KR20160061744A - Method for preparation of getter layer comprising magnesium oxide thin film - Google Patents

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magnesium oxide
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이수희
박철희
김동환
변원배
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주식회사 엘지화학
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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a getter layer. According to the present invention, the method for manufacturing a getter layer not only has excellent hygroscopicity and transparency, but also can manufacture a uniformly formed getter layer on a substrate. Therefore, the getter layer manufactured thereby can protect an element sensitive to moisture included in an organic electronic device. The method for manufacturing a getter layer comprises the following steps: manufacturing a coating solution including magnesium acetate and a bonding agent; coating the coating solution on a substrate; drying the substrate having the coating solution coated thereon; and treating the dried substrate with heat.

Description

산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층의 제조 방법{Method for preparation of getter layer comprising magnesium oxide thin film}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method for preparing a getter layer containing a magnesium oxide thin film,

본 발명은 산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for producing a getter layer comprising a magnesium oxide thin film.

유기 전자 장치(OED; organic electronic device)는 정공 및 전자를 이용하여 전하의 교류를 발생하는 유기 재료층을 포함하는 장치를 의미하며, 그 예로는, 광전지 장치(photovoltaic device), 정류기(rectifier), 트랜스미터(transmitter) 및 유기발광다이오드(OLED; organic light emitting diode) 등을 들 수 있다.
An organic electronic device (OED) refers to an apparatus that includes an organic material layer that generates holes and electrons to generate an alternating current. Examples thereof include a photovoltaic device, a rectifier, A transmitter and an organic light emitting diode (OLED).

상기 유기 전자 장치 중 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Didoe)는 기존 광원에 비하여, 전력 소모량이 적고, 응답 속도가 빠르며, 표시장치 또는 조명의 박형화에 유리하다. 또한, OLED는 공간 활용성이 우수하여, 각종 휴대용 기기, 모니터, 노트북 및 TV에 걸친 다양한 분야에서 적용될 것으로 기대되고 있다.
Organic light emitting diodes (OLEDs) among the organic electronic devices have lower power consumption, faster response speed, and are advantageous for thinning display devices or illumination. In addition, OLEDs are expected to be applied in various fields covering various portable devices, monitors, notebooks, and televisions because of their excellent space utilization.

유기 전자 장치에서 중요한 소자인 발광 소자는 수분과 접촉하게 되면 산화되는 단점이 있기 때문에, 유기 전자 장치의 내구성과 수명 향상을 위하여 유기 전자 장치의 밀봉이 제조 과정에서 중요하게 고려된다. 이에, 효과적으로 발광 소자와 수분과의 접촉을 차단하기 위해 두 가지 관점에서 수분을 차단하는데, 하나는 물리적인 밀봉으로 수분을 차단하고, 또 하나는 수분을 흡수할 수 있는 물질, 즉 흡습제를 유기 전자 장치의 내부에 함께 밀봉하는 것이다.
In order to improve the durability and lifetime of the organic electronic device, sealing of the organic electronic device is considered important in the manufacturing process because the light emitting device which is an important element in the organic electronic device has a disadvantage that it is oxidized when it comes into contact with moisture. In order to effectively block the contact between the light emitting element and moisture, moisture is blocked from two viewpoints. One is to block moisture with a physical seal, and the other is to remove a substance capable of absorbing moisture, Sealing together the inside of the device.

물리적인 밀봉 방법은, 접착성이 높은 밀봉재로 발광 소자가 외부로 노출되지 않도록 전면 기판과 배면 기판을 연결하는 방법이다. 그러나, 유기 전자 장치가 사용되는 외부 환경에 의하여 수분이 침투될 수 있기 때문에, 발광 소자와 함께 흡습제를 함께 밀봉하여 발광 소자가 수분과 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 흡습제를 포함하는 조성물을 게터 조성물이라고 한다.
The physical sealing method is a method of connecting the front substrate and the rear substrate so that the light emitting device is not exposed to the outside with a highly adhesive sealing material. However, since moisture can be permeated by the external environment in which the organic electronic device is used, the moisture absorber together with the light emitting element can be sealed together to prevent the light emitting element from coming into contact with moisture. Thus, a composition containing a moisture absorbent is referred to as a getter composition.

일반적으로 배면 기판에 발광 소자를 형성하고, 전면 기판에 게터 조성물로 게터층을 형성하여 전면 기판과 배면 기판을 밀봉하는 방법으로 유기 전자 소자를 제조한다. 상기 게터층은 흡습량이 높아야 할 뿐만 아니라 흡수한 수분을 쉽게 배출하지 않는 소재를 사용하여야 한다. 또한, 상기 게터층은 발광 소자에서 발산되는 빛을 투과할 수 있도록 투과성이 있어야 한다.
Generally, an organic electronic device is manufactured by forming a light emitting device on a rear substrate and forming a getter layer on the front substrate with a getter composition to seal the front substrate and the rear substrate. The getter layer should not only have a high moisture absorption amount but also a material which does not easily discharge the absorbed moisture. In addition, the getter layer must be transmissive to transmit light emitted from the light emitting device.

종래에는 금속 캔이나 유리를 홈을 가지도록 캡 형태로 가공하여 그 홈에 수분 흡수를 위한 건습제를 파우더 형태로 탑재하거나 필름 형태로 제조하여 양면 테이프를 이용하여 접착하는 방법을 이용하였다. 그러나, 건습제를 탑재하는 방식은 공정이 복잡하여 재료 및 공정단가가 상승하고, 전체적인 기판의 두께가 두꺼워지고 봉지에 이용되는 기판이 투명하지 않아 전면 발광에 이용될 수 없다.
Conventionally, a metal can or a glass is processed into a cap shape having grooves, and a moisture-absorbing agent for absorbing moisture is mounted on the grooves in powder form or made into a film form and adhered using a double-sided tape. However, the method of mounting the humidity control agent is complicated in the process, and the material and process cost are increased, the thickness of the entire substrate is increased, and the substrate used for sealing is not transparent, so that it can not be used for the whole light emission.

또한, 한국특허 공개번호 제10-2007-0072400호에는, 에폭시 실런트에 수분 흡착제를 포함시킴으로써 유기발광소자 내로 들어온 수분을 화학적으로 흡착하여 유기발광소자로 수분이 침투되는 속도를 보다 늦추는 방법을 기재하고 있다. 그러나, 수분 흡착제가 수분과 반응하여 부피를 팽창시킴으로써 유기발광소자에 물리적 손상을 입힐 수 있으며, 또한 수분 흡착제로 금속산화물을 사용하는 경우에는 수분과 반응하여 강염기성 물질을 만들어 보호층 및 음극층 등에 화학적 손상을 입힐 수 있다.
Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0072400 discloses a method of chemically adsorbing moisture introduced into an organic light emitting element by including a moisture adsorbent in an epoxy sealant to further slow down the rate at which moisture permeates into the organic light emitting element have. However, when the moisture adsorbent reacts with moisture to expand the volume, it may cause physical damage to the organic light emitting device. In the case of using a metal oxide as a moisture adsorbent, it reacts with water to form a strong basic material, May cause chemical damage.

또한, 기존에 사용되는 건습제 또는 흡습제는, 입자의 크기가 커서 투명한 게터층을 구현하기 어려워 발광 효율을 극대화할 수 있는 top-emission 방식의 유기 전자 소자, 예컨대 OLED 소자에 적용할 수 없고, 수분 흡수 능력이 좋지 못하여 유기 전자 장치의 내구성 및 수명이 떨어지는 문제가 있었다.
In addition, the conventional wetting or wetting agents can not be applied to a top-emission type organic electronic device, for example, an OLED device, which can maximize the luminous efficiency because it is difficult to realize a transparent getter layer because of its large particle size, There is a problem that the durability and lifespan of the organic electronic device deteriorate due to poor absorption ability.

이에 본 발명자들은 우수한 흡습성과 투명성을 가질 뿐만 아니라 기판 상에 균일하게 형성시킬 수 있는 게터층의 제조 방법을 예의 연구하던 중, 이하 설명할 바와 같이 마그네슘 아세테이트를 액상으로 기판에 코팅하는 방법을 사용할 경우 상기를 만족하는 게터층을 제조할 수 있음을 확인하여 본 발명을 완성하였다.Therefore, the present inventors have intensively studied a process for producing a getter layer which can not only have excellent hygroscopicity and transparency but also can be uniformly formed on a substrate. When a method of coating a substrate with magnesium acetate in a liquid phase is used It was confirmed that the getter layer satisfying the above can be manufactured, and thus the present invention has been completed.

본 발명은 우수한 흡습성과 투명성을 가질 뿐만 아니라 기판 상에 균일하게 형성시킬 수 있는 게터층의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for producing a getter layer which not only has excellent hygroscopicity and transparency but also can be uniformly formed on a substrate.

또한, 본 발명은 상기 제조 방법으로 제조된 게터층을 포함하는 유기 전자 장치에 관한 것이다. The present invention also relates to an organic electronic device comprising a getter layer produced by the above production method.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 하기의 단계를 포함하는 산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층의 제조 방법을 제공한다. In order to solve the above problems, the present invention provides a method for producing a getter layer including a magnesium oxide thin film including the following steps.

마그네슘 아세테이트 및 결합제를 포함하는 코팅 용액을 제조하는 단계(단계 1);Preparing a coating solution comprising magnesium acetate and a binder (step 1);

상기 코팅 용액을 기판 상에 코팅하는 단계(단계 2);Coating the coating solution on a substrate (step 2);

상기 코팅 용액이 코팅된 기판을 건조하는 단계(단계 3); 및Drying the coated substrate (step 3); And

상기 건조된 기판을 열처리하는 단계(단계 4).
And heat treating the dried substrate (step 4).

본 발명에서 사용하는 용어 '게터층'이란, 수분을 흡수할 수 있는 물질을 포함하는 층을 의미하는 것으로, 유기 전자 장치와 같이 수분에 민감한 소자를 포함하는 장치 내부로 침투된 수분을 흡수하는 층을 의미한다. 특히, 유기 전자 장치 중 발광 장치는 크기가 작을 뿐만 아니라 발광 소자에서 발생한 빛을 투과시킬 수 있는 게터층이 필요하기 때문에, 흡습성은 물론 투과성과 균일한 두께를 가지는 게터층이 필요하다.
The term " getter layer " used in the present invention means a layer containing a substance capable of absorbing moisture, and includes a layer that absorbs water permeated into a device including moisture sensitive devices such as organic electronic devices . Particularly, since the light emitting device of the organic electronic device requires a getter layer that is small in size and can transmit light generated from the light emitting device, a getter layer having permeability and uniform thickness as well as hygroscopicity is needed.

이에 본 발명에 따른 게터층의 제조 방법은, 산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층을 균일한 두께로 기판 상에 형성할 수 있으며, 산화마그네슘의 흡습성으로 인하여 유기 전자 장치의 수분에 민감한 소자를 보호할 수 있다.
Accordingly, the getter layer manufacturing method according to the present invention can form a getter layer containing a magnesium oxide thin film on a substrate with a uniform thickness, and protect moisture sensitive elements of organic electronic devices due to hygroscopicity of magnesium oxide .

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
Hereinafter, the present invention will be described in detail.

마그네슘 아세테이트 및 결합제를 포함하는 코팅 용액을 제조하는 단계(단계 1)(Step 1) of preparing a coating solution comprising magnesium acetate and a binder,

기판에 코팅하기 위한 코팅 용액을 제조하는 단계로서, 산화마그네슘의 전구체인 마그네슘 아세테이트와 코팅을 위한 결합제를 포함하는 코팅 용액을 제조하는 단계이다.
A step of preparing a coating solution for coating on a substrate is a step of preparing a coating solution comprising magnesium acetate, which is a precursor of magnesium oxide, and a binder for coating.

마그네슘 아세테이트는, 화학식 Mg(CH3COO)2의 화합물로서 마그네슘의 아세트산 염이다. 후술할 바와 같이, 마그네슘 아세테이트를 가열하면 분해되어 산화마그네슘(MgO)으로 되므로, 본 발명에서는 산화마그네슘의 전구체로 사용된다. 또한, 마그네슘 아세테이트는 수화물로 존재할 수 있으며, 본 발명에서는 이러한 수화물도 상기 마그네슘 아세테이트에 포함된다.
Magnesium acetate is an acetate of magnesium as a compound of the formula Mg (CH 3 COO) 2 . As will be described later, when magnesium acetate is decomposed by heating, it is converted to magnesium oxide (MgO). Therefore, the magnesium acetate is used as a precursor of magnesium oxide in the present invention. In addition, magnesium acetate may be present as a hydrate, and in the present invention, such hydrate is also included in the magnesium acetate.

또한, 상기 코팅 용액은 마그네슘 아세테이트 외에 결합제를 포함한다. 상기 결합제는 코팅 용액에 점성을 부여하여 기판에 코팅할 때 접착성을 높일 뿐만 아니라, 코팅 용액 내 마그네슘 아세테이트의 균일한 분산을 위하여 사용된다. 상기 결합제의 예로는, 상기 결합제는 폴리비닐피롤리돈, 시트르산, 셀룰로오스, 아크릴레이트 중합체, 폴리우레탄 또는 폴리에스테르를 사용할 수 있다.
In addition, the coating solution contains a binder in addition to magnesium acetate. The binder is used for imparting viscosity to the coating solution to improve the adhesion when coating the substrate, and to uniformly disperse the magnesium acetate in the coating solution. Examples of the binder include polyvinyl pyrrolidone, citric acid, cellulose, acrylate polymer, polyurethane or polyester.

상기 마그네슘 아세테이트 및 결합제의 질량비(마그네슘 아세테이트/결합제)는 1 내지 5인 것이 바람직하다. 상기 질량비가 1 미만에서는 결합제의 함량이 너무 높아지기 때문에 균일한 코팅이 어렵고, 5 초과에서는 결합제의 함량이 너무 낮아 충분한 코팅이 어렵다.
The mass ratio of the magnesium acetate and the binder (magnesium acetate / binder) is preferably 1 to 5. If the mass ratio is less than 1, the content of the binder becomes too high, so that uniform coating is difficult. When the mass ratio is more than 5, the content of the binder is too low to sufficiently coat.

또한, 상기 코팅 용액의 용매는 마그네슘 아세테이트와 결합제를 용해시킬 수 있는 용매이면 특별히 제한되지 않으며, 일례로 물, 알킬 아세테이트, 알킬 모노글리콜 에테르 등을 사용할 수 있다.
In addition, the solvent of the coating solution is not particularly limited as long as it is a solvent capable of dissolving magnesium acetate and a binder. For example, water, alkyl acetate, alkyl monoglycol ether and the like can be used.

또한, 상기 코팅 용액은 추가로 에탄올, 메탄올, 이소프로판올 등을 추가로 포함할 수 있으며, 이는 코팅 용액과 기판의 젖음성을 안정화하여 코팅층이 균일한 두께로 형성되도록 하기 위한 것이다.
The coating solution may further contain ethanol, methanol, isopropanol or the like to stabilize the wettability of the coating solution and the substrate so that the coating layer has a uniform thickness.

상기 코팅 용액을 The coating solution 기판 상에On the substrate 코팅하는 단계(단계 2) The coating step (step 2)

상기 단계 1에서 제조한 코팅 용액은 액상으로 기판 상에 코팅하기에 적절한 점성을 가지고 있기 때문에, 기판에 균일한 두께로 코팅할 수 있다. 특히 게터층의 균일한 두께는 게터층의 투명성, 유기 전자 장치의 제조 공정 효율성 및 게터층의 흡습성에 영향을 미치기 때문에, 본 발명은 액상의 코팅 용액을 사용함으로써 이를 구현할 수 있다.
Since the coating solution prepared in the step 1 has a viscosity suitable for coating on a substrate in a liquid phase, it can be coated on the substrate with a uniform thickness. In particular, since the uniform thickness of the getter layer influences the transparency of the getter layer, the efficiency of the manufacturing process of the organic electronic device, and the hygroscopicity of the getter layer, the present invention can realize this by using a liquid coating solution.

상기 코팅 방법은 특별히 제한되지 않으며, 일례로 딥-코팅, 스핀-코팅, 프린팅-코팅 및 스프레이-코팅 방법으로 코팅할 수 있다.
The coating method is not particularly limited, and can be coated by, for example, dip-coating, spin-coating, printing-coating and spray-coating methods.

딥-코팅은 기판을 코팅 용액에 침적하여 기판에 코팅 용액을 부착시키는 것이고, 스핀-코팅은 회전하는 기판 상에 코팅 용액을 공급하여 원심력에 의해 기판에 코팅 용액을 균일하게 부착시키는 것이고, 프린팅-코팅은 코팅 용액을 스크린을 통하여 기판 상에 공급하는 것이고, 스프레이-코팅은 스프레이 장치로 코팅 용액을 기판 상에 공급하는 것을 의미한다.
Dip-coating is to deposit a coating solution on a substrate by immersing the substrate in a coating solution, spin-coating is to uniformly adhere the coating solution to the substrate by centrifugal force by supplying the coating solution onto a rotating substrate, Coating means supplying the coating solution onto the substrate through a screen, and spray-coating means supplying the coating solution onto the substrate with a spray device.

상기 기판은 유기 전자 장치에 사용되는 기판이면 특별히 제한되지 않으며, 일례로 유리 기판 또는 투명한 플라스틱 기판을 사용할 수 있다. 플라스틱 기판인 경우, 상기 플라스틱 기판의 내면은 수분으로부터 보호하기 위한 보호막을 추가로 포함할 수 있다.
The substrate is not particularly limited as long as it is a substrate used in an organic electronic device. For example, a glass substrate or a transparent plastic substrate can be used. In the case of a plastic substrate, the inner surface of the plastic substrate may further include a protective film for protecting it from moisture.

상기 코팅 용액이 코팅된 기판을 건조하는 단계(단계 3)Drying the substrate coated with the coating solution (step 3)

상기 단계 2에서 기판에 코팅된 코팅 용액의 액상 물질을 제거하는 단계로서, 이하 설명할 열처리 이전에 용매를 제거하기 위한 것이다.
In step 2, the liquid material of the coating solution coated on the substrate is removed, and the solvent is removed before the heat treatment to be described below.

상기 코팅 용액이 기판 상에 균일한 두께로 형성되어 있기 때문에, 상기 건조를 거친 이후에도 여전히 균일한 두께로 고체 물질이 남아 있게 된다.
Since the coating solution is formed on the substrate to have a uniform thickness, the solid material remains in a uniform thickness even after the drying.

상기 건조 온도는 100 내지 200℃인 것이 바람직하다. 100℃ 미만에서는 건조 효율이 떨어지고, 200℃ 초과에서는 액상 물질이 급격히 증발하게 되어 불균일한 표면이 발생할 가능성이 높기 때문에 바람직하지 않다.
The drying temperature is preferably 100 to 200 ° C. When the temperature is lower than 100 ° C, the drying efficiency is lowered. When the temperature is higher than 200 ° C, the liquid material rapidly evaporates, which is unlikely to cause uneven surface.

상기 건조 시간은 액상의 물질이 대부분 증발되는 시간 동안 충분히 건조시키는 것이 바람직하며, 일례로 30분 내지 2시간 동안 건조시키는 것이 바람직하다.
It is preferable that the drying time is sufficiently dried for a time during which most of the liquid material is evaporated. For example, the drying time is preferably 30 minutes to 2 hours.

상기 건조된 기판을 열처리하는 단계(단계 4)Heat treating the dried substrate (step 4)

상기 단계 3에서 건조된 기판을 열처리하여 산화마그네슘 박막을 형성하는 단계이다.
The substrate dried in step 3 is heat-treated to form a magnesium oxide thin film.

마그네슘 아세테이트는 상기 열처리 과정에서 산화마그네슘으로 분해되고, 이에 따라 기판 상에 균일한 두께의 산화마그네슘 박막이 형성된다. 산화마그네슘은 흡습성이기 때문에 산화마그네슘 박막은 게터층으로서 수분을 흡수할 수 있으며, 이에 따라 유기 전자 장치의 수분에 민감한 소자를 보호할 수 있다. 또한, 산화마그네슘은 투명성을 가지고 있기 때문에, 발광 소자에서 발생한 빛을 투과시킬 수 있다.
Magnesium acetate is decomposed into magnesium oxide in the heat treatment process, thereby forming a magnesium oxide thin film having a uniform thickness on the substrate. Since the magnesium oxide is hygroscopic, the magnesium oxide thin film can absorb moisture as a getter layer, thereby protecting the moisture sensitive device of the organic electronic device. Further, since magnesium oxide has transparency, it is possible to transmit light generated from the light emitting element.

상기 열처리는 300 내지 500℃의 온도에서 수행하는 것이 바람직하다. 300℃ 미만에서는 산화마그네슘 형성이 미미하고, 500℃ 초과에서는 기판의 변형이 생기는 문제가 있다.
The heat treatment is preferably performed at a temperature of 300 to 500 ° C. When the temperature is less than 300 ° C, magnesium oxide formation is insignificant, and when the temperature exceeds 500 ° C, there is a problem that the substrate is deformed.

상기 열처리 시간은 산화마그네슘 박막이 형성되는 시간 동안 충분히 열처리하는 것이 바람직하며, 일례로 30분 내지 2시간 동안 열처리하는 것이 바람직하다.
Preferably, the heat treatment is performed for a sufficient time during which the magnesium oxide thin film is formed. For example, the heat treatment is preferably performed for 30 minutes to 2 hours.

상기와 같이 제조되는 산화마그네슘 박막은 유기 전자 장치에서 게터층의 역할을 하게 되며, 본 발명에 따라 제조되는 게터층의 두께는 0.1 내지 1 ㎛인 것이 바람직하다.
The magnesium oxide thin film formed as described above serves as a getter layer in the organic electronic device, and the thickness of the getter layer formed according to the present invention is preferably 0.1 to 1 탆.

상기 산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층을 유기 전자 장치에 사용하는 방법의 일례를 도 1에 도식적으로 나타내었다.
An example of a method of using a getter layer containing the magnesium oxide thin film in an organic electronic device is schematically shown in Fig.

도 1에 나타난 바와 같이, 배면 기판(10) 상에 유기 전계 발광부(12)를 형성하고, 전면 기판(11) 상에 게터층(13)을 형성한 다음, 유기 전계 발광부(12)와 게터층(13)이 마주보도록 배면 기판(10)과 전면 기판(11)을 밀봉재(14)로 밀봉하는 방법으로 제조할 수 있다.
1, an organic electroluminescent portion 12 is formed on a rear substrate 10, a getter layer 13 is formed on a front substrate 11, and then an organic electroluminescent portion 12, The back substrate 10 and the front substrate 11 may be sealed with a sealing material 14 so that the getter layer 13 faces each other.

상기 유기 전계 발광부(12)는 증착에 의해 형성될 수 있으며, 제1전극, 유기막, 제2전극의 순으로 이루어질 수 있다. 또한 상기 유기막은 홀 주입층, 홀수송층, 발광층, 전자주입층 및/또는 전자 수송층을 포함한다.
The organic electroluminescent unit 12 may be formed by deposition, and may be formed in the order of a first electrode, an organic layer, and a second electrode. Further, the organic film includes a hole injection layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron injection layer and / or an electron transporting layer.

상기 전면 기판(11)으로는 유리 기판 또는 투명한 플라스틱 기판을 사용할 수 있으며, 플라스틱 기판으로 형성할 경우, 상기 플라스틱 기판의 내면은 수분으로부터 보호하기 위한 보호막을 추가로 형성할 수 있다.
As the front substrate 11, a glass substrate or a transparent plastic substrate can be used. When the front substrate 11 is formed of a plastic substrate, a protective film for protecting the inner surface of the plastic substrate from moisture can be additionally formed.

또한, 상기 전면기판(11)과 배면기판(10)에 의하여 구획되는 내부 공간은 진공 상태로 유지되거나 또는 불활성 기체로 충진되는 것이 바람직하다.
The inner space defined by the front substrate 11 and the rear substrate 10 may be maintained in a vacuum state or filled with an inert gas.

또한, 본 발명은 상기 게터층을 포함하는 유기 전자 장치를 제공한다. 상기 유기 전자 장치의 예로는, 광전지 장치(photovoltaic device), 정류기(rectifier), 트랜스미터(transmitter) 및 유기발광다이오드(OLED; organic light emitting diode) 등을 들 수 있다.Further, the present invention provides an organic electronic device including the getter layer. Examples of the organic electronic device include a photovoltaic device, a rectifier, a transmitter, and an organic light emitting diode (OLED).

본 발명에 따른 게터층의 제조 방법은 우수한 흡습성과 투명성을 가질 뿐만 아니라 기판 상에 균일하게 형성시킬 수 있는 게터층을 제조할 수 있으며, 이에 따라 상기 제조 방법으로 제조된 게터층은 유기 전자 장치에 포함되는 수분에 민감한 소자를 보호할 수 있다. The getter layer manufacturing method according to the present invention can produce a getter layer which has not only excellent hygroscopicity and transparency but also can be uniformly formed on a substrate, It is possible to protect the moisture sensitive device contained therein.

도 1은, 본 발명의 게터층을 적용한 유기 전자 장치의 구조를 도식적으로 나타낸 것이다.
도 2는, 본 발명의 일실시예에 따라 제조된 산화마그네슘 박막의 XRD 분석 결과를 나타낸 것이다.
도 3은, 본 발명의 일실시예 및 비교예에서 제조한 산화마그네슘 박막의 흡습성을 비교하여 나타낸 그래프이다.
Fig. 1 schematically shows the structure of an organic electronic device to which the getter layer of the present invention is applied.
2 shows XRD analysis results of a magnesium oxide thin film produced according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a graph showing the hygroscopicity of the magnesium oxide thin films prepared in Examples and Comparative Examples of the present invention.

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시한다. 그러나 하기의 실시예는 본 발명을 보다 쉽게 이해하기 위하여 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 내용이 한정되는 것은 아니다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in order to facilitate understanding of the present invention. However, the following examples are provided only for the purpose of easier understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto.

실시예Example 1 One

증류수 100 mL에 마그네슘 아세테이트(Mg(CH3COO)2·4H2O) 3.14 g을 녹인 다음, PVP(폴리비닐피롤리돈, 분자량: 40,000) 1 g을 첨가하였다. 상기 용액에 에탄올 50 mL를 첨가한 다음 교반하여 코팅 용액을 제조하였다.
3.14 g of magnesium acetate (Mg (CH 3 COO) 2 .4H 2 O) was dissolved in 100 mL of distilled water and then 1 g of PVP (polyvinylpyrrolidone, molecular weight: 40,000) was added. 50 mL of ethanol was added to the solution, followed by stirring to prepare a coating solution.

상기 코팅 용액에 유리 기판을 딥-코팅한 다음, 상기 기판을 150℃에서 충분히 건조시켜 증류수 및 에탄올을 제거하였다. 건조가 끝난 기판을 전기로에 넣고 400℃에서 1시간 동안 열처리하여, 산화마그네슘 박막을 형성하였다.
A glass substrate was dip-coated on the coating solution, and the substrate was sufficiently dried at 150 ° C to remove distilled water and ethanol. The dried substrate was placed in an electric furnace and heat-treated at 400 DEG C for 1 hour to form a magnesium oxide thin film.

실시예Example 2 2

상기 실시예 1과 동일한 방법으로 제조하되, PVP 대신 시트르산을 사용하여, 산화마그네슘 박막을 형성하였다.
The same procedure as in Example 1 was carried out except that a magnesium oxide thin film was formed using citric acid instead of PVP.

비교예Comparative Example 1 One

산화마그네슘 입자(MgO granules)를 electron-beam evaporation 방법으로 유리 기판에 산화마그네슘 박막을 300 nm 두께로 증착하였다. 이때 증착 압력은 6×10-5 Pa였고, electron-beam 출력은 30 kV 및 0.2 A였다.
Magnesium oxide (MgO) granules were deposited on a glass substrate by electron-beam evaporation to a thickness of 300 nm. At this time, the deposition pressure was 6 × 10 -5 Pa and the electron-beam output was 30 kV and 0.2 A, respectively.

상기 증착이 끝난 기판을 전기로에 넣고 400℃에서 1시간 동안 열처리하여, 산화마그네슘 박막을 형성하였다.
The deposited substrate was placed in an electric furnace and heat-treated at 400 ° C for 1 hour to form a magnesium oxide thin film.

비교예Comparative Example 2 2

산화마그네슘 타겟(MgO target, 지름 6인치)을 준비하여 RF magnetron sputtering 방법으로 유리 기판에 산화마그네슘 박막을 300 nm 두께로 증착하였다(압력: 5 mTorr, Power: 250 W, Ar: 10 sccm).
A magnesium oxide target (MgO target, diameter 6 inches) was prepared and deposited with a thickness of 300 nm on a glass substrate by RF magnetron sputtering (pressure: 5 mTorr, power: 250 W, Ar: 10 sccm).

상기 증착이 끝난 기판을 전기로에 넣고 400℃에서 1시간 동안 열처리하여, 산화마그네슘 박막을 형성하였다.
The deposited substrate was placed in an electric furnace and heat-treated at 400 ° C for 1 hour to form a magnesium oxide thin film.

실험예Experimental Example 1 One

상기 실시예 1에서 제조한 산화마그네슘 박막을 XRD 분석하였으며, 그 결과를 도 2에 나타내었다.
The magnesium oxide thin film prepared in Example 1 was subjected to XRD analysis. The results are shown in FIG.

도 2에 나타난 바와 같이, 산화마그네슘 고유의 피크를 나타내었으며, 이로부터 산화마그네슘이 잘 형성되었음을 확인할 수 있었다.
As shown in FIG. 2, it showed a peak inherent to magnesium oxide, and it was confirmed that magnesium oxide was well formed therefrom.

실험예Experimental Example 2 2

상기 실시예 및 비교예에서 제조한 산화마그네슘 박막의 흡습성을 평가하였다.
The hygroscopicity of the magnesium oxide thin films prepared in the above Examples and Comparative Examples was evaluated.

구체적으로, 유리 기판에 산화칼슘(CaO)을 진공 증착하여 1 ㎛ 두께로 형성시키고, 실시예 및 비교예에서 제조한 산화마그네슘 박막이 형성된 유리 기판을 산화칼슘이 증착된 유리 기판과 합착하였다. 밀봉재로 상부와 하부 유리기판의 테두리를 마감하여 밀봉하였다.
Specifically, calcium oxide (CaO) was vapor-deposited on the glass substrate to a thickness of 1 탆, and the glass substrate on which the magnesium oxide thin film prepared in Examples and Comparative Examples was formed was bonded to the glass substrate deposited with calcium oxide. The edges of the upper and lower glass substrates were closed with a sealing material and sealed.

상기와 같이 제조된 샘플을 85℃, 상대 습도 85%의 챔버에 보관하고, 시간에 따라 산화칼슘의 패드가 침투한 수분에 의해 Ca(OH)2로 변하여 패드의 가장자리부터 색깔이 변하여 가는 길이를 측정하였다. 상기 측정된 결과를 도 3에 나타내었다.
The sample thus prepared was stored in a chamber at 85 ° C and a relative humidity of 85%, and a calcium oxide pad was changed into Ca (OH) 2 by moisture permeated with time to change the color from the edge of the pad to a length Respectively. The measured results are shown in Fig.

도 3에 나타난 바와 같이, 실시예는 비교예에 비하여 시간에 따른 침투 길이가 작게 나타났으며, 이로부터 본 발명에 따른 게터층의 흡습성이 증착 방식으로 형성된 게터층에 비하여 현저히 우수함을 확인하였다.
As shown in FIG. 3, the penetration length of the Example was smaller than that of Comparative Example, and it was confirmed that the getter layer according to the present invention had significantly better hygroscopicity than the getter layer formed by the vapor deposition method.

실험예Experimental Example 3 3

상기 실시예 및 비교예에서 제조한 산화마그네슘 박막의 표면을 AFM으로 분석하여 표면 거칠기를 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다. The surfaces of the magnesium oxide thin films prepared in Examples and Comparative Examples were analyzed by AFM to measure the surface roughness. The results are shown in Table 1 below.

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 Ra(nm)Ra (nm) 340340 250250 2020 3434

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 증착 방식으로 제조된 비교예의 경우 표면 거칠기가 너무 낮아 수분과 반응할 수 있는 면적이 작아 흡습 효과가 충분히 나타나지 않았다.
As shown in Table 1, in the case of the comparative example manufactured by the vapor deposition method, the surface roughness was too low and the area capable of reacting with moisture was small, so that the moisture absorption effect was not sufficiently exhibited.

반면, 본 발명에 따른 산화마그네슘 박막은 액상 코팅 용액으로 제조됨에 따라 표면에 충분한 다공성이 나타났으며 이에 따라 비교예 대비 우수한 흡습성을 나타내었음을 확인할 수 있었다.On the other hand, as the magnesium oxide thin film according to the present invention was prepared from a liquid coating solution, sufficient porosity appeared on the surface, and thus it was confirmed that the magnesium oxide thin film exhibited excellent hygroscopicity compared with the comparative example.

10: 배면 기판
11: 전면 기판
12: 유기 전계 발광부
13: 게터층
14: 밀봉재
10: rear substrate
11: front substrate
12: organic electroluminescence unit
13: getter layer
14: Seal material

Claims (12)

마그네슘 아세테이트 및 결합제를 포함하는 코팅 용액을 제조하는 단계;
상기 코팅 용액을 기판 상에 코팅하는 단계;
상기 코팅 용액이 코팅된 기판을 건조하는 단계; 및
상기 건조된 기판을 열처리하는 단계를 포함하는,
산화마그네슘 박막을 포함하는 게터층의 제조 방법.
Preparing a coating solution comprising magnesium acetate and a binder;
Coating the coating solution on a substrate;
Drying the substrate coated with the coating solution; And
And heat treating the dried substrate.
A method for producing a getter layer comprising a magnesium oxide thin film.
제1항에 있어서,
상기 결합제는 폴리비닐피롤리돈, 시트르산, 셀룰로오스, 아크릴레이트 중합체, 폴리우레탄 또는 폴리에스테르인 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Characterized in that the binder is polyvinylpyrrolidone, citric acid, cellulose, acrylate polymers, polyurethanes or polyesters.
Gt;
제1항에 있어서,
상기 마그네슘 아세테이트 및 결합제의 질량비(마그네슘 아세테이트/결합제)는 1 내지 5인 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Characterized in that the mass ratio of the magnesium acetate and the binder (magnesium acetate / binder) is from 1 to 5. < RTI ID = 0.0 >
Gt;
제1항에 있어서,
상기 코팅 용액의 용매는 물, 알킬 아세테이트, 또는 알킬 모노글리콜 에테르인 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the solvent of the coating solution is water, an alkyl acetate, or an alkyl monoglycol ether.
Gt;
제4항에 있어서,
상기 코팅 용액은 에탄올, 메탄올, 또는 이소프로판올을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
5. The method of claim 4,
Characterized in that the coating solution further comprises ethanol, methanol or isopropanol.
Gt;
제1항에 있어서,
상기 건조는 100 내지 200℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Characterized in that the drying is carried out at a temperature of from 100 to < RTI ID = 0.0 > 200 C. <
Gt;
제1항에 있어서,
상기 열처리는 300 내지 500℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Characterized in that the heat treatment is carried out at a temperature of 300 to < RTI ID = 0.0 > 500 C. <
Gt;
제7항에 있어서,
상기 열처리는 30분 내지 2시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
8. The method of claim 7,
Characterized in that the heat treatment is carried out for 30 minutes to 2 hours.
Gt;
제1항에 있어서,
상기 게터층의 두께는 0.1 내지 1 ㎛인 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the getter layer has a thickness of 0.1 to 1 占 퐉.
Gt;
제1항에 있어서,
상기 기판은 유리 기판 또는 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는,
제조 방법.
The method according to claim 1,
Characterized in that the substrate is a glass substrate or a plastic substrate.
Gt;
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 제조 방법으로 제조되는 게터층.
A getter layer produced by the method of any one of claims 1 to 10.
제11항의 게터층을 포함하는, 유기 전자 장치.An organic electronic device comprising the getter layer of claim 11.
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