KR20160053131A - Thermal type mass flow meter - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a thermal mass flow meter. According to an embodiment of the present invention, the thermal mass flow meter measures a mass flow converted based on changes in temperature of a fluid which is heated by a heater and flows in a pipe and a conductor which exchanges heat with the fluid, and comprises: a probe installed by penetrating the pipe; a sensor unit which is disposed on one end of the probe positioned in the pipe and senses the temperature of the conductor; a control unit to convert a mass flow of the fluid flowing in the pipe from a sensed value of the sensor unit; and a display unit to display the mass flow of the fluid flowing in the pipe converted by the control unit. The sensor unit comprises: a plurality of sensors to sense the temperature of the conductor; a cover member shielding the sensors to prevent the sensors from coming in direct contact with the fluid flowing in the pipe; and a heat transfer member in which the fluid flowing in the pipe and the conductor exchange heat with each other.

Description

열식 질량 유량계{THERMAL TYPE MASS FLOW METER} {THERMAL TYPE MASS FLOW METER}

본 발명은 질량 유량계에 관한 것이다.
The present invention relates to a mass flow meter.

질량 유량계란, 유로를 유동하는 유체의 질량 유량을 측정하는 것으로, 크게 코리올리스 유량계와 열식 질량 유량계로 구분된다. 이 중 열식 질량 유량계는, 가열된 고체와 유동하는 유체 사이에 발생하는 대류에 의하여 열전도에 의하여 감소되는 고체의 열변화량과 유체의 유속 사이의 관계, 즉 열변화에 대응하는 질량 유속(mass flux)의 변화를 검출하여 이를 유량으로 환산한다. 이와 같은 열식 질량 유량계는, 배관의 내부에 위치되어 고체의 온도를 검출하는 센서, 및 센서에 의한 검출값으로부터 환산된 유체의 질량 유량을 표시하는 표시부를 포함한다. A mass flow meter is a mass flow meter for measuring the mass flow rate of a fluid flowing through a flow path, and is largely divided into a Coriolis flow meter and a thermal mass flow meter. In the thermal mass flowmeter, a mass flux corresponding to a heat change, that is, a relationship between a flow rate of a fluid and a heat change amount of a solid, which is reduced by heat conduction due to convection generated between a heated solid and a fluid flowing, And converts it into a flow rate. Such a thermal mass flow meter includes a sensor that is located inside the pipe and detects the temperature of the solid, and a display unit that displays the mass flow rate of the fluid converted from the detection value by the sensor.

그러나 종래의 열식 질량 유량계는, 배관의 내부를 유동하는 유체 중에 포함된 오염 물질에 의하여 센서가 오염될 수 있다. 그리고 이와 같은 센서의 오염에 의하여 정확한 질량 유량의 측정이 이루어지지 못하게 되는 단점이 발생된다.However, in the conventional thermal mass flowmeter, the sensor may be contaminated by contaminants contained in the fluid flowing inside the pipe. Also, it is not possible to measure the accurate mass flow rate due to the contamination of the sensor.

또한 종래에는, 센서 및 표시부가 일체로 형성된다. 따라서 측정된 질량 유량값을 확인하기 위해서는 직접 질량 유량계가 설치된 배관으로 이동하여야 하는 불편이 따르게 된다.
Also, conventionally, a sensor and a display unit are integrally formed. Therefore, it is inconvenient to move the mass flowmeter directly to the pipe to check the measured mass flow rate.

대한민국 공개실용신안공보 제2011-7305호(명칭: 분리식 센서 보호관용 열식 질량 유량계)Korean Utility Model Publication No. 2011-7305 (Name: Thermal Mass Flowmeter for Detachable Sensor Protection Pipe)

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술에 의한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 센서의 오염에 따른 질량 유량의 부정확한 측정을 방지할 수 있도록 구성되는 열식 질량 유량계를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a thermal mass flowmeter which is configured to prevent an incorrect measurement of a mass flow rate due to contamination of a sensor.

본 발명의 다른 목적은, 보다 용이하게 질량 유량값을 확인할 수 있도록 구성되는 열식 질량 유량계를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a thermal mass flow meter that is configured to more easily confirm a mass flow rate value.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 의한 열식 질량 유량계의 일 양태는, 히터에 의하여 가열되어 배관의 내부를 유동하는 유체와 열교환된 도체의 온도 변화를 기초로 환산되는 질량 유량을 측정하는 열식 질량 유량계에 있어서: 상기 배관을 관통하여 설치되는 프로브; 상기 배관의 내부에 위치되는 상기 프로브의 일단에 구비되고, 상기 도체의 온도를 감지하는 센서부; 상기 센서부의 감지값으로부터 상기 배관의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 환산하는 제어부; 및 상기 제어부가 환산한 상기 배관의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 표시하는 표시부; 를 포함하고, 상기 센서부는, 상기 도체의 온도를 감지하는 다수개의 센서; 상기 센서가 상기 배관의 내부를 유동하는 유체와 직접 접촉되는 현상을 방지하기 위하여 상기 센서를 차폐하는 커버 부재; 및 상기 배관의 내부를 유동하는 유체와 상기 도체 사이의 열교환이 이루어지는 열전달 부재; 를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a thermal mass flow meter which measures a mass flow rate converted on the basis of a temperature change of a fluid flowing through a pipe heated by a heater and heat- Wherein the probe comprises: a probe installed through the pipe; A sensor unit provided at one end of the probe located inside the pipe, for sensing a temperature of the conductor; A control unit for converting the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe from the sensed value of the sensor unit; And a display unit for displaying the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe converted by the controller; Wherein the sensor unit comprises: a plurality of sensors for sensing a temperature of the conductor; A cover member for shielding the sensor to prevent a direct contact between the sensor and the fluid flowing in the pipe; And a heat transfer member for performing heat exchange between the fluid flowing in the pipe and the conductor; .

본 발명의 실시예의 일 양태에서, 상기 센서는, 상기 배관의 내부를 유체가 유동하는 방향으로 이격되게 배치되는 다수개로 구성된다.In one aspect of the embodiment of the present invention, the sensor is constituted by a plurality of units arranged so as to be spaced apart in a direction in which the fluid flows inside the pipe.

상본 발명의 실시예의 일 양태에서, 상기 커버 부재는, 기설정된 내식성 및 열전도율을 가지는 재질로 형성되고, 상기 열전달 부재는 기설정된 열전도율을 가지는 재질로 형성된다.In one aspect of the embodiment of the present invention, the cover member is formed of a material having predetermined corrosion resistance and thermal conductivity, and the heat transfer member is formed of a material having a predetermined thermal conductivity.

본 발명의 실시예의 일 양태에서, 상기 프로브, 센서부, 및 제1통신부를 포함하는 제1부분; 및 상기 제어부, 표시부, 및 제2통신부를 포함하는 제2부분; 을 포함하고, 상기 제1 및 제2부분은 서로 이격되게 위치되고, 상기 제1 및 제2통신부는 근거리 무선통신에 의하여 상기 센서의 감지값을 송수신한다.
In one aspect of the embodiment of the present invention, the first part including the probe, the sensor part, and the first communication part; And a second portion including the control portion, the display portion, and the second communication portion; Wherein the first and second portions are positioned apart from each other, and the first and second communication units transmit and receive the sensing value of the sensor by short-range wireless communication.

본 발명의 실시예에 의한 열식 질량 유량계에 의하면 다음과 같은 효과가 기대된다.According to the thermal mass flowmeter of the embodiment of the present invention, the following effects are expected.

먼저, 본 발명의 실시예에서는, 커버 부재에 의하여 센서가 차폐된 상태에서, 커버 부재 및 열전달 부재를 통하여 유체와 열교환된 도체의 온도를 센서가 감지한다. 따라서 본 발명의 실시예에 의하면, 센서의 직접적인 오염이 방지됨으로써, 이에 의한 부정확한 질량 유량의 측정이 방지될 수 있다. 특히, 본 발명의 실시예에서는, 커버 부재의 내부에 다수개의 센서가 위치됨으로써, 각 센서의 감지값 사이의 차이에 따라서 커버 부재의 오염 여부를 판단하거나 검출값의 오차를 보정할 수 있다.First, in the embodiment of the present invention, the sensor senses the temperature of a conductor exchanged with a fluid through a cover member and a heat transfer member in a state in which the sensor is shielded by the cover member. Therefore, according to the embodiment of the present invention, the direct contamination of the sensor is prevented, thereby preventing an inaccurate measurement of the mass flow rate. Particularly, in the embodiment of the present invention, a plurality of sensors are positioned inside the cover member, so that it is possible to determine whether the cover member is contaminated or to correct the error of the detection value according to the difference between the detection values of the respective sensors.

또한 본 발명의 실시예에서는, 열식 질량 유량계가 센서부를 포함하는 제1부분과, 표시부를 포함하는 제2부분을 포함하고, 제1 및 제2부분 사이의 통신에 의하여 센서의 검출값을 기초로 계산된 유체의 질량 유량이 표시부에 표시된다. 따라서 본 발명의 실시예에 의하면, 보다 용이하고 간편하게 질량 유량값을 확인할 수 있게 된다.
Further, in the embodiment of the present invention, the thermal mass flow meter includes a first portion including a sensor portion and a second portion including a display portion, and based on the detected value of the sensor by communication between the first and second portions The calculated mass flow rate of the fluid is displayed on the display. Therefore, according to the embodiment of the present invention, the mass flow rate value can be checked easily and easily.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 열식 질량 유량계를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 제1실시예의 요부를 보인 단면도.
도 3은 본 발명의 제1실시예가 배관에 설치된 상태를 보인 단면도.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 의한 열식 질량 유량계를 개략적으로 보인 구성도.1 is a perspective view showing a thermal mass flow meter according to a first embodiment of the present invention;
2 is a sectional view showing the main part of the first embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view showing a state in which a first embodiment of the present invention is installed in a pipe.
FIG. 4 is a schematic view showing a thermal mass flow meter according to a second embodiment of the present invention. FIG.

이하에서는 본 발명의 제1실시예에 의한 열식 유량계를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a thermal type flow meter according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 열식 질량 유량계를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예의 요부를 보인 단면도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예가 배관에 설치된 상태를 보인 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a thermal type mass flow meter according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the main part of the first embodiment of the present invention, Fig.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 의한 열식 질량 유량계(10)는, 프로브(100), 센서부(200), 표시부(400) 및 제어부(300)(도 4 참조)를 포함한다. 상기 프로브(100)는 배관(1)에 삽입되는 곳이다. 그리고 상기 센서부(200)는 상기 프로브(100)의 선단에 구비되어 상기 배관(1)의 내부에 위치된다. 상기 제어부(300)는, 상기 센서부(200)의 감지값을 기초로 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 환산한다. 그리고 상기 표시부(400)는, 상기 제어부(300)가 환산한 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량값을 표시한다. 1 to 3, a thermal mass flow meter 10 according to the present embodiment includes a probe 100, a sensor unit 200, a display unit 400, and a control unit 300 (see FIG. 4) . The probe 100 is inserted into the pipe 1. The sensor unit 200 is disposed at the tip of the probe 100 and is located inside the pipe 1. The control unit 300 converts the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 based on the sensing value of the sensor unit 200. The display unit 400 displays the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 converted by the controller 300.

상기 프로브(100)는, 기설정된 길이를 가지는 것으로, 상기 배관(1)의 일측을 관통하여 설치된다. 따라서 상기 프로브(100)의 일부는 상기 배관(1)의 내부에 위치되고, 상기 프로브(100)의 나머지는 상기 배관(1)의 외부에 위치된다.The probe 100 has a predetermined length and is installed through one side of the pipe 1. Therefore, a part of the probe 100 is located inside the pipe 1, and the rest of the probe 100 is located outside the pipe 1.

그리고 상기 센서부(200)는, 다수개의 센서(210), 커버 부재(220), 및 열전달 부재(230)를 포함한다. 상기 센서부(200)는, 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 측정하기 위하여, 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 열교환되는 도체(미도시)의 온도를 감지한다.The sensor unit 200 includes a plurality of sensors 210, a cover member 220, and a heat transfer member 230. The sensor unit 200 senses the temperature of a conductor (not shown) that is heat-exchanged with a fluid flowing in the pipe 1 to measure a mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1, do.

보다 상세하게는, 상기 센서(210)는 기설정된 간격만큼 서로 이격되게 배치된다. 도 2 및 도 3에는 상기 센서(210)가 3개로 구성되는 것으로 도시되었지만, 상기 센서(210)의 개수는 이에 한정되지 않을 것이다. 이때 상기 센서(210)는, 상기 배관(1)의 내부를 유체가 유동하는 방향으로 서로 이격된다. More specifically, the sensors 210 are spaced apart from each other by a predetermined interval. 2 and 3, the number of the sensors 210 is not limited to three. At this time, the sensor 210 is spaced apart from each other in a direction in which the fluid flows in the pipe 1.

상기 커버 부재(220)는, 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 직접 접촉되지 않도록 상기 센서(210)를 차폐하는 역할을 한다. 상기 커버 부재(220)는, 기설정된 내식성 및 열전도율을 가지는 재질, 예를 들면, 알루미늄이나 티타늄과 같은 재질로 성형될 수 있다. 본 실시예에서는, 상기 커버 부재(220)가 유선형으로 형성된다. 즉, 상기 배관(1)의 내부에서 유체가 유동되는 방향으로 상대적으로 상류측에 해당하는 상기 커버 부재(220)의 일단부는 완만한 곡선으로 형성되고, 상대적으로 하류측에 해당하는 상기 커버 부재(220)의 타단부는 폭이 감소되어 뾰족하게 형성된다. 이는 상기 커버 부재(220)에 의하여 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 유동이 간섭받는 현상을 최소화기 위함이다.The cover member 220 shields the sensor 210 from direct contact with the fluid flowing in the pipe 1. The cover member 220 may be formed of a material having predetermined corrosion resistance and thermal conductivity, for example, a material such as aluminum or titanium. In this embodiment, the cover member 220 is formed in a streamlined shape. That is, one end of the cover member 220, which is relatively upstream in a direction in which the fluid flows in the pipe 1, is formed in a gentle curved line, and the cover member 220 are formed to have a reduced width and a sharp point. This is to minimize the interference of the flow of the fluid flowing through the pipe 1 by the cover member 220.

그리고 상기 열전달 부재(230)는, 상기 커버 부재(220)의 내부에 위치된다. 상기 열전달 부재(230)로는, 상대적으로 열전도율이 높은 재질, 예를 들면, 은, 구리, 수은 등과 같은 재질로 성형될 수 있다. The heat transfer member 230 is positioned inside the cover member 220. The heat transfer member 230 may be formed of a material having a relatively high thermal conductivity, such as silver, copper, mercury, or the like.

상기 제어부(300)는 실질적으로 상기 배관(1)의 외부에 위치되는 상기 프로브(100)의 타단에 구비될 수 있다. 상기 제어부(300)는, 상기 센서(210) 및 표시부(400)를 포함하는 상기 열식 질량 유량계(10)의 동작을 제어한다.The control unit 300 may be disposed at the other end of the probe 100 that is positioned substantially outside the pipe 1. The control unit 300 controls the operation of the thermal mass flow meter 10 including the sensor 210 and the display unit 400.

상기 표시부(400)도, 상기 배관(1)의 외부에 위치되는 상기 프로브(100)의 타단에 구비된다. 상기 표시부(400)는, 상기 제어부(300)에 의하여 환산된 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 숫자, 문자, 음성 중 적어도 1개의 형태로 표시할 수 있다.The display unit 400 is also provided at the other end of the probe 100 which is located outside the pipe 1. The display unit 400 may display the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 converted by the controller 300 in the form of at least one of numbers, characters, and voices.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서는, 히터(미도시)에 의하여 가열되는 상기 세라믹 바아가 상기 커버 부재(220) 및 열전달 부재(230)를 통하여 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 열교환되고, 상기 세라믹 바아의 온도를 상기 센서(210)가 감지한다. 그런데 상기 센서(210)는, 실질적으로 상기 커버 부재(220)에 의하여 차폐됨으로써, 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 직접 접촉되는 것이 방지된다. 따라서 본 실시예에서는, 상기 센서(210)가 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체에 포함된 오염 물질에 의하여 오염되어 상기 세라믹 바아의 온도를 부정확하게 감지하는 현상이 방지될 수 있다.In this embodiment configured as described above, the ceramic bar heated by the heater (not shown) is heat-exchanged with the fluid flowing inside the pipe 1 through the cover member 220 and the heat transfer member 230 , And the sensor 210 senses the temperature of the ceramic bar. However, since the sensor 210 is substantially shielded by the cover member 220, the sensor 210 is prevented from being in direct contact with the fluid flowing in the pipe 1. [ Therefore, in the present embodiment, the sensor 210 may be prevented from being inaccurately sensed by the contamination of the fluid flowing in the pipe 1 due to contamination of the ceramic bar.

또한 본 실시예에서는, 상기 센서(210)가 다수개로 구성됨으로써, 상기 센서(210)을 감지값을 비교하여 상기 커버 부재(220)의 오염 여부를 확인하거나 상기 커버 부재(220)의 오염에 따른 오차를 보정할 수 있다. 예를 들면, 상기 센서(210) 중 일부에 의한 감지값이 상기 센서(210) 중 나머지에 의한 감지값의 차이가 기설정된 기준값 이상인 경우에는 상기 커버 부재(220)의 일부가 오염된 것으로 판단될 수 있다. 또한 상기 센서(210)가 3개 이상으로 구성되는 경우에는, 상기 센서(210) 중 어느 하나의 감지값이 상기 센서(210) 중 나머지의 감지값에 비하여 상기 기준값 이상의 차이를 나타내더라도, 이를 제외한 상기 센서(210) 중 나머지의 감지값을 기초로 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 환산할 수 있다. 따라서 상기 커버 부재(220)의 일부가 오염되더라도 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량를 보다 정확하게 측정할 수 있게 된다.In this embodiment, a plurality of sensors 210 are provided to compare the sensed values of the sensor 210 to check whether the cover member 220 is contaminated or to prevent contamination of the cover member 220 The error can be corrected. For example, if the sensed value of a part of the sensor 210 is equal to or greater than a predetermined reference value, it is determined that a part of the cover member 220 is contaminated . Also, in the case where the sensor 210 is composed of three or more sensors, even if the sensed value of any one of the sensors 210 indicates a difference greater than or equal to the reference value as compared with the remaining sensed values of the sensors 210, The mass flow rate of the fluid flowing inside the pipe 1 can be converted based on the remaining sensing value of the sensor 210. Therefore, even if a portion of the cover member 220 is contaminated, the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 can be measured more accurately.

이하에서는 본 발명의 제2실시예에 의한 열식 질량 유량계를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a thermal mass flowmeter according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 의한 열식 질량 유량계를 개략적으로 보인 구성도이다. 본 실시예의 구성 요소 중 상술한 본 발명의 제1실시예의 구성 요소와 동일한 구성 요소에 대해서는 도 1 내지 도 3의 도면 부호를 원용하고, 이에 대한 상세한 설명을 생략하기로 한다.4 is a schematic view showing a thermal mass flow meter according to a second embodiment of the present invention. The same components as those of the first embodiment of the present invention among the constituent elements of the present embodiment are referred to with reference to FIGS. 1 to 3, and a detailed description thereof will be omitted.

도 4를 참조하면, 본 실시예에 의한 열식 질량 유량계(20)는, 제1 및 제2부분(21)(22)을 포함한다. 상기 제1 및 제2부분(21)(22)은, 서로 이격되는 장소에 각각 위치된다.Referring to FIG. 4, the thermal mass flow meter 20 according to the present embodiment includes first and second portions 21 and 22. The first and second portions 21 and 22 are respectively located at mutually spaced places.

보다 상세하게는, 상기 제1부분(21)은, 실질적으로 배관(1)에 설치되는 것으로, 프로브(100), 센서부(200), 및 제1통신부(500)를 포함한다. 상기 프로브(100) 및 센서부(200)는, 상술한 본 발명의 제1실시예의 그것과 동일하다. 상기 제1통신부(500)는, 근거리 무선 통신, 예를 들면, 지그비(ZigBee), 블루투스(Bluetooth), 와이파이 다이렉트(Wi-Fi Direct), NFC(Near Field Commun ication) 등과 같은 근거리 무선 통신에 의하여 상기 센서부(200), 실질적으로 상기 센서(210)의 감지값을 후술할 제2통신부(600)로 전송한다.More specifically, the first part 21 is installed in the pipe 1 and includes the probe 100, the sensor part 200, and the first communication part 500. The probe 100 and the sensor unit 200 are the same as those of the first embodiment of the present invention described above. The first communication unit 500 may be connected to the first communication unit 500 through short-range wireless communication such as ZigBee, Bluetooth, Wi-Fi Direct, NFC (Near Field Communication) And transmits the detection value of the sensor unit 200, substantially the sensor 210, to the second communication unit 600 to be described later.

그리고 상기 제2부분(22)은, 상기 제1부분(21)으로부터 이격된 장소, 예를 들면, 사무실이나 별도의 설비 박스 등에 설치될 수 있다. 상기 제2부분(22)은, 표시부(400), 제2통신부(600), 및 제어부(300)를 포함한다. 상기 표시부(400)는, 상술한 본 발명의 제1실시예의 그것과 동일하다. 상기 제2통신부(600)는, 근거리 무선 통신 등에 의하여 상기 제1통신부(500)가 송신한 상기 센서(210)의 감지값을 수신한다. 상기 제어부(300)는, 상기 제1통신부(500)가 송신한 상기 센서(210)의 감지값을 기초로 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 환산하여 상기 표시부(400)에 표시되도록 한다.And the second portion 22 may be installed at a location remote from the first portion 21, for example, in an office or a separate equipment box. The second section 22 includes a display section 400, a second communication section 600, and a control section 300. The display unit 400 is the same as that of the first embodiment of the present invention described above. The second communication unit 600 receives sensing values of the sensor 210 transmitted by the first communication unit 500 by near field wireless communication or the like. The control unit 300 converts the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 based on the sensed value of the sensor 210 transmitted by the first communication unit 500 and outputs the mass flow rate to the display unit 400 Display.

이와 같이 본 실시예에서는, 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량의 측정을 위한 상기 센서부(200) 등과, 상기 센서부(200)의 감지값을 표시하는 상기 표시부(400)가 이격되어 설치된다. 따라서 본 실시예에 의하면, 측정자나 작업자가 보다 간단하고 용이하게 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 확인할 수 있게 된다.The sensor unit 200 and the like for measuring the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 and the display unit 400 for displaying the sensed values of the sensor unit 200, . Therefore, according to the present embodiment, it is possible for the measurer or the operator to more easily and easily check the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1.

이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능함은 물론이고, 본 발명의 권리범위는 첨부한 특허청구범위에 기초하여 해석되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art in light of the above teachings. will be.

10, 20: 열식 질량 유량계 21: 제1부분
22: 제2부분 100: 프로브
200: 센서부 210: 센서
220: 커버 부재 230: 열전달 부재
300: 제어부 400: 표시부
500: 제1통신부 520: 제2통신부10, 20: thermal mass flow meter 21: first part
22: second part 100: probe
200: sensor unit 210: sensor
220: cover member 230: heat transfer member
300: control unit 400: display unit
500: first communication unit 520: second communication unit

Claims (4)

히터에 의하여 가열되어 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 열교환된 도체의 온도 변화를 기초로 환산되는 질량 유량을 측정하는 열식 질량 유량계에 있어서:
상기 배관(1)을 관통하여 설치되는 프로브(100);
상기 배관(1)의 내부에 위치되는 상기 프로브(100)의 일단에 구비되고, 상기 도체의 온도를 감지하는 센서부(200);
상기 센서부(200)의 감지값으로부터 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 환산하는 제어부(300); 및
상기 제어부(300)가 환산한 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체의 질량 유량을 표시하는 표시부(400); 를 포함하고,
상기 센서부(200)는,
상기 도체의 온도를 감지하는 다수개의 센서(210);
상기 센서(210)가 상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 직접 접촉되는 현상을 방지하기 위하여 상기 센서(210)를 차폐하는 커버 부재(220); 및
상기 배관(1)의 내부를 유동하는 유체와 상기 도체 사이의 열교환이 이루어지는 열전달 부재(230); 를 포함하는 열식 질량 유량계.
1. A thermal mass flowmeter for measuring a mass flow rate which is converted based on a temperature change of a fluid heated inside a pipe (1) heated by a heater and heat-exchanged with the fluid:
A probe (100) installed through the pipe (1);
A sensor unit 200 disposed at one end of the probe 100 positioned inside the pipe 1 for sensing a temperature of the conductor;
A control unit 300 for converting the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 from the sensing value of the sensor unit 200; And
A display unit 400 for displaying the mass flow rate of the fluid flowing in the pipe 1 converted by the controller 300; Lt; / RTI >
The sensor unit (200)
A plurality of sensors 210 for sensing the temperature of the conductor;
A cover member 220 for shielding the sensor 210 to prevent a direct contact of the sensor 210 with a fluid flowing in the pipe 1; And
A heat transfer member (230) for heat exchange between a fluid flowing inside the pipe (1) and the conductor; / RTI >
제 1 항에 있어서,
상기 센서(210)는, 상기 배관(1)의 내부를 유체가 유동하는 방향으로 이격되게 배치되는 다수개로 구성되는 열식 질량 유량계.
The method according to claim 1,
The thermal mass flowmeter according to any one of claims 1 to 3, wherein the sensor (210) is disposed at a distance in a direction in which the fluid flows in the pipe (1).
제 1 항에 있어서,
상기 커버 부재(220)는, 기설정된 내식성 및 열전도율을 가지는 재질로 형성되고,
상기 열전달 부재(230)는, 기설정된 열전도율을 가지는 재질로 형성되는 열식 질량 유량계.
The method according to claim 1,
The cover member 220 is formed of a material having predetermined corrosion resistance and thermal conductivity,
The heat transfer member (230) is formed of a material having a predetermined thermal conductivity.
제 1 항에 있어서,
상기 프로브(100), 센서부(200), 및 제1통신부(500)를 포함하는 제1부분(21); 및
상기 제어부(300), 표시부(400), 및 제2통신부(600)를 포함하는 제2부분(22); 을 포함하고,
상기 제1 및 제2부분(21)(22)은 서로 이격되게 위치되고,
상기 제1 및 제2통신부(500)(600)는 근거리 무선통신에 의하여 상기 센서(210)의 감지값을 송수신하는 열식 질량 유량계.The method according to claim 1,
A first part (21) including the probe (100), the sensor part (200), and the first communication part (500); And
A second portion 22 including the control portion 300, the display portion 400, and the second communication portion 600; / RTI >
The first and second portions 21 and 22 are spaced apart from each other,
The first and second communication units 500 and 600 transmit and receive the sensed values of the sensor 210 by short-distance wireless communication.
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