KR20160062704A - Excimer discharge lamp apparatus - Google Patents

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KR20160062704A KR1020150164105A KR20150164105A KR20160062704A KR 20160062704 A KR20160062704 A KR 20160062704A KR 1020150164105 A KR1020150164105 A KR 1020150164105A KR 20150164105 A KR20150164105 A KR 20150164105A KR 20160062704 A KR20160062704 A KR 20160062704A
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마사토시 시모나카
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

(Problem to be Solve) The present invention provides an excimer discharge lamp apparatus that can have a high durability to a vibrational impact applied from the outside, can precisely regulate a location of the excimer discharge lamp, and can irradiate light with high uniformity. (Solution) The excimer discharge lamp apparatus includes a bar type excimer discharge lamp, and a bar type protection tube that extends in an axial direction of the excimer discharge lamp to seal the excimer discharge lamp therein. A recess is formed on an inner surface of one end of the protection tube, and the excimer discharge lamp has a supported portion inserted into the recess of the protection tube at one end thereof.

Description

엑시머 방전 램프 장치{EXCIMER DISCHARGE LAMP APPARATUS}[0001] EXIMER DISCHARGE LAMP APPARATUS [0002]

본 발명은, 엑시머 방전 램프 장치에 관한 것이다. 더 자세히는, 세정 처리 및 살균 처리 등에 이용되는 엑시머 방전 램프 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an excimer discharge lamp apparatus. More particularly, the present invention relates to an excimer discharge lamp apparatus used for a cleaning process, a sterilization process, and the like.

종래, 엑시머 방전 램프는, 세정 처리나 살균 처리 등에 이용되고 있다. 엑시머 방전 램프의 일종으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 발광부(52)의 양단부에 봉지부(53, 53)가 형성된 막대형의 발광관(51)을 구비하고, 발광부(52)의 외주면에 망상의 외측 전극(56)이 배치되고, 발광관(51)의 내부에 내부 전극(57)이 배치된 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조.). 이 엑시머 방전 램프에 있어서, 발광관(51)은 석영 유리로 이루어지는 것이다. 또, 발광부(52)의 내부에는, 발광 가스로서, 예를 들면, 크세논 가스(Xe)가 봉입되어 있고, 그 발광 가스의 봉입압은 20~200kPa로 되어 있다. 봉지부(53, 53)는, 발광관 형성 재료(석영 유리관)의 단부를 가열하면서 압궤하는 핀치 시일법에 의해 형성된 것이다.Conventionally, an excimer discharge lamp has been used for a cleaning treatment, a sterilization treatment, and the like. 7, there is provided a rod-shaped light emitting tube 51 in which sealing portions 53 and 53 are formed at both ends of the light emitting portion 52, A network-shaped outer electrode 56 is disposed on the outer circumferential surface and an inner electrode 57 is disposed inside the arc tube 51 (see, for example, Patent Document 1). In this excimer discharge lamp, the arc tube 51 is made of quartz glass. A xenon gas (Xe), for example, is sealed as a light emitting gas in the light emitting portion 52, and the sealing pressure of the light emitting gas is 20 to 200 kPa. The sealing portions 53 and 53 are formed by a pinch sealing method in which the ends of the arc tube-forming material (quartz glass tube) are heated while being heated.

또, 내부 전극(57)은, 발광관(51)의 중심축을 따르도록 배치된 금속봉으로 이루어지고, 그 양단부가 봉지부(53, 53)의 내부에 매설된 금속박(58, 58)의 일단에 접속됨과 함께, 봉지부(53, 53)에 의해 지지되어 있다. 금속박(58, 58)의 타단에는 외부 리드(59, 59)의 일단부가 접속되어 있고, 상기 외부 리드(59, 59)의 타단부는, 봉지부(53, 53)의 외단으로부터 외부로 돌출되어 있다.The inner electrode 57 is made of a metal rod disposed along the center axis of the arc tube 51 and has both ends thereof held at one end of the metal foils 58 and 58 buried in the sealing portions 53 and 53 And is supported by the sealing parts 53 and 53. [ One end of the outer leads 59 and 59 is connected to the other end of the metal foils 58 and 58. The other end of the outer leads 59 and 59 protrudes outward from the outer ends of the sealing parts 53 and 53 have.

그러나, 이러한 구성의 엑시머 방전 램프는, 외측 전극(56)이 외부에 노출되어 있기 때문에, 작업자 등이 점등 상태의 엑시머 방전 램프의 외측 전극(56)에 접촉할 가능성이 있다. 또, 점등 상태의 엑시머 방전 램프는 고온이 되기 때문에, 외측 전극(56)을 구성하는 전극 재료가 증발하기 쉽다는 문제도 있다. 또한, 엑시머 방전 램프로부터의 광이 조사됨으로써 피조사물로부터 생기는 비산물이, 상기 엑시머 방전 램프의 표면에 부착해 버린다는 문제도 있다.However, in the excimer discharge lamp having such a configuration, since the outside electrode 56 is exposed to the outside, there is a possibility that an operator or the like may come into contact with the outside electrode 56 of the excimer discharge lamp in a lighting state. Further, since the excimer discharge lamp in the turned-on state becomes high temperature, there is also a problem that the electrode material constituting the outside electrode 56 is liable to evaporate. In addition, there is also a problem that the non-product generated from the irradiated object is adhered to the surface of the excimer discharge lamp by irradiation of light from the excimer discharge lamp.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 엑시머 방전 램프(61)의 발광관(62)이, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 보호관(71)에 의해 덮여져 이루어지는 엑시머 방전 램프 장치(60)가 이용되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조.).In order to solve such a problem, for example, as shown in Fig. 8, the excimer discharge lamp 61 is covered with a protective tube 71 made of, for example, quartz glass, A lamp unit 60 is used (for example, refer to Patent Document 2).

이 엑시머 방전 램프 장치(60)에 있어서, 엑시머 방전 램프(61)는, 석영 유리제의 막대형의 발광관(62)을 구비하고, 이 발광관(62)의 외주면에, 상기 발광관(62)의 중심축을 따라 신장하는 한 쌍의 띠형의 외측 전극(63, 63)이 서로 대향하고, 상기 중심축에 관해서 대칭적으로 배설된 것이다. 외측 전극(63, 63)은, 몰리브덴 등으로 이루어지는 장척의 금속판의 일부분에 의해 구성되어 있고, 발광관(62)의 외주면에 밀착 고정되어 있다. 발광관(62)의 내부에는, 크세논 가스(Xe) 등의 발광 가스가 봉입되어 있다.The excimer discharge lamp 61 of this excimer discharge lamp device 60 is provided with a rod-shaped arc tube 62 made of quartz glass, and the arc tube 62 is provided on the outer circumferential surface of the arc tube 62, A pair of band-shaped outer electrodes 63 and 63 extending along the central axis of the center electrode 63 are symmetrically arranged with respect to the central axis. The outer electrodes 63 and 63 are constituted by a part of a long metal plate made of molybdenum or the like and fixed tightly to the outer peripheral surface of the arc tube 62. A luminous gas such as xenon gas (Xe) is sealed in the inside of the arc tube (62).

또, 보호관(71)은, 발광관(62)의 전체를 덮도록 동축형으로 설치되어 있고, 보호관(71)과 발광관(62)의 사이에는, 대략 원통형의 공간이 형성되어 있다. 이 공간은, 감압 상태 또는 질소 가스 등의 불활성 가스가 충전된 상태가 된다. 보호관(71)의 양단부에는, 각각, 몰리브덴박(72, 72)이 매설되어 있고, 상기 몰리브덴박(72, 72)에는, 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판이 접속되어 있음과 함께, 보호관(71)의 양단부의 각각으로부터 외부로 돌출하는 외부 리드(74, 74)가 접속되어 있다. 그리고, 보호관(71)의 내부에 있어서는, 발광관(62)이, 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판과 몰리브덴박(72, 72)에 의해 지지되어 있다. The protective tube 71 is coaxially arranged to cover the entire arc tube 62 and a substantially cylindrical space is formed between the protective tube 71 and the arc tube 62. This space is in a state of reduced pressure or filled with an inert gas such as nitrogen gas. Molybdenum foils 72 and 72 are buried in both ends of the protective pipe 71. The metal plates constituting the outer electrodes 63 and 63 are connected to the molybdenum foils 72 and 72, Outer leads 74 and 74 protruding outward from the opposite ends of the protective pipe 71 are connected. In the inside of the protective pipe 71, the arc tube 62 is supported by a metal plate and molybdenum foils 72, 72 constituting the outer electrodes 63, 63.

그러나, 이러한 구성의 엑시머 방전 램프 장치(60)는, 발광관(62)이 몰리브덴박(72, 72)과 외측 전극(63, 63)을 구성하는 금속판에 의해 지지된 것이기 때문에, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대한 내성이 작다는 문제가 있다.However, since the excimer discharge lamp device 60 having such a configuration is such that the arc tube 62 is supported by the metal plates constituting the molybdenum foils 72 and 72 and the outer electrodes 63 and 63, There is a problem that the resistance against vibration impact is small.

또, 엑시머 방전 램프 장치(60)는, 제조 공정, 구체적으로는 유리 선반을 이용하여 보호관 형성용 재료(석영 유리관)를 봉지 및 탈기하는 과정에 있어서, 발광관(62)의 위치가 변위하기 쉽고, 따라서 발광관(62)을, 보호관(71)의 내부에 높은 위치 정밀도로 배치시키는 것이 곤란하다. 그 때문에, 발광관(62)은, 보호관(71)에 대해서 편심한 상태가 되기 쉬운, 즉 보호관(71)의 중심축과 발광관(62)의 중심축이 크게 기운 상태가 되기 쉽다는 문제도 있다. 여기에, 엑시머 방전 램프 장치(60)가, 보호관(71)의 중심축과 발광관(62)의 중심축이 크게 기운 상태가 된 경우에는, 피조사물과 보호관(71)이 정확한 위치 관계, 즉 피조사물과 보호관(71)이 평행한 상태에 있어도, 발광관(62)과 피조사물 사이의 거리가, 발광관(62)의 축방향으로 불균일해진다. 그 때문에, 피조사물에 대해서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 없다는 문제가 생긴다.Further, the excimer discharge lamp device 60 is easily displaced in the manufacturing process, specifically, in the process of sealing and degassing the protective tube forming material (quartz glass tube) using a glass shelf, the position of the arc tube 62 is easily displaced It is difficult to arrange the arc tube 62 in the protective tube 71 with a high positional accuracy. Therefore, there is a problem that the arc tube 62 is likely to be eccentric with respect to the protective tube 71, that is, the center axis of the protective tube 71 and the central axis of the arc tube 62 tend to be largely inclined have. When the excimer discharge lamp device 60 is in a state in which the central axis of the protective tube 71 and the central axis of the arc tube 62 are largely inclined, the irradiated object and the protective tube 71 have a precise positional relationship, that is, The distance between the arc tube 62 and the irradiated object becomes nonuniform in the axial direction of the arc tube 62 even when the irradiated object and the protective tube 71 are in parallel. Therefore, there arises a problem that light can not be irradiated to the irradiated object with high uniformity.

일본국 특허공개 2013-257999호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-257999 일본국 특허공개 2009-224089호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-224089

본 발명은, 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해서 높은 내성을 가짐과 함께, 엑시머 방전 램프의 위치가 정확하게 규제되고, 따라서, 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있는 엑시머 방전 램프 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made based on the above-described circumstances, and its object is to provide a lamp which has high resistance to vibration impact externally applied and which precisely regulates the position of the excimer discharge lamp, Which is capable of irradiating the excimer lamp.

본 발명의 엑시머 방전 램프 장치는, 막대형의 엑시머 방전 램프와, 이 엑시머 방전 램프를 내부에 봉입하는, 상기 엑시머 방전 램프의 축방향으로 신장하는 막대형의 보호관을 구비하고 있고,The excimer discharge lamp device of the present invention comprises a rod-shaped excimer discharge lamp and a rod-shaped protective tube extending in the axial direction of the excimer discharge lamp for sealing the excimer discharge lamp therein,

상기 보호관에는, 한쪽의 단부의 내면에 오목부가 형성되어 있고,The protection tube is provided with a recessed portion on the inner surface of one end,

상기 엑시머 방전 램프는, 한쪽의 단부에, 상기 보호관의 오목부에 삽입된 피지지부를 갖는 것을 특징으로 한다.The excimer discharge lamp has a supported portion inserted into a concave portion of the protective pipe at one end thereof.

본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 피지지부가, 엑시머 방전 램프의 축방향 바깥쪽으로 돌출하도록 설치된 돌출 부재에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the excimer discharge lamp device of the present invention, it is preferable that the not-supported portion is formed by a projecting member provided so as to protrude outward in the axial direction of the excimer discharge lamp.

이러한 구성의 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 돌출 부재에는, 상기 보호관의 오목부의 내면에 접하는 완충 부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.In the excimer discharge lamp apparatus of the present invention having such a constitution, it is preferable that the protruding member is provided with a buffer member which is in contact with the inner surface of the concave portion of the protective pipe.

또, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 엑시머 방전 램프는, 내부에 발광 가스가 봉입된 발광부와 상기 발광부의 양단의 각각에 연속 설치 된 봉지부를 갖는 발광관, 상기 발광부의 외주면에 배치된 외측 전극, 및 발광부의 내부에 배치된 내부 전극을 구비하고 있고, Further, in the excimer discharge lamp device of the present invention, the excimer discharge lamp may include a light emitting tube having a light emitting portion having a light emitting gas sealed therein and a sealing portion provided continuously to both ends of the light emitting portion, And an inner electrode disposed inside the light emitting portion,

상기 돌출 부재는, 상기 내부 전극과 전기적으로 접속되어 있지 않은 금속 막대로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the projecting member is made of a metal rod which is not electrically connected to the internal electrode.

또, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서는, 상기 완충 부재는, 망상의 도전 부재에 의해, 상기 외측 전극과 일체로 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the excimer discharge lamp device of the present invention, it is preferable that the buffer member is formed integrally with the outer electrode by a network-shaped conductive member.

본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 의하면, 보호관의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프가, 상기 엑시머 방전 램프의 피지지부가 보호관의 오목부의 내부에 삽입된 상태로 보유되어 있다. 그 때문에, 보호관에 대한 엑시머 방전 램프의 위치를 정확하게 규제하고, 엑시머 방전 램프를 소기의 위치에 높은 정밀도로 배치할 수 있고, 따라서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있음과 함께, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해서 높은 내성을 얻을 수 있다. 또, 피지지부가 금속에 의해 형성된 것이어도, 상기 피지지부의 열팽창에 기인하여 보호관에 크랙이 발생하는 일이 없다.According to the excimer discharge lamp apparatus of the present invention, in the inside of the protective tube, the excimer discharge lamp is held in a state where the supported portion of the excimer discharge lamp is inserted into the concave portion of the protective tube. Therefore, it is possible to precisely regulate the position of the excimer discharge lamp with respect to the protective tube, to arrange the excimer discharge lamp at a desired position with high accuracy, and thus to irradiate light with high uniformity, High resistance against vibration impact can be obtained. Also, even if the supported portion is formed of metal, cracks do not occur in the protective pipe due to the thermal expansion of the not-supported portion.

도 1은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을, 일부를 축방향을 따른 단면으로 절단한 상태로 나타내는 설명용 부분 단면도이다.
도 2는 도 1의 주요부를 확대하여 나타내는 설명용 확대도이다.
도 3은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 더 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치에 있어서의 완충 부재의 또 더 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 7은 종래의 엑시머 방전 램프의 일례에 있어서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도 8은 종래의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a partial cross-sectional view for explaining a schematic configuration of an example of an excimer discharge lamp device according to the present invention, in which a part thereof is cut along a section along the axial direction;
Fig. 2 is an enlarged explanatory view showing an enlarged main part of Fig.
3 is an explanatory view showing an example of a buffer member in the excimer discharge lamp device of the present invention.
4 is an explanatory view showing another example of the buffer member in the excimer discharge lamp device of the present invention.
5 is an explanatory view showing still another example of the buffer member in the excimer discharge lamp device of the present invention.
6 is an explanatory diagram showing still another example of the buffer member in the excimer discharge lamp device of the present invention.
7 is a cross-sectional view for explaining a configuration of a conventional excimer discharge lamp.
Fig. 8 is a cross-sectional view for explaining an outline of the configuration of a conventional excimer discharge lamp device.

이하, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 실시 형태에 대해 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the excimer discharge lamp device of the present invention will be described.

도 1은, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치의 일례에 있어서의 구성의 개략을, 일부를 축방향을 따른 단면으로 절단한 상태로 나타내는 설명용 부분 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing a schematic configuration of an example of an excimer discharge lamp apparatus according to the present invention, in which a part thereof is cut along a section along the axial direction;

이 엑시머 방전 램프 장치(10)는, 막대형의 엑시머 방전 램프(11)를 구비하고 있고, 이 엑시머 방전 램프(11)가, 일단부의 내면에 오목부(33)가 형성된 막대형의 보호관(30)의 내부에 봉입되어 이루어지는 것이다. 이 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)는, 보호관(30)의 중심축을 따라 신장하도록 배치되어 있다.The excimer discharge lamp device 10 is provided with a rod-shaped excimer discharge lamp 11. The excimer discharge lamp 11 has a rod-shaped protective tube 30 having a concave portion 33 formed on the inner surface of one end thereof As shown in Fig. The excimer discharge lamp 11 is disposed inside the protective tube 30 so as to extend along the central axis of the protective tube 30. [

엑시머 방전 램프(11)는, 원관형의 발광부(13)와, 발광부(13)의 양단의 각각에 연속 설치된 봉지부(14a, 14b)를 갖는 발광관(12)을 구비하고 있다.The excimer discharge lamp 11 includes a circular tube shaped light emitting portion 13 and an arc tube 12 having sealing portions 14a and 14b continuously provided at both ends of the light emitting portion 13.

이 도면의 예에 있어서, 발광관(12)에 있어서의 한쪽의 봉지부(14a)는, 핀치 시일법에 의해 형성된 편평형의 형상을 갖고 있고, 다른쪽의 봉지부(14b)는, 슈링크 시일법에 의해 형성된 원주형의 형상을 갖고 있다. 발광관(12)은, 예를 들면 합성 석영 유리에 의해 형성되어 있다.In this example of the drawing, one sealing portion 14a of the arc tube 12 has a flat shape formed by a pinch sealing method, and the other sealing portion 14b has a shrink- And has a columnar shape formed by the method. The arc tube 12 is made of, for example, synthetic quartz glass.

발광부(13)의 내부에는, 금속소선이 코일형으로 감겨 이루어지는 내부 전극(20)이, 코일축이 발광관(12)의 중심축(A)과 일치하는 상태에서, 상기 중심축(A)을 따라 신장하도록 배치되어 있다. 내부 전극(20)은, 다른쪽의 봉지부(14b)에 기밀하게 매설된 금속박(21)을 개재하여, 타단부가 다른쪽의 봉지부(14b)의 외단보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하는 내부 전극용 외부 리드(22)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 내부 전극(20)의 일단부는 다른 쪽의 봉지부(14b)에 의해 지지되어 있다. The internal electrode 20 in which the metal strand is wound in a coil shape is inserted into the light emitting portion 13 and the center axis A of the internal electrode 20 coincides with the center axis A of the arc tube 12, As shown in Fig. The internal electrode 20 is electrically connected to the internal electrode 20 via the metal foil 21 hermetically embedded in the other sealing portion 14b and the other end protruding axially outwardly from the outer end of the other sealing portion 14b. And is electrically connected to the external lead 22 for use. One end of the internal electrode 20 is supported by the other sealing portion 14b.

또, 발광부(13)의 내부에는, 발광 가스가 충전되어 있다. 발광 가스로서는, 예를 들면 크세논 가스(Xe), 아르곤 가스(Ar), 크립톤 가스(Kr) 등의 엑시머 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전 매질로서의 작용을 갖는 희가스가 이용된다.The light emitting portion 13 is filled with a light emitting gas. As the luminescent gas, for example, a rare gas having an action as a discharge medium for forming an excimer molecule by an excimer discharge of xenon gas (Xe), argon gas (Ar), krypton gas (Kr) or the like is used.

또, 발광관(12)의 내부에는, 희가스와 함께 필요에 따라, 불소 가스(F2), 염소 가스(Cl2), 요오드 가스(I2) 및 브롬 가스(Br2) 등의 할로겐 가스가 봉입된다.A halogen gas such as fluorine gas (F 2 ), chlorine gas (Cl 2 ), iodine gas (I 2 ) and bromine gas (Br 2 ) is supplied into the inside of the arc tube (12) Lt; / RTI >

또, 발광부(13)의 내부에 있어서의 일단측에는, 예를 들면 바륨(Ba)으로 이루어지는 게터(19)가 설치되어 있다.A getter 19 made of, for example, barium Ba is provided at one end inside the light emitting portion 13.

이 도면의 예에 있어서, 게터(19)는, 발광관(12)의 내주면의 사방에 걸쳐 부착한 상태로 설치되어 있다.In the example of this drawing, the getter 19 is provided so as to be attached on all sides of the inner circumferential surface of the arc tube 12.

발광부(13)의 외주면에는, 외측 전극(25)이 발광부(13)의 축방향을 따라 신장하도록 배치되어 있다.The outer electrode 25 is arranged on the outer circumferential surface of the light emitting portion 13 so as to extend along the axial direction of the light emitting portion 13.

이 외측 전극(25)은, 통형의 형태를 갖는 망상의 도전 부재에 의해 형성되어 있다. 이 망상의 도전 부재는, 발광부(13)의 외주면 및 한쪽의 봉지부(14a)의 외주면의 전역에 걸쳐 이들의 외주면에 밀접한 상태로 배설되어 있다.The outer electrode 25 is formed by a network-shaped conductive member having a cylindrical shape. The network-shaped conductive member is disposed in close contact with the outer circumferential surface of the light emitting portion 13 and the outer circumferential surface of one of the sealing portions 14a.

이 도면의 예에 있어서, 망상의 도전 부재는, 발광관(12)의 관벽 및 발광부(13)의 내부 공간을 통해 내부 전극(20)과 대향하는 부분(이하, 「대향 부분」이라고도 한다.)에 있어서, 내부 전극(20)과의 사이에 엑시머 방전이 생기는 것이며, 이 대향 부분에 의해 외측 전극(25)이 구성되어 있다.In this example of the drawing, the network-shaped conductive member is a portion (hereinafter also referred to as " opposed portion ") that faces the inner electrode 20 through the tube wall of the arc tube 12 and the inner space of the light- , An excimer discharge is generated between the inner electrode 20 and the inner electrode 20. The outer electrode 25 is constituted by this opposed portion.

그리고, 한쪽의 봉지부(14a)에는, 막대형의 돌출 부재(16)에 의해 형성된 피지지부가 , 발광관(12)의 축방향 바깥쪽으로 신장하도록 설치되어 있다.The one sealing portion 14a is provided with a supported portion formed by the rod-like projecting member 16 so as to extend outward in the axial direction of the arc tube 12. [

이 피지지부는, 적어도 선단 부분이 보호관(30)의 오목부(33)내에 삽입된 상태로 배치된다.This supported portion is disposed so that at least the tip end portion thereof is inserted into the concave portion 33 of the protective pipe 30. [

돌출 부재(16)는, 금속봉으로 이루어지는 것이며, 이 금속봉은, 리드의 구성 재료로서 이용되는 금속으로 이루어지는 것이다.The projecting member 16 is made of a metal rod, and the metal rod is made of a metal used as a constituent material of the lead.

이 돌출 부재(16)는, 일단부가 한쪽의 봉지부(14a)의 외단보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하고, 적어도 선단 부분이 보호관(30)의 오목부(33) 내에 삽입된 상태로 되어 있고, 또, 타단부가 한쪽의 봉지부(14a)에 의해 지지되어 있다. The protruding member 16 is in a state in which one end portion protrudes axially outward than the outer end of the one sealing portion 14a and at least the tip end portion is inserted into the recessed portion 33 of the protective pipe 30, And the other end is supported by one sealing portion 14a.

또, 돌출 부재(16)의 타단부는, 한쪽의 봉지부(14a) 내에 있어서, 내부 전극(20)의 일단부와 이간한 상태로 되어 있다. 즉, 돌출 부재(16)는, 내부 전극(20)과 전기적으로 접속되어 있지 않다.The other end of the projecting member 16 is separated from the one end of the internal electrode 20 in the one sealing portion 14a. That is, the projecting member 16 is not electrically connected to the internal electrode 20.

이 도면의 예에 있어서, 돌출 부재(16)는, 발광관(12)의 중심축(A)과 일치하여 배치되어 있다.In this example of the drawing, the projecting member 16 is arranged coinciding with the center axis A of the arc tube 12. [

돌출 부재(16)의 일단부에는, 도 2에 나타내어져 있는 바와 같이, 보호관(30)의 오목부(33)의 내면에 접하는 완충 부재(18)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 피지지부는, 돌출 부재(16)와, 완충 부재(18)에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.At one end of the projecting member 16, as shown in Fig. 2, it is preferable that a cushioning member 18 is provided in contact with the inner surface of the recess 33 of the protective pipe 30. That is, the supported portion is preferably composed of the projecting member 16 and the buffer member 18.

또, 완충 부재(18)는, 도 2에 나타내어져 있는 바와 같이, 외측 전극(25)과 일체인 것이 바람직하다. 즉, 완충 부재(18)는, 외측 전극(25)과 공통의 도전 부재에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.2, it is preferable that the buffer member 18 is integral with the outer electrode 25. That is, it is preferable that the buffer member 18 is constituted by the common electrode and the common electrode.

이 도면의 예에 있어서, 완충 부재(18)는, 망상의 도전 부재의 일단부에 의해 구성되어 있다. 망상의 도전 부재의 일단부는, 돌출 부재(16)의 일단부 전체를 덮고, 상기 돌출 부재(16)에 밀착한 상태로 되어 있다. 이 완충 부재(18)는, 망상의 도전 부재의 일단부를 돌출 부재(16)의 일단부에 씌우고, 그 망상의 도전 부재의 일단부를 비틀도록 하여 돌출 부재(16)에 휘감고, 밀착시켜 고정함으로써 형성된 것이다.In this example of the drawing, the buffer member 18 is constituted by one end of a network-shaped conductive member. One end of the network-shaped conductive member covers the entire one end of the projecting member 16 and is in tight contact with the projecting member 16. [ This buffer member 18 is formed by putting one end of a network-shaped conductive member on one end of a projecting member 16, twisting one end of the network-shaped conductive member and wrapping it on the projecting member 16, will be.

돌출 부재(16)에 완충 부재(18)가 설치되어 있음으로써, 완충 부재(18)에 의해 외부로부터 가해지는 진동 충격이 흡수되기 때문에, 진동 충격에 대한 한층 더 높은 내성을 얻을 수 있다.Since the cushioning member 18 is provided on the projecting member 16, the vibration impact externally applied by the cushioning member 18 is absorbed, so that a further higher resistance against the vibration impact can be obtained.

보호관(30)은, 타단이 개구하는 바닥이 있는 원통형이며, 개구부가 대략 원주형인 봉지 부재(35)에 의해 기밀하게 봉지되고, 일단부에 오목부(33)가 형성된 것이다.The protective pipe 30 is a cylindrical shape having a bottom at which the other end is opened and is airtightly sealed by a sealing member 35 whose opening is a substantially columnar shape and a concave portion 33 is formed at one end.

이 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)는, 다른 쪽의 봉지부(14b)가 봉지 부재(35)에 지지되고, 피지지부가 오목부(33)의 내부에 삽입됨으로써, 보호관(30)의 내주면에 접촉하지 않도록, 발광관(12)의 중심축(A)이 보호관(30)의 중심축 상에 위치된 상태로 보유된다. 또, 보호관(30)의 내부 공간은, 감압 상태, 또는 예를 들면 질소 가스 등의 불활성 가스가 충전된 상태로 되어 있다.The other sealing portion 14b of the excimer discharge lamp 11 is supported by the sealing member 35 and the supported portion is inserted into the recess 33 inside the protective tube 30, The center axis A of the arc tube 12 is held on the center axis of the protective tube 30 so as not to contact the inner circumferential surface of the protective tube 30. [ The inner space of the protective pipe 30 is in a depressurized state or filled with an inert gas such as nitrogen gas.

이 도면의 예에 있어서, 보호관(30)은, 엑시머 방전 램프(11)로부터 방사되는 광(예를 들면 진공 자외선)을 출사하는 광투과부(31)와, 그 광을 차폐하는 비광투과부(32)를 갖는 것이다. 광투과부(31)는, 일단부측에 형성되어 있고, 이 광투과부(31)에는, 내부 전극(20) 및 외측 전극(25)이 위치되어 있다. 한편, 비광투과부(32)는, 타단부측에 형성되어 있고, 광투과부(31)보다 큰 두께를 갖고 있다.In this example of the drawing, the protection tube 30 includes a light transmission portion 31 for emitting light (for example, vacuum ultraviolet light) emitted from the excimer discharge lamp 11, a non-light transmission portion 32 for shielding the light, . The light transmitting portion 31 is formed at one end side and the internal electrode 20 and the external electrode 25 are located in the light transmitting portion 31. [ On the other hand, the non-light transmitting portion 32 is formed on the other end side and has a larger thickness than the light transmitting portion 31. [

보호관(30)에 있어서, 오목부(33)는, 보호관(30)의 중심축상에 배설되어 있다.In the protective pipe 30, the concave portion 33 is disposed on the center axis of the protective pipe 30.

이 도면의 예에 있어서, 오목부(33)는, 배기관 잔부에 의해 구성되어 있고, 이 배기관 잔부는, 상기 배기관 잔부의 중심축이, 보호관(30)의 중심축과 일치하는 상태로, 상기 보호관(30)의 중심축을 따라 신장하도록 배치되어 있다.In the example of this drawing, the concave portion 33 is constituted by the remainder of the exhaust pipe, and the remainder of the exhaust pipe is connected to the rear end of the exhaust pipe, (30).

봉지 부재(35)는, 예를 들면 용융 석영 유리로 이루어지고, 보호관(30)의 개구부에 삽입 배치되어 그 외주면과 보호관(30)의 내주면이 용착되어 있다.The sealing member 35 is made of, for example, fused quartz glass, inserted into the opening of the protective pipe 30, and the outer peripheral surface thereof and the inner peripheral surface of the protective pipe 30 are welded together.

이 봉지 부재(35)에 있어서는, 상기 봉지 부재(35)의 일단부에, 엑시머 방전 램프(11)의 다른쪽의 봉지부(14b)의 타단부가 고정되어 있다.In the sealing member 35, the other end of the other sealing portion 14b of the excimer discharge lamp 11 is fixed to one end of the sealing member 35. [

또, 봉지 부재(35)에는, 엑시머 방전 램프(11)에 있어서의 내부 전극용 외부 리드(22)가, 봉지 부재(35)의 중앙 위치를 축방향으로 관통하여 신장하도록 배설되어 있고, 이와 같이 하여, 내부 전극용 외부 리드(22)의 타단부가 보호관(30)의 외부에 도출되어 있다.The outer lead 22 for the inner electrode in the excimer discharge lamp 11 is arranged in the sealing member 35 so as to extend through the central position of the sealing member 35 in the axial direction, And the other end of the outer lead 22 for the inner electrode is led out to the outside of the protective pipe 30. [

봉지 부재(35)의 외주면과 보호관(30)의 내주면의 접합부에는, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어지는 금속박(40)이 기밀하게 매설되어 있다. 이 금속박(40)에는, 꼬임선으로 이루어지는 급전선(41)을 통해 엑시머 방전 램프(11)의 외측 전극(25)에 접속된 막대형의 내부 리드(42)의 타단부가 접속되어 있음과 함께, 타단부가 보호관(30)의 타단면보다 축방향 바깥쪽으로 돌출하는 막대형의 외부 전극용 외부 리드(43)의 일단부가 접속되어 있다. 내부 리드(42)는, 예를 들면 몰리브덴으로 이루어지고, 급전선(41)은, 예를 들면 니켈선으로 이루어진다. A metal foil 40 made of, for example, molybdenum is airtightly embedded in the joint portion between the outer circumferential surface of the sealing member 35 and the inner circumferential surface of the protective pipe 30. [ The metal foil 40 is connected to the other end of the rod-shaped inner lead 42 connected to the outer electrode 25 of the excimer discharge lamp 11 through the feed line 41 made of a twisted wire, And one end of a rod-shaped outer lead 43 for the outer electrode, the other end of which protrudes axially outwardly from the other end surface of the protective pipe 30, is connected. The inner lead 42 is made of, for example, molybdenum, and the feeder line 41 is made of, for example, a nickel wire.

이러한 구성으로 되어 있음으로써, 외부 전극용 외부 리드(43)와 내부 전극용 외부 리드(22)의 공간 거리의 크기를 충분히 확보할 수 있으므로, 전기적 절연 상태를 유지하면서, 소기의 급전구조를 형성할 수 있다. 또, 꼬임 선으로 이루어지는 급전선(41)을 사용하고 있음으로써, 내부 리드(42)나 봉지 부재(35)에 의한 봉지부에 큰 힘이 가해지지 않고, 또, 급전선(41)의, 외부 전극(25) 및 외부 전극용 외부 리드(43)에 대한 충분한 크기의 접촉 면적을 확보할 수 있고, 이 점에 있어서도, 소기의 급전 구조를 확실히 형성할 수 있다.With this configuration, it is possible to sufficiently secure the size of the space distance between the outer lead 43 for the outer electrode and the outer lead 22 for the inner electrode, so that a desired feed structure is formed while maintaining the electrically insulated state . In addition, since the feed line 41 made of twisted wires is used, a large force is not applied to the sealing portion of the inner lead 42 or the sealing member 35, 25 and the outer leads 43 for the outer electrodes can be ensured. In this regard, the desired feed structure can be reliably formed.

보호관(30)의 타단부에는, 세라믹제의 베이스 부재(45)가 무기 접착제에 의해 고정되어 설치되어 있고, 외부 전극용 외부 리드(43) 및 내부 전극용 외부 리드(22)의 타단부는 각각 베이스 부재(45)에 설치된 급전선(46, 46)에 접속되어 있다.A ceramic base member 45 is fixedly attached to the other end of the protective pipe 30 by an inorganic adhesive and the other ends of the outer lead 43 for the outer electrode and the outer lead 22 for the inner electrode are (46, 46) provided on the base member (45).

이 엑시머 방전 램프 장치(10)의 제조 과정에 있어서는, 일단에 배기관이 부착되고, 타단에 개구를 갖는 보호관 형성 재료의 내부에, 엑시머 방전 램프(11)를, 상기 배기관의 내부에 피지지부를 삽입한 상태로 배치한다. 그리고, 보호관 형성 재료의 타단을 봉지하고, 그 보호관 형성 재료의 내부를 탈기하고, 필요에 따라 불활성 가스를 충전한 후, 배기관을 팁 오프한다. 이와 같이 하여, 보호관(30)의 일단부에 있어서, 피지지부가 삽입된 상태의 오목부(33)가 형성됨과 함께, 보호관(30)의 내부에 엑시머 방전 램프(11)가 봉입된다.In the manufacturing process of the excimer discharge lamp device 10, an excimer discharge lamp 11 is inserted into a protective tube forming material having an exhaust pipe at one end and an opening at the other end, and a supported portion is inserted into the exhaust pipe As shown in FIG. Then, the other end of the protective tube forming material is sealed, the inside of the protective tube forming material is degassed, the inert gas is charged as necessary, and then the exhaust tube is tip-off. In this manner, the concave portion 33 in which the supported portion is inserted is formed at one end of the protective pipe 30, and the excimer discharge lamp 11 is sealed in the protective pipe 30.

그러나, 엑시머 방전 램프 장치(10)에 의하면, 보호관(30)의 내부에 있어서, 엑시머 방전 램프(11)가, 피지지부가 보호관(30)의 오목부(33)의 내부에 삽입된 상태로 보유되어 있다. 그 때문에, 엑시머 방전 램프(11) 및 보호관(30)이 매우 장척인 것이어도, 보호관(30)에 대한 엑시머 방전 램프(11)의 위치를 정확하게 규제하고, 엑시머 방전 램프(11)를 소기의 위치에 높은 위치 정밀도로 배치할 수 있고, 따라서 높은 균일성으로 광을 조사할 수 있음과 함께, 외부로부터 가해지는 진동 충격에 대해 높은 내성을 얻을 수 있다. 또, 피지지부를 구성하는 돌출 부재(16)가 금속제의 것이어도, 돌출 부재(16)의 열팽창에 기인하여 보호관(30)에 크랙이 발생하는 일이 없다. However, according to the excimer discharge lamp device 10, the excimer discharge lamp 11 is held in the protective tube 30 in a state where the supported portion is inserted into the recess 33 of the protection tube 30 . Therefore, even if the excimer discharge lamp 11 and the protection tube 30 are very long, the position of the excimer discharge lamp 11 with respect to the protective tube 30 can be accurately regulated and the excimer discharge lamp 11 can be positioned at a desired position So that it is possible to irradiate light with high uniformity and to obtain high resistance against vibration impact from the outside. In addition, even if the projecting member 16 constituting the supported portion is made of metal, cracks do not occur in the protective pipe 30 due to the thermal expansion of the projecting member 16.

이상에 있어서, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치를 구체적인 예를 이용하여 설명했지만, 본 발명의 엑시머 방전 램프 장치는 이것에 한정되는 것은 아니다.In the foregoing, the excimer discharge lamp apparatus of the present invention has been described using specific examples, but the excimer discharge lamp apparatus of the present invention is not limited thereto.

예를 들면, 완충 부재는, 외측 전극과 별개의 것, 구체적으로는, 돌출 부재에 밀착하여 휘감긴 금속소선에 의해 형성된 것이어도 되고, 또 탄성 부재로 이루어지는 것이어도 된다. 탄성 부재로 이루어지는 완충 부재의 구체예로서는, 도 3에 나타내는 바와 같이 코일 스프링으로 이루어지는 것, 도 4에 나타내는 바와 같이 판형 소용돌이 스프링으로 이루어지는 것, 또 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이 판형 스프링으로 이루어지는 것 등을 들 수 있다. 도 3의 코일 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 다른 쪽(도 3에 있어서의 왼쪽)의 단부가 돌출 부재(16)에 휘감김으로써 고정되어 있다. 도 4의 판형 소용돌이 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 한쪽(도 4에 있어서의 오른쪽)의 단부가 돌출 부재(16)에 휘감김으로써 고정되어 있다. 도 5의 판형 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 굴곡부에 설치된 관통 구멍에 돌출 부재(16)가 끼워 맞춰짐으로써 고정되어 있다. 또, 도 6의 판형 스프링으로 이루어지는 완충 부재(18)는, 양단부의 각각에 형성된 오목부가 한쪽의 봉지부(14a)의 외단에 끼워 맞춤으로써, 돌출 부재(16)의 일단부 전체를 덮는 상태로 고정되어 있다.For example, the buffer member may be formed separately from the outer electrode, specifically, by a metal wire wound around the protruding member in close contact with the protruding member, or may be made of an elastic member. Specific examples of the cushioning member made of an elastic member include a coil spring as shown in Fig. 3, a plate spiral spring as shown in Fig. 4, and a plate spring as shown in Figs. 5 and 6 And the like. 3 is fixed by winding the other end (the left side in Fig. 3) of the cushioning member 18 around the projecting member 16. 4 is fixed by winding one end (the right side in Fig. 4) of the cushioning member 18 around the projecting member 16. The cushioning member 18, The cushioning member 18 made of the plate spring shown in Fig. 5 is fixed by fitting a protruding member 16 into a through hole provided in the bent portion. The cushioning member 18 made of the plate spring shown in Fig. 6 has a concave portion formed at each of both ends thereof fitted into the outer end of one of the sealing portions 14a so as to cover the entire one end of the projecting member 16 Is fixed.

또, 보호관의 타단부의 봉지 구조 및 엑시머 방전 램프의 타단부의 고정 구조는, 각각, 도 1의 엑시머 방전 램프 장치(10)에 관한 구조로 한정되는 것은 아니며, 어떠한 구성을 갖는 것이어도 된다. The sealing structure of the other end of the protective tube and the fixing structure of the other end of the excimer discharge lamp are not limited to the structure related to the excimer discharge lamp device 10 of Fig. 1, and may have any structure.

10:엑시머 방전 램프 장치 11:엑시머 방전 램프
12:발광관 13:발광부
14a:한쪽의 봉지부 14b:다른쪽의 봉지부
16:돌출 부재 18:완충 부재
19:게터 20:내부 전극
21:금속박 22:내부 전극용 외부 리드
25:외측 전극 30:보호관
31:광투과부 32:비광투과부
33:오목부 35:봉지 부재
40:금속박 41:급전선
42:내부 리드 43:외부 전극용 외부 리드
45:베이스 부재 46:급전선
A:발광관의 중심축(램프 중심축) 51:발광관
52:발광부 53:봉지부
56:외측 전극 57:내부 전극
58:금속박 59:외부 리드
60:엑시머 방전 램프 장치 61:엑시머 방전 램프
62:발광관 63:외측 전극
71:보호관 72:몰리브덴박
74:외부 리드10: Excimer discharge lamp device 11: Excimer discharge lamp
12: light emitting tube 13:
14a: one sealing part 14b: the other sealing part
16: projecting member 18: buffer member
19: getter 20: internal electrode
21: metal foil 22: outer lead for internal electrode
25: outer electrode 30: protective tube
31: light transmitting portion 32: non-light transmitting portion
33: concave portion 35: sealing member
40: metal foil 41: feed line
42: inner lead 43: outer lead for external electrode
45: Base member 46: Feeder
A: center axis of the arc tube (lamp center axis) 51: arc tube
52: light emitting portion 53:
56: outer electrode 57: inner electrode
58: metal foil 59: outer lead
60: Excimer discharge lamp device 61: Excimer discharge lamp
62: arc tube 63: outer electrode
71: protective tube 72: molybdenum foil
74: External lead

Claims (5)

막대형의 엑시머 방전 램프와, 이 엑시머 방전 램프를 내부에 봉입하는, 상기 엑시머 방전 램프의 축방향으로 신장하는 막대형의 보호관을 구비하고 있고,
상기 보호관에는, 한쪽의 단부의 내면에 오목부가 형성되어 있고,
상기 엑시머 방전 램프는, 한쪽의 단부에, 상기 보호관의 오목부에 삽입된 피지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.A rod-shaped excimer discharge lamp, and a rod-shaped protective tube extending in the axial direction of the excimer discharge lamp for sealing the excimer discharge lamp therein,
The protection tube is provided with a recessed portion on the inner surface of one end,
Wherein the excimer discharge lamp has a supported portion inserted into a concave portion of the protection tube at one end thereof. 청구항 1에 있어서,
상기 피지지부가, 엑시머 방전 램프의 축방향 바깥쪽으로 돌출하도록 설치된 돌출 부재에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.The method according to claim 1,
Wherein the supported portion is formed by a projecting member provided so as to protrude outward in the axial direction of the excimer discharge lamp. 청구항 2에 있어서,
상기 돌출 부재에는, 상기 보호관의 오목부의 내면에 접하는 완충 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.The method of claim 2,
Wherein the protruding member is provided with a buffer member which is in contact with the inner surface of the concave portion of the protective pipe. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 엑시머 방전 램프는, 내부에 발광 가스가 봉입된 발광부와 상기 발광부의 양단의 각각에 연속 설치된 봉지부를 갖는 발광관, 상기 발광부의 외주면에 배치된 외측 전극, 및 발광부의 내부에 배치된 내부 전극을 구비하고 있고,
상기 돌출 부재는, 상기 내부 전극과 전기적으로 접속되어 있지 않은 금속봉으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.The method according to claim 2 or 3,
The excimer discharge lamp includes a light emitting tube having a light emitting portion sealed with a light emitting gas therein and a seal portion continuously provided at both ends of the light emitting portion, an outer electrode disposed on an outer peripheral surface of the light emitting portion, Respectively,
Wherein the protruding member is made of a metal rod that is not electrically connected to the internal electrode. 청구항 4에 있어서,
상기 완충 부재는, 망상의 도전 부재에 의해, 상기 외측 전극과 일체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 방전 램프 장치.

The method of claim 4,
Wherein the buffer member is integrally formed with the outer electrode by a network-shaped conductive member.

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