KR20160050969A - Sight glass having functions indicating drain direction, flow velocity and flux for semiconductor equipment - Google Patents

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KR20160050969A KR1020140150223A KR20140150223A KR20160050969A KR 20160050969 A KR20160050969 A KR 20160050969A KR 1020140150223 A KR1020140150223 A KR 1020140150223A KR 20140150223 A KR20140150223 A KR 20140150223A KR 20160050969 A KR20160050969 A KR 20160050969A
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Abstract

The present invention provides sight glass for a semiconductor facility. According to the present invention, the sight glass includes: a main pipe which is installed in a drain line or a supply line of the semiconductor facility and is formed in the shape of a pipe; and flanges which are arranged on both ends of the main pipe. An indicator assembly, which has indicators indicating at least one of the drain direction, flow amount, and flow velocity of a liquid flowing in the drain line or in the supply line, is installed in the main pipe.

Description

배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스{Sight glass having functions indicating drain direction, flow velocity and flux for semiconductor equipment}[0001] The present invention relates to a sight glass for a semiconductor facility having a drainage direction, a flow velocity, and a flow rate display function,

본 발명은, 배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 설비의 드레인 라인이나 공급 라인에 설치되어 해당 라인을 통해 흐르는 액의 배수 방향, 유속 및 유량을 외부에서 한꺼번에 확인할 수 있도록 표시함으로써, 드레인 라인이나 공급 라인을 간편하게 점검할 수 있는 배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sight glass for semiconductor equipment having drainage direction, flow velocity and flow rate display function, and more particularly, to a drainage line or a supply line of a semiconductor facility, And a drainage direction, a flow rate, and a flow rate display function capable of easily checking the drain line and the supply line by displaying the flow rate so that the flow rate can be confirmed from the outside at a time.

반도체 설비의 공급관, 파이프, 회수 및 폐수관 등에서 액체를 유동시킬 때는, 액체의 유동 여부를 알기 위하여 점검창인 사이트 글라스가 설치되는 것이 일반적이다.When a liquid flows in a supply pipe, a pipe, a recovery pipe and a waste water pipe of a semiconductor facility, a sight glass, which is a check window, is generally installed to know whether the liquid flows.

도 1a를 참조하면, 반도체 설비의 드레인 라인이 개략적으로 도시되고 있는데, 드레인 라인은 드레인 포켓에 의하여 응축수 등이 집수되고, 밸브(V/V)가 구비되며, 드레인 라인을 점검하기 위한 사이트 글라스(S/G)가 구비된다.Referring to FIG. 1A, a drain line of a semiconductor facility is schematically shown. The drain line is provided with a valve (V / V), condensed water and the like collected by a drain pocket, S / G).

도 1b는 반도체 설비의 공급 라인을 개략적으로 도시한 도면으로서, 케미컬 탱크로부터 케미컬 액이 펌프(PUMP)와 밸브(V/V) 등이 구비되는 공급 라인을 통해 공급되고 있으며, 공급 라인을 점검하기 위하여 사이트 글라스(S/G)가 구비된다. 공급 라인은 도시한 형태로 한정되는 것은 아니며, 회수관이나 폐수관 등을 포괄하는 개념이라 하겠다. 1B schematically shows a supply line of a semiconductor facility, in which a chemical liquid is supplied from a chemical tank through a supply line provided with a pump PUMP and a valve V / V, A sight glass (S / G) is provided. The supply line is not limited to the form shown, but may include a collection pipe or a waste water pipe.

이러한 사이트 글라스는 상술한 드레인 라인이나 각종 공급 라인에 적용될 수 있다. Such a site glass can be applied to the above-described drain line or various supply lines.

그러나 이러한 사이트 글라스(S/G)는 단지 투명하게만 형성될 뿐이어서, 외부에서 사이트 글라스(S/G) 내부의 액이 배수되지 않고 역류하고 있는지, 혹은 액의 유량이나, 유속이 어느 정도인지를 확인하는 것이 불가능하였다. However, such a sight glass (S / G) is formed only in a transparent state, so that the liquid in the S / G is not discharged from the outside and flows backward, or the flow rate of the liquid, It was impossible to confirm.

따라서, 외부에서 드레인 라인이나 공급 라인을 통해 흐르고 있는 액의 배수 방향이나, 유량 및 유속을 간단히 확인할 수 있도록 종래의 사이트 글라스를 개선할 수 있다면, 반도체 설비의 운용에 도움을 줄 것이다.
Therefore, if the conventional sight glass can be improved so that the flow direction and the flow rate of the liquid flowing from the outside through the drain line or the supply line can be easily checked, it will help to operate the semiconductor facility.

대한민국특허청 출원번호 제20-2008-0009021호Korea Patent Office Application No. 20-2008-0009021

본 발명의 목적은, 반도체 설비의 드레인 라인이나 공급 라인에 설치되어 해당 라인을 통해 흐르는 액의 배수 방향, 유속 및 유량을 외부에서 한꺼번에 확인할 수 있도록 표시함으로써, 드레인 라인이나 공급 라인을 간편하게 점검할 수 있는 배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스를 제공하는 것이다.
It is an object of the present invention to provide a semiconductor device which can be installed at a drain line or a supply line of a semiconductor facility and displays a drain direction, a flow rate and a flow rate of a liquid flowing through the line at a time, And a drainage direction, a flow velocity, and a flow rate display function.

본 발명의 목적은, 반도체 설비의 드레인 라인이나 공급 라인에 설치되며, 파이프 형상의 메인관; 및 상기 메인관의 양단에 구비되는 플랜지를 포함하며, 상기 메인관의 내부에는 상기 드레인 라인이나 상기 공급 라인을 흐르는 액의 배수방향, 유량 및 유속 중 적어도 하나를 지시하는 인디케이터를 갖는 인디케이터 어셈블리가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 사이트 글라스에 의해 달성된다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor device which is provided with a drain line or a supply line of a semiconductor facility, And a flange provided at both ends of the main pipe, wherein an indicator assembly having an indicator for indicating at least one of a drain line, a flow rate and a flow rate of a liquid flowing through the supply line is installed in the main pipe Wherein the sidewall of the sidewall of the sidewall of the semiconductor facility is formed of a glass.

상기 메인관의 외부에는 유량 눈금표지 및 유속 눈금표지 중 적어도 하나가 형성될 수 있다.At least one of a flow rate scale mark and a flow rate scale mark may be formed outside the main pipe.

상기 인디케이터는 복수개로 구비될 수 있다.A plurality of the indicators may be provided.

상기 인디케이터 어셈블리는, 상기 메인관의 내측벽에 형성된 결합홈에 결합되는 결합축; 상기 결합축에 인접 배치되는 베어링; 상기 베어링과 결합되어 회전되는 막대 형상의 회전로드; 상기 회전로드에 결합되어 상기 액의 흐름에 의해 이동되는 판상의 작동 블레이드; 및 상기 작동 블레이드의 적어도 한 부분에 결합되어 일 방향을 지시하는 인디케이터를 포함할 수 있다.
The indicator assembly includes: a coupling shaft coupled to a coupling groove formed in an inner wall of the main tube; A bearing disposed adjacent to the engagement shaft; A rod-shaped rotary rod rotated in association with the bearing; A plate-shaped operating blade coupled to the rotating rod and moved by the flow of the liquid; And an indicator coupled to at least a portion of the actuating blade to indicate a direction.

본 발명에 따르면, 반도체 설비의 드레인 라인이나 공급 라인에 설치되어 해당 라인을 통해 흐르는 액의 배수 방향, 유속 및 유량을 외부에서 한꺼번에 확인할 수 있도록 표시함으로써, 드레인 라인이나 공급 라인을 간편하게 점검할 수 있는 배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스가 제공된다.
According to the present invention, a drain line or a supply line installed in a drain line or a supply line of a semiconductor facility is displayed so that the drain direction, the flow rate, and the flow rate of the liquid flowing through the line can be checked at a time from outside. There is provided a sight glass for semiconductor equipment having drainage direction, flow velocity and flow rate display function.

도 1a 및 1b는 종래의 사이트 글라스가 구비된 드레인 라인 및 공급 라인을 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 설비용 사이트 글라스의 사시도,
도 3은 도 2의 B-B'선 단면도,
도 4a는 도 2에 설치된 인디케이터 어셈블리의 일 실시예,
도 4b는 인디케이터 어셈블리의 다른 실시예,
도 5는 도 2의 A 부분을 확대 도시한 도면이다. FIGS. 1A and 1B illustrate a drain line and a supply line with a conventional sight glass,
2 is a perspective view of a sight glass for a semiconductor facility according to an embodiment of the present invention,
3 is a sectional view taken along the line B-B 'in Fig. 2,
Figure 4a is an embodiment of the indicator assembly shown in Figure 2,
Figure 4b illustrates another embodiment of the indicator assembly,
5 is an enlarged view of a portion A in Fig.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 설비용 사이트 글라스의 사시도, 도 3은 도 2의 B-B'선 단면도, 도 4a는 도 2에 설치된 인디케이터 어셈블리의 일 실시예, 도 4b는 인디케이터 어셈블리의 다른 실시예, 도 5는 도 2의 A 부분을 확대 도시한 도면이다. 2 is a cross-sectional view taken along line B-B 'of FIG. 2, FIG. 4A is an embodiment of an indicator assembly installed in FIG. 2, and FIG. 4B is a cross- Another embodiment of the assembly, Fig. 5 is an enlarged view of part A of Fig.

본 실시예에 따른 반도체 설비용 사이트 글라스(10)는 주로 수평형 배기 라인을 고려하여 수평 배치된 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. The sill glasses 10 for semiconductor equipment according to the present embodiment are shown as horizontally disposed mainly in consideration of a horizontal exhaust line, but the present invention is not limited thereto.

본 실시예의 반도체 설비용 사이트 글라스(10)는 파이프 형상의 메인관(100)과 메인관의 양단에 구비되는 플랜지(200)를 포함하며, 플랜지(200)와 메인관(100) 사이에는 결합지지력을 보강하기 위해 다수의 보강판(210)이 더 결합될 수 있다.The sidewall 10 for semiconductor equipment according to the present embodiment includes a main pipe 100 in the form of a pipe and a flange 200 provided at both ends of the main pipe 100. Between the flange 200 and the main pipe 100, A plurality of reinforcing plates 210 may be further combined.

메인관(100), 플랜지(200) 및 다수의 보강판(210)은 모두 투명, 또는 적어도 반투명한 PVC 재질로 형성되는 것이 점검을 위해 바람직하다.It is preferable for inspection that the main pipe 100, the flange 200 and the plurality of reinforcing plates 210 are both made of a transparent or at least translucent PVC material.

메인관(100)의 내부에는 액의 배수 방향, 유량 및 유속 중 적어도 하나를 지시하는 인디케이터(115)를 갖는 인디케이터 어셈블리(110)가 구비된다. 또한 메인관(100)의 외부에는 유속 눈금표지(120a) 및 유량 눈금표지(120b) 중 적어도 하나가 표시된다. 유속 눈금표지(120a) 및 유량 눈금표지(120b)는 0도에서 90도 범위에서 액의 유속 및 유량에 따른 인디케이터(115)의 변화량을 실험적으로 도출한 값을 기준하여 표시하는 것이 바람직하다. The main tube 100 is provided with an indicator assembly 110 having an indicator 115 for indicating at least one of a direction, a flow rate and a flow rate of the liquid. At least one of the flow velocity scale mark 120a and the flow rate scale mark 120b is displayed outside the main pipe 100. [ The flow rate scale mark 120a and the flow rate scale mark 120b are preferably displayed based on values obtained by experimentally deriving the amount of change of the indicator 115 according to the flow rate and flow rate of the liquid in the range of 0 degree to 90 degrees.

따라서 메인관(100) 외부의 눈금표지에 대응하는 인디케이터(115)의 위치를 읽음으로써, 드레인 라인의 메인관(100)을 흐르는 액의 유량이나 유속을 외부에서도 쉽게 확인하는 것이 가능해진다.Therefore, by reading the position of the indicator 115 corresponding to the scale mark outside the main pipe 100, the flow rate and the flow rate of the liquid flowing through the main pipe 100 of the drain line can be easily confirmed from the outside.

이를 위하여 인디케이터 어셈블리(110)는 도 4에 도시된 바와 같이 메인관(100) 내측벽에 형성된 결합홈(101)에 결합되는 결합축(111)과, 결합축(111)에 인접 배치되는 베어링(112), 베어링(112)과 결합되어 회전되는 막대 형상의 회전로드(113), 회전로드(113)에 결합되어 액의 흐름에 의해 작동되는 판상의 작동 블레이드(114), 및 작동 블레이드(114)의 적어도 한 부분에 결합되어 일 방향을 지시하는 인디케이터(115)를 포함할 수 있다.4, the indicator assembly 110 includes an engagement shaft 111 coupled to the engagement groove 101 formed in the inner wall of the main tube 100, and a bearing (not shown) disposed adjacent to the engagement shaft 111, Shaped operating rod 114 which is coupled to the rotating rod 113 to be actuated by the flow of the liquid and an operating blade 114 which is driven by the flow of the liquid, And an indicator 115 coupled to at least a portion of the display device 110 to indicate one direction.

인디케이터(115)는 도 4b에 도시된 바와 같이 복수개로 구비되어, 본 발명에 따른 사이트 글라스의 전면, 후면, 상부면 어디에서 보더라도 인디케이터(115)가 보여질 수 있도록 하여 육안식별율을 높일 수 있다.4B, the indicator 115 can be seen from the front, rear, and top surfaces of the sight glass according to the present invention, thereby increasing the visual recognition rate .

인디케이터 어셈블리(110)의 결합축(111)은 메인관(100) 내측벽에 형성되는 결합홈(101)에 삽입 결합된다. 억지끼움식으로 결합되거나, 혹은 접착제 등으로 고정 설치하는 것도 가능할 것이다. The coupling shaft 111 of the indicator assembly 110 is inserted into the coupling groove 101 formed in the inner wall of the main tube 100. Or may be fixedly attached with an adhesive or the like.

따라서 인디케이터 어셈블리(110)를 간단히 결합홈(101)에 삽입 결합시킴으로써, 설치가 간단해질 수 있다.Therefore, by simply fitting the indicator assembly 110 into the coupling groove 101, the installation can be simplified.

베어링(112)은 여기에 결합되는 회전로드(113)의 회전을 원활하게 하는 기능을 수행한다. The bearing 112 performs a function of smoothly rotating the rotating rod 113 coupled thereto.

회전로드(113)는 베어링(112)의 도움으로 메인관(100) 내부의 액의 흐름에 의해 작동되는 작동 블레이드(114)의 움직임에 방해를 주지 않도록 원활하게 회전할 수 있게 된다. The rotating rod 113 can rotate smoothly so as not to interfere with the movement of the operating blade 114 operated by the flow of the liquid inside the main tube 100 with the aid of the bearing 112. [

즉 회전로드(113)에는 작동 블레이드(114)가 일체로 결합되어 있으므로, 액의 흐름에 의해 작동 블레이드(114)가 동작하여 회전로드(113)의 회전을 견인하게 된다.That is, since the operating blade 114 is integrally coupled to the rotating rod 113, the operating blade 114 is operated by the flow of the liquid to pull the rotation of the rotating rod 113.

작동 블레이드(114)는 메인관(100) 내부를 흐르는 액의 흐름, 즉 액의 유속에 따라 90도 범위에서 동작되는 것으로서, 액이 흐르지 않는 경우 작동 블레이드(116)의 자중에 의하여 수직 아래 방향을 향하도록 배치되며, 액이 흐르게 되면, 작동 블레이드(114)가 액의 유속에 의하여 수직 아래 지점으로부터 90도 범위에서 점차 이동하게 되며, 이에 따라 메인관(100) 내부에 액이 가득차 흐르는 경우는 유속 및 유량이 최대로 되어, 작동 블레이드(114)가 메인관(100)에 수평이 되도록 배치된다. 이때에는 작동 블레이드(114)에 결합된 인디케이터(115)가 유속과 유량 눈금표지의 최대치를 가리키도록 설정된다. 도시된 도 2는 이와 같이 유속과 유량이 최대인 경우에 해당된다.The operating blade 114 is operated in a range of 90 degrees according to the flow of the liquid flowing in the main tube 100, that is, the flow rate of the liquid. When the liquid does not flow, When the liquid flows, the operating blade 114 is gradually moved in the range of 90 degrees from the vertically downward position due to the flow rate of the liquid. Accordingly, when the liquid is filled in the main tube 100, And the flow rate is maximized, and the operating blade 114 is arranged to be horizontal to the main tube 100. [ At this time, the indicator 115 coupled to the operating blade 114 is set to indicate the maximum value of the flow rate and the flow rate scale mark. FIG. 2 corresponds to the case where the flow velocity and the flow rate are the maximum.

이를 위하여 작동 블레이드(114)는 액에 대하여 적당한 비중을 가지는 재질로 형성되어 메인관(100) 내부를 흐르는 액의 유속에 의하여 일정하게 이동될 수 있도록 형성되어야 할 것이다.For this, the operating blade 114 should be formed of a material having an appropriate specific gravity with respect to the liquid so as to be constantly moved by the flow rate of the liquid flowing in the main tube 100.

작동 블레이드(114)의 상부에는 인디케이터(115)가 구비된다. 도시된 실시예에서는 작동 블레이드(114)의 중앙에 인디케이터(115)가 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 인디케이터(115)의 위치는 작동 블레이드(114)의 어느 한 부분에 형성되는 것으로도 충분할 것이다. An indicator 115 is provided on the upper portion of the operating blade 114. Although it is shown in the illustrated embodiment that the indicator 115 is provided at the center of the operating blade 114, it is sufficient that the position of the indicator 115 is formed in any one part of the operating blade 114.

인디케이터(115)가 작동 블레이드(114)에 부착 결합되어 있으므로, 작동 블레이드(114)가 메인관(100) 내부를 흐르는 액에 의하여 회전 이동될 때, 인디케이터(115)는 작동 블레이드(114)와 동일한 이동 동선을 그리면서 회전하게 된다. 인디케이터(115)는 도시된 바와 같이 화살표 형상으로 형성되며, 외부에서 인지가 용이하도록 붉은 색 등의 색상을 띄도록 형성되는 것이 바람직하겠다.The indicator 115 is attached to the operating blade 114 so that when the operating blade 114 is rotated by the liquid flowing inside the main tube 100, It rotates while drawing a movement line. The indicator 115 is formed in the shape of an arrow as shown in the figure, and it is preferable that the indicator 115 is formed to have a color such as red for easy recognition from the outside.

이와 같이 형성된 사이트 글라스(10)의 작동 방식을 설명하면, 먼저 플랜지(200)에 의해 반도체 설비의 드레인 라인에 사이트 글라스(10)가 설치되어 사이트 글라스(100)의 메인관(100) 내부로 액이 흐르게 되면, 사이트 글라스(100)의 메인관(100) 내측벽에 결합되어 있는 인디케이터 어셈블리(110)가 액의 흐름에 의해 동작하게 된다.The operation of the sight glass 10 formed as described above will be described below. First, the site glass 10 is installed on the drain line of the semiconductor facility by the flange 200, The indicator assembly 110 coupled to the inner wall of the main tube 100 of the sight glass 100 is operated by the flow of the liquid.

즉, 액의 흐름에 따라 인디케이터 어셈블리(110)의 작동 블레이드(114)가 이동하기 시작하면, 작동 블레이드(114)에 결합되어 있는 인디케이터(115)도 함께 이동 되어지며, 이에 따라 인디케이터(115)의 지시 방향을 메인관(100) 외부에 표시된 유속 눈금표지(120a) 및 유량 눈금표지(120b)에 따라 읽어내면, 현재 메인관(100) 내부를 흐르는 액의 유속 및 유량, 그리고 액의 배수 방향을 외부에서 확인할 수 있게 된다.That is, when the operating blade 114 of the indicator assembly 110 starts to move according to the flow of the liquid, the indicator 115 coupled to the operating blade 114 is also moved together, The flow direction and the flow rate of the liquid flowing in the main pipe 100 at the present time and the drainage direction of the liquid are determined by the flow rate scale mark 120a and the flow rate scale mark 120b read out from the main pipe 100 It can be confirmed from the outside.

좀 더 자세히 설명하면, 메인관(100) 내부에 액이 흐르지 않는 경우에는 작동 블레이드(114)의 자중에 의하여 작동 블레이드(114)가 수직 아래 방향을 향하여 작동 블레이드(114)에 결합되어 있는 인디케이터(115) 역시 수직 아래 방향을 가리키게 된다. 이때에는 대응하는 유속 및 유량 눈금표지(120a, 120b)가 0이 될 것이며, 배수가 이루어지고 있지 않음을 외부에서 인지할 수 있게 된다.More specifically, when the liquid does not flow into the main tube 100, the actuating blade 114 is biased by the weight of the actuating blade 114 to an indicator (not shown) 115) also point in the vertical downward direction. At this time, the corresponding flow rate and flow rate scale markers 120a and 120b will be zero, and it is possible to recognize from the outside that the drainage is not being performed.

이후 메인관(100) 내부에 액이 흐르기 시작하여, 작동 블레이드(114)가 서서히 액의 흐름에 의하여 이동하기 시작하면, 작동 블레이드(114)에 결합된 인디케이터(115)에 의해 배수 방향이 파악될 수 있으며, 인디케이터(115)의 이동 위치에 대응하는 유속 및 유량 눈금표지를 읽어 내면, 현재의 메인관(100) 내부의 유속 및 유량을 파악할 수 있게 된다.Thereafter, the liquid begins to flow into the main pipe 100, and when the operating blade 114 starts to move gradually by the flow of the liquid, the direction of the drainage is recognized by the indicator 115 coupled to the operating blade 114 And the flow rate and flow rate of the present main pipe 100 can be grasped by reading the flow rate and flow rate scale mark corresponding to the movement position of the indicator 115. [

만일, 메인관(100) 내부의 액이 메인관(100)을 반쯤 채운 경우에는, 작동 블레이드(114)와 결합된 인디케이터(115)가 유속 및 유량 눈금표지(120a, 120b)의 절반 정도를 이동한 상태가 될 것이다. If the liquid in the main tube 100 is half filled with the main tube 100, the indicator 115 coupled with the operating blade 114 moves about half of the flow rate and flow rate scale markers 120a and 120b It will become a state.

또한, 메인관(100) 내부에 액이 가득 차 흐르는 경우에는 작동 블레이드(114)가 메인관(100)에 대하여 수평 배치되며, 이때에는, 인디케이터(115)가 유속 및 유량 눈금표지의 최대값을 지시하게 될 것이다. When the liquid flows into the main pipe 100, the operating blade 114 is horizontally disposed with respect to the main pipe 100. At this time, the indicator 115 indicates the maximum value of the flow velocity and flow rate scale mark You will be instructed.

따라서 본 발명에 따른 배수 방향, 유속 및 유량 표시기능을 갖는 반도체 설비용 사이트 글라스는, 드레인 라인을 통해 흐르는 액의 배수 방향, 유속 및 유량을 외부에서 한꺼번에 확인할 수 있도록 함으로써, 드레인 라인이나 공급라인을 간편하게 점검할 수 있는 효과를 가질 수 있다.Therefore, the sight glass for semiconductor equipment having drainage direction, flow rate, and flow rate display function according to the present invention can confirm drain direction, flow rate and flow rate of liquid flowing through drain line at a time from outside, So that it can be easily checked.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

10 : 사이트 글라스 100 : 메인관
110 : 인디케이터 어셈블리 111 : 결합축
112 : 베어링 113 : 회전로드
114 : 작동 블레이드 115 : 인디케이터
200 : 플랜지10: Sight glass 100: Main tube
110: indicator assembly 111: engagement shaft
112: bearing 113: rotating rod
114: operating blade 115: indicator
200: Flange

Claims (4)

반도체 설비의 드레인 라인이나 공급 라인에 설치되며,
파이프 형상의 메인관; 및
상기 메인관의 양단에 구비되는 플랜지를 포함하며,
상기 메인관의 내부에는 상기 드레인 라인이나 공급 라인을 흐르는 액의 배수 방향, 유량 및 유속 중 적어도 하나를 지시하는 인디케이터를 갖는 인디케이터 어셈블리가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 사이트 글라스.
It is installed in a drain line or a supply line of a semiconductor facility,
A pipe-shaped main pipe; And
And a flange provided at both ends of the main pipe,
Wherein an indicator assembly having an indicator for indicating at least one of a drain direction, a flow rate, and a flow rate of a liquid flowing through the drain line or the supply line is installed in the main tube.
제1항에 있어서,
상기 메인관의 외부에는 유량 눈금표지 및 유속 눈금표지 중 적어도 하나가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 사이트 글라스.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of a flow rate scale mark and a flow rate scale mark is formed outside the main pipe.
제1항에 있어서,
상기 인디케이터는 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 사이트 글라스.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of the indicators are provided.
제1항에 있어서,
상기 인디케이터 어셈블리는,
상기 메인관의 내측벽에 형성된 결합홈에 결합되는 결합축;
상기 결합축에 인접 배치되는 베어링;
상기 베어링과 결합되어 회전되는 막대 형상의 회전로드;
상기 회전로드에 결합되어 상기 액의 흐름에 의해 이동되는 판상의 작동 블레이드; 및
상기 작동 블레이드의 적어도 한 부분에 결합되어 일 방향을 지시하는 인디케이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비용 사이트 글라스.The method according to claim 1,
The indicator assembly includes:
A coupling shaft coupled to a coupling groove formed in an inner wall of the main tube;
A bearing disposed adjacent to the engagement shaft;
A rod-shaped rotary rod rotated in association with the bearing;
A plate-shaped operating blade coupled to the rotating rod and moved by the flow of the liquid; And
And an indicator coupled to at least one portion of the operating blade to indicate one direction.
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