KR20150122889A - Blower for heat treatment apparatus - Google Patents

Blower for heat treatment apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20150122889A
KR20150122889A KR1020140048846A KR20140048846A KR20150122889A KR 20150122889 A KR20150122889 A KR 20150122889A KR 1020140048846 A KR1020140048846 A KR 1020140048846A KR 20140048846 A KR20140048846 A KR 20140048846A KR 20150122889 A KR20150122889 A KR 20150122889A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
blower
heat treatment
treatment apparatus
motor
shaft
Prior art date
Application number
KR1020140048846A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
최재운
권용환
Original Assignee
(주) 예스티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 예스티 filed Critical (주) 예스티
Priority to KR1020140048846A priority Critical patent/KR20150122889A/en
Publication of KR20150122889A publication Critical patent/KR20150122889A/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/38—Treatment before imagewise removal, e.g. prebaking
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7095—Materials, e.g. materials for housing, stage or other support having particular properties, e.g. weight, strength, conductivity, thermal expansion coefficient
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

A blower for a heat treatment apparatus according to the present invention, used in a heat treatment apparatus for heat treatment of a display panel, comprises: a motor member for generating rotation power by power supply; a shaft member combined with the motor member; a bearing member for supporting the shaft member; and an impeller member coupled to an end portion of the shaft member. A rotation cooling member is installed at a location adjacent to the bearing member in the shaft member. According to the present invention, the blower is configured to cool various components installed inside the blower with rotation power of a motor included in the blower, and thus can protect the various components included in the blower from high temperature heat by a simple configuration. Therefore, lifetime of the blower used within the heat treatment apparatus can be extended.

Description

열처리 장치용 블로우어{BLOWER FOR HEAT TREATMENT APPARATUS}[0001] BLOWER FOR HEAT TREATMENT APPARATUS [0002]

본 발명은 열처리 장치용 블로우어에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 별도의 복잡한 구성의 설치 없이도 모터에 의한 회전력에 의해 블로우어의 냉각이 가능하도록 구성되는 열처리 장치용 블로우어에 관한 발명이다.The present invention relates to a blower for a heat treatment apparatus, and more particularly, to a blower for a heat treatment apparatus configured to be capable of cooling a blower by a rotational force of a motor without installing a complicated structure.

최근 컴퓨터 또는 TV 와 같은 전기전자기기의 급속한 발달 및 보급에 따라 디스플레이 패널 기술 역시 비약적으로 발전하고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, display panel technology has been dramatically developed due to the rapid development and spread of electric and electronic devices such as a computer or a TV.

이러한 디스플레이 패널의 고해상도와 대형화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.In view of the fact that such a display panel is rapidly increasing in size and high resolution, the role of the manufacturing apparatus is becoming more important.

일반적으로, 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 패널에 패턴을 형성하기 위해 포토레지스터를 도포하고, 상기 포토레지스터 막의 경화를 위해 디스플레이 패널을 가열하게 된다.Generally, in order to manufacture a display panel, a photoresist is applied to form a pattern on a panel, and the display panel is heated to cure the photoresist film.

이때, 상기와 같이 디스플레이 패널에 패턴을 정밀하게 형성하기 위해서는 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일하게 온도를 상승시키는 작업이 요구된다.At this time, in order to precisely form the pattern on the display panel as described above, it is required to raise the temperature uniformly over the entire area of the display panel.

만약, 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일한 온도 상승이 이루어지지 않을 경우에는 패턴에 온도 편차가 발생되거나, 디스플레이 패널 자체에 발생되는 열적 불균형으로 인해 패널의 국부적 수축 또는 팽창이 발생되며, 이러한 열적 불균형은 디스플레이 패널에 균일한 패턴을 형성하는 데에 장애가 되는 요인이 된다.If a uniform temperature rise is not achieved over the entire area of the display panel, a temperature variation may occur in the pattern, or a thermal contraction or expansion may occur due to thermal imbalance generated in the display panel itself. Is an obstacle to forming a uniform pattern on the display panel.

따라서, 상기와 같이 디스플레이 패널에 고온의 공기를 공급하기 위해, 열처리공정 동안에는 열처리 장치 내부가 고온의 환경이 되며, 이러한 환경에 따른 고온의 열에 의해 블로우어 내에 설치되는 모터 또는 베어링 등의 구성들이 손상을 입게 된다.Therefore, in order to supply the high temperature air to the display panel as described above, the inside of the heat treatment apparatus becomes a high temperature environment during the heat treatment process, and the structure of the motor or the bearing installed in the blower due to high- .

따라서, 열처리 장치 내에 이용되는 블로우어의 경우, 고온의 환경으로부터 모터 또는 베어링 등의 구성들을 보호하기 위한 냉각장치의 설치가 필수적이다. Therefore, in the case of the blower used in the heat treatment apparatus, it is necessary to install a cooling device for protecting the components such as the motor or the bearing from the high temperature environment.

본 발명의 목적은, 블로우어에 포함되는 모터의 회전력에 의해 블로우어 내에 설치되는 각종 구성들을 냉각할 수 있도록 구성되는 열처리 장치용 블로우어를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a blower for a heat treatment apparatus configured to cool various components installed in a blower by a rotational force of a motor included in the blower.

본 발명의 또 다른 목적은, 별도의 복잡한 구성의 설치 없이 블로우어 내의 각종 구성들을 고온의 열로부터 보호할 수 있도록 구성됨으로써, 블로우어의 사용 수명을 증가시킬 수 있다.It is a further object of the present invention to increase the service life of the blower by being configured to protect various components in the blower from high temperature heat without the need to install a separate complicated configuration.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어는 디스플레이 패널의 열처리를 위한 열처리 장치에 이용되는 블로우어로서, 전력 공급에 의해 회전력을 발생시키는 모터부재와, 상기 모터부재에 결합되는 축부재와, 상기 축부재를 지지하기 위한 베이링부재와, 상기 축부재의 단부에 결합되는 임펠러부재를 포함하며, 상기 축부재에는 상기 베어링부재에 인접하는 위치에 회전냉각부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a blower for a heat treatment apparatus for use in a heat treatment apparatus for heat treatment of a display panel, the blower comprising: a motor member for generating a rotational force by power supply; A bearing member for supporting the shaft member, and an impeller member coupled to an end of the shaft member, wherein the shaft member is provided with a rotation cooling member at a position adjacent to the bearing member .

바람직하게는, 상기 베어링부재는 상기 모터부재와 상기 임펠러부재 사이에 한쌍 설치되며, 상기 회전냉각부재는 상기 임펠러부재쪽에 배치되는 베어링부재와 상기 임펠러부재 사이에 배치된다.Preferably, the bearing member is provided between the motor member and the impeller member, and the rotation cooling member is disposed between the impeller member and the bearing member disposed on the impeller member side.

여기서, 상기 모터부재와 상기 베어링부재 사이에는 커플링이 설치될 수 있다.Here, a coupling may be provided between the motor member and the bearing member.

바람직하게는, 상기 회전냉각부재는 프로펠러이다.Preferably, the rotating cooling member is a propeller.

본 발명에 의해, 블로우어에 포함되는 모터의 회전력에 의해 블로우어 내에 설치되는 각종 구성들을 냉각할 수 있도록 구성됨으로써, 별도의 복잡한 구성의 설치 없이도 단순한 구성에 의해 블로우어에 포함되는 각종 구성들을 고온의 열로부터 보호할 수 있다.According to the present invention, since various components installed in the blower can be cooled by the rotational force of the motor included in the blower, various components included in the blower can be cooled at a high temperature Lt; / RTI >

그리하여, 열처리 장치 내에 이용되는 블로우어의 사용 수명을 연장시킬 수 있다. Thus, the service life of the blower used in the heat treatment apparatus can be prolonged.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어가 이용되는 열처리 장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 열처리 장치의 내부 사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어의 사시도이며,
도 4 는 상기 블로우어의 내부 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
1 is a perspective view of a heat treatment apparatus using a blower for a heat treatment apparatus according to the present invention,
2 is an internal perspective view of the heat treatment apparatus,
3 is a perspective view of a blower for a heat treatment apparatus according to the present invention,
4 is an internal cross-sectional view of the blower.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

도 1 은 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어가 이용되는 열처리 장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 열처리 장치의 내부 사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어의 사시도이며, 도 4 는 상기 블로우어의 내부 단면도이다.1 is a perspective view of a heat treatment apparatus using a blower for a heat treatment apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an internal perspective view of the heat treatment apparatus, FIG. 3 is a perspective view of a blower for a heat treatment apparatus according to the present invention, Fig. 3 is an internal sectional view of the blower.

도 1 내지 4 를 참조하면, 본 발명에 따른 열처리 장치용 블로우어는 디스플레이 패널의 열처리를 위한 열처리 장치에 이용되는 블로우어로서, 전력 공급에 의해 회전력을 발생시키는 모터부재(42)와, 상기 모터부재(42)에 결합되는 축부재(43)와, 상기 축부재(43)를 지지하기 위한 베이링부재(44, 45)와, 상기 축부재(43)의 단부에 결합되는 임펠러부재(46)를 포함하며, 상기 축부재(43)에는 상기 베어링부재(44)에 인접하는 위치에 회전냉각부재(47)가 설치되는 것을 특징으로 한다.Referring to FIGS. 1 to 4, a blower for a heat treatment apparatus according to the present invention is a blower used in a heat treatment apparatus for heat treatment of a display panel. The blower includes a motor member 42 for generating a rotational force by electric power supply, A bearing member 44 and 45 for supporting the shaft member 43 and an impeller member 46 coupled to an end of the shaft member 43 And the shaft member (43) is provided with a rotation cooling member (47) at a position adjacent to the bearing member (44).

상기 열처리 장치용 블로우어가 이용되는 열처리 장치는, 열처리 장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재(10)와, 상기 챔버부재(10)의 일측에 형성되는 도어부재(20)와, 상기 챔버부재(10)의 내부에 배치되는 필터부재(30)와, 상기 필터부재(30) 쪽으로 기체를 이송시키기 위한 블로우어부재(40)와, 상기 필터부재(30)에 인접하여 배치되는 풍량조절부재(50)와, 상기 풍량조절부재(50)의 전방에 배치되어 열처리 대상물을 지지하는 열처리물지지부재(60)와 상기 열처리물지지부재(60) 쪽으로 공급되는 공기를 가열하기 위한 히터부재(80)를 포함한다.The heat treatment apparatus using the blower for the heat treatment apparatus comprises a chamber member 10 constituting the entire outer appearance of the heat treatment apparatus, a door member 20 formed at one side of the chamber member 10, A blower member 40 for conveying the gas toward the filter member 30 and an air volume adjusting member 50 disposed adjacent to the filter member 30, And a heater member 80 disposed in front of the air flow rate regulating member 50 for heating the air supplied to the heat treatment support member 60 and a heat treatment member 60 for supporting the heat treatment object, do.

상기 챔버부재(10)는 상기 열처리 장치의 외관을 형성하면서 내부에 디스플레이 패널 등의 열처리 대상물을 수용하기 위한 구성으로서, 전체적으로 육면체 형상으로 형성된다.The chamber member 10 is configured to receive the object to be heat-treated such as a display panel while forming an outer appearance of the heat treatment apparatus, and is formed in a hexahedral shape as a whole.

상기 챔버부재(10)는 금속재의 선재와 금속 패널을 이용하여 구성되며, 일측에는 본 발명에 따른 열처리 장치의 각종 구성들을 제어하기 위한 제어스위치들이 설치된다.The chamber member 10 is formed of a metal wire and a metal panel. On one side of the chamber member 10, control switches for controlling various components of the heat treatment apparatus according to the present invention are installed.

상기 챔버부재(10)의 일측에는 도어부재(20)가 배치되어, 상기 도어부재(20)를 통해 디스플레이 패널을 상기 챔버부재(10) 내부로 투입 및 배출할 수 있도록 구성된다.A door member 20 is disposed on one side of the chamber member 10 so that the display panel can be inserted into and discharged from the chamber member 10 through the door member 20.

상기 챔버부재(10)의 일측에는 필터부재(30)가 배치된다.A filter member (30) is disposed on one side of the chamber member (10).

상기 필터부재(30)는 울파필터(ULPA Filter)를 포함하여 구성된다.The filter member 30 includes an ULPA filter.

울파필터는 0.1 내지 0.17 ㎛ 입자에 대해 99.9995 % 이상을 포집할 수 있는 초고성능 필터로서, 주로 클래스 1 내지 100 이하의 클린 룸에 적용되는 필터이다.The Ulpa filter is an ultra high performance filter capable of collecting 99.9995% or more with respect to 0.1 to 0.17 탆 particles, and is a filter mainly applied to a clean room of Class 1 to 100 or less.

상기 필터부재(30)는 상기 울파필터를 통풍구가 형성된 일정한 커버에 내장하여 구성한다.The filter member (30) is constituted by incorporating the ultrasonic wave filter in a constant cover formed with a ventilation hole.

상기 필터부재(30)로는 블로우어부재(40)에 의해 외부의 공기가 공급되며, 그리하여 상기 챔버부재(10) 내부로 공급되는 공기가 상기 필터부재(30)를 통과하도록 함으로써, 상기 챔버부재(10) 내부는 청정 상태로 유지될 수 있다. External air is supplied to the filter member 30 by the blower member 40 so that the air supplied into the chamber member 10 passes through the filter member 30, 10) The interior can be kept clean.

또한, 상기 챔버부재(10) 내부에는 디스플레이 패널과 같은 열처리 대상물을 지지하기 위한 열처리물지지부재(60)가 배치된다.In the chamber member 10, a heat treatment member 60 for supporting a heat treatment object such as a display panel is disposed.

상기 열처리물지지부재(60)에 의해 디스플레이 패널은 상기 챔버부재(10) 내부에서 높이 방향을 따라 복수 개 적층 배치될 수 있다.A plurality of display panels may be disposed in the chamber member 10 along the height direction by the heat treatment material supporting member 60.

한편, 상기 챔버부재(10) 내부에는 상기 필터부재(30)를 통과한 공기가 상기 열처리물지지부재(60) 쪽으로 유동되는 유동량을 조절하기 위한 풍량조절부재(50)가 설치된다.The chamber member 10 is provided with an air flow rate regulating member 50 for regulating a flow amount of the air that has passed through the filter member 30 to flow toward the heat treatment member support member 60.

상기 열처리 장치에서 히터부재(80)에 의해 가열되는 공기를 상기 열처리물지지부재(60) 쪽으로 공급하기 위해, 상기 챔버부재(10) 내에 본 발명에 따른 블로우어(40)가 설치된다.The blower 40 according to the present invention is installed in the chamber member 10 to supply air heated by the heater member 80 in the heat treatment apparatus toward the heat treatment material supporting member 60. [

상기 블로우어(40)는 전력 공급에 의해 회전력을 발생시키는 모터부재(42)와, 상기 모터부재(42)에 결합되는 축부재(43)를 포함한다.The blower 40 includes a motor member 42 for generating a rotational force by electric power supply and a shaft member 43 coupled to the motor member 42.

여기서, 상기 축부재(43)는 베이링부재(44, 45)에 의해 회전 지지되며, 상기 축부재(43)의 단부에는 상기 모터부재(42)에 의해 발생되는 회전력에 의해 공기를 유동시키기 위한 임펠러부재(46)가 설치된다.Here, the shaft member 43 is rotatably supported by bearing members 44 and 45, and an end portion of the shaft member 43 is provided with a pair of bearings 44 and 45 for moving air by a rotational force generated by the motor member 42 An impeller member 46 is provided.

상기 모터부재(42)와 상기 임펠러부재(46) 사이의 거리를 감안하여, 상기 축부재(43)를 지지하기 위한 베어링부재는 상기 모터부재(42)와 임펠러부재(46) 사이에 한 쌍 설치될 수 있다.A bearing member for supporting the shaft member 43 is installed in a pair between the motor member 42 and the impeller member 46 in consideration of the distance between the motor member 42 and the impeller member 46 .

상기 축부재(43)는 상기 모터부재(42)에 결합되는 축(모터축)과 상기 한쌍의 베어링부재(44, 45)에 의해 지지되는 축을 포함하여 분할 구성되며, 상기 모터부재(42)에 결합되는 축과 상기 한 쌍의 베어링부재(44, 45)에 의해 지지되는 축은 커플링(48)에 의해 연결된다.The shaft member 43 is divided into a shaft which is coupled to the motor member 42 and a shaft which is supported by the pair of bearing members 44 and 45, The shaft to be engaged and the shaft to be supported by the pair of bearing members 44, 45 are connected by a coupling 48.

그리하여, 상기 모터부재(42)로부터의 회전력을 상기 축부재(43)로 전달하여 상기 임펠러부재(46)를 회전시킬 수 있다.Thus, a rotational force from the motor member 42 can be transmitted to the shaft member 43 to rotate the impeller member 46.

상기 축부재(43)에서 상기 한 쌍의 베어링부재(44, 45) 중에서 아래쪽에 위치하는 베어링부재(44)에 인접하는 위치에 회전냉각부재(47)가 설치된다.A rotation cooling member 47 is provided at a position adjacent to the bearing member 44 located below the pair of bearing members 44 and 45 in the shaft member 43. [

보다 구체적으로는, 상기 회전냉각부재(47)는 상기 임펠러부재(46) 쪽에 배치되는 베어링부재(44)와 상기 임펠러부재(46) 사이에 배치된다.More specifically, the rotation cooling member 47 is disposed between the impeller member 46 and the bearing member 44 disposed on the impeller member 46 side.

여기서, 상기 회전냉각부재(47)는 냉각용 프로펠러로 구성되며, 상기 프로펠러가 상기 축부재(43)에 고정 설치됨으로써, 상기 축부재(43)의 회전 시 상기 회전냉각부재(47) 역시 회전된다.The rotation cooling member 47 is constituted by a cooling propeller and the propeller is fixed to the shaft member 43 so that the rotation cooling member 47 is also rotated when the shaft member 43 rotates .

그리하여, 상기 냉각용 프로펠러의 회전에 의해 상기 프로펠러(47) 상부에 배치되는 한쌍의 베어링부재(44, 45) 및 모터부재(42)를 냉각하도록 구성된다.And is configured to cool the pair of bearing members 44, 45 and the motor member 42 disposed on the propeller 47 by rotation of the cooling propeller.

상기와 같이 축부재(43)에 냉각용 프로펠러를 설치하는 단순한 구성에 의해, 별도의 복잡한 구성의 설치 없이 블로우어 내의 각종 구성들을 고온의 열로부터 보호할 수 있다.As described above, by simply providing the cooling propeller to the shaft member 43, it is possible to protect various components in the blower from high-temperature heat without installing a complicated configuration.

그리하여, 열처리 장치 내에 이용되는 블로우어를 고온의 환경으로부터 보호함으로써 블로우어의 사용 수명을 연장시킬 수 있다.
Thus, the service life of the blower can be extended by protecting the blower used in the heat treatment apparatus from the high temperature environment.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the present invention by those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 챔버부재
20: 도어부재
30: 필터부재
40: 블로우어
42: 모터부재
43: 축부재
44, 45: 베어링부재
46: 임펠러부재
47: 회전냉각부재
48: 커플링
50: 풍량조절부재
80: 히터부재10: chamber member
20: Door member
30: Filter element
40: Blower
42:
43:
44, 45: bearing member
46: Impeller member
47: rotation cooling member
48: Coupling
50: air flow rate control member
80: heater member

Claims (4)

디스플레이 패널의 열처리를 위한 열처리 장치에 이용되는 블로우어로서,
전력 공급에 의해 회전력을 발생시키는 모터부재와;
상기 모터부재에 결합되는 축부재와;
상기 축부재를 지지하기 위한 베이링부재와;
상기 축부재의 단부에 결합되는 임펠러부재를 포함하며,
상기 축부재에는 상기 베어링부재에 인접하는 위치에 회전냉각부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치용 블로우어.As a blower used in a heat treatment apparatus for heat treatment of a display panel,
A motor member for generating a rotational force by electric power supply;
A shaft member coupled to the motor member;
A bearing member for supporting the shaft member;
And an impeller member coupled to an end of the shaft member,
Wherein the shaft member is provided with a rotation cooling member at a position adjacent to the bearing member. 제 1 항에 있어서,
상기 베어링부재는 상기 모터부재와 상기 임펠러부재 사이에 한쌍 설치되며,
상기 회전냉각부재는 상기 임펠러부재쪽에 배치되는 베어링부재와 상기 임펠러부재 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치용 블로우어.The method according to claim 1,
Wherein the bearing member is provided in a pair between the motor member and the impeller member,
Wherein the rotating cooling member is disposed between the impeller member and the bearing member disposed on the impeller member side. 제 2 항에 있어서,
상기 모터부재와 상기 베어링부재 사이에는 커플링이 설치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치용 블로우어.3. The method of claim 2,
And a coupling is provided between the motor member and the bearing member. 제 3 항에 있어서,
상기 회전냉각부재는 프로펠러인 것을 특징으로 하는 열처리 장치용 블로우어.The method of claim 3,
Wherein the rotary cooling member is a propeller.
KR1020140048846A 2014-04-23 2014-04-23 Blower for heat treatment apparatus KR20150122889A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140048846A KR20150122889A (en) 2014-04-23 2014-04-23 Blower for heat treatment apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140048846A KR20150122889A (en) 2014-04-23 2014-04-23 Blower for heat treatment apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150122889A true KR20150122889A (en) 2015-11-03

Family

ID=54599033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140048846A KR20150122889A (en) 2014-04-23 2014-04-23 Blower for heat treatment apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20150122889A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3180485U (en) Radiation type air circulation type air conditioner
TWM315007U (en) Frame structure of a cooling fan, the cooling fan and heat generating device having the fan
JP5861080B2 (en) Hot air circulation heating device
JP3201586U (en) Air guide cover and fan device including the same
TW201831043A (en) Induction heated roll apparatus
US20170144466A1 (en) Round furnace for sublimation transfer
KR20150122889A (en) Blower for heat treatment apparatus
US20070140931A1 (en) Air current generator
EP2808616A1 (en) Fan heater
CN108700091B (en) Fan device
CN110255874A (en) Glass substrate cutting machine
CN106573196B (en) Dehumidifier
KR101591064B1 (en) Induction type heater
KR101838793B1 (en) Substrate heating device
KR20150033997A (en) Electric air heater
JP4070649B2 (en) Rotary kiln
US8568210B1 (en) Integrated venturi heating elements for air curtains
KR101421484B1 (en) Apparatus for supplying of hot air used in oven chamber for lcd glass substrate
KR101275272B1 (en) A radiate heat device of motor
CN112443968A (en) Air supply device
KR200452868Y1 (en) Hot air blower
KR20100115604A (en) Electric heater of stand type
RU143310U1 (en) DISPLAY AND HEATING UNIT
JP3235910U (en) Cross-flow fan with built-in heating element
JP7507340B2 (en) Heat exchange ventilation system

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application