KR20160000057A - quadrature coupler on GaAs substrate and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 IPD(Integrated passive devices) 공정으로 제작되는 GaAs 기판에 형성된 쿼트리쳐 커플러 기술에 관한 것이다The present invention relates to a quaternary coupler technology formed on a GaAs substrate fabricated by an IPD (Integrated Passive Devices) process
커플링(Coupling)은 독립된 공간 또는 선로 간에서 전, 자계적으로 교류 신호 에너지가 상호 전달되는 현상을 의미한다. 커플러(Coupler)는 이러한 커플링의 정도를 인위적으로 조절하는 것으로, 선로의 길이와 간격을 임의로 조절하여 한쪽에 원하는 전력이 전달되도록 하는 장치이다. Coupling refers to a phenomenon in which alternating signal energy is transferred from an independent space or line to the entire system. The coupler artificially controls the degree of such coupling, and it is a device that arbitrarily adjusts the length and spacing of the line to transmit the desired power to one side.
특히 -3dB 쿼트리쳐 커플러는 두 개의 평행한 전송선과 상기 두 전송선 사이의 두 개 이상의 가지전송선으로 구성되며, 상기 전송선은 상기 가지전송선으로 물리적으로 커플링되어 있다. Particularly, the -3 dB quaternary coupler is composed of two parallel transmission lines and two or more transmission lines between the two transmission lines, and the transmission line is physically coupled to the branched transmission line.
두 개의 출력은 각각 반반씩의 power 즉 -3dB 카플러로서 입력전압을 균등하게 나뉜다. 하나의 출력 포트는 다른 출력 포트와 90°상 시프트(shift)를 보여준다. Each of the two outputs is a half-power, or -3dB, coupler, dividing the input voltage equally. One output port shows a 90 ° phase shift with the other output port.
이러한 -3dB 쿼트리쳐 커플러는 주로 무선 통신시스템의 전력 배분 및 증폭 기능으로 사용된다.This -3dB quaternity coupler is mainly used for power distribution and amplification in wireless communication systems.
무선 통신시스템 기술의 발달과 기기의 소형화 다른 기기와의 통합 추세로 인하여 신뢰성이 높고 작은 부피의 무선 통신 부품에 대한 필요성이 증대되고 있다.Development of wireless communication system technology and miniaturization of the device Due to the integration tendency with other devices, there is an increasing need for highly reliable and small-sized wireless communication components.
무선통신부품의 능동 부품들은 대부분 반도체 기술 및 패키지 기술의 발전으로 가격이 저렴하여지고 더욱 소형화되고 있는 추세이다.The active components of wireless communication components are becoming cheaper and more compact due to the development of semiconductor technology and package technology.
또한, 무선 통신 시스템에서 사용되는 커플러 및 방향성 결합기와 같은 수동 소자의 경우 소형화 기술을 적용하여 다른 능동 부품들과 결합되는 one chip으로 적용하는 기술이 연구되고 있다.Also, in the case of a passive element such as a coupler and a directional coupler used in a wireless communication system, a technique of applying the miniaturization technology to one active chip coupled with other active components is being studied.
최근, 무선 통신시스템은 대량의 데이터 통신을 처리하기 위하여 빠른 속도 및 고성능을 요구한다. 고속 통신으로 4G 네트워크를 나타내는 LTE (long-term evolution) 어플리케이션은 이동통신(무선) 시장에서 지배적이다. LTE 동작 주파수 중에서, 824 MHz 내지 915 MHz의 주파수 범위를 갖는 대역 5 및 8은 LTE 어플리케이션을 위하여 가장 인기 있는 주파수 대역이다. Background of the Invention [0002] Recently, wireless communication systems require high speed and high performance in order to handle a large amount of data communication. Long-term evolution (LTE) applications that represent 4G networks with high-speed communications are dominant in the mobile communications (wireless) market. Of the LTE operating frequencies,
이러한 주파수 대역에 적합하고 소형이며 작은 손실 특성을 가지는 결합기가 요구된다.A coupler suitable for such a frequency band and small in size and having a small loss characteristic is required.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 KR 2000-0036223A호(2000.06.26)에 개시되어 있다.
The background art of the present invention is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2000-0036223A (Jun. 26, 2000).
본 발명의 목적은 초소형이며 낮은 손실을 가지는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a GaAs substrate quaternary coupler having a small size and low loss and a method of manufacturing the same.
본 발명의 목적은 격리도가 높으며, 경제적으로 제조할 수 있는 초소형 마이크로 스트립 쿼드러쳐 커플러를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an ultra miniature microstrip quadrature coupler which has a high degree of isolation and can be manufactured economically.
본 발명의 일 측면에 따르면, GaAs 기판의 상부 나선형 패턴 중 최외곽 테두리 라인 일측에 형성되는 제1포트 및 제3 포트; 및 상기 나선형 패턴 중 최내곽 테두리 라인 내부 일측에서 상기 제1, 제3 포트로부터 수평으로 대응되는 지점에 형성되는 제2, 제4 포트; 를 포함하며, 상기 나선형 패턴은 상기 제1, 제3 포트로부터 상기 제2, 제4 포트를 연결하는 사각형상 구조에서 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상 나선 라인이 최 외곽 테두리 라인에서 최 내각 테두리라인 까지 다수의 열로 형성되며, 각 팔각 형상 나선 라인의 각 열마다 라인을 엇갈려서 교차시키는 에어 브릿지가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a GaAs substrate including: a first port and a third port formed on one side of an outermost frame line of an upper spiral pattern of a GaAs substrate; And second and fourth ports formed at positions corresponding horizontally from the first and third ports on one side of the innermost frame line of the helical pattern; Wherein the spiral pattern is formed by cutting a right angle band part at an inclined angle of 120 degrees in a rectangular shape structure connecting the second and fourth ports from the first and third ports to form an octagonal spiral line as a whole, And a plurality of lines extending from the line to the innermost edge line, and air bridges intersecting each other in each column of each octagonal spiral line are formed on the GaAs substrate.
또한, 상기 팔각 형상 라인은 상기 최외곽 테두리 라인 및 최내각 테두리라인을 포함하여 5 열로 형성되며, 상기 라인의 선폭은 15㎛이고, 각 열 간의 간격은 15㎛인 것을 특징으로 한다.In addition, the octagonal shape line is formed in five lines including the outermost frame line and the innermost frame line, the line width of the line is 15 mu m, and the interval between the rows is 15 mu m.
또한, 상기 제1 포트에 접속된 제1 나선 라인선은, 상기 최외곽 라인을 1/2바퀴 돌아서 제1 에어 브릿지에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 상기 제2 내부라인을 1/4 바퀴 돌아서 제2 에어 브릿지에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 상기 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어 브릿지에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 상기 제4 내부라인을 3/4 바퀴 돌아서 제4 에어 브릿지에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되며 상기 제5내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 상기 제2 포트에 접속되는 것을 특징으로 한다.The first helical line connected to the first port is connected to the second inner line while being intersected with the first air bridge by turning the outermost line about 1/2 turn, The second inner bridge is connected to the third inner line while the third inner line is connected to the fourth inner line while being intersected at the third air bridge by turning the third inner line about 1/2 turn, And is connected to the fifth internal line while being turned by 3/4 of the turn and intersecting at the fourth air bridge, and connected to the second port by turning the fifth internal line by 1/2 turn.
또한, 상기 제3 포트에 접속된 제2 나선 라인선은 제1포트에 접속된 제1 마이크로 스트립선과 반대측의 최외곽 라인을 1/2바퀴 돌아서 제1 에어 브릿지에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 상기 제2 내부라인을 3/4 바퀴를 돌아서 제2 에어 브릿지에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 상기 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어 브릿지에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 상기 제4 내부라인을 1/4 바퀴 돌아서 제4 에어 브릿지에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되고 상기 제5 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 상기 제4 포트에 접속되는 것을 특징으로 한다.The second helical line connected to the third port may be connected to the second internal line by turning the outermost line on the opposite side of the first microstrip line connected to the first port by 1/2 turn and crossing the first air bridge. Connected to the third inner line while intersecting the second inner line about 3/4 of the turn at the second air bridge, turning the third inner line about 1/2 turn, intersecting at the third air bridge, Connected to the fifth internal line while turning the fourth internal line about 1/4 turn and intersecting the fourth air bridge and turning the fifth internal line about 1/2 turn to connect to the fourth port .
또한, 상기 에어 브릿지에서 크로스 섹션의 에어 공간은 1.78㎛로 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, the air space of the cross section in the air bridge is formed to be 1.78 mu m.
또한, 상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러의 인덕턴스는(L1)은 5.85 [nH]이고, 커패시턴스(C1)는 2.14[pF]의 값을 가지는 것을 특징으로 한다.Also, the inductance of the GaAs substrate quaternary coupler is characterized by (L 1 ) being 5.85 [nH] and the capacitance (C 1 ) being 2.14 [pF].
또한, 상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 평면 크기가 840 ×730㎛ 이하로 형성되는 것을 특징으로 한다.Also, the GaAs substrate quaternary coupler has a planar size of 840 x 730 mu m or less.
또한, 상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 869 MHz에서 -3.40 ~ 3.45 dB의 삽입 손실 및 -3.43 dB의 커플링을 갖는 것을 특징으로 한다.The GaAs substrate quaternary coupler is characterized by having an insertion loss of -3.40 to 3.45 dB and a coupling of -3.43 dB at 869 MHz.
또한, 상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 869 MHz에서 -22 ~ 23.45dB의 격리도를 갖는 것을 특징으로 한다.In addition, the GaAs substrate quaternary coupler is characterized by having an isolation of -22 to 23.45 dB at 869 MHz.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, (a) GaAs 기판 위에 유전체로 사용될 Si3N4,을 0.2㎛ 두께로 증착하여 마스킹하는 제1유전체 증착 단계; (b) 상기 (a)단계 후에 NiCr 금속층이 선로 저항값을 정의하기 위해 금속층이 개방되는 지정된 구간에 형성되는 레지스트층 형성단계; (c) 상기 (b)단계 후에 씨드 금속층을 증착하여 나선형 패턴을 마스킹하는 단계; (d) 상기 (c)단계 후에 Cu-Au 하부 금속층을 증착하는 단계; (e) 상기 (d)단계 후에 커패시터의 유전층을 형성하기 위해 Si3N4가 0.2㎛ 두께로 증착되는 제2유전체층 증착 단계; (f) 상기 (e)단계 후에 에어 브릿지 패터닝 형성단계; (g) 상기 (f)단계 후에 Cu-Au 상부 금속층을 증착하는 단계; 및 (h) 상기 (g) 단계 후에 실리콘 질화막에 의한 최종 패시베이션 공정 단계; 를 포함하며, 상기 나선형 패턴은 전체적으로 사각 형태에서 각 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상 라인으로 형성되며 그 내부에 일정 간격을 가진 다단의 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 제조방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: (a) a first dielectric deposition step of depositing and masking Si 3 N 4 to be used as a dielectric on a GaAs substrate to a thickness of 0.2 μm; (b) forming a resist layer on the NiCr metal layer after the step (a), the metal layer being formed to define a line resistance value; (c) masking the spiral pattern by depositing a seed metal layer after step (b); (d) depositing a Cu-Au underlying metal layer after step (c); (e) a second dielectric layer deposition step in which Si3N4 is deposited to a thickness of 0.2 mu m to form a dielectric layer of the capacitor after the step (d); (f) forming air bridge patterning after the step (e); (g) depositing a Cu-Au top metal layer after step (f); And (h) a final passivation process step with the silicon nitride film after the step (g); Wherein the spiral pattern is formed in an octagonal shape as a whole and is formed in a multistage pattern having a certain interval inside the octagonal shape as a whole by cutting each right-angled band portion at an inclined angle of 120 degrees in a rectangular shape. A method of manufacturing a quaternary coupler is provided.
또한, 상기 하부 금속층은 5㎛의 두께를 가지며, 전체두께 중 Cu : Au를 90 ~ 80% : 10 ~ 20%의 비율로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the lower metal layer has a thickness of 5 탆 and is formed with a ratio of Cu: Au of 90 to 80%: 10 to 20% of the total thickness.
또한, 상기 상부 금속층은 5㎛의 두께를 가지며, 전체두께 중 Cu : Au를 50 ~ 70 : 30 ~ 50%의 비율로 형성되는 것을 특징으로 한다.The upper metal layer has a thickness of 5 탆, and Cu / Au among the total thickness is formed at a ratio of 50-70: 30-50%.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 고집적화를 제공하는 IPD process를 이용하여 소형 쿼트리쳐 커플러를 제공함으로써 다른 능동 부품과의 집적화를 용이하게 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to facilitate integration with other active components by providing a small qubit trigger coupler using an IPD process that provides high integration.
본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러는 종래에 비하여 격리도(isolation)가 높은 결합기를 구현할 수 있다.The quadrature coupler according to an embodiment of the present invention can realize a coupler having a high degree of isolation compared to a conventional one.
본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러는 종래에 비하여 매우 초소형이며, 낮으며, 종래의 기술에 비하여 작은 손실을 가진다. The quadrature coupler according to an embodiment of the present invention is very compact and low in comparison with the conventional one, and has a small loss as compared with the conventional technique.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 불연속에 의한 방사 및 표면파에 의한 손실을 최소화하는 결합기를 구현할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a coupler that minimizes radiation due to discontinuity and loss due to surface waves can be realized.
본 발명의 일 실시 예에 따른 에어 브릿지 패턴에서 얽혀서 교차되는 상호 인덕터의 변환 효과는 소형의 크기 및 쿼드러쳐 커플러의 인덕터의 높은 Q 인자를 제공할 수 있다.The effect of the intertwined mutual inductance in the air bridge pattern according to an embodiment of the present invention can provide a small Q and a high Q factor of the inductor of the quadrature coupler.
본 발명의 일 실시 예에 쿼드러쳐 커플러는 LTE 대역 5 및 8의 LTE 어플리케이션용으로 적용될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the quadrature coupler may be applied for LTE applications in
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판상에 IPD 공정으로 구현되는 초소형 쿼트리쳐 커플러의 횡단면도를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러의 공정 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 레이아웃을 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 마이크로사진을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 주파수에 대한 인덕터의 품질계수 및 결합계수를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 주파수에 대한 S-파라미터 측정 결과에 대한 그래프이다.1 is a cross-sectional view of a miniature quaternary coupler implemented in an IPD process on a GaAs substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is a process flow diagram of a GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention.
3 illustrates a layout of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
4 is a micrograph of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
5 illustrates the quality factor and coupling coefficient of an inductor with respect to frequency of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
6 is a graph showing S-parameter measurement results for frequency of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
본 발명에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 실시 예들을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring now to the drawings, wherein like reference numerals designate identical or corresponding elements throughout the several views, A description thereof will be omitted.
또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.It is also to be understood that the terms first, second, etc. used hereinafter are merely reference numerals for distinguishing between identical or corresponding components, and the same or corresponding components are defined by terms such as first, second, no.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판상에 IPD 공정으로 구현되는 초소형 쿼트리쳐 커플러의 횡단면도를 도시한 것이다.1 is a cross-sectional view of a miniature quaternary coupler implemented in an IPD process on a GaAs substrate according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 GaAs 기판상에 형성된다.A GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention is formed on a GaAs substrate.
GaAs 기판의 경우 고주파수 범위에서 RF특성이 우수하며, 낮은 유전체 손실로 인하여 라인 같은 전송선로의 구형에 적합하며, High Q를 얻을 수 있으나, Si기판의 경우는 고주파수에서 RF누설로 High Q의 구현이 곤란할 수 있다.The GaAs substrate has high RF characteristics in the high frequency range and is suitable for spheres of transmission lines such as lines due to low dielectric loss. However, in the case of Si substrate, the implementation of High Q due to RF leakage at high frequency It can be difficult.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, IPD(Integrated passive devices) 공정을 이용한 MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuits)집중 소자형 소형 쿼트리쳐 커플러가 구현된다.Also, according to an embodiment of the present invention, a monolithic microwave integrated circuit (MMIC) intensive device type small qubit trigger coupler using an integrated passive devices (IPD) process is implemented.
MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)는 화합물 반도체의 응용 부품으로서 이동통신기기 시장에 급격히 확대되면서, 고주파 특성이 우수하고, 신호크기에 따른 특성변화가 적으며, RF단의 여러 소자들을 단일 칩으로 집적 가능하게 한 정보통신용 부품이다. Monolithic Microwave Integrated Circuit (MMIC) is an application part of compound semiconductors, and it expands rapidly in the mobile communication device market. It has excellent high-frequency characteristics, little change in characteristics according to signal size, and can integrate various elements of RF stage into a single chip It is a component for information and communication.
MMIC는 반도체 기판상에 능동소자와 수동소자는 물론이고 단위 소자에 연결도 일괄 공정으로 동시 제작이 가능하므로, 종래의 부품에 비해 크기가 작으면서 신뢰성 또한 높고 특성도 좋다. 또한, MMIC는 개별 부품에 대한 패키지가 별도로 필요치 않으므로 제조 코스트도 낮출 수 있다. The MMIC can be fabricated on a semiconductor substrate in a batch process, as well as an active device and a passive device, as well as a connection to a unit device. Therefore, the MMIC is smaller in size than the conventional components, and has high reliability and characteristics. In addition, since the MMIC does not require a separate package for the individual parts, the manufacturing cost can also be lowered.
본 발명의 일 실시 예에서는 MMIC에서는 능동소자의 기판으로 사용되는 반도체를 수동소자의 제작에도 그대로 이용하여 별도의 연결수단 없이 한 기판 위에 마이크로파 회로 동작에 필요한 모든 RF소자를 구현할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a semiconductor used as a substrate of an active device in an MMIC can be directly used for manufacturing a passive device, and all the RF devices necessary for microwave circuit operation can be implemented on a substrate without a separate connection means.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러의 공정 순서도이다.2 is a process flow diagram of a GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 먼저 201단계에서 기판으로 사용되는 GaAs 기판(17)이 준비된다.Referring to FIG. 2, in
본 발명의 일 실시 에에 따르면, GaAs 기판(17)은 ground 기능을 수행하며 그 바로 위에 일정두께의 유전체 기판을 올린 후 유전체 위에 회로 구조를 구현하게 된다. 이를 통해 신호선과 ground간의 거리와 매질특성이 균일하게 배치되고, 선로와 ground 사이에 전자파 field 에너지에 신호를 보존하며 전송하게 된다. According to one embodiment of the present invention, the GaAs
극소형 쿼트리쳐 커플러를 구현하는데 필요한 파라미터 중 고려되어야 할 파라미터는 높이(h)와 비유전율 및 유전체손실이 작아야 한다.Among the parameters required to implement a very small qubittrigger coupler, the parameters to be considered are the height (h), the relative dielectric constant and the dielectric loss.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판은 유전율은 12.9, 유전체 손실(tanσ)은 0.0005의 특성을 가진다. The GaAs substrate according to an embodiment of the present invention has a dielectric constant of 12.9 and a dielectric loss (tan?) Of 0.0005.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판(17)의 두께는 200㎛이다.
The thickness of the
다음은 202단계에서 GaAs 기판(17) 위에 유전체로 사용될 Si3N4 , SiO2 등을 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)등의 방법을 이용하여 0.2㎛ 두께로 증착한다. Next, in
본 발명의 일 실시 예에서 제1유전체층은 금속층이 기판과 점착력을 좋게 하기 위한 목적이 포함되며 Si3N4가 제1유전체층으로 증착된다.In one embodiment of the present invention, the first dielectric layer includes a metal layer for the purpose of adhesion to the substrate, and Si 3 N 4 is deposited as a first dielectric layer.
제1유전체층으로 증착된 후, 203단계에서 레지스터층을 증착단계가 수행된다.After depositing the first dielectric layer, a deposition step of a resistor layer is performed in
레지스터층은 NiCr 금속층이 선로 저항값을 정의하기 위해 금속층이 개방되는 지정된 구간에 형성된다The resistor layer is formed in a specified section in which the NiCr metal layer is open to define the line resistance value
다음,에어-브릿지 후속-포토 공정(air-bridge post-photo process)에 의해 씨드 금속층이 의해 증착되는 단계(204)가 수행된다. Next, a
그리고 GaAs 기판(17)의 씨드 금속층은 하부 금속층 구조인 나선형 패턴을 정의하기 위하여 마스킹된다.And the seed metal layer of the
도 3을 참조하면, 상기 나선형 패턴은 전체적으로 사각 형태에서 각 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상의 라인으로 형성되며 그 내부에 일정 간격을 가진 다단의 패턴으로 형성된다.
Referring to FIG. 3, the spiral pattern is formed as a multi-step pattern having an octagonal shape as a whole and formed in a generally octagonal line by cutting each rectangular band portion at an inclined angle of 120 degrees as a whole.
다음, 금속-절연체-금속 (MIM) 커패시터를 위한 하부 금속층(M1)을 증착하는 단계(205)가 수행된다. 205단계에서는 나선형 인덕터를 위한 금속 직선 비라인(beeline)및 링(ring) 패턴을 형성하기 위한 Cu/Au 도금 코팅 또는 증착 단계(205)가 수행된다.Next, a
하부 금속층(M1)은 균질한 파리미터를 위하여 표면 거칠기를 균등하게 하기 위하여 Au를 첨가한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 하부 금속층(M1)은 전체두께 중 Cu : Au를 90 ~ 80% : 10 ~ 20%의 비율로 형성된다.The lower metal layer (M1) is doped with Au to homogenize the surface roughness for homogeneous parameters. The lower metal layer M1 according to an embodiment of the present invention is formed with a ratio of Cu: Au of 90 to 80%: 10 to 20% of the total thickness.
Au가 20% 비율보다 크게 되면 가격 면에서 비경제적이며, Au가 10%보다 적게 되면, 표면 거칠기가 불균등하여 파라미터의 신뢰도가 떨어질 수 있다.When Au is larger than 20%, it is uneconomical in terms of cost. When Au is less than 10%, surface roughness becomes uneven and parameter reliability may be lowered.
본 발명의 바람직한 실시 예에서는,하부 금속층(M1)은 4.5㎛의 Cu 및 0.5㎛의 Au를 포함하여 형성된다.In the preferred embodiment of the present invention, the lower metal layer M1 is formed to include Cu of 4.5 mu m and Au of 0.5 mu m.
다음은 제2 유전체층(14)을 형성하는 단계(206)가 수행된다.Next, step 206 of forming a
제2 유전체층(14)은 커패시터의 유전층을 형성하기 위하여 Si3N4가 0.2㎛ 두께로 증착되며, 커패시터를 위한 유전체를 정의하기 위하여 마스킹된다
The
다음은 에어 브릿지 패터닝 단계(207)가 수행된다.Next, the air
에어 브릿지 패터닝 단계(207)는 Cu/Au 상부 금속 도금 코팅 공정 전에 수행되며, 에어-브릿지 패턴은 상부 금속 및 에어 브릿지가 나선형 인덕터를 위한 금속 비라인(beeline) 주위로 끊어진 코일 경로에 형성된 에어-브릿지 상호접속을 갖는 커패시터를 위해 형성된다.
The air-
다음은 상부 금속층(11, M2) 도금 코팅 또는 증착 단계(208)가 수행된다.Next, an
상부 금속층(M2)은 가격 면에서는 구리로 모두 사용하는 것이 유리하나, 구리의 경우, 표면산화 및 높은 확산성을 가지기 때문에 열처리 과정에서 구리 실리사이드가 형성되는 등 소자의 신뢰성 및 성능을 감소시킬 수 있기 때문에 상부 금속층의 경우 전체 두께의 30 ~ 50% 정도를 Au로 형성하게 된다. Although the upper metal layer M2 is advantageous in terms of cost in terms of copper, it can reduce the reliability and performance of the device such as copper silicide formed in the heat treatment process due to the surface oxidation and high diffusion property Therefore, in the case of the upper metal layer, about 30 to 50% of the total thickness is formed of Au.
본 발명의 일 실시 예에 따른 상부 금속층(11, M2)은, Cu : Au를 50 ~ 70 : 50~30 비율로 형성된다.The
Au가 50% 비율보다 크게 되면 가격 면에서 비경제적이며, Au가 30%보다 적게 되면, 확산성 방지를 위하여 확산방지막의 두께를 더 두껍게 하여야 하기 때문에 전체적으로 사이즈가 커지게 된다. 또한, 표면 거칠기가 불균등하여 파라미터의 신뢰도가 떨어질 수 있다.If Au is greater than 50%, it is not economical in terms of cost. If Au is less than 30%, the thickness of the diffusion barrier should be increased to prevent diffusion. In addition, the surface roughness may be uneven and the reliability of the parameters may be deteriorated.
본 발명의 바람직한 실시 예에서는 상부 금속층(11, M2)은 3㎛의 Cu 및 2㎛의 Au를 포함하여 형성된다.
In the preferred embodiment of the present invention, the
다음은 최종 패시베이션(passivation) 공정 단계(209)가 수행된다.The final
최종 패시베이션(passivation) 공정 단계(209)에서는 유해한 환경을 차단하고 특성의 안정화를 꾀하는 확산 방지막의 역할을 하는 실리콘 질화막(SiN Layer)에 의해 상부 금속층 및 노출 부위가 캐핑될 수 있다.In the final
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 레이아웃을 도시한 것이다.3 illustrates a layout of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
도 3(a)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 등가 회로 성분을 도시한 것이다.3 (a) shows equivalent circuit components of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
도 3(a)를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 두 개의 출력에는 각각 반반씩의 power, 즉 -3dB couple로서 입력 전력을 군등하게 배분하는 기능을 하며, 두 개의 균등한 출력 신호는 90도의 위상차를 가지며 50옴의 종단 임피던스를 가진다.Referring to FIG. 3A, each of the two outputs of the GaAs substrate quadrature coupler according to an exemplary embodiment of the present invention has a function of distributing input power equally to half power, that is, -3 dB couple, The even output signal has a phase difference of 90 degrees and a termination impedance of 50 ohms.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 일측 선로 인덕터(L1)는 5.85 [nH]이고, 입, 출력 포트의 커패시턴스(C1)는 2.14[pF]의 값을 가지는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the one-side line inductor L 1 of the GaAs substrate quadrature coupler is 5.85 [nH] and the capacitance C 1 of the input port and the output port is 2.14 [pF] .
도 3(b)는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러의 단면 형상이며, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 마이크로 사진을 나타낸다. FIG. 3 (b) is a sectional view of a GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a microphotograph of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
도 3(b)를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러의 나선형 패턴은 전체적으로 사각 형태에서 각 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상의 나선 라인으로 형성되며 그 내부에 일정 간격을 가진 다단의 나선 라인으로 형성된다.Referring to FIG. 3 (b), the spiral pattern of the GaAs substrate quaternary coupler according to an exemplary embodiment of the present invention is formed by vertically cutting each right-angled band portion at a slope angle of 120 degrees in a rectangular shape, And is formed into a multi-step spiral line having a certain interval therein.
커플러의 나선 라인을 사각 형태로 형성하면, 직각 밴드에서 일어나는 불연속 효과가 발생될 수 있다. 이러한 불연속 효과들은 표면파나 복사파를 만들 뿐 아니라 특성 임피던스 부정합을 일으키는 원인이 될 수 있다.If the helical lines of the coupler are formed in a rectangular shape, a discontinuous effect occurring in a rectangular band can be generated. These discontinuous effects can cause surface impedance or radiation as well as characteristic impedance mismatch.
본 발명의 일 실시 예에서는 사각 형태의 면적을 최대한 활용하고 코너의 부드러운 처리를 위하여 사각형상의 라인 구조에서 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상 라인으로 형성함으로써, 불연속에 의한 방사 및 표면파에 의한 손실을 최소화하는 구조를 채택한다.In an embodiment of the present invention, the rectangle band portion is formed into an octagonal line as a whole by cutting the rectangular band portion at a slant angle of 120 degrees in a quadrilateral line structure for maximizing utilization of the rectangular shape area and softening the corner, And adopts a structure that minimizes the loss due to surface waves.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 크기가 840 ×730㎛ 이하인 초소형 결합기를 구현할 수 있다.A GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention can realize a compact coupler having a size of 840 x 730 mu m or less.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 크기가 838㎛ ×726㎛의 면적으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the GaAs substrate quaternary coupler according to an embodiment of the present invention may have an area of 838 μm × 726 μm.
도 4를 참조하면, GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러를 구현하기 위한 상부 금속의 두께는 5㎛이고 에어 브릿지에서 크로스 섹션의 에어 공간은 1.78㎛로 형성된다.Referring to Fig. 4, the thickness of the upper metal for implementing the GaAs substrate quaternary coupler is 5 mu m, and the air space of the cross section in the air bridge is formed to be 1.78 mu m.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, GaAs 기판(17)의 상부 최외곽 테두리 라인 일측에 제1, 제3 포트(P1(61), P3(63)가 형성되고 최내곽 테두리 라인의 내부에서 상기 제1, 제3 포트(P1(61), P3(63)로부터 수평으로 대응되는 지점에 제2, 제4 포트(P2(62), P4(64))가 형성된다.According to an embodiment of the present invention, first and third ports P1 (61) and P3 (63) are formed on one side of the uppermost outermost frame line of the
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1, 제3 포트(P1(61), P3(63))로부터 상기 제2, 제4 포트(P2(62), P4(64))를 연결하는 사각형상의 라인 구조에서 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽어서 전체적으로 팔각 형상 라인이 다수의 열로 형성된다.According to an embodiment of the present invention, a square connecting the second and fourth ports P2 (62) and P4 (64) from the first and third ports P1 (61) and P3 (63) The octagonal line portion is formed in a plurality of rows as a whole by folding the right angle band portion at an inclined angle of 120 degrees.
그리고 각 라인 열마다 나선 라인을 엇갈려서 교차시키는 에어 브릿지가 각각 형성된다.An air bridge is formed to cross the spiral lines for each line.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 팔각 라인 형태의 라인은 상기 최외곽 테두리 라인 및 최내각 테두리 라인을 포함하여 5열로 형성되며, 상기 라인의 선폭은 15㎛이고, 각 열 간의 간격은 15㎛이다.
According to an embodiment of the present invention, the octagonal line-shaped line is formed in five lines including the outermost frame line and the innermost frame line, the line width of the line is 15 mu m, to be.
상기 제1포트(P1)는 신호 전송용 입력단으로 사용되면 제2, 제3 포트로 신호가 전송된다. 그리고 제4포트(P4)는 격리포트(isolated port)로 사용된다.When the first port P1 is used as an input terminal for signal transmission, signals are transmitted to the second and third ports. And the fourth port P4 is used as an isolated port.
도 3(b) 및 도 5를 참조하면, 제1 포트(P1)에 접속된 제1 나선 라인선(21)은, 최외곽 테두리 라인을 반바퀴 돌아서 제1 에어 브릿지(31)에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 제2 내부라인을 1/4 바퀴를 돌아서 제2 에어 브릿지(32)에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어 브릿지(33)에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 제4 내부라인을 3/4 바퀴 돌아서 제4 에어 브릿지(34)에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되며 제5 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제2 포트(P2)에 접속된다.3B and 5, the first
또한, 제3포트에 접속된 제2 나선 라인선(22)은 상기 제1 나선 라인선(21)과 반대측의 최외곽 테두리 라인을 1/2바퀴 돌아서 제1 에어 브릿지(31)에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 제2 내부라인을 3/4 바퀴를 돌아서 제2 에어 브릿지(32)에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어 브릿지(33)에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 제4 내부라인을 1/4 바퀴 돌아서 제4 에어 브릿지(34)에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되어 제5 내부 라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제4포트(P4)에 접속된다.The second
제1, 2 선폭은 15㎛이고, 최외곽 라인 및 제2~ 5 내부 라인 간격은 15㎛이다.The first and second line widths are 15 mu m, and the outermost line and the second to fifth inner line intervals are 15 mu m.
초소형 쿼트리쳐 커플러에서 선로의 폭은 곧바로 Impedance를 의미한다. 폭이 넓을수록 임피던스는 작고, 좁을수록 임피던스는 높다. 그리고 길이는 파장에 비례한 값으로 설계된다. In a very small quartzite coupler, the width of the track means Impedance. The larger the width, the smaller the impedance, and the narrower the impedance, the higher the impedance. The length is designed to be proportional to the wavelength.
인덕터를 위한 높은 품질 계수를 얻기 위하여 두 유도성 금속 라인은 15㎛의 넓이이고 상기 나선 라인은 상호 인덕턴스를 증가시키기 위하여 매 라인 열마다 에어 브릿지에 의해 서로 얽히도록 교차된다.
To obtain a high quality factor for the inductor, the two inductive metal lines are 15 micrometers wide and the lines are interlaced with each other by air bridges in every line to increase mutual inductance.
상기 두 유도성 금속 라인의 간격은 유효한 결합 계수를 얻기 위한 최소 간격으로 15㎛로 채택된다. The interval between the two inductive metal lines is adopted as a minimum interval of 15 [micro] m to obtain an effective coupling coefficient.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 결합 패드를 포함하는 상기 초소형 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 0.726 mm x 0.838 mm의 크기를 가지며, 50-옴 임피던스 종단을 갖는 FR-4 인쇄 회로 기판(PCB) 상에 어셈블리 된다. According to one embodiment of the present invention, the ultra-small GaAs substrate quaternity coupler comprising a bonding pad has a size of 0.726 mm x 0.838 mm and is mounted on an FR-4 printed circuit board (PCB) having a 50-ohm impedance termination Lt; / RTI >
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 주파수에 대한 인덕터의 품질계수 및 결합계수를 도시한 것이다.5 illustrates the quality factor and coupling coefficient of an inductor with respect to frequency of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 869 MHz에서 0.717의 결합 계수 및 19.2의 품질계수를 나타낸다. Referring to FIG. 5, a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention exhibits a coupling factor of 0.717 at 869 MHz and a quality factor of 19.2.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 주파수에 대한 S-파라미터 측정 결과를 나타낸다. 6 shows S-parameter measurement results for the frequency of a GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, LTE 대역 5 및 8의 중심 주파수인 869 MHz에서 본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러는 -3.45 dB의 삽입 손실(S21 ) 및 -3.43 dB의 커플링(S41)을 갖는다. 그리고 반사 계수(S11)및 격리도(S31)는 -22 ~ 23.45dB이다. Referring to FIG. 6, at 869 MHz, the center frequency of
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 동작 주파수 내의 쿼드러쳐 위상차를 도시한 것이다.Figure 7 illustrates the quadrature phase difference within the operating frequency of a GaAs substrate quadrature coupler in accordance with an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러는 동작 주파수 범위에 걸쳐 0.7 도 미만의 위상 오차를 갖는다. Referring to FIG. 7, a quadrature coupler in accordance with an embodiment of the present invention has a phase error of less than 0.7 degrees over the operating frequency range.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 매우 초소형의 크기이고, 종래의 기술에 비하여 작은 손실을 나타낸다. The GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention is very small in size and exhibits a small loss compared with the conventional art.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 에어 브릿지 패턴에서 얽혀서 교차되는 상호 인덕터의 변환 효과는 소형의 크기 및 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 인덕터의 높은 Q 인자를 제공할 수 있다.In addition, the effect of the mutual inductance intertwined in the air bridge pattern according to an embodiment of the present invention can provide a small size and a high Q factor of the inductor of the GaAs substrate quadrature coupler.
본 발명의 일 실시 예에 쿼드러쳐 커플러는 LTE 대역 5 및 8의 LTE 어플리케이션용에 효율적으로 적용될 수 있으며, LTE 대역 5 및 8의 동작 주파수 범위에 걸쳐 1도의 위상 오차를 유지하면서 0.45 dB 미만의 삽입 손실을 갖는다. In one embodiment of the present invention, the quadrature coupler can be efficiently applied for LTE applications in
LTE 어플리케이션을 위한 얽힌 상호 인덕터를 사용하는 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 GaAs 기판상에 IPD(integrated passive device, 집적수동소자) 공정을 이용하여 제조된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러의 동작 주파수는 5 및 8의 LTE 어플리케이션 대역 주파수 범위인 824 MHz 내지 915 MHz이다. GaAs substrate quadrature couplers using tangled mutual inductors for LTE applications are fabricated using an IPD (Integrated Passive Device) process on GaAs substrates. The operating frequency of the quadrature coupler according to an embodiment of the present invention is from 824 MHz to 915 MHz, which is the LTE application band frequency range of 5 and 8.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 869 MHz의 중심 주파수에서 -3.40 ~ -3.45 dB의 삽입 손실(insertion loss, S21) 및 -3.43 dB의 커플링(S41)를 갖는다. 반사 계수(S11)및 격리도 (S31)는 각각 -24.32 dB 및 -23.45 dB로 측정된다.A GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention has an insertion loss (S 21 ) of -3.40 to -3.45 dB and a coupling (S 41 ) of -3.43 dB at a center frequency of 869 MHz. The reflection coefficient (S 11 ) and isolation (S 31 ) are measured to be -24.32 dB and -23.45 dB, respectively.
따라서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 쿼드러쳐 커플러는 종래 기술에 비하여 격리도(isolation)가 높은 결합기를 구현할 수 있다.Therefore, the quadrature coupler according to the embodiment of the present invention can realize a coupler having a high isolation level compared with the prior art.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 주파수 범위에 걸쳐 0.65 도의 위상 오차(phase error)를 갖는다. 이러한 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 소형의 쿼드러쳐 - 3dB 분배기/합성기(divider/combiner) 및 평형 전력 증폭기(balanced power amplifier)에서 사용될 수 있다.In addition, the GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention has a phase error of 0.65 degrees over the frequency range. These GaAs substrate quadrature couplers can be used in small quadrature-to-3dB divider / combiners and balanced power amplifiers.
본 발명의 일 실시 예에 따른 IPD (Integrated passive devices)공정은 다른 수동소자의 부품 공정과 비교하여 저비용 및 우수한 성능으로 인해 대량 생산의 이점을 제공할 수 있다. The integrated passive devices (IPD) process according to an embodiment of the present invention can provide advantages of mass production due to low cost and excellent performance in comparison with other passive component parts processes.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 전력 분배, 전력 결합, 임피던스 정합 또는 이들의 결합과 같은 복수의 기능용으로 이용될 수 있다. A GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention may be used for a plurality of functions such as power distribution, power coupling, impedance matching, or a combination thereof.
본 발명의 일 실시 예에 따른 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러는 에어 브릿지 rbn성을 채택함으로써, 평형 전력 증폭기를 구현하는 데 필요한 공간을 감소시킬 수 있다.The GaAs substrate quadrature coupler according to an embodiment of the present invention can reduce the space required to implement a balanced power amplifier by adopting air bridge rbn property.
15: NiCr 금속층
14, 16: 유전체층
17: GaAs 기판
19: 패시베이션층
21, 21: 나선 라인선
31~ 34: 에어브릿지
P1 ~ P2: 제1포트 ~ 제4포트
M1: 하부 금속층
M2: 상부 금속층15: NiCr metal layer
14, 16: dielectric layer
17: GaAs substrate
19: Passivation layer
21, 21: Helical line line
31 ~ 34: Air Bridge
P1 to P2: First to fourth ports
M1: lower metal layer
M2: upper metal layer
Claims (12)
(b) 상기 (a)단계 후에 NiCr 금속층이 선로 저항값을 정의하기 위해 금속층이 개방되어 지정된 구간에 형성되는 레지스트층 형성단계;
(c) 상기 (b)단계 후에 씨드 금속층을 증착하여 나선형 패턴을 마스킹하는 단계;
(d) 상기 (c)단계 후에 Cu-Au로 형성된 하부 금속층을 증착하는 단계;
(e) 상기 (d)단계 후에 커패시터의 유전체를 형성하기 위해 Si3N4가 0.2㎛ 두께로 증착되는 제2 유전체층 증착 단계;
(f) 상기 (e)단계 후에 에어 브릿지 패터닝 형성단계;
(g) 상기 (f)단계 후에 Cu-Au로 형성된 상부 금속층을 증착하는 단계; 및
(h) 상기 (g) 단계 후에 실리콘 질화막에 의한 최종 패시베이션 공정 단계; 를 포함하며,
상기 나선형 패턴은 사각 형태에서 각 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽여져서 전체적으로 팔각 형상 라인으로 형성되며 그 내부에 일정 간격을 가진 다단의 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 제조방법(a) a first dielectric layer deposition step of depositing and masking Si 3 N 4 , which is to be used as a dielectric, on a GaAs substrate to a thickness of 0.2 μm;
(b) forming a resist layer on the NiCr metal layer after the step (a), wherein the metal layer is formed to define a line resistance value in a predetermined region;
(c) masking the spiral pattern by depositing a seed metal layer after step (b);
(d) depositing a lower metal layer formed of Cu-Au after the step (c);
(e) a second dielectric layer deposition step in which Si 3 N 4 is deposited to a thickness of 0.2 탆 so as to form a dielectric of the capacitor after the step (d);
(f) forming air bridge patterning after the step (e);
(g) depositing an upper metal layer formed of Cu-Au after the step (f); And
(h) a final passivation process step with the silicon nitride film after the step (g); / RTI >
Wherein the spiral pattern is formed in an octagonal shape as a whole by bending each rectangular band portion at a slant angle of 120 degrees in a rectangular shape and is formed in a multi-step pattern having a predetermined interval in the inside thereof. Way
상기 하부 금속층은 5㎛의 두께를 가지며, 전체 두께 중 Cu : Au를 90 ~ 80% : 10 ~ 20%의 비율로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 제조방법The method according to claim 1,
Wherein the lower metal layer has a thickness of 5 占 퐉, and the total thickness of the lower metal layer is in the range of 90 to 80%: 10 to 20% of Cu: Au.
상기 상부 금속층은 5㎛의 두께를 가지며, 전체 두께 중 Cu : Au를 50 ~ 70 : 30 ~ 50%의 비율로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러 제조방법The method according to claim 1,
Wherein the upper metal layer has a thickness of 5 탆 and Cu / Au of 50 to 70: 30 to 50% of the total thickness is formed.
상기 나선형 패턴 중 최내곽 테두리 라인 내부 일측에서 상기 제1, 제3 포트로부터 수평으로 대응되는 지점에 형성되는 제2포트 및 제4 포트; 를 포함하며,
상기 나선형 패턴은 상기 제1, 제3 포트로부터 상기 제2, 제4 포트를 연결하는 사각형상 구조에서 직각 밴드 부분을 120도의 경사면 각도로 꺽여져서, 전체적으로 팔각 형상 나선 라인이 상기 최외곽 테두리 라인에서 최내각 테두리 라인까지 다수의 열로 형성되며, 각 팔각 형상 나선 라인의 각열마다 라인을 엇갈려서 교차시키는 에어브릿지가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러A first port and a third port formed on one side of an outermost frame line of the upper spiral pattern of the GaAs substrate; And
A second port and a fourth port formed at horizontally corresponding positions from the first and third ports on one side of the innermost frame line of the helical pattern; / RTI >
Wherein the spiral pattern is formed by bending a rectangular band portion at a slant angle of 120 degrees in a rectangular structure connecting the second port and the fourth port from the first port and the third port so that an octagonal spiral line is formed on the outermost border line And an air bridge for intersecting each line of each line of each octagonal spiral line is formed on the GaAs substrate quaternary coupler
상기 팔각 형상 라인은 상기 최외곽 테두리 라인 및 최내각 테두리 라인을 포함하여 5열로 형성되며, 상기 라인의 선폭은 15㎛이고, 각 열 간의 간격은 15㎛인 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러5. The method of claim 4,
Wherein the octagonal shape line is formed in five rows including the outermost frame line and the innermost corner frame line, the line width of the line is 15 mu m, and the interval between each row is 15 mu m.
상기 제1 포트에 접속된 제1 나선 라인선은, 상기 최외곽 라인을 1/2바퀴 돌아서 제1 에어브릿지에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 상기 제2 내부라인을 1/4 바퀴 돌아서 제2 에어브릿지에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 상기 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어브릿지에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 상기 제4 내부라인을 3/4 바퀴 돌아서 제4 에어브릿지에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되며 상기 제5내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 상기 제2 포트에 접속되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러The method of claim 5, wherein
The first helical line connected to the first port is connected to the second inner line while being intersected at the first air bridge by turning the outermost line about 1/2 turn, Connected to the third inner line while intersecting at the second air bridge, connected to the fourth inner line while being intersected at the third air bridge by turning the third inner line by 1/2 turn, Wherein the first internal line is connected to the first internal line and the fourth internal line is connected to the third internal line.
상기 제3 포트에 접속된 제2 나선 라인선은 제1포트에 접속된 제1 마이크로 스트립선과 반대측의 최외곽 라인을 1/2바퀴 돌아서 제1 에어브릿지에서 교차되면서 제2 내부라인으로 연결되며, 상기 제2 내부라인을 3/4 바퀴를 돌아서 제2 에어브릿지에서 교차되면서 제3 내부라인으로 연결되고, 상기 제3 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 제3 에어브릿지에서 교차되면서 제4 내부라인으로 연결되며, 상기 제4 내부라인을 1/4 바퀴 돌아서 제4 에어브릿지에서 교차되면서, 제5 내부라인으로 연결되고 상기 제5 내부라인을 1/2 바퀴를 돌아서 상기 제4 포트에 접속되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러6. The method of claim 5,
The second helical line connected to the third port is connected to the second internal line while being intersected at the first air bridge by turning the outermost line opposite to the first microstrip line connected to the first port by 1/2 turn, The second inner line is connected to the third inner line while being intersected at the second air bridge by turning 3/4 of a turn, and the third inner line is turned by 1/2 turn to cross the fourth inner line And is connected to the fifth inner line while turning the fourth inner line by a quarter turn and crossing the fourth air bridge and is connected to the fourth port by turning the fifth inner line by 1/2 turn Features GaAs substrate quaternary coupler
상기 에어브릿지에서 크로스 섹션의 에어 공간은 1.78㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러6. The method of claim 5,
Characterized in that the air space of the cross section in the air bridge is formed to be 1.78 탆. The GaAs substrate quaternary coupler
상기 GaAs 기판 쿼드러쳐 커플러의 일측 선로 인덕터(L1)는 5.85 [nH]이고, 입, 출력 포트의 커패시턴스(C1)는 2.14[pF]의 값을 가지는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러6. The method of claim 5,
Wherein the one-side line inductor (L 1 ) of the GaAs substrate quadrature coupler has a value of 5.85 [nH] and the capacitance (C 1 ) of the input port and the output port has a value of 2.14 [pF]
상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 평면 크기가 840 × 730㎛ 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러6. The method of claim 5,
Wherein the GaAs substrate quaternary coupler has a planar size of 840 x 730 mu m or less.
상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 869 MHz에서 -3.40 ~ 3.45 dB의 삽입 손실 및 -3.43 dB의 커플링을 갖는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러
6. The method of claim 5,
Wherein the GaAs substrate quaternary coupler has an insertion loss of -3.40 to 3.45 dB and a coupling of -3.43 dB at 869 MHz.
상기 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러는 869 MHz에서 -22 ~ 23.45dB의 격리도를 갖는 것을 특징으로 하는 GaAs 기판 쿼트리쳐 커플러
6. The method of claim 5,
Wherein the GaAs substrate quaternary coupler has an isolation of -22 to 23.45 dB at 869 MHz.
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| KR1020140076531A KR101588311B1 (en) | 2014-06-23 | 2014-06-23 | quadrature coupler on GaAs substrate and manufacturing method thereof |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102016460B1 (en) * | 2018-02-23 | 2019-08-30 | 광운대학교 산학협력단 | Spiral-coupled passive microresonator sensor for sensitive detection and characterization of water-ethanol solution |
| RU2717386C1 (en) * | 2019-05-27 | 2020-03-23 | Акционерное общество "Микроволновые системы" | Spiral ultra-wideband microstrip quadrature directional coupler |
| KR102237899B1 (en) * | 2019-12-27 | 2021-04-07 | 광운대학교 산학협력단 | Miniaturized bandpass filter with intertwined inductors and a dendritic capacitor on GaAs substrate |
| CN113964471A (en) * | 2021-10-29 | 2022-01-21 | 杭州泛利科技有限公司 | IPD technology-based low-insertion-loss high-balance-degree high-directivity coupler |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000036223A (en) | 1996-09-17 | 2000-06-26 | 랄프 로렌 이. | Thick film construct for quadrature translation of rf signals |
| US20060220737A1 (en) * | 2005-04-05 | 2006-10-05 | International Business Machines Corporation | High q monolithic inductors for use in differential circuits |
| US20090189712A1 (en) * | 2008-01-29 | 2009-07-30 | Xin Jiang | Spiral Coupler |
-
2014
- 2014-06-23 KR KR1020140076531A patent/KR101588311B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000036223A (en) | 1996-09-17 | 2000-06-26 | 랄프 로렌 이. | Thick film construct for quadrature translation of rf signals |
| US20060220737A1 (en) * | 2005-04-05 | 2006-10-05 | International Business Machines Corporation | High q monolithic inductors for use in differential circuits |
| US20090189712A1 (en) * | 2008-01-29 | 2009-07-30 | Xin Jiang | Spiral Coupler |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Cong Wang외 1인, "High Performance WLAN Ballun Using Integrated Passive Technology on Si-GaAs Substrate", Microwave and Optical Technology Letters, Vol-54, No-5, 2012년 5월, 페이지 1301-1305.* * |
| Robert C. Frye외 2인, "A 2-GHz Quadrature Hybrid Implemented in CMOS Yechnology", IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol-38, No-3, 2003년3월, 페이지 550~555.* * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102016460B1 (en) * | 2018-02-23 | 2019-08-30 | 광운대학교 산학협력단 | Spiral-coupled passive microresonator sensor for sensitive detection and characterization of water-ethanol solution |
| RU2717386C1 (en) * | 2019-05-27 | 2020-03-23 | Акционерное общество "Микроволновые системы" | Spiral ultra-wideband microstrip quadrature directional coupler |
| KR102237899B1 (en) * | 2019-12-27 | 2021-04-07 | 광운대학교 산학협력단 | Miniaturized bandpass filter with intertwined inductors and a dendritic capacitor on GaAs substrate |
| CN113964471A (en) * | 2021-10-29 | 2022-01-21 | 杭州泛利科技有限公司 | IPD technology-based low-insertion-loss high-balance-degree high-directivity coupler |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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