KR20160073648A - 로타리 킬른 - Google Patents

Abstract

본 발명은 로타리 킬른에 관한 것으로서, 본 발명에 따라 회전튜브와 회전 튜브내의 내부 회전 튜브를 설치함으로써 산화물 분말을 소성할 때 회전튜브 내면에 분말이 달라붙는 현상을 방지 할 수가 있고, 소성하고자 하는 분말의 균일 소성을 이룰 수 있어 소성 분말의 품질 향상을 할 수가 있다. 또한 회전 튜브 내의 분위기를 제어 할 수 있는 장치를 추가함으로써 회전 튜브 내의 분위기 형성에 도움이 되고, 상기 로타리 킬른에서 소성한 산화세륨 연마제를 이용하여, 슬러리 제조한 후 CMP 시 적절한 연마 속도를 유지하면서, 스크래치 및 결함의 발생을 감소시키고, 반도체 표면을 정밀하게 연마 가능한 슬러리를 제공할 수 있다.

Description

로타리 킬른 {ROTARY KILN}

본 발명은 로터리 킬른에 관한 것으로서, 회전튜브와 상기 회전튜브 내의 스크루 형태의 내부 회전튜브를 설치하여 소성하고자 하는 분말의 균일 소성과 함께 소성 중 수분함량 때문에 발생하는 회전튜브 내면에 분말이 달라붙는 현상을 방지하는 로터리 킬른에 관한 것이다.

로터리 킬른(rotary kiln)은 회전튜브를 경사지게 설치한 후 회전튜브를 서서히 회전을 시키면서 경사진 면을 따라 소성하고자하는 분말이 외부의 가열된 열원에 의해 분말을 소성하는 장치이다.

로타리 킬른은 주로 원료의 주입구에서 원료를 투입하면 경사진 회전튜브의 내면을 따라 분말이 이동하면서 소성작업이 이루어져 원료 배출구로 이동한다. 소성하는 분위기는 회전 튜브 내에 분위기 가스를 주입함으로써 이루어지는데 산화세륨의 경우, 소성 작업시 발생하는 수분과 탄산가스의 영향으로 인해 내부에서 발생하는 수분과 탄산가스를 외부로 빼내는 공정이 적절하지 못하면, 회전 튜브내에 산화세륨이 달라붙어 분말이 경사진 회전튜브를 따라 이동을 하지 못하는 현상이 발생한다. 이러한 현상이 발생하면 소성 분말의 불 균일 소성에 의한 분말의 품질저하 현상이 발생하며 추후 이 분말을 사용한 슬러리 제품 제조시 불량 발생률이 높아져 제조 단가가 상승하는 요인이 발생한다.

소성 공정 중 분위기 가스는 압축건조 공기나 산소, 아르곤, 질소 등 다양한 가스가 목적에 따라 선택될 수 있는데, 수소 및 산소를 사용하는 경우에도 가스누출에 의해 폭발할 위험이 다분히 있으며, 아르곤이나 질소와 같은 비활성 가스를 사용하는 경우에는 폭발할 위험은 낮으나 분위기 가스의 누설에 따른 회전 튜브내의 분위기 형성이 제대로 조성되지 않는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 소성 작업 중 발생하는 회전튜브 내면에 분말이 달라붙는 현상을 방지 하고 또한, 소성하고자 하는 분말의 균일 소성하는 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명의 목적은 회전튜브 내부의 분위기 제어 방법을 제공하고자 한다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은, 회전튜브와 상기 회전 튜브 내부에 스크루를 포함하는 내부 회전피조물을 삽입하여 회전튜브 내면에 분말이 달라붙지 못하게 하는 로타리 킬른에 관한 것으로서,

구체적으로,

원료 저장 및 이송장치, 로타리 킬른 몸체, 온도 및 장치 제어, 자료 취합시스템, 분위기 조절 장치, 원료 수집구로 구성되어 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 원료 저장 장치는 원료 접촉면을 유연성이 있는 실리콘 재질의 판을 사용하여 원료 막힘 방지 판으로 사용하며, 불순물에 의한 영향을 최소화한다.

상기 원료 저장 장치에 원료가 원료 이송 장치로 원활히 이송하게 하기 위해 원료 투입 장치 외벽에 바이브레이터나

주기적으로 유동을 시켜주는 장치를 부착하여 원료가 막히는 현상 즉, 브리쥐(Bridge) 현상이 생겼을 때 외부의 유동에 의한 실리콘 재질의 판을 밀어주어 막힘 현상을 방지할 수 있게 설계 한다.

상기 로타리 킬른의 몸체는 회전튜브와 내부 회전 튜브, 외부 가열체, 내화재, 구동부 및 기울기 장치, 배기구로 구성되어 있으며, 상기 회전튜브는 스테인리스 스틸, 인코넬, 알루미나, 뮬라이트, 석영 등의 재질로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 회전튜브 우측에 원료 저장 장치를 설치하고,

상기 원료 저장 장치에 원료 이송장치를 추가적으로 설치하여 원료 투입구내에 있는 원료를 원료 이송장치를 통해 회전 튜브 내부로 이송을 하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 외부 가열체는 직, 간접저항가열방식에 의해 이루어지며, 가열구간을 구획을 나누어서 설치할 수도 있다.

상기 내화재는 보통 알루미나 내화보드를 사용하며 사용하는 온도 영역에 따라 종류와 두께를 선정하여 사용할 수도 있다.

상기 배기구는 원료 투입구 상부 혹은 원료 배출구 상부에 위치를 하며, 배기 방식은 내부 미세압 발생시 자동 배기 방식을 채택하여 사용 할 수도 있고, 메뉴엘 방식으로 작동을 할 수도 있다. 상기 배기구의 형식은 실리더 형태로 부착하며 배기구 상부에 미압 센서를 설치하여 분위기 조절하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 회전 튜브 내부에 삽입하는 내부 회전 튜브는 세라믹 튜브를 주로 사용할 수 있으나 여기에 제한을 두는 것은 아니다. 상기 내부 회전 튜브는 스크루 형태의 모양을 장착한 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 구동부 및 기울기 각도 조절 장치는 인버터를 사용한 주파수 조절 방식으로 구동 되며, 회전 튜브의 프렌지의 실링 부위는 흑연 패킹으로 구성되어 지는 것을 특징으로 한다.

상기 기울기 각도조절 장치는 기울기를 조절하는 스크루 잭 형태의 기울기 장치를 사용하는 것을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 기울기 각은 통상 15도 이하로 사용하나 여기에 제한하는 것은 아니다.

상기 온도 및 장치 제어는 각 구획을 나뉘어서 온도를 제어하는 형태로 구획은 4 내지 8구획으로 나뉘어서 온도 제어를 하는 것이 바람직하며 구획 횟수에 제한하는 것은 아니다.

상기 장치 제어는 과열방지 장치를 설치하고, 긴급상황을 대비하여 로의 입 출구에 비상정지 버턴을 각각 1개씩 설치한다.

또한 과승온 등의 경버 표시를 하는 버즈(Buzzer) 및 경버 표시를 하여 안전에 유념한다.

상기 자료 취합시스템은 원료의 투입 및 생산량을 취합하고, 회전 튜브내의 산소 농도 등 자료를 취합하는 장치를 더 구성하는 것을 포함 할 수 있다.

상기 원료 수집구는 생산된 원료를 취합하는 원료 배출구와 원료 수집 용기를 추가로 구성할 수 있으며, 원료 수집 용기에 킬른의 생산량을 알기 위해 로드셀을 설치하여 구성하는 것과 미압센서를 설치하여 회전 튜브 내부에 미압 발생시 가스를 자동으로 방출하는 장치를 더 포함 할 수도 있다.

상기 원료는, 각각, 실리카, 알루미나, 세리아, 지르코니아, 티타니아 및 산화몰리브덴계열로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

본 발명에 의한 회전튜브와 회전 튜브내의 내부 회전 튜브를 설치함으로써 소성하고자 하는 분말의 균일 소성을 이룰 수 있어 소성 분말의 품질 향상을 할 수가 있다. 또한 회전 튜브 내의 분위기를 제어 할 수 있는 장치를 추가함으로써 회전 튜브 내의 분위기 형성에 도움이 되고, 소성된 분말을 이용하여 슬러리 제조 후, CMP 연마시 소성 분말의 불균일성에서 기인하는 결함 및 스크래치를 줄일 수 있으므로 반도체 디바이스 제조 시 생산성 향상을 기대할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 로터리 킬른을 설명하기 위한 정면도 도면;
도 2는 도 1의 원료저장 및 이송장치를 설명하기 위한 메인 호퍼의 구성도;
도 3은 도 1의 원료 이송용 스크루장치 및 가스공급 구성도를 설명하기 위한 도면;
도 4는 도 1의 가열장치 내부의 회전튜브 및 내부 회전 튜브를 설명하기 위한 도면;
도 5는 도 1의 원료 수집부의 구성 요소를 설명하기 위한 구성도이다.

본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안된다.

도 1은 본 발명에 따른 로터리 킬른을 설명하기 위한 정면도로 본 발명에 따른 로터리 킬른을 설명하기 위한 도면이다. 여기서 로타리 킬른을 효율적으로 설명하기 위해 산화세륨분말을 예시를 들어 설명한다.

원료저장 및 이송장치(10)에 원료를 저장 한 후 스크루 형태의 원료 이송용 스크루 장치(20)를 가동하여 원료를 이송할 때 탄산세륨은 원료의 뭉침 현상에 의해 원료의 투입이 원활하게 이루어지지 않는다. 이러한 현상을 방지하기 위해 적정량의 원료를 투입하여 관리를 할 필요가 있으며, 일정한 량이 유지할 수 있도록 원료 저장 및 이송장치(10)내부에 레벨 센서를 부착하여 운용을 한다. 기울기 각도조절장치(40)는 회전튜브(31)가 장입된 로타리킬른 본체를 기울여서 분말이 자연스럽게 이송할 수 있도록 하는 장치로 기울기 각도에 따라 소성 공정이 결정이 되므로 기울기 각의 설계에 신중을 기해야 한다. 하소하고자 하는 분말의 비중 및 입자의 규격, 그리고 생산량 및 회전 튜브(31)의 회전 속도 등에 따라 차이가 있지만 일반적으로 로타리 킬른의 기울기 각은 1내지 15도 범위에서 사용되어지고 있다.

도 2는 도 1의 원료저장 및 이송장치를 설명하기 위한 메인 호퍼의 구성도이다. 원료저장 및 이송장치를 설명하기 위한 상세도면으로써, 원료 저장 호퍼내부가 원료 응집 현상을 방지하는 유연성이 높은 실리콘 러버(11)로 구성되어 있어 제품 보조공급장치(12)의 유동에 의해 분말의 응집 현상을 방지하며, 원료 이송용 스크루의 회전 운동 및 원료의 무게 때문에 발생하는 하중에 의해 분말의 밀도가 높아져 다져지는 현상을 방지를 할 수 있다. 제품 주입구(13)부를 통해 원료를 공급하고, 제품 보조공급 장치(12)의 바이브레이터나 주기적으로 유동할 수 있는 판이나 기기를 부착하여 원료 저장 장치에 정기적인 유동운동을 시킴으로써 원료가 막히는 현상, 즉 브리지(Bride) 현상을 방지 할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다.

원료가 막히는 현상이 발생하면 소성하고자 하는 분말의 균일 소성을 이룰 수 없으며, 소성 분말의 품질이 떨어지는 현상이 발생 할 수가 있다. 브리지 현상이 발생한 분말을 이용하여 슬러리 제조 후, CMP 연마시 소성 분말의 불균일성에서 기인하는 결함 및 스크래치를 줄일 수 없으며, 반도체 디바이스 제조 시 생산성이 저하 된다.

도 3은 도 1의 원료 이송용 스크루장치 및 가스공급 구성도를 설명하기 위한 도면으로써, a는 도 1의 원료 이송용 스크루장치 및 가스공급 구성도를 설명하기 위한 정면도이고, b는 우측면도 이다. 원료저장 및 이송장치(10)에 제품 주입구(13)를 통해 원료가 주입되고, 원료 이송용 스크루(21)를 가동하여 회전 튜브(31) 내부로 이송된다. 도3에서 가스주입구(22)는 원료 저장 및 이송장치의 하단부위에 설치를 하며, 가스 배출구는 사기 도 3의 도면에서와 같이 회전 튜브(31)의 우축 끝단에 설치한다.

회전튜브(31)의 회전에 의해 분말은 소성이 되어 제품(24)으로 배출이 되며, 제품 소성시 도 3과 같이 분위기 가스를 가스 주입구(22)를 원료 이송용 스쿠루(21) 장치 하단에 설치를 하고, 가스를 퍼징(Purging)할 수 있도록 제조하여 분위기 가스가 제품과 같이 혼합되어 공급할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다.

상기 분위기 가스로는, 압축건조 공기나 산소, 아르곤, 질소 등 다양한 가스가 목적에 따라 선택될 수 있는데, 산소를 사용하는 경우에도 산소누출에 의해 폭발할 위험이 다분히 있으며, 아르곤이나 질소와 같은 비활성 가스를 사용하는 경우에는 폭발할 위험은 낮으나 분위기 가스의 누설에 따른 회전 튜브내의 분위기 형성이 제대로 조성되지 않는 문제가 있다.

상기 원료는 각각, 실리카, 알루미나, 세리아, 지르코니아, 티타니아 및 산화몰리브덴으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

회전 튜브(31)는 원료 이송용 스쿠루(21) 장치와는 분리되어 별도로 운용하고 있으며, 회전 튜브(31)의 플렌지 실링 부위는 흑연 패킹 등으로 구성되어 지는 것을 포함할 수 있다. 회전 튜브(31)의 플렌지 실링이 잘못되면 회전 튜브(31) 내부에 분위기 제어를 원활히 할 수 없으며, 분위기 제어가 원활하지 못하면 원하는 원료의 품질을 기대할 수가 없다.

도 4는 도 1의 가열장치 내부의 회전튜브 및 내부 회전 튜브를 설명하기 위한 도면으로써, 도 1의 튜브구동장치(30)를 통해 회전 튜브(31)를 구동시키면 하소 및 소성하고자 하는 분말은 회전튜브(31) 벽면을 따라 서서히 원료 배출구(50)로 이동을 한다. 회전 튜브(30) 내부에 별도의 내부 회전 튜브(32)를 삽입하여 장착을 하는데, 이것이 원료를 소성 중 골고루 섞어주는 역할을 하여 균일한 소성이 이루어 지도록 하는 한편, 회전튜브(31) 내부에 원료가 달라붙는 현상을 방지하는 효과가 있다.

내부 회전 튜브(32)는 스쿠루 형태의 모양일 수도 있으며, 원통형의 디스크 형태의 조각을 여러 개 조립하여 사용일 수도 있으며, 별 모양 등 디스크 형태의 조각을 여러 개 조립하여 사용을 할 수 있으나, 형태에 제한을 두는 것은 아니다. 바람직하게는 스쿠루 형태의 모양이 바람직하다.

내부 회전 튜브(32)는 회전튜브(31)와는 주로 역방향으로 운용되며, 회전튜브(31) 내의 분말을 내부 회전 튜브(32)의 스크루를 통해 저어 주는 역할과 함께 회전 튜브(31) 내벽에 분말이 달라붙는 현상을 방지 해주는 역할을 한다. 내부 회전 튜브(32) 외경은 회전 튜브(31) 내경보다는 일반적으로 작은 것이 바람직하며, 내부 회전 튜브(32) 외경은 회전튜브(31) 내경의 90% 이하인 것이 바람직하다. 탄산세륨과 같은 수분 함량이 높은 분말을 소성시에는 내부 회전 튜브(32) 외경은 회전 튜브(31) 내경의 60% 이하인 것이 더욱 바람직하다. 내부 회전 튜브(32) 외경이 회전튜브(31)의 내경의 90% 이상일 경우에는 내부 회전 튜브(32)의 외경이 너무 커서 분위기 제어용 가스의 흐름을 방해 할 뿐 아니라 탄산세륨 소성시 발생하는 수분 및 탄산가스의 흐름을 내부 회전 튜브(32)가 방해하여 분말이 회전튜브(31) 내벽에 분말이 달라붙는 현상을 방지 할 수 없다. 그래서, 탄산세륨과 같은 수분 함량이 높은 분말을 소성시에는 내부 회전 튜브(32) 외경은 회전 튜브(31) 내부의 분위기 제어 및 소성시 발생하는 수분 및 탄산가스의 제거에 용이한 구조로 회전 튜브(31) 내경의 90% 이하인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 60% 이하인 것이 더욱 바람직하다.

내부 회전 튜브(32)를 설치함으로써 소성하고자 하는 분말의 균일 소성을 이룰 수 있어 소성 분말의 품질 향상을 할 수가 있다. 또한 회전 튜브 내의 분위기를 제어함으로써 회전 튜브 내의 분위기 형성에 도움이 되고, 소성된 분말을 이용하여 슬러리 제조 후, CMP 연마시 소성 분말의 불균일성에서 기인하는 결함 및 스크래치를 줄일 수 있으므로 반도체 디바이스 제조 시 생산성 향상을 기대할 수 있다.

도 5는 도 1의 원료 수집부의 구성 요소를 설명하기 위한 구성도이다. 내부 회전 튜브(32)를 따라 소성한 분말 즉 제품(24)은 원료 배출구(50)를 통해 하부의 통에 원료가 수집된다. 회전 튜브(31) 내부의 분말이 튜브 내벽에 달라붙는 현상을 육안 관찰하기 위해 투시창(51)을 설치할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다. 원료 배출부(50)에 원료배출 자동밸브(52)를 설치하여 일정한 양이 되면 원료 배출부(51)로 떨어지게 할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다. 분위기 제어를 원활히 하게 하게 위해 미압센서(70)를 설치하여 로카리 킬른 내부에 가스압이 형성되어 분위기 제어에 도움을 주고, 회전 튜브(31) 내부에 미압 발생시 가스를 자동으로 방출하는 가스배출 자동 밸브(53)가 자동으로 열리 수 있도록 미압센서(70)를 부착하여 불필요한 에너지 및 가스 소비량을 최소화 할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다. 추가적으로 산소 농도 분석기(60)를 장착을 하여 로타리 킬른 내부의 산소 분압을 항상 측정하고 이에 따라 분위기 가스량을 조절할 수 있도록 구성하는 것을 더 포함할 수 있다.

로타리 킬른을 사용하여 탄산세륨 분말을 소성시 산소농도 측정기에 의해 측정된 값을 토대로 회전 튜브(31) 내부의 분위기 제어를 하여 산화 세륨을 제조할 수 있다. 산화 세륨의 경우 산소 분압에 따라 산화물의 분말 특성이 민감하게 움직이므로, 분위기 제어를 통해 획득한 산화물 분말은 품질적으로 안정된 분말을 획득할수 가 있다.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

본 발명에 의한 회전튜브와 회전 튜브내의 내부 회전 튜브를 설치함으로써 소성하고자 하는 분말의 균일 소성을 이룰 수 있어 소성 분말의 품질 향상을 할 수가 있다. 또한 회전 튜브 내의 분위기를 제어 할 수 있는 장치를 추가함으로써 회전 튜브 내의 분위기 형성에 도움이 되고, 소성된 분말을 이용하여 슬러리 제조 후, CMP 연마시 소성 분말의 불균일성에서 기인하는 결함 및 스크래치를 줄일 수 있으므로 반도체 디바이스 제조시 생산성 향상을 기대할 수 있다.

10: 원료 저장장치 및 이송장치
11: 실리콘 러버
12: 제품 보조공급 장치
13: 제품 주입구
20: 원료 이송용 스크루 장치
21: 원료 이송용 스크루
22: 가스주입구
23: 가스배출구
24: 제품
30: 튜브 구동 장치
31: 회전튜브
32: 내부 회전 튜브
40: 기울기 각도조절장치
50: 원료 배출구
51: 투시창
52: 원료배출 자동밸브
53: 가스배출 자동밸브
60: 산소농도 측정기
70: 미압센서

Claims (14)

1. 분말을 소성하는 로타리 킬른에 있어서,
   로타리 킬른은 회전 튜브와 원료 저장장치 및 이송장치, 그리고 원료 취합부를 구비하여 이루어지고,
   회전튜브 내부에 내부 회전 튜브를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
   
2. 제 1항에 있어서,
   내부 회전 튜브 외경은 회전 튜브 내경의 90% 이하인 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
3. 제 1항에 있어서,
   내부 회전 튜브 외경은 회전 튜브 내경의 60% 이하인 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
4. 제 1항에 있어서,
   내부 회전 튜브 회전 방향은 회전 튜브의 회전방향과 역방향인 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
5. 제 1항에 있어서,
   내부 회전 튜브는 스쿠루 형태인 것을 특징으로 하는 로타리 킬른.
6. 제 1항에 있어서,
   원료 취합부에 미압센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
7. 제 1항에 있어서,
   원료 취합부에 가스배출 자동밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
8. 제 1항에 있어서,
   원료 취합부에 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
9. 제1항에 있어서,
   원료 취합부에 산소농도 측정기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
10. 제1항에 있어서,
    원료 저장장치는 원료 접촉면이 실리콘 러버를 사용하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
11. 제 10항에 있어서,
    실리콘 러버에 유동 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 킬른.
12. 로타리 킬른을 사용하여 분말을 소성하는 산화물 제조방법에 있어서,
    소성시 산소농도 측정기에 의해 분위기 제어를 하여 만든 산화물 제조방법.
13. 제 12항에 있어서,
    상기 산화물은 실리카, 알루미나, 세리아, 지르코니아, 티타니아 및 산화몰리브덴계열로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 산화물 제조방법.
14. 제 12항에 있어서,
    로타리 킬른의 회전튜브 내부에 스쿠루 형태의 내부 회전 튜브를 회전튜브 회전 방향과 역방향으로 운용하여 산화물을 제조하는 산화물 제조방법.

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