KR20150072186A - Picker - Google Patents
Picker Download PDFInfo
- Publication number
- KR20150072186A KR20150072186A KR1020130159561A KR20130159561A KR20150072186A KR 20150072186 A KR20150072186 A KR 20150072186A KR 1020130159561 A KR1020130159561 A KR 1020130159561A KR 20130159561 A KR20130159561 A KR 20130159561A KR 20150072186 A KR20150072186 A KR 20150072186A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rod
- space
- guide member
- hole
- housing
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 장착되어 소자를 흡착하는 픽커에 관한 것이다.The present invention relates to a picker which is mounted on a pick-and-place apparatus for transferring an element to pick up the element.
일반적으로, 픽커는 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비된다.Generally, a picker is a mechanism for picking up a device, which is installed in a pick-and-place apparatus that picks up a device and places it at a predetermined seating position to form a suction passage in which vacuum pressure is applied, A rod to which the suction unit is coupled, and an actuator for moving the rod in the vertical direction.
액추에이터는 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 액추에이터의 피스톤과 로드가 링크 등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 상하방향으로 이동된다.The actuator is configured to operate with pneumatic pressure, consisting of a cylinder providing a space in which the pneumatic pressure acts and a piston slidably moved within the cylinder by pneumatic pressure. The piston and the rod of such an actuator are connected to each other through a link or the like, whereby the rod is moved in the vertical direction by the sliding movement of the piston in the cylinder.
그러나, 종래의 픽앤플레이스장치에 장착되는 픽커에는 로드를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 그리고 별도로 구비되었으므로, 픽커의 크기가 비교적 커지는 단점이 있다. 또한, 크기가 큰 픽커가 복수의 열 및 복수의 행으로 장착되는 종래의 픽앤플레이스장치의 크기 역시 비교적 크다는 단점이 있으며, 복수의 픽커 사이의 간격이 커질 수 밖에 없어 복수의 픽커들이 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들의 간격을 줄이는 데에 한계가 있다는 단점이 있다.However, the conventional pick-and-place apparatus has disadvantages in that the size of the picker is relatively large because the picker mounted on the pick and place apparatus is independently and separately provided with an actuator including a cylinder and a piston for moving the rod in the vertical direction. Furthermore, there is a disadvantage in that the size of a conventional pick-and-place apparatus in which a large-sized picker is mounted in a plurality of columns and a plurality of rows is also relatively large, and the spacing between a plurality of pickers becomes large, There is a disadvantage in that there is a limit in reducing the interval of the plurality of elements.
한편 로드의 상하이동에 의하여 소자가 픽업되는데 픽업대상인 픽커가 소형화되면서 로드에 상하이동에 의한 타부재와의 마찰 등에 의하여 대전된 정전기가 소자를 파손시키거나 정전기력에 의하여 소자를 의도하지 않은 픽업이 이루어져 오작동을 발생시키는 문제점이 있다.On the other hand, the element is picked up by the upward and downward movement of the rod, and the picker to be picked up is miniaturized, and the charged static electricity is damaged by the friction with another member due to the vertical movement of the rod or the pickup is not intended by the electrostatic force There is a problem that a malfunction occurs.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 크기를 최소화할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.It is an object of the present invention to provide a picker capable of minimizing the size thereof.
또한 본 발명의 다른 목적은, 소자의 픽업을 위한 픽커, 특히 로드에 대전되는 정전기력을 제거하여 소자의 파손 또는 의도하지 않은 소자의 픽업을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는데에 있다.Another object of the present invention is to provide a picker for picking up an element, particularly a picker capable of preventing the element from being damaged or unintentional pickup by removing the electrostatic force charged on the rod.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 소자를 픽업하기 위해 왕복 이동하는 로드의 그 길이방향 축을 중심으로 한 회전을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.It is another object of the present invention to provide a picker capable of preventing rotation about a longitudinal axis of a reciprocating rod for picking up an element.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 로드의 원활한 이동을 위해 주입되는 윤활제가 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.Still another object of the present invention is to provide a picker that can prevent leakage of injected lubricant to the outside for smooth movement of the rod.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 주관통공이 형성되는 바디와; 상기 주관통공에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되어 유압구동에 의하여 선형으로 왕복 이동하며 끝단에 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽업헤드가 결합되는 로드와; 상기 로드에 결합되고 상기 로드가 상기 바디에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커를 개시한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, A rod which is slidably inserted into the main through hole and linearly reciprocally moved by hydraulic operation, and a pick-up head which picks up the element by vacuum pressure at its end; And a static eliminator coupled to the rod and contacting the other member when the rod is moved relative to the body to remove static electricity charged on the rod.
상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 추가로 포함할 수 있다.And a housing coupled to the body and having a receiving space around the rod.
상기 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 포함할 수 있다.And a rotation preventing portion for preventing the rod from being rotated about its longitudinal axis.
상기 회전방지부는, 상기 하우징의 수용공간의 내부에 배치되고 상기 로드의 이동방향을 따라 연장되는 샤프트; 및 상기 로드에 고정되고 상기 샤프트에 상기 로드의 이동방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 이동블록을 포함할 수 있다.The rotation preventing portion includes: a shaft disposed inside the housing space of the housing and extending along the moving direction of the rod; And a moving block fixed to the rod and slidably connected to the shaft along the moving direction of the rod.
상기 하우징에는 체결홀이 형성되고, 상기 바디에는 체결홈이 형성되며, 상기 체결홀 및 상기 체결홈에 체결수단이 삽입 고정되는 것에 의하여 상기 하우징이 상기 바디에 결합될 수 있다.A coupling hole is formed in the housing, a coupling groove is formed in the body, and a coupling means is inserted and fixed in the coupling hole and the coupling groove, so that the housing can be coupled to the body.
상기 샤프트의 양단이 상기 바디 및 상기 하우징에 각각 형성된 샤프트 결합홈에 각각 삽입 고정될 수 있다.Both ends of the shaft may be respectively inserted and fixed into a shaft coupling groove formed in the body and the housing, respectively.
상기 정전기제거부는, 상기 이동블록에 고정되며 상기 로드의 이동시 상기 바디 및 상기 하우징 중 적어도 어느 하나에 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거할 수 있다.The static eliminator may be fixed to the moving block and may contact at least any one of the body and the housing when the rod is moved to remove the static electricity charged to the rod.
상기 정전기제거부는, 상기 이동블록에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 샤프트를 향하여 연장되며 서로 간격이 커지도록 형성된 한 쌍의 연장부분과, 상기 한 쌍의 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 각각 상기 바디 및 상기 하우징에 접촉되는 접촉부분을 포함할 수 있다.Wherein the static eliminator includes a fixed portion fixed to the moving block, a pair of extended portions extending from the fixed portion toward the shaft and formed to be spaced apart from each other, And a contact portion contacting the body and the housing, respectively, when the rod is moved.
상기 하우징에는 상기 로드가 통과하는 제3관통공이 형성되며, 상기 제3관통공에는 상기 수용공간을 밀폐시키고 상기 로드의 이동을 안내하는 제3가이드부재가 설치될 수 있다.A third through hole through which the rod passes may be formed in the housing, and a third guide member may be provided in the third through hole to close the accommodation space and guide the movement of the rod.
상기 정전기제거부는, 상기 로드에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 로드의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 하나 이상의 연장부분과, 상기 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 타부재와 접촉되는 접촉부분을 포함할 수 있다.Wherein the static eliminator comprises: a fixed portion fixed to the rod; at least one extending portion extending from the fixed portion in a longitudinal direction and a tilt direction of the rod; and at least one extending portion extending from an end of the extending portion, And may include contact portions that are in contact.
상기 로드는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하며, 상기 제1공간 및 상기 제2공간으로 유체가 선택적으로 유입되는 것에 의해 선형으로 왕복 이동할 수 있다.The rod divides a space inside the main through-hole into a first space and a second space, and the fluid can be linearly reciprocated by selectively introducing the fluid into the first space and the second space.
상기 로드에는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성되고, 상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성될 수 있다.Wherein the rod is provided with a partition for partitioning a space inside the main through hole into a first space and a second space, wherein the body has a first flow path through which the fluid flows into the first space, The second flow path may be formed.
상기 로드가 통과하는 통과홀이 각각 형성되고, 상기 주관통공의 양쪽 개구에 삽입되어 상기 제1공간 및 상기 제2공간을 밀폐시키는 제1가이드부재 및 제2가이드부재를 포함할 수 있다.And a first guide member and a second guide member which are respectively formed in through holes through which the rod passes and which are inserted into both openings of the main through hole to seal the first space and the second space.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 상기 제1공간 및 상기 제2공간과 연통시키는 연통홀이 형성될 수 있다.The first guide member and the second guide member may be formed with a communication hole for communicating the first flow path and the second flow path with the first space and the second space.
상기 연통홀은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 외면에는 상기 복수의 연통홀을 서로 연결시키는 연결홈이 형성될 수 있다.Wherein the communication holes are formed in a plurality of directions along the circumferential direction of the first guide member and the second guide member, and a connection groove for connecting the plurality of communication holes to each other is formed on an outer surface of the first guide member and the second guide member, Can be formed.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면에는 상기 연통홀과 연통되며 반경방향으로 내입되는 내입홈이 형성될 수 있다.The inner surface of the through hole of the first guide member and the second guide member may be formed with an inner groove communicating with the communication hole and radially inward.
상기 내입홈은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향으로 연장될 수 있다.The inner groove may extend in the circumferential direction of the first guide member and the second guide member.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재를 향하는 상기 구획부의 양측 단부에는 실링부재가 설치될 수 있다.Sealing members may be provided at both ends of the partition facing the first guide member and the second guide member.
상기 바디에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 유체공급원과 연결하기 위한 제1연결부재 및 제2연결부재가 설치되고, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 상기 바디의 상방에서 상기 로드의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다.Wherein the body is provided with a first connection member and a second connection member for connecting the first flow path and the second flow path to a fluid supply source, and the first connection member and the second connection member are provided above the body, And can be installed together on one side in the radial direction of the rod.
본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디의 내부에 로드의 구획부에 의하여 구획되는 제1공간 및 제2공간을 형성하고, 제1공간 및 제2공간의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드를 상하방향으로 이동시킬 수 있다. The picker according to an embodiment of the present invention includes a first space and a second space defined by a partition of a rod in a body and selectively supplying fluid into the first space and the second space The rod can be moved up and down.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 상하방향으로의 이동을 안내하는 관통공이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다. That is, in the picker according to the embodiment of the present invention, the through-hole for guiding the movement of the rod in the up-down direction can function together as a cylinder, and the rod partition can also function as a piston.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 그리고 별도로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the picker according to the embodiment of the present invention, since the movement line of the rod and the line on which the pressure for moving the rod are in line are present on the same line, the actuator composed of the cylinder and the piston independently In addition, there is an advantage in that the size of the picker can be minimized as compared with the conventional technique.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 상하방향으로의 이동을 안내하는 관통공이 실린더로서의 기능을 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 수행할 수 있으므로, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재한다. Further, in the picker according to the embodiment of the present invention, the through hole for guiding the movement of the rod in the up-down direction can function as a cylinder, and the partition of the rod can function as a piston, And the line on which the pressure for moving the rod is applied are present on the same line.
따라서, 별도의 액추에이터가 구비되는 종래기술에서와 같이, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 서로 일치하지 않는 경우에 발생하였던 모멘트를 제거할 수 있는 이점이 있다.Therefore, as in the prior art in which a separate actuator is provided, there is an advantage that the moment generated when the movement line of the rod and the line on which the pressure for moving the rod are not coincident with each other can be eliminated.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커들이 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격을 최소화할 수 있는 이점이 있다.Further, when the picker according to the embodiment of the present invention is mounted on the pick-and-place apparatus in a plurality of rows and a plurality of rows, since the interval between each picker can be minimized as the size of the picker is minimized, There is an advantage in that the interval between the plurality of elements that can be picked up by a plurality of pickers at a time can be minimized.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기가 최소화되므로, 복수의 픽커 사이의 간섭을 최소화할 수 있는 이점이 있다.Further, since the size of the picker according to the embodiment of the present invention is minimized, there is an advantage that the interference between a plurality of pickers can be minimized.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기를 최소화됨에 따라 중량이 최소화될 수 있다. In addition, the weight of the picker according to the embodiment of the present invention can be minimized as its size is minimized.
따라서, 이러한 픽커가 장착된 픽앤플레이스장치의 크기 및 중량을 최소화할 수 있으며, 이에 따라, 픽앤플레이스장치의 관성을 최소화할 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 제어가 용이한 이점이 있다.Therefore, the size and weight of the pick-and-place apparatus equipped with such a picker can be minimized, thereby minimizing the inertia of the pick-and-place apparatus. Therefore, the pick and place apparatus can be easily controlled.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 구비함으로써, 로드의 왕복 이동이 원활하게 수행되도록 할 수 있고, 로드의 왕복 이동을 이용한 픽커의 픽앤플레이스 동작을 원활하게 수행할 수 있는 이점이 있다.Further, since the picker according to the embodiment of the present invention includes the rotation preventing portion that prevents the rod from being rotated about its longitudinal axis, the reciprocating movement of the rod can be smoothly performed, There is an advantage that the pick and place operation of the picker can be performed smoothly.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디에 결합되며 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 포함함으로써, 로드에 가압되어 누출되는 윤활제가 수용공간에 수용될 수 있으므로, 윤활제가 픽커의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.In addition, since the picker according to the embodiment of the present invention includes the housing coupled to the body and having the accommodation space around the rod, the lubricant which is pushed and leaked to the rod can be accommodated in the accommodation space, There is an advantage that it is possible to prevent leakage.
또한 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정정기제거부를 추가로 구비하여 로드에 대전된 정전기가 제거되어 정정기에 의한 소자의 파손, 정전기력에 의한 소자에 대한 의도하지 않은 픽업을 방지할 수 있는 이점이 있다.Further, the picker according to the embodiment of the present invention may further include a correction mechanism for removing static electricity charged on the rod, so that the static electricity charged on the rod is removed so that damage to the element by the correction device, There is an advantage that it is possible to prevent the un-pick-up.
도 1은, 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는, 도 1의 픽커가 개략적으로 도시된 단면사시도이다.
도 3은, 도 1의 픽커가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 4는, 도 3의 픽커의 일부가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 5는, 도 1의 픽커의 변형례로서 일부가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 6은, 도 3의 픽커에서 가이드부재가 도시된 사시도이다.
도 7 및 도 8은, 도 3의 픽커의 작동상태가 도시된 단면도들이다.
도 9는, 도 1의 픽커에 설치되는 접지부재의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 10는, 도 9의 접지부재가 설치된 도 1의 픽커를 보여주는 확대한 일부단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a picker according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional perspective view schematically showing the picker of Fig.
3 is a cross-sectional view schematically showing the picker of Fig.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing a part of the picker of Fig. 3 enlarged; Fig.
Fig. 5 is a cross-sectional view showing a part of the enlargement of the picker of Fig. 1 enlarged.
Fig. 6 is a perspective view showing the guide member of the picker of Fig. 3; Fig.
Figs. 7 and 8 are sectional views showing the operating states of the picker of Fig.
Fig. 9 is a perspective view showing an example of a grounding member provided on the picker of Fig. 1; Fig.
10 is an enlarged partial cross-sectional view showing the picker of Fig. 1 provided with the grounding member of Fig.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 픽커에 대하여 설명한다.Hereinafter, a picker according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 주관통공(11)이 형성되는 바디(10)와, 주관통공(11)에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되고, 하단에 소자가 흡착되는 흡착헤드(90)가 결합되며 상단에 진공원이 연결되는 중공의 로드(20)를 포함한다.1 to 5, a
상기 바디(10)는, 픽커(1)의 본체를 구성하며 그 재질은 금속, 특히, 알루미늄 또는 알루미늄합금일 수 있다.The
이러한 픽커(1)는 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하여 픽업하는 기구로서, 상기 로드(20)는, 하단에 소자가 흡착되는 흡착헤드(90)가 탈착가능하게 결합되는 결합부(21)가 구비될 수 있다. This
그리고, 로드(20)의 내부에는 흡착헤드(90)로부터 공기가 흡입되는 흡입통로(22)가 형성될 수 있다. In the
또한, 로드(20)는 상단에 흡입통로(22)는 진공펌프 등과 같은 진공원과 연결될 수 있다.In addition, the
한편 상기 로드(20)는 바디(10)의 주관통공(11)에 슬라이드 가능하게 결합되며 다양한 구동방식에 의하여 선형구동됨을 특징으로 한다.Meanwhile, the
일예로서, 상기 로드(20)는, 바디(10)의 주관통공(11) 내에 로드(20)의 외주면에 의하여 형성되는 제1공간(31) 및 제2공간(32)에 유체를 선택적으로 주입함으로써 바디(10)에 대하여 선형구동될 수 있다.For example, the
그리고, 로드(20)에는 주관통공(11)이 형성되는 것에 의하여 바디(10)의 내부에 형성되는 공간을 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 구획하는 구획부(23)가 형성된다. The
여기에서, 제1공간(31)은 구획부(23)를 기준으로 하방에 위치되며, 제2공간(32)은 구획부(23)를 기준으로 상방에 위치된다. Here, the
구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면이 서로 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있도록 구획부(23)의 외경은 주관통공(11)의 내경과 대응되는 크기를 가진다.The outer diameter of the partitioning
로드(20)의 구획부(23)는 로드(20)의 나머지 부분과 일체로 형성될 수 있고, 서로 별개로 성형된 후 서로 결합될 수 있다.The
이때, 바디(10)에는, 제1공간(31)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제1유로(41) 및 제2공간(32)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제2유로(42)가 형성될 수 있다. The
제1유로(41) 및 제2유로(42)에는 유체공급원(미도시)와 각각 연결되는 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 연결될 수 있다. A
따라서, 유체공급원으로부터 공급된 유체는, 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유입될 수 있고, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입될 수 있다. The fluid supplied from the fluid supply source can flow into the
유체공급원으로부터 공급되는 유체는 공기와 같은 기체가 될 수 있으며, 이와 같은 경우, 유체공급원에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유출입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치(미도시)가 구비될 수 있다.The fluid supplied from the fluid supply source may be a gas such as air. In this case, the fluid supply source may include a pressure regulating device (not shown) for regulating the pressure of the fluid flowing into the
제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)에는 유체공급원과 연결된 튜브가 각각 연결될 수 있다. The
로드(10)가 흡착헤드(90)와 연결되는 방향을 하방이라고 하고, 로드(10)가 진공원과 연결되는 방향을 상방이라고 할 때, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 바디(10)의 상방에 형성될 수 있다. When the direction in which the
여기에서, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 로드(20)의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다. Here, the
이와 같은 경우에는, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되는 제1부분의 폭에 비하여 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되지 않은 제2부분의 폭이 작다. The first connecting
픽앤플레이스장치에 복수의 픽커(1)가 마련되는 경우에, 제2부분은 복수의 픽커(1)가 서로 마주보는 부분이 될 수 있다. When a plurality of
이와 같이, 복수의 픽커(1)가 서로 마주보는 부분의 폭을 작게 함으로써, 복수의 픽커(1) 사이의 간격을 최소화할 수 있다.In this way, by reducing the width of the portions where the plurality of
제1유로(41)로의 유체의 공급 및 제2유로(42)로의 유체의 공급은 교대로 수행될 수 있다. The supply of the fluid to the
제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유체가 공급되는 과정에서는 제2공간(32)의 내부의 유체는 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있으며, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 과정에서는 제1공간(31)의 내부의 유체는 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.The fluid in the
제1유로(41) 및 제2유로(42)는 바디(10)의 내부에서 서로 연통되지 않도록 형성된다. 이를 위하여, 일체로 형성된 바디(10)에 제1유로(41) 및 제2유로(42)를 각각 드릴링을 통하여 형성하고, 드릴링 과정에서 형성된 드릴이 삽입된 구멍을 용접 등의 방법으로 밀폐하거나, 각각 밀폐부재(412, 422)로 밀폐하는 과정을 통하여, 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 바디(10)의 내부에 형성될 수 있다.The
도 1 내지 도 5에서는 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 절곡된 형상으로 바디(10)의 내부에 형성되는 구성을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 바디(10)의 내부에서의 제1유로(41) 및 제2유로(42)의 형상은 픽커(1)의 폭이나 길이를 축소할 수 있는 최적화된 형상으로 형성될 수 있다.1 to 5 show a structure in which the
한편, 주관통공(11)의 양쪽 개구(12, 13)에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 외부로부터 밀폐시키는 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다. A
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에는 각각 로드(20)가 통과하는 통과홀(811, 821)이 형성될 수 있다. The
로드(20)의 하방에 형성된 개구(12)에는 제1가이드부재(81)가 삽입될 수 있으며, 로드(20)의 상방에 형성된 개구(13)에는 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다. The
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 억지끼워맞춤의 방식 또는 나사결합의 방식으로 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 긴밀하게 삽입될 수 있다. The
따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 각 외면과 주관통공(11)의 내면 사이에는 유체가 통과하는 유격이 형성되지 않을 수 있다.Therefore, a clearance through which fluid can pass may not be formed between each of the outer surfaces of the
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 로드(20)의 구획부(23)가 주관통공(11)의 내부에 삽입된 상태에서 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 삽입될 수 있다. The
따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 개구(12, 13)에 삽입되는 간단한 방법에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 외부로부터 밀폐될 수 있다. The
이러한 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 재질은 금속 또는 엔지니어링플라스틱일 수 있다.The material of the
제1공간(31)이 형성될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(812)이 형성될 수 있으며, 제2공간(32)이 형성될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(822)이 형성될 수 있다. The inner space of the
따라서, 제1공간(31)은 제1가이드부재(81)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 하방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있고, 제2공간(32)은 제2가이드부재(82)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 상방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있다. The
이러한 구획부(23)의 하방단부 및 상방단부는 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체의 압력이 작용되는 부분으로, 구획부(23)의 하방단부 및 상방단부에 작용되는 압력에 의하여 로드(20)가 하방 및 상방으로 이동될 수 있다. The lower end portion and the upper end portion of the
따라서, 구획부(23)는 실질적으로 피스톤으로서의 역할을 하며, 주관통공(11)은 실질적으로 실린더로서의 역할을 한다. Therefore, the partitioning
여기에서, 제1공간(31)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제2공간(32)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 상방으로 이동되면서 제1공간(31)의 체적이 확장되고, 제2공간(32)의 체적은 축소된다. Here, when the fluid flows into the
반대로, 제2공간(32)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제1공간(31)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 하방으로 이동되면서 제2공간(32)의 체적이 확장되고, 제1공간(31)의 체적은 축소된다.Conversely, when the fluid flows into the
도 6에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내부에는 구획부(23)를 제외한 로드(20)의 양측이 통과할 수 있을 정도의 통과홀(811, 821)이 형성된다. 6, the
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되고 일측으로 개방되는 내입홈(812, 822)이 형성된다. The inner surfaces of the
이러한 내입홈(812, 822)에 의하여 제1가이드부재(81)의 내면과 로드(20)의 외면 사이 및 제2가이드부재(82)의 내면과 로드(20)의 외면 사이에 각각 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 형성될 수 있다. These inner grooves 812 and 822 are formed between the inner surface of the
여기에서, 제1공간(31) 및 제2공간(31)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성될 수 있도록 내입홈(812, 822)은 각각 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에서 둘레방향으로 연장될 수 있다. The inner grooves 812 and 822 are formed by the
이와 같이, 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성되므로, 로드(20)의 구획부(23)에 균일한 압력이 작용될 수 있다.Since the
또한, 제1가이드부재(81)에는 제1유로(41)와 제1공간(31)을 연통시키는 연통홀(813)이 형성될 수 있다. The
연통홀(813)은 내입홈(812)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제1유로(41)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(813)을 통하여 제1공간(31)의 내부로 유입될 수 있으며, 제1공간(31)의 내부의 유체가 연통홀(813) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. The communication hole 813 can be connected to the inner groove 812. The fluid supplied through the
연통홀(813)은 제1가이드부재(81)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(813)이 제1유로(41)와 함께 연결될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(813)을 서로 연통시키는 연결홈(814)이 형성될 수 있다. The communication holes 813 may be formed in plural along the circumferential direction of the
다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(814)이 형성되지 않고, 복수의 제1유로(41)가 복수의 연통홀(813)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.However, the present invention is not limited to this configuration, and a configuration in which the plurality of
마찬가지로, 제2가이드부재(82)에는 제2유로(42)와 제2공간(32)을 연통시키는 연통홀(823)이 형성될 수 있다. Likewise, the
연통홀(823)은 내입홈(822)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제2유로(42)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(823)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입될 수 있으며, 제2공간(32)의 내부의 유체가 연통홀(823) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. The communication hole 823 may be connected to the inner groove 822. The fluid supplied through the
연통홀(823)은 제2가이드부재(82)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(823)이 제2유로(42)와 함께 연결될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(823)을 서로 연통시키는 연결홈(824)이 형성될 수 있다. The communication holes 823 may be formed in plural along the circumferential direction of the
다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(824)이 형성되지 않고, 복수의 제2유로(42)가 복수의 연통홀(823)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.However, the present invention is not limited to this configuration, and a configuration may be used in which a plurality of
이와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 복수의 연통홀(813, 823)이 형성되는 경우에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유체가 반경방향으로 균일하게 유입될 수 있으며, 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)에 작용되는 압력이 균일해지므로, 로드(20)의 상하방향으로의 이동과정에서 로드(20)가 편심되는 것을 방지할 수 있다.When a plurality of communication holes 813 and 823 are formed in the
여기에서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)의 내경은 로드(20)의 구획부(23)의 외경에 비하여 작게 형성될 수 있다. The inner diameters of the through
따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2공간(32)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 하방으로 이동되면, 구획부(23)의 하방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다. 7, when the fluid flows into the
따라서, 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제1공간(31)으로 유입된 후 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다. The fluid introduced into the
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1공간(31)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 상방으로 이동되면, 구획부(23)의 상방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다. 8, when the fluid flows into the
따라서, 제1공간(31)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제2공간(32)으로 유입된 후 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.The fluid introduced into the
여기에서, 상기한 바와 같은 실링이 긴밀하게 이루어질 수 있도록, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 향하는 구획부(23)의 양측 단부, 즉, 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되는 부분인 하방단부 및 상방단부에는, 실링부재(61, 62)가 설치되는 것이 바람직하다. At this time, both end portions of the
실링부재(61, 62)는 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The sealing
또한, 실링부재(61, 62)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 실링부재(61, 62)가 설치되는 경우에는, 실링부재(61, 62)가 주관통공(11)의 내면에 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있다.Further, the sealing
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 구비되는 경우에는, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 삽입시키는 것에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성할 수 있고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 각각 제1유로(41) 및 제2유로(42)와 연통시킬 수 있다. When the
따라서, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하기 위하여 주관통공(11)의 내면 및/또는 로드(20)의 외면을 별도로 가공할 필요가 없으므로, 가공상의 편의성이 향상되는 이점이 있다.Therefore, it is not necessary to separately process the inner surface of the main through
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)에 의하여 로드(20)의 상하방향으로의 이동이 안내되므로, 로드(20)의 왕복 이동이 안정적으로 수행될 수 있다.The vertical movement of the
한편 본 발명에 따른 픽커(1)는 로드(20)가 흡착헤드(90)에 연결되는 일측에서 바디(10)에 결합되며 로드(20)의 둘레에 소정의 수용공간(511)을 형성하는 하우징(51)을 추가로 포함할 수 있다.The
하우징(51)은, 로드(20)의 둘레에 소정의 수용공간(511)을 형성함으로써 후술하는 회전방지부의 일부를 구성하는데 활용될 수 있으며, 주관통공(11) 내에 위치된 로드(20)의 외주면에 존재하는 오일이 흡착헤드(90)로 낙하되는 것을 방지하는데 활용될 수 있다.The
한편 본 발명에 따른 픽커(1)는 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부(50)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the
회전방지부(50)는, 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
예로서, 회전방지부(50)는, 하우징(51)의 수용공간(511)의 내부에 배치되고 로드(20)의 이동방향을 따라 연장되는 샤프트(52)와, 로드(20)에 고정되고 샤프트(52)에 로드(20)의 이동방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 이동블록(53)을 포함할 수 있다.The
이러한 회전방지부(50)는 픽커(1)의 하측에 구비된다. 일반적으로 픽커(1)의 상측에는 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)와 같이 유체공급원(미도시)와 연결되는 다수의 부품들이 설치되므로, 회전방지부(50)를 픽커(1)의 하측에 설치함으로써, 픽커(1)의 구성을 복잡하지 않게 할 수 있다.The
이때 하우징(51)은 바디(10)에 형성된 체결홈(14)에 대응하는 위치에 체결홀(514)이 형성되며, 이에 따라, 나사와 같은 체결수단(미도시)이 체결홀(514) 및 체결홈(14)에 삽입 고정되는 것에 의하여, 하우징(51)과 바디(10)가 서로 결합될 수 있다. 하우징(51)에 체결홀(514)이 형성됨에 따라 하우징(51)의 중량을 줄일 수 있으며, 이에 따라, 픽커(1)의 전체의 중량을 줄일 수 있다.At this time, the
샤프트(52)는 로드(20)의 이동방향을 따라 연장되는 형상으로 형성되어 로드(20)의 이동을 안내한다. 샤프트(52)의 양단은 바디(10) 및 하우징(51)에 각각 형성된 샤프트 결합홈(15, 515)에 각각 삽입 고정될 수 있다.The
이동블록(53)은 그 일단(532)이 샤프트(52)에 샤프트(52)의 길이방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되고, 그 타단은 로드(20)의 외주면에 고정된다. 이동블록(53)을 로드(20)에 고정시키기 위하여 나사와 같은 체결부재(533)가 사용될 수 있다.One
특히 이동블록(53)은, 원기둥, 사각기둥 등 다양한 형상을 가질 수 있다.Particularly, the moving
이와 같은 구성에 따르면, 로드(20)가 상하방향으로 왕복으로 이동될 때, 로드(20)에 고정된 이동블록(53)이 샤프트(52)에 대하여 슬라이드 되면서 로드(20)의 길이방향 이동이 안정적으로 수행된다. The
또한, 샤프트(52) 및 이동블록(53)에 의하여 로드(20)가 그 길이방향 중심축을 기준으로 회전되는 현상, 즉, 로드(20)의 롤링현상을 방지할 수 있다. It is also possible to prevent the phenomenon that the
또한, 샤프트(52) 및 이동블록(53)에 의하여 로드(20)가 그 길이방향 축에 수직한 방향으로 이동되는 것이 방지될 수 있다.In addition, the
하우징(51)에는 로드(20)가 통과하는 제3관통공(57)이 형성되며, 제3관통공(57)에는 하우징(51) 내부의 수용공간(511)을 외부로부터 밀폐시킬 뿐만 아니라 로드(20)의 이동을 안내하기 위한 제3가이드부재(58)가 설치될 수 있다.A third through
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 제3가이드부재(58)가 설치되는 제3관통공(57)을 이루는 하우징(51)의 일부분은 수용공간(511)을 향하여 돌출부(571)가 될 수 있다. 이러한 돌출부(571)에 의하여 하우징(51)의 기밀특성이 향상될 수 있으며, 로드(20)를 타고 누출된 윤활제가 제3관통공(57)을 통한 누출을 방지할 수 있게 된다.5, a part of the
한편, 로드(20)의 원활한 왕복 이동을 위해, 주관통공(11)의 내부에는 소정의 양의 윤활제가 주입될 수 있다. 이러한 윤활제는 오일이나 그리스가 될 수 있다. In order to smoothly reciprocate the
주관통공(11)의 내부에 윤활제가 주입되는 경우에는, 윤활제가 로드(20)의 왕복 이동에 의하여 가압되면서 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 배출될 수 있다.When the lubricant is injected into the main through
만약, 하우징(51) 내의 수용공간(511)이 없는 경우라면, 윤활제가 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 외부로 배출되어 문제가 발생할 소지가 있으나, 본 발명의 실시예와 같이, 내부에 수용공간(511)이 형성된 하우징(51)을 구비하는 경우에는, 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 배출된 윤활제가 하우징(51) 내의 수용공간(511)으로 유입될 수 있다.If there is no
이때, 하우징(51) 내의 수용공간(511)에는 윤활제를 가압할 수 있는 수단이 없으므로, 하우징(51) 내의 수용공간(511)에 수용되는 윤활제가 외부로 배출되지 않는다.At this time, since there is no means for pressurizing the lubricant in the
이와 같이, 하우징(51) 내의 수용공간(511)은 이동블록(53)이 이동될 수 있는 공간을 제공하는 역할에 그치지 않고, 주관통공(11)의 내부로 주입된 윤활제가 픽커(1)의 외부로 배출되는 것을 방지하는 역할을 함께 수행한다.The
또한, 주관통공(11) 내의 윤활제가 하우징(51)의 수용공간(511)으로 유출되는 것을 최소화할 수 있도록, 통과홀(811)의 하우징(51)을 향하는 일측에는 실링부재(59)가 설치되는 것이 바람직하다.A sealing
한편, 로드(20)의 하방 및 상방에는 바디(10)를 사이에 두고 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)가 구비될 수 있다. The
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 로드(20)와 일체로 형성될 수 있으며, 별도로 성형되어 로드(20)에 결합될 수 있다. The
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 각각 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 수 있는 크기를 가질 수 있다. The
제1스토퍼(71)가 제3가이드부재(58)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 상방으로의 이동이 제한될 수 있고, 제2스토퍼(72)가 제2가이드부재(82)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 하방으로의 이동이 제한될 수 있다. The upward movement of the
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)에 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. The
또한, 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 제1공간(31) 또는 제2공간(32)을 밀폐시켜 제1공간(31) 또는 제2공간(32)으로 유입된 유체가 외부로 누설되는 것을 차단하는 역할을 함께 수행할 수 있다.The
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 로드(20)의 상하방향으로의 이동 및 진공원의 작동에 의하여 소자를 픽업하여 이송시키는 작동을 수행한다. The
예를 들면, 로드(20)가 하방으로 이동하고 진공원이 작동되어 흡입통로(22)에 진공압이 작용되면서 흡착헤드(90)에 소자가 흡착될 수 있고, 소자가 흡착된 상태에서 로드(20)가 상방으로 이동된 후 픽커(1)가 소자의 안착위치로 이동될 수 있고, 소자의 안착위치에서 로드(20)가 하방으로 이동된 후 진공원의 작동이 중지되어 흡입통로(22)의 진공이 해제되면서 소자가 안착위치에 안착될 수 있다.For example, when the
이와 같이, 로드(20)가 상하방향으로 왕복적으로 이동되면서 소자의 픽앤플레이스동작이 수행된다. 로드(20)의 하방으로의 이동을 위하여 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제1공간(31)의 내부의 유체가 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출된다. Thus, the
이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 상방단부에는 하방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 하방으로 이동될 수 있다.Accordingly, downward pressure acts on the upper end of the
이와 같은 로드(20)의 하방으로의 이동에 의하여 흡착헤드(90)가 소자와 접촉하면서 소자가 흡착헤드(90)에 흡착되는데, 흡착헤드(90)가 소자에 접촉과정에서 흡착헤드(90) 및 소자에는 충돌력이 작용될 수 있다. 이와 같은 충돌력은 로드(20) 및 구획부(23)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체로 전달된 후 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체에 흡수된다. The movement of the
따라서, 제2공간(32)으로 유입된 유체는 흡착헤드(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력을 완충하는 것으로 이른바 에어쿠션으로서의 역할을 한다. Therefore, the fluid introduced into the
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 상기한 충돌력을 완충하기 위한 완충용 스프링이 별도로 구비되지 않는 경우에도, 흡착헤드(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력에 의하여 발생할 수 있는 흡착헤드(90) 또는 소자의 손상을 방지할 수 있다.Therefore, even when the buffer spring for buffering the above-mentioned collision force is not separately provided, the
또한, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치가 구비되는 경우에는, 압력조절장치는, 흡착헤드(90)가 소자와 접촉될 때, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체의 압력을 조절하도록 구성될 수 있다. When the pressure regulating device for regulating the pressure of the fluid flowing into the
흡착헤드(90)가 소자와 접촉될 때 제2공간(32)로 유입되는 유체의 압력은 로드(20)를 하방으로 이동시키기 위하여 제2공간(32)로 최초로 유입되는 유체의 압력에 비하여 작을 수 있다. The pressure of the fluid flowing into the
따라서, 흡착헤드(90)에 흡착되는 소자의 특성에 따라, 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 것을 통하여 흡착헤드(90)와 소자 사이의 충격력을 완충할 수 있으므로, 흡착헤드(90)가 소자와 접촉되는 과정에서의 소자의 손상을 방지하면서 로드(20)의 이동속도를 최적화할 수 있다.Therefore, the impact force between the
도 7에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 하방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 하방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉됨에 따라, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제1공간(31)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 제1공간(31) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다.7, when the downward movement of the
그리고, 로드(20)의 상방으로의 이동을 위하여 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제2공간(32)의 내부의 유체가 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출된다. 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 하방단부에는 상방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 상방으로 이동될 수 있다.The fluid in the
그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 상방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 상방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉됨에 따라, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 제2공간(32) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다.8, when the upward movement of the
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 바디(10)의 주관통공(11)과 로드(20)의 사이에 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드(20)를 상하방향으로 이동시킬 수 있다. The
즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 로드(20)의 상하방향으로의 이동을 안내하는 주관통공(11)이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드(20)가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다. That is, in the
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 로드(20)의 이동라인과 로드(20)를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드(20)를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커(1)의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.Therefore, the
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커(1)의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커(1) 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커(1)가 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격이 최소화될 수 있는 이점이 있다.When the
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부(50)를 구비함으로써, 로드(20)의 왕복 이동이 원활하게 수행되도록 할 수 있고, 로드(50)의 왕복 이동을 이용한 픽커(1)의 픽앤플레이스 동작을 원활하게 수행할 수 있다.The
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 회전방지부(50)에 구비되는 하우징(51)의 내부에 수용공간(511)이 형성됨으로써, 로드(20)에 가압되어 누출되는 윤활제가 수용공간(511)에 수용될 수 있으므로, 윤활제가 픽커(1)의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다.In the
한편 로드(20)가 바디(20)의 주관통공(11)를 슬라이드 이동함에 따라서 마찰력에 의하여 정전기가 발생되어 축적되는데, 축적된 정전기기 로드(20)에 결합된 흡착헤드(90)를 통하여 픽업되는 소자를 손상시키거나 정전기력에 의하여 의도치 않은 소자의 흡착, 이물질의 흡착 등으로 인한 오작동이 발생될 수 있는 문제점이 있다.On the other hand, as the
이에 본 발명에 따른 픽커(1)는, 로드(20)에 결합되고 로드(20)가 바디(10)에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부(200)를 추가로 포함함이 바람직하다.The
여기서 타부재는 정전기제거부(200)와의 접촉에 의하여 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 구성으로서 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나가 될 수 있다.Here, the other member may be at least one of the
예를 들면, 로드(20)의 정전기는 정전기제거부(200), 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나, 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나에 연결된 접지구조를 통하여 제거될 수 있다.For example, the static electricity of the
이에, 정전기제거부(200), 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나는 정전기 제거가 용이하도록 전기전도성이 높은 재질의 사용이 바람직하다.At least one of the
정전기제거부(200)는, 로드(20)에 결합되고 로드(20)가 바디(10)에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
예로서, 정전기제거부(200)는, 로드(20)에 고정되는 고정부분(221)과, 고정부분(221)으로부터 로드(20)의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 하나 이상의 연장부분(233)과, 연장부분(233)의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 타부재와 접촉되는 접촉부분(231)을 포함할 수 있다.The
고정부분(221)은, 로드(20)에 고정되는 부분으로서 로드(20)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조를 가질 수 있다.The fixing
예로서, 고정부분(221)은, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 로드(20)에 고정결합된 이동블록(53)의 끝단이 끼워지도록 'U'자 형상을 가지며 로드(20)가 관통될 수 있도록 관통공(222)이 형성되는 클립구조를 가질 수 있다.9 and 10, the fixing
연장부분(233)은 로드(20)로부터 연장되어 바디(10) 등의 타부재와의 접촉에 의하여 궁극적으로는 외부에 설치된 접지단자와 연결되어 정전기를 제거하도록 하는 부분으로서 다양한 구성이 가능하다.The
특히 연장부분(233)은, 로드(20)의 이동시 타부재와의 접촉이 가능하도록 로드(20)의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 것이 바람직하다.In particular, the
예로서, 연장부분(233)은, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 고정부분(221)으로부터 샤프트(52)를 향하여 연장되며 서로 간격이 커지도록 한 쌍으로 형성될 수 있다.As an example, the extending
한편 연장부분(233)은, 고정부분(221)과 일체로 형성되며 타부재와의 접촉이 원활하도록 탄성변형이 가능하도록 형성됨이 바람직하다.On the other hand, the extending
접촉부분(231)은, 연장부분(233)의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 타부재와 접촉되는 부분으로서 다양한 구성이 가능하다.The
특히 접촉부분(231)은, 타부재와의 접촉시 보다 많은 면접의 접촉이 유리한바 접촉되는 표면과 평행한 면을 이루도록 형성됨이 보다 바람직하다.Particularly, it is more preferable that the
예로서, 접촉부분(231)은, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 연장부(233)분의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 각각 바디(20) 및 하우징(51)에 접촉되도록 바디(20)의 하면 및 하우징(51)의 내면과 평행하도록 형성될 수 있다.9 and 10, the
또한 접촉부분(231) 및 연장부분(233) 중 적어도 어느 하나는, 이동시 샤프트(52) 등 타부재와의 간섭을 방지하기 위하여 개구부 또는 절개홈(232)가 형성될 수 있다.
At least one of the
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.
10: 바디
11: 관통공
20: 로드
23: 구획부
31: 제1공간
32: 제2공간
41: 제1유로
42: 제2유로
50: 회전방지부
51: 하우징
52: 샤프트
53: 이동블록
81: 제1가이드부재
82: 제2가이드부재
71: 제1스토퍼
72: 제2스토퍼10: Body 11: Through-hole
20: load 23:
31: first space 32: second space
41: first flow path 42: second flow path
50: rotation preventing portion 51: housing
52: shaft 53: moving block
81: first guide member 82: second guide member
71: first stopper 72: second stopper
Claims (19)
상기 주관통공에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되어 유압구동에 의하여 선형으로 왕복 이동하며 끝단에 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽업헤드가 결합되는 로드와;
상기 로드에 결합되고 상기 로드가 상기 바디에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.A body having a main through hole formed therein;
A rod which is slidably inserted into the main through hole and linearly reciprocally moved by hydraulic operation, and a pick-up head which picks up the element by vacuum pressure at its end;
And a static eliminator coupled to the rod and contacting the other member when the rod is moved relative to the body to remove static electricity charged on the rod.
상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method according to claim 1,
≪ / RTI > further comprising a housing coupled to the body and having a receiving space around the rod.
상기 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 포함하는 픽커.The method of claim 2,
And a rotation preventing portion for preventing the rod from being rotated about its longitudinal axis.
상기 회전방지부는,
상기 하우징의 수용공간의 내부에 배치되고 상기 로드의 이동방향을 따라 연장되는 샤프트; 및
상기 로드에 고정되고 상기 샤프트에 상기 로드의 이동방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 3,
The rotation-
A shaft disposed within the housing space of the housing and extending along the direction of travel of the rod; And
And a moving block fixed to the rod and slidably connected to the shaft along the moving direction of the rod.
상기 하우징에는 체결홀이 형성되고, 상기 바디에는 체결홈이 형성되며, 상기 체결홀 및 상기 체결홈에 체결수단이 삽입 고정되는 것에 의하여 상기 하우징이 상기 바디에 결합되는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 4,
Wherein a coupling hole is formed in the housing, a coupling groove is formed in the coupling body, and the housing is coupled to the body by inserting and fixing the coupling member into the coupling hole and the coupling groove.
상기 샤프트의 양단이 상기 바디 및 상기 하우징에 각각 형성된 샤프트 결합홈에 각각 삽입 고정되는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 5,
And both ends of the shaft are inserted and fixed into shaft coupling grooves respectively formed in the body and the housing.
상기 정전기제거부는, 상기 이동블록에 고정되며 상기 로드의 이동시 상기 바디 및 상기 하우징 중 적어도 어느 하나에 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 4,
Wherein the static eliminator is fixed to the moving block and contacts the at least one of the body and the housing when the rod is moved to remove the static electricity charged on the rod.
상기 정전기제거부는,
상기 이동블록에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 샤프트를 향하여 연장되며 서로 간격이 커지도록 형성된 한 쌍의 연장부분과, 상기 한 쌍의 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 각각 상기 바디 및 상기 하우징에 접촉되는 접촉부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 7,
The electrostatic eliminator may include:
A pair of extending portions extending from the fixed portion toward the shaft and formed to be spaced apart from each other, and a pair of extending portions extending from ends of the pair of extending portions, And a contact portion contacting the housing and the body.
상기 하우징에는 상기 로드가 통과하는 제3관통공이 형성되며, 상기 제3관통공에는 상기 수용공간을 밀폐시키고 상기 로드의 이동을 안내하는 제3가이드부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 3,
Wherein a third through hole through which the rod passes is formed in the housing, and a third guide member for sealing the accommodating space and guiding the movement of the rod is provided in the third through hole.
상기 정전기제거부는,
상기 로드에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 로드의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 하나 이상의 연장부분과, 상기 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 타부재와 접촉되는 접촉부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method according to claim 1,
The electrostatic eliminator may include:
At least one elongated portion extending from the fixed portion in a longitudinal direction and a slope from the fixed portion and a contact portion extending from an end of the extended portion and contacting the other member when the rod is moved, Characterized in that the picker comprises:
상기 로드는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하며, 상기 제1공간 및 상기 제2공간으로 유체가 선택적으로 유입되는 것에 의해 선형으로 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method according to any one of claims 1 to 10,
Wherein the rod divides the space inside the main through hole into a first space and a second space and linearly reciprocates by selectively introducing the fluid into the first space and the second space. .
상기 로드에는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성되고,
상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 11,
Wherein the rod is provided with a partitioning portion for partitioning a space inside the main through-hole into a first space and a second space,
Wherein the body is formed with a first flow path through which fluid flows into the first space and a second flow path through which fluid flows into the second space.
상기 로드가 통과하는 통과홀이 각각 형성되고, 상기 주관통공의 양쪽 개구에 삽입되어 상기 제1공간 및 상기 제2공간을 밀폐시키는 제1가이드부재 및 제2가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 12,
A first guide member and a second guide member which are respectively formed with through holes through which the rod passes and which are inserted into both openings of the main through hole to seal the first space and the second space, .
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 상기 제1공간 및 상기 제2공간과 연통시키는 연통홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.14. The method of claim 13,
Wherein the first guide member and the second guide member are formed with communication holes communicating the first flow path and the second flow path with the first space and the second space.
상기 연통홀은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향을 따라 복수로 형성되고,
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 외면에는 상기 복수의 연통홀을 서로 연결시키는 연결홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.15. The method of claim 14,
Wherein the communication holes are formed in plural along the circumferential direction of the first guide member and the second guide member,
And a coupling groove for connecting the plurality of communication holes to each other is formed on an outer surface of the first guide member and the second guide member.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면에는 상기 연통홀과 연통되며 반경방향으로 내입되는 내입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 픽커.15. The method of claim 14,
Wherein the inner surface of the through hole of the first guide member and the second guide member is formed with an inner groove communicating with the communication hole and radially inward.
상기 내입홈은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 픽커.18. The method of claim 16,
And the inner groove extends in the circumferential direction of the first guide member and the second guide member.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재를 향하는 상기 구획부의 양측 단부에는 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 픽커.14. The method of claim 13,
And a sealing member is provided at both side ends of the partition facing the first guide member and the second guide member.
상기 바디에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 유체공급원과 연결하기 위한 제1연결부재 및 제2연결부재가 설치되고,
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 상기 바디의 상방에서 상기 로드의 반경방향으로의 일측에 함께 설치되는 것을 특징으로 하는 픽커.The method of claim 12,
Wherein the body is provided with a first connecting member and a second connecting member for connecting the first flow path and the second flow path to a fluid supply source,
Wherein the first connecting member and the second connecting member are installed together on one side in the radial direction of the rod from above the body.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130159561A KR102159182B1 (en) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Picker |
TW102149378A TWI633942B (en) | 2013-07-11 | 2013-12-31 | Transfer tool, link member thereof, and picker thereof |
CN201310750300.7A CN104282606B (en) | 2013-07-11 | 2013-12-31 | Transfer tool, the connecting component for transferring tool and the sorter for transferring tool |
PCT/KR2014/000007 WO2015005549A1 (en) | 2013-07-11 | 2014-01-02 | Transferring tool, and linking member and picker thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130159561A KR102159182B1 (en) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Picker |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20150072186A true KR20150072186A (en) | 2015-06-29 |
KR102159182B1 KR102159182B1 (en) | 2020-09-23 |
Family
ID=53518254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130159561A KR102159182B1 (en) | 2013-07-11 | 2013-12-19 | Picker |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102159182B1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180117791A (en) * | 2017-04-20 | 2018-10-30 | 강경우 | Pressing device apparatus for plastic fasteners dispenser |
KR102402205B1 (en) * | 2021-10-26 | 2022-05-26 | (주)브이텍 | Shock absorber for vacuum system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5201875A (en) * | 1990-01-16 | 1993-04-13 | Aetrium, Inc. | Probe and inverting apparatus |
KR100580816B1 (en) * | 2005-04-20 | 2006-05-16 | (주)제이티 | Air pressure pivoting picker for in-line transferring semiconductor devices, picker module comprising the same, and the method for transferring semiconductor device |
KR20100034936A (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-02 | 미래산업 주식회사 | Picker for handler |
-
2013
- 2013-12-19 KR KR1020130159561A patent/KR102159182B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5201875A (en) * | 1990-01-16 | 1993-04-13 | Aetrium, Inc. | Probe and inverting apparatus |
KR100580816B1 (en) * | 2005-04-20 | 2006-05-16 | (주)제이티 | Air pressure pivoting picker for in-line transferring semiconductor devices, picker module comprising the same, and the method for transferring semiconductor device |
KR20100034936A (en) * | 2008-09-25 | 2010-04-02 | 미래산업 주식회사 | Picker for handler |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180117791A (en) * | 2017-04-20 | 2018-10-30 | 강경우 | Pressing device apparatus for plastic fasteners dispenser |
KR102402205B1 (en) * | 2021-10-26 | 2022-05-26 | (주)브이텍 | Shock absorber for vacuum system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102159182B1 (en) | 2020-09-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101520364B1 (en) | Picker | |
KR101756423B1 (en) | Continuous damping control shock absorber of dual solenoid valve structure | |
KR100416396B1 (en) | Linear Actuator | |
KR20150072186A (en) | Picker | |
KR200404835Y1 (en) | The pick up cylinder for element of a semiconductor | |
US8215840B2 (en) | Self-lubricating mechanism of slide member | |
CN110050129B (en) | Rod assembly and fluid pressure device | |
KR100827865B1 (en) | Apparatus and method for mono tube type shock absorber | |
KR102151464B1 (en) | Low-dust/dust-resistant shock absorber | |
KR101643111B1 (en) | Lubricant feeding structure in linear motion guide device, and linear motion guide device | |
CN103635311A (en) | Punch arrangement for a press and press | |
KR20160109363A (en) | Picker | |
US10773366B2 (en) | Driving tool | |
JP5998333B2 (en) | Liquid discharge valve | |
KR101674599B1 (en) | Vacuum Absorbtion Cylinder | |
KR20150072187A (en) | Transfer tool, and link member thereof | |
KR101305486B1 (en) | Pickup cylinder provided with a flexible vacuum tube | |
CN206130228U (en) | Constant voltage control valve | |
CN214661209U (en) | Hydraulic cylinder | |
KR20140147974A (en) | Picker | |
CN209762117U (en) | CDC bumper shock absorber | |
TW201501817A (en) | Transfer tool, link member thereof, and picker thereof | |
KR101587722B1 (en) | A hydraulic cylinder with buffer device | |
CN112901591A (en) | Hydraulic cylinder | |
CN114412680A (en) | Safe intelligent fuel control system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |