KR20150072116A - Method of fabricating organic light emitting diode device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 OLED에 관한 것으로, 얇은 두께를 갖는 인캡기판을 포함하는 OLED의 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to an OLED, and relates to a method of manufacturing an OLED including an in-cap substrate having a thin thickness.
최근까지, CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기발광소자(organic light emitting diodes : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다.Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, a flat panel display device such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic light emitting diode (OLED) Have been widely studied and used.
위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Among the above flat panel display devices, an organic light emitting element (hereinafter referred to as OLED) is a self-light emitting element, and a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element is not required.
그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has a better viewing angle and contrast ratio than liquid crystal display devices, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, is resistant to external impacts due to its solid internal components, It has advantages.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.
이러한 특성을 갖는 OLED는 크게 패시브 매트릭스 타입(passive matrix type)과 액티브 매트릭스 타입(active matrix type)으로 나뉘어 지는데, 패시브 매트릭스 타입은 신호선을 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하는 반면, 액티브 매트릭스 타입은 화소를 온/오프(on/off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 화소 별로 위치하도록 한다. OLEDs having such characteristics are largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a device is formed in a matrix form while crossing signal lines, whereas an active matrix type is a pixel A thin film transistor which is a switching element for on / off switching on / off.
최근, 패시브 매트릭스 타입은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있어, 고해상도나 대화면을 구현할 수 있는 액티브 매트릭스 타입 OLED의 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, passive matrix type has many limitations such as resolution, power consumption and lifetime, and active matrix type OLED capable of realizing high resolution and large screen is actively being studied.
또한, 이러한 OLED는 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 하부 발광방식은 안정성 및 공정이 자유도가 높은 반면 개구율의 제한이 있어 고해상도 제품에 적용하기 어려운 문제점이 있다. In addition, the OLED is divided into a top emission type and a bottom emission type according to the transmission direction of the emitted light. The lower emission type has a high degree of stability and a high degree of freedom in the process, Which is difficult to apply to high-resolution products.
이에, 최근에는 고개구율 및 고해상도를 갖는 상부 발광방식에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. In recent years, studies have been actively made on an upper light emitting method having a high aperture ratio and a high resolution.
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스 타입 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이며, OLED는 상부 발광방식이다. 1 schematically shows a cross section of a general active matrix type OLED, wherein the OLED is a top emission type.
도시한 바와 같이, OLED(10)는 기판(1)과, 기판(1)과 마주하는 인캡기판(2)으로 구성되며, 기판과 인캡기판(2)은 접착필름(3)을 통해 서로 이격되어 합착된다. As shown, the OLED 10 comprises a substrate 1 and an in-cap substrate 2 facing the substrate 1, and the substrate and the in-substrate 2 are spaced apart from each other via the adhesive film 3 Respectively.
이를 좀더 자세히 살펴보면, 기판(1)의 상부에는 각 화소영역 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되는 제 1 전극(11)과 제 1 전극(11)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 유기발광층(13)과, 유기발광층(13)의 상부에는 제 2 전극(15)이 구성된다. A driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region on the substrate 1 and a first electrode 11 and a first electrode 11 connected to each driving thin film transistor DTr are formed, An organic light emitting layer 13 for emitting light of a specific color and a second electrode 15 on the organic light emitting layer 13 are formed.
유기발광층(13)은 적(R), 녹(G), 청(B)색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소마다 적(R), 녹(G), 청(B)색을 발광하는 별도의 유기물질(13a, 13b, 13c)을 패턴하여 사용한다.The organic luminescent layer 13 displays red (R), green (G), and blue (B) colors. In general, the red, green, The organic materials 13a, 13b and 13c are patterned and used.
이들 제 1 및 제 2 전극(11, 15)과 그 사이에 형성된 유기발광층(13)은 발광다이오드를 이루게 된다. 이때, 이러한 구조를 갖는 OLED(10)는 제 1 전극(11)을 양극(anode)으로 제 2 전극(15)을 음극(cathode)으로 구성하게 된다. The first and second electrodes 11 and 15 and the organic light emitting layer 13 formed therebetween form a light emitting diode. At this time, the OLED 10 having such a structure constitutes the first electrode 11 as the anode and the second electrode 15 as the cathode.
한편, 최근 이러한 OLED(10)는 휴대용 컴퓨터는 물론 데스크톱 컴퓨터 모니터 및 벽걸이형 텔레비전 등 그 사용영역이 점차 넓어지고 있는 추세로, 넓은 디스플레이 면적을 가지면서도 획기적으로 감량된 무게 및 부피를 갖고자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, such OLEDs 10 have been widely used as portable computers, desktop computer monitors, and wall-hung television sets. However, the OLED 10 has a large display area and has a remarkably reduced weight and volume Is actively proceeding.
또한, 제조비용이 절감되면서도 공정이 단순화된 OLED(10)에 대해서도 요구되고 있다.
In addition, a reduction in manufacturing cost and a simplified process are required for the OLED 10 as well.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 경량 및 박형의 OLED를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide a lightweight and thin OLED.
또한, 공정비용 절감 및 공정을 단순화하여 공정의 효율성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다.
A second object of the present invention is to reduce the process cost and simplify the process, thereby improving the efficiency of the process.
전술한 바와 같이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 전해도금방식을 통해 원장 형태의 인캡기판을 형성하는 단계와; 원장 형태의 상기 인캡기판의 일면에 접착필름을 라미네이션 공정을 통해 부착하는 단계와; 상기 인캡기판과 상기 접착필름을 셀 단위로 절단하는 단계와; 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와, 발광다이오드가 형성된 기판을 형성하는 단계와; 상기 접착필름이 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와, 발광다이오드를 향하도록 셀 단위의 상기 인캡기판을 상기 기판 상부로 위치시킨 후, 상기 인캡기판을 상기 기판과 합착하여 인캡슐레이션하는 단계를 포함하는 유기발광소자 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: forming an in-cap substrate in the form of a ledge through an electroplating process; Attaching an adhesive film to one surface of the in-cap substrate in the form of a lap through a lamination process; Cutting the in-cap substrate and the adhesive film in a cell unit; A driving and switching thin film transistor, and a substrate on which the light emitting diode is formed; Placing the in-cap substrate of the cell unit above the substrate so that the adhesive film faces the driving and switching thin film transistor and the light emitting diode, and then encapsulating the in-cup substrate with the substrate to encapsulate the substrate. A method of manufacturing a light emitting device is provided.
이때, 상기 인캡기판은 상기 전해도금방식을 통해 5 ~ 100㎛의 두께를 갖도록 형성되며, 상기 인캡기판은 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치가 양극(+)이 고정 배치되며 니켈(Ni)이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 갖도록 철(Fe)에 첨가된 합금으로 이루어지는 도금액 내에 담겨져 전해도금방식으로 형성된 후, 상기 기판 고정장치로부터 분리된다. The in-cap substrate is formed to have a thickness of 5 to 100 탆 through the electrolytic plating method. The in-substrate substrate includes a negative (-) terminal fixed to the positive electrode (+), Is contained in a plating solution composed of an alloy added to iron (Fe) so as to have a composition ratio of 33 to 35% or 38.5 to 41.5%, is formed by an electrolytic plating method, and then separated from the substrate holding device.
그리고, 상기 합금은 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유되며, 상기 접착필름은 OCA(Optical Cleared Adhesive), 열 경화성 레진 또는 열 경화성 봉지재 중 선택된 하나로 형성된다. The alloy contains 0.05 to 0.1 wt% of cobalt (Co), and the adhesive film is formed of one selected from OCA (Optical Cleared Adhesive), a thermosetting resin, and a thermosetting encapsulant.
또한, 상기 인캡기판은 2.5(ppm/℃)~5.5(ppm/℃)의 열 팽창 계수를 갖는다.
Also, the in-cap substrate has a thermal expansion coefficient of 2.5 (ppm / ° C) to 5.5 (ppm / ° C).
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 OLED의 인캡기판을 전해도금방식을 통해 5 ~ 100㎛의 두께를 갖는 철(Fe)에 첨가되는 니켈(Ni)의 함량이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 가지는 합금으로 이루어지는 금속호일로 형성함으로써, 이를 통해, 열 경화 공정에서도 휨이 발생하지 않으며, OLED 자체의 내구성을 향상시키면서도 OLED의 전체적인 두께를 줄일 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, the content of nickel (Ni) added to iron (Fe) having a thickness of 5 to 100 mu m is 33 to 35% or 38.5 to 41.5 %, It is possible to reduce the overall thickness of the OLED while improving the durability of the OLED itself, without causing warping in the thermal curing process.
또한, 표면조도가 매우 낮아 미세 먼지 등에 의한 결함이 매우 적으며 매끄러운 표면 특성을 확보할 수 있으며, 곡면형 표시장치나 플렉서블한 표시장치를 구현하는 과정에서도 매우 높은 강점을 갖게 되는 효과가 있다. In addition, since the surface roughness is very low, defects due to fine dust and the like are very small, smooth surface characteristics can be ensured, and even when a curved display device or a flexible display device is implemented, an extremely high strength is obtained.
또한, 인캡기판을 절단하는 절단 공정 전에 원장 인캡기판에 접착필름을 먼저 라미네이션공정을 통해 부착시킨 후 원장 인캡기판과 접착필름을 동시에 절단하여 셀 단위의 인캡기판을 형성함으로써, 인캡기판과 접착필름을 라미네이션하기 위한 별도의 합착마진을 고려하지 않아도 되므로, 이를 통해, 합착마진 삭제를 통해 베젤을 줄일 수 있으면서도 재료비용을 절감할 수 있는 효과가 있으며, 또한 절단공정을 단순화할 수 있어, 공정을 단순화할 수 있는 효과가 있다. In addition, before the step of cutting the in-cap substrate, the adhesive film is first attached to the cap substrate, which is the ledge, through the lamination process, and then the cap substrate and the adhesive film are cut at the same time to form an in- It is not necessary to consider a separate cohesion margin for lamination. Thus, it is possible to reduce the material cost while reducing the bezel by eliminating the cohesion margin, and also it is possible to simplify the cutting process and simplify the process There is an effect that can be.
또한, 별도의 인캡기판과 접착필름의 가장자리를 절단하기 위한 공정을 생략할 수 있어, 보다 공정을 단순화할 수 있어 공정의 효율성을 향상시키는 효과가 있다.
In addition, it is possible to omit the step of cutting the edges of the separate ink substrate and the adhesive film, thereby simplifying the process and improving the efficiency of the process.
도 1은 일반적인 액티브 매트릭스 타입 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도.
도 3a ~ 3c는 전해도금방식을 통해 인캡기판을 형성하는 단계를 공정 흐름에 따라 도시한 개략도.
도 4a ~ 4d는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 인캡슐레이션 공정을 공정 순서에 따라 나타낸 공정 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 schematically shows a cross-section of a general active matrix type OLED;
2 is a cross-sectional view schematically illustrating an OLED according to an embodiment of the present invention.
Figs. 3A to 3C are schematic views showing a step of forming an in-caust substrate through an electrolytic plating process according to a process flow. Fig.
4A to 4D are process cross-sectional views illustrating an encapsulation process of an OLED according to an embodiment of the present invention in accordance with a process sequence.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도이다. 2 is a cross-sectional view schematically showing an OLED according to an embodiment of the present invention.
한편, OLED(100)는 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 이하 본 발명에서는 상부 발광방식을 일예로 설명하도록 하겠다. Meanwhile, the OLED 100 is divided into a top emission type and a bottom emission type according to a transmission direction of emitted light. Hereinafter, an upper emission type will be described as an example of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 발광다이오드(E)가 형성된 기판(101)이 인캡기판(210)에 의해 인캡슐레이션(encapsulation)된다. The OLED 100 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 기판(101) 상의 화소영역(P)에는 반도체층(103)이 형성되는데, 반도체층(103)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(103a) 그리고 액티브영역(103a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(103b, 103c)으로 구성된다. A
이러한 반도체층(103) 상부로는 게이트절연막(105)이 형성되어 있다. A
게이트절연막(105) 상부로는 반도체층(103)의 액티브영역(103a)에 대응하여 게이트전극(107)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다. The
또한, 게이트전극(107)과 게이트배선(미도시) 상부 전면에 제 1 층간절연막(109a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(109a)과 그 하부의 게이트절연막(105)은 액티브영역(103a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(103b, 103c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(116)을 구비한다. The first
다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(116)을 포함하는 제 1 층간절연막(109a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(116)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(103b, 103c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인전극(110a, 110b)이 형성되어 있다. Next, upper portions of the first
그리고, 소스 및 드레인전극(110a, 110b)과 두 전극(110a, 110b) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(109a) 상부로 드레인전극(110b)을 노출시키는 드레인콘택홀(117)을 갖는 제 2 층간절연막(109b)이 형성되어 있다. A second interlayer insulating film having a
이때, 소스 및 드레인전극(110a, 110b)과 이들 전극(110a, 110b)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(103b, 103c)을 포함하는 반도체층(103)과 반도체층(103) 상부에 형성된 게이트절연막(105) 및 게이트전극(107)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. The
한편, 도면에 나타나지 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. On the other hand, although not shown in the drawing, data lines (not shown) are formed which cross the gate wiring (not shown) and define the pixel region P. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 구동 박막트랜지스터(DTr)는 도면에서는 반도체층(103)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. In the drawing, the switching thin film transistor (not shown) and the driving thin film transistor DTr are shown as an example of a top gate type in which the
또한, 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(110b)과 연결되며 제 2 층간절연막(109b) 상부로는 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 예를 들어 일함수 값이 비교적 높은 물질로 발광다이오드(E)를 구성하는 일 구성요소로서 양극(anode)을 이루는 제 1 전극(111)이 형성되어 있다. A portion of the second interlayer insulating film 109b which is connected to the
이러한 제 1 전극(111)은 각 화소영역(P) 별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별로 형성된 제 1 전극(111) 사이에는 뱅크(bank : 119)가 위치한다. The
즉, 뱅크(119)를 각 화소영역(P) 별 경계부로 하여 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the
그리고 제 1 전극(111)의 상부에 유기발광층(113)이 형성되어 있다. An organic
여기서, 유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transport layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transport layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다. Here, the organic
이러한 유기발광층(113)은 적(R), 녹(G), 청(B)의 색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소영역(P) 마다 적(R), 녹(G), 청(B)색을 발광하는 별도의 유기물질(113a, 113b, 113c)을 패턴하여 사용한다. In general, the organic
그리고, 유기발광층(113)의 상부로는 전면에 음극(cathode)을 이루는 제 2 전극(115)이 형성되어 있다. A
이때, 제 2 전극(115)은 이중층 구조로, 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막을 포함한다. 이때, 제 2 전극은 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착된 이층 구조일 수도 있다. At this time, the
따라서, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 향해 방출되는 상부 발광방식으로 구동된다. Therefore, the light emitted from the organic
이러한 OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(115)으로부터 제공된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다. When a predetermined voltage is applied to the
이때, 발광된 빛은 투명한 제 2 전극(115)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, the emitted light passes through the transparent
그리고, 이러한 구동 박막트랜지스터(DTr)와 발광다이오드(E) 상부에는 인캡기판(210)이 구비되며, 기판(101)과 인캡기판(210)은 접착특성을 갖는 접착필름(102)을 통해 서로 이격되어 합착된다. An
이를 통해, OLED(100)는 인캡슐레이션(encapsulation)된다.Thereby, the
이때, 접착필름(102)은 외부 습기가 발광다이오드(E) 내부로 침투되는 것을 방지하여 기판(101) 상에 형성된 구동 박막트랜지스터(DTr)와 발광다이오드(E)를 보호하는 막으로, 발광다이오드(E)를 에워싸며 기판(101) 상에 형성된다. The
접착필름(102)은 OCA(Optical Cleared Adhesive), 열 경화성 레진 또는 열 경화성 봉지재 중 선택된 하나로 형성되어, 기판(101) 상의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 발광다이오드(E)를 밀봉시키게 된다. The
한편, 기판(101)은 유리, 플라스틱 재질, 스테인리스 스틸(stainless steel) 등을 재료로 하여 형성할 수 있으며, 인캡기판(210)은 금속호일(metal foil)로 이루어진다. The
여기서, 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)은 5 ~ 100㎛의 두께(D2)를 갖도록 형성되며, 이렇듯 인캡기판(210)을 금속호일로 형성함으로써, 유리 또는 압연방식으로 형성되는 금속재질로 인캡기판(도 1의 2)의 두께(도 1의 D1)에 비해 얇은 두께로 형성할 수 있어, OLED(100)의 전체적인 두께를 줄일 수 있다. Here, the in-
또한, OLED(100)의 두께를 줄임에도 불구하고 OLED(100) 자체의 내구성을 향상시킬 수 있다. In addition, the durability of the
여기서, 기판(101)의 열 팽창 계수는 2.5*10-6/℃(2.5ppm/℃) 내지 5.5*10-6/℃(5.5ppm/℃)으로, 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)은 기판(101)의 열 팽창 계수와 동일하도록 형성하여, 열 경화 공정 등을 진행하는 과정에서 상이한 열 팽창 계수로 인하여 OLED(100)의 휨이 발생하는 것을 방지해야 한다. The in-
이를 위해 인캡기판(210)은 열 팽창 계수가 낮은 철(Fe)과 니켈(Ni)의 합금을 재료로 이용하는 것이 바람직하다. For this, the in-
철(Fe)과 니켈(Ni)의 합금은 인바(INVAR, Fe-36Ni), Fe-42Ni 합금(Alloy), 코발(KOVAR, Fe-Ni-Co)등이 있는데, 인바(INVAR)의 경우 20 ~ 100℃ 온도 영역에서 0.7×10/K(0.7ppm/℃)의 열 팽창 계수를 가진다.The alloy of iron (Fe) and nickel (Ni) is INVAR (Fe-36Ni), Fe-42Ni alloy (Alloy) and KOVAR (Fe-Ni-Co) And has a coefficient of thermal expansion of 0.7 x 10 / K (0.7 ppm / DEG C) in the temperature range of -100 DEG C.
그리고 코발트를 포함시킨 코발(KOVAR) Fe-33Ni-4.5Co는 20 ~ 100℃ 온도 영역에서 0.55ppm/℃의 열 팽창 계수를 가지며, 철(Fe)에 참가되는 니켈(Ni)의 함량을 42%(42Ni Alloy)로 하면, 20 ~ 100℃ 온도 영역에서 5.3ppm/℃의 열 팽창 계수를 가진다.(KOVAR) Fe-33Ni-4.5Co, which contains cobalt, has a coefficient of thermal expansion of 0.55ppm / ° C at a temperature range of 20-100 ° C and a content of nickel (Ni) (42 Ni Alloy), it has a thermal expansion coefficient of 5.3 ppm / ° C in the temperature range of 20 to 100 ° C.
5.3ppm/℃의 열 팽창 계수는 실리콘(Si)의 열 팽창계수와 동일하다. The thermal expansion coefficient of 5.3 ppm / ° C is the same as the thermal expansion coefficient of silicon (Si).
따라서, 철(Fe) 64%, 니켈(Ni) 36%의 조성비를 가지는 인바(INVAR, Fe-36Ni) 합금을 이용하여 금속호일을 형성하면, 기판(101)의 열 팽창 계수와 유사한 열 팽창 계수를 갖는 인캡기판(210)을 형성할 수 있다. Therefore, when a metal foil is formed using an INVAR (Fe-36Ni) alloy having a composition ratio of iron (Fe) of 64% and nickel (Ni) of 36%, the thermal expansion coefficient The in-
또는 철(Fe) 58%, 니켈(Ni) 42%이 조성비를 가지는 합금(alloy)을 이용하여 금속호일을 형성할 수도 있으며, 철(Fe)과 니켈(Ni) 이외에 코발트(Co)가 일부 참가된 코발(KOVAR, Fe-Ni-Co) 합금을 이용하여 금속호일을 형성할 수도 있다. A metal foil may be formed using an alloy having a composition ratio of iron (Fe) of 58% and nickel (Ni) of 42%. In addition to iron (Fe) and nickel (Ni), cobalt (KOVAR, Fe-Ni-Co) alloy may be used to form the metal foil.
즉, 본 발명의 OLED(100)는 철(Fe)에 첨가되는 니켈(Ni)의 함량이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 가지는 합금으로5 ~ 100㎛의 두께를 가지는 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)을 형성함으로써, 기판(110)과 동일 또는 유사한 2.5(ppm/℃) ~ 5.5(ppm/℃)의 열 팽창 계수를 가지는 인캡기판(210)을 형성할 수 있는 것이다. That is, the
이때, 인캡기판(210)은 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유될 수 있다. At this time, the in-
이를 통해, 열 경화 공정 등을 진행하는 과정에서 상이한 열 팽창 계수로 인하여 OLED(100)의 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있다. Accordingly, it is possible to prevent the occurrence of warping of the
한편, 본 발명의 실시예에 따른 5 ~ 100㎛의 두께(D2)를 가지는 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)은 전해도금방식을 통해 형성할 수 있는데, 이에 대해 도 3a ~ 3c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Meanwhile, the in-
도 3a ~ 3c는 전해도금방식을 통해 인캡기판을 형성하는 단계를 공정 흐름에 따라 도시한 개략도이다. Figs. 3A to 3C are schematic views showing the step of forming an in-caust substrate through an electrolytic plating process according to a process flow.
설명에 앞서, 전해도금방식은 음극에 피도금물체를 연결하고 양극에 도금용금속을 연결하여 피도금물체의 표면에 도금용금속을 입히는 방법으로서, 전류를 흘려주면 양극에서 금속이온과 전자로 분리되고, 분리된 전자는 양극과 음극 사이에 형성되는 전계를 따라 음극으로 이동하고, 금속이온은 도금액으로 석출된다. 양극에서 분리된 금속이온은 전해질인 도금액을 통해 음극으로 이동하며, 음극에서는 전계를 통해 전달받은 전자와 금속이온이 결합하여 음극에 연결된 피도금물체의 표면에 전해도금이 이루어진다.Prior to the explanation, the electrolytic plating method is a method for plating metal on a surface of a subject to be plated by connecting an object to be plated to a cathode and a metal for plating to an anode, and separating metal ions and electrons from the anode The separated electrons move to the cathode along the electric field formed between the anode and the cathode, and the metal ions are precipitated as a plating solution. The metal ions separated from the anode move to the cathode through the plating solution, which is an electrolyte. Electrolytic plating is performed on the surface of the object to be plated, where the electrons and the metal ions are transmitted through the electric field and connected to the cathode.
따라서, 먼저, 도 3a에 도시한 바와 같이 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치(301)를 구비한다. Therefore, first, as shown in Fig. 3A, a
이러한 음극단자로 이루어지는 기판 고정장치(301)는 전해도금의 피도금체인 인캡기판(210, 도 3c 참조)을 고정하며, 스테인레스 재질로 이루어질 수 있다. The
다음으로, 도 3b에 도시한 바와 같이 기판 고정장치(301)를 도금액(305)이 수용된 도금조(303)에 담구는데, 이때 도금조(303)는 용기 형태로 용기 내부에는 도금액(305)으로 가득 차 있고, 도금조(303)의 내벽 둘레에는 내벽에 근접해서 일정 간격을 사이에 두고 산화(oxidation) 반응이 일어나는 양극(+, 307)이 고정 배치되어 있다. Next, as shown in FIG. 3B, the
이때, 도금액(305)은 니켈이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 갖도록 철(Fe)에 첨가되며 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유된 합금으로 이루어지며, 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치(301)는 양극(+, 307) 사이에 위치하게 된다. At this time, the
따라서, 양극(+, 307)과 음극(-)단자로 전류를 흘려 양극(+, 307)으로부터 전자가 분리되게 되고, 분리된 전자는 양극(+, 307)과 음극(-)단자 사이에 형성되는 전계를 따라 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치(301)로 이동하게 된다. Therefore, electrons are separated from the positive electrode (+, 307) by flowing current to the positive electrode (+, 307) and the negative electrode (-) terminal and separated electrons are formed between the positive electrode (+, 307) (-) terminal along the electric field which is applied to the
이때, 도금액(305)으로부터 철(Fe)과 니켈(Ni)로 이루어지는 금속이온이 석출되는데, 양극(+, 307)에서 분리된 금속이온 또한 전해질인 도금액(305)을 통해 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치(301)로 이동하게 되며, 기판 고정장치(301)에서는 전자와 금속이온이 결합하여 기판 고정장치(301)의 표면에 전해도금(309)이 이루어진다.At this time, metal ions composed of iron (Fe) and nickel (Ni) are precipitated from the
이와 같이, 전해도금(309)이 이루어진 기판 고정장치(301)를 도 3c에 도시한 바와 같이 도금조(도 3b의 303)로부터 꺼낸 후, 기판 고정장치(301)로부터 전해도금(309)된 금속호일을 분리함으로써, 본 발명의 실시예에 따른 철(Fe)에 첨가되는 니켈(Ni)의 함량이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 가지며, 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유된 합금으로 이루어지는 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)을 완성하게 된다. 3C, after the
이때, 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)은 5 ~ 100㎛의 두께(도 2의 D2)를 갖도록 형성될 수 있는데, 이의 두께(도 2의 D2)는 전해도금 시간을 늘리거나 줄임으로써 조절할 수 있다. At this time, the in-
이와 같이, 기판(도 2의 101)과 유사한 열 팽창 계수를 갖는 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)을 형성함으로써, 본 발명의 OLED(도 2의 100)는 열 경화 공정에서도 휨이 발생하지 않으며, 유리 또는 압연방식으로 형성되는 금속재질로 인캡기판(도 1의 2)의 두께(도 1의 D1)에 비해 인캡기판(210)을 얇은 두께(도 2의 D2)로 형성할 수 있어 OLED(도 2의 100)의 전체적인 두께를 줄일 수 있다. Thus, by forming the in-
또한, OLED(도 2의 100)의 두께를 줄임에도 불구하고 OLED(도 2의 100) 자체의 내구성을 향상시킬 수 있다. In addition, the durability of the OLED (100 in FIG. 2) itself can be improved despite reducing the thickness of the OLED (100 in FIG. 2).
즉, 전해도금방식을 통해 인캡기판(210)을 형성함으로써, 본 발명의 인캡기판(210)은 경도가 300HV로 압연방식을 통한 금속재질로 형성하는 인캡기판(도 1의 2)의 경우에 비해 경도가 70 ~ 120HV 향상되게 된다. That is, by forming the in-
또한, 전해도금방식을 통해 형성된 인캡기판(210)은 표면조도 값이 5nm이나, 압연방식을 통한 금속재질로 형성하는 인캡기판(도 1의 2)은 표면조도 값은 0.5㎛로, 전해도금방식을 통해 형성된 인캡기판(210)의 표면조도가 압연방식을 통한 금속재질로 형성하는 인캡기판(도 1의 2)에 비해 매우 낮아, 미세 먼지 등에 의한 결함이 매우 적으며 매끄러운 표면 특성을 확보할 수 있다. In addition, the in-
특히, 인캡기판(210)을 얇은 두께(도 2의 D2)를 갖는 금속호일로 형성함에 따라 최근 요구되어지고 있는 곡면형 표시장치나 플렉서블한 표시장치를 구현하는 과정에서도 매우 높은 강점을 갖게 된다. Particularly, since the in-
즉, 본 발명의 OLED(도 2의 100)는 금속호일로 이루어지는 인캡기판(210)에 의해 OLED(도 2의 100)의 전체적인 두께가 줄어들면서도 자체의 내구성이 향상됨에 따라, 이와 같은 OLED(도 2의 100)를 통해 곡면형 표시장치나 플렉서블한 표시장치를 구현하는데 있어 매우 좋은 효과를 기대할 수 있다. 2) of the OLED according to the present invention (100 in FIG. 2) is reduced in overall thickness of the OLED (100 in FIG. 2) by the in-
그리고, 본 발명의 OLED(도 2의 100)는 인캡기판(210)을 얇은 두께(도 2의 D2)를 갖는 금속호일로 형성함에 따라, 공정비용을 절감할 수 있으며, 공정의 단순화를 통해 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. In addition, the OLED of the present invention (100 of FIG. 2) can reduce the process cost by forming the in-
도 4a ~ 4d는 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 인캡슐레이션 공정을 공정 순서에 따라 나타낸 공정 단면도이다. 4A to 4D are process cross-sectional views illustrating an encapsulation process of an OLED according to an embodiment of the present invention in accordance with a process sequence.
도 4a에 도시한 바와 같이, 원장 형태의 인캡기판(410) 상에 원장형태의 접착필름(420)을 라미네이션공정을 통해 부착시킨다. As shown in Fig. 4A, an
이때, 원장 형태의 인캡기판(410)은 전해도금방식으로 철(Fe)에 첨가되는 니켈(Ni)의 함량이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 가지며, 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유된 합금으로5 ~ 100㎛의 두께를 갖는 금속호일로 형성된다. At this time, the in-cap substrate 410 in the form of a ledge has a composition ratio of nickel (Ni) added to iron (Fe) by 33 to 35% or 38.5 to 41.5% by electrolytic plating, cobalt (Co) And is formed of a metal foil having a thickness of 5 to 100 mu m in an alloy containing 0.1 wt%.
이후, 도 4b에 도시한 바와 같이, 원장 형태의 인캡기판(410)과 접착필름(420)을 동시에 절단하여 셀 단위의 인캡기판(210)을 형성한다. 4B, the in-cap substrate 410 and the
이때, 절단공정은 레이저(L)를 이용하는 모습을 일예로 하였으나, 원장 형태의 인캡기판(410)에 사이즈 별로 별도의 흠을 형성하고 금형 또는 목각을 이용하는 타발방식을 통해 진행할 수도 있다. At this time, although the cutting process uses the laser L as an example, it may be performed by forming a separate flaw on the in-cap substrate 410 of the ledge shape and by using a stamping method using a mold or woodcarving.
다음으로, 도 4c에 도시한 바와 같이, 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, ())와 발광다이오드(E)가 형성된 기판(101) 상에 접착필름(102)이 부착된 인캡기판(210)을 위치하는데, 접착필름(102)은 인캡기판(210)의 기판(101)을 향하는 일면에 부착되어 있다.Next, as shown in FIG. 4C, an in-
이후 도 4d에 도시한 바와 같이 기판(101)과 인캡기판(210)을 바로 합착시켜 인캡슐레이션 공정을 완료하여 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)를 완성하게 된다.4D, the encapsulation process is completed by directly bonding the
여기서, 본 발명의 OLED(100)는 인캡기판(210)이 얇은 두께(도 2의 D2)를 갖도록 형성됨에 따라, 원장 형태의 인캡기판(410)의 내측면에 접착필름(420)을 부착한 후, 원장 형태의 인캡기판(410)과 접착필름(420)을 동시에 기판(101)의 사이즈에 대응하여 절단할 수 있어, 기판(101)의 사이즈에 대응하는 인캡기판(210)을 바로 기판(101)과 합착할 수 있어, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. Here, the
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 인캡기판(210)을 유리 또는 압연방식으로 형성되는 금속재질로 형성하는 경우에는 인캡기판(도 1의 2)의 두께(도 1의 D1)가 두꺼워, 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)을 각각 별도의 절단공정을 통해 절단하게 되는데, 이와 같이 별도의 절단공정을 통해 절단하는 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)은 합착마진을 고려해야 한다. In detail, when the in-
즉, 라미네이션 공정으로 인캡기판은(도 1의 3) 인캡기판(도 1의 2)의 일면에 부착되는 접착필름(도 1의 3)의 퍼짐을 고려하여 접착필름(도 1의 3)에 비해 약 200 ㎛ 정도 큰 사이즈를 갖도록 절단하게 되며, 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)의 부착시의 얼라인마진을 고려하여서도 약 100㎛ 정도 큰 사이즈를 갖도록 절단하게 된다. That is, in the lamination process, the in-caust substrate is formed in such a manner that the adhesive film (3 in Fig. 1) is formed in consideration of the spread of the adhesive film (3 in Fig. 1) (2 in Fig. 1) and the adhesive film (3 in Fig. 1) so as to have a size as large as about 100 mu m do.
즉, 인캡기판(도 1의 2)은 접착필름(도 1의 3)과의 합착마진을 고려하여 약 200 ~ 300㎛ 넓은 사이즈를 갖도록 절단된다. That is, the in-cap substrate (2 in FIG. 1) is cut to have a wide size of about 200 to 300 μm considering the adhesion margin with the adhesive film (3 in FIG. 1).
따라서, 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)의 합착마진을 고려하여 인캡기판(도 1의 2)을 더욱 크게 형성하게 됨으로써 화상이 표시되지 않는 비표시영역인 베젤(bezel)이 넓어지게 되며, 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)의 재료비용 또한 증가하게 된다. Therefore, the in-cap substrate (2 in FIG. 1) is formed to be larger in consideration of the cohesion margin of the in-cap substrate (2 in FIG. 1) and the adhesive film (3 in FIG. 1) and the material cost of the in-cap substrate (2 in FIG. 1) and the adhesive film (3 in FIG. 1) is also increased.
또한 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)을 별도의 절단공정을 통해 진행함에 따라 공정이 복잡해지는 문제점을 야기하게 된다. In addition, as the in-substrate substrate (2 in FIG. 1) and the adhesive film (3 in FIG. 1) are processed through separate cutting processes, the process becomes complicated.
또한, 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)이 절단된 상태에서 라미네이션 공정을 진행함에 따라, 절단된 인캡기판(도 1의 2)과 접착필름(도 1의 3)을 라미네이션하는 공정도 까다로워지게 되므로, 공정이 매우 복잡해 지게 된다. 2) and the adhesive film (3 in Fig. 1) are cut along the laminated process while the in-cap substrate (2 in Fig. 1) and the adhesive film The process of lamination becomes complicated, so that the process becomes very complicated.
이에 반해, 본 발명의 OLED(100)는 인캡기판(210)을 5 ~ 100㎛의 얇은 두께(도 2의 D2) 를 갖도록 형성함으로써, 인캡기판(210)을 절단하는 절단공정 전에 원장 인캡기판(410)에 접착필름(420)을 먼저 라미네이션 공정을 통해 부착시킨 후 원장 인캡기판(410)과 접착필름(420)을 동시에 절단하여 셀 단위의 인캡기판(210)을 형성함으로써, 인캡기판(210)과 접착필름(420)을 라미네이션하기 위한 별도의 합착마진을 고려하지 않아도 된다. In contrast, the
이를 통해, 합착마진 삭제를 통해 베젤이 넓어지게 되는 것을 방지할 수 있으면서도 재료비용을 절감할 수 있다. 또한 절단공정을 단순화할 수 있어, 공정을 단순화할 수 있다. As a result, it is possible to prevent the widens of the bezel from being widened by eliminating the cohesion margin, and to reduce the material cost. In addition, the cutting process can be simplified, and the process can be simplified.
또한, 별도의 인캡기판(210)과 접착필름(102)의 가장자리를 절단하기 위한 별도의 공정을 생략할 수 있어, 보다 공정을 단순화할 수 있어 공정의 효율성을 향상시키게 되는 것이다.Further, it is possible to omit a separate process for cutting the edges of the separate in-
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 OLED(100)는 인캡기판(210)을 5 ~ 100㎛의 두께(도 2의 D2)를 갖는 철(Fe)에 첨가되는 니켈(Ni)의 함량이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 가지며 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유된 합금으로 이루어지는 금속호일로 형성함으로써, 열 경화 공정에서도 휨이 발생하지 않으며, 유리 또는 압연방식으로 형성되는 금속재질로 인캡기판(도 1의 2)을 형성하는 경우에 비해 인캡기판(210)을 얇은 두께(도 2의 D2)로 형성할 수 있어 OLED(100)의 전체적인 두께를 줄일 수 있다. As described above, the
또한, OLED(100)의 두께를 줄임에도 불구하고 OLED(100) 자체의 내구성을 향상시킬 수 있다. In addition, the durability of the
또한, 표면조도가 매우 낮아 미세 먼지 등에 의한 결함이 매우 적으며 매끄러운 표면 특성을 확보할 수 있으며, 곡면형 표시장치나 플렉서블한 표시장치를 구현하는 과정에서도 매우 높은 강점을 갖게 된다. In addition, since the surface roughness is very low, defects due to fine dust and the like are very small, smooth surface characteristics can be ensured, and even in the process of embodying a curved display device or a flexible display device, it has a very high strength.
또한, 인캡기판(210)을 절단하는 절단 공정 전에 원장 인캡기판(410)에 접착필름(420)을 먼저 라미네이션공정을 통해 부착시킨 후 원장 인캡기판(410)과 접착필름(420)을 동시에 절단하여 셀 단위의 인캡기판(210)을 형성함으로써, 인캡기판(210)과 접착필름(102)을 라미네이션하기 위한 별도의 합착마진을 고려하지 않아도 되므로, 이를 통해, 합착마진 삭제를 통해 재료비용을 절감할 수 있으며, 또한 절단공정을 단순화할 수 있어, 공정을 단순화할 수 있다. The
또한, 별도의 인캡기판(210)과 접착필름(102)의 가장자리를 절단하기 위한 공정을 생략할 수 있어, 보다 공정을 단순화할 수 있어 공정의 효율성을 향상시키게 된다. In addition, it is possible to omit the step of cutting the edges of the separate in-
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
101 : 기판, 102 :접착필름, 210 : 인캡기판
DTr, E : 구동 박막트랜지스터 및 발광다이오드 101: substrate, 102: adhesive film, 210: in-cap substrate
DTr, E: driving thin film transistor and light emitting diode
Claims (6)
원장 형태의 상기 인캡기판의 일면에 접착필름을 라미네이션 공정을 통해 부착하는 단계와;
상기 인캡기판과 상기 접착필름을 셀 단위로 절단하는 단계와;
구동 및 스위칭 박막트랜지스터와, 발광다이오드가 형성된 기판을 형성하는 단계와;
상기 접착필름이 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터와, 발광다이오드를 향하도록 셀 단위의 상기 인캡기판을 상기 기판 상부로 위치시킨 후, 상기 인캡기판을 상기 기판과 합착하여 인캡슐레이션하는 단계
를 포함하는 유기발광소자 제조방법.
Forming an in-cab substrate in the form of a ledge through an electrolytic plating process;
Attaching an adhesive film to one surface of the in-cap substrate in the form of a lap through a lamination process;
Cutting the in-cap substrate and the adhesive film in a cell unit;
A driving and switching thin film transistor, and a substrate on which the light emitting diode is formed;
Placing the in-cap substrate of the cell unit above the substrate so that the adhesive film faces the driving and switching thin film transistor and the light emitting diode, and then encapsulating the in-cup substrate with the substrate and encapsulating
Gt; < / RTI >
상기 인캡기판은 상기 전해도금방식을 통해 5 ~ 100㎛의 두께를 갖도록 형성되는 유기발광소자 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the in-cap substrate is formed to have a thickness of 5 to 100 mu m through the electrolytic plating method.
상기 인캡기판은 음극(-)단자로 이루어지는 기판 고정장치가 양극(+)이 고정 배치되며 니켈(Ni)이 33 ~ 35% 또는 38.5 ~ 41.5%의 조성비를 갖도록 철(Fe)에 첨가된 합금으로 이루어지는 도금액 내에 담겨져 전해도금방식으로 형성된 후, 상기 기판 고정장치로부터 분리되는 유기발광소자 제조방법.
3. The method of claim 2,
The in-cap substrate is composed of a negative electrode (-) terminal fixed to the substrate and a positive electrode (+) fixedly disposed thereon and an alloy added to iron (Fe) such that nickel (Ni) has a composition ratio of 33 to 35% or 38.5 to 41.5% Wherein the first electrode is formed in an electroplating manner and then separated from the substrate holding device.
상기 합금은 코발트(Co)가 0.05 ~ 0.1wt% 함유된 유기발광소자 제조방법.
The method of claim 3,
Wherein the alloy contains 0.05 to 0.1 wt% of cobalt (Co).
상기 접착필름은 OCA(Optical Cleared Adhesive), 열 경화성 레진 또는 열 경화성 봉지재 중 선택된 하나로 형성되는 유기발광소자 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesive film is formed of one selected from OCA (Optical Cleared Adhesive), a thermosetting resin, and a thermosetting encapsulant.
상기 인캡기판은 2.5(ppm/℃)~5.5(ppm/℃)의 열 팽창 계수를 가지는 유기발광소자 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the in-substrate substrate has a thermal expansion coefficient of 2.5 (ppm / 占 폚) to 5.5 (ppm / 占 폚).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130159417A KR20150072116A (en) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Method of fabricating organic light emitting diode device |
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