KR20160024153A - Paste composition for solar cell electrode and solar cell - Google Patents

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Abstract

A paste composition for a solar cell electrode used in a solar cell electrode according to an embodiment of the present invention comprises a thallium compound. The paste composition for a solar cell electrode can comprise thallium oxide. The paste composition according to the embodiment smoothens a fire-through process by lead oxide, and maintains excellent contact properties of the electrode and a semiconductor substrate or a conductive area.

Description

태양 전지 전극용 페이스트 조성물 및 태양 전지{PASTE COMPOSITION FOR SOLAR CELL ELECTRODE AND SOLAR CELL}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a paste composition for a solar cell electrode,

본 발명은 태양 전지 전극용 페이스트 조성물 및 태양 전지에 관한 것이다. The present invention relates to a paste composition for a solar cell electrode and a solar cell.

최근 석유나 석탄과 같은 기존 에너지 자원의 고갈이 예상되면서 이들을 대체할 대체 에너지에 대한 관심이 높아지고 있다. 그 중에서도 태양 전지는 태양광 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 차세대 전지로서 각광받고 있다. With the recent depletion of existing energy sources such as oil and coal, interest in alternative energy to replace them is increasing. Among them, solar cells are attracting attention as a next-generation battery that converts solar energy into electric energy.

이러한 태양 전지에서는 다양한 층 및 전극을 설계에 따라 형성하는 것에 의하여 제조될 수 있다. 그런데 이러한 다양한 층 및 전극의 설계에 따라 태양 전지 효율이 결정될 수 있다. 태양 전지의 상용화를 위해서는 낮은 효율을 극복하여야 하는바, 다양한 층, 전극 등의 특성을 향상하여 태양 전지의 효율을 최대화하는 것이 요구된다. In such solar cells, various layers and electrodes can be fabricated by design. However, solar cell efficiency can be determined by the design of these various layers and electrodes. In order to commercialize the solar cell, it is required to overcome the low efficiency and to improve the characteristics of various layers and electrodes to maximize the efficiency of the solar cell.

여기서, 태양 전지의 전극을 형성하기 위한 태양 전지 전극용 페이스트 조성물의 조성에 따라 전극의 다양한 특성, 제조 비용 등이 달라지게 된다. 이에 따라 전극의 특성을 우수하게 할 수 있는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물을 개발하는 것이 요구된다. Here, various characteristics of the electrode, manufacturing cost, and the like depend on the composition of the paste composition for the solar cell electrode for forming the electrode of the solar cell. Accordingly, it is required to develop a paste composition for a solar cell electrode that can improve the characteristics of an electrode.

본 발명은 전극의 특성을 향상할 수 있는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물을 제공하고자 한다. The present invention provides a paste composition for a solar cell electrode capable of improving the characteristics of an electrode.

또한, 본 발명은 우수한 특성을 가지는 전극을 구비하는 태양 전지를 제공하고자 한다. The present invention also provides a solar cell having an electrode having excellent characteristics.

본 발명의 실시예에 따른 태양 전지 전극에 사용되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물은, 탈륨 화합물을 포함한다. 이때, 상기 태양 전지 전극용 페이스트 조성물이 탈륨 산화물을 포함할 수 있다. The paste composition for a solar cell electrode used in a solar cell electrode according to an embodiment of the present invention includes a thallium compound. At this time, the paste composition for a solar cell electrode may contain thallium oxide.

본 발명의 실시예에 따른 태양 전지는, 광전 변환부; 및 상기 광전 변환부에 연결되는 전극을 포함하고, 상기 전극은 납 및 탈륨을 포함한다. A solar cell according to an embodiment of the present invention includes a photoelectric conversion unit; And an electrode connected to the photoelectric conversion unit, wherein the electrode includes lead and thallium.

본 실시예에 따른 페이스트 조성물은, 납 산화물에 의하여 파이어 스루가 원활하게 이루어지도록 하고 전극과 반도체 기판 또는 도전형 영역의 컨택 특성을 우수한 수준으로 유지할 수 있다. 그리고 탈륨 화합물(특히, 탈륨 산화물)을 포함하여 납 산화물의 함량을 줄이면서도 유리 프릿의 유리 전이 온도를 낮출 수 있고 낮은 온도에서의 유리 안정성을 향상할 수 있다. 이에 의하여 낮은 온도에서 소성이 이루어지는 경우에도 균일하고 우수하게 전극과 반도체 기판 또는 도전형 영역의 컨택 특성을 구현할 수 있다. The paste composition according to the present embodiment can smooth the piercing through the lead oxide and keep the contact characteristics between the electrode and the semiconductor substrate or the conductive type region at a good level. The glass transition temperature of the glass frit can be lowered and the glass stability at low temperature can be improved while reducing the content of lead oxide including thallium compounds (particularly, thallium oxide). Thus, even when the firing is performed at a low temperature, the contact characteristics between the electrode and the semiconductor substrate or the conductive type region can be realized uniformly and excellently.

이러한 페이스트 조성물은 태양 전지의 전극에 적용되어 전극의 컨택 특성 등을 향상할 수 있다. 특히 소성 온도가 낮은 n형의 베이스 영역과 p형의 에미터 영역을 구비하는 태양 전지에서 에미터 영역에 연결되는 전면 전극으로 이용되면, 낮은 온도에서 유리 안정화 효과를 최대화할 수 있어 페이스트 조성물에 의한 효과를 극대화할 수 있다. Such a paste composition can be applied to electrodes of solar cells to improve contact properties of electrodes and the like. Particularly, when a solar cell having an n-type base region and a p-type emitter region having a low firing temperature is used as a front electrode connected to the emitter region, the glass stabilization effect can be maximized at a low temperature, The effect can be maximized.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지를 도시한 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a solar cell according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 변형될 수 있음은 물론이다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it is needless to say that the present invention is not limited to these embodiments and can be modified into various forms.

도면에서는 본 발명을 명확하고 간략하게 설명하기 위하여 설명과 관계 없는 부분의 도시를 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 극히 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 참조부호를 사용한다. 그리고 도면에서는 설명을 좀더 명확하게 하기 위하여 두께, 넓이 등을 확대 또는 축소하여 도시하였는바, 본 발명의 두께, 넓이 등은 도면에 도시된 바에 한정되지 않는다. In the drawings, the same reference numerals are used for the same or similar parts throughout the specification. In the drawings, the thickness, the width, and the like are enlarged or reduced in order to make the description more clear, and the thickness, width, etc. of the present invention are not limited to those shown in the drawings.

그리고 명세서 전체에서 어떠한 부분이 다른 부분을 "포함"한다고 할 때, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 부분을 배제하는 것이 아니며 다른 부분을 더 포함할 수 있다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 위치하는 경우도 포함한다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 위치하지 않는 것을 의미한다. Wherever certain parts of the specification are referred to as "comprising ", the description does not exclude other parts and may include other parts, unless specifically stated otherwise. Also, when a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it also includes the case where another portion is located in the middle as well as the other portion. When a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "directly on" another portion, it means that no other portion is located in the middle.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지 전극용 페이스트 조성물, 그리고 이를 사용하여 제조된 태양 전지를 상세하게 설명한다. 먼저, 태양 전지의 일 예를 설명한 후에 이의 제조에 사용되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물을 좀더 상세하게 설명한다. Hereinafter, a paste composition for a solar cell electrode according to an embodiment of the present invention and a solar cell manufactured using the paste composition will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, an example of a solar cell will be described, and then a paste composition for a solar cell electrode used in the production thereof will be described in more detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 태양 전지를 도시한 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a solar cell according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 태양 전지(150)는, 기판(일례로, 반도체 기판)(이하 "반도체 기판")(110)과, 반도체 기판(110)에 형성되는 도전형 영역(20, 30)과, 도전형 영역(20, 30)에 전기적으로 연결되는 전극(24, 34)을 포함할 수 있다. 도전형 영역(20, 30)은 에미터 영역(20)과 후면 전계 영역(30)을 포함할 수 있고, 전극(24, 34)은 에미터 영역(20)에 전기적으로 연결되는 제1 전극(24)과 후면 전계 영역(30)에 전기적으로 연결되는 제2 전극(34)을 포함할 수 있다. 이와 함께 태양 전지(150)는 반사 방지막(22), 패시베이션막(32) 등을 더 포함할 수 있다. 그리고 전극(24, 34) 상에는 다른 태양 전지(150)와의 연결을 위한 리본(도시하지 않음)이 위치할 수 있다. 이를 좀더 상세하게 설명한다. 1, a solar cell 150 according to the present embodiment includes a substrate 110 (e.g., a semiconductor substrate) 110 (hereinafter, referred to as a " semiconductor substrate " 20 and 30 and electrodes 24 and 34 electrically connected to the conductive regions 20 and 30. The conductive type regions 20 and 30 may include an emitter region 20 and a rear electric field region 30 and the electrodes 24 and 34 may include a first electrode electrically connected to the emitter region 20 24 and a second electrode 34 electrically connected to the rear electric field area 30. In addition, the solar cell 150 may further include an antireflection film 22, a passivation film 32, and the like. A ribbon (not shown) for connection with another solar cell 150 may be disposed on the electrodes 24 and 34. This will be explained in more detail.

반도체 기판(110)은 결정질 반도체로 구성될 수 있다. 일 예로, 반도체 기판(110)은 단결정 또는 다결정 반도체(일 예로, 단결정 또는 다결정 실리콘)로 구성될 수 있다. 특히, 반도체 기판(110)은 단결정 반도체(예를 들어, 단결정 반도체 웨이퍼, 좀더 구체적으로는, 단결정 실리콘 웨이퍼)로 구성될 수 있다. 이와 같이 반도체 기판(110)이 단결정 반도체(예를 들어, 단결정 실리콘)로 구성되면, 태양 전지(150)가 단결정 반도체 태양 전지(예를 들어, 단결정 실리콘 태양 전지)를 구성하게 된다. 이와 같이 결정성이 높아 결함이 적은 결정질 반도체로 구성되는 반도체 기판(110)을 기반으로 하는 태양 전지(150)는 우수한 전기적 특성을 가질 수 있다. The semiconductor substrate 110 may be formed of a crystalline semiconductor. In one example, the semiconductor substrate 110 may be composed of a single crystal or polycrystalline semiconductor (e.g., single crystal or polycrystalline silicon). In particular, the semiconductor substrate 110 may be composed of a single crystal semiconductor (for example, a single crystal semiconductor wafer, more specifically, a single crystal silicon wafer). Thus, when the semiconductor substrate 110 is made of a single crystal semiconductor (for example, a single crystal silicon), the solar cell 150 constitutes a single crystal semiconductor solar cell (for example, a single crystal silicon solar cell). The solar cell 150 based on the semiconductor substrate 110 made of a crystalline semiconductor having a high crystallinity and having few defects can have excellent electrical characteristics.

반도체 기판(110)의 전면 및/또는 후면은 텍스쳐링(texturing)되어 요철을 가질 수 있다. 요철은, 일 예로, 반도체 기판(110)의 (111)면으로 구성되며 불규칙한 크기를 가지는 피라미드 형상을 가질 수 있다. 이와 같은 텍스쳐링에 의해 반도체 기판(110)의 전면 등에 요철이 형성되어 표면 거칠기가 증가되면, 반도체 기판(110)의 전면 등을 통하여 입사되는 광의 반사율을 낮출 수 있다. 따라서 베이스 영역(10)과 에미터 영역(20)에 의하여 형성된 pn 접합까지 도달하는 광량을 증가시킬 수 있어, 광 손실을 최소화할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 반도체 기판(110)의 전면 및 후면에 텍스쳐링에 의한 요철이 형성되지 않는 것도 가능하다. The front surface and / or the rear surface of the semiconductor substrate 110 may be textured to have irregularities. The irregularities may be, for example, a (111) plane of the semiconductor substrate 110 and may have a pyramid shape having an irregular size. If the surface roughness of the semiconductor substrate 110 is increased due to such irregularities formed on the front surface of the semiconductor substrate 110, the reflectance of light incident through the front surface of the semiconductor substrate 110 can be reduced. Accordingly, the amount of light reaching the pn junction formed by the base region 10 and the emitter region 20 can be increased, thereby minimizing the optical loss. However, the present invention is not limited thereto, and it is also possible that the irregularities due to texturing are not formed on the front surface and the rear surface of the semiconductor substrate 110.

반도체 기판(110)은 제2 도전형 도펀트를 상대적으로 낮은 도핑 농도로 포함하여 제2 도전형을 가지는 베이스 영역(10)을 포함할 수 있다. 일 예로, 베이스 영역(10)은 에미터 영역(20)보다 반도체 기판(110)의 전면으로부터 좀더 멀리, 또는 후면에 좀더 가까이 위치할 수 있다. 그리고 베이스 영역(10)은 후면 전계 영역(30)보다 반도체 기판(110)의 전면에 좀더 가까이, 후면으로부터 좀더 멀리 위치할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스 영역(10)의 위치가 달라질 수 있음은 물론이다. The semiconductor substrate 110 may include a base region 10 having a second conductivity type including a second conductivity type dopant at a relatively low doping concentration. For example, the base region 10 may be located farther from the front surface of the semiconductor substrate 110 than the emitter region 20, or closer to the rear surface. And the base region 10 may be closer to the front surface of the semiconductor substrate 110 than to the rear surface region 30 and further away from the rear surface. However, the present invention is not limited thereto, and it goes without saying that the position of the base region 10 can be changed.

여기서, 베이스 영역(10)은 제2 도전형 도펀트를 포함하는 결정질 반도체로 구성될 수 있다. 일 예로, 베이스 영역(10)은 제2 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 또는 다결정 반도체(일 예로, 단결정 또는 다결정 실리콘)로 구성될 수 있다. 특히, 베이스 영역(10)은 제2 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 반도체(예를 들어, 단결정 반도체 웨이퍼, 좀더 구체적으로는, 단결정 실리콘 웨이퍼)로 구성될 수 있다. Here, the base region 10 may be formed of a crystalline semiconductor containing a second conductive dopant. In one example, the base region 10 may be composed of a single crystal or a polycrystalline semiconductor (for example, single crystal or polycrystalline silicon) including a second conductive type dopant. In particular, the base region 10 may be comprised of a single crystal semiconductor (e.g., a single crystal semiconductor wafer, more specifically a single crystal silicon wafer) comprising a second conductive dopant.

제2 도전형은 n형 또는 p형일 수 있다. 베이스 영역(10)이 n형을 가지는 경우에는 베이스 영역(10)이 5족 원소인 인(P), 비소(As), 비스무스(Bi), 안티몬(Sb) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 베이스 영역(10)이 p형을 가지는 경우에는 베이스 영역(10)이 3족 원소인 보론(B), 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 일 예로, 본 실시예에서 베이스 영역(10)은 n형을 가질 수 있다.The second conductivity type may be n-type or p-type. When the base region 10 has an n type, the base region 10 is formed of a single crystal or polycrystalline semiconductor doped with a Group 5 element (P), arsenic (As), bismuth (Bi), antimony (Sb) Lt; / RTI > When the base region 10 has a p-type, the base region 10 is formed of a single crystal or polycrystalline semiconductor doped with boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga) Lt; / RTI > As an example, the base region 10 in this embodiment may have an n-type.

그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스 영역(10) 및 제2 도전형 도펀트가 다양한 물질로 구성될 수 있다. However, the present invention is not limited thereto, and the base region 10 and the second conductive dopant may be composed of various materials.

일 예로, 베이스 영역(10)은 n형일 수 있다. 그러면, 베이스 영역(10)과 pn 접합을 이루는 에미터 영역(20)이 p형을 가지게 된다. 이러한 pn 접합에 광이 조사되면 광전 효과에 의해 생성된 전자가 반도체 기판(110)의 제2 면(이하 "후면") 쪽으로 이동하여 제2 전극(34)에 의하여 수집되고, 정공이 반도체 기판(110)의 전면 쪽으로 이동하여 제1 전극(24)에 의하여 수집된다. 이에 의하여 전기 에너지가 발생한다. 그러면, 전자보다 이동 속도가 느린 정공이 반도체 기판(110)의 후면이 아닌 전면으로 이동하여 변환 효율이 향상될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스 영역(10) 및 후면 전계 영역(30)이 p형을 가지고 에미터 영역(20)이 n형을 가지는 것도 가능하다. As an example, the base region 10 may be n-type. Then, the emitter region 20 forming the pn junction with the base region 10 has a p-type. When the pn junction is irradiated with light, electrons generated by the photoelectric effect move toward the second surface (hereinafter referred to as "back surface") of the semiconductor substrate 110 and are collected by the second electrode 34, 110 and collected by the first electrode 24. Thereby, electric energy is generated. Then, holes having a slower moving speed than electrons may move to the front surface of the semiconductor substrate 110, rather than the rear surface thereof, thereby improving the conversion efficiency. However, the present invention is not limited thereto, and it is also possible that the base region 10 and the rear electric field region 30 have the p-type and the emitter region 20 has the n-type.

반도체 기판(110)의 전면 쪽에는 베이스 영역(10)과 반대되는 제1 도전형을 가지는 에미터 영역(20)이 형성될 수 있다. 에미터 영역(20)은 베이스 영역(10)과 pn 접합을 형성하여 광전 변환에 의하여 캐리어를 생성하는 에미터 영역을 구성한다. An emitter region 20 having a first conductivity type opposite to the base region 10 may be formed on the front surface of the semiconductor substrate 110. The emitter region 20 forms a pn junction with the base region 10 to form an emitter region for generating carriers by photoelectric conversion.

본 실시예에서는 에미터 영역(20)이 반도체 기판(110)의 일부를 구성하는 도핑 영역으로 구성될 수 있다. 이에 의하여 에미터 영역(20)이 제1 도전형 도펀트를 포함하는 결정질 반도체로 구성될 수 있다. 일 예로, 에미터 영역(20)이 제1 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 또는 다결정 반도체(일 예로, 단결정 또는 다결정 실리콘)로 구성될 수 있다. 특히, 에미터 영역(20)은 제1 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 반도체(예를 들어, 단결정 반도체 웨이퍼, 좀더 구체적으로는, 단결정 실리콘 웨이퍼)로 구성될 수 있다. 이와 같이 에미터 영역(20)이 반도체 기판(110)의 일부를 구성하면 베이스 영역(10)과의 접합 특성을 향상할 수 있다. In this embodiment, the emitter region 20 may be formed as a doped region constituting a part of the semiconductor substrate 110. Accordingly, the emitter region 20 may be formed of a crystalline semiconductor including a first conductive type dopant. In one example, the emitter region 20 may be comprised of a single crystal or polycrystalline semiconductor (e.g., single crystal or polycrystalline silicon) comprising a first conductivity type dopant. In particular, the emitter region 20 may be comprised of a single crystal semiconductor (e.g., a single crystal semiconductor wafer, more specifically a single crystal silicon wafer) comprising a first conductivity type dopant. When the emitter region 20 is formed as a part of the semiconductor substrate 110 in this way, the junction characteristics with the base region 10 can be improved.

그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 에미터 영역(20)이 반도체 기판(110)의 위에서 반도체 기판(110)과 별개로 형성될 수 있다. 이 경우에 에미터 영역(20)은 반도체 기판(110) 위에 쉽게 형성될 수 있도록 반도체 기판(110)과 다른 결정 구조를 가지는 반도체층으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 에미터 영역(20)은 증착 등의 다양한 방법에 의하여 쉽게 제조될 수 있는 비정질 반도체, 미세 결정 반도체, 또는 다결정 반도체(일 예로, 비정질 실리콘, 미세 결정 실리콘, 또는 다결정 실리콘) 등에 제1 도전형 도펀트를 도핑하여 형성될 수 있다. 그 외의 다양한 변형이 가능하다. However, the present invention is not limited thereto, and the emitter region 20 may be formed separately from the semiconductor substrate 110 on the semiconductor substrate 110. In this case, the emitter region 20 may be formed of a semiconductor layer having a crystal structure different from that of the semiconductor substrate 110 so that the emitter region 20 can be easily formed on the semiconductor substrate 110. For example, the emitter region 20 may be formed of an amorphous semiconductor, a microcrystalline semiconductor, or a polycrystalline semiconductor (for example, amorphous silicon, microcrystalline silicon, or polycrystalline silicon) 1 < / RTI > conductivity type dopant. Various other variations are possible.

제1 도전형은 p형 또는 n형일 수 있다. 에미터 영역(20)이 p형을 가지는 경우에는 에미터 영역(20)이 3족 원소인 보론(B), 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 에미터 영역(20)이 n형을 가지는 경우에는 에미터 영역(20)이 5족 원소인 인(P), 비소(As), 비스무스(Bi), 안티몬(Sb) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 물질이 제1 도전형 도펀트로 사용될 수 있다. The first conductivity type may be p-type or n-type. When the emitter region 20 has a p-type, the emitter region 20 is formed of a single crystal or polycrystalline material doped with boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga) May be made of semiconductors. When the emitter region 20 has an n-type, the emitter region 20 is formed of a single crystal or polycrystalline (P) doped with a Group 5 element such as P, As, bismuth, or antimony May be made of semiconductors. However, the present invention is not limited thereto, and various materials may be used as the first conductivity type dopant.

도면에서는 에미터 영역(20)이 전체적으로 균일한 도핑 농도를 가지는 균일한 구조(homogeneous structure)를 가지는 것을 예시하였다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 다른 실시예로, 에미터 영역(20)이 선택적 구조(selective structure)를 가질 수 있다. 선택적 구조에서는 에미터 영역(20) 중에서 제1 전극(24)과 인접한 부분에서 높은 도핑 농도, 큰 정션 깊이 및 낮은 저항을 가지며, 그 외의 부분에서 낮은 도핑 농도, 작은 정션 깊이 및 높은 저항을 가질 수 있다. 에미터 영역(20)의 구조로는 이 외에도 다양한 구조가 적용될 수 있다. The figure illustrates that the emitter region 20 has a homogeneous structure with a uniformly uniform doping concentration. However, the present invention is not limited thereto. Thus, in another embodiment, the emitter region 20 may have a selective structure. The selective structure has a high doping concentration, a large junction depth, and a low resistance in the portion of the emitter region 20 adjacent to the first electrode 24, and a low doping concentration, a small junction depth, and a high resistance have. As the structure of the emitter region 20, various other structures may be applied.

반도체 기판(110)의 후면 쪽에는 베이스 영역(10)과 동일한 제2 도전형을 가지되, 베이스 영역(10)보다 높은 도핑 농도로 제2 도전형 도펀트를 포함하는 후면 전계 영역(30)이 형성될 수 있다. 후면 전계 영역(30)은 후면 전계(back surface field)를 형성하여 반도체 기판(110)의 표면(좀더 정확하게는, 반도체 기판(110)의 후면)에서 재결합에 의하여 캐리어가 손실되는 것을 방지하는 후면 전계 영역을 구성한다. A rear electric field region 30 having a second conductive type identical to that of the base region 10 and including a second conductive dopant at a higher doping concentration than the base region 10 is formed on the rear surface side of the semiconductor substrate 110 . The back electric field region 30 forms a back surface field to prevent a carrier from being lost by recombination on the surface of the semiconductor substrate 110 (more precisely, the rear surface of the semiconductor substrate 110) .

본 실시예에서는 후면 전계 영역(30)이 반도체 기판(110)의 일부를 구성하는 도핑 영역으로 구성될 수 있다. 이에 의하여 후면 전계 영역(30)이 제2 도전형 도펀트를 포함하는 결정질 반도체로 구성될 수 있다. 일 예로, 후면 전계 영역(30)이 제2 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 또는 다결정 반도체(일 예로, 단결정 또는 다결정 실리콘)로 구성될 수 있다. 특히, 후면 전계 영역(30)은 제2 도전형 도펀트를 포함하는 단결정 반도체(예를 들어, 단결정 반도체 웨이퍼, 좀더 구체적으로는, 단결정 실리콘 웨이퍼)로 구성될 수 있다. 이와 같이 후면 전계 영역(30)이 반도체 기판(110)의 일부를 구성하면 베이스 영역(10)과의 접합 특성을 향상할 수 있다. In this embodiment, the rear electric field region 30 may be a doped region constituting a part of the semiconductor substrate 110. Accordingly, the rear electric field region 30 may be formed of a crystalline semiconductor including a second conductive dopant. In one example, the back electric field region 30 may be composed of a single crystal or polycrystalline semiconductor (for example, single crystal or polycrystalline silicon) including a second conductive type dopant. In particular, the back electric field region 30 may be composed of a single crystal semiconductor (for example, a single crystal semiconductor wafer, more specifically, a single crystal silicon wafer) including a second conductive type dopant. When the rear electric field area 30 is formed as a part of the semiconductor substrate 110 in this way, the junction characteristics with the base area 10 can be improved.

그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 후면 전계 영역(30)이 반도체 기판(110)의 위에서 반도체 기판(110)과 별개로 형성될 수 있다. 이 경우에 후면 전계 영역(30)은 반도체 기판(110) 위에 쉽게 형성될 수 있도록 반도체 기판(110)과 다른 결정 구조를 가지는 반도체층으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 후면 전계 영역(30)은 증착 등의 다양한 방법에 의하여 쉽게 제조될 수 있는 비정질 반도체, 미세 결정 반도체, 또는 다결정 반도체(일 예로, 비정질 실리콘, 미세 결정 실리콘, 또는 다결정 실리콘) 등에 제2 도전형 도펀트를 도핑하여 형성될 수 있다. 그 외의 다양한 변형이 가능하다. However, the present invention is not limited thereto, and the rear electric field region 30 may be formed separately from the semiconductor substrate 110 on the semiconductor substrate 110. In this case, the rear electric field region 30 may be formed of a semiconductor layer having a crystal structure different from that of the semiconductor substrate 110 so that the rear electric field region 30 can be easily formed on the semiconductor substrate 110. For example, the rear electric field region 30 may be formed of an amorphous semiconductor, a microcrystalline semiconductor, or a polycrystalline semiconductor (for example, amorphous silicon, microcrystalline silicon, or polycrystalline silicon) 2 conductivity type dopant. Various other variations are possible.

제2 도전형은 n형 또는 p형일 수 있다. 후면 전계 영역(30)이 n형을 가지는 경우에는 후면 전계 영역(30)이 5족 원소인 인(P), 비소(As), 비스무스(Bi), 안티몬(Sb) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 후면 전계 영역(30)이 p형을 가지는 경우에는 후면 전계 영역(30)이 3족 원소인 보론(B), 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In) 등이 도핑된 단결정 또는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 물질이 제2 도전형 도펀트로 사용될 수 있다. 그리고 후면 전계 영역(30)의 제2 도전형 도펀트는 베이스 영역(10)의 제2 도전형 도펀트와 동일한 물질일 수도 있고, 이와 다른 물질일 수도 있다. The second conductivity type may be n-type or p-type. When the rear electric field area 30 has an n-type, the rear electric field area 30 is formed of a single crystal or polycrystal (P) doped with Group 5 elements such as arsenic (As), bismuth (Bi), antimony (Sb) May be made of semiconductors. When the back electric field region 30 has a p-type, the back electric field region 30 is formed of a single crystal or polycrystal, such as boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga) May be made of semiconductors. However, the present invention is not limited thereto, and various materials may be used as the second conductivity type dopant. The second conductive dopant in the rear electric field region 30 may be the same as or different from the second conductive dopant in the base region 10.

본 실시예에서 후면 전계 영역(30)이 전체적으로 균일한 도핑 농도를 가지는 균일한 구조(homogeneous structure)를 가지는 것을 예시하였다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 다른 실시예로, 후면 전계 영역(30)이 선택적 구조(selective structure)를 가질 수 있다. 선택적 구조에서는 후면 전계 영역(30) 중에서 제2 전극(34)과 인접한 부분에서 높은 도핑 농도, 큰 정션 깊이 및 낮은 저항을 가지며, 그 외의 부분에서 낮은 도핑 농도, 작은 정션 깊이 및 높은 저항을 가질 수 있다. 또 다른 실시예로, 후면 전계 영역(30)이 국부적 구조(local structure)를 가질 수 있다. 국부적 구조에서는 후면 전계 영역(30)이 제2 전극(34)이 형성된 부분에 대응하여 국부적으로 형성될 수 있다. 후면 전계 영역(30)의 구조로는 이 외에도 다양한 구조가 적용될 수 있다. In the present embodiment, the back electric field region 30 has a homogeneous structure having a uniform doping concentration as a whole. However, the present invention is not limited thereto. Thus, in another embodiment, the rear field regions 30 may have a selective structure. In the selective structure, it is possible to have a high doping concentration, a large junction depth, and a low resistance in a portion adjacent to the second electrode 34 in the rear electric field area 30 and a low doping concentration, a small junction depth, have. In yet another embodiment, the back electric field region 30 may have a local structure. In the local structure, the rear electric field area 30 may be formed locally corresponding to the portion where the second electrode 34 is formed. Various other structures may be applied to the structure of the rear electric field area 30.

반도체 기판(110)의 전면 위에, 좀더 정확하게는, 반도체 기판(110)에 또는 이 위에 형성된 에미터 영역(20) 위에 반사 방지막(22)이 형성되고, 제1 전극(24)이 패시베이션막(22)을 관통하여(즉, 개구부를 통하여) 에미터 영역(20)에 접촉하여 형성된다. The antireflection film 22 is formed on the front surface of the semiconductor substrate 110 and more precisely on the emitter region 20 formed on or in the semiconductor substrate 110. The first electrode 24 is formed on the passivation film 22 (That is, through the opening) to the emitter region 20.

반사 방지막(22)은 제1 전극(24)에 대응하는 개구부를 제외하고 실질적으로 반도체 기판(110)의 전면 전체에 형성될 수 있다. The antireflection film 22 may be formed substantially entirely on the entire surface of the semiconductor substrate 110 except for the opening corresponding to the first electrode 24.

반사 방지막(22)은 에미터 영역(20)에 접촉하여 형성되어 에미터 영역(20)의 표면 또는 벌크 내에 존재하는 결함을 부동화 시킨다. 이에 의하여 소수 캐리어의 재결합 사이트를 제거하여 태양 전지(150)의 개방 전압(Voc)을 증가시킬 수 있다. 또한, 반사 방지막(22)은 반도체 기판(110)의 전면으로 입사되는 광의 반사율을 감소시킨다. 이에 의하여 반도체 기판(110)의 전면을 통해 입사되는 광의 반사율이 낮추는 것에 의하여 베이스 영역(10)과 에미터 영역(20)에 의하여 형성된 pn 접합까지 도달되는 광량을 증가시킬 수 있다. 이에 따라 태양 전지(150)의 단락 전류(Isc)를 증가시킬 수 있다. 이와 같이 반사 방지막(22)에 의해 태양 전지(150)의 개방 전압과 단락 전류를 증가시켜 태양 전지(150)의 효율을 향상할 수 있다.The antireflective film 22 is formed in contact with the emitter region 20 to passivate defects present in the surface or bulk of the emitter region 20. Accordingly, it is possible to increase the open-circuit voltage (Voc) of the solar cell 150 by removing recombination sites of the minority carriers. Also, the anti-reflection film 22 reduces the reflectance of light incident on the front surface of the semiconductor substrate 110. Accordingly, the amount of light reaching the pn junction formed by the base region 10 and the emitter region 20 can be increased by lowering the reflectance of light incident through the entire surface of the semiconductor substrate 110. Accordingly, the short circuit current Isc of the solar cell 150 can be increased. As described above, the efficiency of the solar cell 150 can be improved by increasing the open-circuit voltage and the short-circuit current of the solar cell 150 with the anti-reflection film 22.

반사 방지막(22)은 다양한 물질로 형성될 수 있다. 일례로, 반사 방지막(22)은 실리콘 질화막, 수소를 포함한 실리콘 질화막, 실리콘 산화막, 실리콘 산화 질화막, 알루미늄 산화막, MgF2, ZnS, TiO2 및 CeO2로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 단일막 또는 2개 이상의 막이 조합된 다층막 구조를 가질 수 있다. 일 예로, 반사 방지막(22)은 실리콘 질화물을 포함할 수 있다. The antireflection film 22 may be formed of various materials. For example, the antireflection film 22 may be a single film selected from the group consisting of a silicon nitride film, a silicon nitride film including hydrogen, a silicon oxide film, a silicon oxynitride film, an aluminum oxide film, MgF 2 , ZnS, TiO 2 and CeO 2 , Layer structure having a combination of at least two layers. In one example, the antireflection film 22 may comprise silicon nitride.

그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 반사 방지막(22)이 다양한 물질을 포함할 수 있음은 물론이다. 그리고 반사 방지막(22) 이외의 다양한 막이 반도체 기판(110) 위에 형성될 수도 있다. 그 외에도 다양한 변형이 가능하다. However, the present invention is not limited thereto, and it goes without saying that the anti-reflection film 22 may include various materials. Various films other than the antireflection film 22 may be formed on the semiconductor substrate 110. Other variations are possible.

제1 전극(24)은 반사 방지막(22)에 형성된 개구부를 통하여(즉, 반사 방지막(22)을 관통하여) 에미터 영역(20)에 전기적으로 연결된다. 이러한 제1 전극(24)은 다양한 물질에 의하여 다양한 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 일례로, 제2 전극(24)은 서로 평행하게 형성되는 복수의 핑거 전극과, 이들을 연결하는 버스바 전극을 포함할 수 있다. The first electrode 24 is electrically connected to the emitter region 20 through an opening formed in the antireflection film 22 (i.e., through the antireflection film 22). The first electrode 24 may be formed to have various shapes by various materials. For example, the second electrode 24 may include a plurality of finger electrodes formed in parallel with each other, and a bus bar electrode connecting the finger electrodes.

반도체 기판(110)의 후면에는 패시베이션막(32)과 제2 전극(34)이 형성될 수 있다. 본 실시예에 따른 태양 전지(150)가 베이스 영역(10)이 n형을 가져 제2 전극(34)이 제1 전극(24)과 유사한 형상을 가지는 것을 예시하였다. 즉, 제2 전극(34)이 복수의 핑거 전극과 이들을 연결하는 버스바 전극을 가지는 등과 같이 소정의 패턴을 가지면서 형성될 수 있다. 이에 의하여 태양 전지(150)가 후면을 통하여 입사한 빛을 함께 사용할 수 있는 양면 수광형(bi-facial) 태양 전지 구조를 가질 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 전극(34)이 제1 전극(24)과 다른 형상을 가지는 것도 가능하다. A passivation film 32 and a second electrode 34 may be formed on the rear surface of the semiconductor substrate 110. The solar cell 150 according to this embodiment has an n-type base region 10 and the second electrode 34 has a shape similar to that of the first electrode 24. That is, the second electrode 34 may have a predetermined pattern, such as having a plurality of finger electrodes and a bus bar electrode connecting them. Accordingly, the solar cell 150 may have a bi-facial solar cell structure in which the light incident through the rear surface can be used together. However, the present invention is not limited thereto, and it is also possible that the second electrode 34 has a shape different from that of the first electrode 24.

패시베이션막(32)은 제2 전극(34)이 형성된 부분을 제외하고 실질적으로 반도체 기판(110)의 후면 전체에 형성될 수 있다. 이러한 패시베이션막(32)은 반도체 기판(110)의 후면에 존재하는 결함을 부동화하여 소수 캐리어의 재결합 사이트를 제거할 수 있다. 이에 의하여 태양 전지(150)의 개방 전압을 증가시킬 수 있다.The passivation film 32 may be formed substantially on the entire rear surface of the semiconductor substrate 110 except for the portion where the second electrode 34 is formed. This passivation film 32 can pass the defects present on the back surface of the semiconductor substrate 110 to remove recombination sites of the minority carriers. Thus, the open-circuit voltage of the solar cell 150 can be increased.

일례로, 패시베이션막(32)은 실리콘 질화막, 수소를 포함한 실리콘 질화막, 실리콘 산화막, 실리콘 산화 질화막, MgF2, ZnS, TiO2 및 CeO2로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 단일막 또는 2개 이상의 막이 조합된 다층막 구조를 가질 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 패시베이션막(32)이 다양한 물질을 포함할 수 있음은 물론이다. For example, the passivation film 32 may be formed of any one single film selected from the group consisting of a silicon nitride film, a silicon nitride film including hydrogen, a silicon oxide film, a silicon oxynitride film, MgF 2 , ZnS, TiO 2 and CeO 2 , And may have a combined multilayer structure. However, the present invention is not limited thereto, and it goes without saying that the passivation film 32 may include various materials.

제2 전극(34)은 패시베이션막(32)에 형성된 개구부를 통하여(즉, 패시베이션막(32)을 관통하여) 후면 전계 영역(30)에 전기적으로 연결된다. 이러한 제2 전극(34)은 다양한 물질로 구성되며 다양한 형상을 가질 수 있다. The second electrode 34 is electrically connected to the rear field region 30 through an opening formed in the passivation film 32 (i.e., through the passivation film 32). The second electrode 34 is made of various materials and may have various shapes.

이때, 제1 및 제2 전극(24, 34)은 일 예로 전도성 물질을 포함하는 페이스트 조성물을 도포한 후에 소성하여 형성될 수 있다. 특히, 반도체 기판(110)의 전면(前面)에 위치하는 전면 전극인 제1 전극(24)은 후술할 본 실시예에 따른 페이스트 조성물을 이용한 파이어 스루(fire-through) 공정에 의하여 형성될 수 있다. 파이어 스루라 함은, 도전형 영역(일 예로, 에미터 영역(20)) 위에 위치한 절연막(일 예로, 반사 방지막(22)) 위에 페이스트 조성물을 도포하고, 열처리에 의하여 페이스트 조성물을 소성하면 페이스트 조성물이 소성되면서 절연막을 에칭하여 절연막을 관통하여 도전형 영역에 연결되는 공정을 말한다. At this time, the first and second electrodes 24 and 34 may be formed, for example, by applying a paste composition containing a conductive material, followed by firing. In particular, the first electrode 24, which is a front electrode positioned on the front surface of the semiconductor substrate 110, may be formed by a fire-through process using a paste composition according to the present embodiment . The term "fire through" refers to a phenomenon that when the paste composition is applied onto an insulating film (for example, the antireflection film 22) located on a conductive type region (for example, the emitter region 20) and baked by heat treatment, Is etched to etch the insulating film to penetrate the insulating film and connect to the conductive type region.

본 실시예에 따른 페이스트 조성물을 이용하여 제조된 제1 전극(24)은 납과 탈륨을 포함할 수 있다. 납은 납 산화물 형태로 유리 프릿으로 포함되어 제1 전극(24)의 파이어 스루를 돕는 역할을 하며, 탈륨은 탈륨 화합물 형태로 유리 프릿 또는 별개로 포함되어 유리 전이 온도를 낮추고 유리 안정성을 향상하는 역할을 한다. 이에 대해서 좀더 상세하게 설명한다. The first electrode 24 made using the paste composition according to the present embodiment may include lead and thallium. Lead is included as a glass frit in the form of lead oxide to assist in firing through the first electrode 24 and thallium is included in the form of a thallium compound as a glass frit or separately to lower the glass transition temperature and improve glass stability . This will be described in more detail.

이하, 제1 전극(24)에 적용될 수 있는 페이스트 조성물을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the paste composition applicable to the first electrode 24 will be described in detail.

본 실시예에 따른 페이스트 조성물은, 전도성 분말과, 유리 프릿과, 유기 비히클을 포함하고, 기타 첨가제 등을 더 포함할 수 있다. 이때, 페이스트 조성물은 탈륨 화합물을 포함한다. 일 예로, 탈륨 화합물은 탈륨 산화물일 수 있다. 탈륨 화합물 또는 탈륨 산화물은 유리 프릿을 구성하는 다양한 산화물 중에 하나로 포함되거나 유리 프릿과 별개로 단독으로 페이스트 조성물에 포함될 수 있다. 탈륨 또는 탈륨 산화물은 다양한 방법에 의하여 검출될 수 있는데, 일 예로, 유도결합 플라스마 분광계(ICP) 등에 의하여 검출될 수 있다. The paste composition according to this embodiment may further include a conductive powder, a glass frit, an organic vehicle, and other additives. At this time, the paste composition contains a thallium compound. As an example, the thallium compound may be thallium oxide. The thallium compound or thallium oxide may be contained in one of the various oxides constituting the glass frit or contained in the paste composition separately from the glass frit. The thallium or thallium oxide can be detected by various methods, such as, for example, an inductively coupled plasma spectrometer (ICP).

이하에서는 일 실시예로 탈륨이 유리 프릿에 포함되어 페이스트 조성물에 포함된 경우를 상세하게 설명한 후에, 다른 실시예로 유리 프릿과 다른 별개의 물질로 첨가제의 형태로 페이스트 조성물에 포함된 경우를 상세하게 설명한다. Hereinafter, a case where thallium is contained in a glass frit and contained in a paste composition will be described in detail below. In another embodiment, a case where thallium is contained in a paste composition in the form of an additive different from glass frit is described in detail Explain.

일 실시예로, 탈륨이 유리 프릿에 포함되어 페이스트 조성물에 포함된 경우에는 페이스트 조성물이 다음과 같다. In one embodiment, when thallium is included in the glass frit and included in the paste composition, the paste composition is as follows.

전도성 분말은 금속, 전도성 고분자 물질 등을 포함할 수 있다. 금속으로는 은, 알루미늄, 금, 구리, 이들 중 하나를 포함하는 합금 등을 사용할 수 있고, 전도성 고분자 물질로는 폴리피롤, 폴리아닐린 등을 사용할 수 있다. 이때, 전도성 분말로는 높은 전기 전도도를 가지며 리본과의 부착 특성이 우수한 은을 사용할 수 있다. The conductive powder may include a metal, a conductive polymer material, and the like. As the metal, silver, aluminum, gold, copper, an alloy including one of them, or the like can be used. As the conductive high molecular material, polypyrrole, polyaniline and the like can be used. At this time, as the conductive powder, silver having high electric conductivity and excellent adhesion property to the ribbon can be used.

본 실시예에서 전도성 분말은 페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여 40 내지 95 중량부만큼 포함될 수 있다. 전도성 분말의 중량부가 40 중량부 미만이면, 페이스트 조성물 내의 전도성 물질의 함량이 적어 전기적 특성이 좋지 않을 수 있다. 전도성 분말의 중량부가 95 중량부를 초과하면, 유리 프릿 및 유기 비히클이 충분하게 포함되지 못하여 전극과 반도체 기판(110)의 부착력이 저하되어 전극의 컨택 저항이 좋지 않을 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 전도성 분말의 중량부는 다양하게 달라질 수 있다. In this embodiment, the conductive powder may be contained in an amount of 40 to 95 parts by weight based on 100 parts by weight of the total paste composition. If the weight ratio of the conductive powder is less than 40 parts by weight, the content of the conductive material in the paste composition may be low and the electrical characteristics may be poor. If the weight of the conductive powder is more than 95 parts by weight, the glass frit and the organic vehicle are not sufficiently contained, so that the adhesion force between the electrode and the semiconductor substrate 110 may be lowered and the contact resistance of the electrode may be poor. However, the present invention is not limited thereto, and the weight of the conductive powder may vary.

이러한 전도성 분말은 구형 또는 비구형(판형, 종형 또는 플레이크형) 등의 다양한 형상을 가질 수 있다. 전도성 분말로는 단일 입자를 사용할 수도 있고, 또는 서로 다른 입경 등을 가지는 입자를 혼합하여 사용할 수도 있다.Such conductive powder may have various shapes such as spherical or non-spherical (plate, vertical or flake). As the conductive powder, single particles may be used, or particles having different particle diameters may be mixed and used.

유리 프릿은 일정한 유리 전이 온도(Tg) 이상에서 유리화되어 전도성 분말의 소결이 이루어지도록 하고 전도성 분말과 반도체 기판(110) 또는 에미터 영역(20)이 양호한 컨택을 이루도록 접착력을 향상시키는 역할을 한다. 또한, 본 실시예에서 유리 프릿은 소성 공정 중에 파이어스루에 의하여 절연막인 반사 방지막(22)을 관통할 수 있도록 한다. The glass frit is vitrified at a certain glass transition temperature (Tg) or higher so that sintering of the conductive powder is performed, and the conductive powder and the semiconductor substrate 110 or the emitter region 20 serve to improve adhesion so as to make good contact. In this embodiment, the glass frit is allowed to pass through the antireflection film 22, which is an insulating film, by a firing process during the firing process.

본 실시예에서 유리 프릿은 납 산화물(예를 들어, PbO)과 탈륨 산화물(예를 들어, Tl2O)를 포함하여, 유리 전이 온도를 효과적으로 낮출 수 있다. In this embodiment, the glass frit includes lead oxide (e.g., PbO) and thallium oxide (e.g., Tl 2 O) to effectively lower the glass transition temperature.

여기서, 납 산화물은 반사 방지막(22)을 식각하여 이를 관통하는 파이어 스루 공정이 쉽게 일어날 수 있도록 하며, 전도성 분말의 소결 특성을 향상하여 반도체 기판(110)과 우수한 컨택 특성을 가지도록 하는 역할을 한다. 그리고 납 산화물은 전도성 분말(일 예로, 은)의 고용도가 높아 소성 후 제1 전극(24)의 전도도를 향상시킬 수 있다. 일 예로, 납 산화물은 비스무스 산화물보다 은의 고용도가 높다. 또한, 유리 프릿의 유리 전이 온도를 저하시킬 수 있다. Here, the lead oxide facilitates the piercing process through the etching of the antireflection film 22, and improves the sintering property of the conductive powder to have excellent contact characteristics with the semiconductor substrate 110 . The lead oxide has a high solubility of the conductive powder (for example, silver) and can improve the conductivity of the first electrode 24 after firing. For example, lead oxide has a higher solubility of silver than bismuth oxide. Further, the glass transition temperature of the glass frit can be lowered.

그리고 탈륨 산화물은 유리 프릿의 유리 전이 온도를 저하시키며 안정적인 유리 상태를 유지할 수 있도록 한다. 이와 같이 유리 전이 온도를 저하시키면 유리 프릿이 소성 시 충분한 유동성을 가질 수 있으므로 반도체 기판(110)과 제1 전극(24)의 컨택이 고르고 균질하게 이루어지도록 할 수 있다. 이때, 납 산화물 또는 비스무스 산화물 등의 경우에는 유리 전이 온도를 낮출 수는 있으나 안정적인 유리 상태를 유지하기에는 어려움이 있으나, 탈륨 산화물은 유리 전이 온도를 낮추면서도 안정적인 유리 상태를 유지할 수 있도록 한다. 이와 같이 탈륨 산화물에 의하여 낮은 온도에서도 안정적인 유리 상태를 구비하게 되면, 안정적인 유리 결정성과 낮은 온도 대비 우수한 유리 형성 능력을 가질 수 있다. 이에 따라 소성 시 안정적인 특성 재현이 가능하여 공정 안정성을 크게 향상할 수 있어, 태양 전지(150)의 제1 전극(24)의 특성을 우수하고 고르게 유지할 수 있도록 한다. 반면, 유리 프릿이 안정적인 유리 상태를 가지지 않으면 결정질과 비정질이 혼재한 상태를 가지게 되므로, 소성 시 유리 프릿이 전도성 분말을 균일하게 소결하지 못하여 태양 전지(150)의 제1 전극(24)의 특성이 저하될 수 있다. The thallium oxide reduces the glass transition temperature of the glass frit and maintains a stable glass state. If the glass transition temperature is lowered as described above, the glass frit can have sufficient fluidity when baked, so that the contact between the semiconductor substrate 110 and the first electrode 24 can be made uniform and homogeneous. At this time, in the case of lead oxide or bismuth oxide, it is possible to lower the glass transition temperature, but it is difficult to maintain a stable glass state, but thallium oxide can maintain a stable glass state while lowering the glass transition temperature. If a stable glass state is provided even at a low temperature by the thallium oxide, stable glass crystallinity and excellent glass forming ability at low temperature can be obtained. Accordingly, it is possible to reproduce characteristics stably during firing, so that the process stability can be greatly improved, and the characteristics of the first electrode 24 of the solar cell 150 can be kept excellent and uniform. On the other hand, if the glass frit does not have a stable glass state, the glass frit can not uniformly sinter the conductive powder at the time of firing, so that the characteristics of the first electrode 24 of the solar cell 150 Can be degraded.

본 발명에서는 탈륨 화합물로 유리 프릿의 유리 안정성을 최대화할 수 있는 탈륨 산화물을 예시하고 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 탈륨 질화물, 탈륨 불화물, 탈륨 탄화물과 같은 다양한 탈륨 화합물이 사용되어 유리 안정성을 향상할 수도 있다. In the present invention, thallium oxide which can maximize the glass stability of the glass frit with a thallium compound is exemplified. However, the present invention is not limited thereto, and various thallium compounds such as thallium nitride, thallium fluoride, and thallium carbide may be used to improve the glass stability.

본 실시예에서와 같이 유리 프릿이 납 산화물과 함께 탈륨 산화물을 포함하면, 납 산화물의 양을 줄이면서도 낮은 온도에서도 안정적인 유리 형성에 의하여 반도체 기판(110)과의 컨택 특성을 향상할 수 있다. If the glass frit contains thallium oxide together with the lead oxide as in the present embodiment, contact properties with the semiconductor substrate 110 can be improved by forming a stable glass even at a low temperature while reducing the amount of lead oxide.

이때, 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 탈륨 산화물이 1 내지 90 mol%로 포함될 수 있다. 탈륨 산화물이 1 mol% 미만이면 탈륨 산화물에 의한 효과가 충분하지 않을 수 있고, 90 mol%를 초과하면 유리화되기 어려울 수 있고 납 산화물의 함량이 충분하지 않아 페이스트 조성물에 의하여 파이어 스루가 충분하게 이루어지지 않을 수 있다. 유리 프릿 내에서 납 산화물의 함량을 확보하기 위하여 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 탈륨 산화물이 1 내지 50 mol%(좀더 구체적으로는, 1 내지 40 mol%)로 포함될 수 있다. 그리고 탈륨 산화물의 효과를 좀더 향상하기 위하여 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 탈륨 산화물이 10 내지 90 mol%(일 예로, 10 내지 50 mol%, 좀더 구체적으로, 10 내지 40mol%)로 포함될 수 있다. At this time, thallium oxide may be contained in an amount of 1 to 90 mol% based on 100 mol% of the entire glass frit. If the amount of the thallium oxide is less than 1 mol%, the effect of the thallium oxide may not be sufficient. If the amount of the thallium oxide exceeds 90 mol%, it may be difficult to be vitrified and the lead oxide content is insufficient, . In order to ensure the content of lead oxide in the glass frit, thallium oxide may be contained in an amount of 1 to 50 mol% (more specifically, 1 to 40 mol%) based on 100 mol% of the entire glass frit. In order to further improve the effect of thallium oxide, thallium oxide may be contained in an amount of 10 to 90 mol% (for example, 10 to 50 mol%, more specifically, 10 to 40 mol%) based on 100 mol% of the entire glass frit.

유리 프릿은 탈륨 산화물 이외에 나머지를 납 산화물로 포함할 수 있다. 일 예로, 유리 프릿 전체 100 mol% 대하여 납 산화물이 10 내지 99 mol%로 포함될 수 있다. 납 산화물이 10 mol% 미만으로 포함되면, 페이스트 조성물이 반사 방지막(22) 등의 절연막을 충분하게 에칭하지 않아 파이어 스루가 원활하게 일어나지 않을 수 있다. 납 산화물이 99 mol%를 초과하여 포함되면, 결정화가 많이 일어나서 유리화가 일어나기 어려울 수 있다. The glass frit may contain, in addition to the thallium oxide, the remainder as lead oxide. As an example, the lead oxide may be contained in an amount of 10 to 99 mol% based on 100 mol% of the entire glass frit. If the lead oxide is contained in an amount of less than 10 mol%, the paste composition does not sufficiently etch the insulating film of the antireflection film 22 or the like, and fire through may not occur smoothly. If the lead oxide is contained in an amount exceeding 99 mol%, crystallization may occur and vitrification may be difficult to occur.

이때, 납 산화물의 함량을 확보하기 위하여 탈륨 산화물의 함량을 조절하는 것에 의하여 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 납 산화물이 10 내지 50 mol% 또는 10 내지 60 mol%로 포함될 수 있다. 이러한 납 산화물의 함량에서 유리 프릿의 결정화가 좀더 안정적으로 이루어질 수 있다. 그리고 탈륨 산화물의 효과를 좀더 향상하기 위하여 탈륨 산화물을 10 mol% 이상 포함하게 되면, 납 산화물이 10 내지 90 mol% (일 예로, 10 내지 50 mol% 또는 10 내지 60mol%)로 포함될 수 있다. 이와 같은 납 산화물의 함량은 탈륨 산화물의 함량을 충분하게 확보하면서도 파이어스루가 안정적으로 일어날 수 있도록 하는 범위로 결정된 것이다. At this time, by controlling the content of thallium oxide in order to secure the content of lead oxide, lead oxide may be contained in an amount of 10 to 50 mol% or 10 to 60 mol% based on 100 mol% of the entire glass frit. The crystallization of the glass frit can be made more stable in the content of lead oxide. In order to further improve the effect of the thallium oxide, the lead oxide may be contained in an amount of 10 to 90 mol% (for example, 10 to 50 mol% or 10 to 60 mol%) if the thallium oxide is contained in an amount of 10 mol% or more. The content of such lead oxide is determined within a range that ensures sufficient content of thallium oxide and stable occurrence of fire through.

특히, 탈륨 산화물의 10 내지 20 mol%로 포함되고, 납 산화물이 80 mol% 내지 60 mol%로 포함되면, 탈륨 산화물에 의한 유리 안정화 효과와 납 산화물에 의한 에칭 효과가 충분하게 발휘되어 제1 전극(24)의 컨택 저항을 최소화할 수 있다. In particular, when the lead oxide is contained in an amount of 10 to 20 mol% of the thallium oxide and the lead oxide is contained in the amount of 80 to 60 mol%, the glass stabilizing effect by the thallium oxide and the etching effect by the lead oxide are sufficiently exhibited, The contact resistance of the contact portion 24 can be minimized.

유리 프릿이 탈륨 산화물과 납 산화물로만 이루어지면 유리 프릿의 조성을 단순화하여 재료 비용을 저감하고 공정을 단순화할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 유리 프릿이 탈륨 산화물 및 납 산화물 이외의 다양한 기타 유리 프릿 물질을 포함할 수 있다. 이 경우에도 납 산화물과 탈륨 산화물이 유리 프릿의 주 성분으로 포함하도록 할 수 있다. 여기서, 주 성분이라 함은 50 mol% 이상으로 포함된 것을 의미한다. 즉, 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 납 산화물과 탈륨 산화물이 50 mol% 이상(일 예로, 50 내지 99 mol%)으로 포함될 수 있고, 기타 유리 프릿 물질이 총 1 내지 50 mol%로 포함될 수 있다. 그러면, 납 산화물과 탈륨 산화물에 의한 효과를 좀더 향상할 수 있고, 기타 유리 프릿 물질에 의한 효과도 충분하게 구현될 수 있다. If the glass frit is made of only thallium oxide and lead oxide, the composition of the glass frit can be simplified to reduce the material cost and simplify the process. However, the present invention is not limited thereto, and the glass frit may include various other glass frit materials other than thallium oxide and lead oxide. In this case also, lead oxide and thallium oxide can be included as main components of the glass frit. Here, the main component means that it is contained in an amount of 50 mol% or more. That is, lead oxides and thallium oxides may be contained in an amount of 50 mol% or more (for example, 50 to 99 mol%) relative to 100 mol% of the entire glass frit, and other glass frit materials may be contained in a total amount of 1 to 50 mol% . Then, the effect of lead oxide and thallium oxide can be further improved, and the effect of other glass frit materials can be sufficiently realized.

기타 유리 프릿 물질로 유리를 형성하는 유리 형성제(glass former)(또는 망목 형성제(network former)), 유리 수식제(glass modifier)(또는 망목 수식제(network modifier)), 중간제 등을 포함할 수 있다. (Or network formers), glass modifiers (or network modifiers), intermediates and the like that form the glass with other glass frit materials can do.

유리 형성제는 유리 또는 망목 구조를 형성하는 역할을 하는 물질로, 예를 들어, 실리콘 산화물(SiO2), 붕소 산화물(B2O3), 인 산화물(P2O5) 등을 들 수 있다. 유리 수식제는 망목 구조를 절단하여 녹는점(연화 온도)를 낮추는 역할을 하는 물질로, 리튬 산화물(Li2O), 나트륨 산화물(Na2O), 칼륨 산화물(K2O) 등을 들 수 있다. 중간제는 유리 수식제에 영향을 받아서 유리 형성제의 역할을 할 수도 있고 유리 수식제의 역할을 할 수 있는 물질로, 아연 산화물(ZnO), 알루미늄 산화물(Al2O3) 등을 들 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 기타 유리 프릿 물질로 다양한 물질이 사용될 수 있다. Examples of the glass forming agent include silicon oxide (SiO 2 ), boron oxide (B 2 O 3 ), phosphorus oxide (P 2 O 5 ), and the like . The glass modifier is a material that cuts the network structure and lowers the melting point (softening temperature), and includes lithium oxide (Li 2 O), sodium oxide (Na 2 O), potassium oxide (K 2 O) have. The intermediate agent may be a glass-forming agent or a glass-forming agent after being influenced by the glass-forming agent. Examples of the intermediate agent include zinc oxide (ZnO) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) . However, the present invention is not limited thereto, and various materials can be used as other glass frit materials.

본 실시예에 따른 유리 프릿의 유리 전이 온도는 200 내지 400℃ 일 수 있다. 유리 프릿의 유리 전이 온도가 200℃ 미만이면, 유리 프릿이 쉽게 결정화되어 유리 상태를 유지하기 어려울 수 있다. 그러면 소성 시 페이스트 조성물 내의 유동성이 저하되면서 제1 전극(24)을 반도체 기판(110) 상에 고르고 균일하게 컨택시키기 어려울 수 있다. 유리 프릿의 유리 전이 온도가 400℃를 초과하면, 유리 프릿의 유동성이 낮아 제1 전극(24)을 반도체 기판(110) 상에 고르고 균일하게 컨택시키기 어려울 수 있다. 특히, 유리 프릿의 유리 전이 온도가 200 내지 300℃ 일 수 있다. 이는 납 산화물의 함량을 종래보다 줄이더라도 탈륨 산화물에 의하여 유리 프릿의 유리 전이 온도를 충분하게 낮출 수 있기 때문이다. 즉, 본 실시예에서는 탈륨 산화물을 포함하여 납 산화물의 함량을 낮춰 유리 불안정성을 줄이면서도 유리 전이 온도를 낮추면서 유리 안정성을 향상할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 유리 프릿의 유리 전이 온도가 다양한 값을 가질 수 있다. The glass transition temperature of the glass frit according to the present embodiment may be 200 to 400 캜. If the glass transition temperature of the glass frit is less than 200 占 폚, the glass frit may easily crystallize and it may be difficult to maintain the glass state. This may reduce the fluidity in the paste composition during firing, making it difficult to evenly and uniformly contact the first electrode 24 on the semiconductor substrate 110. If the glass transition temperature of the glass frit exceeds 400 캜, the flowability of the glass frit is low and it may be difficult to evenly and uniformly contact the first electrode 24 on the semiconductor substrate 110. In particular, the glass transition temperature of the glass frit may be 200 to 300 캜. This is because the glass transition temperature of the glass frit can be sufficiently lowered by the thallium oxide even if the content of the lead oxide is reduced. That is, in this embodiment, the content of lead oxide including thallium oxide can be lowered to reduce the glass instability, while the glass transition temperature can be lowered and the glass stability can be improved. However, the present invention is not limited thereto, and the glass transition temperature of the glass frit may have various values.

상술한 유리 프릿은 유리 프릿을 구성하는 물질(예를 들어, 납 산화물, 탈륨 산화물, 및/또는 기타 유리 프릿 물질 등)의 분말을 혼합한 후에 용융한 다음 이를 일정한 형태를 가지는 상태로 냉각한 후에 분쇄하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 유리 프릿을 구성하는 물질의 분말을 혼합한 후에 1000 내지 1300℃의 온도에서 용융한 다음 방울 형태로 떨어뜨린 후에 두 개의 롤 사이를 통과하도록 하여 판상 형태의 유리 프릿을 제조한 다음, 이를 분쇄할 수 있다.The above-described glass frit is obtained by mixing powders of a material (for example, lead oxide, thallium oxide, and / or other glass frit material) constituting the glass frit, melting the glass frit, cooling it to a predetermined shape Followed by pulverization. For example, after the powder of the material constituting the glass frit is mixed, the glass frit is melted at a temperature of 1000 to 1300 DEG C, dropped in a droplet form, and passed between two rolls to prepare a glass frit in the form of a plate, It can be pulverized.

이렇게 제조된 유리 프릿은 3um 이하(예를 들어, 0.5um 내지 3um)의 중심 입경(D50)을 가질 수 있고, 일 예로, 0.5um 내지 2um(좀더 구체적으로는 0.5um 내지 1.7um)의 중심 입경을 가질 수 있다. 중심 입경이 0.5um 미만인 유리 프릿은 제조가 어려울 수 있으나, 제조 상의 어려움이 없다면 0.5um 미만의 유리 프릿을 사용할 수도 있다. 유리 프릿의 중심 입경이 3um를 초과하면, 유리 프릿의 최대 입경이 커지게 되어 소성 시 쉽게 유리화되지 않아 유동성이 좋지 않을 수 있다. 유리 프릿 및 이를 포함하는 페이스트 조성물이 좀더 우수한 특성을 가질 수 있도록, 유리 프릿의 중심 입경을 2um 이하, 좀더 구체적으로는, 1.7um 이하로 할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능하다. The glass frit thus produced may have a median particle diameter (D 50 ) of less than or equal to 3 um (e.g., 0.5 um to 3 um), and in one example, a center of 0.5 um to 2 um (more specifically, 0.5 um to 1.7 um) Particle size. Glass frit having a center particle diameter of less than 0.5 탆 may be difficult to manufacture, but a glass frit of less than 0.5 탆 may be used if there is no manufacturing difficulty. If the center diameter of the glass frit exceeds 3 탆, the maximum particle diameter of the glass frit becomes large, so that the glass frit can not be easily vitrified during firing, resulting in poor fluidity. The center diameter of the glass frit can be set to 2 탆 or less, more specifically, 1.7 탆 or less so that the glass frit and the paste composition containing the glass frit can have better properties. However, the present invention is not limited thereto and various modifications are possible.

유리 프릿은 페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여 0.1 내지 10 중량부만큼 포함될 수 있다. 유리 프릿은 0.1 내지 10 중량부의 범위 내에서 접착력, 소결성 및 태양 전지(150)의 후가공 공정 특성을 향상할 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 유리 프릿의 함량이 다양한 값을 가질 수 있다. The glass frit may be contained in an amount of 0.1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the entire paste composition. The glass frit can improve the adhesive strength, sintering property and post-processing process characteristics of the solar cell 150 within the range of 0.1 to 10 parts by weight. However, the present invention is not limited thereto, and the content of the glass frit may have various values.

유기 비히클은 용매에 바인더가 용해된 것일 수 있으며, 소포제, 분산제 등을 더 포함할 수 있다. 용매로는 테르피네올, 카르비톨 등의 유기 용매를 사용할 수 있다. 바인더로는 셀룰로오스 계열의 바인더를 사용할 수 있다. The organic vehicle may be one in which the binder is dissolved in a solvent, and may further contain a defoaming agent, a dispersant, and the like. As the solvent, organic solvents such as terpineol and carbitol can be used. As the binder, a cellulose-based binder may be used.

유기 비히클은 전도성 분말, 유리 프릿 외의 나머지를 구성할 수 있다. 일 예로, 유기 비히클은 페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여 2 내지 60 중량부만큼 포함될 수 있다. 여기서, 유기 비히클이 2 중량 미만으로 포함되면, 전도성 분말의 양이 상대적으로 많아져서 페이스트 조성물의 비용이 증가될 수 있다. 유기 비히클이 60 중량부를 초과하여 포함되면, 제1 전극(24)의 전기 전도도가 낮아질 수 있다. 일 예로, 유기 비히클이 8 내지 30 중량부로 포함될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 유기 비히클의 양은 유리 프릿과 전도성 분말의 양에 따라 달라질 수 있음은 물론이다. The organic vehicle may constitute the remainder of the conductive powder, glass frit. In one example, the organic vehicle may be contained in an amount of 2 to 60 parts by weight based on 100 parts by weight of the whole paste composition. Here, if the organic vehicle is contained in an amount of less than 2 parts by weight, the amount of the conductive powder becomes relatively large, and the cost of the paste composition can be increased. If the organic vehicle contains more than 60 parts by weight, the electrical conductivity of the first electrode 24 may be lowered. As an example, 8 to 30 parts by weight of organic vehicle may be included. However, the present invention is not limited thereto, and it goes without saying that the amount of the organic vehicle may vary depending on the amount of the glass frit and the conductive powder.

그 외에 첨가제로 분산제, 칙소제(thixotropic agent), 레벨링(levelling)제, 소포제 등을 더 포함할 수도 있다. 분산제는 전도성 분말, 유리 프릿 등의 분산 특성을 향상할 수 있는 다양한 물질을 사용할 수 있다. 칙소제는 우레아계, 아마이드계, 우레탄계 등의 고분자/유기물이 사용되거나 무기계의 실리카 등이 사용될 수 있다. 레벨링제, 소포제 등으로는 알려진 다양한 물질을 사용할 수 있다. 이러한 첨가제는 총 0.1 내지 5 중량부만큼 포함될 수 있다. 첨가제가 총 0.1 중량부 미만으로 포함되면 첨가제에 의한 효과를 충분하게 발휘하기 어려울 수 있고, 5 중량부를 초과하여 포함되면 지나치게 많은 양이 포함되어 전도성 분말의 함량이 줄어들 수 있다. In addition, the additives may further include a dispersing agent, a thixotropic agent, a leveling agent, an antifoaming agent, and the like. As the dispersant, various materials capable of improving the dispersion characteristics of the conductive powder, the glass frit and the like can be used. As the plasticizer, a polymer / organic material such as urea type, amide type or urethane type may be used, or inorganic type silica may be used. Various agents known as leveling agents, defoaming agents, and the like can be used. Such additives may be included in a total amount of 0.1 to 5 parts by weight. If the total amount of the additive is less than 0.1 part by weight, the effect of the additive may not be sufficiently exhibited. If the additive is more than 5 parts by weight, the amount of the conductive powder may be reduced.

그리고 페이스트 조성물은 상술한 전도성 분말, 유리 프릿, 유기 비히클 외에 유리 또는 결정질 무기물을 더 포함할 수 있다. 이러한 유리 또는 결정질 무기물은 페이스트 조성물의 열 특성, 소성 특성, 부착력, 그리고 전도성 분말의 소결 특성, 치밀성 등을 개선하기 위하여 첨가될 수 있다. 일 예로, 유리로는 납 산화물(PbO) 계 유리를 사용할 수 있고, 결정질 무기물로 납 산화물, 붕소 산화물, 아연 산화물 등을 더 포함할 수 있다. 그 외에도 알려진 다양한 물질이 사용될 수 있다. 이러한 별도의 유리 또는 결정질 무기물은 페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여 총 0.01 내지 5 중량부만큼 포함될 수 있다. 중량부가 총 0.01 미만이면 효과가 충분하지 않을 수 있고, 중량부가 총 5를 초과하면 전도성 페이스트을 구성하는 다른 물질의 함량이 줄어 특성이 오히려 저하될 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 별도의 유리 또는 결정질 무기질의 함량은 다양하게 변형될 수 있다. The paste composition may further comprise glass or crystalline inorganic material in addition to the above-described conductive powder, glass frit, and organic vehicle. Such a glass or crystalline inorganic material may be added to improve the thermal characteristics, the baking characteristics, the adhesive force, and the sintering property, the compactness, etc. of the conductive powder of the paste composition. For example, lead oxide (PbO) -based glass may be used as the glass, and lead oxide, boron oxide, zinc oxide, and the like may be further included as the crystalline inorganic material. Various other known materials may be used. Such a separate glass or crystalline inorganic material may be included in an amount of 0.01 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total paste composition. If the weight part is less than 0.01 total, the effect may not be sufficient. If the weight part is more than 5 in total, the content of other materials constituting the conductive paste may be decreased and the characteristics may be lowered. However, the present invention is not limited thereto, and the content of the free glass or crystalline inorganic material may be variously modified.

이와 같은 페이스트 조성물은 다음과 같은 방법에 의해 제조될 수 있다.Such a paste composition can be prepared by the following method.

바인더를 용매에 용해한 후 프리 믹싱(pre-mixing)하여 유기 비히클을 형성한다. 전도성 분말, 유리 프릿 및 첨가제를 유기 비히클에 첨가하여 일정 시간 동안 숙성(aging) 시킨다. 숙성된 혼합물을 3롤밀(3 roll mill) 등을 통해 기계적으로 혼합 및 분산시킨다. 혼합물을 여과 및 탈포하여 페이스트 조성물을 제조한다. 그러나 이러한 방법은 일례로 제시한 것에 불과하며 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. The binder is dissolved in a solvent and then pre-mixed to form an organic vehicle. The conductive powder, glass frit and additives are added to the organic vehicle and aged for a period of time. The aged mixture is mechanically mixed and dispersed through a 3 roll mill or the like. The mixture is filtered and defoamed to prepare a paste composition. However, this method is merely an example, and the present invention is not limited thereto.

이와 같이 제조된 페이스트 조성물을 반도체 기판(110) 위에 다양한 방법(일례로, 스크린 인쇄 등)에 의하여 반사 방지막(22) 위에 도포한 후에 소성하는 것에 의하여 파이어 스루에 의하여 에미터 영역(20)에 연결되는 제1 전극(24)을 형성하게 된다. The paste composition thus prepared is coated on the antireflection film 22 by various methods (for example, screen printing or the like) on the semiconductor substrate 110 and then fired to connect it to the emitter region 20 by the fire- The first electrode 24 is formed.

본 실시예에 따른 페이스트 조성물은 유리 프릿이 납 산화물과 탈륨 산화물을 포함한다. 이에 따라, 납 산화물에 의하여 파이어 스루가 원활하게 이루어질 수 있고 제1 전극(24)과 반도체 기판(110) 또는 에미터 영역(20)의 컨택 특성을 우수한 수준으로 유지할 수 있다. 그리고 탈륨 산화물을 포함하여 납 산화물의 함량을 줄일 수 있고 유리 프릿의 유리 전이 온도를 낮추면서도 낮은 온도에서의 유리 안정성을 향상할 수 있다. 이에 의하여 낮은 온도에서 소성이 이루어지는 경우에도 균일하게 제1 전극(24)과 에미터 영역(20)의 컨택 특성을 구현할 수 있다. The paste composition according to the present embodiment is characterized in that the glass frit contains lead oxide and thallium oxide. As a result, the lead oxide can smoothly fire through, and the contact characteristics between the first electrode 24 and the semiconductor substrate 110 or the emitter region 20 can be maintained at a good level. And the content of lead oxide including thallium oxide can be reduced, and the glass stability at low temperature can be improved while lowering the glass transition temperature of the glass frit. Accordingly, the contact characteristics of the first electrode 24 and the emitter region 20 can be uniformly realized even when the firing is performed at a low temperature.

특히, n형의 베이스 영역(10)과 p형의 에미터 영역(20)을 가지는 경우에는 제1 전극(24)의 소성 온도가 낮을 수 있으므로, 본 실시예에 따른 페이스트 조성물이 p형 에미터 영역(20)에 연결되는 제1 전극(24)으로 사용되면 그 효과가 배가될 수 있다. In particular, when the n-type base region 10 and the p-type emitter region 20 are provided, the firing temperature of the first electrode 24 may be low. Therefore, If the first electrode 24 connected to the region 20 is used, the effect can be doubled.

그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 실시예에 따른 페이스트 조성물이 n형 에미터 영역(20)에 연결되는 제1 전극(24)에 사용될 수 있다. 또한, 상술한 설명 등에서는 본 실시예에 따른 페이스트 조성물이 에미터 영역(20)에 연결되는 제1 전극(24)에 적용되는 것을 예시로 하여 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 실시예에 따른 페이스트 조성물은, 패시베이션막(32)을 에칭하여 파이어스루하는 것에 의하여 후면 전계 영역(30)에 연결되는 제2 전극(34)에 적용될 수도 있고, 그 외의 다양한 변형이 가능하다. However, the present invention is not limited thereto, and the paste composition according to this embodiment can be used for the first electrode 24 connected to the n-type emitter region 20. [ In the above description, the paste composition according to this embodiment is applied to the first electrode 24 connected to the emitter region 20, but the present invention is not limited thereto. Therefore, the paste composition according to the present embodiment may be applied to the second electrode 34 connected to the rear electric field area 30 by etching and pass through the passivation film 32, and various other modifications are possible Do.

다른 실시예로, 탈륨 화합물(특히, 탈륨 산화물)이 유리 프릿과 별개의 첨가제로 포함된 페이스트 조성물을 상세하게 설명한다. In another embodiment, a paste composition comprising a thallium compound (particularly thallium oxide) as a separate additive from glass frit is described in detail.

유리 프릿과 별도의 첨가제로 첨가된 탈륨 화합물을 제외한 다른 물질, 전도성 분말, 유기 비히클, 분산제, 칙소제 등의 첨가제, 그리고 별도로 첨가된 유리 또는 결정질 무기물에 대한 설명은 상술한 실시예에 대한 설명이 그대로 적용될 수 있다. The description of the above-mentioned embodiments is made for the description of additives other than thallium compounds added with glass frit as a separate additive, conductive powder, organic vehicle, additive such as dispersant, shaving agent, etc., and glass or crystalline mineral added separately Can be applied as it is.

본 실시예에서 유리 프릿은 상술한 실시예에서의 유리 프릿과 동일한 조성을 가질 수 있다. 또는, 상술한 실시예와는 다른 알려진 다양한 조성의 유리 프릿이 사용될 수도 있다. 즉, 본 실시예에서 유리 프릿은 특별히 한정되지 않으며 다양한 조성이 포함될 수 있다. In this embodiment, the glass frit may have the same composition as the glass frit in the above embodiment. Alternatively, glass frit of various known compositions different from the above-described embodiment may be used. That is, the glass frit in the present embodiment is not particularly limited and may include various compositions.

탈륨 화합물로는 탈륨 산화물이 적용되어 유리 상태의 안정화 효과를 최대화할 수 있으며, 탈륨 산화물 이외의 다양한 화합물(예를 들어, 탈륨 질화물, 탈륨 불화물, 탈륨 탄화물 등)이 적용될 수 있다. As the thallium compound, thallium oxide may be applied to maximize the stabilizing effect in the free state, and various compounds other than thallium oxide (for example, thallium nitride, thallium fluoride, thallium carbide, etc.) may be applied.

본 실시예에 따른 페이스트 조성물에는 전체 100 중량부에 대하여 탈륨 산화물이 0.01 내지 5 중량부로 포함된다. 이렇게 포함된 탈륨 산화물이 페이스트 조성물 내에서 유리 프릿의 유리 전이 온도를 저하시키고 유리 안정성을 향상시키는 역할을 할 수 있다. 탈륨 산화물이 0.01 중량부 미만이면, 탈륨 산화물에 의한 효과가 충분하지 않을 수 있다. 탈륨 산화물이 5 중량부를 초과하면, 페이스트 조성물의 다른 물질 등의 함량을 줄여 페이스트 조성물 및 이에 의하여 제조된 전극의 특성을 오히려 저하시킬 수 있다.
The paste composition according to this embodiment contains 0.01 to 5 parts by weight of thallium oxide per 100 parts by weight of the total. The thallium oxide thus contained can serve to lower the glass transition temperature of the glass frit in the paste composition and to improve the glass stability. If the thallium oxide is less than 0.01 part by weight, the effect of thallium oxide may not be sufficient. If the amount of the thallium oxide is more than 5 parts by weight, the content of other materials or the like of the paste composition may be reduced to deteriorate the characteristics of the paste composition and the electrode produced thereby.

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것에 불과하며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the present invention is not limited thereto.

실시예Example 1 One

80 mol%의 납 산화물(PbO), 10 mol%의 탈륨 산화물(Tl2O), 5 mol%의 실리콘 산화물(SiO2), 5 mol%의 붕소 산화물(B2O3)을 혼합한 후에 1200℃의 온도에서 용융한 다음 방울 형태로 떨어뜨린 후에 두 개의 롤 사이를 통과하도록 하여 판상 형태로 제조한 다음, 이를 분쇄하여 중심 입경이 1um인 유리 프릿을 제조하였다. After mixing 80 mol% of lead oxide (PbO), 10 mol% of thallium oxide (Tl 2 O), 5 mol% of silicon oxide (SiO 2 ) and 5 mol% of boron oxide (B 2 O 3 ) ° C, dropped into droplets, and passed between two rolls to obtain a plate-like shape, which was then pulverized to prepare a glass frit having a center particle diameter of 1 um.

전체 100 중량부에 대하여, 8 중량부의 부틸 카르비톨(용매)에 0.5 중량부의 에틸 셀룰로오스계 비인더를 용해하여 유기 비히클을 준비하였다. 유기 비히클에 86 중량부의 은 분말(전도성 분말), 3.5 중량부의 상술한 유리 프릿, 2 중량부의 분산제를 첨가한 후 혼합하였다. 이를 12 시간 동안 숙성한 후 3롤 밀을 이용하여 2차로 혼합 및 분산하였다. 이를 여과 및 탈포하여 페이스트 조성물을 제조하였다. An organic vehicle was prepared by dissolving 0.5 parts by weight of ethylcellulose-based binder in 8 parts by weight of butylcarbitol (solvent), based on 100 parts by weight of the whole. To the organic vehicle, 86 parts by weight of silver powder (conductive powder), 3.5 parts by weight of the glass frit and 2 parts by weight of dispersant were added and mixed. This was aged for 12 hours and then mixed and dispersed in a second roll using a three roll mill. This was filtered and defoamed to prepare a paste composition.

실시예Example 2 2

유리 프릿 제조 시 70 mol%의 납 산화물, 20 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물, 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 70 mol% of lead oxide, 20 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide, and 5 mol% of boron oxide were used in the production of glass frit, . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

실시예Example 3 3

유리 프릿 제조 시 60 mol%의 납 산화물, 30 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물, 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 60 mol% of lead oxide, 30 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide, and 5 mol% of boron oxide were used in the production of the glass frit. . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

실시예Example 4 4

유리 프릿 제조 시 50 mol%의 납 산화물, 40 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물, 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. A glass frit was produced in the same manner as in Example 1, except that 50 mol% of lead oxide, 40 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide, and 5 mol% . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

실시예Example 5 5

유리 프릿 제조 시 30 mol%의 납 산화물, 60 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물, 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 30 mol% of lead oxide, 60 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide, and 5 mol% of boron oxide were used in the preparation of the glass frit. . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 1 One

유리 프릿 제조 시 89.5 mol%의 납 산화물, 0.5 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물 및 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 89.5 mol% of lead oxide, 0.5 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide and 5 mol% of boron oxide were used in the production of glass frit, . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 2 2

유리 프릿 제조 시 5 mol%의 납 산화물 및 95 mol%의 탈륨 산화물을 사용하고 실리콘 산화물 및 붕소 산화물을 사용하지 않았다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. A glass frit was prepared in the same manner as in Example 1, except that 5 mol% of lead oxide and 95 mol% of thallium oxide were used in the production of the glass frit and no silicon oxide and boron oxide were used. A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 3 3

유리 프릿 제조 시 80 mol%의 납 산화물, 10 mol%의 탈륨 산화물, 5 mol%의 실리콘 산화물, 5 mol%의 붕소 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 80 mol% of lead oxide, 10 mol% of thallium oxide, 5 mol% of silicon oxide, and 5 mol% of boron oxide were used in the preparation of the glass frit. . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 4 4

유리 프릿 제조 시 89.5 mol%의 납 산화물, 8 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물(Al2O3) 및 0.5 mol%의 구리 산화물(CuO)을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다.Except that 89.5 mol% of lead oxide, 8 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and 0.5 mol% of copper oxide (CuO) were used in the production of glass frit A glass frit was prepared in the same manner as in Example 1. A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 5 5

유리 프릿 제조 시 79.5 mol%의 납 산화물, 18 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물 및 0.5 mol%의 구리 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 79.5 mol% of lead oxide, 18 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide and 0.5 mol% of copper oxide were used in the production of glass frit, . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 6 6

유리 프릿 제조 시 69.5 mol%의 납 산화물, 28 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물 및 0.5 mol%의 구리 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 69.5 mol% of lead oxide, 28 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide and 0.5 mol% of copper oxide were used in the production of the glass frit. . A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 7 7

유리 프릿 제조 시 88.8 mol%의 납 산화물, 8 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물, 0.2 mol%의 구리 산화물 및 1 mol%의 리튬 산화물(Li2O)을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 88.8 mol% of lead oxide, 8 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide, 0.2 mol% of copper oxide and 1 mol% of lithium oxide (Li 2 O) were used in the production of glass frit The glass frit was prepared in the same manner as in Example 1. A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 8 8

유리 프릿 제조 시 88.8 mol%의 납 산화물, 8 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물, 0.2 mol%의 구리 산화물 및 1 mol%의 나트륨 산화물(Na2O)을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다. Except that 88.8 mol% of lead oxide, 8 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide, 0.2 mol% of copper oxide and 1 mol% of sodium oxide (Na 2 O) were used in the production of glass frit The glass frit was prepared in the same manner as in Example 1. A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

비교예Comparative Example 9 9

유리 프릿 제조 시 79.5 mol%의 납 산화물, 10 mol%의 비스무스 산화물, 8 mol%의 실리콘 산화물, 2 mol%의 알루미늄 산화물 및 0.5 mol%의 구리 산화물을 사용하였다는 점을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 유리 프릿을 제조하였다. 이렇게 제조된 유리 프릿을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 의하여 페이스트 조성물을 제조하였다.
Example 1 was repeated except that 79.5 mol% of lead oxide, 10 mol% of bismuth oxide, 8 mol% of silicon oxide, 2 mol% of aluminum oxide and 0.5 mol% of copper oxide were used in the production of glass frit To prepare a glass frit. A paste composition was prepared in the same manner as in Example 1 using the glass frit thus prepared.

실시예 1 내지 5, 그리고 비교예 1 내지 9에 따른 페이스트 조성물을 인쇄에 의하여 반도체 기판 위에 형성된 질화막 위에 도포한 후에 소성하여 유리 프릿 조성물이 질화막을 에칭 특성을 판단하였다. 그리고 실시예 1 내지 5, 그리고 비교예 1 내지 9에 따른 페이스트 조성물을 반도체 기판 위에 도포한 후에 소성하여 형성된 전극과 반도체 기판의 컨택 저항을 측정하였다. 이때, 컨택 저항은 DENKEN 사의 측정기에 의하여 측정되었다.The paste compositions according to Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 9 were applied on a nitride film formed on a semiconductor substrate by printing and then fired to determine the etching characteristics of the nitride film of the glass frit composition. Then, the contact resistances of the electrode and the semiconductor substrate formed by baking the paste composition according to Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 9 on a semiconductor substrate were measured. At this time, the contact resistance was measured by a measuring instrument of DENKEN.

상술한 측정 및 판단의 결과를 표 1에 나타내었다. The results of the above-mentioned measurements and judgments are shown in Table 1.

유리 프릿 조성(mol%)Composition of glass frit (mol%) 에칭 특성Etching characteristics 컨택 저항
[옴]
Contact resistance
[ohm]
비고Remarks
실시예 1Example 1 PbO(80), Tl2O(10),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (80), Tl 2 O (10),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
우수Great 4.14.1
실시예 2Example 2 PbO(70), Tl2O(20),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (70), Tl 2 O (20),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
우수Great 4.44.4
실시예 3Example 3 PbO(60), Tl2O(30),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (60), Tl 2 O (30),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
우수Great 5.15.1
실시예 4Example 4 PbO(50), Tl2O(40),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (50), Tl 2 O (40),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
우수Great 5.85.8
실시예 5Example 5 PbO(30), Tl2O(60),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (30), Tl 2 O (60),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
보통usually 6.0 6.0
비교예 1Comparative Example 1 PbO(99.5), Tl2O(0.5)PbO (99.5), Tl 2 O (0.5) -- -- 결정화
(유리화 어려움)
crystallization
(Difficult to vitrify)
비교예 2Comparative Example 2 PbO(5), Tl2O(95)PbO (5), Tl 2 O (95) 불량
(컨택 불가)
Bad
(Contact not available)
--
비교예 3Comparative Example 3 PbO(79.5), Bi2O3(10),
SiO2(5), B2O3(5)
PbO (79.5), Bi 2 O 3 (10),
SiO 2 (5), B 2 O 3 (5)
우수Great 8.2 8.2
비교예 4Comparative Example 4 PbO(89.5), SiO2(8), Al2O3(2), CuO(0.5) PbO (89.5), SiO 2 ( 8), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5) 우수Great 5.65.6 비교예 5Comparative Example 5 PbO(79.5), SiO2(18), Al2O3(2), CuO(0.5) PbO (79.5), SiO 2 ( 18), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5) 우수Great 7.97.9 비교예 6Comparative Example 6 PbO(69.5), SiO2(28), Al2O3(2), CuO(0.5) PbO (69.5), SiO 2 ( 28), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5) 우수Great 8.38.3 비교예 7Comparative Example 7 PbO(88.8), SiO2(8), Al2O3(2), CuO(0.5), Li2O(1) PbO (88.8), SiO 2 ( 8), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5), Li 2 O (1) 우수Great 6.16.1 비교예 8Comparative Example 8 PbO(88.8), SiO2(8), Al2O3(2), CuO(0.5), Na2O(1) PbO (88.8), SiO 2 ( 8), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5), Na 2 O (1) 우수Great 6.46.4 비교예 9Comparative Example 9 PbO(79.5), Bi2O3(10),
SiO2(8), Al2O3(2), CuO(0.5)
PbO (79.5), Bi 2 O 3 (10),
SiO 2 (8), Al 2 O 3 (2), CuO (0.5)
우수Great 6.36.3

표 1을 참조하면, 실시예 1 내지 5에 따른 유리 프릿은 납 산화물에 의하여 충분하여 질화막을 충분하게 에칭할 수 있다. 이때, 납 산화물 mol%가 상대적으로 적은 실시예 5는 에칭 특성이 보통으로 에칭 특성이 우수한 실시예 1 내지 4에 비하여 에칭 특성이 다소 저하될 수 있다. 따라서 에칭 특성을 고려하면 납 산화물이 50 mol% 이상으로 포함될 수 있고, 공정 마진 등을 고려하여 좀더 안정적인 에칭 특성을 위하여 납 산화물이 60 mol% 이상으로 포함될 수 있다. Referring to Table 1, the glass frit according to Examples 1 to 5 can be sufficiently etched by the lead oxide to sufficiently etch the nitride film. In this case, in Example 5, in which the mol% of lead oxide is relatively small, the etching characteristics may be somewhat lowered than in Examples 1 to 4, in which the etching characteristics are normal and the etching characteristics are excellent. Accordingly, in consideration of the etching characteristics, the lead oxide may be contained in an amount of 50 mol% or more, and the lead oxide may be contained in an amount of 60 mol% or more for more stable etching characteristics in consideration of the process margin and the like.

그리고 실시예 1 내지 5에서는 납 산화물과 탈륨 산화물에 의하여 낮은 유리 전이 온도를 가지면서도 소성 온도에서 충분하게 유리화되어 전극을 반도체 기판 상에 균일하고 우수한 특성을 가지도록 컨택시킬 수 있다. 이때, 탈륨 산화물이 10 mol% 내지 40mol%로 포함된 실시예 1 내지 4에서는 저항 값이 6.0 옴 이하로 낮은 수준을 가질 수 있다. 그 중에서도 탈륨 산화물이 10 mol% 내지 30mol%로 포함된 실시예 1 내지 3에서는 저항 값이 5.1 옴 이하로 낮은 수준을 가지며, 탈륨 산화물이 10 mol% 내지 20mol%로 포함된 실시예 1 및 2에서는 저항 값이 4.1 및 4.4로 매우 낮은 수준을 가짐을 알 수 있다. 이는 탈륨 산화물에 의한 유리 안정화 효과 및 납 산화물에 의한 에칭 효과가 충분히 발휘되었기 때문으로 예상된다. In Examples 1 to 5, the lead oxide and thallium oxide have a low glass transition temperature and are sufficiently vitrified at the firing temperature, so that the electrode can be contacted with a uniform and excellent property on the semiconductor substrate. At this time, in Examples 1 to 4 in which thallium oxide is contained in an amount of 10 mol% to 40 mol%, the resistance value may be as low as 6.0 ohms or less. In particular, in Examples 1 and 3, in which thallium oxide was contained in an amount of 10 mol% to 30 mol%, the resistance value was as low as 5.1 ohm or less, and in Examples 1 and 2 in which thallium oxide was contained in an amount of 10 mol% to 20 mol% It can be seen that the resistance value is very low as 4.1 and 4.4. This is presumably because the glass stabilization effect by the thallium oxide and the etching effect by the lead oxide are sufficiently exhibited.

반면, 납 산화물이 99.5 mol%만큼 포함된 비교예 1에서는 결정화가 많이 일어나서 유리 프릿의 유리화가 어려운 상태이므로 실제로 사용되는 데 어려움이 있다. 납 산화물이 5 mol% 미만으로 포함된 비교예 2에서는 에칭 특성이 매우 불량하여 질화물이 그대로 잔존하여 전극과 반도체 기판의 전기적 연결이 어려운 것을 알 수 있다. On the other hand, in Comparative Example 1 in which lead oxide is contained in an amount of 99.5 mol%, many crystallization occurs and it is difficult to vitrify the glass frit. In Comparative Example 2 in which the lead oxide is contained in an amount of less than 5 mol%, the etching property is very poor, and the nitride remains as it is, and it is found that the electrical connection between the electrode and the semiconductor substrate is difficult.

그리고 탈륨 산화물을 사용하지 않은 비교예 3 내지 9에서는 저항이 실시예 1 내지 5에 비하여 높은 수준임을 알 수 있다. 특히, 실시예 1의 조성에서 탈륨 대신 비스무스 산화물을 사용한 비교예 3은 매우 높은 저항을 가지는 것을 알 수 있다. 이는 비스무스 산화물을 사용하면 유리 전이 온도를 낮출 수는 있으나, 유리 안정성이 저하되어 유리에 의한 은 분말의 소결 특성이 저하되기 때문으로 예상된다. 비교예 4 내지 9는 유리 안정성을 향상하기 위하여 유리 프릿의 조성을 최적화시킨 것으로서, 대체로 비교예 3보다는 낮은 컨택 저항을 가지지만 실시예 1 내지 5에 비해서는 높은 저항을 가지는 것을 알 수 있다.
In Comparative Examples 3 to 9 in which thallium oxide is not used, the resistance is higher than in Examples 1 to 5. In particular, it can be seen that Comparative Example 3 using bismuth oxide instead of thallium in the composition of Example 1 has a very high resistance. It is expected that the use of bismuth oxide can lower the glass transition temperature, but the glass stability is lowered and the sintering property of the silver powder by the glass is lowered. Comparative Examples 4 to 9 were obtained by optimizing the composition of the glass frit in order to improve the glass stability, and generally had a lower contact resistance than Comparative Example 3, but higher resistance than Examples 1 to 5.

실시예Example 6 6

페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여, 8 중량부의 부틸 카르비톨(용매)에 0.5 중량부의 에틸 셀룰로오스계 비인더를 용해하여 유기 비히클을 준비하였다. 유기 비히클에 84 중량부의 은 분말(전도성 분말), 3.5 중량부의 상술한 비교예 7에 따른 유리 프릿, 2 중량부의 분산제, 2 중량부의 탈륨 산화물을 첨가한 후 혼합하는 것에 의하여, 페이스트 조성물을 제조하였다. An organic vehicle was prepared by dissolving 0.5 parts by weight of an ethylcellulose-based binder in 8 parts by weight of butylcarbitol (solvent), based on 100 parts by weight of the entire paste composition. 84 parts by weight of silver powder (conductive powder), 3.5 parts by weight of glass frit according to Comparative Example 7, 2 parts by weight of dispersant, and 2 parts by weight of thallium oxide were added to the organic vehicle and mixed to prepare a paste composition .

비교예Comparative Example 10 10

페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여, 8 중량부의 부틸 카르비톨(용매)에 0.5 중량부의 에틸 셀룰로오스계 비인더를 용해하여 유기 비히클을 준비하였다. 유기 비히클에 85.95 중량부의 은 분말(전도성 분말), 3.5 중량부의 상술한 비교예 7에 따른 유리 프릿, 2 중량부의 분산제, 0.05 중량부의 탈륨 산화물을 첨가한 후 혼합하는 것에 의하여, 페이스트 조성물을 제조하였다. An organic vehicle was prepared by dissolving 0.5 parts by weight of an ethylcellulose-based binder in 8 parts by weight of butylcarbitol (solvent), based on 100 parts by weight of the entire paste composition. To the organic vehicle, a paste composition was prepared by adding 85.95 parts by weight of silver powder (conductive powder), 3.5 parts by weight of glass frit according to Comparative Example 7, 2 parts by weight of dispersant, and 0.05 part by weight of thallium oxide .

비교예Comparative Example 11 11

페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여, 8 중량부의 부틸 카르비톨(용매)에 0.5 중량부의 에틸 셀룰로오스계 비인더를 용해하여 유기 비히클을 준비하였다. 유기 비히클에 76 중량부의 은 분말(전도성 분말), 3.5 중량부의 상술한 비교예 7에 따른 유리 프릿, 2 중량부의 분산제, 10 중량부의 탈륨 산화물을 첨가한 후 혼합하는 것에 의하여, 페이스트 조성물을 제조하였다.
An organic vehicle was prepared by dissolving 0.5 parts by weight of an ethylcellulose-based binder in 8 parts by weight of butylcarbitol (solvent), based on 100 parts by weight of the entire paste composition. To the organic vehicle, a paste composition was prepared by adding 76 parts by weight of silver powder (conductive powder), 3.5 parts by weight of glass frit according to Comparative Example 7, 2 parts by weight of dispersant, and 10 parts by weight of thallium oxide, .

실시예 6, 그리고 비교예 10 및 11에 따른 페이스트 조성물을 반도체 기판 위에 도포한 후에 소성하여 형성된 전극과 반도체 기판의 컨택 저항을 측정하였다. The paste composition according to Example 6 and Comparative Examples 10 and 11 was applied onto a semiconductor substrate and then fired to measure the contact resistance between the electrode and the semiconductor substrate.

상술한 측정 및 판단의 결과를 비교예 7의 결과와 함께 표 2에 나타내었다. The results of the above measurement and judgment are shown in Table 2 together with the results of Comparative Example 7.

에칭 특성Etching characteristics 컨택 저항 [옴]Contact Resistance [ohms] 실시예 6Example 6 우수Great 5.25.2 비교예 7Comparative Example 7 우수Great 6.16.1 비교예 10Comparative Example 10 우수Great 6.06.0 비교예 11Comparative Example 11 우수Great 6.86.8

표 2를 참조하면, 유리 프릿과 별개로 탈륨 산화물을 첨가한 실시예 6은, 유리 프릿과 별개로 탈륨 산화물을 첨가하지 않은 비교예 7보다 낮은 컨택 저항을 가지는 것을 알 수 있다. 이는 페이스트 조성물에 탈륨 산화물을 첨가하는 것에 의하여 유리 프릿의 유리 안정성을 향상하였기 때문으로 예상된다. 다만, 비교예 10과 같이 탈륨 산화물의 양이 너무 작으면 탈륨 산화물에 의한 유리 프릿의 유리 안정성을 향상하는 효과가 거의 나타나지 않는 것을 알 수 있고, 비교예 11과 같이 탈륨 산화물의 양이 너무 많으면 전도성 분말의 함량이 줄어 오히려 저항이 증가될 수 있다. Referring to Table 2, it can be seen that Example 6 in which thallium oxide is added separately from glass frit has lower contact resistance than Comparative Example 7 in which thallium oxide is not added separately from glass frit. This is presumably because glass stability of the glass frit is improved by adding thallium oxide to the paste composition. However, when the amount of thallium oxide is too small as in Comparative Example 10, the effect of improving the glass stability of glass frit due to thallium oxide is hardly observed. When the amount of thallium oxide is too large as in Comparative Example 11, The content of the powder may be reduced and the resistance may be increased.

상술한 바에 따른 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. Features, structures, effects, and the like according to the above-described embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to only one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified in other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

150: 태양 전지
110: 반도체 기판
10: 베이스 영역
20: 에미터 영역
30: 후면 전계 영역
22: 반사 방지막
32: 패시베이션막
24: 제1 전극
34: 제2 전극
150: Solar cell
110: semiconductor substrate
10: Base area
20: Emitter area
30: Rear field area
22: Antireflection film
32: Passivation film
24: first electrode
34: Second electrode

Claims (18)

태양 전지 전극에 사용되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물에 있어서,
탈륨 화합물을 포함하는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
1. A paste composition for a solar cell electrode for use in a solar cell electrode,
A paste composition for a solar cell electrode comprising a thallium compound.
제1항에 있어서,
상기 태양 전지 전극용 페이스트 조성물이 탈륨 산화물을 포함하는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the paste composition for a solar cell electrode comprises a thallium oxide.
제2항에 있어서,
상기 페이스트 조성물이, 전도성 분말, 유리 프릿 및 유기 비히클을 포함하고,
상기 유리 프릿이 납 산화물 및 상기 탈륨 산화물을 포함하는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the paste composition comprises a conductive powder, a glass frit and an organic vehicle,
Wherein the glass frit comprises a lead oxide and the thallium oxide.
제3항에 있어서,
상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 상기 탈륨 산화물이 1 내지 90 mol%로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
The method of claim 3,
Wherein the thallium oxide is contained in an amount of 1 to 90 mol% based on 100 mol% of the total glass frit.
제4항에 있어서,
상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 상기 탈륨 산화물이 1 내지 50 mol%로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
5. The method of claim 4,
Wherein the thallium oxide is contained in an amount of 1 to 50 mol% based on 100 mol% of the total glass frit.
제5항에 있어서,
상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 상기 탈륨 산화물이 10 내지 40 mol%로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
6. The method of claim 5,
Wherein the thallium oxide is contained in an amount of 10 to 40 mol% based on 100 mol% of the entire glass frit.
제3항에 있어서,
상기 유리 프릿이 상기 납 산화물 및 상기 탈륨 산화물로 이루어지고,
상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 상기 탈륨 산화물이 1 내지 90 mol%로 포함되고, 상기 납 산화물이 10 내지 99mol%로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
The method of claim 3,
Wherein the glass frit is made of the lead oxide and the thallium oxide,
Wherein the thallium oxide is contained in an amount of 1 to 90 mol% based on 100 mol% of the entire glass frit, and the lead oxide is contained in an amount of 10 to 99 mol%.
제3항에 있어서,
상기 유리 프릿이 상기 납 산화물 및 상기 탈륨 산화물 이외의 기타 유리 프릿 물질을 더 포함하는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
The method of claim 3,
Wherein the glass frit further comprises a glass frit material other than the lead oxide and the thallium oxide.
제8항에 있어서,
상기 기타 유리 프릿 물질이 실리콘 산화물, 바륨 산화륨, 인 산화물, 리튬 산화물, 나트륨 산화물, 칼륨 산화물, 아연 산화물 및 알루미늄 산화물 중 적어도 하나를 포함하는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
9. The method of claim 8,
Wherein the other glass frit material comprises at least one of silicon oxide, barium oxide, phosphorus oxide, lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide, zinc oxide and aluminum oxide.
제8항에 있어서,
상기 납 산화물과 상기 탈륨 산화물의 합이 상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 50 mol% 이상으로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
9. The method of claim 8,
Wherein the sum of the lead oxide and the thallium oxide is 50 mol% or more based on 100 mol% of the total glass frit.
제8항에 있어서,
상기 유리 프릿 전체 100 mol%에 대하여 상기 기타 유리 프릿 물질이 총 1 내지 50 mol%로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
9. The method of claim 8,
Wherein the total amount of the other glass frit material is from 1 to 50 mol% based on 100 mol% of the total glass frit.
제1항에 있어서,
상기 유리 프릿 조성물의 유리 전이 온도가 200 내지 400℃인 유리 프릿 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the glass frit composition has a glass transition temperature of 200 to 400 占 폚.
제12항에 있어서,
상기 유리 프릿 조성물의 유리 전이 온도가 200 내지 300℃인 유리 프릿 조성물.
13. The method of claim 12,
Wherein the glass frit composition has a glass transition temperature of 200 to 300 占 폚.
제2항에 있어서,
상기 페이스트 조성물이, 전도성 분말, 유리 프릿 및 유기 비히클을 포함하고,
상기 탈륨 산화물이 상기 유리 프릿과 별개로 상기 페이스트 조성물에 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the paste composition comprises a conductive powder, a glass frit and an organic vehicle,
Wherein the thallium oxide is contained in the paste composition separately from the glass frit.
제14항에 있어서,
상기 페이스트 조성물 전체 100 중량부에 대하여 탈륨 산화물이 0.01 내지 5 중량부로 포함되는 태양 전지 전극용 페이스트 조성물.
15. The method of claim 14,
Wherein the paste composition contains 0.01 to 5 parts by weight of thallium oxide per 100 parts by weight of the total paste composition.
광전 변환부; 및
상기 광전 변환부에 연결되는 전극
을 포함하고,
상기 전극은 납 및 탈륨을 포함하는 태양 전지.
A photoelectric conversion unit; And
The electrode connected to the photoelectric conversion unit
/ RTI >
Wherein the electrode comprises lead and thallium.
제16항에 있어서,
상기 광전 변환부는,
반도체 기판; 및
상기 반도체 기판에 형성되는 에미터 영역
을 포함하고,
상기 전극이 상기 에미터 영역에 전기적으로 연결되는 전면 전극인 태양 전지.
17. The method of claim 16,
Wherein the photoelectric conversion unit comprises:
A semiconductor substrate; And
The emitter region formed in the semiconductor substrate
/ RTI >
And the electrode is a front electrode electrically connected to the emitter region.
제17항에 있어서,
상기 에미터 영역이 p형을 가지는 태양 전지.
18. The method of claim 17,
Wherein the emitter region has a p-type.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021080244A1 (en) * 2019-10-24 2021-04-29 주식회사 베이스 Glass frit and solar cell electrode paste composition comprising same
WO2023124495A1 (en) * 2021-12-31 2023-07-06 广东南海启明光大科技有限公司 Glass powder for thick film silver paste adapting to crystalline silicon p+ layer contact and preparation method therefor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009200276A (en) * 2008-02-22 2009-09-03 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Conductive composition for forming electrode, and method of forming solar cell
KR20130107766A (en) 2012-03-23 2013-10-02 (주)창성 Electrode paste for solar cell
KR20140009988A (en) * 2010-10-28 2014-01-23 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 Solar cell metallizations containing metal additive
KR20140069114A (en) * 2011-09-09 2014-06-09 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 Silver solar cell contacts

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009200276A (en) * 2008-02-22 2009-09-03 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd Conductive composition for forming electrode, and method of forming solar cell
KR20140009988A (en) * 2010-10-28 2014-01-23 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 Solar cell metallizations containing metal additive
KR20140069114A (en) * 2011-09-09 2014-06-09 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 Silver solar cell contacts
KR20130107766A (en) 2012-03-23 2013-10-02 (주)창성 Electrode paste for solar cell

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021080244A1 (en) * 2019-10-24 2021-04-29 주식회사 베이스 Glass frit and solar cell electrode paste composition comprising same
CN113348520A (en) * 2019-10-24 2021-09-03 博思有限公司 Glass frit and paste composition for solar cell electrode including the same
WO2023124495A1 (en) * 2021-12-31 2023-07-06 广东南海启明光大科技有限公司 Glass powder for thick film silver paste adapting to crystalline silicon p+ layer contact and preparation method therefor

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