KR20150101081A - 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 장치에 관한 것으로서, 하나의 다이오드 펌핑 광원과 이종의 레이저 매질을 사용하여 파장이 다른 복수의 레이저 빔을 출력할 수 있도록 구성됨으로써, 파장이 다른 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용하는 것이 가능하고, 장치 비용을 줄일 수 있도록 한 레이저 장치를 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 광을 펌핑하여 펌프 광을 생성 및 출력하는 펌핑 광원; 제1레이저 매질을 사용하고 상기 펌핑 광원으로부터 인가되는 펌프 광을 공진시켜 제1레이저 빔을 발생 및 출력하는 제1공진기와; 상기 제1공진기에서 출력되는 제1레이저 빔의 일부를 최종의 출력 빔으로 외부 출력하면서 그 나머지를 제2레이저 빔을 발생시키기 위한 펌프 광으로 출력하는 빔스플릿부와; 제2레이저 매질을 사용하고 상기 빔스플릿부로부터 전달되는 광을 공진시켜 제2레이저 빔을 발생 및 출력하는 제2공진기;를 포함하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치가 개시된다.

Description

파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치{Laser apparatus able to output multiple beams}
본 발명은 레이저 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 다이오드 펌핑 광원을 사용하여 파장이 다른 복수의 레이저 빔을 출력할 수 있는 레이저 장치에 관한 것이다.
오늘날 치료나 수술 등의 목적으로 레이저 빔이 널리 이용되고 있으며, 각 용도에 맞게 레이저 빔을 출력할 수 있는 다양한 레이저 장치들이 개발되어 사용되고 있다.
예를 들면, 비뇨기과 등에서는 요로 결석이나 요도 협착증의 치료, 그 밖에 전립선 비대증의 수술적 치료용으로 특정 파장의 레이저 빔을 출력하는 홀뮴(Holmium,Ho) 레이저가 널리 사용되고 있다.
최근에는 홀뮴 레이저와 마찬가지로 전립선 비대증의 치료 등을 위한 툴륨(Thulium,Tm) 레이저가 알려지고 있으며, 홀뮴 레이저뿐만 아니라 툴륨 레이저 역시 절개 및 절제, 지혈효과 등이 요구되는 수술 분야에서 유용하게 사용될 수 있다.
홀뮴 레이저와 툴륨 레이저는 각각 출력되는 레이저 빔의 파장이 대략 21㎛와 19㎛로 서로 근접하며, 같은 용도로 사용될 수도 있는 두 레이저 중 어느 레이저를 사용하는 것이 유리한지는 확실히 알려져 있지 않고, 임상적으로도 밝혀진 바가 없다.
따라서, 레이저 장치를 생산하는 업체에서는 사용자가 선호하는 레이저 장치가 다를 수 있기 때문에 두 종류의 레이저 장치에 대한 별도 연구 및 개발을 통하여 각각의 제품을 상용화해야 하는 부담을 갖고 있다.
한편, 주지된 바와 같이 레이저 빔을 출력하는 레이저 장치는 광을 펌핑하여 방출하는 레이저 다이오드와 같은 펌핑 광원(Pumping Source)과, 상기 펌핑 광원에서 인가되는 펌프 광을 공진시켜 공진 광, 즉 레이저 빔을 발생 및 출력하는 레이저 공진기를 필수적으로 포함한다.
또한 상기 레이저 공진기는 레이저 매질의 양쪽으로 반사미러를 배치한 구성을 가지며, 레이저 빔의 발진을 위해 상기 반사미러 사이에서 레이저 매질을 통해 광을 왕복 운동시켜 증폭시킨다.
또한 레이저 공진기에서 원하는 파장대의 레이저 빔을 출력하기 위해서는 출력 파장을 고려한 레이저 매질을 선택하여 사용해야 하고, 이때 펌핑 광원 역시 공진기의 매질에 적합한 파장대의 광을 펌핑하여 방출할 수 있도록 구성되어야 한다.
즉, 특정 파장대의 레이저 빔을 출력하는 레이저 장치에서 출력 파장을 고려한 펌핑 광원과 레이저 매질의 선택이 요구되는 것이며, 따라서 파장이 다른 복수의 레이저 빔을 출력시키기 위해서는 각각 별도의 펌핑 광원과 레이저 매질을 사용하여 개별 시스템으로 구성할 필요가 있다.
예컨대, 홀뮴 레이저가 출력하는 21㎛ 파장의 레이저 빔과 툴륨 레이저가 출력하는 19㎛ 파장의 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용할 수 있도록 위해서는 각각 개별 펌핑 광원과 레이저 매질을 가지는 독립된 장치 구성이 필요한 것이다.
이로 인해 사용자는 파장이 다른 이종의 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용할 필요가 있을 경우 각각의 펌핑 광원과 레이저 매질을 이용하여 서로 다른 파장의 레이저 빔을 출력할 수 있는 독립된 장치를 구비해야 하는 문제점이 있다.
또한 제작 업체에 있어서도 각 펌핑 광원과 레이저 매질을 가지는 독립된 개별 장치를 제작하거나 단순히 기능만을 통합한 장치를 구성하여야 하므로 비용 상승의 문제점을 가지게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출한 것으로서, 하나의 다이오드 펌핑 광원과 이종의 레이저 매질을 사용하여 파장이 다른 복수의 레이저 빔을 출력할 수 있도록 구성됨으로써, 파장이 다른 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용하는 것이 가능하고, 장치 비용을 줄일 수 있도록 한 레이저 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 광을 펌핑하여 펌프 광을 생성 및 출력하는 펌핑 광원; 제1레이저 매질을 사용하고 상기 펌핑 광원으로부터 인가되는 펌프 광을 공진시켜 제1레이저 빔을 발생 및 출력하는 제1공진기와; 상기 제1공진기에서 출력되는 제1레이저 빔의 일부를 최종의 출력 빔으로 외부 출력하면서 그 나머지를 제2레이저 빔을 발생시키기 위한 펌프 광으로 출력하는 빔스플릿부와; 제2레이저 매질을 사용하고 상기 빔스플릿부로부터 전달되는 광을 공진시켜 제2레이저 빔을 발생 및 출력하는 제2공진기;를 포함하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치를 제공한다.
여기서, 상기 제1레이저 매질이 툴륨(Tm)을 도핑한 레이저 결정이고, 상기 제2레이저 매질이 홀뮴(Ho)을 도핑한 레이저 결정일 수 있다.
바람직하게는 상기 제1레이저 매질이 Tm:YLF 레이저 결정이고, 상기 제2레이저 매질이 Ho:YAG 레이저 결정일 수 있다..
또한 상기 펌핑 광원은 레이저 다이오드를 포함하여 구성되는 다이오드 펌핑 광원이 될 수 있고, 상기 제1공진기와 제2공진기는 각각의 레이저 매질 양쪽으로 반사미러를 배치한 구성을 가지는 것이 될 수 있다.
또한 상기 제1공진기의 출력측에는 정해진 파장의 제1레이저 빔만을 선택적으로 투과시켜 불필요한 파장대의 빔을 제거하는 패브릿-패럿 에타론(Fabry-Perot Etalon) 소자가 배치될 수 있다.
또한 상기 제1레이저 빔이 최종의 출력 빔으로 출력되는 빔스플릿부의 출력측과, 상기 제2레이저 빔이 출력되는 제2공진기의 출력측 중 적어도 어느 하나에는 출력되는 레이저 빔을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하는 변환부가 배치될 수 있다.
여기서, 상기 변환부는 상기 출력되는 레이저 빔을 Q 스위칭하는 Q-스위치를 포함하는 구성이 될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 레이저 장치는 하나의 다이오드 펌핑 광원과 이종의 레이저 매질을 사용하여 파장이 다른 복수의 레이저 빔을 출력할 수 있도록 구성됨으로써, 파장이 다른 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용하는 것이 가능하다.
또한 본 발명의 구성에 의하면, 파장이 다른 레이저 빔의 출력을 위해 개별 펌핑 광원을 사용하는 구성에 비해 장치의 제작 비용 및 원가 절감이 가능해지는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 장치를 도시한 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.
본 발명은 하나의 다이오드 펌핑 광원과 이종의 레이저 매질을 사용하여 파장이 다른 복수의 레이저 빔들을 출력할 수 있도록 구성됨으로써, 파장이 다른 레이저 빔을 동시에 또는 선택적으로 이용하는 것이 가능한 레이저 장치를 제공하고자 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 장치를 도시한 구성도이다.
레이저 장치는 광을 펌핑하여 펌프 광을 생성 및 출력하는 펌핑 광원을 필요로 하며, 도시된 바와 같이 실시예의 레이저 장치는 레이저 다이오드를 포함하여 구성될 수 있는 하나의 펌핑 광원(10)만을 포함하여 구성된다.
여기서, 펌핑 광원(10)으로는 후술하는 제1레이저 매질(33) 및 이를 포함하는 레이저 공진기(30)에서 원하는 레이저 빔을 출력하는데 적합한 파장대의 펌프 광을 출력할 수 있는 것이라면, 본 발명에서 그 종류나 구성에 있어서 특정하게 한정하지 않으며, 당업자 수준에서 알려진 것들 중 어느 하나가 채택될 수 있다.
일례로, 상기 펌핑 광원(10)은 레이저 다이오드를 포함하는 펌핑 광원이 될 수 있고, 후술하는 바와 같이 제1레이저 매질(33)이 Tm:YLF 레이저 결정인 경우 대략 700nm 대 파장의 펌프 광을 출력할 수 있는 펌핑 광원이 사용될 수 있다.
또한 실시예의 레이저 장치는, 제1레이저 매질(33)을 사용하고 펌핑 광원(10)으로부터 인가되는 펌프 광을 공진시켜 제1레이저 빔을 발생 및 출력하는 제1공진기(30)와, 상기 제1공진기(30)에서 출력되는 제1레이저 빔의 일부를 외부 출력하면서 그 나머지를 제2레이저 빔을 발생시키기 위한 펌프 광으로 출력하는 빔스플릿부(50)와, 제2레이저 매질(73)을 사용하고 상기 빔스플릿부(50)로부터 전달되는 광을 공진시켜 제2레이저 빔을 발생 및 출력하는 제2공진기(70)를 포함한다.
여기서, 상기 제1공진기(30)는 제1레이저 매질(33)의 양쪽으로 통상의 공진기용 광학수단, 예컨대 양쪽으로 반사미러(31,32)를 배치한 구성이 될 수 있으며, 이때 제1공진기(30)의 출력측 반사미러(32)로는 다이크로익 미러(Dichroic Mirror,DM)(이색성 반사미러)가 배치될 수 있다.
상기 제1공진기(30)에서 다이크로익 미러는 공진기 내부에서 발생한 원하는 파장의 제1레이저 빔만을 빔스플릿부(50)측으로 반사시켜 출력시키는 역할을 하게 된다.
또한 실시예에서 제1공진기(30)의 입력측에서 펌핑 광원(10)과의 사이에는 볼록 시준 렌즈(Collimating Lens,CL)(20)와 같이 제1공진기(30)로 입력되는 펌프 광을 조절해주기 위한 별도의 광학수단이 배치될 수 있다.
또한 실시예에서 제1공진기(30)의 출력측으로는 정해진 파장(λ1)의 제1레이저 빔만을 선택적으로 투과시켜 불필요한 파장대의 빔을 제거하는 패브릿-패럿 에타론(Fabry-Perot Etalon,F-P) 소자(40)가 배치될 수 있다.
실제 제1공진기(30)의 출력에는 원하는 파장의 제1레이저 빔 외에 다른 파장의 빔이 포함될 수 있으며, 실시예에서 제1공진기(30)의 제1레이저 매질(33)로 후술하는 바와 같이 Tm:YLF 레이저 결정을 사용하여 1.9㎛ 파장의 제1레이저 빔 출력을 목표로 한다고 할 때, 1.9㎛ 파장의 레이저 빔을 제외한 나머지 파장의 빔은 제거해주는 것이 필요하다.
따라서, 제1공진기(30)의 출력측에 원하는 파장의 빔을 선택해서 출력하는 패브릿-패럿 에타론 소자(40)를 배치함으로써, 제1공진기(30)의 출력 빔 중 1.9㎛ 파장의 레이저 빔만이 빔스플릿부(50)로 전달될 수 있도록 한다.
상기 빔스플릿부(50)는 제1공진기(30)와 제2공진기(70)를 광학적으로 결합하는 결합수단(1:2 광결합기(Optical Coupler))이 되는 구성부로, 하나의 입력부(51)와 두 개의 출력부(52,53)를 가진다.
특히, 빔스플릿부(50)는 제1공진기(30)에서 출력되는 제1레이저 빔을 나누어 그 일부를 사용을 위한 최종의 출력 빔으로 외부 출력하고, 나머지 일부는 펌프 광으로 제2공진기(70)에 입력되도록 한다.
여기서, 빔스플릿부(50)의 입력부(51)는 제1공진기(30)로부터 출력되는 제1레이저 빔이 입력되는 부분이고, 두 개의 출력부(52,53) 중 하나는 도시된 실시예의 최종 빔 출력부(파장이 다른 복수의 레이저 빔 중 하나가 출력되는 출력부) 중 하나로서 제1공진기(30)에 의해 생성된 제1레이저 빔을 외부로 출력시키는 부분이다.
또한 두 개의 출력부(52,53) 중 나머지 하나는 제2공진기(70)의 입력측으로 연결되는 부분으로, 이는 제1레이저 빔이 제2공진기의 펌프 광으로 이용될 수 있도록 제1공진기(30)에서 출력되는 제1레이저 빔을 제2공진기(70)로 전달하는 출력부가 된다.
이하, 본 명세서에서는 명확한 설명을 위해 제1레이저 빔을 최종적으로 외부 출력하는 상기의 출력부(52)를 제1출력부, 그리고 제2공진기(70)로 인가되는 제1레이저 빔의 출력이 이루어지는 또 다른 출력부(53)를 제2출력부라 칭하기로 한다.
상기 제1출력부(52)에는 외부로 출력되는 제1레이저 빔(파장: λ1)을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하여 출력시키기 위한 변환부(54)가 배치될 수 있으며, 상기 변환부(54)는 제1공진기(30)의 출력 빔을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하기 위한 스위칭 소자를 포함하는 구성이 될 수 있다.
바람직한 실시예에서, 변환부(54)는 Q 스위칭을 통해 제1공진기(30)의 출력 빔(제1레이저 빔)을 펄스 형태의 빔으로 변환하도록 Q-스위치를 포함하는 구성이 될 수 있고, 이때 AO(Acousto-Optic) Q-스위치가 사용될 수 있다.
또한 상기 빔스플릿부(50)의 제2출력부(53)와 제2공진기(70) 사이에는 나누어진 제1레이저 빔의 경로를 제2공진기(70)의 입력측으로 설정해주기 위한 반사미러(HR)(60)와 같은 광학수단이 배치될 수 있다.
한편, 실시예에서 상기 제2공진기(70)는 제2레이저 매질(73)의 양쪽으로 통상의 공진기용 광학수단, 예컨대 반사미러(71,72)를 배치한 구성이 될 수 있으며, 이때 제2공진기(70)의 출력측 반사미러(72)로는 다이크로익 미러(DM)가 배치될 수 있다.
상기 제2공진기(70)에서 다이크로익 미러는 공진기 내부에서 발생한 원하는 파장의 레이저 빔만을 출력시키는 역할을 하는데, 제1레이저 빔은 투과시키면서 다른 파장(λ2)을 갖는 제2레이저 빔은 반사시켜 출력측을 통해 출력되도록 한다.
또한, 제2공진기(70)의 출력측에도 출력되는 제2레이저 빔(파장: λ2)을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하여 외부 출력시키는 변환부(74)가 배치될 수 있으며, 상기 변환부(74) 또한 제2공진기(70)의 출력 빔을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하기 위한 스위칭 소자를 포함하는 구성이 될 수 있다.
바람직한 실시예에서, 변환부(74)는 Q 스위칭을 통해 제2공진기(30)의 출력 빔을 펄스 형태의 빔으로 변환하도록 Q-스위치를 포함하는 구성이 될 수 있고, 이때 AO(Acousto-Optic) Q-스위치가 사용될 수 있다.
이와 같이 본 발명의 레이저 장치는, 제1공진기(30)가 다이오드 펌핑 광원(10)에 의해 펌핑된 광을 이용하여 레이저 빔을 발생시키는 반면, 제2공진기(70)의 경우 별도의 다이오드 펌핑 광원 없이 제1공진기(30)의 출력 빔을 펌프 광으로 이용하여 레이저 빔을 발생시키도록 한 점에 특징이 있는 것으로, 제1공진기(30) 입력측의 다이오드 펌핑 광원(10) 하나만을 사용하고, 제2공진기(70)의 입력측을 제1공진기(30)의 출력 빔을 입력받을 수 있도록 빔스플릿부(50)를 매개로 제1공진기(30)의 출력측에 결합시킨 구성을 특징으로 한다.
결국, 본 발명의 레이저 장치는 제1공진기(30)에서 발생하는 제1레이저 빔을 빔스플릿부(50)의 제1출력부(52)를 통해 외부 출력함과 더불어, 제2공진기(70)에서 발생하는 제2레이저 빔을 제1레이저 빔과 동시에 외부 출력할 수 있다.
또한 도 1은 파장(λ1,λ2)이 다른 두 레이저 빔을 동시에 출력할 수 있는 구성을 예시한 것으로, 도 1에 예시하지는 않았으나, 사용을 위해 제1레이저 빔과 제2레이저 빔이 최종적으로 동시에 외부 출력되도록 하거나, 또는 스위칭을 통해 어느 하나의 레이저 빔만이 선택적으로 외부 출력되도록 하는 출력회로가 구성될 수 있다.
또한 상기와 같이 제1공진기(30), 빔스플릿부(50), 제2공진기(70)를 결합하여 하나의 레이저 장치를 구성함에 있어서, 제1공진기(30)의 레이저 매질, 즉 제1레이저 매질(33)로는 툴륨(Tm)을 도핑한 레이저 결정이 사용될 수 있고, 제2공진기(70)의 레이저 매질, 즉 제2레이저 매질(73)로는 홀뮴(Ho)을 도핑한 레이저 결정이 사용될 수 있다.
더욱 상세하게는 제1레이저 매질(33)로 툴륨(Tm)을 도핑한 Tm:YLF 레이저 결정이 사용될 수 있고, 이때 제2레이저 매질(73)로는 홀뮴(Ho)을 도핑한 Ho:YAG 레이저 결정이 사용될 수 있다.
이 경우, 제1공진기(30)가 출력하는 제1레이저 빔은 1.9㎛ 파장의 레이저 빔이 되고, 1.9㎛ 파장의 레이저 빔을 펌프 광으로 이용하여 제2공진기(70)가 출력하는 제2레이저 빔은 2.1㎛ 파장의 레이저 빔이 된다.
즉, 실시예의 레이저 장치는 1.9㎛ 파장의 레이저 빔(λ1=1.9㎛)과 2.1㎛ 파장의 레이저 빔(λ2=2.1㎛)을 모두 출력할 수 있는 통합된 형태의 레이저 장치가 되며, 근접된 파장의 레이저 빔을 출력하는 툴륨 레이저와 홀뮴 레이저가 하나로 통합된 시스템, 특히 하나의 다이오드 펌프 광원을 사용하면서도 툴륨 레이저의 빔과 홀뮴 레이저의 빔을 모두 출력할 수 있는 시스템이 된다.
이상으로 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였는바, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것이 아니며, 다음의 특허청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당 업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 포함된다.
10 : 펌핑 광원 20 : 볼록 시준 렌즈
30 : 제1공진기 31, 32 : 반사미러
33 : 제1레이저 매질 40 : 패브릿-패럿 에타론 소자
50 : 빔스플릿부 51 : 입력부
52, 53 : 출력부 54 : 변환부
60 : 반사미러 70 : 제2공진기
71, 72 : 반사미러 73 : 제2레이저 매질
74 : 변환부

Claims (8)

  1. 광을 펌핑하여 펌프 광을 생성 및 출력하는 펌핑 광원;
    제1레이저 매질을 사용하고 상기 펌핑 광원으로부터 인가되는 펌프 광을 공진시켜 제1레이저 빔을 발생 및 출력하는 제1공진기와;
    상기 제1공진기에서 출력되는 제1레이저 빔의 일부를 최종의 출력 빔으로 외부 출력하면서 그 나머지를 제2레이저 빔을 발생시키기 위한 펌프 광으로 출력하는 빔스플릿부와;
    제2레이저 매질을 사용하고 상기 빔스플릿부로부터 전달되는 광을 공진시켜 제2레이저 빔을 발생 및 출력하는 제2공진기;
    를 포함하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1레이저 매질이 툴륨(Tm)을 도핑한 레이저 결정이고, 상기 제2레이저 매질이 홀뮴(Ho)을 도핑한 레이저 결정인 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1레이저 매질이 Tm:YLF 레이저 결정이고, 상기 제2레이저 매질이 Ho:YAG 레이저 결정인 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 펌핑 광원은 레이저 다이오드를 포함하여 구성되는 다이오드 펌핑 광원인 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1공진기와 제2공진기는 각각의 레이저 매질 양쪽으로 반사미러를 배치한 구성을 가지는 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1공진기의 출력측에는 정해진 파장의 제1레이저 빔만을 선택적으로 투과시켜 불필요한 파장대의 빔을 제거하는 패브릿-패럿 에타론(Fabry-Perot Etalon) 소자가 배치되는 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1레이저 빔이 최종의 출력 빔으로 출력되는 빔스플릿부의 출력측과, 상기 제2레이저 빔이 출력되는 제2공진기의 출력측 중 적어도 어느 하나에는 출력되는 레이저 빔을 펄스 형태의 레이저 빔으로 변환하는 변환부가 배치되는 것을 특징으로 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 변환부는 상기 출력되는 레이저 빔을 Q 스위칭하는 Q-스위치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 파장이 다른 복수의 레이저 빔 출력이 가능한 레이저 장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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