KR20150051362A - 증착 장치 및 이를 이용한 박막 형성방법 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title abstract description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 102
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 50
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 47
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 20
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 17
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Abstract
증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 개시한다. 상기 증착 장치는 척, 소스 필름, 가열 부재 및 마스크를 포함할 수 있다. 상기 척은 기판을 지지하며, 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 소스 필름은 상기 척보다 상부에 배치되며, 상기 기판의 상면에 평행한 제2 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 가열 부재는 상기 소스 필름보다 상부에 위치하며, 상기 소스 필름을 부분적으로 가열한다. 상기 마스크는 상기 소스 필름과 상기 척 사이에 배치되며, 복수의 개구를 포함한다.
Description
본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 박막 형성 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 유지 보수 시간(maintenance time)을 줄일 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 박막 형성 방법에 관한 것이다.
평판 표시장치(flat panel display)에는 액정 표시장치(LCD), 플라즈마 표시장치(PDP) 등이 있으며 최근에는 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여 유기 발광 표시장치(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다.
유기 발광 표시장치는 유기물로 이루어진 발광층이 스스로 발광하여 구동되는 디스플레이 장치로서, 구동방식에 따라 수동형(passive matrix)과 능동형(active matrix)으로 나누어진다.
한편 유기 발광 표시장치는 정공주입층(HIL) 및 발광층(EML) 등의 분자량에 따라 저분자 타입과 고분자 타입으로 나눌 수도 있다.
저분자 타입의 유기 발광 표시장치에서, 발광층 등의 유기층은 증착 공정(evaporation process) 법에 의해 형성될 수 있다. 이 방법에서 유기물은 증발을 통해 기화된 후 온도가 낮은 기판에 닿으면서 상변화되어 고상의 유기층을 형성한다. 한편, 증착 공정에서 유기물 소스가 부족하게 되면 공정을 중단하고 유기물을 보충해야 하기 때문에 공정이 불안정해진다. 따라서 공정이 중단되는 유지 보수 시간을 줄일 수 있는 증착 장치가 연구되고 있다.
본 발명의 일 목적은 향상된 생산성 및 안정성을 갖는 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 향상된 생산성 및 안정성을 갖는 증착 장치를 이용하는 박막 형성 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상술한 과제들에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 증착 장치는 척, 소스 필름, 가열 부재 및 마스크를 포함할 수 있다. 상기 척은 기판을 지지하며, 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 소스 필름은 상기 척보다 상부에 배치되며, 상기 기판의 상면에 평행한 제2 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 가열 부재는 상기 소스 필름보다 상부에 위치하며, 상기 소스 필름을 부분적으로 가열한다. 상기 마스크는 상기 소스 필름과 상기 척 사이에 배치되며, 복수의 개구를 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 소스 필름은 베이스 필름 및 유기물 층을 포함할 수 있으며, 일 방향으로 연장된 띠 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 소스 필름은 상기 제2 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다. 상기 소스 필름의 이동 속도는 상기 소스 필름이 상기 가열 부재와 중첩되는 가열 영역을 통과할 때, 상기 소스 필름의 상기 유기물 층이 소모될 수 있도록 조절될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 소스 필름은 미리 정해진 연성을 가질 수 있으며, 롤(roll) 형태로 감겨질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가열 부재는 줄 열(joule heat)을 이용하여 상기 소스 필름을 가열할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가열 부재는 레이저 빔을 이용하여 상기 소스 필름을 가열할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 척은 상기 기판의 하면과 접촉할 수 있으며, 상기 기판의 무게에 의해서 상기 기판을 지지할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 실질적으로 수직일 수 있다.
본 발명의 다른 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 박막 형성 방법에 있어서, 척(chuck) 상에 기판을 배치한다. 상기 척보다 상부에 소스 필름을 배치하고, 상기 기판의 상면에 평행한 제2 방향을 따라 상기 소스 필름을 연속적으로 이동시킨다. 가열 부재를 이용하여 상기 소스 필름을 부분적으로 가열한다. 상기 소스 필름으로부터 증발된 유기물을 상기 기판 상에 증착한다. 상기 척을 이용하여, 상기 기판을 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동시킨다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 소스 필름을 연속적으로 이동시키는 단계는 상기 소스 필름이 상기 가열 부재와 중첩되는 가열 영역을 통과할 때, 상기 소스 필름의 상기 유기물이 소모될 수 있도록 이동 속도를 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 증착 장비는 척, 소스 필름, 가열 부재 및 마스크를 포함할 수 있다. 상기 척은 기판을 지지하며, 제1 방향을 따라 이동할 수 있으므로, 상기 기판보다 작은 면적을 갖는 상기 마스크를 이용하여 박막을 형성할 수 있다. 또한 상기 소스 필름은 유기물 층과 이를 지지하는 베이스 필름을 포함하며, 제2 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다. 이에 따라 증착 공정에서 소모된 유기물을 보충하기 위해서, 공정을 중단하고 유지 보수하는 시간을 줄일 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 이에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 박막 형성 방법에 있어서, 기판(100)은 증착 장치(200)(구체적으로, 마스크(250))의 하부에 배치될 수 있다.
기판(100)은 표시 장치의 구성 요소들을 지지하는 베이스 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(100)은 유리 기판, 투명 플라스틱 기판, 투명 세라믹 기판 등을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 기판(100) 상에는 박막 트랜지스터 또는 전극들과 같은 표시 장치의 구성 요소들이 배치되어 있을 수 있다.
하나의 증착 사이클에서 증착 장치(200)는 기판(100)의 일 부분 상에만 박막을 증착할 수 있다. 상기 하나의 증착 사이클이 수행된 후, 기판(100)은 기판(100)의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동할 수 있다. 상기 증착 사이클들과 기판(100)의 이동을 반복적으로 수행함에 따라, 기판(100) 상면에 전체적으로 상기 박막을 형성할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 증착 장치(200)는 가열 부재(210), 소스 필름(220), 연결 부재(230) 및 마스크(250)를 포함할 수 있다.
가열 부재(210)는 이후 설명하는 소스 필름(220)을 가열하여 소스 필름(220)의 유기물 층(224)을 증발시키는 역할을 수행한다. 가열 부재(210)는 소스 필름(220)과 부분적으로 중첩되도록 배치될 수 있으며, 이에 따라 소스 필름(220)의 일 부분만을 가열할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 가열 부재(210)는 높은 전기 저항을 가지는 금속선에 전원을 연결하여 주울열(joule's heat)을 통해서 가열할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 가열 부재(210)는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(100)의 상면에 평행하고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향을 따라서 연장된 평면 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 가열 부재(210)에 의해서 가열되는 소스 필름(220)의 가열 영역(heating zone)도 상기 제1 방향보다 상기 제2 방향으로 보다 큰 길이를 가질 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 가열 부재(210)들은 상기 제2 방향을 따라서 복수 개로 배치될 수 있다. 이에 따라, 가열 부재(210)들은 어레이를 형성할 수 있으며, 가열 영역은 상기 제1 방향보다 상기 제2 방향으로 보다 큰 길이를 가질 수 있다.
한편, 소스 필름(220)은 일 방향으로 연장된 길이를 갖는 띠 형상을 가질 수 있으며, 연성을 가질 수 있다. 예시적인 일 실시예에 있어서, 소스 필름(220)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 롤(roll) 형태로 감겨져 있을 수 있다. 이에 따라, 소스 필름(220)은 비교적 적은 부피를 차지할 수 있다.
소스 필름(220)은 적어도 베이스 필름(222)과 유기물 층(224)을 포함할 수 있다.
베이스 필름(222)은 기계적인 지지력을 갖는 투명한 고분자 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 베이스 필름(222)은 폴레에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리에스테르(polyester), 폴리아크릴(polyacryl), 폴리에폭시(polyepoxy), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리스티렌(polystyrene) 등과 같은 투명 중합체(polymer)를 포함할 수 있다. 베이스 필름(222)은 미리 정해진 연성을 가질 수 있으며, 이에 따라, 롤 형태로 감겨질 수 있다.
유기물 층(224)은 베이스 필름(222) 상에 순차적으로 배치될 수 있으며, 이에 따라 소스 필름(220)은 다층 구조를 가질 수 있다. 유기물 층(224)는 증착 장비(200)를 통해서 형성하려는 박막과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 유기물 층(224)은 유기 발광 표시장치의 정공주입층(HIL), 정공전달층(HTL), 전자주입층(EIL), 전자수송층(ETL) 및 발광층(EML)을 구성하는 저분자량 유기물을 포함할 수 있다. 유기물 층(224)는 고체 상태를 가지고 있으나, 가열 부재(210)에 의해서 가열된 경우, 기화될 수 있다.
유기물 층(224)은 베이스 필름(222) 상에 고정되어 있으므로, 기판(100)보다 상부에 배치될 수 있다. 즉, 일반적인 기존의 증착 장비에서 유기물은 도가니와 같은 용기에 수용되며, 상기 도가니가 가열되는 과정에서 상기 유기물은 액체 상태를 가질 수 있으므로, 상기 유기물은 상부 방향으로만 증발될 수 있다. 반면에, 본 발명에 따른 증착 장치(200)에서 유기물 층(224)이 베이스 필름(222) 상에 고정되어 있으므로, 기판(100)보다 상부에 배치되어, 상기 유기물이 기판(100)을 향해서 아래로 증발될 수 있다. 이에 따라, 기판(100)은 그 하부에 배치되는 척(240)에 의해서 고정될 수 있으므로, 기판(100)을 안정적으로 고정하거나 이동시킬 수 있다. 결과적으로, 상기 증착 과정에서, 기판(100)을 떨어뜨리는 문제를 해결할 수 있다.
한편, 상기 박막 형성 공정에서, 소스 필름(220)의 단부는 상기 롤에서 풀려져서, 기판(100)의 상면에 평행한 상기 제2 방향을 따라 이동할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 증착 사이클을 수행하면서, 소스 필름(220)은 제2 방향을 따라 비교적 느린 속도로 연속적으로 이동할 수 있다. 상기 이동 속도는 소스 필름(220)이 가열 부재(210)와 중첩되는 가열 영역을 통과할 때, 소스 필름(220)의 유기물 층(224)이 소모될 수 있도록 조절될 수 있다. 결과적으로, 증착 소스인 유기물을 공급하기 위해서 상기 증착 공정을 중단시키지 않을 수 있으며, 이에 따라 증착 장치(200)의 생산성이 향상되고 유지 보수 시간을 절약할 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 증착 사이클이 수십 회 내지 수천 회에 걸쳐서 반복되어 수행되는 경우, 가열 부재(210)와 중첩되는 소스 필름(220)의 유기물 층(224)이 모두 소모될 수 있다. 이때, 소스 필름(220)은 상기 제2 방향을 따라 이동할 수 있으며, 가열 부재(210)와 중첩되는 소스 필름(220)은 유기물 층(224)을 포함하도록 배치될 수 있다. 즉, 소스 필름(220)의 새로운 부분을 이용하여 상기 증착 사이클을 수행할 수 있다. 결과적으로, 상기 증착 공정을 중단시키지 않고, 증착 소스인 유기물을 연속적으로 공급할 수 있으며, 유지 보수 시간을 절약할 수 있다.
상기 증착 공정에서, 상기 유기물이 증발하는 속도는 가열 부재(210)와 중첩되는 소스 필름(220) 부분 상에 위치하는 유기물의 양, 소스 필름(220)의 이동 속도 및 가열 부재(210)의 가열 온도에 의해서 결정될 수 있다. 다만, 상기 가열 온도는 소스 필름(220)의 베이스 필름(222)이 열에 의해서 손상되지 않도록 조절될 수 있다. 또한, 상기 증착 공정에서 증발한 상기 유기물은 연결 부재(230)로 공급될 수 있다.
연결 부재(230)는 소스 필름(220)을 마스크(250)와 연결하는 통로를 제공하고, 상기 증발된 유기물의 이동 경로를 가이드 할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 연결 부재(230)는 생략될 수도 있다.
마스크(250)는 소스 필름(220)과 기판(100) 사이에 배치될 수 있으며, 기판(100)의 상면으로부터 일정한 거리로 이격될 수 있다.
마스크(250)는 개구부(252)와 이를 둘러싸는 프레임(254)을 포함할 수 있다. 또한, 개구부(252)는 상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 따라서 규칙적으로 배열된 복수의 개구들을 포함할 수 있다. 상기 개구들은 상기 증발된 유기물들을 분산시켜 균일하게 기판(100) 상으로 분포되도록 할 수 있다.
마스크(250)는 기판(100)보다 작은 면적을 가질 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 마스크(250)는 상기 제2 방향으로 기판(100)과 유사한 폭을 가질 수 있으며, 상기 제1 방향으로 기판(100)보다 작은 길이를 가질 수 있다. 이에 따라, 마스크(250)를 이용한 공정에서 기판(100)의 일부분 상에만 박막을 형성할 수 있다. 다만, 기판(100)은 상기 제1 방향을 따라 이동할 수 있으므로, 증착 사이클을 반복하여 수행하여 기판(100)에 전체적으로 박막을 형성할 수 있다.
한편, 마스크(250)는 기판(100)보다 작은 면적을 가지므로, 마스크(250)의 처짐 현상을 예방할 수 있으며, 형성된 박막의 오정렬(mis-alingment)을 방지할 수 있다.
또한, 증착 장치(200)는 가열 부재(210) 및 소스 필름(220)이 배치되는 제1 챔버(205)와 연결 부재(230) 및 마스크(250)가 배치되는 제2 챔버(260)를 추가적으로 포함할 수 있다. 제1 챔버(205)는 밸브(232)에 의해서 제2 챔버(260)와 연결 부재(230)로부터 밀봉될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 증착 장비(200)는 척(240), 소스 필름(220), 가열 부재(210) 및 마스크(250)를 포함할 수 있다. 척(240)은 기판(100)을 지지하며, 제1 방향을 따라 이동할 수 있으므로, 기판(100)보다 작은 면적을 갖는 마스크(250)를 이용하여 박막을 형성할 수 있다. 또한 소스 필름(220)은 유기물 층(224)과 이를 지지하는 베이스 필름(222)을 포함하며, 제2 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다. 이에 따라 증착 공정에서 소모된 유기물을 보충하기 위해서, 공정을 중단하고 유지 보수하는 시간을 줄일 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 증착 장치 및 상기 증착 장치를 이용한 박막 형성 방법을 설명하기 위한 사시도이다. 상기 증착 장치는 레이저 빔(215) 및 소스 필름(221)을 제외하면, 도 1 및 도 2를 참조로 설명한 증착 장치와 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 이에 따라 반복되는 구성요소에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있다.
도 3을 참조하면, 증착 장치(201)는 가열 부재, 소스 필름(221), 연결 부재(230) 및 마스크(250)를 포함할 수 있다.
상기 가열 부재는 레이저 빔(215)을 형성하는 레이저 광원일 수 있다. 즉, 상기 가열 부재는 레이저 빔(215)을 소스 필름(221)에 조사하여 소스 필름(221)을 부분적으로 가열할 수 있다. 즉, 레이저 빔(215)을 이용하는 경우, 필요한 부분(즉, 소스 필름(221))만을 가열할 수 있고, 증착 장치(201)의 다른 부분을 가열하지 않을 수 있다.
소스 필름(221)은 일 방향으로 연장된 길이를 가질 수 있으며, 연성을 가질 수 있다. 한편, 소스 필름(221)은 적어도 베이스 필름과 유기물 층을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 소스 필름(221)은 상기 베이스 필름과 상기 유기물 층뿐만 아니라 추가적인 기능층을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 상기 기능층은 상기 레이저 빔(215)에 대해서 높은 흡수율을 가질 수 있으며, 이에 따라, 레이저 빔(215)을 열 에너지로 전환할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 증착 장비(201)는 소스 필름(221), 가열 부재 및 마스크(250)를 포함할 수 있다. 소스 필름(221)은 유기물 층과 이를 지지하는 베이스 필름을 포함하며, 제2 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있다. 이에 따라 증착 공정에서 소모된 유기물을 보충하기 위해서, 공정을 중단하고 유지 보수하는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 상기 가열 부재는 레이저 빔(215)을 이용하므로, 소스 필름(221)만을 선택적으로 가열할 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100: 기판
200, 201: 증착 장치
205: 제1 챔버 210: 가열 부재
215: 레이저 빔 220, 221: 소스 필름
222: 베이스 필름 224: 유기층
230: 연결 부재 232: 밸브
250: 마스크 252: 개구
254: 프레임 260: 제2 챔버
205: 제1 챔버 210: 가열 부재
215: 레이저 빔 220, 221: 소스 필름
222: 베이스 필름 224: 유기층
230: 연결 부재 232: 밸브
250: 마스크 252: 개구
254: 프레임 260: 제2 챔버
Claims (11)
- 기판을 지지하며, 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동할 수 있는 척(chuck);
상기 척보다 상부에 배치되며, 상기 기판의 상면에 평행한 제2 방향을 따라 이동할 수 있는 소스 필름;
상기 소스 필름보다 상부에 위치하며, 상기 소스 필름을 부분적으로 가열하는 가열 부재; 및
상기 소스 필름과 상기 척 사이에 배치되며, 복수의 개구를 포함하는 마스크를 포함하는 증착 장치. - 제 1항에 있어서, 상기 소스 필름은 베이스 필름 및 유기물 층을 포함하며, 일 방향으로 연장된 띠 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 소스 필름은 상기 제2 방향을 따라 연속적으로 이동할 수 있으며,
상기 소스 필름의 이동 속도는 상기 소스 필름이 상기 가열 부재와 중첩되는 가열 영역을 통과할 때, 상기 소스 필름의 상기 유기물 층이 소모될 수 있도록 조절되는 것을 특징으로 하는 증착 장치. - 제 1항에 있어서, 상기 소스 필름은 미리 정해진 연성을 가질 수 있으며, 롤 형태로 감겨질 수 있는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가열 부재는 줄 열(joule heat)을 이용하여 상기 소스 필름을 가열하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가열 부재는 레이저 빔을 이용하여 상기 소스 필름을 가열하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 척은 상기 기판의 하면과 접촉할 수 있으며, 상기 기판의 무게에 의해서 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 실질적으로 수직인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 척(chuck) 상에 기판을 배치하는 단계;
상기 척보다 상부에 소스 필름을 배치하고, 상기 기판의 상면에 평행한 제2 방향을 따라 상기 소스 필름을 연속적으로 이동시키는 단계;
가열 부재를 이용하여 상기 소스 필름을 부분적으로 가열하는 단계;
상기 소스 필름으로부터 증발된 유기물을 상기 기판 상에 증착하는 단계; 및
상기 척을 이용하여, 상기 기판을 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 이동시키는 단계를 포함하는 박막 형성 방법. - 제 9항에 있어서, 상기 소스 필름을 연속적으로 이동시키는 단계는 상기 소스 필름이 상기 가열 부재와 중첩되는 가열 영역을 통과할 때, 상기 소스 필름의 상기 유기물이 소모될 수 있도록 이동 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
- 제 10항에 있어서, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 실질적으로 수직인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (4)
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| KR100777759B1 (ko) * | 2005-02-16 | 2007-11-19 | 가부시키가이샤 아루박 | 권취식 진공 막형성장치 |
| KR20080074552A (ko) * | 2007-02-09 | 2008-08-13 | (주)올레돈 | 벨트형 증발장치를 이용한 플렉시블 유기소자와 조명용유기소자 생산용 제작 장치 |
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2013
- 2013-11-04 KR KR1020130132682A patent/KR102165854B1/ko active IP Right Grant
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