KR20150131677A - Apparatus for measuring output of laser beam - Google Patents

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KR20150131677A
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Abstract

The present invention relates to an apparatus and a method for measuring a laser beam output and, more specifically, an apparatus and a method for measuring a laser output to accurately measure laser beam output characteristics at a the portion to be irradiated with a laser beam. The apparatus comprises: a laser beam source which irradiates a laser beam; a light transmitting unit which transmits the laser beam irradiated from the laser beam source, to a target; a point beam source which irradiates a point beam onto an the optical axis of the laser beam irradiated through the light transmitting unit; a camera which acquires an image for the target; and a calculation unit which calculates a the light irradiation distance to the target from the image information for the laser beam and the point beam obtained from the camera, and calculates the laser beam output characteristics of the target from the calculated light irradiation distance. Accordingly, it is possible to perform a safe and accurate treatment.

Description

레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법 {Apparatus for measuring output of laser beam}Technical Field [0001] The present invention relates to an apparatus and a method for measuring a laser beam output,

본 발명은 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저 빔을 조사하고자 하는 부위에서의 레이저 빔의 출력 특성을 정확하게 측정하기 위한 레이저 출력 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a laser beam output measuring apparatus and method, and more particularly, to a laser output measuring apparatus and method for accurately measuring an output characteristic of a laser beam at a portion to be irradiated with a laser beam.

오늘날 치료 등의 목적을 위해 레이저빔을 피부에 조사하여 시술하는 다양한 레이저 치료 기법이 개발되고 있으며, 레이저 치료 기법의 이용을 위한 의료용 레이저 장치 역시 활발하게 연구되고 있다. Today, various laser treatment techniques for irradiating and irradiating the laser beam to the skin for the purpose of treatment are being developed, and a medical laser device for use of the laser treatment technique is actively studied.

레이저를 이용한 치료 기법은 피부 재생, 미백, 주름이나 반점 제거, 기미 제거, 광역학 치료, 통증완화, 등 다양한 목적으로 사용되고 있으며, 레이저를 이용한다는 점을 제외하고 사용 목적에 따라서 장치 및 기법에는 차이가 있고, 동일 목적이라 하더라도 레이저빔을 조사하는 조건이나 사용하는 장치에 차이가 있다.The laser treatment technique is used for various purposes such as skin regeneration, whitening, wrinkle or spot removal, stain removal, photodynamic therapy, pain relief, etc. In addition to the fact that laser is used, And there are differences in the conditions for irradiating the laser beam and the apparatus used for the same purpose.

특히, 의료 목적의 레이저 치료를 위해 사용되는 레이저 치료 장치는 일반적으로 치료를 위한 광원으로써의 레이저 조사 수단과 상기 레이저 조사 수단으로부터 조사되는 광을 환자의 치료 부위에 전달하도록 구성된 광섬유 등으로 구성되는 광전달 장치로 구성된다. Particularly, a laser treatment apparatus used for medical treatment of laser is generally composed of a laser irradiation means as a light source for treatment and an optical fiber composed of an optical fiber configured to transmit light irradiated from the laser irradiation means to a treatment region of a patient And a delivery device.

이와 같이 레이저 조사수단 및 광 전달장치를 통해 치료부위로 조사되는 레이저 빔의 출력 특성, 즉, 출력 파워(output power)와 빔 형태(beam shape) 등은 레이저 조사수단 또는 광 전달장치의 종류 및 특성, 레이저 조사수단 또는 광 전달장치로부터 치료부위까지의 거리 등의 여러 조건에 의해 변화한다.The output characteristics of the laser beam irradiated to the treatment region through the laser irradiation means and the optical transmission device, that is, the output power and the beam shape, , The distance from the laser irradiation means or the optical delivery device to the treatment site, and the like.

따라서, 레이저 빔 발생장치에서 출력되는 레이저 빔의 특성과 실제 치료 부위에 조사되는 레이저 빔의 특성은 서로 차이를 보이게 된다. 그러나, 레이저 빔을 의료용으로 이용하는 경우, 정확하고 안전한 치료를 위해서는 치료 부위에서의 레이저 빔의 정확한 출력 특성을 확인하는 것이 가장 바람직하다.Therefore, the characteristics of the laser beam output from the laser beam generator and the characteristics of the laser beam irradiated to the actual treatment region are different from each other. However, when using a laser beam for medical use, it is most preferable to confirm the accurate output characteristic of the laser beam at the treatment site for accurate and safe treatment.

예를 들어, 기존에 이용되었던 레이저 빔의 출력 에너지에 대한 정보를 제공하는 방식의 일례로써, 레이저 조사수단 또는 광 전달장치와 결합 전에 레이저 빔 발생장치에서 출력되는 빔의 일부를 검출하여 레이저 빔의 출력 에너지를 제시하는 방식이 있다. 그러나, 이러한 방식의 경우, 앞서 설명한 바와 같이 레이저 조사수단 또는 광 전달장치의 형태 및 특성에 따라 레이저 빔 출력 특성이 달라지는 문제점이 나타난다. 따라서, 치료부위로 조사되는 레이저 빔의 정확한 출력 특성에 대한 정보를 제공할 수 없게 된다.For example, as an example of a method of providing information on the output energy of a laser beam used in the past, a part of the beam output from the laser beam generating device before coupling with the laser irradiation means or the optical transmission device is detected, There is a way to present the output energy. However, in the case of this type of method, there is a problem that the laser beam output characteristic varies depending on the shape and characteristics of the laser irradiation means or the optical transmission device as described above. Therefore, it is impossible to provide information on the accurate output characteristic of the laser beam irradiated to the treatment site.

기존에 이용되었던 또 다른 방식으로, 레이저 빔 발생장치에서 출력되는 빔이 레이저 조사수단 또는 광 전달장치를 거쳐 출력되는 빔의 일부를 검출하여 레이저 빔의 출력 에너지를 제시하는 방식이 있다.There is a method in which a beam output from a laser beam generator detects part of a beam output through a laser irradiation means or an optical transmission device and presents output energy of the laser beam.

그러나, 이러한 방식 또한 치료부위와의 거리에 따라 달라지는 레이저 빔 출력 특성을 고려하지 못하기 때문에, 측정 부위에서의 레이저 빔 출력 특성을 정확하게 측정하기 어려운 문제점이 존재하였다.However, there is a problem that it is difficult to accurately measure the laser beam output characteristic at the measurement site because this method also fails to consider the laser beam output characteristic depending on the distance from the treatment site.

한편, 빔 출력 특성 정보를 측정하기 위한 다른 방식으로, 레이저 조사수단 또는 광 전달장치를 통해 레이저 빔이 조사된 다음, 치료부위에서 반사되어 나오는 레이저 빔을 검출하여 출력 에너지를 제시하는 방식이 있다.In another method for measuring the beam output characteristic information, there is a method in which a laser beam is irradiated through a laser irradiation means or an optical transmission device, and then a laser beam reflected from a treatment region is detected to present output energy.

그러나, 이러한 반사광을 측정하는 방식의 경우, 치료부위의 특성, 예를 들어, 표면상태, 광 흡수율 및 반사율 등에 따라 측정오차 발생하게 되므로, 정확한 측정이 불가능한 문제점이 존재하였다.However, in the case of such a method of measuring reflected light, there is a problem that accurate measurement can not be performed because a measurement error occurs according to characteristics of a treatment site, for example, a surface state, a light absorption rate, and a reflectance.

한편, 정확한 초점을 맞춰 레이저 빔을 조사하여 치료하는 경우가 아닌, 광 전달장치를 거쳐 방사형태로 레이저 빔을 치료부위에 조사하는 경우, 일반적으로 레이저의 총 출력파워는 알고 있더라도 치료부위와의 거리나 치료부위에 조사되는 레이저 빔의 출력 분포, 출력 밀도, 조사된 에너지량을 정확히 파악하기 어려운 문제점이 있다.On the other hand, when irradiating a laser beam to a treatment site in a radiation pattern through a light transfer device rather than irradiating the laser beam with a precise focus, the total output power of the laser is generally known, There is a problem that it is difficult to accurately grasp the output distribution of the laser beam irradiated to the treatment site, the output density, and the amount of irradiated energy.

특히 유연한(flexible) 타입의 광 전달장치를 이용하는 경우처럼 조사광의 위치가 가변적으로 움직이거나 치료부위와의 거리가 떨어져야 하는 경우, 광 전달장치와 치료부위와의 작업거리에 따라서 조사되는 레이저 빔의 출력 분포 및 세기가 달라지므로, 방사되어 조사된 레이저 빔의 치료부위에서의 출력 분포, 출력 밀도, 조사된 에너지량을 정확히 파악하기에는 어려움이 따른다.
In particular, when the position of the irradiation light is variable or the distance from the treatment site is to be reduced, for example, in the case of using a flexible type optical transmission device, the output of the laser beam irradiated according to the working distance between the light transmitting device and the treatment area It is difficult to accurately grasp the output distribution, the output density, and the amount of irradiated energy at the treatment site of the radiated and irradiated laser beam.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명에서는 레이저 빔과 치료부위와의 거리, 빔의 형태, 출력에 대한 정확한 정보를 파악하여, 이를 통해 치료부위에서의 정확한 치료 에너지의 양과 분포를 알 수 있도록 구성함으로써, 레이저 빔을 이용하여 안전하고 정확한 치료가 이루어질 수 있도록 구성된 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a laser beam treatment apparatus and a laser beam treatment apparatus, And to provide a laser beam output measuring apparatus and method configured to perform safe and accurate treatment using a laser beam.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스; 상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 타켓으로 전달하는 광전달부; 상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스; 상기 타겟에 대한 영상을 획득하기 위한 카메라; 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하고, 산출된 광 조사 거리(dt)로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 연산부;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a laser beam source for irradiating a laser beam; A light transmitting unit for transmitting a laser beam emitted from the laser beam source to a target; A point beam source for irradiating a point beam onto an optical axis of the laser beam irradiated through the light transmitting portion; A camera for acquiring an image of the target; (D t ) from the image information of the laser beam and the point beam obtained by the camera to the target and calculates a laser beam output characteristic at the target from the calculated light irradiation distance (d t ) And a measurement unit for measuring the output of the laser beam.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculation unit previously calculates and stores a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam crosses the optical axis to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis. An output measuring device is provided.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculation unit may calculate a correction value indicating a distance between the reference plane and the target from a beam gap corresponding to a distance between a beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and a distance from the optical axis of the laser beam to the point- And calculates the light irradiation distance (d t ) from the reference distance and the correction value.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculating unit may estimate the position of the target from the point beam imaging position and determine whether the target is located before or after the reference plane with reference to the position of the laser beam source, Subtracts the correction value when the target is located at a position closer to the laser beam source side and adds the correction value when the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane, And the reference distance is determined as a light irradiation distance (d t ) when the target is located in the laser beam output measuring device.

또한, 상기 연산부에서는 산출된 상기 광 조사 거리(dt)로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.Further, the calculating unit calculates the laser beam intensity I (r, z) on the laser beam spot from the calculated light irradiation distance d t by the following equation .

Figure pat00001
Figure pat00001

(여기서, ω0는 빔 웨이스트, θ는 발산각, ω(z)는 빔의 반경, r은 빔의 중심으로부터의 거리)(Wherein, ω 0 is a beam waist, the divergence angle θ, ω (z) is the radius of the beam, r is the distance from the center of the beam)

또한, 상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further comprises a point beam source control unit for adjusting the point beam irradiation angle of the point beam source or adjusting the position of the point beam source with the point beam irradiation angle do.

또한, 상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further includes a mirror disposed on the optical axis of the laser beam for transmitting the laser beam and reflecting the reflected light from the target and transmitting the reflected light to the camera.

또한, 상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further includes a lens positioned between the mirror and the light transmission unit and adapted to adjust a beam size to the target.

또한, 레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스; 상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 전달하는 광전달부; 상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스; 상기 레이저 빔 소스의 광축 주위 영상을 획득하기 위한 카메라; 상기 레이저 빔 소스로부터 출력되는 광을 측정할 수 있도록 위치되는 광검출기; 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 광검출기로의 광조사 거리(dd)를 산출하고, 상기 카메라에서 얻어진 영상 신호 세기와 상기 광검출기에서 측정된 레이저 빔의 출력 세기를 비교하여, 카메라 영상 신호의 세기를 결정하는 연산부;를 포함하며, 상기 연산부에서는 광검출기로의 광 조사 거리(dd)와 동일한 광 조사 거리(dt)에 타겟이 위치할 때, 상기 타겟에 대한 카메라 영상 신호로부터 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.A laser beam source for irradiating a laser beam; A light transmitting unit for transmitting the laser beam irradiated from the laser beam source; A point beam source for irradiating a point beam onto an optical axis of the laser beam irradiated through the light transmitting portion; A camera for acquiring an image around the optical axis of the laser beam source; A photodetector positioned to measure light output from the laser beam source; (D d ) from the image information of the laser beam and the point beam obtained from the camera to the photodetector, and calculates the intensity of the image signal obtained from the camera and the intensity of the laser beam measured by the photodetector and, the operation for determining the strength of the camera video signal compared; when includes, a target irradiation with light distance (d d) with the same irradiation distance (d t) of a photo-detector in the operation unit position and the target And a laser beam output characteristic is calculated from the camera image signal of the camera.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculation unit previously calculates and stores a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam crosses the optical axis to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis. An output measuring device is provided.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 상기 광검출기 또는 상기 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dd)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculation unit may calculate the beam spot on the basis of the beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and the beam interval corresponding to the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, And calculating the light irradiation distance d d from the reference distance and the correction value.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 광검출기의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 각각의 광 조사 거리(dd , dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The calculating unit estimates the position of the photodetector from the point beam imaging position and determines whether the photodetector or the target is located before or after the reference plane based on the position of the laser beam source, When the target is positioned closer to the laser beam source side than the reference plane, subtracts the correction value, and the photodetector or the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane (D d , d t ) when the optical detector or the target is located at the position of the reference plane , An output measuring device is provided.

또한, 상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further comprises a point beam source control unit for adjusting the point beam irradiation angle of the point beam source or adjusting the position of the point beam source with the point beam irradiation angle do.

또한, 상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further includes a mirror disposed on the optical axis of the laser beam for transmitting the laser beam and reflecting the reflected light from the target and transmitting the reflected light to the camera.

또한, 상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 제공한다.The apparatus further includes a lens positioned between the mirror and the light transmission unit and adapted to adjust a beam size to the target.

한편, 본 발명에서는 레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 타겟으로 조사하는 단계; 카메라로부터 타겟에 대한 영상을 획득하는 단계; 연산부에서 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리를 산출하는 단계; 상기 연산부에서 산출된 광 조사 거리로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: irradiating a laser beam and a point beam from a laser beam source and a point beam source, respectively, Obtaining an image for a target from a camera; Calculating a light irradiation distance to a target from image information on the laser beam and the point beam obtained by the camera in an operation unit; And calculating a laser beam output characteristic at the target from the light irradiation distance calculated by the calculation unit.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.The calculation unit may previously calculate and store a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam intersects with the optical axis of the point beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, And calculating the light irradiation distance from the reference distance previously stored in the calculating step.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the step of calculating the light irradiation distance, from the beam interval corresponding to the distance between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam, and the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, Calculating a correction value indicating a distance between the target and the target, and calculating the light irradiation distance from the reference distance and the correction value.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the calculating of the light irradiation distance, the position of the target is estimated from the point beam imaging position, and it is determined whether the target is located before or after the reference plane with reference to the position of the laser beam source, Subtracts the correction value when the target is located closer to the laser beam source side than the reference plane and adds the correction value when the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane And determining the reference distance as a light irradiation distance (d t ) when the target is located at the position of the reference plane.

또한, 상기 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계에서는 산출된 상기 광 조사 거리로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the step of calculating the laser beam output characteristic, the laser beam intensity I (r, z) on the laser beam spot is calculated from the calculated light irradiation distance by the following equation .

Figure pat00002
Figure pat00002

(여기서, ω0는 빔 웨이스트, θ는 발산각, ω(z)는 빔의 반경, r은 빔의 중심으로부터의 거리)(Wherein, ω 0 is a beam waist, the divergence angle θ, ω (z) is the radius of the beam, r is the distance from the center of the beam)

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.Further, there is provided a method of measuring a laser beam output, comprising the steps of: changing a position at which a point beam is irradiated by a point beam source control unit before a step of calculating the irradiation distance, thereby resetting a reference distance .

또한, 광검출기 측으로 레이저 빔 소스로부터 광이 조사되도록 소정의 광 조사 거리(dd) 상에 광검출기를 위치시키는 단계; 레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 상기 광검출기로 조사하는 단계; 상기 광검출기로부터 하나 이상의 위치에서 레이저 빔의 출력 세기 정보를 검출하고, 카메라로부터 상기 광검출기 위치에서의 영상 정보를 획득하는 단계; 상기 카메라에서 획득된 영상 신호의 세기 정보를 상기 광검출기에서 검출된 레이저 빔의 출력 세기 정보와 비교하여 상기 광검출기 위치에서의 레이저 빔 출력 분포 및 출력 밀도를 확인하는 단계; 상기 광검출기를 상기 레이저 빔 소스의 광축 상에서 제거하고, 상기 광 조사 거리(dd)와 동일한 거리에 타겟을 위치시키는 단계; 상기 카메라에서 얻어진 영상 정보로부터 상기 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.Positioning the photodetector on the photodetector side on a predetermined light irradiation distance d d such that light is irradiated from the laser beam source; Irradiating a laser beam and a point beam from the laser beam source and the point beam source, respectively, with the photodetector; Detecting power intensity information of the laser beam at one or more locations from the photodetector and acquiring image information at the photodetector location from the camera; Comparing the intensity information of the image signal obtained by the camera with the intensity information of the laser beam detected by the photodetector to confirm a laser beam output distribution and an output density at the optical detector position; Removing the photodetector on an optical axis of the laser beam source and positioning the target at a distance equal to the light irradiation distance d d ; And calculating a laser beam output characteristic of the target from the image information obtained by the camera.

또한, 상기 광검출기를 위치시키는 단계 또는 상기 타겟을 위치시키는 단계에서는 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 연산부에서 광검출기로의 광 조사 거리(dd) 또는 상기 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the step of positioning the photodetector or the step of positioning the target, the light irradiation distance d d from the arithmetic unit to the photodetector is calculated from the image information of the laser beam and the point beam obtained from the camera, And a light irradiation distance (d t ) is calculated.

또한, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.The calculation unit may previously calculate and store a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam intersects with the optical axis of the point beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, And calculating the light irradiation distance from the reference distance previously stored in the calculating step.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the step of calculating the light irradiation distance, from the beam interval corresponding to the distance between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam, and the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, Calculating a correction value indicating a distance between the target and the target, and calculating the light irradiation distance from the reference distance and the correction value.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.In the calculating of the light irradiation distance, the position of the target is estimated from the point beam imaging position, and it is determined whether the target is located before or after the reference plane with reference to the position of the laser beam source, Subtracts the correction value when the target is located closer to the laser beam source side than the reference plane and adds the correction value when the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane And determining the reference distance as a light irradiation distance (d t ) when the target is located at the position of the reference plane.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법을 제공한다.
Further, there is provided a method of measuring a laser beam output, comprising the steps of: changing a position at which a point beam is irradiated by a point beam source control unit before a step of calculating the irradiation distance, thereby resetting a reference distance .

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법에서는 복잡한 구조를 갖는 고가의 위치조정장치 및 거리측정장치 없이도 간단하고 정확하게 치료부위와의 거리를 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 이를 통해 측정 부위에서의 정확한 레이저 빔 출력 특성을 측정할 수 있는 효과가 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the apparatus and method for measuring laser beam output according to the present invention can easily and accurately measure the distance to a treatment site without expensive positioning apparatus and distance measuring apparatus having a complicated structure, It is possible to measure an accurate laser beam output characteristic at a site.

또한 본 발명에 따르면, 측정된 치료 부위까지의 광 조사 거리로부터 가우시안 분포를 갖는 레이저 빔이 갖는 치료 부위에서의 레이저 빔 출력 특성에 대한 정보를 정확하게 얻을 수 있기 때문에, 치료 부위로 조사되는 치료 에너지량을 정확하게 파악하여 안전하고 정확한 치료가 가능한 효과가 있다.Further, according to the present invention, since information on the laser beam output characteristic at the treatment site of the laser beam having the Gaussian distribution can be accurately obtained from the irradiation distance to the measured treatment site, the therapeutic energy amount irradiated to the treatment site And thus it is possible to perform safe and accurate treatment.

또한, 본 발명에 따르면, 검출기를 통해 가우시안 분포를 갖는 광원 뿐만 아니라, 가우시안 빔 특성을 갖지 않는 경우에서의 출력 특성을 간단한 방식으로 확인하고 정확한 치료 계획을 수립할 수 있다.
Further, according to the present invention, it is possible to confirm not only the light source having the Gaussian distribution but also the output characteristics in the case of not having the Gaussian beam characteristic through the detector in a simple manner and establish an accurate treatment plan.

도 1은 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치의 개략적인 구성을 도시하고 있는 것이고,
도 2는 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법의 개략적인 측정 원리를 설명하기 위하여, 도 1에 나타난 세 개 평면에 대하여 결상된 포인트 소스 빔 및 레이저 빔 스팟을 도시하고 있는 것이고,
도 3은 본 발명에서 가우시안 분포를 갖는 레이저 빔을 조사한 경우, 광 조사 거리에 따라 빔 세기 프로파일의 변화를 개략적으로 도시하고 있는 것이고,
도 4는 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치에서 검출기를 이용한 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법을 도시하고 있는 것이고,
도 5는 본 발명에 다른 레이저 빔 출력 측정 장치의 또 다른 구현예로써, 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈가 더 포함된 예를 도시한 것이다. Fig. 1 shows a schematic configuration of a laser beam output measuring apparatus according to the present invention,
Fig. 2 shows a point source beam and a laser beam spot imaged on three planes shown in Fig. 1 in order to explain the schematic measurement principle of the laser beam output measuring apparatus and method according to the present invention,
3 schematically shows a change in the beam intensity profile according to the irradiation distance when the laser beam having the Gaussian distribution is irradiated in the present invention,
FIG. 4 shows an apparatus and a method for measuring a laser beam output using a detector in a laser beam output measuring apparatus according to the present invention,
5 shows another example of a laser beam output measuring apparatus according to the present invention, which further includes a lens for adjusting the beam size.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법을 상세하게 설명한다.Hereinafter, an apparatus and method for measuring a laser beam output according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법은 치료 행위와 같은 의료용의 목적으로 이용되는 레이저 빔의 출력을 정확하게 측정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 치료용 레이저 조사 수단을 포함하되, 이러한 조사 수단으로부터 치료 부위로 조사되는 레이저 빔의 치료 부위에서의 출력을 정확하게 측정하기 위한 장치 및 방법을 제공하고자 한다.An apparatus and method for accurately measuring the output of a laser beam used for medical purposes, such as a treatment action, and a laser irradiation means for treatment, And an apparatus and a method for accurately measuring the output of the laser beam irradiated from the treatment site to the treatment site.

본 발명에서는 레이저 빔과 치료부위와의 거리, 빔의 형태, 출력에 대한 정확한 정보를 파악하여, 이를 통해 치료부위에서의 정확한 치료 에너지의 양과 분포를 알 수 있도록 구성된다.In the present invention, accurate information on the distance between the laser beam and the treatment site, the shape of the beam, and the output are obtained, and the amount and distribution of the correct treatment energy in the treatment site can be determined.

특히, 본 발명에서는 고가의 위치조정장치 및 거리측정장치를 사용하지 않고도, 간단하고 정확하게 치료부위와의 거리를 측정할 수 있으며, 이를 통해 측정 부위에서의 정확한 레이저 빔 출력 특성을 측정할 수 있는 장치를 제공하는 것에 특징이 있다.Particularly, in the present invention, it is possible to measure the distance to the treatment site simply and accurately without using expensive position adjusting devices and distance measuring devices, and to measure the laser beam output characteristics accurately at the measurement site And the like.

본 발명에서의 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법은 레이저 빔을 치료용으로 이용되는 것을 예시하여 설명되고 있으나, 광원을 이용한 다양한 진단을 목적으로 하는 설비에도 적용될 수 있음을 유의하여야 한다.It should be noted that the apparatus and method for measuring the laser beam output in the present invention are exemplified for use in treating a laser beam, but may be applied to facilities for various diagnoses using a light source.

도 1은 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치의 개략적인 구성을 도시하고 있는 것이고, 도 2는 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치 및 방법의 개략적인 측정 원리를 설명하기 위하여, 도 1에 나타난 세 개 평면에 대하여 결상된 포인트 소스 빔 및 레이저 빔 스팟을 도시하고 있는 것이다.FIG. 1 shows a schematic configuration of a laser beam output measuring apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a laser beam output measuring apparatus and method according to the present invention, And a point source beam and a laser beam spot imaged on three planes.

구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 구현예에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치에서는 레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스(10), 상기 레이저 빔 소스(10)로부터 조사된 레이저 빔을 타켓으로 전달하는 광전달부(20), 상기 광전달부(20)를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스(50) 및 상기 타겟에 대한 영상을 획득하기 위한 카메라(30)를 포함하여 구성될 수 있다.1, a laser beam output measuring apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes a laser beam source 10 for irradiating a laser beam, a laser beam source 10 for irradiating the laser beam source 10, A point beam source 50 for irradiating a point beam onto the optical axis of the laser beam irradiated through the optical transmission unit 20, And may include a camera 30.

여기서, 상기 광전달부(20)는 상기 레이저 빔 소스(10)로부터 조사되는 레이저 빔을 타겟(치료 부위)로 전달하기 위한 것으로, 레이저 빔 소스(10)의 위치 또는 레이저 조사 수단의 구조에 따라 생략 또는 적절한 구성으로 대체될 수 있다.Here, the light transmitting portion 20 is for transmitting a laser beam irradiated from the laser beam source 10 to a target (treatment portion), and may be a laser beam source 10, Can be omitted or replaced with a suitable configuration.

또한, 도 1에서와 같이 상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라(30) 측으로 전달하기 위한 다이크로익 미러(40)를 포함하도록 구성할 수 있다.1, a dichroic mirror 40 is disposed on the optical axis of the laser beam for transmitting the laser beam and for reflecting the reflected light from the target to the camera 30 side Can be configured.

또한, 본 구현예에서는 상기 카메라(30)에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하고, 산출된 광 조사 거리(dt)로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 연산부(70) 및 상기 연산부(70)로부터 산출된 레이저 빔 출력 특성 결과에 따라, 레이저 빔의 출력이 원하는 출력이 되도록 레이저 빔을 제어하는 레이저 빔 제어부(80)를 포함하도록 구성할 수 있다.In this embodiment, the light irradiation distance d t to the target is calculated from the image information about the laser beam and the point beam obtained by the camera 30, and the light irradiation distance d t is calculated from the calculated light irradiation distance d t And a laser beam controller 80 for controlling the laser beam so that the output of the laser beam becomes a desired output according to the laser beam output characteristic calculated by the calculator 70 . ≪ / RTI >

특히, 상기 연산부(70)는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리(d0)를 미리 산출하여 저장하고, 이를 토대로 광 조사 거리를 산출하게 된다.In particular, the arithmetic unit 70 may previously calculate and store a reference distance d 0 corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam intersects the optical axis to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis And the light irradiation distance is calculated based on this.

상기 기준거리(d0)의 경우, 포인트 빔 소스(50)의 위치(광전달부로부터 포인트 빔 소스와의 거리)와 레이저 빔의 광축과의 각도를 통해 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔이 교차하는 기준 거리(d0)를 산출할 수 있다.In the case of the reference distance d 0 , the point beam and the laser beam intersect with each other through an angle between the position of the point beam source 50 (distance from the point light source to the point beam source) and the optical axis of the laser beam The reference distance d 0 can be calculated.

이와 관련, 도 1은 상기 레이저 빔의 광축 상에서, 기준 평면(Plane 0)을 기준으로 상기 포인트 빔이 상기 레이저 빔의 광축 상에 전후로 결상되는 경우에 대하여 도시하고 있는 것으로, 상기 레이저 빔의 광축 상에서 전후로 상기 기준 평면에 평행한 제1 평면(plane 1) 및 제2평면(plane 2)과 함께, 광전달부(20)로터 상기 제1 평면(plane 1) 및 상기 제2평면(plane 2)까지의 거리 d1, d2를 각각 도시하고 있다.In this regard, FIG. 1 shows a case where the point beam is focused on the optical axis of the laser beam on the basis of the reference plane (Plane 0) on the optical axis of the laser beam, (1) and the second plane (plane 2) together with a first plane (plane 1) and a second plane (plane 2) parallel to the reference plane before and after the optical transmission portion And the distances d 1 and d 2 , respectively.

도 1에 도시된 바와 같이, 제1 평면 상에 타겟이 위치하는 경우에는, 도 1을 기준으로 광축에 대하여 하방(도 2의 우측방향)으로 간격 a 만큼 떨어진 위치에 포인트 빔이 결상되며, 제2 평면 상에 타겟이 위치하는 경우에는 도 1을 기준으로 광축에 대하여 상방(도 2의 좌측방향)으로 간격 b 만큼 떨어진 위치에 포인트 빔이 결상되게 된다.As shown in Fig. 1, when a target is located on the first plane, a point beam is imaged at a position spaced apart by an interval a in the downward direction (rightward direction in Fig. 2) relative to the optical axis with reference to Fig. 1, When the target is located on the two planes, the point beam is formed at a position spaced apart from the optical axis by an interval b in the upward direction (left direction in FIG. 2) with reference to FIG.

각각의 경우에 대한 레이저 빔 스팟과 포인트 빔에 대한 영상 정보는 도 2에 도시된 바와 같다. 즉, 타겟이 제1 평면 상에 위치하는 경우, 레이저 빔 스팟은 기준 평면 상에 위치할 경우보다 작아지고, 제2 평면에 위치하는 경우, 레이버 빔 스팟은 기준 평면 상에 위치할 경우보다 커진다. 또한, 포인트 빔의 결상 위치는 도 2의 수평축(A-A', B-B', C-C'; 도 1의 수직 축)을 기준으로 좌우로 이동하게 된다.The image information for the laser beam spot and the point beam for each case is as shown in Fig. That is, when the target is located on the first plane, the laser beam spot is smaller than when it is located on the reference plane, and when it is located on the second plane, the laser beam spot is larger than when it is located on the reference plane. In addition, the imaging position of the point beam is moved left and right with reference to the horizontal axes A-A ', B-B', and C-C '(vertical axis in FIG.

상기 기준 평면과 타겟이 위치한 평면 간의 거리를 보정치라고 할 때, 상기 보정치를 산출하게 되면, 광전달부(또는 레이저 빔 소스)로부터 타겟까지의 거리(dt)를 측정할 수 있게 된다.If the distance between the reference plane and the plane on which the target is located is a correction value, the distance d t from the light transmitting portion (or laser beam source) to the target can be measured by calculating the correction value.

즉, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 광전달부(또는 레이저 빔 소스)로부터 상기 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리(d0)에서, 타겟 까지의 광 조사 거리는 상술한 보정치를 적용한 값이 되고, 이 때 보정치는 포인트 빔과 레이저 빔의 광축 간의 간격에 대한 tan 값으로부터 산출될 수 있다.That is, as described above, the light irradiation distance from the light transmitting portion (or the laser beam source) to the target at the reference distance d 0 corresponding to the distance from the reference plane (Plane 0) , Where the correction value can be calculated from the tan value of the distance between the point beam and the optical axis of the laser beam.

즉, 보정치는 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격(a)과, 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도(α)로부터, 도 1에서 확인할 수 있는 바와 같이 "a/tan(α)" 로 산출될 수 있다.That is, the correction value is calculated from the beam interval (a) corresponding to the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position and the beam angle (alpha) between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam, Can be calculated as "a / tan (alpha)" as can be confirmed.

마찬가지로, 제2 평면에 타겟이 위치하는 경우, 빔 간격이 "b"로 설정되게 되고, 따라서 보정치는 "b/tan(α)"가 된다.Similarly, when the target is located on the second plane, the beam interval is set to "b ", so that the correction value becomes" b / tan (alpha) ".

여기서 도 1의 제1 평면 및 제2 평면의 위치에서 확인할 수 있는 바와 같이, 타겟의 위치가 레이저 빔 소스(10)를 기준으로 기준 평면의 앞에 위치하는지 또는 뒤에 위치하는지에 따라 상기 보정치는 감산 또는 합산되게 된다.Here, as can be seen at the positions of the first plane and the second plane of Fig. 1, the correction value may be subtracted or subtracted depending on whether the position of the target is located before or after the reference plane with respect to the laser beam source 10 Summed.

구체적으로, 포인트 빔 소스(50) 위치와 포인트 빔 결상이 레이저 빔 광축을 기준으로 동일한 방향으로 상기 기준 평면(Plane 0)에 비하여 상기 레이저 빔 소스(10) 측에 가까운 위치에서 포인트 빔이 결상(타겟이 제1 평면에 위치)되는 것으로 판단된 경우라면, 상기 보정치를 감산하게 된다.Specifically, the position of the point beam source 50 and the position of the point beam image are shifted in the same direction with respect to the laser beam optical axis at a position closer to the laser beam source 10 side than the reference plane (Plane 0) The target is located on the first plane), the correction value is subtracted.

즉, 도 1의 제2 평면 상에 타겟이 위치하는 경우에는 아래와 같은 수학식(1)에 의하여 레이저 빔 소스(10)로부터 타겟까지의 광 조사 거리(dt)가 결정된다.That is, when the target is located on the second plane of FIG. 1, the light irradiation distance d t from the laser beam source 10 to the target is determined by the following equation (1).

Figure pat00003
Figure pat00003

또한, 포인트 빔 소스(50) 위치와 포인트 빔 결상이 레이저 빔 광축을 기준으로 서로 반대의 방향으로 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스(10) 측에서 먼 위치에서 포인트 빔이 결상(타겟이 제2 평면에 위치)되는 것으로 판단된 경우라면 상기 보정치를 합산하게 된다.In addition, the position of the point beam source 50 and the position of the point beam image are shifted from each other with respect to the laser beam optical axis in a direction opposite to the direction of the laser beam optical axis at a position farther from the laser beam source 10 side 2 plane), the correction values are added up.

따라서, 도 1의 제1평면 상에 타겟이 위치하는 경우에는 아래와 같은 수학식(2)에 의하여 레이저 빔 소스(10)로부터 타겟까지의 광 조사 거리(dt)가 결정된다.Therefore, when the target is located on the first plane in Fig. 1, the light irradiation distance d t from the laser beam source 10 to the target is determined by the following equation (2).

Figure pat00004
Figure pat00004

포인트 빔이 레이저 광축과 일치하여 상기 기준 평면의 위치에서 포인트 빔이 결상되는 것을 판단된 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하게 된다.When the point beam is aligned with the laser optical axis and it is determined that the point beam is focused at the position of the reference plane, the reference distance is determined as the light irradiation distance d t .

Figure pat00005
Figure pat00005

따라서, 본 구현예에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스(10) 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정한다.Therefore, in this embodiment, the position of the target is estimated from the point beam imaging position, and it is determined whether the target is positioned before or after the reference plane based on the position of the laser beam source 10.

그 결과, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스(10) 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스(10) 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리로 결정하게 된다.As a result, when the target is positioned closer to the laser beam source 10 side than the reference plane, the correction value is subtracted, and the target is positioned on the side of the laser beam source 10 And when the target is located at the position of the reference plane, the reference distance is determined as the light irradiation distance.

한편, 도 3은 본 발명에서 가우시안 분포를 갖는 레이저 빔을 조사한 경우, 광 조사 거리에 따라 빔 세기 프로파일의 변화하는 것을 개략적으로 도시하고 있는 것이다.Meanwhile, FIG. 3 schematically shows that the beam intensity profile changes according to the irradiation distance when a laser beam having a Gaussian distribution is irradiated in the present invention.

이러한 도 3에 도시된 바와 같이, 광전달부(20) 측에서의 레이저 빔에 비하여 방사되면서 조사되는 레이저 빔의 출력 특성은 변하게 되며, 이러한 레이저 빔의 출력 특성은 가우시안 분포를 따를 경우, 아래와 같은 수학식(4)를 통해 결정될 수 있다.
3, the output characteristic of the laser beam irradiated while being radiated as compared with the laser beam at the light transmitting portion 20 side is changed. When the output characteristic of the laser beam follows the Gaussian distribution, (4). ≪ / RTI >

Figure pat00006
Figure pat00006

(여기서, ω0는 빔 웨이스트, θ는 발산각, ω(z)는 빔의 반경, r은 빔의 중심으로부터의 거리)
(Wherein, ω 0 is a beam waist, the divergence angle θ, ω (z) is the radius of the beam, r is the distance from the center of the beam)

즉, 앞서 산출된 타겟으로의 광 조사 거리(dt)와 NA(Numerical Aperture)로부터 거리(z) 및 빔의 반경(ω(z))를 구할 수 있으며, 이를 위 수식에 적용함으로써 치료부위로 조사되는 에너지량을 정확하게 파악할 수 있게 된다.That is, the distance (d t ) to the target, the distance z from the numerical aperture (NA) and the radius of the beam (ω (z)) can be obtained from the previously calculated target. The amount of energy to be irradiated can be grasped accurately.

따라서, 위 수식에 산출된 광 조사 거리를 적용함으로써, 레이저 빔의 분포 및 세기에 관한 레이저 빔 특성을 결정할 수 있게 된다.Therefore, by applying the light irradiation distance calculated in the above formula, it becomes possible to determine the laser beam characteristic with respect to the distribution and intensity of the laser beam.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 장치에서는 상기 포인트 빔 소스(50)의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스(50)의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛(60)을 더 포함하도록 구성할 수 있다.1, in the laser beam output measuring apparatus according to the present invention, the point beam irradiation angle of the point beam source 50 is adjusted, or the position of the point beam source 50 And a point beam source control unit 60 for adjusting a point beam source control unit.

이러한 포인트 빔 소스 제어 유닛(60)을 통해 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경할 수 있으며, 이에 따라 기준 거리를 재설정할 수 있다.Through this point beam source control unit 60, the position at which the point beam is irradiated can be changed, so that the reference distance can be reset.

가령, 미리 설정된 기준 거리(d0)가 타겟의 위치와 차이가 크게 날 경우, 오차가 발생될 여지가 있기 때문에 기준 거리를 타겟의 위치와 유사하게 재설정함으로써 보다 정확한 거리 측정을 수행할 수 있다.
For example, when the predetermined reference distance d 0 is larger than the target position, there is a possibility that an error will occur. Therefore, the distance measurement can be performed more accurately by resetting the reference distance similar to the target position.

한편, 본 발명의 또 다른 실시예에서는 이러한 포인트 빔 소스(50)와 함께 광검출기를 포함하도록 구성할 수 있으며, 도 4에서는 이러한 광검출기(90)를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 장치를 도시하고 있다.On the other hand, another embodiment of the present invention can be configured to include a photodetector with such a point beam source 50, and in FIG. 4 a laser beam power measurement device including such a photodetector 90 is shown .

도 4에 도시된 바와 같이, 카메라(30)를 통해 얻어지는 이미지를 레이저 빔 세기에 대한 신호로 변환할 경우 스케일 정보를 제외한 상대적인 세기 정보, 즉, 신호의 형상에 대한 개략적인 정보만을 확인할 수 있을 뿐, 구체적인 세기 정보를 확인할 수 없다.As shown in FIG. 4, when the image obtained through the camera 30 is converted into a signal corresponding to the laser beam intensity, only relative intensity information excluding the scale information, that is, , Specific intensity information can not be confirmed.

이에 본 구현예에서는 일정 거리(d)를 두고 평면 상에서 광검출기(90)를 위치할 수 있도록 구성함으로써, 단수 또는 복수의 위치(w1(d), w2(d))에서 광검출기(90)로부터 검출된 세기 정보를 카메라 이미지로부터의 변환 신호와 비교하여, 레이저 빔에 대한 신호의 형상 정보뿐만 아니라 구체적인 세기 정보까지 카메라(30)를 통해 검출할 수 있게 된다.Thus, in this embodiment, the photodetector 90 can be positioned on a plane with a certain distance d, so that the photodetector 90 can be positioned at a single or a plurality of positions w 1 (d), w 2 (d) ) With the converted signal from the camera image so that not only the shape information of the laser beam but also the specific intensity information can be detected through the camera 30.

따라서, 본 구현예에서는 카메라의 이미지만으로도 조사되는 레이저 빔의 출력 분포 및 출력 밀도를 파악할 수 있도록 구성된다.Therefore, in this embodiment, the output distribution and the output density of the laser beam irradiated by only the image of the camera can be grasped.

이 때, 상기 광검출기(90)는 위와 같은 레이저 빔 출력 정보를 확인한 다음, 타겟이 위치할 수 있도록 제거 가능하게 설치됨이 바람직하다.In this case, it is preferable that the photodetector 90 is installed so that the target can be positioned after confirming the laser beam output information as described above.

따라서, 상기 광검출기(90)는 원하는 위치에 선택적으로 위치할 수 있도록 구성되며, 타겟은 상기 광검출기(90)가 위치한 지점에서의 레이저 빔 소스(10)로부터의 거리 만큼 떨어진 위치 상에 위치할 수 있도록 구성될 수 있다.Therefore, the photodetector 90 is configured to be selectively positioned at a desired position, and the target is positioned at a position distant from the laser beam source 10 at the position where the photodetector 90 is located Or < / RTI >

이 경우, 타겟은 광검출기(90)와 동일한 거리만큼 레이저 빔 소스(10)로부터 이격되기 때문에, 타겟 위치에서 동일한 빔 출력 특성을 갖게 된다.In this case, since the target is spaced from the laser beam source 10 by the same distance as the photodetector 90, it has the same beam output characteristic at the target position.

한편, 본 구현예에서는 광검출기(90)의 위치를 미리 설정된 거리에 위치하도록 조정하거나, 또는 광검출기의 위치에서의 거리를 측정하도록 구성할 수 있다.On the other hand, in this embodiment, the position of the photodetector 90 may be adjusted to be located at a predetermined distance, or the distance may be measured at the position of the photodetector.

앞서 설명한 도 1의 구현예에 포함된 구성은 이와 같은 광검출기의 위치를 결정하는 작업에 적절히 이용될 수 있다.The configuration included in the embodiment of FIG. 1 as described above can be suitably used for determining the position of such a photodetector.

즉, 도 1의 구현예에 포함된 구성인 포인트 빔 소스(50) 등을 통해 광검출기(90)가 위치한 정확한 거리(d)를 산출하거나, 또는 원하는 거리(d)에 광검출기(90)를 위치시킬 수 있게 된다. 따라서, 동일한 거리에 위치한 타겟에 조사하는 레이저 빔이 가우시안 분포를 따르지 않는 경우 또는 레이저 빔의 분포 특성을 모르는 경우라 하더라도 타겟에 조사되는 레이저 빔의 출력 분포와 출력 밀도를 정확하게 파악하고 치료에 필요한 광 치료 에너지와 치료 범위를 적절하게 결정할 수 있다. That is, it is possible to calculate the exact distance d at which the photodetector 90 is located, such as via the point beam source 50, which is the configuration included in the embodiment of Fig. 1, or to calculate the photodetector 90 at the desired distance d . Therefore, even when the laser beam irradiating the target located at the same distance does not follow the Gaussian distribution, or even when the distribution characteristic of the laser beam is unknown, the output distribution and the output density of the laser beam irradiated to the target can be grasped accurately, Therapeutic energy and therapeutic range can be determined appropriately.

구체적으로, 도 4에서와 같이 광검출기(90)가 설치된 상태에서, 도 1에서와 같이 설치된 포인트 빔 소스(50)를 이용하여 광검출기가 위치한 거리를 산출할 수 있다. 상기 광검출기는 제거가능하게 설치될 수 있으므로, 광검출기가 제거된 상태에서 동일한 거리 상에 타겟이 위치하게 할 수 있다.Specifically, in a state where the photodetector 90 is installed as shown in FIG. 4, the distance of the photodetector can be calculated using the point beam source 50 installed as shown in FIG. Since the photodetector can be removably installed, the target can be positioned on the same distance with the photodetector removed.

상기 타겟의 위치는 광검출기와 동일한 거리에 위치하는 것으로 족하고, 반드시 광검출기의 위치로 한정되는 것은 아니다.The position of the target may be located at the same distance as the photodetector, and is not necessarily limited to the position of the photodetector.

이 때, 앞서 설명한 바와 같이 카메라 이미지의 변환 신호와 광검출기에서의 신호를 비교함으로써 신호의 세기 정보까지 포함하는 카메라 이미지의 변환 신호를 얻을 수 있게 되므로, 가우시안 빔이 아닌 경우라 하더라도 타겟에 조사되는 레이저 빔의 출력 분포와 출력 밀도를 정확하게 파악할 수 있게 된다.Since the conversion signal of the camera image including the intensity information of the signal can be obtained by comparing the converted signal of the camera image and the signal of the photodetector as described above, even if the signal is not a Gaussian beam, It is possible to accurately grasp the output distribution and the output density of the laser beam.

이 경우, 모든 포인트에서의 광세기를 검출하지 않고, 도 4에서와 같이 몇몇 샘플 포인트(w1(d), w2(d))에서만 광검출기를 통해 광세기를 측정한 다음, 카메라 영상 신호와 매칭시키면 타겟에 조사되는 레이저 빔 전체에 대한 광세기 프로파일을 획득할 수 있다.In this case, instead of detecting the light intensity at all the points, the light intensity is measured through the photodetector only at some sample points (w 1 (d), w 2 (d)) as shown in FIG. 4, It is possible to obtain the light intensity profile of the entire laser beam irradiated to the target.

도 5는 본 발명에 다른 레이저 빔 출력 측정 장치의 또 다른 구현예로써, 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈가 더 포함된 예를 도시한 것이다.5 shows another example of a laser beam output measuring apparatus according to the present invention, which further includes a lens for adjusting the beam size.

이러한 구현예에서는 도 5에서와 같이, 상기 다이크로익 미러(40)와 상기 광전달부(20) 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈(100)를 더 포함하게 된다.In this embodiment, as shown in FIG. 5, it further includes a lens 100 positioned between the dichroic mirror 40 and the light transmitting portion 20 for adjusting the beam size to the target.

앞서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 정확하게 파악할 수 있기 때문에, 치료 과정에서 상기 렌즈를 이동시킴에 따라 빔 사이즈를 조절할 수 있으며, 치료에 필요한 광 치료 에너지와 치료 범위를 적절하게 선택할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, since the laser beam output characteristic at the target can be accurately grasped, the beam size can be adjusted by moving the lens during the treatment, and the phototherapy energy required for the treatment and the treatment range So that it can be appropriately selected.

이상 설명한 바와 같은 구성을 갖는 레이저 빔 출력 측정 장치는 다음과 같은 과정을 통해 레이저 빔의 출력 특성을 정확하게 측정하게 된다.The laser beam output measuring apparatus having the above-described configuration accurately measures the output characteristics of the laser beam through the following process.

구체적으로, 본 발명에 따른 레이저 빔 출력 측정 방법에서는, 먼저 레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스(50)로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 타겟으로 조사하는 단계가 수행된다. Specifically, in the laser beam power measurement method according to the present invention, a step of irradiating the laser beam and the point beam from the laser beam source and the point beam source 50, respectively, to the target is performed.

이후, 카메라로부터 타겟에 대한 영상을 획득하는 단계가 수행되고, 연산부를 통해 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리를 산출하게 된다.Thereafter, a step of acquiring an image for the target from the camera is performed, and the light irradiation distance to the target is calculated from the image information about the laser beam and the point beam obtained by the camera through the operation unit.

다음으로, 산출된 광 조사 거리를 이용하여 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계가 수행되며, 산출된 결과에 따라, 원하는 출력이 되도록 레이저 빔을 제어하는 단계가 부가적으로 수행될 수 있다.Next, a step of calculating the laser beam output characteristic at the target using the calculated light irradiation distance is performed, and according to the calculated result, the step of controlling the laser beam to be the desired output may additionally be performed .

이 때, 상기 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계에서는, 상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하게 되며, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하도록 구성할 수 있다.At this time, in the step of calculating the laser beam output characteristic, in the calculation unit, a reference distance (Plane 0) corresponding to the distance from the point where the optical axis of the point beam intersects with the reference plane And the step of calculating the light irradiation distance may be configured to calculate the light irradiation distance from the reference distance previously stored.

또한, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하도록 구성할 수 있다.In the step of calculating the light irradiation distance, from the beam interval corresponding to the distance between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam, and the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, A correction value indicating a distance between the target may be calculated, and the light irradiation distance may be calculated from the reference distance and the correction value.

즉, 상기 기준 평면(Plane 0)에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에서 포인트 빔이 결상되는 것으로 판단된 경우라면 상기 보정치를 감산하고, 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에서 포인트 빔이 결상되는 것으로 판단된 경우에는 상기 보정치를 합산하는 방식으로 광 조사 거리 산출이 수행될 수 있다.That is, if it is determined that the point beam is focused at a position closer to the laser beam source side than the reference plane (Plane 0), the correction value is subtracted, and the correction value is subtracted from the reference plane When it is determined that the point beam is formed, the light irradiation distance calculation may be performed by summing up the correction values.

만일, 상기 기준 평면의 위치에서 포인트 빔이 결상되는 경우, 상기 연산부에서는 상기 기준 거리를 광 조사 거리로 결정하게 된다.If the point beam is imaged at the position of the reference plane, the calculation unit determines the reference distance as the irradiation distance.

한편, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에는 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하도록 구성할 수 있다.The method may further include the step of resetting the reference distance before the step of calculating the light irradiation distance.

이러한 기준 거리 재설정 단계는 포인트 빔 소스(50)의 빔 조사 방향 또는 포인트 빔 소스(50)의 위치 등을 조절함에 따라 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경함으로써 구현될 수 있다.This reference distance resetting step can be implemented by changing the position at which the point beam is irradiated by adjusting the beam irradiation direction of the point beam source 50 or the position of the point beam source 50 and the like.

한편, 본 발명의 또 다른 구현예에서는 도 4에서와 같은 장비 구성으로부터 레이저 빔의 출력 특성을 측정할 수 있다. 본 구현예는 도 4에서와 같이 광 경로 인근에 광검출기를 위치시킨 다음, 상기 광검출기에 의하여 카메라 영상 신호의 세기를 결정하고, 광검출기와 동일한 거리에 타겟을 위치시킴으로써 결정된 카메라 영상에 대한 신호 세기 정보를 이용하여 타겟에 대한 레이저 빔 출력 특성을 결정하게 된다.Meanwhile, in another embodiment of the present invention, the output characteristics of the laser beam can be measured from the equipment configuration as shown in FIG. In this embodiment, the photodetector is positioned near the optical path as shown in FIG. 4, the intensity of the camera image signal is determined by the photodetector, and the signal for the camera image determined by positioning the target at the same distance as the photodetector The laser beam output characteristics for the target are determined using the intensity information.

여기서, 광검출기와 타겟의 위치를 결정하기 위한 거리 측정 과정은 앞서와 실질적으로 동일한 방식으로 진행된다.Here, the distance measurement process for determining the position of the photodetector and the target proceeds in substantially the same manner as the foregoing.

즉, 이러한 구현예에서는 도 1에서와 같은 장비 구성으로부터 레이저 빔과 포인트 빔으로 원하는 거리 설정하고, 광검출기를 원하는 거리 상의 평면 내의 한군데 이상의 위치에서 광 세기를 측정하고, 카메라를 통해 얻어진 광 분포 영상을 이용하여 빔의 출력 특성을 산출하는 단계로 된다. 특히, 빔의 출력 특성을 산출하는 단계에서는 광검출기에서 측정된 광 세기를 카메라 영상 신호 프로파일에 매칭시켜 전체 광 분포 세기 정보를 획득하는 단계로써 구현된다.That is, in this embodiment, a desired distance is set between the laser beam and the point beam from the equipment configuration as shown in FIG. 1, the light intensity is measured at a position over one or more of the planes on the desired distance of the photodetector, The output characteristic of the beam is calculated. In particular, in the step of calculating the output characteristics of the beam, the light intensity measured by the photodetector is matched with the camera image signal profile to obtain the total light intensity information.

즉, 상기 단계들은 원하는 일정 거리(d)를 확보하고 광검출기를 위치시키는 단계, 레이저 빔 소스로부터 레이저 빔을 상기 광검출기로 조사하는 단계, 레이저 빔 스팟 내에서 한 군데 이상에서 상기 광검출기를 통해 레이저 빔의 출력 세기 정보를 검출하고, 광검출기를 제거한 후에는 카메라로부터 레이저 빔에 대한 영상을 획득하는 단계 및 상기 카메라에서 획득된 영상 신호의 세기 정보를 상기 광검출기에서 검출된 레이저 빔의 출력 세기 정보와 비교하여, 상기 위치(d)에서의 레이저 빔 출력 분포 및 출력 밀도를 확인하는 단계를 순차적으로 수행함으로써 구성할 수 있다.That is, the steps include securing a desired constant distance d and positioning the photodetector, irradiating the laser beam from the laser beam source with the photodetector, passing the photodetector at more than one point in the laser beam spot Detecting output intensity information of the laser beam, acquiring an image of the laser beam from the camera after removing the photodetector, and outputting the intensity information of the image signal obtained by the camera to the intensity of the laser beam detected by the photodetector And checking the laser beam output distribution and the output density at the position (d) in order.

구체적으로, 광검출기를 위치시키는 단계는 레이저 빔과 포인트 빔으로 원하는 거리를 설정한 다음, 해당 거리 상에 광검출기를 위치시키거나, 또는 광검출기를 적절한 거리 상에 위치시킨 다음, 광검출기의 위치를 레이저 빔과 포인트 빔을 이용하여 측정함으로써 수행할 수 있다.Specifically, the step of positioning the photodetector may be performed by setting a desired distance between the laser beam and the point beam, then positioning the photodetector on the distance, or positioning the photodetector on a suitable distance, By using a laser beam and a point beam.

이 때, 상기 광검출기에서는 레이저 빔의 출력 세기 정보를 검출하게 되며, 바람직하게는 광검출기를 제거한 상태에서 화이트 보드를 위치시킴으로써, 카메라를 통해 상기 광검출기 위치에서의 영상 정보를 획득하게 된다.At this time, the photodetector detects the output intensity information of the laser beam. Preferably, the whiteboard is positioned in a state where the photodetector is removed, thereby acquiring image information at the photodetector position through the camera.

이와 같이 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔에 대한 영상 정보로부터 광검출기에 대한 광 조사 거리 및 광검출기 위치에서의 레이저 빔 특성을 측정하게 된다.Thus, the light irradiation distance to the photodetector and the laser beam characteristic at the photodetector position are measured from the image information of the laser beam obtained from the camera.

따라서, 앞서 도 1에서 설명한 바와 같은 방식을 통해 카메라에서의 영상 정보로부터 광검출기로의 광 조사 거리(dd)를 산출하게 된다. 또한, 상기 카메라에서 획득된 영상 신호의 세기 정보를 상기 광검출기에서 검출된 레이저 빔의 출력 세기 정보와 비교하여 상기 광검출기 위치에서의 레이저 빔 출력 분포 및 출력 밀도를 확인하게 된다.Therefore, the light irradiation distance d d from the image information in the camera to the photodetector is calculated through the method as described above with reference to FIG. Also, the intensity information of the image signal obtained by the camera is compared with the intensity information of the laser beam detected by the photodetector, and the laser beam output distribution and the power density at the optical detector position are checked.

다음으로, 광검출기를 레이저 빔 소스의 광축 상에서 제거하고, 타겟을 상기 레이저 빔 소스의 광축 상에서 상기 광 조사 거리(dd)와 동일한 거리에 위치시키게 된다.Next, the photodetector is removed on the optical axis of the laser beam source, and the target is positioned at the same distance as the light irradiation distance d d on the optical axis of the laser beam source.

동일한 위치에 타겟을 위치시키게 될 경우, 측정된 광검출기 위치에서의 카메라 영상 신호에 대한 세기 정보를 그대로 이용할 수 있기 때문에, 상기 카메라에서 얻어진 영상 정보로부터 상기 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출할 수 있게 된다.Since the intensity information of the camera image signal at the measured photodetector position can be used as it is when the target is positioned at the same position, the laser beam output characteristic at the target can be calculated from the image information obtained by the camera .

본 발명은 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명의 요소들에 대한 수정 및 변경의 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 필수적인 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 특별한 상황들이나 재료에 대하여 많은 변경이 이루어질 수 있다. 그러므로, 본 발명은 본 발명의 바람직한 실시 예의 상세한 설명으로 제한되지 않으며, 첨부된 특허청구범위 내에서 모든 실시 예들을 포함할 것이다.
While the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, those skilled in the art will appreciate that modifications and variations are possible in the elements of the invention without departing from the scope of the invention. In addition, many modifications may be made to the particular situation or material within the scope of the invention, without departing from the essential scope thereof. Therefore, the present invention is not limited to the detailed description of the preferred embodiments of the present invention, but includes all embodiments within the scope of the appended claims.

10: 레이저 빔 소스
20: 광전달부
30: 카메라
40: 다익크로익 미러
50: 포인트 빔 소스
60: 포인트 빔 소스 제어 유닛
70: 연산부
80: 레이저 빔 제어부
90: 광검출기
100: 렌즈10: Laser beam source
20:
30: Camera
40: Dichrock mirror
50: Point beam source
60: Point beam source control unit
70:
80: laser beam controller
90: Photodetector
100: lens

Claims (27)

레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스;
상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 타켓으로 전달하는 광전달부;
상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스;
상기 타겟에 대한 영상을 획득하기 위한 카메라;
상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하고, 산출된 광 조사 거리(dt)로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 연산부;
를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
A laser beam source for irradiating a laser beam;
A light transmitting unit for transmitting a laser beam emitted from the laser beam source to a target;
A point beam source for irradiating a point beam onto an optical axis of the laser beam irradiated through the light transmitting portion;
A camera for acquiring an image of the target;
(D t ) from the image information of the laser beam and the point beam obtained from the camera to the target, and calculates a laser beam output characteristic at the target from the calculated light irradiation distance (d t ) ;
Wherein the laser beam output measuring device comprises:
청구항 1에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the calculation unit previously calculates and stores a reference distance corresponding to a distance from a point at which the point beam intersects the optical axis of the laser beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, Device.
청구항 2에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 2,
The calculation unit calculates a correction value indicating a distance between the reference plane and the target from a beam gap corresponding to a beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and the distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position And the light irradiation distance (d t ) is calculated from the reference distance and the correction value.
청구항 3에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 3,
Wherein the calculating unit estimates the position of the target from the point beam imaging position and determines whether the target is located before or after the reference plane based on the position of the laser beam source, And when the target is located at a position farther from the laser beam source side than the reference plane, the correction value is added, and the correction value is added to the position of the reference plane And when the target is located, the reference distance is determined as a light irradiation distance (d t ).
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연산부에서는 산출된 상기 광 조사 거리(dt)로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
Figure pat00007

(여기서, ω0는 빔 웨이스트, θ는 발산각, ω(z)는 빔의 반경, r은 빔의 중심으로부터의 거리)
The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the calculation unit calculates the laser beam intensity I (r, z) on the laser beam spot from the calculated light irradiation distance (d t ) according to the following equation.
Figure pat00007

(Wherein, ω 0 is a beam waist, the divergence angle θ, ω (z) is the radius of the beam, r is the distance from the center of the beam)
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Further comprising a point beam source control unit for adjusting a point beam irradiation angle of the point beam source or adjusting a position of the point beam source with a point beam irradiation angle.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Further comprising a mirror disposed on an optical axis of the laser beam for transmitting the laser beam while reflecting the reflected light from the target and transmitting the reflected light to the camera side.
청구항 7에 있어서,
상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 7,
Further comprising a lens positioned between the mirror and the light transmission unit for adjusting a beam size to the target.
레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스;
상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 전달하는 광전달부;
상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스;
상기 레이저 빔 소스의 광축 주위 영상을 획득하기 위한 카메라;
상기 레이저 빔 소스로부터 출력되는 광을 측정할 수 있도록 위치되는 광검출기;
상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 광검출기로의 광조사 거리(dd)를 산출하고, 상기 카메라에서 얻어진 영상 신호 세기와 상기 광검출기에서 측정된 레이저 빔의 출력 세기를 비교하여, 카메라 영상 신호의 세기를 결정하는 연산부;를 포함하며,
상기 연산부에서는 광검출기로의 광 조사 거리(dd)와 동일한 광 조사 거리(dt)에 타겟이 위치할 때, 상기 타겟에 대한 카메라 영상 신호로부터 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
A laser beam source for irradiating a laser beam;
A light transmitting unit for transmitting the laser beam irradiated from the laser beam source;
A point beam source for irradiating a point beam onto an optical axis of the laser beam irradiated through the light transmitting portion;
A camera for acquiring an image around the optical axis of the laser beam source;
A photodetector positioned to measure light output from the laser beam source;
(D d ) from the image information of the laser beam and the point beam obtained from the camera to the photodetector, and calculates the intensity of the image signal obtained from the camera and the intensity of the laser beam measured by the photodetector And an operation unit for determining the intensity of the camera video signal,
Characterized in that the arithmetic section calculates the laser beam output characteristic from the camera image signal for the target when the target is located at a light irradiation distance (d t ) equal to the light irradiation distance (d d ) to the photodetector Beam output measuring device.
청구항 9에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 9,
Wherein the calculation unit previously calculates and stores a reference distance corresponding to a distance from a point at which the point beam intersects the optical axis of the laser beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, Device.
청구항 10에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 상기 광검출기 또는 상기 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dd)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 10,
The calculation unit calculates a distance between the reference plane and the photodetector or the target from a beam gap corresponding to a beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and a distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, , And calculates the light irradiation distance (d d ) from the reference distance and the correction value.
청구항 11에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 광검출기의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 각각의 광 조사 거리(dd , dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method of claim 11,
Wherein the calculation unit estimates the position of the photodetector from the point beam imaging position and determines whether the photodetector or the target is located before or after the reference plane based on the position of the laser beam source, Is located closer to the laser beam source side than the reference plane, the correction value is subtracted. When the photodetector or the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane (D d , d t ) , wherein the reference distance is determined as the respective light irradiation distance (d d , d t ) when the photodetector or the target is located at the position of the reference plane. Device.
청구항 9 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method according to any one of claims 9 to 12,
Further comprising a point beam source control unit for adjusting a point beam irradiation angle of the point beam source or adjusting a position of the point beam source with a point beam irradiation angle.
청구항 9 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
The method according to any one of claims 9 to 12,
Further comprising a mirror disposed on an optical axis of the laser beam for transmitting the laser beam while reflecting the reflected light from the target and transmitting the reflected light to the camera side.
청구항 14에 있어서,
상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치.
15. The method of claim 14,
Further comprising a lens positioned between the mirror and the light transmission unit for adjusting a beam size to the target.
레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 타겟으로 조사하는 단계;
카메라로부터 타겟에 대한 영상을 획득하는 단계;
연산부에서 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 타겟으로의 광 조사 거리를 산출하는 단계;
상기 연산부에서 산출된 광 조사 거리로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;
를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
Irradiating a laser beam and a point beam from a laser beam source and a point beam source, respectively, to a target;
Obtaining an image for a target from a camera;
Calculating a light irradiation distance to a target from image information on the laser beam and the point beam obtained by the camera in an operation unit;
Calculating a laser beam output characteristic at the target from the light irradiation distance calculated by the calculation unit;
/ RTI >
청구항 16에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
18. The method of claim 16,
The calculation unit may previously calculate and store a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam intersects with the optical axis of the point beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, Wherein the light irradiation distance is calculated from the reference distance previously stored.
청구항 17에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
18. The method of claim 17,
The distance between the reference plane and the target is calculated from a beam gap corresponding to a distance between a beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and a distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, Calculating a correction value indicating a distance, and calculating the light irradiation distance from the reference distance and the correction value.
청구항 18에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
19. The method of claim 18,
Wherein the step of calculating the light irradiation distance estimates the position of the target from the point beam imaging position and determines whether the target is located before or after the reference plane based on the position of the laser beam source, Subtracts the correction value when the target is located closer to the laser beam source side than the plane and adds the correction value when the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane, Wherein the reference distance is determined as a light irradiation distance (d t ) when the target is located at a position of a reference plane.
청구항 16 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계에서는 산출된 상기 광 조사 거리로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
Figure pat00008

(여기서, ω0는 빔 웨이스트, θ는 발산각, ω(z)는 빔의 반경, r은 빔의 중심으로부터의 거리)
The method according to any one of claims 16 to 19,
Calculating a laser beam intensity I (r, z) on the laser beam spot from the calculated light irradiation distance in the step of calculating the laser beam output characteristic.
Figure pat00008

(Wherein, ω 0 is a beam waist, the divergence angle θ, ω (z) is the radius of the beam, r is the distance from the center of the beam)
청구항 17 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
The method according to any one of claims 17 to 19,
Further comprising changing a position at which the point beam is irradiated by the point beam source control unit before the step of calculating the light irradiation distance to reset the reference distance.
광검출기 측으로 레이저 빔 소스로부터 광이 조사되도록 소정의 광 조사 거리(dd) 상에 광검출기를 위치시키는 단계;
레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 상기 광검출기로 조사하는 단계;
상기 광검출기로부터 하나 이상의 위치에서 레이저 빔의 출력 세기 정보를 검출하고, 카메라로부터 상기 광검출기 위치에서의 영상 정보를 획득하는 단계;
상기 카메라에서 획득된 영상 신호의 세기 정보를 상기 광검출기에서 검출된 레이저 빔의 출력 세기 정보와 비교하여 상기 광검출기 위치에서의 레이저 빔 출력 분포 및 출력 밀도를 확인하는 단계;
상기 광검출기를 상기 레이저 빔 소스의 광축 상에서 제거하고, 상기 광 조사 거리(dd)와 동일한 거리에 타겟을 위치시키는 단계;
상기 카메라에서 얻어진 영상 정보로부터 상기 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;
를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
Positioning the photodetector on a predetermined light irradiation distance d d such that light is irradiated from the laser beam source to the photodetector side;
Irradiating a laser beam and a point beam from the laser beam source and the point beam source, respectively, with the photodetector;
Detecting power intensity information of the laser beam at one or more locations from the photodetector and acquiring image information at the photodetector location from the camera;
Comparing the intensity information of the image signal obtained by the camera with the intensity information of the laser beam detected by the photodetector to confirm a laser beam output distribution and an output density at the optical detector position;
Removing the photodetector on an optical axis of the laser beam source and positioning the target at a distance equal to the light irradiation distance d d ;
Calculating a laser beam output characteristic of the target from the image information obtained by the camera;
/ RTI >
청구항 22에 있어서,
상기 광검출기를 위치시키는 단계 또는 상기 타겟을 위치시키는 단계에서는 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 연산부에서 광검출기로의 광 조사 거리(dd) 또는 상기 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
23. The method of claim 22,
In the step of positioning the photodetector or the step of positioning the target, light irradiation distance (d d ) from the arithmetic unit to the photodetector from the image information of the laser beam and the point beam obtained from the camera, And calculating a distance d t .
청구항 23에 있어서,
상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
24. The method of claim 23,
The calculation unit may previously calculate and store a reference distance corresponding to a distance from a point where the optical axis of the point beam intersects with the optical axis of the point beam to a reference plane (Plane 0) perpendicular to the optical axis, Wherein the light irradiation distance is calculated from the reference distance previously stored.
청구항 24에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
27. The method of claim 24,
The distance between the reference plane and the target is calculated from a beam gap corresponding to a distance between a beam angle between the optical axis of the point beam and the optical axis of the laser beam and a distance from the optical axis of the laser beam to the point beam imaging position, Calculating a correction value indicating a distance, and calculating the light irradiation distance from the reference distance and the correction value.
청구항 25에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
26. The method of claim 25,
Wherein the step of calculating the light irradiation distance estimates the position of the target from the point beam imaging position and determines whether the target is located before or after the reference plane based on the position of the laser beam source, Subtracts the correction value when the target is located closer to the laser beam source side than the plane and adds the correction value when the target is located farther from the laser beam source side than the reference plane, Wherein the reference distance is determined as a light irradiation distance (d t ) when the target is located at a position of a reference plane.
청구항 22 내지 청구항 26 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법.
The method of any one of claims 22 to 26,
Further comprising changing a position at which the point beam is irradiated by the point beam source control unit before the step of calculating the light irradiation distance to reset the reference distance.
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