KR20160054709A - A nitrogen oxide sensor - Google Patents

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Abstract

Provided is a nitrogen oxide sensor. The nitrogen oxide sensor includes: a solid electrolyte layer; a first diffusion passage positioned on one end of the solid electrolyte layer, as a passage enabling the intake of an exhaust gas from the outside, extended in a longitudinal direction, and protruding further than the one end of the solid electrolyte layer; a first cavity connected to the first diffusion passage and controlling an oxygen partial pressure of the exhaust gas gone through the first diffusion passage; a first pumping electrode including an inner pumping electrode formed in the first cavity and an outer pumping electrode formed in a position, not the first cavity, and removing oxygen from the exhaust gas by controlling a voltage between the inner pumping electrode and the outer pumping electrode; a second cavity connected to the first cavity and separating a nitrogen oxide gone through the first cavity into nitrogen and an oxygen ion; a detection electrode formed in the second cavity; and a reference electrode formed in a different position, not the second cavity, and installed inside an air duct of which one end is connected to the air. The purpose of the present invention is to provide the nitrogen oxide sensor preventing the intake of external harmful materials.

Description

질소 산화물 센서{A nitrogen oxide sensor}[0001] The present invention relates to a nitrogen oxide sensor,

본 발명은 질소산화물 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a nitrogen oxide sensor.

질소 산화물 가스는 일산화질소(NO), 이산화질소(NO2), 아산화질소(N2O)를 포함하여 NOx로서 표시한다. 이 중 일산화질소는 질소산화물의 약 80%를 차지하여, 일산화질소 및 이산화질소가 질소산화물 가스의 대부분을 차지한다. The nitrogen oxide gas includes nitrogen monoxide (NO), nitrogen dioxide (NO2), and nitrous oxide (N2O), and is expressed as NOx. Among them, nitrogen monoxide occupies about 80% of nitrogen oxides, and nitrogen monoxide and nitrogen dioxide occupy the majority of nitrogen oxide gas.

화석연료에 의한 지구 온난화의 방지를 위해 이산화탄소의 배출량을 억제 하는 것에 대한 요구가 증가하고 있고 이것에 대응하여 연비 또한 향상시킬 필요가 있다. 이러한 요구와 함께 질소산화물 센서에 대한 연구가 증가하고 있다. In order to prevent global warming caused by fossil fuels, there is an increasing demand for suppressing the emission of carbon dioxide, and it is necessary to improve fuel efficiency in response to this. With this demand, researches on nitrogen oxide sensors are increasing.

기존의 질소산화물 가스의 농도를 측정하는 방법으로는 평형전위를 이용하는 방법, NOx가스 분해에 의한 산소 전류 측정 방법, 혼합전위 방법 등이 있다.As a method for measuring the concentration of the conventional nitrogen oxide gas, there are a method using equilibrium potential, a method of measuring an oxygen current by decomposition of NOx gas, and a mixed potential method.

평형 전위를 이용하는 방법에서는 전기 화학적 셀은 고체 전해질에 고체상태의 질산염을 감지전극으로 형성하고 고체 전해질 내의 이온의 활동도를 일정하게 하는 귀금속을 전극으로 형성하여 전기 화학적 셀에서 발생하는 기전력을 이용하여 질소산화물의 농도를 측정한다. In the method using the equilibrium potential, an electrochemical cell is formed by forming a solid state electrolyte nitrate as a sensing electrode in a solid electrolyte and forming a noble metal that makes the ion activity in the solid electrolyte constant as an electrode, Measure the concentration of nitrogen oxides.

NOx가스 분해에 의한 산소 전류 측정 방법은 펌핑셀을 이용하여 NOx가스를 분해하여 얻어진 산소이온에 의한 전류를 측정하여 질소산화물 농도를 측정하는 방법이다. The method of measuring the oxygen current by the decomposition of NOx gas is a method of measuring the nitrogen oxide concentration by measuring the current by the oxygen ions obtained by decomposing the NOx gas using the pumping cell.

혼합전위 방법에서는 고체 전해질의 일면에 금속산화물로 감지전극을 형성하고, 고체 전해질의 타면에 기준전극을 형성해 감지전극과 기준전극 사이의 전위차를 측정한다. 이때, 감지전극은 질소산화물과 산소에 대한 반응성을 가지나 기준전극은 산소에만 반응성을 갖고 있어 가스 중에 포함된 질소산화물 농도에 따라 감지전극과 기준전극간의 전위차가 발생하게 되고 이 전위차를 측정함으로써 질소산화물 농도를 측정한다.In the mixed potential method, a sensing electrode is formed of a metal oxide on one surface of a solid electrolyte, and a reference electrode is formed on the other surface of the solid electrolyte to measure a potential difference between the sensing electrode and the reference electrode. At this time, the sensing electrode has reactivity to nitrogen oxide and oxygen, but the reference electrode has reactivity only to oxygen, and a potential difference is generated between the sensing electrode and the reference electrode according to the concentration of nitrogen oxide contained in the gas. By measuring the potential difference, The concentration is measured.

그런데, 종래의 질소 산화물 센서는 피독 물질이 외부에서 미량이라도 유입되면 성능에 치명적인 문제가 발생한다. However, the conventional nitrogen oxide sensor has a problem in performance when the poisoning substance is introduced from the outside even in a very small amount.

JP 5496983 B1JP 5496983 B1

본 발명은 외부에 존재하는 유해 물질의 유입을 방지하는 질소산화물 센서를 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a nitrogen oxide sensor that prevents the entry of harmful substances present in the outside.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 고체전해질 층, 상기 고체전해질 층의 일단에 위치하여 외부 배기가스를 유입시키는 통로로서, 길이방향으로 연장 형성되어 상기 고체전해질 층의 일 단부보다 돌출 형성된 제1 확산통로, 상기 제1 확산통로와 연통되어 상기 제1 확산통로를 통과한 배기가스 중 산소 분압을 제어하는 제1 캐비티, 상기 제1 캐비티에 형성된 내측 펌핑 전극 및 상기 제1 캐비티와 다른 위치에 형성된 외측 펌핑 전극을 포함하여, 상기 내측 펌핑 전극과 외측 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시키는 제1 펌핑 전극, 상기 제1 캐비티에 연통되어 상기 제1 캐비티를 통과한 질소산화물을 질소와 산소 이온으로 분해시키는 공간인 제2 캐비티, 상기 제2 캐비티에 형성된 검지전극 및 상기 제2 캐비티와 다른 위치에 형성되고, 일단부가 대기와 연통된 에어덕트 내부에 설치되는 기준전극을 포함하여, 상기 검지전극과 기준전극 사이의 전압을 제어하여 상기 산소 이온을 상기 검지전극으로 이동시킴으로써 발생되는 전류로부터 질소산화물의 농도를 측정하는 질소산화물 센서를 제공한다. In order to solve the above-described problems, the present invention provides a solid electrolytic capacitor comprising: a solid electrolyte layer; a channel which is located at one end of the solid electrolyte layer and into which external exhaust gas flows, A first cavity communicating with the first diffusion passage and controlling an oxygen partial pressure in the exhaust gas passing through the first diffusion passage, an inner pumping electrode formed in the first cavity, and a second cavity formed in a position different from the first cavity A first pumping electrode, including an outer pumping electrode, for controlling the voltage between the inner pumping electrode and the outer pumping electrode to remove oxygen in the exhaust gas; a first pumping electrode connected to the first cavity and having passed through the first cavity, A second cavity as a space for decomposing nitrogen and oxygen ions, a detection electrode formed in the second cavity, And a reference electrode provided at one end of the air duct communicating with the atmosphere to control the voltage between the detection electrode and the reference electrode to move the oxygen ion from the current generated by the oxygen electrode to the detection electrode, A nitrogen oxide sensor is provided.

또한, 상기 제1 확산통로는 외부의 배기가스가 유입되는 유입면 및 배출면을 포함하고 상기 유입면의 면적은 상기 배출면의 면적보다 클 수 있다.The first diffusion passage may include an inlet surface and an outlet surface through which exhaust gas from the outside flows, and the area of the inlet surface may be larger than the area of the outlet surface.

또한, 상기 제1 확산통로는 나팔 형상일 수 있다.Further, the first diffusion passage may have a trumpet shape.

또한, 상기 제1 확산통로 내부에는 환원제가 포함되어 이산화질소를 일산화질소로 환원시킬 수 있다.In addition, a reducing agent may be contained in the first diffusion passage to reduce nitrogen dioxide to nitrogen monoxide.

또한, 상기 고체전해질 층 내부에 위치된 히터부를 포함할 수 있다.In addition, the heater may include a heater portion disposed inside the solid electrolyte layer.

또한, 상기 제1 확산통로는 다공질의 고체 전해질로 이루어질 수 있다.In addition, the first diffusion passage may be made of a porous solid electrolyte.

또한, 상기 제2 캐비티에 형성된 제2 펌핑 전극을 포함하여 상기 외측 펌핑 전극과 제2 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시킬 수 있다.Also, a second pumping electrode formed in the second cavity may be included to control the voltage between the outer pumping electrode and the second pumping electrode to remove oxygen in the exhaust gas.

또한, 상기 내측 펌핑 전극은 제1 캐비티의 일측에 설치되어 산소를 제거하도록 하는 제1 전극 및 상기 제1 캐비티의 타측에 설치되고, 상기 제1 전극과 연결된 제2 전극을 포함하여 상기 제2 전극과 외측 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시킬 수 있다.The inner pumping electrode may include a first electrode disposed on one side of the first cavity to remove oxygen and a second electrode disposed on the other side of the first cavity and connected to the first electrode, So that the oxygen in the exhaust gas can be removed.

또한, 일단은 상기 제1 캐비티와 연결되고 타단은 상기 제2 캐비티와 연결되어 상기 제1 캐비티를 통과한 배기가스를 소정의 확산 저항아래에서 상기 제2 캐비티로 이끄는 제2 확산통로를 포함할 수 있다.And a second diffusion passage connected to the first cavity at one end and connected to the second cavity to lead the exhaust gas passed through the first cavity to the second cavity under a predetermined diffusion resistance have.

또한, 상기 고체전해질 층은 복수개의 기판층으로 이루어질 수 있다. The solid electrolyte layer may be formed of a plurality of substrate layers.

본 발명의 일 실시예에 따른 질소 산화물 센서는 제1 확산통로가 길이방향으로 연장되어 피독 물질의 포집을 증가시킬 수 있다. The nitrogen oxide sensor according to an embodiment of the present invention may extend the longitudinal direction of the first diffusion passage to increase the collection of poisonous substances.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 질소 산화물 센서의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 질소 산화물 센서의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1에서 A-A선의 단면도이다.
도 4는 도 1에서 A-A선의 단면의 변형예를 도시한 단면도이다.
1 is a plan view of a nitrogen oxide sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing a modified example of the nitrogen oxide sensor according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along line AA in Fig.
4 is a cross-sectional view showing a modified example of the cross section of the line AA in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Also, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, or the like is referred to as being "on" another section, it includes not only the case where it is "directly on" another part but also the case where there is another part in between. On the contrary, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, etc. is referred to as being "under" another section, this includes not only the case where the section is "directly underneath"

도 1 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 질소산화물 센서(1)는 제1 확산통로(5), 제1 캐비티(7), 제1 펌핑 전극(15), 제2 확산통로(9), 제2 캐비티(11), 제2 펌핑 전극(25), 검지 전극(21), 기준 전극(23), 고체전해질 층(3), 히터부(27), 에어 덕트(13)를 포함할 수 있다.1 and 3, a nitrogen oxide sensor 1 according to an embodiment of the present invention includes a first diffusion passage 5, a first cavity 7, a first pumping electrode 15, a second diffusion The reference electrode 23, the solid electrolyte layer 3, the heater unit 27, the air duct 13, the first cavity 11, the second cavity 11, the second pumping electrode 25, the detection electrode 21, . ≪ / RTI >

본 발명의 일 실시예에 따른 질소산화물 센서(1)는 제1 확산통로(5)가 길이방향으로 연장 형성되어 피독 물질의 포집을 증가시켜 피독 물질의 유입을 방지할 수 있다.The nitrogen oxide sensor 1 according to an embodiment of the present invention can extend the length of the first diffusion path 5 to increase the collection of the poisoning material and prevent the poisoning material from entering.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 고체전해질 층(3)은 평판 형상의 직사각형 구조로 한 개의 층 또는 복수개의 기판층(3a~3f)이 순서대로 적층되어 이루어질 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 4, the solid electrolyte layer 3 may be formed by stacking one layer or a plurality of substrate layers 3a to 3f in a rectangular shape having a flat plate shape in that order.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 고체전해질 층(3)은 치밀한 기밀의 산소이온 전도성 재질로서 제1 기판층(3a), 제2 기판층(3b), 제3 기판층(3c), 제4 기판층(3d), 제5 기판층(3e), 제6 기판층(3f)이 적층될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 4, the solid electrolyte layer 3 includes a first substrate layer 3a, a second substrate layer 3b, a third substrate layer 3c, and a second substrate layer 3b, which are dense hermetic oxygen ion conductive materials. 4 substrate layer 3d, a fifth substrate layer 3e, and a sixth substrate layer 3f may be stacked, but the present invention is not limited thereto.

고체전해질 층(3)은 산화 지르코늄 등의 산소이온 전도성의 고체전해질을 이용하여 형성되고 고체 전해질 층의 적층물을 일체로 소결함으로써 제조될 수 있다. The solid electrolyte layer 3 can be produced by using an oxygen ion conductive solid electrolyte such as zirconium oxide and integrally sintering a stack of solid electrolyte layers.

이때, 산소는 전해질이 산화 이온으로 전도될 수 있기 때문에 고체전해질 층(3)을 통과하여 펌핑된다. 또한, 고체전해질 층(3)은 각 층간에는 도시되지 않았지만 절연층이 적층되어 전기나 열에 의해 변성되지 않도록 한다.At this time, oxygen is pumped through the solid electrolyte layer 3 because the electrolyte can be conducted to the oxide ions. Further, the solid electrolyte layer 3 is not shown between the respective layers, but an insulating layer is laminated so that the solid electrolyte layer 3 is not denatured by electricity or heat.

본 발명의 일 실시예에서 제1 확산통로(5)는 배기가스가 제일 먼저 통과하는 곳으로서 고체 전해질 층의 일단부인 좌측에 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이, 제5 기판층(3e)의 좌측 단부에 위치할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. In one embodiment of the present invention, the first diffusion passage 5 is a region through which the exhaust gas passes first, and on the left side which is one end of the solid electrolyte layer, a fifth substrate layer 3e, for example, But it is not limited thereto.

도 1 및 2를 참조하면, 제1 확산통로(5)는 일단은 배기가스가 유입되는 외부에 노출되고 타단은 제1 캐비티(7)와 연통되어 소정의 확산 저항아래에 질소산화물을 포함하는 배기가스를 제1 캐비티(7) 내로 이끌어 넣을 수 있다. 1 and 2, the first diffusion passage 5 is exposed to the outside where the exhaust gas is introduced at one end and communicated with the first cavity 7 at the other end, and the exhaust gas containing nitrogen oxide The gas can be drawn into the first cavity 7.

이때, 제1 확산 통로(5)는 단면적, 단면의 형상, 길이 등을 변경함으로써 질소산화물 농도의 검출 감도를 조절할 수 있다.At this time, the sensitivity of the nitrogen oxide concentration detection can be adjusted by changing the cross-sectional area, the shape of the cross-section, the length, and the like.

한편, 제1 확산통로(5)는 다공질의 고체전해질로서 다공질체가 가지는 확산저항에 의해 피독 물질 등이 질소 산화물 센서 내부로 유입되는 것을 방지하고, 배기가스의 맥동으로 인한 신호의 불균일성을 감소시킬 수 있다.On the other hand, the first diffusion passage 5 is a porous solid electrolyte, which prevents the poisoning substances and the like from flowing into the nitrogen oxide sensor by the diffusion resistance of the porous body, and can reduce the nonuniformity of the signal due to the pulsation of the exhaust gas have.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 확산통로(5)는 단면이 원형 또는 직사각형 및 나팔형상일 수 있으나 이에 한정되지 않고 시트가 적층되어 형성될 수 있으며 내부에는 기공(5c)을 포함할 수 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, the first diffusion passage 5 may have a circular or rectangular shape and a trumpet shape in cross section, but the present invention is not limited thereto. The first diffusion passage 5 may be formed by stacking sheets and includes pores 5c can do.

따라서, 제1 확산통로(5)는 기공(5c)의 지름이 크면 배기가스의 확산속도가 증가하고 기공의 지름이 작으면 배기가스의 확산속도를 감소시켜 기공의 지름에 따라서 배기가스의 확산속도를 조절할 수 있다. Therefore, if the diameter of the pores 5c is large, the diffusion rate of the exhaust gas increases. If the diameter of the pores is small, the first diffusion passage 5 reduces the diffusion rate of the exhaust gas, Can be adjusted.

제1 확산통로(5)는 외부의 배기가스에 노출되어 배기가스가 유입되는 유입면(5a)과 제1 캐비티(7)와 연결되어 배기가스를 제1 캐비티(7)로 이끄는 배출면(5b)을 포함할 수 있다.The first diffusion passage 5 has an inlet surface 5a exposed to an exhaust gas outside and an exhaust gas inlet 5b connected to the first cavity 7 to discharge the exhaust gas to the first cavity 7 ).

이때, 제1 확산통로(5)는 유입면(5a)의 면적을 배출면(5b)의 면적보다 크게 하여 피독 물질 등이 질소산화물 센서(1) 내부로 유입되는 현상을 방지하여 질소산화물 센서(1)의 성능을 유지할 수 있다.At this time, the first diffusion passage 5 prevents the poisoning substances and the like from flowing into the nitrogen oxide sensor 1 by making the area of the inlet surface 5a larger than the area of the discharge surface 5b, 1) can be maintained.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 제1 확산통로(5)가 길이방향으로 연장 형성되어 제4 기판층(3d) 및 제6 기판층(3f)의 좌측 단부보다 돌출 형성되어 외부로 노출될 수 있다. 1 to 4, in an embodiment of the present invention, a first diffusion passage 5 is extended in the longitudinal direction so as to protrude from the left end of the fourth substrate layer 3d and the sixth substrate layer 3f And can be exposed to the outside.

본 발명의 일 실시예에 따른 질소 산화물 센서(1)는 제1 확산통로(5)가 길이방향으로 연장 형성되어 피독 물질이 내부로 유입되는 현상을 방지하여 질소산화물 센서의 성능을 유지할 수 있다.The nitrogen oxide sensor 1 according to the embodiment of the present invention can maintain the performance of the nitrogen oxide sensor by preventing the poisoning material from flowing into the first diffusion path 5 by extending the first diffusion path 5 in the longitudinal direction.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제1 확산통로(5)의 내부에는 질소산화물 농도측정의 정확성을 높이기 위해서 환원제가 포함될 수 있다. 이때, 이산화질소는 일산화질소에 비해 분자량이 크기 때문에 확산속도가 느려 질소산화물 농도 측정의 부정확성을 야기시키므로 환원제는 이산화질소를 일산화질소로 환원시킨다. 따라서 제1 확산통로(5) 내부에 포함된 환원제는 질소산화물 농도의 측정 감도를 개선시킬 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, a reducing agent may be included in the first diffusion passage 5 to increase the accuracy of the nitrogen oxide concentration measurement. At this time, since the nitrogen dioxide has a molecular weight larger than that of the nitrogen monoxide, the diffusion rate is slow and causes the inaccuracy of the measurement of the nitrogen oxide concentration, so that the reducing agent reduces nitrogen dioxide to nitrogen monoxide. Therefore, the reducing agent contained in the first diffusion passage 5 can improve the measurement sensitivity of the nitrogen oxide concentration.

도 3을 참조하면, 제1 캐비티(7)는 배기가스의 확산 방향인 제1 확산통로(5)의 일단에서 우측방향으로 연장되어 형성되고 제1 확산통로를 통과한 배기가스에 잔존하는 산소 분압을 조정하는 공간이다.Referring to FIG. 3, the first cavity 7 is formed to extend rightward from one end of the first diffusion passage 5, which is the direction of diffusion of the exhaust gas, .

이때, 내측 펌핑 전극(17)과 기준 전극(23) 사이의 전압이 일정한 값이 되도록 내측 펌핑 전극과 외측 펌핑 전극(19) 사이의 전압을 제어함으로써 제1 캐비티(7)의 산소 분압을 제어하여 제2 캐비티(11)에 유입되는 배기가스 중 산소 분압이 일정하도록 한다.The oxygen partial pressure of the first cavity 7 is controlled by controlling the voltage between the inner pumping electrode and the outer pumping electrode 19 so that the voltage between the inner pumping electrode 17 and the reference electrode 23 is a constant value The oxygen partial pressure in the exhaust gas flowing into the second cavity 11 is made constant.

도 3을 참조하면, 제1 캐비티(7)에서는 제1 펌핑 전극(15)을 통해 배기가스 중 잔존하는 산소의 농도를 일정 수준 이하로 제거할 수 있다. 이때 제1 펌핑 전극(15)은 내측 펌핑 전극(17) 및 외측 펌핑 전극(19)을 포함할 수 있고, 배기가스에서 산소 성분을 펌핑하기 위한 전압을 제어한다. Referring to FIG. 3, in the first cavity 7, the concentration of oxygen remaining in the exhaust gas can be reduced to a certain level or less through the first pumping electrode 15. Wherein the first pumping electrode 15 may include an inner pumping electrode 17 and an outer pumping electrode 19 and controls the voltage for pumping the oxygen component in the exhaust gas.

이때, 내측 펌핑 전극(17) 및 외측 펌핑 전극(19)은 서로 접속되어 제1 펌핑 전극(15)을 형성할 수 있다. 제1 펌핑 전극(15)은 배기가스 중 산소를 제거하여 산소 분압을 낮춘다.At this time, the inner pumping electrode 17 and the outer pumping electrode 19 may be connected to each other to form the first pumping electrode 15. The first pumping electrode 15 reduces oxygen partial pressure by removing oxygen from the exhaust gas.

이때, 제1 펌핑 전극(15)에서 배기가스에 존재하는 산소가 충분히 제거되지 못하면 이 산소가 검지 전극(21)에 도달한 후 이온화되어 노이즈로 작용하게 된다. 따라서 질소 산화물의 농도가 실제보다 크게 측정될 수 있다. At this time, if the oxygen present in the exhaust gas is not sufficiently removed from the first pumping electrode 15, the oxygen reaches the detection electrode 21 and is ionized to act as noise. Therefore, the concentration of nitrogen oxides can be measured to be larger than actual.

반면, 제1 펌핑 전극(15)에서 배기가스에 존재하는 산소가 과도하게 제거되면 질소 산화물이 내측 펌핑 전극(17) 또는 제2 펌핑 전극(25)에서 환원되어 질소와 산소로 분해되어 노이즈로 작용할 수 있다. On the other hand, when oxygen existing in the exhaust gas is excessively removed from the first pumping electrode 15, nitrogen oxide is reduced in the inner pumping electrode 17 or the second pumping electrode 25 and decomposed into nitrogen and oxygen to act as noise .

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 내측 펌핑 전극(17)은 제1 확산통로(5)를 통해 배기가스가 유입되는 제1 캐비티(7)의 상부 및 하부측에 한 쌍으로 배치될 수 있고 그 사이를 연결할 수 있으나 이에 한정되지 않고 제1 캐비티의 일측, 예를 들어 상부측 또는 하부측에만 배치될 수도 있다. Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the inner pumping electrodes 17 are arranged in pairs on the upper and lower sides of the first cavity 7 through which the exhaust gas flows through the first diffusion passage 5 But not limited thereto, and may be disposed only on one side of the first cavity, for example, on the upper side or the lower side.

도 3에 도시된 바와 같이, 내측 펌핑 전극(17)은 제1 캐비티(7)의 상부측에 설치된 제1 전극(17a) 및 하부측에 설치된 제2 전극(17b)을 포함할 수 있으며 직사각형 형상의 다공질 서멧 전극으로 이루어질 수 있다. 3, the inner pumping electrode 17 may include a first electrode 17a provided on the upper side of the first cavity 7 and a second electrode 17b provided on the lower side, and may have a rectangular shape Of the porous cermet electrode.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 내측 펌핑 전극(17)은 제1 전극(17a) 및 제2 전극(17b) 사이를 연결하는 연결전극(17c)을 포함할 수 있다. 이때, 일 실시예로서 제1 전극(17a)에서 산소를 펌핑하고 제2 전극(17b)과 외측 펌핑 전극(19) 사이에 전류가 흐르도록 할 수 있다.Also, in one embodiment of the present invention, the inner pumping electrode 17 may include a connecting electrode 17c connecting the first electrode 17a and the second electrode 17b. In this case, oxygen may be pumped by the first electrode 17a and current may flow between the second electrode 17b and the outer pumping electrode 19 as an embodiment.

또한 외측 펌핑 전극(19)은 내측 펌핑 전극(17) 즉, 제1 전극(17a) 또는 제2 전극(17b)과 대응할 수 있고 고체 전해질 층(3)의 상측면에 접하게 설치되며, 단면이 직사각형 형상으로 이루어질 수 있다. 이때, 내측 펌핑 전극(17) 및 외측 펌핑 전극(19)은 질소산화물에 대한 환원 능력이 약하거나 없는 재질로 사용될 수 있다.The outer pumping electrode 19 may correspond to the inner pumping electrode 17, that is, the first electrode 17a or the second electrode 17b, and may be disposed in contact with the upper surface of the solid electrolyte layer 3, Shape. At this time, the inner pumping electrode 17 and the outer pumping electrode 19 may be used as a material having a weak or no reducing ability for nitrogen oxides.

이때, 내측 펌핑 전극(17) 및 외측 펌핑 전극(19) 간에 외부의 가변 전원에서 소정의 전압을 인가해서 외측 펌핑 전극(19)으로부터 내측 펌핑 전극(17)의 방향으로 전류가 흐르도록 하여 제1 캐비티(7)의 산소를 외부공간으로 퍼낼 수 있다. At this time, a predetermined voltage is applied from an external variable power source between the inner pumping electrode 17 and the outer pumping electrode 19 to cause a current to flow from the outer pumping electrode 19 to the inner pumping electrode 17, The oxygen in the cavity 7 can be poured into the outer space.

또한 제1 펌핑 전극(15)은 내측 펌핑 전극(17) 및 외측 펌핑 전극(19)간에 통전에 의해 제1 캐비티(7)의 배기가스에 존재하는 산소를 펌핑하여 즉, 산소 이온의 이동을 가능하게 하여 제1 캐비티(7) 내부에 있는 가스의 산소 분압을 낮춘다. The first pumping electrode 15 is also capable of pumping oxygen present in the exhaust gas of the first cavity 7 by energization between the inner pumping electrode 17 and the outer pumping electrode 19, So as to lower the oxygen partial pressure of the gas inside the first cavity 7.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 제2 확산통로(9)는 일단은 제1 캐비티(7)를 통과한 가스가 유입되도록 제1 캐비티와 연결되고 타단은 제2 캐비티(11)와 연통되어 배기가스를 소정의 확산 저항아래에서 제2 캐비티(11)로 이끈다. 3, in an embodiment of the present invention, the second diffusion passage 9 is connected to the first cavity at one end to allow the gas passing through the first cavity 7 to flow in, and the other end is connected to the second cavity 11 at the other end. And directs the exhaust gas to the second cavity 11 under a predetermined diffusion resistance.

도 1 및 도 3을 참조하면, 제2 확산통로(5)는 다공질의 고체전해질로서 다공질체가 가지는 확산저항에 의해 피독 물질 등이 질소 산화물 센서 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 3, the second diffusion passage 5 is a porous solid electrolyte, and it is possible to prevent the poisoning substances and the like from flowing into the nitrogen oxide sensor by the diffusion resistor included in the porous body.

한편, 제2 확산통로(9)는 단면이 원형 또는 직사각형일 수 있으나 이에 한정되지 않고 시트가 적층되어 형성될 수 있으며 내부에는 기공(9a)을 포함할 수 있다. Meanwhile, the second diffusion passage 9 may have a circular or rectangular cross section, but the present invention is not limited thereto. The second diffusion passage 9 may be formed by stacking sheets and may include pores 9a therein.

따라서, 제2 확산통로(9)는 기공(9a)의 지름이 크면 배기가스의 확산속도가 증가하고 기공의 지름이 작으면 배기가스의 확산속도를 감소시켜 기공의 지름에 따라서 배기가스의 확산속도를 조절할 수 있다. Accordingly, if the diameter of the pores 9a is large, the second diffusion passage 9 increases the diffusion speed of the exhaust gas and decreases the diffusion speed of the exhaust gas when the diameter of the pores is small, Can be adjusted.

이때, 제2 확산통로(9)는 단면적, 단면의 형상, 길이 등을 변경함으로써, 질소산화물 농도의 검출 감도를 조절할 수 있다.At this time, the second diffusion passage 9 can control the detection sensitivity of the nitrogen oxide concentration by changing the cross-sectional area, the shape of the cross-section, the length, and the like.

도 1 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 제2 캐비티(11)는 제2 확산통로(9)에서부터 우측 방향으로 연장 형성되고 단면이 직사각형 또는 원형으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때, 제2 캐비티(11)는 제2 확산통로(9)를 통과한 가스에 대하여 산소 분압을 미세 조정하는 공간이다. 1 and 3, in an embodiment of the present invention, the second cavity 11 may extend in the right direction from the second diffusion passage 9 and may have a rectangular or circular cross-section, but is not limited thereto Do not. At this time, the second cavity (11) is a space for finely adjusting the oxygen partial pressure with respect to the gas that has passed through the second diffusion passage (9).

본 발명의 일 실시예에 따른 질소산화물 센서(1)는 제2 펌핑 전극(25)과 기준 전극(23)사이의 전압이 일정한 값이 되도록 외측 펌핑 전극(19)과 내측 펌핑 전극(17) 사이의 전압을 제어하여 제2 캐비티(11) 내부에 존재하는 산소 분압이 일정하도록 한다. The nitrogen oxide sensor 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may have a structure in which the voltage between the second pumping electrode 25 and the reference electrode 23 is a constant value between the outer pumping electrode 19 and the inner pumping electrode 17 So that the oxygen partial pressure in the second cavity 11 is constant.

이때, 산소 분압은 질소산화물이 환원되지 않는 범위까지 산소를 제거하여 일정하게 유지할 수 있다. At this time, the oxygen partial pressure can be kept constant by removing oxygen to the extent that the nitrogen oxide is not reduced.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 검지 전극(21)은 질소산화물의 환원 촉매를 포함하여 질소산화물이 질소와 산소로 분해가 이루어지도록 한다. 이때 산소는 이온화되어 검지 전극(21)과 기준 전극(23) 사이에 걸린 전압에 의해 기준 전극에 도달한다. Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the detection electrode 21 includes a nitrogen oxide reduction catalyst so that the nitrogen oxide is decomposed into nitrogen and oxygen. At this time, oxygen is ionized and reaches the reference electrode by the voltage caught between the detection electrode 21 and the reference electrode 23.

이러한 산소 이온의 이동에 의해 발생한 전류(Ip)로부터 질소산화물의 농도를 측정할 수 있다. 이때 전류(Ip)의 값은 질소산화물의 농도에 의존하여 변화하기 때문이다.The concentration of nitrogen oxide can be measured from the current (Ip) generated by the movement of such oxygen ions. At this time, the value of the current Ip changes depending on the concentration of nitrogen oxide.

도 3을 참조하면, 에어 덕트(13)는 고체전해질 층(3)의 우측 단부, 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 기판층(3c)의 우측 단부에 위치하여, 제1 캐비티(7) 및 제2 캐비티(11)와는 독립적으로 기준 가스가 유입되는 통로이다. 이때, 에어 덕트(13)는 길이방향으로 연장되어 형성되고, 일단부가 개구되어 대기와 연통될 수 있다. 3, the air duct 13 is located at the right end of the solid electrolyte layer 3, for example, at the right end of the third substrate layer 3c, as shown in Fig. 4, (7) and the second cavity (11). At this time, the air duct 13 is formed to extend in the longitudinal direction, and one end of the air duct 13 can communicate with the atmosphere.

한편, 에어 덕트(13)는 대기와 접촉하는 부위에 도시되지는 않았으나 개구부가 형성될 수 있고 이 개구부를 통해서 기준 가스인 대기가 에어 덕트(13) 내부로 들어올 수 있다. Although the air duct 13 is not shown in the area where it is in contact with the atmosphere, an opening may be formed, and the atmosphere, which is the reference gas, may be introduced into the air duct 13 through the opening.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 검지 전극(21)은 제2 캐비티(11)의 하측면, 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이, 제4 기판층(3d)의 상측면에 접하게 설치될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.1 to 4, in an embodiment of the present invention, the detection electrode 21 is formed on the lower surface of the second cavity 11, for example, on the fourth substrate layer 3d, But it is not limited thereto.

검지 전극(21)은 질소산화물을 환원할 수 있는 촉매를 함유할 수 있으며 다공질 서멧 전극으로 이루어질 수 있다. 이때, 서멧이란 세라믹스와 금속의 조합으로 구성된 소결재료이다. The detection electrode 21 may contain a catalyst capable of reducing nitrogen oxides and may be formed of a porous cermet electrode. At this time, cermet is a sintered material composed of a combination of ceramics and metal.

한편, 검지 전극(21)은 제2 캐비티(11)의 가스 중에 존재하는 질소산화물을 환원되게 할 수 있는 환원촉매로서도 기능할 수 있다. 이를 통해 질소산화물이 질소와 산소로 분해되어 이때 산소가 발생한다.On the other hand, the detection electrode 21 can also function as a reduction catalyst capable of reducing the nitrogen oxide present in the gas of the second cavity 11. Through this, nitrogen oxides are decomposed into nitrogen and oxygen, and then oxygen is generated.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 기준 전극(23)은 산소 농도 분압 측정의 기준이 되고, 에어 덕트(13)의 상측면 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 제4 기판층(3d)의 하측면에 접하게 설치될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the reference electrode 23 is a reference for measuring the oxygen concentration partial pressure, and the upper surface of the air duct 13, for example, But it is not limited thereto.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 제2 펌핑 전극(25)은 제1 펌핑 전극(15)에서 제거되지 않은 산소를 2차로 제거할 수 있다. 제2 펌핑 전극(25)은 도 3에 도시된 바와 같이, 내측 펌핑 전극(17)에서 우측방향으로 소정의 거리로 이격되도록 제2 캐비티(11) 상부측, 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이 제6 기판층(3f)의 하측면에 접하게 설치될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the second pumping electrode 25 can remove oxygen that has not been removed from the first pumping electrode 15, secondarily. 3, the second pumping electrode 25 is arranged on the upper side of the second cavity 11, for example, as shown in FIG. 4, so as to be spaced apart from the inner pumping electrode 17 by a predetermined distance to the right But it is not limited thereto.

이때, 제2 펌핑 전극(25)은 내측 펌핑 전극(17)과 같이 질소산화물에 대한 환원 능력이 약하거나 없는 재질로 사용될 수 있다. At this time, the second pumping electrode 25 may be used as a material having a weak or no reducing ability for nitrogen oxides like the inner pumping electrode 17. [

한편, 제2 펌핑 전극(25)과 기준 전극(23)사이의 전압이 일정한 값이 되도록 제2 펌핑 전극(25)과 외측 펌핑 전극(19) 사이에 전압을 제어하여 제2 캐비티(11)의 산소 농도를 적절하게 유지할 수 있다. The voltage between the second pumping electrode 25 and the outer pumping electrode 19 is controlled so that the voltage between the second pumping electrode 25 and the reference electrode 23 is a constant value, The oxygen concentration can be appropriately maintained.

또한, 제2 펌핑 전극(25)은 제2 캐비티(11)의 질소산화물이 분해되지 않는 범위 즉, 질소산화물 측정에 실질적인 영향이 없는 낮은 산소 농도가 되도록 일정하게 배기가스 중의 산소를 제거한다. Further, the second pumping electrode 25 removes oxygen in the exhaust gas constantly so as to be in a range where the nitrogen oxide of the second cavity 11 is not decomposed, that is, a low oxygen concentration that does not substantially affect the nitrogen oxide measurement.

본 발명의 일 실시예에 따른 질소산화물 센서(1)의 히터부(27)는 고체 전해질 층(3)의 하부 측 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 기판층(3a) 및 제2 기판층(3b) 사이에 설치되고, 히터부의 상하면에는 고체 전해질 층과의 전기적 절연을 얻기 위해서 절연층(27a) 사이에 위치할 수 있다. The heater portion 27 of the nitrogen oxide sensor 1 according to the embodiment of the present invention may be provided on the lower side of the solid electrolyte layer 3, 2 substrate layer 3b and the upper and lower surfaces of the heater portion may be located between the insulating layers 27a to obtain electrical insulation with the solid electrolyte layer.

이때, 히터부(27)는 본 발명의 일 실시예에 따른 질소산화물 센서(1)가 원활하게 작동하기 위한 온도까지 높일 수 있다. 이는 고체전해질 층(3)이 안정화 지르코니아일 때 산소의 이온 전도성은 350도 이상의 온도에서 발현되는데 이때 히터부(27)는 질소산화물 센서가 350도 이상이 되도록 열을 전달할 수 있다.At this time, the heater unit 27 can raise the temperature to a temperature at which the nitrogen oxide sensor 1 according to the embodiment of the present invention can smoothly operate. This is because when the solid electrolyte layer 3 is stabilized zirconia, the ion conductivity of oxygen is expressed at a temperature of 350 ° C or more. At this time, the heater unit 27 can transmit heat such that the nitrogen oxide sensor is above 350 ° C.

본 발명의 일 실시예에 따른 질소 산화물 센서(1)는 제1 확산통로(5)는 길이방향으로 연장 형성되어 피독 물질이 내부에 유입되지 않도록 하여 성능을 유지할 수 있다.In the nitrogen oxide sensor 1 according to the embodiment of the present invention, the first diffusion passage 5 is formed to extend in the longitudinal direction so that the poisoning substance is prevented from flowing into the interior thereof, thereby maintaining performance.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 질소 산화물 센서 3: 고체 전해질 층
5: 제1 확산 통로 5a : 유입면
5b : 배출면 5c : 제1 확산통로의 기공
7 : 제1 캐비티 9 : 제2 확산통로
9a : 제2 확산통로의 기공 11 : 제2 캐비티
13 : 에어 덕트 15 : 제1 펌핑 전극
17 : 내측 펌핑 전극 17a : 제1 전극
17b : 제2 전극 17c : 연결전극
19 : 외측 펌핑 전극 21 : 검지 전극
23 : 기준 전극 25 : 제2 펌핑 전극
27 : 히터부 27a : 절연층
1: nitrogen oxide sensor 3: solid electrolyte layer
5: first diffusion passage 5a: inflow surface
5b: discharge surface 5c: pore of the first diffusion passage
7: first cavity 9: second diffusion passage
9a: pores of the second diffusion passage 11: second cavity
13: air duct 15: first pumping electrode
17: inner pumping electrode 17a: first electrode
17b: second electrode 17c: connecting electrode
19: outer pumping electrode 21: detection electrode
23: reference electrode 25: second pumping electrode
27: heater portion 27a: insulating layer

Claims (10)

고체전해질 층;
상기 고체전해질 층의 일단에 위치하여 외부의 배기가스를 유입시키는 통로로서, 길이방향으로 연장 형성되어 상기 고체전해질 층의 일 단부보다 돌출 형성된 제1 확산통로;
상기 제1 확산통로와 연통되어 상기 제1 확산통로를 통과한 배기가스 중 산소 분압을 제어하는 제1 캐비티;
상기 제1 캐비티에 형성된 내측 펌핑 전극 및 상기 제1 캐비티와 다른 위치에 형성된 외측 펌핑 전극을 포함하여, 상기 내측 펌핑 전극과 외측 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시키는 제1 펌핑 전극;
상기 제1 캐비티에 연통되어 상기 제1 캐비티를 통과한 질소산화물을 질소와 산소 이온으로 분해시키는 제2 캐비티;
상기 제2 캐비티에 형성된 검지전극 및
상기 제2 캐비티와 다른 위치에 형성되고, 일단부가 대기와 연통된 에어덕트 내부에 설치되는 기준전극;을 포함하여,
상기 검지전극과 기준전극 사이의 전압을 제어하여 상기 산소 이온을 상기 검지전극으로 이동시킴으로써 발생되는 전류로부터 질소산화물의 농도를 측정하는 질소산화물 센서.
A solid electrolyte layer;
A first diffusion passage extending in the longitudinal direction and protruding from one end of the solid electrolyte layer, the passage being located at one end of the solid electrolyte layer and introducing an external exhaust gas;
A first cavity communicating with the first diffusion passage and controlling an oxygen partial pressure in exhaust gas passing through the first diffusion passage;
An inner pumping electrode formed in the first cavity and an outer pumping electrode formed in a different position from the first cavity to control a voltage between the inner pumping electrode and the outer pumping electrode to remove oxygen in the exhaust gas, electrode;
A second cavity communicating with the first cavity to decompose the nitrogen oxide that has passed through the first cavity into nitrogen and oxygen ions;
A detection electrode formed in the second cavity,
And a reference electrode which is formed at a position different from the second cavity and is installed inside an air duct whose one end communicates with the atmosphere,
Wherein the concentration of nitrogen oxide is measured from a current generated by controlling a voltage between the detection electrode and the reference electrode and moving the oxygen ion to the detection electrode.
제1 항에 있어서,
상기 제1 확산통로는 외부의 배기가스가 유입되는 유입면 및 배출면을 포함하고 상기 유입면의 면적은 상기 배출면의 면적보다 큰 질소 산화물 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the first diffusion path includes an inlet surface and an outlet surface through which exhaust gas from the outside flows, and the area of the inlet surface is larger than the area of the outlet surface.
제2 항에 있어서,
상기 제1 확산통로는 나팔 형상인 질소산화물 센서.
3. The method of claim 2,
Wherein the first diffusion path is a trumpet shape.
제1 항에 있어서,
상기 제1 확산통로 내부에는 환원제가 포함되어 이산화질소를 일산화질소로 환원시키는 질소 산화물 센서.
The method according to claim 1,
And a reducing agent is contained in the first diffusion passage to reduce nitrogen dioxide to nitrogen monoxide.
제1 항에 있어서,
상기 고체전해질 층 내부에 위치된 히터부를 포함하는 질소산화물 센서.
The method according to claim 1,
And a heater portion positioned inside the solid electrolyte layer.
제1 항에 있어서,
제1 확산통로는 다공질의 고체 전해질로 이루어진 질소산화물 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the first diffusion passage is made of a porous solid electrolyte.
제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 캐비티에 형성된 제2 펌핑 전극을 포함하여 상기 외측 펌핑 전극과 제2 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시키는 질소산화물 센서.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
And a second pumping electrode formed in the second cavity to control the voltage between the outer pumping electrode and the second pumping electrode to remove oxygen in the exhaust gas.
제7 항에 있어서,
상기 내측 펌핑 전극은 제1 캐비티의 일측에 설치되어 산소를 제거하도록 하는 제1 전극 및 상기 제1 캐비티의 타측에 설치되고, 상기 제1 전극과 연결된 제2 전극을 포함하여 상기 제2 전극과 외측 펌핑 전극 사이의 전압을 제어하여 배기가스 중 산소를 제거시키는 질소산화물 센서.
8. The method of claim 7,
Wherein the inner pumping electrode includes a first electrode provided on one side of the first cavity to remove oxygen and a second electrode provided on the other side of the first cavity and connected to the first electrode, A nitrogen oxide sensor that controls the voltage between the pumping electrodes to remove oxygen in the exhaust gas.
제7 항에 있어서,
일단은 상기 제1 캐비티와 연결되고 타단은 상기 제2 캐비티와 연결되어 상기 제1 캐비티를 통과한 배기가스를 소정의 확산 저항아래에서 상기 제2 캐비티로 이끄는 제2 확산통로를 포함하는 질소산화물 센서.
8. The method of claim 7,
And a second diffusion passage connected to the first cavity at one end and connected to the second cavity for leading the exhaust gas passed through the first cavity to the second cavity under a predetermined diffusion resistance. .
제7 항에 있어서,
상기 고체전해질 층은 복수개의 기판층으로 이루어진 질소산화물 센서.
8. The method of claim 7,
Wherein the solid electrolyte layer comprises a plurality of substrate layers.
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