KR101951983B1 - Short arc type flash lamp with both ends sealed - Google Patents

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다카유키 히라이시
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 발광관 내에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 갖고, 상기 발광관의 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고, 상기 제2 봉지관에는 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 용착 작업시에 있어서, 상기 시동 보조 전극의 내부 리드, 외부 리드, 금속박 등의 정확한 고정 위치가 얻어져, 봉착 작업을 매우 간략화할 수 있는 구조를 제공하는 것이다.
(해결 수단) 상기 봉지용 유리관에 있어서의 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 외주면에는, 상기 내부 리드, 외부 리드 및 금속박을 피복하도록 1차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있는 것을 특징으로 한다.A first sealing pipe of the light emitting tube is sealed with a core wire of a first main electrode and led out of the light emitting tube, and the second sealing pipe is provided with a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode, A double-end sealed type short arc flash lamp in which a sealing glass tube is welded and a core wire of a second main electrode is sealed in the sealing glass tube and led out of an arc tube, And an accurate fixing position of an inner lead, an outer lead, a metal foil and the like of the starting auxiliary electrode can be obtained at the time of operation, thereby providing a structure that can greatly simplify the sealing operation.
A primary sealing glass member is welded to the outer peripheral surface of the fusion-bonded region with the second sealing tube in the sealing glass tube so as to cover the inner lead, the outer lead and the metal foil.

Description

양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프{SHORT ARC TYPE FLASH LAMP WITH BOTH ENDS SEALED}[0001] SHORT ARC TYPE FLASH LAMP WITH BOTH ENDS SEALED [0002]

이 발명은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이며, 특히, 한쪽의 봉지관 부분이 이중관 구조로 된 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이다.The present invention relates to a double-end sealed short arc flash lamp, and more particularly, to a double-end sealed short arc flash lamp having a double tube structure at one end thereof.

플래시 점등을 행하는 방전등은, 반도체 제조 공정에 있어서의 플래시 어닐을 비롯한 산업 용도에 널리 이용되고 있고, 본 발명의 램프는, 특히 진공 자외광을 이용한 노광 공정에 사용되는 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] Discharge lamps that perform flash lighting are widely used in industrial applications including flash annealing in semiconductor manufacturing processes, and the lamp of the present invention is particularly used in an exposure process using vacuum ultraviolet light.

상기 노광 공정에 있어서는, 소영역에 고밀도의 광을 단시간에 조사할 수 있고, 광의 방향성이나 분포에 불균일이 비교적 적은, 평행광에 가까운 광을 사용하는 것이 요구된다.In the exposure step, it is required to use light with a wavelength close to that of parallel light, which can irradiate high-density light to a small area in a short period of time and has a relatively small unevenness in the directionality and distribution of light.

그러기 위해서는, 플래시 램프를, 오목면 반사경 등에 의해 집광하여 평행광을 형성하는 것이 바람직하고, 집광 효율을 높이기 위해서는 봉지부의 직경이 작은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프가 유리하다.For this purpose, it is preferable to form parallel light by condensing the flash lamp by a concave reflector or the like, and a double-end sealed type short arc flash lamp having a small diameter of the encapsulation portion is advantageous in order to increase the light condensing efficiency.

이와 같은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프가, 일본국 특허 제5360033호 공보에 개시되어 있다.Such a double-end sealed short arc flash lamp is disclosed in Japanese Patent No. 5360033.

도 4에 그 개략 구조가 나타나 있고, 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 발광관(1)의 양단에 제1 봉지관(2)과 제2 봉지관(3)이 연속 설치되어 있다. 그리고, 상기 제2 봉지관(3)에는 봉지용 유리관(4)이 삽입되어 있어, 양자는 용착되어 있다.Fig. 4 shows the schematic structure thereof. In the both-ends sealed type short arc flash lamp, the first sealing tube 2 and the second sealing tube 3 are provided continuously at both ends of the arc tube 1. [ A sealing glass tube (4) is inserted in the second sealing tube (3), and both are welded.

발광관(1) 내에 한 쌍의 제1 주전극(5)과 제2 주전극(6)이 대향 배치되어 있다. 상기 제1 주전극(5)은, 그 심선(7)이 제1 봉지관(2)에 단 이음 유리 등의 수단에 의해 지지·봉지되어 그 외방으로 도출되어 있고, 또한, 상기 제2 주전극(6)은, 그 심선(8)이 상기 봉지용 유리관(4)에 단 이음 유리 등의 수단에 의해 지지·봉지되어 그 외방으로 도출되어 있다.A pair of first main electrodes 5 and a second main electrode 6 are arranged opposite to each other in the arc tube 1. [ The first main electrode 5 is formed such that its core wire 7 is supported and sealed to the first encapsulation tube 2 by a means such as a step glass or the like and led out to the outside of the first main electrode 5, The core wire 8 is supported and sealed to the sealing glass tube 4 by a means such as a single glass or the like and led out to the outside.

발광관(1) 내의 주전극(5, 6) 사이에는, 한 쌍의 제1 시동 보조 전극(10)과 제2 시동 보조 전극(11)이 설치되어 있고, 각각의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16)가, 상기 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4) 사이의 용착 영역에 있어서, 금속박(14, 17)을 통해 전기적으로 접속되어 있다.A pair of the first starting auxiliary electrode 10 and the second starting auxiliary electrode 11 are provided between the main electrodes 5 and 6 in the arc tube 1, And the outer leads 13 and 16 are electrically connected through the metal foils 14 and 17 in the welded region between the second encapsulation tube 3 and the sealing glass tube 4. [

그리고, 발광관(1) 내부에는, 발광 가스로서, 예를 들면 크세논 가스가 봉입되어 있다.Inside the arc tube 1, for example, xenon gas is sealed as a luminescent gas.

이 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 소정의 전압이 인가됨으로써, 우선 시동 보조 전극(10, 11) 사이에서 예비 방전해, 주전극(5, 6) 사이의 방전을 보조하는 하전 입자를 발광관(1) 내에 발생시키는 구성으로 되어 있다.This double-end sealed type short arc flash lamp has a configuration in which charged particles that assist in the discharge between the auxiliary electrodes 10 and 11 and the main electrodes 5 and 6 are supplied to the light- (1).

이와 같은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 예를 들면 포물 반사면경의 초점에 램프의 발광점(휘점)을 일치시켜 배치함으로써, 램프로부터 방사되는 광을 평행광으로서 조사하는 광원 장치가 구성된다.In such a double-end sealed short arc flash lamp, for example, a light source device that irradiates light emitted from a lamp as parallel light is constructed by disposing the luminous points (luminescent spots) of the lamp coinciding with the focus of the parabolic reflective luminous mirror.

그런데, 이러한 이중관 구조를 취하는 제2 봉지부측에 있어서는, 그 용착 공정에 있어서, 봉지용 유리관(4)의 외주면에, 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16) 및 금속박(14, 17)을 배치하여, 이것을 제2 봉지관(3) 내에 삽입해, 그 외주부터 버너에 의해 가열해, 봉지용 유리관(4)과 제2 봉지관을 용착한다고 하는 작업이 행해지고 있다.The inner leads 12 and 15 of the starting auxiliary electrodes 10 and 11 and the outer leads 12 and 15 of the auxiliary glass electrodes 10 and 11 are formed on the outer peripheral surface of the sealing glass tube 4 in the second sealing portion, 13 and 16 and the metal foils 14 and 17 are placed in the second sealing tube 3 and heated from the outer periphery thereof by the burner to melt the sealing glass tube 4 and the second sealing tube Is performed.

이와 같은 용착 작업에서는, 봉지용 유리관(4)의 외주의 내부 리드(12, 15)나 외부 리드(13, 16) 및 금속박(14, 17)을 정확한 위치에 유지한 상태로 용착하는 것이 곤란하며, 용착 후에 정확한 위치에서의 조립 구조를 얻을 수 없다고 하는 문제가 있었다.In such a welding operation, it is difficult to weld the inner leads 12 and 15, the outer leads 13 and 16, and the metal foils 14 and 17 on the outer periphery of the sealing glass tube 4 in a precise position , There is a problem that an assembled structure at an accurate position can not be obtained after welding.

일본국 특허 제5360033호 공보Japanese Patent No. 5360033

이 발명이 해결하고자 하는 과제는, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여, 유리제의 발광관의 내부에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 갖고, 상기 발광관의 양단에 제1 봉지관과 제2 봉지관을 구비하고, 상기 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고, 상기 제2 봉지관에는, 상기 제2 봉지관의 내부에 삽입된 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 용착 작업시에 있어서, 상기 시동 보조 전극의 내부 리드, 외부 리드, 금속박 등의 정확한 고정 위치가 얻어져, 봉착 작업을 매우 간략화할 수 있는 구조를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a lamp having a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode inside a glass arc tube, Wherein a sealing glass tube inserted into the inside of the second sealing tube is attached to the first sealing tube so that the core wire of the first main electrode is sealed and led out of the arc tube, And the sealing glass tube is sealed with a core wire of the second main electrode and led out of the light emitting tube, wherein in the welding operation of the second sealing tube and the sealing glass tube , An inner lead of the starting auxiliary electrode, an outer lead, a metal foil, and the like can be obtained, so that a sealing operation can be greatly simplified.

상기 과제를 해결하기 위해서, 이 발명에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 상기 봉지용 유리관에 있어서의 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 외주면에는, 상기 내부 리드, 외부 리드 및 금속박을 피복하도록 1차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the double-end sealed short arc flash lamp according to the present invention is characterized in that the inner lead, the outer lead and the metal foil are coated on the outer circumferential surface of the fusion region with the second sealing tube in the sealing glass tube, And the first sealing glass member is welded thereto.

또, 상기 1차 봉지용 유리 부재의 재료가 무수 석영 유리이며, 상기 제2 봉지관의 유리가 유수(有水) 석영 유리인 것을 특징으로 한다.Further, the material of the first sealing glass member is anhydrous quartz glass, and the glass of the second sealing tube is an aqueous quartz glass.

이 발명의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 의하면, 제2 봉지관에 삽입용착되는 봉지용 유리관의 외주면에 1차 봉지용 유리 부재를 피복하여 용착했으므로, 봉지용 유리관의 외주에 있는 시동 보조 전극의 내부 리드, 외부 리드 및 금속박이 상기 1차 봉지용 유리 부재에 의해서 정확하게 위치 결정되어 피복되고, 이 상태의 봉지용 유리관을 제2 봉지관에 용착할 때, 그 용착 작업이 매우 간략화된다. 그 때문에, 최종 램프 형상으로 성형되었을 때, 내부 리드, 외부 리드, 금속박이 정확하게 위치 결정 고정된다.According to the double-end sealed type short arc flash lamp of the present invention, since the primary sealing glass member is coated and welded to the outer peripheral surface of the sealing glass tube inserted and welded to the second sealing tube, The inner lead, the outer lead, and the metal foil are precisely positioned and covered by the first sealing glass member, and when the sealing glass tube in this state is welded to the second sealing tube, the welding operation is greatly simplified. Therefore, when molded into the final ramp shape, the inner leads, the outer leads, and the metal foils are accurately positioned and fixed.

또, 1차 봉지용 유리 부재를 무수 석영 유리, 제2 봉지관을 유수 석영 유리로 함으로써, 용착 후의 용착부에 있어서, 그 계면에는 압축 응력이 작용하게 되므로, 예를 들면 0.1MPa 이상, 즉 거의 대기압 이상이 되는 고압의 희가스를 봉입하는 경우에도, 봉지부의 내압성이 향상되어 램프의 파열의 위험성이 저하된다고 하는 효과를 발휘한다.When the first sealing glass member is made of anhydrous quartz glass and the second sealing pipe is made of water quartz glass, compressive stress acts on the interface of the welded portion after welding, and therefore, for example, 0.1 MPa or more The pressure resistance of the sealing portion is improved and the risk of rupture of the lamp is reduced even when high-pressure noble gas which is higher than the atmospheric pressure is sealed.

도 1은 본 발명의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 단면도
도 2는 도 1의 주요부의 분해 확대 단면도
도 3은 본 발명의 램프의 제조 공정도
도 4는 종래의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 단면도1 is a cross-sectional view of a double-end sealed short arc flash lamp of the present invention
2 is an exploded enlarged cross-sectional view of the main part of Fig. 1
Fig. 3 is a view showing a manufacturing process of a lamp according to the present invention
4 is a cross-sectional view of a conventional double-end sealed short arc flash lamp

도 1은 본 발명의 구금(口金)을 고정한 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 전체의 단면도이며, 도 2는, 도 1의 주요부의 분해 확대 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view showing the entirety of a double-ended encapsulated short arc flash lamp in which a mouthpiece is fixed according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded enlarged cross-sectional view of a main part of FIG.

이 쇼트 아크형 플래시 램프는, 소위 양단 봉지형의 것이며, 그 기본적 구성에 대해서는 도 4에 나타내는 종래예와 동일하다. 즉, 발광 공간을 형성하는 예를 들면 타원구(球)형상의 발광관(1)과, 그 발광관(1)의 일단에 연속하여 관축방향을 따라서 외방으로 연장되는 제1 봉지관(2)과, 발광관(1)의 타단에 연속하여 관축방향을 따라서 외방으로 연장되는 제2 봉지관(3)을 갖고 있고, 상기 제2 봉지관(3)에는 봉지용 유리관(4)이 삽입되어 있고, 그 겹침 영역에 있어서 양자는 용착되어 있다.This short arc type flash lamp is of the so-called end sealing type, and its basic structure is the same as that of the conventional example shown in Fig. That is, the light-emitting tube 1 has an elliptic arc-shaped tube 1 for forming a light-emitting space, a first sealing tube 2 extending outwardly along one end of the arc tube 1, And a second sealing tube 3 extending outwardly from the other end of the arc tube 1 along the tube axis direction. The sealing glass tube 4 is inserted into the second sealing tube 3, And both are welded in the overlapping region.

상기 발광관(1) 내에는, 한 쌍의 제1 주전극(5)과 제2 주전극(6)이 대향 배치되어 있다. 상기 제1 주전극(5)은, 그 심선(7)이 제1 봉지관(2)에 단 이음 유리 등의 수단에 의해 봉착되어 외방으로 기밀하게 도출되어 있고, 한편, 상기 제2 주전극(6)은, 그 심선(8)이 상기 봉지용 유리관(4)에 단 이음 유리 등의 수단에 의해 봉착되어 외방으로 기밀하게 도출되어 있다.In the arc tube 1, a pair of first main electrodes 5 and a second main electrode 6 are opposed to each other. The first main electrode 5 is sealed so that the core wire 7 is sealed to the first encapsulation tube 2 by a means such as a step glass or the like and is airtightly led outwardly. 6, the core wire 8 is sealed to the sealing glass tube 4 by a means such as a step glass or the like, and is airtightly led outward.

그리고, 상기 발광관(1) 내의 한 쌍의 주전극(5, 6) 사이에는, 한 쌍의 제1 시동 보조 전극(10)과 제2 시동 보조 전극(11)이 설치되어 있고, 각각의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16)가, 상기 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4) 사이의 용착 영역에 있어서, 금속박(14, 17)을 통해 전기적으로 접속되어 있다.A pair of the first starting auxiliary electrode 10 and the second starting auxiliary electrode 11 are provided between the pair of main electrodes 5 and 6 in the arc tube 1, The leads 12 and 15 and the outer leads 13 and 16 are electrically connected through the metal foils 14 and 17 in the welded region between the second encapsulation tube 3 and the sealing glass tube 4 have.

또한, 이 실시예에서는, 상기 봉지용 유리관(4)은, 상기 제2 봉지관(4) 내에 삽입되어 겹쳐져 용착되는 영역에 있어서, 그 외경이 축경되어 있고, 지도 보조 전극(10, 11)으로부터의 외부 리드(13, 16)는, 이 축경된 영역으로부터 제2 봉지관(3)의 외부로 도출되어 있다.In this embodiment, the sealing glass tube 4 has a reduced diameter in the region where the sealing glass tube 4 is inserted into the second sealing tube 4 and overlapped and welded, and the distance from the map auxiliary electrodes 10 and 11 The outer leads 13 and 16 are led out to the outside of the second sealing pipe 3 from the reduced area.

도 2의 분해 확대도에서도 알 수 있듯이, 봉지용 유리관(4)의 선단측의 제2 봉지관(3)과의 겹침 영역, 즉, 용착 영역에 있어서, 그 외주에는, 상기 내부 리드(12, 15), 외부 리드(13, 16) 및 금속박(14, 17)을 피복하도록 1차 봉지용 유리 부재(20)가 용착되어 있다.As shown in the exploded enlarged view of FIG. 2, in the overlapping region with the second sealing tube 3 on the distal end side of the sealing glass tube 4, that is, in the welding region, the inner leads 12, 15, the outer leads 13, 16 and the metal foils 14, 17 are welded together.

이렇게 하여, 선단 영역에 있어서 1차 봉지용 유리 부재(20)가 용착된 봉지용 유리관(4)이, 제2 봉지관(4) 내에 삽입되어, 상기 제2 봉지관(4)과 봉지용 유리관(4)이 용착되는 것이다.Thus, the sealing glass tube 4, in which the first sealing glass member 20 is welded in the front end region, is inserted into the second sealing tube 4, and the second sealing tube 4 and the sealing glass tube (4) is welded.

그런데, 본 발명의 설명에 있어서는, 제1 주전극(5)이 양극을 구성하고, 제2 주전극(6)이 음극을 구성하고 있는데, 제1 봉지관(2) 및 제2 봉지관(3)과의 관계 에 있어서는, 반대의 관계여도 되고, 음극인 제2 주전극(6)의 심선(8)이 제1 봉지관(2)측으로부터 도출되고, 양극인 제1 주전극(5)의 심선(7)이 제2 봉지관(3)에 용착된 봉지용 유리관(4)측으로부터 도출되는 것이어도 된다.In the description of the present invention, the first main electrode 5 constitutes the anode and the second main electrode 6 constitutes the cathode. The first and second sealing pipes 2 and 3 The core 8 of the second main electrode 6 which is the cathode is led out from the side of the first encapsulation tube 2 and the core 8 of the first main electrode 5 The core wire 7 may be led out from the sealing glass tube 4 welded to the second sealing tube 3. [

환언하면, 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)나 외부 리드(13, 16)는, 음극(6)측으로부터 도출되어 있는 것이 나타나 있는데, 반대의 양극(5)측으로부터 도출되는 구성이어도 된다.In other words, it is shown that the inner leads 12 and 15 and the outer leads 13 and 16 of the starting auxiliary electrodes 10 and 11 extend from the side of the negative electrode 6, .

그리고, 상기 제2 봉지관(3)의 재료로는 유수 석영 유리를 이용하고, 상기 1차 봉지용 유리 부재(20)의 재료로는 무수 석영 유리를 이용하는 것이 적절하다.As the material of the second sealing tube (3), water-soluble quartz glass is used, and as the material of the primary sealing glass member (20), anhydrous quartz glass is preferably used.

또한, 여기서, 유수 석영 유리란, 일반적으로 물, 즉 OH기가 50중량ppm 이상 함유되어 있는 석영 유리를 말하며, 무수 석영 유리는 OH기가 50ppm 미만 함유된 석영 유리를 말한다.Here, the term "water-immiscible quartz glass" refers to quartz glass generally containing water, that is, an OH group of 50 ppm by weight or more, and anhydrous quartz glass refers to quartz glass containing OH groups of less than 50 ppm.

석영 유리는, OH기가 많이 함유될수록 유리의 연화 온도가 낮아져, 열팽창률이 커진다고 알려져 있고, 상기와 같은 조합으로 함으로써, 열팽창률이 큰 제2 봉지관(3)과 열팽창률이 작은 1차 봉지용 유리 부재(20)의 열팽창률의 차에 따라서, 냉각시에, 그 용착 계면에 있어서는 1차 봉지용 유리 부재(20)측에 압축 응력이 작용하게 된다.It is known that quartz glass has a higher softening temperature and a larger coefficient of thermal expansion as the amount of OH groups is increased. The combination of the second sealing tube 3 having a large thermal expansion coefficient and the second sealing tube 3 having a small thermal expansion coefficient A compressive stress acts on the first sealing glass member 20 side at the welding interface at the time of cooling depending on the difference in coefficient of thermal expansion of the glass member 20. [

이 1차 봉지용 유리 부재(20)로의 압축 응력의 작용에 의해, 발광관(1) 내에 대기압 이상의 고압의 희가스를 봉입하는 경우에 있어서도, 용착부에서의 내압성이 향상되어 램프의 파열의 위험성이 저하된다.Even when a rare gas of atmospheric pressure or higher is sealed in the arc tube 1 by the action of the compressive stress on the primary sealing glass member 20, the pressure resistance in the welded portion is improved, .

본 발명의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 제조 방법을 도 3에 의해 설명한다.A method of manufacturing the double-end sealed type short arc flash lamp of the present invention will be described with reference to FIG.

(A) 봉지용 유리관(4)의 내부에 음극(6)의 심선(8)을 삽입 통과시키고, 그 단부에 있어서 단 이음 시일한다.(A) The core wire (8) of the negative electrode (6) is inserted into the sealing glass tube (4), and the ends are sealed at the ends thereof.

(B) 봉지용 유리관(4)의 선단측의 용착 영역에, 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)와 금속박(14, 17) 및 외부 리드(13, 16)를 배치한다.The inner leads 12 and 15 of the starting auxiliary electrodes 10 and 11 and the metal foils 14 and 17 and the outer leads 13 and 16 are arranged in the welding region on the tip side of the sealing glass tube 4 do.

(C) 봉지용 유리관(4)의 용착 영역에 1차 봉지용 유리 부재(20)를 끼운다. 이것을 가열하여 용착하고 1차 봉지한다.(C) The first sealing glass member 20 is put in the welding region of the sealing glass tube 4. This is heated, melted and first sealed.

(D) 이에 의해, 봉지용 유리관(4)의 용착 영역에는, 내부 리드(12, 15), 금속박(14, 17), 외부 리드(13, 16)를 피복하도록 1차 봉지용 유리 부재(20)가 용착 된 음극 마운트(21)가 형성된다.(D) As a result, the first sealing glass member 20 (20) is formed in the welding region of the sealing glass tube 4 so as to cover the inner leads 12 and 15, the metal foils 14 and 17 and the outer leads 13 and 16 Is welded to the cathode mount 21 is formed.

한편, 발광관(1)에 제1 봉지관(2)과 제2 봉지관(3)이 연속 설치되어 이루어지는 밸브(22)에는 양극(5)의 심선(7)이 삽입 통과되어, 제1 봉지관(2)의 단부에 있어서 단 이음 시일되어 있다.On the other hand, the core wire 7 of the anode 5 is inserted into the valve 22 in which the first sealing tube 2 and the second sealing tube 3 are continuously provided in the arc tube 1, And the ends of the tube 2 are sealed.

이 밸브(22)의 제2 봉지관(3) 내에 상기 음극 마운트(21)를 삽입해, 1차 봉지용 유리 부재(20)를 제2 봉지관(3)의 단부에 위치시킨다.The cathode mount 21 is inserted into the second sealing tube 3 of the valve 22 so that the first sealing glass member 20 is positioned at the end of the second sealing tube 3.

(E) 그 다음에, 제2 봉지관(3)의 외주로부터 산수소 버너 등에 의해 가열하고, 상기 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4)의 1차 봉지용 유리 부재(20)를 용착(쉬링크 시일)한다.(E) Then, the glass tube 20 is heated from the outer periphery of the second sealing tube 3 by an acid gas burner or the like, and the first sealing glass member 20 of the sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 (Shrink-link seal).

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에서는, 봉지용 유리관의 선단측의 용착 영역에 1차 봉지용 유리 부재를 용착하고, 이것을 제2 봉지관 내에 용착하는 구성으로 함으로써, 봉지용 유리관의 외주에 위치시킨 시동 보조 전극의 내부 리드, 외부 리드 및 금속박이 정확하게 위치 결정 되고, 이것을 제2 봉지관에 용착하므로, 그 용착 작업이 매우 간략화되고, 게다가, 내부 리드, 외부 리드, 금속박의 위치 결정이 정확해진다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, in the double-end sealed short arc flash lamp according to the present invention, the first sealing glass member is fused to the welding region at the tip side of the sealing glass tube and fused in the second sealing tube, The inner lead, the outer lead, and the metal foil of the starting auxiliary electrode positioned on the outer periphery of the sealing glass tube are precisely positioned and welded to the second sealing tube, the welding operation is greatly simplified, The positioning of the metal foil becomes accurate.

또한, 봉지용 유리관에, 단순한 원통관인 1차 봉지용 유리 부재를 용착하는 경우와, 양극이 봉지된 장척의 발광관, 제1 봉지관, 제2 봉지관으로 이루어지는 밸브를 용착하는 경우에서는, 본원 발명과 같이 1차 봉지용 유리 부재를 용착하는 경우가, 작업이 용이함은 분명하다. 그리고 1차 봉지용 유리 부재가 용착된 봉지용 유리관은, 상기 내부 리드, 외부 리드 금속박이 정확하게 위치 결정 고정되어, 제2 봉지관에 용이하게 용착할 수 있는 것이다.Further, in the case where the first sealing glass member is simply welded to the sealing glass tube and when the valve consisting of the long arc tube sealed with the positive electrode, the first sealing tube and the second sealing tube is welded, It is apparent that the case of welding the first sealing glass member as in the present invention is easy to work. In the sealing glass tube in which the first sealing glass member is welded, the inner lead and the outer lead metal foil are precisely positioned and fixed and can be easily welded to the second sealing tube.

1:발광관
2:제1 봉지관
3:제2 봉지관
4:봉지용 유리관
5:제1 주전극
6:제2 주전극
7:제1 주전극의 심선
8:제2 주전극의 심선
10:제1 시동 보조 전극
11:제2 시동 보조 전극
12:제1 시동 보조 전극의 내부 리드
13:제1 시동 보조 전극의 외부 리드
14:금속박
15:제2 시동 보조 전극의 내부 리드
16:제2 시동 보조 전극의 외부 리드
17:금속박
20:1차 봉지용 유리 부재
21:음극 마운트
22:밸브1: arc tube
2: First bag
3: Second bag
4: Glass tube for sealing
5: first main electrode
6: Second main electrode
7: core wire of the first main electrode
8: core wire of the second main electrode
10: First starting auxiliary electrode
11: second starting auxiliary electrode
12: inner lead of the first starter electrode
13: outer lead of the first starter electrode
14: Metal foil
15: the inner lead of the second starting auxiliary electrode
16: the outer lead of the second starting auxiliary electrode
17: Metal foil
20: Glass member for primary sealing
21: Cathode mount
22: Valve

Claims (2)

유리제의 발광관의 내부에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 갖고, 상기 발광관의 양단에 제1 봉지관과 제2 봉지관을 구비하고,
상기 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고,
상기 제2 봉지관에는, 상기 제2 봉지관의 내부에 삽입된 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지고,
상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관 사이에서, 상기 시동 보조 전극의 내부 리드와 외부 리드, 및 이들을 전기적으로 접속하는 금속박이 봉지되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서,
상기 봉지용 유리관에 있어서의 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 외주면에는, 상기 내부 리드, 외부 리드 및 금속박을 피복하도록 1차 봉지용 유리 부재가 용착되고,
상기 1차 봉지용 유리 부재가 상기 제2 봉지관에 용착되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.A pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode in a glass arc tube and having a first sealing tube and a second sealing tube at both ends of the arc tube,
The core of the first main electrode is sealed in the first sealing tube and led out of the arc tube,
Wherein a sealing glass tube inserted into the second sealing tube is welded to the second sealing tube and a core wire of the second main electrode is sealed to the sealing glass tube and led out of the light emitting tube,
Arc sealed flash arc lamp in which an inner lead of the starting auxiliary electrode and an outer lead and a metal foil electrically connecting them are sealed between the second sealing tube and the sealing glass tube,
The first sealing glass member is welded to the outer circumferential surface of the fusion-bonded region with the second sealing tube in the sealing glass tube so as to cover the inner lead, the outer lead and the metal foil,
And the first sealing glass member is welded to the second sealing pipe. 청구항 1에 있어서,
상기 1차 봉지용 유리 부재의 재료가 무수 석영 유리이며,
상기 제2 봉지관의 유리가 유수(有水) 석영 유리인 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1,
Wherein the material of the first sealing glass member is anhydrous quartz glass,
Wherein the glass of the second sealing tube is an aqueous quartz glass.
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