KR20150083555A - 터치 스크린 패널 및 이를 구비한 화상 표시 장치 - Google Patents

터치 스크린 패널 및 이를 구비한 화상 표시 장치 Download PDF

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KR20150083555A
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Abstract

본 발명은 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부를 구비하는 터치 스크린 패널에 관한 것으로서, 상기 위치 검출 라인은 하부 금속 산화막, 금속 배선 및 상부 금속 산화막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 상기 감지 전극 패턴은 상기 하부 금속 산화막과 접속됨으로써, 금속 배선의 손상 및 변형을 방지할 수 있는 터치 스크린 패널에 관한 것이다.

Description

터치 스크린 패널 및 이를 구비한 화상 표시 장치{TOUCH SCREEN PANEL AND DISPLAY DEVICE COMPRISING THE SAME}
본 발명은 터치 스크린 패널 및 화상 표시 장치에 관한 것이다.
터치 스크린 장치는 디스플레이 화면을 손가락이나 펜 등으로 접촉시키는 경우, 그 접촉된 지점의 좌표값을 인식하여 해당 전자 기기의 제어를 수행하는 장치를 말한다.
도 1은 일반적인 터치 스크린 패널의 전극 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 터치 스크린 패널(10)은 표시 영역(A) 및 비표시 영역(B)을 포함한다. 표시 영역(A) 및 비표시 영역(B)은 투명 기판(20) 상에 형성될 수 있다. 표시 영역(A)은 터치 스크린 패널(10) 중 안쪽(터치 감지 영역)에 형성되고, 비표시 영역(B)은 터치 스크린 패널(10) 중 바깥쪽(즉, 테두리 부분)에 형성된다.
표시 영역(A)에는 사용자의 터치에 의한 전기적 또는 물리적 변화를 감지하기 위한 감지 전극 패턴(30)들이 형성된다. 여기서, 감지 전극 패턴(30)은 제1 감지 전극 패턴(30-1) 및 제2 감지 전극 패턴(30-2)을 포함한다. 제1 감지 전극 패턴(30-1) 및 제2 감지 전극 패턴(30-2)이 투명 기판 상에 마름모 형상으로 상호 밀집하여 규칙적으로 형성되게 된다. 제1 감지 패턴(30-1)은 투명 기판(20) 상에 복수 개의 행을 이루며 형성되고, 제2 감지 패턴(30-2)은 투명 기판(20) 상에 복수 개의 열을 이루며 형성될 수 있다.
이와 관련하여, 제1 감지 패턴(30-1) 및 제2 감지 패턴(30-2)은 동일한 기판 상에 형성되며, 터치되는 지점을 감지하기 위해서는 각 패턴들은 전기적으로 연결되어야 한다. 그런데, 제2 감지 패턴(30-2)은 서로 연결된 형태이지만 제1 감지 패턴(30-1)은 섬(island) 형태로 분리된 구조로 되어 있으므로 제1 감지 패턴(30-1)을 전기적으로 연결하기 위해서는 별도의 연결 전극(브릿지 전극)(35)이 필요하다. 다만, 상기 브릿지 전극(35)은 제2 감지 패턴(30-2)과 전기적으로 연결되어서는 안되므로, 제2 감지 패턴(30-2)과는 다른 층에 형성되어야 한다.
따라서, 제1 감지 패턴(30-1)과 제2 감지 패턴(30-2)은 그 위에 형성된 절연막(40)으로 서로 전기적으로 절연되어 있는 상태이다. 그리고, 전술한 바와 같이 제1 감지 패턴(30-1)은 전기적으로 연결될 필요가 있으므로, 브릿지 전극(50)을 사용하여 전기적으로 연결된다.
섬 형태로 분리된 제1 감지 패턴(30-1)을 제2 감지 패턴(30-2)과는 전기적으로 차단되면서도 브릿지 전극(35)으로 연결하기 위해서는, 절연막(40) 상에 콘택홀(500)을 형성한 후에, 별도의 브릿지 전극(35)을 형성하는 단계를 거칠 필요가 있다.
비표시 영역(B)에는 위치 검출 라인 및 패드부가 형성된다. 위치 검출 라인의 일단은 복수 개의 행을 이루는 제1 감지 전극 패턴(30-1) 및 복수 개의 열을 이루는 제2 감지 전극 패턴(30-2) 각각에 연결되고, 위치 검출 라인의 타단은 패드부에 연결된다. 그리고, 패드부는 외부의 구동 회로와 연결될 수 있다.
도 2는 일반적인 터치 스크린 패널에서 표시 영역(A)과 비표시 영역(B)의 경계 부분을 나타낸 단면도이다.
도 2를 참조하여 일반적인 터치 스크린 패널(10)의 제조 방법을 살펴보면, 먼저 투명 기판(20)의 비표시 영역(B)에 차광층(60)을 형성한다. 다음으로, 투명 기판(20)의 표시 영역(A)에 감지 전극 패턴(30)을 형성한다. 이때, 위치 검출 라인(40)과의 전기적 접속을 위해 감지 전극 패턴(30)은 비표시 영역(B)의 차광층(60) 상부까지 연장되어 형성된다. 다음으로, 비표시 영역(B)에서 차광층(60) 상부에 위치 검출 라인(40)을 형성한다. 이때, 위치 검출 라인(40)은 차광층(60)의 상부까지 연장된 감지 전극 패턴(30)을 감싸며 형성되게 된다.
위치 검출 라인(40)은 초기에는 ITO와 같은 금속 산화물로 형성되었으나, 전기 전도도가 낮은 문제가 있어, 최근에는 금속을 사용한 금속 배선이 고려되고 있다.
하지만, 금속 배선은 하부에 형성된 절연층의 후-소성(post-baking) 공정 시에 발생하는 가스(out-gas)에 의해 손상을 입을 수 있으며, 발생되는 열에 의해 팽창 문제가 발생할 수 있다.
본 발명은 금속 배선을 포함하면서도 out-gas나 열에 의해 손상이나 변형되지 않는 구조를 구비한 위치 검출 라인을 구비한 터치 스크린 패널을 제공한다.
또한, 본 발명은 다층 구조의 터치 감지 패턴과 위치 검출 라인의 다층 구조 접속부를 구비하면서도 간단한 제조 공정으로 제조할 수 있는 터치 스크린 패널의 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 전술한 터치 스크린 패널을 구비한 화상 표시 장치를 제공한다.
1. 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부를 구비하는 터치 스크린 패널로서, 상기 위치 검출 라인은 하부 금속 산화막, 금속 배선 및 상부 금속 산화막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 상기 감지 전극 패턴은 상기 하부 금속 산화막과 접속되는, 터치 스크린 패널.
2. 위 1에 있어서, 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막 사이에는 절연층이 개재되고, 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막은 상기 절연막 중에 형성된 콘택홀로 접속되는, 터치 스크린 패널.
3. 위 1에 있어서, 상기 금속 배선의 폭은 상기 하부 금속 산화막의 폭보다 좁게 형성되는, 터치 스크린 패널.
4. 위 3에 있어서, 상기 하부 금속 산화막의 폭은 상기 금속 배선의 폭에 비해 1 내지 5㎛ 넓은, 터치 스크린 패널.
5. 위 1에 있어서, 상기 상부 금속 산화막은 상기 금속 배선의 상부 표면 전체를 덮도록 형성되는, 터치 스크린 패널.
6. 위 1에 있어서, 상기 금속 배선은 은(Ag), 구리, 알루미늄, 몰리브덴, 팔라듐, 및 이들 중 적어도 2종 이상의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는, 터치 스크린 패널.
7. 위 1에 있어서, 상기 상부 금속 산화막 및 하부 금속 산화막은 서로 독립적으로 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는, 터치 스크린 패널.
8. 위 1에 있어서, 상기 접속부의 감지 전극 패턴의 하부에는 차광층을 더 포함하는, 터치 스크린 패널.
9. 제1 감지 전극 패턴, 제2 감지 전극 패턴 및 브릿지 전극을 구비하는 터치 감지 전극과 상기 감지 전극 패턴 중 어느 하나와 접속하는 위치 검출 라인을 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법에 있어서,
상기 제1 감지 전극 패턴 및 제2 감지 전극 패턴을 형성하는 단계;
비표시 영역에 상기 감지 전극 패턴들 중 연장된 패턴의 상부에 위치 검출 라인의 하부 금속 산화막을 형성하는 단계; 및
상기 하부 금속 산화막의 상부에 금속 배선을 형성하고, 상기 금속 배선 상부에 상부 금속 산화막을 형성하는 단계;
를 포함하는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
10. 위 9에 있어서, 상기 하부 금속 산화막은 표시 영역의 제2 감지 전극 패턴들 중 어느 하나를 연결하는 브릿지 전극을 형성함과 동시에 형성되는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
11. 위 9에 있어서, 감지 전극 패턴들 상부에 절연층을 형성하고, 상기 절연층 중에 상기 감지 전극 패턴과 상기 브릿지 전극 및 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막을 각각 접속하는 콘택홀을 형성하는 단계를 더 포함하는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
12. 위 1 내지 8 중 어느 한 항의 터치 스크린 패널을 포함하는 화상 표시 장치.
본 발명의 터치 스크린 패널은 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부가 하부 금속 산화막 위에 금속 배선을 구비함으로써, 하부 금속 산화막 하부에 절연층이 구비되더라도 절연층에서 발생하는 out-gas에 의해 금속 배선이 손상을 입는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 터치 스크린 패널은 상기 접속부가 금속 배선 위에 상부 산화막을 구비함으로써 추후 제조 공정시 발생하는 열 또는 터치 스크린 패널 사용시 발생하는 내부 열에 의해 금속 배선이 변형되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 터치 스크린 패널은 금속 배선을 하부 금속 산화막의 폭보다 좁은 폭으로 형성하게 되면 금속 배선의 배열 공정이 보다 용이해지고 다소간의 배열 오차가 발생해도 그로 인한 작동 오류를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 터치 스크린 패널은 상부 금속 산화막을 구비함으로써, 외부 열에 의한 금속 배선의 손상 및 변형을 방지할 뿐만 아니라 별도의 패시베이션층을 형성하지 않을 수도 있다.
또한, 본 발명의 터치 스크린 패널의 제조 방법은 브릿지 전극과 하부 금속 산화막을 동시에 형성하게 되는 경우 다층 구조의 접속부를 구비하더라도 그 제조 공정이 복잡하지 않다. 더욱이, 하부에 절연층을 구비하는 경우에도 감지 전극 패턴에 구비되는 절연층과 동시에 형성할 수 있으므로, 추가되는 공정은 없게 된다.
도 1은 일반적인 터치 스크린 패널의 전극 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일반적인 터치 스크린 패널에서 표시 영역(A)과 비표시 영역(B)의 경계 부분을 나타낸 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널의 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부의 개략적인 평면도와 단면도이다.
본 발명은 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부를 구비하는 터치 스크린 패널에 관한 것으로서, 상기 위치 검출 라인은 하부 금속 산화막, 금속 배선 및 상부 금속 산화막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 상기 감지 전극 패턴은 상기 하부 금속 산화막과 접속됨으로써, 금속 배선의 손상 및 변형을 방지할 수 있는 터치 스크린 패널에 관한 것이다.
이하에서는, 도면을 참고하여 본 발명의 터치 스크린 패널을 보다 상세하게 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널의 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부의 개략적인 평면도와 단면도(A-A')이다.
본 발명의 터치 스크린 패널은 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부를 구비한다. 감지 전극 패턴(30)은 터치 스크린 패널의 표시 영역에서 사용자의 터치를 감지하는 전극으로서, 제1 감지 전극 패턴(30-1) 및 제2 감지 전극 패턴(30-2)을 포함하며, 제1 감지 전극 패턴(30-1) 및 제2 감지 전극 패턴(30-2) 중 어느 하나가 비표시 영역으로 연장되어 위치 검출 라인과 전기적으로 접속한다.
본 발명에 따른 위치 검출 라인은 터치 스크린 패널의 표시 영역에 배치되며, 하부 금속 산화막(100), 금속 배선(200) 및 상부 금속 산화막(300)을 포함한다.
하부 금속 산화막(100)은 비표시 영역으로 연장된 감지 전극 패턴(30)과 접속한다. 하부 금속 산화막(100)은 감지 전극 패턴(30)에서 수신한 전기 신호를 상부의 금속 배선(200)으로 전달한다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 금속 산화막(100) 하부에 절연층(40)이 구비되는 경우, 하부 금속 산화막(100)은 제조 공정 중에 발생하는 열에 의해 절연층(40)에서 생성되는 out-gas가 상부의 금속 배선(200)에 가하는 손상 및 변형을 최소한으로 줄일 수 있다.
하부 금속 산화막(100)은 전기 전도성을 가진 금속 산화물로 형성될 수 있으며, 그러한 소재로서 알려진 것이라면 특별한 제한 없이 사용될 수 있다. 예를 들면, 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO) 등을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 인듐주석산화물(ITO) 또는 인듐아연산화물(IZO)을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 다른 측면에서, 하부 금속 산화막(100)은 감지 전극 패턴(30)과 동일한 소재가 적용될 수 있다.
금속 배선(200)은 하부 금속 산화막(100)으로부터 수신된 전기 신호를 외부 구동 회로 및 IC에 전달한다. 금속 배선(200)에 접속되어 있는 하부 금속 산화막(100)이나 상부 금속 산화막(300)도 전기 전도성을 가지고 있으나 금속 배선(200) 보다는 전기 저항이 높으므로, 전기 신호는 실질적으로 금속 배선(200)을 통해 전달된다.
금속 배선(200)에 사용되는 금속은 전기 배선에 사용될 수 있는 것이라면 특별한 제한 없이 사용될 수 있다. 예를 들면, 은(Ag), 구리, 알루미늄, 몰리브덴, 팔라듐, 또는 이들 중 적어도 2종 이상의 합금을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 은-팔라듐-구리 합금을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
금속 배선(200)은 전기 전도성이 우수하므로 전기 신호의 전달에 유리하다. 다만, 금속 산화물에 비해 열에 약하여 제조 공정 중 또는 사용 중에 발생하는 열에 의해 손상을 받거나 변형될 우려가 있다.
이에 본 발명은 금속 배선(200)의 하부와 상부에 금속 산화막(100, 300)을 구비하여 그러한 문제점을 해결한다.
본 발명의 다른 측면에 있어서, 금속 배선(200)은 그 폭이 하부 금속 산화막(100)의 폭보다 좁게 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 금속 배선(200)의 형성 시에 여러 가지 원인으로 형성 위치에 오차가 발생할 수 있다. 이러한 경우 하부 금속 산화막(100) 영역을 넘어서 금속 배선(200)이 형성될 경우에는 단선 또는 단락(short) 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 금속 배선(200)의 폭을 하부 금속 산화막(100)의 폭보다 좁게 형성함으로써 금속 배선(200) 형성 시에 위치에 다소 오차가 발생하여도 하부 금속 산화막(100)을 벗어나지 않도록 하여 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있다. 이러한 측면에서, 구체적인 예를 들면, 하부 금속 산화막(100)의 폭은 상기 금속 배선(200)의 폭에 비해 1 내지 5㎛ 넓게 형성될 수 있다.
상부 금속 산화막(300)은 금속 배선(300)의 상부에 형성되어, 금속 배선(200)이 이후 제조 공정 중 또는 사용 중에 발생하는 열로부터 금속 배선(200)의 손상 및 변형을 최소화한다. 이러한 측면에서, 상부 금속 산화막(300)은 상기 금속 배선(200)의 상부 표면 전체를 덮도록 형성되는 것이 바람직할 수 있다.
또한, 상부 금속 산화막(300)을 형성함으로써 종래 금속 배선 형성 상부에 형성되던 패시베이션층(passivation layer)을 형성하지 않을 수도 있다. 이로 인해 제조 공정의 증가를 방지할 수 있다.
상부 금속 산화막(300)은 전술한 하부 금속 산화막(100) 재료와 동일한 범주의 재료로 형성될 수 있으며, 하부 금속 산화막(100)과 동일한 재료 또는 서로 다른 재료로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 접속부는 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100) 사이에 절연층(40)을 더 구비할 수 있다. 절연층(40)은 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100)이 서로 대응하는 배선과만 접속될 수 있도록 하며, 다른 부분과의 전기적 접속을 방지한다.
그 사이에 절연층(40)이 개재된 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100)은 콘택홀(500)로 접속될 수 있다. 콘택홀(500)은 절연층(40) 중에 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100)이 접속될 부분에 형성되어, 불필요한 전기적 접속 없이 요구되는 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100)만 접속하도록 한다.
본 발명에 따른 접속부는 터치 스크린 패널의 비표시 영역에 형성된다. 통상적으로, 비표시 영역에는 투명 기판(20) 상에 차광층(60)이 형성된다. 차광층(60)은 비표시 영역에 형성되는 위치 검출 라인 등의 전기 배선을 은폐한다. 따라서, 본 발명에 따른 접속부는 차광층(60) 상에 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 감지 전극 패턴(30)이 비표시 영역의 차광층(60) 위로 연장될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널의 제조방법에 대해서 보다 상세하게 설명하도록 한다.
본 발명에 따른 터치 스크린 패널 제조 방법은 감지 전극 패턴(제1 감지 전극 패턴 및 제2 감지 전극 패턴을 포함) 및 브릿지 전극을 포함하는 터치 감지 전극과 상기 감지 전극 패턴과 접속하는 위치 검출 라인을 포함하는 터치 스크린 패널 제조 방법에 관한 것이다.
먼저, 제1 감지 전극 패턴 및 제2 감지 전극 패턴을 형성한다.
제1 감지 전극 패턴 및 제2 감지 전극 패턴은 터치 스크린 패널의 표시 영역에 대응하는 크기로 투명 기판(20) 상에 형성되며, 그 중 하나는 비표시 영역으로 일부 연장된다.
이 때, 투명 기판(20) 상의 비표시 영역에는 차광층(60)이 미리 형성되어 있을 수 있다. 이 경우 비표시 영역으로 연장된 감지 전극 패턴(30)은 차광층(60) 상부에 형성된다.
감지 전극 패턴(30)은 그 형상이 특별히 제한되지 않는다. 또한 형성 방법 역시 당분야에 알려진 방법으로 형성될 수 있으며, 예를 들면, 스크린 인쇄, 스퍼터링, 증착, 포토리소그래피 등을 사용할 수 있다.
다음으로, 비표시 영역에 상기 감지 전극 패턴(30)들 중 연장된 패턴의 상부에 위치 검출 라인의 하부 금속 산화막(100)을 형성한다.
하부 금속 산화막(100)은 전술한 소재를 사용하여 감지 전극 패턴(30)과 마찬가지의 방법으로 형성할 수 있다.
바람직하게는, 하부 금속 산화막(100)은 표시 영역의 감지 전극 패턴들 중 어느 하나를 연결하는 브릿지 전극을 형성함과 동시에 형성될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1 감지 전극 패턴과 제2 감지 전극 패턴이 동일한 평면 상에 형성되면 그 중 하나(도 1의 경우 제1 감지 전극 패턴)는 섬 형태의 격리된 패턴 구조를 가지게 되므로, 이를 연결하는 브릿지 전극을 형성할 필요가 있다.
브릿지 전극은 도전성 금속 또는 금속 산화물로 형성될 수 있으며, 하부 금속 산화막(100)과 동시에 형성되는 경우에는 하부 금속 산화막(100)과 동일한 소재로 형성된다.
또한, 바람직하게는, 감지 전극 패턴(30)들 상부에 절연층(40)을 형성하고, 상기 절연층(40) 중에 상기 감지 전극 패턴과 상기 브릿지 전극 및 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막을 각각 접속하는 콘택홀(500)을 형성할 수 있다.
표시 영역에서 브릿지 전극이 제1 또는 제2 감지 전극 패턴과만 연결되기 위해서는 절연층(40) 및 콘택홀(500)이 필요하다. 본 발명에 있어서, 이러한 절연층(40)을 비표시 영역까지 확장하고, 감지 전극 패턴(30)과 하부 금속 산화막(100)의 안전하고 안정적인 전기적 접속을 보장하기 위해 콘택홀(500)을 더 구비하도록 할 수 있다.
다음으로, 상기 하부 금속 산화막(100)의 상부에 금속 배선(200)을 형성하고, 상기 금속 배선(200) 상부에 상부 금속 산화막(300)을 형성한다.
금속 배선(200)은 하부 금속 산화막(100) 보다 좁은 폭을 갖도록 형성하는 것이 바람직하며, 상부 금속 산화막(300)은 금속 배선(200)의 상부 표면 전체를 덮도록 형성되는 것이 바람직하다.
금속 배선(200)과 상부 금속 산화막(300)의 형성은 각각 당분야에 알려진 방법으로 형성될 수 있으며, 예를 들면, 스크린 인쇄, 스퍼터링, 증착, 포토리소그래피 등을 사용할 수 있다.
본 발명의 터치 스크린 패널은 당분야에 공지된 추가 공정을 통해 필요한 전자 소자와 결합될 수 있다. 또한, 본 발명의 터치 스크린 패널은 화상 표시 장치에 적용될 수 있다. 이 경우 적용될 수 있는 화상 표시 장치로는 액정 디스플레이, OLED, 플렉서블 디스플레이 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
20: 투명 기판
30: 감지 전극 패턴(30-1: 제1 감지 전극 패턴, 30-2: 제2 감지 전극 패턴)
35: 브릿지 전극 40: 절연층
60: 차광층
100: 하부 금속 산화막 200: 금속 배선
300: 상부 금속 산화막 500: 콘택홀

Claims (12)

  1. 감지 전극 패턴과 위치 검출 라인이 접속하는 접속부를 구비하는 터치 스크린 패널로서,상기 위치 검출 라인은 하부 금속 산화막, 금속 배선 및 상부 금속 산화막이 순차적으로 적층되어 형성되고,상기 감지 전극 패턴은 상기 하부 금속 산화막과 접속되는, 터치 스크린 패널.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막 사이에는 절연층이 개재되고, 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막은 상기 절연막 중에 형성된 콘택홀로 접속되는, 터치 스크린 패널.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 금속 배선의 폭은 상기 하부 금속 산화막의 폭보다 좁게 형성되는, 터치 스크린 패널.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 하부 금속 산화막의 폭은 상기 금속 배선의 폭에 비해 1 내지 5㎛ 넓은, 터치 스크린 패널.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 상부 금속 산화막은 상기 금속 배선의 상부 표면 전체를 덮도록 형성되는, 터치 스크린 패널.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 금속 배선은 은(Ag), 구리, 알루미늄, 몰리브덴, 팔라듐, 및 이들 중 적어도 2종 이상의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는, 터치 스크린 패널.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 상부 금속 산화막 및 하부 금속 산화막은 서로 독립적으로 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는, 터치 스크린 패널.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 접속부의 감지 전극 패턴의 하부에는 차광층을 더 포함하는, 터치 스크린 패널.
  9. 제1 감지 전극 패턴, 제2 감지 전극 패턴 및 브릿지 전극을 구비하는 터치 감지 전극과 상기 감지 전극 패턴 중 어느 하나와 접속하는 위치 검출 라인을 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법에 있어서,
    상기 제1 감지 전극 패턴 및 제2 감지 전극 패턴을 형성하는 단계;
    비표시 영역에 상기 감지 전극 패턴들 중 연장된 패턴의 상부에 위치 검출 라인의 하부 금속 산화막을 형성하는 단계; 및
    상기 하부 금속 산화막의 상부에 금속 배선을 형성하고, 상기 금속 배선 상부에 상부 금속 산화막을 형성하는 단계;
    를 포함하는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 하부 금속 산화막은 표시 영역의 제2 감지 전극 패턴들 중 어느 하나를 연결하는 브릿지 전극을 형성함과 동시에 형성되는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  11. 청구항 9에 있어서, 감지 전극 패턴들 상부에 절연층을 형성하고, 상기 절연층 중에 상기 감지 전극 패턴과 상기 브릿지 전극 및 상기 감지 전극 패턴과 상기 하부 금속 산화막을 각각 접속하는 콘택홀을 형성하는 단계를 더 포함하는, 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  12. 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항의 터치 스크린 패널을 포함하는 화상 표시 장치.
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