KR20160050168A - 일체형 영상기반 자동 표면검사장치 - Google Patents

일체형 영상기반 자동 표면검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 관한 것으로서, 하우징과, 카메라와, 광학계와, 제1조명부와, 제어유닛을 포함한다. 카메라는 하우징 내부에 설치되고, 검사대상물을 촬영한다. 광학계는 하우징의 일측에 설치되고, 검사대상물의 이미지를 카메라에 결상시킨다. 제1조명부는 광학계의 측부에 설치되고, 검사대상물을 향해 조명광을 조사한다. 제어유닛은 하우징 내부에 설치되고, 카메라로부터 전달받은 검사대상물의 이미지 데이터를 처리하며, 저장된 결함 검출 알고리즘을 이용하여 이미지 데이터를 기반으로 검사대상물에 부착된 결함을 검출한다. 카메라와 제어유닛은 하우징 내부에 설치되고, 광학계와 제1조명부는 하우징의 일측에 설치되어, 카메라, 제어유닛, 광학계 및 제1조명부가 일체로 구성된다.

Description

일체형 영상기반 자동 표면검사장치{All-In-One Automatic Vision-Based Surface Inspection System}
본 발명은 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 결함 검출 알고리즘을 수행하는 프로세서가 있는 컴퓨터를 보드 형식으로 소형화하고 이를 카메라와 직접 연결하여 하나의 모듈로 구성한 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 관한 것이다.
최근 휴대전화, TV 등 다양한 디스플레이 제품은 양호한 품질의 영상을 제공하기 위해 이들에 적용되는 디스플레이 패널은 대형화되고 있는 추세이다. 이와 같은 디스플레이 패널은 제조 공정 또는 취급 과정에서 기판 표면에 스크래치, 돌출, 얼룩 등의 결함이 발생할 수 있는데, 작업자의 육안 검사뿐만 아니라 카메라와 광학계를 포함한 자동 표면검사 시스템을 이용한 검사를 통해 기판의 결함을 검사하고 있다.
LCD 패널, OLED 패널 등 디스플레이 패널 시장의 호황에 힘입어 영상을 기반으로 하는 자동 표면검사를 위한 시스템이 활발히 개발되어 왔다. 이러한 자동 표면검사 시스템은 그 효용성을 인정받아 LCD 패널, OLED 패널 생산 공정 및 각종 광학필름 제조 공정에 이미 널리 상용화되었다.
그러나, 일반적으로 이러한 자동 표면검사 시스템은 주문형으로 설계 제작 되므로, 가격이 비싸고, 특히 이미지 센서와 결함 검출 프로세싱 부분이 분리되어 있어 설치와 관리에 많은 비용과 손실이 발생하는 문제가 있다. 따라서 자동 표면검사 시스템의 부피와 가격을 줄이면서 검사 사양은 유지하는 것이 관련업계의 커다란 이슈 중 하나이다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 결함 검출 알고리즘을 수행하는 프로세서가 있는 컴퓨터를 보드 형식으로 소형화하고 이를 카메라의 이미지 센서와 직접 연결하여, 이미지 센서와 이미지 프로세서를 하나의 일체형 모듈로 구성함으로써, 장치의 단가를 줄이고 자동 표면검사 시스템의 보급화를 실현할 수 있는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치는, 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되고, 검사대상물을 촬영하는 카메라; 상기 하우징의 일측에 설치되고, 검사대상물의 이미지를 상기 카메라에 결상시키는 광학계; 상기 광학계의 측부에 설치되고, 검사대상물을 향해 조명광을 조사하는 제1조명부; 및 상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 카메라로부터 전달받은 검사대상물의 이미지 데이터를 처리하며, 저장된 결함 검출 알고리즘을 이용하여 상기 이미지 데이터를 기반으로 검사대상물에 부착된 결함을 검출하는 제어유닛;을 포함하며, 상기 카메라와 상기 제어유닛은 상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 광학계와 상기 제1조명부는 상기 하우징의 일측에 설치되어, 상기 카메라, 상기 제어유닛, 상기 광학계 및 상기 제1조명부가 일체로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 있어서, 상기 제어유닛은, 상기 카메라로부터 검사대상물의 이미지 데이터를 전달받아 상기 이미지 데이터를 처리하는 제1보드; 및 상기 결함 검출 알고리즘이 저장되어 있고, 상기 제1보드에서 처리된 이미지 데이터를 기반으로 상기 결함 검출 알고리즘을 이용하여 검사대상물에 부착된 결함을 검출하는 제2보드를 포함하며, 상기 제1보드와 상기 제2보드는 상기 하우징 내부에서 적층 구조로 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 있어서, 상기 결함 검출 알고리즘은, 검사대상물에 분포된 결함 후보의 명도 및 상기 결함 후보 이외의 영역인 배경의 명도의 차이, 상기 결함 후보의 픽셀 크기를 이용하여, 상기 결함 후보가 진짜 결함인지 아니면 무시할 수 있는 가짜 결함인지 여부를 판별하는 얼룩 검출 인덱스를 포함하며, 상기 얼룩 검출 인덱스의 수치가 미리 정해진 기준 수치보다 높은 결함 후보를 진짜 결함으로 판별할 수 있다.
본 발명에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 있어서, 상기 하우징은, 상기 하우징의 양측면에 설치되고, 상기 제어유닛에서 발생하는 열을 외부로 방출하기 위한 방열판을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 있어서, 상기 카메라로부터 이격되게 배치되고, 상기 제1조명부에서 조사되어 검사대상물을 투과한 조명광 또는 상기 제1조명부에서 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 조명광을 상기 카메라로 재귀반사시키는 재귀반사체; 상기 카메라로부터 이격되게 배치되고, 서로 교차되는 복수의 조명광을 검사대상물을 향해 조사하는 제2조명부; 및 상기 제1조명부와 상기 제2조명부를 교대로 점멸하는 조명 제어부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 따르면, 장치의 단가를 줄이고 자동 표면검사 시스템의 보급화를 실현할 수 있다.
또한 본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 따르면, 결함의 검출 성능 및 속도를 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 따르면, 제어유닛의 오작동을 방지하고, 일체형 장치의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치에 따르면, 다양한 결함에 대한 검사 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 결함을 용이하게 판별할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 하우징 내부를 도시한 도면이고,
도 3은 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 결함 검출 알고리즘을 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 제2조명부의 평면도이고,
도 5는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 카메라로 입사되는 제1조명부 및 제2조명부의 광 분포를 도시한 그래프이다.
이하, 본 발명에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 하우징 내부를 도시한 도면이고, 도 3은 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 결함 검출 알고리즘을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 제2조명부의 평면도이고, 도 5는 도 1의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치의 카메라로 입사되는 제1조명부 및 제2조명부의 광 분포를 도시한 그래프이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치(100)는 결함 검출 알고리즘을 수행하는 프로세서가 있는 컴퓨터를 보드 형식으로 소형화하고 이를 카메라와 직접 연결하여 하나의 모듈로 구성한 것으로서, 하우징(110)과, 카메라(120)와, 광학계(130)와, 제1조명부(140)와, 제어유닛(150)과, 재귀반사체(160)와, 제2조명부(170)를 포함한다.
상기 하우징(110)은 사각 형상의 프레임으로서, 후술할 카메라(120)와, 제어유닛(150)을 수용하기 위한 내부공간이 마련되어 있다.
제어유닛(150)이 하우징(110) 내부에서 작동되므로, 제어유닛(150)으로부터 발생하는 열이 외부로 원활하게 방출되지 못할 경우 제어유닛(150)이 오작동될 수 있는 위험이 있다. 따라서, 제어유닛(150)에서 발생하는 열을 외부로 방출하기 위하여, 하우징(110)의 양측면에는 방열판(111)이 설치된다.
방열판(111)은 하우징(110)의 표면에 접촉되는 플레이트와, 플레이트로부터 외부로 돌출되게 형성되는 다수의 핀 부재로 구성될 수 있다.
상기 카메라(120)는 하우징(110) 내부에 설치되고, 검사대상물(1)을 촬영한다.
카메라(120)에는 검사대상물(1)을 투과한 광 또는 검사대상물(1)에서 반사된 광이 입사되며, 입사되는 광을 이용하여 검사대상물(1)의 표면 또는 내부를 촬영한다. 입사된 광량의 차이로 인한 그레이 레벨(gray-level)의 차이를 이용하여, 획득된 이미지에서 검사대상물(1)의 표면 또는 내부에 존재할 수 있는 결함의 식별이 가능하다.
본 실시예의 카메라(120)로는 라인 카메라(line camera) 또는 에어리어 카메라(area camera) 등 기판의 자동 표면검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.
상기 광학계(130)는 하우징(110)의 일측에 설치되고, 검사대상물(1)의 이미지를 카메라(120)에 결상시킨다. 광학계(130)는 검사대상물(1)의 이미지를 원하는 배율로 조정하기 위하여 다수의 렌즈와, 다수의 렌즈를 수용하는 경통 등으로 구성될 수 있다. 본 실시예의 광학계(130)는 하우징(110)의 외부에 결합되며, 광학계(130)의 광축과 카메라(120)의 광축이 선형으로 연결되도록 설치된다.
상기 제1조명부(140)는 광학계(130)의 측부에 설치되고, 검사대상물(1)을 향해 조명광(L1)을 조사한다.
제1조명부(140)는 카메라의 광축과 동일한 방향으로 검사대상물(1)을 향해 조명광(L1)을 조사한다. 제1조명부(140)는 엘이디(LED) 광원을 이용할 수 있으며, 광학계(130)의 측부에 동축적으로 설치되어 카메라의 광축과 제1조명부(140)의 광축은 일치하게 된다.
상기 제어유닛(150)은 카메라(120)로부터 전달받은 검사대상물(1)의 이미지 데이터를 처리하며, 저장된 결함 검출 알고리즘을 이용하여 이미지 데이터를 기반으로 검사대상물(1)에 부착된 결함을 검출한다.
본 실시예의 제어유닛(150)은 제1보드(151), 제2보드(152)로 구성되며, 하우징(110) 내부에서 적층 구조로 배치되는 것을 특징으로 한다.
제1보드(151)는 카메라(120)로부터 검사대상물(1)의 이미지 데이터를 전달받아 이미지 데이터를 처리한다. 하우징(110) 내부에서 카메라(120)의 출력 포트와 제1보드(151)의 입력 포트는 케이블(153)에 의해 연결되어 있으며, 제1보드(151)는 카메라(120)로부터 이미지 데이터를 전달받은 후, FPGA(Field Programmable Gate Array)를 이용하여 이미지 데이터를 처리한다.
제2보드(152)는 결함 검출 알고리즘이 저장되어 있고, 제1보드(151)에서 처리된 이미지 데이터를 기반으로 결함 검출 알고리즘을 이용하여 검사대상물(1)에 부착된 결함을 검출한다. 이미지 데이터에 포함된 여러 결함 후보를 결함 검출 알고리즘을 이용하여 분석하여, 어떤 결함 후보가 제품의 불량을 초래하는 진짜 결함인지 아니면 어떤 결함 후보가 제품의 불량 여부와 관계없고 무시할 수 있는 가짜 결함인지 여부를 판별한다. 본 명세서에서는 진짜 결함이라고 판별되기 전, 이미지 데이터에서 배경(11)과 다른 명도차를 가지는 부분을 "결함 후보"라고 정의한다.
본 실시예의 결함 검출 알고리즘은, 검사대상물(1)에 분포된 결함 후보(D1, D2, D3)의 명도 및 결함 후보(D1, D2, D3) 이외의 영역인 배경(11)의 명도의 차이, 결함 후보(D1, D2, D3)의 픽셀 크기를 이용하여 아래 수학식 1과 같은 얼룩 검출 인덱스(Semu)를 포함한다. 얼룩 검출 인덱스(Semu)를 통해 결함 후보(D1, D2, D3)가 진짜 결함인지 아니면 무시할 수 있는 가짜 결함인지 여부를 판별할 수 있다.
[수학식 1]
Figure pat00001
여기서, IM은 결함 후보(D1, D2, D3)의 명도이고, IB는 결함 후보 이외의 영역인 배경(11)의 명도이며, S는 이미지 데이터 상에서 결함 후보(D1, D2, D3)의 픽셀 크기이다.
예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 이미지 데이터에는 배경(11)과, 여러 결함 후보(D1, D2, D3)가 포함될 수 있다. 이미지 데이터로부터 각각의 결함 후보(D1, D2, D3)의 명도(그레이 레벨)와, 픽셀의 크기를 추출하면, 위의 식을 통해 각 결함 후보(D1, D2, D3)의 얼룩 검출 인덱스(Semu)를 산출할 수 있다.
얼룩 검출 인덱스(Semu)를 산출한 결과, 제1결함 후보(D1)는 0.47, 제2결함 후보(D2)는 9.09, 제3결함 후보(D3)는 0.37의 얼룩 검출 인덱스(Semu) 수치를 가질 수 있다. 얼룩 검출 인덱스(Semu) 수치가 크다는 것은 배경(11)과의 명도차가 큰 것을 의미하고, 이러한 결함 후보(D2)는 검사대상물(1)에서 제거할 수 없는 진짜 얼룩성 결함을 의미할 수 있다. 반면에 얼룩 검출 인덱스(Semu) 수치가 작다는 것은 배경(11)과의 명도차가 작은 것을 의미하고, 이러한 결함 후보(D1, D3)은 가짜 결함을 의미할 수 있다.
따라서, 미리 기준 수치(예를 들어, 2 또는 3)를 정하고, 그 기준 수치보다 높은 얼룩 검출 인덱스(Semu) 수치를 가지는 결함 후보(D2)를 진짜 결함으로 판별하고, 그 기준 수치보다 낮은 얼룩 검출 인덱스(Semu) 수치를 가지는 결함 후보(D1, D3)는 결함으로 판별하지 않을 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일체형 영상기반 자동 표면검사장치(100)는, 결함 검출 알고리즘이 저장된 제어유닛(150)과 카메라(120)가 하우징(110) 내부에 설치되고, 광학계(130)와 제1조명부(140)는 하우징의 일측에 설치됨으로써, 카메라(120), 제어유닛(150), 광학계(130) 및 제1조명부(140)가 일체로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 재귀반사체(160)는 제1조명부(140)에서 조사되어 검사대상물(1)을 투과한 조명광 또는 제1조명부(140)에서 조사되어 검사대상물(1)에 의해 반사된 조명광을 카메라(120)로 재귀반사시킨다. 본 실시예의 재귀반사체(160)는 카메라(120)로부터 이격되게 배치된다.
상기 제2조명부(170)는 서로 교차되는 복수의 조명광을 검사대상물(1)을 향해 조사하며, 카메라(120)로부터 이격되게 배치된다. 제2조명부(170)는 제1조명열(171)과, 제2조명열(172)을 구비한다.
제1조명열(171)은 복수의 광원이 라인 형태로 이격되게 배치되며, 제2조명열(172) 역시 제1조명열(171)과 이웃하여 평행하게 배치되면서 복수의 광원이 라인 형태로 이격되게 배치된다. 제1조명열(171) 및 제2조명열(172)은 각각 복수의 엘이디와, 복수의 콜리메이팅 렌즈를 포함한다. 복수의 엘이디는 검사대상물(1)의 폭 방향을 따라 일렬로 배치되고, 복수의 콜리메이팅 렌즈는 각각의 엘이디 전방에 배치되어 엘이디로부터 조사된 광을 콜리메이팅하여 검사대상물(1) 측으로 전송한다.
도 4를 참조하면, 제1조명열의 광원의 광축(L2)은 복수의 광원이 라인 형태로 배치되는 검사대상물의 이송방향(A1)과 직교하는 광원배치방향(A2)에 대하여 경사지게 배치되어 제1조명열(171)로부터 조사된 광은 광원배치방향(A2)에 대하여 경사진 상태로 검사대상물(1)에 입사된다. 또한, 제2조명열의 광원의 광축(L3) 역시 복수의 광원이 라인 형태로 배치되는 광원배치방향(A2)에 대하여 경사지게 배치되어 제2조명열(172)로부터 조사된 광은 광원배치방향(A2)에 대하여 경사진 상태로 검사대상물(1)에 입사된다. 또한, 제1조명열의 광원의 광축(L2) 및 제2조명열의 광원의 광축(L3)은 광원배치방향(A2)에 대하여 서로 반대 방향으로 경사지게 배치되면서 서로 교차하도록 배치된다.
한편, 도 1을 참조하면, 제1조명열의 광원의 광축(L2)은 제2조명열(172)을 향해 경사지게 배치되고, 제2조명열의 광원의 광축(L3)은 제1조명열(171)을 향해 경사지게 배치된다. 즉, 제1조명열의 광원의 광축(L2) 및 제2조명열의 광원의 광축(L3)은 검사대상물(1)을 향해 모아지도록 배치됨으로써, 제1조명열(171)과 제2조명열(172)로부터 조사된 광은 검사대상물(1)에 수렴되어 입사된다.
조명 제어부(미도시)를 이용하여 제1조명부(140) 및 제2조명부(170)를 교대로 점멸하여 결함의 종류에 맞춰 결함의 검출에 가장 효과적인 광을 선택할 수 있다.
도 5의 (a)를 참조하면, 재귀반사체(160)에 의해 재귀반사되어 카메라(120)에 입사되는 광은 검사대상물(1)의 표면에서 산란되는 현상 없이 카메라의 광축 영역에 광량이 집중되는 모습을 보인다. 돌출 결함, 함몰 결함 등과 같이 제한된 특정 영역에 광량이 집중되어야 하는 결함의 경우 제1조명부(140)의 광에 의해 용이하게 검출될 수 있다.
도 5의 (b)를 참조하면, 제2조명부(170)의 광이 경사지게 조사되어 검사대상물(1)의 표면에서 산란된 후, 다시 카메라의 광축에 대하여 좌우 방향 및 상하 방향으로 경사지게 입사됨으로써, 전체적으로 광량은 떨어지지만, 카메라의 광축 영역에 광량이 집중되는 현상을 피할 수 있고 카메라의 광축과 이격된 거리에 관계없이 전체 영역에서 비교적 균일한 광량이 입사됨을 알 수 있다. 따라서, 방향성을 가지는 결함, 특히 검사대상물의 이송방향(A1)과 평행하게 길게 형성된 결함에 대하여 용이하게 검출할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치는, 결함 검출 알고리즘을 수행하는 프로세서가 있는 컴퓨터를 보드 형식으로 소형화하고 이를 카메라의 이미지 센서와 직접 연결하여, 이미지 센서와 이미지 프로세서를 하나의 일체형 모듈로 구성함으로써, 장치의 단가를 줄이고 자동 표면검사 시스템의 보급화를 실현할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치는, 여러 결함 후보 중 진짜 결함을 판별하는 결함 검출 알고리즘을 얼룩 검출 인덱스를 통해 정량화함으로써, 결함의 검출 성능 및 속도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치는, 제어유닛의 열을 외부로 방출할 수 있는 방열판을 설치함으로써, 제어유닛의 오작동을 방지하고, 일체형 장치의 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 일체형 영상기반 자동 표면검사장치는, 검사대상물에 경사지게 입사되는 교차광 또는 검사대상물에 입사되는 재귀반사광을 선택적으로 이용하여 검사대상물의 결함을 검사함으로써, 다양한 결함에 대한 검사 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 결함을 용이하게 판별할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 일체형 영상기반 자동 표면검사장치
110 : 하우징
120 : 카메라
130 : 광학계
140 : 제1조명부
150 : 제어유닛

Claims (5)

  1. 하우징;
    상기 하우징 내부에 설치되고, 검사대상물을 촬영하는 카메라;
    상기 하우징의 일측에 설치되고, 검사대상물의 이미지를 상기 카메라에 결상시키는 광학계;
    상기 광학계의 측부에 설치되고, 검사대상물을 향해 조명광을 조사하는 제1조명부; 및
    상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 카메라로부터 전달받은 검사대상물의 이미지 데이터를 처리하며, 저장된 결함 검출 알고리즘을 이용하여 상기 이미지 데이터를 기반으로 검사대상물에 부착된 결함을 검출하는 제어유닛;을 포함하며,
    상기 카메라와 상기 제어유닛은 상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 광학계와 상기 제1조명부는 상기 하우징의 일측에 설치되어, 상기 카메라, 상기 제어유닛, 상기 광학계 및 상기 제1조명부가 일체로 구성된 것을 특징으로 하는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어유닛은,
    상기 카메라로부터 검사대상물의 이미지 데이터를 전달받아 상기 이미지 데이터를 처리하는 제1보드; 및
    상기 결함 검출 알고리즘이 저장되어 있고, 상기 제1보드에서 처리된 이미지 데이터를 기반으로 상기 결함 검출 알고리즘을 이용하여 검사대상물에 부착된 결함을 검출하는 제2보드를 포함하며,
    상기 제1보드와 상기 제2보드는 상기 하우징 내부에서 적층 구조로 배치된 것을 특징으로 하는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 결함 검출 알고리즘은,
    검사대상물에 분포된 결함 후보의 명도 및 상기 결함 후보 이외의 영역인 배경의 명도의 차이, 상기 결함 후보의 픽셀 크기를 이용하여, 상기 결함 후보가 진짜 결함인지 아니면 무시할 수 있는 가짜 결함인지 여부를 판별하는 얼룩 검출 인덱스를 포함하며,
    상기 얼룩 검출 인덱스의 수치가 미리 정해진 기준 수치보다 높은 결함 후보를 진짜 결함으로 판별하는 것을 특징으로 하는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은, 상기 하우징의 양측면에 설치되고, 상기 제어유닛에서 발생하는 열을 외부로 방출하기 위한 방열판을 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 카메라로부터 이격되게 배치되고, 상기 제1조명부에서 조사되어 검사대상물을 투과한 조명광 또는 상기 제1조명부에서 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 조명광을 상기 카메라로 재귀반사시키는 재귀반사체;
    상기 카메라로부터 이격되게 배치되고, 서로 교차되는 복수의 조명광을 검사대상물을 향해 조사하는 제2조명부; 및
    상기 제1조명부와 상기 제2조명부를 교대로 점멸하는 조명 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 영상기반 자동 표면검사장치.
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