KR20150143978A - 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노제너레이터 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법은 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계; 상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계; 상기 압전소자 상에 전사기판을 접합시키는 단계; 상기 층상기판을 제거하는 단계; 상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및 상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함한다.
Description
본 발명은 생체용 플라스틱 나노제너레이터의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노제너레이터 상에 부착되는 분리유도금속의 잔류인장응력을 이용하여 상기 나노제너레이터 하부에 부착되는 층상기판의 분리를 용이하게 함으로써 플렉서블 기판의 휨에 따라 발생하는 전기적 에너지를 외부로 고효율로 공급하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터의 제조방법에 관한 것이다.
현재 정보통신의 발달에 따라 압전소자, 태양전지 등의 전기 소자의 필요성 및 대용량화가 대두되고 있다. 더 나아가, 이러한 전기 소자는 현재까지 딱딱한 실리콘 기판 등에서 제조되어, 응용되고 있는데, 그 이유는 바로 이러한 소자 들의 제조공정이 보통 고온의 반도체 공정을 통하여 제조되기 때문이다. 하지만, 이러한 소자 기판의 한계는 압전소자, 태양전지 등의 응용 범위를 제한하는 문제가 있다.
특히 이러한 기판 제한에 따라 그 효과가 제한되는 소자 중 하나는 압전 소자이다. 압전소자란 압전기(壓電氣) 현상을 나타내는 소자를 의미한다. 상기 압전 소자는 피에조 전기소자라고도 하며, 수정, 전기석, 로셸염 등이 일찍부터 압전소자로서 이용되었으며, 근래에 개발된 지르코늄산납, 타이타늄산바륨(BaTiO3, 이하 BTO), 인산이수소암모늄, 타타르산에틸렌다이아민 등의 인공결정도 압전성이 뛰어나며 도핑을 통해 더 뛰어난 압전특성을 유도 할 수 있게 된다.
이러한 압전소자는 현재 외부에서 인가되는 압력에 따라 전기를 발생시키는 방식이나, 상기 압전 소자가 자연스럽게 휘어질 수 있는 플렉서블 기판에 응용되는 경우, 자연스럽게 발생하는 플렉서블 기판의 휘는 특성을 즉시 전기적 에너지로 전화시킬 수 있는 장점이 있으나, 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하고자 하는 경우에 고정기판에 최초로 형성된 압전소자를 상기 고정기판으로부터 분리하는 공정이 용이하지 않다는 문제점이 있다.
특히, 대면적의 압전소자를 플렉서블 기판에 구현하고자 하는 경우에 고정기판인 층상기판이 균일하게 분리되지 않음으로써 나노제너레이터의 품질에 문제가 발생할 수 있다. 더 나아가, 이러한 압전소자를 이용하여, 전류를 사실상 영구적으로 생산할 수 있는 플렉서블 미세발전기, 즉, 플렉서블 나노제너레이터의 상용화에 대한 진척이 미비한 상황이다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하고자 하는 것으로서, 나노제너레이터 상에 부착되는 분리유도금속의 잔류인장응력을 이용하여 상기 분리유도금속과 압전물질을 층상기판으로부터 용이하게 분리함으로써 고효율의 플렉서블 나노제너레이터를 제조하는 방법을 제공하는 것이 목적이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법은 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계; 상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계; 상기 압전소자 상에 전사기판을 접합시키는 단계; 상기 층상기판을 제거하는 단계; 상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및 상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함한다.
상기의 압전소자를 상기 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계는, 상기 플라스틱 기판의 양측 면에 압전소자를 각각 전사시키게 한다.
상기 제조방법은, 상기 압전소자의 금속층에 금속선을 연결시키는 단계; 및 상기 압전소자를 밀봉부재로 밀봉시키는 단계;를 더 포함한다.
상기 층상 기판은 운모 기판이며, 상기 층상 기판의 제거는 물리적 방식의 박리에 의한다.
상기 층상 기판은 실리콘 웨이퍼 및 실리콘 옥사이드가 순차적으로 적층된 구조이다.
상기 층상 기판의 제거는 상기 압전소자에 증착된 응력 분리 금속의 잔류 응력으로 인하여 상기 분리유도금속과 상기 상기 층상 기판과의 응력 방향의 차이가 발생함으로써 박리가 가능하게 된다.
상기 분리유도금속은 니켈(Ni)이다.
상기 분리유도금속을 제거하는 것은 에칭에 의한다.
상기 층상기판을 제거하는 단계는, 상기 분리유도금속 상에 분리 테이프를 접합하는 단계를 포함한다.
본 발명은 상술한 방법에 따라 제조된 생체용 플라스틱 나노제너레이터를 제공한다.
상기 압전소자는 상기 압전물질층을 중심으로 하여 그 양측면에 상기 금속층이 배치된다.
상기 금속층은 상기 압전물질층 상에서 공간적으로 분리 이격된 구조이다.
본 발명에 따른 생체 자극 감지 시스템은 상술한 방법에 따라 제조된 생체용 플라스틱 나노제너레이터; 상기 생체용 플라스틱 나노제너레이터가 삽입된 생체의 움직임에 따라 상기 생체용 나노제너레이터로부터 발생한 전기에너지를 공급받아 생체의 신경에 전달하는 자극 수단; 상기 생체의 신경에 연결된 근육의 움직임을 센싱하는 감지 수단; 및 상기 감지 수단으로부터의 데이터를 출력하는 모니터링 수단;을 포함한다.
본 발명에 따른 의료용 전자기기는 상술한 방법에 따라 제조된 생체용 플라스틱 나노제너레이터를 포함하는 전자기기로서, 상기 플라스틱 나노제너레이터의 플라스틱 기판의 휨에 따라 발생한 전류가 상기 의료용 전자기기로 제공된다.
본 발명에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법은 나노제너레이터 상에 부착되는 분리유도금속의 두께 조절 및 잔류인장응력을 이용하여 상기 분리유도금속과 압전물질을 층상기판으로부터 용이하게 분리하게 한다. 즉, 본 발명은 압전소자와 층상기판의 경계면에서의 박리를 수행하게 함으로써 실리콘 기판과 실리콘 옥사이드 등을 포함한 고정기판을 깨끗하게 분리할 수 있다.
도 1 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법을 단계별로 설명하는 도면이다.
도 12 내지 도 15는 본 발명에 실시예에 따라 나노제너레이터와 분리유도금속을 층상기판 상에 형성한 후 나노제너레이터를 플라스틱 기판 상에 최종적으로 전사하는 과정을 실 사진 및 적층 구조를 통해 나타낸 도면이다.
도 16은 본 발명에 따라 제조된 나노제너레이터를 이용하여 실험 대상물인 생체에 대한 신경 자극을 행하는 모식도를 보이는 도면,
도 17은 나노제너레이터에서 발생되는 전기에너지를 이용해 생체를 자극하는 것으로서, 나노제너레터를 이용해 쥐의 심장을 자극하는 모습을 나타낸 사진, 및
도 18은 나노제너레이터를 이용해 생체의 심장을 자극하고 인공적인 심장박동을 만드는 그래프이다.
도 12 내지 도 15는 본 발명에 실시예에 따라 나노제너레이터와 분리유도금속을 층상기판 상에 형성한 후 나노제너레이터를 플라스틱 기판 상에 최종적으로 전사하는 과정을 실 사진 및 적층 구조를 통해 나타낸 도면이다.
도 16은 본 발명에 따라 제조된 나노제너레이터를 이용하여 실험 대상물인 생체에 대한 신경 자극을 행하는 모식도를 보이는 도면,
도 17은 나노제너레이터에서 발생되는 전기에너지를 이용해 생체를 자극하는 것으로서, 나노제너레터를 이용해 쥐의 심장을 자극하는 모습을 나타낸 사진, 및
도 18은 나노제너레이터를 이용해 생체의 심장을 자극하고 인공적인 심장박동을 만드는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
이하 설명에서 나노제너레이터 또는 나노자가발전기는 기판의 휨에 따라 전류가 발생하는 미세 소자를 모두 통칭한다. 또한, 본 발명에 따른 생체용 플렉서블 나노제너레이터는 생체 내의 장기 움직임으로부터 전력을 생산하여, 생체 내에 삽입된 통신센서나 의료도구 등에 전력을 공급할 수 있는 전력발생 장치를 지칭한다.
도 1 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법을 단계별로 설명하는 도면이다.
도 1을 참조하면, 실리콘 웨이퍼(100)가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 실리콘 웨이퍼(100)는 운모기판일 수 있으며, 상기 실리콘 웨이퍼(100)는 접착물질을 이용하여 물리적으로 박리될 수 있다. 즉, 본 발명은 층상구조로서 박리가 용이한 운모기판을 희생기판으로 이용하였으나, 본 발명의 범위는 이에 제한되지 않으며, 층간 구조로 인하여 층들이 순차적으로 벗겨질 수 있는 임의의 모든 기판이 상기 층상기판으로 사용될 수 있다.
한편, 도 2를 참조하면, 실리콘 웨이퍼(100) 상에 실리콘 옥사이드(200)가 적층되어진다. 본 발명에서는 상기 실리콘 웨이퍼(100)와 실리콘 옥사이드(200)가라 적층된 상태를 아울러 층상기판으로 칭할 수 있다.
도 3 및 도 4에서는 층상기판 상에 압전소자(300)가 적층된 압전 나노레이터 구조를 보인다. 도 3에서의 압전소자(300)는 압전물질층(301)을 중심으로 하여 금속층(302)이 상기 압전물질층(301)의 양측면에 배치되는 구조를 보인다. 즉, 하부로부터 차례로 실리콘 웨이퍼(100), 실리콘 옥사이드(200), 금속층(302), 압전물질층(301), 금속층(302)이 적층되는 구조로서, 상기 금속층(302), 압전물질층(301), 금속층(302)을 포함하는 적층 구조는 Metal-Insulator-Metal(MIM) 구조이다.
도 3에서의 압전소자(300)는 압전물질층(301)을 중심으로 하여 금속층(302)이 상기 압전물질층(301)의 양측면에 배치되는 구조를 보인다. 즉, 하부로부터 차례로 실리콘 웨이퍼(100), 실리콘 옥사이드(200), 금속층(302), 압전물질층(301), 금속층(302)이 적층되는 구조로서, 상기 금속층(302), 압전물질층(301), 금속층(302)을 포함하는 적층 구조는 Metal-Insulator-Metal(MIM) 구조이다. 상기 MIM 구조는 상하로 배치된 금속층(302)에 전위차를 주어 폴링을 진행한다.
도 4에서의 압전소자(300)는 압전물질층(301)의 상부에 금속층(302)이 배치되는 구조를 보인다. 즉, 하부로부터 차례로 실리콘 웨이퍼(100), 실리콘 옥사이드(200), 압전물질층(301), 금속층(302)이 적층되는 구조로서, 상기 압전물질층(301), 금속층(302)을 포함하는 적층 구조는 Interdigitated Electrod(IDE) 구조이다. 상기 IDE 구조는 상기 압전물질층(310) 상에서 공간적으로 분리 이격된 구조를 형성하는 금속층(302)에 전위차를 주어 폴링을 진행한다. 구체적으로, 도 4에서 확인할 수 있듯이 압전물질층(301) 상에서 대칭적으로 형성되는 한쌍의 금속층(302)이 접촉하지 않은 상태로 배치된다.
도 5 및 도 6은 실리콘 웨이퍼(100), 실리콘 옥사이드(200) 상에 압전소자(300) 및 분리유도금속(400)이 순차적으로 적층된 상태를 나타낸다. 분리유도금속(400)은 니켈층일 수 있고, 분리유도금속(400)의 적층은 스퍼터링이나 PVD 공정 등과 같은 통상의 반도체 공정을 통하여 수행될 수 있으며, 이 외에도 통상적인 금속 도포 방식에 따라서도 적층될 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 적층에 따라 압전소자(300) 상에 접합된 금속층인 니켈층(400)은 자체적인 잔류인장응력을 가지고 있으므로, 이에 따라 압전소자(300)와 니켈층(400) 간에 응력 부조화가 발생한다.
도 8을 참조하면, 니켈층(400)의 잔류인장응력으로 인하여 외측 방향으로 작용하는 인장응력 및 상기 잔류인장응력에 따라 실리콘 웨이퍼(100)와 실리콘 옥사이드(200)를 포함하는 층상기판에 내부 방향으로 발생하는 압축응력에 의해 압전소자(300)와 층상 기판 사이에 박리가 발생한다.
즉, 잔류인장응력을 가지는 금속층인 니켈층(400)이 압전소자(300) 상에 형성되는 과정에서 층상기판 과의 사이에 응력의 차이가 발생하게 되고, 이를 통해 압전소자(300) 및 층상기판의 잔류 압축응력의 부조화(mismatch) 또는 비대칭성 때문에 기판의 수평방향으로 박리가 발생하며,
본 발명은 이와 같이 실리콘 기판의 압축응력과 상이한 인장응력을 갖는 금속층인 니켈층을 통해, 원하는 압전소자와 기판을 적층한 후에, 잔류응력의 차이를 이용하여 박리를 발생시키는 과정을 통해 소자를 분리한다. 특히 이러한 소자의 분리는 실리콘 기판과 압전소자(300) 사이의 박리를 이용하는 것이므로, 실리콘 기판 상에서 제조된 압전소자를 원형 그대로 분리, 전사시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 수평방향의 박리 형성 높이는 니켈층(400)의 두께에 따라 결정되는 니켈층(400)과 층상기판 사이의 응력 차이에 따라 제어될 수 있으므로, 필요한 경우, 하부의 실리콘 웨이퍼(100)를 ?게 하여 플렉서블 특성을 부여할 수 있다.
도 9는 실리콘 웨이퍼(100)와 실리콘 옥사이드(200)를 포함하는 층상기판이 분리되어 압전소자(300)와 분리유도금속(400) 만이 잔존하는 상태를 나타낸다.
이후에 도 10과 같이, 전사필름 등을 통해 압전소자(300)와 분리유도금속(400)이 플레서블 기판(500)으로 전사된다.
도 11은 에칭 등을 통해 분리유도금속(400)이 압전소자(300)의 상단으로부터 식각되어진 것을 확인할 수 있다. 상기 식각은 분리유도금속(400)와 압전소자(300) 사이의 식각비를 이용하여 진행된다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 실시예에 따라 나노제너레이터에 해당하는 압전소자와 분리유도금속을 층상기판 상에 형성한 후 압전소자를 플라스틱 기판 상에 최종적으로 전사하는 과정을 실제 공정 사진 및 적층 구조를 통해 나타낸 도면이다.
도 12에서는 니켈층인 분리유도금속층(400)이 압전소자(300) 상에 형성된 것을 보인다.
도 13에서는 분리유도금속층(400)의 잔류응력으로 인한 응력 부조화에 따라 압전소자(300)와 실리콘 웨이퍼(100) 사이에 박리가 일어난 상태에서 분리유도금속층(400) 상단에 부착된 전사용 분리 테이프를 통해 적층된 분리유도금속층(400) 및 압전소자(300)가 상기 분리 테이프 상에 분리배치된 것을 확인할 수 있다.
도 14에서는 플라스틱 기판 상에 압전소자(300) 및 분리유도금속층(400)이 분리 테이프로부터 전사된 것을 확인할 수 있다.
다음으로는, 도 15에서 분리유도금속(400)과 압전소자(300) 사이의 식각비를 이용하여 분리유도금속(400)이 압전소자(300)로부터 식각되어진 것을 확인할 수 있다.
상기와 같이, 본 발명은 니켈층인 분리유도금속(400)의 잔류인장응력을 이용하여 나노제너레이터에 해당하는 압전소자(300)와 실리콘 옥사이드(200) 사이의 경계면에서 정확한 박리를 가능하게 함으로써, 나노제너레이터의 생성을 위해서 중간 물질에 해당하는 실리콘 웨이퍼(100)와 실리콘 옥사이드(200)의 제거를 원활하게 한다.
다음으로는, 도 16 내지 도 17을 참조하여 실험 대상물인 쥐에 대한 생체 신경을 자극하는 과정을 설명한다. 여기에서는 본 발명에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터를 이용하여 쥐의 생체에 대한 신경을 자극하는 것에 대해 설명한다.
본 발명에 따른 생체 자극 감지 시스템은 생체용 플라스틱 나노제너레이터가 삽입된 생체의 움직임에 따라 생체용 나노제너레이터로부터 발생한 전기에너지를 공급받아 생체의 신경에 전달하는 자극 수단(stimulation electrodes), 생체의 신경에 연결된 근육의 움직임을 센싱하는 감지 수단(sensing electrodes), 및 감지 수단으로부터의 데이터를 출력하는 모니터링 수단(ECG Monitoor)을 포함한다.
즉, 본 발명은 플라스틱 나노제너레이터에서 발생되는 전기에너지를 이용하여 생체 내의 신경을 인위적으로 자극하여 근육을 움직이게 할 수 있는 것으로서, 일예로서 도 17에서와 같이 장기 조직인 쥐의 심장을 자극할 수 있게 한다. 상기와 같이, 쥐의 신경을 자극하면 근육 등을 움직일 수 있기 때문에 의학적으로 큰 의미가 있다.
도 18은 나노제너레이터를 이용하여 생체의 심장을 자극하고 인공적인 심장박동을 만드는 그래프이다.
가로축은 시간을 나타내고 세로축은 ECG 진폭(ECG amplitude, V)을 나타낸다. 상기 그래프에서 0.0 V 근처에서 진동하는 시그널은 심장으로부터의 자연적인 신호이고, 주기적으로 상하 방향으로 피크를 이루는 것은 나노제너레이터로부터 기인한 인공적인 자극을 나타내는 신호이다. 구체적으로는, 하부 방향으로의 피크는 나노제너레이터 작동에 의한 벤딩(bending)을 나타내고, 상부 방향으로의 피크는 언벤딩(unbending)을 나타낸다.
상기의 내용과 같이, 생체 내에 본 발명에 따른 나노제너레이터를 이식하면 생테 내의 장기 등의 움직임에 의해 나노제너레이터에서 전기에너지가 발생하고, 손상된 신경을 대신해 뇌에 전기 자극을 줄 수 있으므로 파킨슨 병 치료 가능성을높이게 된다. 이를 통해, 플라스틱 나노제너레이터의 플라스틱 기판의 휨에 따라 발생한 전류가 제공되는 의료용 전자기기로 이용할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 나노제너레이터 상에 부착되는 분리유도금속의 두께 조절 및 잔류인장응력을 이용하여 상기 분리유도금속과 압전물질을 층상기판으로부터 용이하게 분리하게 한다. 즉, 본 발명은 압전소자와 층상기판의 경계면에서의 박리를 수행하게 함으로써 실리콘 기판과 실리콘 옥사이드 등을 포함한 고정기판을 깨끗하게 분리할 수 있다는 장점이 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니한다. 즉, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능하며, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정의 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
100 : 실리콘 웨이퍼
200 : 실리콘 옥사이드
300 : 압전소자(나노제너레이터)
301 : 압전물질층
302 : 금속전극
400 : 분리유도금속
500 : 플라스틱 기판
200 : 실리콘 옥사이드
300 : 압전소자(나노제너레이터)
301 : 압전물질층
302 : 금속전극
400 : 분리유도금속
500 : 플라스틱 기판
Claims (14)
- 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법으로서,
층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계;
상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계;
상기 압전소자 상에 전사기판을 접합시키는 단계;
상기 층상기판을 제거하는 단계;
상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및
상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기의 압전소자를 상기 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계는,
상기 플라스틱 기판의 양측 면에 압전소자를 각각 전사시키는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제조방법은,
상기 압전소자의 금속층에 금속선을 연결시키는 단계; 및
상기 압전소자를 밀봉부재로 밀봉시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 층상 기판은 운모 기판이며, 상기 층상 기판의 제거는 물리적 방식의 박리에 의하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,
상기 층상 기판은 실리콘 웨이퍼 및 실리콘 옥사이드가 순차적으로 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 5 항에 있어서,
상기 층상 기판의 제거는 상기 압전소자에 증착된 응력 분리 금속의 잔류 응력으로 인하여 상기 분리유도금속과 상기 상기 층상 기판과의 응력 방향의 차이가 발생함으로써 박리가 가능한 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,
상기 분리유도금속은 니켈(Ni)인 것을 특징으로 하는, 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 분리유도금속을 제거하는 것은 에칭에 의한 것을 특징으로 하는, 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 층상기판을 제거하는 단계는,
상기 분리유도금속 상에 분리 테이프를 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법을 이용하여 제조된,
생체용 플라스틱 나노제너레이터.
- 제 10 항에 있어서,
상기 압전소자는 상기 압전물질층을 중심으로 하여 그 양측면에 상기 금속층이 배치되는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터.
- 제 10 항에 있어서,
상기 금속층은 상기 압전물질층 상에서 공간적으로 분리 이격된 구조인 것을특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터.
- 제 10 항에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터;
상기 생체용 플라스틱 나노제너레이터가 삽입된 생체의 움직임에 따라 상기 생체용 나노제너레이터로부터 발생한 전기에너지를 공급받아 생체의 신경에 전달하는 자극 수단;
상기 생체의 신경에 연결된 근육의 움직임을 센싱하는 감지 수단; 및
상기 감지 수단으로부터의 데이터를 출력하는 모니터링 수단;을 포함하는 생체 자극 감지 시스템.
- 제 10 항에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터를 포함하는 의료용 전자기기로서, 여기에서 상기 플라스틱 나노제너레이터의 플라스틱 기판의 휨에 따라 발생한 전류가 상기 의료용 전자기기로 제공되는 것을 특징으로 하는, 의료용 전자기기.
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| KR1020140072387A KR101622202B1 (ko) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노제너레이터 |
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