KR20150081507A - Vaccum chamber - Google Patents

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KR20150081507A KR1020140001048A KR20140001048A KR20150081507A KR 20150081507 A KR20150081507 A KR 20150081507A KR 1020140001048 A KR1020140001048 A KR 1020140001048A KR 20140001048 A KR20140001048 A KR 20140001048A KR 20150081507 A KR20150081507 A KR 20150081507A
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Abstract

Disclosed is a vacuum chamber. The vacuum chamber according to the present invention comprises: a chamber body which includes a vacuum space on the inside; a door unit coupled to be movable relative to the chamber body and having a heavy weight object moving unit for opening and closing the chamber body and for moving a heavy weight object up and down; and a duct unit supported by the door unit and capable of shielding cables so the cables connected to the heavy weight object are not exposed to a vacuum space.

Description

진공 챔버{VACCUM CHAMBER}Vacuum chamber {VACCUM CHAMBER}

본 발명은, 진공 챔버에 관한 것으로서, 내부에 케이블을 배치할 수 있으며 유지보수가 용이한 진공 챔버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum chamber, and more particularly, to a vacuum chamber in which a cable can be disposed therein and which is easy to maintain.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.As a result of the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, a flat panel display is attracting attention as a display device.

이러한 평판표시소자에는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Such flat panel display devices include liquid crystal display devices, plasma display panels, and organic light emitting diodes.

이 중에서 유기전계 발광소자는, 예컨대 OLED는 빠른 응답속도, 기존의 LCD보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.Of these organic electroluminescent devices, for example, OLEDs have very good advantages such as fast response speed, lower power consumption than conventional LCDs, light weight, no need for a separate backlight device, And has been attracting attention as a next generation display device.

이러한 유기전계 발광소자는, 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막이 순서대로 증착되어 제작되며, 양극과 음극 사이에 발생된 에너지 차이에 의해 스스로 발광한다.Such an organic electroluminescent device is fabricated by sequentially depositing a cathode film, an organic thin film, and a cathode film on a substrate, and emits light by a difference in energy generated between the anode and the cathode.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.In other words, the injected electrons and holes are recombined, and the excitation energy generated is generated by light. At this time, since the wavelength of light generated according to the amount of the dopant of the organic material can be controlled, full color can be realized.

도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.1 is a structural view of an organic electroluminescent device.

도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.1, an organic electroluminescent device includes an anode, a hole injection layer, a hole transport layer, an emitting layer, an electron transport layer (electron transport layer) a transfer layer, an electron injection layer, and a cathode are laminated in this order.

여기서, 애노드는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용되고, 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성되며, 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 사용된다. 그리고, 캐소드는 LiF-Al 금속막이 사용된다.Here, the anode is mainly composed of ITO (Indium Tin Oxide) having small surface resistance and good transparency, and the organic thin film is composed of a multilayer of a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, and TCTA are used as the organic material used as the light emitting layer. A LiF-Al metal film is used for the cathode.

그리고, 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.And, since the organic thin film is very weak to moisture and oxygen in the air, a sealing film for sealing is formed at the top to increase the lifetime of the device.

한편, 도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 구동 시 정공이 애노드로부터 발광층으로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층으로 주입된다.On the other hand, as shown in FIG. 1, when the organic electroluminescent device is driven, holes are injected from the anode into the light emitting layer, and electrons are injected from the cathode into the light emitting layer.

발광층으로 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.The holes and electrons injected into the light emitting layer combine to form an exciton, and the exciton emits light while transitioning from the excited state to the ground state.

이러한 유기전계 발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계 발광소자로 구분된다.Such an organic electroluminescent device is classified into a single color or a full color organic electroluminescent device according to the hue to be realized.

한편, 이러한 유기전계 발광소자는 증착물질이 기판에 증착되는 증착공정을 거쳐 제작되는데, 이러한 증착공정은 일반적으로 진공 챔버의 내부에서 이루어진다.Meanwhile, such an organic electroluminescent device is manufactured through a deposition process in which a deposition material is deposited on a substrate, and this deposition process is generally performed inside a vacuum chamber.

이러한 진공 챔버의 내부에는 증착물질을 제공하는 증착소스, 증착물질을 감지하는 센서 및 증착소스와 센서를 이동시키는 모터 등이 배치된다.Inside the vacuum chamber, a deposition source for providing the deposition material, a sensor for sensing the deposition material, and a motor for moving the deposition source and the sensor are disposed.

이러한 센서와 모터 등은 케이블(전선)을 통해 진공 챔버 외부에 마련되는 제어부와 연결되는데, 케이블이 진공 챔버 내부의 진공 상태에 노출되는 경우 케이블에 손상이 발생될 수 있으며, 케이블에서의 아웃가스(outgas)에 의해 진공 챔버의 진공상태를 유지하기 어려운 문제점이 있다.Such sensors and motors are connected to a control unit provided outside the vacuum chamber through a cable (wire). If the cable is exposed to a vacuum in the vacuum chamber, damage to the cable may occur, it is difficult to maintain the vacuum state of the vacuum chamber by the outgas.

또한 상술한 증착소스, 센서 및 모터 등이 챔버 내부에 배치되므로 유지보수 작업이 불편한 문제점이 있다.Further, since the deposition source, the sensor, the motor, and the like are disposed inside the chamber, the maintenance work is inconvenient.

따라서, 진공 챔버의 내부에 배치되는 케이블을 진공 상태에 노출시키지 않으며 유지보수가 간편한 진공 챔버의 개발이 필요한 실정이다.Therefore, it is necessary to develop a vacuum chamber which does not expose a cable disposed inside the vacuum chamber to a vacuum state and is easy to maintain.

특허공개공보 제10-2008-0114289호 (두산메카텍 주식회사), 2008.12.31.Patent Laid-Open Publication No. 10-2008-0114289 (Doosan Mecatec Co., Ltd.), December 31, 2008.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 내부에 배치되는 케이블을 진공 상태에 노출시키지 않으며 유지보수가 간편한 진공 챔버를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a vacuum chamber which does not expose a cable disposed therein to a vacuum state and is easy to maintain.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체; 상기 챔버 본체에 상대이동 가능하게 결합되어 상기 챔버 본체를 개폐하며, 상기 진공 공간에서 중량물을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부를 구비하는 도어유닛; 및 상기 도어유닛에 지지되며, 상기 중량물에 연결되는 케이블이 상기 진공 공간에 노출되지 않도록 상기 케이블을 차폐하는 덕트유닛을 포함하는 진공 챔버가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum cleaner comprising: a chamber body having a vacuum space therein; A door unit coupled to the chamber body so as to be movable relative to the chamber body to open / close the chamber body and to move up / down the weight in the vacuum space; And a duct unit supported by the door unit and shielding the cable so that a cable connected to the heavy object is not exposed to the vacuum space.

상기 도어유닛은, 상기 도어유닛 본체부; 상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 도어유닛 본체부를 이동시키는 도어유닛용 구동부; 및 상기 챔버 본체에 연결되며, 상기 도어유닛 본체부의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부를 포함할 수 있다.The door unit includes: the door unit body; A door unit driving unit coupled to the door unit body and configured to move the door unit body; And a door unit guide portion connected to the chamber body and guiding movement of the door unit body portion.

상기 도어유닛 가이드부는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부로 이루어질 수 있다.The door unit guide portion may include a telescopic type guide portion having a length expandable and contractible.

상기 텔레스코픽 타입 가이드부는, 상기 챔버 본체에 마련된 제1 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부; 및 상기 제1 가이드부의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상면부에 상기 도어유닛 본체부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일이 마련되는 제2 가이드부를 포함할 수 있다.The telescopic type guide part includes a first guide part slidably connected to a first guide rail provided in the chamber body; And a second guide unit slidably connected to a second guide rail provided on an upper surface portion of the first guide unit and having a third guide rail slidably coupled to the upper surface portion of the door unit main body portion .

상기 중량물은 상호 이격되어 배치되는 제1 중량물 및 제2 중량물을 포함하고, 상기 케이블은 상기 제1 중량물에 연결되는 제1 케이블 및 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 케이블을 포함하며, 상기 덕트유닛은, 상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 제1 케이블 및 상기 제2 케이블을 수용하는 게이트 덕트부; 상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제1 케이블을 수용하며, 상기 제1 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제1 케이블의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부; 및 상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제2 케이블을 수용하며, 상기 제2 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제2 케이블의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부를 포함할 수 있다.Wherein the weight comprises a first weight and a second weight disposed spaced apart from each other, the cable including a first cable connected to the first weight and a second cable connected to the second weight, A gate duct unit coupled to the door unit body and receiving the first cable and the second cable; The first cable is connected to the gate duct portion and receives the first cable. The first cable is connected to the first cable and the shape of the first cable is changed according to up / down of the first cable. A first guide duct portion; And a second cable connected to the gate duct portion to receive the second cable, the second cable being connected to the second weight to change the shape of the first cable according to up / down of the first weight, And the second guide duct portion.

상기 제1 가이드 덕트부는, 상기 게이트 덕트부에 연결되는 제1 고정몸체; 상기 제1 중량물에 연결되는 제2 고정몸체; 및 상기 제1 고정몸체와 상기 제2 고정몸체를 연결하며, 상기 제1 몸체 및 상기 제2 몸체에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부를 포함할 수 있다.The first guide duct portion may include: a first fixing body connected to the gate duct portion; A second fastening body connected to the first weight; And a turning body coupled to the first body and the second body to couple the first body with the second body and pivotably coupled to the first body and the second body.

상기 회동 몸체부는, 상기 제1 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축이 마련되는 제1 회동몸체; 상기 제1 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제1 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축이 마련되는 제2 회동몸체; 및 상기 제2 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제2 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축과 상기 제3 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 상기 제2 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축이 마련되는 제3 회동몸체를 포함할 수 있다.The rotating body may include: a first rotating body having a first rotating shaft rotatably coupled to the first fixing body; A second rotating body rotatably coupled to the first rotating body and provided with a second rotating shaft disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the first rotating shaft; And a third rotating shaft rotatably coupled to the second rotating body and disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the second rotating shaft, and a third rotating shaft disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the third rotating shaft And a third rotating body having a fourth rotating shaft rotatably coupled to the second fixing body.

상기 제1 회동축과 상기 제3 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되며, 상기 제2 회동축과 상기 제4 회동축은 동일 중심축선 상에 배치될 수 있다.The first rotation axis and the third rotation axis are disposed on the same central axis, and the second rotation axis and the fourth rotation axis may be disposed on the same central axis.

상기 제2 가이드 덕트부는, 상기 게이트 덕트부에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스; 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 중량물용 연결박스; 상기 제1 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스; 및 상기 제2 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 제3 가이드 박스를 포함할 수 있다.The second guide duct portion may include a first guide box rotatably connected to the gate duct portion, A connection box for a second heavy object connected to the second heavy object; A second guide box rotatably connected to the first guide box; And a third guide box pivotally connected to the second guide box and connected to the second heavy object connection box.

상기 중량물 이동부는, 상기 제1 중량물 및 상기 제2 중량물을 지지하는 지지 플레이트; 상기 도어유닛 본체부에 지지되는 받침 플레이트; 상기 받침 플레이트에 회동 가능하게 연결되고 상기 지지 플레이트에 회동가능하게 연결되며, 상기 지지 플레이트를 지지하는 지지링크; 및 상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 지지링크를 회동시키는 링크용 회동 구동부를 포함할 수 있다.The weight moving part includes: a support plate for supporting the first weight and the second weight; A support plate supported by the door unit body; A support link rotatably connected to the support plate and rotatably connected to the support plate, the support link supporting the support plate; And a link rotation driving part supported on the support plate and rotating the support link.

상기 지지 플레이트는, 하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드; 및 상기 플레이트용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록을 포함할 수 있다.The support plate includes a plate-shaped ELM guide provided on a lower surface thereof; And a plate-type EL block which is slidably moved along the plate-type ELM guide and is rotatably coupled with the support link.

상기 받침 플레이트는, 도어유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 도어유닛용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록을 포함할 수 있다.Wherein the support plate comprises: an ELM guide for a door unit; And an EL block for a door unit, which is slidably moved along the ELM guide for the door unit, and in which the supporting link is rotatably coupled.

상기 링크용 회동 구동부는, 상기 플레이트용 엘엠 블록에 연결되는 이동나사;The link rotation driving unit includes: a moving screw connected to the plate EL block;

상기 이동나사가 치합되는 볼 스크류; 및 상기 볼 스크류를 회전시키며, 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 링크용 구동모터를 포함할 수 있다.A ball screw to which the moving screw is engaged; And a link drive motor that rotates the ball screw and is connected to the connection box for the second heavy object.

상기 플레이트용 엘엠 가이드는 상호 이격되어 배치되는 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드를 포함하고, 상기 플레이트용 엘엠 블록은 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드 각각에 연결되는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록을 포함하고, 상기 이동나사는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록 각각에 연결되는 제1 이동나사와 제2 이동나사를 포함하고, 상기 볼 스크류는 상기 제1 이동나사에 치합되는 제1 볼 스크류와 상기 제1 볼스크류에 연결되며, 상기 제2 이동나사에 치합되는 제2 볼 스크류를 포함하며, 상기 제1 볼스크류와 제2 볼 스크류는 서로 반대방향의 스크류 방향을 가질 수 있다.The ELM guide for a plate includes an ELM guide for a first plate and an ELM guide for a second plate spaced apart from each other, and the ELM block for the plate is connected to the ELM guide for the first plate and the ELM guide for the second plate And the moving screw includes a first moving screw and a second moving screw connected to the first and second plate EL blocks, respectively, Wherein the ball screw includes a first ball screw engaged with the first moving screw and a second ball screw connected to the first ball screw and engaged with the second moving screw, The second ball screw may have screw directions opposite to each other.

상기 케이블은, 상기 링크용 구동모터에 연결되는 제3 케이블을 더 포함하며, 상기 제3 케이블은, 상기 메인 케이블 박스와 상기 제2 가이드 덕트부에 수용될 수 있다.The cable may further include a third cable connected to the link driving motor, and the third cable may be accommodated in the main cable box and the second guide duct portion.

본 발명의 실시예들은, 도어유닛에 지지되는 덕트유닛이 케이블을 차폐함으로써 케이블이 진공상태에 노출되는 것을 방지할 수 있으며, 도어유닛이 챔버 본체에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛의 이동에 의해 중량물 및 중량물 이동부가 챔버 본체의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.The embodiments of the present invention can prevent the cable from being exposed to the vacuum state by shielding the cable by the duct unit supported by the door unit and by moving the door unit relative to the chamber body, The heavy material moving part is exposed to the outside of the chamber body, and maintenance is easy.

도 1은 도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3는 도 2의 진공 챔버가 개방된 상태가 도시된 도면이다.
도 4는 도 3의 도어유닛이 도시된 도면이다.
도 5는 도 2의 도어유닛의 사시도이다.
도 6은 도 5의 제1 가이드 덕트부가 도시된 도면이다.
도 7은 도 6의 제1 가이드 덕트부가 제1 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이다.
도 8은 도 6의 제2 가이드 덕트부가 제2 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이다.
도 9는 도 6의 중량물 이동부가 도시된 도면이다.
도 10은 도 9의 링크용 회동 구동부가 도시된 도면이다.1 is a structural view of an organic electroluminescent device.
2 is a schematic illustration of a vacuum chamber according to the present invention.
Fig. 3 is a view showing a state in which the vacuum chamber of Fig. 2 is opened.
Fig. 4 is a view showing the door unit of Fig. 3. Fig.
Figure 5 is a perspective view of the door unit of Figure 2;
Fig. 6 is a view showing the first guide duct portion of Fig. 5. Fig.
FIG. 7 is a view showing a state in which the first guide duct portion of FIG. 6 has a variable shape according to the movement of the first weight.
FIG. 8 is a view showing a state in which the shape of the second guide duct portion of FIG. 6 is varied according to the movement of the second heavy object.
Fig. 9 is a view showing the heavy object moving section of Fig.
Fig. 10 is a view showing the link turning drive section of Fig. 9; Fig.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버가 개략적으로 도시된 도면이고, 도 3는 도 2의 진공 챔버가 개방된 상태가 도시된 도면이며, 도 4는 도 3의 도어유닛이 도시된 도면이고, 도 5는 도 2의 도어유닛의 사시도이며, 도 6은 도 5의 제1 가이드 덕트부가 도시된 도면이고, 도 7은 도 6의 제1 가이드 덕트부가 제1 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이며, 도 8은 도 6의 제2 가이드 덕트부가 제2 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이고, 도 9는 도 6의 중량물 이동부가 도시된 도면이며, 도 10은 도 9의 링크용 회동 구동부가 도시된 도면이다.Fig. 2 is a view schematically showing a vacuum chamber according to the present invention, Fig. 3 is a view showing a state in which the vacuum chamber of Fig. 2 is opened, Fig. 4 is a view showing the door unit of Fig. 5 is a perspective view of the door unit of FIG. 2, FIG. 6 is a view showing the first guide duct portion of FIG. 5, and FIG. 7 is a view showing a state in which the first guide duct portion of FIG. Fig. 8 is a view showing a state in which the second guide duct portion of Fig. 6 is changed in shape according to the movement of the second heavy material, Fig. 9 is a view showing the heavy material moving portion of Fig. 6, 10 is a view showing the link rotation driving unit of Fig.

도 2 내지 도 10에 도시된 바와 같이 진공 챔버는 내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체(100)와, 챔버 본체(100)에 상대이동 가능하게 결합되어 챔버 본체(100)를 개폐하며 진공 공간에서 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부(400)를 구비하는 도어유닛(200)과, 도어유닛(200)에 지지되며 중량물(W1,W2)에 연결되는 케이블(미도시)이 진공 공간에 노출되지 않도록 케이블(미도시)을 차폐하는 덕트유닛(300)을 포함한다.As shown in FIGS. 2 to 10, the vacuum chamber includes a chamber body 100 having a vacuum space therein, a chamber body 100 coupled to the chamber body 100 to open and close the chamber body 100, A door unit 200 having a weight moving unit 400 for moving up and down the heavy objects W1 and W2 and a door unit 200 supported by the door unit 200 and connected to the heavy objects W1 and W2 And a duct unit 300 for shielding a cable (not shown) so that a cable (not shown) is not exposed to the vacuum space.

본 실시예에서는 진공 챔버를 기판에 대한 증착공정이 수행되는 공정 챔버로 설명하는데, 이에 본 발명의 권리범위가 제한되는 것은 아니며, 내부를 진공 상태로 형성하는 다양한 진공 챔버가 본 발명의 진공 챔버에 해당될 수 있다. In the present embodiment, the vacuum chamber is described as a process chamber in which a deposition process is performed on a substrate. Accordingly, the scope of the present invention is not limited thereto, and various vacuum chambers forming the vacuum state of the vacuum chamber may be used. .

이러한 본 실시예에 따른 진공 챔버는, 덕트유닛(300)이 케이블(미도시)을 차폐하여 케이블(미도시)을 진공상태에 노출시키지 않으며, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛(200)의 이동에 의해 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)가 챔버 본체(100)의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.The vacuum chamber according to this embodiment is a vacuum chamber in which the duct unit 300 shields a cable (not shown) so that the cable (not shown) is not exposed to the vacuum state, The relative movement of the door unit 200 causes the heavy materials W1 and W2 and the heavy material moving unit 400 to be exposed to the outside of the chamber body 100 to facilitate maintenance.

본 실시예에서 챔버 본체(100)의 내부에서는 기판(미도시)에 대한 증착공정이 수행된다.In this embodiment, a deposition process for a substrate (not shown) is performed inside the chamber body 100.

증착 공정의 신뢰성을 위해 증착 공정이 이루어지는 동안 챔버 본체(100)의 내부에는 진공 공간이 형성된다. 이를 위해 챔버 본체(100)에는 진공모듈(미도시)이 구비된다.A vacuum space is formed inside the chamber body 100 during the deposition process for reliability of the deposition process. To this end, a vacuum module (not shown) is provided in the chamber body 100.

이러한 진공모듈(미도시)은, 진공펌프(미도시), 압력센서(미도시) 및 압력 조절밸브(미도시) 등을 포함한다.Such a vacuum module (not shown) includes a vacuum pump (not shown), a pressure sensor (not shown), and a pressure control valve (not shown).

또한, 챔버 본체(100)에는 기판(S)이 인입 및 인출되는 기판출입부(미도시)가 마련된다. In addition, the chamber body 100 is provided with a substrate entrance (not shown) through which the substrate S is drawn in and out.

본 실시예에서 중량물(W1,W2)은, 증착물질(미도시)을 제공하는 증착소스(미도시), 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)을 포함한다. 본 실시예에서 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)은 증착소스(미도시)에서 기판(미도시)으로 분사되는 증착물질(미도시)을 감지하는 감지센서로 이루어진다. In this embodiment, the heavy objects W1 and W2 include a deposition source (not shown), a first heavy material W1, and a second heavy material W2, which provide an evaporation material (not shown). In the present embodiment, the first and second heavy objects W1 and W2 are made up of a detection sensor for detecting an evaporation material (not shown) ejected from a deposition source (not shown) into a substrate (not shown).

증착소스(미도시)는, 증착물질을 제공하며, 기판(미도시)의 아래쪽에 배치된다. 이러한 증착소스는, 증착 공정 시 중량물 이동부(400)에 의해 기판쪽으로 이동된다.An evaporation source (not shown) provides an evaporation material and is disposed below the substrate (not shown). This deposition source is moved toward the substrate by the weight transfer part 400 during the deposition process.

본 실시예에서 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)은 상호 이격되어 배치되고, 증착소스는 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2) 사이에 배치된다.In this embodiment, the first weight W1 and the second weight W2 are spaced apart from each other, and the deposition source is disposed between the first weight W1 and the second weight W2.

도어유닛(200)은, 챔버 본체(100)에 상대이동 가능하게 결합되어 챔버 본체(100)를 개폐하며, 진공 공간에서 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부(400)를 구비한다. The door unit 200 is movable relative to the chamber body 100 to open and close the chamber body 100 and to move the weight W1 and W2 up and down in a vacuum space (400).

이러한 도어유닛(200)은, 도어유닛 본체부(210)와, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 도어유닛 본체부(210)를 이동시키는 도어유닛용 구동부(220)와, 챔버 본체(100)에 연결되며 도어유닛 본체부(210)의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부(230)를 포함한다.The door unit 200 includes a door unit body 210, a door unit driving unit 220 coupled to the door unit body 210 and configured to move the door unit body 210, And a door unit guide part 230 connected to the door unit body 210 and guiding the movement of the door unit body part 210.

도어유닛 본체부(210)는, 챔버 본체(100)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 챔버 본체(100)를 개폐한다. 또한 도어유닛 본체부(210)는 중량물 이동부(400)를 지지한다.The door unit body 210 moves in a direction in which the door unit body 210 is moved toward and away from the chamber body 100 to open and close the chamber body 100. The door unit body 210 also supports the heavy object moving part 400.

도어유닛용 구동부(220)는, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 도어유닛 본체부(210)를 이동시킨다. 이러한 도어유닛용 구동부(220)는 도어유닛 이동용 구동모터(미도시)와, 도어유닛 이동용 구동모터에 연결되어 구동력을 전달받는 이동 휠(221)을 포함한다.The door unit drive unit 220 is coupled to the door unit body unit 210 and moves the door unit body unit 210. The door unit drive unit 220 includes a door unit movement drive motor (not shown) and a movement wheel 221 connected to the door unit movement drive motor to receive the drive force.

도어유닛 가이드부(230)는, 챔버 본체(100)에 연결되며, 도어유닛 본체부(210)의 이동을 가이드한다. 이러한 도어유닛 가이드부(230)는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부(230)로 이루어진다.The door unit guide part 230 is connected to the chamber body 100 and guides the movement of the door unit body part 210. The door unit guide portion 230 includes a telescopic type guide portion 230 having a length that is expandable and contractible.

텔레스코픽 타입 가이드부(230)는, 챔버 본체(100)에 마련된 제1 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부(231)와, 제1 가이드부(231)의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일(R2)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 상면부에 도어유닛 본체부(210)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일(R3)이 마련되는 제2 가이드부(232)를 포함한다.The telescopic type guide portion 230 includes a first guide portion 231 slidably connected to a first guide rail (not shown) provided in the chamber main body 100, And a third guide rail (R3) slidably connected to the second guide rail (R2) provided on the door unit body (210) and slidably connected to the door unit body portion (210) ).

제1 가이드부(231)는, 챔버 본체(100)에 마련된 제1 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 제2 가이드부(232)는, 제1 가이드부(231)의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일(R2)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 또한 제2 가이드부(232)의 상면부에는 도어유닛 본체부(210)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일(R3)이 마련된다.The first guide portion 231 is slidably connected to a first guide rail (not shown) provided in the chamber main body 100. The second guide portion 232 is slidably connected to a second guide rail R 2 provided on the upper surface of the first guide portion 231. The third guide rail R3 is slidably connected to the upper surface of the second guide unit 232 so that the door unit body 210 can be slidably moved.

본 실시예에 따른 진공 챔버는, 길이가 신축 가능한 도어유닛 가이드부(230)에 의해 공간활용도를 극대화할 수 있다.The vacuum chamber according to the present embodiment can maximize the space utilization by the door unit guide portion 230 which can be stretched and shrunk.

또한 본 실시예에 따른 도어유닛(200)은, 챔버 본체(100)의 개방 시 도어유닛 본체부(210)가 챔버 본체(100)에서 이격되어 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)를 챔버 본체(100) 외부로 노출시킴으로써, 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)의 유지보수를 용이하게 한다.The door unit 200 according to the present embodiment is configured such that the door unit body 210 is separated from the chamber body 100 when the chamber body 100 is opened and the weight units W1 and W2 and the heavy- (W1, W2) and the heavy object moving part (400) by exposing them to the outside of the chamber body (100).

중량물 이동부(400)는, 도어유닛(200)에 지지되며, 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. 설명의 편의를 위해 중량물 이동부(400)에 대해서는 후술한다.The heavy object moving part 400 is supported by the door unit 200 and moves up and down the heavy objects W1 and W2. For convenience of explanation, the heavy object moving unit 400 will be described later.

한편, 덕트유닛(300)은 도어유닛(200)에 지지되며, 중량물(W1,W2)에 연결되는 케이블(미도시)이 진공 공간에 노출되지 않도록 케이블(미도시)을 차폐한다. 이러한 덕트유닛(300)의 내부는 대기압 상태이다. The duct unit 300 is supported by the door unit 200 and shields a cable (not shown) such that a cable (not shown) connected to the heavy objects W1 and W2 is not exposed to the vacuum space. The inside of the duct unit 300 is at atmospheric pressure.

본 실시예에서 케이블(미도시)은, 제1 중량물(W1)에 연결되는 제1 케이블(미도시), 제2 중량물(W2)에 연결되는 제2 케이블(미도시) 및 후술할 링크용 구동모터(443)에 연결되는 제3 케이블(미도시)을 포함한다. 이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 챔버 본체(100) 외부에 배치되며 도어유닛(200)에 연결되는 케이블베어(cableveyor, 미도시)에 연결된다. 또한 이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 후술할 지지 플레이트(410)의 이동 시 지지 플레이트(410)를 따라 이동된다.In the present embodiment, the cable (not shown) includes a first cable (not shown) connected to the first weight W1, a second cable (not shown) connected to the second weight W2, And a third cable (not shown) connected to the motor 443. The first cable (not shown), the second cable (not shown) and the third cable (not shown) are disposed outside the chamber body 100 and are connected to the cable unit (not shown) Lt; / RTI > The first cable (not shown), the second cable (not shown), and the third cable (not shown) are moved along the support plate 410 when the support plate 410 is moved.

본 실시예에서 덕트유닛(300)은, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 제1 케이블(미도시) 및 제2 케이블(미도시)을 수용하는 게이트 덕트부(310)와, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제1 케이블(미도시)을 수용하며 제1 중량물(W1)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부(320)와, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제2 케이블(미도시)을 수용하며, 제2 중량물(W2)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부(330)를 포함한다.The duct unit 300 includes a gate duct portion 310 coupled to the door unit body portion 210 and receiving a first cable (not shown) and a second cable (not shown) (Not shown) and is connected to the first weight W1 to change its shape according to up / down of the first weight W1 so that the first cable (Not shown) connected to the gate duct part 310 and connected to the second weight W2 to guide the movement of the first weight W2, And a second guide duct part 330 that changes its shape according to the up / down of the first guide wire W1 to guide the movement of the second cable (not shown).

게이트 덕트부(310)는, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며, 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)을 내부에 수용한다. The gate duct portion 310 is coupled to the door unit body 210 and accommodates therein a first cable (not shown), a second cable (not shown), and a third cable (not shown).

제1 가이드 덕트부(320)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되고, 제1 케이블(미도시)을 수용하며, 제1 중량물(W1)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내한다. 제1 가이드 덕트부(320)는 내부는 게이트 덕트부(310)의 내부에 연통된다.The first guide duct portion 320 is connected to the gate duct portion 310 and accommodates a first cable (not shown) and is connected to the first weight W1, (up / down) and guides the movement of the first cable (not shown). The inside of the first guide duct portion 320 communicates with the inside of the gate duct portion 310.

이러한 제1 가이드 덕트부(320)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되는 제1 고정몸체(321)와, 제1 중량물(W1)에 연결되는 제2 고정몸체(322)와, 제1 고정몸체(321)와 제2 고정몸체(322)를 연결하며 제1 고정몸체(321) 및 제2 고정몸체(322)에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부(323)를 포함한다.The first guide duct portion 320 includes a first fixing body 321 connected to the gate duct portion 310, a second fixing body 322 connected to the first weight W1, And a rotating body portion 323 that connects the body 321 and the second fixing body 322 and is rotatably coupled to the first fixing body 321 and the second fixing body 322.

제2 고정몸체(322)는 제1 중량물(W1)에 결합되어 제1 케이블(미도시)이 연결되는 제1 중량물(W1)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.The second fixing body 322 is coupled to the first weight W1 to shield the connection terminal (not shown) of the first weight W1 to which the first cable (not shown) is connected so as not to be exposed to the vacuum.

회동 몸체부(323)는, 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 회동되어 형상이 가변된다. 이러한 회동 몸체부(323)는, 제1 고정몸체(321)에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축(S1)이 마련되는 제1 회동몸체(324)와, 제1 회동몸체(324)에 회동 가능하게 결합되며 제1 회동축(S1)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축(S2)이 마련되는 제2 회동몸체(325)와, 제2 회동몸체(325)에 회동 가능하게 결합되며 제2 회동축(S2)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축(S3)과 제3 회동축(S3)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 제2 고정몸체(322)에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축(S4)이 마련되는 제3 회동몸체(326)를 포함한다.The rotating body portion 323 is rotated in accordance with up / down of the first weight W1 to change its shape. The rotating body 323 includes a first rotating body 324 provided with a first rotating shaft S1 rotatably coupled to the first fixing body 321 and a second rotating body 324 rotating with the first rotating body 324, A second rotating body 325 coupled to the second rotating body 325 so as to be rotatably connected to the first rotating shaft 321 and provided with a second rotating shaft S2 disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the first rotating shaft S1, And is disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the third rotation axis S3 and the third rotation axis S3 disposed at a position spaced apart from the virtual center axis of the second rotation axis S2 And a third rotating body 326 provided with a fourth rotating shaft S4 rotatably coupled to the second fixed body 322. [

이러한 제1 내지 제3 회동몸체(324, 325, 326)와 제1 내지 제4 회동축(S1, S2, S3, S4)의 내부는 중공되며 상호 연통된다.The inside of the first to third rotating bodies 324, 325, 326 and the first to fourth rotating shafts S1, S2, S3, S4 is hollow and communicated with each other.

본 실시예에서 제1 회동축(S1)과 제3 회동축(S3)은 동일 중심축선 상에 배치되며, 제2 회동축(S2)과 제4 회동축(S4)은 동일 중심축선 상에 배치된다. 여기서 제1 회동축(S1)과 제3 회동축(S3)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 회동축(S2)과 제4 회동축(S4)과는 다른 중심축선 상에 배치된다.In this embodiment, the first rotation axis S1 and the third rotation axis S3 are arranged on the same central axis, and the second rotation axis S2 and the fourth rotation axis S4 are arranged on the same central axis do. Here, the first coaxial shaft S1 and the third coaxial shaft S3 are arranged on the other central axis different from the second coaxial shaft S2 and the fourth coaxial shaft S4, as shown in Fig. 6 .

이와 같이 본 실시예에 따른 제1 가이드 덕트부(320)는, 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 의한 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내 시 회동 몸체부(323)의 회동구조를 통해 형상이 가변됨으로써, 공간활용도를 극대화할 수 있다. The first guide duct part 320 according to the present embodiment can guide the movement of the first cable (not shown) by the up / down of the first weight W1, 323, the space utilization can be maximized.

한편, 제2 가이드 덕트부(330)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제2 케이블(미도시)을 수용하며, 제2 중량물(W2)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내한다. 또한 제2 가이드 덕트부(330)의 내부는 게이트 덕트부(310)의 내부에 연통된다.The second guide duct portion 330 is connected to the gate duct portion 310 to receive a second cable (not shown), and is connected to the second weight W2 so that the up / The shape of the second cable (not shown) is changed according to the down / down direction to guide the movement of the second cable (not shown). The inside of the second guide duct portion 330 communicates with the inside of the gate duct portion 310.

이러한 제2 가이드 덕트부(330)는, 게이트 덕트부(310)에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스(331)와, 제2 중량물(W2)에 연결되는 제2 중량물용 연결박스(332)와, 제1 가이드 박스(331)에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스(333)와, 제2 가이드 박스(333)에 회동 가능하게 연결되며 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결되는 제3 가이드 박스(334)를 포함한다.The second guide duct part 330 includes a first guide box 331 rotatably connected to the gate duct part 310 and a second weight connection box 332 connected to the second weight W2, A second guide box 333 rotatably connected to the first guide box 331 and a second guide box 333 rotatably connected to the second guide box 333 and connected to the second heavy object connection box 332, 3 guide box 334. [

이러한 제1 내지 제3 가이드 박스(331,333, 334)와 제2 중량물용 연결박스(332)는 내부가 중공되며 상호 연통된다.The first to third guide boxes 331, 333, and 334 and the second heavy object connection box 332 are hollow and communicate with each other.

제2 중량물용 연결박스(332)는, 제2 중량물(W2)에 결합되어 제2 케이블(미도시)이 연결되는 제2 중량물(W2)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.The second heavy object connection box 332 is connected to the second heavy object W2 so that the connection terminal (not shown) of the second heavy object W2 to which the second cable (not shown) do.

이와 같이 본 실시예에 따른 제2 가이드 덕트부(330)는, 제2 중량물(W2)의 업/다운(up/down)에 의한 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내 시 제1 가이드 박스(331) 및 제2 가이드 박스(333)의 회동을 통해 형상이 가변됨으로써, 공간활용도를 극대화할 수 있다. The second guide duct part 330 according to the present embodiment is configured to guide the movement of the second cable (not shown) by up / down of the second heavy object W2, The shape of the second guide box 331 and the shape of the second guide box 333 are changed through the rotation of the first guide box 331 and the second guide box 333, thereby maximizing the space utilization.

한편, 중량물 이동부(400)는, 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)을 지지하는 지지 플레이트(410)와, 도어유닛 본체부(210)에 지지되는 받침 플레이트(420)와, 받침 플레이트(420)에 회동 가능하게 연결되고 지지 플레이트(410)에 회동가능하게 연결되며 지지 플레이트(410)를 지지하는 지지링크(430)와, 지지 플레이트(410)에 지지되며 지지링크(430)를 회동시키는 링크용 회동 구동부(440)를 포함한다.The weight moving unit 400 includes a support plate 410 for supporting the first and second heavy objects W1 and W2, a support plate 420 supported by the door unit body 210, A supporting link 430 rotatably connected to the supporting plate 410 and pivotally connected to the supporting plate 410 to support the supporting plate 410; And a link rotation driving unit 440 for rotating the link.

본 실시예에서 지지링크(430)는 서로 반대방향으로 회동되는 한 쌍의 지지링크(430)가 1조를 이루어 힌지축(H)에 회전 가능하게 결합된다. 또한 본 실시예에서 지지 플레이트(410)를 안정적으로 지지하기 위해 2개조의 지지링크(430)들(총 4개의 지지링크(430))이 지지 플레이트(410)를 지지한다.In this embodiment, the support link 430 is rotatably coupled to the hinge axis H by a pair of support links 430 that are rotated in opposite directions. Also, in this embodiment, two sets of support links 430 (four support links 430 in total) support the support plate 410 to stably support the support plate 410. [

받침 플레이트(420)는, 도어유닛용 엘엠 가이드(421)와, 도어유닛용 엘엠 가이드(421)를 따라 슬라이딩 이동되며 지지링크(430)가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록(422)을 포함한다. 본 실시예에서 도어유닛용 엘엠 블록(422)은 서로 반대방향으로 이동되는 한 쌍의 도어유닛용 엘엠 블록(422) 2개조(총 4개의 도어유닛용 엘엠 블록)로 마련된다. The support plate 420 includes a door unit ELM guide 421 slidably moved along the door unit ELM guide 421 and an ELM block 422 for a door unit to which the support link 430 is rotatably coupled . In this embodiment, the ELM block 422 for the door unit is provided with two pairs of ELM blocks 422 for door units (the ELM blocks for four door units in total) which are moved in mutually opposite directions.

지지 플레이트(410)는, 하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드(411a,411b)와, 플레이트용 엘엠 가이드(411a,411b)를 따라 슬라이딩 이동되며 지지링크(430)가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)을 포함한다.The support plate 410 includes plate-shaped LM guides 411a and 411b provided on the lower surface thereof and plates for sliding movement along the plate-type LM guides 411a and 411b and to which the support link 430 is rotatably coupled L blocks 412a and 412b.

본 실시예에서 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)은, 서로 반대방향으로 이동되는 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 2개조(총 4개의 플레이트용 엘엠 블록)로 마련된다. In the present embodiment, the ELM blocks 412a and 412b for the plate are arranged in such a manner that the ELM block 412a for the first plate and the ELM block 412b for the second plate, ).

이러한 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 각각은, 제1 플레이트용 엘엠 가이드(411a)와 제2 플레이트용 엘엠 가이드(411b) 각각에 슬라이딩 이동가능하게 연결된다.The first and second plate ELM blocks 412a and 412b are slidably connected to the first and second plate electromagnet guides 411a and 411b, respectively .

링크용 회동 구동부(440)는, 지지 플레이트(410)에 지지되며, 지지링크(430)를 회동시킨다. 이러한 링크용 회동 구동부(440)는, 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)에 연결되는 이동나사(441a, 441b)와, 이동나사(441a, 441b)가 치합되는 볼 스크류(442a, 442b)와, 볼 스크류(442a, 442b)를 회전시키며 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결되는 링크용 구동모터(443)를 포함한다. The link rotation driving unit 440 is supported by the support plate 410 and rotates the support link 430. The link rotation driving part 440 includes shift screws 441a and 441b connected to the plate EL blocks 412a and 412b and ball screws 442a and 442b to which the shift screws 441a and 441b are engaged, And a link drive motor 443 that rotates the ball screws 442a and 442b and is connected to the connection box 332 for the second heavy object.

본 실시예에서 이동나사(441a, 441b)는, 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 각각에 연결되는 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)로 마련된다.In this embodiment, the moving screws 441a and 441b are provided with a first moving screw 441a and a second moving screw 441b which are connected to the first plate EL block 412a and the second plate EL block 412b, ).

또한 볼 스크류(442a, 442b)는, 제1 이동나사(441a)에 치합되는 제1 볼 스크류(442a)와, 제1 볼 스크류(442a)에 연결되며 제2 이동나사(441b)에 치합되는 제2 볼 스크류(442b)로 마련된다. 여기서 제1 볼 스크류(442a)와 제2 볼 스크류(442b)는 서로 반대방향의 스크류 방향을 갖는다.The ball screws 442a and 442b also have a first ball screw 442a engaged with the first moving screw 441a and a second ball screw 442b connected to the first ball screw 442a and engaged with the second moving screw 441b 2 ball screw 442b. Here, the first ball screw 442a and the second ball screw 442b have screw directions opposite to each other.

따라서 볼 스크류(442a, 442b)의 회전에 의해 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)는 서로 반대방향으로 이동되고, 그에 따라 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)에 각각 연결된 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b)도 상호 반대방향으로 이동된다. The first moving screw 441a and the second moving screw 441b are moved in opposite directions by the rotation of the ball screws 442a and 442b so that the first moving screw 441a and the second moving screw 441b The first plate-use EL block 412a and the second plate-use EL block 412b, which are respectively connected to the second plate-like members 441a and 441b, are also moved in opposite directions.

이러한 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b)의 이동에 의해 한 쌍의 지지링크(430)가 회동되고 그에 따라 지지 플레이트(410)가 업/다운(up/down)된다.The pair of support links 430 are rotated by the movement of the first plate EL block 412a and the second plate EL block 412b so that the support plate 410 is moved up / )do.

한편, 링크용 구동모터(443)는 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결된다. 본 실시예에서 제2 중량물용 연결박스(332)는, 게이트 덕트부(310)와 제2 가이드 덕트부(330)에 수용되는 제3 케이블(미도시)을 수용한다. On the other hand, the link drive motor 443 is connected to the connection box 332 for the second heavy object. In this embodiment, the second heavy connecting box 332 accommodates a third cable (not shown) accommodated in the gate duct portion 310 and the second guide duct portion 330.

이러한 제2 중량물용 연결박스(332)는, 링크용 구동모터(443)에 결합되어 제3 케이블(미도시)이 연결되는 링크용 구동모터(443)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.The second heavy object connection box 332 is connected to the link drive motor 443 so that the connection terminal (not shown) of the link drive motor 443 to which the third cable (not shown) .

본 실시예에서, 링크용 구동모터(443)가 지지 플레이트(410)의 업/다운(up/down)에 따라 이동되는 제2 중량물용 연결박스(332)를 통해 제3 케이블(미도시)에 연결되며 이러한 링크용 구동모터(443)가 지지 플레이트(410)에 지지되어 지지 플레이트(410)의 업/다운(up/down)에 따라 이동됨으로써, 링크용 구동모터(443)에 연결되는 제3 케이블(미도시)을 위해 별도의 차폐부재를 구비할 필요가 없어 공간활용도가 극대화된다.In this embodiment, the link drive motor 443 is connected to the third cable (not shown) through the second heavy object connection box 332 which is moved in accordance with the up / down of the support plate 410 And the link drive motor 443 is supported by the support plate 410 and is moved in accordance with the up / down of the support plate 410. Thus, the link drive motor 443 is connected to the link drive motor 443, It is not necessary to provide a separate shielding member for a cable (not shown), thereby maximizing space utilization.

이하에서 본 실시예에 따른 진공 챔버의 작동을 도어유닛(200)을 위주로 설명한다.Hereinafter, the operation of the vacuum chamber according to the present embodiment will be described with focus on the door unit 200. FIG.

먼저 증착 공정을 위해 챔버 본체(100)가 폐쇄된 상태에서, 기판(미도시)에 대한 증착을 위해 지지 플레이트(410)가 기판(미도시)쪽으로 상승한다.First, with the chamber body 100 closed for the deposition process, the support plate 410 rises to the substrate (not shown) for deposition on the substrate (not shown).

이때 지지 플레이트(410)에 지지되는 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)도 지지 플레이트(410)를 따라 이동되고, 그에 따라 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)에 연결된 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)도 이동된다.At this time, the first weight W1, the second weight W2, and the link driving motor 443 supported on the support plate 410 are also moved along the support plate 410 so that the first weight W1, A first cable (not shown), a second cable (not shown) and a third cable (not shown) connected to the second heavy object W2 and the link driving motor 443 are also moved.

이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 제1 가이드 덕트부(320)와 제2 가이드 덕트부(330)에 의해 안내된다. 또한 제1 가이드 덕트부(320)와 제2 가이드 덕트부(330)는 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)의 이동에 따라 형상이 가변되어 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)의 이동에 무관하게 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)을 진공에 노출시키지 않는다.The first cable (not shown), the second cable (not shown) and the third cable (not shown) are guided by the first guide duct portion 320 and the second guide duct portion 330. The first guide duct portion 320 and the second guide duct portion 330 are configured such that the shapes of the first and second guide duct portions 330 and 330 vary according to the movement of the first and second heavy objects W1 and W2, (Not shown), a second cable (not shown) and a third cable (not shown) to the vacuum irrespective of the movement of the link drive motor 443 and the link driving motor 443.

다음, 유지보수를 위해 챔버 본체(100)를 개방 시, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동되어 도어유닛(200)에 지지되는 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)를 챔버 본체(100)의 외부로 노출시킨다.Next, when the chamber main body 100 is opened for maintenance, the door unit 200 is moved relative to the chamber body 100 and the weight W1, W2 and the weight moving part 400 to the outside of the chamber main body 100.

이와 같이 본 실시예에 따른 진공 챔버는, 도어유닛(200)에 지지되는 덕트유닛(300)이 케이블(미도시)을 차폐함으로써 케이블(미도시)이 진공상태에 노출되는 것을 방지할 수 있으며, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛(200)의 이동에 의해 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)가 챔버 본체(100)의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.Thus, the vacuum chamber according to the present embodiment can prevent the cable (not shown) from being exposed to the vacuum state by shielding the cable (not shown) by the duct unit 300 supported by the door unit 200, The door unit 200 is relatively moved with respect to the chamber main body 100 so that the heavy objects W1 and W2 and the heavy object moving part 400 are exposed to the outside of the chamber body 100 by the movement of the door unit 200, Maintenance is easy.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although the present invention has been described in detail with reference to the above drawings, the scope of the scope of the present invention is not limited to the above-described drawings and description.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100: 챔버 본체 200: 도어유닛
210: 도어유닛 본체부 220: 도어유닛용 구동부
221: 이동 휠 230: 도어유닛 가이드부
231: 제1 가이드부 232: 제2 가이드부
300: 덕트유닛 310: 게이트 덕트부
320: 제1 가이드 덕트부 321: 제1 고정몸체
322: 제2 고정몸체 323: 회동 몸체부
324: 제1 회동몸체 325: 제2 회동몸체
326: 제3 회동몸체 330: 제2 가이드 덕트부
331: 제1 가이드 박스 332: 제2 중량물용 연결박스
333: 제2 가이드 박스 334: 제3 가이드 박스
400: 중량물 이동부 410: 지지 플레이트
411a: 제1 플레이트용 엘엠 가이드
411b: 제2 플레이트용 엘엠 가이드
412a: 제1 플레이트용 엘엠 블록
412b: 제2 플레이트용 엘엠 블록
420: 받침 플레이트 421: 도어유닛용 엘엠 가이드
422: 도어유닛용 엘엠 블록 430: 지지링크
440: 링크용 회동 구동부 441a: 제1 이동나사
441b: 제2 이동나사 442a: 제1 볼 스크류
442b: 제2 볼 스크류 443: 링크용 구동모터
W1: 제1 중량물 W2: 제2 중량물
R1: 제1 가이드레일 R2: 제2 가이드레일
R3: 제3 가이드레일 S1: 제1 회동축
S2: 제2 회동축 S3: 제3 회동축
S4: 제4 회동축 H: 힌지축100: chamber body 200: door unit
210: door unit body 220: drive unit for door unit
221: moving wheel 230: door unit guide portion
231: first guide part 232: second guide part
300: duct unit 310: gate duct part
320: first guide duct part 321: first fixing body
322: second fixing body 323:
324: first rotating body 325: second rotating body
326: third rotating body 330: second guide duct part
331: first guide box 332: second heavy article connecting box
333: second guide box 334: third guide box
400: Heavy material moving part 410: Support plate
411a: ELM guide for first plate
411b: an ELM guide for the second plate
412a: an EL block for the first plate
412b: an EL block for the second plate
420: support plate 421: ELM guide for door unit
422: EL block for door unit 430: Support link
440: link turning drive part 441a: first moving screw
441b: second moving screw 442a: first ball screw
442b: second ball screw 443: link drive motor
W1: first weight W2: second weight
R1: first guide rail R2: second guide rail
R3: third guide rail S1: first coaxial shaft
S2: Second coaxial shaft S3: Third coaxial shaft
S4: Fourth coaxial H: Hinge axis

Claims (15)

내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체;
상기 챔버 본체에 상대이동 가능하게 결합되어 상기 챔버 본체를 개폐하며, 상기 진공 공간에서 중량물을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부를 구비하는 도어유닛; 및
상기 도어유닛에 지지되며, 상기 중량물에 연결되는 케이블이 상기 진공 공간에 노출되지 않도록 상기 케이블을 차폐하는 덕트유닛을 포함하는 진공 챔버.A chamber body having a vacuum space therein;
A door unit coupled to the chamber body so as to be movable relative to the chamber body to open / close the chamber body and to move up / down the weight in the vacuum space; And
And a duct unit supported on the door unit and shielding the cable so that a cable connected to the heavy object is not exposed to the vacuum space. 제1항에 있어서,
상기 도어유닛은,
상기 도어유닛 본체부;
상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 도어유닛 본체부를 이동시키는 도어유닛용 구동부; 및
상기 챔버 본체에 연결되며, 상기 도어유닛 본체부의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부를 포함하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
The door unit includes:
The door unit body portion;
A door unit driving unit coupled to the door unit body and configured to move the door unit body; And
And a door unit guide portion connected to the chamber body and guiding movement of the door unit body portion. 제2항에 있어서,
상기 도어유닛 가이드부는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부인 진공 챔버.3. The method of claim 2,
Wherein the door unit guide portion is a telescopic type guide portion whose length is expandable and contractible. 제3항에 있어서,
상기 텔레스코픽 타입 가이드부는,
상기 챔버 본체에 마련된 제1 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부; 및
상기 제1 가이드부의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상면부에 상기 도어유닛 본체부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일이 마련되는 제2 가이드부를 포함하는 진공 챔버.The method of claim 3,
The telescopic type guide portion includes:
A first guide part slidably connected to a first guide rail provided in the chamber body; And
And a second guide portion slidably connected to a second guide rail provided on an upper surface portion of the first guide portion and having a third guide rail slidably coupled to the upper surface portion of the door unit main body portion, chamber. 제2항에 있어서,
상기 중량물은 상호 이격되어 배치되는 제1 중량물 및 제2 중량물을 포함하고,
상기 케이블은 상기 제1 중량물에 연결되는 제1 케이블 및 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 케이블을 포함하며,
상기 덕트유닛은,
상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 제1 케이블 및 상기 제2 케이블을 수용하는 게이트 덕트부;
상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제1 케이블을 수용하며, 상기 제1 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제1 케이블의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부; 및
상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제2 케이블을 수용하며, 상기 제2 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제2 케이블의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부를 포함하는 진공 챔버.3. The method of claim 2,
Wherein the weight comprises a first weight and a second weight which are spaced apart from each other,
Said cable comprising a first cable connected to said first weight and a second cable connected to said second weight,
The duct unit includes:
A gate duct unit coupled to the door unit body and receiving the first cable and the second cable;
The first cable is connected to the gate duct portion and receives the first cable. The first cable is connected to the first cable and the shape of the first cable is changed according to up / down of the first cable. A first guide duct portion; And
The second cable is connected to the gate duct portion and receives the second cable. The second cable is connected to the second weight to vary the shape of the first cable according to an up / down of the first weight, A vacuum chamber comprising a second guide duct portion. 제5항에 있어서,
상기 제1 가이드 덕트부는,
상기 게이트 덕트부에 연결되는 제1 고정몸체;
상기 제1 중량물에 연결되는 제2 고정몸체; 및
상기 제1 고정몸체와 상기 제2 고정몸체를 연결하며, 상기 제1 몸체 및 상기 제2 몸체에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부를 포함하는 진공 챔버.6. The method of claim 5,
Wherein the first guide duct portion includes:
A first fixing body connected to the gate duct portion;
A second fastening body connected to the first weight; And
And a rotating body coupled to the first fixed body and the second fixed body and rotatably coupled to the first body and the second body. 제6항에 있어서,
상기 회동 몸체부는,
상기 제1 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축이 마련되는 제1 회동몸체;
상기 제1 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제1 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축이 마련되는 제2 회동몸체; 및
상기 제2 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제2 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축과 상기 제3 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 상기 제2 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축이 마련되는 제3 회동몸체를 포함하는 진공 챔버.The method according to claim 6,
The rotating body includes:
A first rotating body having a first rotating shaft rotatably coupled to the first fixing body;
A second rotating body rotatably coupled to the first rotating body and provided with a second rotating shaft disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the first rotating shaft; And
A third rotating shaft rotatably coupled to the second rotating body and disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the second rotating shaft, and a third rotating shaft disposed at a position spaced apart from a virtual center axis of the third rotating shaft And a third rotating body provided with a fourth rotating shaft rotatably coupled to the second fixing body. 제7항에 있어서,
상기 제1 회동축과 상기 제3 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되며, 상기 제2 회동축과 상기 제4 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되는 진공 챔버.8. The method of claim 7,
Wherein the first rotation axis and the third rotation axis are disposed on the same central axis, and the second rotation axis and the fourth rotation axis are disposed on the same central axis. 제6항에 있어서,
상기 제2 가이드 덕트부는,
상기 게이트 덕트부에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스;
상기 제2 중량물에 연결되는 제2 중량물용 연결박스;
상기 제1 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스; 및
상기 제2 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 제3 가이드 박스를 포함하는 진공 챔버.The method according to claim 6,
The second guide duct portion
A first guide box rotatably connected to the gate duct portion;
A connection box for a second heavy object connected to the second heavy object;
A second guide box rotatably connected to the first guide box; And
And a third guide box rotatably connected to the second guide box and connected to the second heavy object connection box. 제9항에 있어서,
상기 중량물 이동부는,
상기 제1 중량물 및 상기 제2 중량물을 지지하는 지지 플레이트;
상기 도어유닛 본체부에 지지되는 받침 플레이트;
상기 받침 플레이트에 회동 가능하게 연결되고 상기 지지 플레이트에 회동가능하게 연결되며, 상기 지지 플레이트를 지지하는 지지링크; 및
상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 지지링크를 회동시키는 링크용 회동 구동부를 포함하는 진공 챔버. 10. The method of claim 9,
The heavy-
A support plate for supporting the first weight and the second weight;
A support plate supported by the door unit body;
A support link rotatably connected to the support plate and rotatably connected to the support plate, the support link supporting the support plate; And
And a link rotation driving part supported on the support plate and rotating the support link. 제10항에 있어서,
상기 지지 플레이트는,
하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드; 및
상기 플레이트용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록을 포함하는 진공 챔버. 11. The method of claim 10,
The support plate
An ELM guide for a plate provided on a lower surface thereof; And
And a plate-type LM block slidably moved along the plate-type LM guide, wherein the support link is rotatably coupled. 제10항에 있어서,
상기 받침 플레이트는,
도어유닛용 엘엠 가이드; 및
상기 도어유닛용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록을 포함하는 진공 챔버. 11. The method of claim 10,
The backing plate may include:
An ELM guide for a door unit; And
And an ELM block for a door unit, which is slidably moved along the ELM guide for the door unit, and in which the support link is rotatably coupled. 제11항에 있어서,
상기 링크용 회동 구동부는,
상기 플레이트용 엘엠 블록에 연결되는 이동나사;
상기 이동나사가 치합되는 볼 스크류; 및
상기 볼 스크류를 회전시키며, 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 링크용 구동모터를 포함하는 진공 챔버. 12. The method of claim 11,
The link rotation drive unit includes:
A moving screw connected to the ELM block for the plate;
A ball screw to which the moving screw is engaged; And
And a link driving motor connected to the second heavy object connecting box for rotating the ball screw. 제13항에 있어서,
상기 플레이트용 엘엠 가이드는 상호 이격되어 배치되는 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드를 포함하고,
상기 플레이트용 엘엠 블록은 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드 각각에 연결되는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록을 포함하고,
상기 이동나사는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록 각각에 연결되는 제1 이동나사와 제2 이동나사를 포함하고,
상기 볼 스크류는 상기 제1 이동나사에 치합되는 제1 볼 스크류와 상기 제1 볼스크류에 연결되며, 상기 제2 이동나사에 치합되는 제2 볼 스크류를 포함하며,
상기 제1 볼스크류와 제2 볼 스크류는 서로 반대방향의 스크류 방향을 갖는 진공 챔버. 14. The method of claim 13,
The LM guide for a plate includes an LM guide for a first plate and an LM guide for a second plate which are spaced apart from each other,
The ELM block for a plate includes an ELM block for a first plate and an ELM block for a second plate connected to the ELM guide for the first plate and the ELM guide for the second plate,
Wherein the moving screw includes a first moving screw and a second moving screw which are connected to the first plate-use EL block and the second plate-use EL block, respectively,
Wherein the ball screw includes a first ball screw engaged with the first moving screw and a second ball screw connected to the first ball screw and engaged with the second moving screw,
Wherein the first ball screw and the second ball screw have screw directions opposite to each other. 제13항에 있어서,
상기 케이블은, 상기 링크용 구동모터에 연결되는 제3 케이블을 더 포함하며,
상기 제3 케이블은, 상기 메인 케이블 박스와 상기 제2 가이드 덕트부에 수용되는 진공 챔버.14. The method of claim 13,
The cable further comprises a third cable connected to the link drive motor,
And the third cable is accommodated in the main cable box and the second guide duct portion.
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KR101361481B1 (en) * 2007-06-27 2014-02-13 에스엔유 프리시젼 주식회사 Deposition system for optimization of mandufacturing oled panel
KR101382144B1 (en) * 2011-12-05 2014-04-08 주식회사 나온테크 Vacuum cable duct for vacuum chamber of the robot driving device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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