직선을 형성하도록 배열될 수 있다. In this embodiment, the plurality of moving parts may be arranged to form a straight line.

본 실시예에 있어서, 상기 위치조절부는, 상기 지지부 및 상기 이동부에 회전 가능하도록 설치되는 회전부와, 상기 지지부 및 상기 이동부 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되며, 상기 회전부가 삽입되는 고정부를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the position adjustment unit may include a rotation unit installed to be rotatable to the support unit and the movement unit, and a fixing unit installed to be fixed to at least one of the support unit and the movement unit, can do.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크는 상기 이동부에 용접을 통하여 고정될 수 있다. In this embodiment, the mask can be fixed to the moving part through welding.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부는, 상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the support portion may include a guide portion for guiding the movement of the moving portion.

본 발명의 다른 실시예는, 제1 기판에 대향하도록 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체가 안착되는 안착부와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 상기 마스크 조립체로 증착 물질을 분사하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임에 길이 방향으로 인장된 상태로 설치되는 복수개의 마스크와, 서로 인접하는 상기 복수개의 마스크 사이에 배치되어 상기 마스크 프레임에 설치되며, 상기 각 마스크를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 서로 인접하는 상기 각 마스크의 측면이 고정되는 이동부와, 상기 지지부에 설치되고, 상기 이동부에 연결되어 상기 이동부를 운동시키는 위치조절부를 포함하는 증착 장치를 제공할 수 있다. Another embodiment of the present invention is directed to a lithographic apparatus comprising a mask assembly disposed to face a first substrate, a seating portion on which the mask assembly is seated, and an evaporation source arranged to face the mask assembly, Wherein the mask assembly comprises a mask frame, a plurality of masks provided in a state of being stretched in the longitudinal direction in the mask frame, a plurality of masks disposed between the plurality of masks adjacent to each other, A movable part provided on the supporting part to linearly move on the supporting part and fixed to the sides of the respective masks adjacent to each other, and a movable part provided on the supporting part and connected to the movable part to move the movable part It is possible to provide a deposition apparatus including a control section.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features, and advantages will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be implemented by using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, and computer programs.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체 및 이를 포함하는 증착장치는 마스크 사이의 간격을 일정하게 유지시킴으로써 정밀한 표시 장치의 제조가 가능하다. The mask assembly and the deposition apparatus including the same according to the embodiments of the present invention can manufacture a precise display device by keeping the interval between the masks constant.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이동부, 지지부 및 위치조절부를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 증착 장치를 보여주는 개념도이다.
도 5은 도 4에 도시된 증착 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 단면도이다. 1 is a perspective view of a mask assembly according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in Fig.
FIG. 3 is a plan view showing the moving part, the supporting part and the position adjusting part shown in FIG. 1. FIG.
4 is a conceptual view showing a deposition apparatus using the mask assembly shown in FIG.
5 is a cross-sectional view showing a display device manufactured through the deposition apparatus shown in FIG.
6 is a plan view showing a portion of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
Figure 7 is a cross-sectional view showing a portion of the mask assembly shown in Figure 6;

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding components throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, the terms first, second, and the like are used for the purpose of distinguishing one element from another element, not the limitative meaning.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as inclusive or possessive are intended to mean that a feature, or element, described in the specification is present, and does not preclude the possibility that one or more other features or elements may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part of a film, an area, a component or the like is on or on another part, not only the case where the part is directly on the other part but also another film, area, And the like.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of explanation. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, the y-axis, and the z-axis are not limited to three axes on the orthogonal coordinate system, but can be interpreted in a broad sense including the three axes. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.If certain embodiments are otherwise feasible, the particular process sequence may be performed differently from the sequence described. For example, two processes that are described in succession may be performed substantially concurrently, and may be performed in the reverse order of the order described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 사시도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 이동부, 지지부 및 위치조절부를 보여주는 평면도이다. 1 is a perspective view of a mask assembly according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in Fig. FIG. 3 is a plan view showing the moving part, the supporting part and the position adjusting part shown in FIG. 1. FIG.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 마스크 조립체(100)는 마스크 프레임(110), 마스크(120), 지지부(130), 이동부(140) 및 위치조절부(150)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 3, the mask assembly 100 may include a mask frame 110, a mask 120, a support 130, a moving part 140, and a position adjusting part 150.

마스크 프레임(110)은 다양한 형태로 형성되어 마스크(120)를 고정시킬 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(110)은 사각형 형태로 형성될 수 있으며, 중앙 부분은 개구되도록 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 프레임(110)은 원형 형태로 형성될 수 있으며, 중앙 부분이 개구되도록 형성될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(110)의 형태는 상기에 한정되는 것은 아니며, 중앙 부분이 개구되도록 형성되는 모든 형태를 포함할 수 있다. The mask frame 110 may be formed in various shapes to fix the mask 120. For example, the mask frame 110 may be formed in a rectangular shape, and the center portion may be formed to be open. In another embodiment, the mask frame 110 may be formed in a circular shape, and the center portion may be formed to be open. At this time, the shape of the mask frame 110 is not limited to the above, and may include any shape formed so that the center portion is opened.

마스크(120)는 슬릿 형태로 형성될 수 있다. 이때, 마스크(120)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 마스크(120)는 서로 일정 간격 이격된 상태로 배열될 수 있다. 각 마스크(120)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이때, 각 마스크(120)는 길이 방향으로 인장된 상태로 마스크 프레임(110)에 고정될 수 있다. 이러한 경우 마스크(120)는 길이 방향으로 늘어남으로써 마스크(120)의 측면의 중앙 부분은 오목하게 들어갈 수 있다. 특히 마스크(120)의 양 측면은 곡선을 형성할 수 있다. The mask 120 may be formed in a slit shape. At this time, a plurality of masks 120 may be provided, and a plurality of masks 120 may be arranged at a predetermined distance from each other. Each of the masks 120 may be fixed to the mask frame 110 through welding. At this time, each of the masks 120 may be fixed to the mask frame 110 while being stretched in the longitudinal direction. In this case, the mask 120 is stretched in the longitudinal direction so that the central portion of the side surface of the mask 120 can be concave. In particular, both sides of the mask 120 can form a curve.

상기와 같은 마스크(120)에는 제1 기판(미도시)에 증착 물질을 도포하도록 일정 영역(S)이 형성될 수 있다. 이러한 영역(S)은 적어도 한 개 이상의 개구부(미표기)가 형성됨으로써 증착 물질이 통과할 수 있다. 또한, 이러한 영역(S)은 증착 물질이 도포되는 상기 제1 기판의 영역과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. A predetermined region S may be formed in the mask 120 to apply a deposition material to a first substrate (not shown). At least one or more openings (unrepresented portions) are formed in the region S so that the deposition material can pass through. Also, this region S may be formed to be the same as or similar to the region of the first substrate to which the deposition material is applied.

복수개의 마스크(120)는 서로 인접하도록 배치되는 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)는 서로 동일 또는 유사하게 형성될 수 있으며, 상기에서 설명한 바와 같이 슬릿 형태로 형성되어 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)는 마스크 프레임(110)에 서로 교번하도록 배치되어 마스크 프레임(110)에 고정될 수 있다. The plurality of masks 120 may include a first mask 121 and a second mask 122 arranged to be adjacent to each other. At this time, the first mask 121 and the second mask 122 may be formed to be the same or similar to each other, and may be formed in a slit shape as described above and disposed adjacent to each other. The first mask 121 and the second mask 122 may be alternately disposed on the mask frame 110 to be fixed to the mask frame 110.

마스크(120)를 길이 방향으로 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 마스크(120)가 변형됨으로써 마스크(120)에 형성된 영역(S)의 형태가 초기와 상이해질 수 있다. 특히 마스크(120)에 형성된 영역(S)의 형태가 초기와 상이해지는 경우 마스크(120)에 형성된 영역(S)이 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역과 상이해짐으로써 증착 물질이 정확한 위치에 증착되지 못할 수 있다. 구체적으로 마스크(120)에 형성된 영역(S)은 마스크(120)의 변형과 같이 측면 부분이 오목하게 변함으로써 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역의 측면 부분에 증착 물질이 도포되지 않을 수 있다. 또한, 상기 제1 기판에 증착되어야 할 영역의 중심 부분으로부터 측면 부분으로 갈수록 증착 물질이 증착되는 위치가 변화는 현상이 발생할 수 있다. 이러한 경우 증착 물질이 정확한 위치에 증착되지 않음으로써 특정 부위에서 색이 구현되지 않거나 표시 장치(미도시)에서 구현되는 이미지 자체가 선명하지 못하는 문제가 발생할 수 있다. When the mask 120 is stretched in the longitudinal direction and fixed to the mask frame 110, the shape of the region S formed in the mask 120 may be different from the initial shape due to deformation of the mask 120. [ In particular, when the shape of the region S formed in the mask 120 is different from the initial shape, the region S formed in the mask 120 is different from the region to be deposited on the first substrate, It may not be possible. Specifically, the region S formed in the mask 120 may not be coated with the deposition material on the side portion of the region to be deposited on the first substrate, since the side portion is concaved like the deformation of the mask 120. In addition, a position where the deposition material is deposited may change from the central portion to the side portion of the region to be deposited on the first substrate. In this case, the evaporation material is not deposited at the correct position, so that the color is not realized at a specific site or the image itself implemented in the display device (not shown) is not clear.

뿐만 아니라 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 상기와 같이 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 상기 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 길이 방향을 따라 중심으로부터 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 양끝단으로 갈수록 커질 수 있다. 이러한 경우 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 길이 방향으로 볼 때, 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 중앙 부분으로부터 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 양끝단으로 갈수록 제1 마스크(121)에 의하여 상기 제1 기판에 증착되는 증착물질과 제2 마스크(122)에 의하여 상기 제1 기판에 증착되는 증착물질 사이의 거리가 좁아질 수 있다. 따라서 상기 제1 기판 상에 증착되는 증착물질 사이의 거리는 상기 제1 기판 전체에서 상이해질 수 있다. When the first mask 121 and the second mask 122 are fixed to the mask frame 110 as described above, the distance between the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 is 1 mask 121 and the second mask 122 from the center along the longitudinal direction toward both ends of the first mask 121 and the second mask 122. [ In this case, the first mask 121 and the second mask 122 may be formed from the central portion of the first mask 121 and the second mask 122, as viewed in the longitudinal direction of the first mask 121 and the second mask 122, The distance between the deposition material deposited on the first substrate 121 by the first mask 121 and the deposition material deposited on the first substrate 122 by the second mask 122 may become narrower toward both ends of the substrate 122 . Accordingly, the distance between the deposition materials deposited on the first substrate may be different over the entire first substrate.

한편, 지지부(130)는 서로 인접하는 마스크(120) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 지지부(130)는 복수개 구비될 수 있으며, 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 구체적으로 복수개의 지지부(130)는 서로 인접하는 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이에 배치되는 제1 지지부(131)와, 서로 인접하는 제2 마스크(122)와 제1 마스크(121) 사이에 배치되는 제2 지지부(132)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 지지부(131)와 제2 지지부(132)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(131)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Meanwhile, the supports 130 may be disposed between adjacent masks 120. At this time, a plurality of support portions 130 may be provided, and the support portions 130 may be spaced apart from each other. The plurality of supports 130 may include a first support 131 disposed between the first and second masks 121 and 122 adjacent to each other, And a second support portion 132 disposed between the first support portion 121 and the second support portion 121. Here, the first support portion 131 and the second support portion 132 are formed to be the same or similar to each other. Therefore, the first support portion 131 will be described in detail below for convenience of explanation.

제1 지지부(131)는 이동부(140)가 이동하도록 공간이 형성되는 제1 지지바디부(131a)와, 제1 지지바디부(131a)와 연결되어 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)가 각각 안착되는 제1 마스크안착부(131b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 마스크안착부(131b)와 제1 지지바디부(131a)는 절곡되도록 연결될 수 있다. 또한, 제1 마스크안착부(131b)는 서로 대향하도록 한쌍이 구비될 수 있다. The first supporting part 131 includes a first supporting body part 131a formed with a space for moving the moving part 140 and a second supporting body part 131b connected to the first supporting body part 131a, And a first mask receiving part 131b on which the first mask receiving part 122 is mounted. At this time, the first mask seating part 131b and the first supporting body part 131a may be connected so as to be bent. Further, the first mask receiving portions 131b may be provided with a pair so as to face each other.

제1 지지부(131)는 제1 지지바디부(131a)에 형성되어 이동부(140)의 운동 시 이동부(140)를 가이드하는 제1 가이드부(131c)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가이드부(131c)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 가이드부(131c)는 제1 지지바디부(131a)의 저면으로부터 인입되도록 형성되는 홈을 구비할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 가이드부(131c)는 제1 지지바디부(131a)의 저면으로부터 돌출되도록 형성되는 돌기를 구비할 수 있다. 이때, 돌기는 하나가 형성되어 이동부(140)에 일부가 삽입될 수 있으며, 한쌍으로 형성되어 한쌍의 돌기 사이에 이동부(140)의 일부가 삽입되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 가이드부(131c)가 홈을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first support part 131 may include a first guide part 131c formed on the first supporting body part 131a and guiding the moving part 140 when the moving part 140 moves. At this time, the first guide portion 131c may be formed in various shapes. For example, the first guide portion 131c may have a groove formed to be pulled out from the bottom surface of the first supporting body portion 131a. In another embodiment, the first guide portion 131c may have a protrusion protruding from the bottom surface of the first supporting body portion 131a. At this time, one protrusion may be formed and a part of the protrusion may be inserted into the moving part 140, and a part of the moving part 140 may be inserted between the pair of protrusions. Hereinafter, for convenience of explanation, the first guide portion 131c will be described in detail with reference to a case having a groove.

이동부(140)는 제1 지지바디부(131a) 내부에 삽입되어 선형 운동할 수 있다. 이때, 이동부(140)는 바 형태로 형성될 수 있다. 또한, 이동부(140)는 각 마스크(120)에 개별적으로 연결될 수 있다. 예를 들면, 이동부(140)는 제1 마스크(121)가 고정되는 제1 이동부(141)와, 제2 마스크(122)가 고정되는 제2 이동부(142)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142)는 서로 이격되도록 배치될 수 있으며, 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142) 사이의 거리는 조절될 수 있다. The moving part 140 can be inserted into the first supporting body part 131a and linearly moved. At this time, the moving part 140 may be formed in a bar shape. Also, the moving part 140 may be individually connected to each of the masks 120. For example, the moving part 140 may include a first moving part 141 to which the first mask 121 is fixed, and a second moving part 142 to which the second mask 122 is fixed. At this time, the first moving part 141 and the second moving part 142 may be spaced apart from each other, and the distance between the first moving part 141 and the second moving part 142 may be adjusted.

이동부(140)는 제2 지지부(132)에 운동 가능하도록 설치되는 제3 이동부(143)와 제4 이동부(144)를 포함할 수 있다. 이때, 제3 이동부(143)와 제4 이동부(144)는 각각 제2 이동부(142)와 제1 이동부(141)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 이동부(141)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The moving part 140 may include a third moving part 143 and a fourth moving part 144 which are movably mounted on the second supporting part 132. Here, the third moving part 143 and the fourth moving part 144 are the same as or similar to the second moving part 142 and the first moving part 141, respectively, and thus the detailed description thereof will be omitted. Since the first to fourth moving parts 141 to 144 are the same or similar to each other, the first moving part 141 will be described in detail below for convenience of explanation.

제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 다양한 방법을 통하여 결합할 수 있다. 예를 들면, 제1 이동부(141) 또는 제1 마스크(121) 중 하나에 돌기가 형성되고, 제1 이동부(141)와 제2 마스크(122) 중 다른 하나에 삽입홈이 형성되어 돌기가 삽입홈에 삽입됨으로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)가 결합할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 용접을 통하여 결합할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 볼트, 나사 등과 같은 결합부재를 통하여 결합되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 이동부(141)와 제1 마스크(121)는 용접을 통하여 결합하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first moving part 141 and the first mask 121 can be coupled through various methods. For example, protrusions are formed in one of the first moving part 141 or the first mask 121, and an insertion groove is formed in the other of the first moving part 141 and the second mask 122, The first moving part 141 and the first mask 121 can be engaged with each other. As another embodiment, the first moving part 141 and the first mask 121 can be coupled through welding. In another embodiment, the first moving part 141 and the first mask 121 may be coupled through a coupling member such as a bolt, a screw, or the like. Hereinafter, for convenience of explanation, the first moving unit 141 and the first mask 121 are coupled through welding.

제1 이동부(141)는 곡선 또는 직선으로 형성될 수 있다. 구체적으로 도 3의 (c)와 같이 제1 이동부(141)는 곡선 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제1 이동부(141)의 곡선의 곡률반경은 제1 마스크(121)를 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정시키는 경우 제1 마스크(121)의 측면이 형성하는 곡선의 곡률반경과 동일 또는 유사할 수 있다. 다른 실시예로써 도 3의 (a)와 같이 제1 이동부(141)는 직선 형태로 형성될 수 있다. The first moving part 141 may be formed as a curved line or a straight line. Specifically, as shown in FIG. 3C, the first moving unit 141 may be formed in a curved shape. The radius of curvature of the curved line of the first moving part 141 is equal to the radius of curvature of the curve formed by the side surface of the first mask 121 when the first mask 121 is pulled and fixed to the mask frame 110 Or similar. As another embodiment, the first moving part 141 may be formed in a linear shape as shown in FIG. 3A.

위치조절부(150)는 지지부(130)에 설치될 수 있다. 위치조절부(150)는 제1 이동부(141)와 연결되는 제1 위치조절부(151), 제2 이동부(142)와 연결되는 제2 위치조절부(152), 제3 이동부(143)와 연결되는 제3 위치조절부(153) 및 제4 이동부(144)와 연결되는 제4 위치조절부(154)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151) 내지 제4 위치조절부(154)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The position adjustment unit 150 may be installed in the support unit 130. The position adjusting unit 150 includes a first position adjusting unit 151 connected to the first moving unit 141, a second position adjusting unit 152 connected to the second moving unit 142, And a fourth position adjusting unit 154 connected to the third position adjusting unit 153 and the fourth moving unit 144, Here, since the first to fourth position adjusting units 151 to 154 are formed to be the same or similar to each other, a detailed description thereof will be omitted.

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131)에 설치될 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)는 제1 이동부(141)와 연결되어 제1 이동부(141)를 운동시킬 수 있다. 특히 제1 위치조절부(151)는 제1 이동부(141)를 선형 운동시킬 수 있다. The first position adjusting part 151 may be installed on the first supporting part 131. At this time, the first position adjusting part 151 may be connected to the first moving part 141 to move the first moving part 141. In particular, the first position adjuster 151 can linearly move the first moving part 141. [

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131)에 회전 가능하도록 설치되는 제1 회전부(151a)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 회전부(151a)는 볼 스크류 형태로 형성되어 제1 지지부(131)의 측면을 관통하도록 설치되어 제1 이동부(141)에 일부가 삽입될 수 있다. The first position adjustment unit 151 may include a first rotation unit 151a that is rotatably mounted on the first support unit 131. The first rotation part 151a may be formed in the form of a ball screw so as to penetrate the side surface of the first support part 131 and be partially inserted into the first movement part 141. [

제1 위치조절부(151)는 제1 지지부(131) 및 제1 이동부(141) 중 적어도 하나에 고정되도록 설치되는 제1 고정부(151b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 고정부(151b)는 제1 회전부(151a)의 회전이 완료된 후 제1 회전부(151a)의 위치를 고정시킬 수 있다.The first position adjusting part 151 may include a first fixing part 151b fixed to at least one of the first supporting part 131 and the first moving part 141. At this time, the first fixing part 151b can fix the position of the first rotation part 151a after the rotation of the first rotation part 151a is completed.

상기와 같은 제1 고정부(151b)는 다양한 위치에 설치될 수 있다. 예를 들면, 제1 고정부(151b)는 제1 지지부(131)에만 고정되도록 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 고정부(151b)는 제1 이동부(141)에만 고정되도록 설치될 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 고정부(151b)는 제1 지지부(131)와 제1 이동부(141)에 고정되도록 설치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 고정부(151b)가 제1 지지부(131)에만 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first fixing part 151b may be installed at various positions. For example, the first fixing part 151b may be fixed to the first supporting part 131 only. As another embodiment, the first fixing part 151b may be fixed to only the first moving part 141. [ In another embodiment, the first fixing part 151b may be fixed to the first supporting part 131 and the first moving part 141. Hereinafter, the first fixing part 151b is provided only on the first supporting part 131 for convenience of explanation.

제1 위치조절부(151)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 위치조절부(151)는 제1 마스크(121)의 길이 방향을 따라 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다. A plurality of first position adjustment parts 151 may be provided. At this time, the plurality of first position adjusting portions 151 may be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the first mask 121.

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(100)를 제조하는 방법을 살펴보면, 마스크 프레임(110)을 제조하여 준비한 후 마스크 프레임(110)에 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 인장하여 각각 마스크 프레임(110)에 고정시킬 수 있다. 이때, 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정시킬 수 있다. A method of manufacturing the mask assembly 100 as described above includes preparing and preparing a mask frame 110 and then applying a first mask 121 and a second mask 122 to the mask frame 110, And can be fixed to the mask frame 110. At this time, the first mask 121 and the second mask 122 may be fixed to the mask frame 110 by welding.

제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이 및 제2 마스크(122)와 제1 마스크(121) 사이에 각각 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)를 설치할 수 있다. 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)는 끝단을 마스크 프레임(110)에 고정시킬 수 있다. 이때, 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)는 마스크 프레임(110)에 용접을 통하여 고정시키거나 나사, 볼트 등과 같은 별도의 결합부재를 통하여 고정시키는 것도 가능하다. A first support 131 and a second support 132 may be provided between the first mask 121 and the second mask 122 and between the second mask 122 and the first mask 121, respectively. The first supporting part 131 and the second supporting part 132 may fix the end of the first supporting part 131 and the second supporting part 132 to the mask frame 110. At this time, the first support portion 131 and the second support portion 132 may be fixed to the mask frame 110 by welding or may be fixed by a separate joint member such as a screw, a bolt, or the like.

상기와 같은 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에는 각각 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)가 각각 설치된 상태일 수 있다. 또한, 제1 위치조절부(151) 내지 제4 위치조절부(154)로 각각 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에 설치된 상태일 수 있다. 특히 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 미리 도 3의 (a)와 같이 곡선 형태로 형성되어 제1 지지부(131) 내지 제2 지지부(132)에 각각 설치될 수 있다. 이러한 경우 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)의 곡률 반경은 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률반경과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)가 마스크 프레임(110)에 설치되면 별도로 구비된 카메라 등과 같은 비젼부(미도시)를 통하여 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률 반경을 측정할 수 있다. 이후 측정된 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 곡률 반경을 근거로 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)의 곡률반경을 결정하고 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)를 제조할 수 있다. 상기와 같이 제조된 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)는 각각 제1 지지부(131)의 제1 가이드부(131c)와 제2 지지부(132)의 제2 가이드부(132c)에 각각 설치될 수 있다. 또한, 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)가 상기와 같이 설치되는 경우 제1 지지부(131)의 내측으로부터 제1 이동부(141) 까지의 제1 회전부(151a) 거리는 제1 이동부(141)의 길이 방향을 따라 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 지지부(131)의 내측으로부터 제1 이동부(141) 까지의 제1 회전부(151a) 거리는 제1 이동부(141)의 중심 부분에서 가장 짧고, 제1 이동부(141)의 중심으로부터 끝단으로 갈수록 점점 커질 수 있다. 이때, 제2 회전부(미표기) 내지 제4 회전부(미표기)도 제1 회전부(151a)와 유사하게 배치될 수 있다. The first supporting part 131 and the second supporting part 132 may be provided with a first moving part 141 to a fourth moving part 144, respectively. In addition, the first to fourth position adjusting portions 151 to 154 may be installed on the first and second supporting portions 131 and 132, respectively. The first moving part 141 to the fourth moving part 144 may be formed in a curved shape as shown in FIG. 3 (a) and may be installed in the first supporting part 131 to the second supporting part 132, respectively . In this case, the radius of curvature of the first to fourth moving parts 141 to 144 may be the same or similar to the radius of curvature of the first and second masks 121 and 122. Specifically, when the first mask 121 and the second mask 122 are installed on the mask frame 110, the first mask 121 and the second mask 122 (not shown) ) Can be measured. The radius of curvature of the first moving part 141 to the fourth moving part 144 is determined based on the measured radius of curvature of the first mask 121 and the second mask 122 and the radius of curvature of the first moving part 141, To the fourth moving part 144 can be manufactured. The first moving part 141 to the fourth moving part 144 manufactured as described above can be moved in the first and second guide parts 131c and 132c of the first supporting part 131 and the second supporting part 132, Respectively. When the first to fourth moving parts 141 to 144 are installed as described above, the distance of the first rotating part 151a from the inside of the first supporting part 131 to the first moving part 141 is 1 moving part 141 in the longitudinal direction. The distance of the first rotating portion 151a from the inside of the first supporting portion 131 to the first moving portion 141 is the shortest in the center portion of the first moving portion 141 and the distance between the first moving portion 141 and the first moving portion 141, The distance from the center to the end can be gradually increased. At this time, the second rotating unit (untouched) to the fourth rotating unit (untrolled) may be arranged similarly to the first rotating unit 151a.

상기와 같이 제1 이동부(141) 내제 제4 이동부(144)가 배치된 후 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 조절하여 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 제1 마스크(121)의 길이 방향에 대해서 일정하게 조절할 수 있다. After the fourth moving part 144 is disposed within the first moving part 141 as described above, the first rotating part 151a to the fourth rotating part are adjusted to move the side of the first mask 121 and the side of the second mask 122 ) Can be adjusted to be constant with respect to the longitudinal direction of the first mask 121. [

구체적으로 별도로 마련된 비젼부(240)에서 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 인지하면서 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 회전시킴으로써 제1 이동부(141) 내지 제4 이동부(144)를 이동시켜 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 가변시킬 수 있다. The first rotation part 151a to the fourth rotation part may be rotated by recognizing the distance between the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 in the separately provided vision part 240, The distance between the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 can be constantly changed by moving the fourth to fourth moving parts 144 to 144. [

상기와 같이 제1 회전부(151a) 상기 내지 제4 회전부를 회전시키는 경우 제1 고정부(151b) 내지 제4 고정부(미표기)는 제1 지지부(131) 및 제2 지지부(132)에서 고정되어 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부가 회전하여 선형 운동 할 때 운동 방향의 반대방향으로 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부가 밀리는 것을 방지할 수 있다. The first to fourth fixing portions 151b to the unfixed portion are fixed to the first and second supporting portions 131 and 132 when the first to fourth rotation portions are rotated, It is possible to prevent the first rotating part 151a to the fourth rotating part from being pushed in the direction opposite to the moving direction when the first rotating part 151a to the fourth rotating part rotate and linearly move.

상기와 같이 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)가 움직이는 경우 제1 이동부(141)와 제2 이동부(142)는 거의 직선을 형성할 수 있다. 따라서 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면은 도 3의 (b)와 같이 직선을 형성할 수 있으며, 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리는 일정해질 수 있다. As described above, when the first moving part 141 and the second moving part 142 move, the first moving part 141 and the second moving part 142 can form a substantially straight line. Therefore, the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 can form a straight line as shown in FIG. 3 (b), and the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 The distance between the sides can be constant.

도 3의 (c)와 같이 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)가 직선으로 형성되는 경우 제1 회전부(151a) 내지 상기 제4 회전부를 회전시킬 때, 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 곡선으로 형상이 가변할 수 있다. 이때, 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 중앙부분이 다른 부분보다 돌출되록 형성될 수 있으며, 특히 제1 이동부(141) 및 제2 이동부(142)는 활과 같이 휘어질 수 있다. When the first moving part 141 and the second moving part 142 are formed in a straight line as shown in FIG. 3 (c), when rotating the first rotating part 151a to the fourth rotating part, the first moving part 141 and the second moving part 142 may be curved and vary in shape. In this case, the first moving part 141 and the second moving part 142 may be formed so that the central part thereof protrudes from the other part. Particularly, Can be bent together.

이러한 경우 제1 지지부(131)와 제1 이동부(141) 사이의 제1 회전부(151a)의 길이는 제1 이동부(141)의 길이 방향을 따라 제1 이동부(141)의 중심으로부터 제1 이동부(141)의 끝단으로 갈수록 짧아질 수 있다. The length of the first rotation part 151a between the first support part 131 and the first movement part 141 is longer than the length of the first movement part 141 from the center of the first movement part 141 along the longitudinal direction of the first movement part 141 1 moving part 141 as shown in FIG.

따라서 마스크 조립체(100)는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 마스크 프레임(110)에 인장하여 설치한 후 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이가 벌어지는 것을 방지할 수 있다. The mask assembly 100 is installed between the side of the first mask 121 and the side of the second mask 122 after the first mask 121 and the second mask 122 are stretched and installed in the mask frame 110. [ Can be prevented.

마스크 조립체(100)는 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 인장시키기 전의 형상과 최대한 동일하게 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 형상을 제어함으로써 상기 제1 기판에 증착 물질을 정확한 패턴으로 증착시킬 수 있다. The mask assembly 100 controls the shapes of the first mask 121 and the second mask 122 to be as close as possible to the shape before tensioning the first mask 121 and the second mask 122, The deposition material can be deposited in a precise pattern.

도 4는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 사용한 증착 장치를 보여주는 개념도이다. 도 5은 도 4에 도시된 증착 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.4 is a conceptual view showing a deposition apparatus using the mask assembly shown in FIG. 5 is a cross-sectional view showing a display device manufactured through the deposition apparatus shown in FIG.

도 4 및 도 5를 참고하면, 증착 장치(200)는 마스크 조립체(100), 챔버(210), 안착부(220), 증착원(230), 비젼부(240) 및 흡입부(250)를 포함할 수 있다. 4 and 5, the deposition apparatus 200 includes a mask assembly 100, a chamber 210, a mount 220, an evaporation source 230, a vision unit 240, and a suction unit 250 .

마스크 조립체(100)는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. Since the mask assembly 100 is the same as or similar to the one described above, a detailed description thereof will be omitted.

챔버(210)는 일부가 개구되도록 형성될 수 있으며, 개구된 부분에는 게이트밸브(210a) 등이 설치되어 개구된 부분을 개폐할 수 있다. The chamber 210 may be partially opened, and a gate valve 210a may be provided in the opened portion to open and close the opened portion.

안착부(220)는 마스크 조립체(100)가 안착할 수 있다. 이때, 안착부(220)는 승하강 가능하도록 챔버(210)에 설치될 수 있다. 또한, 안착부(220)는 마스크 조립체(100)를 일 평면 상에서 선형 운동시키는 것도 가능하다. The seating part 220 can seat the mask assembly 100. At this time, the seating part 220 can be installed in the chamber 210 so as to be able to move up and down. In addition, the seating portion 220 is also capable of linearly moving the mask assembly 100 on one plane.

증착원(230)은 증착 물질을 기화시키거나 승화시킬 수 있다. 이때, 증착원(230)은 증착 물질의 종류에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착 물질이 중간층(18b)을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The evaporation source 230 may vaporize or sublimate the deposition material. At this time, the deposition source 230 may be formed in various forms depending on the kind of the deposition material. Hereinafter, for the sake of convenience of explanation, the deposition material will be described in detail with reference to the case where the intermediate layer 18b is formed.

증착원(230)은 제1 기판(11)과 상대 운동할 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(11)이 챔버(210) 내부에서 선형 운동할 수 있으며, 증착원(230)은 고정될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 기판(11)이 고정되고 증착원(230)이 선형 운동하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 증착원(230)과 제1 기판(11) 모두 선형 운동하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The evaporation source 230 can move relative to the first substrate 11. For example, the first substrate 11 can move linearly within the chamber 210, and the evaporation source 230 can be fixed. As another embodiment, it is also possible for the first substrate 11 to be fixed and the evaporation source 230 to linearly move. As another embodiment, it is also possible for the evaporation source 230 and the first substrate 11 to perform linear motion. Hereinafter, for convenience of explanation, the first substrate 11 is linearly moved.

비젼부(240)는 마스크 조립체(100)와 제1 기판(11)의 위치를 촬영할 수 있다. 안착부(220)는 마스크 조립체(100)가 안착하며, 비젼부(240)에서 촬영된 결과를 근거로 마스크 조립체(100)의 위치를 조절할 수 있다. 이때, 비젼부(240)는 마스크 조립체(100)를 일정 범위 내에서 선형 운동시킴으로써 마스크 조립체(100)와 제1 기판(11)의 위치를 정렬할 수 있다. The vision unit 240 can photograph the position of the mask assembly 100 and the first substrate 11. The seating part 220 can seat the mask assembly 100 and adjust the position of the mask assembly 100 based on the result of the shooting at the vision part 240. At this time, the vision unit 240 aligns the positions of the mask assembly 100 and the first substrate 11 by linearly moving the mask assembly 100 within a predetermined range.

흡입부(250)는 챔버(210)와 연결되어 챔버(210) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 흡입부(250)는 챔버(210)와 연결되는 연결배관(251)과, 연결배관(251)에 설치되는 펌프(252)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(252)의 작동에 따라서 연결배관(251)을 통하여 챔버(210) 내부의 기체를 외부로 배출할 수 있다. 또한, 펌프(252)를 통하여 외부의 기체를 챔버(210) 내부로 공급하는 것도 가능하다. The suction unit 250 may be connected to the chamber 210 to adjust the pressure inside the chamber 210. For example, the suction unit 250 may include a connection pipe 251 connected to the chamber 210 and a pump 252 installed in the connection pipe 251. At this time, the gas inside the chamber 210 can be discharged to the outside through the connection pipe 251 according to the operation of the pump 252. It is also possible to supply an external gas into the chamber 210 through the pump 252.

한편, 상기와 같은 증착 장치(200)의 작동을 살펴보면, 외부로부터 제1 기판(11) 및 마스크 조립체(100)가 챔버(210) 내부로 진입한 후 증착원(230)을 통하여 제1 기판(11)에 증착물질을 증착할 수 있다. The first substrate 11 and the mask assembly 100 enter the chamber 210 from the outside and then are guided through the evaporation source 230 to the first substrate 11 11). &Lt; / RTI >

이때, 마스크 조립체(100)는 상기에서 설명한 바와 같이 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122) 사이의 거리를 조절한 상태로 설치될 수 있다. 구체적으로 제1 마스크(121)와 제2 마스크(122)를 마스크 프레임(110)에 인장하여 용접하는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면은 서로 상이한 거리를 유지할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)를 통하여 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 조절할 수 있다. 조절하는 방법은 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. At this time, the mask assembly 100 may be installed with the distance between the first mask 121 and the second mask 122 adjusted as described above. Specifically, when the first mask 121 and the second mask 122 are welded by being stretched on the mask frame 110, the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 are maintained at different distances from each other . At this time, the distance between the side of the first mask 121 and the side of the second mask 122 can be constantly controlled through the first position adjuster 151 and the second position adjuster 152. Since the method of adjusting is the same as or similar to that described above, a detailed description thereof will be omitted.

제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)는 상기에서 설명한 바와 같이 조절함으로써 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 조절할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(151)와 제2 위치조절부(152)는 마스크 조립체(100)를 챔버(210)에 제공하기 전에 조절될 수 있으며, 다른 실시예로써 챔버(210) 외부에서 조절될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 위치조절부(151) 및 제2 위치조절부(152)를 챔버(210)의 외부에서 조절하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.(도 1 내지 도 3 참고) The distance between the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 can be adjusted by adjusting the first position adjusting portion 151 and the second position adjusting portion 152 as described above. The first position adjustment unit 151 and the second position adjustment unit 152 may be adjusted before the mask assembly 100 is provided to the chamber 210. In another embodiment, . Hereinafter, the first position adjusting unit 151 and the second position adjusting unit 152 are adjusted from the outside of the chamber 210 for convenience of explanation. 3)

한편, 상기와 같이 증착물질이 증착된 표시 장치(10)를 살펴보면, 제1 기판(11) 및 발광부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(10)는 상기 발광부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 제2 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 기판은 일반적인 표시 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(10)가 박막 봉지층(E)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The display device 10 on which the evaporation material is deposited as described above may include a first substrate 11 and a light emitting portion (not shown). In addition, the display device 10 may include a thin-film encapsulating layer E or a second substrate (not shown) formed on the light-emitting portion. At this time, since the second substrate is the same as or similar to that used in a general display device, a detailed description will be omitted. Hereinafter, the display device 10 will be described in detail with reference to the case where the thin film encapsulation layer E is included for convenience of explanation.

상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(17)이 형성되며, 이 패시베이션막(17) 상에 유기 발광 소자(18)가 형성될 수 있다.The light emitting portion is provided with a thin film transistor (TFT), and a passivation film 17 is formed to cover the passivation film 17 and the organic light emitting element 18 may be formed on the passivation film 17.

제1 기판(11)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 제1 기판(11)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(11)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first substrate 11 may be made of a glass material, but not limited thereto, and may be made of a plastic material or a metal material such as SUS or Ti. The first substrate 11 may be made of polyimide (PI). Hereinafter, the first substrate 11 is formed of a glass material for convenience of explanation.

제1 기판(11)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(12)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.A buffer layer 12 made of an organic compound and / or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the first substrate 11, and SiOx (x? 1) and SiNx (x? 1) can be formed.

이 버퍼층(12) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(13)이 형성된 후, 활성층(13)이 게이트 절연층(14)에 의해 매립된다. 활성층(13)은 소스 영역(13a)과 드레인 영역(13c)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(13b)을 더 포함한다. After the active layer 13 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 12, the active layer 13 is buried by the gate insulating layer 14. The active layer 13 has a source region 13a and a drain region 13c and further includes a channel region 13b therebetween.

이러한 활성층(13)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(13)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(13)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(13)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(13)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The active layer 13 may be formed to contain various materials. For example, the active layer 13 may contain an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or crystalline silicon. As another example, the active layer 13 may contain an oxide semiconductor. As another example, the active layer 13 may contain an organic semiconductor material. Hereinafter, for convenience of explanation, the case where the active layer 13 is formed of amorphous silicon will be described in detail.

이러한 활성층(13)은 버퍼층(12) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(13)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)이 불순물에 의해 도핑된다. The active layer 13 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 12, crystallizing the amorphous silicon film to form a polycrystalline silicon film, and patterning the polycrystalline silicon film. The active layer 13 is doped with impurities in its source region 13a and drain region 13c depending on the type of TFT, such as a driving TFT (not shown) and a switching TFT (not shown).

게이트 절연층(14)의 상면에는 활성층(13)과 대응되는 게이트 전극(15)과 이를 매립하는 층간 절연층(16)이 형성된다. On the upper surface of the gate insulating layer 14, a gate electrode 15 corresponding to the active layer 13 and an interlayer insulating layer 16 for embedding the gate electrode 15 are formed.

그리고, 층간 절연층(16)과 게이트 절연층(14)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(16) 상에 소스 전극(17a) 및 드레인 전극(17b)을 각각 소스 영역(13a) 및 드레인 영역(13c)에 콘택되도록 형성한다. After the contact hole H1 is formed in the interlayer insulating layer 16 and the gate insulating layer 14, the source electrode 17a and the drain electrode 17b are formed on the interlayer insulating layer 16, respectively, 13a and the drain region 13c.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(17)이 형성되고, 이 패시베이션막(17) 상부에 유기 발광 소자(18, OLED)의 화소 전극(18a)이 형성된다. 이 화소 전극(18a)은 패시베이션막(17)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(17b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(17)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(17)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.A passivation film 17 is formed on the upper portion of the thin film transistor thus formed and a pixel electrode 18a of the organic light emitting diode 18 is formed on the passivation film 17. [ The pixel electrode 18a is contacted to the drain electrode 17b of the TFT by the via hole H2 formed in the passivation film 17. [ The passivation film 17 may be formed of an inorganic material and / or an organic material, a single layer or two or more layers. The passivation film 17 may be formed as a flattening film so that the top surface becomes flat regardless of the bending of the bottom film, As shown in Fig. The passivation film 17 is preferably formed of a transparent insulator so as to achieve a resonance effect.

패시베이션막(17) 상에 화소 전극(18a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(18a) 및 패시베이션막(17)을 덮도록 화소정의막(19)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(18a)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 18a is formed on the passivation film 17, the pixel defining film 19 is formed of an organic material and / or an inorganic material so as to cover the pixel electrode 18a and the passivation film 17, So that the electrode 18a is opened to be exposed.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(18a) 상에 중간층(18b) 및 대향 전극(18c)이 형성된다.An intermediate layer 18b and a counter electrode 18c are formed on at least the pixel electrode 18a.

화소 전극(18a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(18c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 18a functions as an anode electrode and the counter electrode 18c functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the pixel electrode 18a and the counter electrode 18c may be reversed.

화소 전극(18a)과 대향 전극(18c)은 상기 중간층(18b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(18b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 18a and the counter electrode 18c are insulated from each other by the intermediate layer 18b and voltages of different polarities are applied to the intermediate layer 18b so that light is emitted from the organic light emitting layer.

중간층(18b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(18b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 공통층(미표기)으로써 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. The intermediate layer 18b may have an organic light emitting layer. As another alternative example, the intermediate layer 18b may include an organic emission layer, and may be a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, a hole transport layer And may further include at least one of an electron transport layer and an electron injection layer.

하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있다. One unit pixel is composed of a plurality of sub-pixels, and the plurality of sub-pixels can emit light of various colors. For example, the plurality of sub-pixels may include sub-pixels emitting red, green, and blue light, respectively, and may include sub-pixels emitting red, green, blue, and white light.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the thin film encapsulation layer E may include a plurality of inorganic layers, or may include an inorganic layer and an organic layer.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The organic layer of the thin film encapsulating layer (E) may be a single film or a laminated film formed of a polymer and preferably formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene and polyacrylate. More preferably, the organic layer may be formed of polyacrylate, and specifically, a monomer composition containing a diacrylate monomer and a triacrylate monomer may be polymerized. The monomer composition may further include a monoacrylate monomer. Further, the monomer composition may further include a known photoinitiator such as TPO, but is not limited thereto.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The inorganic layer of the thin-film encapsulating layer (E) may be a single film or a laminated film containing a metal oxide or a metal nitride. Specifically, the inorganic layer may include any one of SiNx, Al2O3, SiO2, and TiO2.

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.The uppermost layer exposed to the outside of the thin film encapsulation layer (E) may be formed of an inorganic layer to prevent moisture permeation to the organic light emitting element.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다. The thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is interposed between at least two inorganic layers. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is interposed between at least two organic layers. As another example, the thin-film encapsulation layer (E) may include a sandwich structure in which at least one organic layer is interposed between at least two inorganic layers, and a sandwich structure in which at least one inorganic layer is interposed between at least two organic layers .

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. The thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting device 18 (OLED).

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting element 18 (OLED) have.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(18, OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, a third inorganic layer, and a third inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting device 18, A third organic layer, and a fourth inorganic layer.

유기 발광 소자(18, OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(18, OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.A halogenated metal layer including LiF may be further included between the organic light emitting device 18 and the first inorganic layer. The metal halide layer can prevent the organic light emitting diode 18 (OLED) from being damaged when the first inorganic layer is formed by a sputtering method.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may have a smaller area than the third inorganic layer.

상기와 같이 중간층(18b)을 형성하는 경우 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)의 형태, 위치 등에 의하여 중간층(18b)의 형성 위치가 상이해질 수 있다. 특히 상기에서 설명한 바와 같이 제1 마스크(121) 및 제2 마스크(122)를 단순히 인장하여 마스크 프레임(110)에 고정한 후 중간층(18b)을 증착하는 경우 중간층(18b)의 위치기 설계 위치와 상이해질 수 있다. 이러한 경우 중간층(18b)에서 발광이 되지 않거나 중간층(18b) 사이의 거리가 제1 기판(11)의 전면에서 상이하게 형성됨으로써 표시 장치(10)가 구현하는 이미지 전체의 해상도가 낮아지거나 이미지가 왜곡될 수 있다. When the intermediate layer 18b is formed as described above, the formation position of the intermediate layer 18b may be different depending on the shape and position of the first mask 121 and the second mask 122. [ Particularly when the intermediate layer 18b is deposited after the first mask 121 and the second mask 122 are simply stretched and fixed to the mask frame 110 as described above, . In this case, since the intermediate layer 18b does not emit light or the distance between the intermediate layers 18b is different from the front surface of the first substrate 11, the resolution of the entire image implemented by the display device 10 is lowered, .

그런 본 발명의 실시예들에 따른 증착 장치(200)를 사용하여 증착물질을 증착하는 경우 제1 마스크(121)의 측면과 제2 마스크(122)의 측면 사이의 거리를 일정하게 유지하면서 증착물질의 증착이 가능함으로써 제1 기판(11) 전면에서 중간층(18b) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있으며, 설계된 위치에 정확하게 증ㅊ가하는 것이 가능하다. When the deposition material is deposited using the deposition apparatus 200 according to the embodiments of the present invention, the distance between the side surface of the first mask 121 and the side surface of the second mask 122 is kept constant, The distance between the front surface of the first substrate 11 and the intermediate layer 18b can be maintained constant, and it is possible to accurately increase the distance to the designed position.

따라서 증착 장치(200)는 증착물질을 설계된 위치에 정확하게 증착함으로써 표시 장치(10)의 제조 시 표시 장치(10)의 불량율을 낮출 수 있다. Accordingly, the deposition apparatus 200 can deposit the deposition material precisely at the designed position, thereby reducing the defective rate of the display apparatus 10 in manufacturing the display apparatus 10.

또한, 증착 장치(200)를 통하여 제조된 표시 장치(10)는 선명한 이미지를 구현할 수 있다. Also, the display device 10 manufactured through the deposition apparatus 200 can realize a clear image.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체 일부를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 마스크 조립체의 일부를 보여주는 단면도이다. 6 is a plan view showing a portion of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. Figure 7 is a cross-sectional view showing a portion of the mask assembly shown in Figure 6;

도 6 및 도 7을 참고하면, 마스크 조립체(300)는 마스크 프레임(미도시), 마스크(320), 지지부(330), 이동부(340) 및 위치조절부(350)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 마스크(320), 지지부(330) 및 위치조절부(350)는 상기 도 1 내지 도 3에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 6 and 7, the mask assembly 300 may include a mask frame (not shown), a mask 320, a support portion 330, a moving portion 340, and a position adjusting portion 350. Here, the mask frame, the mask 320, the support portion 330, and the position adjustment portion 350 are the same as or similar to those described with reference to FIGS. 1 to 3, and therefore, detailed description thereof will be omitted.

이동부(340)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 이동부(340)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 다양한 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 이동부(340)는 도 6의 (a)와 같이 곡선을 형성하도록 배열될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 도 6의 (b)와 같이 직선을 형성하도록 배열될 수 있다. A plurality of moving units 340 may be provided. At this time, the plurality of moving parts 340 may be spaced apart from each other. In addition, the plurality of moving parts 340 can be arranged in various forms. For example, the plurality of moving parts 340 may be arranged to form a curve as shown in Fig. 6 (a). In addition, the plurality of moving parts 340 may be arranged to form a straight line as shown in Fig. 6 (b).

복수개의 이동부(340)는 제1 위치조절부(351)와 연결되는 제1 이동부(341)와, 제2 위치조절부(352)와 연결되는 제2 이동부(342)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 복수개의 블록 형태로 형성될 수 있다. 또한, 복수개의 이동부(340)는 제3 위치조절부(미도시)와 연결되는 제3 이동부(미도시)와, 제4 위치조절부(미도시)와 연결되는 제4 이동부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제3 이동부 및 상기 제4 이동부는 제1 이동부(341) 및 제2 이동부(342)와 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The plurality of moving parts 340 may include a first moving part 341 connected to the first position adjusting part 351 and a second moving part 342 connected to the second position adjusting part 352 have. At this time, the first moving part 341 and the second moving part 342 may be formed in a plurality of blocks. The plurality of moving parts 340 include a third moving part (not shown) connected to a third position adjusting part (not shown), a fourth moving part connected to a fourth position adjusting part Time). Since the third moving unit and the fourth moving unit are the same as or similar to the first moving unit 341 and the second moving unit 342, the first moving unit 341 and the second moving unit 342 will be referred to as " Will be described in detail.

제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 상기에서 설명한 바와 같이 복수개 구비될 수 있으며, 각 제1 이동부(341)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 특히 복수개의 제1 이동부(341)는 제1 지지부(331)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. As described above, the first moving part 341 and the second moving part 342 may be provided in plurality, and the first moving parts 341 may be disposed to be spaced apart from each other. In particular, the plurality of first moving parts 341 may be spaced from each other along the longitudinal direction of the first supporting part 331.

제2 이동부(342)는 제1 이동부(341)에 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 제2 이동부(342)도 제1 이동부(341)와 유사하게 복수개 구비되어 제1 지지부(331)의 길이 방향을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. The second moving part 342 may be arranged to face the first moving part 341. [ At this time, a plurality of the second moving parts 342 may be disposed in a manner similar to the first moving part 341 so as to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the first supporting part 331.

제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 서로 독립적으로 운동할 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 제1 지지부(331)에 선형 운동하도록 설치될 수 있다. 제1 지지부(331)는 제1 이동부(341) 또는 제2 이동부(342)가 선형 운동할 때, 제1 이동부(341) 또는 제2 이동부(342)를 가이드하는 제1 가이드부(331c)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 가이드부(331c)는 돌기 또는 홈 형태로 형성될 수 있다. The first moving part 341 and the second moving part 342 can move independently of each other. At this time, the first moving part 341 and the second moving part 342 may be installed to linearly move on the first supporting part 331, respectively. The first support portion 331 may include a first guide portion 331 for guiding the first moving portion 341 or the second moving portion 342 when the first moving portion 341 or the second moving portion 342 linearly moves, (331c). At this time, the first guide portion 331c may be formed as a protrusion or a groove.

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(300)의 제조 방법을 살펴보면, 상기 마스크 프레임에 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322)를 길이 방향으로 인장하여 설치할 수 있다. 이때, 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322) 사이에는 제1 지지부(331)가 배치된 상태일 수 있다. 또한, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 각각 제1 마스크(321)와 제2 마스크(322)에 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)는 제1 지지부(331)의 내부에 배치될 수 있다. In the method of manufacturing the mask assembly 300 as described above, the first mask 321 and the second mask 322 may be stretched in the longitudinal direction to the mask frame. At this time, the first support portion 331 may be disposed between the first mask 321 and the second mask 322. The first moving part 341 and the second moving part 342 may be fixed to the first mask 321 and the second mask 322 through welding, respectively. At this time, the first moving part 341 and the second moving part 342 may be disposed inside the first supporting part 331.

복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 도 6의 (a)와 같이 제1 지지부(331)에 설치되는 초기에 각각 곡선을 형성할 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(351)와 제2 위치조절부(352)를 통하여 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)를 각각 움직이는 경우 복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 각각 직선을 형성할 수 있다. 특히 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)의 사이 거리가 일정하게 형성됨으로써 제1 마스크(321) 측면과 제2 마스크(322) 측면 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 길이 방향에 대해서 일정해질 수 있다.The plurality of first moving parts 341 and the plurality of second moving parts 342 may form curves at the beginning of the first supporting part 331 as shown in FIG. 6 (a). When the first moving part 341 and the second moving part 342 are moved through the first position adjusting part 351 and the second position adjusting part 352 respectively, the plurality of first moving parts 341 And the plurality of second moving parts 342 may form a straight line. The distance between the side of the first mask 321 and the side of the second mask 322 is set to be shorter than the distance between the first mask 321 and the second mask 322, In the longitudinal direction.

반면, 도 6의 (b)와 같이 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342)가 배열되는 경우 복수개의 제1 이동부(341)와 복수개의 제2 이동부(342)는 제1 지지부(331)에 설치되는 초기에는 직선을 형성할 수 있다. 이후 각 제1 이동부(341)와 각 제2 이동부(342)의 위치를 가변시켜 제1 마스크(321)의 측면과 제2 마스크(322)의 측면 사이의 거리를 일정하게 하는 경우 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342) 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 길이 방향을 따라 상이해질 수 있다. 예를 들면, 제1 이동부(341)와 제2 이동부(342) 사이의 거리는 제1 마스크(321)의 중심부분에서 가장 작고, 제1 마스크(321)의 중심부분으로부터 제1 마스크(321)의 양단으로 갈수록 커질 수 있다. 6 (b), when the first moving part 341 and the second moving part 342 are arranged, the plurality of first moving parts 341 and the plurality of second moving parts 342 are arranged in the 1, it is possible to form a straight line at the initial stage in the support portion 331. When the positions of the first moving parts 341 and the second moving parts 342 are changed so that the distance between the side surface of the first mask 321 and the side surface of the second mask 322 is made constant, The distance between the moving part 341 and the second moving part 342 may be different along the length direction of the first mask 321. [ For example, the distance between the first moving part 341 and the second moving part 342 is the smallest at the center part of the first mask 321, and the distance from the center part of the first mask 321 to the first mask 321 ). &Lt; / RTI >

한편, 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 위치조절부(351)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Meanwhile, the first to third position adjusting units 351 to 353 may be formed in various shapes. Here, the first position adjusting unit 351 to the fourth position adjusting unit are the same or similar to each other. Therefore, the first position adjusting unit 351 will be described in detail below for the sake of convenience.

제1 위치조절부(351)는 제1 회전부(351a)와 제1 고정부(351b)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)는 상기에서 설명한 바와 같이 볼 스크류 형태로 형성될 수 있다. 제1 고정부(351b)는 제1 이동부(341) 및 제1 지지부(331) 중 적어도 하나에 설치될 수 있다. 특히 상기와 같은 제1 회전부(351a)와 제1 고정부(351b)는 다양한 방법으로 설치될 수 있다. The first position adjusting portion 351 may include a first rotating portion 351a and a first fixing portion 351b. At this time, the first rotation part 351a may be formed in the form of a ball screw as described above. The first fixing part 351b may be installed on at least one of the first moving part 341 and the first supporting part 331. [ In particular, the first rotation part 351a and the first fixing part 351b may be installed in various ways.

예를 들면, 일 실시예로써 도 7의 (a)와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되도록 설치되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 제1 회전부(351a)의 표면을 따라 선형 운동할 수 있다. For example, in one embodiment, the ball screw portion of the first rotating portion 351a is installed to be inserted into the first moving portion 341 as shown in FIG. 7 (a), and the first fixing portion 351b is installed And may be fixed to the support portion 331. At this time, the first moving part 341 can linearly move along the surface of the first rotating part 351a in accordance with the rotation of the first rotating part 351a.

다른 실시예로써 도 7의 (b)와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 설치되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 회전부(351a)가 제1 지지부(331)를 따라 선형 운동하고, 제1 고정부(351b)는 제1 회전부(351a)의 위치가 변하는 것을 방지하도록 한다. 7 (b), the ball screw portion of the first rotating portion 351a is provided on the first supporting portion 331, and the first fixing portion 351b is fixed on the first supporting portion 331 Can be installed. At this time, the first rotation part 351a linearly moves along the first support part 331 according to the rotation of the first rotation part 351a, and the first fixing part 351b changes the position of the first rotation part 351a .

또 다른 실시예로써 도 7의 (c)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되고, 제1 고정부(351b)는 제1 지지부(331) 및 제1 이동부(341)에 각각 설치될 수 있다. 이때, 제1 이동부(341)의 이동은 도 7의 (a)와 동일 또는 유사하게 수행될 수 있다. 7C, the ball screw part of the first rotating part 351a is inserted into the first moving part 341 and the first fixing part 351b is inserted into the first supporting part 331, And the first moving unit 341, respectively. At this time, the movement of the first moving part 341 may be performed in the same or similar manner as in (a) of FIG.

또 다른 실시예로서 도 7의 (d)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 삽입되고, 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 복수개의 제1 고정부(351b) 중 적어도 하나 이상은 제1 지지부(331)에 설치되고, 복수개의 제1 고정부(351b) 중 다른 것들은 제1 이동부(341)에 설치될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다.7 (d), the ball screw portion of the first rotating portion 351a is inserted into the first supporting portion 331, and a plurality of first fixing portions 351b are provided, At least one of the fixing portions 351b may be provided on the first supporting portion 331 and the other of the plurality of first fixing portions 351b may be provided on the first moving portion 341. [ At this time, the first moving part 341 can linearly move according to the rotation of the first rotating part 351a.

또 다른 실시예로써 도 7의 (e)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 이동부(341)에 삽입되고 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 제1 지지부(331)에 고정될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다. 7 (e), the ball screw portion of the first rotating portion 351a is inserted into the first moving portion 341, and a plurality of first fixing portions 351b are inserted into the first supporting portion 331, respectively. At this time, the first moving part 341 can linearly move according to the rotation of the first rotating part 351a.

또 다른 실시예로써 도 7의 (f)에서와 같이 제1 회전부(351a)의 볼스크류 부분이 제1 지지부(331)에 설치되고, 제1 고정부(351b)는 복수개 구비되어 제1 이동부(341)에 고정될 수 있다. 이때, 제1 회전부(351a)의 회전에 따라 제1 회전부(351a) 및 제1 이동부(341)가 선형 운동할 수 있다. 7 (f), the ball screw portion of the first rotating portion 351a is provided on the first supporting portion 331, and a plurality of first fixing portions 351b are provided, (Not shown). At this time, the first rotating part 351a and the first moving part 341 can linearly move according to the rotation of the first rotating part 351a.

상기와 같이 제1 위치조절부(351) 내지 상기 제4 위치조절부를 통하여 제1 마스크(321) 측면과 제2 마스크(322) 측면 사이의 거리를 조절할 수 있다. As described above, the distance between the side of the first mask 321 and the side of the second mask 322 can be adjusted through the first position adjuster 351 to the fourth position adjuster.

따라서 마스크 조립체(300)는 제1 마스크(321) 및 제2 마스크(322)를 인장시키기 전의 형상과 최대한 동일하게 제1 마스크(321) 및 제2 마스크(322)의 형상을 제어함으로써 제1 기판(11)에 증착 물질을 정확한 패턴으로 증착시킬 수 있다.The mask assembly 300 controls the shape of the first mask 321 and the second mask 322 to be as close as possible to the shape before tensioning the first mask 321 and the second mask 322, The deposition material can be deposited in a precise pattern on the substrate 11.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the exemplary embodiments, and that various changes and modifications may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10: 표시 장치
11: 제1 기판
12: 버퍼층
13: 활성층
14: 게이트 절연층
15: 대응되는 게이트 전극
16: 층간 절연층
17: 패시베이션막
18: 상에 유기 발광 소자
19: 덮도록 화소정의막
100,300: 마스크 조립체
110: 마스크 프레임
120,320: 마스크
130,330: 지지부
140,340: 이동부
150,350: 위치조절부
200: 증착 장치
210: 챔버
220: 안착부
230: 증착원
240: 비젼부
250: 흡입부 10: Display device
11: a first substrate
12: buffer layer
13:
14: Gate insulating layer
15: Corresponding gate electrode
16: interlayer insulating layer
17: Passivation film
18: An organic light emitting device
19: A pixel defining film
100,300: mask assembly
110: mask frame
120, 320: mask
130,
140, 340:
150, 350:
200: Deposition device
210: chamber
220:
230: evaporation source
240: vision part
250: Suction part

Claims

A mask frame;
A plurality of masks installed in the mask frame in a longitudinally stretched state;
A support member disposed between the plurality of masks adjacent to each other and provided in the mask frame, for supporting the respective masks;
A moving unit installed linearly on the supporting unit and having sides fixed to the respective masks adjacent to each other; And
And a position adjusting unit installed at the supporting unit and connected to the moving unit to move the moving unit.

The method according to claim 1,
A plurality of the position adjusting portions are provided,
Wherein the plurality of position adjusting portions are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the moving portion.

The method according to claim 1,
Wherein the moving part forms a curve in the longitudinal direction.

The method according to claim 1,
Wherein the moving portion forms a straight line in the longitudinal direction.

3. The method of claim 2,
Wherein the moving unit includes a plurality of moving units,
The plurality of moving parts and the plurality of position adjusting parts are spaced apart from each other, and the moving parts and the respective position adjusting parts are connected to each other.

6. The method of claim 5,
Wherein the plurality of moving parts are arranged to form a curve.

6. The method of claim 5,
Wherein the plurality of moving parts are arranged to form a straight line.

The method according to claim 1,
Wherein the position adjusting unit comprises:
A rotating part rotatably installed on the supporting part and the moving part;
And a fixing part installed to be fixed to at least one of the supporting part and the moving part, wherein the fixing part is inserted into the rotation part.

The method according to claim 1,
Wherein the mask is fixed to the moving part by welding.

The method according to claim 1,
The support portion
And a guiding part for guiding movement of the moving part.

A mask assembly disposed opposite the first substrate;
A seating part on which the mask assembly is seated;
And an evaporation source arranged to face the mask assembly to emit the evaporation material into the mask assembly,
Wherein the mask assembly comprises:
A mask frame;
A plurality of masks installed in the mask frame in a longitudinally stretched state;
A support member disposed between the plurality of masks adjacent to each other and provided in the mask frame, for supporting the respective masks;
A moving unit installed linearly on the supporting unit and having sides fixed to the respective masks adjacent to each other; And
And a position adjusting unit installed on the supporting unit and connected to the moving unit to move the moving unit.

12. The method of claim 11,
A plurality of the position adjusting portions are provided,
Wherein the plurality of position adjusting portions are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the moving portion.

12. The method of claim 11,
Wherein the moving part forms a curve in the longitudinal direction.

12. The method of claim 11,
Wherein the moving part forms a straight line in the longitudinal direction.

13. The method of claim 12,
Wherein the moving unit includes a plurality of moving units,
Wherein the plurality of moving parts and the plurality of position adjusting parts are spaced apart from each other, and the moving parts and the position adjusting parts are connected to each other.

16. The method of claim 15,
Wherein the plurality of moving parts are arranged to form a curve.

16. The method of claim 15,
Wherein the plurality of moving parts are arranged so as to form a straight line.

12. The method of claim 11,
Wherein the position adjusting unit comprises:
A rotating part rotatably installed on the supporting part and the moving part;
And a fixing unit installed to be fixed to at least one of the supporting unit and the moving unit, and the rotating unit being inserted into the fixing unit.

12. The method of claim 11,
Wherein the mask is fixed to the moving part by welding.

12. The method of claim 11,
The support portion
And a guiding part for guiding movement of the moving part.