KR20160076304A - 레이저 가공장치용 미러 마운트 - Google Patents

레이저 가공장치용 미러 마운트 Download PDF

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KR20160076304A
KR20160076304A KR1020140186364A KR20140186364A KR20160076304A KR 20160076304 A KR20160076304 A KR 20160076304A KR 1020140186364 A KR1020140186364 A KR 1020140186364A KR 20140186364 A KR20140186364 A KR 20140186364A KR 20160076304 A KR20160076304 A KR 20160076304A
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윤태준
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주식회사 이오테크닉스
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Abstract

미러 마운트가 개시된다. 개시된 미러 마운트는, 미러가 안착되는 공간이 마련된 미러 케이스 및 상기 미러 케이스 에 마련되며, 상기 미러에 탄성력을 인가하여 상기 미러를 고정시키는 고정부를 포함하는 미러 고정부재를 포함한다.

Description

레이저 가공장치용 미러 마운트{Mirror mount for lasor processing device}
레이저 가공장치용 미러 마운트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 미러를 고정할 때, 미러의 눌림현상을 줄여줄 수 있는 미러 마운트에 관한 것이다.
레이저 가공, 광학 실험장치, 기타 광 조사계에서 광의 진행경로를 변경하기 위해 미러가 사용되고 있다. 광의 진행경로를 바꾸기 위해서 미러의 설치각도를 조절해야 하며 이를 위해 미러는 각도변경이 가능한 마운트나 지지부재에 설치된다.
종래 미러는 볼 플런저와 같은 고정나사에 의해 적어도 일 부분이 조여짐으로써 다른 부재에 대해 고정되었다. 하지만 이러한 고정방식에 의할 경우, 고정나사에 의해 미러에 과도한 압력이 가해지면서 미러의 눌림 현상이 발생할 수 있다. 그리고 그로 인해 미러에 왜곡이 생기면서 반사되는 레이저의 방향이나 품질에 악영향을 끼칠 수 있다.
따라서, 상기 미러의 눌림현상을 줄여주면서 미러를 안정적으로 고정할 수 있는 기술이 요구된다.
실시예들에 따르면, 미러의 눌림 현상을 적게하면서 미러를 고정할 수 있는 미러 마운트가 제공된다.
일 측면에 있어서,
상기 미러 케이스 에 마련되며, 상기 미러에 탄성력을 인가하여 상기 미러를 고정시키는 고정부를 포함하는 미러 고정부재;를 포함하며, 상기 미러 케이스에는, 상기 고정부에 대응하는 엣지가 형성되고, 상기 미러는 상기 엣지와 상기 고정부 사이에 위치하여, 상기 고정부가 가하는 탄성력에 의해 고정되는 미러 마운트가 개시된다.
상기 고정부는 상기 미러에 탄성력을 가하는 적어도 하나의 리프 스프링을 포함할 수 있다.
상기 고정부는 상기 미러에 탄성력을 가하는 적어도 하나의 클립 스프링을 포함할 수 있다.
상기 고정부는 적어도 세 개가 마련될 수 있다.
상기 미러 케이스의 일측에는 상기 미러를 고정하는 볼플런저가 끼워지도록 홀이 마련될 수 있다.
상기 미러는 사각형 모양의 평판 미러일 수 있다.
상기 고정부는 상기 사각형 모양의 평판 미러의 꼭지점들 각각에 대응되는 위치에 형성될 수 있다.
상기 미러 케이스는 'ㄷ'자 형상의 제1 케이스 및 상기 제1 케이스와 결합되는 일자형의 제2 케이스를 포함할 수 있다.
상기 미러 케이스가 설치되는 지지부재를 포함할 수 있다.
상기 지지부재는 미러 케이스가 실장되는 지지판을 포함할 수 있다.
상기 미러 케이스는 상기 지지판에 탈부착이 가능하며, 그 부착 방향은 변경이 가능하도록 구성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 미러를 미러 마운트에 실장하여 고정할 때, 미러의 눌림현상에 의해 발생하는 미러의 왜곡을 줄일 수 있다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 미러 마운트의 사시도이다.
도 2는 도 1에서 나타낸 미러 마운트를 바라보는 시선을 달리하여 나타낸 사시도이다.
도 3은 미러 케이스가 미러 각도조절장치에 장착된 예를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에서 나타낸 미러 각도조절장치의 내부 모습을 나타낸 도면이다.
도 5는 다른 예시적인 실시예에 따른 미러 마운트를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에서 나타낸 미러 케이스가 부착될 수 있는 지지부재를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에서 나타낸 지지판의 평면도이다.
도 8은 도 5에서 나타낸 미러 케이스가 도 6에서 나타낸 미러 지지판(230)에 부착된 모습을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8에서 나타낸 미러 케이스의 부착방향이 변경된 예를 나타낸 도면이다.
이하, 예시적인 실시예에 따른 레이저 가공장치용 미러 마운트에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. 한편, 이하에 설명되는 실시예는 단지 예시적인 것에 불과하며, 이러한 실시예들로부터 다양한 변형이 가능하다.
이하에서, "상부" 나 "상"이라고 기재된 것은 접촉하여 바로 위에 있는 것뿐만 아니라 비접촉으로 위에 있는 것도 포함할 수 있다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서에 기재된 “...부”, “모듈” 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다.
도 1은 예시적인 실시예에 따른 미러 마운트의 사시도이다. 도 2는 도 1에서 나타낸 미러 마운트를 바라보는 시선을 달리하여 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예에 따른 미러 마운트는, 미러가 안착되는 공간이 마련된 미러 케이스(120) 및 미러 케이스(120) 에 마련되며, 상기 미러에 탄성력을 인가하여 상기 미러를 고정시키는 고정부(112)를 포함하는 미러 고정부재(110)를 포함할 수 있다.
도 1에서 나타낸 바와 같이, 미러 케이스(120)에는 미러가 안착될 수 있는 공간이 마련되어 있다. 도 1에서는 미러 케이스(120)가 사각형 모양의 테두리를 가지는 예를 도시했다. 이러한 미러 케이스(120)에는 사각형 모양의 평판 미러가 실장될 수 있다. 하지만 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 미러 케이스(120)의 모양은 사용되는 미러의 모양이나 다른 부품과의 체결관계에 따라 다양하게 변형될 수 있다. 또한 미러 케이스(120)의 일 측면에는 볼플런저(미도시)가 끼워지는 홀(124)이 마련되어 있을 수 있다. 볼플런저(미도시)는 홀(124)이 형성된 방향으로 미러가 흔들리는 것을 방지하도록 미러에 힘을 가할 수 있다.
도 1 및 도 2에서 나타낸 바와 같이, 미러 케이스(120)는, 미러 고정부재(110)의 고정부(112)에 대응하는 위치에 형성된 엣지(112)를 포함할 수 있다. 여기서 대응된다는 것은 엣지(112)의 위치가 고정부(112)로부터 크게 벗어나지 않는 것을 의미하며 반드시 수직적으로 일치하는 것에 제한되는 것은 아니다. 미러 케이스(110)에 엣지가 형성된 경우, 도 2에서 나타낸 바와 같이 엣지(122)와 고정부(112) 사이에는 미러가 삽입될 수 있는 공간이 마련되어 있을 수 있다. 엣지(122)와 고정부(112) 사이 간격의 크기는 삽입되는 미러의 두께에 따라 달라질 수 있다. 미러는 엣지와 고정부(112) 사이에 위치할 수 있다. 또한 미러는 고정부(112)가 가하는 탄성력에 의해 고정될 수 있다.
도 1 및 도 2에서는 고정부(112)의 개수가 4개인 경우를 나타냈으나 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되는 것은 아니다. 고정부(112)의 개수는 도 1 및 도 2에서 나타낸 것보다 적거나 혹은 더 많을 수도 있다. 도 1서는 고정부(112)가 미러 케이스(120)의 아랫면 방향(지면으로 들어가는 방향)으로 미러에 탄성력을 가하는 예를 도시했다. 하지만 이는 예시적인 것에 불과할 뿐, 통상의 기술자가 가할 수 있는 설계변경에 따라 고정부(112)가 미러에 가하는 탄성력의 방향은 반대가 될 수도 있다. 예를 들어, 고정부(112)가 미러 케이스(120)에서 미러가 실장되는 공간 아래 마련되고 상기 미러 케이스(120)의 엣지(122)가 미러가 삽입되는 공간 위에 마련될 수도 있다. 이 경우, 고정부(112)는 미러 케이스(120)의 아랫면으로부터 위 방향(지면으로부터 나오는 방향)으로 미러에 탄성력을 가할 수 있다.
고정부(112)는 다양한 형상을 가질 수 있다. 일 예로, 고정부(112)는 적어도 하나의 리프 스프링을 포함할 수 있다. 여기서, 리프 스프링은 판상의 스프링을 의미할 수 있다. 도 1에서는 고정부(112)에 포함된 리프 스프링이 사각형의 판 형상인 경우를 나타냈으나 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 리프 스프링은 임의의 다각형 판 또는 원판 형상을 가질 수 있다. 미러의 눌림현상을 줄이기 위해서는 미러에 힘이 가해지는 면적을 줄이는 것이 필요하다. 따라서 고정부(112)는 미러에 대한 접촉면적이 작은 리프 스프링을 복수 개 포함할 수 있다. 도 1에서는 고정부(112)에 포함된 리프 스프링의 개수가 4개인 경우를 도시했다. 또한 효과적인 미러 고정을 위해 미러 케이스(120)의 사각형 테두리 각 꼭지점에 대응되는 위치마다 리프 스프링들이 배치된 경우를 도시하였다. 하지만 제시된 예는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되는 것은 아니다. 리프 스프링의 위치 및 개수는 다양한 방식으로 변경될 수 있다. 예를 들어, 리프 스프링이 3개일 수도 있다. 이 경우, 리프 스프링들은 도 1에 나타낸 사각형 모양의 틀에서 윗변 중앙에 하나, 아랫변 가장자리에 각각 하나씩 배치될 수 있다. 도 1 및 도 2에서 나타낸 바와 같이 작은 면적을 가지는 복수의 리프 스프링으로 미러를 고정하면, 적은 면적에 필요한 만큼의 힘이 미러에 가해지기 때문에 미러의 눌림현상이 줄어들 수 있다.
도 3은 미러 케이스(120)가 미러 각도조절장치(130)에 장착된 예를 나타낸 도면이다.
미러 각도조절장치(130)는 미러 케이스(120)가 가지는 사각형 모양의 두 변에 대응하여 ‘ㄱ’자 형상을 가질 수 있다. 하지만 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 미러 각도조절장치(130)는 판 형상 또는 사각형 링 형상을 가질 수도 있다. 미러 각도조절장치(130)는 내부에 있는 조절나사에 의해 미러 케이스(120)가 미러 각도조절장치(130)에 설치되는 각도를 조절할 수 있다.
도 4는 도 3에서 나타낸 미러 각도조절장치(130)의 내부 모습을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 미러 각도조절장치(130)은 내부에 스프링(134)과 조절나사(132)를 포함할 수 있다. 스프링(134)는 미러 케이스(120)와 미러 각도조절장치(130)가 분리되지 않게 하면서 미러 케이스(120)에 탄성력을 가하여 미러 케이스(120)와 미러 각도조절장치(130)의 상대적인 위치를 유지시켜줄 수 있다. 조절나사(132)는 조임과 풀림에 의해 미러 케이스(120) 방향으로 돌출된 길이가 조절될 수 있다. 이를 통해 조절나사(132)는 미러 케이스(120)와 미러 각도조절장치(130) 사이의 간격을 조절하여 미러 케이스(120)의 설치각도를 조절할 수 있다.
도 5는 다른 예시적인 실시예에 따른 미러 마운트를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 미러 마운트는 미러 케이스(220a, 220b)와 미러 고정부재(210)을 포함할 수 있다. 또한 미러 고정부재(210)은 미러에 탄성력을 인가하여 미러를 고정시키는 고정부(212)를 포함할 수 있다.
도 5에서는 미러 케이스(220a, 220b)가 서로 분리 및 결합이 가능한 제1 케이스(220a) 및 제2 케이스(220b)를 포함할 수 있다. 제1 케이스(220a)는 ‘ㄷ’자 형상을 가지며, 제2 케이스는 일자형상을 가질 수 있다. 또한 제1 케이스에는 미러의 흔들림을 방지하기 위해 볼플런저가 끼워지는 홀(224)이 마련되어 있을 수 있다. 도 5에서 나타낸 미러 케이스(220a, 220b)에는 사각형 평판 미러가 실장될 수 있다. 도 5에서 나타낸 바와 같이, 미러 케이스(220a, 220b)가 결합 및 분리가 가능하도록 구성되면, 미러를 미러 케이스(220a, 220b)에 삽입하는 것이 용이해질 수 있다. 예를 들어, 미러를 삽입할 때 제2 케이스(220b)를 분리한 상태에서 제1 케이스(220a)에 미러를 삽입하고, 제2 케이스(220b)를 제1 케이스(220a에 결합할 수 있다. 제시된 제1 및 제2 케이스(220a, 220b)의 구조는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 실장되는 미러의 형상에 따라 제1 및 제2 케이스(220a, 220b)의 구조도 다양한 방법으로 변경될 수 있다.
도 1 및 도 2에서와 달리 도 5에서 미러 고정부재(210)의 고정부(212)는 적어도 하나의 클립 스프링(clip spring)을 포함할 수 있다. 고정부(212)의 클립 스프링은 미러 접촉면이 탄성에 의해 움직일 수 있는 부분에 연결된 구조를 가질 수 있다. 따라서 미러 접촉면의 위치가 변하면 미러 접촉면이 미러에 탄성력을 가할 수 있다. 제시된 구조는 예시적인 것에 불과할 뿐 이에 제한되는 것은 아니다.
도 5에서는 고정부(212)가 3개의 클립 스프링을 포함한다. 또한 상기 클립 스프링들은 미러 케이스(220)의 사각형 테두리 중 윗변의 양 꼭지점과 아랫변의 중앙에 대응하는 위치에 배열될 수 있다. 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 클립 스프링의 개수 및 위치는 다양한 방식으로 변경될 수 있다. 또한 고정부(212)의 클립 스프링에 대응하여 제1 케이스(210a)에는 엣지들(222, 223)이 형성되어 있을 수 있다. 엣지들은 제1 케이스(210a)의 양변을 따라 형성된 제1 엣지(223)와 아랫변의 중앙에 형성된 제2 엣지(222)를 포함할 수 있다. 하지만 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 엣지들(222, 223)의 모양은 다양한 방식으로 변경될 수 있다. 미러는 상기 엣지들(222, 223)과 고정부(212)의 클립 스프링 사이에 배치되어 고정부(212)의 클립 스프링으로부터 탄성력을 받음으로써 고정될 수 있다. 여기서, 고정부(212)는, 도 1 및 도 2에서와 달리 미러 케이스(220a, 220b)의 아랫면으로부터 위로 향하는 방향(지면으로부터 솟아나오는 방향)으로 미러에 탄성력을 가하게 된다. 도 5에서와 같이 미러 접촉면의 면적이 적은 클립 스프링으로 미러를 고정하면 미러에 가해지는 압력 및 압력이 가해지는 면적이 줄어듦으로써 미러의 눌림 현상이 줄어들 수 있다.
도 6은 도 5에서 나타낸 미러 케이스(220)가 부착될 수 있는 지지부재를 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 지지부재는 지지판(230)과 미러 각도조절장치(235)를 포함할 수 있다. 미러 각도조절장치(235)는 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예들이 모두 적용될 수 있다. 지지판(230)은 미러 케이스(220)의 형상에 대응하여 정사각형 판 형상을 가질 수 있다. 하지만 이는 예시적인 것에 불과할 뿐 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 지지판(230)은 미러 케이스(220)와 다른 형상을 가질 수도 있다.
미러 케이스(220)는 지지부재(230)에 탈부착 될 수 있다. 또한 상기 부착방향의 변경이 가능하도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 지지부재(230)에 미러 케이스(220)를 부착하는 나사구멍의 위치가 대칭적으로 배열될 수 있다. 도 7은 도 6에서 나타낸 지지판(230)의 평면도이다. 도 7을 참조하면, 지지판(230)은 정사각형 모양을 가지고 각 정사각형의 꼭지점에 대응하는 위치에 나사구멍이 마련되어 있을 수 있다. 따라서 도 7에서 나타낸 바와 같이 미러 케이스(220)는 지지판(230)의 가로, 세로 방향으로 부착되는 방향의 변경이 가능할 수 있다. 이러한 실시예는 도 1 및 도 2에서 나타낸 미러 케이스(120)에도 적용될 수 있다.
도 8은 도 5에서 나타낸 미러 케이스(220)가 도 6에서 나타낸 미러 지지판(230)에 부착된 모습을 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 미러(30)가 미러 고정부재(210)에 의해 미러 케이스(220)에 고정되어 있을 수 있다. 그리고 미러(30)에 레이저 빔(10)이 입사되어 반사될 수 있다. 레이저 빔(10)이 미러(30)에 한 지점(12)에 계속 입사되면서 반사되면, 반사지점(12)에 손상이 생길 수 있다. 그렇게 되면 반사되는 레이저 빔의 품질을 저하시킬 수 있다. 따라서 종래에는 이 경우, 미러(30)를 교체해 주어야 했다. 하지만 도 5를 참조하여 설명한 바와 같이, 미러 케이스(220a, 220b)의 분리가 가능하면 제2 케이스(220b)를 제1 케이스(220a)로부터 분리하고 미러(30)의 방향을 바꾸어 삽입함으로써 반사지점(12)을 변경할 수 있어 미러(30)의 교체주기를 줄일 수 있다.
다른 방법으로, 도 7을 참조하여 설명한 바와 같이, 미러 케이스(220)가 지지판(230)에 부착되는 방향을 바꿈으로써 미러(30)에서 반사지점(12)을 변경할 수 있다.
도 9는 도 8에서 나타낸 미러 케이스(220)의 부착방향이 변경된 예를 나타낸 도면이다. 도 9를 참조하면, 도 8에서와 달리 미러 케이스(220)의 부착방향이 180도 회전함으로써 홀(224)이 가르키는 방향이 왼쪽에서 오른쪽으로 변경되었음을 알 수 있다. 이에 따라 왼쪽에 위치했던 기존 반사지점(12) 또한 오른쪽으로 반전될 수 있다. 그러므로 레이저 빔(10)은 새로운 반사지점(14)에서 반사되기 때문에 미러(30)를 재활용할 수 있다. 이를 통해 미러(30)의 교체주기를 줄일 수 있다.
이상에서 도 1내지 도 9를 참조하여, 예시적인 실시예들에 따른 미러 마운트에 관하여 설명하였다. 설명한 실시예들에 따르면 미러 고정시 미러의 눌림현상을 최대로 하여 미러 표면의 왜곡을 줄일 수 있다. 아래에서는 이러한 효과에 대해 도 면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 10은 종래 볼플런저와 같은 고정나사를 이용하여 미러를 고정하였을 때 미러의 표면을 촬영한 사진이다. 도 11은 도 1 내지 도 5에서 나타낸 미러 고정 부재(110, 210) 및 미러 케이스(120, 220)를 이용하여 미러를 고정하였을 때 미러의 표면을 촬영한 사진이다.
도 10을 참조하면, 미러 고정시 고정나사에 의해 넓은 면적에 과도하게 높은 압력이 미러에 가해지면서 미러 표면의 왜곡현상이 매우 심함을 알 수 있다. 이렇게 미러 표면이 심하게 왜곡되면 미러에 반사되는 레이저 빔의 위상이나 빔 방향에 영향을 주어 레이저 가공품질을 저하시킬 수 있다. 반면 도 11을 참조하면, 미러 고정부재(110, 210)가 적은 면적에 상대적으로 적은 탄성력을 미러에 가하기 때문에 미러의 표면 왜곡이 상대적으로 적음을 알 수 있다. 즉, 미러에서 반사되는 레이저 빔에 의한 레이저 빔 가공품질이 높아질 수 있다.
이상의 설명에서 많은 사항들이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
110 : 미러 고정부재
112 : 고정부(리프 스프링)
120 : 미러 케이스
122 : 엣지
124 : 홀
130 : 미러 각도 조절장치
132 : 조절나사
134 : 스프링
210 : 미러 고정부재
220a, 220b : 미러 케이스
222, 223 : 엣지
212 : 고정부(클립 스프링)
230 : 지지판
235 : 미러 각도조절장치
10 : 레이저 빔
12, 14: 반사지점

Claims (11)

  1. 미러가 안착되는 공간이 마련된 미러 케이스; 및
    상기 미러 케이스 에 마련되며, 상기 미러에 탄성력을 인가하여 상기 미러를 고정시키는 고정부를 포함하는 미러 고정부재;를 포함하며,
    상기 미러 케이스에는, 상기 고정부에 대응하는 엣지가 형성되고, 상기 미러는 상기 엣지와 상기 고정부 사이에 위치하여, 상기 고정부가 가하는 탄성력에 의해 고정되는 미러 마운트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 미러에 탄성력을 가하는 적어도 하나의 리프 스프링을 포함하는 미러 마운트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 미러에 탄성력을 가하는 적어도 하나의 클립 스프링을 포함하는 미러 마운트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부는 적어도 세 개가 마련되는 미러 마운트.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 미러 케이스의 일측에는 상기 미러를 고정하는 볼플런저가 끼워지도록 홀이 마련된 미러 마운트.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 미러는 사각형 모양의 평판 미러인 미러 마운트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 사각형 모양의 평판 미러의 꼭지점들 각각에 대응되는 위치에 형성되는 미러 마운트.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 미러 케이스는 ‘ㄷ’자 형상의 제1 케이스 및 상기 제1 케이스와 결합되는 일자형의 제2 케이스를 포함하는 미러 마운트.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 미러 케이스가 설치되는 지지부재를 포함하는 미러 마운트.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 지지부재는 미러 케이스가 실장되는 지지판을 포함하는 미러 마운트.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 미러 케이스는 상기 지지판에 탈부착이 가능하며, 그 부착 방향은 변경이 가능하도록 구성되는 미러 마운트.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101961337B1 (ko) * 2017-11-09 2019-03-25 주식회사 태명기연 레이저 가공장치용 광학부품 마운트 장치

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