KR20160079527A - Deaeration apparatus and deaerating method - Google Patents

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Abstract

A defoaming apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a chemical liquid tank for storing a chemical liquid containing a solvent and a solute; a cooling tank connected to the chemical liquid tank; a vacuum pump connected to the cooling tank; and a controller for controlling the movement of the solvent by alternately operating a first mode and a second mode, wherein, in the first mode, the controller controls such that the bubbles and volatilized solvent inside the chemical liquid tank are moved to the cooling tank and the volatilized solvent is phase-transformed into a liquefied solvent in the cooling tank, and in the second mode, the controller controls such that the liquefied solvent is moved to the chemical liquid tank from the cooling tank. The defoaming apparatus according to an embodiment of the present invention can suppress the formation of a film, which may occur in a defoaming procedure of the chemical liquid, can reduce the defoaming time, and can significantly improve efficiency.

Description

탈포 장치 및 탈포 방법{DEAERATION APPARATUS AND DEAERATING METHOD}[0001] DEAERATION APPARATUS AND DEAERATING METHOD [0002]

본 발명은 탈포 장치 및 탈포 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 펌프를 이용한 탈포 장치에 있어서, 약액 표면에 피막이 형성되는 것을 방지하고, 탈포 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 약액의 탈포 장치 및 탈포 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a defoaming device and a defoaming method, and more particularly, to a defoaming device using a vacuum pump, which can prevent the formation of a film on the surface of a chemical liquid and improve the efficiency of the defoaming process, ≪ / RTI >

일반적으로, 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 특히, 박막을 증착시키는 공정, 생성된 막을 패터닝하는 공정, 소자를 세정하는 공정 등 여러 제조 공정에서 화학용액(이하, 약액이라 한다)이 사용된다. 그러나, 약액을 저장, 순환, 이동시키는 과정에서 약액 내부에 기포가 발생되고, 발생된 기포로 인해 제조 공정의 질이 저하되고 최종 생성물에 결함이 발생하는 문제점이 있었다.Generally, display devices, solar cells, semiconductor devices, and the like are manufactured through various processes. In particular, a chemical solution (hereinafter referred to as a chemical solution) is used in various manufacturing processes such as a process of depositing a thin film, a process of patterning a resulting film, and a process of cleaning a device. However, in the process of storing, circulating and moving the chemical liquid, bubbles are generated in the chemical liquid, and the quality of the manufacturing process is lowered due to the generated bubbles, and defects are generated in the final product.

보다 구체적으로, 디스플레이 장치와 관련된 기술이 발달함에 따라 다양한 형태의 디스플레이 장치를 요구하고 있으며, 특히, 플렉서블(flexible) 디스플레이와 관련하여 활발하게 개발되고 있다. 플렉서블 디스플레이를 제조하기 위해서는 폴리이미드(Polyimide, 이하 PI라고 한다.) 약액을 기판 상에 코팅하여 PI 박막을 형성하는 공정을 필요로 한다. 일반적으로 PI 약액의 경우, 점도가 8,000cp 이상으로 매우 높기 때문에 PI 약액 내부에 기포가 쉽게 발생될 수 있고, 발생된 기포는 PI 약액의 높은 점도에 의하여 쉽게 제거되지 않는다. More specifically, as the technology related to the display device is developed, various types of display devices are required, and in particular, they are being actively developed in connection with a flexible display. In order to manufacture a flexible display, a step of forming a PI thin film by coating a polyimide (hereinafter referred to as PI) chemical solution on a substrate is required. Generally, in the case of the PI drug solution, since the viscosity is as high as 8,000 cp or more, bubbles can easily be generated inside the PI drug solution, and the generated bubbles are not easily removed by the high viscosity of the PI drug solution.

기포를 포함하는 PI 약액을 이용하여 PI 박막을 형성하는 경우, PI 박막에도 기포가 발생하게 되어, PI 박막이 찢어지거나, PI 박막 표면이 쉽게 훼손될 수 있다. 보다 구체적으로, 기포가 유입된 PI 박막의 경우, 기포가 발생한 영역이 찢어지면서 기판과 PI 박막이 필링(peeling)되는 현상이 발생하고, PI 박막을 이용하여 유기 발광 소자를 제조할 경우 PI 박막 표면의 불균일로 인하여, 단차가 발생하고, 상기 유기 발광 소자를 구동할 경우 암점이 발생하는 문제점이 발생한다.When a PI thin film is formed by using a PI solution containing bubbles, air bubbles are generated in the PI thin film, and the PI thin film may be torn or the surface of the PI thin film may be easily damaged. More specifically, in the case of the PI thin film into which air bubbles have been introduced, the substrate and the PI thin film are peeled due to tearing of the bubble generating region, and when the organic light emitting device is manufactured using the PI thin film, A step is generated and a problem arises that a dark spot occurs when driving the organic light emitting element.

따라서, 고성능의 PI 박막을 형성하기 위해서는 약액의 탈포 과정에서 약액 내부의 기포를 완벽하게 제거하는 것이 중요하다.Therefore, in order to form a high-performance PI thin film, it is important to completely remove bubbles in the chemical liquid during defoaming of the chemical liquid.

이러한, 탈포 공정을 위해 종래에는 약액을 보관하는 약액 탱크에 교반 임펠라를 장착하여 가동시킴으로써, 약액 내부의 기포를 약액 상부로 이동시켜, 기포를 제거하는 방법이 사용되었다.In order to perform the defoaming process, conventionally, a method of removing bubbles by moving the bubbles in the chemical liquid to the upper portion of the chemical liquid by mounting the stirring impeller in a chemical liquid tank storing the chemical liquid has been used.

또한, 약액을 탈포하기 위하여, 약액 탱크에 진공 펌프를 연결하는 방법이 주로 사용되어 왔다. 도 1은 진공 펌프를 이용한 종래의 탈포 장치를 도시한 개념도이다. In addition, a method of connecting a vacuum pump to a chemical tank has been mainly used for defoaming the chemical liquid. 1 is a conceptual diagram showing a conventional defoaming apparatus using a vacuum pump.

도 1을 참조하면, 종래의 진공 펌프를 이용한 탈포 장치(100)는 약액(111)이 저장된 약액 탱크(110), 약액(111) 내부의 기포를 제거하기 위한 진공 펌프(120)를 포함한다. 이때, 약액 탱크(110)에는 불활성 가스가 공급되는 가스 공급관(131), 진공 펌프와 연결되어 흡입된 기체가 이동하는 진공 배관(132) 및 약액 탱크(110)에 포함된 약액(111)을 슬릿 코터 등의 장치로 이동시키는 약액 배출관(133)이 연결되어 있다.Referring to FIG. 1, a conventional defoaming device 100 using a vacuum pump includes a chemical liquid tank 110 in which a chemical liquid 111 is stored, and a vacuum pump 120 for removing air bubbles in the chemical liquid 111. At this time, the chemical liquid tank 110 is provided with a gas supply pipe 131 to which an inert gas is supplied, a vacuum pipe 132 connected to the vacuum pump to move the sucked gas and a chemical liquid 111 contained in the chemical liquid tank 110, And a chemical liquid discharge pipe 133 for transferring the chemical liquid to an apparatus such as a coater.

진공 펌프(120)를 이용한 탈포 장치는 약액 탱크(110) 내부에 진공압을 적용하여 약액 내부의 기포가 기압에 의해 터지는 일련의 과정을 거침으로써 기포를 제거한다. 그러나, 진공 펌프(120)에 의하여 약액 탱크(110) 내부의 기압이 내려가게 되면, 약액(111) 표면에 존재하는 용매의 휘발량이 크게 증가되고, 약액 표면에 잔존하는 용질이 응고되어 피막을 형성하게 된다. 형성된 피막은 약액 내부의 기포가 터지면서 제거되는 과정을 방해하고, 이로 인해, 탈포 공정의 효율이 크게 저하되는 문제를 발생시킨다. 또한 지속적인 용매의 휘발은 약액의 농도 및 점도를 크게 변화시키게 되어 약액의 물리적 특성이 달라지게 되는 문제를 발생시킨다. 또한, 피막은 탈포된 약액을 코팅하는 과정에서 그대로 따라 들어가게 되므로, 이물을 발생시키고 박막의 품질을 크게 저하시키며, 기타 결점을 형성하는 등의 문제를 발생시킨다.The defoaming device using the vacuum pump 120 removes air bubbles by applying vacuum pressure to the inside of the chemical liquid tank 110 to undergo a series of processes in which the bubbles in the liquid medicine are blown by the atmospheric pressure. However, when the air pressure inside the chemical liquid tank 110 is lowered by the vacuum pump 120, the volatilization amount of the solvent present on the surface of the chemical liquid 111 is greatly increased, and the solute remaining on the surface of the chemical liquid is solidified to form a film . The formed film hinders the process of removing bubbles from the inside of the chemical liquid, thereby causing a problem that the efficiency of the defoaming process is significantly lowered. In addition, continuous volatilization of the solvent causes a significant change in the concentration and viscosity of the chemical liquid, thereby causing a problem that the physical properties of the chemical liquid are changed. In addition, since the coating film is directly adhered to the defoaming liquid during the coating process, foreign matter is generated, the quality of the thin film is greatly deteriorated, and other defects are formed.

이에 따라, 약액 표면에 피막을 형성시키지 않고 약액을 탈포시키며, 탈포 공정 시간을 현저히 감축시킬 수 있는 탈포 장치 및 탈포 방법을 위한 새로운 기술이 요구되고 있는 실정이다.Accordingly, there is a need for a new technology for a defoaming device and defoaming method capable of significantly reducing defoaming time by defoaming a chemical liquid without forming a film on the surface of the liquid chemical.

[관련기술문헌][Related Technical Literature]

1. 액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법 (특허출원번호 제10-2007-0141941호)1. A liquid chemical supply system for a liquid crystal display and a chemical liquid supply method (Patent Application No. 10-2007-0141941)

2. 약액의 기포제거를 위한 버퍼탱크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조용 약액 공급시스템 (특허출원번호 제10-2004-0045981호)2. Buffer tank for bubble removal of chemical liquid and chemical liquid supply system for manufacturing liquid crystal display using the same (Patent Application No. 10-2004-0045981)

본 발명의 발명자들은 상술한 바와 같은 문제점을 인식하고, PI 등의 약액 내부의 기포를 보다 효율적으로 제거할 수 있고, 탈포 과정에서 발생하는 피막 형성을 억제할 수 있는 탈포 장치 및 탈포 방법을 발명하였다.The inventors of the present invention have recognized the above problems and invented defoaming devices and defoaming methods capable of more efficiently removing bubbles in a chemical liquid such as PI and inhibiting film formation occurring in defoaming process .

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 진공압을 이용하여 약액 내부의 기포를 제거하는 방법에 있어서, 용매의 휘발로 인해 발생하는 피막 형성을 억제할 수 있는 탈포 장치 및 탈포 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a defoaming device and a defoaming method capable of suppressing film formation caused by volatilization of a solvent in a method of removing air bubbles in a chemical liquid using vacuum pressure.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 진공압을 이용하여 기포를 제거함에도 불구하고, 약액의 물리적 특성을 변화시키지 않는 탈포 장치 및 탈포 방법을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a defoaming device and a defoaming method that do not change the physical properties of a chemical liquid even though bubbles are removed using vacuum pressure.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 약액의 탈포 시간을 현저히 감소시키고, 효율성을 향상시킬 수 있는 탈포 장치 및 탈포 방법을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a defoaming device and a defoaming method capable of significantly reducing defoaming time of a chemical liquid and improving efficiency.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치는 용매 및 용질을 포함하는 약액이 저장된 약액 탱크, 약액 탱크와 연결된 냉각 탱크, 냉각 탱크와 연결된 진공 펌프 및 제1 모드 및 제2 모드를 교번적으로 작동시켜, 용매의 이동을 제어하는 제어부를 포함한다. 이때, 제1 모드에서, 제어부는 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크로 이동되고, 휘발된 용매가 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어하고, 제2 모드에서, 제어부는, 액화된 용매가 냉각 탱크에서 약액 탱크로 이동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치는 약액의 탈포 과정에서 발생하는 피막 형성을 억제할 수 있고, 탈포 공정의 효율을 크게 향상시킬 수 있다.A defoaming device according to an embodiment of the present invention includes a chemical tank in which a chemical solution containing a solvent and a solute is stored, a cooling tank connected to the chemical tank, a vacuum pump connected to the cooling tank, and a first mode and a second mode alternately , And a control unit for controlling the movement of the solvent. At this time, in the first mode, the control unit controls the bubbles inside the chemical liquid tank and the volatilized solvent to move to the cooling tank, the volatilized solvent to be phase-changed to the liquefied solvent in the cooling tank, and in the second mode, So that the liquefied solvent is moved from the cooling tank to the chemical liquid tank. The defoaming device according to an embodiment of the present invention can suppress the formation of a film that occurs during the defoaming process of the chemical liquid and can greatly improve the efficiency of the defoaming process.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 약액은 폴리이미드를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, the chemical liquid is characterized by including polyimide.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 약액 탱크는 약액 내부의 기포를 약액의 표면으로 이동시키기 위한 교반 임펠라를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the chemical liquid tank further includes a stirring impeller for moving the bubbles in the chemical liquid to the surface of the chemical liquid.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 약액 탱크는 불활성 가스를 공급하는 가스 공급관 및 불활성 가스에 의해 상승되는 내부 압력을 이용하여 약액을 배출시키는 약액 배출관을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, the chemical liquid tank further includes a gas supply pipe for supplying an inert gas and a chemical liquid discharge pipe for discharging the chemical liquid using an internal pressure raised by the inert gas.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 냉각 탱크는 -20℃ 이하로 유지되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the cooling tank is maintained at -20 占 폚 or lower.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 냉각 탱크는 액화된 용매가 중력에 의하여 약액 탱크로 공급되도록 약액 탱크의 상면 보다 높은 위치에 배치되는 것을 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the cooling tank is disposed at a position higher than the upper surface of the chemical liquid tank so that the liquefied solvent is supplied to the chemical liquid tank by gravity.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 진공 펌프는 배기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the vacuum pump is characterized by including an exhaust port.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 약액 탱크와 냉각 탱크의 상부를 연결하는 제1 배관, 냉각 탱크와 진공 펌프를 연결하는 제2 배관 및 약액 탱크와 냉각 탱크의 하부를 연결하는 제3 배관을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a cooling system including a first pipe connecting a chemical tank and an upper portion of a cooling tank, a second pipe connecting the cooling tank and the vacuum pump, and a third pipe connecting the lower portion of the chemical tank and the cooling tank .

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제2 배관은 진공압의 발생을 제어하기 위한 제1 개폐 밸브를 포함하고, 제3 배관은 액화된 용매가 약액 탱크로 이동되는 것을 제어하기 위한 제2 개폐 밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the second piping includes a first opening / closing valve for controlling the generation of the vacuum pressure, and the third piping includes a second opening / closing valve for controlling the movement of the liquefied solvent to the chemical liquid tank And a control unit.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 약액 탱크는 약액이 채워지는 충진 영역 및 충진 영역 상부의 미충진 영역으로 구분되며, 이때, 제3 배관은 일 측단이 냉각 탱크의 하면에 연결되고, 타 측단이 약액 탱크의 미충진 영역에 연결되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the chemical liquid tank is divided into a filling region where the chemical liquid is filled and an unfilled region above the filling region, wherein one end of the third pipe is connected to the lower surface of the cooling tank, And is connected to an unfilled region of the chemical liquid tank.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면 제어부는 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브를 서로 교번적으로 온(On)-오프(Off)하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the control unit alternately turns on and off the first on-off valve and the second on-off valve.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 또는 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피에 따라 제1 모드를 제2 모드로 전환시키는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the control unit converts the first mode into the second mode according to the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, or the volume of the gas sucked by the vacuum pump .

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 제1 모드가 약액의 농도가 초기 약액의 농도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, the control unit is characterized in that the first mode is controlled so that the concentration of the chemical liquid is increased until the concentration of the chemical liquid increases by 20% with respect to the concentration of the initial chemical liquid.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 제1 모드가 약액의 점도가 초기 약액의 점도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, the control unit controls the first mode to operate until the viscosity of the chemical liquid increases by 20% in comparison with the viscosity of the initial chemical liquid.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 제1 모드가 냉각 탱크의 액화된 용매의 중량이 저장 탱크에 포함된 초기 약액의 중량에 대하여 25%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the control unit controls the first mode to operate until the weight of the liquefied solvent of the cooling tank becomes 25% with respect to the weight of the initial chemical liquid contained in the storage tank.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 제1 모드가 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피가 초기 약액 탱크에 존재하는 기체의 전체 부피에 대하여 40%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the control unit controls the first mode to operate until the volume of the gas sucked by the vacuum pump becomes 40% with respect to the total volume of the gas present in the initial chemical tank do.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제어부는 제2 모드가 냉각 탱크 내부의 액화된 용매가 모두 약액 탱크로 이동할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the control unit controls the second mode to be operated until all of the liquefied solvent in the cooling tank moves to the chemical tank.

본 발명의 다른 실시예에 따른 탈포 방법은, 탈포 장치가 약액에서 기포를 제거하는 방법으로서, 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크로 이동되도록 제어하는 제1 단계, 휘발된 용매가 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어하는 제2 단계, 및 액화된 용매가 냉각 탱크에서 약액 탱크로 이동되도록 제어하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A defoaming method according to another embodiment of the present invention is a method for defoaming a bubble in a chemical liquid, comprising a first step of controlling bubbles in a chemical liquid tank and a volatile solvent to be transferred to a cooling tank, A second step of controlling the liquid to be phase-changed to a liquefied solvent in the tank, and a third step of controlling the liquefied solvent to move from the cooling tank to the chemical liquid tank.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 탈포 장치는, 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 및 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피 중 적어도 하나가 기 설정된 조건을 만족할 때, 제1 단계 및 제2 단계의 수행을 중단하고 제3 단계를 수행하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a defoaming apparatus comprising a first step and a second step of, when at least one of a concentration of a chemical liquid, a viscosity of a chemical liquid, a weight of a liquefied solvent, and a volume of a gas sucked by a vacuum pump satisfies predetermined conditions, Stopping the execution of the second step and performing the third step.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명은 진공압을 이용하여 약액 내부의 기포를 제거하는 경우, 휘발된 용매를 다시 액화시켜 약액에 재유입시킴으로써, 용매의 휘발로 인해 약액 표면에 피막이 형성되는 현상을 억제할 수 있으며, 약액의 탈포 시간을 현저히 감소시키고, 효율성을 향상시킬 수 있다.In the present invention, when the bubbles in the chemical liquid are removed by using the vacuum pressure, the volatile solvent is re-liquefied and re-introduced into the chemical liquid, thereby suppressing the formation of a film on the surface of the chemical liquid due to volatilization of the solvent, The defoaming time can be remarkably reduced and the efficiency can be improved.

본 발명은 탈포 공정에서 발생하는 용매의 휘발에 따른 약액의 물리적 특성 변화를 최소화시켜, 일정한 약액을 공급할 수 있다.The present invention minimizes the change in the physical properties of the chemical solution due to the volatilization of the solvent generated in the defoaming process, and can supply a certain chemical solution.

본 발명은 종래의 진공압을 이용하여 탈포하는 방법에 비하여, 진공 펌프의 수명을 연장시킬 수 있다.The present invention can prolong the service life of the vacuum pump as compared with a conventional defoaming method using vacuum pressure.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 종래에 사용되었던 진공 펌프를 이용한 탈포 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 비교예에 따라 탈포 공정이 완료된 PI 약액의 상태를 촬영한 이미지이다.
도 5는 실시예에 따라 탈포 공정이 완료된 PI 약액의 상태를 촬영한 이미지이다.1 is a conceptual diagram for explaining a conventional defoaming apparatus using a vacuum pump.
2 is a conceptual diagram illustrating a defoaming device according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a defoaming method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an image of the state of the PI drug solution having undergone the defoaming process according to the comparative example.
FIG. 5 is an image of the state of the PI drug solution having undergone the defoaming process according to the embodiment.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, and the like disclosed in the drawings for describing the embodiments of the present invention are illustrative, and thus the present invention is not limited thereto. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. Where the terms "comprises", "having", "done", and the like are used in this specification, other portions may be added unless "only" is used. Unless the context clearly dictates otherwise, including the plural unless the context clearly dictates otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the constituent elements, it is construed to include the error range even if there is no separate description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다. In the case of a description of the positional relationship, for example, if the positional relationship between two parts is described as 'on', 'on top', 'under', and 'next to' Or " direct " is not used, one or more other portions may be located between the two portions.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are used only to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may be the second component within the technical spirit of the present invention.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The sizes and thicknesses of the individual components shown in the figures are shown for convenience of explanation and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the components shown.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.It is to be understood that each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other, partially or wholly, technically various interlocking and driving, and that the embodiments may be practiced independently of each other, It is possible.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Various embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치를 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating a defoaming device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치(200)는 용매 및 용질을 포함하는 약액(211)이 저장된 약액 탱크(210), 냉각 탱크(220), 진공 펌프(230), 제어부(미도시), 제1 배관(241), 제2 배관(242), 제3 배관(243), 제1 개폐 밸브(251) 및 제2 개폐 밸브(252)을 포함한다.2, a defoaming device 200 according to an embodiment of the present invention includes a chemical tank 210, a cooling tank 220, a vacuum pump 230, (Not shown), a first pipe 241, a second pipe 242, a third pipe 243, a first on-off valve 251, and a second on-off valve 252.

약액 탱크(210)는 약액(211)을 저장하고 순환시키는 역할을 한다. 약액 탱크(210)는 냉각 탱크(220)와 연결되며, 구체적으로는 약액(211)의 순환을 위해 두 개의 배관(241, 243)으로 연결된다.The chemical liquid tank 210 serves to store and circulate the chemical liquid 211. The chemical liquid tank 210 is connected to the cooling tank 220, and specifically to two circulation lines 241 and 243 for the circulation of the chemical liquid 211.

도 2를 참조하면, 약액 탱크(210)는 약액 탱크(210)의 하부에 약액(211)이 채워진 충진 영역(212)과, 충진 영역(212) 상부의 미충진 영역(213)으로 구분될 수 있다. 충진 영역(212)은 용질 및 용매를 포함하는 약액(211)으로 채워져 있으며, 약액(211) 내부에는 기포가 존재한다. 한편, 미충진 영역은(213) 대기, 가스 공급관(244)을 통해 주입된 불활성 가스, 기포 및 휘발된 용매 등을 포함하는 기체로 채워져 있다.2, the chemical liquid tank 210 may be divided into a filling region 212 filled with a chemical solution 211 at a lower portion of the chemical liquid tank 210 and an unfilled region 213 at an upper portion of the filling region 212 have. The filling region 212 is filled with a chemical solution 211 containing a solute and a solvent, and bubbles are present in the chemical solution 211. On the other hand, the unfilled region is filled with the gas containing the inert gas injected through the atmosphere, the gas supply pipe 244, bubbles, volatilized solvent and the like.

한편, 약액 탱크(210) 상부는 가스 주입관(244)과 연결된다. 가스 주입관(244)은 약액 탱크(210) 내부에 불활성 기체를 주입하여, 약액 탱크(210)의 내부 압력을 상승시키고, 약액(211)을 약액 배출관(245)을 통하여 외부로 배출시키는 역할을 한다. 불활성 가스는 약액(211)과 화학적 반응을 하지 않는 가스를 말하며, 이로써 제한되는 것은 아니나, 질소(N2) 등을 사용하는 것이 바람직하다.Meanwhile, the upper portion of the chemical liquid tank 210 is connected to the gas injection pipe 244. The gas injection pipe 244 injects an inert gas into the chemical liquid tank 210 to increase the internal pressure of the chemical liquid tank 210 and discharge the chemical liquid 211 to the outside through the liquid medicament pipe 245 do. The inert gas refers to a gas that does not chemically react with the chemical solution 211, and it is preferable to use nitrogen (N 2 ) or the like, though not limited thereto.

약액 탱크(210) 하부는 약액 배출관(245)과 연결된다. 약액 배출관(245)은 슬롯 코팅 등과 같은 다음 공정(미도시)을 위한 장치와 연결된다. 원활한 약액(211) 공급을 위하여 약액 배출관(245)에는 별도의 유압제어수단이 구비될 수 있으며, 이로써 제한되는 것은 아니나, 전자석(솔레노이드)의 흡입력을 이용하는 솔레노이드 밸브가 사용될 수도 있다.The lower portion of the chemical liquid tank 210 is connected to the chemical liquid discharge pipe 245. The chemical liquid discharge pipe 245 is connected to a device for a next process (not shown) such as a slot coating or the like. A separate hydraulic control means may be provided in the chemical liquid discharge pipe 245 for supplying the smooth chemical fluid 211, but a solenoid valve using the suction force of an electromagnet (solenoid) may be used.

한편, 약액 탱크(210)는 탈포 성능을 향상시키기 위해서 교반 임펠라를 더 포함할 수 있다. 교반 임펠라는 밀도가 낮은 기포를 약액(211)의 상부로 쉽게 이동할 수 있도록 약액을 교반하는 역할을 수행하고, 이로 인해, 약액(211)의 하부에 존재하는 기포 또한, 진공압에 의해 제거될 수 있다.On the other hand, the chemical liquid tank 210 may further include a stirring impeller to improve defoaming performance. The stirring impeller stirs the chemical liquid so that the low-density bubble can be easily moved to the upper portion of the chemical liquid 211, so that the bubbles existing in the lower portion of the chemical liquid 211 can also be removed by the vacuum pressure have.

약액(211)은 용질 및 용매로 이루어진다. 용질은 용매와 혼합하여 약액(211)을 구성하는 물질로, 사용되는 공정에 따라 제한 없이 사용될 수 있다. 본 발명에서는 플렉서블 기판을 제조하기 위해 PI 약액을 사용하는 것으로 산정하며, 이때, 약액을 구성하는 용질은 폴리이미드(Polyimide, PI)이다. 또한, 용매(solvent)는 사용되는 공정에 따라 제한 없이 사용될 수 있으며, 본 발명에서는 PI 약액을 구성하는 용매로 N-메틸-2-피롤리돈(N-metyl-2-pyrrolidone, NMP)이 사용될 수 있으나, 이로써 제한되는 것은 아니다. 한편, 본 발명의 용매는 물리적 상태에 따라, 휘발된 용매, 액화된 용매로 구별할 수 있다. 이때, 휘발된 용매는 약액 탱크(210) 내부의 용매가 증발하여 기체 상태가 된 용매를 말하며, 액화된 용매란, 증발된 용매가 냉각 탱크(220)에서 액화되어 다시 액체 상태가 된 용매를 의미한다.The chemical liquid 211 is composed of a solute and a solvent. The solute is a substance constituting the chemical solution 211 by mixing with a solvent and can be used without limitation depending on the process used. In the present invention, it is estimated that a PI chemical solution is used to produce a flexible substrate. At this time, the solute constituting the chemical solution is polyimide (PI). In addition, the solvent can be used without limitation depending on the process used. In the present invention, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) is used as a solvent constituting the PI drug solution But is not limited thereto. On the other hand, the solvent of the present invention can be classified into a volatile solvent and a liquefied solvent depending on the physical state. In this case, the volatile solvent refers to a solvent in which the solvent in the chemical liquid tank 210 has evaporated to become a gaseous state, and the liquefied solvent means a solvent in which the evaporated solvent is liquefied in the cooling tank 220, do.

약액(211)은 혼합, 저장, 이동 등으로 인하여, 내부에 많은 기포가 존재한다.There are many bubbles in the chemical solution 211 due to mixing, storage, movement, and the like.

냉각 탱크(220)는 진공압에 의하여 약액 탱크(210)에서 냉각 탱크(220)로 이동한 휘발된 용매를 냉각하여 액화시킴으로써 기포를 포함하는 다른 기체와 휘발된 용매를 분류하는 역할을 한다.The cooling tank 220 serves to cool and volatize the volatilized solvent that has moved from the chemical liquid tank 210 to the cooling tank 220 by the vacuum pressure so as to sort other gases including bubbles and the volatilized solvent.

냉각 탱크(220)는 당해 기술 분야에서 사용될 수 있는 냉각 탱크를 이용할 수 있으며, 냉각 탱크(220)는 액화 질소, 드라이아이스 또는 액체 헬륨 등의 냉각제가 포함된 냉각기를 포함할 수 있다. 상기 냉각기는 냉각 탱크(220) 내부에 존재할 수도 있고, 냉각 탱크 외각을 둘러 쌓은 형태로 존재할 수도 있다. The cooling tank 220 can be a cooling tank that can be used in the art and the cooling tank 220 can include a cooler including a coolant such as liquefied nitrogen, dry ice or liquid helium. The cooler may be inside the cooling tank 220, or may be in the form of surrounding the cooling tank.

한편, 냉각 탱크(220)는 냉각 탱크(220)로 이동한 휘발된 용매가 곧바로 진공 펌프(230)로 이동하지 않고 빠르게 액화될 수 있도록 -20℃ 이하로 유지되는 것이 바람직하다. It is preferable that the cooling tank 220 is kept at -20 ° C or lower so that the volatilized solvent moving to the cooling tank 220 can be rapidly liquefied without moving directly to the vacuum pump 230.

냉각 탱크(220)는 약액 탱크(210) 및 진공 펌프(230)와 연결된다. 보다 구체적으로, 냉각 탱크(220)는 약액 탱크(210)로부터 기포 및 휘발된 용매를 이동시키는 제1 배관(241) 및 액화된 용매(221)를 다시 약액 탱크(210)로 이동시키는 제3 배관(243)과 연결된다. 또한, 냉각 탱크(220)는 진공 펌프(230)와 연결되어 진공압을 인가하는 제2 배관(242)과 연결된다.The cooling tank 220 is connected to the chemical tank 210 and the vacuum pump 230. More specifically, the cooling tank 220 includes a first pipe 241 for moving the bubbles and the volatilized solvent from the chemical liquid tank 210 and a third pipe 242 for moving the liquefied solvent 221 back to the chemical liquid tank 210. [ (243). The cooling tank 220 is connected to the vacuum pump 230 and connected to the second pipe 242 for applying the vacuum pressure.

냉각 탱크(220)는 액화된 용매(211)가 중력에 의하여 약액 탱크(210)로 공급되도록 약액 탱크(210)의 상면 보다 높은 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 냉각 탱크(220)를 약액 탱크(210)의 상면보다 보다 높은 위치에 배치함으로써, 별도의 동력 없이 액화된 용매(211)를 약액 탱크(210)로 이동시킬 수 있다.It is preferable that the cooling tank 220 is disposed at a position higher than the upper surface of the chemical liquid tank 210 so that the liquefied solvent 211 is supplied to the chemical liquid tank 210 by gravity. That is, by arranging the cooling tank 220 at a position higher than the upper surface of the chemical liquid tank 210, the liquefied solvent 211 can be moved to the chemical liquid tank 210 without any additional power.

냉각 탱크(220)는 이로써 제한되는 것은 아니나, 액화 성능을 향상시키고 냉각 탱크(220) 내부의 온도를 유지할 수 있도록, 스테인레스강(Stainless Steel, SUS) 또는 경질 유리(Hard Glass)와 같이 열전도도가 낮은 물질로 제조된 것이 바람직하다.The cooling tank 220 may have a thermal conductivity such as stainless steel (SUS) or hard glass to improve the liquefaction performance and maintain the temperature inside the cooling tank 220, though it is not limited thereto. It is preferable that it is made of a low material.

진공 펌프(230)는 진공압을 발생시켜 약액 탱크(210) 내부의 기포 및 휘발된 용매를 흡입하여 냉각 탱크(220)로 이동시키는 역할을 한다.The vacuum pump 230 generates a vacuum pressure to suck bubbles and volatile solvent in the chemical liquid tank 210 and to move the liquid to the cooling tank 220.

진공 펌프(230)는 냉각 탱크(220)와 연결된다. 도 1을 참조하면, 종래의 진공 펌프를 이용한 탈포 장치(100)는 약액 탱크(110)에 연결된 진공 펌프(120)를 이용하여 약액 탱크(110) 내부의 기포 및 휘발된 용매를 흡입함으로써, 기포를 제거하였다. 그러나, 진공 펌프(120)가 약액 탱크(110)에 직접적으로 연결된 경우, 기포 및 휘발된 용매를 흡입하는 과정에서 약액(111)이 직접 진공 펌프(120)에 흡입되거나, 휘발된 용매가 진공 펌프(120) 내부에서 액화되어 진공 펌프(120)의 모터가 부식되고 진공 펌프(120)가 오작동하는 문제점이 발생하였다.The vacuum pump 230 is connected to the cooling tank 220. Referring to FIG. 1, a conventional defoaming device 100 using a vacuum pump sucks bubbles and volatile solvents in a chemical liquid tank 110 using a vacuum pump 120 connected to a chemical liquid tank 110, . However, when the vacuum pump 120 is directly connected to the chemical liquid tank 110, the chemical liquid 111 may be sucked directly into the vacuum pump 120 during the suction of the bubbles and the volatile solvent, There is a problem that the motor of the vacuum pump 120 is corroded and the vacuum pump 120 malfunctions.

그러나, 본 발명의 탈포 장치(200)는, 진공 펌프(230)가 약액 탱크(210)에 직접 연결되지 않고, 약액 탱크(210)와 연결된 냉각 탱크(220)와 연결되어 간접적으로 약액 탱크(210)와 연결된 구조를 갖는다. 따라서, 도 1의 탈포 장치(100)와는 다르게, 약액(211)이 우연히 진공압에 의해 흡입된다 하더라도, 냉각 탱크(220)에 저장되므로, 진공 펌프(230)에 도달하지 못하게 되고, 휘발된 용매는 앞에서 살펴본 바와 같이, 냉각 탱크(220)에서 액화되어 진공 펌프(230)에 도달하지 못하게 된다. 따라서, 진공 펌프(230)의 부식 및 오작동의 문제를 최소화하고, 진공 펌프(230)의 수명을 현저히 증가시킬 수 있다.However, the defoaming device 200 of the present invention is configured such that the vacuum pump 230 is not directly connected to the chemical liquid tank 210 but is connected to the cooling tank 220 connected to the chemical liquid tank 210 and indirectly connected to the chemical liquid tank 210 ). Therefore, unlike the defoaming device 100 of FIG. 1, even if the chemical liquid 211 is inadvertently sucked by the vacuum pressure, it is stored in the cooling tank 220, so that it can not reach the vacuum pump 230, As described above, liquefied in the cooling tank 220 and can not reach the vacuum pump 230. Therefore, the problem of corrosion and malfunction of the vacuum pump 230 can be minimized, and the service life of the vacuum pump 230 can be significantly increased.

진공 펌프(230)는 당해 기술 분야에서 사용될 수 있는 진공 펌프를 이용할 수 있으며, 진공압에 의해 기체를 흡입할 때, 불순물이 유입되는 것을 방지하기 위하여 여과기를 더 포함할 수 있다. 또한, 진공 펌프(230)는 냉각 탱크(220)에서 액화된 용매와 분류된 기포를 포함하는 기체를 탈포 장치(200) 외부로 배출시키기 위한 배기구(미도시)를 더 포함할 수 있다.The vacuum pump 230 may be a vacuum pump that can be used in the related art, and may further include a filter to prevent impurities from being introduced when the gas is sucked by the vacuum pressure. The vacuum pump 230 may further include an exhaust port (not shown) for discharging the gas containing the liquefied solvent and the classified bubbles in the cooling tank 220 to the outside of the defoaming device 200.

제1 배관(241)은 약액 탱크(210)와 냉각 탱크(220)를 연결하는 배관으로, 진공압에 의하여 약액 탱크(210) 내부의 기포 및 휘발된 용매를 포함하는 기체가 냉각 탱크(220)로 이동하는 통로 역할을 수행한다.The first pipe 241 is a pipe connecting the chemical tank 210 and the cooling tank 220. A gas containing bubbles and volatile solvent inside the chemical liquid tank 210 is introduced into the cooling tank 220 by the vacuum pressure, As shown in FIG.

제1 배관(241)의 일 측단은 기포 및 휘발된 용매가 이동할 수 있도록, 약액 탱크(210) 상부 즉, 미충진 영역(213)에 연결되고, 약액 탱크(210) 상면에 연결되는 것이 더욱 바람직하다. 또한 제1 배관(241)의 타 측단은 냉각 탱크(220)의 상부에 연결되고, 냉각 탱크(220)의 상면에 연결되는 것이 더욱 바람직하다.More preferably, one end of the first pipe 241 is connected to the upper portion of the chemical liquid tank 210, that is, the non-filled region 213, and is connected to the upper surface of the chemical liquid tank 210 so that the bubbles and the volatilized solvent can move Do. The other end of the first pipe 241 is connected to the upper portion of the cooling tank 220 and is connected to the upper surface of the cooling tank 220.

도 2를 참조하면, 냉각 탱크(220)와 연결되는 제1 배관(241)의 타 측단은 냉각 탱크(220)와 진공 펌프(230)를 연결하는 제2 배관(242)의 일 측단 보다 낮은 높이에 위치하는 것이 바람직하다. 제1 배관(241)의 타 측단이 제2 배관(242)의 일 측단 보다 높은 높이에 위치하는 경우, 제1 배관을 통해 냉각 탱크(220)로 이동한 휘발된 용매가 냉각되지 못하고, 진공압에 의해 곧바로 제2 배관(242)을 통해 진공 펌프(230)로 유입될 수 있기 때문이다.2, the other end of the first pipe 241 connected to the cooling tank 220 is lower than the one end of the second pipe 242 connecting the cooling tank 220 and the vacuum pump 230 . When the other end of the first pipe 241 is positioned higher than the one end of the second pipe 242, the volatilized solvent that has moved to the cooling tank 220 through the first pipe can not be cooled, The second pipe 242 can be directly introduced into the vacuum pump 230 through the second pipe 242.

이로써 제한되는 것은 아니나, 제1 배관(241)은 증기압에 의해 변형되지 않고, 연결된 냉각 탱크(220)의 낮은 온도에 의한 영향을 최소화하기 위하여, 열 전도도가 작고 강도가 우수한 스테인레스강(Stainless Steel, SUS)으로 제조된 것이 바람직하다.Although not limited thereto, the first pipe 241 may be made of stainless steel having a low thermal conductivity and high strength so as not to be deformed by the vapor pressure and to minimize the influence of the low temperature of the connected cooling tank 220, SUS).

제2 배관(242)은 냉각 탱크(220)와 진공 펌프(230)를 연결하는 배관으로, 진공압에 의하여 냉각 탱크(220)로 이동한 기포를 포함하는 기체가 진공 펌프(230)로 이동하는 통로 역할을 수행한다.The second pipe 242 is a pipe connecting the cooling tank 220 and the vacuum pump 230. The second pipe 242 is a pipe for connecting the cooling tank 220 and the vacuum pump 230. A gas containing bubbles, It acts as a channel.

제2 배관(242)의 일 측단은 냉각 탱크(220)의 상부에 연결되고, 냉각 탱크(220)의 상면에 연결되는 것이 더욱 바람직하다. 앞에서 살펴본 바와 같이, 냉각 탱크(220)와 연결된 제2 배관(242)의 일 측단은 냉각 탱크(220)와 연결되는 제1 배관(241)의 타 측단보다 높은 높이에 위치하는 것이 바람직하다.One side of the second pipe 242 is connected to the upper part of the cooling tank 220 and is connected to the upper surface of the cooling tank 220. As described above, one end of the second pipe 242 connected to the cooling tank 220 is preferably located at a height higher than the other end of the first pipe 241 connected to the cooling tank 220.

제2 배관(242)은 진공압의 발생을 제어하기 위해 제1 개폐 밸브(251)를 포함할 수 있다. 즉 제1 개폐 밸브(251)를 온(On)함으로써, 진공압이 발생시킬 수 있고, 오프(OFF)함으로써, 진공압을 제거할 수 있다. 제1 개폐 밸브(251)는 아래에서 살펴볼 바와 같이 제어부에 의하여 제어된다.The second pipe 242 may include a first opening / closing valve 251 for controlling the generation of the vacuum pressure. That is, by turning on the first opening / closing valve 251, the vacuum pressure can be generated and the vacuum pressure can be removed by turning off the valve. The first on-off valve 251 is controlled by a control unit as will be described below.

제3 배관(243)은 냉각 탱크(220)와 약액 탱크(210)을 연결하는 배관으로, 냉각 탱크(220)에 저장된 액화된 용매가 약액 탱크(210)로 이동하는 통로 역할을 수행한다. The third pipe 243 is a pipe connecting the cooling tank 220 and the chemical liquid tank 210 and serves as a passage through which the liquefied solvent stored in the cooling tank 220 moves to the chemical liquid tank 210.

제3 배관(243)의 일 측단은 냉각 탱크(220)의 하부에 연결되고, 냉각 탱크(220)의 하면에 연결되는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 제3 배관(243)의 타 측단은 약액 탱크(210)에 연결된다. One end of the third pipe 243 is connected to the lower portion of the cooling tank 220 and is connected to the lower surface of the cooling tank 220. The other end of the third pipe 243 is connected to the chemical liquid tank 210.

이때, 제3 배관(243)의 타 측단은 도 2에 도시된 바와 같이, 약액 탱크(210)의 미충진 영역(213)에 연결되는 것이 더욱 바람직하다. 즉, 초기 약액(211)의 수위보다 높은 지점의 약액 탱크에 연결되는 것이 바람직하다. 제3 배관(243)이 약액 탱크(210)의 하부인 충진 영역(212)에 연결되는 경우, 액화된 용매가 제3 배관(243)을 통해 유입되는 과정에서, 약액 탱크(210) 내부의 약액에 기포가 함께 유입되는 현상이 발생할 수 있다. 그러나, 제3 배관(243)의 타 측단이 미충진 영역(213)에 연결되는 경우, 약액(211)으로 기포가 유입되는 현상을 최소화 할 수 있고, 액화된 용매(221)가 약액(211) 표면으로 떨어지면서 유입되므로, 약액(211) 표면에 발생한 피막을 녹이거나, 표면의 농도를 떨어트려 피막의 형성을 억제할 수 있는 부가적인 효과를 얻을 수 있다.At this time, it is more preferable that the other end of the third pipe 243 is connected to the unfilled region 213 of the chemical liquid tank 210 as shown in FIG. That is, it is preferable to be connected to the chemical liquid tank at a point higher than the water level of the initial chemical liquid 211. When the third piping 243 is connected to the filling region 212 which is the lower part of the chemical liquid tank 210 and the liquid solvent flows into the third piping 243, The air bubbles may be introduced together with the air. However, when the other end of the third pipe 243 is connected to the non-filled region 213, the phenomenon in which bubbles are introduced into the chemical liquid 211 can be minimized, So that it is possible to obtain an additional effect that the film formed on the surface of the chemical liquid 211 is melted or the concentration of the surface is lowered to suppress the formation of the film.

본 발명의 제어부(미도시)는 본 발명의 용매의 이동을 제어하는 역할을 하며, 보다 구체적으로는 하기에 기재된 제1 모드 및 제2 모드를 교번적으로 작동시키는 역할을 한다.The control unit (not shown) of the present invention controls the movement of the solvent of the present invention, and more specifically, functions to alternately operate the first mode and the second mode described below.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치(200)에서 제어부가 제1 모드 및 제2 모드를 제어하는 과정 및 약액(211) 내부의 기포가 제거되고, 용매가 순환되는 과정을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a process of controlling the first mode and the second mode by the control unit in the defoaming device 200 according to an embodiment of the present invention, a process of removing bubbles in the chemical liquid 211 and circulating the solvent will be described in detail do.

제어부는 제1 모드 및 제2 모드에서 냉각 탱크(220) 및 진공 펌프(230)를 제어함으로써, 기포를 제거하고 용매를 이동시킨다. 또한, 제1 밸브(251) 및 제2 밸브(252)를 제어할 수도 있다.The control unit controls the cooling tank 220 and the vacuum pump 230 in the first mode and the second mode to remove bubbles and move the solvent. Also, the first valve 251 and the second valve 252 may be controlled.

보다 구체적으로, 제1 모드에서, 제어부는 약액 탱크(210) 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크(220)로 이동되고, 휘발된 용매가 냉각 탱크(220)에서 냉각되어 액화된 용매(221)로 상 변화하도록 제어한다. 제2 모드에서, 제어부는 액화된 용매(221)가 냉각 탱크(220)에서 약액 탱크(210)로 이동되도록 제어한다.More specifically, in the first mode, the controller moves the bubbles and volatile solvent in the chemical liquid tank 210 to the cooling tank 220, and the volatilized solvent is cooled in the cooling tank 220 to remove the liquefied solvent 221 ). In the second mode, the control unit controls the liquefied solvent 221 to move from the cooling tank 220 to the chemical tank 210.

제1 모드에서, 제어부는 진공 펌프(230)를 제어하여 진공압을 발생시키고, 냉각 탱크(220)를 제어하여 기체를 액화시킨다. 또한, 제어부는 제1 밸브(251)를 제어하여, 진공압 발생을 조절할 수도 있다.In the first mode, the control unit controls the vacuum pump 230 to generate the vacuum pressure, and controls the cooling tank 220 to liquefy the gas. In addition, the control unit may control the first valve 251 to regulate the generation of the vacuum pressure.

진공 펌프(230)의 진공압에 의하여 약액 탱크(210) 내부, 특히, 미충진 영역(213)은 저기압 상태가 된다. 이때, 약액(211) 내부의 기포가 제거된다. 일반적으로, 기포는 약액(211) 보다 낮은 밀도를 가지므로, 시간이 지나거나, 교반 임펠라의 작동에 의하여 약액(211) 상부로 상승하여, 약액(211)의 표면으로 올라오게 된다. 약액(211) 표면으로 올라온 기포는 진공압에 의한 기압차에 의해 터지면서, 제1 배관(241)을 따라 냉각 탱크(220)로 이동하게 됨으로써, 약액(211)으로부터 제거된다.Due to the vacuum pressure of the vacuum pump 230, the inside of the chemical liquid tank 210, particularly the unfilled area 213, becomes a low pressure state. At this time, bubbles in the chemical liquid 211 are removed. Generally, since the bubbles have a lower density than the chemical liquid 211, they rise over the chemical liquid 211 due to the operation of the stirring impeller over time, and come up to the surface of the chemical liquid 211. The bubbles which have climbed to the surface of the chemical liquid 211 are removed from the chemical liquid 211 by moving to the cooling tank 220 along the first pipe 241 while bursting due to the air pressure difference caused by the vacuum pressure.

한편 약액(211) 내부의 기포뿐만 아니라 미충진 영역(213)을 차지하는 모든 기체가 진공 펌프(230)의 진공압에 의하여, 제1 배관(241)을 따라 냉각 탱크(220)로 이동하게 된다. 이때, 미충진 영역(213)에는 약액(211)으로부터 용매(solvent)가 증발하여 휘발된 용매가 존재하고, 휘발된 용매 또한, 제1 배관(241)을 따라 냉각 탱크(220)로 이동하게 된다.Not only the bubbles inside the chemical solution 211 but also all the gases occupying the unfilled region 213 are moved to the cooling tank 220 along the first pipe 241 by the vacuum pressure of the vacuum pump 230. At this time, in the non-filled region 213, a solvent is evaporated from the chemical liquid 211 and a volatilized solvent is present, and the volatilized solvent is also moved to the cooling tank 220 along the first pipe 241 .

앞서 설명한 바와 같이, 약액(211)으로부터 용매가 증발하면, 약액(211)의 농도 및 점도가 변하게 되고, 약액(211) 표면에 피막이 형성된다. 표면에 형성된 피막은 약액(211)이 토출되어 나가는 과정에서 문제를 발생시키거나, 최종적으로 형성된 박막 또는 코팅물의 품질을 크게 저하시키게 된다. 본 발명의 탈포 장치(200)는 약액(211)으로부터 증발하는 용매를 다시 액화시켜 약액 탱크(210)로 재유입시킴으로써, 약액(211)의 초기 물성을 그대로 유지시킬 수 있고, 약액(211) 표면에 피막이 형성되는 것을 억제시킬 수 있다.As described above, when the solvent is evaporated from the chemical liquid 211, the concentration and viscosity of the chemical liquid 211 change, and a film is formed on the surface of the chemical liquid 211. The coating formed on the surface may cause a problem in the process of discharging the chemical solution 211 or may significantly reduce the quality of the finally formed thin film or coating. The defoaming device 200 according to the present invention can maintain the initial physical properties of the chemical liquid 211 as it is by re-liquefying the solvent vaporized from the chemical liquid 211 into the chemical liquid tank 210, It is possible to suppress formation of a film on the substrate.

한편, 기포와 휘발된 용매는 제1 배관(242)을 따라 냉각 탱크(220)로 이동된 후 냉각되어 액화된 용매(221)로 상 변화된다. Meanwhile, the bubbles and the volatilized solvent are transferred to the cooling tank 220 along the first pipe 242, and then cooled to be phase-changed into the liquefied solvent 221.

보다 구체적으로, 냉각 탱크(220)는 -20℃로 유지되므로 휘발된 용매가 냉각 탱크(220)로 들어가게 되면, 액화된 용매(221)로 상 변화된다. 즉, 기체 상태의 용매가 액체 상태의 용매로 상 변환되어 냉각 탱크(220) 내부에 저장된다. 반면에, 약액 탱크(210)로부터 이동한 기포는 냉각 탱크(220)에서 액화되지 않으며, 진공압에 의해 제2 배관(242)을 따라 진공 펌프(230)로 이동함으로써 외부로 배출된다.More specifically, since the cooling tank 220 is kept at -20 占 폚, when the volatilized solvent enters the cooling tank 220, it is phase-changed into the liquefied solvent 221. [ That is, the gaseous solvent is phase-converted into a liquid-state solvent and stored in the cooling tank 220. On the other hand, the bubbles moving from the chemical liquid tank 210 are not liquefied in the cooling tank 220 and are discharged to the outside by the vacuum pump 230 moving along the second pipe 242 by the vacuum pressure.

다음으로, 제2 모드에서, 제어부는 진공 펌프(230)를 제어하여 진공압을 제거함으로써, 액화된 용매(221)가 냉각 탱크(220)에서 약액 탱크(210)로 이동되도록 제어한다. 이때, 제어부는 제1 밸브(251)를 제어하여, 진공압 발생을 제거할 수 있고, 제2 밸브(252)를 제어하여, 냉각 탱크(220)에 저장된 액화된 용매(251)가 약액 탱크(210)으로 이동되도록 조절할 수 있다.Next, in the second mode, the control unit controls the vacuum pump 230 to remove the vacuum pressure so that the liquefied solvent 221 is moved from the cooling tank 220 to the chemical tank 210. At this time, the control unit controls the first valve 251 to remove the generation of the vacuum pressure, and controls the second valve 252 so that the liquefied solvent 251 stored in the cooling tank 220 is discharged to the chemical liquid tank 210, respectively.

제2 모드에서, 액화된 용매(221)는 제3 배관(243)을 통해 약액 탱크(210)로 이동한다. 이때, 냉각 탱크(220)는 약액 탱크(210)보다 높은 위치에 위치하므로, 액화된 용매(221)는 별도의 구동 장치 없이 중력에 의하여 약액 탱크(210) 내부로 이동할 수도 있다.In the second mode, the liquefied solvent 221 moves through the third pipe 243 to the chemical tank 210. At this time, since the cooling tank 220 is located at a higher position than the chemical liquid tank 210, the liquefied solvent 221 may move into the chemical liquid tank 210 by gravity without a separate driving device.

냉각 탱크(220)에 저장된 액화된 용매(221)는 약액 탱크(210)으로 재유입되므로, 약액 탱크(210) 내부에서 용매의 증발로 인한 약액(211)의 농도 및 점도 변화를 최소화할 수 있다. 또한, 액화된 용매(221)는 제3 배관(243)을 통해 약액 탱크(210) 내부의 약액(211) 표면보다 높은 위치에서 유입되므로, 직접적으로 약액(211) 표면에 형성된 피막을 녹이거나, 용매의 휘발에 의해 약액 상부에 높아진 약액(211)의 농도를 감소시킬 수 있다.The liquefied solvent 221 stored in the cooling tank 220 is reintroduced into the chemical liquid tank 210 so that the change in the concentration and viscosity of the chemical liquid 211 due to the evaporation of the solvent in the chemical liquid tank 210 can be minimized . Since the liquefied solvent 221 flows through the third pipe 243 at a position higher than the surface of the chemical solution 211 in the chemical solution tank 210 and thus melts the film formed on the surface of the chemical solution 211 directly, The concentration of the chemical solution 211 raised above the chemical liquid can be reduced by the volatilization of the solvent.

한편, 제어부는 제1 모드와 제2 모드를 교번적으로 전환시킨다. 보다 구체적으로, 제어부는 제2 배관(242)에 배치된 제1 개폐 밸브(251) 및 제3 배관(243)에 배치된 제2 개폐 밸브(252)를 교번적으로 온(On)-오프(Off)함으로써, 제1 모드 및 제2 모드를 전환시킬 수 있다. 즉, 제1 모드에서, 제어부는 제1 개폐 밸브(251)를 온(ON), 제2 개폐 밸브(252)를 오프(OFF)로 작동시키고, 제2 모드에서, 제어부는 제1 개폐 밸브(251)를 오프(OFF)로, 제2 개폐 밸브(252)를 온(ON)으로 작동시킴으로써, 제1 모드와 제2 모드를 전환시킨다.On the other hand, the control unit alternately switches the first mode and the second mode. More specifically, the control unit alternately turns the first on-off valve 251 disposed in the second pipe 242 and the second on-off valve 252 disposed on the third pipe 243 on (off) Off), the first mode and the second mode can be switched. That is, in the first mode, the control unit turns on the first on-off valve 251 and turns on the second on-off valve 252, and in the second mode, 251 are turned off and the second open / close valve 252 is turned on, thereby switching between the first mode and the second mode.

한편, 제어부는 약액(211) 또는 용매의 물리적 성질을 감지하여 제1 모드와 제2 모드를 제어한다. 이로써 제한되는 것은 아니나, 예를 들면, 제어부는 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 또는 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피에 따라 제1 모드를 제2 모드로 전환시킬 수 있다.Meanwhile, the control unit controls the first mode and the second mode by sensing the physical properties of the chemical liquid 211 or the solvent. For example, the control unit may convert the first mode into the second mode according to the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, or the volume of the gas sucked by the vacuum pump.

예를 들어, 제어부는 약액(211)의 농도 변화에 따라 제1 모드 및 제2 모드를 제어할 수 있다. 구체적으로, 제어부는 제1 모드가 약액 탱크(210) 내부의 약액(211)의 농도가 초기 약액의 농도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것이 바람직하며, 10% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것이 더욱 바람직하다. 약액(211)의 농도가 초기 약액의 농도에 비해서 20% 증가하게 되면, 탈포가 더 이상 진행되기 어려워 탈포 공정의 효율성이 크게 저하될 수 있다. 따라서, 약액의 농도 변화가 상기 범위를 초과하는 경우, 제1 모드에서 제2 모드로 전환된다. For example, the control unit may control the first mode and the second mode in accordance with the concentration change of the chemical liquid 211. Specifically, the control unit preferably controls the first mode to be operated until the concentration of the chemical liquid 211 in the chemical liquid tank 210 increases by 20% compared to the concentration of the initial chemical liquid, and operates until the concentration increases by 10% It is more preferable to control it. If the concentration of the chemical solution 211 is increased by 20% as compared with the concentration of the initial chemical solution, the defoaming can not proceed further, and the efficiency of the defoaming process may be greatly deteriorated. Therefore, when the concentration change of the chemical solution exceeds the above range, the first mode is switched to the second mode.

또한, 제어부는 약액(211)의 점도 변화에 따라 제1 모드 및 제2 모드를 제어할 수 있다. 구체적으로, 제어부는 제1 모드가 약액 탱크(210) 내부의 약액(211)의 점도가 초기 약액의 점도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것이 바람직하며, 10% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것이 더욱 바람직하다. 구체적으로 설명하면, 제1 모드에서 진공압이 발생하여 약액 탱크(210) 내부의 휘발된 용매가 냉각 탱크(220)로 이동하게 되면, 약액 탱크(210) 내부의 용매는 계속하여 증발하게 되고, 지속적으로 약액(211)의 점도는 증가하게 된다. 그러나, 약액(211)의 점도가 초기 약액의 점도에 비해서 20% 이상 증가하게 되면, 약액(211)의 물성이 변경되거나, 약액(211) 하부에 존재하는 기포가 약액(211) 표면으로 이동하기 어려워 탈포 공정 속도가 크게 저하된다. 따라서, 약액의 농도 변화가 상기 범위를 초과하는 경우, 제1 모드에서 제2 모드로 전환된다. In addition, the control unit may control the first mode and the second mode according to the viscosity change of the chemical liquid 211. Specifically, the control unit preferably controls the first mode to be operated until the viscosity of the chemical liquid 211 inside the chemical liquid tank 210 increases by 20% relative to the viscosity of the initial chemical liquid, and operates until the liquid chemical tank 211 increases by 10% It is more preferable to control it. More specifically, when vacuum pressure is generated in the first mode and the volatilized solvent in the chemical liquid tank 210 moves to the cooling tank 220, the solvent in the chemical liquid tank 210 is continuously evaporated, The viscosity of the chemical liquid 211 continuously increases. However, if the viscosity of the chemical liquid 211 increases by 20% or more relative to the viscosity of the initial chemical liquid, the physical properties of the chemical liquid 211 change, or the bubbles existing under the chemical liquid 211 move to the surface of the chemical liquid 211 The defoaming process speed is greatly reduced. Therefore, when the concentration change of the chemical solution exceeds the above range, the first mode is switched to the second mode.

또한, 제어부는 액화된 용매(221)의 중량에 따라 제1 모드 및 제2 모드를 제어할 수 있다. 제1 모드가 작동됨에 따라, 냉각 탱크(220) 내부에 액화된 용매(221)의 양이 증가하게 된다. 따라서, 제어부는 제1 모드가 액화된 용매의 중량이 저장 탱크(210) 내부의 초기 약액의 중량에 대하여 25%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것이 바람직하며, 10%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것이 더욱 바람직하다. 액화된 용매(221)의 중량이 저장 탱크(210) 내부의 초기 약액(211)의 중량에 대하여 25% 형성되는 경우, 탱크(210) 내부의 약액(211)의 점도가 크게 증가하고, 냉각 효율이 저하될 수 있다. 따라서, 액화된 용매(221)의 중량이 상기 범위를 초과하는 경우, 제1 모드에서 제2 모드로 전환된다.In addition, the controller may control the first mode and the second mode according to the weight of the liquefied solvent 221. As the first mode is activated, the amount of liquefied solvent 221 in the cooling tank 220 increases. Therefore, the control unit preferably controls the first mode to be operated until the weight of the liquefied solvent is 25% with respect to the weight of the initial chemical liquid in the storage tank 210, and is controlled to be 10% . When the weight of the liquefied solvent 221 is 25% based on the weight of the initial chemical liquid 211 in the storage tank 210, the viscosity of the chemical liquid 211 inside the tank 210 is greatly increased, Can be lowered. Therefore, when the weight of the liquefied solvent 221 exceeds the above range, the mode is switched from the first mode to the second mode.

마지막으로, 제어부는 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피에 따라 제1 모드 및 제2 모드를 제어할 수 있다. 제1 모드가 작동됨에 따라, 약액 탱크(210) 내부의 기체가 진공압에 의해 냉각 탱크(220)로 이동하게 된다. 이때 약액 탱크(210) 내부의 기체는 대기, 불활성 기체, 기포 및 휘발된 용매를 포함한다. 제어부는 제1 모드가 진공 펌프(230)에 의해 흡입되는 기체의 부피가 초기 약액 탱크(210)에 존재하는 기체의 전체 부피에 대하여 40%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것이 바람직하며, 30%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것이 더욱 바람직하다. 이는, 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피가 초기 약액 탱크(210)에 존재하는 기체의 전체 부피에 대하여 40%를 초과하여 흡입되는 경우, 용매의 증발량이 증가하여 약액(211) 표면에 피막이 형성되기 때문이다. 따라서, 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피가 상기 범위를 초과하는 경우, 제1 모드에서 제2 모드로 전환된다. Finally, the control unit can control the first mode and the second mode according to the volume of the gas sucked by the vacuum pump. As the first mode is activated, the gas inside the chemical liquid tank 210 is moved to the cooling tank 220 by the vacuum pressure. At this time, the gas inside the chemical liquid tank 210 includes atmospheric, inert gas, bubbles, and volatile solvent. The control unit preferably controls the first mode to operate until the volume of the gas sucked by the vacuum pump 230 reaches 40% with respect to the total volume of the gas existing in the initial chemical liquid tank 210, Is controlled so as to be operated. This is because when the volume of the gas sucked by the vacuum pump is in excess of 40% of the total volume of the gas present in the initial chemical tank 210, the amount of evaporation of the solvent increases and a film is formed on the surface of the chemical liquid 211 . Therefore, when the volume of the gas sucked by the vacuum pump exceeds the above range, the mode is switched from the first mode to the second mode.

한편, 제2 모드는 액화된 용매(221)가 약액 탱크(210)로 이동되는 양에 따라 제어될 수 있다. 이로써 제한되는 것은 아니나, 냉각 탱크(220) 내부의 액화된 용매(221)가 약액 장치(210)로 모두 이동하게 되면 다시 제2 모드를 중지하고 제1 모드를 작동함으로써 탈포 공정을 계속 진행할 수 있다.On the other hand, the second mode can be controlled according to the amount by which the liquefied solvent 221 is transferred to the chemical tank 210. Although not limited thereto, when the liquefied solvent 221 in the cooling tank 220 is completely moved to the chemical liquid device 210, the second mode is stopped again and the defoaming process can be continued by operating the first mode .

본 발명의 탈포 장치(200)는 제1 모드와 제2 모드로 용매를 처리함으로써 약액(211)의 농도 및 점도가 변하지 않고, 약액(211) 표면에 피막 또한 형성되지 않은 채, 약액(211) 내부의 기포를 제거할 수 있다.The defoaming device 200 of the present invention can be applied to the defoaming device 200 by treating the solvent in the first mode and the second mode without changing the concentration and the viscosity of the chemical solution 211 and without forming a film on the surface of the chemical solution 211, It is possible to remove the air bubbles inside.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 방법을 설명하기 위한 순서도 이다. 본 발명의 탈포 방법은 탈포 장치가 약액에서 기포를 제거하는 방법으로서, 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크로 이동되도록 제어하는 제1 단계(S31), 휘발된 용매가 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어하는 제2 단계(S32) 및 액화된 용매가 냉각 탱크에서 약액 탱크로 이동되도록 제어하는 제3 단계(S33)로 이루어진다.3 is a flowchart illustrating a defoaming method according to an embodiment of the present invention. The defoaming method of the present invention is a defoaming method of a defoaming device for removing air bubbles from a chemical liquid, comprising a first step (S31) of controlling bubbles and volatile solvents in a chemical liquid tank to move to a cooling tank, A second step (S32) of controlling the liquid phase to be changed to the solvent, and a third step (S33) of controlling the liquefied solvent to move from the cooling tank to the chemical liquid tank.

먼저, 본 발명의 탈포 장치는 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크로 이동되도록 제어한다(제1 단계, S31).First, the defoaming device of the present invention controls the bubbles in the chemical liquid tank and the volatilized solvent to move to the cooling tank (Step 1, S31).

상기 제 1모드에서 언급한 바와 같이, 진공 펌프의 진공압에 의해, 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 제1 배관을 통해 냉각 탱크로 이동된다. 이때, 제1 개폐 밸브는 온(ON) 상태로 제어되고, 제2 개폐 밸브는 오프(OFF) 상태로 제어된다.As mentioned in the first mode, by the vacuum pressure of the vacuum pump, the bubbles inside the chemical liquid tank and the volatile solvent are moved to the cooling tank through the first pipe. At this time, the first on-off valve is controlled to the ON state and the second on-off valve is controlled to the OFF state.

다음으로, 본 발명의 탈포 장치는 휘발된 용매가 상기 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어한다(제2 단계, S32).Next, the defoaming device of the present invention controls the phase change of the volatilized solvent from the cooling tank to the liquefied solvent (second step, S32).

이때, 냉각 탱크는 -20℃ 이하로 제어되며, 휘발된 용매는 냉각 탱크에서 상 변화되어 액화된 용매로 저장된다. 이로써 휘발된 용매는 액화된 용매로 상 변환되고, 액화되지 않는 기포와 분류된다. 이때, 기포는 진공 펌프에 의해 냉각 탱크 및 진공 펌프를 거쳐 탈포 장치 외부로 배출됨으로써 약액으로부터 제거된다. 이 밖의 내용은 제1 모드에서 언급한 내용과 실질적으로 동일하므로 구체적인 내용은 생략하기로 한다. 이때, 제1 단계 및 제2 단계는 진공 펌프의 작동에 의해 연속하여 수행된다.At this time, the cooling tank is controlled at -20 DEG C or lower, and the volatilized solvent is phase-changed in the cooling tank and stored as a liquefied solvent. As a result, the volatilized solvent is phase-transformed into a liquefied solvent, and is classified with non-liquefied bubbles. At this time, the bubbles are discharged to the outside of the defoaming device via the cooling tank and the vacuum pump by the vacuum pump, and are thereby removed from the chemical liquid. The other contents are substantially the same as those mentioned in the first mode, so the detailed contents will be omitted. At this time, the first step and the second step are successively performed by the operation of a vacuum pump.

일정 정도의 과정이 지나면, 탈포 장치는 제1 단계 및 제2 단계를 중단시키고, 냉각 탱크에 저장된 액화된 용매가 냉각 탱크에서 약액 탱크로 이동되도록 제어한다(제3 단계, S33). 제1 단계에서 증발로 인한 손실된 용매를 재유입시킴으로써, 약액의 농도 및 점도가 일정하게 유지되며, 약액 표면에 피막이 형성되는 현상을 억제할 수 있다. 이 밖의 내용은 제2 모드에서 언급한 내용과 실질적으로 동일하므로 구체적인 내용은 생략하기로 한다.After a certain degree of process, the defoaming device stops the first and second steps and controls the liquefied solvent stored in the cooling tank to move from the cooling tank to the chemical tank (step S33). By re-introducing the solvent lost due to evaporation in the first step, the concentration and viscosity of the chemical liquid can be kept constant and the phenomenon of forming a film on the surface of the chemical liquid can be suppressed. Since the other contents are substantially the same as those mentioned in the second mode, the detailed contents will be omitted.

이때, 제1 단계 및 제2 단계는 제3 단계와 교번적으로 수행된다. At this time, the first step and the second step are alternately performed with the third step.

보다 구체적으로, 탈포 장치는 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 및 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피 중 적어도 하나가 기 설정된 조건을 만족할 때, 상기 제1 단계 및 상기 제2 단계의 수행을 중단하고 상기 제3 단계를 수행하게 된다. 이때, 상기 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 및 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피의 기 설정된 조건의 구체적인 내용은 앞에서 언급한 내용과 실질적으로 동일하므로 구체적인 내용은 생략하기로 한다.More specifically, when at least one of the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, and the volume of the gas sucked by the vacuum pump satisfies predetermined conditions, And the third step is performed. At this time, the predetermined contents of the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, and the volume of the gas sucked by the vacuum pump are substantially the same as the above-mentioned contents, so the detailed description will be omitted .

본 발명의 효과에 대해서 알아보기 위해 PI 약액의 탈포 장치를 각각 달리하여, 탈포 공정을 진행하였다. 구체적으로, 비교예에서는 도 1에 따른 종래의 진공 펌프를 이용한 탈포 장치로 탈포 공정을 진행하였고, 실시예에서는 도 2에 따른 본 발명에 따른 탈포 장치로 탈포 공정을 진행하였다. 이때, 비교예 및 실시예의 탈포 공정은 동일한 농도, 점도, 함량을 갖는 PI 약액을 이용하여 실험을 진행하였고, 육안상 기포가 모두 제거될 때까지 탈포 공정을 진행하였다.In order to examine the effect of the present invention, the defoaming process of the PI chemical solution was carried out by varying the defoaming device. Specifically, in the comparative example, the defoaming process using the conventional vacuum pump shown in FIG. 1 was performed, and in the embodiment, the defoaming process was performed with the defoaming device according to the present invention shown in FIG. At this time, the defoaming process of Comparative Examples and Examples was carried out by using a PI solution having the same concentration, viscosity and content, and the defoaming process was performed until all the bubbles were visually removed.

먼저, 비교예 및 실시예의 탈포 장치로 탈포 공정을 진행할 때, 기포가 모두 제거되어 공정이 완료될 때까지 각각 10시간 및 4시간이 소요되었는바, 실시예에 따른 탈포 장치를 이용하는 경우, 탈포 공정 시간이 현저하게 단축되는 것을 확인할 수 있었다.In the defoaming process of the comparative example and the example, 10 hours and 4 hours were required until the bubbles were completely removed and the process was completed. When using the defoaming device according to the embodiment, The time was remarkably shortened.

한편, 도 4 및 도 5는 각각 비교예 및 실시예에 따라 탈포 공정이 완료된 PI 약액의 상태를 촬영한 이미지이다. 도 4에서 확인할 수 있듯이 종래의 탈포 장치를 이용하여 탈포를 완료하는 경우, 약액 표면에 상당한 두께를 가지는 투명한 피막이 형성되는 것을 육안으로 확인할 수 있었다. 이에 반하여, 본 발명의 탈포 장치를 이용한 경우, 도 5에서 확인할 수 있듯이 전혀 피막이 형성되지 않은 것을 확인할 수 있었다.4 and 5 are images of the state of the PI drug solution which has been defoamed according to the comparative example and the example, respectively. As can be seen from FIG. 4, when defoaming is completed using the conventional defoaming device, it was visually confirmed that a transparent film having a considerable thickness is formed on the surface of the chemical liquid. On the other hand, when the defoaming device of the present invention was used, it was confirmed that no film was formed at all as shown in FIG.

상기에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 탈포 장치는, 탈포 공정 시간을 현저히 줄여 공정 효율을 향상시키고, 약액 표면에 피막이 형성되는 것을 억제하므로, 우수한 품질의 코팅물 또는 생성물을 기대할 수 있다.As described above, the defoaming device according to an embodiment of the present invention significantly reduces the defoaming process time to improve the process efficiency and inhibits the formation of a film on the surface of the chemical liquid, so that a coating material or a product of excellent quality can be expected have.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention is not limited to those embodiments and various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

200: 탈포 장치
210: 약액 탱크
211: 약액
212: 충진 영역
213: 미충진 영역
220: 냉각 탱크
221: 액화된 용매
230: 진공 펌프
241: 제1 배관
242: 제2 배관
243: 제3 배관
244: 가스 공급관
245: 약액 배출관
251: 제1 개폐 밸브
252: 제2 개폐 밸브200: defoaming device
210: chemical tank
211: Solution
212: filling area
213: unfilled area
220: cooling tank
221: liquefied solvent
230: Vacuum pump
241: First piping
242: Second piping
243: Third piping
244: gas supply pipe
245:
251: first opening / closing valve
252: second opening / closing valve

Claims (19)

용매 및 용질을 포함하는 약액이 저장된 약액 탱크;
상기 약액 탱크와 연결된 냉각 탱크;
상기 냉각 탱크와 연결된 진공 펌프; 및
제1 모드 및 제2 모드를 교번적으로 작동시켜, 상기 용매의 이동을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제1 모드에서, 상기 제어부는 상기 약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 상기 냉각 탱크로 이동되고, 상기 휘발된 용매가 상기 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어하고,
상기 제2 모드에서, 상기 제어부는 상기 액화된 용매가 상기 냉각 탱크에서 상기 약액 탱크로 이동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
A chemical liquid tank storing a chemical liquid containing a solvent and a solute;
A cooling tank connected to the chemical liquid tank;
A vacuum pump connected to the cooling tank; And
And a control unit for alternately operating the first mode and the second mode to control the movement of the solvent,
In the first mode, the control unit controls the bubbles in the chemical liquid tank and the volatile solvent to be transferred to the cooling tank, the volatilized solvent to be phase-changed to the liquefied solvent in the cooling tank,
And in the second mode, the control unit controls to move the liquefied solvent from the cooling tank to the chemical liquid tank.
제1 항에 있어서,
상기 약액은 폴리이미드를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the chemical liquid comprises polyimide.
제1 항에 있어서,
상기 약액 탱크는 상기 약액 내부의 기포를 약액의 표면으로 이동시키기 위한 교반 임펠라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the chemical liquid tank further comprises a stirring impeller for moving the bubbles inside the chemical liquid to the surface of the chemical liquid.
제1 항에 있어서,
상기 약액 탱크는 불활성 가스를 공급하는 가스 공급관 및 상기 불활성 가스에 의해 상승되는 내부 압력을 이용하여 상기 약액을 배출시키는 약액 배출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the chemical liquid tank further comprises a gas supply pipe for supplying an inert gas and a chemical liquid discharge pipe for discharging the chemical liquid using an internal pressure raised by the inert gas.
제1 항에 있어서,
상기 냉각 탱크는 -20℃ 이하로 유지되는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the cooling tank is kept at -20 占 폚 or lower.
제1 항에 있어서,
상기 냉각 탱크는 상기 액화된 용매가 중력에 의하여 상기 약액 탱크로 공급되도록 상기 약액 탱크의 상면 보다 높은 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the cooling tank is disposed at a position higher than the upper surface of the chemical liquid tank so that the liquefied solvent is supplied to the chemical liquid tank by gravity.
제1 항에 있어서,
상기 진공 펌프는 배기구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the vacuum pump comprises an exhaust port.
제1 항에 있어서,
상기 탈포 장치는 상기 약액 탱크와 상기 냉각 탱크의 상부를 연결하는 제1 배관, 상기 냉각 탱크와 상기 진공 펌프를 연결하는 제2 배관 및 상기 약액 탱크와 상기 냉각 탱크의 하부를 연결하는 제3 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the defoaming device includes a first pipe connecting the chemical tank and the upper portion of the cooling tank, a second pipe connecting the cooling tank and the vacuum pump, and a third pipe connecting the chemical tank and the lower portion of the cooling tank, Wherein the defoaming device is a defoaming device.
제8 항에 있어서,
상기 제2 배관은 진공압의 발생을 제어하기 위한 제1 개폐 밸브를 포함하고, 상기 제3 배관은 액화된 용매가 약액 탱크로 이동되는 것을 제어하기 위한 제2 개폐 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the second pipe includes a first open / close valve for controlling the generation of the vacuum pressure, and the third pipe includes a second open / close valve for controlling the movement of the liquefied solvent to the chemical liquid tank , A defoaming device.
제8 항에 있어서,
상기 약액 탱크는 상기 약액이 채워지는 충진 영역 및 상기 충진 영역 상부의 미충진 영역으로 구분되며,
상기 제3 배관은 일 측단이 상기 냉각 탱크의 하면에 연결되고, 타 측단이 상기 약액 탱크의 미충진 영역에 연결되는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the chemical liquid tank is divided into a filling region where the chemical liquid is filled and an unfilled region above the filling region,
Wherein one end of the third pipe is connected to a lower surface of the cooling tank and the other end is connected to an unfilled region of the chemical tank.
제9 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 개폐 밸브 및 상기 제2 개폐 밸브를 서로 교번적으로 온(On)-오프(Off)하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the control unit alternately turns on and off the first on-off valve and the second on-off valve.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 또는 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피에 따라 상기 제1 모드에서 상기 제2 모드로 전환시키는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit switches from the first mode to the second mode according to the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, or the volume of the gas sucked by the vacuum pump.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 모드가 약액의 농도가 초기 약액의 농도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit controls the first mode to operate until the concentration of the chemical liquid increases by 20% as compared with the concentration of the initial chemical liquid.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 모드가 약액의 점도가 초기 약액의 점도에 비해서 20% 증가할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit controls the first mode to operate until the viscosity of the chemical liquid increases by 20% in comparison with the viscosity of the initial chemical liquid.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 모드가 상기 냉각 탱크의 액화된 용매의 중량이 상기 저장 탱크에 포함된 초기 약액의 중량에 대하여 25%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit controls the first mode to operate until the weight of the liquefied solvent of the cooling tank becomes 25% with respect to the weight of the initial chemical liquid contained in the storage tank.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제1 모드가 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피가 초기 약액 탱크에 존재하는 기체의 전체 부피에 대하여 40%가 될 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the controller controls the first mode to operate until the volume of the gas sucked by the vacuum pump becomes 40% with respect to the total volume of the gas existing in the initial chemical liquid tank.
제1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 제2 모드가 냉각 탱크 내부의 액화된 용매가 모두 약액 탱크로 이동할 때까지 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는, 탈포 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the controller controls the second mode to be operated until all of the liquefied solvent in the cooling tank moves to the chemical liquid tank.
탈포 장치가 약액에서 기포를 제거하는 방법으로서,
약액 탱크 내부의 기포 및 휘발된 용매가 냉각 탱크로 이동되도록 제어하는 제1 단계;
상기 휘발된 용매가 상기 냉각 탱크에서 액화된 용매로 상 변화되도록 제어하는 제2 단계; 및
상기 액화된 용매가 상기 냉각 탱크에서 상기 약액 탱크로 이동되도록 제어하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 방법.A method for removing bubbles in a chemical liquid from a defoaming device,
A first step of controlling the bubbles in the chemical liquid tank and the volatile solvent to move to the cooling tank;
A second step of controlling the volatilized solvent to be phase-changed to a liquefied solvent in the cooling tank; And
And a third step of controlling the liquefied solvent to move from the cooling tank to the chemical liquid tank. 제18 항에 있어서,
상기 탈포 장치는, 약액의 농도, 약액의 점도, 액화된 용매의 중량 및 진공 펌프에 의해 흡입되는 기체의 부피 중 적어도 하나가 기 설정된 조건을 만족할 때, 상기 제1 단계 및 상기 제2 단계의 수행을 중단하고 상기 제3 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는, 방법.19. The method of claim 18,
Wherein the defoaming device performs the first step and the second step when at least one of the concentration of the chemical liquid, the viscosity of the chemical liquid, the weight of the liquefied solvent, and the volume of the gas sucked by the vacuum pump satisfies predetermined conditions And the third step is performed.
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Cited By (4)

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